JP2004055743A - 受光素子及び受光モジュール - Google Patents
受光素子及び受光モジュール Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004055743A JP2004055743A JP2002209679A JP2002209679A JP2004055743A JP 2004055743 A JP2004055743 A JP 2004055743A JP 2002209679 A JP2002209679 A JP 2002209679A JP 2002209679 A JP2002209679 A JP 2002209679A JP 2004055743 A JP2004055743 A JP 2004055743A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conductivity
- concentration impurity
- impurity layer
- light receiving
- type
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Light Receiving Elements (AREA)
Abstract
【構成】低濃度の不純物を含んだ半導体基板2と、半導体基板の表面に形成した第1導電型表面高濃度不純物層5と、第1導電型表面高濃度不純物層5に接続した第1導電型表面電極8と、半導体基板の表面に形成した第2導電型表面高濃度不純物層6と、第2導電型表面高濃度不純物層6に接続した第2導電型表面電極9と、基板2の裏面に形成した第2導電型裏面高濃度不純物層10と、第2導電型裏面高濃度不純物層10に接続した第2導電型裏面電極11とを備え、第1導電型表面高濃度不純物層5と半導体基板2と第2導電型表面高濃度不純物層6とによって基板2の表面と平行な方向の第1の受光部3を形成し、第1導電型表面高濃度不純物層5と半導体基板2と第2導電型裏面高濃度不純物層10とによって基板2の厚さ方向の第2の受光部4を形成したことを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は受光素子とそれを備える受光モジュールに関する。
【0002】
【従来の技術】
赤外線タイプの光リモコンに用いられる受光モジュールは、受光モジュールの構成部品である受光素子が電磁ノイズに対して弱いので、電磁ノイズに対する種々のシールドが施されている。
【0003】
電磁シールドは、一般的に、金属製のシールドケースによって受光素子を覆い、金属製ケースをグランド電位に接続する方式、受光素子をモールドする樹脂内に受光素子の受光面を覆うようにメッシュ状金属や透明な導電体を配置し、それらをグランド電位に接続する方式が知られているが、部品点数が増加するという問題を有している。
【0004】
部品点数を削減することが可能な構成として、図5に示すように、低濃度のN型の半導体基板100の表面に受光部を構成する高濃度のN型層101とP型層102を基板100の表面と同方向に配置し、N型層101に接続した信号出力用のN型電極103をIC(図示せず)にワイヤボンド線104を用いて接続し、受光窓となるP型層102に接続したP型電極105をワイヤボンド線106を用いてリード107のグランド電位に接続するものが知られている。
【0005】
しかしながら、図5に示すように、シールドのために受光窓を構成する表面の高濃度をグランドに接続する構成では、信号のリーク防止のために、半導体基板100をグランド電位に接続されたリード(リードフレームや回路パターン)に絶縁性接着剤108で接着する必要があり、その絶縁が不充分であると、受光素子に信号のリークが発生する。そのため、受光感度か低下するという問題を有している。
【0006】
また、図5に示すような構成では、PN接合が基板の表面と同方向に配置され、空乏層の拡がりが半導体基板の厚さ(深さ)方向ではなく、基板の表面と同方向になってしまう。光リモコンで使用される赤外線などの長波長帯の光は、短波長帯の光に比べて光浸透性が良いので、基板100の100μm前後の深さまで到達可能であり、図5のような表面近傍のみに光吸収層として機能する空乏層が形成される構成では、受光感度が低下してしまうという問題を有している。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、受光素子の感度を高めることを課題の1つとする。また、部品点数を削減することを課題の1つとする。耐電磁ノイズ特性を向上させることを課題の1つとする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明の受光素子は、請求項1に記載のように、低濃度の不純物を含んだ半導体基板と、前記半導体基板の表面に形成した第1導電型表面高濃度不純物層と、この第1導電型表面高濃度不純物層に接続した第1導電型表面電極と、前記半導体基板の表面に形成した第2導電型表面高濃度不純物層と、この第2導電型表面高濃度不純物層に接続した第2導電型表面電極と、前記基板の裏面に形成した第2導電型裏面高濃度不純物層と、この第2導電型裏面高濃度不純物層に接続した第2導電型裏面電極とを備え、前記第1導電型表面高濃度不純物層と前記半導体基板と前記第2導電型表面高濃度不純物層とによって前記基板の表面と平行な方向の第1の受光部を形成し、前記第1導電型表面高濃度不純物層と前記半導体基板と前記第2導電型裏面高濃度不純物層とによって前記基板の厚さ方向の第2の受光部を形成したことを特徴とする。
【0009】
本発明の受光素子は、請求項2に記載のように、前記第2導電型表面高濃度不純物層を囲むように前記第1導電型表面高濃度不純物層を配置することができる。
【0010】
本発明の受光素子は、請求項3に記載のように、前記半導体基板の表面に絶縁膜を形成し、前記第1、第2導電型表面電極は前記絶縁膜に形成したスルーホールを介して前記第1、第2導電型表面高濃度不純物層に接続した構成とすることができる。
【0011】
本発明の受光素子は、請求項4に記載のように、前記第2導電型表面電極は、絶縁膜を介して前記第1導電型表面高濃度不純物層の半分以上の面積を覆う構成とすることができる。
【0012】
本発明の受光モジュールは、請求項5に記載のように、上記いずれかに記載の受光素子をリードに導電性接着剤によって固定した構成とすることができる。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施形態について図面を参照して説明する。 図1は本発明の受光素子の実施形態を示す断面図、図2はその平面図である。図1は図2のA−Aに沿った断面を表す。
【0014】
受光素子1は、不純物濃度が低い半導体基板2の表面と平行な方向に第1の受光部3を形成し、基板2の厚さ方向(基板の表面と垂直な方向)に第2の受光部4を形成している。第1、第2の受光部3,4は、フォトダイオード、例えばPIN型のフォトダイオードで構成している。第1、第2の受光部3,4は、一方の電極、この例ではカソード側の電極を共通に接続している。
【0015】
基板2は、実質的に真性と見なすことが出来る程度に不純物濃度が低いSi基板を用いている。この例では、不純物濃度が4×1013cm−3以下で、厚さが300μm程度の第1導電型(N型)のSi基板を用いている。この基板2は、高抵抗で例えば500Ωcm以上の比抵抗に設定され、低濃度不純物層(N−)として機能する。基板2は、不純物濃度が4×1013cm−3以下で、厚さが300μm程度の第2導電型(P型)のSi基板を用いることも出来、この場合は低濃度の不純物層(P−)として機能する。
【0016】
前記半導体基板2の表面には、第1受光部3を構成する第1導電型表面高濃度不純物層5と第2導電型表面高濃度不純物層6を隣り合わせで形成している。第1導電型表面高濃度不純物層5は、第2導電型表面高濃度不純物層6を囲むように環状にN型不純物、例えばリン(P)を拡散させて形成している。第1導電型表面高濃度不純物層5はシート抵抗が20Ω/□程度、深さ(厚さ)が1〜2μmに形成され、高濃度のN層(N+)として機能する。
【0017】
基板2の表面中央部に位置する第2導電型表面高濃度不純物層6は、P型不純物、例えばボロン(B)を拡散させて形成している。この第2導電型表面高濃度不純物層6は、不純物濃度が3×1019cm−3程度、深さ(厚さ)が3μm程度に形成され、高濃度のP層(P+)として機能する。
【0018】
基板2の表面の全面には、光透過性の絶縁膜7を形成している。絶縁膜7は、表面保護膜および反射防止膜としても機能し、例えば酸化シリコン(SiO2)によって形成している。この絶縁膜7の上に、絶縁膜7のコンタクトホールを介して第1導電型表面高濃度不純物層5に接続した第1導電型表面電極8と、絶縁膜7のコンタクトホールを介して第2導電型表面高濃度不純物層6に接続した第2導電型表面電極9を配置している。電極8,9は、アルミニウム等の金属をワイヤボンド接続に耐え得る程度の厚さ(1〜3μm)に蒸着し、フォトリソグラフィにより不要部分を除去することによって、所定のパターンに形成される。電極8と電極9のパターンによって、第1導電型表面高濃度不純物層5の大部分を絶縁層7を介して覆うようにしている。電磁シールド効果を得るために、電気的に高ゲインを有する層、この例では表面高濃度不純物層5の半分以上を電極9のパターンによって覆っている。
【0019】
基板2の裏面には、第2受光部を構成する第2導電型裏面高濃度不純物層10を形成している。第2導電型裏面高濃度不純物層10は、P型不純物、例えばボロン(B)を拡散させて形成している。この第2導電型裏面高濃度不純物層10は、不純物濃度が3×1019cm−3程度、深さ(厚さ)が100〜200μmの範囲に形成され、高濃度のP層(P+)として機能する。第2導電型裏面高濃度不純物層10の深さ(厚さ)は、第2導電型表面高濃度不純物層6の深さよりも十分に深くなるように設定されているとともに、基板2の低濃度不純物層(N−)の厚さが90〜150μmの範囲内に得られるような範囲に設定されている。
【0020】
基板2の裏面には、第2導電型裏面高濃度不純物層10に接続した第2導電型裏面電極11を配置している。電極11は、アルミニウムあるいは金等の金属を蒸着して形成している。
【0021】
この様な構成により、横方向と縦方向、すなわち基板2の表面に対して平行な方向と垂直な方向の2種類の受光部(フォトダイオード)3,4が形成される。一方の受光部3の一対の電極8,9は、受光素子1の一方の面に形成され、他方の受光部4の一対の電極8,11は、受光素子1の一方と他方の面に形成されている。
【0022】
このように、表面のみならず、深さ方向にも受光部4を形成しているので、例えば2つの受光部3,4を並列に接続することにより、受光感度、特に光リモコン等で使用される長波長帯(800〜1000nm)の感度を高めることができる。もちろん、2つの受光部3,4を、別々に扱うこともできる。
【0023】
上記の実施形態において、各層に含まれるP型とN型の不純物を逆の導電型に変更しても良い。
【0024】
図3は、前記受光素子1を備える受光モジュール20の実施形態を示す要部断面図、図4はその要部平面図である。このモジュール20は、金属製のリードフレーム21に受光素子1とその増幅駆動用IC22をマウントし、それらを可視光遮光用の成分を含んだ絶縁性樹脂23によって一体にモールドした構造としている。ここで、受光素子1とその増幅用IC22はそれぞれの裏面電極がリード21に電気的に接続するように、導電性接着剤24,25によりリード21上にマウントしている。2つの受光部3,4を並列に接続するために、リード21と第2導電型表面電極9の間をワイヤボンド配線26によって接続している。別のワイヤボンド配線27によって、受光素子1の出力となる第1導電型表面電極8とICの入力電極の間を接続している。IC22の信号出力となる電極と別のリード28間を別のワイヤボンド配線30によって接続し、IC22の駆動電源用電極とさらに別のリード29間を、さらに別のワイヤボンド配線31によって接続している。
【0025】
リード21を基準電位、例えばアース電位に接続することにより、受光素子1の表側の電極9がアース電位に保たれるので、受光素子1の表と裏の電極9,11、並びに第2導電型高濃度不純物層6,10をアース電位に保つことができ、素子1の表裏を広範囲にシールドすることによって、電磁のノイズによる影響を受けにくくすることができる。
【0026】
従来のように金属導電体を電磁シールドとして用いた場合、入射光が金属導電体により反射され、実効的受光面積が減少する(入射光がロスする)が、上記の実施形態によれば、これを解消できる。従来のように金属導電体を電磁シールドとして用いた場合、実効的受光面積が減少するため、あまり広域に金属導電体を受光素子表面に配置することができない事から有効な電磁シールドとしては、不十分であるが、上記実施形態では、受光素子1表面と裏面自体がシールド層となるため十分な電磁シールド効果が得られる。
【0027】
樹脂封止を行なっている従来の受光モジュールは、内部の受光素子表面にメッシュ状金属導電体を形成していることが多いが、このような場合は、直接素子表面に透明電導体を形成するため、等価的に素子表面で平行平板コンデンサーを生じてしまい、素子の容量が増大し受光モジュールに搭載した場合到達距離が短くなってしまう。しかしながら、上記実施形態によれば、素子容量の増大を防止でき、受光モジュール搭載時の到達距離が損なわれない。
【0028】
受光素子1自体に電磁シールド機能を有する為、従来、耐電磁ノイズとして、受光モジュール内部に装着した透明導電性フィルム(金属化フィルム)、更には、モジュールケース受光窓のメッシュ構造をもが不要となる。以上のように、電磁シールド用部品が削除できるため、超小型受光モジュールの提供が可能となる。
【0029】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、受光素子の感度を高めることができる。また、部品点数を削減することができる。耐電磁ノイズ特性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の受光素子の実施形態を示す断面図である。
【図2】同実施形態の平面図である。
【図3】本発明の受光モジュールの実施形態を示す断面図である。
【図4】同実施形態の平面図である。
【図5】従来例を示す概略的な断面図である。
【符号の説明】
1 受光素子
2 基板
3 受光部
4 受光部
Claims (5)
- 低濃度の不純物を含んだ半導体基板と、前記半導体基板の表面に形成した第1導電型表面高濃度不純物層と、この第1導電型表面高濃度不純物層に接続した第1導電型表面電極と、前記半導体基板の表面に形成した第2導電型表面高濃度不純物層と、この第2導電型表面高濃度不純物層に接続した第2導電型表面電極と、前記基板の裏面に形成した第2導電型裏面高濃度不純物層と、この第2導電型裏面高濃度不純物層に接続した第2導電型裏面電極とを備え、前記第1導電型表面高濃度不純物層と前記半導体基板と前記第2導電型表面高濃度不純物層とによって前記基板の表面と平行な方向の第1の受光部を形成し、前記第1導電型表面高濃度不純物層と前記半導体基板と前記第2導電型裏面高濃度不純物層とによって前記基板の厚さ方向の第2の受光部を形成したことを特徴とする受光素子。
- 前記第2導電型表面高濃度不純物層を囲むように前記第1導電型表面高濃度不純物層を配置したことを特徴とする請求項1記載の受光素子。
- 前記半導体基板の表面に絶縁膜を形成し、前記第1、第2導電型表面電極は前記絶縁膜に形成したスルーホールを介して前記第1、第2導電型表面高濃度不純物層に接続したことを特徴とする請求項2記載の受光素子。
- 前記第2導電型表面電極は、絶縁膜を介して前記第1導電型表面高濃度不純物層の半分以上の面積を覆うことを特徴とする請求項1記載の受光素子。
- 請求項1〜4のいずれかに記載の受光素子をリードに導電性接着剤によって固定したことを特徴とする受光モジュール。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002209679A JP2004055743A (ja) | 2002-07-18 | 2002-07-18 | 受光素子及び受光モジュール |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002209679A JP2004055743A (ja) | 2002-07-18 | 2002-07-18 | 受光素子及び受光モジュール |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004055743A true JP2004055743A (ja) | 2004-02-19 |
Family
ID=31933466
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002209679A Pending JP2004055743A (ja) | 2002-07-18 | 2002-07-18 | 受光素子及び受光モジュール |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004055743A (ja) |
-
2002
- 2002-07-18 JP JP2002209679A patent/JP2004055743A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5249994B2 (ja) | 半導体光検出素子および半導体装置 | |
US4318115A (en) | Dual junction photoelectric semiconductor device | |
US20020020846A1 (en) | Backside illuminated photodiode array | |
JP2013065911A (ja) | フォトダイオードアレイ | |
US5130775A (en) | Amorphous photo-detecting element with spatial filter | |
CN209282223U (zh) | 一种背照式光电二极管 | |
JP3490959B2 (ja) | 受光素子及び受光モジュール | |
JP2998646B2 (ja) | 受光演算素子 | |
JP2004055743A (ja) | 受光素子及び受光モジュール | |
JP2009510732A (ja) | 検出器装置および検出器素子 | |
JP3497977B2 (ja) | 受光素子およびこれを用いた光結合装置 | |
JP3831639B2 (ja) | 受光素子及び受光モジュール | |
JP3583815B2 (ja) | 受光素子 | |
JP3696177B2 (ja) | 光リモコン用受光モジュール | |
JP3594418B6 (ja) | 受光素子 | |
JP3609544B6 (ja) | 受光装置 | |
JP3594418B2 (ja) | 受光素子 | |
JP3609544B2 (ja) | 受光装置 | |
JP4036850B2 (ja) | 受光モジュール | |
JP3696094B2 (ja) | 受光モジュ−ル | |
JPH10270742A (ja) | フォトダイオード | |
JP2011211070A (ja) | アバランシェフォトダイオードアレイ | |
JP3516342B2 (ja) | 光リモコン用受光モジュ−ル | |
JP3696178B2 (ja) | 光リモコン用受光モジュール | |
JPS6222273B2 (ja) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050401 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20051227 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060414 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060418 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060619 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060711 |