JP2004067402A - 過酸化水素水の精製方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】高純度の過酸化水素水を効率よく得ることのできる過酸化水素水の精製方法を提供する。
【解決手段】平均孔径5μm以下、好ましくは0.004〜0.2μmの多孔質セラミックフィルター(好ましくは中空型のフィルター)により過酸化水素水を処理する。好ましくは更にイオン交換樹脂により過酸化水素水を処理する工程を含む。又、好ましくは多孔質セラミックフィルターを水溶性有機溶剤及び/又は無機酸で洗浄する工程を含む。
【選択図】 なし
【解決手段】平均孔径5μm以下、好ましくは0.004〜0.2μmの多孔質セラミックフィルター(好ましくは中空型のフィルター)により過酸化水素水を処理する。好ましくは更にイオン交換樹脂により過酸化水素水を処理する工程を含む。又、好ましくは多孔質セラミックフィルターを水溶性有機溶剤及び/又は無機酸で洗浄する工程を含む。
【選択図】 なし
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は過酸化水素水の精製方法に関し、詳しくは高純度の過酸化水素水を効率よく得ることのできる過酸化水素水の精製方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
現在、過酸化水素は自動酸化法により製造されているが、この方法にによって製造された過酸化水素水中には各種の無機不純物や有機不純物が含まれている。
【0003】
一方、半導体製造分野で使用される過酸化水素水には高純度なものが要求されており、これまで各種の精製が試みられてきた。
【0004】
特開平9−221305号公報に記載の発明ではイオン性不純物をイオン交換樹脂で、その他の不純物を限外濾過膜により処理している。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、特開平9−221305号公報に記載の発明に用いられている限外濾過膜はフッ素樹脂、ポリオレフィン樹脂、ポリアクリロニトリル樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイミド樹脂、ポリカーボネート樹脂などからなるものであるため、耐過酸化水素性に乏しく、頻繁に濾過膜を交換する必要があった。
【0006】
更に、濾過膜は通常ある程度の処理に供した後、濾過膜中に補足された不純物を洗浄により取り除き、濾過性能を再生して繰り返し使用されるものであるが、上記のような樹脂製の限外濾過膜は、耐酸性にも乏しく、過酸化水素水の濾過処理により補足された無機性不純物の洗浄に適した強酸性の洗浄液が使用できないといった欠点を有していた。
【0007】
このため従来の過酸化水素水の精製方法では工業的に適した効率を得られるものではなかった。
【0008】
従って本発明の目的は、上記のような欠点が無く、高純度の過酸化水素水を効率よく得ることのできる過酸化水素水の精製方法を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは上記に鑑み鋭意研究の結果本発明に到達した。即ち本発明は、平均孔径5μm以下の多孔質セラミックフィルターにより過酸化水素水を処理することを特徴とする過酸化水素水の精製方法である。
【0010】
また本発明は、好ましくは、多孔質セラミックフィルターが、平均孔径0.004〜0.2μmのものである上記過酸化水素水の精製方法である。
【0011】
また本発明は、好ましくは、多孔質セラミックフィルターが中空型のフィルターである上記過酸化水素水の精製方法である。
【0012】
また本発明は、好ましくは、イオン交換樹脂により過酸化水素水を処理する工程をさらに含む、上記過酸化水素水の精製方法である。
【0013】
また本発明は、多孔質セラミックフィルターを水溶性有機溶剤及び/又は無機酸で洗浄する工程を更に含む、上記過酸化水素水の精製方法である。
【0014】
【発明の実施の形態】
本発明に使用することのできる過酸化水素水は特に限定されるものではなくどのようなものでも用いることができるが、工業的には一般的な5〜70重量%濃度の過酸化水素水を使用することができる。
【0015】
本発明に使用する多孔質セラミックフィルターは平均孔径5μm以下のものであれば特に限定されるものではなく、アルミナ、シリカ、ジルコニア、ムライト、スピネル、コーディライト、炭化ケイ素、窒化ケイ素等を素材とする公知の多孔質セラミックフィルターを使用することができる。
【0016】
このような多孔質セラミックフィルターは過酸化水素に対し十分な耐性を有しており、頻繁な交換をすることなく工業的に良好な程度に効率よく使用することができるものである。
【0017】
平均孔径が5μmを超えるものであると高純度に過酸化水素水を精製することができなくなる。より平均孔径が小さいほど高純度の過酸化水素水を得ることができるので好ましくは平均孔径0.2μm以下、より好ましくは0.1μm以下であることが良い。
【0018】
しかし極端に平均孔径が小さすぎると濾過効率が悪くなり工業的な効率を悪化させるので、好ましくは平均孔径0.004μm以上、より好ましくは0.01μm以上であることが良い。従って総合的に好ましくは0.004〜0.2μm、より好ましくは0.01〜0.1μmの平均孔径であることが良い。
【0019】
本発明に使用する多孔質セラミックフィルターの形状は特に限定されるものではなく、公知の多孔質セラミックフィルターであっればどのような形状のものでも使用することができるが、好ましくは中空型の多孔質セラミックフィルターを用いることが良い。中空型の多孔質セラミックフィルターであると、中空部の流量あるいはフィルター負荷圧を一定にして処理することができるだけでなく、濾過流量の変化によってフィルターの洗浄時期を知ることができるという利点がある。
【0020】
上記多孔質セラミックフィルターにより過酸化水素水を処理することにより工業的に効率よく高純度の過酸化水素水を得ることができるが、イオン性の不純物までも除去したい場合は、上記に加えイオン交換樹脂による処理を行なうことが好ましい。
【0021】
ここで使用するイオン交換樹脂としては特に限定されるものではなく公知のイオン交換樹脂を用いることができ、強酸性カチオン交換樹脂、強塩基性アニオン交換樹脂、任意の割合からなる強酸性カチオン交換樹脂と強塩基性アニオン交換樹脂との混合物などを用いることができる。
【0022】
多孔質セラミックフィルターによる処理とイオン交換樹脂による処理は、任意の順序で用いることができ、多孔質セラミックフィルターによる処理に引き続きイオン交換樹脂による処理を行なってもよく、その逆の順序でも差し支えない。
【0023】
上記したような過酸化水素水の処理は、その他特に制限される条件は無いが、例えばpHによって溶解性が変化する不純物においては、適宜多孔質セラミックフィルターによる処理とイオン交換樹脂による処理の順序を選択するとよい。また、温度が高いと過酸化水素の分解が進み収率が低下したり、過酸化水素の分解に伴う気泡によって濾過効率が低下する場合があるので、概ね30℃以下の温度で処理することが好ましい。
【0024】
本発明においては上記のように過酸化水素水に耐性を有する多孔質セラミックフィルターを使用するものであるので、該多孔質セラミックフィルターは頻繁な交換を必要とせず、例えば連続的に長時間の過酸化水素水精製処理を行なうことができるが、長期間の使用においては、他の用途におけるフィルターと同様に、フィルターの多孔中に濾過されたパーティクル等の濾過残渣が蓄積されて濾過効率が低下することがある。
【0025】
このような場合は、多孔質セラミックフィルターを水溶性有機溶剤及び/又は無機酸で洗浄する工程を設けることにより、多孔質セラミックフィルター自体を交換することなく、これを再生して過酸化水素水の精製処理を続けることができるものである。
【0026】
多孔質セラミックフィルターの洗浄は、公知の方法を任意に選択して採用することができ、例えば、多孔質セラミックフィルターをラインから一旦取り外し、これを洗浄することができる。
【0027】
しかし、より簡便な方法は、多孔質セラミックフィルターのラインを切り替えて多孔質セラミックフィルターに水溶性有機溶剤及び/又は無機酸の洗浄液を通液する方法である。通液の方向は順行でも逆行でも行なうことができるが、例えば中空型フィルターである場合、順行で行なう方が洗浄液に含まれるパーティクルの影響を少なくすることができるので好ましい。
【0028】
尚、水溶性有機溶剤及び/又は無機酸による洗浄の前後に水による洗浄を行なうことができる。
【0029】
水溶性有機溶剤としては特に限定されるものではなく工業的に使用されることが公知の水溶性有機溶剤であればどのようなものでも使用することができるが、例えば、メタノール、エタノール、プロパノール、イソプロパノール等の低級アルカノール類及びこれらのエチレンオキサイド付加物、エチレンオキサイド/プロピレンオキサイドランダム付加物、エチレンオキサイド/プロピレンオキサイドブロック付加物、ポリエチレンオキサイド等を例示することができ、更に、アセトニトリル、アセトン、ジメチルスホキシド、ジメチルホルムアミド等を例示することができる。
【0030】
無機酸としては、例えば、塩酸、硫酸、硝酸、亜硝酸、リン酸などを例示することができる。これらの無機酸の濃度は特に限定されるものではないが、洗浄効率と工業化適性の観点からは概ね1〜20重量%であれば好ましく用いることができ、より好ましくは5〜15重量%程度であればよい。
【0031】
これら水溶性有機溶剤と無機酸は、何れかを洗浄液としてもよいし、水溶性有機溶剤による洗浄の後、無機酸による洗浄を行なってもよく、その逆の順でもよい。また、水溶性有機溶剤と無機酸の混合液を洗浄剤としてもよいが、これらが相互に反応しない組み合わせを選択する必要がある。
【0032】
尚、上記洗浄液及び水洗のための水は極力不純物の少ないものとすることが好ましいのは言うまでも無い。
【0033】
【実施例】
以下に実施例を挙げ本発明を更に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【0034】
〔実施例1〕
35重量%の粗過酸化水素水を平均孔径0.1μmの多孔質中空セラミックスフィルター(ノリタケカンパニー製、商品名:1M−3型)に線速度3m/s、入口圧力245kPa、出口圧力98kPaで通液して濾過処理し精製過酸化水素水を得た。処理開始1時間後の濾液の吐出流量は140リットル/時であった。
【0035】
このときの濾過処理前後における各種不純物の減少率〔100×(濾過処理前不純物重量−濾過処理後不純物重量)/濾過処理前不純物重量〕(%)は、遊離酸42.8%、硝酸根28.6%、塩酸根19.5%、亜硝酸根24.7%、硫酸根23.6%、リン酸根46.7%、ケイ素18.0%、アルミニウム73.8%、鉄50.0%、蒸発残分45.4%、有機物27.8%であった。また0.5μm以上のパーティクル数の減少率〔100×(濾過処理前パーティクル数−濾過処理後パーティクル数)/濾過処理前パーティクル数〕(%)は100%であった。
【0036】
またこのとき処理前の過酸化水素水の安定度99.5%が、処理後では99.8%に向上していた。尚、安定度、蒸発残分、遊離酸はJIS K−1463−1971過酸化水素 5.試験方法に従って測定を行った。
【0037】
多孔質セラミックスフィルターを交換せずに処理を14日間続けた。このときの各種不純物の減少率は、遊離酸41.9%、硝酸根28.0%、塩酸根18.9%、亜硝酸根24.1%、硫酸根23.2%、リン酸根45.8%、ケイ素17.4%、アルミニウム72.3%、鉄49.0%、蒸発残分44.5%、有機物27.0%であった。また0.5μm以上のパーティクル数の減少率は100%であった。
【0038】
本発明の方法によれば多孔質セラミックスフィルターを交換することなく、効率よく高純度過酸化水素水を得ることができることがわかる。
【0039】
〔比較例1〕
実施例1で用いた平均孔径0.1μmの多孔質セラミックスフィルターを、ポリエーテルスルホン製中空フィルター(分画分子量500000(孔径0.05μm相当する))に換え(フィルターにかかる圧力を実施例1と同様にした)た他は実施例1と同様にして処理を行なった。
【0040】
処理開始1時間後における各種不純物の減少率は、遊離酸43.2%、硝酸根28.9%、塩酸根20.2%、亜硝酸根24.5%、硫酸根23.3%、リン酸根47.2%、ケイ素17.6%、アルミニウム74.5%、鉄50.4%、蒸発残分45.9%、有機物27.5%であった。また0.5μm以上のパーティクル数の減少率は100%であった。
【0041】
ポリエーテルスルホン製中空フィルターを交換せずに処理を14日間続けた。このときの各種不純物の減少率は、遊離酸7.3%、硝酸根10.6%、塩酸根9.1%、亜硝酸根10.3%、硫酸根6.3%、リン酸根11.3%、ケイ素8.3%、アルミニウム4.5%、鉄6.8%、蒸発残分8.4%、有機物9.4%であった。またパーティクル数の減少率は11%であった。
【0042】
ポリエーテルスルホン製中空フィルターは劣化が著しく、交換が必要であり、効率よく高純度過酸化水素水を得ることができなかった。
【0043】
〔実施例2〕
35重量%の粗過酸化水素水を強酸性カチオン交換樹脂(オルガノ製、商品名:アンバーライト201B、H型)、強塩基性アニオン交換樹脂(オルガノ製、商品名:アンバーライトIRA−900、HCO3型)に順に空間速度(SV)500hr−1で通液処理し、濾液を平均孔径0.1μmの多孔質中空セラミックスフィルター(ノリタケカンパニー製、商品名:1M−3型)に線速度3m/s、入口圧力245kPa、出口圧力98kPaで通液し精製過酸化水素水を得た。
【0044】
処理開始1時間後における各種不純物の減少率は、遊離酸99.5%、硝酸根99.4%、塩酸根99.6%、亜硝酸根99.8%、硫酸根99.3%、リン酸根99.5%、アルミニウム98.7%、鉄98.0%、蒸発残分97.7%、有機物50%であった。またパーティクル数の減少率は100%であった。
【0045】
多孔質セラミックスフィルターを交換せずに処理を14日間続けた。ただし、イオン交換樹脂は合理的な処理量に従って交換した。このときの各種不純物の減少率は、遊離酸99.5%、硝酸根99.4%、塩酸根99.6%、亜硝酸根99.8%、硫酸根99.3%、ケイ素17.4%、リン酸根99.5%、アルミニウム98.7%、鉄98.0%、蒸発残分97.7%、有機物50%であった。またパーティクル数の減少率は100%であった。
【0046】
本発明の方法によれば多孔質セラミックスフィルターを交換することなく、効率よく高純度過酸化水素水を得ることができることがわかる。
【0047】
〔実施例3〕
実施例1と同様の処理を30日間続けたところ、濾液の吐出流量が70リットル/時となったので、一旦、粗過酸化水素水の通液を停止してラインを切り替え、多孔質中空セラミックフィルターに純水を、線速度1.0m/s、入口圧力150kPa、出口圧力40kPaで通液して粗過酸化水素水を洗い流した後、10重量%硝酸水溶液を線速度1.0m/s、入口圧力150kPa、出口圧力50kPaで通液して洗浄を行なった。その後にも同様に純水を通液して硝酸水溶液を洗い流して多孔質中空セラミックフィルターを再生させた。
【0048】
その後再びラインを切り替えて多孔質中空セラミックフィルターに粗過酸化水素水を同様に通液して処理を行なったところ、濾液の吐出流量は140リットル/時に回復していた。また、このときの各種不純物の減少率は、遊離酸42.7%、硝酸根28.7%、塩酸根19.6%、亜硝酸根24.8%、硫酸根23.4%、リン酸根46.9%、ケイ素18.0%、アルミニウム73.5%、鉄50.3%、蒸発残分45.8%、有機物27.9%であった。またパーティクル数の減少率は100%であった。
【0049】
洗浄による多孔質セラミックフィルターの再生により、さらに効率的に過酸化水素水の精製を行なうことができることが判る。
【0050】
【発明の効果】
本発明の効果は、高純度の過酸化水素水を効率よく得ることのできる過酸化水素水の精製方法を提供したことにある。
【発明の属する技術分野】
本発明は過酸化水素水の精製方法に関し、詳しくは高純度の過酸化水素水を効率よく得ることのできる過酸化水素水の精製方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
現在、過酸化水素は自動酸化法により製造されているが、この方法にによって製造された過酸化水素水中には各種の無機不純物や有機不純物が含まれている。
【0003】
一方、半導体製造分野で使用される過酸化水素水には高純度なものが要求されており、これまで各種の精製が試みられてきた。
【0004】
特開平9−221305号公報に記載の発明ではイオン性不純物をイオン交換樹脂で、その他の不純物を限外濾過膜により処理している。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、特開平9−221305号公報に記載の発明に用いられている限外濾過膜はフッ素樹脂、ポリオレフィン樹脂、ポリアクリロニトリル樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイミド樹脂、ポリカーボネート樹脂などからなるものであるため、耐過酸化水素性に乏しく、頻繁に濾過膜を交換する必要があった。
【0006】
更に、濾過膜は通常ある程度の処理に供した後、濾過膜中に補足された不純物を洗浄により取り除き、濾過性能を再生して繰り返し使用されるものであるが、上記のような樹脂製の限外濾過膜は、耐酸性にも乏しく、過酸化水素水の濾過処理により補足された無機性不純物の洗浄に適した強酸性の洗浄液が使用できないといった欠点を有していた。
【0007】
このため従来の過酸化水素水の精製方法では工業的に適した効率を得られるものではなかった。
【0008】
従って本発明の目的は、上記のような欠点が無く、高純度の過酸化水素水を効率よく得ることのできる過酸化水素水の精製方法を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは上記に鑑み鋭意研究の結果本発明に到達した。即ち本発明は、平均孔径5μm以下の多孔質セラミックフィルターにより過酸化水素水を処理することを特徴とする過酸化水素水の精製方法である。
【0010】
また本発明は、好ましくは、多孔質セラミックフィルターが、平均孔径0.004〜0.2μmのものである上記過酸化水素水の精製方法である。
【0011】
また本発明は、好ましくは、多孔質セラミックフィルターが中空型のフィルターである上記過酸化水素水の精製方法である。
【0012】
また本発明は、好ましくは、イオン交換樹脂により過酸化水素水を処理する工程をさらに含む、上記過酸化水素水の精製方法である。
【0013】
また本発明は、多孔質セラミックフィルターを水溶性有機溶剤及び/又は無機酸で洗浄する工程を更に含む、上記過酸化水素水の精製方法である。
【0014】
【発明の実施の形態】
本発明に使用することのできる過酸化水素水は特に限定されるものではなくどのようなものでも用いることができるが、工業的には一般的な5〜70重量%濃度の過酸化水素水を使用することができる。
【0015】
本発明に使用する多孔質セラミックフィルターは平均孔径5μm以下のものであれば特に限定されるものではなく、アルミナ、シリカ、ジルコニア、ムライト、スピネル、コーディライト、炭化ケイ素、窒化ケイ素等を素材とする公知の多孔質セラミックフィルターを使用することができる。
【0016】
このような多孔質セラミックフィルターは過酸化水素に対し十分な耐性を有しており、頻繁な交換をすることなく工業的に良好な程度に効率よく使用することができるものである。
【0017】
平均孔径が5μmを超えるものであると高純度に過酸化水素水を精製することができなくなる。より平均孔径が小さいほど高純度の過酸化水素水を得ることができるので好ましくは平均孔径0.2μm以下、より好ましくは0.1μm以下であることが良い。
【0018】
しかし極端に平均孔径が小さすぎると濾過効率が悪くなり工業的な効率を悪化させるので、好ましくは平均孔径0.004μm以上、より好ましくは0.01μm以上であることが良い。従って総合的に好ましくは0.004〜0.2μm、より好ましくは0.01〜0.1μmの平均孔径であることが良い。
【0019】
本発明に使用する多孔質セラミックフィルターの形状は特に限定されるものではなく、公知の多孔質セラミックフィルターであっればどのような形状のものでも使用することができるが、好ましくは中空型の多孔質セラミックフィルターを用いることが良い。中空型の多孔質セラミックフィルターであると、中空部の流量あるいはフィルター負荷圧を一定にして処理することができるだけでなく、濾過流量の変化によってフィルターの洗浄時期を知ることができるという利点がある。
【0020】
上記多孔質セラミックフィルターにより過酸化水素水を処理することにより工業的に効率よく高純度の過酸化水素水を得ることができるが、イオン性の不純物までも除去したい場合は、上記に加えイオン交換樹脂による処理を行なうことが好ましい。
【0021】
ここで使用するイオン交換樹脂としては特に限定されるものではなく公知のイオン交換樹脂を用いることができ、強酸性カチオン交換樹脂、強塩基性アニオン交換樹脂、任意の割合からなる強酸性カチオン交換樹脂と強塩基性アニオン交換樹脂との混合物などを用いることができる。
【0022】
多孔質セラミックフィルターによる処理とイオン交換樹脂による処理は、任意の順序で用いることができ、多孔質セラミックフィルターによる処理に引き続きイオン交換樹脂による処理を行なってもよく、その逆の順序でも差し支えない。
【0023】
上記したような過酸化水素水の処理は、その他特に制限される条件は無いが、例えばpHによって溶解性が変化する不純物においては、適宜多孔質セラミックフィルターによる処理とイオン交換樹脂による処理の順序を選択するとよい。また、温度が高いと過酸化水素の分解が進み収率が低下したり、過酸化水素の分解に伴う気泡によって濾過効率が低下する場合があるので、概ね30℃以下の温度で処理することが好ましい。
【0024】
本発明においては上記のように過酸化水素水に耐性を有する多孔質セラミックフィルターを使用するものであるので、該多孔質セラミックフィルターは頻繁な交換を必要とせず、例えば連続的に長時間の過酸化水素水精製処理を行なうことができるが、長期間の使用においては、他の用途におけるフィルターと同様に、フィルターの多孔中に濾過されたパーティクル等の濾過残渣が蓄積されて濾過効率が低下することがある。
【0025】
このような場合は、多孔質セラミックフィルターを水溶性有機溶剤及び/又は無機酸で洗浄する工程を設けることにより、多孔質セラミックフィルター自体を交換することなく、これを再生して過酸化水素水の精製処理を続けることができるものである。
【0026】
多孔質セラミックフィルターの洗浄は、公知の方法を任意に選択して採用することができ、例えば、多孔質セラミックフィルターをラインから一旦取り外し、これを洗浄することができる。
【0027】
しかし、より簡便な方法は、多孔質セラミックフィルターのラインを切り替えて多孔質セラミックフィルターに水溶性有機溶剤及び/又は無機酸の洗浄液を通液する方法である。通液の方向は順行でも逆行でも行なうことができるが、例えば中空型フィルターである場合、順行で行なう方が洗浄液に含まれるパーティクルの影響を少なくすることができるので好ましい。
【0028】
尚、水溶性有機溶剤及び/又は無機酸による洗浄の前後に水による洗浄を行なうことができる。
【0029】
水溶性有機溶剤としては特に限定されるものではなく工業的に使用されることが公知の水溶性有機溶剤であればどのようなものでも使用することができるが、例えば、メタノール、エタノール、プロパノール、イソプロパノール等の低級アルカノール類及びこれらのエチレンオキサイド付加物、エチレンオキサイド/プロピレンオキサイドランダム付加物、エチレンオキサイド/プロピレンオキサイドブロック付加物、ポリエチレンオキサイド等を例示することができ、更に、アセトニトリル、アセトン、ジメチルスホキシド、ジメチルホルムアミド等を例示することができる。
【0030】
無機酸としては、例えば、塩酸、硫酸、硝酸、亜硝酸、リン酸などを例示することができる。これらの無機酸の濃度は特に限定されるものではないが、洗浄効率と工業化適性の観点からは概ね1〜20重量%であれば好ましく用いることができ、より好ましくは5〜15重量%程度であればよい。
【0031】
これら水溶性有機溶剤と無機酸は、何れかを洗浄液としてもよいし、水溶性有機溶剤による洗浄の後、無機酸による洗浄を行なってもよく、その逆の順でもよい。また、水溶性有機溶剤と無機酸の混合液を洗浄剤としてもよいが、これらが相互に反応しない組み合わせを選択する必要がある。
【0032】
尚、上記洗浄液及び水洗のための水は極力不純物の少ないものとすることが好ましいのは言うまでも無い。
【0033】
【実施例】
以下に実施例を挙げ本発明を更に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【0034】
〔実施例1〕
35重量%の粗過酸化水素水を平均孔径0.1μmの多孔質中空セラミックスフィルター(ノリタケカンパニー製、商品名:1M−3型)に線速度3m/s、入口圧力245kPa、出口圧力98kPaで通液して濾過処理し精製過酸化水素水を得た。処理開始1時間後の濾液の吐出流量は140リットル/時であった。
【0035】
このときの濾過処理前後における各種不純物の減少率〔100×(濾過処理前不純物重量−濾過処理後不純物重量)/濾過処理前不純物重量〕(%)は、遊離酸42.8%、硝酸根28.6%、塩酸根19.5%、亜硝酸根24.7%、硫酸根23.6%、リン酸根46.7%、ケイ素18.0%、アルミニウム73.8%、鉄50.0%、蒸発残分45.4%、有機物27.8%であった。また0.5μm以上のパーティクル数の減少率〔100×(濾過処理前パーティクル数−濾過処理後パーティクル数)/濾過処理前パーティクル数〕(%)は100%であった。
【0036】
またこのとき処理前の過酸化水素水の安定度99.5%が、処理後では99.8%に向上していた。尚、安定度、蒸発残分、遊離酸はJIS K−1463−1971過酸化水素 5.試験方法に従って測定を行った。
【0037】
多孔質セラミックスフィルターを交換せずに処理を14日間続けた。このときの各種不純物の減少率は、遊離酸41.9%、硝酸根28.0%、塩酸根18.9%、亜硝酸根24.1%、硫酸根23.2%、リン酸根45.8%、ケイ素17.4%、アルミニウム72.3%、鉄49.0%、蒸発残分44.5%、有機物27.0%であった。また0.5μm以上のパーティクル数の減少率は100%であった。
【0038】
本発明の方法によれば多孔質セラミックスフィルターを交換することなく、効率よく高純度過酸化水素水を得ることができることがわかる。
【0039】
〔比較例1〕
実施例1で用いた平均孔径0.1μmの多孔質セラミックスフィルターを、ポリエーテルスルホン製中空フィルター(分画分子量500000(孔径0.05μm相当する))に換え(フィルターにかかる圧力を実施例1と同様にした)た他は実施例1と同様にして処理を行なった。
【0040】
処理開始1時間後における各種不純物の減少率は、遊離酸43.2%、硝酸根28.9%、塩酸根20.2%、亜硝酸根24.5%、硫酸根23.3%、リン酸根47.2%、ケイ素17.6%、アルミニウム74.5%、鉄50.4%、蒸発残分45.9%、有機物27.5%であった。また0.5μm以上のパーティクル数の減少率は100%であった。
【0041】
ポリエーテルスルホン製中空フィルターを交換せずに処理を14日間続けた。このときの各種不純物の減少率は、遊離酸7.3%、硝酸根10.6%、塩酸根9.1%、亜硝酸根10.3%、硫酸根6.3%、リン酸根11.3%、ケイ素8.3%、アルミニウム4.5%、鉄6.8%、蒸発残分8.4%、有機物9.4%であった。またパーティクル数の減少率は11%であった。
【0042】
ポリエーテルスルホン製中空フィルターは劣化が著しく、交換が必要であり、効率よく高純度過酸化水素水を得ることができなかった。
【0043】
〔実施例2〕
35重量%の粗過酸化水素水を強酸性カチオン交換樹脂(オルガノ製、商品名:アンバーライト201B、H型)、強塩基性アニオン交換樹脂(オルガノ製、商品名:アンバーライトIRA−900、HCO3型)に順に空間速度(SV)500hr−1で通液処理し、濾液を平均孔径0.1μmの多孔質中空セラミックスフィルター(ノリタケカンパニー製、商品名:1M−3型)に線速度3m/s、入口圧力245kPa、出口圧力98kPaで通液し精製過酸化水素水を得た。
【0044】
処理開始1時間後における各種不純物の減少率は、遊離酸99.5%、硝酸根99.4%、塩酸根99.6%、亜硝酸根99.8%、硫酸根99.3%、リン酸根99.5%、アルミニウム98.7%、鉄98.0%、蒸発残分97.7%、有機物50%であった。またパーティクル数の減少率は100%であった。
【0045】
多孔質セラミックスフィルターを交換せずに処理を14日間続けた。ただし、イオン交換樹脂は合理的な処理量に従って交換した。このときの各種不純物の減少率は、遊離酸99.5%、硝酸根99.4%、塩酸根99.6%、亜硝酸根99.8%、硫酸根99.3%、ケイ素17.4%、リン酸根99.5%、アルミニウム98.7%、鉄98.0%、蒸発残分97.7%、有機物50%であった。またパーティクル数の減少率は100%であった。
【0046】
本発明の方法によれば多孔質セラミックスフィルターを交換することなく、効率よく高純度過酸化水素水を得ることができることがわかる。
【0047】
〔実施例3〕
実施例1と同様の処理を30日間続けたところ、濾液の吐出流量が70リットル/時となったので、一旦、粗過酸化水素水の通液を停止してラインを切り替え、多孔質中空セラミックフィルターに純水を、線速度1.0m/s、入口圧力150kPa、出口圧力40kPaで通液して粗過酸化水素水を洗い流した後、10重量%硝酸水溶液を線速度1.0m/s、入口圧力150kPa、出口圧力50kPaで通液して洗浄を行なった。その後にも同様に純水を通液して硝酸水溶液を洗い流して多孔質中空セラミックフィルターを再生させた。
【0048】
その後再びラインを切り替えて多孔質中空セラミックフィルターに粗過酸化水素水を同様に通液して処理を行なったところ、濾液の吐出流量は140リットル/時に回復していた。また、このときの各種不純物の減少率は、遊離酸42.7%、硝酸根28.7%、塩酸根19.6%、亜硝酸根24.8%、硫酸根23.4%、リン酸根46.9%、ケイ素18.0%、アルミニウム73.5%、鉄50.3%、蒸発残分45.8%、有機物27.9%であった。またパーティクル数の減少率は100%であった。
【0049】
洗浄による多孔質セラミックフィルターの再生により、さらに効率的に過酸化水素水の精製を行なうことができることが判る。
【0050】
【発明の効果】
本発明の効果は、高純度の過酸化水素水を効率よく得ることのできる過酸化水素水の精製方法を提供したことにある。
Claims (5)
- 平均孔径5μm以下の多孔質セラミックフィルターにより過酸化水素水を処理することを特徴とする過酸化水素水の精製方法。
- 多孔質セラミックフィルターが、平均孔径0.004〜0.2μmのものである請求項1に記載の過酸化水素水の精製方法。
- 多孔質セラミックフィルターが中空型のフィルターである、請求項1または請求項2に記載の過酸化水素水の精製方法。
- イオン交換樹脂により過酸化水素水を処理する工程をさらに含むことを特徴とする請求項1〜請求項3の何れかに記載の過酸化水素水の精製方法。
- 多孔質セラミックフィルターを水溶性有機溶剤及び/又は無機酸で洗浄する工程を更に含む、請求項1〜請求項4の何れかに記載の過酸化水素水の精製方法。
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Cited By (5)
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---|---|---|---|---|
JP2008127231A (ja) * | 2006-11-17 | 2008-06-05 | Santoku Kagaku Kogyo Kk | 過酸化水素水の精製方法及び精製装置 |
US20140341800A1 (en) * | 2011-09-30 | 2014-11-20 | Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. | Method for producing aqueous hydrogen peroxide solution |
US9873088B2 (en) | 2011-05-17 | 2018-01-23 | Natrix Separations Inc. | Layered tubular membranes for chromatography, and methods of use thereof |
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CN113443606A (zh) * | 2021-08-02 | 2021-09-28 | 苏州晶瑞化学股份有限公司 | 一种超高纯双氧水的制造工艺 |
-
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Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008127231A (ja) * | 2006-11-17 | 2008-06-05 | Santoku Kagaku Kogyo Kk | 過酸化水素水の精製方法及び精製装置 |
US10800808B2 (en) | 2008-09-02 | 2020-10-13 | Merck Millipore Ltd. | Chromatography membranes, devices containing them, and methods of use thereof |
US10981949B2 (en) | 2008-09-02 | 2021-04-20 | Merck Millipore Ltd. | Chromatography membranes, devices containing them, and methods of use thereof |
US11884701B2 (en) | 2008-09-02 | 2024-01-30 | Merck Millipore Ltd. | Chromatography membranes, devices containing them, and methods of use thereof |
US9873088B2 (en) | 2011-05-17 | 2018-01-23 | Natrix Separations Inc. | Layered tubular membranes for chromatography, and methods of use thereof |
US10195567B2 (en) | 2011-05-17 | 2019-02-05 | Natrix Separations Inc. | Layered tubular membranes for chromatography, and methods of use thereof |
US10874990B2 (en) | 2011-05-17 | 2020-12-29 | Merck Millipore Ltd. | Layered tubular membranes for chromatography, and methods of use thereof |
US20140341800A1 (en) * | 2011-09-30 | 2014-11-20 | Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. | Method for producing aqueous hydrogen peroxide solution |
EP2762443A4 (en) * | 2011-09-30 | 2015-07-01 | Mitsubishi Gas Chemical Co | PROCESS FOR PREPARING AN AQUEOUS HYDROGEN PEROXIDE SOLUTION |
KR101918709B1 (ko) * | 2011-09-30 | 2018-11-15 | 미쯔비시 가스 케미칼 컴파니, 인코포레이티드 | 과산화수소 수용액의 제조방법 |
CN113443606A (zh) * | 2021-08-02 | 2021-09-28 | 苏州晶瑞化学股份有限公司 | 一种超高纯双氧水的制造工艺 |
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