JP2004117150A5 - - Google Patents
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Claims (5)
- 基板上に形成された蛍光体のストライプ状パターンを撮像する撮像部と、上記撮像部を上記パターンに沿って移動する移動機構部と、上記撮像部からの映像信号を入力される画像処理部と、上記画像処理部の出力を表示する表示部および上記移動機構部と上記画像処理部を制御する制御部とからなり、上記画像処理部は、上記蛍光体のストライプ状パターンの方向検出部と、上記パターンの方向に関連付けられた少なくとも2箇所の画像データを比較する比較部と上記比較結果に基づいて上記パターンの欠陥を検出する欠陥検出部とからなることを特徴とするパターン欠陥検査装置。
- 請求項1記載のパターン欠陥検査装置において、上記撮像部は、複数個のラインセンサカメラが直線状に配置され、且つ、それぞれのラインセンサカメラは、その視野範囲が一部オーバーラップするように配置され、上記移動機構部は、上記直線状に配置された複数個のラインセンサカメラを、上記カメラの配列方向とは直角な方向に一定速度で移動させる機能を有することを特徴とするパターン欠陥検査装置。
- 請求項1記載のパターン欠陥検査装置において、上記2箇所の画像データは、上記蛍光体のストライプの長手方向に隣接する2つのブロック領域からの画像データであり、上記比較部は、上記2つのブロック領域から得られる画像データの差画像を出力することを特徴とするパターン欠陥検査装置。
- 基板上に形成された蛍光体のストライプ状パターンを撮像するステップ、上記撮像により得られる画像データから上記蛍光体のストライプ状パターンの方向を検出するステップ、上記画像データから上記パターンの方向に関連付けられた少なくとも2箇所の画像データを比較するステップおよび上記比較結果に基づいて上記パターンの欠陥を検出するステップとからなることを特徴とするパターン欠陥検査方法。
- 請求項4記載のパターン欠陥検査方法において、上記画像データから上記ストライプ状パターンの方向に関連付けられた少なくとも2箇所の画像データを比較するステップは、上記蛍光体のストライプの長手方向に隣接する2つのブロック領域を選定するステップおよび上記2つのブロック領域から得られる画像データの差画像を検出するステップからなり、上記2つのブロック領域をその関連性を保持しながら上記パターン全体を移動し、それぞれの差画像を検出することを特徴とするパターン欠陥検査方法。
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