JP2004086078A - レチクル製作システム - Google Patents
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Abstract
【課題】製造誤差を最小限に抑えたレチクルを低価格で製作する。
【解決手段】開発工場５０のコンピュータ端末装置から製作するレチクルについての設計情報を受信し、その設計情報に基づいて製作指示情報を生成し、この製作指示情報を開発工場５０へと送信するレチクル製作指示装置６０を備えるレチクル製作システム１０を構成する。製作指示情報は、レチクル製作指示装置６０が有する各格納部にあらかじめ格納されている情報に基づき、要求される精度や価格を満足する外注メーカ７０および描画機を選定して生成される。製作指示情報を受信した開発工場５０では、製作指示情報を用いて外注メーカ７０にレチクル製作を依頼する。製作されたレチクルの検査データや使用描画機などの情報はレチクル製作指示装置６０内に格納され、以後の製作指示情報の生成に用いられる。
【選択図】 図１
【解決手段】開発工場５０のコンピュータ端末装置から製作するレチクルについての設計情報を受信し、その設計情報に基づいて製作指示情報を生成し、この製作指示情報を開発工場５０へと送信するレチクル製作指示装置６０を備えるレチクル製作システム１０を構成する。製作指示情報は、レチクル製作指示装置６０が有する各格納部にあらかじめ格納されている情報に基づき、要求される精度や価格を満足する外注メーカ７０および描画機を選定して生成される。製作指示情報を受信した開発工場５０では、製作指示情報を用いて外注メーカ７０にレチクル製作を依頼する。製作されたレチクルの検査データや使用描画機などの情報はレチクル製作指示装置６０内に格納され、以後の製作指示情報の生成に用いられる。
【選択図】 図１
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はレチクル製作システムに関し、特に個々のレチクルの仕様を的確に指示してレチクル製作に反映させ、各ウェハプロセスに最適なレチクルを製作するためのレチクル製作システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年では、半導体装置の微細化・高集積化が進み、高性能の最先端ＬＳＩを製造するためには、半導体装置のパターン形成を行うフォトリソグラフィ工程において用いられるレチクルを、一品一様の仕様で製作する必要がある。しかし、その一方で、多種類にわたるレチクルの製作費用をいかに低く抑えるか、ということも重要な課題となっている。
【０００３】
レチクルの製作は、まず、各ウェハプロセスを担当する生産工場からレチクルの開発工場に対し、ウェハプロセスで必要となる配置・寸法のレチクルパターンを有するレチクルの製作が要求される。そして、その要求に基づき、開発工場が依頼元となって外注メーカなどの依頼先にレチクル製作が依頼される。通常、このようなレチクル製作の依頼先は複数存在しており、その中から、レチクルに要求される精度や価格に応じて開発工場がひとつの依頼先を選定する。製作されたレチクルは、外注メーカから依頼元である開発工場あるいは各生産工場に納入される。
【０００４】
図１７は従来のレチクル製作の流れの一例を示す図である。
生産工場の要求元ウェハプロセスから開発工場に対してレチクルの製作が要求されると、開発工場では、製作しようとするレチクルが、２枚目以降に製作する再版のレチクルであるか否かが判定される（ステップＳ６０）。ここで、再版のレチクルではなく、１枚目に製作する初版のレチクルである場合には、開発工場は、外注メーカにそのレチクルの製作を依頼し（ステップＳ６１）、外注メーカで製作されたレチクルを受け入れる（ステップＳ６２）。そして、受け入れたレチクルを要求元ウェハプロセスに引き渡すとともに（ステップＳ６３）、このレチクルの所在を、その品質を示す検査データとともに記録し、登録しておく（ステップＳ６４）。
【０００５】
また、ステップＳ６０において、製作するレチクルが再版のレチクルである場合には、開発工場では、レチクル製作費が記載されているリストなどを用い、製作費が最も安くなるよう考慮して外注メーカを選定し、製作を依頼する（ステップＳ６５）。この後は、ステップＳ６２以降の処理を行う。
【０００６】
従来、レチクルの製作は、レチクルパターンの配置精度や寸法精度など、数種類の品質規格を設け、必要に応じて製作費を考慮しつつ、所定の品質規格を満足するように製作されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、製作されたレチクルに要求される品質規格は、レチクル自体に要求される規格であり、レチクルの要求元である各ウェハプロセスにおけるレチクルの使用条件はまったく考慮されていないという問題点があった。
【０００８】
例えば、同一レチクルとして製作した２枚のレチクルについて、それぞれのレチクルの精度が品質規格内であっても、実際にウェハ上に形成するパターンの間には差が生じる場合がある。このように差が生じる場合であっても、それぞれの形成パターンが共に同じ方向にずれる場合であれば、これらを同一のレチクルとみなすことは可能である。しかし、形成パターンがウェハ上で互いに逆方向へずれるような場合には、このウェハプロセスにおいて、これらのレチクルを同一と取り扱うことはできなくなる。その結果、同一レチクルとして製作したはずの各レチクルについて、微妙にステッパでの露光条件や縮率補正をコントロールする作業を行う必要が生じる。
【０００９】
また、近年の半導体製造においては、ウェハ上にパターンが積層構造で形成されるため、各層間のパターン同士を精度良く位置合わせして積層する必要がある。しかし、従来は、このような積層パターンのうち、どのパターンとどのパターンとが特に高精度に位置合わせされていなければならないか、といった位置合わせ系列が、レチクル作製段階で考慮されていなかった。そのため、これらのレチクルを用いて実際にウェハ上に積層形成されるパターン同士の重ね合わせ精度が悪くなってしまう場合があった。
【００１０】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、レチクル製作費を考慮しつつ、ウェハプロセスにおける製造誤差を最小限に抑えることのできる最適なレチクルを製作・供給するためのレチクル製作システムを提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明では上記課題を解決するために、図１に示す構成で実現可能なレチクル製作システムが提供される。本発明のレチクル製作システムは、要求される品質規格のレチクルの製作を製作依頼元から製作依頼先に依頼するためのレチクル製作システムにおいて、製作依頼元から送信された製作するレチクルについて要求される精度および価格に関する情報を含む設計情報を受信する設計情報受信部と、前記設計情報に含まれる前記精度または前記価格に基づき、要求される前記精度または前記価格を満足する製作依頼先および描画機が選定された製作指示情報を生成する製作指示情報生成部と、生成された前記製作指示情報を前記製作依頼元に送信する製作指示情報送信部と、を備えるレチクル製作指示装置を有することを特徴とする。
【００１２】
図１に示したレチクル製作システム１０によれば、レチクル製作指示装置６０が備える設計情報受信部が、レチクルの製作依頼元である開発工場５０のコンピュータ端末装置からの設計情報を受信する。レチクル製作指示装置６０が備える製作指示情報生成部は、その設計情報に含まれる価格および精度に関する情報に基づき、製作指示情報を生成する。製作指示情報生成部は、例えば描画機の特性やレチクルの価格あるいは位置合わせ系列や既存レチクルの検査データなどの情報に基づき、要求される精度または価格を満足する製作依頼先である外注メーカ７０および描画機を選定し、製作指示情報を生成する。そして、この製作指示情報が、レチクル製作指示装置６０が備える製作指示情報送信部によって開発工場５０のコンピュータ端末装置へと送信される。なお、その後、開発工場５０から外注メーカ７０へレチクルの製作が依頼されることになる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
まず、本発明の概略について図面を参照して説明する。
図１はレチクル製作システムの構成例を示す図である。
【００１４】
レチクル製作システム１０は、各生産工場２０，３０，４０が備えるコンピュータ端末装置および開発工場５０が備えるコンピュータ端末装置と、インターネットなどの電気通信回線で接続されたサーバ６１を備えたレチクル製作指示装置６０を有している。
【００１５】
このレチクル製作システム１０において、生産工場２０，３０，４０は、製作されたレチクルを用い、それぞれが担当するウェハプロセスにおいて半導体装置の製造を行う。
【００１６】
また、開発工場５０は、各生産工場２０，３０，４０からそれぞれウェハプロセスで必要となるレチクルの製作指示を受け、その指示に基づき、レチクル製作を外注先や自社のレチクル生産部門などの製作依頼先に依頼する。そして、製作依頼先である例えば外注メーカ７０から製作されたレチクルを受け入れると、このレチクルを要求元のウェハプロセスへと引き渡す。製作されたレチクルは、該当する各生産工場２０，３０，４０が外注メーカ７０から直接受け入れる場合もある。
【００１７】
レチクル製作指示装置６０のサーバ６１は、データベースとして、描画機特性格納部８１、位置合わせ系列格納部８２、所在・描画機情報格納部８３およびレチクル価格情報格納部８４を有している。さらに、レチクル製作指示装置６０には、製作されたレチクルについての寸法、配置、位相差などの検査データが品質情報として格納される品質情報格納部８５が設けられている。品質情報は、製作されたレチクルが開発工場５０あるいは生産工場２０，３０，４０に受け入れられたときに、各工場が備えるコンピュータ端末装置からレチクル製作指示装置６０に送信され、品質情報格納部８５に格納されるようになっている。
【００１８】
なお、図１に示したレチクル製作システム１０を構成している生産工場２０，３０，４０および開発工場５０の数は単なる例であって、これに限定されるものではない。以下では、生産工場２０，３０，４０および開発工場５０が備える各コンピュータ端末装置がレチクル製作指示装置６０に情報伝達可能に接続されたレチクル製作システム１０を例に、その構成、処理動作について詳細に説明する。
【００１９】
また、図１には、レチクルの製作依頼先として外注メーカ７０のみ示したが、実際には複数の外注メーカに依頼が可能であって、レチクルの製作に当たって要求される価格や精度などに応じて、任意の外注メーカに依頼可能になっている。
【００２０】
ここで、レチクル製作指示装置６０について、図２から図７を参照して説明する。
まず、レチクル製作指示装置６０が備える各格納部の内容について説明する。
【００２１】
図２は描画機特性格納部の構成例を示す図である。
描画機特性格納部８１には、レチクルを製作するための描画機の型式や性能に関する描画機特性情報、特に、その描画機の配置特性についての情報が格納される。この配置特性とは、各描画機のステージをメッシュ状の区画に分割した場合に、各区画において描画されるパターンのｘ方向およびｙ方向への設計値からのずれを表すものである。すなわち、パターンを描画する際の各描画機に特有のくせといえる。例えば図２には、ある描画機のステージを、縦横それぞれ１０区画に分割した場合の各区画の配置特性を示している。
【００２２】
このように、描画機特性格納部８１には、描画機ごとに異なる描画機特性情報がそれぞれ格納される。描画機特性情報は、開発工場５０において調査・蓄積され、描画機特性格納部８１に格納されるようになっている。
【００２３】
このような描画機特性をあらかじめ把握しておくことで、同一パターンのレチクルを異なる描画機を用いて製作したときに、これらのレチクルの間にどのような品質（精度）の差が生じ得るかを予測するのに利用することが可能になる。
【００２４】
図３は位置合わせ系列格納部の構成例を示す図である。
位置合わせ系列格納部８２には、半導体装置のパターンを積層形成する場合に、ウェハプロセスにおいて各パターン同士をどのように位置合わせして形成すべきかを示した位置合わせ系列情報が格納される。ウェハ上に各層のパターン同士を精度良く位置合わせした状態で形成するためには、各層のパターン形成に用いるレチクルを、このような位置合わせ系列を考慮して製作する必要がある。
【００２５】
例えば図３は、パターンを１８層積層して半導体装置のパターン形成をする場合の位置合わせ系列情報の例を示しており、各層のパターン形成に用いるレチクルＡ〜Ｒまでの１８枚のレチクルについて、その位置合わせ系列が設定されている。図３に示した例では、先頭層のパターン形成に用いるレチクルＡに対し、先頭層に積層するパターンの形成に用いるレチクルＢ〜Ｄが位置合わせされるべきであることが示されている。さらに、レチクルＤに対しては、レチクルＥ〜Ｋが、レチクルＧに対してはレチクルＬ〜Ｎが、レチクルＮに対してはレチクルＯ，Ｐが、それぞれ位置合わせされるべきであることが示されている。また、レチクルＰはレチクルＱに、レチクルＱはレチクルＲに位置合わせされるべきであることが示されている。
【００２６】
位置合わせ系列情報は、開発工場５０においてあるいは各生産工場２０，３０，４０からの情報提供に基づいて調査・蓄積され、位置合わせ系列格納部８２に格納されるようになっている。位置合わせ系列情報を格納しておき、これを考慮してレチクル製作を行うことにより、ウェハプロセスにおいて精度の良いパターン形成が可能になる。
【００２７】
さらに、上記の１８枚のレチクルのような一連のレチクルのうち、一部のレチクルのみ再製作する場合などには、一部のレチクルを製作する際、それが位置合わせされるべきレチクル（親レチクル）を知ることができる。すなわち、製作するレチクルが高い位置合わせ精度を要求する層を形成するためのものであるのかどうかを認識でき、製作する外注先や描画機の選定に利用することができる。例えば、位置合わせの精度が厳しい層を形成するためのレチクルの場合には、前版のレチクルと同一の描画機を選定し、位置合わせの精度がそれほど厳しくない層を形成するレチクルの場合には、安価に製作できる描画機を選定することも可能である。
【００２８】
図４は所在・描画機情報格納部の構成例を示す図である。
所在・描画機情報格納部８３には、製作されたレチクルが、生産工場２０，３０，４０のいずれに納入されているかを示す所在情報とともに、レチクルがどの描画機を使用して製作されたものであるかを示す使用描画機情報が格納される。
【００２９】
図４の例では、レチクルＡ〜Ｌについての所在が示されており、ここでは、同一パターンのレチクルであって、再版などで製造ロットが異なるものについての所在についても示されている。また、図４においては、レチクルの所在は、生産工場２０，３０，４０がそれぞれ１，２，３の番号で表されている。
【００３０】
図４に示した例では、レチクルＡ〜Ｌは、生産工場２０に存在していることが示されている。また、レチクルＡ，Ｃ，Ｊは生産工場３０に、レチクルＧ，Ｊは生産工場４０にそれぞれ存在していることが示されている。
【００３１】
製作されたレチクルの所在情報は、生産工場２０，３０，４０または開発工場５０が、レチクルを受け入れたときに所在・描画機情報格納部８３に格納されるようになっている。また、使用描画機情報は、生産工場２０，３０，４０または開発工場５０が、レチクルを受け入れたときに外注メーカ７０のレチクルの検査データなどに記載された使用描画機が把握され、所在・描画機情報格納部８３に格納されるようになっている。
【００３２】
図５はレチクル価格情報格納部の構成例を示す図である。
レチクル価格情報格納部８４には、レチクルを製作するに際して、外注メーカ７０に製作を依頼したときに、その製作に要する費用を示したレチクル価格情報が格納される。図５に示した例では、ＡＡ社、ＢＢ社、ＣＣ社、ＤＤ社、ＥＥ社がそれぞれレチクルＡ〜Ｄを製作した場合のレチクル価格情報が格納されている。
【００３３】
このようなレチクル価格情報をレチクル価格情報格納部８４に蓄積しておくことで、レチクル製作を行うときには、他の製作条件を考慮しつつ、製作費用を即座に把握することができる。例えば、レチクル製作に当たり精度よりも価格を優先する場合には、そのレチクルを製作するＡＡ社、ＢＢ社、ＣＣ社、ＤＤ社、ＥＥ社のうち、最も費用の安い製作会社を選択可能となる。
【００３４】
図６は品質情報格納部の構成例を示す図である。
品質情報格納部８５には、依頼を基に製作されたレチクルについての寸法、配置、位相差についての検査データが格納される。この検査データは、レチクルに形成されているパターンの寸法、そのパターンの配置、および光のレチクル通過前後の位相差についての測定結果であり、通常、レチクルを製作した外注メーカ７０からレチクルと共に納入される。
【００３５】
レチクルが製作された後、そのレチクルを受け入れた開発工場５０あるいは各生産工場２０，３０，４０では、検査データをレチクルの品質情報としてコンピュータ端末装置によってレチクル製作指示装置６０の品質情報格納部８５に格納する。
【００３６】
この品質情報格納部８５には、測定結果のほか、寸法、配置および位相差のねらい値および精度範囲などのあらかじめ設定されていた品質規格も格納されている。さらに、各レチクルについて、ねらい値と測定結果との間のずれの量が自動計算され、このずれの量も格納されるようになっている。
【００３７】
例えば図６の例では、レチクルＡ（Ｌ００１）の寸法について、ねらい値が０．５（μｍ）であり、寸法の精度範囲が±０．０５（μｍ）である場合、測定結果が０．５０４（μｍ）であったとすれば、ねらい値とのずれが０．００４（μｍ）と計算されて格納される。また、その配置については、ねらい値を０（μｍ）と設定し、配置の精度範囲が±０．０３（μｍ）である場合、測定結果が０．０２０（μｍ）であったとすれば、ねらい値とのずれが０．０２０（μｍ）と計算されて格納される。さらに、その位相差については、ねらい値が１８０度（°）であり、精度範囲が±５度（°）である場合、測定結果が１８３度（°）であったとすれば、ねらい値とのずれが３度（°）と計算されて格納される。他のレチクルの場合も同様に、各データが格納され、品質情報格納部８５に蓄積されていくようになっている。
【００３８】
このように、各レチクルについての品質情報を蓄積していくことで、前版のレチクルと同一パターンでレチクルを製作する場合には、ずれの値を知って、例えばねらい値を変更するなど、レチクル製作に利用することが可能になる。
【００３９】
次に、レチクル製作指示装置６０の構成について説明する。図７はレチクル製作指示装置の機能ブロック図である。
レチクル製作指示装置６０は、図２から図６に示した各格納部のほか、設計情報受信部６２、再版判定部６３、価格優先度判定部６４、製作指示情報生成部６５、製作指示情報送信部６６および品質情報受信部６７を有している。
【００４０】
設計情報受信部６２は、製作するレチクルの層名・サフィックス、製作するレチクルの出荷工場の別、レチクルの品質規格、および製作に当たって精度を優先するか価格を優先するか、などの情報を含んだ設計情報を受信する。この設計情報には、製作するレチクルが初版である場合などには、その位置合わせ系列情報を含めるようにしてもよい。設計情報は、開発工場５０において入力されるようになっており、入力された設計情報がコンピュータ端末装置からレチクル製作指示装置６０に送信される。
【００４１】
再版判定部６３は、設計情報受信部６２で受信された設計情報に基づき、所在・描画機情報格納部８３や品質情報格納部８５などのデータを用い、層名・サフィックスや品質規格が同一のレチクルの所在が把握されているか否かの判定を行う。所在が確認された場合には、製作しようとするレチクルを再版と判定し、所在が確認されない場合には、初版と判定する。
【００４２】
価格優先度判定部６４は、設計情報受信部６２で受信された設計情報において、レチクル製作に当たり、価格が優先されているか、あるいは精度が優先されているかの判定を行う。
【００４３】
製作指示情報生成部６５は、レチクル製作を依頼する外注先、レチクル製作に使用する描画機、および価格優先や精度優先といったレチクル基準などの情報を含んだ製作指示情報を生成する。この製作指示情報には、必要に応じて、製作するレチクルの品質規格の内容が含まれる。
【００４４】
この製作指示情報の生成は、製作するレチクルが初版であるか再版であるか、価格を優先するか精度を優先するか、といった製作条件に応じ、各格納部のデータを用いて行われる。例えば、製作するレチクルが初版で精度を優先する場合には、描画機特性格納部８１および位置合わせ系列格納部８２のデータに基づき、要求される位置合わせの精度を品質規格よりも充分に高い精度で満足することが可能な描画機および外注先を選定する。一方、製作するレチクルが初版で価格を優先する場合には、描画機特性格納部８１、位置合わせ系列格納部８２およびレチクル価格情報格納部８４のデータに基づき、要求される位置合わせの精度を品質規格内で満足し、かつ、低価格で製作可能な外注先および描画機を選定する。
【００４５】
また、製作するレチクルが再版で精度を優先する場合には、描画機特性格納部８１、位置合わせ系列格納部８２および所在・描画機情報格納部８３のデータに基づき、前版と同一の描画機および外注先を選定する。その際には、品質情報格納部８５のデータに基づき、再版で製作するレチクルについてねらい値を変更した新たな品質規格を設定する。一方、製作するレチクルが再版で価格を優先する場合には、描画機特性格納部８１、位置合わせ系列格納部８２、所在・描画機情報格納部８３およびレチクル価格情報格納部８４のデータに基づき、要求される位置合わせの精度を品質規格内で満足し、かつ、低価格で製作可能な外注先および描画機を選定する。その際、品質情報格納部８５のデータに基づき、再版で製作するレチクルについてねらい値を変更した新たな品質規格を設定する。
【００４６】
このように、製作指示情報生成部６５における製作指示情報の生成は、レチクルの製作条件に応じ、各格納部のデータを適当に用いて行われるようになっている。
【００４７】
レチクル製作指示装置６０の製作指示情報送信部６６は、製作指示情報生成部６５によって生成された製作指示情報を、開発工場５０のコンピュータ端末装置に送信する。
【００４８】
品質情報受信部６７は、製作されたレチクルが開発工場５０にあるいは生産工場２０，３０，４０へ直接に受け入れられた後、外注メーカ７０からレチクルと共に納入される検査データを品質情報として受信する。開発工場５０のコンピュータ端末装置では、検査データが入力されると、これを品質情報として使用描画機情報および所在情報を含めて品質情報受信部６７へ送信する。生産工場２０，３０，４０のコンピュータ端末装置では、検査データが入力されると、これを品質情報として使用描画機情報および所在情報を含めて品質情報受信部６７へ送信する。品質情報受信部６７で受信された品質情報は、品質情報格納部８５に格納され、使用描画機情報および所在情報は、所在・描画機情報格納部８３に格納されるようになっている。
【００４９】
次に、開発工場５０のコンピュータ端末装置および生産工場２０，３０，４０のコンピュータ端末装置の構成について、それぞれ説明する。
図８は開発工場のコンピュータ端末装置の機能ブロック図である。
【００５０】
開発工場５０のコンピュータ端末装置は、設計情報入力部５１、設計情報送信部５２、製作指示情報受信部５３、品質情報入力部５４および品質情報送信部５５を有している。
【００５１】
設計情報入力部５１は、各生産工場２０，３０，４０からのレチクル製作指示に基づき、製作すべきレチクルについての設計情報が入力されるようになっている。
【００５２】
設計情報送信部５２は、設計情報入力部５１において入力された設計情報を、レチクル製作指示装置６０の設計情報受信部６２に送信する。
製作指示情報受信部５３は、レチクル製作指示装置６０の製作指示情報生成部６５によって生成されて製作指示情報送信部６６によって送信される製作指示情報を受信する。
【００５３】
ここで、製作指示情報をコンピュータ端末装置で受信した開発工場５０では、製作指示情報で選定された外注先にレチクル製作を依頼するようになる。また、開発工場５０のコンピュータ端末装置を、更に製作指示情報の内容をそのままあるいは適当なファイル形式に変換して外注先に電気通信回線を通じて伝達することのできる構成としてもよい。
【００５４】
品質情報入力部５４は、製作後に納入されたレチクルについての検査データが品質情報として入力されるようになっている。この入力される品質情報には、寸法、配置および位相差のそれぞれについて、ねらい値、精度範囲および実際の測定結果が含まれている。
【００５５】
品質情報送信部５５は、品質情報入力部５４において入力された品質情報を、レチクル製作指示装置６０の品質情報受信部６７に送信する。この品質情報受信部６７に送信された品質情報は、品質情報格納部８５に格納され、蓄積されていくようになっている。
【００５６】
なお、品質情報入力部５４および品質情報送信部５５は、製作後のレチクルが外注先から直接各生産工場２０，３０，４０へのみ納入されることが決められているような場合には、設けなくてもよい。
【００５７】
図９は生産工場のコンピュータ端末装置の機能ブロック図である。ただし、図９には、生産工場２０，３０，４０のうち、生産工場２０のコンピュータ端末装置の構成についてのみ示している。生産工場３０，４０のコンピュータ端末装置の構成は、生産工場２０のものと同じである。
【００５８】
生産工場２０のコンピュータ端末装置は、それぞれ、品質情報入力部２１および品質情報送信部２２を有している。
品質情報入力部２１は、図８に示した開発工場５０のコンピュータ端末装置の品質情報入力部５４と同様、製作後に納入されたレチクルの検査データが品質情報として入力されるようになっている。
【００５９】
品質情報送信部２２は、開発工場５０のコンピュータ端末装置の品質情報送信部５５と同様、品質情報入力部２１において入力された品質情報を、レチクル製作指示装置６０の品質情報受信部６７に送信する。
【００６０】
なお、品質情報入力部２１および品質情報送信部２２は、製作後のレチクルが外注先から開発工場へのみ納入されることが決められているような場合には、設けなくてもよい。また、前述したように、生産工場３０，４０についても同じ構成であり、生産工場３０，４０共に、品質情報入力部および品質情報送信部を有し、これらは製作後のレチクルが外注先から開発工場へ納入されるような場合には不要である。
【００６１】
続いて、上記レチクル製作システム１０の処理の流れを、図面を参照して説明する。
まず、レチクル製作指示装置６０の処理の流れについて説明する。図１０および図１１はレチクル製作指示装置の処理の流れを示す図である。
【００６２】
レチクル製作に当たっては、通常、まず、レチクルを必要とする生産工場２０，３０，４０から開発工場５０に対してレチクル製作指示がある。
開発工場５０では、生産工場２０，３０，４０からの指示を受け、コンピュータ端末装置の設計情報入力部５１に、製作すべきレチクルについての設計情報が入力され、レチクル製作指示装置６０の設計情報受信部６２に送信される。
【００６３】
ここで、図１２は設計情報の入力画面の例を示す図である。開発工場５０のコンピュータ端末装置には、設計情報として、層名・サフィックス、出荷工場、規格、レチクル製作の判断基準が入力される。このレチクル製作の判断基準とは、製作に当たって価格を優先するか精度を優先するかの判断基準を表すものである。
【００６４】
レチクル製作指示装置６０は、設計情報受信部６２で設計情報を受信すると（ステップＳ１）、再版判定部６３で、製作しようとするレチクルが再版であるか否かを判定する（ステップＳ２）。
【００６５】
レチクル製作指示装置６０は、ステップＳ２において、製作するレチクルが再版でない（初版である）と判定した場合には、価格優先度判定部６４で、その設計情報において価格を優先するように設定されているか否かを判定する（ステップＳ３）。
【００６６】
このステップＳ３において、価格よりも精度を優先するように設定されていると判定した場合には、製作指示情報生成部６５で、要求される位置合わせの精度を品質規格よりも充分に高い精度で満足することが可能な描画機および外注先を選定した製作指示情報を生成する（ステップＳ４）。この製作指示情報の生成は、描画機特性格納部８１および位置合わせ系列格納部８２のデータに基づいて行われる。例えば、位置合わせ系列に基づき、位置合わせの高い精度を要求する層間については、各層を形成するためのレチクルについては、一連のレチクルを同一の描画機を用いて製作すべき旨を指示する製作指示情報を生成する。
【００６７】
製作指示情報の生成後、レチクル製作指示装置６０は、この製作指示情報を製作指示情報送信部６６から開発工場５０のコンピュータ端末装置の製作指示情報受信部５３へと送信する（ステップＳ５）。
【００６８】
ここで、図１３は開発工場における製作指示情報の表示例を示す図である。レチクル製作指示装置６０から製作指示情報を受信すると、開発工場５０のコンピュータ端末装置には、製作指示情報に含まれている外注先、描画機、レチクル基準（設計情報入力時に指定したレチクル製作の判断基準）を示す表示がなされる。これにより、開発工場５０においてレチクル製作の指示内容を確認することができる。
【００６９】
なお、製作指示情報をコンピュータ端末装置で受信した開発工場５０は、製作指示情報の内容を、あるいは製作指示情報自身を、外注メーカ７０に伝達し、レチクルの製作を依頼することになる。
【００７０】
その後、外注メーカ７０で製作されたレチクルは開発工場５０あるいは生産工場２０，３０，４０で受け入れられ、開発工場５０に受け入れられたものについては、所定の要求元ウェハプロセスに引き渡される。開発工場５０あるいは例えば生産工場２０では、品質情報が、使用描画機情報および所在情報を含めて、コンピュータ端末装置の品質情報入力部５４，２１に入力される。
【００７１】
ここで、図１４は品質情報の入力画面の例を示す図である。開発工場５０あるいは生産工場２０では、コンピュータ端末装置の品質情報入力部５４，２１において、該当するレチクルごとに品質情報が入力される。その入力の際には、検査データのほか、寸法、配置、位相差のねらい値および精度範囲についても入力されるようになっている。あるいは、あらかじめ入力画面には、レチクルごとにねらい値および精度範囲が表示されていて、所定の箇所に検査データのみ入力する構成としてもよい。この場合には、入力した検査データが、品質規格に適合しているか否かを画面上で確認することができるようになる。
【００７２】
品質情報入力部５４，２１で入力された品質情報、使用描画機情報および所在情報は、品質情報送信部５５，２２からレチクル製作指示装置６０へと送信される。
【００７３】
レチクル製作指示装置６０は、品質情報受信部６７で品質情報、使用描画機情報および所在情報を受信し（ステップＳ６）、受信した品質情報は、品質情報格納部８５に格納する（ステップＳ７）。さらに、使用描画機情報および所在情報を、所在・描画機情報格納部８３に格納する（ステップＳ８）。これにより、レチクル製作を終了する。
【００７４】
また、ステップＳ３において、精度よりも価格を優先する場合には、まず、レチクル価格情報格納部８４からレチクル価格情報を取得する（ステップＳ９）。次いで、このレチクル価格情報を用い、要求される位置合わせの精度を品質規格内で満足し、かつ、低価格で製作可能な外注先および描画機を選定した製作指示情報を生成する（ステップＳ１０）。この製作指示情報の生成は、描画機特性格納部８１、位置合わせ系列格納部８２およびレチクル価格情報格納部８４のデータに基づいて行われる。
【００７５】
この後は、ステップＳ５以降の処理が行われ、レチクル製作を終了する。
また、ステップＳ２において、製作しようとするレチクルが再版であると判定された場合には、受信した設計情報に基づき、所在・描画機情報格納部８３から前版レチクルの所在情報および使用描画機情報を取得する（ステップＳ２０）。さらに、レチクル製作指示装置６０は、位置合わせ系列格納部８２から、製作するレチクルが含まれている一連のレチクルについて、その位置合わせ系列情報を取得する（ステップＳ２１）。レチクル製作指示装置６０は、前版レチクルの所在情報、使用描画機情報および位置合わせ系列情報を用い、再版で製作すべきレチクルについての情報に加え、このレチクルが位置合わせの制約を受ける親レチクルについての情報も取得することになる。
【００７６】
次いで、描画機特性格納部８１から、前版レチクルの使用描画機についての描画機特性情報を取得し（ステップＳ２２）、製作しようとしているレチクルの前版のレチクルについての品質情報を取得する（ステップＳ２３）。
【００７７】
そして、レチクル製作指示装置６０は、受信している設計情報において、価格を優先するように設定されているか否かを判定する（ステップＳ２４）。
レチクル製作指示装置６０は、ステップＳ２４において、価格よりも精度を優先するように設定されていると判定した場合には、前版レチクルの使用描画機と同一の描画機および外注先を選定して製作指示情報を生成する（ステップＳ２５）。この製作指示情報の生成は、描画機特性格納部８１、位置合わせ系列格納部８２および所在・描画機情報格納部８３のデータに基づいて行われる。
【００７８】
この製作指示情報の生成時には、さらに、品質情報格納部８５の品質情報を用い、前版レチクルの製作時における測定結果の値をねらい値として仕様を変更した新たな品質規格を設定する（ステップＳ２６）。
【００７９】
製作指示情報の生成後、レチクル製作指示装置６０は、新たな品質規格を含む製作指示情報を製作指示情報送信部６６から開発工場５０のコンピュータ端末装置の製作指示情報受信部５３へと送信する（ステップＳ２７）。この後は、ステップＳ６以降の処理が行われ、レチクル製作を終了する。
【００８０】
また、レチクル製作指示装置６０が、ステップＳ２４において、精度よりも価格を優先するように設定されていると判定した場合には、まず、レチクル価格情報格納部８４のレチクル価格情報を取得する（ステップＳ２８）。次いで、このレチクル価格情報を用い、要求される位置合わせの精度を品質規格内で満足し、かつ、低価格で製作可能な外注先および描画機を選定した製作指示情報を生成する（ステップＳ２９）。この製作指示情報の生成は、描画機特性格納部８１、位置合わせ系列格納部８２、所在・描画機情報格納部８３およびレチクル価格情報格納部８４のデータに基づいて行われる。例えば、前版レチクルの製作における使用描画機の描画機特性（配置特性）に近い描画機を選定し、その中で最も製作費が安くなる外注先を選定する。
【００８１】
この製作指示情報の生成時には、さらに、品質情報格納部８５の品質情報を用いて新たな品質規格を設定する（ステップＳ３０）。この後はステップＳ２７以降の処理が行われ、レチクル製作を終了する。
【００８２】
次に、開発工場５０のコンピュータ端末装置における処理の流れについて説明する。図１５は開発工場のコンピュータ端末装置における処理の流れを示す図である。
【００８３】
開発工場５０では、生産工場２０，３０，４０からのレチクル製作指示を受けて、コンピュータ端末装置の設計情報入力部５１に設計情報が入力される（ステップＳ４０）。そして、開発工場５０のコンピュータ端末装置は、入力された設計情報を、設計情報送信部５２からレチクル製作指示装置６０の設計情報受信部６２へ送信する（ステップＳ４１）。
【００８４】
その後、開発工場５０のコンピュータ端末装置は、レチクル製作指示装置６０の製作指示情報送信部６６から送信されてくる製作指示情報を、製作指示情報受信部５３で受信する（ステップＳ４２）。製作指示情報を受信した開発工場５０は、製作指示情報の内容を、あるいは製作指示情報自身を、外注メーカ７０に伝達してレチクルの製作を依頼することになる。
【００８５】
レチクル製作後は、レチクルが開発工場５０に受け入れられた場合には、まず、コンピュータ端末装置の品質情報入力部５４に品質情報のほか、使用描画機情報および所在情報が入力される（ステップＳ４３）。そして、コンピュータ端末装置は、入力されたこれらの情報を、品質情報送信部５５からレチクル製作指示装置６０の品質情報受信部６７へと送信する（ステップＳ４４）。
【００８６】
レチクル製作指示装置６０は、受信された品質情報を品質情報格納部８５に格納し、使用描画機情報および所在情報を、所在・描画機情報格納部８３に格納することになる。
【００８７】
次に、生産工場２０，３０，４０のコンピュータ端末装置における処理の流れについて説明する。図１６は生産工場のコンピュータ端末装置における処理の流れを示す図である。ここでは、生産工場２０で処理が行われる場合について説明する。
【００８８】
生産工場２０では、レチクルの製作に当たり、まず、開発工場５０に対し、必要なレチクルの層名・サフィックス、品質規格、レチクル製作の判断基準など、設計情報に必要な情報を含んだ製作指示を与える。以降は、開発工場５０およびレチクル製作指示装置６０において、レチクル製作処理が実行される。
【００８９】
レチクル製作後は、レチクルが生産工場２０に受け入れられた場合には、まず、コンピュータ端末装置の品質情報入力部２１に品質情報のほか、使用描画機情報および所在情報が入力される（ステップＳ５０）。そして、コンピュータ端末装置は、入力されたこれらの情報を、品質情報送信部２２からレチクル製作指示装置６０の品質情報受信部６７へと送信する（ステップＳ５１）。
【００９０】
レチクル製作指示装置６０は、受信された品質情報を品質情報格納部８５に格納し、使用描画機情報および所在情報を、所在・描画機情報格納部８３に格納することになる。
【００９１】
なお、ここでは生産工場２０の場合を例にして説明したが、勿論、他の生産工場３０，４０においても、コンピュータ端末装置は、同じ処理が実行できるように構成されている。
【００９２】
以上説明したように、レチクル製作システム１０により、製作するレチクルに要求される精度や価格、あるいは初版であるか再版であるかに応じて、最も適した外注先などの製作依頼先および製作に使用する描画機を選定することができる。これにより、低価格で、かつ、品質規格に適合した最適なレチクルを製作・供給することができ、ウェハプロセスにおける製造誤差を最小限にすることが可能となる。
【００９３】
なお、上記の処理機能は、コンピュータによって実現することができる。その場合、レチクル製作指示装置が有すべき機能の処理内容を記述したプログラムが提供される。そのプログラムをコンピュータで実行することにより、上記処理機能がコンピュータ上で実現される。処理内容を記述したプログラムは、コンピュータで読み取り可能な記録媒体に記録しておくことができる。コンピュータで読み取り可能な記録媒体としては、磁気記録装置、光ディスク、光磁気記録媒体、半導体メモリなどがある。磁気記録装置には、ハードディスク装置（ＨＤＤ）、フレキシブルディスク（ＦＤ）、磁気テープなどがある。光ディスクには、ＤＶＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ Ｄｉｓｃ）、ＤＶＤ−ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）、ＣＤ−ＲＯＭ（Ｃｏｍｐａｃｔ Ｄｉｓｃ Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）、ＣＤ−Ｒ（Ｒｅｃｏｒｄａｂｌｅ）／ＲＷ（ＲｅＷｒｉｔａｂｌｅ）などがある。光磁気記録媒体には、ＭＯ（Ｍａｇｎｅｔｏ−Ｏｐｔｉｃａｌ ｄｉｓｋ）などがある。
【００９４】
プログラムを流通させる場合には、たとえば、そのプログラムが記録されたＤＶＤ、ＣＤ−ＲＯＭなどの可搬型記録媒体が販売される。また、プログラムをサーバコンピュータの記憶装置に格納しておき、ネットワークを介して、サーバコンピュータから他のコンピュータにそのプログラムを転送することもできる。
【００９５】
プログラムを実行するコンピュータは、たとえば、可搬型記録媒体に記録されたプログラムもしくはサーバコンピュータから転送されたプログラムを、自己の記憶装置に格納する。そして、コンピュータは、自己の記憶装置からプログラムを読み取り、プログラムに従った処理を実行する。なお、コンピュータは、可搬型記録媒体から直接プログラムを読み取り、そのプログラムに従った処理を実行することもできる。また、コンピュータは、サーバコンピュータからプログラムが転送される毎に、逐次、受け取ったプログラムに従った処理を実行することもできる。
【００９６】
（付記１） 要求される品質規格のレチクルの製作を製作依頼元から製作依頼先に依頼するためのレチクル製作システムにおいて、
製作依頼元から送信された製作するレチクルについて要求される精度および価格に関する情報を含む設計情報を受信する設計情報受信部と、
前記設計情報に含まれる前記精度または前記価格に基づき、要求される前記精度または前記価格を満足する製作依頼先および描画機が選定された製作指示情報を生成する製作指示情報生成部と、
生成された前記製作指示情報を前記製作依頼元に送信する製作指示情報送信部と、
を備えるレチクル製作指示装置を有することを特徴とするレチクル製作システム。
【００９７】
（付記２） 前記レチクル製作指示装置は、レチクルを製作するための描画機の特性に関する描画機特性情報が格納された描画機特性格納部と、製作するレチクルの価格に関するレチクル価格情報が格納されたレチクル価格情報格納部と、を有し、
前記製作指示情報を生成する際には、前記描画機特性情報または前記レチクル価格情報を用いて、要求される前記精度または前記価格を満足する前記製作依頼先および前記描画機が選定された前記製作指示情報を生成することを特徴とする付記１記載のレチクル製作システム。
【００９８】
（付記３） 前記レチクル製作指示装置は、積層形成するパターン同士の位置合わせ系列に関する位置合わせ系列情報が格納された位置合わせ系列格納部を有し、
前記製作指示情報を生成する際には、前記位置合わせ系列情報に含まれている一連のレチクルのうち、製作するレチクルについて要求される前記精度または前記価格を満足する前記製作依頼先および前記描画機が選定された前記製作指示情報を生成することを特徴とする付記２記載のレチクル製作システム。
【００９９】
（付記４） 前記レチクル製作指示装置は、製作されたレチクルの検査データを含む品質情報が格納された品質情報格納部を有し、
再版としてレチクルを製作するときには、前記品質情報を用い、再版として製作するレチクルの前版のレチクルについての前記検査データの値をねらい値とした新たな品質規格を設定し、前記製作指示情報送信部によって前記製作指示情報と共に前記製作依頼元に送信することを特徴とする付記１記載のレチクル製作システム。
【０１００】
（付記５） 前記レチクル製作指示装置は、製作されたレチクルについての使用描画機を示す使用描画機情報が格納された描画機情報格納部を有し、
再版としてレチクルを製作するときには、前記使用描画機情報に基づき、再版として製作するレチクルの前版のレチクルについての使用描画機が前記描画機として選定された前記製作指示情報を生成することを特徴とする付記１記載のレチクル製作システム。
【０１０１】
（付記６） 要求される品質規格のレチクルの製作を製作依頼元から製作依頼先に依頼するためのレチクル製作方法において、
レチクル製作指示装置によって、
製作依頼元から送信された製作するレチクルについて要求される精度および価格に関する情報を含む設計情報を受信し、
前記設計情報に含まれる前記精度または前記価格に基づき、要求される前記精度または前記価格を満足する製作依頼先および描画機が選定された製作指示情報を生成し、
生成された前記製作指示情報を前記製作依頼元に送信する、
ことを特徴とするレチクル製作方法。
【０１０２】
（付記７） 前記製作指示情報を生成する際には、前記レチクル製作指示装置は、レチクルを製作するための描画機の特性に関する描画機特性情報または製作するレチクルの価格に関するレチクル価格情報を用いて、要求される前記精度または前記価格を満足する前記製作依頼先および前記描画機が選定された前記製作指示情報を生成することを特徴とする付記６記載のレチクル製作方法。
【０１０３】
（付記８） 前記製作指示情報を生成する際には、前記レチクル製作指示装置は、積層形成するパターン同士の位置合わせ系列に関する位置合わせ系列情報に含まれている一連のレチクルのうち、製作するレチクルについて要求される前記精度または前記価格を満足する前記製作依頼先および前記描画機が選定された前記製作指示情報を生成することを特徴とする付記７記載のレチクル製作方法。
【０１０４】
（付記９） 再版としてレチクルを製作するときには、前記レチクル製作指示装置は、製作されたレチクルの検査データを含む品質情報を用い、再版として製作するレチクルの前版のレチクルについての前記検査データの値をねらい値とした新たな品質規格を設定し、前記製作指示情報送信部によって前記製作指示情報と共に前記製作依頼元に送信することを特徴とする付記６記載のレチクル製作方法。
【０１０５】
（付記１０） 再版としてレチクルを製作するときには、前記レチクル製作指示装置は、製作されたレチクルについての使用描画機を示す使用描画機情報に基づき、再版として製作するレチクルの前版のレチクルについての使用描画機が前記描画機として選定された前記製作指示情報を生成することを特徴とする付記６記載のレチクル製作方法。
【０１０６】
（付記１１） 要求される品質規格のレチクルの製作を製作依頼元から製作依頼先に依頼するためのレチクル製作指示装置において、
製作依頼元から送信された製作するレチクルについて要求される精度および価格に関する情報を含む設計情報を受信する設計情報受信部と、
前記設計情報に含まれる前記精度または前記価格に基づき、要求される前記精度または前記価格を満足する製作依頼先および描画機が選定された製作指示情報を生成する製作指示情報生成部と、
生成された前記製作指示情報を前記製作依頼元に送信する製作指示情報送信部と、
を備えることを特徴とするレチクル製作指示装置。
【０１０７】
（付記１２） レチクルを製作するための描画機の特性に関する描画機特性情報が格納された描画機特性格納部と、製作するレチクルの価格に関するレチクル価格情報が格納されたレチクル価格情報格納部と、を有し、
前記製作指示情報を生成する際には、前記描画機特性情報または前記レチクル価格情報を用いて、要求される前記精度または前記価格を満足する前記製作依頼先および前記描画機が選定された前記製作指示情報を生成することを特徴とする付記１１記載のレチクル製作指示装置。
【０１０８】
（付記１３） 積層形成するパターン同士の位置合わせ系列に関する位置合わせ系列情報が格納された位置合わせ系列格納部を有し、
前記製作指示情報を生成する際には、前記位置合わせ系列情報に含まれている一連のレチクルのうち、製作するレチクルについて要求される前記精度または前記価格を満足する前記製作依頼先および前記描画機が選定された前記製作指示情報を生成することを特徴とする付記１２記載のレチクル製作指示装置。
【０１０９】
（付記１４） 製作されたレチクルの検査データを含む品質情報が格納された品質情報格納部を有し、
再版としてレチクルを製作するときには、前記品質情報を用い、再版として製作するレチクルの前版のレチクルについての前記検査データの値をねらい値とした新たな品質規格を設定し、前記製作指示情報送信部によって前記製作指示情報と共に前記製作依頼元に送信することを特徴とする付記１１記載のレチクル製作指示装置。
【０１１０】
（付記１５） 製作されたレチクルについての使用描画機を示す使用描画機情報が格納された描画機情報格納部を有し、
再版としてレチクルを製作するときには、前記使用描画機情報に基づき、再版として製作するレチクルの前版のレチクルについての使用描画機が前記描画機として選定された前記製作指示情報を生成することを特徴とする付記１１記載のレチクル製作指示装置。
【０１１１】
（付記１６） レチクル製作指示装置によって、要求される品質規格のレチクルの製作を製作依頼元から製作依頼先に依頼するためのプログラムにおいて、
コンピュータに、
製作依頼元から送信された製作するレチクルについて要求される精度および価格に関する情報を含む設計情報を受信し、
前記設計情報に含まれる前記精度または前記価格に基づき、要求される前記精度または前記価格を満足する製作依頼先および描画機が選定された製作指示情報を生成し、
生成された前記製作指示情報を前記製作依頼元に送信する処理を実行させることを特徴とするプログラム。
【０１１２】
（付記１７） レチクル製作指示装置によって、要求される品質規格のレチクルの製作を製作依頼元から製作依頼先に依頼するためのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体において、
コンピュータに、
製作依頼元から送信された製作するレチクルについて要求される精度および価格に関する情報を含む設計情報を受信し、
前記設計情報に含まれる前記精度または前記価格に基づき、要求される前記精度または前記価格を満足する製作依頼先および描画機が選定された製作指示情報を生成し、
生成された前記製作指示情報を前記製作依頼元に送信する処理を実行させることを特徴とするプログラムを記録した記録媒体。
【０１１３】
【発明の効果】
以上説明したように本発明では、レチクルの製作依頼元からの設計情報を受信し、その設計情報に基づいて製作指示情報を生成し、この製作指示情報を製作依頼元へと送信するレチクル製作指示装置を備えるレチクル製作システムを構成する。これにより、最小限の価格で最適なレチクルを製作・供給することができ、ウェハプロセスにおける製造誤差を最小限にすることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】レチクル製作システムの構成例を示す図である。
【図２】描画機特性格納部の構成例を示す図である。
【図３】位置合わせ系列格納部の構成例を示す図である。
【図４】所在・描画機情報格納部の構成例を示す図である。
【図５】レチクル価格情報格納部の構成例を示す図である。
【図６】品質情報格納部の構成例を示す図である。
【図７】レチクル製作指示装置の機能ブロック図である。
【図８】開発工場のコンピュータ端末装置の機能ブロック図である。
【図９】生産工場のコンピュータ端末装置の機能ブロック図である。
【図１０】レチクル製作指示装置の処理の流れを示す図（その１）である。
【図１１】レチクル製作指示装置の処理の流れを示す図（その２）である。
【図１２】設計情報の入力画面の例を示す図である。
【図１３】開発工場における製作指示情報の表示例を示す図である。
【図１４】品質情報の入力画面の例を示す図である。
【図１５】開発工場のコンピュータ端末装置における処理の流れを示す図である。
【図１６】生産工場のコンピュータ端末装置における処理の流れを示す図である。
【図１７】従来のレチクル製作のフローの一例を示す図である。
【符号の説明】
１０ レチクル製作システム
２０，３０，４０ 生産工場
２１ 品質情報入力部
２２ 品質情報送信部
５０ 開発工場
５１ 設計情報入力部
５２ 設計情報送信部
５３ 製作指示情報受信部
５４ 品質情報入力部
５５ 品質情報送信部
６０ レチクル製作指示装置
６１ サーバ
６２ 設計情報受信部
６３ 再版判定部
６４ 価格優先度判定部
６５ 製作指示情報生成部
６６ 製作指示情報送信部
６７ 品質情報受信部
７０ 外注メーカ
８１ 描画機特性格納部
８２ 位置合わせ系列格納部
８３ 所在・描画機情報格納部
８４ レチクル価格情報格納部
８５ 品質情報格納部
【発明の属する技術分野】
本発明はレチクル製作システムに関し、特に個々のレチクルの仕様を的確に指示してレチクル製作に反映させ、各ウェハプロセスに最適なレチクルを製作するためのレチクル製作システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年では、半導体装置の微細化・高集積化が進み、高性能の最先端ＬＳＩを製造するためには、半導体装置のパターン形成を行うフォトリソグラフィ工程において用いられるレチクルを、一品一様の仕様で製作する必要がある。しかし、その一方で、多種類にわたるレチクルの製作費用をいかに低く抑えるか、ということも重要な課題となっている。
【０００３】
レチクルの製作は、まず、各ウェハプロセスを担当する生産工場からレチクルの開発工場に対し、ウェハプロセスで必要となる配置・寸法のレチクルパターンを有するレチクルの製作が要求される。そして、その要求に基づき、開発工場が依頼元となって外注メーカなどの依頼先にレチクル製作が依頼される。通常、このようなレチクル製作の依頼先は複数存在しており、その中から、レチクルに要求される精度や価格に応じて開発工場がひとつの依頼先を選定する。製作されたレチクルは、外注メーカから依頼元である開発工場あるいは各生産工場に納入される。
【０００４】
図１７は従来のレチクル製作の流れの一例を示す図である。
生産工場の要求元ウェハプロセスから開発工場に対してレチクルの製作が要求されると、開発工場では、製作しようとするレチクルが、２枚目以降に製作する再版のレチクルであるか否かが判定される（ステップＳ６０）。ここで、再版のレチクルではなく、１枚目に製作する初版のレチクルである場合には、開発工場は、外注メーカにそのレチクルの製作を依頼し（ステップＳ６１）、外注メーカで製作されたレチクルを受け入れる（ステップＳ６２）。そして、受け入れたレチクルを要求元ウェハプロセスに引き渡すとともに（ステップＳ６３）、このレチクルの所在を、その品質を示す検査データとともに記録し、登録しておく（ステップＳ６４）。
【０００５】
また、ステップＳ６０において、製作するレチクルが再版のレチクルである場合には、開発工場では、レチクル製作費が記載されているリストなどを用い、製作費が最も安くなるよう考慮して外注メーカを選定し、製作を依頼する（ステップＳ６５）。この後は、ステップＳ６２以降の処理を行う。
【０００６】
従来、レチクルの製作は、レチクルパターンの配置精度や寸法精度など、数種類の品質規格を設け、必要に応じて製作費を考慮しつつ、所定の品質規格を満足するように製作されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、製作されたレチクルに要求される品質規格は、レチクル自体に要求される規格であり、レチクルの要求元である各ウェハプロセスにおけるレチクルの使用条件はまったく考慮されていないという問題点があった。
【０００８】
例えば、同一レチクルとして製作した２枚のレチクルについて、それぞれのレチクルの精度が品質規格内であっても、実際にウェハ上に形成するパターンの間には差が生じる場合がある。このように差が生じる場合であっても、それぞれの形成パターンが共に同じ方向にずれる場合であれば、これらを同一のレチクルとみなすことは可能である。しかし、形成パターンがウェハ上で互いに逆方向へずれるような場合には、このウェハプロセスにおいて、これらのレチクルを同一と取り扱うことはできなくなる。その結果、同一レチクルとして製作したはずの各レチクルについて、微妙にステッパでの露光条件や縮率補正をコントロールする作業を行う必要が生じる。
【０００９】
また、近年の半導体製造においては、ウェハ上にパターンが積層構造で形成されるため、各層間のパターン同士を精度良く位置合わせして積層する必要がある。しかし、従来は、このような積層パターンのうち、どのパターンとどのパターンとが特に高精度に位置合わせされていなければならないか、といった位置合わせ系列が、レチクル作製段階で考慮されていなかった。そのため、これらのレチクルを用いて実際にウェハ上に積層形成されるパターン同士の重ね合わせ精度が悪くなってしまう場合があった。
【００１０】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、レチクル製作費を考慮しつつ、ウェハプロセスにおける製造誤差を最小限に抑えることのできる最適なレチクルを製作・供給するためのレチクル製作システムを提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明では上記課題を解決するために、図１に示す構成で実現可能なレチクル製作システムが提供される。本発明のレチクル製作システムは、要求される品質規格のレチクルの製作を製作依頼元から製作依頼先に依頼するためのレチクル製作システムにおいて、製作依頼元から送信された製作するレチクルについて要求される精度および価格に関する情報を含む設計情報を受信する設計情報受信部と、前記設計情報に含まれる前記精度または前記価格に基づき、要求される前記精度または前記価格を満足する製作依頼先および描画機が選定された製作指示情報を生成する製作指示情報生成部と、生成された前記製作指示情報を前記製作依頼元に送信する製作指示情報送信部と、を備えるレチクル製作指示装置を有することを特徴とする。
【００１２】
図１に示したレチクル製作システム１０によれば、レチクル製作指示装置６０が備える設計情報受信部が、レチクルの製作依頼元である開発工場５０のコンピュータ端末装置からの設計情報を受信する。レチクル製作指示装置６０が備える製作指示情報生成部は、その設計情報に含まれる価格および精度に関する情報に基づき、製作指示情報を生成する。製作指示情報生成部は、例えば描画機の特性やレチクルの価格あるいは位置合わせ系列や既存レチクルの検査データなどの情報に基づき、要求される精度または価格を満足する製作依頼先である外注メーカ７０および描画機を選定し、製作指示情報を生成する。そして、この製作指示情報が、レチクル製作指示装置６０が備える製作指示情報送信部によって開発工場５０のコンピュータ端末装置へと送信される。なお、その後、開発工場５０から外注メーカ７０へレチクルの製作が依頼されることになる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
まず、本発明の概略について図面を参照して説明する。
図１はレチクル製作システムの構成例を示す図である。
【００１４】
レチクル製作システム１０は、各生産工場２０，３０，４０が備えるコンピュータ端末装置および開発工場５０が備えるコンピュータ端末装置と、インターネットなどの電気通信回線で接続されたサーバ６１を備えたレチクル製作指示装置６０を有している。
【００１５】
このレチクル製作システム１０において、生産工場２０，３０，４０は、製作されたレチクルを用い、それぞれが担当するウェハプロセスにおいて半導体装置の製造を行う。
【００１６】
また、開発工場５０は、各生産工場２０，３０，４０からそれぞれウェハプロセスで必要となるレチクルの製作指示を受け、その指示に基づき、レチクル製作を外注先や自社のレチクル生産部門などの製作依頼先に依頼する。そして、製作依頼先である例えば外注メーカ７０から製作されたレチクルを受け入れると、このレチクルを要求元のウェハプロセスへと引き渡す。製作されたレチクルは、該当する各生産工場２０，３０，４０が外注メーカ７０から直接受け入れる場合もある。
【００１７】
レチクル製作指示装置６０のサーバ６１は、データベースとして、描画機特性格納部８１、位置合わせ系列格納部８２、所在・描画機情報格納部８３およびレチクル価格情報格納部８４を有している。さらに、レチクル製作指示装置６０には、製作されたレチクルについての寸法、配置、位相差などの検査データが品質情報として格納される品質情報格納部８５が設けられている。品質情報は、製作されたレチクルが開発工場５０あるいは生産工場２０，３０，４０に受け入れられたときに、各工場が備えるコンピュータ端末装置からレチクル製作指示装置６０に送信され、品質情報格納部８５に格納されるようになっている。
【００１８】
なお、図１に示したレチクル製作システム１０を構成している生産工場２０，３０，４０および開発工場５０の数は単なる例であって、これに限定されるものではない。以下では、生産工場２０，３０，４０および開発工場５０が備える各コンピュータ端末装置がレチクル製作指示装置６０に情報伝達可能に接続されたレチクル製作システム１０を例に、その構成、処理動作について詳細に説明する。
【００１９】
また、図１には、レチクルの製作依頼先として外注メーカ７０のみ示したが、実際には複数の外注メーカに依頼が可能であって、レチクルの製作に当たって要求される価格や精度などに応じて、任意の外注メーカに依頼可能になっている。
【００２０】
ここで、レチクル製作指示装置６０について、図２から図７を参照して説明する。
まず、レチクル製作指示装置６０が備える各格納部の内容について説明する。
【００２１】
図２は描画機特性格納部の構成例を示す図である。
描画機特性格納部８１には、レチクルを製作するための描画機の型式や性能に関する描画機特性情報、特に、その描画機の配置特性についての情報が格納される。この配置特性とは、各描画機のステージをメッシュ状の区画に分割した場合に、各区画において描画されるパターンのｘ方向およびｙ方向への設計値からのずれを表すものである。すなわち、パターンを描画する際の各描画機に特有のくせといえる。例えば図２には、ある描画機のステージを、縦横それぞれ１０区画に分割した場合の各区画の配置特性を示している。
【００２２】
このように、描画機特性格納部８１には、描画機ごとに異なる描画機特性情報がそれぞれ格納される。描画機特性情報は、開発工場５０において調査・蓄積され、描画機特性格納部８１に格納されるようになっている。
【００２３】
このような描画機特性をあらかじめ把握しておくことで、同一パターンのレチクルを異なる描画機を用いて製作したときに、これらのレチクルの間にどのような品質（精度）の差が生じ得るかを予測するのに利用することが可能になる。
【００２４】
図３は位置合わせ系列格納部の構成例を示す図である。
位置合わせ系列格納部８２には、半導体装置のパターンを積層形成する場合に、ウェハプロセスにおいて各パターン同士をどのように位置合わせして形成すべきかを示した位置合わせ系列情報が格納される。ウェハ上に各層のパターン同士を精度良く位置合わせした状態で形成するためには、各層のパターン形成に用いるレチクルを、このような位置合わせ系列を考慮して製作する必要がある。
【００２５】
例えば図３は、パターンを１８層積層して半導体装置のパターン形成をする場合の位置合わせ系列情報の例を示しており、各層のパターン形成に用いるレチクルＡ〜Ｒまでの１８枚のレチクルについて、その位置合わせ系列が設定されている。図３に示した例では、先頭層のパターン形成に用いるレチクルＡに対し、先頭層に積層するパターンの形成に用いるレチクルＢ〜Ｄが位置合わせされるべきであることが示されている。さらに、レチクルＤに対しては、レチクルＥ〜Ｋが、レチクルＧに対してはレチクルＬ〜Ｎが、レチクルＮに対してはレチクルＯ，Ｐが、それぞれ位置合わせされるべきであることが示されている。また、レチクルＰはレチクルＱに、レチクルＱはレチクルＲに位置合わせされるべきであることが示されている。
【００２６】
位置合わせ系列情報は、開発工場５０においてあるいは各生産工場２０，３０，４０からの情報提供に基づいて調査・蓄積され、位置合わせ系列格納部８２に格納されるようになっている。位置合わせ系列情報を格納しておき、これを考慮してレチクル製作を行うことにより、ウェハプロセスにおいて精度の良いパターン形成が可能になる。
【００２７】
さらに、上記の１８枚のレチクルのような一連のレチクルのうち、一部のレチクルのみ再製作する場合などには、一部のレチクルを製作する際、それが位置合わせされるべきレチクル（親レチクル）を知ることができる。すなわち、製作するレチクルが高い位置合わせ精度を要求する層を形成するためのものであるのかどうかを認識でき、製作する外注先や描画機の選定に利用することができる。例えば、位置合わせの精度が厳しい層を形成するためのレチクルの場合には、前版のレチクルと同一の描画機を選定し、位置合わせの精度がそれほど厳しくない層を形成するレチクルの場合には、安価に製作できる描画機を選定することも可能である。
【００２８】
図４は所在・描画機情報格納部の構成例を示す図である。
所在・描画機情報格納部８３には、製作されたレチクルが、生産工場２０，３０，４０のいずれに納入されているかを示す所在情報とともに、レチクルがどの描画機を使用して製作されたものであるかを示す使用描画機情報が格納される。
【００２９】
図４の例では、レチクルＡ〜Ｌについての所在が示されており、ここでは、同一パターンのレチクルであって、再版などで製造ロットが異なるものについての所在についても示されている。また、図４においては、レチクルの所在は、生産工場２０，３０，４０がそれぞれ１，２，３の番号で表されている。
【００３０】
図４に示した例では、レチクルＡ〜Ｌは、生産工場２０に存在していることが示されている。また、レチクルＡ，Ｃ，Ｊは生産工場３０に、レチクルＧ，Ｊは生産工場４０にそれぞれ存在していることが示されている。
【００３１】
製作されたレチクルの所在情報は、生産工場２０，３０，４０または開発工場５０が、レチクルを受け入れたときに所在・描画機情報格納部８３に格納されるようになっている。また、使用描画機情報は、生産工場２０，３０，４０または開発工場５０が、レチクルを受け入れたときに外注メーカ７０のレチクルの検査データなどに記載された使用描画機が把握され、所在・描画機情報格納部８３に格納されるようになっている。
【００３２】
図５はレチクル価格情報格納部の構成例を示す図である。
レチクル価格情報格納部８４には、レチクルを製作するに際して、外注メーカ７０に製作を依頼したときに、その製作に要する費用を示したレチクル価格情報が格納される。図５に示した例では、ＡＡ社、ＢＢ社、ＣＣ社、ＤＤ社、ＥＥ社がそれぞれレチクルＡ〜Ｄを製作した場合のレチクル価格情報が格納されている。
【００３３】
このようなレチクル価格情報をレチクル価格情報格納部８４に蓄積しておくことで、レチクル製作を行うときには、他の製作条件を考慮しつつ、製作費用を即座に把握することができる。例えば、レチクル製作に当たり精度よりも価格を優先する場合には、そのレチクルを製作するＡＡ社、ＢＢ社、ＣＣ社、ＤＤ社、ＥＥ社のうち、最も費用の安い製作会社を選択可能となる。
【００３４】
図６は品質情報格納部の構成例を示す図である。
品質情報格納部８５には、依頼を基に製作されたレチクルについての寸法、配置、位相差についての検査データが格納される。この検査データは、レチクルに形成されているパターンの寸法、そのパターンの配置、および光のレチクル通過前後の位相差についての測定結果であり、通常、レチクルを製作した外注メーカ７０からレチクルと共に納入される。
【００３５】
レチクルが製作された後、そのレチクルを受け入れた開発工場５０あるいは各生産工場２０，３０，４０では、検査データをレチクルの品質情報としてコンピュータ端末装置によってレチクル製作指示装置６０の品質情報格納部８５に格納する。
【００３６】
この品質情報格納部８５には、測定結果のほか、寸法、配置および位相差のねらい値および精度範囲などのあらかじめ設定されていた品質規格も格納されている。さらに、各レチクルについて、ねらい値と測定結果との間のずれの量が自動計算され、このずれの量も格納されるようになっている。
【００３７】
例えば図６の例では、レチクルＡ（Ｌ００１）の寸法について、ねらい値が０．５（μｍ）であり、寸法の精度範囲が±０．０５（μｍ）である場合、測定結果が０．５０４（μｍ）であったとすれば、ねらい値とのずれが０．００４（μｍ）と計算されて格納される。また、その配置については、ねらい値を０（μｍ）と設定し、配置の精度範囲が±０．０３（μｍ）である場合、測定結果が０．０２０（μｍ）であったとすれば、ねらい値とのずれが０．０２０（μｍ）と計算されて格納される。さらに、その位相差については、ねらい値が１８０度（°）であり、精度範囲が±５度（°）である場合、測定結果が１８３度（°）であったとすれば、ねらい値とのずれが３度（°）と計算されて格納される。他のレチクルの場合も同様に、各データが格納され、品質情報格納部８５に蓄積されていくようになっている。
【００３８】
このように、各レチクルについての品質情報を蓄積していくことで、前版のレチクルと同一パターンでレチクルを製作する場合には、ずれの値を知って、例えばねらい値を変更するなど、レチクル製作に利用することが可能になる。
【００３９】
次に、レチクル製作指示装置６０の構成について説明する。図７はレチクル製作指示装置の機能ブロック図である。
レチクル製作指示装置６０は、図２から図６に示した各格納部のほか、設計情報受信部６２、再版判定部６３、価格優先度判定部６４、製作指示情報生成部６５、製作指示情報送信部６６および品質情報受信部６７を有している。
【００４０】
設計情報受信部６２は、製作するレチクルの層名・サフィックス、製作するレチクルの出荷工場の別、レチクルの品質規格、および製作に当たって精度を優先するか価格を優先するか、などの情報を含んだ設計情報を受信する。この設計情報には、製作するレチクルが初版である場合などには、その位置合わせ系列情報を含めるようにしてもよい。設計情報は、開発工場５０において入力されるようになっており、入力された設計情報がコンピュータ端末装置からレチクル製作指示装置６０に送信される。
【００４１】
再版判定部６３は、設計情報受信部６２で受信された設計情報に基づき、所在・描画機情報格納部８３や品質情報格納部８５などのデータを用い、層名・サフィックスや品質規格が同一のレチクルの所在が把握されているか否かの判定を行う。所在が確認された場合には、製作しようとするレチクルを再版と判定し、所在が確認されない場合には、初版と判定する。
【００４２】
価格優先度判定部６４は、設計情報受信部６２で受信された設計情報において、レチクル製作に当たり、価格が優先されているか、あるいは精度が優先されているかの判定を行う。
【００４３】
製作指示情報生成部６５は、レチクル製作を依頼する外注先、レチクル製作に使用する描画機、および価格優先や精度優先といったレチクル基準などの情報を含んだ製作指示情報を生成する。この製作指示情報には、必要に応じて、製作するレチクルの品質規格の内容が含まれる。
【００４４】
この製作指示情報の生成は、製作するレチクルが初版であるか再版であるか、価格を優先するか精度を優先するか、といった製作条件に応じ、各格納部のデータを用いて行われる。例えば、製作するレチクルが初版で精度を優先する場合には、描画機特性格納部８１および位置合わせ系列格納部８２のデータに基づき、要求される位置合わせの精度を品質規格よりも充分に高い精度で満足することが可能な描画機および外注先を選定する。一方、製作するレチクルが初版で価格を優先する場合には、描画機特性格納部８１、位置合わせ系列格納部８２およびレチクル価格情報格納部８４のデータに基づき、要求される位置合わせの精度を品質規格内で満足し、かつ、低価格で製作可能な外注先および描画機を選定する。
【００４５】
また、製作するレチクルが再版で精度を優先する場合には、描画機特性格納部８１、位置合わせ系列格納部８２および所在・描画機情報格納部８３のデータに基づき、前版と同一の描画機および外注先を選定する。その際には、品質情報格納部８５のデータに基づき、再版で製作するレチクルについてねらい値を変更した新たな品質規格を設定する。一方、製作するレチクルが再版で価格を優先する場合には、描画機特性格納部８１、位置合わせ系列格納部８２、所在・描画機情報格納部８３およびレチクル価格情報格納部８４のデータに基づき、要求される位置合わせの精度を品質規格内で満足し、かつ、低価格で製作可能な外注先および描画機を選定する。その際、品質情報格納部８５のデータに基づき、再版で製作するレチクルについてねらい値を変更した新たな品質規格を設定する。
【００４６】
このように、製作指示情報生成部６５における製作指示情報の生成は、レチクルの製作条件に応じ、各格納部のデータを適当に用いて行われるようになっている。
【００４７】
レチクル製作指示装置６０の製作指示情報送信部６６は、製作指示情報生成部６５によって生成された製作指示情報を、開発工場５０のコンピュータ端末装置に送信する。
【００４８】
品質情報受信部６７は、製作されたレチクルが開発工場５０にあるいは生産工場２０，３０，４０へ直接に受け入れられた後、外注メーカ７０からレチクルと共に納入される検査データを品質情報として受信する。開発工場５０のコンピュータ端末装置では、検査データが入力されると、これを品質情報として使用描画機情報および所在情報を含めて品質情報受信部６７へ送信する。生産工場２０，３０，４０のコンピュータ端末装置では、検査データが入力されると、これを品質情報として使用描画機情報および所在情報を含めて品質情報受信部６７へ送信する。品質情報受信部６７で受信された品質情報は、品質情報格納部８５に格納され、使用描画機情報および所在情報は、所在・描画機情報格納部８３に格納されるようになっている。
【００４９】
次に、開発工場５０のコンピュータ端末装置および生産工場２０，３０，４０のコンピュータ端末装置の構成について、それぞれ説明する。
図８は開発工場のコンピュータ端末装置の機能ブロック図である。
【００５０】
開発工場５０のコンピュータ端末装置は、設計情報入力部５１、設計情報送信部５２、製作指示情報受信部５３、品質情報入力部５４および品質情報送信部５５を有している。
【００５１】
設計情報入力部５１は、各生産工場２０，３０，４０からのレチクル製作指示に基づき、製作すべきレチクルについての設計情報が入力されるようになっている。
【００５２】
設計情報送信部５２は、設計情報入力部５１において入力された設計情報を、レチクル製作指示装置６０の設計情報受信部６２に送信する。
製作指示情報受信部５３は、レチクル製作指示装置６０の製作指示情報生成部６５によって生成されて製作指示情報送信部６６によって送信される製作指示情報を受信する。
【００５３】
ここで、製作指示情報をコンピュータ端末装置で受信した開発工場５０では、製作指示情報で選定された外注先にレチクル製作を依頼するようになる。また、開発工場５０のコンピュータ端末装置を、更に製作指示情報の内容をそのままあるいは適当なファイル形式に変換して外注先に電気通信回線を通じて伝達することのできる構成としてもよい。
【００５４】
品質情報入力部５４は、製作後に納入されたレチクルについての検査データが品質情報として入力されるようになっている。この入力される品質情報には、寸法、配置および位相差のそれぞれについて、ねらい値、精度範囲および実際の測定結果が含まれている。
【００５５】
品質情報送信部５５は、品質情報入力部５４において入力された品質情報を、レチクル製作指示装置６０の品質情報受信部６７に送信する。この品質情報受信部６７に送信された品質情報は、品質情報格納部８５に格納され、蓄積されていくようになっている。
【００５６】
なお、品質情報入力部５４および品質情報送信部５５は、製作後のレチクルが外注先から直接各生産工場２０，３０，４０へのみ納入されることが決められているような場合には、設けなくてもよい。
【００５７】
図９は生産工場のコンピュータ端末装置の機能ブロック図である。ただし、図９には、生産工場２０，３０，４０のうち、生産工場２０のコンピュータ端末装置の構成についてのみ示している。生産工場３０，４０のコンピュータ端末装置の構成は、生産工場２０のものと同じである。
【００５８】
生産工場２０のコンピュータ端末装置は、それぞれ、品質情報入力部２１および品質情報送信部２２を有している。
品質情報入力部２１は、図８に示した開発工場５０のコンピュータ端末装置の品質情報入力部５４と同様、製作後に納入されたレチクルの検査データが品質情報として入力されるようになっている。
【００５９】
品質情報送信部２２は、開発工場５０のコンピュータ端末装置の品質情報送信部５５と同様、品質情報入力部２１において入力された品質情報を、レチクル製作指示装置６０の品質情報受信部６７に送信する。
【００６０】
なお、品質情報入力部２１および品質情報送信部２２は、製作後のレチクルが外注先から開発工場へのみ納入されることが決められているような場合には、設けなくてもよい。また、前述したように、生産工場３０，４０についても同じ構成であり、生産工場３０，４０共に、品質情報入力部および品質情報送信部を有し、これらは製作後のレチクルが外注先から開発工場へ納入されるような場合には不要である。
【００６１】
続いて、上記レチクル製作システム１０の処理の流れを、図面を参照して説明する。
まず、レチクル製作指示装置６０の処理の流れについて説明する。図１０および図１１はレチクル製作指示装置の処理の流れを示す図である。
【００６２】
レチクル製作に当たっては、通常、まず、レチクルを必要とする生産工場２０，３０，４０から開発工場５０に対してレチクル製作指示がある。
開発工場５０では、生産工場２０，３０，４０からの指示を受け、コンピュータ端末装置の設計情報入力部５１に、製作すべきレチクルについての設計情報が入力され、レチクル製作指示装置６０の設計情報受信部６２に送信される。
【００６３】
ここで、図１２は設計情報の入力画面の例を示す図である。開発工場５０のコンピュータ端末装置には、設計情報として、層名・サフィックス、出荷工場、規格、レチクル製作の判断基準が入力される。このレチクル製作の判断基準とは、製作に当たって価格を優先するか精度を優先するかの判断基準を表すものである。
【００６４】
レチクル製作指示装置６０は、設計情報受信部６２で設計情報を受信すると（ステップＳ１）、再版判定部６３で、製作しようとするレチクルが再版であるか否かを判定する（ステップＳ２）。
【００６５】
レチクル製作指示装置６０は、ステップＳ２において、製作するレチクルが再版でない（初版である）と判定した場合には、価格優先度判定部６４で、その設計情報において価格を優先するように設定されているか否かを判定する（ステップＳ３）。
【００６６】
このステップＳ３において、価格よりも精度を優先するように設定されていると判定した場合には、製作指示情報生成部６５で、要求される位置合わせの精度を品質規格よりも充分に高い精度で満足することが可能な描画機および外注先を選定した製作指示情報を生成する（ステップＳ４）。この製作指示情報の生成は、描画機特性格納部８１および位置合わせ系列格納部８２のデータに基づいて行われる。例えば、位置合わせ系列に基づき、位置合わせの高い精度を要求する層間については、各層を形成するためのレチクルについては、一連のレチクルを同一の描画機を用いて製作すべき旨を指示する製作指示情報を生成する。
【００６７】
製作指示情報の生成後、レチクル製作指示装置６０は、この製作指示情報を製作指示情報送信部６６から開発工場５０のコンピュータ端末装置の製作指示情報受信部５３へと送信する（ステップＳ５）。
【００６８】
ここで、図１３は開発工場における製作指示情報の表示例を示す図である。レチクル製作指示装置６０から製作指示情報を受信すると、開発工場５０のコンピュータ端末装置には、製作指示情報に含まれている外注先、描画機、レチクル基準（設計情報入力時に指定したレチクル製作の判断基準）を示す表示がなされる。これにより、開発工場５０においてレチクル製作の指示内容を確認することができる。
【００６９】
なお、製作指示情報をコンピュータ端末装置で受信した開発工場５０は、製作指示情報の内容を、あるいは製作指示情報自身を、外注メーカ７０に伝達し、レチクルの製作を依頼することになる。
【００７０】
その後、外注メーカ７０で製作されたレチクルは開発工場５０あるいは生産工場２０，３０，４０で受け入れられ、開発工場５０に受け入れられたものについては、所定の要求元ウェハプロセスに引き渡される。開発工場５０あるいは例えば生産工場２０では、品質情報が、使用描画機情報および所在情報を含めて、コンピュータ端末装置の品質情報入力部５４，２１に入力される。
【００７１】
ここで、図１４は品質情報の入力画面の例を示す図である。開発工場５０あるいは生産工場２０では、コンピュータ端末装置の品質情報入力部５４，２１において、該当するレチクルごとに品質情報が入力される。その入力の際には、検査データのほか、寸法、配置、位相差のねらい値および精度範囲についても入力されるようになっている。あるいは、あらかじめ入力画面には、レチクルごとにねらい値および精度範囲が表示されていて、所定の箇所に検査データのみ入力する構成としてもよい。この場合には、入力した検査データが、品質規格に適合しているか否かを画面上で確認することができるようになる。
【００７２】
品質情報入力部５４，２１で入力された品質情報、使用描画機情報および所在情報は、品質情報送信部５５，２２からレチクル製作指示装置６０へと送信される。
【００７３】
レチクル製作指示装置６０は、品質情報受信部６７で品質情報、使用描画機情報および所在情報を受信し（ステップＳ６）、受信した品質情報は、品質情報格納部８５に格納する（ステップＳ７）。さらに、使用描画機情報および所在情報を、所在・描画機情報格納部８３に格納する（ステップＳ８）。これにより、レチクル製作を終了する。
【００７４】
また、ステップＳ３において、精度よりも価格を優先する場合には、まず、レチクル価格情報格納部８４からレチクル価格情報を取得する（ステップＳ９）。次いで、このレチクル価格情報を用い、要求される位置合わせの精度を品質規格内で満足し、かつ、低価格で製作可能な外注先および描画機を選定した製作指示情報を生成する（ステップＳ１０）。この製作指示情報の生成は、描画機特性格納部８１、位置合わせ系列格納部８２およびレチクル価格情報格納部８４のデータに基づいて行われる。
【００７５】
この後は、ステップＳ５以降の処理が行われ、レチクル製作を終了する。
また、ステップＳ２において、製作しようとするレチクルが再版であると判定された場合には、受信した設計情報に基づき、所在・描画機情報格納部８３から前版レチクルの所在情報および使用描画機情報を取得する（ステップＳ２０）。さらに、レチクル製作指示装置６０は、位置合わせ系列格納部８２から、製作するレチクルが含まれている一連のレチクルについて、その位置合わせ系列情報を取得する（ステップＳ２１）。レチクル製作指示装置６０は、前版レチクルの所在情報、使用描画機情報および位置合わせ系列情報を用い、再版で製作すべきレチクルについての情報に加え、このレチクルが位置合わせの制約を受ける親レチクルについての情報も取得することになる。
【００７６】
次いで、描画機特性格納部８１から、前版レチクルの使用描画機についての描画機特性情報を取得し（ステップＳ２２）、製作しようとしているレチクルの前版のレチクルについての品質情報を取得する（ステップＳ２３）。
【００７７】
そして、レチクル製作指示装置６０は、受信している設計情報において、価格を優先するように設定されているか否かを判定する（ステップＳ２４）。
レチクル製作指示装置６０は、ステップＳ２４において、価格よりも精度を優先するように設定されていると判定した場合には、前版レチクルの使用描画機と同一の描画機および外注先を選定して製作指示情報を生成する（ステップＳ２５）。この製作指示情報の生成は、描画機特性格納部８１、位置合わせ系列格納部８２および所在・描画機情報格納部８３のデータに基づいて行われる。
【００７８】
この製作指示情報の生成時には、さらに、品質情報格納部８５の品質情報を用い、前版レチクルの製作時における測定結果の値をねらい値として仕様を変更した新たな品質規格を設定する（ステップＳ２６）。
【００７９】
製作指示情報の生成後、レチクル製作指示装置６０は、新たな品質規格を含む製作指示情報を製作指示情報送信部６６から開発工場５０のコンピュータ端末装置の製作指示情報受信部５３へと送信する（ステップＳ２７）。この後は、ステップＳ６以降の処理が行われ、レチクル製作を終了する。
【００８０】
また、レチクル製作指示装置６０が、ステップＳ２４において、精度よりも価格を優先するように設定されていると判定した場合には、まず、レチクル価格情報格納部８４のレチクル価格情報を取得する（ステップＳ２８）。次いで、このレチクル価格情報を用い、要求される位置合わせの精度を品質規格内で満足し、かつ、低価格で製作可能な外注先および描画機を選定した製作指示情報を生成する（ステップＳ２９）。この製作指示情報の生成は、描画機特性格納部８１、位置合わせ系列格納部８２、所在・描画機情報格納部８３およびレチクル価格情報格納部８４のデータに基づいて行われる。例えば、前版レチクルの製作における使用描画機の描画機特性（配置特性）に近い描画機を選定し、その中で最も製作費が安くなる外注先を選定する。
【００８１】
この製作指示情報の生成時には、さらに、品質情報格納部８５の品質情報を用いて新たな品質規格を設定する（ステップＳ３０）。この後はステップＳ２７以降の処理が行われ、レチクル製作を終了する。
【００８２】
次に、開発工場５０のコンピュータ端末装置における処理の流れについて説明する。図１５は開発工場のコンピュータ端末装置における処理の流れを示す図である。
【００８３】
開発工場５０では、生産工場２０，３０，４０からのレチクル製作指示を受けて、コンピュータ端末装置の設計情報入力部５１に設計情報が入力される（ステップＳ４０）。そして、開発工場５０のコンピュータ端末装置は、入力された設計情報を、設計情報送信部５２からレチクル製作指示装置６０の設計情報受信部６２へ送信する（ステップＳ４１）。
【００８４】
その後、開発工場５０のコンピュータ端末装置は、レチクル製作指示装置６０の製作指示情報送信部６６から送信されてくる製作指示情報を、製作指示情報受信部５３で受信する（ステップＳ４２）。製作指示情報を受信した開発工場５０は、製作指示情報の内容を、あるいは製作指示情報自身を、外注メーカ７０に伝達してレチクルの製作を依頼することになる。
【００８５】
レチクル製作後は、レチクルが開発工場５０に受け入れられた場合には、まず、コンピュータ端末装置の品質情報入力部５４に品質情報のほか、使用描画機情報および所在情報が入力される（ステップＳ４３）。そして、コンピュータ端末装置は、入力されたこれらの情報を、品質情報送信部５５からレチクル製作指示装置６０の品質情報受信部６７へと送信する（ステップＳ４４）。
【００８６】
レチクル製作指示装置６０は、受信された品質情報を品質情報格納部８５に格納し、使用描画機情報および所在情報を、所在・描画機情報格納部８３に格納することになる。
【００８７】
次に、生産工場２０，３０，４０のコンピュータ端末装置における処理の流れについて説明する。図１６は生産工場のコンピュータ端末装置における処理の流れを示す図である。ここでは、生産工場２０で処理が行われる場合について説明する。
【００８８】
生産工場２０では、レチクルの製作に当たり、まず、開発工場５０に対し、必要なレチクルの層名・サフィックス、品質規格、レチクル製作の判断基準など、設計情報に必要な情報を含んだ製作指示を与える。以降は、開発工場５０およびレチクル製作指示装置６０において、レチクル製作処理が実行される。
【００８９】
レチクル製作後は、レチクルが生産工場２０に受け入れられた場合には、まず、コンピュータ端末装置の品質情報入力部２１に品質情報のほか、使用描画機情報および所在情報が入力される（ステップＳ５０）。そして、コンピュータ端末装置は、入力されたこれらの情報を、品質情報送信部２２からレチクル製作指示装置６０の品質情報受信部６７へと送信する（ステップＳ５１）。
【００９０】
レチクル製作指示装置６０は、受信された品質情報を品質情報格納部８５に格納し、使用描画機情報および所在情報を、所在・描画機情報格納部８３に格納することになる。
【００９１】
なお、ここでは生産工場２０の場合を例にして説明したが、勿論、他の生産工場３０，４０においても、コンピュータ端末装置は、同じ処理が実行できるように構成されている。
【００９２】
以上説明したように、レチクル製作システム１０により、製作するレチクルに要求される精度や価格、あるいは初版であるか再版であるかに応じて、最も適した外注先などの製作依頼先および製作に使用する描画機を選定することができる。これにより、低価格で、かつ、品質規格に適合した最適なレチクルを製作・供給することができ、ウェハプロセスにおける製造誤差を最小限にすることが可能となる。
【００９３】
なお、上記の処理機能は、コンピュータによって実現することができる。その場合、レチクル製作指示装置が有すべき機能の処理内容を記述したプログラムが提供される。そのプログラムをコンピュータで実行することにより、上記処理機能がコンピュータ上で実現される。処理内容を記述したプログラムは、コンピュータで読み取り可能な記録媒体に記録しておくことができる。コンピュータで読み取り可能な記録媒体としては、磁気記録装置、光ディスク、光磁気記録媒体、半導体メモリなどがある。磁気記録装置には、ハードディスク装置（ＨＤＤ）、フレキシブルディスク（ＦＤ）、磁気テープなどがある。光ディスクには、ＤＶＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ Ｄｉｓｃ）、ＤＶＤ−ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）、ＣＤ−ＲＯＭ（Ｃｏｍｐａｃｔ Ｄｉｓｃ Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）、ＣＤ−Ｒ（Ｒｅｃｏｒｄａｂｌｅ）／ＲＷ（ＲｅＷｒｉｔａｂｌｅ）などがある。光磁気記録媒体には、ＭＯ（Ｍａｇｎｅｔｏ−Ｏｐｔｉｃａｌ ｄｉｓｋ）などがある。
【００９４】
プログラムを流通させる場合には、たとえば、そのプログラムが記録されたＤＶＤ、ＣＤ−ＲＯＭなどの可搬型記録媒体が販売される。また、プログラムをサーバコンピュータの記憶装置に格納しておき、ネットワークを介して、サーバコンピュータから他のコンピュータにそのプログラムを転送することもできる。
【００９５】
プログラムを実行するコンピュータは、たとえば、可搬型記録媒体に記録されたプログラムもしくはサーバコンピュータから転送されたプログラムを、自己の記憶装置に格納する。そして、コンピュータは、自己の記憶装置からプログラムを読み取り、プログラムに従った処理を実行する。なお、コンピュータは、可搬型記録媒体から直接プログラムを読み取り、そのプログラムに従った処理を実行することもできる。また、コンピュータは、サーバコンピュータからプログラムが転送される毎に、逐次、受け取ったプログラムに従った処理を実行することもできる。
【００９６】
（付記１） 要求される品質規格のレチクルの製作を製作依頼元から製作依頼先に依頼するためのレチクル製作システムにおいて、
製作依頼元から送信された製作するレチクルについて要求される精度および価格に関する情報を含む設計情報を受信する設計情報受信部と、
前記設計情報に含まれる前記精度または前記価格に基づき、要求される前記精度または前記価格を満足する製作依頼先および描画機が選定された製作指示情報を生成する製作指示情報生成部と、
生成された前記製作指示情報を前記製作依頼元に送信する製作指示情報送信部と、
を備えるレチクル製作指示装置を有することを特徴とするレチクル製作システム。
【００９７】
（付記２） 前記レチクル製作指示装置は、レチクルを製作するための描画機の特性に関する描画機特性情報が格納された描画機特性格納部と、製作するレチクルの価格に関するレチクル価格情報が格納されたレチクル価格情報格納部と、を有し、
前記製作指示情報を生成する際には、前記描画機特性情報または前記レチクル価格情報を用いて、要求される前記精度または前記価格を満足する前記製作依頼先および前記描画機が選定された前記製作指示情報を生成することを特徴とする付記１記載のレチクル製作システム。
【００９８】
（付記３） 前記レチクル製作指示装置は、積層形成するパターン同士の位置合わせ系列に関する位置合わせ系列情報が格納された位置合わせ系列格納部を有し、
前記製作指示情報を生成する際には、前記位置合わせ系列情報に含まれている一連のレチクルのうち、製作するレチクルについて要求される前記精度または前記価格を満足する前記製作依頼先および前記描画機が選定された前記製作指示情報を生成することを特徴とする付記２記載のレチクル製作システム。
【００９９】
（付記４） 前記レチクル製作指示装置は、製作されたレチクルの検査データを含む品質情報が格納された品質情報格納部を有し、
再版としてレチクルを製作するときには、前記品質情報を用い、再版として製作するレチクルの前版のレチクルについての前記検査データの値をねらい値とした新たな品質規格を設定し、前記製作指示情報送信部によって前記製作指示情報と共に前記製作依頼元に送信することを特徴とする付記１記載のレチクル製作システム。
【０１００】
（付記５） 前記レチクル製作指示装置は、製作されたレチクルについての使用描画機を示す使用描画機情報が格納された描画機情報格納部を有し、
再版としてレチクルを製作するときには、前記使用描画機情報に基づき、再版として製作するレチクルの前版のレチクルについての使用描画機が前記描画機として選定された前記製作指示情報を生成することを特徴とする付記１記載のレチクル製作システム。
【０１０１】
（付記６） 要求される品質規格のレチクルの製作を製作依頼元から製作依頼先に依頼するためのレチクル製作方法において、
レチクル製作指示装置によって、
製作依頼元から送信された製作するレチクルについて要求される精度および価格に関する情報を含む設計情報を受信し、
前記設計情報に含まれる前記精度または前記価格に基づき、要求される前記精度または前記価格を満足する製作依頼先および描画機が選定された製作指示情報を生成し、
生成された前記製作指示情報を前記製作依頼元に送信する、
ことを特徴とするレチクル製作方法。
【０１０２】
（付記７） 前記製作指示情報を生成する際には、前記レチクル製作指示装置は、レチクルを製作するための描画機の特性に関する描画機特性情報または製作するレチクルの価格に関するレチクル価格情報を用いて、要求される前記精度または前記価格を満足する前記製作依頼先および前記描画機が選定された前記製作指示情報を生成することを特徴とする付記６記載のレチクル製作方法。
【０１０３】
（付記８） 前記製作指示情報を生成する際には、前記レチクル製作指示装置は、積層形成するパターン同士の位置合わせ系列に関する位置合わせ系列情報に含まれている一連のレチクルのうち、製作するレチクルについて要求される前記精度または前記価格を満足する前記製作依頼先および前記描画機が選定された前記製作指示情報を生成することを特徴とする付記７記載のレチクル製作方法。
【０１０４】
（付記９） 再版としてレチクルを製作するときには、前記レチクル製作指示装置は、製作されたレチクルの検査データを含む品質情報を用い、再版として製作するレチクルの前版のレチクルについての前記検査データの値をねらい値とした新たな品質規格を設定し、前記製作指示情報送信部によって前記製作指示情報と共に前記製作依頼元に送信することを特徴とする付記６記載のレチクル製作方法。
【０１０５】
（付記１０） 再版としてレチクルを製作するときには、前記レチクル製作指示装置は、製作されたレチクルについての使用描画機を示す使用描画機情報に基づき、再版として製作するレチクルの前版のレチクルについての使用描画機が前記描画機として選定された前記製作指示情報を生成することを特徴とする付記６記載のレチクル製作方法。
【０１０６】
（付記１１） 要求される品質規格のレチクルの製作を製作依頼元から製作依頼先に依頼するためのレチクル製作指示装置において、
製作依頼元から送信された製作するレチクルについて要求される精度および価格に関する情報を含む設計情報を受信する設計情報受信部と、
前記設計情報に含まれる前記精度または前記価格に基づき、要求される前記精度または前記価格を満足する製作依頼先および描画機が選定された製作指示情報を生成する製作指示情報生成部と、
生成された前記製作指示情報を前記製作依頼元に送信する製作指示情報送信部と、
を備えることを特徴とするレチクル製作指示装置。
【０１０７】
（付記１２） レチクルを製作するための描画機の特性に関する描画機特性情報が格納された描画機特性格納部と、製作するレチクルの価格に関するレチクル価格情報が格納されたレチクル価格情報格納部と、を有し、
前記製作指示情報を生成する際には、前記描画機特性情報または前記レチクル価格情報を用いて、要求される前記精度または前記価格を満足する前記製作依頼先および前記描画機が選定された前記製作指示情報を生成することを特徴とする付記１１記載のレチクル製作指示装置。
【０１０８】
（付記１３） 積層形成するパターン同士の位置合わせ系列に関する位置合わせ系列情報が格納された位置合わせ系列格納部を有し、
前記製作指示情報を生成する際には、前記位置合わせ系列情報に含まれている一連のレチクルのうち、製作するレチクルについて要求される前記精度または前記価格を満足する前記製作依頼先および前記描画機が選定された前記製作指示情報を生成することを特徴とする付記１２記載のレチクル製作指示装置。
【０１０９】
（付記１４） 製作されたレチクルの検査データを含む品質情報が格納された品質情報格納部を有し、
再版としてレチクルを製作するときには、前記品質情報を用い、再版として製作するレチクルの前版のレチクルについての前記検査データの値をねらい値とした新たな品質規格を設定し、前記製作指示情報送信部によって前記製作指示情報と共に前記製作依頼元に送信することを特徴とする付記１１記載のレチクル製作指示装置。
【０１１０】
（付記１５） 製作されたレチクルについての使用描画機を示す使用描画機情報が格納された描画機情報格納部を有し、
再版としてレチクルを製作するときには、前記使用描画機情報に基づき、再版として製作するレチクルの前版のレチクルについての使用描画機が前記描画機として選定された前記製作指示情報を生成することを特徴とする付記１１記載のレチクル製作指示装置。
【０１１１】
（付記１６） レチクル製作指示装置によって、要求される品質規格のレチクルの製作を製作依頼元から製作依頼先に依頼するためのプログラムにおいて、
コンピュータに、
製作依頼元から送信された製作するレチクルについて要求される精度および価格に関する情報を含む設計情報を受信し、
前記設計情報に含まれる前記精度または前記価格に基づき、要求される前記精度または前記価格を満足する製作依頼先および描画機が選定された製作指示情報を生成し、
生成された前記製作指示情報を前記製作依頼元に送信する処理を実行させることを特徴とするプログラム。
【０１１２】
（付記１７） レチクル製作指示装置によって、要求される品質規格のレチクルの製作を製作依頼元から製作依頼先に依頼するためのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体において、
コンピュータに、
製作依頼元から送信された製作するレチクルについて要求される精度および価格に関する情報を含む設計情報を受信し、
前記設計情報に含まれる前記精度または前記価格に基づき、要求される前記精度または前記価格を満足する製作依頼先および描画機が選定された製作指示情報を生成し、
生成された前記製作指示情報を前記製作依頼元に送信する処理を実行させることを特徴とするプログラムを記録した記録媒体。
【０１１３】
【発明の効果】
以上説明したように本発明では、レチクルの製作依頼元からの設計情報を受信し、その設計情報に基づいて製作指示情報を生成し、この製作指示情報を製作依頼元へと送信するレチクル製作指示装置を備えるレチクル製作システムを構成する。これにより、最小限の価格で最適なレチクルを製作・供給することができ、ウェハプロセスにおける製造誤差を最小限にすることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】レチクル製作システムの構成例を示す図である。
【図２】描画機特性格納部の構成例を示す図である。
【図３】位置合わせ系列格納部の構成例を示す図である。
【図４】所在・描画機情報格納部の構成例を示す図である。
【図５】レチクル価格情報格納部の構成例を示す図である。
【図６】品質情報格納部の構成例を示す図である。
【図７】レチクル製作指示装置の機能ブロック図である。
【図８】開発工場のコンピュータ端末装置の機能ブロック図である。
【図９】生産工場のコンピュータ端末装置の機能ブロック図である。
【図１０】レチクル製作指示装置の処理の流れを示す図（その１）である。
【図１１】レチクル製作指示装置の処理の流れを示す図（その２）である。
【図１２】設計情報の入力画面の例を示す図である。
【図１３】開発工場における製作指示情報の表示例を示す図である。
【図１４】品質情報の入力画面の例を示す図である。
【図１５】開発工場のコンピュータ端末装置における処理の流れを示す図である。
【図１６】生産工場のコンピュータ端末装置における処理の流れを示す図である。
【図１７】従来のレチクル製作のフローの一例を示す図である。
【符号の説明】
１０ レチクル製作システム
２０，３０，４０ 生産工場
２１ 品質情報入力部
２２ 品質情報送信部
５０ 開発工場
５１ 設計情報入力部
５２ 設計情報送信部
５３ 製作指示情報受信部
５４ 品質情報入力部
５５ 品質情報送信部
６０ レチクル製作指示装置
６１ サーバ
６２ 設計情報受信部
６３ 再版判定部
６４ 価格優先度判定部
６５ 製作指示情報生成部
６６ 製作指示情報送信部
６７ 品質情報受信部
７０ 外注メーカ
８１ 描画機特性格納部
８２ 位置合わせ系列格納部
８３ 所在・描画機情報格納部
８４ レチクル価格情報格納部
８５ 品質情報格納部
Claims (5)
- 要求される品質規格のレチクルの製作を製作依頼元から製作依頼先に依頼するためのレチクル製作システムにおいて、
製作依頼元から送信された製作するレチクルについて要求される精度および価格に関する情報を含む設計情報を受信する設計情報受信部と、
前記設計情報に含まれる前記精度または前記価格に基づき、要求される前記精度または前記価格を満足する製作依頼先および描画機が選定された製作指示情報を生成する製作指示情報生成部と、
生成された前記製作指示情報を前記製作依頼元に送信する製作指示情報送信部と、
を備えるレチクル製作指示装置を有することを特徴とするレチクル製作システム。 - 前記レチクル製作指示装置は、レチクルを製作するための描画機の特性に関する描画機特性情報が格納された描画機特性格納部と、製作するレチクルの価格に関するレチクル価格情報が格納されたレチクル価格情報格納部と、を有し、
前記製作指示情報を生成する際には、前記描画機特性情報または前記レチクル価格情報を用いて、要求される前記精度または前記価格を満足する前記製作依頼先および前記描画機が選定された前記製作指示情報を生成することを特徴とする請求項１記載のレチクル製作システム。 - 前記レチクル製作指示装置は、積層形成するパターン同士の位置合わせ系列に関する位置合わせ系列情報が格納された位置合わせ系列格納部を有し、
前記製作指示情報を生成する際には、前記位置合わせ系列情報に含まれている一連のレチクルのうち、製作するレチクルについて要求される前記精度または前記価格を満足する前記製作依頼先および前記描画機が選定された前記製作指示情報を生成することを特徴とする請求項２記載のレチクル製作システム。 - 前記レチクル製作指示装置は、製作されたレチクルの検査データを含む品質情報が格納された品質情報格納部を有し、
再版としてレチクルを製作するときには、前記品質情報を用い、再版として製作するレチクルの前版のレチクルについての前記検査データの値をねらい値とした新たな品質規格を設定し、前記製作指示情報送信部によって前記製作指示情報と共に前記製作依頼元に送信することを特徴とする請求項１記載のレチクル製作システム。 - 前記レチクル製作指示装置は、製作されたレチクルについての使用描画機を示す使用描画機情報が格納された描画機情報格納部を有し、
再版としてレチクルを製作するときには、前記使用描画機情報に基づき、再版として製作するレチクルの前版のレチクルについての使用描画機が前記描画機として選定された前記製作指示情報を生成することを特徴とする請求項１記載のレチクル製作システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002249917A JP2004086078A (ja) | 2002-08-29 | 2002-08-29 | レチクル製作システム |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| JP2002249917A JP2004086078A (ja) | 2002-08-29 | 2002-08-29 | レチクル製作システム |
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|---|---|
| JP2004086078A true JP2004086078A (ja) | 2004-03-18 |
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Family Applications (1)
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2004086078A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2007086511A1 (ja) * | 2006-01-30 | 2009-06-25 | 株式会社ニコン | 処理条件決定方法及び装置、表示方法及び装置、処理装置、測定装置及び露光装置、基板処理システム、並びにプログラム及び情報記録媒体 |
-
2002
- 2002-08-29 JP JP2002249917A patent/JP2004086078A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2007086511A1 (ja) * | 2006-01-30 | 2009-06-25 | 株式会社ニコン | 処理条件決定方法及び装置、表示方法及び装置、処理装置、測定装置及び露光装置、基板処理システム、並びにプログラム及び情報記録媒体 |
| JP4998853B2 (ja) * | 2006-01-30 | 2012-08-15 | 株式会社ニコン | 処理条件決定方法及び装置、処理装置、測定装置及び露光装置、基板処理システム、並びにプログラム及び情報記録媒体 |
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