JP2004101822A - ミラーデバイス、光スイッチ、電子機器およびミラーデバイス駆動方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】ミラーの回転軸をずらすことなくミラーを回転駆動可能なミラーデバイス、光スイッチ、電子機器およびミラーデバイス駆動方法を提供すること。
【解決手段】ミラー基板1を下から支持する第1の支持基板2に、ミラー4の回転方向の一方向側の端部の対向位置に電極11と、ミラー4の回転方向の一方向側と逆方向側の端部の対向位置に電極12を設け、ミラー基板1を上から支持する第2の支持基板3に、ミラーの回転方向の一方向側の端部の対向位置に電極13と、ミラー4の回転方向の一方向側と逆方向側の端部の対向位置に電極14を設け、各電極11と電極14との間にクーロン力を作用させてミラー4を回転駆動する。
【選択図】 図2
【解決手段】ミラー基板1を下から支持する第1の支持基板2に、ミラー4の回転方向の一方向側の端部の対向位置に電極11と、ミラー4の回転方向の一方向側と逆方向側の端部の対向位置に電極12を設け、ミラー基板1を上から支持する第2の支持基板3に、ミラーの回転方向の一方向側の端部の対向位置に電極13と、ミラー4の回転方向の一方向側と逆方向側の端部の対向位置に電極14を設け、各電極11と電極14との間にクーロン力を作用させてミラー4を回転駆動する。
【選択図】 図2
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ミラーを回転駆動するミラーデバイス、光スイッチ、電子機器およびミラーデバイス駆動方法に関する。
【0002】
【背景技術および発明が解決しようとする課題】
ミラーを回転駆動する種々のミラーデバイスが提案されている。
【0003】
例えば、特開平9−101468号公報等に記載されているように、従来のミラーデバイスは、ミラーを回転可能に回転軸部であるヒンジで支持し、ミラーの下方に電極を設け、電極に電圧を印加することによってクーロン力を発生してミラーを回転駆動していた。
【0004】
しかし、この手法では、クーロン力によってミラーだけでなくヒンジも下方に吸引してしまい、ミラーの回転軸がずれてしまう場合があった。
【0005】
ミラーの回転軸がずれてしまうと、例えば、ミラーを用いて光路を切り替える場合、意図した光路に光を導けなくなってしまう。
【0006】
本発明は、上記の課題に鑑みなされたものであり、その目的は、ミラーの回転軸をずらすことなくミラーを回転駆動可能なミラーデバイス、光スイッチ、電子機器およびミラーデバイス駆動方法を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明に係るミラーデバイスは、所定の距離依存性駆動力によって回転駆動されるミラーを有するミラー基板と、当該ミラー基板を支持する支持基板とを有するミラーデバイスにおいて、
前記ミラーデバイスは、前記ミラーの回転方向において前記ミラー基板を挟む形で第1および第2の支持基板を有し、
当該第1および第2の支持基板は、前記ミラーの回転駆動時に当該ミラーが近づく位置に設けられ、前記距離依存性駆動力が作用する少なくとも1つの対向側作用部をそれぞれ有することを特徴とする。
【0008】
また、本発明に係る光スイッチは、上記ミラーデバイスを有し、前記ミラーの駆動によって光路を切り替えることを特徴とする。
【0009】
また、本発明に係る電子機器は、上記ミラーデバイスを有することを特徴とする。
【0010】
また、本発明に係るミラーデバイス駆動方法は、所定の距離依存性駆動力によって回転駆動されるミラーを有するミラー基板と、当該ミラー基板を支持する支持基板とを有するミラーデバイスを駆動するミラーデバイス駆動方法において、前記ミラーデバイスは、前記ミラーの回転方向において前記ミラー基板を挟む形で第1および第2の支持基板を有し、
当該第1の支持基板は、前記ミラーの回転方向の一方向側の端部と対向する位置に設けられ、前記距離依存性駆動力が作用する対向側作用部を有し、
前記第2の支持基板は、前記ミラーの回転方向の一方向側の逆方向側の端部と対向する位置に設けられ、前記距離依存性駆動力が作用する対向側作用部を有し、
各対向側作用部に前記距離依存性駆動力を発生することによって前記ミラーを回転駆動した状態で保持することを特徴とする。
【0011】
本発明によれば、ミラーデバイス等は、ミラーの回転方向において、ミラーを挟む形で距離依存性駆動力(例えば、クーロン力、電磁気力等)を作用させてミラーを回転駆動することにより、例えば、ミラーの下方から距離依存性駆動力を作用させる場合と比較してミラーの回転軸がずれにくく、ミラーをより安定させて駆動することができる。
【0012】
特に、ミラーデバイス等は、ミラーを挟む形で設けられた複数の対向側作用部に距離依存性駆動力を作用させることにより、ミラーを回転駆動した状態で保持することが可能となる。
【0013】
これにより、ミラーデバイス等は、ミラーデバイス等に衝撃が加わった場合であっても、従来と比べてミラーの位置をより安定させることができる。
【0014】
なお、距離依存性駆動力を作用させる手法としては、例えば、前記距離依存性駆動力としてクーロン力を用いる場合には、前記ミラーと前記対向側作用部に電位差を生じさせる手法を採用し、前記距離依存性駆動力として電磁気力を用いる場合には、前記ミラーと前記対向側作用部の極性を逆(例えば、N極とS極)にする手法を採用してもよい。
【0015】
また、距離依存性駆動力の作用を停止する手法としては、例えば、前記距離依存性駆動力としてクーロン力を用いる場合には、前記ミラーと前記対向側作用部の電位差をなくす手法を採用し、前記距離依存性駆動力として電磁気力を用いる場合には、前記ミラーと前記対向側作用部の極性を同じ(例えば、N極とN極、S極とS極)にする手法を採用してもよい。
【0016】
また、本発明に係るミラーデバイスは、所定の距離依存性駆動力によって回転駆動されるミラーを有するミラー基板と、当該ミラー基板を支持する支持基板とを有するミラーデバイスにおいて、
前記ミラーデバイスは、前記ミラーの回転方向において前記ミラー基板を挟む形で第1および第2の支持基板を有し、
前記第1の支持基板は、
前記ミラーの回転方向の一方向側の端部の対向位置に設けられた第1の対向側作用部と、
前記ミラーの回転方向の一方向側と逆方向側の端部の対向位置に設けられた第2の対向側作用部と、
を有し、
前記第2の支持基板は、
前記ミラーの回転方向の一方向側の端部の対向位置に設けられた第3の対向側作用部と、
前記ミラーの回転方向の一方向側と逆方向側の端部の対向位置に設けられた第4の対向側作用部と、
を有していることを特徴とする。
【0017】
また、本発明に係る光スイッチは、上記ミラーデバイスを有し、前記ミラーの駆動によって光路を切り替えることを特徴とする。
【0018】
また、本発明に係る電子機器は、上記ミラーデバイスを有することを特徴とする。
【0019】
また、本発明に係るミラーデバイス駆動方法は、所定の距離依存性駆動力によって回転駆動されるミラーを有するミラー基板と、当該ミラー基板を支持する支持基板とを有するミラーデバイスを駆動するミラーデバイス駆動方法において、前記ミラーデバイスは、前記ミラーの回転方向において前記ミラー基板を挟む形で第1および第2の支持基板を有し、
前記第1の支持基板は、
前記ミラーの回転方向の一方向側の端部の対向位置に設けられた第1の対向側作用部と、
前記ミラーの回転方向の一方向側と逆方向側の端部の対向位置に設けられた第2の対向側作用部と、
を有し、
前記第2の支持基板は、
前記ミラーの回転方向の一方向側の端部の対向位置に設けられた第3の対向側作用部と、
前記ミラーの回転方向の一方向側と逆方向側の端部の対向位置に設けられた第4の対向側作用部と、
を有し、
各対向側作用部が前記距離依存性駆動力を発生することによって前記ミラーを回転駆動しない状態で保持することを特徴とする。
【0020】
本発明によれば、ミラーデバイス等は、ミラーの回転方向において、ミラーの駆動方向の端部を挟む形で距離依存性駆動力を作用させることにより、例えば、ミラーの下方から距離依存性駆動力を作用させる場合と比較してミラーの回転軸がずれにくく、ミラーをより安定させて駆動することができる。
【0021】
特に、ミラーデバイス等は、ミラーの駆動方向の両端部を挟む形で設けられた複数の対向側作用部に距離依存性駆動力を作用させることにより、ミラーを回転駆動しない状態で保持することが可能となる。
【0022】
これにより、ミラーデバイス等は、ミラーデバイス等に衝撃が加わった場合であっても、従来と比べてミラーの位置をより安定させることができる。
【0023】
また、前記ミラーデバイス、前記光スイッチ、前記電子機器および前記ミラーデバイス駆動方法において、前記第1の対向側作用部または前記第3の対向側作用部が前記距離依存性駆動力を発生し、かつ、前記第4の対向側作用部または前記第2の対向側作用部が前記距離依存性駆動力を発生することによって前記ミラーを回転駆動してもよい。
【0024】
これによれば、ミラーデバイス等は、ミラーの駆動方向の両端部のそれぞれに距離依存性駆動力を作用させることにより、ミラーを所望の方向により安定させて回転駆動することができる。
【0025】
また、前記ミラーデバイス、前記光スイッチ、前記電子機器および前記ミラーデバイス駆動方法において、前記第1の対向側作用部と前記ミラーとの間隔と、前記第3の対向側作用部と前記ミラーとの間隔とがほぼ等間隔となり、前記第2の対向側作用部と前記ミラーとの間隔と、前記第4の対向側作用部と前記ミラーとの間隔とがほぼ等間隔となるように、前記ミラー基板と前記支持基板とを形成してもよい。
【0026】
これによれば、ミラーを介して対向する位置にある各対向側作用部とミラーとの間隔を等間隔とすることにより、ミラーデバイス等は、同じ力で距離依存性駆動力を作用させることができ、ミラーを安定させて駆動することができる。
【0027】
また、前記ミラーデバイス、前記光スイッチ、前記電子機器および前記ミラーデバイス駆動方法において、前記第1の対向側作用部と、前記第3の対向側作用部とがほぼ同じ力で前記距離依存性駆動力を発生し、前記第2の対向側作用部と、前記第4の対向側作用部とがほぼ同じ力で前記距離依存性駆動力を発生するように各対向側作用部を形成してもよい。
【0028】
これによれば、ミラーデバイス等は、同じ力で距離依存性駆動力を作用させることにより、ミラーを安定させて駆動することができる。
【0029】
また、前記ミラーデバイス、前記光スイッチ、前記電子機器および前記ミラーデバイス駆動方法において、前記距離依存性駆動力はクーロン力であってもよい。
【0030】
また、前記ミラーデバイス、前記光スイッチ、前記電子機器および前記ミラーデバイス駆動方法において、各対向側作用部は電極であってもよい。
【0031】
これによれば、ミラーデバイス等は、クーロン力(静電気力)によって低電圧駆動でもミラーを大きく駆動することができる。また、ミラーデバイス等は、静電駆動方式を採用することにより、ミラーの駆動のために必要となる消費電力と発熱を抑制することができる。
【0032】
また、前記ミラーデバイス、前記光スイッチ、前記電子機器および前記ミラーデバイス駆動方法において、前記ミラー基板は導電性シリコン基板であってもよい。
【0033】
これによれば、ミラーデバイス等は、導電性シリコン基板を用いることにより、ミラー基板に電極を用いることなく、静電駆動することが可能となる。
【0034】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を、ミラーの回転駆動によって光路を切り替えるミラーデバイスに適用した場合を例に採り、図面を参照しつつ説明する。なお、以下に示す実施形態は、特許請求の範囲に記載された発明の内容を何ら限定するものではない。また、以下の実施形態に示す構成の全てが、特許請求の範囲に記載された発明の解決手段として必須であるとは限らない。
【0035】
(実施例)
図1は、従来のミラーデバイスの概略断面図である。
【0036】
従来は、図1に示すように、ミラー基板1とミラー基板1を支持する支持基板2を有するミラーデバイスは、ヒンジ5を回転軸としてミラー4を回転駆動し、回転駆動方向の一端にある電極11に電圧を印加することによってクーロン力を発生させてミラー4を回転駆動していた。
【0037】
このため、図1の2点鎖線で示すように、ミラー4だけでなく、ヒンジ5も電極11側、すなわち、図1のZ方向の逆方向側に引きつけられてしまい、ミラー4の反射光の光軸が本来意図した位置からずれてしまう場合があった。
【0038】
本実施の形態では、支持基板として、ミラー4の回転方向においてミラー基板1を挟む形で第1および第2の支持基板を設けている。そして、第1の支持基板に、ミラー4の回転方向の一方向側の端部の対向位置に第1の対向側作用部と、ミラー4の回転方向の一方向側と逆方向側の端部の対向位置にた第2の対向側作用部を設け、第2の支持基板に、ミラー4の回転方向の一方向側の端部の対向位置に第3の対向側作用部と、ミラー4の回転方向の一方向側と逆方向側の端部の対向位置に第4の対向側作用部を設けている。
【0039】
まず、本実施形態のミラーデバイスの構成について説明する。
【0040】
図2は、本実施形態の一例に係るミラーデバイスの概略断面図である。また、図3は、本実施形態の一例に係るミラーデバイスの概略分解斜視図である。
【0041】
ミラー基板1の下側に設けられる第1の支持基板2は、第1の対向側作用部として機能する電極11と、第2の対向側作用部として機能する電極12とを含んで構成されている。
【0042】
また、ミラー基板1の上側に設けられる第2の支持基板3は、第3の対向側作用部として機能する電極13と、第4の対向側作用部として機能する電極14とを含んで構成されている。
【0043】
また、支持基板3は、支持基板3aと支持基板3bの間に開口部を有し、当該開口部から光を入射するとともに、当該開口部を介してミラー4の反射光を出射する。
【0044】
例えば、図2に示すように、開口部の長さをx、ミラー4の中央部から開口部までの距離をd、開口部の最端部とミラー4の中央部を結ぶ直線と開口部の中央部とミラー4の中央部とを結ぶ直線のなす角度をθとする。
【0045】
この場合、開口部の長さxを、2dtanθ以上となるように設計すればよい。
【0046】
なお、このようなミラーデバイスを実現するための材料としては、例えば、以下のものを適用できる。
【0047】
ミラー基板1としては、例えば、シリコンにボロンをドープして導電性を付与した導電性シリコン基板等を用い、支持基板2としては、例えば、ホウケイ酸ナトリウムガラス等を用い、ミラー10としては、例えば、導電性シリコン基板と同材料であってもよく、ミラー10の反射部としてアルミニウム等を用いてもよい。
【0048】
また、電極11〜14としては、例えば、ITO等の透明電極を用いてもよい。
【0049】
なお、本実施形態のミラーデバイスの製造方法としては、一般的なマイクロマシニング技術を用いて実現でき、例えば、特開平9−159937号公報に記載された手法を用いてもよい。特に、マイクロマシニング技術を用いることにより、ミラーデバイスを容易に小型化することが可能となる。
【0050】
次に、本実施形態のミラーデバイスの動作について説明する。
【0051】
図4は、本実施形態の一例に係るミラーデバイスの電極11〜14とミラー4の印加電圧とミラー4の状態との関係を示す図である。
【0052】
例えば、ミラーデバイスは、ミラー4の図2等に示すY方向の端部を上昇させ、図2の2点鎖線で示す状態にする場合、電極11および電極14に10Vの電圧を印可し、電極12および電極13に電圧を印可せずに0Vとする。なお、本実施例において、ミラー4は常に0Vである。
【0053】
ミラーデバイスは、このように電圧を印可し、電極11とミラー4との間および電極14とミラー4との間に電位差を生じさせることにより、クーロン力を作用させ、図2に示す2点鎖線で示す状態にミラー4を傾けることができる。
【0054】
また、ミラーデバイスは、ミラー4のY方向の端部を下降させ、逆方向に傾けることも可能である。
【0055】
この場合、ミラーデバイスは、電極11および電極14には電圧を印可せずに0Vとし、電極12および電極13に電圧を印可して10Vとする。
【0056】
ミラーデバイスは、このように電圧を印可することにより、電極12とミラー4との間および電極13とミラー4との間にクーロン力を作用させ、図2に示す矢印と反対の方向にミラー4を傾けることができる。
【0057】
さらに、ミラー4を水平に保持する場合、ミラーデバイスは、電極11〜14のすべてに10Vの電圧を印可する。
【0058】
これにより、電極11〜14とミラー4との間のそれぞれにクーロン力を作用させ、ミラー4を介した上下のクーロン力を相互に相殺させ、ミラー4を水平に保持することが可能となる。
【0059】
以上のように、本実施の形態によれば、ミラーデバイスは、ミラー4の回転方向において、ミラー4を挟む形でクーロン力を作用させてミラー4を回転駆動することにより、例えば、ミラー4の下方からクーロン力を作用させる場合と比較してミラー4の回転軸であるヒンジ5がずれにくく、ミラー4をより安定させて駆動することができる。
【0060】
特に、ミラーデバイスは、ミラー4を挟む形で設けられた電極11と電極14または電極12と電極13にクーロン力を作用させることにより、ミラーを回転駆動した状態で保持することが可能となる。
【0061】
また、ミラーデバイスは、ミラー4の駆動方向の両端部を挟む形で設けられた電極11〜14のすべてにクーロン力を作用させることにより、ミラー4を回転駆動しない状態で水平に保持することが可能となる。
【0062】
これにより、ミラーデバイスは、ミラーデバイスに衝撃が加わった場合であっても、従来と比べてミラー4の位置をより安定させることができる。
【0063】
具体的には、例えば、ミラーデバイスをスロット形態で形成し、当該スロットを装置に抜き差しする場合、抜き差しする際の振動によってミラー4に傷が生じる可能性もないとは言えない。
【0064】
このような場合であっても、本実施形態では、回転駆動状態または非駆動状態でミラー4を安定させることができるため、ミラー4に不具合が生じる可能性をより低減することが可能となる。
【0065】
また、本実施の形態では、図2に示すように、電極11とミラー4との間隔は、電極13とミラー4との間隔と等間隔であり、電極12とミラー4との間隔は、電極14とミラー4との間隔と等間隔であり、すべての電極11〜14とミラー4との間隔を等間隔に形成している。
【0066】
また、図4を用いて説明したように、すべての電極11〜14とミラー4との間に作用する電位差は10Vであり、クーロン力も同じである。
【0067】
したがって、ミラーデバイスは、同じ力でクーロン力を作用させることができ、ミラーを安定させて保持、駆動することができる。
【0068】
なお、電位差は10Vに限定されず、種々の電位差を適用可能であり、印加電圧も10Vに限定されず、種々の電圧を適用可能である。
【0069】
また、ミラーデバイスは、クーロン力を用いてミラー4を静電駆動するため、消費電力と発熱を低減することができる。
【0070】
特に、ミラー4の上下に電極11〜14を設けることにより、ミラーデバイスは、従来と同じ印加電圧でミラー4に働くクーロン力を従来より大きくすることが可能である。
【0071】
また、ミラー基板1を導電性のシリコン基板として形成することにより、ミラー4に電極を設ける必要はないため、消費電力と発熱をより低減することができる。
【0072】
(変形例)
以上、本発明を適用した好適な実施の形態について説明してきたが、本発明は上述した実施例に限定されず、種々の変形が可能である。
【0073】
例えば、上述した実施例では、開口部を設けたが、必ずしも開口部を設ける必要はない。
【0074】
図5は、本実施形態の他の一例に係るミラーデバイスの概略分解斜視図である。
【0075】
例えば、上述したように、支持基板6としてガラス等の透明材を用いれば、ミラーデバイスは、支持基板6を透過してミラー4に光を入射し、支持基板6を透過してミラー4からの反射光を出射することができる。
【0076】
また、上述した実施例では、ミラー4の回転方向は順逆の2方向のみであったが、当該順逆方向に加え、当該順逆方向と交わる方向にミラーを回転駆動する場合であっても、本発明を適用することは可能である。
【0077】
図6は、本実施形態の他の一例に係るミラーデバイスの平面図である。
【0078】
例えば、図6に示すように、中央部に長方形の反射部を有し、当該反射部をヒンジを介して支持するとともに、当該ヒンジおよび反射部を駆動部で支持し、反射部の回転駆動方向と直交する方向に駆動部を反射部とともに回転駆動可能なミラー19に対しても本発明を適用することは可能である。
【0079】
このようなミラー19の場合であっても、反射部の回転駆動方向の両端部に電極17、18を設け、駆動部の回転駆動方向の両端部に電極15、16を設け、ミラーデバイスが、各電極15〜18に選択的に電圧を印可することにより、所望の方向にミラーを回転駆動することが可能である。
【0080】
なお、この場合、実際には、ミラー19を挟む形で、電極15〜18はそれぞれ複数設けられる。
【0081】
また、上述した実施例では、図2に示すように、ミラー4の両端部を挟む形で電極11〜14を設けたが、ミラー4を、水平状態と図2に示す2点鎖線の状態の2状態で駆動する場合、電極12、13を設けずに電極11、14を設けてミラー4を駆動してもよい。
【0082】
このような形態であっても、クーロン力を2方向(図2に示す矢印の方向)に作用させることができるため、ミラー4を安定的に保持、駆動することが可能である。
【0083】
また、上述した実施例では、距離依存性のある駆動力としてクーロン力を用いたが、例えば、電磁気力等を用いてもよい。
【0084】
例えば、電磁気力を用いる場合には、距離依存性駆動力を発生する際には、ミラー側作用部と対向側作用部の極性を逆(例えば、N極とS極)にする手法を採用してもよく、距離依存性駆動力を停止する際には、ミラー側作用部と対向側作用部の極性を同じ(例えば、N極とN極、S極とS極)にする手法を採用してもよい。
【0085】
また、本発明に係るミラーデバイスは、ミラーの傾きによって光路を切り替える光スイッチのほか、ルータ、プロジェクタ等の種々の電子機器に実装することが可能である。
【0086】
さらに、上述した実施例ではいわゆる平行平板の静電アクチュエータ方式を採用したが、ミラー基板1側および支持基板2側の少なくとも一方に傾きを設けてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来のミラーデバイスの概略断面図である。
【図2】本実施形態の一例に係るミラーデバイスの概略断面図である。
【図3】本実施形態の一例に係るミラーデバイスの概略分解斜視図である。
【図4】本実施形態の一例に係るミラーデバイスの電極とミラーの印加電圧とミラーの状態との関係を示す図である。
【図5】本実施形態の他の一例に係るミラーデバイスの概略分解斜視図である。
【図6】本実施形態の他の一例に係るミラーデバイスの平面図である。
【符号の説明】
1 ミラー基板、2 支持基板(第1の支持基板)、3 支持基板(第2の支持基板)、4、19 ミラー、5 ヒンジ、11 電極(第1の対向側作用部)、12 電極(第2の対向側作用部)、13 電極(第3の対向側作用部)、14 電極(第4の対向側作用部)、15〜18 電極
【発明の属する技術分野】
本発明は、ミラーを回転駆動するミラーデバイス、光スイッチ、電子機器およびミラーデバイス駆動方法に関する。
【0002】
【背景技術および発明が解決しようとする課題】
ミラーを回転駆動する種々のミラーデバイスが提案されている。
【0003】
例えば、特開平9−101468号公報等に記載されているように、従来のミラーデバイスは、ミラーを回転可能に回転軸部であるヒンジで支持し、ミラーの下方に電極を設け、電極に電圧を印加することによってクーロン力を発生してミラーを回転駆動していた。
【0004】
しかし、この手法では、クーロン力によってミラーだけでなくヒンジも下方に吸引してしまい、ミラーの回転軸がずれてしまう場合があった。
【0005】
ミラーの回転軸がずれてしまうと、例えば、ミラーを用いて光路を切り替える場合、意図した光路に光を導けなくなってしまう。
【0006】
本発明は、上記の課題に鑑みなされたものであり、その目的は、ミラーの回転軸をずらすことなくミラーを回転駆動可能なミラーデバイス、光スイッチ、電子機器およびミラーデバイス駆動方法を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明に係るミラーデバイスは、所定の距離依存性駆動力によって回転駆動されるミラーを有するミラー基板と、当該ミラー基板を支持する支持基板とを有するミラーデバイスにおいて、
前記ミラーデバイスは、前記ミラーの回転方向において前記ミラー基板を挟む形で第1および第2の支持基板を有し、
当該第1および第2の支持基板は、前記ミラーの回転駆動時に当該ミラーが近づく位置に設けられ、前記距離依存性駆動力が作用する少なくとも1つの対向側作用部をそれぞれ有することを特徴とする。
【0008】
また、本発明に係る光スイッチは、上記ミラーデバイスを有し、前記ミラーの駆動によって光路を切り替えることを特徴とする。
【0009】
また、本発明に係る電子機器は、上記ミラーデバイスを有することを特徴とする。
【0010】
また、本発明に係るミラーデバイス駆動方法は、所定の距離依存性駆動力によって回転駆動されるミラーを有するミラー基板と、当該ミラー基板を支持する支持基板とを有するミラーデバイスを駆動するミラーデバイス駆動方法において、前記ミラーデバイスは、前記ミラーの回転方向において前記ミラー基板を挟む形で第1および第2の支持基板を有し、
当該第1の支持基板は、前記ミラーの回転方向の一方向側の端部と対向する位置に設けられ、前記距離依存性駆動力が作用する対向側作用部を有し、
前記第2の支持基板は、前記ミラーの回転方向の一方向側の逆方向側の端部と対向する位置に設けられ、前記距離依存性駆動力が作用する対向側作用部を有し、
各対向側作用部に前記距離依存性駆動力を発生することによって前記ミラーを回転駆動した状態で保持することを特徴とする。
【0011】
本発明によれば、ミラーデバイス等は、ミラーの回転方向において、ミラーを挟む形で距離依存性駆動力(例えば、クーロン力、電磁気力等)を作用させてミラーを回転駆動することにより、例えば、ミラーの下方から距離依存性駆動力を作用させる場合と比較してミラーの回転軸がずれにくく、ミラーをより安定させて駆動することができる。
【0012】
特に、ミラーデバイス等は、ミラーを挟む形で設けられた複数の対向側作用部に距離依存性駆動力を作用させることにより、ミラーを回転駆動した状態で保持することが可能となる。
【0013】
これにより、ミラーデバイス等は、ミラーデバイス等に衝撃が加わった場合であっても、従来と比べてミラーの位置をより安定させることができる。
【0014】
なお、距離依存性駆動力を作用させる手法としては、例えば、前記距離依存性駆動力としてクーロン力を用いる場合には、前記ミラーと前記対向側作用部に電位差を生じさせる手法を採用し、前記距離依存性駆動力として電磁気力を用いる場合には、前記ミラーと前記対向側作用部の極性を逆(例えば、N極とS極)にする手法を採用してもよい。
【0015】
また、距離依存性駆動力の作用を停止する手法としては、例えば、前記距離依存性駆動力としてクーロン力を用いる場合には、前記ミラーと前記対向側作用部の電位差をなくす手法を採用し、前記距離依存性駆動力として電磁気力を用いる場合には、前記ミラーと前記対向側作用部の極性を同じ(例えば、N極とN極、S極とS極)にする手法を採用してもよい。
【0016】
また、本発明に係るミラーデバイスは、所定の距離依存性駆動力によって回転駆動されるミラーを有するミラー基板と、当該ミラー基板を支持する支持基板とを有するミラーデバイスにおいて、
前記ミラーデバイスは、前記ミラーの回転方向において前記ミラー基板を挟む形で第1および第2の支持基板を有し、
前記第1の支持基板は、
前記ミラーの回転方向の一方向側の端部の対向位置に設けられた第1の対向側作用部と、
前記ミラーの回転方向の一方向側と逆方向側の端部の対向位置に設けられた第2の対向側作用部と、
を有し、
前記第2の支持基板は、
前記ミラーの回転方向の一方向側の端部の対向位置に設けられた第3の対向側作用部と、
前記ミラーの回転方向の一方向側と逆方向側の端部の対向位置に設けられた第4の対向側作用部と、
を有していることを特徴とする。
【0017】
また、本発明に係る光スイッチは、上記ミラーデバイスを有し、前記ミラーの駆動によって光路を切り替えることを特徴とする。
【0018】
また、本発明に係る電子機器は、上記ミラーデバイスを有することを特徴とする。
【0019】
また、本発明に係るミラーデバイス駆動方法は、所定の距離依存性駆動力によって回転駆動されるミラーを有するミラー基板と、当該ミラー基板を支持する支持基板とを有するミラーデバイスを駆動するミラーデバイス駆動方法において、前記ミラーデバイスは、前記ミラーの回転方向において前記ミラー基板を挟む形で第1および第2の支持基板を有し、
前記第1の支持基板は、
前記ミラーの回転方向の一方向側の端部の対向位置に設けられた第1の対向側作用部と、
前記ミラーの回転方向の一方向側と逆方向側の端部の対向位置に設けられた第2の対向側作用部と、
を有し、
前記第2の支持基板は、
前記ミラーの回転方向の一方向側の端部の対向位置に設けられた第3の対向側作用部と、
前記ミラーの回転方向の一方向側と逆方向側の端部の対向位置に設けられた第4の対向側作用部と、
を有し、
各対向側作用部が前記距離依存性駆動力を発生することによって前記ミラーを回転駆動しない状態で保持することを特徴とする。
【0020】
本発明によれば、ミラーデバイス等は、ミラーの回転方向において、ミラーの駆動方向の端部を挟む形で距離依存性駆動力を作用させることにより、例えば、ミラーの下方から距離依存性駆動力を作用させる場合と比較してミラーの回転軸がずれにくく、ミラーをより安定させて駆動することができる。
【0021】
特に、ミラーデバイス等は、ミラーの駆動方向の両端部を挟む形で設けられた複数の対向側作用部に距離依存性駆動力を作用させることにより、ミラーを回転駆動しない状態で保持することが可能となる。
【0022】
これにより、ミラーデバイス等は、ミラーデバイス等に衝撃が加わった場合であっても、従来と比べてミラーの位置をより安定させることができる。
【0023】
また、前記ミラーデバイス、前記光スイッチ、前記電子機器および前記ミラーデバイス駆動方法において、前記第1の対向側作用部または前記第3の対向側作用部が前記距離依存性駆動力を発生し、かつ、前記第4の対向側作用部または前記第2の対向側作用部が前記距離依存性駆動力を発生することによって前記ミラーを回転駆動してもよい。
【0024】
これによれば、ミラーデバイス等は、ミラーの駆動方向の両端部のそれぞれに距離依存性駆動力を作用させることにより、ミラーを所望の方向により安定させて回転駆動することができる。
【0025】
また、前記ミラーデバイス、前記光スイッチ、前記電子機器および前記ミラーデバイス駆動方法において、前記第1の対向側作用部と前記ミラーとの間隔と、前記第3の対向側作用部と前記ミラーとの間隔とがほぼ等間隔となり、前記第2の対向側作用部と前記ミラーとの間隔と、前記第4の対向側作用部と前記ミラーとの間隔とがほぼ等間隔となるように、前記ミラー基板と前記支持基板とを形成してもよい。
【0026】
これによれば、ミラーを介して対向する位置にある各対向側作用部とミラーとの間隔を等間隔とすることにより、ミラーデバイス等は、同じ力で距離依存性駆動力を作用させることができ、ミラーを安定させて駆動することができる。
【0027】
また、前記ミラーデバイス、前記光スイッチ、前記電子機器および前記ミラーデバイス駆動方法において、前記第1の対向側作用部と、前記第3の対向側作用部とがほぼ同じ力で前記距離依存性駆動力を発生し、前記第2の対向側作用部と、前記第4の対向側作用部とがほぼ同じ力で前記距離依存性駆動力を発生するように各対向側作用部を形成してもよい。
【0028】
これによれば、ミラーデバイス等は、同じ力で距離依存性駆動力を作用させることにより、ミラーを安定させて駆動することができる。
【0029】
また、前記ミラーデバイス、前記光スイッチ、前記電子機器および前記ミラーデバイス駆動方法において、前記距離依存性駆動力はクーロン力であってもよい。
【0030】
また、前記ミラーデバイス、前記光スイッチ、前記電子機器および前記ミラーデバイス駆動方法において、各対向側作用部は電極であってもよい。
【0031】
これによれば、ミラーデバイス等は、クーロン力(静電気力)によって低電圧駆動でもミラーを大きく駆動することができる。また、ミラーデバイス等は、静電駆動方式を採用することにより、ミラーの駆動のために必要となる消費電力と発熱を抑制することができる。
【0032】
また、前記ミラーデバイス、前記光スイッチ、前記電子機器および前記ミラーデバイス駆動方法において、前記ミラー基板は導電性シリコン基板であってもよい。
【0033】
これによれば、ミラーデバイス等は、導電性シリコン基板を用いることにより、ミラー基板に電極を用いることなく、静電駆動することが可能となる。
【0034】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を、ミラーの回転駆動によって光路を切り替えるミラーデバイスに適用した場合を例に採り、図面を参照しつつ説明する。なお、以下に示す実施形態は、特許請求の範囲に記載された発明の内容を何ら限定するものではない。また、以下の実施形態に示す構成の全てが、特許請求の範囲に記載された発明の解決手段として必須であるとは限らない。
【0035】
(実施例)
図1は、従来のミラーデバイスの概略断面図である。
【0036】
従来は、図1に示すように、ミラー基板1とミラー基板1を支持する支持基板2を有するミラーデバイスは、ヒンジ5を回転軸としてミラー4を回転駆動し、回転駆動方向の一端にある電極11に電圧を印加することによってクーロン力を発生させてミラー4を回転駆動していた。
【0037】
このため、図1の2点鎖線で示すように、ミラー4だけでなく、ヒンジ5も電極11側、すなわち、図1のZ方向の逆方向側に引きつけられてしまい、ミラー4の反射光の光軸が本来意図した位置からずれてしまう場合があった。
【0038】
本実施の形態では、支持基板として、ミラー4の回転方向においてミラー基板1を挟む形で第1および第2の支持基板を設けている。そして、第1の支持基板に、ミラー4の回転方向の一方向側の端部の対向位置に第1の対向側作用部と、ミラー4の回転方向の一方向側と逆方向側の端部の対向位置にた第2の対向側作用部を設け、第2の支持基板に、ミラー4の回転方向の一方向側の端部の対向位置に第3の対向側作用部と、ミラー4の回転方向の一方向側と逆方向側の端部の対向位置に第4の対向側作用部を設けている。
【0039】
まず、本実施形態のミラーデバイスの構成について説明する。
【0040】
図2は、本実施形態の一例に係るミラーデバイスの概略断面図である。また、図3は、本実施形態の一例に係るミラーデバイスの概略分解斜視図である。
【0041】
ミラー基板1の下側に設けられる第1の支持基板2は、第1の対向側作用部として機能する電極11と、第2の対向側作用部として機能する電極12とを含んで構成されている。
【0042】
また、ミラー基板1の上側に設けられる第2の支持基板3は、第3の対向側作用部として機能する電極13と、第4の対向側作用部として機能する電極14とを含んで構成されている。
【0043】
また、支持基板3は、支持基板3aと支持基板3bの間に開口部を有し、当該開口部から光を入射するとともに、当該開口部を介してミラー4の反射光を出射する。
【0044】
例えば、図2に示すように、開口部の長さをx、ミラー4の中央部から開口部までの距離をd、開口部の最端部とミラー4の中央部を結ぶ直線と開口部の中央部とミラー4の中央部とを結ぶ直線のなす角度をθとする。
【0045】
この場合、開口部の長さxを、2dtanθ以上となるように設計すればよい。
【0046】
なお、このようなミラーデバイスを実現するための材料としては、例えば、以下のものを適用できる。
【0047】
ミラー基板1としては、例えば、シリコンにボロンをドープして導電性を付与した導電性シリコン基板等を用い、支持基板2としては、例えば、ホウケイ酸ナトリウムガラス等を用い、ミラー10としては、例えば、導電性シリコン基板と同材料であってもよく、ミラー10の反射部としてアルミニウム等を用いてもよい。
【0048】
また、電極11〜14としては、例えば、ITO等の透明電極を用いてもよい。
【0049】
なお、本実施形態のミラーデバイスの製造方法としては、一般的なマイクロマシニング技術を用いて実現でき、例えば、特開平9−159937号公報に記載された手法を用いてもよい。特に、マイクロマシニング技術を用いることにより、ミラーデバイスを容易に小型化することが可能となる。
【0050】
次に、本実施形態のミラーデバイスの動作について説明する。
【0051】
図4は、本実施形態の一例に係るミラーデバイスの電極11〜14とミラー4の印加電圧とミラー4の状態との関係を示す図である。
【0052】
例えば、ミラーデバイスは、ミラー4の図2等に示すY方向の端部を上昇させ、図2の2点鎖線で示す状態にする場合、電極11および電極14に10Vの電圧を印可し、電極12および電極13に電圧を印可せずに0Vとする。なお、本実施例において、ミラー4は常に0Vである。
【0053】
ミラーデバイスは、このように電圧を印可し、電極11とミラー4との間および電極14とミラー4との間に電位差を生じさせることにより、クーロン力を作用させ、図2に示す2点鎖線で示す状態にミラー4を傾けることができる。
【0054】
また、ミラーデバイスは、ミラー4のY方向の端部を下降させ、逆方向に傾けることも可能である。
【0055】
この場合、ミラーデバイスは、電極11および電極14には電圧を印可せずに0Vとし、電極12および電極13に電圧を印可して10Vとする。
【0056】
ミラーデバイスは、このように電圧を印可することにより、電極12とミラー4との間および電極13とミラー4との間にクーロン力を作用させ、図2に示す矢印と反対の方向にミラー4を傾けることができる。
【0057】
さらに、ミラー4を水平に保持する場合、ミラーデバイスは、電極11〜14のすべてに10Vの電圧を印可する。
【0058】
これにより、電極11〜14とミラー4との間のそれぞれにクーロン力を作用させ、ミラー4を介した上下のクーロン力を相互に相殺させ、ミラー4を水平に保持することが可能となる。
【0059】
以上のように、本実施の形態によれば、ミラーデバイスは、ミラー4の回転方向において、ミラー4を挟む形でクーロン力を作用させてミラー4を回転駆動することにより、例えば、ミラー4の下方からクーロン力を作用させる場合と比較してミラー4の回転軸であるヒンジ5がずれにくく、ミラー4をより安定させて駆動することができる。
【0060】
特に、ミラーデバイスは、ミラー4を挟む形で設けられた電極11と電極14または電極12と電極13にクーロン力を作用させることにより、ミラーを回転駆動した状態で保持することが可能となる。
【0061】
また、ミラーデバイスは、ミラー4の駆動方向の両端部を挟む形で設けられた電極11〜14のすべてにクーロン力を作用させることにより、ミラー4を回転駆動しない状態で水平に保持することが可能となる。
【0062】
これにより、ミラーデバイスは、ミラーデバイスに衝撃が加わった場合であっても、従来と比べてミラー4の位置をより安定させることができる。
【0063】
具体的には、例えば、ミラーデバイスをスロット形態で形成し、当該スロットを装置に抜き差しする場合、抜き差しする際の振動によってミラー4に傷が生じる可能性もないとは言えない。
【0064】
このような場合であっても、本実施形態では、回転駆動状態または非駆動状態でミラー4を安定させることができるため、ミラー4に不具合が生じる可能性をより低減することが可能となる。
【0065】
また、本実施の形態では、図2に示すように、電極11とミラー4との間隔は、電極13とミラー4との間隔と等間隔であり、電極12とミラー4との間隔は、電極14とミラー4との間隔と等間隔であり、すべての電極11〜14とミラー4との間隔を等間隔に形成している。
【0066】
また、図4を用いて説明したように、すべての電極11〜14とミラー4との間に作用する電位差は10Vであり、クーロン力も同じである。
【0067】
したがって、ミラーデバイスは、同じ力でクーロン力を作用させることができ、ミラーを安定させて保持、駆動することができる。
【0068】
なお、電位差は10Vに限定されず、種々の電位差を適用可能であり、印加電圧も10Vに限定されず、種々の電圧を適用可能である。
【0069】
また、ミラーデバイスは、クーロン力を用いてミラー4を静電駆動するため、消費電力と発熱を低減することができる。
【0070】
特に、ミラー4の上下に電極11〜14を設けることにより、ミラーデバイスは、従来と同じ印加電圧でミラー4に働くクーロン力を従来より大きくすることが可能である。
【0071】
また、ミラー基板1を導電性のシリコン基板として形成することにより、ミラー4に電極を設ける必要はないため、消費電力と発熱をより低減することができる。
【0072】
(変形例)
以上、本発明を適用した好適な実施の形態について説明してきたが、本発明は上述した実施例に限定されず、種々の変形が可能である。
【0073】
例えば、上述した実施例では、開口部を設けたが、必ずしも開口部を設ける必要はない。
【0074】
図5は、本実施形態の他の一例に係るミラーデバイスの概略分解斜視図である。
【0075】
例えば、上述したように、支持基板6としてガラス等の透明材を用いれば、ミラーデバイスは、支持基板6を透過してミラー4に光を入射し、支持基板6を透過してミラー4からの反射光を出射することができる。
【0076】
また、上述した実施例では、ミラー4の回転方向は順逆の2方向のみであったが、当該順逆方向に加え、当該順逆方向と交わる方向にミラーを回転駆動する場合であっても、本発明を適用することは可能である。
【0077】
図6は、本実施形態の他の一例に係るミラーデバイスの平面図である。
【0078】
例えば、図6に示すように、中央部に長方形の反射部を有し、当該反射部をヒンジを介して支持するとともに、当該ヒンジおよび反射部を駆動部で支持し、反射部の回転駆動方向と直交する方向に駆動部を反射部とともに回転駆動可能なミラー19に対しても本発明を適用することは可能である。
【0079】
このようなミラー19の場合であっても、反射部の回転駆動方向の両端部に電極17、18を設け、駆動部の回転駆動方向の両端部に電極15、16を設け、ミラーデバイスが、各電極15〜18に選択的に電圧を印可することにより、所望の方向にミラーを回転駆動することが可能である。
【0080】
なお、この場合、実際には、ミラー19を挟む形で、電極15〜18はそれぞれ複数設けられる。
【0081】
また、上述した実施例では、図2に示すように、ミラー4の両端部を挟む形で電極11〜14を設けたが、ミラー4を、水平状態と図2に示す2点鎖線の状態の2状態で駆動する場合、電極12、13を設けずに電極11、14を設けてミラー4を駆動してもよい。
【0082】
このような形態であっても、クーロン力を2方向(図2に示す矢印の方向)に作用させることができるため、ミラー4を安定的に保持、駆動することが可能である。
【0083】
また、上述した実施例では、距離依存性のある駆動力としてクーロン力を用いたが、例えば、電磁気力等を用いてもよい。
【0084】
例えば、電磁気力を用いる場合には、距離依存性駆動力を発生する際には、ミラー側作用部と対向側作用部の極性を逆(例えば、N極とS極)にする手法を採用してもよく、距離依存性駆動力を停止する際には、ミラー側作用部と対向側作用部の極性を同じ(例えば、N極とN極、S極とS極)にする手法を採用してもよい。
【0085】
また、本発明に係るミラーデバイスは、ミラーの傾きによって光路を切り替える光スイッチのほか、ルータ、プロジェクタ等の種々の電子機器に実装することが可能である。
【0086】
さらに、上述した実施例ではいわゆる平行平板の静電アクチュエータ方式を採用したが、ミラー基板1側および支持基板2側の少なくとも一方に傾きを設けてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来のミラーデバイスの概略断面図である。
【図2】本実施形態の一例に係るミラーデバイスの概略断面図である。
【図3】本実施形態の一例に係るミラーデバイスの概略分解斜視図である。
【図4】本実施形態の一例に係るミラーデバイスの電極とミラーの印加電圧とミラーの状態との関係を示す図である。
【図5】本実施形態の他の一例に係るミラーデバイスの概略分解斜視図である。
【図6】本実施形態の他の一例に係るミラーデバイスの平面図である。
【符号の説明】
1 ミラー基板、2 支持基板(第1の支持基板)、3 支持基板(第2の支持基板)、4、19 ミラー、5 ヒンジ、11 電極(第1の対向側作用部)、12 電極(第2の対向側作用部)、13 電極(第3の対向側作用部)、14 電極(第4の対向側作用部)、15〜18 電極
Claims (13)
- 所定の距離依存性駆動力によって回転駆動されるミラーを有するミラー基板と、当該ミラー基板を支持する支持基板とを有するミラーデバイスにおいて、
前記ミラーデバイスは、前記ミラーの回転方向において前記ミラー基板を挟む形で第1および第2の支持基板を有し、
当該第1および第2の支持基板は、前記ミラーの回転駆動時に当該ミラーが近づく位置に設けられ、前記距離依存性駆動力が作用する少なくとも1つの対向側作用部をそれぞれ有することを特徴とするミラーデバイス。 - 所定の距離依存性駆動力によって回転駆動されるミラーを有するミラー基板と、当該ミラー基板を支持する支持基板とを有するミラーデバイスにおいて、
前記ミラーデバイスは、前記ミラーの回転方向において前記ミラー基板を挟む形で第1および第2の支持基板を有し、
前記第1の支持基板は、
前記ミラーの回転方向の一方向側の端部の対向位置に設けられた第1の対向側作用部と、
前記ミラーの回転方向の一方向側と逆方向側の端部の対向位置に設けられた第2の対向側作用部と、
を有し、
前記第2の支持基板は、
前記ミラーの回転方向の一方向側の端部の対向位置に設けられた第3の対向側作用部と、
前記ミラーの回転方向の一方向側と逆方向側の端部の対向位置に設けられた第4の対向側作用部と、
を有することを特徴とするミラーデバイス。 - 請求項2において、
前記第1の対向側作用部と前記ミラーとの間隔と、前記第3の対向側作用部と前記ミラーとの間隔とがほぼ等間隔となり、前記第2の対向側作用部と前記ミラーとの間隔と、前記第4の対向側作用部と前記ミラーとの間隔とがほぼ等間隔となるように、前記ミラー基板と前記支持基板とを形成したことを特徴とするミラーデバイス。 - 請求項2、3のいずれかにおいて、
前記第1の対向側作用部と、前記第3の対向側作用部とがほぼ同じ力で前記距離依存性駆動力を発生し、前記第2の対向側作用部と、前記第4の対向側作用部とがほぼ同じ力で前記距離依存性駆動力を発生するように各対向側作用部を形成したことを特徴とするミラーデバイス。 - 請求項1〜4のいずれかにおいて、
前記距離依存性駆動力はクーロン力であることを特徴とするミラーデバイス。 - 請求項5において、
各対向側作用部は電極であることを特徴とするミラーデバイス。 - 請求項5、6のいずれかにおいて、
前記ミラー基板は導電性シリコン基板であることを特徴とするミラーデバイス。 - 請求項1〜7のいずれかに記載のミラーデバイスを有し、前記ミラーの駆動によって光路を切り替えることを特徴とする光スイッチ。
- 請求項1〜7のいずれかに記載のミラーデバイスを有することを特徴とする電子機器。
- 所定の距離依存性駆動力によって回転駆動されるミラーを有するミラー基板と、当該ミラー基板を支持する支持基板とを有するミラーデバイスを駆動するミラーデバイス駆動方法において、
前記ミラーデバイスは、前記ミラーの回転方向において前記ミラー基板を挟む形で第1および第2の支持基板を有し、
当該第1の支持基板は、前記ミラーの回転方向の一方向側の端部と対向する位置に設けられ、前記距離依存性駆動力が作用する対向側作用部を有し、
前記第2の支持基板は、前記ミラーの回転方向の一方向側の逆方向側の端部と対向する位置に設けられ、前記距離依存性駆動力が作用する対向側作用部を有し、
各対向側作用部に前記距離依存性駆動力を発生することによって前記ミラーを回転駆動した状態で保持することを特徴とするミラーデバイス駆動方法。 - 所定の距離依存性駆動力によって回転駆動されるミラーを有するミラー基板と、当該ミラー基板を支持する支持基板とを有するミラーデバイスを駆動するミラーデバイス駆動方法において、
前記ミラーデバイスは、前記ミラーの回転方向において前記ミラー基板を挟む形で第1および第2の支持基板を有し、
前記第1の支持基板は、
前記ミラーの回転方向の一方向側の端部の対向位置に設けられた第1の対向側作用部と、
前記ミラーの回転方向の一方向側と逆方向側の端部の対向位置に設けられた第2の対向側作用部と、
を有し、
前記第2の支持基板は、
前記ミラーの回転方向の一方向側の端部の対向位置に設けられた第3の対向側作用部と、
前記ミラーの回転方向の一方向側と逆方向側の端部の対向位置に設けられた第4の対向側作用部と、
を有し、
各対向側作用部が前記距離依存性駆動力を発生することによって前記ミラーを回転駆動しない状態で保持することを特徴とするミラーデバイス駆動方法。 - 請求項11において、
前記第1の対向側作用部または前記第3の対向側作用部が前記距離依存性駆動力を発生し、かつ、前記第4の対向側作用部または前記第2の対向側作用部が前記距離依存性駆動力を発生することによって前記ミラーを回転駆動することを特徴とするミラーデバイス駆動方法。 - 請求項10〜12のいずれかにおいて、
前記距離依存性駆動力はクーロン力であることを特徴とするミラーデバイス駆動方法。
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