JP2004062118A

JP2004062118A - 近紫外対物レンズ

Info

Publication number: JP2004062118A
Application number: JP2002227221A
Authority: JP
Inventors: Yoko Okuyama; 奥山　陽子; Kotaro Yamaguchi; 山口　弘太郎
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 2002-06-04
Filing date: 2002-08-05
Publication date: 2004-02-26

Abstract

【課題】近紫外の透過率を確保しながら、４００ｎｍ以下の近紫外波長に対しても高い結像性能を発揮できる近紫外対物レンズを提供する。
【解決手段】本発明の近紫外対物レンズは、物体側から順に、正の屈折力を持つ第１レンズ群Ｇ１と、正の屈折力を持つ第２レンズ群Ｇ２と、負の屈折力を持つ第３レンズ群Ｇ３とを備え、前記第１レンズ群Ｇ１は、物体側へ凹面を向けた少なくとも２つのメニスカスレンズと、少なくとも１つの接合レンズとを有し、前記第２レンズ群Ｇ２は、少なくとも２つの接合レンズを有し、前記接合レンズの少なくとも１つが３枚接合レンズからなり、前記第３レンズ群Ｇ３は、少なくとも１つの負レンズと、少なくとも１つの正レンズとを有し、前記正レンズは最も像側に配置され、ビグネッティングの発生を抑え、４００ｎｍ以下の波長に対しても所定の収差範囲内に収まるように構成されている。
【選択図】　図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、顕微鏡用対物レンズに関し、特に、４００ｎｍ以下の近紫外波長に対しても高い結像性能を発揮できる近紫外対物レンズに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、近紫外域用の対物レンズとして、紫外蛍光用対物レンズ、あるいは、特開平１０−２８２４２９号公報，特開平５−１９６８７４号公報及び特開平１１−１４２７４４号公報に記載の顕微鏡対物レンズ等が知られている。
【０００３】
紫外蛍光用対物レンズは、一般に近紫外光で試料を励起照明するために用いられるため、近紫外光に対して高い透過率を有して設計されているが、色収差補正は考慮されておらず、結像性能が充分になっていないのが通例である。しかし、近年、半導体技術分野では、レチクルやウエハの欠陥検査のために高解像力を有する近紫外対物レンズが要求されている。
【０００４】
このような問題を解消するために、特開平１０−２８２４２９号公報，特開平５−１９６８７４号公報及び特開平１１−１４２７４４号公報には、近紫外から可視域において色収差補正を施した顕微鏡対物レンズが開示されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、光は波長が短くなる程レンズに吸収され易く透過率が低くなる性質を有している。このため、広い波長範囲内で高い解像度を得るためには、より波長の短い光の透過率の確保が重要となる。例えば、上記のように近紫外から可視域にわたる広い波長範囲においては、波長の短い近紫外光の透過率が問題となる。
【０００６】
しかしながら、特開平５−１９６８７４号公報に開示されている近紫外対物レンズは、全長が約１００ｍｍと長く、さらに、この長い全長に対してレンズの占める割合が高い。このため、光がレンズを通る距離が長く、近紫外光の透過率を結果的に下げてしまうという問題があった。
【０００７】
また、特開平１０−２８２４２９号公報及び特開平１１−１４２７４４号公報に開示されている近紫外対物レンズは、長作動距離タイプであるため、上記同様に光学系が大きく、この光学系に対するレンズの占める割合が高い。このため、全体として近紫外の透過率の確保は難しい。
【０００８】
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、４００ｎｍ以下の近紫外に対して透過率を確保して高い結像性能を発揮できる近紫外対物レンズを提供することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するため、本発明の近紫外対物レンズは、物体側から順に、正の屈折力を持つ第１レンズ群Ｇ１と、正の屈折力を持つ第２レンズ群Ｇ２と、負の屈折力を持つ第３レンズ群Ｇ３とを備え、前記第１レンズ群Ｇ１は、物体側へ凹面を向けた少なくとも２つのメニスカスレンズと、少なくとも１つの接合レンズとを有し、前記第２レンズ群Ｇ２は、少なくとも２つの接合レンズを有し、前記接合レンズの少なくとも１つが３枚接合レンズからなり、前記第３レンズ群Ｇ３は、少なくとも１つの負レンズと、少なくとも１つの正レンズとを有し、前記正レンズは最も像側に配置され、ビグネッティングの発生を抑え、４００ｎｍ以下の波長に対しても所定の収差範囲内に収まるように構成されている。
【００１０】
上記に記載の近紫外対物レンズは、前記第１レンズ群Ｇ１の前記接合レンズのうち、少なくとも１つの接合面における正レンズのアッベ数をｖＩ、負レンズのアッベ数をｖＩＩとしたときに、条件式
１０　＜　ｖＩ−ｖＩＩ　＜　３０　（１）
ｖＩ　＞　８０　　　　　　　　　（２）
の条件を満足するように構成することが好ましい。
【００１１】
上記のいずれかに記載の近紫外対物レンズは、全系の焦点距離をｆ、前記第１レンズ群Ｇ１のうち最も物体側に配置されたレンズの焦点距離をｆ１１２としたときに、条件式
６．５　＜　ｆ１１２／ｆ　＜　１０．０　（３）
の条件を満足するように構成することが好ましい。
【００１２】
上記のいずれかに記載の近紫外対物レンズは、前記第３レンズ群Ｇ３の前記正レンズのうち最も短い焦点距離をｆｐ、前記第３レンズ群Ｇ３の前記負レンズのうち最も短い焦点距離をｆｍとしたときに、条件式
２　＜　ｆｐ／｜ｆｍ｜　＜　４．５　（４）
の条件を満足するように構成することが好ましい。
【００１３】
上記のいずれかに記載の近紫外対物レンズは、前記第２レンズ群Ｇ２の焦点距離をｆ２、前記第３レンズ群Ｇ３の焦点距離をｆ３としたときに、条件式
０．５　＜　ｆ２／｜ｆ３｜　＜　２．０　（５）
の条件を満足するように構成することが好ましい。
【００１４】
上記のいずれかに記載の近紫外対物レンズは、レンズ系の全長をＬ、前記第２レンズ群Ｇ２と前記第３レンズ群Ｇ３の間隔をｄ２３としたときに、条件式
０．２　＜　ｄ２３／Ｌ　＜　０．５　（６）
の条件を満足するように構成することが好ましい。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好ましい実施形態について説明する。本発明に係る近紫外対物レンズは、物体側から順に、正の屈折力を持つ第１レンズ群Ｇ１と、正の屈折力を持つ第２レンズ群Ｇ２と、負の屈折力を持つ第３レンズ群Ｇ３とを備える。そして、第１レンズ群Ｇ１は、物体側へ凹面を向けた少なくとも２つのメニスカスレンズと、少なくとも１つの接合レンズとを有し、第２レンズ群Ｇ２は、少なくとも２つの接合レンズを有し、この接合レンズの少なくとも１つが３枚接合レンズからなり、第３レンズ群Ｇ３は、少なくとも１つの負レンズと、少なくとも１つの正レンズとを有し、正レンズは最も像側に配置されている。さらに、ビグネッティングの発生を抑え、４００ｎｍ以下の波長に対しても所定の収差範囲内に収まるように構成されている。
【００１６】
まず、上記構成を採用した理由について説明する。本発明では、近紫外から可視域にわたる広い波長範囲で色収差を補正する必要がある。しかしながら、上述したように、近紫外の透過率を確保するためには、できるだけレンズを増やさないことが重要である。このため、上記のように第１レンズ群Ｇ１及び第２レンズ群Ｇ２に接合レンズを用いることにより、その接合面で効果的に色収差補正を行い、レンズの使用枚数を抑えることができるようになっている。
【００１７】
ここで、第１レンズ群Ｇ１は、有している接合レンズのうち、少なくとも１つの接合面における正レンズのアッベ数をｖＩ、負レンズのアッベ数をｖＩＩとしたときに、条件式（１）及び（２）を満足することが好ましい。
【００１８】
【数１】
１０　＜　ｖＩ−ｖＩＩ　＜　３０　（１）
ｖＩ　＞　８０　　　　　　　　　（２）
【００１９】
上記条件式（１）及び（２）は、第１レンズ群Ｇ１の接合レンズを構成する正レンズと負レンズとのアッベ数差及び正レンズのアッベ数の範囲を制限するためのものである。この条件式（１）及び（２）を満足することで、第１レンズ群Ｇ１は、軸上色収差の２次分散を補正することができる。
【００２０】
第１レンズ群Ｇ１のメニスカスレンズは、物体から出た光線のうち、大きな角度を持った（高ＮＡの）光線を、収差を抑えながら徐々に曲げていくためのものである。このように最も物体側に位置する第１レンズ群Ｇ１に、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズを設けることにより、高ＮＡ光線を面の法線と入射光線との角度差を余り大きくせずに、できるだけ球面収差が発生しないように第２レンズ群Ｇ２へと導くことができる。
【００２１】
ここで、より効果的に第２レンズ群Ｇ２に光線を導くためには、レンズ全系の焦点距離をｆ、前記第１レンズ群Ｇ１のうち最も物体側に配置されたレンズの焦点距離をｆ１１２としたときに、条件式（３）が満足されることが好ましい。
【００２２】
【数２】
６．５　＜　ｆ１１２／ｆ　＜　１０．０　（３）
【００２３】
上記条件式は、第１レンズ群Ｇ１の屈折力を制限するためのものである。この条件式（３）の上限値を上回ると、第２レンズ群Ｇ２へ入射する光線がより高い位置を通ることになり、収差補正に不利である。また、条件式（３）の下限値を下回ると、ペッツバール和が正に過大となり、収差補正が困難となる。
【００２４】
次に、第２レンズ群Ｇ２は、接合レンズを少なくとも２つ置き、さらに、これら接合レンズのうち少なくとも１つを３枚接合レンズにしており、これにより、本発明の光学系の中で最も高い位置を通る光線を、色収差等の諸収差を良好に補正することができる。
【００２５】
続いて、第３レンズ群Ｇ３は、少なくとも１枚ずつの負レンズ及び正レンズを有することにより、第２レンズ群Ｇ２までに発生した正の歪曲収差を補正することができる。
【００２６】
ここで、第３レンズ群Ｇ３の正レンズのうち最も短い焦点距離をｆｐ、第３レンズ群Ｇ３の負レンズのうち最も短い焦点距離をｆｍとしたときに、条件式（４）が満足されることが好ましい。
【００２７】
【数３】
２＜　ｆｐ／｜ｆｍ｜　＜　４．５　（４）
【００２８】
上記条件式（４）は、第３レンズ群Ｇ３における負レンズと正レンズのパワーを制限するものである。このような制限により、歪曲修差を効率よく補正して、第３レンズ群Ｇ３から出射した光線を平行光にすることができる。この条件式（４）の上限値を上回ると、正レンズのパワーが強すぎてしまい、収差補正に不利になる。また、条件式（４）の下限値を下回ると、正レンズのパワーが弱すぎて歪曲収差を補正することが困難となる。
【００２９】
また、上記の第２レンズ群Ｇ２の焦点距離をｆ２、第３レンズ群Ｇ３の焦点距離をｆ３としたときに、条件式（５）が満足されることが好ましい。
【００３０】
【数４】
０．５　＜　ｆ２／｜ｆ３｜　＜　２．０　（５）
【００３１】
上記条件式（５）は、第２レンズ群Ｇ２と第３レンズ群Ｇ３のパワーを制限するものである。この条件式（５）の上限値を上回ると、第２レンズ群Ｇ２で光線が余り曲げられず、第３レンズ群Ｇ３に高い位置から光線が入射することとなり、収差補正に不利である。また、条件式（５）の下限値を下回ると、第２レンズ群Ｇ２のパワーが大きくなりすぎ、収差が補正しきれなくなる。
【００３２】
また、本発明の近紫外対物レンズは、レンズ系の全長をＬ、第２レンズ群Ｇ２と第３レンズ群Ｇ３の間隔をｄ２３としたときに、条件式（６）が満足されることが好ましい。
【００３３】
【数５】
０．２　＜　ｄ２３／Ｌ　＜　０．５　（６）
【００３４】
上記条件式（６）は、本発明の近紫外対物レンズ系の全長に占めるレンズの部分を示すものである。本発明の近紫外対物レンズにおいて、近紫外の透過率を上げるためにできるだけレンズ（ガラス）の部分が少ない方がよい。条件式（６）の上限値を上回ると、第３レンズ群Ｇ３に入射する光線高が低くなりすぎ、効率よく第３レンズ群Ｇ３で光線を平行光にしつつ、歪曲収差を補正することが困難になる。また、条件式（６）の下限値を下回ると、レンズ系の全長に占めるレンズの割合が多くなり、透過率が下がってしまう。
【００３５】
【実施例】
以下に、本発明の近紫外対物レンズの実施例について図を用いて説明する。各実施例において、本発明の近紫外対物レンズは、物体側から順に、正の屈折力を持つ第１レンズ群Ｇ１と、正の屈折力を持つ第２レンズ群Ｇ２と、負の屈折力を持つ第３レンズ群Ｇ３とを備えている。第１レンズ群Ｇ１は、物体側へ凹面を向けた少なくとも２つのメニスカスレンズと、少なくとも１つの接合レンズとを有している。第２レンズ群Ｇ２は、少なくとも２つの接合レンズを有し、この接合レンズの少なくとも１つが３枚接合レンズからなる。第３レンズ群Ｇ３は、少なくとも１つの負レンズと、少なくとも１つの正レンズとを有し、この正レンズは最も像側に配置されている。このような構成により、ビグネッティングの発生を抑え、４００ｎｍ以下の近紫外に対しても透過率を確保して高い結像性能を発揮できるようになっている。
【００３６】
各実施例において収差特性の算出対象としてｄ線、ｇ線、ｈ線、ｉ線を選んでおり、これらの波長を下の表１に示す。
【００３７】
【表１】

【００３８】
各実施例の近紫外対物レンズは無限遠設計されているため、近紫外対物レンズの像側に１２０ｍｍの軸上空気空間を隔てて結像レンズ（第２対物レンズ）を配置し、近紫外対物レンズと結像レンズとの組み合わせにより有限光学系を形成している。なお、以下の各実施例において示す諸収差図は、近紫外対物レンズと結像レンズとの軸上空気空間が１２０ｍｍの場合の諸収差図である。ただし、軸上空気間隔がある程度変化しても、修差の変動がほとんどないことを本発明者は検証している。
【００３９】
図７は、各実施例における結像レンズの構成を示している。図７に示すように、各実施例における結像レンズは、物体側から順に、両凸レンズＬ４１ａと両凹レンズＬ４１ｂとの接合正レンズＧ４と、両凸レンズＬ４２ａと両凹レンズＬ４２ｂとの接合正レンズＧ５とから構成されている。また、表２に、各実施例における結像レンズの諸元値を表２に示す。表中、第１欄ｍは物体側からの各レンズ面の番号、第２欄ｒは各レンズ面の曲率半径（曲率中心が物体側にあるときは正とする）、第３欄ｄは各レンズ面から次のレンズ面（又は像面）までの光軸上の距離、第４欄ｎｄは各レンズ面から次のレンズ面までのレンズ（空欄は空気）のｄ線に対する屈折率、第５欄νｄは当該レンズのｄ線を基準としたアッベ数、第６欄は当該レンズのレンズ番号、第７欄は当該レンズの群番号をそれぞれ示している。
【００４０】
【表２】

【００４１】
上記構成の結像レンズと後述する各実施例における近紫外対物レンズとを組み合わせると、倍率６４倍、視野数φ２８ｍｍとなる。また、各実施例において、焦点距離ｆ＝３．３４ｍｍ、開口数ＮＡ＝０．７２である。
【００４２】
（第１実施例）
図１は、本発明の第１実施例に係る近紫外対物レンズの構成を示す図である。図１の近紫外対物レンズにおいて、第１レンズ群Ｇ１は、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１１と、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１２と、両凹レンズＬ１３ａ，両凸レンズＬ１３ｂからなる２枚結合レンズＬ１３とを有している。
【００４３】
第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、両凸レンズＬ１４ａ，両凹レンズＬ１４ｂ，両凸レンズＬ１４ｃからなる３枚接合レンズＬ１４と、像側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ１５ａ，両凸レンズＬ１５ｂ，物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ１５ｃからなる３枚接合レンズＬ１５とを有している。
【００４４】
第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、両凹レンズＬ１６と、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ１７と、両凸レンズＬ１８とを有している。なお、図中の番号は物体側からの各レンズ面の番号を示している。
【００４５】
このように図１に示した本発明の第１実施例における各レンズの諸元を表３に示す。表中、第１欄ｍは物体側からの各レンズ面の番号、第２欄ｒは各レンズ面の曲率半径、第３欄ｄは各レンズ面から次の光学面（又は像面）までの光軸上の距離、第４欄ｎｄはｄ線に対する屈折率、第５欄νｄは当該レンズのｄ線を基準としたアッベ数、第６欄は当該レンズのレンズ番号、第７欄は当該レンズの群番号をそれぞれ示している。また、前記条件式（１）〜（６）に対応する値、すなわち条件対応値も示している。なお、以上の表の説明は、他の実施例においても同様である。
【００４６】
【表３】

【００４７】
このように第１実施例では、上記条件式（１）〜（６）は全て満たされることが分かる。
【００４８】
図２は、第１実施例の球面収差、非点収差、コマ収差及び歪曲収差を示す図である。各収差図において、ＮＡは開口数を、Ｙは像高を、ｄはｄ線を、ｇはｇ線を、ｈはｈ線を、ｉはｉ線をそれぞれ示している。非点収差図とコマ収差図及び歪曲収差図では、基準光線としてのｄ線に対する収差を示している。さらに、非点収差図では、実線はサジタル像面を示し、破線はメリディオナル像面を示している。また、コマ収差（Ａ）では、メリディオナル光線の横収差を示している。コマ収差（Ｂ）のうち、右半分はサジダル光線のサジタル方向の横収差を示し、左半分はサジタル光線のメリディオナル方向の横収差を示している。以上の収差図の説明は、他の実施例においても同様である。
【００４９】
図２中の各収差図から明らかなように、第１実施例では、諸収差が良好に補正され、高い結像性能が確保されていることが分かる。
【００５０】
（第２実施例）
図３は、本発明の第２実施例に係る近紫外対物レンズの構成を示す図である。図３の近紫外対物レンズにおいて、第１レンズ群Ｇ１は、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ２１と、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ２２と、両凹レンズＬ２３ａ，両凸レンズＬ２３ｂからなる２枚結合レンズＬ２３とを有している。
【００５１】
第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、両凹レンズＬ２４ａ，両凸レンズＬ２４ｂからなる２枚結合レンズＬ２４と、両凸レンズＬ２５ａ，物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ２５ｂからなる２枚接合レンズＬ２５と、像側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ２６ａ，両凸レンズＬ２６ｂ，物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ２６ｃからなる３枚接合レンズＬ２６とを有している。
【００５２】
第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、両凹レンズＬ２７と、両凸レンズＬ２８とを有している。
【００５３】
このように図３に示した本発明の第２実施例における各レンズの諸元を表４に示す。
【００５４】
【表４】

【００５５】
このように第２実施例では、上記条件式（１）〜（６）は全て満たされることが分かる。図４は、第２実施例の諸収差図である。各収差図から明らかなように、第２実施例では、諸収差が良好に補正され、高い結像性能が確保されていることが分かる。
【００５６】
（第３実施例）
図５は、本発明の第１実施例に係る近紫外対物レンズの構成を示す図である。図５の近紫外対物レンズにおいて、第１レンズ群Ｇ１は、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ３１と、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ３２と、両凹レンズＬ３３ａ，両凸レンズＬ３３ｂからなる２枚結合レンズＬ３３とを有している。
【００５７】
第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、像側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ３４ａ，両凸レンズＬ３４ｂからなる２枚結合レンズＬ３４と、両凸レンズＬ３５ａ，物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ３５ｂからなる２枚接合レンズＬ３５と、像側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ３６ａ，両凸レンズＬ３６ｂ，両凹レンズＬ３６ｃからなる３枚接合レンズＬ３６とを有している。
【００５８】
第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、両凹レンズＬ３７と、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ３８と、両凸レンズＬ３９とを有している。
【００５９】
このように図５に示した本発明の第３実施例における各レンズの諸元を表５に示す。
【００６０】
【表５】

【００６１】
このように第３実施例では、上記条件式（１）〜（６）は全て満たされることが分かる。図６は、第３実施例の諸収差図である。各収差図から明らかなように、第３実施例では、諸収差が良好に補正され、高い結像性能が確保されていることが分かる。
【００６２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、近紫外から可視域までの色収差，歪曲収差等の諸収差が良好に補正されており、各収差図に見られる通りの高性能な近紫外対物レンズを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施例に係る近紫外対物レンズの構成を示す断面図である。
【図２】第１実施例の球面収差、非点収差、コマ収差及び歪曲収差を示す収差曲線図である。
【図３】本発明の第２実施例に係る近紫外対物レンズの構成を示す断面図である。
【図４】第２実施例の収差曲線図である。
【図５】本発明の第３実施例に係る近紫外対物レンズの構成を示す断面図である。
【図６】第３実施例の収差曲線図である。
【図７】上記実施例における結像レンズの構成を示す図である。
【００６３】
【符号の説明】
Ｇ１　　第１レンズ群
Ｇ２　　第２レンズ群
Ｇ３　　第３レンズ群
Ｌ　　　各レンズ成分

Claims

物体側から順に、正の屈折力を持つ第１レンズ群Ｇ１と、正の屈折力を持つ第２レンズ群Ｇ２と、負の屈折力を持つ第３レンズ群Ｇ３とを備え、
前記第１レンズ群Ｇ１は、物体側へ凹面を向けた少なくとも２つのメニスカスレンズと、少なくとも１つの接合レンズとを有し、
前記第２レンズ群Ｇ２は、少なくとも２つの接合レンズを有し、前記接合レンズの少なくとも１つが３枚接合レンズからなり、
前記第３レンズ群Ｇ３は、少なくとも１つの負レンズと、少なくとも１つの正レンズとを有し、前記正レンズは最も像側に配置され、
ビグネッティングの発生を抑え、４００ｎｍ以下の波長に対しても所定の収差範囲内に収まるように構成されていることを特徴とする近紫外対物レンズ。
前記第１レンズ群Ｇ１の前記接合レンズのうち、少なくとも１つの接合面における正レンズのアッベ数をｖＩ、負レンズのアッベ数をｖＩＩとしたときに、条件式
１０　＜　ｖＩ−ｖＩＩ　＜　３０　（１）
ｖＩ　＞　８０　　　　　　　　　（２）
の条件を満足することを特徴とする請求項１に記載の近紫外対物レンズ。
全系の焦点距離をｆ、前記第１レンズ群Ｇ１のうち最も物体側に配置されたレンズの焦点距離をｆ１１２としたときに、条件式
６．５　＜　ｆ１１２／ｆ　＜　１０．０　（３）
の条件を満足することを特徴とする請求項１又は２に記載の近紫外対物レンズ。
前記第３レンズ群Ｇ３の前記正レンズのうち最も短い焦点距離をｆｐ、前記第３レンズ群Ｇ３の前記負レンズのうち最も短い焦点距離をｆｍとしたときに、条件式
２　＜　ｆｐ／｜ｆｍ｜　＜　４．５　（４）
の条件を満足することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の近紫外対物レンズ。
前記第２レンズ群Ｇ２の焦点距離をｆ２、前記第３レンズ群Ｇ３の焦点距離をｆ３としたときに、条件式
０．５　＜　ｆ２／｜ｆ３｜　＜　２．０　（５）
の条件を満足することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の近紫外対物レンズ。
レンズ系の全長をＬ、前記第２レンズ群Ｇ２と前記第３レンズ群Ｇ３の間隔をｄ２３としたときに、条件式
０．２　＜　ｄ２３／Ｌ　＜　０．５　（６）
の条件を満足することを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の近紫外対物レンズ。