JP2004048955A

JP2004048955A - 直動型変位拡大機構及びその作製方法

Info

Publication number: JP2004048955A
Application number: JP2002205548A
Authority: JP
Inventors: Takeshi Yano; 矢野　健; Toshiro Higuchi; 樋口　俊郎; Arata Inoue; 井上　亜良太
Original assignee: DENSHI SEIKI KK
Current assignee: DENSHI SEIKI KK
Priority date: 2002-07-15
Filing date: 2002-07-15
Publication date: 2004-02-12

Abstract

【課題】大きい発生変位を得ることができるにもかかわらず、小型でコンパクトな直動型変位拡大機構及びその作製方法を提供する。
【解決手段】圧電アクチュエータ素子１０１及びベース１０２が内側に配置されるように、ほぼΓ形状を有する第１のアーム１１３と第２のアーム１１４を配置し、前記圧電アクチュエータ素子１０１を中心にして左右対称に配置されるとともに、第１のアーム１１３と第２のアーム１１４の先端にそれぞれ固定され、互いにハの字を逆にした位置関係になるように配置されるとともに、それぞれの先端部に接合されるセンターピース１１７を有する第１の板ばね１１５および第２の板ばね１１６とを備え、圧電アクチュエータ素子１０１の駆動により変位が発生すると、第１のアーム１１３および第２のアーム１１４の先端は互いに距離を縮めるように変位し、前記逆ハの字をなす第１および第２の板ばね１１５，１１６は、センターピース１１７を突き出すように変位をする。
【選択図】　　図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧電アクチュエータ素子が発生する機械的変位を拡大する変位拡大機構に係り、特に拡大された変位が直線的な変位であるような直動型変位拡大機構及びその作製方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
圧電アクチュエータ素子は、電気エネルギから機械エネルギに変換する変換効率が高く、現代社会の重要な課題である省エネルギに合致するものである。また、印加される電圧を変えることにより、比較的簡単に、発生する変位を可変にすることが可能であり、制御性に大変優れた特徴がある。また、大変速い電圧変化にも対応可能である。
【０００３】
しかし、この圧電アクチュエータ素子の駆動により発生する変位は、一般的には１０〜２０μｍ、特に大きな発生変位を持つものでも１００μｍを越えない。そのために、圧電アクチュエータ素子の応用範囲はどうしても限定される傾向がある。この限界を超えるために、圧電アクチュエータ素子の駆動により発生する変位を機械的に拡大するいわゆる変位拡大機構がある。
【０００４】
変位拡大機構を構成する基本技術原理としては「てこ機構」が良く知られている。てこ機構は大変優れた技術原理であり、これを応用して一般に大変優れた変位拡大機構を構成することができる。しかし、てこ機構の場合には、拡大された変位は、一般にアームの根元付近に回転中心を有する回転運動となる。変位拡大機構で拡大された変位としては、回転運動でも良い応用もあるが、例えばパンチ加工の駆動源として用いる場合等、直線運動が必要な場合も多い。直線運動を発生させる変位拡大機構は直動型変位拡大機構と呼ばれる。
【０００５】
図７は従来の直動型変位拡大機構の構成図である。
【０００６】
この図７において、圧電アクチュエータ素子１は、ほぼＵ形状をなすベース２の底部に固定されている。この圧電アクチュエータ素子１の他の一端には、圧電アクチュエータ素子１の駆動により発生する変位を第２、第４のヒンジ６，９に伝えるためのキャップ３が取り付けられている。
【０００７】
Ｕ字形状のベース２の上端の一方には第１のヒンジ４の一端が接合され、この第１のヒンジ４の他端はほぼ直線状の第１のアーム５の下端に接合されている。この第１のアーム５には、また、第１のヒンジ４と所定の距離を保つ位置に第２のヒンジ６の一端が接合され、この第２のヒンジ６の他端はキャップ３に接合されている。
【０００８】
同様にして、これらと左右対称な構造を持つように、第３のヒンジ７、第２のアーム８、第４のヒンジ９が接合されている。第１のアーム５および第２のアーム８の上端の間には、ハの字を逆にした位置関係で第１の板ばね１０および第２の板ばね１１が配置されている。また、第１の板ばね１０と第２の板ばね１１が結合される逆ハの字の先端部分にはセンターピース１２が接合されている。
【０００９】
そこで、圧電アクチュエータ素子１の駆動により変位が発生すると、第１のアーム５および第２のアーム８は、各々てこ機構として動作し、第１のアーム５と第２のアーム８の上端間の距離を拡大するように互いに変位する。すると、逆ハの字をなす第１の板ばね１０および第２の板ばね１１はその位置関係が平らになる方向に変形し、結果的にセンターピース１２を押し上げるように変位するので、この場合に発生する変位は直線運動になる。各部分の変位を図中では矢印で示した。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記した従来の図７に示す直動型変位拡大機構は、全体の大きさ、特に長さ寸法が大きい。特に大きい発生変位が要求される場合には、変位拡大率を大きくするために、第１のアーム５および第２のアーム８の長さ寸法をさらに長くする必要があり、必然的に全体の長さ寸法が大きくなることは避けられない。このため、小型の変位拡大機構が要求される用途に対して対応することが困難であった。
【００１１】
本発明は、上記状況に鑑みて、大きい発生変位を得ることができるにもかかわらず、小型でコンパクトな直動型変位拡大機構及びその作製方法を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記目的を達成するために、
〔１〕直動型変位拡大機構において、圧電アクチュエータ素子と、この圧電アクチュエータ素子の先端に固定されるキャップと、前記圧電アクチュエータ素子の基端が底部に固定されるほぼＵ形状をなすベースと、前記圧電アクチュエータ素子を中心にして左右対称に配置されるとともに、前記ベースの左側先端部に固定される第１のヒンジと、この第１のヒンジから所定の間隔をおいて前記キャップの左側先端部に固定される第２のヒンジと、前記ベースの右側先端部に固定される第３のヒンジと、前記キャップの右側先端部に固定される第４のヒンジと、前記圧電アクチュエータ素子を中心にして左右対称に配置されるとともに、前記第１〜第４のヒンジに固定され、前記ベースが内側になるように配置されるほぼΓ形状を有する第１のアームおよび第２のアームと、前記圧電アクチュエータ素子を中心にして左右対称に配置されるとともに、前記第１のアームおよび第２のアームの先端にそれぞれ固定され、互いにハの字を逆にした位置関係になるように配置されるとともに、それぞれの先端部に接合されるセンターピースを有する第１の板ばねおよび第２の板ばねとを備え、前記圧電アクチュエータ素子の駆動により変位が発生すると、前記第１のアームおよび第２のアームの先端は互いに距離を縮めるように変位し、前記逆ハの字をなす第１および第２の板ばねは、前記センターピースを突き出すように変位をすることを特徴とする。
【００１３】
〔２〕上記〔１〕記載の直動型変位拡大機構において、前記第１および第２の板ばねは、各々の両端部の２箇所に板厚の薄い部分が形成されることを特徴とする。
【００１４】
〔３〕直動型変位拡大機構の作製方法において、（ａ）あらかじめ、圧電アクチュエータ素子と、この圧電アクチュエータ素子の先端に固定されるキャップと、前記圧電アクチュエータ素子の基端が底部に固定されるほぼＵ形状をなすベースと、前記圧電アクチュエータ素子を中心にして左右対称に配置されるとともに、前記ベースの左側先端部に固定される第１のヒンジと、この第１のヒンジから所定の間隔をおいて前記キャップの左側先端部に固定される第２のヒンジと、前記ベースの右側先端部に固定される第３のヒンジと、前記キャップの右端先端部に固定される第４のヒンジと、前記圧電アクチュエータ素子を中心にして左右対称に配置されるとともに、前記第１〜第４のヒンジに固定され、前記ベースが内側になるように配置されるほぼΓ形状を有する第１のアームおよび第２のアームとをワイヤカット放電加工等の一体加工手段により作製し、（ｂ）前記圧電アクチュエータ素子を中心にして左右対称に配置されるとともに、前記第１のアームと第２のアームの先端にそれぞれ固定され、互いにハの字を逆にした位置関係になるように配置される第１の板ばねおよび第２の板ばねと、そのそれぞれの先端部に接合されるセンターピースとを別体として作製し、（ｃ）前記第１のアームおよび第２のアームに前記第１の板ばねおよび第２の板ばねの基部をそれぞれ一体接合することを特徴とする。
【００１５】
〔４〕直動型変位拡大機構の作製方法において、（ａ）あらかじめ、圧電アクチュエータ素子と、この圧電アクチュエータ素子の先端に固定されるキャップと、前記圧電アクチュエータ素子の基端が底部に固定されるほぼＵ形状をなすベースと、前記圧電アクチュエータ素子を中心にして左右対称に配置されるとともに、前記ベースの左側先端部に固定される第１のヒンジと、この第１のヒンジから所定の間隔をおいて前記キャップの左側先端部に固定される第２のヒンジと、前記ベースの右側先端部に固定される第３のヒンジと、前記キャップの右側先端部に固定される第４のヒンジと、前記圧電アクチュエータ素子を中心にして左右対称に配置されるとともに、前記第１〜第４のヒンジに固定され、前記ベースが内側になるように配置されるほぼΓ形状を有する第１のアームおよび第２のアームとをワイヤカット放電加工等の一体加工手段により作製し、（ｂ）前記圧電アクチュエータ素子を中心にして左右対称に配置されるとともに、前記第１のアームと第２のアームの先端にそれぞれ固定され、互いにハの字を逆にした位置関係になるように配置される第１の板ばねおよび第２の板ばねとセンターピースとを一体的に作製し、前記第１のアームおよび第２のアームに前記第１の板ばねおよび第２の板ばねの基部をそれぞれ一体接合することを特徴とする。
【００１６】
〔５〕上記〔３〕記載の直動型変位拡大機構の作製方法において、前記第１の板ばね、第２の板ばねは、カーボンファイバーを含む素材よりなることを特徴とする。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
【００１８】
図１は本発明の第１実施例を示す直動型変位拡大機構の構成図である。
【００１９】
この図において、圧電アクチュエータ素子１０１は、ほぼ英文字のＵ形状をなすベース１０２の底部に固定されている。圧電アクチュエータ素子１０１の他の一端には、圧電アクチュエータ素子１０１の発生する変位を第２、第４のヒンジ１０５，１０７に伝えるためのキャップ１０３が取り付けられている。
【００２０】
Ｕ形状のベース１０２の上端の一方には第１のヒンジ１０４の一端が接合されている。第１のヒンジ１０４の他端は、ほぼギリシャ文字のΓ形状をなす第１のアーム１１３の上部内側に接合されている。第１のアーム１１３の上部内側には第１のヒンジ１０４と所定の距離を保つ位置に第２のヒンジ１０５が接合されている。第２のヒンジ１０５の他端はベース１０２に接合されている。
【００２１】
同様にして、これらと左右対称な構造を持つように、第３のヒンジ１０６、第２のアーム１１４、および第４のヒンジ１０７が配置されている。第１のアーム１１３および第２のアーム１１４の先端の間には、ハの字を上下逆にした位置関係で第１の板ばね１１５および第２の板ばね１１６が配置されている。また、第１の板ばね１１５と第２の板ばね１１６が接合される逆ハの字の先端部分にはセンターピース１１７が接合されている。
【００２２】
圧電アクチュエータ素子１０１の駆動により変位が発生すると、第１のアーム１１３および第２のアーム１１４は、各々てこ機構として動作し、第１のアーム１１３と第２のアーム１１４の先端間の距離を互いに狭めるように変位する。すると、逆ハの字をなす第１の板ばね１１５および第２の板ばね１１６はセンターピース１１７を下方向に突き出すように変位する。
【００２３】
ここで、変位拡大機構の変位拡大率を大きくすることを考えてみる。
【００２４】
図１の構造における変位拡大率は、第１のヒンジ１０４〜第４のヒンジ１０７および第１のアーム１１３と第２のアーム１１４で構成される第１段目の変位拡大機構の持つ変位拡大率と、第１の板ばね１１５および第２の板ばね１１６により構成される第２段目の変位拡大機構の持つ変位拡大率との積で決まる。
【００２５】
第２段目の変位拡大率は、第１の板ばね１１５および第２の板ばね１１６の水平から計った角度をθとするとき１／ｔａｎθで決定されるが、θに対する選択の自由度が少ないため、変位拡大率に関しては主として第１段目の変位拡大機構に支配される。
【００２６】
第１段目の変位拡大率は、第１のアーム１１３および第２のアーム１１４をてこ機構として、第１のヒンジ１０４と第２のヒンジ１０５の間の距離と第１のアーム１１３の長さの比で決定される。従って、第１段目の変位拡大率を高めるにはアームが長い方が有利である。
【００２７】
本発明による構造では、アームの長さは変位拡大機構の長さ寸法を最大限に活用することが可能である。具体的には、（１）圧電アクチュエータ素子１０１の長さ寸法、（２）Ｕ形状ベース１０２の底部の厚さ寸法、（３）第１〜第４のヒンジ１０４〜１０７の長さ寸法、の３つを加えた寸法をアームの長さ寸法とすることが可能であり、従って、小型でありながら、比較的大きな変位拡大率を持った変位拡大機構の実現が可能である。
【００２８】
ところで、従来の直動型変位拡大機構に比して考慮しなければならない点がある。それは、図７に示した従来の直動型変位拡大機構の場合には、変位拡大に伴って第１の板ばね１０および第２の板ばね１１に加わる力は外方向への引っ張り力であったが、本発明の場合に第１の板ばね１１５および第２の板ばね１１６に加わる力は圧縮力になるということである。
【００２９】
ここで、図２に本発明の第２実施例を示す直動型変位拡大機構の板ばねの構成図を示す。
【００３０】
内方向への圧縮力が第１の板ばね１１５および第２の板ばね１１６に加わった時、板厚が薄い、またその板厚の薄い部分の長さが長い場合には、第１の板ばね１１５または第２の板ばね１１６が座屈を起こす可能性がある。変位拡大に伴う第１の板ばね１１５および第２の板ばね１１６の座窟による変形は、図２（ａ）に示すように、２つの部分で曲げ変形が起こる。つまり、板ばねの両端付近の曲げ変形が大きく、中央部では曲げ変形はほとんど起こらない。そこで、第２の実施形態として、図２（ｂ）に示すように、第１の板ばね１１５および第２の板ばね１１６の中央部分に厚い部分１１８、両端部分の２箇所に薄い部分１１９，１２０を形成し、全体の厚さを一定ではなくすることにより座屈を防ぐことができる。
【００３１】
また、この変位拡大機構を低コストで製造するために以下のように構成する。
【００３２】
図３は本発明の実施例を示す直動型変位拡大機構の作製方法の説明図である。
【００３３】
まず、図３（ａ）に示すように、圧電アクチュエータ素子１０１、キャップ１０３、第１〜第４のヒンジ１０４，１０５，１０６，１０７、第１、第２アーム１１３，１１４をワイヤカット放電加工等の一体加工手段により作製する。
【００３４】
一方、別個に、図３（ｂ）に示すように、第１の板ばね１１５、第２の板ばね１１６、およびセンターピース１１７を接合して作製する。
【００３５】
そこで、図３（ｃ）に示すように、第１、第２のアーム１１３，１１４の先端１１３Ａ，１１４Ａに第１、第２の板ばね１１５と１１６の基部１１５Ａ，１１６Ａをそれぞれ接合して、一体化する。
【００３６】
このように、低コストで製造するための工法としては、ワイヤカット放電加工等の一体加工手段が適用できる。しかし、ワイヤカット放電加工を全部位の作製に適用する場合の一番の問題は、第１の板ばね１１５および第２の板ばね１１６部分の加工である。ワイヤカット放電加工中には、素材内部にたまった歪エネルギを放出するのに伴って、微小な変形を伴うことが多い。
【００３７】
この微小な変形は、厚さが厚い部分１１８については問題になり難いが、第１の板ばね１１５および第２の板ばね１１６の両端部分は厚さが薄い部分１１９，１２０となるため、例えば０．３ｍｍの板厚に対して仮に０．１ｍｍの変形があった場合には、最終的に板厚の誤差が３０％にも達してしまう。
【００３８】
そこで、第１の板ばね１１５および第２の板ばね１１６、およびセンターピース１１７の部分を第１段目の変位拡大機構とは別に作製した後、第１のアーム１１３と第２のアーム１１４、および第１の板ばね１１５、第２の板ばね１１６とセンターピース１１７部分とを溶接、接着等の工法により接合する。これにより微小な変形を防ぎ、さらに低コスト化を図ることができる。
【００３９】
図４はその板ばねおよびセンターピースの組み立て体の作製方法の説明図である。
【００４０】
まず、図４（ａ）に示すように、厚さがＤ_１の板状の素材１２１を用意して、図４（ｂ）に示すように、その板状の素材１２１の両端部を切削して薄い部分１２２，１２３を形成した第１および第２の板ばね１２５を作製する。なお、１２４は板ばね１２５の厚い部分、１２１Ａ、１２１Ｂは板ばね１２５の両端部である。
【００４１】
一方、板状の素材（図示なし）から、図４（ｃ）に示すように、センターピース１２６を形成する。
【００４２】
そこで、図４（ｄ）に示すように、第１および第２の板ばね１２５のそれぞれの両端部１２１Ａまたは１２１Ｂをセンターピース１２６の両端の隅部１２６Ａ，１２６Ｂに溶接や接着により固定する。
【００４３】
このように、この実施例では、板ばね１２５およびセンターピース１２６は板状の素材から成型するようにした。
【００４４】
図５はその板ばねの作製方法の説明図である。
【００４５】
まず、図５（ａ）に示すように、カーボンファイバーを含む板状の素材１３０を用意する。
【００４６】
次に、図５（ｂ）に示すように、板ばね１３１に成形する。その成形方法は、図４（ａ）と図４（ｂ）と同様である。
【００４７】
図６は本発明のセンターピースと板ばねが板状の素材から一体成型される実施例を示す工程断面図である。
【００４８】
（１）まず、図６（ａ）に示すように、長い板状の素材１４０を用意する。
【００４９】
（２）次に、図６（ｂ）に示すように、その板状の素材１４０に板厚の薄い部分１４１を形成して、中央に板厚の厚いセンターピース１４２と板厚の厚い部分１４３，１４４を有するセンターピース１４２のアームを加工する。
【００５０】
（３）次に、図６（ｃ）に示すように、常態では逆「へ」の字形状になるように成形される。
【００５１】
なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能であり、これらを本発明の範囲から排除するものではない。
【００５２】
【発明の効果】
以上、詳細に説明したように、本発明によれば、以下のような効果を奏することができる。
【００５３】
（Ａ）Ｕ形状のベースの両脇の部分を有効に利用するために、アームをΓ形状に成形して、Ｕ形状のベースの両端に配置することにより、第１のアームおよび第２のアームの長さ寸法は、変位拡大機構の全体の長さ寸法分を無駄なく利用することができ、小型でコンパクトなものにすることができる。
【００５４】
（Ｂ）第１の板ばねおよび第２の板ばねについては、各々の厚い板部材の基端の２箇所に板厚の薄い部分を形成するようにしたので、的確に動作するとともに座屈を防止することができる。
【００５５】
（Ｃ）第１の板ばねと第２の板ばね、およびセンターピースは別体としてあらかじめ接合して作製した後、ワイヤカット放電加工等の一体加工手段により作製した別成形の第１段目の変位拡大機構に第１のアームおよび第２のアームを溶接、接着等の手段により一体接合するようにしたので、低コストで作製することができ、かつセンターピース部分の質量を軽くできため、高速の応答を可能にすることができる。
【００５６】
（Ｄ）第１の板ばね、第２の板ばねは、カーボンファイバーを含む素材により作製するようにしたので、長寿命で、かつ信頼性が高い板ばね機構を提供することができる。
【００５７】
（Ｅ）第１の板ばね、第２の板ばねおよびセンターピースは、板状の素材から一体成型されるようにしたので、作製が容易で低コスト化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施例を示す直動型変位拡大機構の構成図である。
【図２】本発明の第２実施例を示す直動型変位拡大機構の板ばねの構成図である。
【図３】本発明の実施例を示す直動型変位拡大機構の作製方法の説明図である。
【図４】本発明の実施例を示す直動型変位拡大機構の板ばねおよびセンターピースの組み立て体の作製方法の説明図である。
【図５】本発明の実施例を示す直動型変位拡大機構の板ばねの製作方法の説明図である。
【図６】本発明のセンターピースと板ばねが板状の素材から一体成型される実施例を示す工程断面図である。
【図７】従来の直動型変位拡大機構の構成図である。
【符号の説明】
１０１　　圧電アクチュエータ素子
１０２　　Ｕ形状をなすベース
１０３　　キャップ
１０４　　第１のヒンジ
１０５　　第２のヒンジ
１０６　　第３のヒンジ
１０７　　第４のヒンジ
１１３　　第１のアーム
１１３Ａ，１１４Ａ　　アームの先端
１１４　　第２のアーム
１１５　　第１の板ばね
１１５Ａ，１１６Ａ　　板ばねの基部
１１６　　第２の板ばね
１１７，１２６，１４２　　センターピース
１１８，１２４　　板ばねの厚い部分（中央部分）
１１９，１２０，１２２，１２３　　板ばねの薄い部分（両端部分）
１２１　　板状の素材
１２１Ａ，１２１Ｂ　　板ばねの両端部
１２５，１３１　　板ばね
１２６Ａ，１２６Ｂ　　センターピース両端の隅部
１３０　　カーボンファイバーを含む板状の素材
１４０　　長い板状の素材
１４１　　板厚の薄い部分
１４３，１４４　　板厚の厚い部分

Claims

（ａ）圧電アクチュエータ素子と、
（ｂ）該圧電アクチュエータ素子の先端に固定されるキャップと、
（ｃ）前記圧電アクチュエータ素子の基端が底部に固定されるほぼＵ形状をなすベースと、
（ｄ）前記圧電アクチュエータ素子を中心にして左右対称に配置されるとともに、前記ベースの左側先端部に固定される第１のヒンジと、該第１のヒンジから所定の間隔をおいて前記キャップの左側先端部に固定される第２のヒンジと、前記ベースの右側先端部に固定される第３のヒンジと、前記キャップの右側先端部に固定される第４のヒンジと、
（ｅ）前記圧電アクチュエータ素子を中心にして左右対称に配置されるとともに、前記第１〜第４のヒンジに固定され、前記ベースが内側になるように配置されるほぼΓ形状を有する第１のアームおよび第２のアームと、
（ｆ）前記圧電アクチュエータ素子を中心にして左右対称に配置されるとともに、前記第１のアームおよび第２のアームの先端にそれぞれ固定され、互いにハの字を逆にした位置関係になるように配置されるとともに、それぞれの先端部に接合されるセンターピースを有する第１の板ばねおよび第２の板ばねとを備え、
（ｇ）前記圧電アクチュエータ素子の駆動により変位が発生すると、前記第１のアームおよび第２のアームの先端は互いに距離を縮めるように変位し、前記逆ハの字をなす第１および第２の板ばねは、前記センターピースを突き出すように変位をすることを特徴とする直動型変位拡大機構。
請求項１記載の直動型変位拡大機構において、前記第１および第２の板ばねは、各々の両端部の２箇所に板厚の薄い部分が形成されることを特徴とする直動型変位拡大機構。
（ａ）あらかじめ、圧電アクチュエータ素子と、該圧電アクチュエータ素子の先端に固定されるキャップと、前記圧電アクチュエータ素子の基端が底部に固定されるほぼＵ形状をなすベースと、前記圧電アクチュエータ素子を中心にして左右対称に配置されるとともに、前記ベースの左側先端部に固定される第１のヒンジと、該第１のヒンジから所定の間隔をおいて前記キャップの左側先端部に固定される第２のヒンジと、前記ベースの右側先端部に固定される第３のヒンジと、前記キャップの右側先端部に固定される第４のヒンジと、前記圧電アクチュエータ素子を中心にして左右対称に配置されるとともに、前記第１〜第４のヒンジに固定され、前記ベースが内側になるように配置されるほぼΓ形状を有する第１のアームおよび第２のアームとをワイヤカット放電加工等の一体加工手段により作製し、
（ｂ）前記圧電アクチュエータ素子を中心にして左右対称に配置されるとともに、前記第１のアームと第２のアームの先端にそれぞれ固定され、互いにハの字を逆にした位置関係になるように配置される第１の板ばねおよび第２の板ばねと、そのそれぞれの先端部に接合されるセンターピースとを別体として作製し、
（ｃ）前記第１のアームおよび第２のアームに前記第１の板ばねおよび第２の板ばねの基部をそれぞれ一体接合することを特徴とする直動型変位拡大機構の作製方法。
（ａ）あらかじめ、圧電アクチュエータ素子と、該圧電アクチュエータ素子の先端に固定されるキャップと、前記圧電アクチュエータ素子の基端が底部に固定されるほぼＵ形状をなすベースと、前記圧電アクチュエータ素子を中心にして左右対称に配置されるとともに、前記ベースの左側先端部に固定される第１のヒンジと、該第１のヒンジから所定の間隔をおいて前記キャップの左側先端部に固定される第２のヒンジと、前記ベースの右側先端部に固定される第３のヒンジと、前記キャップの右側先端部に固定される第４のヒンジと、前記圧電アクチュエータ素子を中心にして左右対称に配置されるとともに、前記第１〜第４のヒンジに固定され、前記ベースが内側になるように配置されるほぼΓ形状を有する第１のアームおよび第２のアームとをワイヤカット放電加工等の一体加工手段により作製し、
（ｂ）前記圧電アクチュエータ素子を中心にして左右対称に配置されるとともに、前記第１のアームと第２のアームの先端にそれぞれ固定され、互いにハの字を逆にした位置関係になるように配置される第１の板ばねおよび第２の板ばねとセンターピースとを一体的に作製し、
（ｃ）前記第１のアームおよび第２のアームに前記第１の板ばねおよび第２の板ばねの基部をそれぞれ一体接合することを特徴とする直動型変位拡大機構の作製方法。
請求項３記載の直動型変位拡大機構の作製方法において、前記第１の板ばね、第２の板ばねは、カーボンファイバーを含む素材よりなることを特徴とする直動型変位拡大機構の作製方法。