JP2004069668A

JP2004069668A - 物体の変形特性測定方法及びその装置

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Publication number: JP2004069668A
Application number: JP2002329145A
Authority: JP
Inventors: Makoto Kaneko; 金子　真; Yukio Hosaka; 保坂　幸男
Original assignee: Satake Engineering Co Ltd; Satake Corp
Current assignee: Satake Engineering Co Ltd; Satake Corp
Priority date: 2002-06-13
Filing date: 2002-11-13
Publication date: 2004-03-04

Abstract

【課題】被測定物の形状によらず圧力を均一に付与するとともに、被測定物からの衝撃を緩和し、さらには、被測定物を衛生的に、かつ、被測定物を傷つけることなく変形特性を測定することができる物体の変形特性測定方法及びその装置を提供する。
【解決手段】被測定物に加圧空気を連続的又はパルス状に噴射して非接触で加振する空気ノズル１０と、前記加圧空気の振幅，振動周波数又はデューティー比を変化させるための圧力制御弁１４と、被測定物に与えた加振力によって生じる加速度，速度，変位のうち、少なくともいずれか１つを測定する振動測定センサ１１とを備え、さらに、前記空気ノズルからの加振力と当該被測定物からの加速度，速度，変位の少なくともいずれか１つとの間の伝達特性から、物体の変形特性を演算する演算・表示装置１６を備えた。
【選択図】　図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、物体の変形特性を測定する方法及びその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
物体に加振力を作用させ、物体の機械インピーダンスを測定することは公知である。例えば、物体の粘性、弾性又は質量の測定には、振幅のある周期的な加振力（入力）を物体上に作用させ、その作用点あるいは同じ物体上の他の一点で、加振力によって生ずる加速度，速度，変位の周期的な応答（出力）を測定すれば、加振力と加速度，速度，変位などとの間の伝達特性が求められ、物体の変形特性を知ることができる。この物体の機械インピーダンスを測定する技術は、弾性と粘性（塑性）とを兼ね備えた粘弾性体の力学的挙動を構造論的に解明すること及び製品の性能向上に役立てるうえで重要になる。例えば、工業材料であれば、プラスチック、繊維、ゴム、パルプ、油脂、接着剤、セラミック、薬品などが対象となり、その他、果実、食肉、魚介類など生鮮食品の分野や、麺類など加工食品の分野や、胃壁などの生体内腔部等又は皮膚や筋肉などの生体表面部等の生体の分野も対象となる。
【０００３】
従来、物体、特に、粘弾性体の硬さを客観的に、また、精度よく正確に測定する装置としては、「探触子」（又はアクチュエータ）により、被測定物に直接接触させて振動を与え、被測定物からの機械インピーダンスを測定するものが一般的である。例えば、特開平３−８１６４１号公報に開示される「物質の硬さ特性測定方法及び装置」では、圧電振動子を増幅回路部と周波数測定器又は電圧測定器よりなる計測部で構成される自励発振回路に組み込み、対象物と接触していないときの固有振動数と対象物に接触しているときの固有振動数を、圧電素子により検出した振動数より求め、両者の差から対象物の硬さ柔らかさを検出する装置及び方法である。
【０００４】
また、特許第３２５７５６３号公報に開示される「硬さ測定装置及び硬さ測定用プローブ」では、生体表面を振動させるための振動発生手段と、振動する表面の加速度を検出するための加速度検出手段とが備えられているが、生体表面を振動させるための振動発生手段は圧電セラミックを用いたバイブレータにより振動を与えるものである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記特開平３−８１６４１号公報に開示される「物質の硬さ特性測定方法及び装置」では、圧電振動子や圧電型加速度ピックアップが被測定物に直接接触するので、食品分野（例えば、上記公報の測定例では被測定物がゼラチンである。）であれば非衛生的であるという問題点がある。また、被測定物の形状によっては、圧電振動子や圧電型加速度ピックアップの接触角度や、接触面が均一ではなく、偏った接触となる問題点があった。さらに、被測定物が硬いものであれば、圧電振動子や圧電型加速度ピックアップが強制振動により破壊される虞（おそれ）がある。
【０００６】
一方、特許第３２５７５６３号公報に開示される「硬さ測定装置及び硬さ測定用プローブ」では、生体表面を振動させるための振動発生手段が圧電セラミックを用いたバイブレータにより振動を与えるものであるから、皮膚などの生体表面を傷つける虞がある。
【０００７】
本発明は上記問題点にかんがみ、被測定物の形状によらず圧力を均一に付与するとともに、被測定物からの衝撃を緩和し、さらには、被測定物を衛生的に、かつ、被測定物を傷つけることなく変形特性を測定することができる物体の変形特性測定方法及びその装置を提供することを技術的課題とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため本発明は、連続的又は周期的な加振力を被測定物に作用させ、該加振力によって生ずる加速度，速度，変位の周期的な応答のうちの少なくとも１つを測定し、前記加振力と当該被測定物からの加速度，速度，変位の少なくともいずれか１つとの間の伝達特性から物体の変形特性を測定する方法であって、前記加振力は、被測定物に加圧空気を連続的又はパルス状に噴射して非接触で加振する、という技術的手段を講じた。
【０００９】
これにより、被測定物に加圧空気を連続的又はパルス状に噴射して非接触で加振するので、被測定物となる物体の形状によらず圧力を均一に付与することが可能で、いかなる形状の被測定物であっても変形特性を測定することができる。また、加振力が圧縮性のある加圧空気であるから被測定物からの衝撃を緩和することができる。さらには、非接触であるから被測定物を衛生的に、かつ、傷つけることなく変形特性を測定することができる。
【００１０】
また、被測定物の変形特性と、予め記憶した物体の変形特性とを比較照合して、当該被測定物の物体の硬さを推定するから、例えば、被測定物の硬さと物体の真の硬さとを比較して、被測定物の品質を推定したり、また、被測定物となる物体の硬さを推定して、物体の特定を行なうことが可能となる。
【００１１】
そして、前記被測定物の物体により加振力の振幅や、加振力の振動周波数を変更して、被測定物となる物体に応じて最適な振幅や、振動周波数を選択し、高精度に物体の変形特性を測定することが可能となる。
【００１２】
また、前記振動周波数を変化させるために噴風周期を変更して振動を加えたり、前記噴風時間を変化させるためにデュティー比を変更して振動を加えることもできる。
【００１３】
さらに、前記加振力によって生じる加速度，速度，変位のうち、少なくともいずれか１つを測定する手段として、被測定物に照射されたレーザー光が被測定物の振動によってドップラー効果を受けることを利用して測定するものである場合、被測定物表面の反射率の影響を受けにくく、かつ、非接触で高精度に被測定物の内部の振動状態を把握することができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。図１は物体の変形特性を測定する装置の機器構成を示す概略図である。図１において、符号１は被測定物となる粘弾性体であり、テーブル２上の試料台３にステンレス製の皿状容器４を載置し、該皿状容器４の上面に５ｍｍ厚のスポンジ状の膜５を張設したものである。該粘弾性体１はスポンジ状膜５内部に空気６が充満した空気枕形状であり、柔軟性が保持されている。
【００１５】
粘弾性体１の側部には、脚部７及び腕部８からなる組み立て式の鉄製スタンド９が立設してあり、腕部８先端には、粘弾性体１に向けて加圧空気を噴射するノズル１０と、レーザー変位計のセンサーヘッド１１とが挟持されている。ノズル１０と粘弾性体１との距離は、粘弾性体１になるべく空気圧がかかる距離に設定すればよく、例えば、ノズル１０先端と粘弾性体１表面との距離を５ｍｍに設定して配置している。また、センサーヘッド１１は、レーザー変位計の仕様に従い、粘弾性体１との距離を常時３ｃｍに設定し、その点を零点として測定を行った。
【００１６】
加圧空気を噴射するノズル１０には、空気を送る装置が接続されている。すなわち、エアーを送り出すコンプレッサー１２と、該コンプレッサー１２から送り出すエアーの圧力を制御するためのエアーレギュレータ１３（圧力調整弁又は減圧弁）と、メインバルブとなる電磁弁１４とをチューブ１５を介して接続している。そして、エアレギュレータ１３は、エアーが該エアレギュレータ１３の入口から出口へと流れるときに、出口の圧力を制御する構造になっている。エアレギュレータ１３内でエアーが出口側で流れないで圧力が高まってきたときには、入ってくるエアーを大気に開放して逃がす動作（リリーフ動作）が行われる。また、メインバルブとなる電磁弁１４は、コンプレッサー１２からのエアーが加圧されて保持されており、エアーの噴出を可能とするべく、パーソナルコンピュータ１６からＲＳ−２３２Ｃケーブル１７を介して接続されたコントロールボックス１８から電磁弁１４への開閉信号が出力される。つまり、パーソナルコンピュータ１６から任意パルスのデューティー比信号が送信されると、ＲＳ−２３２Ｃケーブル１７を介してコントロールボックス１８に信号が送られ、コントロールボックス１８からは信号に応じて電磁弁１４を開閉駆動させ、加圧空気が噴射されることになる。電磁弁１４からは、接続管１９と連絡チューブ２０を介してノズル１０に連絡している。また、ノズル１０先端には圧力センサ２１を取り付けて、該圧力センサ２１からは信号線２２を介してパーソナルコンピュータ１６に接続するとともに、レーザー変位計のセンサーヘッド１１からは信号線２３を介してパーソナルコンピュータ１６内に接続する。
【００１７】
図２はパーソナルコンピュータ１６などの演算・表示装置の内部構成を示す概略ブロック図である。パーソナルコンピュータ１６には、レーザー変位計のセンサーヘッド１１が信号線２３を介して接続されるとともに、圧力センサ２１から得られた情報を信号線２２により接続する。パーソナルコンピュータ１６内には、ある一定時間間隔で信号をサンプリングするサンプリング部２４と、該サンプリング部２４からの信号をアナログ・デジタル変換するＡ／Ｄ変換部２５とＡ／Ｄ変換部２５からの時系列信号を相対的に比較するか、又は予め記憶したデータと比較して、該比較値から当該粘弾性体の変形特性を取得し、該変形特性から粘弾性体の材料を特定する比較・演算部２６と、ＲＯＭ及びＲＡＭから構成される記憶部２７とを備えている。さらに、パーソナルコンピュータ１６には、比較・演算部２６から得られた情報を表示する表示部２８が接続されている。以上の構成によると、生波形解析では困難な粘弾性体の変形特性が、パーソナルコンピュータ１６による各種演算手法により容易に実現可能となるのである。
【００１８】
次に、上記構成における作用を説明する。
【００１９】
被測定物に対して、電磁弁１４を開閉駆動させると、パルス状の空気がノズル１０から噴射される。この時の被測定物の振動状態をレーザー変位計のセンサーヘッド１１にて測定するのである。パルス状に加圧空気を噴射させるためには、電磁弁１４を連続的にオン・オフ制御すればよく、タイマなどを変更すればパルスの周期を変更することが可能である。また、加圧空気の圧力を変更させるため、振幅を変えることも可能である。さらには、図３のように、電磁弁１４のオン・オフタイムの１周期をＴ１とし、電磁弁１４のオンタイムをＴ２としてその比をとれば、デューティー比が算出される。
【数１】

【００２０】
このデューティー比が大きいということは、電磁弁１４のオンタイムが長い（噴風時間が長い）ということであり、平均的に加圧空気の噴風に大きな力を発生することになる。また、Ｔ１とＴ２が同じ値にすれば、加圧空気を連続的に噴射することができる。このデューティー比はパーソナルコンピュータ１６により自由に制御することができる。
【００２１】
物体の変形特性を測定する際、被測定物１を粘弾性体として質量ｍ、ばねｋ、ダンパｃによる機械振動系のモデルとして表すことができる（図４参照）。そして、このモデルに対し、上方から加圧空気による加振力を作用させると、自由振動と強制振動とを合成した振動が生じ、共振点が生じる。このとき、測定箇所を変えたり、被測定物を変更したときの固有振動数を比較すれば、等価剛性（硬さ）、等価粘性、等価質量などの物体の変形特性が測定できるのである。そして、被測定物に加圧空気を連続的又はパルス状に噴射して非接触で加振するから、被測定物となる物体の形状によらず圧力を均一に付与することが可能で、いかなる形状の被測定物であっても変形特性を測定することができる。また、加振力が圧縮性のある加圧空気であるから被測定物からの衝撃を緩和することができる。さらには、非接触であるから被測定物を衛生的に、かつ、傷つけることなく変形特性を測定することができる。
【００２２】
さらに、図４のモデルを詳述する。被測定物に加圧空気を連続的又はパルス状に噴射して加振すると、例えば、周期的な外力が作用する強制振動の運動と考えられ、運動方程式は（１）式のようになる。
【数２】

ここで、加振力Ｆを与えたときの未知数が質量ｍ、粘性率ｋ、弾性率ｃとなるから、複数個の連立方程式をたてると（２）式のようになる。
【数３】

以上の複数の式を行列でまとめると、（３）式のようになる。
【数４】

そして、行列の各項をおきかえて、
【数５】

【数６】

となる。そして、このときの最小二乗近似解は（５）式のようになる。
【数７】

【００２３】
以上のように機械インピーダンスの形で加振力に対する応答が求められるならば、質量ｍ、粘性率ｃ、弾性率ｋの各特性を求めることが可能となる。
【００２４】
【実施例１】
供試材料としては、（ａ）５ｍｍ厚のスポンジ状の膜５をステンレス製の皿状容器４の上面に張設したものに、５０Ｈｚの空気パルスを２秒間印加したもの、（ｂ）スポンジ状の膜５の代わりにステンレス製の皿状容器４の上面に厚紙を張設したもの、（ｃ）スポンジ状の膜５の代わりにステンレス製の皿状容器４の上面に薄い鉄板を張設したもの、を使用した。そして、供試材料（ａ）の振動状態の測定結果を図５に、供試材料（ｂ）の振動状態の測定結果を図６に、供試材料（ｃ）の振動状態の測定結果を図７にそれぞれ示す。
【００２５】
以上の測定結果より、（ａ）のスポンジについては、パルス印加直後に特徴的な過渡応答が見出され、スポンジの柔軟特性が顕れていると考えられる。（ｂ）の厚紙については、時間が経過するにつれて、徐々に一定の変位に落ち着いていった。（ｃ）の鉄板については、変位は全く検出できなかった。以上のことから、被測定物にある周波数のパルス状空気噴流を照射すると、被測定物の硬さに応じて定常状態の変位振幅の大きさに違いがみられ、また、過渡応答にも違いがみられることから、非接触で被測定物となる粘弾性体の振動状態から硬さを知ることできる。
【００２６】
そして、例えば、被測定物の変形特性と、予め記憶した物体の変形特性とを比較照合して、当該被測定物の物体の硬さを推定すると、被測定物の硬さと物体の真の硬さとを比較して、被測定物の品質を推定したり、また、被測定物となる物体の硬さから物体の特定を行なうことが可能となる。
【００２７】
なお、本発明の物体の変形特性測定方法及びその装置は、本出願人らが提案した特願２００２−１２５９２３に開示される内視鏡に適用することもでき、これにより、胃壁などの生体内腔部の硬さを測定する分野にも応用することができる。この他、皮膚や筋肉などの生体表面部等の硬さを測定する分野や、工業材料であれば、プラスチック、繊維、ゴム、パルプ、油脂、接着剤、セラミック、薬品などの変形特性を特定する分野、果実、食肉、魚介類など生鮮食品の変形特性を特定する分野や、麺類など加工食品の変形特性を特定する分野、つまり、粘弾性体となる材料の全ての分野において、その変形特性を測定することができる。
【００２８】
上記実施形態においては、加圧空気を噴射するノズル１０先端に、圧力センサ２１を取り付け、出口の空気圧力を制御する構成になっている（図１参照）。これは、本来、非接触測定では、印加圧力の測定が困難であるということに起因している。しかし、超高速の噴射弁を使用すれば、シャープな力を付与することが可能で、目標となる理想の加圧力に近づけることができる。すなわち、圧力センサ２１を取り除き、事前にキャリブレーションを行って、圧力調節をしておけば圧力センサ２１を必要としない力センサレスでの粘弾性測定が可能となる。これにより、圧力空気を噴射するノズルが内視鏡であった場合、ノズル先端に圧力センサ２１がないので、圧力センサ２１のスペース確保の問題が解消でき、圧力センサ２１が脱落して生体内に残留するなどの医療事故に繋がることはなく、また、圧力センサ２１自体がないため、コストダウンになる。
【００２９】
【実施例２】
［印加力のキャリブレーション］
図８は、加圧空気を噴射するノズル１０の先端に圧力センサ２１を取り除いた測定装置を示す概略図であり、事前にキャリブレーションを行って加圧力を調節する。キャリブレーションの方法としては、試料台３上にデジタルはかり２９を設置し、鉄製スタンド９の腕部８を上下させて、その時々の空気圧（等価印加力）を測定するとよい。その測定結果は図９のようになる（粘弾性測定では被測定物から上方に１０ｍｍ離れた距離から空気を印加するので、１０ｍｍの時の力を目標値の定常値として用いている）。
【００３０】
［電磁弁の動作特性］
電磁弁の切り替えによる空気の出力特性を確認するための予備実験を行った。測定方法としては、実験システムのエアホースの真下に圧力センサを設置し、パーソナルコンピュータにより目標値をステップ状に指令した時の圧力を測定した。その結果を図１０に示す。また、図１０の立ち上がり部分の拡大図（図１１）より、多少のオーバーシュートはあるものの、１ｍｓ以内で目標値への立ち上がりを達成していることが分かる。したがって、硬さ測定に際して実際の印加力を印加力目標値で置き換えても差し支えない。
【００３１】
［粘弾性測定例］
プラスチック板の粘弾性について、図１２に示すようなステップ状の目標値に対して変位応答を測定した結果を図１３，図１４に実線で示す。図１３及び図１４に付記したｍ、ｃ、ｋはそれぞれ、図１０の事前に測定した値を用いた場合と、図１２に示すような目標値を用いた場合のパラメータ推定結果を示すものである。なお、図１３及び図１４の破線は推定したパラメータから変位応答を再現したものである。その結果、いずれの場合においても再現変位データと計測変位データとの良好な一致が見える。これより、パラメータ推定が精度よく行われていることが分かる。以上より、力センサレス方式の有効性が確認できる。
【００３２】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、連続的又は周期的な加振力を被測定物に作用させ、該加振力によって生ずる加速度，速度，変位の周期的な応答のうちの少なくとも１つを測定し、前記加振力と当該被測定物からの加速度，速度，変位の少なくともいずれか１つとの間の伝達特性から物体の変形特性を測定する方法であって、前記加振力は、被測定物に加圧空気を連続的又はパルス状に噴射して非接触で加振する、という技術的手段を講じた。
【００３３】
これにより、被測定物に加圧空気を連続的又はパルス状に噴射して非接触で加振するので、被測定物となる物体の形状によらず圧力を均一に付与することが可能で、いかなる形状の被測定物であっても変形特性を測定することができる。また、加振力が圧縮性のある加圧空気であるから被測定物からの衝撃を緩和することができる。さらには、非接触であるから被測定物を衛生的に、かつ、傷つけることなく変形特性を測定することができる。
【００３４】
また、被測定物の変形特性と、予め記憶した物体の変形特性とを比較照合して、当該被測定物の物体の硬さを推定するから、例えば、被測定物の硬さと物体の真の硬さとを比較して、被測定物の品質を推定したり、また、被測定物の物体の硬さを推定して、物体の特定を行なうことが可能となる。
【００３５】
そして、前記被測定物の物体により加振力の振幅や、加振力の振動周波数を変更して、被測定物となる物体に応じて最適な振幅や、振動周波数を選択し、高精度に物体の変形特性を測定することが可能となる。
【００３６】
また、前記振動周波数を変化させるために噴風周期を変更して振動を加えたり、前記噴風時間を変化させるためにデューティー比を変更して振動を加えることもできる。
【００３７】
さらに、前記加振力によって生じる加速度，速度，変位のうち、少なくともいずれか１つを測定する手段として、被測定物に照射されたレーザー光が被測定物の振動によってドップラー効果を受けることを利用して測定するものである場合、被測定物表面の反射率の影響を受けにくく、かつ、非接触で高精度に被測定物の内部の振動状態を把握することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】物体の変形特性を測定する装置の機器構成を示す概略図である。
【図２】パーソナルコンピュータなどの演算・表示装置の内部構成を示す概略ブロック図である。
【図３】電磁弁の周期とオンタイムとを示すチャートである。
【図４】被測定物を粘弾性体として機械振動系で表したモデルである。
【図５】供試材料（ａ）の振動状態の測定結果である。
【図６】供試材料（ｂ）の振動状態の測定結果である。
【図７】供試材料（ｃ）の振動状態の測定結果である。
【図８】加圧空気を噴射するノズルの先端に圧力センサを取り除いた測定装置を示す概略図である。
【図９】加圧空気の印加力のキャリブレーションを示す図である。
【図１０】空気噴流の立ち上がり特性を示す図である。
【図１１】印加力データ（実験値）を示す図である。
【図１２】印加力データ（目標値）を示す図である。
【図１３】計測変位データ（実線）、再現データ（破線）、及び推定値（印加力が実験値）を示す図である。
【図１４】計測変位データ（実線）、再現データ（破線）、及び推定値（印加力が目標値）を示す図である。
【符号の説明】
１　粘弾性体
２　テーブル
３　試料台
４　皿状容器
５　膜
６　空気
７　脚部
８　腕部
９　鉄製スタンド
１０　ノズル
１１　センサーヘッド
１２　コンプレッサー
１３　エアーレギュレータ
１４　電磁弁
１５　チューブ
１６　パーソナルコンピュータ
１７　ＲＳ−２３２Ｃケーブル
１８　コントロールボックス
１９　接続管
２０　連絡チューブ
２１　圧力センサ
２２　信号線
２３　信号線
２４　サンプリング部
２５　ＡＤ変換部
２６　比較・演算部
２７　記憶部
２８　表示部
２９　デジタルはかり

Claims

連続的又は周期的な加振力を被測定物に作用させ、該加振力によって生ずる加速度，速度，変位の周期的な応答のうちの少なくとも１つを測定し、前記加振力と当該被測定物からの加速度，速度，変位の少なくともいずれか１つとの間の伝達特性から物体の変形特性を測定する方法であって、
前記加振力は、被測定物に加圧空気を連続的又はパルス状に噴射して非接触で加振することを特徴とする物体の変形特性測定方法。
被測定物の変形特性と、予め記憶した物体の変形特性とを比較照合して、当該被測定物の物体の硬さを推定してなる請求項１記載の物体の変形特性測定方法。
前記被測定物の物体により加振力の振幅を変更してなる請求項１又は２記載の物体の変形特性測定方法。
前記被測定物の物体により加振力の振動周波数を変更してなる請求項１乃至３記載の物体の変形特性測定方法。
前記振動周波数を変化させるために噴風周期を変更してなる請求項４記載の物体の変形特性測定方法。
前記噴風時間を変化させるためにデューティー比を変更してなる請求項４記載の物体の変形特性測定方法。
前記加振力によって生じる加速度，速度，変位のうち、少なくともいずれか１つを測定する手段として、被測定物に照射されたレーザー光が被測定物の振動によってドップラー効果を受けることを利用して測定してなる請求項１から請求項６のいずれかに記載の物体の変形特性測定方法。
被測定物に加圧空気を連続的又はパルス状に噴射して非接触で加振する空気ノズルと、前記加圧空気の振幅，振動周波数又はデューティー比を変化させるための圧力制御弁と、被測定物に与えた加振力によって生じる加速度，速度，変位のうち、少なくともいずれか１つを測定する振動測定センサとを備え、さらに、前記空気ノズルからの加振力と当該被測定物からの加速度，速度，変位の少なくともいずれか１つとの間の伝達特性から、物体の変形特性を演算する演算・表示装置を備えたことを特徴とする物体の変形特性測定装置。
前記演算・表示装置は、被測定物の変形特性と、予め記憶した物体の変形特性とを比較照合して、当該被測定物の物体の硬さを推定してなる請求項８記載の物体の変形特性測定装置。
前記演算・表示手段により前記圧力制御弁を制御して、加圧空気の噴風周期を変更するとともに、振動周波数を変更してなる請求項８又は９記載の物体の変形特性測定装置。
前記演算・表示手段により前記圧力制御弁の周期と、該圧力制御弁のオンタイムとの比をとってデューティー比を算出するとともに、該デューティー比を変更して噴風時間を変更してなる請求項８又は９記載の物体の変形特性測定装置。
前記振動測定センサは、被測定物に照射されたレーザー光が被測定物の振動によってドップラー効果を受けることを利用したものを使用する請求項８から１１のいずれかに記載の物体の変形特性測定装置。