JP2004125846A - 光ファイバコイル、光ファイバセンサ及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ポリイミド被覆を形成した光ファイバを不活性雰囲気中で熱処理して炭素薄膜を形成した光ファイバ素線を渦巻き形状に巻き、その形状を金属スパッタ及び高温半田で固定した光ファイバコイル(10)を、ケース下蓋(130)とケース上蓋(131)とで挟み、セラミック樹脂(140)で封止する。
【効果】例えばレーザドップラ振動計(Fiber Laser Dopper Velocimetry)のセンサとして使用すれば、エンジンの振動の計測を好適に行える。
【選択図】 図2
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、光ファイバコイル、光ファイバセンサ及びその製造方法に関し、さらに詳しくは、高温環境下において使用できる光ファイバコイルおよび光ファイバセンサ、及び、その光ファイバセンサを製造する方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、光ファイバを渦巻き形状に巻いた光ファイバコイルを用いて、音響,振動,回転成分または温度を測定する技術が知られている。
光ファイバコイルを用いて音響,振動を測定する技術は、「沖テクニカルレビュー,2002年1月/第189号 Vol.69 No.1 第80頁〜第83頁」に記載されている。
また、光ファイバコイルを用いて回転成分を測定する技術は、「地動の回転成分を観測する新しい地震計の開発,地震地核変動開発センター 武尾 実,2000年10月18日/地震研究所ホームページ」に記載されている。
また、光ファイバコイルを用いて温度を測定する技術は、「光ファイバ温度分布計測システムによる光ファイバポイントプローブ,株式会社OCC 開発事業部/2001年5月/http://www.dts−occ.com」に記載されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来技術で用いられている光ファイバコイルでは、UV硬化型アクリレート樹脂被覆を形成した光ファイバを渦巻き形状に巻いていた。
しかし、UV硬化型アクリレート樹脂被覆は、耐熱性に劣るため、高温環境下において使用できない問題点があった。
そこで、本発明の目的は、高温環境下において使用できる光ファイバコイル、光ファイバセンサ及びその製造方法を提供することにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】
第1の観点では、本発明は、UV硬化型シリコン樹脂被覆を形成した光ファイバを渦巻き形状に巻き、その形状を接着剤で固定したことを特徴とする光ファイバコイルを提供する。
上記第1の観点による光ファイバコイルでは、耐熱性に優れたUV硬化型シリコン樹脂被覆を形成した光ファイバを用いるため、高温環境下(150℃以下)において使用できる。また、形状を固定するのに接着剤を用いるため、作業が簡単になる。
【0005】
第2の観点では、本発明は、ポリイミド被覆を形成した光ファイバを渦巻き形状に巻き、その形状を接着剤で固定したことを特徴とする光ファイバコイルを提供する。
上記第2の観点による光ファイバコイルでは、耐熱性に優れたポリイミド被覆を形成した光ファイバを用いるため、高温環境下(250℃以下)において使用できる。また、形状を固定するのに接着剤を用いるため、作業が簡単になる。
【0006】
第3の観点では、本発明は、ポリイミド被覆および炭素薄膜を形成した光ファイバを渦巻き形状に巻き、その形状を接着剤で固定したことを特徴とする光ファイバコイルを提供する。
上記第3の観点による光ファイバコイルでは、耐熱性に優れたポリイミド被覆および炭素薄膜を形成した光ファイバを用いるため、高温環境下(500℃以下)において使用できる。さらに、形状を固定するのに接着剤を用いるため、作業が簡単になる。
【0007】
第4の観点では、本発明は、ポリイミド被覆および無電解メッキ層を形成した光ファイバを渦巻き形状に巻き、その形状を高温半田で固定したことを特徴とする光ファイバコイルを提供する。
上記第4の観点による光ファイバコイルでは、耐熱性に優れたポリイミド被覆を形成した光ファイバを用いると共に高温半田で形状を固定したため、高温環境下において使用できる。
【0008】
第5の観点では、本発明は、ポリイミド被覆および炭素薄膜を形成した光ファイバを渦巻き形状に巻き、その形状を金属スパッタ及び高温半田で固定したことを特徴とする光ファイバコイルを提供する。
上記第5の観点による光ファイバコイルでは、耐熱性に優れたポリイミド被覆および炭素薄膜を形成した光ファイバを用いると共に高温半田で形状を固定したため、高温環境下において使用できる。
【0009】
第6の観点では、本発明は、上記構成の光ファイバコイルをケースに収容し、温度による線膨張係数が小さいプラスチック樹脂で封止したことを特徴とする光ファイバセンサを提供する。
上記第6の観点による光ファイバコイルでは、上記構成の光ファイバコイルをケースに入れて封止したため、保管,運搬,設置等の取り扱いが容易になる。
【0010】
第7の観点では、本発明は、請求項1から請求項5のいずれかに記載の光ファイバコイルをケースに収容し、セラミック樹脂で封止したことを特徴とする光ファイバセンサを提供する。
上記第7の観点による光ファイバコイルでは、上記構成の光ファイバコイルをケースに入れて封止したため、保管,運搬,設置等の取り扱いが容易になる。また、セラミック樹脂を用いるため、プラスチック樹脂を用いる場合より高温環境下において使用できる。
【0011】
第8の観点では、本発明は、ポリイミド被覆を形成した光ファイバを不活性雰囲気中で熱処理して炭素薄膜を形成し、次いで炭素薄膜を形成した光ファイバを渦巻き形状に巻き、その形状を瞬間接着剤で接着して固定し、ケースに収容し、温度による線膨張係数が小さいプラスチック樹脂またはセラミック樹脂を充填して封止することを特徴とする光ファイバセンサの製造方法を提供する。
上記第8の観点による光ファイバコイルでは、高温環境下において使用できる光ファイバセンサを好適に製造できる。
【0012】
第9の観点では、本発明は、ポリイミド被覆を形成した光ファイバを不活性雰囲気中で熱処理して炭素薄膜を形成し、次いで炭素薄膜を形成した光ファイバを渦巻き形状に巻き、その形状を金属スパッタリングおよび高温半田付けにより固定し、ケースに収容し、温度による線膨張係数が小さいプラスチック樹脂またはセラミック樹脂を充填して封止することを特徴とする光ファイバセンサの製造方法を提供する。
上記第9の観点による光ファイバコイルでは、高温環境下において使用できる光ファイバセンサを好適に製造できる。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、図に示す実施の形態により本発明をさらに詳細に説明する。なお、これにより本発明が限定されるものではない。
【0014】
図1は、本発明に係る光ファイバコイルを示す平面図である。
この光ファイバコイル10は、光ファイバ素線11を渦巻き形状に巻き、その形状を固定し、両端にフェルールF,Fを取り付けた構成である。
【0015】
図2は、本発明に係る光ファイバセンサを示す斜視図である。
この光ファイバセンサ100は、光ファイバコイル10をコイル固定板110に載せ、スペーサ120を介在させて、ケース下蓋130とケース上蓋131とで挟んで一体化し、温度による線膨張係数が小さいプラスチック樹脂またはセラミック樹脂140で内部空間を封止した構成である。
なお、ケース外形サイズは、例えば30mm×30mm×2mmである。
【0016】
−第1の実施形態−
図3は、第1の実施形態に係る図1のA−A’端面図である。
この光ファイバ素線11Aは、光ファイバ1にUV硬化型シリコン樹脂被覆2を形成したものである。
渦巻き形状に巻いた光ファイバ素線11Aは、その形状を瞬間接着剤3で固定されている。
【0017】
図4は、第1の実施形態に係る光ファイバセンサ100の製造方法を示すフロー図である。
ステップA1では、UV硬化型シリコン樹脂被覆2を形成した光ファイバ11Aを治具の上で渦巻き形状に巻く。
ステップA2では、渦巻き形状に巻いた光ファイバ素線11Aの形状を例えばアロンα(商品名)の如き瞬間接着剤3で固定し、光ファイバコイル10とする。
ステップA3では、光ファイバコイル10をコイル固定板110に載せる。
ステップA4では、光ファイバコイル10を載せたコイル固定板110を、ケース下蓋130,スペーサ120,ケース上蓋131で囲み、ネジで一体化する。
ステップA5では、ケース内部空間に例えばエポテック354(商品名)の如き温度による線膨張係数が小さいプラスチック樹脂またはセラムエースSA6500(商品名)の如きセラミック樹脂140を充填する。
【0018】
−第2の実施形態−
図5は、第2の実施形態に係る図1のA−A’端面図である。
この光ファイバ素線11Bは、光ファイバ1にポリイミド被覆4を形成したものである。
渦巻き形状に巻いた光ファイバ素線11Bは、その形状を瞬間接着剤3で固定されている。
【0019】
図6は、第2の実施形態に係る光ファイバセンサ100の製造方法を示すフロー図である。
ステップB1では、ポリイミド被覆4を形成した光ファイバ11Bを治具の上で渦巻き形状に巻く。
ステップB2では、渦巻き形状に巻いた光ファイバ素線11Bの形状を瞬間接着剤3で固定し、光ファイバコイル10とする。
ステップB3では、光ファイバコイル10をコイル固定板110に載せる。
ステップB4では、光ファイバコイル10を載せたコイル固定板110を、ケース下蓋130,スペーサ120,ケース上蓋131で囲み、ネジで一体化する。
ステップB5では、ケース内部空間に温度による線膨張係数が小さいプラスチック樹脂またはセラミック樹脂140を充填する。
【0020】
−第3の実施形態−
図7は、第3の実施形態に係る図1のA−A’端面図である。
この光ファイバ素線11Cは、光ファイバ1にポリイミド被覆4を形成し、さらに炭素薄膜4aを形成したものである。
渦巻き形状に巻いた光ファイバ素線11Cは、その形状を瞬間接着剤3で固定されている。
【0021】
図8は、第3の実施形態に係る光ファイバセンサ100の製造方法を示すフロー図である。
ステップC0では、ポリイミド被覆4を形成した光ファイバ11Cを例えば窒素ガスやアルゴンガス雰囲気の如き不活性雰囲気中で500℃〜700℃で熱処理し、炭素薄膜4aを形成する。
ステップC1では、炭素薄膜4aを形成した光ファイバ11Cを治具の上で渦巻き形状に巻く。
ステップC2では、渦巻き形状に巻いた光ファイバ素線11Cの形状を瞬間接着剤3で固定し、光ファイバコイル10とする。
ステップC3では、光ファイバコイル10をコイル固定板110に載せる。
ステップC4では、光ファイバコイル10を載せたコイル固定板110を、ケース下蓋130,スペーサ120,ケース上蓋131で囲み、ネジで一体化する。
ステップC5では、ケース内部空間に温度による線膨張係数が小さいプラスチック樹脂またはセラミック樹脂140を充填する。
【0022】
−第4の実施形態−
図9は、第4の実施形態に係る図1のA−A’端面図である。
この光ファイバ素線11Dは、光ファイバ1にポリイミド被覆4を形成し、さらに無電解メッキ層5を形成したものである。
渦巻き形状に巻いた光ファイバ素線11Dは、その形状を高温半田6で固定されている。
【0023】
図10は、第4の実施形態に係る光ファイバセンサ100の製造方法を示すフロー図である。
ステップD0では、ポリイミド被覆4を形成した光ファイバ11Dに例えば無電解ニッケルメッキを施し、無電解メッキ層5を形成する。
ステップD1では、無電解メッキ層5を形成した光ファイバ11Dを治具の上で渦巻き形状に巻く。
ステップD2では、渦巻き形状に巻いた光ファイバ素線11Dの形状を例えばAu−Snの如き高温半田6で固定し、光ファイバコイル10とする。
ステップD3では、光ファイバコイル10をコイル固定板110に載せる。
ステップD4では、光ファイバコイル10を載せたコイル固定板110を、ケース下蓋130,スペーサ120,ケース上蓋131で囲み、ネジで一体化する。
ステップD5では、ケース内部空間に温度による線膨張係数が小さいプラスチック樹脂またはセラミック樹脂140を充填する。
【0024】
−第5の実施形態−
図11は、第5の実施形態に係る図1のA−A’端面図である。
この光ファイバ素線11Cは、光ファイバ1にポリイミド被覆4を形成し、さらに炭素薄膜4aを形成したものである。
渦巻き形状に巻いた光ファイバ素線11Cは、その形状を金属スパッタ7で仮固定され、さらに高温半田6で固定されている。
【0025】
図12は、第5の実施形態に係る光ファイバセンサ100の製造方法を示すフロー図である。
ステップE0では、ポリイミド被覆4を形成した光ファイバ11Cを不活性雰囲気中で熱処理し、炭素薄膜4aを形成する。
ステップE1では、炭素薄膜4aを形成した光ファイバ11Cを治具の上で渦巻き形状に巻く。
ステップE2では、渦巻き形状に巻いた光ファイバ素線11Cの形状を例えばニッケル,金の順に金属スパッタリングを施して仮固定し、次いで高温半田付けして固定し、光ファイバコイル10とする。
ステップE3では、光ファイバコイル10をコイル固定板110に載せる。
ステップE4では、光ファイバコイル10を載せたコイル固定板110を、ケース下蓋130,スペーサ120,ケース上蓋131で囲み、ネジで一体化する。
ステップE5では、ケース内部空間に温度による線膨張係数が小さいプラスチック樹脂またはセラミック樹脂140を充填する。
【0026】
−他の実施形態−
(1)渦巻き形状を1層にしてもよく、多層にしてもよい。
(2)光ファイバを密接して巻いてもよく、少し間隔を空けて巻いてもよい。
【0027】
【発明の効果】
本発明の光ファイバコイルおよび光ファイバセンサによれば、耐熱性があるため、高温環境下において使用可能となる。そこで、例えば光ファイバ・レーザドップラ振動計(Fiber Laser Dopper Velocimetry)のセンサとして使用すれば、例えばエンジンの振動の計測を好適に行えるようになる。
また、本発明の光ファイバセンサの製造方法によれば、高温環境下において使用可能な光ファイバセンサを好適に製造できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明にかかる光ファイバコイルを示す平面図である。
【図2】本発明にかかる光ファイバセンサを示す斜視図である。
【図3】第1の実施形態における図1のA−A’端面図である。
【図4】第1の実施形態にかかる光ファイバセンサの製造方法を示すフロー図である。
【図5】第2の実施形態における図1のA−A’端面図である。
【図6】第2の実施形態にかかる光ファイバセンサの製造方法を示すフロー図である。
【図7】第3の実施形態における図1のA−A’端面図である。
【図8】第3の実施形態にかかる光ファイバセンサの製造方法を示すフロー図である。
【図9】第4の実施形態における図1のA−A’端面図である。
【図10】第4の実施形態にかかる光ファイバセンサの製造方法を示すフロー図である。
【図11】第5の実施形態における図1のA−A’端面図である。
【図12】第5の実施形態にかかる光ファイバセンサの製造方法を示すフロー図である。
【符号の説明】
1 光ファイバ
2 UV硬化型シリコン樹脂被覆
3 瞬間接着剤
4 ポリイミド被覆
4a 炭素薄膜
5 無電解メッキ層
6 高温半田
7 金属スパッタ
10 光ファイバコイル
11,11A,11B,11C,11D 光ファイバ素線
100 光ファイバセンサ
130 ケース下蓋
131 ケース上蓋
140 プラスチック樹脂またはセラミック樹脂
Claims (9)
- UV硬化型シリコン樹脂被覆を形成した光ファイバを渦巻き形状に巻き、その形状を接着剤で固定したことを特徴とする光ファイバコイル。
- ポリイミド被覆を形成した光ファイバを渦巻き形状に巻き、その形状を接着剤で固定したことを特徴とする光ファイバコイル。
- ポリイミド被覆および炭素薄膜を形成した光ファイバを渦巻き形状に巻き、その形状を接着剤で固定したことを特徴とする光ファイバコイル。
- ポリイミド被覆および無電解メッキ層を形成した光ファイバを渦巻き形状に巻き、その形状を高温半田で固定したことを特徴とする光ファイバコイル。
- ポリイミド被覆および炭素薄膜を形成した光ファイバを渦巻き形状に巻き、その形状を金属スパッタ及び高温半田で固定したことを特徴とする光ファイバコイル。
- 請求項1から請求項5のいずれかに記載の光ファイバコイルをケースに収容し、温度による線膨張係数が小さいプラスチック樹脂で封止したことを特徴とする光ファイバセンサ。
- 請求項1から請求項5のいずれかに記載の光ファイバコイルをケースに収容し、セラミック樹脂で封止したことを特徴とする光ファイバセンサ。
- ポリイミド被覆を形成した光ファイバを不活性雰囲気中で熱処理して炭素薄膜を形成し、次いで炭素薄膜を形成した光ファイバを渦巻き形状に巻き、その形状を瞬間接着剤で接着して固定し、ケースに収容し、温度による線膨張係数が小さいプラスチック樹脂またはセラミック樹脂を充填して封止することを特徴とする光ファイバセンサの製造方法。
- ポリイミド被覆を形成した光ファイバを不活性雰囲気中で熱処理して炭素薄膜を形成し、次いで炭素薄膜を形成した光ファイバを渦巻き形状に巻き、その形状を金属スパッタリングおよび高温半田付けにより固定し、ケースに収容し、温度による線膨張係数が小さいプラスチック樹脂またはセラミック樹脂を充填して封止することを特徴とする光ファイバセンサの製造方法。
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