JP2004111675A - 実装方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】ディスペンサ等による塗布技術では困難であった微小サイズのチップ部品を容易に実装することができ、製造工程における歩留りを向上することができる実装方法を提供すること。
【解決手段】複数個又は複数種の素子を共通の基体に作り込む工程と、
少なくとも前記素子の存在領域において前記基体の一方の面上に接着剤層3を形成する工程と、
前記基体の所定箇所を切断して、前記素子を少なくとも1つ含みかつ一方の面に接着剤層3を有するチップ部品8を形成する工程と、
チップ部品8を接着剤層3の側で実装する工程と
を有する、実装方法。
【選択図】 図1
【解決手段】複数個又は複数種の素子を共通の基体に作り込む工程と、
少なくとも前記素子の存在領域において前記基体の一方の面上に接着剤層3を形成する工程と、
前記基体の所定箇所を切断して、前記素子を少なくとも1つ含みかつ一方の面に接着剤層3を有するチップ部品8を形成する工程と、
チップ部品8を接着剤層3の側で実装する工程と
を有する、実装方法。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、実装方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
通常、実装部品を基板上に実装する方法としては、ディスペンサを用いて基板上の実装したい箇所に接着剤を塗布し、この接着剤を介して実装部品を基板上に実装するのが一般的である。
【0003】
図4は、半導体ウェーハを製造する手順の一例を工程順に示す概略断面図である。図5及び図6は、半導体ウェーハを個片化して実装部品を得、この実装部品を基板上に実装する従来の方法の一例を工程順に示す概略断面図である。
【0004】
図4(a)は、SiO2膜16が形成されたSi基板(ウェーハ)17を示し、同図(b)は、その電極を含むチップ部分を拡大したものである。図4(a)、(b)において、17はSi基板(ウェーハ)、2はAl電極パッド、16はSiO2膜、18はSi3N4、SiO2膜やポリイミド膜などの樹脂からなるパッシベーション膜である。
【0005】
図4(c)では、Ni無電解めっき法により、開口されたAl電極パッド2の上面のみに、選択的にNi無電解めっき層(UBM:Under Bump Metal)19が形成されている。このNi無電解めっき層(UBM)19は、Al電極パッド2面をリン酸系エッチ液で前処理した後に、Zn処理によりZnを置換析出させ、さらに、Ni−Pめっき槽に浸漬することによって容易に形成でき、Al電極パッド2とはんだバンプとの接続を助けるUBMとして作用する。
【0006】
図4(d)は、メタルスクリーンマスク20を当てて、はんだペースト21を印刷法によりNi無電解めっき層(UBM)19上に転写した状態を示す。図4(e)は、ウェットバック(加熱溶融)法ではんだペースト21を溶融して、はんだバンプ22を形成したものである。このように、Ni無電解めっき層19及びはんだペーストスクリーン印刷法等を用いることにより、フォトプロセスを用いずに、簡単にはんだバンプ22を形成することができる。
【0007】
そして、図5(a)に示すように、UV硬化粘着剤層4が形成されたシート基材5上に、図4のようにしてSiO2膜16を有するSi基板(ウェーハ)17上にAl電極パッド2等がパターン形成された半導体ウェーハ23を、電極2を有する面を下にして接着する。この状態で、図5(b)に示すように、ブレード6を用いてスクライブライン7に沿ってブレードダイシングを行えば、図5(c)に示すような複数個の実装部品24が得られる。
【0008】
次に、図5(d)に示すように、UV硬化粘着剤層4’を有する基板25を実装部品24上に接着し、シート基材5の側からレーザー光10を照射する。レーザー光10照射によってシート基材5側のUV硬化粘着剤層4と、シート基材5との界面がアブレーション現象により分子分解され、これにより粘着力が低下し、図5(e)に示すように、UV硬化粘着剤層4付きのシート基材5と、UV硬化粘着剤層4’を介して実装部品24が実装された基板25とに分離する。
【0009】
次に、図6(f)に示すように、吸着ヘッド26などを用いて一対一で実装部品24を剥離する。
【0010】
実装基板9’は、図6(g)に示すように、配線11を有し、実装基板9’上の所定の箇所(実装部品24を実装したい箇所)にディスペンサなどを用いて接着剤27が塗布されている。そして、図6(h)に示すように、吸着ヘッド26に吸着された実装部品24を接着剤27を介して実装基板9’に接着する。
【0011】
さらに、図6(i)に示すように、実装部品24及び配線11を覆うようにして実装基板9’上に絶縁層12を形成し、ビアホール13を設け、配線14により実装基板9’上の配線11と、実装部品24の電極2とを電気的に接続し、実装を終了する。
【0012】
一方、実装部品がプラスチックにモールドされた状態の部品を扱う場合、一般的なダイボンダ若しくはフリップチップボンダで実装を行うが、例えばフラットパネルであるとか、CIMM(Chip In Multi Module)の生産工程のように等間隔で同一部品を実装するのは難しいので、近年、転写実装の技術開発が盛んである。転写実装の場合には、紫外線パルスレーザー光を用いてアブレーション効果によって剥離する方法がある。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、現在、実装部品はますます小型化していき、ディスペンサによる微小塗布技術も開発されてはいるものの、実装部品の小型化技術の方がはるかに速いスピードで進んでおり、接着剤の塗布方法について現在は技術的課題も多い。
【0014】
また、実装部品がSi基板からなる場合、実装部品を直接実装基板に実装する技術があるが、従来の実装方法では、比較的大きな回路に限られてしまう。また、Si基板の部品はブレードダイシングを行うと、カットするときに必ず結晶方向に対するチッピングが発生し、かつチッピングは一般的に、ブレードダイシングを高速に行うほど大きくなる。従って、そのためのクリアランスを必要としており、このために多くの犠牲スペースが必要となり、またチッピングを目標値以下に抑える程度の速度でブレードダイシングを行う必要がある。
【0015】
さらに、転写実装の場合、紫外線パルスレーザー光を用いてアブレーション効果で剥離する方法があるが、そのためには支持基板側に紫外線吸収特性のよい材料を選択し、その材料を予め実装基板上に全面塗布しておく必要がある。また、実装基板に熱可塑性の接着剤を全面塗布した場合、既に基板に配線パターンやその他のチップ部品が実装されている場合もあり、その厚みの均一性に乏しい。
【0016】
本発明は、上述したような問題点を解決するためになされたものであって、その目的は、ディスペンサ等による塗布技術では困難であった微小サイズのチップ部品を容易に実装することができ、製造工程における歩留りを向上することができる実装方法を提供することにある。
【0017】
【課題を解決するための手段】
即ち、本発明は、複数個又は複数種の素子を共通の基体に作り込む工程と、
少なくとも前記素子の存在領域において前記基体の一方の面上に接着剤層を形成する工程と、
前記基体の所定箇所を切断して、前記素子を少なくとも1つ含みかつ一方の面に前記接着剤層を有するチップ部品を形成する工程と、
前記チップ部品を前記接着剤層の側で実装する工程と
を有する、実装方法に係るものである。
【0018】
本発明によれば、少なくとも前記素子の存在領域において前記基体の一方の面上に前記接着剤層を形成する工程と、前記基体の所定の箇所を切断して、前記素子を少なくとも1つ含みかつ一方の面に前記接着剤層を有する前記チップ部品を形成する工程と、前記チップ部品を前記接着剤層の側で実装する工程とを有するので、前記切断の前に前記接着剤層を形成することによって、ディスペンサ等では困難であった微小なチップ部品も容易に実装することが可能である。
【0019】
また、例えば、前記接着剤層を形成した後、前記接着剤層の側からブレードダイシング等の前記切断を行えば、前記切断の際の衝撃が前記接着剤層で緩和され、チッピングの発生を従来の10分の1程度に減らすことが可能であり、従来に比べてクリアランスのための犠牲スペースを少なくすることが可能である。
【0020】
さらに、前記チップ部品は前記一方の面に前記接着剤層を有するので、例えば前記チップ部品を実装基板等の基板に実装する場合、この基板上に接着剤等を全面塗布する必要がなくなり、前記チップ部品の前記接着剤層の厚みは均一となる。また、基板にゴミが付着しても、基板上に接着剤が無いので、エアブローで容易に飛ばすことができ、ゴミの付着等による問題を回避することができる。
【0021】
従って、本発明の実装方法は、製造工程における歩留りを向上することが可能である。
【0022】
【発明の実施の形態】
本発明に基づく実装方法は、半導体基板の一方の面上に前記接着剤層を全面塗布した後、前記接着剤層を有する側からダイシングして前記接着剤層付きの前記チップ部品を得、前記接着剤層を介して前記チップ部品を実装基板に実装することが望ましい。
【0023】
また、支持基板上で前記ダイシングを行い、得られた前記接着剤層付きの前記チップ部品を前記接着剤層を介して実装基板に接着し、この状態で所定の位置にレーザー光を照射して前記実装基板上に前記チップ部品の選択転写を行うことも可能である。
【0024】
図1は、本発明に基づく実装方法の手順の一例を工程順に示す概略断面図である。
【0025】
まず、図1(a)に示すように、半導体基板1の一方の面上、即ち電極2が存在する面とは反対側の面上に接着剤層3を全面塗布する。なお、半導体基板1については、複数個又は複数種の前記素子を共通の前記基体に作り込むことによって製造することができ、例えば上記に図4を参照して説明した製造方法によって得られた半導体ウェーハ等を用いることができる。
【0026】
また、接着剤層3は、熱可塑性接着剤によって形成されることが望ましい。これにより、例えばUV硬化型接着剤は紫外線レーザー光が照射され、一度硬化すると元には戻らず、再利用することはできないが、前記熱可塑性接着剤を用いれば、再加熱により再び接着力を発現するので、繰り返し使用することができる。
【0027】
前記熱可塑性接着剤としては、例えばHYDROXYETHER(ヒドロキシエーテル)、Polysulfone(ポリスルホン)、Methacrylate(メタクリレート)等が挙げられ、また、接着剤層3の厚みは、例えば0.5〜10μmの範囲が好ましい。
【0028】
次に、図1(b)に示すように、接着剤層3を有する半導体基板1の電極2を有する面側に、UV硬化粘着剤層4を有するシート基材5を接着する。そして、接着剤層3を有する側からブレード6を用いてスクライブライン7に沿ってブレードダイシングを行うことにより、図1(c)に示すように、接着剤層3付きのチップ部品8を得ることができる。
【0029】
上記のようにして半導体基板1を個片化した後、図1(d)に示すように、接着剤層3を介してチップ部品8を実装基板9に接着する。ここで、実装基板9はマザーボードであってもよく、或いは再配置配線用の中間基板、即ちインターポーザーであってもよい。この場合、インターポーザー上にチップ部品8を予め実装した後、このインターポーザーの電極とマザーボードの電極とを電気的に接続することも可能である。これによれば、より一層の微細な配線が可能となる。
【0030】
次に、図1(e)に示すように、シート基材5の側から所定の位置にレーザー光10を照射し、図2(f)に示すように、実装基板9上にチップ部品8の選択転写を行う。レーザー光10を、実装基板9に転写したいチップ部品8が存在する部分のみに照射することにより、レーザー光10が照射された部分のUV硬化粘着剤層4のみが硬化し、粘着力が低下するので、前記選択転写を行うことができる。なお、シート基材5上に接着している全てのチップ部品8を実装基板9上に実装したい場合は、シート基材5側の全面にレーザー光10を照射すればよい。
【0031】
使用するレーザー光10はYAG3倍高調波(355nm)や4倍高調波(266nm)、XrFエキシマレーザー(245nm)など、パルス性の光強度の強いレーザーを用いるのが好ましい。
【0032】
また、図示するように、レーザー光10を照射すると同時に、実装基板9側を全面加熱することが望ましい。これにより、チップ部品8の前記選択転写をより効率良く行うことができる。
【0033】
このとき、UV硬化粘着剤層4とチップ部品8の間の接着力は、実装基板9とチップ部品8が有する接着剤層3の間の接着力に比べて強いので、前記選択転写は容易に行われる。
【0034】
実装基板9上には、図2(g)に示すように、配線11が形成されている。
【0035】
次に、図2(h)に示すように、チップ部品8及び配線11を覆うようにして実装基板9上に絶縁層12を形成し、ビアホール13を設け、配線14により実装基板9上の配線11と、チップ部品8の電極2とを電気的に接続し、実装を終了する。
【0036】
本発明に基づく実装方法によれば、半導体基板1の電極2が存在しない面上に接着剤層3を形成し、半導体基板1をブレードダイシングして個片化し、電極2を有しかつ一方の面に接着剤層3を有するチップ部品8を形成し、チップ部品8を接着剤層3の側で実装基板9に接着するので、ブレードダイシングの前に接着剤層3を形成することによって、ディスペンサ等では困難であった微小なチップ部品8も容易に実装することができる。
【0037】
また、接着剤層3を形成した後、接着剤層3の側からブレードダイシングを行うので、ブレードダイシングの際の衝撃が接着剤層3で緩和され、チッピングの発生を低減することができ、従来に比べてクリアランスのための犠牲スペースを少なくすることが可能である。
【0038】
さらに、チップ部品8は前記一方の面に接着剤層3を有するので、チップ部品8を実装基板9に実装する場合、基板9上に接着剤層等を形成する必要がなくなり、チップ部品8の接着剤層3の厚みは均一となる。また、実装基板9にゴミが付着しても、基板9上に接着剤が無いので、エアブローで容易に飛ばすことができ、ゴミの付着等による問題を回避することができる。
【0039】
従って、本発明に基づく実装方法は、製造工程における歩留りを向上することが可能である。
【0040】
ここで、上記にレーザー光10を照射すると同時に、実装基板9側を全面加熱する例を説明したが、これに代えて、図3に示すように、実装基板9上の所定の位置にマスク15を設け、所定の部分のみを加熱し、前記選択転写を行ってもよい。この場合、図示するように、実装基板9に実装を望まないチップ部品8が存在する部分にマスク15を形成し、実装基板9に実装したいチップ部品8が存在する部分のみを加熱すればよい。マスク15は、例えば石英基板からなる実装基板9上に、Niを蒸着し、パターニングすることで容易に形成することができる。
【0041】
また、UV硬化粘着剤層4を有するシート基材5を用いる例を示したが、これに代えて、ダイシングシートなどの支持基板を用いてよく、前記ダイシングシートとしては、紫外線吸収特性が悪い材質のものが好適に用いられる。例えば、ポリオレフィン系の材料からなる基材等が挙げられる。また、前記ダイシングシートに用いられる粘着剤に紫外線吸収特性のよい材料を用いてもよい。この場合、シートと粘着剤層の界面でアブレーションを起こすことが可能となる。
【0042】
また、レーザー光10を照射することにより、UV硬化粘着剤層4を硬化させ、粘着力を低下させてUV硬化粘着剤層4とチップ部品8とを分離する例を示したが、チップ部品8がLIP(LED In Plastic)の場合、又はチップ部品8がSi基板からなりかつ電極2面上が、レーザー光10の波長を選んで、そのレーザー光10を効率良く吸収できる材料で覆われてなる場合は、前記ダイシングシートなどの支持基板を用い、レーザー光10を照射することによって前記支持基板とチップ部品8との界面でアブレーションを生じさせ、前記支持基板からチップ部品8を分離することも可能である。
【0043】
即ち、プラスチック部品は、紫外線領域の前記レーザー光を照射されるとアブレーションと呼ばれる分子分解反応を生じ、表面は0.2〜0.6μ程度削られる。従って、実装したい前記チップ部品が存在する部分に前記レーザー光が照射されると、表面は適度に荒らされ均一な表面状態を得ることができ、かつ前記支持基板から前記チップ部品を分離することができる。一方、上述したように、実装したい前記チップ部品とは別に、実装を望まない前記チップ部品が存在する部分には前記レーザー光を照射しないことが望ましい。なお、前記レーザー光が照射され、アブレーションが生じた前記チップ部品は、表面の粗さが均一になっているため、条件だしを行いやすい状態である。
【0044】
また、実装基板9側及びシート基材5(又は前記支持基板)側の両面からレーザー光10を照射してもよく、この場合、接着剤層3は、レーザー光10照射によるダメージからのチップ部品8の回路の保護層としても作用することができる。
【0045】
また、上記に半導体基板1の前記一方の面側の全面に接着剤層3を形成する例を説明したが、接着剤層3は半導体基板1の前記全面でなくても、個片化したい領域に存在していればよい。また、接着剤層3は前記熱可塑性接着剤を塗布することによって形成してもよく、或いは印刷等の形成方法でもよい。
【0046】
また、実装基板が透過特性を有する場合は、裏面よりレーザー光を用いて加熱することが可能であり、両面からレーザー光を用いて実装することで耐熱性のないような実装部品でも転写することができる。
【0047】
例えば、図3(a)に示すようにして加熱を行う場合、特にチップ部品8の耐熱性が低い場合、可視〜赤外線領域のレーザーを用いて、短時間で加熱を行うことがより好ましい。ここで、実装基板9側からレーザー光を照射して前記加熱を行いかつ両面からレーザー光を照射してチップ部品8を実装する場合の好ましい条件としては、実装基板9が、石英若しくはガラスのように、照射するレーザー光を透過できる性質を有する材質からなること、及び接着剤層3が、加熱用のレーザー光を吸収するような熱可塑性の材質であることなどが挙げられる。但し、一般的な熱可塑性の樹脂であれば、赤外光はほとんど吸収する。
【0048】
上記のようにしてレーザーを用いて加熱を行うときは、CO2レーザーやLDレーザー、He−Neレーザーなど、連続発振が可能であって可視(緑)〜近赤外付近の波長領域を発振するようなレーザーを用いることが好ましい。
【0049】
そして、上記のようにしてレーザーを用いて加熱を行う方法によれば、耐熱性の低い前記チップ部品も容易に転写することが可能である。さらに、レーザー光の光束を絞ることで、例えばマスク15を設けなくても上記したと同様の効果が得られ、また2〜3μm程度の微小の前記チップ部品をより効率的に実装することができる。
【0050】
さらに、半導体基板1、実装基板9等の材質、形状、構成等は、発明の主旨を逸脱しない範囲で、上述したもの以外でも適宜選択されてよく、また前記切断の方法もブレードダイシングに限られない。
【0051】
【発明の作用効果】
本発明によれば、少なくとも前記素子の存在領域において前記基体の一方の面上に前記接着剤層を形成する工程と、前記基体の所定の箇所を切断して、前記素子を少なくとも1つ含みかつ一方の面に前記接着剤層を有する前記チップ部品を形成する工程と、前記チップ部品を前記接着剤層の側で実装する工程とを有するので、前記切断の前に前記接着剤層を形成することによって、ディスペンサ等では困難であった微小なチップ部品も容易に実装することが可能である。
【0052】
また、例えば、前記接着剤層を形成した後、前記接着剤層の側からブレードダイシング等の前記切断を行えば、前記切断の際の衝撃が前記接着剤層で緩和され、チッピングの発生を従来の10分の1程度に減らすことが可能であり、クリアランスのための犠牲スペースを最小限に抑えることが可能である。
【0053】
さらに、前記チップ部品は前記一方の面に前記接着剤層を有するので、例えば前記チップ部品を実装基板等の基板に実装する場合、この基板上に接着剤等を全面塗布する必要がなくなり、前記チップ部品の前記接着剤層の厚みは均一となる。また、基板にゴミが付着しても、基板上に接着剤が無いので、エアブローで容易に飛ばすことができ、ゴミの付着等による問題を回避することができる。
【0054】
従って、本発明の実装方法は、製造工程における歩留りを向上することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態による実装方法の手順の一例を工程順に示す概略断面図である。
【図2】同、実装方法の手順の一例を工程順に示す概略断面図である。
【図3】同、実装方法の手順のその他の一例を工程順に示す概略断面図である。
【図4】従来例による半導体ウェーハの製造の手順の一例を工程順に示す概略断面図である。
【図5】同、実装方法の手順の一例を工程順に示す概略断面図である。
【図6】同、実装方法の手順の一例を工程順に示す概略断面図である。
【符号の説明】
1…半導体基板、2…Alパッド電極、3…接着剤層、
4…UV硬化粘着剤層、5…シート基材、6…ブレード、
7…スクライブライン、8…チップ部品、9…実装基板、10…レーザー光、
11…配線、12…絶縁層、13…ビアホール、14…配線、15…マスク
【発明の属する技術分野】
本発明は、実装方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
通常、実装部品を基板上に実装する方法としては、ディスペンサを用いて基板上の実装したい箇所に接着剤を塗布し、この接着剤を介して実装部品を基板上に実装するのが一般的である。
【0003】
図4は、半導体ウェーハを製造する手順の一例を工程順に示す概略断面図である。図5及び図6は、半導体ウェーハを個片化して実装部品を得、この実装部品を基板上に実装する従来の方法の一例を工程順に示す概略断面図である。
【0004】
図4(a)は、SiO2膜16が形成されたSi基板(ウェーハ)17を示し、同図(b)は、その電極を含むチップ部分を拡大したものである。図4(a)、(b)において、17はSi基板(ウェーハ)、2はAl電極パッド、16はSiO2膜、18はSi3N4、SiO2膜やポリイミド膜などの樹脂からなるパッシベーション膜である。
【0005】
図4(c)では、Ni無電解めっき法により、開口されたAl電極パッド2の上面のみに、選択的にNi無電解めっき層(UBM:Under Bump Metal)19が形成されている。このNi無電解めっき層(UBM)19は、Al電極パッド2面をリン酸系エッチ液で前処理した後に、Zn処理によりZnを置換析出させ、さらに、Ni−Pめっき槽に浸漬することによって容易に形成でき、Al電極パッド2とはんだバンプとの接続を助けるUBMとして作用する。
【0006】
図4(d)は、メタルスクリーンマスク20を当てて、はんだペースト21を印刷法によりNi無電解めっき層(UBM)19上に転写した状態を示す。図4(e)は、ウェットバック(加熱溶融)法ではんだペースト21を溶融して、はんだバンプ22を形成したものである。このように、Ni無電解めっき層19及びはんだペーストスクリーン印刷法等を用いることにより、フォトプロセスを用いずに、簡単にはんだバンプ22を形成することができる。
【0007】
そして、図5(a)に示すように、UV硬化粘着剤層4が形成されたシート基材5上に、図4のようにしてSiO2膜16を有するSi基板(ウェーハ)17上にAl電極パッド2等がパターン形成された半導体ウェーハ23を、電極2を有する面を下にして接着する。この状態で、図5(b)に示すように、ブレード6を用いてスクライブライン7に沿ってブレードダイシングを行えば、図5(c)に示すような複数個の実装部品24が得られる。
【0008】
次に、図5(d)に示すように、UV硬化粘着剤層4’を有する基板25を実装部品24上に接着し、シート基材5の側からレーザー光10を照射する。レーザー光10照射によってシート基材5側のUV硬化粘着剤層4と、シート基材5との界面がアブレーション現象により分子分解され、これにより粘着力が低下し、図5(e)に示すように、UV硬化粘着剤層4付きのシート基材5と、UV硬化粘着剤層4’を介して実装部品24が実装された基板25とに分離する。
【0009】
次に、図6(f)に示すように、吸着ヘッド26などを用いて一対一で実装部品24を剥離する。
【0010】
実装基板9’は、図6(g)に示すように、配線11を有し、実装基板9’上の所定の箇所(実装部品24を実装したい箇所)にディスペンサなどを用いて接着剤27が塗布されている。そして、図6(h)に示すように、吸着ヘッド26に吸着された実装部品24を接着剤27を介して実装基板9’に接着する。
【0011】
さらに、図6(i)に示すように、実装部品24及び配線11を覆うようにして実装基板9’上に絶縁層12を形成し、ビアホール13を設け、配線14により実装基板9’上の配線11と、実装部品24の電極2とを電気的に接続し、実装を終了する。
【0012】
一方、実装部品がプラスチックにモールドされた状態の部品を扱う場合、一般的なダイボンダ若しくはフリップチップボンダで実装を行うが、例えばフラットパネルであるとか、CIMM(Chip In Multi Module)の生産工程のように等間隔で同一部品を実装するのは難しいので、近年、転写実装の技術開発が盛んである。転写実装の場合には、紫外線パルスレーザー光を用いてアブレーション効果によって剥離する方法がある。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、現在、実装部品はますます小型化していき、ディスペンサによる微小塗布技術も開発されてはいるものの、実装部品の小型化技術の方がはるかに速いスピードで進んでおり、接着剤の塗布方法について現在は技術的課題も多い。
【0014】
また、実装部品がSi基板からなる場合、実装部品を直接実装基板に実装する技術があるが、従来の実装方法では、比較的大きな回路に限られてしまう。また、Si基板の部品はブレードダイシングを行うと、カットするときに必ず結晶方向に対するチッピングが発生し、かつチッピングは一般的に、ブレードダイシングを高速に行うほど大きくなる。従って、そのためのクリアランスを必要としており、このために多くの犠牲スペースが必要となり、またチッピングを目標値以下に抑える程度の速度でブレードダイシングを行う必要がある。
【0015】
さらに、転写実装の場合、紫外線パルスレーザー光を用いてアブレーション効果で剥離する方法があるが、そのためには支持基板側に紫外線吸収特性のよい材料を選択し、その材料を予め実装基板上に全面塗布しておく必要がある。また、実装基板に熱可塑性の接着剤を全面塗布した場合、既に基板に配線パターンやその他のチップ部品が実装されている場合もあり、その厚みの均一性に乏しい。
【0016】
本発明は、上述したような問題点を解決するためになされたものであって、その目的は、ディスペンサ等による塗布技術では困難であった微小サイズのチップ部品を容易に実装することができ、製造工程における歩留りを向上することができる実装方法を提供することにある。
【0017】
【課題を解決するための手段】
即ち、本発明は、複数個又は複数種の素子を共通の基体に作り込む工程と、
少なくとも前記素子の存在領域において前記基体の一方の面上に接着剤層を形成する工程と、
前記基体の所定箇所を切断して、前記素子を少なくとも1つ含みかつ一方の面に前記接着剤層を有するチップ部品を形成する工程と、
前記チップ部品を前記接着剤層の側で実装する工程と
を有する、実装方法に係るものである。
【0018】
本発明によれば、少なくとも前記素子の存在領域において前記基体の一方の面上に前記接着剤層を形成する工程と、前記基体の所定の箇所を切断して、前記素子を少なくとも1つ含みかつ一方の面に前記接着剤層を有する前記チップ部品を形成する工程と、前記チップ部品を前記接着剤層の側で実装する工程とを有するので、前記切断の前に前記接着剤層を形成することによって、ディスペンサ等では困難であった微小なチップ部品も容易に実装することが可能である。
【0019】
また、例えば、前記接着剤層を形成した後、前記接着剤層の側からブレードダイシング等の前記切断を行えば、前記切断の際の衝撃が前記接着剤層で緩和され、チッピングの発生を従来の10分の1程度に減らすことが可能であり、従来に比べてクリアランスのための犠牲スペースを少なくすることが可能である。
【0020】
さらに、前記チップ部品は前記一方の面に前記接着剤層を有するので、例えば前記チップ部品を実装基板等の基板に実装する場合、この基板上に接着剤等を全面塗布する必要がなくなり、前記チップ部品の前記接着剤層の厚みは均一となる。また、基板にゴミが付着しても、基板上に接着剤が無いので、エアブローで容易に飛ばすことができ、ゴミの付着等による問題を回避することができる。
【0021】
従って、本発明の実装方法は、製造工程における歩留りを向上することが可能である。
【0022】
【発明の実施の形態】
本発明に基づく実装方法は、半導体基板の一方の面上に前記接着剤層を全面塗布した後、前記接着剤層を有する側からダイシングして前記接着剤層付きの前記チップ部品を得、前記接着剤層を介して前記チップ部品を実装基板に実装することが望ましい。
【0023】
また、支持基板上で前記ダイシングを行い、得られた前記接着剤層付きの前記チップ部品を前記接着剤層を介して実装基板に接着し、この状態で所定の位置にレーザー光を照射して前記実装基板上に前記チップ部品の選択転写を行うことも可能である。
【0024】
図1は、本発明に基づく実装方法の手順の一例を工程順に示す概略断面図である。
【0025】
まず、図1(a)に示すように、半導体基板1の一方の面上、即ち電極2が存在する面とは反対側の面上に接着剤層3を全面塗布する。なお、半導体基板1については、複数個又は複数種の前記素子を共通の前記基体に作り込むことによって製造することができ、例えば上記に図4を参照して説明した製造方法によって得られた半導体ウェーハ等を用いることができる。
【0026】
また、接着剤層3は、熱可塑性接着剤によって形成されることが望ましい。これにより、例えばUV硬化型接着剤は紫外線レーザー光が照射され、一度硬化すると元には戻らず、再利用することはできないが、前記熱可塑性接着剤を用いれば、再加熱により再び接着力を発現するので、繰り返し使用することができる。
【0027】
前記熱可塑性接着剤としては、例えばHYDROXYETHER(ヒドロキシエーテル)、Polysulfone(ポリスルホン)、Methacrylate(メタクリレート)等が挙げられ、また、接着剤層3の厚みは、例えば0.5〜10μmの範囲が好ましい。
【0028】
次に、図1(b)に示すように、接着剤層3を有する半導体基板1の電極2を有する面側に、UV硬化粘着剤層4を有するシート基材5を接着する。そして、接着剤層3を有する側からブレード6を用いてスクライブライン7に沿ってブレードダイシングを行うことにより、図1(c)に示すように、接着剤層3付きのチップ部品8を得ることができる。
【0029】
上記のようにして半導体基板1を個片化した後、図1(d)に示すように、接着剤層3を介してチップ部品8を実装基板9に接着する。ここで、実装基板9はマザーボードであってもよく、或いは再配置配線用の中間基板、即ちインターポーザーであってもよい。この場合、インターポーザー上にチップ部品8を予め実装した後、このインターポーザーの電極とマザーボードの電極とを電気的に接続することも可能である。これによれば、より一層の微細な配線が可能となる。
【0030】
次に、図1(e)に示すように、シート基材5の側から所定の位置にレーザー光10を照射し、図2(f)に示すように、実装基板9上にチップ部品8の選択転写を行う。レーザー光10を、実装基板9に転写したいチップ部品8が存在する部分のみに照射することにより、レーザー光10が照射された部分のUV硬化粘着剤層4のみが硬化し、粘着力が低下するので、前記選択転写を行うことができる。なお、シート基材5上に接着している全てのチップ部品8を実装基板9上に実装したい場合は、シート基材5側の全面にレーザー光10を照射すればよい。
【0031】
使用するレーザー光10はYAG3倍高調波(355nm)や4倍高調波(266nm)、XrFエキシマレーザー(245nm)など、パルス性の光強度の強いレーザーを用いるのが好ましい。
【0032】
また、図示するように、レーザー光10を照射すると同時に、実装基板9側を全面加熱することが望ましい。これにより、チップ部品8の前記選択転写をより効率良く行うことができる。
【0033】
このとき、UV硬化粘着剤層4とチップ部品8の間の接着力は、実装基板9とチップ部品8が有する接着剤層3の間の接着力に比べて強いので、前記選択転写は容易に行われる。
【0034】
実装基板9上には、図2(g)に示すように、配線11が形成されている。
【0035】
次に、図2(h)に示すように、チップ部品8及び配線11を覆うようにして実装基板9上に絶縁層12を形成し、ビアホール13を設け、配線14により実装基板9上の配線11と、チップ部品8の電極2とを電気的に接続し、実装を終了する。
【0036】
本発明に基づく実装方法によれば、半導体基板1の電極2が存在しない面上に接着剤層3を形成し、半導体基板1をブレードダイシングして個片化し、電極2を有しかつ一方の面に接着剤層3を有するチップ部品8を形成し、チップ部品8を接着剤層3の側で実装基板9に接着するので、ブレードダイシングの前に接着剤層3を形成することによって、ディスペンサ等では困難であった微小なチップ部品8も容易に実装することができる。
【0037】
また、接着剤層3を形成した後、接着剤層3の側からブレードダイシングを行うので、ブレードダイシングの際の衝撃が接着剤層3で緩和され、チッピングの発生を低減することができ、従来に比べてクリアランスのための犠牲スペースを少なくすることが可能である。
【0038】
さらに、チップ部品8は前記一方の面に接着剤層3を有するので、チップ部品8を実装基板9に実装する場合、基板9上に接着剤層等を形成する必要がなくなり、チップ部品8の接着剤層3の厚みは均一となる。また、実装基板9にゴミが付着しても、基板9上に接着剤が無いので、エアブローで容易に飛ばすことができ、ゴミの付着等による問題を回避することができる。
【0039】
従って、本発明に基づく実装方法は、製造工程における歩留りを向上することが可能である。
【0040】
ここで、上記にレーザー光10を照射すると同時に、実装基板9側を全面加熱する例を説明したが、これに代えて、図3に示すように、実装基板9上の所定の位置にマスク15を設け、所定の部分のみを加熱し、前記選択転写を行ってもよい。この場合、図示するように、実装基板9に実装を望まないチップ部品8が存在する部分にマスク15を形成し、実装基板9に実装したいチップ部品8が存在する部分のみを加熱すればよい。マスク15は、例えば石英基板からなる実装基板9上に、Niを蒸着し、パターニングすることで容易に形成することができる。
【0041】
また、UV硬化粘着剤層4を有するシート基材5を用いる例を示したが、これに代えて、ダイシングシートなどの支持基板を用いてよく、前記ダイシングシートとしては、紫外線吸収特性が悪い材質のものが好適に用いられる。例えば、ポリオレフィン系の材料からなる基材等が挙げられる。また、前記ダイシングシートに用いられる粘着剤に紫外線吸収特性のよい材料を用いてもよい。この場合、シートと粘着剤層の界面でアブレーションを起こすことが可能となる。
【0042】
また、レーザー光10を照射することにより、UV硬化粘着剤層4を硬化させ、粘着力を低下させてUV硬化粘着剤層4とチップ部品8とを分離する例を示したが、チップ部品8がLIP(LED In Plastic)の場合、又はチップ部品8がSi基板からなりかつ電極2面上が、レーザー光10の波長を選んで、そのレーザー光10を効率良く吸収できる材料で覆われてなる場合は、前記ダイシングシートなどの支持基板を用い、レーザー光10を照射することによって前記支持基板とチップ部品8との界面でアブレーションを生じさせ、前記支持基板からチップ部品8を分離することも可能である。
【0043】
即ち、プラスチック部品は、紫外線領域の前記レーザー光を照射されるとアブレーションと呼ばれる分子分解反応を生じ、表面は0.2〜0.6μ程度削られる。従って、実装したい前記チップ部品が存在する部分に前記レーザー光が照射されると、表面は適度に荒らされ均一な表面状態を得ることができ、かつ前記支持基板から前記チップ部品を分離することができる。一方、上述したように、実装したい前記チップ部品とは別に、実装を望まない前記チップ部品が存在する部分には前記レーザー光を照射しないことが望ましい。なお、前記レーザー光が照射され、アブレーションが生じた前記チップ部品は、表面の粗さが均一になっているため、条件だしを行いやすい状態である。
【0044】
また、実装基板9側及びシート基材5(又は前記支持基板)側の両面からレーザー光10を照射してもよく、この場合、接着剤層3は、レーザー光10照射によるダメージからのチップ部品8の回路の保護層としても作用することができる。
【0045】
また、上記に半導体基板1の前記一方の面側の全面に接着剤層3を形成する例を説明したが、接着剤層3は半導体基板1の前記全面でなくても、個片化したい領域に存在していればよい。また、接着剤層3は前記熱可塑性接着剤を塗布することによって形成してもよく、或いは印刷等の形成方法でもよい。
【0046】
また、実装基板が透過特性を有する場合は、裏面よりレーザー光を用いて加熱することが可能であり、両面からレーザー光を用いて実装することで耐熱性のないような実装部品でも転写することができる。
【0047】
例えば、図3(a)に示すようにして加熱を行う場合、特にチップ部品8の耐熱性が低い場合、可視〜赤外線領域のレーザーを用いて、短時間で加熱を行うことがより好ましい。ここで、実装基板9側からレーザー光を照射して前記加熱を行いかつ両面からレーザー光を照射してチップ部品8を実装する場合の好ましい条件としては、実装基板9が、石英若しくはガラスのように、照射するレーザー光を透過できる性質を有する材質からなること、及び接着剤層3が、加熱用のレーザー光を吸収するような熱可塑性の材質であることなどが挙げられる。但し、一般的な熱可塑性の樹脂であれば、赤外光はほとんど吸収する。
【0048】
上記のようにしてレーザーを用いて加熱を行うときは、CO2レーザーやLDレーザー、He−Neレーザーなど、連続発振が可能であって可視(緑)〜近赤外付近の波長領域を発振するようなレーザーを用いることが好ましい。
【0049】
そして、上記のようにしてレーザーを用いて加熱を行う方法によれば、耐熱性の低い前記チップ部品も容易に転写することが可能である。さらに、レーザー光の光束を絞ることで、例えばマスク15を設けなくても上記したと同様の効果が得られ、また2〜3μm程度の微小の前記チップ部品をより効率的に実装することができる。
【0050】
さらに、半導体基板1、実装基板9等の材質、形状、構成等は、発明の主旨を逸脱しない範囲で、上述したもの以外でも適宜選択されてよく、また前記切断の方法もブレードダイシングに限られない。
【0051】
【発明の作用効果】
本発明によれば、少なくとも前記素子の存在領域において前記基体の一方の面上に前記接着剤層を形成する工程と、前記基体の所定の箇所を切断して、前記素子を少なくとも1つ含みかつ一方の面に前記接着剤層を有する前記チップ部品を形成する工程と、前記チップ部品を前記接着剤層の側で実装する工程とを有するので、前記切断の前に前記接着剤層を形成することによって、ディスペンサ等では困難であった微小なチップ部品も容易に実装することが可能である。
【0052】
また、例えば、前記接着剤層を形成した後、前記接着剤層の側からブレードダイシング等の前記切断を行えば、前記切断の際の衝撃が前記接着剤層で緩和され、チッピングの発生を従来の10分の1程度に減らすことが可能であり、クリアランスのための犠牲スペースを最小限に抑えることが可能である。
【0053】
さらに、前記チップ部品は前記一方の面に前記接着剤層を有するので、例えば前記チップ部品を実装基板等の基板に実装する場合、この基板上に接着剤等を全面塗布する必要がなくなり、前記チップ部品の前記接着剤層の厚みは均一となる。また、基板にゴミが付着しても、基板上に接着剤が無いので、エアブローで容易に飛ばすことができ、ゴミの付着等による問題を回避することができる。
【0054】
従って、本発明の実装方法は、製造工程における歩留りを向上することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態による実装方法の手順の一例を工程順に示す概略断面図である。
【図2】同、実装方法の手順の一例を工程順に示す概略断面図である。
【図3】同、実装方法の手順のその他の一例を工程順に示す概略断面図である。
【図4】従来例による半導体ウェーハの製造の手順の一例を工程順に示す概略断面図である。
【図5】同、実装方法の手順の一例を工程順に示す概略断面図である。
【図6】同、実装方法の手順の一例を工程順に示す概略断面図である。
【符号の説明】
1…半導体基板、2…Alパッド電極、3…接着剤層、
4…UV硬化粘着剤層、5…シート基材、6…ブレード、
7…スクライブライン、8…チップ部品、9…実装基板、10…レーザー光、
11…配線、12…絶縁層、13…ビアホール、14…配線、15…マスク
Claims (8)
- 複数個又は複数種の素子を共通の基体に作り込む工程と、
少なくとも前記素子の存在領域において前記基体の一方の面上に接着剤層を形成する工程と、
前記基体の所定箇所を切断して、前記素子を少なくとも1つ含みかつ一方の面に前記接着剤層を有するチップ部品を形成する工程と、
前記チップ部品を前記接着剤層の側で実装する工程と
を有する、実装方法。 - 半導体基板の一方の面上に前記接着剤層を全面塗布した後、前記接着剤層を有する側からダイシングして前記接着剤層付きの前記チップ部品を得、前記接着剤層を介して前記チップ部品を実装基板に実装する、請求項1に記載した実装方法。
- 支持基板上で前記ダイシングを行い、得られた前記接着剤層付きの前記チップ部品を前記接着剤層を介して実装基板に接着し、この状態で所定の位置にレーザー光を照射して前記実装基板上に前記チップ部品の選択転写を行う、請求項2に記載した実装方法。
- 前記レーザー光照射により、前記支持基板と前記チップ部品との界面でアブレーションを生じさせ、前記支持基板から前記チップ部品を分離する、請求項3に記載した実装方法。
- 前記レーザー光照射と同時に、前記実装基板の側から加熱を行う、請求項3に記載した実装方法。
- 前記実装基板側及び前記支持基板側の両面から前記レーザー光を照射する、請求項3に記載した実装方法。
- 前記接着剤層を熱可塑性接着剤によって形成する、請求項1に記載した実装方法。
- 前記実装基板に転写した前記チップ部品を前記実装基板上の配線に電気的に接続する、請求項1に記載した実装方法。
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