JP2004061364A - 圧力センサ - Google Patents

Abstract

【課題】高性能かつ小型の圧力センサを提供すること。
【解決手段】感圧素子２０を配置した受圧面３２を有するコネクタハウジング３０と，シールダイヤフラム４３を有するセンサハウジング４０よりなる圧力センサ１である。センサハウジング４０に挿入したコネクタハウジング３０とシールダイヤフラム４３との間には圧力室４２が形成される。コネクタハウジング３０は，センサハウジング４０に挿入される挿入部３５を有している。センサハウジング４０は，挿入部３５を覆う略円筒形状のインナー部４０１と，該インナー部４０１を覆うアウター部４０２とよりなる。そして，アウター部４０２には，コネクタハウジング３０における受圧面３２に対面すると共に，受圧面３２よりも大径であるシールダイヤフラム４３を配設してある。
【選択図】　図２

Description

【０００１】
【従来技術】
圧力センサは，シリコン基板上に形成した歪ゲージと，シリコン基板を精密にエッチングして形成した圧力検知用のダイヤフラムとを有する感圧素子を利用したセンサである。そして，この圧力センサは，上記歪ゲージにより，圧力によるダイヤフラムのひずみ量を計測することにより圧力を測定する。
【０００２】
感圧素子を配置する受圧面を有するコネクタハウジングと，シールダイヤフラムを有するセンサハウジングとからなる圧力センサにおいて，上記の感圧素子は，センサハウジングに挿入したコネクタハウジングと，上記シールダイヤフラムとの間に形成された圧力室に収容されるよう構成されている。
【０００３】
【解決しようとする課題】
しかしながら，上記従来の圧力センサにあっては，次のような問題がある。
即ち，上記シールダイヤフラムは，通常，上記受圧面に対面する位置に設けられる。そのため，上記シールダイヤフラムの有効面積は，上記受圧面の面積に制限される。該受圧面の面積よりもシールダイヤフラムの有効面積を大きく確保することは，その構造上困難である。
上記シールダイヤフラムの有効面積が小さくなると，必然的にシールダイヤフラムのストロークが制限されてくる。ストロークが短いシールダイヤフラムにより目標とする圧力計測範囲をカバーするためには，シールダイヤフラムを高弾性として単位圧力当たりのストローク量を小さくする必要がある。
しかし，高弾性のダイヤフラムを適用した圧力センサにあっては，圧力計測における分解能が低下し，一方，分解能を向上しようとすると圧力計測が可能な範囲も抑制されてしまうという問題がある。
【０００４】
一方，上記シールダイヤフラムの有効面積を十分に確保するため上記受圧面の面積を大きくした場合，圧力が作用したときに上記コネクタハウジングを上記センサハウジングから引き抜く方向に作用する力が，受圧面の面積に比例して大きくなる。
すなわち，この場合には，上記圧力センサにおける上記圧力室に要求される耐圧強度が高くなる。上記圧力センサを構成する上記センサハウジングと上記コネクタハウジングとの組み付け構造の工夫や，組み付け強度の確保等により耐圧強度を高くする必要がある。圧力センサを構成するセンサハウジングやコネクタハウジング等，部品の複雑化や高コスト化を招来し，上記圧力センサ全体における小型化，製品コストの低減を図る上での障壁となる。
【０００５】
本発明はかかる従来の問題点に鑑みてなされたもので，圧力計測性能に優れており，かつ，小型，低コスト化を実現した圧力センサを提供しようとするものである。
【０００６】
【課題の解決手段】
本発明は，感圧素子を配置した受圧面を有するコネクタハウジングと，シールダイヤフラムを有するセンサハウジングと，該センサハウジングに挿入した上記コネクタハウジングと上記シールダイヤフラムとの間に形成される圧力室とを有し，該圧力室に上記感圧素子を収容してある圧力センサにおいて，
上記コネクタハウジングは，上記センサハウジングに挿入される挿入部を有しており，
上記センサハウジングは，上記挿入部を覆う略円筒形状のインナー部と，該インナー部を覆うアウター部とよりなり，
上記アウター部には，上記コネクタハウジングにおける上記受圧面に対面すると共に，上記受圧面よりも大径である上記シールダイヤフラムを配設してなることを特徴とする圧力センサにある（請求項１）。
【０００７】
本発明の上記圧力センサは，上記インナー部と上記アウター部とよりなる２重構造の上記センサハウジングを有している。
そして，上記インナー部に，上記コネクタハウジングにおける上記挿入部を収容し，一方，上記シールダイヤフラムは，上記インナー部を収容しうる内径を有するアウター部の内部に接合される。
そのため，シールダイヤフラムの有効面積は，上記インナー部の外径の設定により任意に設定することができ，一方，上記受圧面の面積は，インナー部の内径により決定することができる。すなわち，シールダイヤフラムの有効面積が，上記受圧面の面積に制限されることがない。
【０００８】
したがって，本発明の圧力センサによれば，上記受圧面の面積を小さく維持したまま，上記シールダイヤフラムの有効面積を拡大することができる。シールダイヤフラムの有効面積を十分確保することによれば，圧力計測における分解能を向上できると共に，圧力計測範囲を拡大することができる。すなわち，圧力計測における分解能と，広い圧力計測範囲を両立した圧力計測性能に優れた圧力センサを実現できる。
そして，上記受圧面の面積を小さく維持できることによれば，受圧面の面積の拡大による種々の問題，例えば，耐圧性を高めるための組み付け構造の複雑化や大型化や，それに伴うコスト上昇等を誘発することがない。
【０００９】
このように，本発明によれば，圧力計測性能に優れており，かつ，小型，低コスト化を実現した圧力センサを提供することができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
本発明においては，上記インナー部と上記アウター部とは，溶接接合されていることが好ましい（請求項２）。
この場合には，上記インナー部と上記アウター部とを強固に接合することで，両者の間のシール性を長期間に渡って十分に確保できる。上記センサハウジングを，上記インナー部と上記アウター部とによる２重構造を採用したことによるシール性への影響，すなわち，両者の隙間からの漏れ等の問題が生じるおそれがない。
【００１１】
また，上記アウター部に対して，上記インナー部が圧入してあることが好ましい（請求項３）。
この場合には，上記アウター部と上記インナー部とを，強固に嵌合させることができる。両者間には，高いシール性と，強固な接合性という２つの機能が必要となる。上記インナー部の圧入によれば，上記２つの機能のうち，接合性を十分に確保できる。
【００１２】
また，上記インナー部内に収容された上記コネクタハウジングの上記挿入部は，上記インナー部に設けられたカシメ部によりカシメ固定されていることが好ましい（請求項４）。
この場合には，センサハウジングにおけるインナー部とコネクタハウジングとを，両者の挿入軸線に略平行な方向に嵌合させたのち，その挿入軸線方向にかしめ荷重を加えることによって上記インナー部の上記カシメ部をかしめ変形させ，両者を強固に組み付けることができる。
上記のごとく，上記インナー部と上記コネクタハウジングとを組み付けた上記力センサにあっては，高い耐圧性を得ることができる。
【００１３】
また，上記圧力室には，上記コネクタハウジングと上記センサハウジングとの間において，その挿入軸線方向における両者間の荷重を伝達するスペーサが配置してあることが好ましい（請求項５）。
この場合には，組み付け時に，上記コネクタハウジングと上記センサハウジングとの間に作用する荷重を，上記センサハウジングにおける上記受圧面の一部に負担させることができる。上記コネクタハウジングにおける上記挿入部の外周に，別途，荷重を受けるための荷重面を配置する必要がない。
そのため，上記コネクタハウジングを小径化でき，該コネクタハウジングの上記挿入部を収容するセンサハウジングの大径化を抑制できる。
【００１４】
また，上記コネクタハウジングと上記センサハウジングとは，両者の挿入軸線に略平行な方向に嵌合させたのち，上記スペーサを介在して，組み付け時に発生する挿入軸線方向の荷重を伝達し，ハウジングセンサの荷重面で負担させることができる。そのため，上記コネクタハウジングの荷重面と上記センサハウジングの荷重面とを直接当接させる必要がない。
【００１５】
上記スペーサを介在させることにより，上記コネクタハウジング及び上記センサハウジングの各荷重面を，上記挿入軸線に略平行な同軸上の位置に配置する必要がなくなる。
そのため，上記コネクタハウジング及び上記センサハウジングにおける各荷重面の配置の自由度が高い。それ故，上記コネクタハウジング及び上記センサハウジングの小径化を実現することができる。
したがって，上記のごとく小径化された上記コネクタハウジングと上記センサハウジングとを組み合わせることにより，小型の上記圧力センサを実現できる。
【００１６】
また，スペーサにより，上記圧力室の空間の一部を占有して，上記圧力室に充填する上記圧力伝達媒体の充填量を低減される。上記圧力伝達媒体が圧力を受けたときや，その温度が変動したときに生じる体積変化が抑制され，圧力計測精度や応答性等の性能が向上する。
【００１７】
【実施例】
（実施例１）
本発明の実施例にかかる圧力センサ１について，図１〜図４を用いて説明する。
本例の圧力センサ１は，感圧素子２０を配置した受圧面３２を有するコネクタハウジング３０と，シールダイヤフラム４３を有するセンサハウジング４０とを有している。該センサハウジング４０に挿入したコネクタハウジング３０とシールダイヤフラム４３との間には，圧力室４２が形成されている。
コネクタハウジング３０は，センサハウジング４０に挿入される挿入部３５を有している。
センサハウジング４０は，挿入部３５を覆う略円筒形状のインナー部４０１と，該インナー部４０１を覆うアウター部４０２とよりなる。
そして，アウター部４０２には，コネクタハウジング３０における受圧面３２に対面すると共に，受圧面３２よりも大径であるシールダイヤフラム４３を配設してある。
以下にこの内容について詳しく説明する。
【００１８】
本例の圧力センサ１は，図１に示すごとく，シールダイヤフラム４３を有するセンサハウジング４０に，ターミナルピン１０と感圧素子２０とを有するコネクタハウジング３０を挿入して組み立ててある。すなわち，本例の圧力センサ１は，圧力計測対象である流体とは隔離された圧力室４２を有するものである。
【００１９】
この圧力センサ１は，シールダイヤフラム４３に作用する上記流体の圧力を，圧力室４２に封入した圧力伝達媒体を介して，感圧素子２０により検知するよう構成されている。
感圧素子２０は，シリコン基板上のシリコン層を加工して歪ゲージを形成するとともに，シリコン基板を精密にエッチングしてセンサダイヤフラムを形成したものである。
【００２０】
センサハウジング４０は，図２に示すごとく，ステンレススチールよりなるインナー部４０１とアウター部４０２との２重構造をなしている。このインナー部４０１は，略円筒形状を呈しており，コネクタハウジング３０の挿入部３５を挿入する凹部４５と，上記ツバ部３５１を挿入する大径部４５１と，該大径部４５１にツバ部３５１を挿入した状態で該ツバ部３５１と係合するカシメ部４１とを有している。
【００２１】
センサハウジング４０におけるアウター部４０２は，図２に示すごとく，インナー部４０１におけるカシメ部４１を除く部分を収容するアウター凹部４５２を有している。このアウター凹部４５２の底面には，図１に示すごとく，シールダイヤフラム４３を配設してある。
このシールダイヤフラム４３は，図２に示すごとく，その外周部に積層されたシールリング４３１の表面からレーザ溶接して，センサハウジング４０まで達する溶接部４３５を設けることにより，センサハウジング４０に対して強固に固定されている。
【００２２】
さらに，センサハウジング４０におけるアウター部４０２は，図１に示すごとく，軸方向におけるアウター凹部４５２と反対側には，外部流体を密閉する配管パイプ等に対して圧力センサ１を取り付けるための，略円筒形状の取付け部４４５を有している。
取付け部４４５は，シールダイヤフラム４３側に外部流体を導入する圧力導入孔４４１を有していると共に，その外周面にはネジ部４４２を有している。
【００２３】
アウター部４０２とインナー部４０１とを含むセンサハウジング４０は，図２に示すごとく，アウター凹部４０２の底面に接合したシールリング４３１に当接するよう後述するスペーサ６０を有している。さらに，インナー部４０１は，その挿入先端面がスペーサ６０に当接して位置決めされた状態で，アウター凹部４５２に収容されている。インナー部４０１とアウター部４０２とは，挿入逆方向の端面における溶接接合部４５５（図２）により相互に溶接接合されている。
【００２４】
スペーサ６０は，図２，図３に示すごとく，アウター凹部４０２内に挿入できるよう構成された，ＰＰＳやＰＢＴ等の合成樹脂よりなる略円板状の部材であって，その中央付近には，圧力室４２内へ圧力伝達媒体を流通させるための貫通穴である媒体通路６１を有している。
【００２５】
また，図３に示すごとく，スペーサ６０は，シールリング４３１の表面のセンサ側荷重面４３８に当接する第１当接部６２１をシールダイヤフラム４３側の表面６０１に有し，後述するコネクタ側荷重面３８（図４参照）と当接する第２当接部６２２を裏面６０２に有する。そして，図２に示すごとく，これらの第１当接部６２１と第２当接部６２２とは，軸方向においてずれた位置にある。
また，裏面６０２の中央部には，ボンディングワイヤ３４との干渉を防止するための窪み部６３を設けてある。
【００２６】
コネクタハウジング３０は，図２に示すごとく，ＰＰＳ樹脂により後述するごとくターミナルピン１０をインサートして一体成形されていると共に，センサハウジング４０に挿入する挿入部３５と，該挿入部３５よりも大径のツバ部３５１とを有している。さらに，コネクタハウジング３０における挿入部３５とは反対側の端部には，外部機器のコネクタ（図示略）を電気的に接続するための中空構造のソケット部３００を有している。
【００２７】
コネクタハウジング３０におけるソケット部３００は，図１に示すごとく，外部機器の外部コネクタを挿入することができるよう筒状に構成されていると共に，該ソケット部３００の内部には，それぞれのターミナルピン１０における一方の端部を突出させてある。そして，それぞれのターミナルピン１０は，ソケット部３００に挿入された上記外部コネクタの各電極と電気的に接触するよう構成されている。
【００２８】
コネクタハウジング３０の挿入方向の端面である受圧面３２には，図４に示すごとく，各ターミナルピン１０の他方の端部を露出させてあると共に，感圧素子２０を配置してある。
上記のターミナルピン１０としては，電源用，グランド用及び信号出力用の３本があり，これらのターミナルピン１０は，すべてソケット部３００から受圧面３２へとコネクタハウジング３０を貫通するように，インサート成形によってコネクタハウジング３０内に一体的に配置されている。
【００２９】
また，各ターミナルピン１０は，図４に示すごとく，感圧素子２０に対して，ボンディングワイヤ３４により相互に電気的に接続されていると共に，シリコーン系シール材からなるシール層１２によりシールされ，圧力室４２のシール性を高く維持できるよう構成されている。
【００３０】
上記挿入部３５は，その外周面に，図２に示すごとく，圧力室４２を密閉するためのＯリング５０及びバックアップリング５１を配設できるようリング溝３５０を設けてある。
挿入部３５の端面である受圧面３２には，図４に示すごとく，ターミナルピン１０及び感圧素子２０が配置されている。また，受圧面３２のうち，点線４０１の外周部３５２をコネクタ側荷重面３８とし，該コネクタ側荷重面３８によりスペーサ６０と当接するよう構成してある。
【００３１】
そして，本例の圧力センサ１は，図２に示すごとく，センサハウジング４０におけるインナー部４０１の凹部４５内に，コネクタハウジング３０の挿入部３５を挿入し，カシメ部４１を内径方向に変形させコネクタハウジング３０のツバ部３５１に係合させて組み付け固定される。
【００３２】
また，コネクタハウジング３０の受圧面３２とセンサハウジング４０のシールダイヤフラム４３とが対峙して形成された空間よりなる圧力室４２は，図２に示すごとく，挿入部３５の外周に配されたＯリング５０によりシールされ，また，圧力室４２には圧力伝達媒体としてシリコンオイルが封入される。
【００３３】
センサハウジング４０には，図２に示すごとく，上記のごとくスペーサ６０を挿入配置してある。このスペーサ６０の表面６０１の第１当接部６２１（図３）にはセンサハウジングにおけるシールリング４３１表面のセンサ側荷重面４３８が当接し，一方，裏面６０２の第２当接部６２２（図３）には，コネクタハウジング３０における受圧面３２の外周部のコネクタ側荷重面３８（図２参照）が当接している。そして，スペーサ６０は，コネクタハウジング３０とセンサハウジング４０との間に作用する上記挿入軸線に略平行な荷重を，両者の間に相互に伝達する。
【００３４】
上記構成の圧力センサ１を用いて被測定流体の圧力を計測するに当たっては，被測定流体の圧力を，圧力導入孔４４１を経由してシールダイヤフラム４３に作用させ，さらに，圧力室４２に充填されたシリコンオイルを介して感圧素子２０のセンサダイヤフラムに作用させることにより行うことができる。
【００３５】
以上のごとく，本例の圧力センサ１は，インナー部４０１とアウター部４０２とよりなる２重構造のセンサハウジング４０を有している。インナー部４０１は，コネクタハウジング３０における挿入部３５を収容するように構成されている。また，インナー部４０１自体は，アウター部４０２に収容されるよう構成されている。
【００３６】
シールダイヤフラム４３は，アウター部４０２におけるアウター凹部４５２の底面に接合されている。このシールダイヤフラム４３の有効面積は，挿入部３５の挿入先端面である受圧面３２の面積に制限されず，十分に確保できている。
シールダイヤフラム４３の有効面積は，受圧面３２よりも大径のインナー部４０１外径に依存している。したがって，インナー部４０１の内径を維持しておけば，受圧面の面積を大きくすることなく，シールダイヤフラムの有効面積を十分確保できる。
【００３７】
また，圧力室４２にスペーサ６０を有している。コネクタハウジング３０とセンサハウジング４０とは，両者の挿入軸線に略平行な方向に嵌合させたのち，スペーサ６０を介在して，その挿入軸線方向にかしめ荷重を加えることによってセンサハウジング４０のカシメ部４１をかしめ変形させ両者を強固に組み付けてある。本例の圧力センサ１は，コネクタハウジング３０における挿入部３５の外周に荷重面を配置する必要がなく小径である。
【００３８】
また，スペーサ６０は，圧力室４２のボリュームのうち一定部分を占有して圧力室４２における圧力伝達媒体の充填量を低減することができるという効果を有している。そのため，このスペーサ６０を適用した圧力センサ１においては，急激な圧力変化や温度変化に対する圧力伝達媒体の体積変化が微小である。したがって，本例の圧力センサ１は，圧力計測精度及びその応答性に優れたものとなる。
なお，スペーサ６０としては，本例に示した材質のほか，ポリアミド樹脂，セラミック，鉄系金属，Ｃｕ合金系金属等より作製することもできる。
【００３９】
（実施例２）
本例は，実施例１における圧力センサを基にして，スペーサ８０の組み込み位置及び形状を変更して構成した例である。
実施例１の圧力センサにおけるスペーサ６０は，センサハウジング４０におけるアウター部４０２とインナー部４０１との間に，予め，組み込まれている。これに対して，本例のスペーサ８０は，図６に示すごとく，センサハウジング４０とコネクタハウジング３０との間に別途配置される。また，スペーサ８０の配置変更に伴って，センサハウジング４０におけるインナー部４０１を変更してある。
以下にこの内容について，図５〜７を用いて説明する。
【００４０】
センサハウジング４０におけるインナー部４０１は，図５に示すごとく，その挿入方向の先端部付近に，凹部４５の内径より小さい内径の段部４０４を有している。また，インナー部４０１における，アウター凹部４５２に収容される部分の長さは，アウター凹部４５２の深さと略一致している。したがって，インナー部４０１における挿入方向の先端面は，アウター凹部４５２の底面のシールリング４３１に当接している。
【００４１】
スペーサ８０は，図６，図７に示すごとく，インナー部４０１の凹部４５内に挿入できるよう構成された，ＰＰＳやＰＢＴ等の合成樹脂よりなる略円板状の部材であって，その中央付近には，圧力室４２内へ圧力伝達媒体を流通させるための貫通穴である媒体通路６１を有している。
【００４２】
また，図８に示すごとく，スペーサ８０は，インナー部４０１における段部４０４の表面のセンサ側荷重面４３８に当接する第１当接部８２１をシールダイヤフラム４３側の表面８０１に有し，コネクタ側荷重面３８（図４参照）と当接する第２当接部８２２を裏面８０２に有する。そして，図２に示すごとく，これらの第１当接部８２１と第２当接部８２２とは，軸方向においてその位置が一致していない。
また，裏面８０２の中央部には，ボンディングワイヤ３４との干渉を防止するための窪み部８３を設けてある。
その他の構成及び作用効果については，実施例１と同様である。
【００４３】
（実施例３）
本例は，実施例２の上記圧力センサにおいて，上記センサハウジングと上記コネクタハウジングとの間に生じる，その挿入軸線方向の荷重受け構造を変更した例である。
本例の圧力センサ１は，図８に示すごとく，実施例２におけるスペーサ８０を廃するのに代わり，コネクタハウジング３０における挿入部３５の外周面に，上記挿入方向に沿って徐々に縮径するよう設けられたコネクタテーパ面３５２が配設してある。また，センサハウジング４０を構成するインナー部４０１における凹部４５の内周面には，上記挿入方向に沿って徐々に縮径するよう設けられたセンサテーパ面４５２が配設されている。
そして，コネクタハウジング３０とセンサハウジング４０とは，コネクタテーパ面３５２とセンサテーパ面４５２とを密着させ，相互に，上記挿入軸線方向の荷重を作用させた状態で組み付けてある。
【００４４】
コネクタハウジング３０における挿入部３５は，図８に示すごとく，上記挿入方向に略平行な軸を中心とした略円柱形状の挿入基部３５３と，該挿入基部３５３よりも小径である略円柱形状の挿入先端部３５１とを有している。そして，該挿入先端部３５１と挿入基部３５３との間には，コネクタテーパ面３５２を配設してある。
【００４５】
さらに，この挿入先端部３５１は，図８に示すごとく，その外周面に，圧力室４２を密閉するためのＯリング５０及びバックアップリング５１を配設できるよう構成されており，挿入先端部３５１の外周面には，Ｏリング５０及びバックアップリング５１を配設するためのリング溝３５０を設けてある。
【００４６】
センサハウジング４０を構成するインナー部４０１は，図８に示すごとく，コネクタハウジング３０の挿入部３５を挿入する凹部４５と，該凹部４５に挿入部３５を挿入した状態で挿入部３５と係合するカシメ部４１とを有している。
インナー部４０１における凹部４５は，図８に示すごとく，上記挿入先端部３５１を挿入する略円柱形状の内周面を形成する第１凹部４５１と，上記挿入基部３５３を挿入する略円柱形状の第２凹部４５３とを有している。そして，該第２凹部４５３と上記第１凹部４５１との間に，センサテーパ面４５２が配設されている。
センサテーパ面４５２は，コネクタハウジング３０の挿入先端部３５１に配設されたＯリング５０を第１凹部４５１に滑らかに挿入できるよう上記挿入方向とのなす角Ｒ（図８参照）を２５度に設定してある。
【００４７】
コネクタハウジング３０とセンサハウジング４０とは，図８に示すごとく，それぞれが有するコネクタテーパ面３５２とセンサテーパ面４５２とを密着させることにより，両者の挿入方向の位置が規制される。そして，コネクタテーパ面３５２とセンサテーパ面４５２との間に，上記かしめ部４１をかしめる際に生じる挿入方向の荷重を作用させた状態で，上記コネクタハウジング３０とセンサハウジング４０とを組み立ててある。
【００４８】
また，図８に示すごとく，上記コネクタテーパ面３５２とセンサテーパ面４５２との当接によって，コネクタハウジング３０の先端面とセンサハウジング４０の凹部４５の底部とは接触することなく，両者の間に所定の隙間が形成されている。
【００４９】
上記のごとく，本例の圧力センサ１によれば，実施例２に適用したスペーサ８０を適用することなく，センサハウジング４０とコネクタハウジング３０とを，両者の挿入軸線方向における荷重を適正に作用させた状態で，強固に組み付けることができる。
なお，その他の構成及び作用効果は，実施例２と同様である。
【００５０】
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例１における，圧力センサの構造を示す断面図。
【図２】実施例１における，圧力センサにおける圧力室周辺の構造を示す拡大図。
【図３】実施例１における，スペーサの構造を示す断面図。
【図４】実施例１における，コネクタハウジングにおける受圧面を示す正面図。
【図５】実施例２における，圧力センサの構造を示す断面図。
【図６】実施例２における，圧力センサにおける圧力室周辺の構造を示す拡大図。
【図７】実施例２における，スペーサの構造を示す断面図。
【図８】実施例３における，圧力センサにおける圧力室周辺の構造を示す拡大図。
【符号の説明】
１．．．圧力センサ，
１０．．．ターミナルピン，
１２．．．シール層，
３０．．．コネクタハウジング，
３２．．．受圧面，
３４．．．ボンディングワイヤ，
３５．．．挿入部，
３８．．．コネクタ側荷重面，
３５１．．．ツバ部，
３５２．．．外周部，
４０．．．センサハウジング，
４０１．．．インナー部，
４０２．．．アウター部，
４３．．．シールダイヤフラム，
４３１．．．シールリング，
４３８．．．センサ側荷重面，
４５．．．凹部，
４５２．．．アウター凹部，
４５１．．．大径部，
５０．．．Ｏリング，
５１．．．バックアップリング，
６０，８０．．．スペーサ，
６１，８１．．．媒体通路，
６２１，８２１．．．第１当接部，
６２２，８２２．．．第２当接部，

Claims (5)

1. 感圧素子を配置した受圧面を有するコネクタハウジングと，シールダイヤフラムを有するセンサハウジングと，該センサハウジングに挿入した上記コネクタハウジングと上記シールダイヤフラムとの間に形成される圧力室とを有し，該圧力室に上記感圧素子を収容してある圧力センサにおいて，
   上記コネクタハウジングは，上記センサハウジングに挿入される挿入部を有しており，
   上記センサハウジングは，上記挿入部を覆う略円筒形状のインナー部と，該インナー部を覆うアウター部とよりなり，
   上記アウター部には，上記コネクタハウジングにおける上記受圧面に対面すると共に，上記受圧面よりも大径である上記シールダイヤフラムを配設してなることを特徴とする圧力センサ。
2. 請求項１において，上記インナー部と上記アウター部とは，溶接接合されていることを特徴とする圧力センサ。
3. 請求項１又は２において，上記アウター部に対して，上記インナー部が圧入してあることを特徴とする圧力センサ。
4. 請求項１〜３のいずれか１項において，上記インナー部内に収容された上記コネクタハウジングの上記挿入部は，上記インナー部に設けられたカシメ部によりカシメ固定されていることを特徴とする圧力センサ。
5. 請求項１〜４のいずれか１項において，上記圧力室には，上記コネクタハウジングと上記センサハウジングとの間において，その挿入軸線方向における両者間の荷重を伝達するスペーサが配置してあることを特徴とする圧力センサ。

Images