JP2004061727A - 光源用モジュールおよび光源装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】LDバーにおけるLDの数を有効に増大させて、光源としての出力を増大させることができ、なおかつ、位置関係の誤差に影響され難い新規な光源用モジュールを実現する。
【解決手段】LDバーからの光を、1本の光ファイバに結合させる光源用モジュールにおいて、共軸コリメートレンズアレイ12が、各LDから放射される発散光束を平行光束化した平行光束群を、光束配列重層化手段M11、M12、M21、M22により配列方向に分割して、配列方向に直交する方向に近接させて重層化する。LD配列方向における横倍率が有効に小さく設定される。
【選択図】         図2

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は光源用モジュールおよび光源装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
N(≧2)個のLD(半導体レーザ)を、各発光部がその長手方向に連なるようにして、1列に配列一体化してなるLDバーからの光を、1本の光ファイバに結合させる光源用モジュールの開発が、各種の光照射装置の光源部に関連して意図されている。
【0003】
このような光源用モジュールにおいて「光源としての出力」を大きくするため、LDバーを構成するLDの数:Nを増大させると、光結合の横倍率が大きくなり、集光スポット径が光ファイバのコア径より大きくなって光結合効率が低下し、出力を大きくするという目的を達成できなくなったり、あるいは「LDバー、光源用モジュール、光ファイバ相互の位置関係のずれ」により集束スポット位置が大きく変動するので上記位置関係に高精度が必要となり、上記位置関係の僅かな誤差により光結合効率が大きく低下してしまったりする問題がある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
この発明は、LDバーにおけるLDの数を有効に増大させて、光源としての出力を増大させることができ、なおかつ、LDバー・光源用モジュール・光ファイバ相互の位置関係の誤差に影響され難い、新規な光源用モジュールの実現を課題とする。
【0005】
この発明はまた、上記光源用モジュールとLDバーとを組合せた新規な光源装置の実現を課題とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
この発明の光源用モジュールは「N(≧2)個のLDを、各発光部がその長手方向に連なるようにして、1列に配列一体化してなるLDバーからの光を、1本の光ファイバに結合させる光源用モジュール」であって、光結合手段として、共軸コリメートレンズアレイと、集光用共軸レンズと、光束配列重層化手段とを有する(請求項1)。
「光結合手段」は、光源用モジュールを構成する光学系である。
【0007】
「共軸コリメートレンズアレイ」は、N個のコリメートレンズを、LDバーにおけるLDの配列に応じて配列一体化してなり、LDバーのN個のLDから放射される発散光束をそれぞれ平行光束化する。
【0008】
「集光用共軸レンズ」は、共軸コリメートレンズアレイにより平行光束化された各光束を、1本の光ファイバの入射端面に集光するレンズである。
【0009】
「光束配列重層化手段」は、共軸コリメートレンズアレイにより平行光束化され、LD配列方向に配列する平行光束群を、配列方向にn(≧2)分割し、上記配列方向に直交する方向へ、互いに近接するn層、即ち、上記配列方向に直交する方向に、互いに接してもしくは微小な間隙を隔して重層化する手段である。
【0010】
「光結合手段の横倍率」は、有効に小さく設定される。
即ち、上記分割数:nは、LDバーにおけるLD数:Nに応じて「光結合手段の横倍率が有効に小さく設定できる」ように定められる。なお、平行光束群のn分割は「等分割」である必要は無い。
【0011】
請求項1記載の光源用モジュールにおける「光束配列重層化手段」は、共軸コリメートレンズアレイにより平行光束化されてLD配列方向に配列する平行光束群を配列方向にn分割し、分割されたn−1の平行光束群を、上記配列方向に直交する方向へ所定距離だけ平行移動的にずらすためのn−1対の「第1鏡面対」と、これら第1鏡面対によりずらされたn−1の平行光束群を、上記配列方向へ所定の距離だけ平行移動的にずらして、全平行光束をn層に重層化させるn−1対の「第2強面対」とによるn−1個の「鏡面対手段」として構成することができる(請求項2)。
【0012】
即ち、n−1個の鏡面対手段の個々は、第1鏡面対とこれに対応する第2鏡面対により構成される。これらn−1個の鏡面対手段は、これを構成する第1鏡面対とこれに対応する第2鏡面対とを「プリズムとして一体化」することができる(請求項3)。この場合、n−1個の鏡面対手段の個々をプリズムとして一体化しても良いし、複数の鏡面対手段をプリズムとして一体化しても良く、n−1個の鏡面対手段全体を1個のプリズムとして一体化しても良い。
【0013】
このようにする代わりに、個々の第1鏡面対、第2鏡面対を別体のプリズムとして構成し(この場合も、第1鏡面対、第2鏡面対は、それぞれ2以上をプリズムとして一体化することもできる)、これらプリズムを組合せて鏡面対手段とすることもできるし、第1および/または第2鏡面対をそれぞれ「平面鏡の対」として構成しても良く、さらには、第1・第2鏡面対の「一方を平面鏡の対、他方をプリズム」として組合せることもできる。
【0014】
請求項1または2または3記載の光源用モジュールは「共軸コリメートレンズアレイにより平行光束化されてLD配列方向に配列する平行光束群の配列幅を、配列方向に圧縮する光束配列幅圧縮手段」を有することができる(請求項4)。
【0015】
この請求項4記載の光源用モジュールの光束配列幅圧縮手段は「共軸コリメートレンズアレイの各コリメートレンズにより平行光束化された光束をそれぞれ2回反射させ、LD配列方向における光束間隔を減少させる反射手段」であることができる(請求項5)。
【0016】
上記請求項4記載の光源用モジュールにおいては、共軸コリメートレンズアレイを「LDバーにおける個々のLDから放射される発散光束における発散角比に応じて、互いに直交する2方向におけるレンズ径を設定されたコリメートレンズを、レンズ径の小さい方向を配列方向にしてアレイ化したもの」として、平行光束化された光束の配列幅を圧縮する機能を持たせ「光束配列幅圧縮手段」を兼ねさせることができる(請求項6)。
【0017】
上記請求項6記載の光モジュールにおける「共軸コリメートレンズアレイ」は、「配列方向のレンズ径が小さいガラス研磨レンズによるコリメートレンズをN個接合したもの」もしくは「配列方向のレンズ径が小さいN個のコリメートレンズを、エッチング加工もしくはモールドにより一体に形成されたガラスレンズアレイ」もしくは「配列方向のレンズ径が小さいN個のコリメートレンズを、樹脂成形により一体に形成された樹脂レンズアレイ」もしくは「配列方向のレンズ径が小さく、回折によるコリメート作用を有するN個のコリメートレンズを一体とした回折光学素子レンズアレイ」もしくは「配列方向のレンズ径が小さく、屈折率分布によるコリメート作用を有するN個のコリメートレンズを一体とした屈折率分布型レンズアレイ」の何れかであることができる(請求項7)。
【0018】
また、上記請求項1〜7の任意の1に記載の光源用モジュールにおける「集光用共軸レンズ」は、「研磨によるガラスレンズ」もしくは「ガラスモールドレンズ」もしくは「樹脂成形レンズ」もしくは「回折光学素子レンズ」もしくは「屈折率分布レンズ」の何れかであることができる(請求項8)。
【0019】
上記請求項1〜8の任意の1に記載の光源用モジュールにおける「光結合手段の横倍率」は10倍以下であることが好ましい(請求項9)。
【0020】
この発明の光源装置は、上記請求項1〜9の任意の1に記載の光源用モジュールとLDバーとを組合せてなる(請求項10)。
【0021】
発明の実施の形態を説明するに先立って「光結合手段の横倍率」と、その低減方法を説明する。
【0022】
図1は、共軸コリメートレンズアレイと、集光用共軸レンズとにより、LDバーの各LDからの光束を光ファイバの入射端面に結合させる状態を模式的に示している。図1の上の図は、水平方向図で(X−Z面)での結合の様子を示し、下の図は垂直方向図で(Y−Z面)での結合の様子を示す。
【0023】
周知の如く、LD(半導体レーザ)の発光部は長方形形状を有し、LDバーは「N(≧2)個のLDを、各発光部がその長手方向に連なるようにして、1列に配列一体化」した構成となっている。このような構成で、LDの配列方向、即ち「個々のLDにおける発光部の長手方向」がX方向であり、各LDから放射される発散性レーザ光束の主光線の方向がZ方向である。そして、これらX、Z方向に直交する方向がY方向である。
【0024】
図1において、符号P0は、LDバーにおける「発光部の配列している面」を示している。周知の如く、LDの発光部から放射される発散性の光束は、その発散角が一様でなく、上記発光部の長手方向に平行な面内、即ち水平方向(X−Z面)において発散角は最小の値:θ(以下「最小発散角」という)をとり、発光部の長手方向に直交する面内、即ち、垂直方向(Y−Z面)において発散角は最大の値:θ(以下「最大発散角」という)をとる。
【0025】
図1には、θ:θ=1:3の場合が示されている。
図1は、共軸コリメートレンズアレイにおける、個々の共軸コリメートレンズL1が円形状で「有効径の周辺部」で互いに接し、ピッチ:Pで配列されている場合を示している。図中の符号P1は、個々の共軸コリメートレンズ(薄いレンズ)の「主平面」を示している。
【0026】
個々の共軸コリメートレンズL1の有効径は、図1の下図のように、最大発散角:θの光束をコリメートできる大きさに定められている。従って、個々の共軸コリメートレンズL1によりコリメートされた光束は、図1下図のように、垂直方向には「有効径:Dに等しい光束径」を持った平行光束となる。
【0027】
一方、最小発散角:θは、最大発散角:θの1/3であるから、個々の共軸コリメートレンズL1によりコリメートされた光束が水平方向において持つ光束径:Dは前記有効径:Dの1/3になる。
【0028】
このようにして、共軸コリメートレンズアレイにより平行光束化されたN本の平行光束群は、集光用共軸レンズL2(薄いレンズとし、その主平面を符号P2により示す)により集光され、1本の光ファイバの入射端面P3上に結像する。
【0029】
上に述べたところを「近軸理論」で説明する。
共軸コリメートレンズアレイにおける個々の共軸コリメートレンズL1の焦点距離をf、集光用共軸レンズL2の焦点距離をfとする。
共軸コリメートレンズL1における水平方向のNA(開口数)をaとすると、
a=D/2f
で、これから
=a・2f      (1)
が得られる。
【0030】
最大発散角:θ=3θであるから、垂直方向のNAは、
3a=D/2f
であり、これから
=3a・2f     (2)
となる。即ち、
=3D
である。また共軸コリメートレンズL1は円形レンズであるので、
=3D=P      (3)
となる。
【0031】
これらN本の光束を集光用共軸レンズL2により、1本の光ファイバの入射端面に集光することになるが、光ファイバのNAをbとすると、水平方向に関しては、本来、光源側の「NA=aの光束をN本」取り込めればよいはずであるが、共軸コリメートレンズL1が円形レンズであるため、垂直方向と同様に「光源側のNA=3a、光ファイバ側:NA=b/N」の光束をN本取り込めるようにする必要がある。
【0032】
即ち、集光用共軸レンズL2は、水平方向に関しては、図1上図における幅:Dの光束をNA=bの光ファイバに集光させねばならない。
【0033】
一般的な関係式:NA=D/2f(D:光束径、f:焦点距離)により、
光源側では、3a=D/2fから、
=D/6a        (4)
であり、光ファイバ側では、b=D/2f=ND/2fにより、
=ND/2b       (5)
となる。
【0034】
共軸コリメートレンズL1と集光用共軸レンズL2との合成系、即ち「光結合手段」の横倍率:βは、
β=f/f=(ND/2b)/(D/6a)=3aN/b  (6)
で与えられる。
【0035】
図1の如き光結合形態の場合につき、具体的な計算を行ってみる。
1例として、光源側のNAが水平方向につきa=0.15、垂直方向につき3a=0.45で、光ファイバのNA=b=0.2、LDの配列数:N=16であるとすると、横倍率:β=3aN/b=3×0.15×16/0.2=36となる。
【0036】
LDバーにおける個々のLDの発光部(エミッション・エリア)のサイズを、水平方向:2μm、垂直方向:1μmとすると、上記の光結合手段により光ファイバの入射端面に結像する発光部像の大きさは、72μm×36μmとなる。光ファイバのコア径が50μmであるとすると、上記発光部像はコア径内に納まらず、光結合効率が低下することになる。
【0037】
また、横倍率:βが36倍と大きいため、例えば、光結合手段に対してLDバーが僅かにずれても発光部像は大きく変位してしまうため、LDバー、光結合手段、光ファイバの位置関係誤差の影響を受けやすい。
【0038】
上に述べたところから、LDバーにおけるLDの配列数:Nを増大させて光出力を増大しつつ光結合効率の低下を防ぎ、なおかつ、位置関係の誤差に影響され難くするには、光結合手段の横倍率:βを小さくするのが有効であり、この発明においては、光結合手段の横倍率:βを小さく設定する。
【0039】
「光結合手段」の横倍率:βは、β=f/fであるから、横倍率:βを小さくするには、焦点距離:fを小さくするか、焦点距離:fを大きくすればよい。しかし、LDからの放射レーザ光束が発散性であることを考えると、共軸コリメートレンズの焦点距離:fを大きくすることは、共軸コリメートレンズの有効径が大きくなることを意味し、光源用モジュールのコンパクト化の面から好ましくない。
【0040】
一方、集光用共軸レンズの焦点距離:fを小さくすることは、光源用モジュールのコンパクト化に有利である。
なお、上において、式(1)〜(6)は、θ:θ=1:3の場合を例にとって説明したが、式(1)〜(6)を、θ:θ=1:mの場合に一般化することは容易であり、結果を示せば以下の如くになる。
【0041】
=a・2f      (11)
=ma・2f     (12)
=mD=P      (13)
=D/2ma     (14)
=ND/2b     (15)
β=f/f=maN/b (16)
式(11)〜(16)が式(1)〜(6)に対応する。
【0042】
横倍率:βを低減するのに有効な方法として、共軸コリメートレンズアレイにより平行光束化された平行光束群の配列方向(上の説明における水平方向)における平行光束群の配列幅を「水平方向に圧縮」する方法がある。
【0043】
今1つ、横倍率の低減に有効な方法として、集光用共軸レンズにおける「垂直方向におけるNA(開口数)の余裕を利用する」ことが考えられる。図1の場合を例に取ると、集光用共軸レンズL2は、水平方向にはNA:bを必要とするのに対し、垂直方向にはその1/Nでよく、垂直方向のNAに大きな余裕がある。
【0044】
この発明においては、第1に集光用共軸レンズにおける垂直方向のNAの余裕を利用し、平行光束群を光束配列方向である水平方向に分割し、分割された各平行光束群を垂直方向(光束配列方向に直交する方向)に重層させることにより、集光用共軸レンズの「水平方向のNAの低減」を図る。
【0045】
第2に、上記平行光束群の重層化と共に平行光束群の水平方向の配列幅を圧縮することにより更に開口数の低減を図る。
【0046】
【発明の実施の形態】
以下、実施の形態を説明する。
図2は、この発明の実施の1形態を図1に倣って示している。
【0047】
図2上図の「水平方向図」に示すように、LDバーは16個の発光部(図では光源)を水平方向へ配列されている。これら16個の発光部から放射された各光束は共軸コリメートレンズL1のアレイ(共軸コリメートレンズアレイ)により平行光束化され「16本の平行光束群が水平方向に互いに平行に配列する」ようになる。
【0048】
これら16本の平行光束群のうち、水平方向図における下半分の8本の平行光束による平行光束群は、図2下図の「垂直方向図」のように「第1鏡面対」を構成する、互いに平行でY方向に45度傾いたミラー面M11、M12により順次反射されることにより、垂直方向へ「この方向の光束幅:Dだけ」ずれる。
【0049】
そして、このようにずれた8本の平行光束群は、図2上図の「水平方向図」に示すように「第2鏡面対」を構成するミラー面M21、M22(互いに平行でZ方向に45度傾いている)により順次反射される。
【0050】
第2鏡面対M21、M22により反射された8本の平行光束群は、図2の水平方向図における「上半分の8本の平行光束群」とX方向において互いに重なり合い(水平方向図参照)、垂直方向であるY方向には「光束幅:Dだけずれ」て重なり合う(垂直方向図参照)。
【0051】
図2においては、図の繁雑を避けるために、水平方向図においては第1鏡面対が図示されず、垂直方向図においては第2鏡面対が図示されていない。
図3(a)は、図2に示した実施の形態を概念的に斜視図として示している。符号10は「LDバーにおける発光部を連ねた直線(光源部という)」を示し、簡単のため「光源部から、X方向に一連なりになった光束が放射される」ものとしている。この光束は、共軸コリメートレンズ12の作用で、一連なりの平行光束(図2に対応させると、16本の平行光束群)になる。
【0052】
この平行光束群におけるX方向の半分は、第1鏡面対をなすミラー面M11、M12により順次反射され、垂直方向(Y方向)の光束幅分(図2に示す光束幅:D)だけY方向にずらされる。このようにずらされた平行光束部分は、第2鏡面対をなし互いに平行でX方向に対して45度傾いたミラー面M21、M22より順次反射される。
【0053】
このようにして結局、共軸コリメートレンズアレイで平行光束とされた平行光束群は「X方向に2分割され、Y方向には2重に重層化され」る。
【0054】
第1鏡面対をなすミラー面M11、M12と、第2鏡面対を成すミラー面M21、M22は、例えば、図3(b)、(c)に示すように「一体」のプリズム14として構成できる。図3(b)は側面図、図3(c)は平面図である。
【0055】
即ち、図2、図3に即して説明した実施の形態では、N(=16)個のLDを、各発光部がその長手方向(X方向)に連なるようにして1列に配列一体化してなるLDバーからの光を、1本の光ファイバに結合させる光源用モジュールにおいて、光結合手段として、共軸コリメートレンズアレイ(共軸コリメートレンズL1のアレイ)と、集光用共軸レンズL2’と、光束配列重層化手段(ミラー面M11、M12、M21、M22により構成される)とを有し、共軸コリメートレンズアレイは、N(=16)個の共軸コリメートレンズL1を、LDバーにおけるLDの配列に応じて配列一体化してなり、N個のLDから放射される発散光束をそれぞれ平行光束化するものであり、集光用共軸レンズL2’(その焦点距離を「f’」とし、主平面を符号P2で示す)は、共軸コリメートレンズアレイにより平行光束化された各光束を、1本の光ファイバの入射端面P3に集光するレンズであり、光束配列重層化手段は、共軸コリメートレンズアレイL1により平行光束化されてLD配列方向に配列する平行光束群を配列方向(X方向)にn(=2)分割し、配列方向に直交する方向(Y方向)へ互いに近接するn層に重層化する手段である。
【0056】
また「光束配列重層化手段」は、共軸コリメートレンズアレイにより平行光束化されてLD配列方向に配列する平行光束群を配列方向にn(=2)分割し、分割されたn−1の平行光束群を、配列方向(X方向)に直交する方向(Y方向)へ所定距離だけ平行移動的にずらすためのn−1対の第1鏡面対M11、M12と、これら第1鏡面対によりずらされたn−1の平行光束群を、配列方向へ所定の距離だけ平行移動的にずらして、全平行光束をn層に重層化させるn−1対の第2鏡面対M21、M22とによる、n−1個の「鏡面対手段」により構成されている(請求項2)。
【0057】
そして、各鏡面対手段における第1鏡面対およびこれに対応する第2鏡面対とが、プリズム14として一体化されている(請求項3)。
【0058】
また、このような構成により「光結合手段の横倍率を有効に小さく設定」している(請求項1)。
【0059】
実際に、θ=3θ、即ち、発散角比:m=3として計算を行ってみる。N=16であるから、上述の式(14)〜(16)により、f=D/2ma=D/6a、f’=ND/4b、β=f’/f=6aN/4b=6a・16/4b=24a/bとなる。なお「重層化された平行光束群」の垂直方向の光束径は「2D」であり、集光用共軸レンズL2は、8Dだけの光束幅を光ファイバの開口数:bに適合させるから、垂直方向のNAの余裕は十分である。
【0060】
上記の「β=24a/b」を、先に説明した「平行光束群の分割・重層化を行わない」場合の「β=f/f=maN/b=3a・16/b=48a/b」と比較すれば明らかなように、平行光束群の分割・重層化を行ったことにより、横倍率:βは1/2に低減化されている。
【0061】
先の具体例である、光源側のNAが水平方向につきa=0.15、垂直方向につき3a=0.45で、光ファイバのNA=b=0.2、LDの配列数:N=16の場合については、横倍率:β=18となる。
【0062】
LDバーにおける個々のLDの発光部(エミッション・エリア)のサイズが、水平方向:2μm、垂直方向:1μmであれば、上の実施の形態における光結合手段により光ファイバの入射端面に結像する発光部像の大きさは、36μm×18μm(対角線長:40.14μm)となり、コア径:50μmの光ファイバを用いても、発光部像はコア径内に十分に納まり、光結合効率の低下がない。
【0063】
また、横倍率:βが18倍と小さくなったことに伴ない、LDバー・光結合手段・光ファイバの位置関係誤差の影響も低減される。
【0064】
次ぎに、光束配列幅圧縮手段による光束配列幅の圧縮による横倍率の低減化を説明する。
LDバーにおけるLD配列方向である「水平方向」の横倍率:βを小さくするには、図1上図の「N本の平行光束の配列幅:D」を小さくすればよい。光ファイバに結合させるべきN本の平行光束は、個々には水平方向に幅:Dを有するが、ピッチ:P=mD(図1ではm=3)で配列しているため、隣接する平行光束間に(m−1)Dの「隙間」がある。
【0065】
従って、水平方向におけるN本の平行光束の配列幅(上記:D)を小さくするには、上記「隙間」を小さくするか無くせば良い。「光束配列幅圧縮手段」は、この目的のために用いられる。
【0066】
図4は「請求項5記載の光源用モジュール」の実施の1形態を特徴部分のみ模式的に示している。符号LDBはLDバー(の発光部の配列面)を示す。図の簡単化のために、LDの配列数:Nを3としている。各LDから放射される発散光束の最小発散角:θ、最大発散角:θは、θ:θ=1:3を満足する(発散角比:m=3)ものとしている。符号P1は、共軸コリメートレンズアレイにおける各共軸コリメートレンズ(薄いレンズ)の「主面」を示している。
【0067】
この実施の形態においては、光束配列幅圧縮手段20は、共軸コリメートレンズアレイCLAの各コリメートレンズにより平行光束化された光束FL1、FL2、FL3をそれぞれ2回反射させ、LD配列方向における光束間隔を減少させる反射手段である。
【0068】
即ち、平行光束FL1は反射面2011、2012により順次反射され、平行光束FL2は反射面2021、2022により順次反射され、平行光束FL3は反射面2031、2032により順次反射される。
【0069】
図4に示すように、反射面2011、2012、2021、2022、2031、2032の位置関係により、これら反射面により2回反射された平行光束FL1、FL2、FL3は、配列幅が、反射前における配列幅:DからD/3に圧縮されている。このようにすると、光結合手段の横倍率:βを、光束配列幅圧縮手段を用いない場合(図1の場合)に比して1/3に小さくできる。
【0070】
図4における反射面2011、2012、2021、2022、2031、2032はミラー面として形成しても良いしプリズム面としてもよい。プリズム面とする場合には、反射面2011、2012、2021、2022、2031、2032を持つ「単体のプリズム部材」として光束配列幅圧縮手段20を構成することができる。
【0071】
図4に示すような光束配列幅圧縮手段は、共軸コリメートレンズアレイと、光束配列重層化手段との間に配置することができる。
【0072】
図5を参照して「請求項6記載の光源用モジュール」の特徴部分を説明する。図1に即した説明では、共軸コリメートレンズアレイにおける各共軸コリメートレンズL1は「円形レンズ」であって、その有効径:Dは「LDから放射される発散性の光束の最大発散角:θの光束を取り込める大きさ」に設定されていた。
【0073】
しかしながら、円形レンズを用いた場合、図5(a)に示すように、垂直方向には幅:Dの光束を取り込む必要があっても、水平方向に関しては「幅:Dの光束を取り込むだけの幅」があればよく、実際に必要なレンズ面は図5(a)において「斜線を施した部分のみ」である。
【0074】
そこで図5(b)に示すように、共軸コリメートレンズアレイCLAとして、LDバーにおける個々のLDから放射される発散光束における発散角比:m(=θ:θ)に応じて「互いに直交する2方向におけるレンズ径を設定」されたコリメートレンズCL(図5(a)に示す「斜線を施した部分」の形状を持つ)を、レンズ径の小さい方向を配列方向(図5(b)で左右方向)にしてアレイ化したものを「配列方向がLDバーのLD配列方向に対応する」ようにして用いれば、共軸コリメートレンズアレイCLA自体「平行光束化された光束の配列幅を圧縮する機能(図1で、水平方向における「平行光束間の光束のない領域」を減少もしくはなくす機能)」を有し、光束配列幅圧縮手段を兼ねることができる。
【0075】
図5(b)において、Dは「コリメートレンズCLの垂直方向の有効径」である。Dは「コリメートレンズCLの水平方向の有効径」であって、図の例ではLDバーにおけるLDの配列ピッチ:Pに等しい。
【0076】
先の説明した図2の実施の形態において、上の計算例では、共軸コリメートレンズアレイの各共軸コリメートレンズL1を円形レンズとし、共軸コリメートレンズアレイにより平行光束化された平行光束群は水平方向にN・Dの幅を持つとしたが、図2の実施の形態は実際には、共軸コリメートレンズアレイが図5に即して説明したような「光束配列幅圧縮手段を兼ね」たものであり、このため、平行光束化された各光束は、図示の如く水平方向においてはD(=D/3)となっている。
【0077】
このような「光束配列幅圧縮手段を兼ねた共軸コリメートレンズアレイ」を用いたことにより、図2の実施の形態では、共軸コリメートレンズアレイで形成された平行光束群は既に、水平方向に1/3に圧縮されており、上記光束配列重層化手段により水平方向にさらに1/2にされるから、水平方向に配列した光束幅は、図1の例の場合に比して1/6になる。
【0078】
従ってこの場合の横倍率:βは36/6=6倍でよいことになる。上述した例の場合のように、LDバーにおける個々のLDの発光部が水平方向:2μm、垂直方向:1μmのサイズであれば、ファイバの入射端面に結像する発光部像の大きさは12μm×6μmで、コア径:50μmの光ファイバを用いても発光部像はコア径内に十分に納まり、光結合効率の低下がなく、LDバー・光結合手段・光ファイバの位置関係誤差の影響も一段と低減される。
【0079】
上には、共軸コリメートレンズアレイにより平行光束化された平行光束群を、光束配列重層化手段により「水平方向に2分割して、垂直方向に2重に重層化する場合」を説明したが、分割数:n、重層化数:nは2に限らず「光結合手段の横倍率を有効に小さくする」ために、適正な値に設定される。
【0080】
前述の如く、共軸コリメートレンズにおける水平方向のNA(これはLDバーにおける各LD発光部の水平方向のNAでもある)を「a」、垂直方向のNAを「ma」、光ファイバのNAを「b」、LDバーにおける発光部数を「N」、水平方向に分割された平行光束群の光束数を「x(説明の簡単のため、等分割の場合を考える)」、重層化された平行光束群の層数を「y」、光結合手段の横倍率を「β」とすると、これらの間には、光束配列重層化手段による重層化と、光束配列幅圧縮手段による配列幅圧縮とを行った場合、以下の関係がなりたつ。
【0081】
a・x/β=b   (21)
m・a・y/β=b (22)
xy=N      (23)
β=ax/b=m・a・y/b  (24)
x=my        (25)
これら(21)〜(25)を満足させつつ、横倍率:βが好適に小さくなる組合せを求めれば良い。
【0082】
a=0.15、m=3、b=0.2の場合につき、具体的な例を2例挙げる。
上記(21)、(22)は、
0.15x/β=0.2、0.45y/β=0.2
となり、(24)、(25)は、
β=0.15x/0.2=0.45y/0.2
x=3y
となる。
【0083】
Nの値として、N=12の場合とN=27の場合とを考えて見ると、(23)を満足するx、yは、N=12に対してはx=6、y=2、N=27の場合には、x=9、y=3となり横倍率との関係は以下のようになる。
【0084】
Figure 2004061727
上に説明した場合で(23)〜(25)が同時に満足されるのは、my=Nが満足される場合であり、mとNとの関係によっては上記関係を同時に満足させることはできない。例えば、m=3でN=16の場合を考えて見ると、(25)式はy=5.33となるから、y=2.31となりyは整数解を持たない。
【0085】
この場合、分割数:n(=y)を2とする場合と、3とする場合とが考えられる。分割数:n=2の場合は、16本の平行光束群は「8本ずつの平行光束群に分割されて2層に重層化」される。また、分割数:n=3の場合は、16本の平行光束群は「6本・5本・5本もしくは6本・6本・4本に分割されて3層に重層化」される。
【0086】
これら2種の場合につき、横倍率:βを算出して見ると以下のようになる。
【0087】
N      x      y      β
16     8      2      6
16     6、5、5  3      6.75
即ち、この場合、2層に重層化する場合も、3層に重層化する場合も、横倍率:βを小さくする効果があるが、2分割して2層に重層化する場合の方が横倍率を小さくする効果が大きい、このように平行光束群の光束数:N、発散角比:mの具体的な値に応じて横倍率:βを有効に小さく設定できるx、yを選択することが可能である。
【0088】
【実施例】
以下、具体的な実施例を説明する。
【0089】
図6は、実施例の光源用モジュール・光源装置の構成を説明するための図である。(a)は「水平方向」の構成を示し、符号60は「LDバー」、符号62は「共軸コリメートレンズアレイ」、符号64は「第2鏡面対」、符号66は「集光用共軸レンズ」、符号70は「光ファイバ」を示している。図6(b)は垂直方向の構成を示し、符号63は「第1鏡面対」を示している。
【0090】
この図は図2と同様、水平方向の構成を示す(a)には第1鏡面対63が図示されず、垂直方向の構成を示す(b)には第2鏡面対が図示されていない。実際の構成は図3に即して説明した如きものである。
【0091】
光源用モジュールの「光結合手段」は、共軸コリメートレンズアレイ62と、第1鏡面対63と、第2鏡面対64と、集光用共軸レンズ66とにより構成され、これらを光結合手段として有する光源用モジュールとLDバー60とは「光源装置」を構成する。
【0092】
LDバー60は「波長:400nmの発散光束を放射する16個のLD(半導体レーザ)を、各発光部がその長手方向(X方向)に連なるようにして1列に配列一体化」したものである。
【0093】
各LDは、その発光部のサイズが、水平方向:1.7μm、垂直方向:0.5μmで、1/e強度によるNAは、水平方向:0.15、垂直方向:0.45である(即ち、θ=3θ、m=3)。また、LDの配列ピッチ:Pは360μmである。
【0094】
LDバー60からの光束を光結合される光ファイバ70は、コア径:50μm、NA=0.2のものである。
【0095】
第1鏡面対63と第2鏡面対64は、16本の平行光束群を8本ずつの平光束側群に分割し(分割数:n=2)、これらを2層に重層化する。これら鏡面対は平面鏡の組合せで構成した。
【0096】
共軸コリメートレンズアレイ62は、LDバー60におけるLDの配列ピッチ:P=360μmであることに鑑み、図6(c)に示すように、アレイ配列する個々の共軸コリメートレンズCLの有効径も水平方向に360μmと設定し、水平方向におけるレンズ間隔を360μmとし、これらを16個、レンズ間隔:360μmで配列したものである。
【0097】
この条件であると、垂直方向の有効径:Dは、式(13)において、m=3として、
=3D=3×360=1080μm
と算出され、焦点距離:fは、式(14)から、
Figure 2004061727
と算出される。
【0098】
光ファイバ70のNAは0.2であるが、余裕を見て、設計値としてNA:0.16を設定する。
【0099】
集光用共軸レンズ66の焦点距離:f’は(15)式において、NDが光束配列重層化手段により1/2に減縮され、さらに、光束配列幅圧縮手段により(1/m)に圧縮されていることから、
Figure 2004061727
となり、光結合手段による水平方向の倍率:βは、
β=f’/f=9mm/1.2mm=7.5
となる。
【0100】
従って集光用共軸レンズ66は、焦点距離:9mm、有効径:2.9mm(光束配列幅:0.36mm×8=2.88mmを取り込める有効径)の円形レンズとなる。
【0101】
光結合手段が光ファイバ70の入射端面に結像させる発光部像は、水平方向に12.8μm、垂直方向に3.8μmで、光ファイバ70のコア径:50μmに比して小さいので、コア径内に納まることは勿論、前記位置関係誤差の影響を受け難い。
【0102】
共軸コリメータレンズアレイを石英ガラスにより、集光用共軸レンズをBK−7ガラス材料で作製し、光結合効率として97.3%を設計値として得ることができた。
【0103】
上に実施例を説明した光源用モジュールは、LDバー60からの光を1本の光ファイバ70に結合させる光源用モジュールにおいて、光結合手段として、共軸コリメートレンズアレイ62と、集光用共軸レンズ66と、光束配列重層化手段63、64と、光束配列幅圧縮手段62とを有し、共軸コリメートレンズアレイ62はN(=16)個のコリメートレンズをLDバー60におけるLDの配列に応じて配列一体化してなり、各LDから放射される発散光束を平行光束化するものであり、集光用共軸レンズ66は、共軸コリメートレンズアレイ62により平行光束化された各光束を1本の光ファイバ70の入射端面に集光するレンズであり、光束配列幅圧縮手段62は、共軸コリメートレンズアレイ62により平行光束化された光束の配列方向における配列幅を圧縮する手段であり、光結合手段の横倍率を有効に小さく設定した(7.5倍)ものである(請求項4)。
【0104】
また、共軸コリメートレンズアレイ62は、LDバー60における個々のLDから放射される発散光束における発散角比:mに応じて、互いに直交する2方向におけるレンズ径を設定されたコリメートレンズCLを、レンズ径の小さい方向を配列方向にしてアレイ化したもので、光束配列幅圧縮手段を兼ね(請求項6)ている。共軸コリメートレンズアレイ62はまた、配列方向のレンズ径が小さいN(=16)個のコリメートレンズを、エッチング加工により一体に形成された石英ガラスによるガラスレンズアレイであり(請求項7)、集光用共軸レンズ66は、BK−7ガラスによるガラスモールドレンズである(請求項8)。
【0105】
そして、光結合手段の横倍率(=7.5倍)は10倍以下である(請求項9)。図6の実施例において、上記光源用モジュールとLDバー60とを組合せた部分は、請求項10記載の光源装置の実施の1形態である。
なお、LDバーにおけるLDの配列数:Nの上限は30程度である。
【0106】
【発明の効果】
以上に説明したように、この発明によれば新規な光源用モジュールおよび光源装置を実現できる。この光源用モジュールは、光ファイバへの光結合効率が高く、LDバーと共軸コリメートレンズアレイと光ファイバとの相対的な位置関係の誤差の影響を受け難い。このような光源用モジュールとLDバーとの組合せによるこの発明の光源装置は、高い光結合効率を持ち、取り扱いが容易である。
【図面の簡単な説明】
【図1】光結合手段の横倍率と、その低減方法を説明するための図である。
【図2】請求項1記載の発明の実施の1形態を特徴部分のみ示す図である。
【図3】図2の実施の形態を補足説明するための図である。
【図4】請求項5記載の発明の実施の1形態の特徴部部を説明するための図である。
【図5】請求項6記載の発明の実施の1形態の特徴部分を説明するための図である。
【図6】光源用モジュールと光源装置の1実施例を説明するための図である。
【符号の説明】
60   LDバー
62   共軸コリメートレンズアレイ
63   第1鏡面対
64   第2鏡面対
66   集光用共軸レンズ
70   光ファイバ

Claims (10)

  1. N個のLDを、各発光部がその長手方向に連なるようにして、1列に配列一体化してなるLDバーからの光を、1本の光ファイバに結合させる光源用モジュールにおいて、
    光結合手段として、共軸コリメートレンズアレイと、集光用共軸レンズと、光束配列重層化手段とを有し、
    上記共軸コリメートレンズアレイは、N個のコリメートレンズを上記LDバーにおけるLDの配列に応じて配列一体化してなり、N個のLDから放射される発散光束をそれぞれ平行光束化するものであり、
    上記集光用共軸レンズは、上記共軸コリメートレンズアレイにより平行光束化された各光束を、上記1本の光ファイバの入射端面に集光するレンズであり、
    上記光束配列重層化手段は、上記共軸コリメートレンズアレイにより平行光束化されてLD配列方向に配列する平行光束群を、配列方向にn(≧2)分割し、上記配列方向に直交する方向へ、互いに近接するn層に重層化する手段であり、上記光結合手段の横倍率を有効に小さく設定したことを特徴とする光源用モジュール。
  2. 請求項1記載の光源用モジュールにおいて、
    光束配列重層化手段が、共軸コリメートレンズアレイにより平行光束化されてLD配列方向に配列する平行光束群を配列方向にn分割し、分割されたn−1の平行光束群を、上記配列方向に直交する方向へ所定距離だけ平行移動的にずらすためのn−1対の第1鏡面対と、これら第1鏡面対によりずらされたn−1の平行光束群を、上記配列方向へ所定の距離だけ平行移動的にずらして、全平行光束を、n層に重層化させるn−1対の第2鏡面対とによる、n−1個の鏡面対手段により構成されることを特徴とする光源用モジュール。
  3. 請求項2記載の光源用モジュールにおいて、
    各鏡面対手段における第1鏡面対およびこれに対応する第2鏡面対とが、プリズムとして一体化されていることを特徴とする光源用モジュール。
  4. 請求項1または2または3記載の光源用モジュールにおいて、
    共軸コリメートレンズアレイにより平行光束化されてLD配列方向に配列する平行光束群の配列幅を、配列方向に圧縮する光束配列幅圧縮手段手段を有することを特徴とする光源用モジュール。
  5. 請求項4記載の光源用モジュールにおいて、
    光束配列幅圧縮手段が、共軸コリメートレンズアレイの各コリメートレンズにより平行光束化された光束をそれぞれ2回反射させ、LD配列方向における光束間隔を減少させる反射手段であることを特徴とする光源用モジュール。
  6. 請求項4記載の光源用モジュールにおいて、
    共軸コリメートレンズアレイが、LDバーにおける個々のLDから放射される発散光束における発散角比に応じて、互いに直交する2方向におけるレンズ径を設定されたコリメートレンズを、レンズ径の小さい方向を配列方向にしてアレイ化したものであって、平行光束化された光束の配列幅を圧縮する機能を有し、光束配列幅圧縮手段を兼ねることを特徴とする光モジュール。
  7. 請求項6記載の光モジュールにおいて、
    共軸コリメートレンズアレイが、
    配列方向のレンズ径が小さいガラス研磨レンズによるコリメートレンズをN個接合したもの、もしくは、
    配列方向のレンズ径が小さいN個のコリメートレンズを、エッチング加工もしくはモールドにより一体に形成されたガラスレンズアレイ、もしくは、
    配列方向のレンズ径が小さいN個のコリメートレンズを、樹脂成形により一体に形成された樹脂レンズアレイ、もしくは、
    配列方向のレンズ径が小さく、回折によるコリメート作用を有するN個のコリメートレンズを一体とした回折光学素子レンズアレイ、もしくは、
    配列方向のレンズ径が小さく、屈折率分布によるコリメート作用を有するN個のコリメートレンズを一体とした屈折率分布型レンズアレイ、
    の何れかであることを特徴とする光源用モジュール。
  8. 請求項1〜7の任意の1に記載の光源用モジュールにおいて、
    集光用共軸レンズが、
    研磨によるガラスレンズ、もしくは、
    ガラスモールドレンズ、もしくは、
    樹脂成形レンズ、もしくは、
    回折光学素子レンズ、もしくは、
    屈折率分布レンズ、
    の何れかであることを特徴とする光源用モジュール。
  9. 請求項1〜8の任意の1に記載の光源用モジュールにおいて、
    光結合手段の横倍率が10倍以下であることを特徴とする光源用モジュール。
  10. 請求項1〜10の任意の1に記載の光源用モジュールとLDバーとを組合せてなる光源装置。
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CN112091420A (zh) * 2019-06-18 2020-12-18 松下知识产权经营株式会社 光源装置

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