JP2004071317A - 自発光型平面表示装置 - Google Patents
自発光型平面表示装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004071317A JP2004071317A JP2002228091A JP2002228091A JP2004071317A JP 2004071317 A JP2004071317 A JP 2004071317A JP 2002228091 A JP2002228091 A JP 2002228091A JP 2002228091 A JP2002228091 A JP 2002228091A JP 2004071317 A JP2004071317 A JP 2004071317A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron source
- nanotube
- nanotubes
- carbon nanotubes
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
- Cold Cathode And The Manufacture (AREA)
- Electrodes For Cathode-Ray Tubes (AREA)
Abstract
【課題】カーボンナノチューブを電子源とした自発光型平面表示装置において、カーボンナノチューブの先端に電界を集中させるためには、カーボンナノチューブを基板に対して垂直方向に配向させる必要がある。従来の機械的な起毛方法では、カーボンナノチューブが基板全体に飛散し、不必要な部分で電子放出が起こっていた。
【解決手段】本発明では、電子源としてのカーボンナノチューブ集合体を含有したペーストを用いることにより、機械的な起毛処理を施さなくても、印刷あるいは塗布した段階で、自動的にカーボンナノチューブが基板に対して垂直方向に配向している状態を実現させ、ボンナノチューブの先端に電界を集中させることができる。
【効果】カーボンナノチューブを電子源として用いる自発光型平面表示装置において、特別な表面処理を施すことなく面内均一で十分な量のエミッション電流を得ることができる。
【選択図】 図5
【解決手段】本発明では、電子源としてのカーボンナノチューブ集合体を含有したペーストを用いることにより、機械的な起毛処理を施さなくても、印刷あるいは塗布した段階で、自動的にカーボンナノチューブが基板に対して垂直方向に配向している状態を実現させ、ボンナノチューブの先端に電界を集中させることができる。
【効果】カーボンナノチューブを電子源として用いる自発光型平面表示装置において、特別な表面処理を施すことなく面内均一で十分な量のエミッション電流を得ることができる。
【選択図】 図5
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ナノチューブ集合体を電子源として用いた自発光型平面表示装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、カーボンナノチューブ電子放出素子、およびそれを電子源として用いた自発光型平面表示装置が数多く報告されている。たとえば、4.5インチの自発光型平面表示装置を作製した例が、SID 99 Digestのpp.1134−1137に記載されている。従来の方法では、ブラッシング等の機械的な方法により、カーボンナノチューブを基板に対して垂直方向に配向させていた。これによりカーボンナノチューブの先端に電界が集中し、十分な電子放出特性を得ることができる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、この機械的な方法ではカーボンナノチューブが基板全体に飛散するという問題がある。カーボンナノチューブが、電極上に飛散すると、不必要な部分で電子放出が起こることになる。また、微細な構造の奥まったところにあるカーボンナノチューブに機械的な方法を適応することは困難であることから、実用的な方法ではないと考えられる。
【0004】
【課題を解決するための手段】
本発明では、電子源としてのカーボンナノチューブ集合体を含有したペーストを用いることにより、機械的な起毛処理を施さなくても、印刷あるいは塗布した段階で、自動的にカーボンナノチューブが基板に対して垂直方向に配向している状態を実現することができる。これにより、起毛処理を施すことなく、十分で面内均一なエミッション特性を実現することができる。
【0005】
【発明の実施の形態】
本発明のポイントは、電子源としてナノチューブ集合体を用いることにある。ナノチューブ集合体の例を図1から図4に示す。
まず、図1を用いて、ナノチューブ集合体の第1の例を説明する。母体となる球状物体101の表面に、ナノチューブ102が外側に向かって結合した構造である。このような形状のナノチューブ集合体を基板上に配置すると、基板に垂直方向に配向したナノチューブがほぼ確実に存在することになり、そのようなナノチューブをエミッターとして有効に利用することができる。ここで、母体として球状の物体を用いたが、任意の形状の物体を用いることができる。また、母体は、いかなる物質で構成された物体を母体として用いることも可能であるが、電気伝導性を有する物質で構成されている方が望ましい。また、ナノチューブに関しても、どのような元素で構成することも可能である。また、ナノチューブは、シングルウォールナノチューブとマルチウォールナノチューブのどちらを用いることも可能である。電子放出の面内均一性の観点からは、ナノチューブの直径および長さが揃っている方が望ましい。
次に、図2を用いて、ナノチューブ集合体の第2の例を説明する。ナノチューブ202の束は結合部201で物理的に結合している。結合部201において、おのおののナノチューブは電気的にも結合している方が望ましい。このような形状のナノチューブ集合体を基板上に配置すると、基板に垂直方向に配向したナノチューブがほぼ確実に存在することになり、そのようなナノチューブをエミッターとして有効に利用することができる。ここで、ナノチューブは、どのような元素で構成することも可能である。また、ナノチューブは、シングルウォールナノチューブとマルチウォールナノチューブのどちらを用いることも可能である。電子放出の面内均一性の観点からは、ナノチューブの直径および長さが揃っている方が望ましい。
次に、図3を用いて、ナノチューブ集合体の第3の例を説明する。ナノチューブ302の束は結合部301で物理的に結合している。結合部301において、おのおののナノチューブは電気的にも結合している方が望ましい。このような形状のナノチューブ集合体を基板上に配置すると、基板に垂直方向に配向したナノチューブがほぼ確実に存在することになり、そのようなナノチューブをエミッターとして有効に利用することができる。ここで、ナノチューブは、どのような元素で構成することも可能である。また、ナノチューブは、シングルウォールナノチューブとマルチウォールナノチューブのどちらを用いることも可能である。電子放出の面内均一性の観点からは、ナノチューブの直径および長さが揃っている方が望ましい。
次に、図4を用いて、ナノチューブ集合体の第4の例を説明する。ナノチューブ402の束は結合帯401で物理的に結合している。結合帯401で結合した部分において、おのおののナノチューブは電気的にも結合している方が望ましい。このような形状のナノチューブ集合体を基板上に配置すると、基板に垂直方向に配向したナノチューブがほぼ確実に存在することになり、そのようなナノチューブをエミッターとして有効に利用することができる。ここで、ナノチューブ402および結合帯401は、どのような元素で構成することも可能である。また、ナノチューブは、シングルウォールナノチューブとマルチウォールナノチューブのどちらを用いることも可能である。電子放出の面内均一性の観点からは、ナノチューブの直径および長さが揃っている方が望ましい。
図5には、ナノチューブ集合体を用いて作製したナノチューブペーストについて説明する。ナノチューブペーストは、主にナノチューブ集合体501、金属微粒子502、有機バインダー503から構成される。ナノチューブペーストを基板504の上に、印刷あるいは塗布した後の状態を図5(a)に示す。次に、これを大気中で500℃で焼成した後の状態を図5(b)に示す。焼成により有機バインダーが燃焼し、ナノチューブ集合体501が、金属微粒子502により基板504に固着されている。ナノチューブ集合体501のあるナノチューブは、自動的に基板504に垂直方向に配向しており、エミッターとして有効に利用することができる。
ここで、ナノチューブ集合体501として、図1に示した第1の例を用いたが、図2、図3、図4に示したナノチューブ集合体をはじめ、いかなるナノチューブ集合体を用いることも可能である。また、金属微粒子502として、いかなる金属材料を用いることも可能である。金属微粒子502の大きさは、ナノチューブ集合体501より小さい方が望ましい。
また、ナノチューブペーストは、基板504に直接ではなく、金属電極上に印刷あるいは塗布することも可能である。
(第一の実施例)
次に、本発明の第1の実施例を図6、図7、図8、図9および図10を用いて説明する。まず、図6を用いて、本発明の自発光平面表示装置の全体構成を説明する。本自発光平面表示装置は、電子源アレイを作製した電子源板601、電子源の位置に合わせて蛍光体ストライプあるいはドットを作製した蛍光表示板603、電子源板601と蛍光表示板603を一定間隔に保って固定するための枠ガラス602より構成される。また、図中には示さなかったが、画面サイズが大きくなると、枠ガラス内部にも電子源板601と蛍光表示板603を一定間隔に保つためのスペーサが必要となる。
次に図7を用いて、電子源板の構造を説明する。横方向に複数本のカソード電極ストライプ701を、垂直方向に複数本のゲート電極ストライプ702を形成する。カソード電極ストライプ701とゲート電極ストライプ702は、絶縁膜を挿んで交差し、それぞれの交差点に電子源703を形成する。この電子源はゲート電極ストライプ703とその下の絶縁膜を貫いた穴の底部のカソード電極ストライプ701の表面に形成する。
【0006】
次に図8を用いて、蛍光表示板の構造を説明する。電子源の位置に合わせて、赤、緑、青の蛍光体ストライプを形成した構造になっている。まず、電子源の横方向のピッチに合わせて、電子源間の中央の位置にブラックマトリックスのストライプをリフトオフ法により作製する。次にスラリー法により赤801、緑802、青803の蛍光体ストライプによる繰り返しストライプパターンを形成する。各々の蛍光体ストライプが、両側のブラックストライプの中央に配置する。また、図には示さなかったが、蛍光体ストライプを作製した後、全面にアルミニウムを50nm蒸着し、アノード電極を形成した。
以上のようにして作製した、電子源板と蛍光表示板を枠ガラスを用いて一定間隔で対峙するように配置し、電子源と蛍光体ストライプの位置を合わせた後、内部を真空にして封止することにより、表示装置が完成する。封止の際に、電子源板と蛍光表示板を枠ガラスの接着にはフリットガラスを用いた。接着面にフリットガラスを印刷し、450℃に加熱することにより接着し、別途装置に取り付けた排気管から装置内部を排気して、排気間を封止切ることにより、封止を行った。
そして、アノード電極ストライプに走査信号を、ゲート電極ストライプに画像信号を印加し、さらに蛍光表示板のアノード電極に、カソード電極に対してプラスの加速電圧を印加することにより、所望の画像を表示させることができた。
次に、電子源板上の詳細構造を、図9を用いて説明する。図9(a)が、上面図であり、図9(b)がA−A’断面図、図9(c)がB−B’断面図である。まず、ガラス基板909の表面に、厚さが0.2−10umで、幅が300um、間隔が60umのカソード電極ストライプ901を600本形成する。次に、絶縁層905を形成する。絶縁層905の厚みは1−50umであり、カソード電極ストライプ901とゲート電極ストライプ902の交差部分に直径1−50umの電子源穴903があいた構造になっている。この絶縁層905を焼成後、その上に厚さが0.2−10umで、幅が90um、間隔が30umのゲート電極ストライプ902を2400本形成する。なお、ゲート電極ストライプ902も、カソード電極ストライプ901とゲート電極ストライプ902の交差部分に絶縁層905と同じ電子源穴903があいた構造になっている。
【0007】
このようにして作製した配線構造を用いて、カソード電極ストライプ901に走査信号を、ゲート電極ストライプ構造902に画像信号をインプットし、さらにカソード電極ストライプ901と図8の蛍光表示板に設けたアノード電極の間に、加速電圧を印加することにより、均一に発光する画像を表示させることができた。
次に、電子源作製プロセスの詳細を図10を用いて説明する。ガラス基板1009上に、図10(1)に示すように、幅が300umで間隔が60umのカソード電極ストライプ1001を600本形成する。カソード電極ストライプ1001は、カーボンナノチューブ集合体を含有したペーストをスクリーン印刷することにより形成した。その厚みは1umである。次に、感光性誘電体ペーストを全面にスクリーン印刷した後、通常のフォトリソグラフィープロセスにより、電子源穴1003を形成する。これを大気中で550℃で30分間の焼成を行うことにより、絶縁層1005を形成する。図10(2)に示すように、絶縁層1005の厚みは10umである。次に図10(3)に示すように、感光性銀ペースト1002を全面にスクリーン印刷する。そして、通常のフォトリソグラフィー法により、図10(4)に示すようにゲート電極ストライプ1002を形成し、大気中500℃で30分間の焼成を行った。ゲート電極ストライプ1002は、幅が90um、間隔が30umであり、これを2400本形成した。またゲート電極ストライプの厚みは5umであり、絶縁層1005と同じ部分に同じ大きさあるいは、やや大きめの穴構造を形成した。
なお、本実施例では、カソード電極ストライプ1001およびゲート電極ストライプ1002を特定の金属で形成したが、必要な電気伝導性を有するいかなる金属を用いることも可能である。また、合金や金属多層膜を用いることも可能である。
【0008】
今回、電子源としてのカーボンナノチューブ集合体を含有したペーストを用いてカソード電極ストライプ1001を作製したため、特別な表面処理を施すことなく自動的に、カーボンナノチューブを基板に対して垂直方向に配向させることができた。結果として、カソード電極ストライプ1001に表面処理を施さなくても、面内均一で十分な量のエミッション電流を得ることができた。
(第二の実施例)
次に、本発明の第2の実施例を図11および図12を用いて説明する。本実施例では、電子源板上の構造が第2の実施例と異なる。まず、電子源板の構造を図11を用いて説明する。11(a)が、上面図であり、図11(b)がA−A’断面図、図11(c)がB−B’断面図である。まず、ガラス基板表面に、厚さが0.2−10umで、幅が300um、間隔が60umのカソード電極ストライプ1101を600本形成する。次に、絶縁層1105を形成する。絶縁層1105の厚みは1−50umであり、カソード電極ストライプ1101とゲート電極ストライプ1102の交差部分に直径1−50umの電子源穴1103があいた構造になっている。この絶縁層1105を焼成後、その上に厚さが0.2−10umで、幅が90um、間隔が30umのゲート電極ストライプ1102を2400本形成する。なお、ゲート電極ストライプ1102も、カソード電極ストライプ1101とゲート電極ストライプ1102の交差部分に絶縁層1105と同じ電子源穴1103があいた構造になっている。最後に、電子源層1106を電子源穴1103の底部に形成する。
【0009】
このようにして作製した配線構造を用いて、カソード電極ストライプ1101に走査信号を、ゲート電極ストライプ構造1102に画像信号をインプットし、さらにカソード電極ストライプ1101と図8の蛍光表示板に設けたアノード電極の間に、加速電圧を印加することにより、所望の画像を表示させることができた。
次に、電子源作製プロセスの詳細を図12を用いて説明する。ガラス基板1209上に、図12(1)に示すように、幅が300umで間隔が60umのカソード電極ストライプ1201を600本形成する。カソード電極ストライプ1201の材質はAgで、その厚みは1umである。次に図12(3)に示すように、感光性銀ペースト1202を全面にスクリーン印刷する。そして、通常のフォトリソグラフィー法により、図12(4)に示すようにゲート電極ストライプ1202を形成し、大気中500℃で30分間の焼成を行った。ゲート電極ストライプ1202は、幅が90um、間隔が30umであり、これを2400本形成した。またゲート電極ストライプの厚みは5umであり、絶縁層1205と同じ部分に同じ大きさあるいは、やや大きめの穴構造を形成した。最後に、ナノチューブ集合体を含有したペーストをインクジェット法により、電子源穴1103の底部に電子源層1206を形成する。
なお、本実施例では、カソード電極ストライプ1201およびゲート電極ストライプ1202を特定の金属で形成したが、必要な電気伝導性を有するいかなる金属を用いることも可能である。また、合金や金属多層膜を用いることも可能である。
また、カーボンナノチューブ集合体を含有したペーストをインクジェット法により、所望の位置に塗布する方法を用いたが、他のいかなる方法でカーボンナノチューブを電子源穴1103の底部に配置することも可能である。
【0010】
今回、電子源としてのカーボンナノチューブ集合体を含有したペーストを用いて電子源層1206を作製したため、特別な表面処理を施すことなく自動的に、カーボンナノチューブを基板に対して垂直方向に配向させることができた。結果として、電子源層1206に表面処理を施さなくても、面内均一で十分な量のエミッション電流を得ることができた。
【0011】
【発明の効果】
本発明により、カーボンナノチューブを電子源として用いる自発光型平面表示装置において、カーボンナノチューブを自動的に基板に対して垂直方向に配向させることができる。その結果、特別な表面処理を施すことなく面内均一で十分な量のエミッション電流を得ることができた。
【図面の簡単な説明】
【図1】ナノチューブ集合体の第1の例を示す図。
【図2】ナノチューブ集合体の第2の例を示す図。
【図3】ナノチューブ集合体の第3の例を示す図。
【図4】ナノチューブ集合体の第4の例を示す図。
【図5】ナノチューブ集合体を含有したペースト例を示す図。
【図6】本発明の第1の実施例の説明図。
【図7】本発明の第1の実施例の説明図。
【図8】本発明の第1の実施例の説明図。
【図9】本発明の第1の実施例の説明図。
【図10】本発明の第1の実施例の説明図。
【図11】本発明の第2の実施例の説明図。
【図12】本発明の第2の実施例の説明図。
【符号の説明】
501…ナノチューブ集合体、502…金属微粒子、503…有機バインダー、504…基板。
【発明の属する技術分野】
本発明は、ナノチューブ集合体を電子源として用いた自発光型平面表示装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、カーボンナノチューブ電子放出素子、およびそれを電子源として用いた自発光型平面表示装置が数多く報告されている。たとえば、4.5インチの自発光型平面表示装置を作製した例が、SID 99 Digestのpp.1134−1137に記載されている。従来の方法では、ブラッシング等の機械的な方法により、カーボンナノチューブを基板に対して垂直方向に配向させていた。これによりカーボンナノチューブの先端に電界が集中し、十分な電子放出特性を得ることができる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、この機械的な方法ではカーボンナノチューブが基板全体に飛散するという問題がある。カーボンナノチューブが、電極上に飛散すると、不必要な部分で電子放出が起こることになる。また、微細な構造の奥まったところにあるカーボンナノチューブに機械的な方法を適応することは困難であることから、実用的な方法ではないと考えられる。
【0004】
【課題を解決するための手段】
本発明では、電子源としてのカーボンナノチューブ集合体を含有したペーストを用いることにより、機械的な起毛処理を施さなくても、印刷あるいは塗布した段階で、自動的にカーボンナノチューブが基板に対して垂直方向に配向している状態を実現することができる。これにより、起毛処理を施すことなく、十分で面内均一なエミッション特性を実現することができる。
【0005】
【発明の実施の形態】
本発明のポイントは、電子源としてナノチューブ集合体を用いることにある。ナノチューブ集合体の例を図1から図4に示す。
まず、図1を用いて、ナノチューブ集合体の第1の例を説明する。母体となる球状物体101の表面に、ナノチューブ102が外側に向かって結合した構造である。このような形状のナノチューブ集合体を基板上に配置すると、基板に垂直方向に配向したナノチューブがほぼ確実に存在することになり、そのようなナノチューブをエミッターとして有効に利用することができる。ここで、母体として球状の物体を用いたが、任意の形状の物体を用いることができる。また、母体は、いかなる物質で構成された物体を母体として用いることも可能であるが、電気伝導性を有する物質で構成されている方が望ましい。また、ナノチューブに関しても、どのような元素で構成することも可能である。また、ナノチューブは、シングルウォールナノチューブとマルチウォールナノチューブのどちらを用いることも可能である。電子放出の面内均一性の観点からは、ナノチューブの直径および長さが揃っている方が望ましい。
次に、図2を用いて、ナノチューブ集合体の第2の例を説明する。ナノチューブ202の束は結合部201で物理的に結合している。結合部201において、おのおののナノチューブは電気的にも結合している方が望ましい。このような形状のナノチューブ集合体を基板上に配置すると、基板に垂直方向に配向したナノチューブがほぼ確実に存在することになり、そのようなナノチューブをエミッターとして有効に利用することができる。ここで、ナノチューブは、どのような元素で構成することも可能である。また、ナノチューブは、シングルウォールナノチューブとマルチウォールナノチューブのどちらを用いることも可能である。電子放出の面内均一性の観点からは、ナノチューブの直径および長さが揃っている方が望ましい。
次に、図3を用いて、ナノチューブ集合体の第3の例を説明する。ナノチューブ302の束は結合部301で物理的に結合している。結合部301において、おのおののナノチューブは電気的にも結合している方が望ましい。このような形状のナノチューブ集合体を基板上に配置すると、基板に垂直方向に配向したナノチューブがほぼ確実に存在することになり、そのようなナノチューブをエミッターとして有効に利用することができる。ここで、ナノチューブは、どのような元素で構成することも可能である。また、ナノチューブは、シングルウォールナノチューブとマルチウォールナノチューブのどちらを用いることも可能である。電子放出の面内均一性の観点からは、ナノチューブの直径および長さが揃っている方が望ましい。
次に、図4を用いて、ナノチューブ集合体の第4の例を説明する。ナノチューブ402の束は結合帯401で物理的に結合している。結合帯401で結合した部分において、おのおののナノチューブは電気的にも結合している方が望ましい。このような形状のナノチューブ集合体を基板上に配置すると、基板に垂直方向に配向したナノチューブがほぼ確実に存在することになり、そのようなナノチューブをエミッターとして有効に利用することができる。ここで、ナノチューブ402および結合帯401は、どのような元素で構成することも可能である。また、ナノチューブは、シングルウォールナノチューブとマルチウォールナノチューブのどちらを用いることも可能である。電子放出の面内均一性の観点からは、ナノチューブの直径および長さが揃っている方が望ましい。
図5には、ナノチューブ集合体を用いて作製したナノチューブペーストについて説明する。ナノチューブペーストは、主にナノチューブ集合体501、金属微粒子502、有機バインダー503から構成される。ナノチューブペーストを基板504の上に、印刷あるいは塗布した後の状態を図5(a)に示す。次に、これを大気中で500℃で焼成した後の状態を図5(b)に示す。焼成により有機バインダーが燃焼し、ナノチューブ集合体501が、金属微粒子502により基板504に固着されている。ナノチューブ集合体501のあるナノチューブは、自動的に基板504に垂直方向に配向しており、エミッターとして有効に利用することができる。
ここで、ナノチューブ集合体501として、図1に示した第1の例を用いたが、図2、図3、図4に示したナノチューブ集合体をはじめ、いかなるナノチューブ集合体を用いることも可能である。また、金属微粒子502として、いかなる金属材料を用いることも可能である。金属微粒子502の大きさは、ナノチューブ集合体501より小さい方が望ましい。
また、ナノチューブペーストは、基板504に直接ではなく、金属電極上に印刷あるいは塗布することも可能である。
(第一の実施例)
次に、本発明の第1の実施例を図6、図7、図8、図9および図10を用いて説明する。まず、図6を用いて、本発明の自発光平面表示装置の全体構成を説明する。本自発光平面表示装置は、電子源アレイを作製した電子源板601、電子源の位置に合わせて蛍光体ストライプあるいはドットを作製した蛍光表示板603、電子源板601と蛍光表示板603を一定間隔に保って固定するための枠ガラス602より構成される。また、図中には示さなかったが、画面サイズが大きくなると、枠ガラス内部にも電子源板601と蛍光表示板603を一定間隔に保つためのスペーサが必要となる。
次に図7を用いて、電子源板の構造を説明する。横方向に複数本のカソード電極ストライプ701を、垂直方向に複数本のゲート電極ストライプ702を形成する。カソード電極ストライプ701とゲート電極ストライプ702は、絶縁膜を挿んで交差し、それぞれの交差点に電子源703を形成する。この電子源はゲート電極ストライプ703とその下の絶縁膜を貫いた穴の底部のカソード電極ストライプ701の表面に形成する。
【0006】
次に図8を用いて、蛍光表示板の構造を説明する。電子源の位置に合わせて、赤、緑、青の蛍光体ストライプを形成した構造になっている。まず、電子源の横方向のピッチに合わせて、電子源間の中央の位置にブラックマトリックスのストライプをリフトオフ法により作製する。次にスラリー法により赤801、緑802、青803の蛍光体ストライプによる繰り返しストライプパターンを形成する。各々の蛍光体ストライプが、両側のブラックストライプの中央に配置する。また、図には示さなかったが、蛍光体ストライプを作製した後、全面にアルミニウムを50nm蒸着し、アノード電極を形成した。
以上のようにして作製した、電子源板と蛍光表示板を枠ガラスを用いて一定間隔で対峙するように配置し、電子源と蛍光体ストライプの位置を合わせた後、内部を真空にして封止することにより、表示装置が完成する。封止の際に、電子源板と蛍光表示板を枠ガラスの接着にはフリットガラスを用いた。接着面にフリットガラスを印刷し、450℃に加熱することにより接着し、別途装置に取り付けた排気管から装置内部を排気して、排気間を封止切ることにより、封止を行った。
そして、アノード電極ストライプに走査信号を、ゲート電極ストライプに画像信号を印加し、さらに蛍光表示板のアノード電極に、カソード電極に対してプラスの加速電圧を印加することにより、所望の画像を表示させることができた。
次に、電子源板上の詳細構造を、図9を用いて説明する。図9(a)が、上面図であり、図9(b)がA−A’断面図、図9(c)がB−B’断面図である。まず、ガラス基板909の表面に、厚さが0.2−10umで、幅が300um、間隔が60umのカソード電極ストライプ901を600本形成する。次に、絶縁層905を形成する。絶縁層905の厚みは1−50umであり、カソード電極ストライプ901とゲート電極ストライプ902の交差部分に直径1−50umの電子源穴903があいた構造になっている。この絶縁層905を焼成後、その上に厚さが0.2−10umで、幅が90um、間隔が30umのゲート電極ストライプ902を2400本形成する。なお、ゲート電極ストライプ902も、カソード電極ストライプ901とゲート電極ストライプ902の交差部分に絶縁層905と同じ電子源穴903があいた構造になっている。
【0007】
このようにして作製した配線構造を用いて、カソード電極ストライプ901に走査信号を、ゲート電極ストライプ構造902に画像信号をインプットし、さらにカソード電極ストライプ901と図8の蛍光表示板に設けたアノード電極の間に、加速電圧を印加することにより、均一に発光する画像を表示させることができた。
次に、電子源作製プロセスの詳細を図10を用いて説明する。ガラス基板1009上に、図10(1)に示すように、幅が300umで間隔が60umのカソード電極ストライプ1001を600本形成する。カソード電極ストライプ1001は、カーボンナノチューブ集合体を含有したペーストをスクリーン印刷することにより形成した。その厚みは1umである。次に、感光性誘電体ペーストを全面にスクリーン印刷した後、通常のフォトリソグラフィープロセスにより、電子源穴1003を形成する。これを大気中で550℃で30分間の焼成を行うことにより、絶縁層1005を形成する。図10(2)に示すように、絶縁層1005の厚みは10umである。次に図10(3)に示すように、感光性銀ペースト1002を全面にスクリーン印刷する。そして、通常のフォトリソグラフィー法により、図10(4)に示すようにゲート電極ストライプ1002を形成し、大気中500℃で30分間の焼成を行った。ゲート電極ストライプ1002は、幅が90um、間隔が30umであり、これを2400本形成した。またゲート電極ストライプの厚みは5umであり、絶縁層1005と同じ部分に同じ大きさあるいは、やや大きめの穴構造を形成した。
なお、本実施例では、カソード電極ストライプ1001およびゲート電極ストライプ1002を特定の金属で形成したが、必要な電気伝導性を有するいかなる金属を用いることも可能である。また、合金や金属多層膜を用いることも可能である。
【0008】
今回、電子源としてのカーボンナノチューブ集合体を含有したペーストを用いてカソード電極ストライプ1001を作製したため、特別な表面処理を施すことなく自動的に、カーボンナノチューブを基板に対して垂直方向に配向させることができた。結果として、カソード電極ストライプ1001に表面処理を施さなくても、面内均一で十分な量のエミッション電流を得ることができた。
(第二の実施例)
次に、本発明の第2の実施例を図11および図12を用いて説明する。本実施例では、電子源板上の構造が第2の実施例と異なる。まず、電子源板の構造を図11を用いて説明する。11(a)が、上面図であり、図11(b)がA−A’断面図、図11(c)がB−B’断面図である。まず、ガラス基板表面に、厚さが0.2−10umで、幅が300um、間隔が60umのカソード電極ストライプ1101を600本形成する。次に、絶縁層1105を形成する。絶縁層1105の厚みは1−50umであり、カソード電極ストライプ1101とゲート電極ストライプ1102の交差部分に直径1−50umの電子源穴1103があいた構造になっている。この絶縁層1105を焼成後、その上に厚さが0.2−10umで、幅が90um、間隔が30umのゲート電極ストライプ1102を2400本形成する。なお、ゲート電極ストライプ1102も、カソード電極ストライプ1101とゲート電極ストライプ1102の交差部分に絶縁層1105と同じ電子源穴1103があいた構造になっている。最後に、電子源層1106を電子源穴1103の底部に形成する。
【0009】
このようにして作製した配線構造を用いて、カソード電極ストライプ1101に走査信号を、ゲート電極ストライプ構造1102に画像信号をインプットし、さらにカソード電極ストライプ1101と図8の蛍光表示板に設けたアノード電極の間に、加速電圧を印加することにより、所望の画像を表示させることができた。
次に、電子源作製プロセスの詳細を図12を用いて説明する。ガラス基板1209上に、図12(1)に示すように、幅が300umで間隔が60umのカソード電極ストライプ1201を600本形成する。カソード電極ストライプ1201の材質はAgで、その厚みは1umである。次に図12(3)に示すように、感光性銀ペースト1202を全面にスクリーン印刷する。そして、通常のフォトリソグラフィー法により、図12(4)に示すようにゲート電極ストライプ1202を形成し、大気中500℃で30分間の焼成を行った。ゲート電極ストライプ1202は、幅が90um、間隔が30umであり、これを2400本形成した。またゲート電極ストライプの厚みは5umであり、絶縁層1205と同じ部分に同じ大きさあるいは、やや大きめの穴構造を形成した。最後に、ナノチューブ集合体を含有したペーストをインクジェット法により、電子源穴1103の底部に電子源層1206を形成する。
なお、本実施例では、カソード電極ストライプ1201およびゲート電極ストライプ1202を特定の金属で形成したが、必要な電気伝導性を有するいかなる金属を用いることも可能である。また、合金や金属多層膜を用いることも可能である。
また、カーボンナノチューブ集合体を含有したペーストをインクジェット法により、所望の位置に塗布する方法を用いたが、他のいかなる方法でカーボンナノチューブを電子源穴1103の底部に配置することも可能である。
【0010】
今回、電子源としてのカーボンナノチューブ集合体を含有したペーストを用いて電子源層1206を作製したため、特別な表面処理を施すことなく自動的に、カーボンナノチューブを基板に対して垂直方向に配向させることができた。結果として、電子源層1206に表面処理を施さなくても、面内均一で十分な量のエミッション電流を得ることができた。
【0011】
【発明の効果】
本発明により、カーボンナノチューブを電子源として用いる自発光型平面表示装置において、カーボンナノチューブを自動的に基板に対して垂直方向に配向させることができる。その結果、特別な表面処理を施すことなく面内均一で十分な量のエミッション電流を得ることができた。
【図面の簡単な説明】
【図1】ナノチューブ集合体の第1の例を示す図。
【図2】ナノチューブ集合体の第2の例を示す図。
【図3】ナノチューブ集合体の第3の例を示す図。
【図4】ナノチューブ集合体の第4の例を示す図。
【図5】ナノチューブ集合体を含有したペースト例を示す図。
【図6】本発明の第1の実施例の説明図。
【図7】本発明の第1の実施例の説明図。
【図8】本発明の第1の実施例の説明図。
【図9】本発明の第1の実施例の説明図。
【図10】本発明の第1の実施例の説明図。
【図11】本発明の第2の実施例の説明図。
【図12】本発明の第2の実施例の説明図。
【符号の説明】
501…ナノチューブ集合体、502…金属微粒子、503…有機バインダー、504…基板。
Claims (4)
- 複数本のナノチューブが、その表面を根部として外側に向いて結合している任意の形状の物体を電子源として用いたことを特徴とする自発光型平面表示装置。
- 前記ナノチューブを電子源材料として含有したペーストを印刷あるいは塗布の手法により、電子源を形成したことを特徴とする請求項1記載の自発光型平面表示装置。
- ナノチューブの複数本の束において、束の一部分が結合、あるいは物理的に固定され、なおかつ束の一部分がばらけた状態になったナノチューブの束を電子源として用いたことを特徴とする自発光型平面表示装置。
- 前記ナノチューブを電子源材料として含有したペーストを印刷あるいは塗布の手法により、電子源を形成したことを特徴とする請求項3記載の自発光型平面表示装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002228091A JP2004071317A (ja) | 2002-08-06 | 2002-08-06 | 自発光型平面表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002228091A JP2004071317A (ja) | 2002-08-06 | 2002-08-06 | 自発光型平面表示装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004071317A true JP2004071317A (ja) | 2004-03-04 |
Family
ID=32014868
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002228091A Pending JP2004071317A (ja) | 2002-08-06 | 2002-08-06 | 自発光型平面表示装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004071317A (ja) |
-
2002
- 2002-08-06 JP JP2002228091A patent/JP2004071317A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7365482B2 (en) | Field emission display including electron emission source formed in multi-layer structure | |
US6541906B2 (en) | Field emission display panel equipped with a dual-layer cathode and an anode on the same substrate and method for fabrication | |
JP2002343280A (ja) | 表示装置とその製造方法 | |
TW200410282A (en) | Triode structure of field-emission display and manufacturing method thereof | |
JP4886184B2 (ja) | 画像表示装置 | |
JP4043153B2 (ja) | 電子放出源の製造方法、エミッタ基板の製造方法、電子放出源及び蛍光発光型表示器 | |
JP2003197131A (ja) | 平面表示装置およびその製造方法 | |
KR101082440B1 (ko) | 전자 방출 소자, 이를 구비한 전자 방출 디스플레이 장치및 그 제조 방법 | |
JP4119279B2 (ja) | 表示装置 | |
JP2004071433A (ja) | 画像表示装置およびその製造方法 | |
JP3674844B2 (ja) | 同一基板上にカソードおよびアノードを備える電界放出型ディスプレイパネルおよびその製造方法 | |
JP2005166643A (ja) | 電子放出素子及びその製造方法 | |
JP2004071317A (ja) | 自発光型平面表示装置 | |
JP2793702B2 (ja) | 電界放出形陰極 | |
KR100657844B1 (ko) | 한 개의 산화막을 지닌 그물망 메쉬 구조물이 채용된 삼전극형 전계 방출 소자 및 그 제작방법 | |
JP3663171B2 (ja) | Fedパネル及びその製造方法 | |
JP2005222891A (ja) | 自発光型平面表示装置とその製造方法 | |
JP2003007232A (ja) | 表示装置および表示装置の製造方法 | |
JP2006012578A (ja) | 表示装置の製造方法 | |
JP3760878B2 (ja) | 陰極の製造方法 | |
KR20060011665A (ko) | 전자 방출 소자와 이의 제조 방법 | |
JP2005093125A (ja) | 画像表示装置及びその製造方法 | |
KR20050066760A (ko) | 전계 방출 표시장치 및 그 제조방법 | |
KR101022656B1 (ko) | 전자 방출 표시 장치와, 이의 제조 방법 | |
JP2004039461A (ja) | 自発光型平面表示装置 |