JP2004103782A - 結晶成長方法、結晶成長装置、ビーム分岐装置および表示装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】高速で結晶化が可能な結晶成長方法を提供する。
【解決手段】結晶成長方法は、第m(mは1以上の整数)および第m+1の帯状ビームを薄膜に向けて照射して、アモルファスシリコン膜201に第mおよび第m+1の第k結晶化領域202aおよび202bを形成する工程と、第mの第k結晶化領域202aから距離r(rは1回の結晶成長の長さよりも長い)離れた領域であって、第m+1の第k結晶化領域202bに一部が重なる領域に第mの帯状ビームを照射して第m+1の第k結晶化領域202bに連なる第mの第k+1結晶化領域203aをアモルファスシリコン膜201に形成する工程とを備える。
【選択図】 図5
【解決手段】結晶成長方法は、第m(mは1以上の整数)および第m+1の帯状ビームを薄膜に向けて照射して、アモルファスシリコン膜201に第mおよび第m+1の第k結晶化領域202aおよび202bを形成する工程と、第mの第k結晶化領域202aから距離r(rは1回の結晶成長の長さよりも長い)離れた領域であって、第m+1の第k結晶化領域202bに一部が重なる領域に第mの帯状ビームを照射して第m+1の第k結晶化領域202bに連なる第mの第k+1結晶化領域203aをアモルファスシリコン膜201に形成する工程とを備える。
【選択図】 図5
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は、レーザ光などのビームを用いた結晶成長方法、結晶成長装置およびビーム分岐装置、ならびにその多結晶薄膜を活性層とする薄膜トランジスタを備えた表示装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
液晶またはエレクトロルミネッセンス(EL)を応用した表示装置に用いられている薄膜トランジスタは、非晶質または多結晶のシリコンを活性層として用いる。このうち、多結晶シリコンを活性層として用いた薄膜トランジスタは、キャリア(電子)の移動度が高いため、非晶質シリコンを活性層として用いた薄膜トランジスタと比較して、多くの長所を有している。
【0003】
たとえば、画素部分にスイッチング素子を形成するだけでなく、画素の周辺領域に駆動回路を形成できる。または一部の周辺回路を1枚の基板上に形成することができる。このため、別途ドライバIC(集積回路)や駆動回路基板を表示装置に実装する必要がなくなるので、表示装置を低価格で提供することが可能となる。
【0004】
また、その他の長所として、トランジスタの寸法を微細化できるので、画素部分に形成するスイッチング素子が小さくなり、開口率を高くできる。そのため、高輝度および高精度な表示装置を提供することが可能となる。
【0005】
多結晶シリコンの薄膜の製造方法では、ガラス基板にCVD(化学気相成長法)などで非晶質シリコンの薄膜を形成した後、別途非晶質シリコンを多結晶化する工程が必要である。
【0006】
非晶質シリコンの薄膜を結晶化する工程として、温度600℃以上の高温アニール法によって行なう方法がある。この場合、高温に耐え得る高価なガラス基板を使用する必要があり、表示装置の低価格化の阻害要因となっていた。最近はレーザを用いて温度600℃以下の低温で非晶質シリコンの結晶化を行なう技術が一般化され、低温のガラス基板に多結晶シリコンの薄膜トランジスタを形成した表示装置を低価格で提供できるようになっている。
【0007】
レーザによる結晶化技術は、図15に示すように、非晶質シリコン薄膜を形成したガラス基板505を温度400℃程度に加熱する。次に、ガラス基板505を一定速度で走査しながら、長さ200mm〜400mm、幅0.2mmから1.0mm程度の線状ビーム506をガラス基板505に照射する方法が一般的である。この方法によって、結晶粒径が0.2μm以上0.5μm程度の結晶粒が形成される。このとき、レーザを照射した部分の非晶質シリコンは、厚さ方向全域にわたって溶融するのではなく、一部の非晶質領域を残して溶融することによって、レーザ照射領域全面にわたって、至るところに結晶核が発生し、シリコン薄膜最表面に向かって結晶が成長し、ランダムな方位の結晶粒が形成される。
【0008】
さらに、高性能な表示装置を得るためには、多結晶シリコンの結晶粒径を大きくする、または、結晶の方位を制御することが必要であり、単結晶シリコンに近い性能を得ることを目的として、近年、数多くの研究開発がなされている。
【0009】
その中でも、特に、特公表2000−505241には、スーパーラテラル成長と称する技術が開示されている。上述の公報に記載の方法では、スリット状のパルスレーザをシリコン薄膜に照射し、シリコン薄膜をレーザ照射領域の厚さ方向全域にわたって溶融および凝固させて結晶を行なうものである。図16は、1回のパルス照射で形成された針状結晶組織を説明する図面である。たとえば、幅が2μm〜3μmのスリット状のパルス照射によって、レーザ照射領域521が溶融し、溶融領域の境界から横方向、すなわち、ガラス基板に平行な方向(矢印522で示す方向)に結晶が成長する。溶融領域の中央部で両側から成長した結晶が衝突し、成長が終了する。この矢印522で示す方向への結晶の成長をスーパーラテラル成長と称する。
【0010】
図17は、複数回のパルス照射によるスーパーラテラル成長の形態を説明する図である。スーパーラテラル成長は、図16を用いて説明したとおり、パルスレーザを1回照射することで完了する。図17から図19で示すように、すなわち、一旦アモルファスの薄膜にビームを照射して照射領域521aを溶融させる。そしてこの部分に結晶を成長させる。次に、僅かにずらして照射領域521bを溶融させる。この部分で結晶がさらに成長する。図18で示すように、次にまた少しずらした位置にビームを照射して照射領域521cを形成する。さらに、僅かずつずらして照射領域521dおよび521eを形成することにより、結晶をさらに伸ばすことができる。すなわち、1回前のパルス照射で形成された針状結晶の一部に重複するように順次パルスレーザを照射していくと、既に成長した結晶を引き継いで、さらに長い針状の結晶が成長し、結晶の成長方向に方位の揃った長い結晶が得られるといった特徴を有する。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
上述の公報に記載したスーパーラテラル成長では、1回のパルス照射で成長する結晶の長さは各種の条件によって異なり、たとえば基板の温度を300℃とした場合において、波長が308nmのエキシマレーザを照射した場合には、結晶の長さは最も長い場合に1μm〜1.2μm程度となることが知られている。これは、たとえば参考文献としての応用物理学会結晶工学分科会第112回研究テキストpp.19〜25に記載されている。
【0012】
したがって、長い結晶を形成するためには、1回のレーザ照射で成長する結晶長さの1/2から1/3程度の送りピッチ、すなわち、0.3μmから0.6μm程度の極めて微小な送りピッチでパルス照射を繰返し行なうことになる。このため、基板面積全体にわたって結晶化するには極めて長い時間が必要であった。
【0013】
結晶化に要する時間を短縮するための方法として、たとえば特開2000−306859公報では、等間隔のスリット状光透過部を備えるマスクを用いて基板面にマスクの像を結像させる方法がある。この方法では、結晶の長さはスリット状光透過部のピッチと結像系の倍率から定まるスリット状光透過部の像のピッチとなる。また、特開2000−306859公報では、図15で示す1本の線状ビーム506を照射する方法に比べて結晶長は長くなり、多結晶シリコンは複数の結晶化領域に分割される。結晶化領域とは、結晶長のほぼ等しい結晶が結晶長の方向と垂直な方向に並んでいる領域である。結晶化領域間の移動度はあまり高くないが、1つの結晶化領域内での移動度は高い。したがって、1つの結晶化領域の寸法を少なくとも1つのトランジスタを形成できる寸法とし、1つの結晶化領域内にトランジスタを形成するようにすれば、図15で示した方法より優れた性能のトランジスタを得ることができる。
【0014】
ただし、この方法では、レーザの照射領域を結晶化し、この照射領域を基板上の次の領域に移動させて順次結晶化を繰返すことになる。このとき、基板もしくはマスクを次の照射領域へ移動するために要する時間の間は結晶化が行なわれないので、無駄な時間となる。
【0015】
上述のとおり、スーパーラテラル成長では、従来のレーザアニール法に比べて良質の結晶が形成されるが、結晶化に要する時間が長い。
【0016】
そこで、この発明は上述のような問題に鑑みてなされたものであり、この発明の1つの目的は、良質の多結晶半導体薄膜を短時間で製造することができる結晶成長方法および装置ならびにビーム分岐装置を提供することである。
【0017】
この発明の別の目的は、良質の多結晶半導体薄膜を効率よく製造すること、および多結晶半導体薄膜を活性層とする薄膜トランジスタを有する高性能な表示装置を提供することである。
【0018】
【課題を解決するための手段】
この発明に従った結晶成長方法は、第m(mは1以上の整数)および第m+1の帯状ビームを薄膜に向けて照射して、薄膜に第mおよび第m+1の第k結晶化領域を形成する工程と、第mの第k結晶化領域から距離r(rは1回の結晶成長の長さtよりも長い)離れた領域であって、第m+1の第k結晶化領域に一部が重なる領域に第mの帯状ビームを照射して第m+1の第k結晶化領域に連なる第mの第k+1結晶化領域を薄膜に形成する工程とを備える。
【0019】
このような工程を備えた結晶成長方法に従えば、第mおよび第m+1の第k結晶化領域を形成した後、1回の結晶成長の長さtよりも長い距離rだけ第mの第k結晶化領域から離れた領域に第mの第k+1結晶化領域を薄膜に形成するため、従来よりも、離れた位置に次の結晶化領域を形成することができる。その結果、従来に比べて、1つの結晶化領域から離れた領域に別の結晶化領域を形成することができ、製造時間を短くすることができる。
【0020】
また好ましくは、第k結晶化領域を形成する工程は、ビーム源から放たれたビームを分岐させて第mおよび第m+1の帯状ビームを整形する工程を含む。
【0021】
また好ましくは、mの値にかかわらず距離rは一定であり、mの値にかかわらず第mおよび第m+1の帯状ビームの形状は一定であり、複数の第k結晶化領域の並ぶ方向はkの値にかかわらず一定である。
【0022】
また好ましくは、第k結晶化領域を形成する工程および第k+1結晶化領域を形成する工程は、第1から第nの帯状ビーム群を薄膜に向けて照射する工程を含み、第1から第nの帯状ビーム群の各々は、間隔pを隔てて1方向に並んで形成されたy(yは1より大きい)個のビームを含み、第m+1の第k結晶化領域から第mの第k+1結晶化領域までの距離qは、1回の結晶成長の長さtの0.2倍以上0.8倍以下の長さである。
【0023】
また好ましくは、nは、n=p/qで示す関係式を満たすように選ばれる。
また好ましくは、第k+1結晶化領域を形成する工程は、薄膜を一定速度で移動させて薄膜に一定の周期で第mおよび第m+1の帯状ビームを照射する工程を含む。
【0024】
また好ましくは、第mおよび第m+1の帯状ビームを照射する周波数fと薄膜の移動速度sとは、s=r×fで示す関係式を満たす。
【0025】
この発明に従った結晶成長装置は、薄膜を支持する支持手段と、薄膜に第m(mは1以上の整数)および第m+1の帯状ビームを照射して結晶化する照射手段と、支持手段を照射手段に対して移動させる駆動手段と、照射手段と駆動手段とを制御する制御手段とを備える。第mおよび第m+1の帯状ビームを薄膜に向けて照射手段が照射して薄膜に第mおよび第m+1の第k結晶化領域を形成した後、支持手段を照射手段に対して距離r(rは1回の結晶成長の長さtよりも長い)だけ駆動手段が薄膜を移動させて、第mの第k結晶化領域から距離r離れた領域であって、第m+1の第k結晶化領域に一部が重なる領域に第mの帯状ビームを照射手段が照射して第m+1の第k結晶化領域に連なる第mの第k+1結晶化領域を薄膜に形成するように制御手段は駆動手段および照射手段を制御する。
【0026】
このように構成された結晶成長装置では、照射手段が帯状ビームを照射して第mおよび第m+1の第k結晶化領域を形成した後、1回の結晶成長の長さtよりも長い距離rだけ第mの第k結晶化領域から離れた領域に第mの第k+1結晶化領域を薄膜に形成するため、従来よりも、離れた位置に次の結晶化領域を形成することができる。その結果、従来に比べて、1つの結晶化領域から離れた領域に別の結晶化領域を形成することができ、製造時間を短くすることができる。
【0027】
また好ましくは、駆動手段が一定速度で照射手段に対して支持手段を移動させ、照射手段が薄膜に一定の周期でビームを照射するように制御手段は駆動手段および照射手段を制御する。
【0028】
また好ましくは、結晶成長装置は、ビームを発生させるビーム源をさらに備える。
【0029】
また好ましくは、照射手段は、複数のスリットを有するマスクを含む。マスクは、ビーム源から放たれた光を分岐させて第mおよび第m+1の帯状ビームを整形する。
【0030】
また好ましくは、マスクは、1方向に並んで形成された第1から第N(Nは2以上の整数)のスリット群を含み、第1から第Nのスリット群の各々は、所定の間隔Pで1方向に並んで形成された複数のスリットを含み、複数のスリットの各々は同一形状である。
【0031】
また好ましくは、スリット群の数Nは、N=P/Q(Qは1回の結晶成長の長さtの0.2倍以上0.8倍以下に対応するマスク上での距離)で示す関係式を満たす。
【0032】
また好ましくは、駆動手段は、支持手段を照射手段に対して一定速度で移動させる。
【0033】
この発明の別の局面に従ったビーム分岐装置は、1方向に並ぶように配置された第1から第N(Nは2以上の整数)の領域と、第1から第Nの領域の各々に形成された第1から第Nのスリット群とを備える。第1から第Nのスリット群の各々は、等しい間隔Pで1方向に並んで形成された複数のスリットを含む。第S領域(Sは1以上N−1以下の整数)とその第S領域に隣接する第S+1領域との境界部分から、第S+1領域のうち第S領域に最も近い部分に位置するスリットまでの距離はS×Qであり、Qは、1回の結晶成長の長さtの0.2倍以上0.8倍以下に対応するビーム分岐装置上での距離である。
【0034】
このように構成されたビーム分岐装置では、第S領域に形成された第Sのスリット群と、第S+1領域に形成された第S+1のスリット群とは、距離Qずつずれているため、移動量を一定とすることで所定の位置だけずれた位置にそれぞれの結晶化領域を形成することができる。
【0035】
この発明の1つの局面に従った表示装置は、複数の画素が配置される画素領域と、画素領域を取囲むように設けられ、ほぼ一定の方向に延びる多結晶により構成される外周領域とを備える。多結晶が延びる方向に沿った1つの画素の幅は、外周領域の多結晶の長さのほぼ自然数倍である。
【0036】
この発明の別の局面に従った表示装置は、複数の画素が配置される画素領域と、画素領域を取囲むように設けられ、ほぼ一定の方向に延びる多結晶により構成される外周領域とを備える。外周領域の多結晶の長さは、1つの画素の幅のほぼ自然数倍である。
【0037】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。
【0038】
(実施の形態1)
図1は、この発明の実施の形態1に従った半導体薄膜を製造する装置を示す模式図である。図1を参照して、結晶成長装置1は、ビーム源としてのビーム放射手段11と、可変減衰手段12と、ビーム整形手段13と、放射照度均一化手段14と、マスク16と、マスク像結像手段17とを備えている。
【0039】
ビーム放射手段11は、シリコンを溶融することが可能なパルス状のビームを放射する。たとえば、エキシマレーザ、YAG(イットリウム−アルミニウム−ガーネット)レーザに代表される各種固体レーザ発振器など、紫外域の波長を有する光を放射する光源によりビーム放射手段11を構成することが望ましい。この実施の形態では、波長が308nmの光を放射するエキシマレーザ発振器をビーム放射手段11として用いた。
【0040】
可変減衰手段12は、基板面を照射するビームの放射照度を所定の割合で減衰させる手段である。
【0041】
ビーム整形手段13は、ビームを予め定められた寸法に整形する。放射照度均一化手段14は、不均一であるビームの放射照度を均一にする手段である。具体的には、シリンドリカルレンズアレイとコンデンサレンズを用い、ガウシアン型放射照度分布のビームを一旦分割してマスク16の表面に再度重ね合わせて照射する。
【0042】
マスク16は、ビームを分岐して、1つ以上複数のスリット状ビームからなる第iスリット状ビーム群を形成する。ここで、iは1以上n以下の整数である。なお、本明細書において、「スリット状ビーム」とは、基板上に結像したスリット状のビーム(光)の像、またはその像をなすビーム、またはビームの光路のいずれかである。また、スリット状ビームの形状または寸法について言及するときは、その像の形状または寸法について言及するものである。
【0043】
マスク像結像手段17は、スリット状ビーム形成手段としてのマスク16によって形成されたスリット状ビームを像として基板上に結像させる手段である。具体的にはレンズなどを用いて構成する。
【0044】
また、放射方向変更手段19はビームの放射方向を変更する手段であって、たとえば、ミラーやレンズなどから構成される。配置箇所、数量に特に限定はなく、装置の光学設計、機構設計に応じて適切に配置してもよい。
【0045】
なお、本装置は基板上の任意の位置に適切かつ均一な照度のスリット状ビームを照射できればよく、上述の装置の構成例によって特定されるものではない。
【0046】
図2は、この発明の実施の形態1に従ったスリットを有するマスクの平面図である。図2を参照して、マスク16は、1方向に並ぶように配置された第1領域101A、第2領域101B、第3領域101C…第N領域101Nを有する。第1から第N領域101A〜101Nの各々には、第1から第Nのスリット群102A〜102Nが配置されている。第1から第Nのスリット群102A〜102Nの各々は、等しい間隔Pで1方向に並んで形成された複数のスリット102を含む。第S領域としての第2領域101Bと、その第2領域101Bに隣接する第S+1領域としての第3領域101Cとの境界部分から第3領域101Cのうち第2領域101Bに最も近い部分に位置するスリット102までの距離はS×Q(2×Q)である。Qは、1回の結晶成長の長さtに対応するマスク16上での距離の0.2倍以上0.8倍以下の長さである。例えば、マスク16上での長さ100mmのパターンがアモルファスシリコン薄膜201に転写されると、そのパターンの長さが20mmになるとすると、そのマスクの結像倍率は1/5である。この場合、1回の結晶成長長さをtとするとQは、0.2×5×t以上、0.8×5×t以下となる。
【0047】
マスク16は、複数のスリット102が等しい間隔Pで1方向に並んで形成された第1のスリット群102Aと、第1のスリット群102Aに隣り合って形成され、第1のスリット群102Aと同じ数のスリット102が等間隔で形成された第2のスリット群102Bとを備える。第1のスリット群102Aと第2のスリット群102Bとの間隔Dが間隔Pと異なる。
【0048】
このようなマスク16のスリット102を通過したスリット状ビームは、一定の倍率で半導体薄膜上に結像するので、スリットの形状とビームの形状は相似形状である。なお、マスク上での寸法を大文字で表わし、半導体薄膜へ照射するビームの寸法を小文字で表わす。
【0049】
図2で、A×Bは、矩形の領域であるマスクの有効領域の寸法を示す。有効領域は1回のパルス状のビーム(以下、このビームを「パルスビーム」と呼ぶ)によって照射(以下、この照射をパルス照射と呼ぶ)されるマスク上の領域である。なお、有効領域に対応する半導体薄膜上の領域を照射領域と称する。
【0050】
有効領域がN個(Nは予め定められた2以上の整数)に等分割されて第1から第Nの領域101Aから101Nが形成されている。ここでは、各々の第1から第Nの領域101Aから101Nの長さCはB/Nである。各々の第1から第Nの領域101Aから101Nに1つ以上複数本のスリット102から構成されるスリット状光透過部分としてのスリット群102A〜102Nが形成される。この実施の形態では、第i(iは1以上N以下の整数)領域に形成されたスリット状光透過部分を第iスリット群と称する。また、第iスリット群によって形成されるスリット状ビーム群を第iスリット状ビーム群と称する。各スリット102の間の距離Pは等しい。また、各スリット状光透過部分は同数のスリット102を備える。第S+1領域に対する第S+1スリット群の配置位置は、第S領域に対する第Sスリット群の位置と比較して、1回のビーム照射で形成または成長する結晶の長さの0.2倍以上0.8倍以下の長さq(図6)に対応したマスク16上での距離Qだけ右にずらされている。
【0051】
次に、この実施の形態に従って、薄膜を結晶化する方法を説明する。図3および図5は、薄膜を結晶化する方法を説明するために示すマスクの断面図である。図3を参照して、基板18上にアモルファスシリコン薄膜201を形成する。アモルファスシリコン薄膜201上にマスク16を位置決めし、このマスク16にビーム300を照射する。なお、マスク16とアモルファスシリコン薄膜201との間には、図1で示すようなマスク像結像手段17と放射方向変更手段19が存在するが、図3ではこれらを省略している。
【0052】
ビーム300はマスク16により複数の帯状ビーム301Aから301Nに分割される。この帯状ビーム301Aから301Nがアモルファスシリコン薄膜201に照射されて、照射された領域が溶融する。溶融後この領域が凝固することにより、結晶化領域が形成される。たとえば、第mの第k結晶化領域202a、第m+1の第k結晶化領域202b、第m+2の第k結晶化領域202c、…、第m+nの第k結晶化領域202nが形成される。
【0053】
図4は、図3で示す第mの第k結晶化領域202aを拡大して示す図である。図4を参照して、アモルファスシリコン薄膜201に帯状ビーム301Aが照射されると、その照射された領域が溶融する。溶融後この領域が矢印222で示す方向に凝固する。このとき、1回の結晶の成長長さはtで示される。
【0054】
図5を参照して、第mの第k結晶化領域202aから距離r(rは1回の結晶成長の長さtよりも長い)離れた領域であって、第m+1の第k結晶化領域202bに一部が重なる領域に第mの帯状ビームとしての帯状ビーム301Aを照射して第m+1の第k結晶化領域202bに連なる第mの第k+1結晶化領域203aをアモルファスシリコン薄膜201に形成する。他の領域でも、先に形成した結晶化領域の一部に重なるように別の結晶化領域を形成する。具体的には、第m+1の第k+1結晶化領域203b、第m+2の第k+1結晶化領域203c、…、第m+nの第k+1結晶化領域203nを形成する。
【0055】
図6は、図5で示す第mの第k+1結晶化領域203aを拡大して示す図である。図6を参照して、帯状ビーム301Aが照射されると、それが照射された部分が溶融する。このとき、帯状ビーム301Aは第m+1の第k結晶化領域202bにも覆い被さるので、第m+1の第k結晶化領域202bから結晶が伸びる。そのため、図4で示す工程で製造した結晶がさらに長くなる。このような工程を繰返すことにより、結晶を成長させることができる。
【0056】
すなわち、この発明に従った結晶成長方法は、第m(mは1以上の整数)および第m+1の帯状ビーム301Aおよび301Bをアモルファスシリコン薄膜201に向けて照射して、アモルファスシリコン薄膜201に第mおよび第m+1の第k結晶化領域202aおよび202bを形成する工程と、第mの第k結晶化領域から距離r(rは1回の結晶成長の長さtよりも長い)離れた領域であって、第m+1の第k結晶化領域202bに一部が重なる領域に第mの帯状ビーム301Aを照射して第m+1の第k結晶化領域202bに連なる第mの第k+1結晶化領域203aをアモルファスシリコン薄膜201に形成する工程とを有する。
【0057】
結晶成長装置1は、アモルファスシリコン薄膜201を支持する支持手段21と、アモルファスシリコン薄膜201に第m(mは1以上の整数)および第m+1の帯状ビーム301Aおよび301Bを照射して結晶化する照射手段10と、支持手段21を照射手段10に対して移動させる駆動手段9と、照射手段10と駆動手段9とを制御する制御手段20とを備える。照射手段10は、ビーム整形手段13および放射照度均一化手段14とを含む。第mおよび第m+1の帯状ビーム301Aおよび301Bをアモルファスシリコン薄膜201に向けて照射手段10が照射してアモルファスシリコン薄膜201に第mおよび第m+1の第k結晶化領域202aおよび202bを形成した後、支持手段21を照射手段10に対して距離r(rは1回の結晶成長の長さtよりも長い)だけ駆動手段9が支持手段を移動させて、第mの第k結晶化領域202aから距離rだけ離れた領域であって、第m+1の第k結晶化領域202bに一部が重なる領域に第mの帯状ビーム301Aを照射手段10が照射して第m+1の第k結晶化領域202bに連なる第mの第k+1結晶化領域203aをアモルファスシリコン薄膜201に形成するように駆動手段9および照射手段10を制御手段20が制御する。
【0058】
第k結晶化領域202aから202nを形成する工程および第k+1結晶化領域203aから203nを形成する工程は、第1から第nの帯状ビーム群を構成する帯状ビーム301Aから301Nを薄膜に向けて照射する工程を含み、第1から第nの帯状ビーム群の各々は、間隔pを隔てて1方向に並んで形成されたy(yは1より大きい)個のビームを含み、第m+1の第k結晶化領域202bから第mの第k+1結晶化領域203aまでの距離qは、1回の結晶成長の長さtの0.2倍以上0.8倍以下の長さである。
【0059】
図7は、この発明に従った照射領域の移動の軌跡を説明するための図である。図7を参照して、この実施の形態に従ったステップを説明する。
【0060】
ステップ1
マスクの照射領域4を基板18の左上端に配置する。ステップ2へ進む。
【0061】
ステップ2
照射領域4が基板18の左端にあるならば、照射領域4が基板18の右端に達するまで、帯状領域を逆方向に結晶化する工程を実施する。帯状領域を逆方向に結晶化する工程とは、照射領域4を右方向(矢印4aで示す方向)に移動させながら、照射領域4の移動の軌跡である幅aの帯状領域の結晶化を行なう工程である。ステップ3へ進む。
【0062】
ステップ3
照射領域4が基板18の右端にあるならば、照射領域4が基板18の左端に達するまで帯状領域を順方向に結晶化する工程を実施する。帯状領域を順方向に結晶化する工程は、照射領域を左へ移動させながら、照射領域4の移動の軌跡である幅aの帯状領域の結晶化を行なう工程である。ステップ4へ進む。
【0063】
ステップ4
照射領域4を下へ距離aだけ移動させる。ステップ5へ進む。
【0064】
ステップ5
照射領域4が基板18の下端より下にあるならば、ステップを終了する。そうでない場合には、ステップ2へ進む。
【0065】
以上、ステップ1から5を順に繰返すことにより、基板18表面全体に形成された薄膜を結晶化することができる。なお、図7においては、基板18を停止させ、照射領域4を移動させる構成として説明したが、基板18と照射領域4とは相対的に移動すればよい。基板18または照射領域4のどちらか一方、または両方を移動させてもよい。
【0066】
次に、帯状領域を順方向に結晶化する工程について説明する。図8は、順方向帯状結晶化領域において帯状領域に結晶化領域が形成されていく様子を示す図である。図8を参照して、まず第1結晶化工程において、第1スリット状ビーム群の照射を行なう。第1スリット状ビーム群は結晶化領域1aを形成する。次に、照射領域を3aで示す左方向に、等分割領域の長さCに対応する基板上の長さだけ移動させる。第2結晶化工程において、第2スリット状ビーム群を照射する。第2スリット状ビーム群は、結晶化領域1bを形成する。結晶化領域1bは、結晶化領域1aと比較して、基板上でqだけ右にずれた位置であるため、第1スリット状ビーム群によって成長した結晶を引き継いで結晶成長する。以後、第2結晶化工程と同様に第3、第4、…、第n結晶化工程を順次実施することにより、結晶化領域を形成する。
【0067】
この実施の形態では、マスクに距離Cずつずらして左から右に第1スリット状光透過部分から第Nスリット状光透過部分までのN個のスリット状光透過部分を並んで形成している。したがって、このマスクを用いることにより、距離c(マスク16上の距離Cに対応するアモルファスシリコン薄膜201上での距離)ずつずれて左から右に並ぶN個の基板上の領域について、それぞれ第1結晶化工程から第n結晶化工程を同時に実施することができる。照射領域は距離cずつ右から左に照射領域を移動しながら第1結晶化工程から第n結晶化工程を実施するので、全体としては流れ作業となり、照射領域が通過した後の軌跡である帯状領域は第1結晶化工程から第n結晶化工程までを順次実施したことになり、結晶化領域が形成されることになる。
【0068】
次に、帯状領域を逆方向に結晶化する工程を説明する。帯状領域を逆方向に結晶化する工程は、照射領域の移動方向が左から右であること、第n、第n−1、…、2、1結晶化工程の順に結晶化工程を実施すること、結晶の成長方向が右から左であることを除いて、帯状領域を順方向に結晶化する工程と同一であり、帯状領域を順方向に結晶化する工程と同様の結晶化領域の形成が可能である。
【0069】
また、帯状領域を順方向に結晶化する工程と帯状領域を逆方向に結晶化する工程とにおいて、パルス照射の周波数が一定である場合には、分割された第1から第Nの領域101Aから101Nの長さCに対応する基板上の長さc(=パルス照射間の移動量)とパルス照射の周波数fから求まる一定速度c×fによって基板または照射領域を相対移動させる。これにより、図2で示すスリット状透過部の形状と相似であるスリット状ビームを周波数fで周期的にパルス照射してもよい。この場合、一定速度で基板または照射領域を相対移動させながらパルス照射できるので、基板または照射領域を所定の位置に停止させてからパルス照射するより短時間で基板または照射領域を移動させることができる。また、速度や周波数を変化させながらパルス照射することにより、パルス照射をする位置の精度を維持しやすく、かつ移動に用いるエネルギや装置の消耗を少なくすることができる。
【0070】
また、スリット状光透過部はピッチがPであり、それぞれの第1から第Nの領域のピッチ方向の長さはCであるので、等分割領域に形成できるスリットの数Y≦C/P=c/pである。したがって、YをY≦C/Pを満たす最大の整数とした場合、最も多くの結晶化領域を形成することができる。また、Yを定めてから、式C=Y×PによってCを求めてもよい。さらに、CとNから式B=C×NによってBを求めてもよい。その場合、一定速度sは、c×f=p×Y×fとなる。
【0071】
特開2000−306859公報に記載の方法と実施の形態1の方法との処理速度を比較する。パルス照射してから次のパルス照射をするまでの時間は、基板もしくは照射領域を次のパルス照射をする位置まで移動させる時間と、ビーム放射手段が次のパルス照射が可能になるまでの時間とのいずれかの長い方により決定される。特開2000−306859公報に記載の方法の場合、距離qだけ移動してパルス照射する工程を繰返して1つの照射領域を結晶化した後に、次の照射領域まで距離b−qだけ移動する工程を実施する。距離qだけ移動してパルス照射するときは、移動する距離が極めて短いため、移動はすぐに完了する。したがって、パルス照射してから次のパルス照射するまでの時間は、ビーム放射手段が次のパルス照射が可能になるまでの時間と等しい。逆に、次の照射領域まで移動するときは、移動する距離が極めて長いため、移動に時間がかかる。その間、ビーム放射手段は待っている状態、すなわちビームを放射しない状態となる。
【0072】
それに対して、上述の実施の形態1において、ビーム放射手段が次のパルス照射が可能になるまでの時間の間に移動できる最長の長さよりも短く距離cを設定すれば、ビーム放射手段は可能とする最も短い周期でパルスビームを放射することができる。しかも、特開2000−306859公報に記載の方法のように次の照射領域まで移動する必要がないので、結果として特開2000−306859公報における次の照射領域まで移動するために必要な時間分だけ処理時間が短いことになる。
【0073】
また、本発明の実施の形態において、結晶の長さをスリット状ビームのピッチpと同じとするためには、1つの結晶化領域についてn=p/q(回)パルス照射する必要がある。そのためには、スリット状光透過部分の数またはスリット状ビーム群の数をn(個)としてもよい。
【0074】
さらに、照射領域全体の長さがbであったならば、パルス照射間の移動量c=b/n=b×q/pとし、等分割領域の長さCを上述のcに対応するマスク上の距離とすればよい。この場合、1つのスリット状ビーム群に含まれるスリット状ビームの数y=c/p=b×q/p2となる。
【0075】
さらに、一定速度で照射領域または基板を移動しながら、一定の周波数fでパルス照射する場合、一定速度s=c×f=b×f×q/pとなる。
【0076】
(実施の形態2)
本発明の実施にあたっては、実施の形態1のように、基板全面を結晶化させる場合の他にも、種々の実施例が可能である。
【0077】
特に、本発明によって製造したガラス基板上の多結晶シリコン薄膜を用いて、液晶表示装置を形成する場合に特段の効果が得られた。基板上に形成された表示用素子のレイアウトを図9に示す。
【0078】
図9は、1枚のガラス基板から合計9個の表示用素子を一度に形成するレイアウトを示している。アクティブマトリックス型液晶表示用素子などの表示用素子のレイアウトは、通常、画素領域31と、その周辺部分(額縁領域32)に大別される。
【0079】
画素領域31には画素と液晶を駆動するための薄膜トランジスタとが配置され、額縁領域32には画素駆動用のドライバが配置される。従来の表示用素子では、ドライバをシリコンウェハに形成し、このシリコンウェハをチップ状に切断したものを液晶基板に実装し電気的に接続していた。この方法は別途チップを作製する工程や、実装する工程を含むため、工程が多く製造時間が長い、および、製造費用(工賃および材料費)が高い、接続が断線し故障することがある、チップが突起した形状となる、寸法が大きいなどの欠点があった。
【0080】
そこで、これらのドライバ回路を液晶ガラス基板に予め作り込んでおく方法が提案されている。また、この際ドライバ回路だけでなく、従来外付けであった他の信号処理回路(画像処理回路、メモリ回路、コントローラ回路、電源回路など)をも液晶基板上に作り込むことが可能である。ただし、この場合、額縁領域32にはドライバ回路などの高速度または高電流駆動または小型の回路を作り込む必要があるため、額縁領域32に形成されるシリコン薄膜にはキャリアの移動度の高いものが要求される。具体的には、キャリアの移動度が100V/sm・s〜200V/sm・s以上、望ましくは500V/sm・s程度のものが要求される。
【0081】
本発明の実施の形態2では、額縁領域32を結晶化し、キャリアの移動度の高いシリコンによる高速なトランジスタを形成することによって、画素駆動または信号処理を高速化したものである。なお、画素領域31は、高い移動度を要求されないため、スーパーラテラル成長による再結晶化をせず、非晶質シリコンまたは方位の揃っていない多結晶シリコンのままとする。本発明に用いるマスクは、実施の形態1と同様の構造で、図1および2で示される。ただし、実施の形態2の場合、マスク上での長さAのスリット状光透過部によって形成されるスリット状ビームの長さaを図9で示す額縁領域32の幅αと等しくするか、またはαよりaを広く設定する。このような設定を用いて、1列に並んだ額縁領域32に対し順方向帯状領域結晶化工程または逆方向帯状領域結晶化工程を実施することにより、1行に並んだ一連の額縁領域32を形成することが可能である。
【0082】
照射領域の移動のフローを図9を用いて説明する。
ステップ1
照射領域4を図中の左上の位置420に配置する。ステップ2へ進む。
【0083】
ステップ2
照射領域4が右端に達するまで逆方向帯状領域結晶化工程を実施し、一連の額縁領域32の結晶化をする。ステップ3へ進む。
【0084】
ステップ3
そのすぐ下の一連の額縁領域32の行へ照射領域4を矢印41で示すように移動させる。ステップ4へ進む。
【0085】
ステップ4
照射領域4が左端に達するまで順方向帯状領域結晶化工程を実施し、一連の額縁領域32の行を結晶化する。ステップ5へ進む。
【0086】
ステップ5
最下行の額縁領域32を結晶化していたらステップ7へ進む。そうでない場合はステップ6へ進む。
【0087】
ステップ6
そのすぐ下の一連の額縁領域32の行へ照射領域4を矢印42で示すように移動させる。ステップ2へ進む。
【0088】
ステップ7
すべて額縁領域32を結晶化していたら、終了する。そうでない場合はステップ8へ進む。
【0089】
ステップ8
基板18または照射領域4を90°回転させる。ステップ1へ進む。
【0090】
上述のフローにより、高い移動度が要求される額縁領域32を結晶化し、高い移動度が要求されない画素領域31を結晶化しないため、基板18全面を結晶化させる場合と比較して、製造時間を短縮することができる。通常、額縁状の領域は全基板面積の10から20%程度しかないため、実施の形態2のように画素領域を結晶化しないことにより、大幅に結晶化時間を短縮できる。
【0091】
なお、この実施の形態では、画素領域31の四方にある額縁領域32を結晶化しているが、四方にある4つの額縁領域32のうち1つ以上の額縁領域32について、その全部または一部を結晶化するだけでも、かなりの効果がある。したがって、画素領域31の四方にあるすべての額縁領域32を結晶化しなければならないわけではない。
【0092】
また、スリット状光透過ビームの長さaを図9で示す額縁領域32の幅αと等しくまたは広く設定し、ビーム照射の照射領域の移動のフローを用いることによって不要なビーム照射を行なわず、かつビーム照射の照射領域を移動する距離を短くすることが可能である。ひいては、短時間かつ省エネルギで結晶化を行なうことができる。
【0093】
また、この実施の形態2により結晶化された結晶化領域の詳細を図10に示す。
【0094】
図10を参照して、この実施の形態に従って結晶化を行なうと、結晶の方位が額縁領域32の長手方向に揃った長い多結晶210が得られる。ここで、画素領域31は液晶の画素領域であり、その周辺に額縁領域32が配置されていることを示している。また、画素領域31に記載した方眼状の線は、画素と画素の境界線を示している。
【0095】
特開2000−243968、特開2000−243969、特開2000−243970では、異方性を有する結晶の方向とトランジスタのゲート長を規定する技術が開示されている。ところが、これらの公報に記載の技術では、ゲート長方向に多数の結晶を含むものである。
【0096】
本発明において、スリット状ビームのピッチpは結晶化領域のピッチに等しい。また、この実施の形態において、帯状領域は画素領域の周囲に沿って形成されているので、結晶化領域と結晶化領域に隣接する画素領域との境界線の方向と結晶化領域における長結晶の方位とは等しい。したがって、スリット状ビームのピッチpと画素のピッチを合わせることによって、各画素列と各結晶化領域を1対1に対応させることができる。図10は、スリット状ビームのピッチpと画素のピッチを合わせて結晶化した場合における画素と結晶化領域との一致を示した詳細図である。図10の状態では、各画素列(図10において上下方向に連なる一連の画素)に対して各結晶化領域が1対1に対応するので、1つの画素列に対応するトランジスタを対応する1つの結晶領域に形成することができる。
【0097】
額縁領域32には画素を駆動するドライバトランジスタやその他の用途のトランジスタを配置することが望まれるが、その場合、トランジスタに要求される能力はさまざまなである。高速性を要求されるトランジスタは、そのデバイスサイズが小さいことが要求されるが、画素駆動などに用いるために大きな電流駆動能力が必要とされるトランジスタはそのチャネル幅が広いことが要求される。
【0098】
画素ピッチは液晶基板によりさまざまなであるが、概ね10μmから100nmの範囲で設計する。一方、成形するトランジスタの幅は、数十から数百μが要求され、かつトランジスタを各画素列ごとに配置する必要がある。
【0099】
この実施の形態2によれば、チャネル幅のトランジスタであっても、チャネル方向(電流の流れる方向)を額縁領域32の長手方向に設定することで任意のチャネル幅のトランジスタを容易に形成することができる。かつ、トランジスタはチャネルの方向(電流が流れる方向)が移動度の高い方向と一致しているため、処理が高速なトランジスタを得ることができる。図10で示した2つのトランジスタ25は、それぞれ、チャネル幅の狭いトランジスタおよびチャネル幅の広いトランジスタである。
【0100】
なお、他の例として、図11で示すように、額縁領域32に形成された結晶化領域の幅を、画素ピッチの2倍に設定することも可能である。この場合であっても、上述の図10で示した例と同様の効果が得られる。図11で示したトランジスタでは、2つの画素列と1つの結晶化領域とを組として、トランジスタの配置設計を行なうことができ、2つの画素列に対応する結晶化領域内に高速なトランジスタを形成することができる。そのため、図10と比較して、より自由に設計をすることができる。
【0101】
また、図12のように、3本の画素列の幅で結晶化領域を設定することも可能である。この場合、額縁領域32形成した結晶化領域の幅を画素ピッチの2倍と設定した場合と同様の効果が得られ、より自由に設計をすることができる。
【0102】
さらに、図13および図14で示したように、1本の画素列の幅に複数の結晶化領域を設定することも可能であり、各画素列に対する高速かつ任意のチャネル幅を有するトランジスタを形成できる。すなわち、少なくとも結晶化領域のピッチを、画素のピッチの整数倍または整数分の1となるように結晶化領域を形成すれば、各画素列に対応する高速かつ任意のチャネル幅を有するトランジスタを容易に形成できる。
【0103】
図13および14の表示装置600は、複数の画素31aが配置される画素領域としての画素領域31と、画素領域31を取囲むように設けられ、ほぼ一定の方向に延びる多結晶210により構成される外周領域としての額縁領域32とを備える。多結晶210が延びる方向に沿った1つの画素の幅Gは、額縁領域32の多結晶210の長さJのほぼ自然数倍である。
【0104】
図10から12の表示装置600は、複数の画素31aが配置される画素領域31と、画素領域31を取囲むように設けられ、ほぼ一定の方向に延びる多結晶210により構成される外周領域としての額縁領域32とを備える。額縁領域32の多結晶210の長さJは、1つの画素31aの幅Gのほぼ自然数倍である。
【0105】
次に、従来の結晶化方法と本発明による結晶化方法とによる結晶化時間について具体的に説明する。
【0106】
その前提条件として、種々の製造方法に対し、共通する製造条件を下記のとおり統一する。
【0107】
基板寸法:320mm×400mm
ビーム照射手段におけるビームの照射周波数f:300Hz
スーパーラテラル成長によるパルス照射ごとの送りピッチq:0.5μm
まず、1つのスリット状ビームを用いて基板面全面を結晶化するために要する時間を算出する。
【0108】
図15は、従来の単一のスリット状ビームによる多結晶半導体薄膜の製造方法を説明するための図面である。図15においては基板の短辺を一括照射できる1本のスリット状ビームをパルス照射しながら、基板が一定速度で移動する構成とした。
【0109】
(基板の送り速度s)=(送りピッチq)×(ビームの照射周波数f)
=0.0005×300
=0.15mm/secとなる。したがって、
(基板全面を結晶化するために用する時間)
=(基板長さ/送り速度s)=400/0.15=2667秒となる。
【0110】
次に、特開2000−306859公報に記載の方法による結晶化方法によって基板面全面を結晶化するために要する時間を算出する。上記公報では、等しいピッチでスリットが形成されたマスクを用いている。この場合、上述の公報に記載のとおり、基板面全面をビーム照射領域ごとに結晶化を完了させてから、次の照射へ照射領域を移動する。各種の製造条件を次のとおり定める。
【0111】
スーパーラテラル成長による針状結晶の長さp:50μm
(=基板面におけるスリット状ビームのピッチ)
マスク像の結像倍率:1/5
照射領域の面積:20mm×20mm
マスク面での有効領域の面積:100mm×100mm
従来技術における1つの照射領域に必要とするパルス照射回数nは
(1つの照射領域に対するパルス照射の回数n)=(針状結晶の長さp)/(送りピッチq)=0.05×0.0005
=100(回)
1つの照射領域の結晶化に要する時間tは、
(1つの照射領域を結晶化する時間)
=(1つの照射時間に対するパルス照射の回数n)/(ビームの照射周波数f)=100/300
=0.333(秒)
隣接する照射領域への移動は、たとえば基板を移動させることによって行なうが、移動と基板を静止させるのに要する時間は、合計0.3秒程度必要である。
【0112】
前述のとおり基板寸法は320mm×400mmであるから、(320/20)×(400/20)=320個の照射領域を順に結晶化することになる。
【0113】
したがって、(基板全面を結晶化するために要する時間)
={(1つの照射領域の結晶化する時間)+(隣接する照射領域への移動に要する時間)}×(照射領域の数)=(0.333+0.3)×320=203秒
となる。
【0114】
次に、本発明の実施の形態1による結晶化方法について基板全面を結晶化するために要する時間を算出する。上記公報に記載の従来技術と同様、結晶化時間算出条件と製造条件は以下のとおりでする。
【0115】
スーパーラテラル成長による針状結晶の長さp:50μm
(基板面におけるスリット状ビームのピッチ)
マスクの結像倍率:1/5
照射領域の面積:20mm×20mm
(マスク面での有効領域:100mm×100mm)
図7における幅a(=20mm)の帯状領域を結晶化するための基板の移動速度sは、
s=c×f=b/n×f=b×f×q/p
=20×300×0.0005/0.05=60(mm/sec)となる。
【0116】
基板全面を結晶化するためには、1つの帯状領域を結晶化した後、隣接する帯状領域に移動し、同様の工程を繰返す。隣接する帯状領域への移動は、たとえば基板を移動させることによって行なうが、基板を移動させてかつ停止させるのに必要な時間は、従来と同様に0.3秒程度必要である。
【0117】
前述のとおり基板寸法は320mm×400mmであるから、320/20=16個の帯状領域を順に結晶化することになる。
【0118】
したがって、(基板全面を結晶化するために要する時間)={(20mm幅の帯状領域の結晶化に要する時間)+(隣接帯状領域への移動時間)}×(帯状領域数)で表わされる。長さ400mmの帯状領域を結晶化するためには
400+b−c=400+20×(1−0.0005/0.05)=419.9の距離を移動しながらビーム照射しなければならないので、基板全面を結晶化するために要する時間は
(419.9/60+0.3)×16=117秒となる。したがって、特開2000−306859号に記載の方法に比べて約42%もの結晶化時間の短縮化が可能になる。
【0119】
さらに、スーパーラテラル成長による針状結晶の長さを20μmとすると、この時間短縮効果は一層顕著になる。各種の製造条件を前述のとおりとし、同様の計算を行なうと、特開2000−306859に記載の方法では、(0.133+0.3)×320=139秒である。
【0120】
本発明による結晶化方法による場合、
(419.75/150+0.3)×16=50秒
となり、約64%もの結晶化時間の短縮が可能になる。
【0121】
なお、この発明の実施の形態によれば、マスクの光透過部の形状を矩形のスリットとしたが、形状はこれに限定されることなく、メッシュ形状、鋸歯形状、波状などの種々の形状が採用できる。
【0122】
【発明の効果】
この発明の結晶成長方法に従えば、第mおよび第m+1の第k結晶化領域を形成した後、1回の結晶成長の長さtよりも長い距離rだけ第mの第k結晶化領域から離れた領域に第mの第k+1結晶化領域を薄膜に形成するため、従来よりも離れた位置に次の結晶化領域を形成することができる。その結果、従来に比べて帯状ビームの移動時間を短くすることができ、結晶質薄膜の製造時間を短くすることができる。また、移動量を大きくすることで、各領域間で各工程を実施する時間をずらしながら順次結晶化することができる。これは、結晶化工程の流れ作業化である。つまり単純な工程の周期的繰返しによって広い領域の結晶化を均一かつ短時間で行なうことができる(請求項1、2、8、10および11)。
【0123】
また、この発明に従えば、帯状ビームの移動距離rと帯状ビームの形状が一定であるため、規則正しいパターンで結晶化領域を形成することができる(請求項3および12)。
【0124】
また、この発明では、第1から第nの帯状ビーム群の各々は間隔pを隔てて1方向に並んで形成されたy個のビームを含み、第m+1の第k結晶化領域から第mの第k+1結晶化領域までの距離qは1回の結晶成長の長さtの0.2倍以上0.8倍以下の長さであるため、第1から第nの帯状ビーム群を薄膜に照射した後、所定の距離qだけずれた位置に次のビームを照射することで帯状ビーム群を用いて複数の結晶化領域を短時間でかつ正確に形成することができる(請求項4および13)。
【0125】
また、この発明においてnがp/qを満たせば最も効率よく結晶化領域を製造することができる(請求項5)。
【0126】
また、薄膜を一定速度sで移動させて薄膜に一定周期fで第mおよび第m+1の帯状ビームを照射することで第mおよび第m+1の帯状ビームの移動方向に結晶化領域が並んだ結晶質薄膜を短時間で効率よく製造することができる(請求項6、7、9および14)。
【0127】
この発明に従ったビーム分岐装置では、第S領域とその第S領域に隣接する第S+1領域との境界から、第S+1領域のうち第S領域に最も近い部分に位置するスリットまでの距離はS×Qであり、Qは、1回の結晶成長の長さの0.2倍以上0.8倍以下に対応するビーム分岐装置上で距離であるため、第S領域および第S+1領域を介してビームを薄膜に照射した後、所定の距離だけビーム照射装置を移動させて薄膜にビームを照射すれば、先に形成された結晶化領域に重なるように次の結晶化領域が形成される。その結果、ビーム照射装置の移動距離を大きくすることができ、短時間で薄膜を製造することができる(請求項15)。
【0128】
この発明に従った表示装置では、多結晶が延びる方向に沿った1つの画素の幅は外周領域の多結晶の長さのほぼ自然数倍であるため、特定の数、連続して形成された画素列からなる画素列群に対してその画素列群に対応するトランジスタを形成できるので設計が容易となる。また簡素な構造となる(請求項16)。
【0129】
この発明に従った表示装置では、外周領域の多結晶の長さは多結晶が延びる方向に沿った1つの画素の幅のほぼ自然数倍であるため1つの画素列に対してその画素列に対応するトランジスタを形成できるため設計が容易である。また簡素な構造となる(請求項17)。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施の形態1に従った半導体薄膜を製造する装置を示す模式図である。
【図2】この発明の実施の形態1に従ったスリットを有するマスクの平面図である。
【図3】薄膜を結晶化する方法を説明するために示すマスクの断面図である。
【図4】図3で示す第mの第k結晶化領域202aを拡大して示す図である。
【図5】薄膜を結晶化する方法を説明するために示すマスクの断面図である。
【図6】図5で示す第mの第k+1結晶化領域203aを拡大して示す図である。
【図7】この発明に従った照射領域の移動の軌跡を説明するための図である。
【図8】順方向帯状結晶化領域において帯状領域に結晶化領域が形成されていく様子を示す図である。
【図9】1枚のガラス基板から合計9個の表示用素子を一度に形成するレイアウトを示す。
【図10】実施の形態2により結晶化された結晶化領域を詳細に示す平面図である。
【図11】実施の形態2により結晶化された結晶化領域を詳細に示す平面図である。
【図12】実施の形態2により結晶化された結晶化領域を詳細に示す平面図である。
【図13】実施の形態2により結晶化された結晶化領域を詳細に示す平面図である。
【図14】実施の形態2により結晶化された結晶化領域を詳細に示す平面図である。
【図15】従来のレーザにより結晶化技術を示す模式図である。
【図16】1回のパルス照射で形成された針状結晶組織を説明する図である。
【図17】複数回のパルス照射によるスーパーラテラル成長の形態を説明する図である。
【図18】複数回のパルス照射によるスーパーラテラル成長の形態を説明する図である。
【図19】複数回のパルス照射によるスーパーラテラル成長の形態を説明する図である。
【符号の説明】
1 製造装置、9 駆動手段、10 照射手段、16 マスク、18 基板、20 制御手段、21 支持手段、31 画素エリア、31a 画素、32 額縁領域、101A 第1領域、101B 第2領域、101C 第3領域、101N 第N領域、102A 第1のスリット群、102B 第2のスリット群、102C 第3のスリット群、102N 第Nのスリット群、102 スリット、201 アモルファスシリコン膜、202a 第mの第k結晶化領域、202b 第m+1の第k結晶化領域、202c 第m+2の第k結晶化領域、202n 第m+nの第k結晶化領域、203a 第mの第k+1結晶化領域、203b 第m+1の第k+1結晶化領域、203c 第m+2の第k+1結晶化領域、203n 第m+nの第k+1結晶化領域、300 ビーム、301A,301B,301C,301N 帯状ビーム。
【発明の属する技術分野】
この発明は、レーザ光などのビームを用いた結晶成長方法、結晶成長装置およびビーム分岐装置、ならびにその多結晶薄膜を活性層とする薄膜トランジスタを備えた表示装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
液晶またはエレクトロルミネッセンス(EL)を応用した表示装置に用いられている薄膜トランジスタは、非晶質または多結晶のシリコンを活性層として用いる。このうち、多結晶シリコンを活性層として用いた薄膜トランジスタは、キャリア(電子)の移動度が高いため、非晶質シリコンを活性層として用いた薄膜トランジスタと比較して、多くの長所を有している。
【0003】
たとえば、画素部分にスイッチング素子を形成するだけでなく、画素の周辺領域に駆動回路を形成できる。または一部の周辺回路を1枚の基板上に形成することができる。このため、別途ドライバIC(集積回路)や駆動回路基板を表示装置に実装する必要がなくなるので、表示装置を低価格で提供することが可能となる。
【0004】
また、その他の長所として、トランジスタの寸法を微細化できるので、画素部分に形成するスイッチング素子が小さくなり、開口率を高くできる。そのため、高輝度および高精度な表示装置を提供することが可能となる。
【0005】
多結晶シリコンの薄膜の製造方法では、ガラス基板にCVD(化学気相成長法)などで非晶質シリコンの薄膜を形成した後、別途非晶質シリコンを多結晶化する工程が必要である。
【0006】
非晶質シリコンの薄膜を結晶化する工程として、温度600℃以上の高温アニール法によって行なう方法がある。この場合、高温に耐え得る高価なガラス基板を使用する必要があり、表示装置の低価格化の阻害要因となっていた。最近はレーザを用いて温度600℃以下の低温で非晶質シリコンの結晶化を行なう技術が一般化され、低温のガラス基板に多結晶シリコンの薄膜トランジスタを形成した表示装置を低価格で提供できるようになっている。
【0007】
レーザによる結晶化技術は、図15に示すように、非晶質シリコン薄膜を形成したガラス基板505を温度400℃程度に加熱する。次に、ガラス基板505を一定速度で走査しながら、長さ200mm〜400mm、幅0.2mmから1.0mm程度の線状ビーム506をガラス基板505に照射する方法が一般的である。この方法によって、結晶粒径が0.2μm以上0.5μm程度の結晶粒が形成される。このとき、レーザを照射した部分の非晶質シリコンは、厚さ方向全域にわたって溶融するのではなく、一部の非晶質領域を残して溶融することによって、レーザ照射領域全面にわたって、至るところに結晶核が発生し、シリコン薄膜最表面に向かって結晶が成長し、ランダムな方位の結晶粒が形成される。
【0008】
さらに、高性能な表示装置を得るためには、多結晶シリコンの結晶粒径を大きくする、または、結晶の方位を制御することが必要であり、単結晶シリコンに近い性能を得ることを目的として、近年、数多くの研究開発がなされている。
【0009】
その中でも、特に、特公表2000−505241には、スーパーラテラル成長と称する技術が開示されている。上述の公報に記載の方法では、スリット状のパルスレーザをシリコン薄膜に照射し、シリコン薄膜をレーザ照射領域の厚さ方向全域にわたって溶融および凝固させて結晶を行なうものである。図16は、1回のパルス照射で形成された針状結晶組織を説明する図面である。たとえば、幅が2μm〜3μmのスリット状のパルス照射によって、レーザ照射領域521が溶融し、溶融領域の境界から横方向、すなわち、ガラス基板に平行な方向(矢印522で示す方向)に結晶が成長する。溶融領域の中央部で両側から成長した結晶が衝突し、成長が終了する。この矢印522で示す方向への結晶の成長をスーパーラテラル成長と称する。
【0010】
図17は、複数回のパルス照射によるスーパーラテラル成長の形態を説明する図である。スーパーラテラル成長は、図16を用いて説明したとおり、パルスレーザを1回照射することで完了する。図17から図19で示すように、すなわち、一旦アモルファスの薄膜にビームを照射して照射領域521aを溶融させる。そしてこの部分に結晶を成長させる。次に、僅かにずらして照射領域521bを溶融させる。この部分で結晶がさらに成長する。図18で示すように、次にまた少しずらした位置にビームを照射して照射領域521cを形成する。さらに、僅かずつずらして照射領域521dおよび521eを形成することにより、結晶をさらに伸ばすことができる。すなわち、1回前のパルス照射で形成された針状結晶の一部に重複するように順次パルスレーザを照射していくと、既に成長した結晶を引き継いで、さらに長い針状の結晶が成長し、結晶の成長方向に方位の揃った長い結晶が得られるといった特徴を有する。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
上述の公報に記載したスーパーラテラル成長では、1回のパルス照射で成長する結晶の長さは各種の条件によって異なり、たとえば基板の温度を300℃とした場合において、波長が308nmのエキシマレーザを照射した場合には、結晶の長さは最も長い場合に1μm〜1.2μm程度となることが知られている。これは、たとえば参考文献としての応用物理学会結晶工学分科会第112回研究テキストpp.19〜25に記載されている。
【0012】
したがって、長い結晶を形成するためには、1回のレーザ照射で成長する結晶長さの1/2から1/3程度の送りピッチ、すなわち、0.3μmから0.6μm程度の極めて微小な送りピッチでパルス照射を繰返し行なうことになる。このため、基板面積全体にわたって結晶化するには極めて長い時間が必要であった。
【0013】
結晶化に要する時間を短縮するための方法として、たとえば特開2000−306859公報では、等間隔のスリット状光透過部を備えるマスクを用いて基板面にマスクの像を結像させる方法がある。この方法では、結晶の長さはスリット状光透過部のピッチと結像系の倍率から定まるスリット状光透過部の像のピッチとなる。また、特開2000−306859公報では、図15で示す1本の線状ビーム506を照射する方法に比べて結晶長は長くなり、多結晶シリコンは複数の結晶化領域に分割される。結晶化領域とは、結晶長のほぼ等しい結晶が結晶長の方向と垂直な方向に並んでいる領域である。結晶化領域間の移動度はあまり高くないが、1つの結晶化領域内での移動度は高い。したがって、1つの結晶化領域の寸法を少なくとも1つのトランジスタを形成できる寸法とし、1つの結晶化領域内にトランジスタを形成するようにすれば、図15で示した方法より優れた性能のトランジスタを得ることができる。
【0014】
ただし、この方法では、レーザの照射領域を結晶化し、この照射領域を基板上の次の領域に移動させて順次結晶化を繰返すことになる。このとき、基板もしくはマスクを次の照射領域へ移動するために要する時間の間は結晶化が行なわれないので、無駄な時間となる。
【0015】
上述のとおり、スーパーラテラル成長では、従来のレーザアニール法に比べて良質の結晶が形成されるが、結晶化に要する時間が長い。
【0016】
そこで、この発明は上述のような問題に鑑みてなされたものであり、この発明の1つの目的は、良質の多結晶半導体薄膜を短時間で製造することができる結晶成長方法および装置ならびにビーム分岐装置を提供することである。
【0017】
この発明の別の目的は、良質の多結晶半導体薄膜を効率よく製造すること、および多結晶半導体薄膜を活性層とする薄膜トランジスタを有する高性能な表示装置を提供することである。
【0018】
【課題を解決するための手段】
この発明に従った結晶成長方法は、第m(mは1以上の整数)および第m+1の帯状ビームを薄膜に向けて照射して、薄膜に第mおよび第m+1の第k結晶化領域を形成する工程と、第mの第k結晶化領域から距離r(rは1回の結晶成長の長さtよりも長い)離れた領域であって、第m+1の第k結晶化領域に一部が重なる領域に第mの帯状ビームを照射して第m+1の第k結晶化領域に連なる第mの第k+1結晶化領域を薄膜に形成する工程とを備える。
【0019】
このような工程を備えた結晶成長方法に従えば、第mおよび第m+1の第k結晶化領域を形成した後、1回の結晶成長の長さtよりも長い距離rだけ第mの第k結晶化領域から離れた領域に第mの第k+1結晶化領域を薄膜に形成するため、従来よりも、離れた位置に次の結晶化領域を形成することができる。その結果、従来に比べて、1つの結晶化領域から離れた領域に別の結晶化領域を形成することができ、製造時間を短くすることができる。
【0020】
また好ましくは、第k結晶化領域を形成する工程は、ビーム源から放たれたビームを分岐させて第mおよび第m+1の帯状ビームを整形する工程を含む。
【0021】
また好ましくは、mの値にかかわらず距離rは一定であり、mの値にかかわらず第mおよび第m+1の帯状ビームの形状は一定であり、複数の第k結晶化領域の並ぶ方向はkの値にかかわらず一定である。
【0022】
また好ましくは、第k結晶化領域を形成する工程および第k+1結晶化領域を形成する工程は、第1から第nの帯状ビーム群を薄膜に向けて照射する工程を含み、第1から第nの帯状ビーム群の各々は、間隔pを隔てて1方向に並んで形成されたy(yは1より大きい)個のビームを含み、第m+1の第k結晶化領域から第mの第k+1結晶化領域までの距離qは、1回の結晶成長の長さtの0.2倍以上0.8倍以下の長さである。
【0023】
また好ましくは、nは、n=p/qで示す関係式を満たすように選ばれる。
また好ましくは、第k+1結晶化領域を形成する工程は、薄膜を一定速度で移動させて薄膜に一定の周期で第mおよび第m+1の帯状ビームを照射する工程を含む。
【0024】
また好ましくは、第mおよび第m+1の帯状ビームを照射する周波数fと薄膜の移動速度sとは、s=r×fで示す関係式を満たす。
【0025】
この発明に従った結晶成長装置は、薄膜を支持する支持手段と、薄膜に第m(mは1以上の整数)および第m+1の帯状ビームを照射して結晶化する照射手段と、支持手段を照射手段に対して移動させる駆動手段と、照射手段と駆動手段とを制御する制御手段とを備える。第mおよび第m+1の帯状ビームを薄膜に向けて照射手段が照射して薄膜に第mおよび第m+1の第k結晶化領域を形成した後、支持手段を照射手段に対して距離r(rは1回の結晶成長の長さtよりも長い)だけ駆動手段が薄膜を移動させて、第mの第k結晶化領域から距離r離れた領域であって、第m+1の第k結晶化領域に一部が重なる領域に第mの帯状ビームを照射手段が照射して第m+1の第k結晶化領域に連なる第mの第k+1結晶化領域を薄膜に形成するように制御手段は駆動手段および照射手段を制御する。
【0026】
このように構成された結晶成長装置では、照射手段が帯状ビームを照射して第mおよび第m+1の第k結晶化領域を形成した後、1回の結晶成長の長さtよりも長い距離rだけ第mの第k結晶化領域から離れた領域に第mの第k+1結晶化領域を薄膜に形成するため、従来よりも、離れた位置に次の結晶化領域を形成することができる。その結果、従来に比べて、1つの結晶化領域から離れた領域に別の結晶化領域を形成することができ、製造時間を短くすることができる。
【0027】
また好ましくは、駆動手段が一定速度で照射手段に対して支持手段を移動させ、照射手段が薄膜に一定の周期でビームを照射するように制御手段は駆動手段および照射手段を制御する。
【0028】
また好ましくは、結晶成長装置は、ビームを発生させるビーム源をさらに備える。
【0029】
また好ましくは、照射手段は、複数のスリットを有するマスクを含む。マスクは、ビーム源から放たれた光を分岐させて第mおよび第m+1の帯状ビームを整形する。
【0030】
また好ましくは、マスクは、1方向に並んで形成された第1から第N(Nは2以上の整数)のスリット群を含み、第1から第Nのスリット群の各々は、所定の間隔Pで1方向に並んで形成された複数のスリットを含み、複数のスリットの各々は同一形状である。
【0031】
また好ましくは、スリット群の数Nは、N=P/Q(Qは1回の結晶成長の長さtの0.2倍以上0.8倍以下に対応するマスク上での距離)で示す関係式を満たす。
【0032】
また好ましくは、駆動手段は、支持手段を照射手段に対して一定速度で移動させる。
【0033】
この発明の別の局面に従ったビーム分岐装置は、1方向に並ぶように配置された第1から第N(Nは2以上の整数)の領域と、第1から第Nの領域の各々に形成された第1から第Nのスリット群とを備える。第1から第Nのスリット群の各々は、等しい間隔Pで1方向に並んで形成された複数のスリットを含む。第S領域(Sは1以上N−1以下の整数)とその第S領域に隣接する第S+1領域との境界部分から、第S+1領域のうち第S領域に最も近い部分に位置するスリットまでの距離はS×Qであり、Qは、1回の結晶成長の長さtの0.2倍以上0.8倍以下に対応するビーム分岐装置上での距離である。
【0034】
このように構成されたビーム分岐装置では、第S領域に形成された第Sのスリット群と、第S+1領域に形成された第S+1のスリット群とは、距離Qずつずれているため、移動量を一定とすることで所定の位置だけずれた位置にそれぞれの結晶化領域を形成することができる。
【0035】
この発明の1つの局面に従った表示装置は、複数の画素が配置される画素領域と、画素領域を取囲むように設けられ、ほぼ一定の方向に延びる多結晶により構成される外周領域とを備える。多結晶が延びる方向に沿った1つの画素の幅は、外周領域の多結晶の長さのほぼ自然数倍である。
【0036】
この発明の別の局面に従った表示装置は、複数の画素が配置される画素領域と、画素領域を取囲むように設けられ、ほぼ一定の方向に延びる多結晶により構成される外周領域とを備える。外周領域の多結晶の長さは、1つの画素の幅のほぼ自然数倍である。
【0037】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。
【0038】
(実施の形態1)
図1は、この発明の実施の形態1に従った半導体薄膜を製造する装置を示す模式図である。図1を参照して、結晶成長装置1は、ビーム源としてのビーム放射手段11と、可変減衰手段12と、ビーム整形手段13と、放射照度均一化手段14と、マスク16と、マスク像結像手段17とを備えている。
【0039】
ビーム放射手段11は、シリコンを溶融することが可能なパルス状のビームを放射する。たとえば、エキシマレーザ、YAG(イットリウム−アルミニウム−ガーネット)レーザに代表される各種固体レーザ発振器など、紫外域の波長を有する光を放射する光源によりビーム放射手段11を構成することが望ましい。この実施の形態では、波長が308nmの光を放射するエキシマレーザ発振器をビーム放射手段11として用いた。
【0040】
可変減衰手段12は、基板面を照射するビームの放射照度を所定の割合で減衰させる手段である。
【0041】
ビーム整形手段13は、ビームを予め定められた寸法に整形する。放射照度均一化手段14は、不均一であるビームの放射照度を均一にする手段である。具体的には、シリンドリカルレンズアレイとコンデンサレンズを用い、ガウシアン型放射照度分布のビームを一旦分割してマスク16の表面に再度重ね合わせて照射する。
【0042】
マスク16は、ビームを分岐して、1つ以上複数のスリット状ビームからなる第iスリット状ビーム群を形成する。ここで、iは1以上n以下の整数である。なお、本明細書において、「スリット状ビーム」とは、基板上に結像したスリット状のビーム(光)の像、またはその像をなすビーム、またはビームの光路のいずれかである。また、スリット状ビームの形状または寸法について言及するときは、その像の形状または寸法について言及するものである。
【0043】
マスク像結像手段17は、スリット状ビーム形成手段としてのマスク16によって形成されたスリット状ビームを像として基板上に結像させる手段である。具体的にはレンズなどを用いて構成する。
【0044】
また、放射方向変更手段19はビームの放射方向を変更する手段であって、たとえば、ミラーやレンズなどから構成される。配置箇所、数量に特に限定はなく、装置の光学設計、機構設計に応じて適切に配置してもよい。
【0045】
なお、本装置は基板上の任意の位置に適切かつ均一な照度のスリット状ビームを照射できればよく、上述の装置の構成例によって特定されるものではない。
【0046】
図2は、この発明の実施の形態1に従ったスリットを有するマスクの平面図である。図2を参照して、マスク16は、1方向に並ぶように配置された第1領域101A、第2領域101B、第3領域101C…第N領域101Nを有する。第1から第N領域101A〜101Nの各々には、第1から第Nのスリット群102A〜102Nが配置されている。第1から第Nのスリット群102A〜102Nの各々は、等しい間隔Pで1方向に並んで形成された複数のスリット102を含む。第S領域としての第2領域101Bと、その第2領域101Bに隣接する第S+1領域としての第3領域101Cとの境界部分から第3領域101Cのうち第2領域101Bに最も近い部分に位置するスリット102までの距離はS×Q(2×Q)である。Qは、1回の結晶成長の長さtに対応するマスク16上での距離の0.2倍以上0.8倍以下の長さである。例えば、マスク16上での長さ100mmのパターンがアモルファスシリコン薄膜201に転写されると、そのパターンの長さが20mmになるとすると、そのマスクの結像倍率は1/5である。この場合、1回の結晶成長長さをtとするとQは、0.2×5×t以上、0.8×5×t以下となる。
【0047】
マスク16は、複数のスリット102が等しい間隔Pで1方向に並んで形成された第1のスリット群102Aと、第1のスリット群102Aに隣り合って形成され、第1のスリット群102Aと同じ数のスリット102が等間隔で形成された第2のスリット群102Bとを備える。第1のスリット群102Aと第2のスリット群102Bとの間隔Dが間隔Pと異なる。
【0048】
このようなマスク16のスリット102を通過したスリット状ビームは、一定の倍率で半導体薄膜上に結像するので、スリットの形状とビームの形状は相似形状である。なお、マスク上での寸法を大文字で表わし、半導体薄膜へ照射するビームの寸法を小文字で表わす。
【0049】
図2で、A×Bは、矩形の領域であるマスクの有効領域の寸法を示す。有効領域は1回のパルス状のビーム(以下、このビームを「パルスビーム」と呼ぶ)によって照射(以下、この照射をパルス照射と呼ぶ)されるマスク上の領域である。なお、有効領域に対応する半導体薄膜上の領域を照射領域と称する。
【0050】
有効領域がN個(Nは予め定められた2以上の整数)に等分割されて第1から第Nの領域101Aから101Nが形成されている。ここでは、各々の第1から第Nの領域101Aから101Nの長さCはB/Nである。各々の第1から第Nの領域101Aから101Nに1つ以上複数本のスリット102から構成されるスリット状光透過部分としてのスリット群102A〜102Nが形成される。この実施の形態では、第i(iは1以上N以下の整数)領域に形成されたスリット状光透過部分を第iスリット群と称する。また、第iスリット群によって形成されるスリット状ビーム群を第iスリット状ビーム群と称する。各スリット102の間の距離Pは等しい。また、各スリット状光透過部分は同数のスリット102を備える。第S+1領域に対する第S+1スリット群の配置位置は、第S領域に対する第Sスリット群の位置と比較して、1回のビーム照射で形成または成長する結晶の長さの0.2倍以上0.8倍以下の長さq(図6)に対応したマスク16上での距離Qだけ右にずらされている。
【0051】
次に、この実施の形態に従って、薄膜を結晶化する方法を説明する。図3および図5は、薄膜を結晶化する方法を説明するために示すマスクの断面図である。図3を参照して、基板18上にアモルファスシリコン薄膜201を形成する。アモルファスシリコン薄膜201上にマスク16を位置決めし、このマスク16にビーム300を照射する。なお、マスク16とアモルファスシリコン薄膜201との間には、図1で示すようなマスク像結像手段17と放射方向変更手段19が存在するが、図3ではこれらを省略している。
【0052】
ビーム300はマスク16により複数の帯状ビーム301Aから301Nに分割される。この帯状ビーム301Aから301Nがアモルファスシリコン薄膜201に照射されて、照射された領域が溶融する。溶融後この領域が凝固することにより、結晶化領域が形成される。たとえば、第mの第k結晶化領域202a、第m+1の第k結晶化領域202b、第m+2の第k結晶化領域202c、…、第m+nの第k結晶化領域202nが形成される。
【0053】
図4は、図3で示す第mの第k結晶化領域202aを拡大して示す図である。図4を参照して、アモルファスシリコン薄膜201に帯状ビーム301Aが照射されると、その照射された領域が溶融する。溶融後この領域が矢印222で示す方向に凝固する。このとき、1回の結晶の成長長さはtで示される。
【0054】
図5を参照して、第mの第k結晶化領域202aから距離r(rは1回の結晶成長の長さtよりも長い)離れた領域であって、第m+1の第k結晶化領域202bに一部が重なる領域に第mの帯状ビームとしての帯状ビーム301Aを照射して第m+1の第k結晶化領域202bに連なる第mの第k+1結晶化領域203aをアモルファスシリコン薄膜201に形成する。他の領域でも、先に形成した結晶化領域の一部に重なるように別の結晶化領域を形成する。具体的には、第m+1の第k+1結晶化領域203b、第m+2の第k+1結晶化領域203c、…、第m+nの第k+1結晶化領域203nを形成する。
【0055】
図6は、図5で示す第mの第k+1結晶化領域203aを拡大して示す図である。図6を参照して、帯状ビーム301Aが照射されると、それが照射された部分が溶融する。このとき、帯状ビーム301Aは第m+1の第k結晶化領域202bにも覆い被さるので、第m+1の第k結晶化領域202bから結晶が伸びる。そのため、図4で示す工程で製造した結晶がさらに長くなる。このような工程を繰返すことにより、結晶を成長させることができる。
【0056】
すなわち、この発明に従った結晶成長方法は、第m(mは1以上の整数)および第m+1の帯状ビーム301Aおよび301Bをアモルファスシリコン薄膜201に向けて照射して、アモルファスシリコン薄膜201に第mおよび第m+1の第k結晶化領域202aおよび202bを形成する工程と、第mの第k結晶化領域から距離r(rは1回の結晶成長の長さtよりも長い)離れた領域であって、第m+1の第k結晶化領域202bに一部が重なる領域に第mの帯状ビーム301Aを照射して第m+1の第k結晶化領域202bに連なる第mの第k+1結晶化領域203aをアモルファスシリコン薄膜201に形成する工程とを有する。
【0057】
結晶成長装置1は、アモルファスシリコン薄膜201を支持する支持手段21と、アモルファスシリコン薄膜201に第m(mは1以上の整数)および第m+1の帯状ビーム301Aおよび301Bを照射して結晶化する照射手段10と、支持手段21を照射手段10に対して移動させる駆動手段9と、照射手段10と駆動手段9とを制御する制御手段20とを備える。照射手段10は、ビーム整形手段13および放射照度均一化手段14とを含む。第mおよび第m+1の帯状ビーム301Aおよび301Bをアモルファスシリコン薄膜201に向けて照射手段10が照射してアモルファスシリコン薄膜201に第mおよび第m+1の第k結晶化領域202aおよび202bを形成した後、支持手段21を照射手段10に対して距離r(rは1回の結晶成長の長さtよりも長い)だけ駆動手段9が支持手段を移動させて、第mの第k結晶化領域202aから距離rだけ離れた領域であって、第m+1の第k結晶化領域202bに一部が重なる領域に第mの帯状ビーム301Aを照射手段10が照射して第m+1の第k結晶化領域202bに連なる第mの第k+1結晶化領域203aをアモルファスシリコン薄膜201に形成するように駆動手段9および照射手段10を制御手段20が制御する。
【0058】
第k結晶化領域202aから202nを形成する工程および第k+1結晶化領域203aから203nを形成する工程は、第1から第nの帯状ビーム群を構成する帯状ビーム301Aから301Nを薄膜に向けて照射する工程を含み、第1から第nの帯状ビーム群の各々は、間隔pを隔てて1方向に並んで形成されたy(yは1より大きい)個のビームを含み、第m+1の第k結晶化領域202bから第mの第k+1結晶化領域203aまでの距離qは、1回の結晶成長の長さtの0.2倍以上0.8倍以下の長さである。
【0059】
図7は、この発明に従った照射領域の移動の軌跡を説明するための図である。図7を参照して、この実施の形態に従ったステップを説明する。
【0060】
ステップ1
マスクの照射領域4を基板18の左上端に配置する。ステップ2へ進む。
【0061】
ステップ2
照射領域4が基板18の左端にあるならば、照射領域4が基板18の右端に達するまで、帯状領域を逆方向に結晶化する工程を実施する。帯状領域を逆方向に結晶化する工程とは、照射領域4を右方向(矢印4aで示す方向)に移動させながら、照射領域4の移動の軌跡である幅aの帯状領域の結晶化を行なう工程である。ステップ3へ進む。
【0062】
ステップ3
照射領域4が基板18の右端にあるならば、照射領域4が基板18の左端に達するまで帯状領域を順方向に結晶化する工程を実施する。帯状領域を順方向に結晶化する工程は、照射領域を左へ移動させながら、照射領域4の移動の軌跡である幅aの帯状領域の結晶化を行なう工程である。ステップ4へ進む。
【0063】
ステップ4
照射領域4を下へ距離aだけ移動させる。ステップ5へ進む。
【0064】
ステップ5
照射領域4が基板18の下端より下にあるならば、ステップを終了する。そうでない場合には、ステップ2へ進む。
【0065】
以上、ステップ1から5を順に繰返すことにより、基板18表面全体に形成された薄膜を結晶化することができる。なお、図7においては、基板18を停止させ、照射領域4を移動させる構成として説明したが、基板18と照射領域4とは相対的に移動すればよい。基板18または照射領域4のどちらか一方、または両方を移動させてもよい。
【0066】
次に、帯状領域を順方向に結晶化する工程について説明する。図8は、順方向帯状結晶化領域において帯状領域に結晶化領域が形成されていく様子を示す図である。図8を参照して、まず第1結晶化工程において、第1スリット状ビーム群の照射を行なう。第1スリット状ビーム群は結晶化領域1aを形成する。次に、照射領域を3aで示す左方向に、等分割領域の長さCに対応する基板上の長さだけ移動させる。第2結晶化工程において、第2スリット状ビーム群を照射する。第2スリット状ビーム群は、結晶化領域1bを形成する。結晶化領域1bは、結晶化領域1aと比較して、基板上でqだけ右にずれた位置であるため、第1スリット状ビーム群によって成長した結晶を引き継いで結晶成長する。以後、第2結晶化工程と同様に第3、第4、…、第n結晶化工程を順次実施することにより、結晶化領域を形成する。
【0067】
この実施の形態では、マスクに距離Cずつずらして左から右に第1スリット状光透過部分から第Nスリット状光透過部分までのN個のスリット状光透過部分を並んで形成している。したがって、このマスクを用いることにより、距離c(マスク16上の距離Cに対応するアモルファスシリコン薄膜201上での距離)ずつずれて左から右に並ぶN個の基板上の領域について、それぞれ第1結晶化工程から第n結晶化工程を同時に実施することができる。照射領域は距離cずつ右から左に照射領域を移動しながら第1結晶化工程から第n結晶化工程を実施するので、全体としては流れ作業となり、照射領域が通過した後の軌跡である帯状領域は第1結晶化工程から第n結晶化工程までを順次実施したことになり、結晶化領域が形成されることになる。
【0068】
次に、帯状領域を逆方向に結晶化する工程を説明する。帯状領域を逆方向に結晶化する工程は、照射領域の移動方向が左から右であること、第n、第n−1、…、2、1結晶化工程の順に結晶化工程を実施すること、結晶の成長方向が右から左であることを除いて、帯状領域を順方向に結晶化する工程と同一であり、帯状領域を順方向に結晶化する工程と同様の結晶化領域の形成が可能である。
【0069】
また、帯状領域を順方向に結晶化する工程と帯状領域を逆方向に結晶化する工程とにおいて、パルス照射の周波数が一定である場合には、分割された第1から第Nの領域101Aから101Nの長さCに対応する基板上の長さc(=パルス照射間の移動量)とパルス照射の周波数fから求まる一定速度c×fによって基板または照射領域を相対移動させる。これにより、図2で示すスリット状透過部の形状と相似であるスリット状ビームを周波数fで周期的にパルス照射してもよい。この場合、一定速度で基板または照射領域を相対移動させながらパルス照射できるので、基板または照射領域を所定の位置に停止させてからパルス照射するより短時間で基板または照射領域を移動させることができる。また、速度や周波数を変化させながらパルス照射することにより、パルス照射をする位置の精度を維持しやすく、かつ移動に用いるエネルギや装置の消耗を少なくすることができる。
【0070】
また、スリット状光透過部はピッチがPであり、それぞれの第1から第Nの領域のピッチ方向の長さはCであるので、等分割領域に形成できるスリットの数Y≦C/P=c/pである。したがって、YをY≦C/Pを満たす最大の整数とした場合、最も多くの結晶化領域を形成することができる。また、Yを定めてから、式C=Y×PによってCを求めてもよい。さらに、CとNから式B=C×NによってBを求めてもよい。その場合、一定速度sは、c×f=p×Y×fとなる。
【0071】
特開2000−306859公報に記載の方法と実施の形態1の方法との処理速度を比較する。パルス照射してから次のパルス照射をするまでの時間は、基板もしくは照射領域を次のパルス照射をする位置まで移動させる時間と、ビーム放射手段が次のパルス照射が可能になるまでの時間とのいずれかの長い方により決定される。特開2000−306859公報に記載の方法の場合、距離qだけ移動してパルス照射する工程を繰返して1つの照射領域を結晶化した後に、次の照射領域まで距離b−qだけ移動する工程を実施する。距離qだけ移動してパルス照射するときは、移動する距離が極めて短いため、移動はすぐに完了する。したがって、パルス照射してから次のパルス照射するまでの時間は、ビーム放射手段が次のパルス照射が可能になるまでの時間と等しい。逆に、次の照射領域まで移動するときは、移動する距離が極めて長いため、移動に時間がかかる。その間、ビーム放射手段は待っている状態、すなわちビームを放射しない状態となる。
【0072】
それに対して、上述の実施の形態1において、ビーム放射手段が次のパルス照射が可能になるまでの時間の間に移動できる最長の長さよりも短く距離cを設定すれば、ビーム放射手段は可能とする最も短い周期でパルスビームを放射することができる。しかも、特開2000−306859公報に記載の方法のように次の照射領域まで移動する必要がないので、結果として特開2000−306859公報における次の照射領域まで移動するために必要な時間分だけ処理時間が短いことになる。
【0073】
また、本発明の実施の形態において、結晶の長さをスリット状ビームのピッチpと同じとするためには、1つの結晶化領域についてn=p/q(回)パルス照射する必要がある。そのためには、スリット状光透過部分の数またはスリット状ビーム群の数をn(個)としてもよい。
【0074】
さらに、照射領域全体の長さがbであったならば、パルス照射間の移動量c=b/n=b×q/pとし、等分割領域の長さCを上述のcに対応するマスク上の距離とすればよい。この場合、1つのスリット状ビーム群に含まれるスリット状ビームの数y=c/p=b×q/p2となる。
【0075】
さらに、一定速度で照射領域または基板を移動しながら、一定の周波数fでパルス照射する場合、一定速度s=c×f=b×f×q/pとなる。
【0076】
(実施の形態2)
本発明の実施にあたっては、実施の形態1のように、基板全面を結晶化させる場合の他にも、種々の実施例が可能である。
【0077】
特に、本発明によって製造したガラス基板上の多結晶シリコン薄膜を用いて、液晶表示装置を形成する場合に特段の効果が得られた。基板上に形成された表示用素子のレイアウトを図9に示す。
【0078】
図9は、1枚のガラス基板から合計9個の表示用素子を一度に形成するレイアウトを示している。アクティブマトリックス型液晶表示用素子などの表示用素子のレイアウトは、通常、画素領域31と、その周辺部分(額縁領域32)に大別される。
【0079】
画素領域31には画素と液晶を駆動するための薄膜トランジスタとが配置され、額縁領域32には画素駆動用のドライバが配置される。従来の表示用素子では、ドライバをシリコンウェハに形成し、このシリコンウェハをチップ状に切断したものを液晶基板に実装し電気的に接続していた。この方法は別途チップを作製する工程や、実装する工程を含むため、工程が多く製造時間が長い、および、製造費用(工賃および材料費)が高い、接続が断線し故障することがある、チップが突起した形状となる、寸法が大きいなどの欠点があった。
【0080】
そこで、これらのドライバ回路を液晶ガラス基板に予め作り込んでおく方法が提案されている。また、この際ドライバ回路だけでなく、従来外付けであった他の信号処理回路(画像処理回路、メモリ回路、コントローラ回路、電源回路など)をも液晶基板上に作り込むことが可能である。ただし、この場合、額縁領域32にはドライバ回路などの高速度または高電流駆動または小型の回路を作り込む必要があるため、額縁領域32に形成されるシリコン薄膜にはキャリアの移動度の高いものが要求される。具体的には、キャリアの移動度が100V/sm・s〜200V/sm・s以上、望ましくは500V/sm・s程度のものが要求される。
【0081】
本発明の実施の形態2では、額縁領域32を結晶化し、キャリアの移動度の高いシリコンによる高速なトランジスタを形成することによって、画素駆動または信号処理を高速化したものである。なお、画素領域31は、高い移動度を要求されないため、スーパーラテラル成長による再結晶化をせず、非晶質シリコンまたは方位の揃っていない多結晶シリコンのままとする。本発明に用いるマスクは、実施の形態1と同様の構造で、図1および2で示される。ただし、実施の形態2の場合、マスク上での長さAのスリット状光透過部によって形成されるスリット状ビームの長さaを図9で示す額縁領域32の幅αと等しくするか、またはαよりaを広く設定する。このような設定を用いて、1列に並んだ額縁領域32に対し順方向帯状領域結晶化工程または逆方向帯状領域結晶化工程を実施することにより、1行に並んだ一連の額縁領域32を形成することが可能である。
【0082】
照射領域の移動のフローを図9を用いて説明する。
ステップ1
照射領域4を図中の左上の位置420に配置する。ステップ2へ進む。
【0083】
ステップ2
照射領域4が右端に達するまで逆方向帯状領域結晶化工程を実施し、一連の額縁領域32の結晶化をする。ステップ3へ進む。
【0084】
ステップ3
そのすぐ下の一連の額縁領域32の行へ照射領域4を矢印41で示すように移動させる。ステップ4へ進む。
【0085】
ステップ4
照射領域4が左端に達するまで順方向帯状領域結晶化工程を実施し、一連の額縁領域32の行を結晶化する。ステップ5へ進む。
【0086】
ステップ5
最下行の額縁領域32を結晶化していたらステップ7へ進む。そうでない場合はステップ6へ進む。
【0087】
ステップ6
そのすぐ下の一連の額縁領域32の行へ照射領域4を矢印42で示すように移動させる。ステップ2へ進む。
【0088】
ステップ7
すべて額縁領域32を結晶化していたら、終了する。そうでない場合はステップ8へ進む。
【0089】
ステップ8
基板18または照射領域4を90°回転させる。ステップ1へ進む。
【0090】
上述のフローにより、高い移動度が要求される額縁領域32を結晶化し、高い移動度が要求されない画素領域31を結晶化しないため、基板18全面を結晶化させる場合と比較して、製造時間を短縮することができる。通常、額縁状の領域は全基板面積の10から20%程度しかないため、実施の形態2のように画素領域を結晶化しないことにより、大幅に結晶化時間を短縮できる。
【0091】
なお、この実施の形態では、画素領域31の四方にある額縁領域32を結晶化しているが、四方にある4つの額縁領域32のうち1つ以上の額縁領域32について、その全部または一部を結晶化するだけでも、かなりの効果がある。したがって、画素領域31の四方にあるすべての額縁領域32を結晶化しなければならないわけではない。
【0092】
また、スリット状光透過ビームの長さaを図9で示す額縁領域32の幅αと等しくまたは広く設定し、ビーム照射の照射領域の移動のフローを用いることによって不要なビーム照射を行なわず、かつビーム照射の照射領域を移動する距離を短くすることが可能である。ひいては、短時間かつ省エネルギで結晶化を行なうことができる。
【0093】
また、この実施の形態2により結晶化された結晶化領域の詳細を図10に示す。
【0094】
図10を参照して、この実施の形態に従って結晶化を行なうと、結晶の方位が額縁領域32の長手方向に揃った長い多結晶210が得られる。ここで、画素領域31は液晶の画素領域であり、その周辺に額縁領域32が配置されていることを示している。また、画素領域31に記載した方眼状の線は、画素と画素の境界線を示している。
【0095】
特開2000−243968、特開2000−243969、特開2000−243970では、異方性を有する結晶の方向とトランジスタのゲート長を規定する技術が開示されている。ところが、これらの公報に記載の技術では、ゲート長方向に多数の結晶を含むものである。
【0096】
本発明において、スリット状ビームのピッチpは結晶化領域のピッチに等しい。また、この実施の形態において、帯状領域は画素領域の周囲に沿って形成されているので、結晶化領域と結晶化領域に隣接する画素領域との境界線の方向と結晶化領域における長結晶の方位とは等しい。したがって、スリット状ビームのピッチpと画素のピッチを合わせることによって、各画素列と各結晶化領域を1対1に対応させることができる。図10は、スリット状ビームのピッチpと画素のピッチを合わせて結晶化した場合における画素と結晶化領域との一致を示した詳細図である。図10の状態では、各画素列(図10において上下方向に連なる一連の画素)に対して各結晶化領域が1対1に対応するので、1つの画素列に対応するトランジスタを対応する1つの結晶領域に形成することができる。
【0097】
額縁領域32には画素を駆動するドライバトランジスタやその他の用途のトランジスタを配置することが望まれるが、その場合、トランジスタに要求される能力はさまざまなである。高速性を要求されるトランジスタは、そのデバイスサイズが小さいことが要求されるが、画素駆動などに用いるために大きな電流駆動能力が必要とされるトランジスタはそのチャネル幅が広いことが要求される。
【0098】
画素ピッチは液晶基板によりさまざまなであるが、概ね10μmから100nmの範囲で設計する。一方、成形するトランジスタの幅は、数十から数百μが要求され、かつトランジスタを各画素列ごとに配置する必要がある。
【0099】
この実施の形態2によれば、チャネル幅のトランジスタであっても、チャネル方向(電流の流れる方向)を額縁領域32の長手方向に設定することで任意のチャネル幅のトランジスタを容易に形成することができる。かつ、トランジスタはチャネルの方向(電流が流れる方向)が移動度の高い方向と一致しているため、処理が高速なトランジスタを得ることができる。図10で示した2つのトランジスタ25は、それぞれ、チャネル幅の狭いトランジスタおよびチャネル幅の広いトランジスタである。
【0100】
なお、他の例として、図11で示すように、額縁領域32に形成された結晶化領域の幅を、画素ピッチの2倍に設定することも可能である。この場合であっても、上述の図10で示した例と同様の効果が得られる。図11で示したトランジスタでは、2つの画素列と1つの結晶化領域とを組として、トランジスタの配置設計を行なうことができ、2つの画素列に対応する結晶化領域内に高速なトランジスタを形成することができる。そのため、図10と比較して、より自由に設計をすることができる。
【0101】
また、図12のように、3本の画素列の幅で結晶化領域を設定することも可能である。この場合、額縁領域32形成した結晶化領域の幅を画素ピッチの2倍と設定した場合と同様の効果が得られ、より自由に設計をすることができる。
【0102】
さらに、図13および図14で示したように、1本の画素列の幅に複数の結晶化領域を設定することも可能であり、各画素列に対する高速かつ任意のチャネル幅を有するトランジスタを形成できる。すなわち、少なくとも結晶化領域のピッチを、画素のピッチの整数倍または整数分の1となるように結晶化領域を形成すれば、各画素列に対応する高速かつ任意のチャネル幅を有するトランジスタを容易に形成できる。
【0103】
図13および14の表示装置600は、複数の画素31aが配置される画素領域としての画素領域31と、画素領域31を取囲むように設けられ、ほぼ一定の方向に延びる多結晶210により構成される外周領域としての額縁領域32とを備える。多結晶210が延びる方向に沿った1つの画素の幅Gは、額縁領域32の多結晶210の長さJのほぼ自然数倍である。
【0104】
図10から12の表示装置600は、複数の画素31aが配置される画素領域31と、画素領域31を取囲むように設けられ、ほぼ一定の方向に延びる多結晶210により構成される外周領域としての額縁領域32とを備える。額縁領域32の多結晶210の長さJは、1つの画素31aの幅Gのほぼ自然数倍である。
【0105】
次に、従来の結晶化方法と本発明による結晶化方法とによる結晶化時間について具体的に説明する。
【0106】
その前提条件として、種々の製造方法に対し、共通する製造条件を下記のとおり統一する。
【0107】
基板寸法:320mm×400mm
ビーム照射手段におけるビームの照射周波数f:300Hz
スーパーラテラル成長によるパルス照射ごとの送りピッチq:0.5μm
まず、1つのスリット状ビームを用いて基板面全面を結晶化するために要する時間を算出する。
【0108】
図15は、従来の単一のスリット状ビームによる多結晶半導体薄膜の製造方法を説明するための図面である。図15においては基板の短辺を一括照射できる1本のスリット状ビームをパルス照射しながら、基板が一定速度で移動する構成とした。
【0109】
(基板の送り速度s)=(送りピッチq)×(ビームの照射周波数f)
=0.0005×300
=0.15mm/secとなる。したがって、
(基板全面を結晶化するために用する時間)
=(基板長さ/送り速度s)=400/0.15=2667秒となる。
【0110】
次に、特開2000−306859公報に記載の方法による結晶化方法によって基板面全面を結晶化するために要する時間を算出する。上記公報では、等しいピッチでスリットが形成されたマスクを用いている。この場合、上述の公報に記載のとおり、基板面全面をビーム照射領域ごとに結晶化を完了させてから、次の照射へ照射領域を移動する。各種の製造条件を次のとおり定める。
【0111】
スーパーラテラル成長による針状結晶の長さp:50μm
(=基板面におけるスリット状ビームのピッチ)
マスク像の結像倍率:1/5
照射領域の面積:20mm×20mm
マスク面での有効領域の面積:100mm×100mm
従来技術における1つの照射領域に必要とするパルス照射回数nは
(1つの照射領域に対するパルス照射の回数n)=(針状結晶の長さp)/(送りピッチq)=0.05×0.0005
=100(回)
1つの照射領域の結晶化に要する時間tは、
(1つの照射領域を結晶化する時間)
=(1つの照射時間に対するパルス照射の回数n)/(ビームの照射周波数f)=100/300
=0.333(秒)
隣接する照射領域への移動は、たとえば基板を移動させることによって行なうが、移動と基板を静止させるのに要する時間は、合計0.3秒程度必要である。
【0112】
前述のとおり基板寸法は320mm×400mmであるから、(320/20)×(400/20)=320個の照射領域を順に結晶化することになる。
【0113】
したがって、(基板全面を結晶化するために要する時間)
={(1つの照射領域の結晶化する時間)+(隣接する照射領域への移動に要する時間)}×(照射領域の数)=(0.333+0.3)×320=203秒
となる。
【0114】
次に、本発明の実施の形態1による結晶化方法について基板全面を結晶化するために要する時間を算出する。上記公報に記載の従来技術と同様、結晶化時間算出条件と製造条件は以下のとおりでする。
【0115】
スーパーラテラル成長による針状結晶の長さp:50μm
(基板面におけるスリット状ビームのピッチ)
マスクの結像倍率:1/5
照射領域の面積:20mm×20mm
(マスク面での有効領域:100mm×100mm)
図7における幅a(=20mm)の帯状領域を結晶化するための基板の移動速度sは、
s=c×f=b/n×f=b×f×q/p
=20×300×0.0005/0.05=60(mm/sec)となる。
【0116】
基板全面を結晶化するためには、1つの帯状領域を結晶化した後、隣接する帯状領域に移動し、同様の工程を繰返す。隣接する帯状領域への移動は、たとえば基板を移動させることによって行なうが、基板を移動させてかつ停止させるのに必要な時間は、従来と同様に0.3秒程度必要である。
【0117】
前述のとおり基板寸法は320mm×400mmであるから、320/20=16個の帯状領域を順に結晶化することになる。
【0118】
したがって、(基板全面を結晶化するために要する時間)={(20mm幅の帯状領域の結晶化に要する時間)+(隣接帯状領域への移動時間)}×(帯状領域数)で表わされる。長さ400mmの帯状領域を結晶化するためには
400+b−c=400+20×(1−0.0005/0.05)=419.9の距離を移動しながらビーム照射しなければならないので、基板全面を結晶化するために要する時間は
(419.9/60+0.3)×16=117秒となる。したがって、特開2000−306859号に記載の方法に比べて約42%もの結晶化時間の短縮化が可能になる。
【0119】
さらに、スーパーラテラル成長による針状結晶の長さを20μmとすると、この時間短縮効果は一層顕著になる。各種の製造条件を前述のとおりとし、同様の計算を行なうと、特開2000−306859に記載の方法では、(0.133+0.3)×320=139秒である。
【0120】
本発明による結晶化方法による場合、
(419.75/150+0.3)×16=50秒
となり、約64%もの結晶化時間の短縮が可能になる。
【0121】
なお、この発明の実施の形態によれば、マスクの光透過部の形状を矩形のスリットとしたが、形状はこれに限定されることなく、メッシュ形状、鋸歯形状、波状などの種々の形状が採用できる。
【0122】
【発明の効果】
この発明の結晶成長方法に従えば、第mおよび第m+1の第k結晶化領域を形成した後、1回の結晶成長の長さtよりも長い距離rだけ第mの第k結晶化領域から離れた領域に第mの第k+1結晶化領域を薄膜に形成するため、従来よりも離れた位置に次の結晶化領域を形成することができる。その結果、従来に比べて帯状ビームの移動時間を短くすることができ、結晶質薄膜の製造時間を短くすることができる。また、移動量を大きくすることで、各領域間で各工程を実施する時間をずらしながら順次結晶化することができる。これは、結晶化工程の流れ作業化である。つまり単純な工程の周期的繰返しによって広い領域の結晶化を均一かつ短時間で行なうことができる(請求項1、2、8、10および11)。
【0123】
また、この発明に従えば、帯状ビームの移動距離rと帯状ビームの形状が一定であるため、規則正しいパターンで結晶化領域を形成することができる(請求項3および12)。
【0124】
また、この発明では、第1から第nの帯状ビーム群の各々は間隔pを隔てて1方向に並んで形成されたy個のビームを含み、第m+1の第k結晶化領域から第mの第k+1結晶化領域までの距離qは1回の結晶成長の長さtの0.2倍以上0.8倍以下の長さであるため、第1から第nの帯状ビーム群を薄膜に照射した後、所定の距離qだけずれた位置に次のビームを照射することで帯状ビーム群を用いて複数の結晶化領域を短時間でかつ正確に形成することができる(請求項4および13)。
【0125】
また、この発明においてnがp/qを満たせば最も効率よく結晶化領域を製造することができる(請求項5)。
【0126】
また、薄膜を一定速度sで移動させて薄膜に一定周期fで第mおよび第m+1の帯状ビームを照射することで第mおよび第m+1の帯状ビームの移動方向に結晶化領域が並んだ結晶質薄膜を短時間で効率よく製造することができる(請求項6、7、9および14)。
【0127】
この発明に従ったビーム分岐装置では、第S領域とその第S領域に隣接する第S+1領域との境界から、第S+1領域のうち第S領域に最も近い部分に位置するスリットまでの距離はS×Qであり、Qは、1回の結晶成長の長さの0.2倍以上0.8倍以下に対応するビーム分岐装置上で距離であるため、第S領域および第S+1領域を介してビームを薄膜に照射した後、所定の距離だけビーム照射装置を移動させて薄膜にビームを照射すれば、先に形成された結晶化領域に重なるように次の結晶化領域が形成される。その結果、ビーム照射装置の移動距離を大きくすることができ、短時間で薄膜を製造することができる(請求項15)。
【0128】
この発明に従った表示装置では、多結晶が延びる方向に沿った1つの画素の幅は外周領域の多結晶の長さのほぼ自然数倍であるため、特定の数、連続して形成された画素列からなる画素列群に対してその画素列群に対応するトランジスタを形成できるので設計が容易となる。また簡素な構造となる(請求項16)。
【0129】
この発明に従った表示装置では、外周領域の多結晶の長さは多結晶が延びる方向に沿った1つの画素の幅のほぼ自然数倍であるため1つの画素列に対してその画素列に対応するトランジスタを形成できるため設計が容易である。また簡素な構造となる(請求項17)。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施の形態1に従った半導体薄膜を製造する装置を示す模式図である。
【図2】この発明の実施の形態1に従ったスリットを有するマスクの平面図である。
【図3】薄膜を結晶化する方法を説明するために示すマスクの断面図である。
【図4】図3で示す第mの第k結晶化領域202aを拡大して示す図である。
【図5】薄膜を結晶化する方法を説明するために示すマスクの断面図である。
【図6】図5で示す第mの第k+1結晶化領域203aを拡大して示す図である。
【図7】この発明に従った照射領域の移動の軌跡を説明するための図である。
【図8】順方向帯状結晶化領域において帯状領域に結晶化領域が形成されていく様子を示す図である。
【図9】1枚のガラス基板から合計9個の表示用素子を一度に形成するレイアウトを示す。
【図10】実施の形態2により結晶化された結晶化領域を詳細に示す平面図である。
【図11】実施の形態2により結晶化された結晶化領域を詳細に示す平面図である。
【図12】実施の形態2により結晶化された結晶化領域を詳細に示す平面図である。
【図13】実施の形態2により結晶化された結晶化領域を詳細に示す平面図である。
【図14】実施の形態2により結晶化された結晶化領域を詳細に示す平面図である。
【図15】従来のレーザにより結晶化技術を示す模式図である。
【図16】1回のパルス照射で形成された針状結晶組織を説明する図である。
【図17】複数回のパルス照射によるスーパーラテラル成長の形態を説明する図である。
【図18】複数回のパルス照射によるスーパーラテラル成長の形態を説明する図である。
【図19】複数回のパルス照射によるスーパーラテラル成長の形態を説明する図である。
【符号の説明】
1 製造装置、9 駆動手段、10 照射手段、16 マスク、18 基板、20 制御手段、21 支持手段、31 画素エリア、31a 画素、32 額縁領域、101A 第1領域、101B 第2領域、101C 第3領域、101N 第N領域、102A 第1のスリット群、102B 第2のスリット群、102C 第3のスリット群、102N 第Nのスリット群、102 スリット、201 アモルファスシリコン膜、202a 第mの第k結晶化領域、202b 第m+1の第k結晶化領域、202c 第m+2の第k結晶化領域、202n 第m+nの第k結晶化領域、203a 第mの第k+1結晶化領域、203b 第m+1の第k+1結晶化領域、203c 第m+2の第k+1結晶化領域、203n 第m+nの第k+1結晶化領域、300 ビーム、301A,301B,301C,301N 帯状ビーム。
Claims (17)
- 第m(mは1以上の整数)および第m+1の帯状ビームを薄膜に向けて照射して、前記薄膜に第mおよび第m+1の第k結晶化領域を形成する工程と、
前記第mの第k結晶化領域から距離r(rは1回の結晶成長の長さtよりも長い)離れた領域であって、前記第m+1の第k結晶化領域に一部が重なる領域に第mの帯状ビームを照射して前記第m+1の第k結晶化領域に連なる第mの第k+1結晶化領域を薄膜に形成する工程とを備えた、結晶成長方法。 - 前記第k結晶化領域を形成する工程は、ビーム源から放たれたビームを分岐させて前記第mおよび第m+1の帯状ビームを整形する工程を含む、請求項1に記載の結晶成長方法。
- 前記mの値にかかわらず距離rは一定であり、前記mの値にかかわらず前記第mおよび第m+1の帯状ビームの形状は一定であり、複数の前記第k結晶化領域の並ぶ方向はkの値にかかわらず一定である、請求項1または2に記載の結晶成長方法。
- 前記第k結晶化領域を形成する工程および前記第k+1結晶化領域を形成する工程は、第1から第nの帯状ビーム群を薄膜に向けて照射する工程を含み、
前記第1から第nの帯状ビーム群の各々は、間隔pを隔てて1方向に並んで形成されたy(yは1より大きい)個のビームを含み、
前記第m+1の第k結晶化領域から前記第mの第k+1結晶化領域までの距離qは、1回の結晶成長の長さtの0.2倍以上0.8倍以下の長さである、請求項1から3のいずれか1項に記載の結晶成長方法。 - 前記nは、n=p/qで示す関係式を満たすように選ばれる、請求項4に記載の結晶成長方法。
- 前記第k+1結晶化領域を形成する工程は、薄膜を一定速度で移動させて薄膜に一定の周期で第mおよび第m+1の帯状ビームを照射する工程を含む、請求項4に記載の結晶成長方法。
- 前記第mおよび第m+1の帯状ビームを照射する周波数fと前記薄膜の移動速度sとは、s=r×fで示す関係式を満たす、請求項6に記載の結晶成長方法。
- 薄膜を支持する支持手段と、
薄膜に第m(mは1以上の整数)および第m+1の帯状ビームを照射して結晶化する照射手段と、
前記支持手段を前記照射手段に対して移動させる駆動手段と、
前記照射手段と前記駆動手段とを制御する制御手段とを備え、
前記第mおよび第m+1の帯状ビームを薄膜に向けて前記照射手段が照射して前記薄膜に第mおよび第m+1の第k結晶化領域を形成した後、前記支持手段を前記照射手段に対して距離r(rは1回の結晶成長の長さtよりも長い)だけ駆動手段が前記支持手段を移動させて、前記第mの第k結晶化領域から距離rだけ離れた領域であって、前記第m+1の第k結晶化領域に一部が重なる領域に第mの帯状ビームを前記照射手段が照射して前記第m+1の第k結晶化領域に連なる第mの第k+1結晶化領域を薄膜に形成するように駆動手段および照射手段を前記制御手段が制御する、結晶成長装置。 - 前記駆動手段が一定速度で前記照射手段に対して前記支持手段を移動させ、前記照射手段が前記薄膜に一定の周期でビームを照射するように前記制御手段は前記駆動手段および前記照射手段を制御する、請求項8に記載の結晶成長装置。
- ビームを発生させるビーム源をさらに備えた、請求項8または9に記載の結晶成長装置。
- 前記照射手段は、複数のスリットを有するマスクを含み、前記マスクは、前記ビーム源から放たれた光を分岐させて前記第mおよび第m+1の帯状ビームを整形する、請求項10に記載の結晶成長装置。
- 前記マスクは、1方向に並んで形成された第1から第N(Nは2以上の整数)のスリット群を含み、前記第1から第Nのスリット群の各々は、所定の間隔Pで1方向に並んで形成された複数の前記スリットを含み、複数の前記スリットの各々は同一形状である、請求項11に記載の結晶成長装置。
- 前記スリット群の数Nは、N=P/Qで示す関係式を満たし、Qは、1回の結晶成長の長さtの0.2倍以上0.8倍以下に対応する前記マスク上での距離である、請求項12に記載の結晶成長装置。
- 前記駆動手段は、前記支持手段を前記照射手段に対して一定速度で移動させる、請求項8から13のいずれか1項に記載の結晶成長装置。
- 1方向に並ぶように配置された第1から第Nの領域と、
前記第1から第Nの領域の各々に形成された第1から第N(Nは2以上の整数)のスリット群とを備えたビーム分岐装置であって、
前記第1から第Nのスリット群の各々は、等しい間隔Pで1方向に並んで形成された複数のスリットを含み、
第S領域(Sは1以上N−1以下の整数)とその第S領域に隣接する第S+1領域との境界から、前記第S+1領域のうち前記第S領域に最も近い部分に位置する前記スリットまでの距離はS×Qであり、前記Qは、1回の結晶成長の長さtの0.2倍以上0.8倍以下に対応するビーム分岐装置上での距離である、ビーム分岐装置。 - 複数の画素が配置される画素領域と、
前記画素領域を取囲むように設けられ、ほぼ一定の方向に延びる多結晶により構成される外周領域とを備え、
前記多結晶が延びる方向に沿った1つの前記画素の幅は、前記外周領域の多結晶の長さのほぼ自然数倍である、表示装置。 - 複数の画素が配置される画素領域と、
前記画素領域を取囲むように設けられ、ほぼ一定の方向に延びる多結晶により構成される外周領域とを備え、
前記外周領域の多結晶の長さは、前記多結晶が延びる方向に沿った1つの前記画素の幅のほぼ自然数倍である、表示装置。
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