JP2004093437A

JP2004093437A - 時計用カバーガラス

Info

Publication number: JP2004093437A
Application number: JP2002256548A
Authority: JP
Inventors: Nobuyuki Yoshino; 吉野　　信幸; Atsushi Sato; 佐藤　　惇司; Yuji Fukazawa; 深沢　　裕二; Yukio Miya; 宮　　行男
Original assignee: Citizen Watch Co Ltd
Current assignee: Citizen Watch Co Ltd
Priority date: 2002-09-02
Filing date: 2002-09-02
Publication date: 2004-03-25

Abstract

【課題】硬度が高く、耐摩耗性に優れ、長期間携帯しても傷の入りにくい反射防止機能を有した時計用カバーガラスを提供することにある。
【解決手段】ガラス基材にスパッタリング法によって作製したＳｉＯ_２、Ａｌ_２Ｏ_３、ＴｉＯ_２、ＺｒＯ_２またはＴａ_２Ｏ_５のうちのいずれかからなる酸化物膜またはＳｉ_３Ｎ_４からなる窒化物膜を積層した反射防止膜を備えた時計用カバーガラスであって、少なくとも表面の反射防止膜の上にプラズマＣＶＤ法、スパッタリング法、イオン化蒸着法のいずれかの方法で作製したダイヤモンドライクカーボン膜を厚さが０．１μｍ以下の範囲で被覆し、このダイヤモンドライクカーボン膜中にＢ、Ｎ、Ｆ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｐ、Ａｓから選択される１種類以上の元素が含有されていることを特徴とする。
【選択図】　　図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、時計用カバーガラスに係わり、特に、長期間に亘る反射防止機能と耐傷性に優れた時計用カバーガラスに関する。
【０００２】
【従来の技術】
時計のカバーガラスには、青板ガラス（ソーダガラス）、白板ガラス、サファイアガラスなどが使用されている。これらのカバーガラスはいずれも可視光領域における反射率が大きく、指針や文字板の視認性が充分ではなかった。そのため、屋内、屋外、昼夜など様々な環境下で時刻を確認する時計では外光や照明が変化するため、これらの外光がカバーガラスの表面で反射し、時刻表示が見えにくい問題があった。
そのための解決方法としてカバーガラスの両面あるいは少なくとも片面に反射防止膜をコーティングすることが既に開示されている（たとえば、特許文献１参照。）。一般に反射防止膜は適当な屈折率を有する金属あるいは無機物の酸化物膜、窒化物膜、フッ化物膜、硫化物膜を限定した波長領域において所望の反射率となるように設計し、組み合わせることにより構成される。
【０００３】
【特許文献１】
実開昭４８−７７４５６号公報（第２図、第３図、第４図）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、これらの反射防止膜はいずれも硬度や耐傷性等に劣り、例えばフッ化マグネシウムを最表層とする反射防止膜をコーティングしたカバーガラスを具備した腕時計を長期間携帯していると反射防止膜が表面に細かい傷が入ったり、剥離したりして、表面がくもってしまい、指針や文字板が見えにくくなってしまう問題があった。
【０００５】
本発明の目的は、上記課題を解決して、硬度が高く、耐摩耗性に優れ、長期間携帯しても傷の入りにくい反射防止機能を有した時計用カバーガラスを提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の時計用カバーガラスは、下記記載の構成を採用する。
【０００７】
本発明の時計用カバーガラスは、ガラス基材に反射防止膜を備えた時計用カバーガラスであって、少なくとも表面の反射防止膜上にダイヤモンドライクカーボン膜を被覆したことを特徴とする。
【０００８】
さらに、本発明の時計用カバーガラスでは、ダイヤモンドライクカーボン膜中にＢ、Ｎ、Ｆ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｐ、Ａｓから選択される１種類以上の元素が含有されていることが好ましい。
【０００９】
さらに、本発明の時計用カバーガラスでは、ダイヤモンドライクカーボン膜の厚さが０．１μｍ以下であることが好ましい。
【００１０】
さらに、本発明の時計用カバーガラスでは、反射防止膜が酸化物膜または窒化物膜を積層した構造であることが好ましい。
【００１１】
さらに、本発明の時計用カバーガラスでは、酸化物膜が、ＳｉＯ_２、Ａｌ_２Ｏ_３、ＴｉＯ_２、ＺｒＯ_２またはＴａ_２Ｏ_５のうちのいずれかからなることが好ましい。
【００１２】
さらに、本発明の時計用カバーガラスでは、窒化物膜が、Ｓｉ_３Ｎ_４であることが好ましい。
【００１３】
さらに、本発明の時計用カバーガラスでは、ダイヤモンドライクカーボン膜がプラズマＣＶＤ法、スパッタリング法、イオン化蒸着法のいずれかの方法で作製されていることが好ましい。
【００１４】
さらに、本発明の時計用カバーガラスでは、酸化物膜または窒化物膜がスパッタリング法で作製されていることが好ましい。
【００１５】
（作用）
本発明者は、時計用カバーガラスにおける反射防止膜について鋭意、検討を進めた結果、ガラス基材に酸化物膜または窒化物膜を積層した反射防止膜において少なくとも表面の反射防止膜の上にダイヤモンドライクカーボン膜を被覆することによって、硬度が高く、耐摩耗性に優れ、長期間携帯しても傷の入りにくい反射防止機能を有した時計用カバーガラスを提供することを可能にした。ここでダイヤモンドライクカーボン膜とは水素を含むアモルファス状の硬質炭素膜であり、高硬度、低摩擦係数、屈折率、電気絶縁性等、ダイヤモンドと類似した特徴を有する平滑性に優れた膜として知られている。
【００１６】
さらに本発明者は、このダイヤモンドライクカーボン膜を被覆する際に、Ｂ、Ｎ、Ｆ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｐ、Ａｓから選択される１種類以上の元素を含有させることにによって、膜厚が０．１μｍ以下の範囲でダイヤモンドライクカーボン膜を被覆しても透明性を維持できることを見いだした。すなわち、ダイヤモンドライクカーボン膜を被覆すると、ダイヤモンドライクカーボンは可視広域で光を吸収するため膜厚の増加と共に茶色から黒色を呈し、文字板が見えにくくなる問題があったが、上記のような元素を含有させることによって、透明性を損なうことなく膜厚を大きくできることが分かった。これは上記の元素を添加することによって、光学的バンドギャップが変化することに起因してるものと考えられる。このようにして、表面の反射防止膜の最表層にダイヤモンドライクカーボン膜を被覆することによって、硬度が高く、耐摩耗性に優れ、透明性を保持し、反射防止機能を有した時計用カバーガラスを提供することが可能となる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１８】
図１は本発明の時計用カバーガラスの構造を示す断面模式図である。サファイヤガラス１０の表面と裏面に酸化物膜あるいは窒化物膜の積層からなる反射防止膜１１０と反射防止膜２１０が被覆されており、さらには表面の反射防止膜１１０の最表層の上にダイヤモンドライクカーボン膜１が被覆されている。図２は反射防止膜を積層するためのスパッタリング装置の断面模式図である。本発明ではＤＣ反応性スパッタリング装置を用いた。ターゲットはＳｉであり、ガス導入口３２よりＡｒ、ＨｅあるいはＮｅ等の不活性ガス、Ｏ_２、Ｎ_２ガスを導入してＳｉターゲットに電圧を印加することによりスパッタリングを行い、サファイヤガラス１０に積層する。スパッタリング法によって作製される膜は酸化物膜あるい窒化物膜あり、これは反応性ガスであるＯ_２とＮ_２を切り換えることにより形成が可能である。
【００１９】
図３はダイヤモンドライクカーボン膜を被覆するための装置である。ダイヤモンドライクカーボン膜を被覆する手段としてはプラズマＣＶＤ法、スパッタリング法、イオン化蒸着法などがあるが、本実施形態ではプラズマＣＶＤ法が好ましい。原料ガスはメタンなどの炭化水素ガスであり、ガス導入口４２より導入する。マッチングボックス４６を介して接続した高周波電源４５より高周波電力を高周波電極４０に印加してプラズマを発生させ、ダイヤモンドライクカーボン膜１を時計カバーガラス上に積層した反射防止膜１１０の上に被覆する。Ｂ、Ｎ、Ｆ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｐ、Ａｓから選択される１種類以上の元素を含有させるには、これらの元素の単体ガスあるいはこれらの元素を含む化合物ガスをメタンと混合してガス導入口４２より導入することによって可能となる。
【００２０】
反射防止膜は積層するダイヤモンドライクカーボン膜や酸化物膜、窒化物膜の層数、配列順序、各膜の屈折率と膜厚に大きく依存しており、仕様を満足する反射率特性をシミュレーションによって計算し、最適化することができる。また、ダイヤモンドライクカーボン膜、酸化物膜および窒化物膜の屈折率は成膜条件によって変えることも可能である。
【００２１】
また、時計用の反射防止膜としては可視光領域で反射率が５％以下であることが望ましく、そのためには図１に示すようにサファイヤガラス１０の表面と裏面に反射防止膜を形成することが好ましい。
【００２２】
【実施例】
以下に本発明の具体的な実施例について、図１〜図４を参照しながら説明する。
（実施例１）
本実施例における時計用カバーガラスは、図１に示すようにサファイヤガラス１０の表面には反射防止膜１１０が、裏面には反射防止膜２１０が被覆されている。反射防止膜１１０と反射防止膜２１０の膜構成は同じであり、いずれも４層からなっている。最表層（第４層）からＳｉＯ_２、Ｓｉ_３Ｎ_４、ＳｉＯ_２、Ｓｉ_３Ｎ_４の順番であり、膜厚は最表層（第４層）から１００ｎｍ、９０ｎｍ、２０ｎｍ、４０ｎｍである。また、ＳｉＯ_２の屈折率は１．４５、Ｓｉ_３Ｎ_４の屈折率は１．９３である。
【００２３】
ここで反射率特性は積層する酸化物膜と窒化物膜の層数、配列順序、各膜の屈折率と膜厚に大きく依存しており、種々の反射率特性をシミュレーションによって計算し、最適化することができる。また、ＳｉＯ_２およびＳｉ_３Ｎ_４の屈折率はスパッタリング条件によっても変えることも可能である。
【００２４】
本実施例での反射防止膜の製造方法であるＤＣ反応性スパッタリング装置の概念図を図３に示す。
【００２５】
真空槽３１の中にＳｉターゲット３０を配置し、Ｓｉターゲット３０に直流電圧を印加する。サファイヤガラス１０は、Ｓｉターゲット３０に対向するように設置する。Ｓｉターゲット３０にはＤＣ電源３４が接続されている。
【００２６】
図示していない真空ポンプにより、真空槽３０内を１×１０^−５ｔｏｒｒまで排気し、図示していないヒーターにより、サファイヤガラス１０を約３００℃に加熱する。そしてガス導入口３２より、混合ガスを導入し、以下の条件でＤＣ反応性スパッタリングを行ない、反射防止膜１１０を積層させた。ＳｉＯ_２とＳｉ_３Ｎ_４の膜形成はガス種およびガス流量比を切り換えることにより可能である。以下に各層の成膜条件を下記に示す。

【００２７】
以上のようにしてサファイヤガラス１０の表面に反射防止膜１１０を積層させた。その後、サファイヤガラス１０を裏返し、サファイヤガラス１０の裏面に表面と同様の操作を行い、反射防止膜２１０を積層させた。裏面の反射防止膜２１０も表面の反射防止膜１１０と同じ成膜条件であり、その膜構成も同じである。すなわち、最表層（第４層）からＳｉＯ_２膜２４、Ｓｉ_３Ｎ_４膜２３、ＳｉＯ_２膜２２、Ｓｉ_３Ｎ_４膜２１の順番であり、膜厚は最表層（第４層）から１００ｎｍ、９０ｎｍ、２０ｎｍ、４０ｎｍとなっている。
【００２８】
その後、表面と裏面に反射防止膜を積層させたサファイヤガラスを図３に示すようなプラズマＣＶＤ装置内の高周波電極４０上に設置して、表面の反射防止膜１１０の上にダイヤモンドライクカーボン膜１を積層させた。ダイヤモンドライクカーボン膜１の成膜方法は図示していない真空ポンプにより、真空槽４１内を１×１０^−５ｔｏｒｒまで排気し、原料ガスにメタンを用いて、ガス導入口４２より導入し、マッチングボックス４６を介して接続した高周波電源４５より高周波電力を高周波電極４０に印加してプラズマを発生させるものである。ダイヤモンドライクカーボン膜１の成膜条件を以下に示す。本実施例では特に基板の加熱は行わなかった。
メタン流量　　２０ｓｃｃｍ
ＲＦ出力　　　　　３００Ｗ
ガス圧力　　　０．１Ｔｏｒｒ
【００２９】
この時のダイヤモンドライクカーボン膜１の厚さは０．０１μｍであった。これより大きい膜厚になると、膜厚の増加と共に茶色から黒色を呈し、透明性が失われる。この結果、図４に示すような反射率特性を得ることができる。以上のようにして、本実施例によって、図１に示すようなサファイヤガラス１０の表裏面に反射防止膜が被覆され、さらには表面の反射防止膜１１０の上にダイヤモンドライクカーボン膜１が積層された時計用カバーガラスが完成した。
【００３０】
（実施例２）
次に実施例２としてダイヤモンドライクカーボン膜１にＮを含有させた場合の例を示す。実施例１と同様に、サファイヤガラス１０の表面には反射防止膜１１０が、裏面には反射防止膜２１０が被覆されており、最表層（第４層）からＳｉＯ_２、Ｓｉ_３Ｎ_４、ＳｉＯ_２、Ｓｉ_３Ｎ_４の順番であり、膜厚は最表層（第４層）から１００ｎｍ、９０ｎｍ、２０ｎｍ、４０ｎｍである時計用カバーガラスを作製した。ＳｉＯ_２の屈折率は１．４５、Ｓｉ_３Ｎ_４の屈折率は１．９３である。その後、表面の反射防止膜１１０の上にＮを含有したダイヤモンドライクカーボン膜１を積層させた。ダイヤモンドライクカーボン膜１の成膜条件を以下に示す。
メタン流量　　１５ｓｃｃｍ
Ｎ２流量　　　　　　　　５ｓｃｃｍ
ＲＦ出力　　　　　３００Ｗ
ガス圧力　　　０．１Ｔｏｒｒ
【００３１】
この時のダイヤモンドライクカーボン膜１中にはＳＩＭＳ（２次イオン質量分析法）によりＮが含有されていることが確認された。また、ダイヤモンドライクカーボン膜１の厚さは０．０５μｍとしたが、０．１μｍの膜厚までは外観上、反射防止膜を積層したサファイヤガラスの透明性を損なうことはなかった。その結果、図４に示すような反射率特性を得ることができた。以上のようにして、本実施例によって、図１に示すようなサファイヤガラス１０の表裏面に反射防止膜が被覆され、さらには表面の反射防止膜１１０の上にダイヤモンドライクカーボン膜１が積層された時計用カバーガラスが完成した。
【００３２】
（実施例３）
次に実施例３としてダイヤモンドライクカーボン膜１にＦを含有させた場合の例を示す。実施例１と同様に、サファイヤガラス１０の表面には反射防止膜１１０が、裏面には反射防止膜２１０が被覆されており、最表層（第４層）からＳｉＯ_２、Ｓｉ_３Ｎ_４、ＳｉＯ_２、Ｓｉ_３Ｎ_４の順番であり、膜厚は最表層（第４層）から１００ｎｍ、９０ｎｍ、２０ｎｍ、４０ｎｍである時計用カバーガラスを作製した。ＳｉＯ_２の屈折率は１．４５、Ｓｉ_３Ｎ_４の屈折率は１．９３である。その後、表面の反射防止膜１１０の上にＦを含有したダイヤモンドライクカーボン膜１を積層させた。ダイヤモンドライクカーボン膜１の成膜条件を以下に示す。Ｆを含有させるためにメタンとＣ_２Ｆ_４　ガスを導入した。
メタン流量　　１５ｓｃｃｍ
Ｃ_２Ｆ_４流量　　　　　　５ｓｃｃｍ
ＲＦ出力　　　　　３００Ｗ
ガス圧力　　　０．１Ｔｏｒｒ
【００３３】
この時のダイヤモンドライクカーボン膜１中にはＳＩＭＳ（２次イオン質量分析法）によりＦが含有されていることが確認された。また、ダイヤモンドライクカーボン膜１の厚さは０．０８μｍとしたが、０．１μｍの膜厚までは外観上、反射防止膜を積層したサファイヤガラスの透明性を損なうことはなかった。その結果、図４に示すような反射率特性を得ることができた。以上のようにして、本実施例によって、図１に示すようなサファイヤガラス１０の表裏面に反射防止膜が被覆され、さらには表面の反射防止膜１１０の上にダイヤモンドライクカーボン膜１が積層された時計用カバーガラスが完成した。
【００３４】
（実施例４）
次に実施例４としてダイヤモンドライクカーボン膜１にＢを含有させた場合の例を示す。実施例１と同様に、サファイヤガラス１０の表面には反射防止膜１１０が、裏面には反射防止膜２１０が被覆されており、最表層（第４層）からＳｉＯ_２、Ｓｉ_３Ｎ_４、ＳｉＯ_２、Ｓｉ_３Ｎ_４の順番であり、膜厚は最表層（第４層）から１００ｎｍ、９０ｎｍ、２０ｎｍ、４０ｎｍである時計用カバーガラスを作製した。ＳｉＯ_２の屈折率は１．４５、Ｓｉ_３Ｎ_４の屈折率は１．９３である。その後、表面の反射防止膜１１０の上にＢを含有したダイヤモンドライクカーボン膜１を積層させた。ダイヤモンドライクカーボン膜１の成膜条件を以下に示す。Ｂを含有させるためにメタンとＢ_２Ｈ_６ガスを導入した。
メタン流量　　１０ｓｃｃｍ
Ａｒ流量　　　１０ｓｃｃｍ
Ｂ_２Ｈ_６流量　　　　　　１ｓｃｃｍ
ＲＦ出力　　　　　３００Ｗ
ガス圧力　　　０．１Ｔｏｒｒ
【００３５】
この時のダイヤモンドライクカーボン膜１中にはＳＩＭＳ（２次イオン質量分析法）によりＢが含有されていることが確認された。また、ダイヤモンドライクカーボン膜１の厚さは０．１μｍとしたが、この程度の膜厚でも外観上、反射防止膜を積層したサファイヤガラスの透明性を損なうことはなかった。その結果、図４に示すような反射率特性を得ることができた。以上のようにして、本実施例によって、図１に示すようなサファイヤガラス１０の表裏面に反射防止膜が被覆され、さらには表面の反射防止膜１１０の上にダイヤモンドライクカーボン膜１が積層された時計用カバーガラスが完成した。
【００３６】
（比較例）
次に比較例１としてダイヤモンドライクカーボン膜１を積層しない例を示す。実施例１と同様に、サファイヤガラス１０の表面には反射防止膜１１０が、裏面には反射防止膜２１０が被覆されており、最表層（第４層）からＳｉＯ_２、Ｓｉ_３Ｎ_４、ＳｉＯ_２、Ｓｉ_３Ｎ_４の順番であり、膜厚は最表層（第４層）から１００ｎｍ、９０ｎｍ、２０ｎｍ、４０ｎｍである時計用カバーガラスを作製した。ＳｉＯ_２の屈折率は１．４５、Ｓｉ_３Ｎ_４の屈折率は１．９３である。このような反射防止膜をサファイヤガラスの表裏面に成膜することによって図４に示すような反射率特性を得ることができる。その後、表裏面のどちらにもダイヤモンドライクカーボン膜は積層しない。本比較例によって、サファイヤガラス１０の表裏面に反射防止膜が被覆されただけの時計用カバーガラスが完成した。
【００３７】
以上のようにして得られた実施例１〜４と比較例について、ダイヤモンドライクカーボン膜によって発現する効果を評価するため、粒径１０μｍのアルミナ粒を分散させたラッピングフィルムと反射防止膜をコートしたこれらの各実施例および比較例の時計用カバーガラスを接触荷重５００ｇにて接触させ、カバーガラスを複数回往復運動させて、カバーガラスに傷が入り始める往復回数を評価する摺動摩耗試験をおこなった。この評価では１００回以上摺動して傷が発生しなければ、その硬度、耐摩耗性は実用上充分であり、実際に携帯し、長期間使用しても傷や剥離はほとんど発生しない。その結果、表面がくもることもなく、指針や文字板が見えにくくならないことが既に本発明者において確認されている。さらにはビッカース硬度計により表面の硬度を測定した。その結果を表１に示す。また、透明性の優劣を評価するため摺動摩耗試験前の反射率特性の測定から得られた波長５５０ｎｍにおける透過率も同時に示す。
【００３８】
【表１】

【００３９】
表から分かるように、実施例１〜４においては耐摩耗性を評価するための摺動摩耗試験結果では、１００回以上摺動しても傷の発生は全くなく、良好な耐摩耗性が得られ、ビッカース硬度も高い値を示した。反射率特性は摺動摩耗試験後も図４に示すままであった。５５０ｎｍにおける透過率は９６％以上であった。特にＮやＦ、Ｂを含有させたサンプルはビッカース硬度で１５００以上、透過率９８％以上という良好な値を示した。
【００４０】
一方、比較例では摺動摩耗試験１０往復で傷が入り、表面にくもりが発生した。その結果、反射率も図４に示す曲線よりも大きく変化し、反射率が５％を越える波長領域が発生し、文字板が見えにくくなる問題が生じた。ビッカース硬度計による表面硬度測定でも実施例１〜４よりも遙かに低い値を示した。
【００４１】
このように本発明によって、表面の硬度が高く、耐摩耗性に優れ、長期間携帯しても傷の入りにくい反射防止機能を有した時計用カバーガラスを提供することが可能となった。
【００４２】
実施例では時計用カバーガラスの表面の反射防止膜１１０の上にダイヤモンドライクカーボン膜を積層させたが、裏面の反射防止膜２１０の上にもダイヤモンドライクカーボン膜を積層させても差し支えない。また、実施例ではダイヤモンドライクカーボン膜中にＢ、Ｎ、Ｆを含有させる例を示したが、その他にもＳｉ、Ｇｅ、Ｐ、Ａｓから選択される元素を含有させても同様の効果が得られることが本発明者によって確認されている。この時含有させる元素は１種類だけなく、２種類以上でも良い。また、実施例では酸化物膜としてＳｉＯ_２の例について示したが、他の酸化物膜であるＡｌ_２Ｏ_３、ＴｉＯ_２、ＺｒＯ_２またはＴａ_２Ｏ_５でも実施例と同様の効果が得られることが本発明者によって確認されている。また、実施例では片面に反射防止膜が４層積層されている例を示したが、反射防止膜の積層数、組合せは数多くあり、これに限定するものではない。また、ガラス基材も実施例ではサファイヤガラスの例を示したが、これに限定されるものではなく、ソーダガラスや青板ガラス、白板ガラスあるいはプラスチック製ガラスでも良い。
【００４３】
【発明の効果】
以上、説明したように、本発明の時計用カバーガラスではガラス基材に酸化物膜または窒化物膜を積層した反射防止膜を備えており、少なくとも表面の反射防止膜の上にダイヤモンドライクカーボン膜を被覆させたことによって反射防止膜表面の硬度が上昇し、耐摩耗性が著しく上昇する。その結果、長期間携帯しても反射防止膜が表面に細かい傷が入ったり、剥離したりして、表面がくもってしまい、指針や文字板が見えにくくなってしまう問題のない反射防止機能を有した時計用カバーガラスを提供することが可能となる。また、本発明によれば反射防止機能の劣化がないために文字板の装飾性が経時変化によって損なわれることがなくなる効果もある。また、文字板に太陽電池が装着されており、カバーガラスを通過した光を受光して時計を駆動させるための起電力を発生させる時計の場合、本発明では反射防止機能が劣化することがないため太陽電池の発電効率の劣化も抑制できる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】反射防止膜を被覆した本発明の時計用カバーガラスの構造を示す断面模式図である。
【図２】反射防止膜を積層するためのスパッタリング装置の断面模式図である。
【図３】ダイヤモンドライクカーボン膜を積層するためのプラズマＣＶＤ装置の断面模式図である。
【図４】反射防止膜を被覆した本発明の時計用カバーガラスの反射率の特性を示す反射率特性スペクトル図である。
【符号の説明】
１　　ダイヤモンドライクカーボン膜
１０　サファイヤガラス
１１、１３、２１，２３　Ｓｉ_３Ｎ_４膜
１２、１４、２２、２４　ＳｉＯ_２膜
１１０、２１０　反射防止膜
３０　Ｓｉターゲット
３１、４１　真空チャンバー
３２、４２　ガス導入口
３４　ＤＣ電源
４０　　高周波電極
４５　高周波電源
４６　マッチングボックス

Claims

ガラス基材に反射防止膜を備えた時計用カバーガラスであって、少なくとも表面の前記反射防止膜上にダイヤモンドライクカーボン膜が被覆されている時計用カバーガラス。
前記ダイヤモンドライクカーボン膜中にＢ、Ｎ、Ｆ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｐ、Ａｓから選択される１種類以上の元素が含有されていることを特徴とする請求項１に記載の時計用カバーガラス。
前記ダイヤモンドライクカーボン膜の厚さが０．１μｍ以下であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の時計用カバーガラス。
前記反射防止膜が酸化物膜または窒化物膜を積層した構造であることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の時計用カバーガラス。
前記酸化物膜が、ＳｉＯ_２、Ａｌ_２Ｏ_３、ＴｉＯ_２、ＺｒＯ_２またはＴａ_２Ｏ_５のうちのいずれかからなることを特徴とする請求項４に記載の時計用カバーガラス。
前記窒化物膜が、Ｓｉ_３Ｎ_４であることを特徴とする請求項４または請求項５に記載の時計用カバーガラス。
前記ダイヤモンドライクカーボン膜がプラズマＣＶＤ法、スパッタリング法、イオン化蒸着法のいずれかの方法で作製されていることを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の時計用カバーガラス。
前記酸化物膜または窒化物膜がスパッタリング法で作製されていることを特徴とする請求項４から請求項７のいずれか一項に記載の時計用カバーガラス。