JP2004031763A - 発光装置 - Google Patents
発光装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004031763A JP2004031763A JP2002187646A JP2002187646A JP2004031763A JP 2004031763 A JP2004031763 A JP 2004031763A JP 2002187646 A JP2002187646 A JP 2002187646A JP 2002187646 A JP2002187646 A JP 2002187646A JP 2004031763 A JP2004031763 A JP 2004031763A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- light emitting
- container
- emitting element
- emitting device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Led Device Packages (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
- Led Devices (AREA)
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
【課題】発光素子を用いた発光装置において、その動作熱を好適に冷却し、且つ光の取り出しにも優れたパッケージ、特に、高出力動作でも優れた連続動作が可能なパッケージを提供することにある。
【解決手段】容器12内に発光素子16が設けられた発光装置41において、容器12内には冷媒15が溜められた冷媒溜まり14を有し、前記発光素子16が該冷媒溜まりに浸漬されて直接冷却するように載置され、容器12には該発光素子16を熱源として発熱された冷媒15が冷却される冷却部13を備え、更に該容器12には前記発光素子16からの光を容器外部に取り出す導光部23を備えると共に、前記発光素子からの発光32を導光部に取り入れる入光端部18が、前記冷媒溜まり14に浸漬されていることを特徴とする。
【選択図】 図1
【解決手段】容器12内に発光素子16が設けられた発光装置41において、容器12内には冷媒15が溜められた冷媒溜まり14を有し、前記発光素子16が該冷媒溜まりに浸漬されて直接冷却するように載置され、容器12には該発光素子16を熱源として発熱された冷媒15が冷却される冷却部13を備え、更に該容器12には前記発光素子16からの光を容器外部に取り出す導光部23を備えると共に、前記発光素子からの発光32を導光部に取り入れる入光端部18が、前記冷媒溜まり14に浸漬されていることを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【産業上の利用分野】
本願発明は、発光素子からの出射光を外部に取り出す機構を備えた発光装置に係り、特に発熱量の大きい高出力発光素子を好適に冷却するための機構を備えた発光装置に関する.
【0002】
【従来の技術】
LDの冷却技術には,ヒートシンクに熱を放出するといった受動的な冷却機構と,ヒートシンクに冷却水を流して直接熱を奪い取るといった能動的な冷却機構とがある.
【0003】
従来において,CANタイプのLDパッケージ(12)のように、ヒートシンク(117)を介して熱伝導させて、発光素子16からの熱が移動するヒートシンク(117)を冷却させる受動的な冷却機構が発光装置として採用されている(図6(a))。
【0004】
このパッケージは、LD(16)がヒートシンク(117)に実装され、LD(16)からの発光(33)を外部に取り出す窓(140)を備えたキャップ(201)により不活性ガス(203)中で気密封止された発光装置であり,比較的低出力のレーザーによく採用されている.
【0005】
しかし,高出力のレーザーにおいては,素子の発光損失やジュール熱による発熱が非常に大きい.特に発熱による発光素子の温度上昇は、発光効率の低下や閾値電流の増大等、LD特性の悪化を招く原因となるため,最小限に抑える必要がある.それゆえに特にワイドバンドギャップ半導体材料などによる発光素子の開発や、さらなる光出力の高出力化には、発光装置として能動的な冷却機構が好まれる.
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
これまで能動的な冷却機構として,ヒートシンクに冷却水を流して直接熱を奪い取る機構のほか,ヒートシンクにヒートパイプを埋め込み,素子よりヒートシンクへ移動した熱を急速に他方端部の低温部に移動させて,ヒートシンクを冷却する方法も考案されていた.
【0007】
しかし,ワイドバンドギャップ半導体材料などによる高出力発光素子では、特に発光層の温度上昇が非常に速く,安定した光出力でかつ長寿命の発光素子を実現するためには,ヒートシンク材料の肉厚さえも介さずして直接熱を急速に奪い取る機構が必要である.
これは、従来想定されていなかったワイドバンドギャップ半導体材料などによる高出力域、特にワット級の発光出力を要請する応用分野にて半導体発光素子を適用する際に、新規で、且つ発光素子応用において深刻な課題である。また、従来の光源を半導体発光素子に代替する利点は、長寿命、光源となる発光装置の容積低減であり、これらを満足する発光装置が必要となる。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明では、上記事情に鑑み、ヒートシンクの熱伝導では解決できない大きな発熱量を伴う発光素子においても、十分な放熱特性を備える発光装置を提供することにある。
本発明の発光装置は、下記(1)〜(8)であることを特徴とする。
【0009】
(1) 図4に示すように、容器(12)内に発光素子(16)が設けられた発光装置(41)において、容器(12)内には冷媒(15)が溜められた冷媒溜まり(42)を有し、前記発光素子(16)が該冷媒溜まり(42)に浸漬されて直接冷却するように載置され、容器(12)には該発光素子(16)を熱源として発熱された冷媒(15)が冷却される冷却部(13)を備え、更に該容器12には前記発光素子からの光を容器外部に取り出す導光部(23)を備えると共に、前記発光素子(16)からの発光(32)を導光部(23)に取り入れる入光端部(18)が、前記冷媒溜まり(42)に浸漬されていることを特徴とする。
【0010】
このような構成であることにより、発光素子(16)の動作時に発生する熱は冷媒(15)の潜熱となって発光素子(16)が直接冷却され、また冷媒(15)は気化、蒸発して、冷媒溜まり(42)から冷却部(13)に移動し(図4中の矢印として示す)、冷却部(13)において液化、凝集すること(図4中の円で囲まれた領域など)で、冷媒溜まりまで移動して溜まる冷却循環機構を備えるため、発光素子(16)は効率的に冷却される。
【0011】
その結果,発光素子16の発光端面19は、光32を出射すると同時に、発光素子16内でも比較的高温となるため、その端面19が冷媒にさらされることで、好適に発光素子16が冷却され、温度上昇による素子劣化の加速を抑えて、高出力、連続駆動が可能となる。
【0012】
(2) (1)に記載の発光装置41において、前記入光端部18に向かう発光素子16の光軸33が、前記冷媒15内を通ることを特徴とする。この構成により、具体的には、図1(b)、図2、図3(b)、図4などに示すように、発光素子16の光軸33が、冷媒15内を通過することで導光部23まで伝搬することが可能となる.
【0013】
また、光軸33が冷媒溜まり42の液面43を交叉しない方向である形態、すなわち、液面43に対しほぼ並行である形態(図2,4)、若しくは深部方向に傾斜した方向(深部方向)である形態(図3)、または、導光部23の入光端部18と発光素子16の出射端面19とを結ぶ光軸33が、その間に液面43が設けられないように、入光端部18と発光端面19とを設ける形態(図1)であることで、発光32を屈折、散乱させる要因となる液面43による光の損失をなくして、発光32を効率的に容器12外部に取り出すことが可能となる。
【0014】
(3) 上記(1)又は(2)の発光装置41において、前記導光部23が、容器12の内部と外部とで光を伝搬させると共に、容器12の壁部の少なくとも一部に設けられた光取り出し窓部40であることを特徴とする。この構成により、具体的には、図2、3(b)、4に示すように、容器12の一部、好ましくは冷媒溜まり42内に発光32を装置41外部に取り出すための取り出し窓40を設けることにより、比較的簡単な構造となり、発光素子16からの発光32を外部に取り出すことができる。
【0015】
(4) 上記(1)又は(2)の発光装置41において、前記導光部が、該光を伝搬して前記容器外部に取り出されるように、容器内部から容器外部に延在している導光部材44であると共に、該容器には、延在する導光部を通す孔45を有することを特徴とする。これにより、図1、3(a)に示すように、入光端部18を発光素子16の端面19に近接して配置でき、また、冷媒15及び液面43に対する発光素子16及び端面19の位置、向きに依らず、効率的に光を導光部材に取り入れて、光32を外部に取り出すことができるため、容器12の形状など設計自由度が向上する。この時、容器12に設けられる孔45は、図に示すような貫通孔である場合の他に、上記取り出し窓40などのように光32を透過させる窓部を介して透光性窓であっても良い。また窓部を介在させる場合には、そこから発光端面19近傍にまで延在する導光部材44を設けて発光32を装置41外部に光を取り出すことができる.すなわち、容器12内部の導光部材とする形態であっても、窓部から装置41外部に延びて必要とする場所まで、導光部材を延在させる形態、即ち、装置12外部の導光部材であっても、またこれらを組み合わせた形態でもよい。
【0016】
(5) 上記(1)乃至(4)の発光装置41において、前記導光部23の入光端部18が、該入光端部18と発光素子16の発光面19とが離間していることを特徴とする。この構成により、具体的には図1〜4に示すように、発光端面19が冷媒15に対し露出していることで、発光素子16において最も発熱の大きな端面19が直接冷媒15にさらされて冷却される結果、上述したように、発光素子16の高出力、連続動作を可能とできる。
【0017】
(6) 上記(5)の発光装置41において、前記導光部23の入光端部18と発光素子16の発光端面19との間に、発光面から放射される光を収束させて入光端部19に入光させる光学手段21が設けられていることを特徴とする。この構成により、具体的には、図2,3(a)に示すように、発光32を集光して、入光端部18に導く光学レンズなどの光学部材21により、光分布を制御することにより好適に光を取り出すことが可能となる。このことは、容器外部で光を光学レンズなどにより制御する場合に比べて、出射端面19近傍で制御できることから、光の取り出し効率を最大限に向上させることができるからである.
【0018】
(7) 上記(1)乃至(6)の発光装置41において、前記容器12が、発光素子16が載置される冷却溜まりが設けられる光熱源室14と、前記冷媒が冷却される冷却室13とが設けられていると共に、互いに連通して、前記光熱源室14よりも前記冷却室13の方が容積が大きいことを特徴とする。この構成により、具体的には図1、4に示すように、冷媒溜まり42が設けられる光熱源室14の容積を、冷却室13に比較して小さくすることで、冷媒溜まり42に冷却室13から循環してきた冷媒15が効率的に溜まる形態となる.すなわち、小さな容積に対し冷媒15が溜まるため、素子動作時において一定量の冷媒溜まり42が形成されるよう意図的に制御でき、また、発光素子16は比較的小さな部材であるため、それを浸漬することが可能となる。
【0019】
(8) 上記(1)〜(7)において、前記容器12が、発光素子16が載置される冷却溜まり42が設けられる光熱源室14と、前記冷媒15が冷却される冷却室13とが設けられていると共に、互いに連通して、該光熱源室14から広がるように冷却室13が接続されていることを特徴とする。この構成により、具体的には図4に示すように、光熱源室14の断面積が、冷却室13の断面積よりも大きくなるように連通して接続されることで、上述したように、好適に冷却され(循環され)た冷媒15が断面積の小さな光熱源室14に溜められて、冷媒溜まり42が形成されることにより、冷媒溜まり42が素子動作時に安定した深さを保つことができ、これにより、素子を浸漬した状態を保持できる。
【0020】
【発明の実施の形態】
本発明における冷媒としては、好ましくはフッ素系不活性液体、例えば住友スリーエムで製造されている商品名:フロリナートを使用できる。
【0021】
本発明における冷媒は、上述したように、発光素子の冷却に用いるものであり、その使用において劣化しない材料であり、また発光素子材料との反応性に乏しい材料、すなわち、不活性な材料が好ましい。また、本発明の発光装置の使用温度領域(容器外の温度)において、液体である必要があり、また、発光素子の温度、特に発光面における温度において、蒸発する液体材料であることが好ましい。具体的には、使用温度領域Te、発光素子(発光面)の温度(動作温度)をTd、冷媒の沸点Tbは、動作時においてTe<Td≦Tbの関係となる。
【0022】
ここで、本発明の発光装置の容器は、密閉されたものであり、この時、内部の気圧を変化させることで、冷媒の沸点は、変化する為、上記条件を満たすように、容器内部の気圧を調整することにより、所望の沸点を設定して、すなわち、所望の使用温度、発光素子の動作温度を設定することもできる。
【0023】
本発明において、冷媒と発光素子との関係は、図に示すように、発光素子全体が、冷媒内に浸漬されること、すなわち、液面よりも下に発光素子が載置され、発光素子全体を覆うように冷媒が設けられていることが好ましい。
【0024】
本発明における導光部としては、特に限定されず、図2,3(b),4に示すように、発光装置の一部が透光部材により壁面が設けられたような光取り出し窓の場合には、その窓部に硝子として、低融点硝子、コバール硝子などの透光性部材を融着、固着、嵌合固定されて発光装置に設けられていても良い。また、図1,3(a)に示すように、導光部が、入光端部18を有する導光部材により、容器12に設けられた孔45を通して発光装置41外部に延伸させて発光装置外部に光を取り出す形態では、光学部材として、従来知られた光ファイバを好適に用いることができ、その他、発光装置外部に導光するものであれば特に限定されず例えば、光を導光させるロッド状レンズ(収束性ロッド状レンズ)などの光学レンズ、コリメーターなどの延伸させることが可能な光学部材を用いることもできる。
【0025】
更に、これら発光装置に設けられる導光部は、装置外部で、導光部出射端部に、別の導光部に光結合させて用いることもできる。また、入光端部の形状は、図に示すように、平坦な面状であっても良く、図3(a)に示すように、曲面を有し、光学レンズとして機能させても良く、テーパ状など入光端部の径が変化する形態のいずれでも良い。
【0026】
本発明における光学レンズ21としては、図2に示すように、入光端部と発光素子との間に、光結合用の光学レンズを設けても良く、例えば、球状レンズ、円柱状レンズ、球面・非球面(曲面)を有するレンズなどを用いることができる。この時、図に示すように、発光素子16の発光端面19は露出されて、冷媒に晒されるように、光学レンズと発光素子の発光端面とは離間されていることが好ましい。また、発光素子においては、その発光は端面19近傍で、収束点がある場合には、その近傍で導光部の入光端部を配置すると良い。光学レンズは、導光部の入光端部に光を集光、収束させて結合効率を高めることができるものである。また、図3(a)に示すように、導光部の入光端部18に、光学レンズを設ける形態、すなわち入光端部が光学レンズの機能を有する形態でも良い。
【0027】
本発明における発光素子としては、具体的には、GaAs,InP,AlGaAsP系のナローバンドギャップの半導体材料、GaN、AlGaN、InGaNなどの窒化ガリウム系のワイドバンドギャップ材料の発光素子が用いられ、発光素子の構造としては、発光素子(LED)、レーザ素子、スーパールミネッセントダイオード、面発光素子、面発光レーザ素子、端面発光素子などを用いることができる。また、導光部との結合効率を高める為に、発光端面19が、半球状、曲面状、凸状などの形状であっても良い。本発明における発光素子の実装形態としては、1つの容器に1つの発光素子を有していても良く、複数の発光素子を有していても良く、複数の導波路を有する発光素子(端面発光のLED・LDなどにおいて、複数の導波路を備えるもの)、複数の発光部をその発光端面に備える面発光素子、面発光レーザ素子など、アレイ状の発光素子(端面発光、面発光)を用いることができる。
【0028】
本発明における容器としては、銅、鉄、アルミニウムなどの金属を用いた金属製容器、樹脂材料などのプラスティック製容器、セラミックス、陶器、磁器などを用いた容器、若しくはこれらは組み合わせて複合的に用いた容器などを用いることができる。
【0029】
本発明における支持体17、保持体24としては、それぞれ発光素子を載置し、その発光素子が載置された支持体を保持するものであり、その材質、形状、適用形態は特に限定されず、上記容器と同様な材料を用いることができる。また、支持体は、図2に示すように、容器内壁面に発光素子を載置して、支持体を兼ねる形態とでき、また図3(a)、4に示すように、支持体を介して、容器内壁面に載置されて、保持される形態でも良く、図3(b)に示すように、支持体を保持する保持体でもって固定されていたも良い。また、保持体は、発光素子を載置した支持体だけでなく、導光部材を支持するように、支持台に用いることもできる。
【0030】
本発明における容器内に備える他の機能としては、発光素子からの光を集積する光集積回路、光をスイッチングする光スイッチング回路、発光素子の駆動を制御する駆動回路(APCなど)、発光素子の発光、温度を制御・監視・モニタリングするセンサー、及びその制御回路、監視回路(モニター回路)などを、例えば、支持体、保持体、容器内部(内壁面上)などに設けることもできる。また、波高装置41(容器12)には、発光素子の電源となる電極端子22を、容器に設けた孔を介して、または、上記支持体上、若しくはその内部に電気配線を設けて、発光素子に電源供給する形態であっても良い。
【0031】
本発明における容器内の冷媒を冷却循環させる具体的な機構としては、容器内に、冷媒を注入して、容器内にシーム溶接、レーザ溶接、硝子、はんだ、金属(合金)などの融着材料による融着(溶着)、若しくは容器の一部が嵌合させて封止される形態を用いることができる。また、支持体、保持体、電極端子、導光部材などを設ける孔においても同様な封止を用いることができる。
【0032】
[実施形態1]
本発明の実施形態を以下に示す。図1に示すように、容器内12に発光素子を設け、発光素子からの光を導光部11である光ファイバーにより、容器外部に取り出す機能を有している。
【0033】
発光素子には、冷媒15が直接接触し、冷媒15の潜熱により発光素子16から熱を直接奪い、冷媒15が気化・蒸気となって熱が容器の冷却室13まで輸送される。冷却室13まで達した冷媒は冷却室13の壁面で液化・凝集し、再び光熱源である発光素子16に到達する。このような循環機構を用いたパッケージ構造を有している。
【0034】
また、図2に示すように、発光素子16と導光部11(光ファイバー)とは離間されていても良く、発光素子16と導光部の入光端部18との間に光を収束する光学レンズ21などの光学手段を設けても良い。図3に示すように、導光部11(光ファイバー)を発光素子の発光端面に光学部材(集光用)31を介して直接設置しても良い。
【0035】
[実施形態2]
本発明の実施形態を以下に示す。
【0036】
図4に示すように、容器内に設けられた導光部11が、容器に設けられた光取り出し窓であることを特徴としている。また、光取り出し窓を介して容器外部に光を取り出す際に、その窓からの光を光源とする用途に供しても良く、外部導光部を容器外部に近接、もしくは取り出し窓に光学的に接続して、導光部11からの光を利用する形態が可能である。
【0037】
また、上記の実施形態において、発光素子16からの光は、導光部11に達するまでの間に光学的な手段により収束しても良く、容器内に複数の発光素子、複数の発光点を有する場合には、それぞれの発光を容器内外に設けられた別々の導光部・導光材料により光をとりだし、容器内外で光を集光させ、高出力の発光装置として用いることができる。
【0038】
【発明の効果】
本実施形態では、従来のヒートシンクなどを用いた固体内(発光素子内も含む)熱伝導による冷却方法に比べ冷却効率が向上し、ワット級の光出力の連続発振が確認された。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態に係る発光装置の模式断面図。
【図2】本発明の一実施形態に係る発光素子及び導光部(光取り出し窓と光ファイバー)を部分拡大して示す模式断面図。
【図3】本発明の一実施形態に係る発光素子及び導光部(光ファイバーとの光学系接続)を部分拡大して示す模式断面図。
【図4】本発明の一実施形態に係る発光装置の模式断面図。
【図5】従来例の発光装置としてを説明する図(CANタイプの発光装置の模式的断面図(a)、ヒートパイプを備えたヒートシンクに発光素子を実装した発光装置の模式図(b))。
【符号の説明】
12・・・容器、13・・・冷却室、14・・・光熱源室、15・・・冷媒、16・・・発光素子、17・・・支持体、18・・・入光端部、19・・・発光端面、21・・・光学レンズ、22・・・電極端子、23・・・導光部、24・・・保持体、31・・・光学部材(集光用)、32・・・光束
33・・・光軸、40・・・光取り出し窓、41・・・発光装置、42・・・冷媒溜まり、43・・・液面、44・・・導光部材、45・・・孔、201・・・封止体(周囲体)、202・・・ヒートパイプ、203・・・封止部材(気体)
【産業上の利用分野】
本願発明は、発光素子からの出射光を外部に取り出す機構を備えた発光装置に係り、特に発熱量の大きい高出力発光素子を好適に冷却するための機構を備えた発光装置に関する.
【0002】
【従来の技術】
LDの冷却技術には,ヒートシンクに熱を放出するといった受動的な冷却機構と,ヒートシンクに冷却水を流して直接熱を奪い取るといった能動的な冷却機構とがある.
【0003】
従来において,CANタイプのLDパッケージ(12)のように、ヒートシンク(117)を介して熱伝導させて、発光素子16からの熱が移動するヒートシンク(117)を冷却させる受動的な冷却機構が発光装置として採用されている(図6(a))。
【0004】
このパッケージは、LD(16)がヒートシンク(117)に実装され、LD(16)からの発光(33)を外部に取り出す窓(140)を備えたキャップ(201)により不活性ガス(203)中で気密封止された発光装置であり,比較的低出力のレーザーによく採用されている.
【0005】
しかし,高出力のレーザーにおいては,素子の発光損失やジュール熱による発熱が非常に大きい.特に発熱による発光素子の温度上昇は、発光効率の低下や閾値電流の増大等、LD特性の悪化を招く原因となるため,最小限に抑える必要がある.それゆえに特にワイドバンドギャップ半導体材料などによる発光素子の開発や、さらなる光出力の高出力化には、発光装置として能動的な冷却機構が好まれる.
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
これまで能動的な冷却機構として,ヒートシンクに冷却水を流して直接熱を奪い取る機構のほか,ヒートシンクにヒートパイプを埋め込み,素子よりヒートシンクへ移動した熱を急速に他方端部の低温部に移動させて,ヒートシンクを冷却する方法も考案されていた.
【0007】
しかし,ワイドバンドギャップ半導体材料などによる高出力発光素子では、特に発光層の温度上昇が非常に速く,安定した光出力でかつ長寿命の発光素子を実現するためには,ヒートシンク材料の肉厚さえも介さずして直接熱を急速に奪い取る機構が必要である.
これは、従来想定されていなかったワイドバンドギャップ半導体材料などによる高出力域、特にワット級の発光出力を要請する応用分野にて半導体発光素子を適用する際に、新規で、且つ発光素子応用において深刻な課題である。また、従来の光源を半導体発光素子に代替する利点は、長寿命、光源となる発光装置の容積低減であり、これらを満足する発光装置が必要となる。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明では、上記事情に鑑み、ヒートシンクの熱伝導では解決できない大きな発熱量を伴う発光素子においても、十分な放熱特性を備える発光装置を提供することにある。
本発明の発光装置は、下記(1)〜(8)であることを特徴とする。
【0009】
(1) 図4に示すように、容器(12)内に発光素子(16)が設けられた発光装置(41)において、容器(12)内には冷媒(15)が溜められた冷媒溜まり(42)を有し、前記発光素子(16)が該冷媒溜まり(42)に浸漬されて直接冷却するように載置され、容器(12)には該発光素子(16)を熱源として発熱された冷媒(15)が冷却される冷却部(13)を備え、更に該容器12には前記発光素子からの光を容器外部に取り出す導光部(23)を備えると共に、前記発光素子(16)からの発光(32)を導光部(23)に取り入れる入光端部(18)が、前記冷媒溜まり(42)に浸漬されていることを特徴とする。
【0010】
このような構成であることにより、発光素子(16)の動作時に発生する熱は冷媒(15)の潜熱となって発光素子(16)が直接冷却され、また冷媒(15)は気化、蒸発して、冷媒溜まり(42)から冷却部(13)に移動し(図4中の矢印として示す)、冷却部(13)において液化、凝集すること(図4中の円で囲まれた領域など)で、冷媒溜まりまで移動して溜まる冷却循環機構を備えるため、発光素子(16)は効率的に冷却される。
【0011】
その結果,発光素子16の発光端面19は、光32を出射すると同時に、発光素子16内でも比較的高温となるため、その端面19が冷媒にさらされることで、好適に発光素子16が冷却され、温度上昇による素子劣化の加速を抑えて、高出力、連続駆動が可能となる。
【0012】
(2) (1)に記載の発光装置41において、前記入光端部18に向かう発光素子16の光軸33が、前記冷媒15内を通ることを特徴とする。この構成により、具体的には、図1(b)、図2、図3(b)、図4などに示すように、発光素子16の光軸33が、冷媒15内を通過することで導光部23まで伝搬することが可能となる.
【0013】
また、光軸33が冷媒溜まり42の液面43を交叉しない方向である形態、すなわち、液面43に対しほぼ並行である形態(図2,4)、若しくは深部方向に傾斜した方向(深部方向)である形態(図3)、または、導光部23の入光端部18と発光素子16の出射端面19とを結ぶ光軸33が、その間に液面43が設けられないように、入光端部18と発光端面19とを設ける形態(図1)であることで、発光32を屈折、散乱させる要因となる液面43による光の損失をなくして、発光32を効率的に容器12外部に取り出すことが可能となる。
【0014】
(3) 上記(1)又は(2)の発光装置41において、前記導光部23が、容器12の内部と外部とで光を伝搬させると共に、容器12の壁部の少なくとも一部に設けられた光取り出し窓部40であることを特徴とする。この構成により、具体的には、図2、3(b)、4に示すように、容器12の一部、好ましくは冷媒溜まり42内に発光32を装置41外部に取り出すための取り出し窓40を設けることにより、比較的簡単な構造となり、発光素子16からの発光32を外部に取り出すことができる。
【0015】
(4) 上記(1)又は(2)の発光装置41において、前記導光部が、該光を伝搬して前記容器外部に取り出されるように、容器内部から容器外部に延在している導光部材44であると共に、該容器には、延在する導光部を通す孔45を有することを特徴とする。これにより、図1、3(a)に示すように、入光端部18を発光素子16の端面19に近接して配置でき、また、冷媒15及び液面43に対する発光素子16及び端面19の位置、向きに依らず、効率的に光を導光部材に取り入れて、光32を外部に取り出すことができるため、容器12の形状など設計自由度が向上する。この時、容器12に設けられる孔45は、図に示すような貫通孔である場合の他に、上記取り出し窓40などのように光32を透過させる窓部を介して透光性窓であっても良い。また窓部を介在させる場合には、そこから発光端面19近傍にまで延在する導光部材44を設けて発光32を装置41外部に光を取り出すことができる.すなわち、容器12内部の導光部材とする形態であっても、窓部から装置41外部に延びて必要とする場所まで、導光部材を延在させる形態、即ち、装置12外部の導光部材であっても、またこれらを組み合わせた形態でもよい。
【0016】
(5) 上記(1)乃至(4)の発光装置41において、前記導光部23の入光端部18が、該入光端部18と発光素子16の発光面19とが離間していることを特徴とする。この構成により、具体的には図1〜4に示すように、発光端面19が冷媒15に対し露出していることで、発光素子16において最も発熱の大きな端面19が直接冷媒15にさらされて冷却される結果、上述したように、発光素子16の高出力、連続動作を可能とできる。
【0017】
(6) 上記(5)の発光装置41において、前記導光部23の入光端部18と発光素子16の発光端面19との間に、発光面から放射される光を収束させて入光端部19に入光させる光学手段21が設けられていることを特徴とする。この構成により、具体的には、図2,3(a)に示すように、発光32を集光して、入光端部18に導く光学レンズなどの光学部材21により、光分布を制御することにより好適に光を取り出すことが可能となる。このことは、容器外部で光を光学レンズなどにより制御する場合に比べて、出射端面19近傍で制御できることから、光の取り出し効率を最大限に向上させることができるからである.
【0018】
(7) 上記(1)乃至(6)の発光装置41において、前記容器12が、発光素子16が載置される冷却溜まりが設けられる光熱源室14と、前記冷媒が冷却される冷却室13とが設けられていると共に、互いに連通して、前記光熱源室14よりも前記冷却室13の方が容積が大きいことを特徴とする。この構成により、具体的には図1、4に示すように、冷媒溜まり42が設けられる光熱源室14の容積を、冷却室13に比較して小さくすることで、冷媒溜まり42に冷却室13から循環してきた冷媒15が効率的に溜まる形態となる.すなわち、小さな容積に対し冷媒15が溜まるため、素子動作時において一定量の冷媒溜まり42が形成されるよう意図的に制御でき、また、発光素子16は比較的小さな部材であるため、それを浸漬することが可能となる。
【0019】
(8) 上記(1)〜(7)において、前記容器12が、発光素子16が載置される冷却溜まり42が設けられる光熱源室14と、前記冷媒15が冷却される冷却室13とが設けられていると共に、互いに連通して、該光熱源室14から広がるように冷却室13が接続されていることを特徴とする。この構成により、具体的には図4に示すように、光熱源室14の断面積が、冷却室13の断面積よりも大きくなるように連通して接続されることで、上述したように、好適に冷却され(循環され)た冷媒15が断面積の小さな光熱源室14に溜められて、冷媒溜まり42が形成されることにより、冷媒溜まり42が素子動作時に安定した深さを保つことができ、これにより、素子を浸漬した状態を保持できる。
【0020】
【発明の実施の形態】
本発明における冷媒としては、好ましくはフッ素系不活性液体、例えば住友スリーエムで製造されている商品名:フロリナートを使用できる。
【0021】
本発明における冷媒は、上述したように、発光素子の冷却に用いるものであり、その使用において劣化しない材料であり、また発光素子材料との反応性に乏しい材料、すなわち、不活性な材料が好ましい。また、本発明の発光装置の使用温度領域(容器外の温度)において、液体である必要があり、また、発光素子の温度、特に発光面における温度において、蒸発する液体材料であることが好ましい。具体的には、使用温度領域Te、発光素子(発光面)の温度(動作温度)をTd、冷媒の沸点Tbは、動作時においてTe<Td≦Tbの関係となる。
【0022】
ここで、本発明の発光装置の容器は、密閉されたものであり、この時、内部の気圧を変化させることで、冷媒の沸点は、変化する為、上記条件を満たすように、容器内部の気圧を調整することにより、所望の沸点を設定して、すなわち、所望の使用温度、発光素子の動作温度を設定することもできる。
【0023】
本発明において、冷媒と発光素子との関係は、図に示すように、発光素子全体が、冷媒内に浸漬されること、すなわち、液面よりも下に発光素子が載置され、発光素子全体を覆うように冷媒が設けられていることが好ましい。
【0024】
本発明における導光部としては、特に限定されず、図2,3(b),4に示すように、発光装置の一部が透光部材により壁面が設けられたような光取り出し窓の場合には、その窓部に硝子として、低融点硝子、コバール硝子などの透光性部材を融着、固着、嵌合固定されて発光装置に設けられていても良い。また、図1,3(a)に示すように、導光部が、入光端部18を有する導光部材により、容器12に設けられた孔45を通して発光装置41外部に延伸させて発光装置外部に光を取り出す形態では、光学部材として、従来知られた光ファイバを好適に用いることができ、その他、発光装置外部に導光するものであれば特に限定されず例えば、光を導光させるロッド状レンズ(収束性ロッド状レンズ)などの光学レンズ、コリメーターなどの延伸させることが可能な光学部材を用いることもできる。
【0025】
更に、これら発光装置に設けられる導光部は、装置外部で、導光部出射端部に、別の導光部に光結合させて用いることもできる。また、入光端部の形状は、図に示すように、平坦な面状であっても良く、図3(a)に示すように、曲面を有し、光学レンズとして機能させても良く、テーパ状など入光端部の径が変化する形態のいずれでも良い。
【0026】
本発明における光学レンズ21としては、図2に示すように、入光端部と発光素子との間に、光結合用の光学レンズを設けても良く、例えば、球状レンズ、円柱状レンズ、球面・非球面(曲面)を有するレンズなどを用いることができる。この時、図に示すように、発光素子16の発光端面19は露出されて、冷媒に晒されるように、光学レンズと発光素子の発光端面とは離間されていることが好ましい。また、発光素子においては、その発光は端面19近傍で、収束点がある場合には、その近傍で導光部の入光端部を配置すると良い。光学レンズは、導光部の入光端部に光を集光、収束させて結合効率を高めることができるものである。また、図3(a)に示すように、導光部の入光端部18に、光学レンズを設ける形態、すなわち入光端部が光学レンズの機能を有する形態でも良い。
【0027】
本発明における発光素子としては、具体的には、GaAs,InP,AlGaAsP系のナローバンドギャップの半導体材料、GaN、AlGaN、InGaNなどの窒化ガリウム系のワイドバンドギャップ材料の発光素子が用いられ、発光素子の構造としては、発光素子(LED)、レーザ素子、スーパールミネッセントダイオード、面発光素子、面発光レーザ素子、端面発光素子などを用いることができる。また、導光部との結合効率を高める為に、発光端面19が、半球状、曲面状、凸状などの形状であっても良い。本発明における発光素子の実装形態としては、1つの容器に1つの発光素子を有していても良く、複数の発光素子を有していても良く、複数の導波路を有する発光素子(端面発光のLED・LDなどにおいて、複数の導波路を備えるもの)、複数の発光部をその発光端面に備える面発光素子、面発光レーザ素子など、アレイ状の発光素子(端面発光、面発光)を用いることができる。
【0028】
本発明における容器としては、銅、鉄、アルミニウムなどの金属を用いた金属製容器、樹脂材料などのプラスティック製容器、セラミックス、陶器、磁器などを用いた容器、若しくはこれらは組み合わせて複合的に用いた容器などを用いることができる。
【0029】
本発明における支持体17、保持体24としては、それぞれ発光素子を載置し、その発光素子が載置された支持体を保持するものであり、その材質、形状、適用形態は特に限定されず、上記容器と同様な材料を用いることができる。また、支持体は、図2に示すように、容器内壁面に発光素子を載置して、支持体を兼ねる形態とでき、また図3(a)、4に示すように、支持体を介して、容器内壁面に載置されて、保持される形態でも良く、図3(b)に示すように、支持体を保持する保持体でもって固定されていたも良い。また、保持体は、発光素子を載置した支持体だけでなく、導光部材を支持するように、支持台に用いることもできる。
【0030】
本発明における容器内に備える他の機能としては、発光素子からの光を集積する光集積回路、光をスイッチングする光スイッチング回路、発光素子の駆動を制御する駆動回路(APCなど)、発光素子の発光、温度を制御・監視・モニタリングするセンサー、及びその制御回路、監視回路(モニター回路)などを、例えば、支持体、保持体、容器内部(内壁面上)などに設けることもできる。また、波高装置41(容器12)には、発光素子の電源となる電極端子22を、容器に設けた孔を介して、または、上記支持体上、若しくはその内部に電気配線を設けて、発光素子に電源供給する形態であっても良い。
【0031】
本発明における容器内の冷媒を冷却循環させる具体的な機構としては、容器内に、冷媒を注入して、容器内にシーム溶接、レーザ溶接、硝子、はんだ、金属(合金)などの融着材料による融着(溶着)、若しくは容器の一部が嵌合させて封止される形態を用いることができる。また、支持体、保持体、電極端子、導光部材などを設ける孔においても同様な封止を用いることができる。
【0032】
[実施形態1]
本発明の実施形態を以下に示す。図1に示すように、容器内12に発光素子を設け、発光素子からの光を導光部11である光ファイバーにより、容器外部に取り出す機能を有している。
【0033】
発光素子には、冷媒15が直接接触し、冷媒15の潜熱により発光素子16から熱を直接奪い、冷媒15が気化・蒸気となって熱が容器の冷却室13まで輸送される。冷却室13まで達した冷媒は冷却室13の壁面で液化・凝集し、再び光熱源である発光素子16に到達する。このような循環機構を用いたパッケージ構造を有している。
【0034】
また、図2に示すように、発光素子16と導光部11(光ファイバー)とは離間されていても良く、発光素子16と導光部の入光端部18との間に光を収束する光学レンズ21などの光学手段を設けても良い。図3に示すように、導光部11(光ファイバー)を発光素子の発光端面に光学部材(集光用)31を介して直接設置しても良い。
【0035】
[実施形態2]
本発明の実施形態を以下に示す。
【0036】
図4に示すように、容器内に設けられた導光部11が、容器に設けられた光取り出し窓であることを特徴としている。また、光取り出し窓を介して容器外部に光を取り出す際に、その窓からの光を光源とする用途に供しても良く、外部導光部を容器外部に近接、もしくは取り出し窓に光学的に接続して、導光部11からの光を利用する形態が可能である。
【0037】
また、上記の実施形態において、発光素子16からの光は、導光部11に達するまでの間に光学的な手段により収束しても良く、容器内に複数の発光素子、複数の発光点を有する場合には、それぞれの発光を容器内外に設けられた別々の導光部・導光材料により光をとりだし、容器内外で光を集光させ、高出力の発光装置として用いることができる。
【0038】
【発明の効果】
本実施形態では、従来のヒートシンクなどを用いた固体内(発光素子内も含む)熱伝導による冷却方法に比べ冷却効率が向上し、ワット級の光出力の連続発振が確認された。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態に係る発光装置の模式断面図。
【図2】本発明の一実施形態に係る発光素子及び導光部(光取り出し窓と光ファイバー)を部分拡大して示す模式断面図。
【図3】本発明の一実施形態に係る発光素子及び導光部(光ファイバーとの光学系接続)を部分拡大して示す模式断面図。
【図4】本発明の一実施形態に係る発光装置の模式断面図。
【図5】従来例の発光装置としてを説明する図(CANタイプの発光装置の模式的断面図(a)、ヒートパイプを備えたヒートシンクに発光素子を実装した発光装置の模式図(b))。
【符号の説明】
12・・・容器、13・・・冷却室、14・・・光熱源室、15・・・冷媒、16・・・発光素子、17・・・支持体、18・・・入光端部、19・・・発光端面、21・・・光学レンズ、22・・・電極端子、23・・・導光部、24・・・保持体、31・・・光学部材(集光用)、32・・・光束
33・・・光軸、40・・・光取り出し窓、41・・・発光装置、42・・・冷媒溜まり、43・・・液面、44・・・導光部材、45・・・孔、201・・・封止体(周囲体)、202・・・ヒートパイプ、203・・・封止部材(気体)
Claims (8)
- 容器内に発光素子が設けられた発光装置において、
容器内には冷媒が溜められた冷媒溜まりを有し、前記発光素子が該冷媒溜まりに浸漬されて直接冷却するように載置され、容器には該発光素子を熱源として発熱された冷媒が冷却される冷却部を備え、更に該容器には前記発光素子からの光を容器外部に取り出す導光部を備えると共に、
前記発光素子からの発光を導光部に取り入れる入光端部が、前記冷媒溜まりに浸漬されていることを特徴とする発光装置。 - 前記入光端部に向かう発光素子の光軸が、前記冷媒内を通ることを特徴とする請求項1記載の発光装置。
- 前記導光部が、容器の内部と外部とで光を伝搬させると共に、容器の壁部の少なくとも一部に設けられた光取り出し窓部であることを特徴とする請求項1又は2記載の発光装置。
- 前記導光部が、該光を伝搬して前記容器外部に取り出されるように、容器内部から容器外部に延在している導光部材であると共に、該容器には、延在する導光部を通す孔を有することを特徴とする請求項1又は2記載の発光装置。
- 前記導光部の入光端部が、該入光端部と発光素子の発光面とが離間していることを特徴とする請求項1乃至4記載の発光装置。
- 前記導光部の入光端部と発光素子の発光面との間に、発光面から放射される光を収束させて入光端部に入光させる光学部材が設けられていることを特徴とする請求項5記載の発光装置。
- 前記容器が、発光素子が載置される冷却溜まりが設けられる光熱源室と、前記冷媒が冷却される冷却室とが設けられていると共に、互いに連通して、前記光熱源室よりも前記冷却室の方が容積が大きいことを特徴とする請求項1乃至6記載の発光装置。
- 前記容器が、発光素子が載置される冷却溜まりが設けられる光熱源室と、前記冷媒が冷却される冷却室とが設けられていると共に、互いに連通して、該光熱源室から広がるように冷却室が接続されていることを特徴とする請求項1乃至6記載の発光装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002187646A JP2004031763A (ja) | 2002-06-27 | 2002-06-27 | 発光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002187646A JP2004031763A (ja) | 2002-06-27 | 2002-06-27 | 発光装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004031763A true JP2004031763A (ja) | 2004-01-29 |
Family
ID=31182618
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002187646A Pending JP2004031763A (ja) | 2002-06-27 | 2002-06-27 | 発光装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004031763A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012079827A (ja) * | 2010-09-30 | 2012-04-19 | Panasonic Corp | 半導体発光装置及び光源装置 |
JP2017175763A (ja) * | 2016-03-23 | 2017-09-28 | 日産自動車株式会社 | 光給電用光源装置及び該光給電用光源装置を用いた光給電システム |
US10884204B2 (en) | 2018-07-23 | 2021-01-05 | Fujitsu Limited | Optical module and liquid immersion system |
-
2002
- 2002-06-27 JP JP2002187646A patent/JP2004031763A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012079827A (ja) * | 2010-09-30 | 2012-04-19 | Panasonic Corp | 半導体発光装置及び光源装置 |
JP2017175763A (ja) * | 2016-03-23 | 2017-09-28 | 日産自動車株式会社 | 光給電用光源装置及び該光給電用光源装置を用いた光給電システム |
US10884204B2 (en) | 2018-07-23 | 2021-01-05 | Fujitsu Limited | Optical module and liquid immersion system |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5209981B2 (ja) | 光学活性層を有する半導体構成素子、多数の光学活性層を有する装置および半導体構成素子の製造方法 | |
US7352010B2 (en) | Photoelectric conversion module with cooling function | |
KR100991579B1 (ko) | 실리콘 온 인슐레이터 웨이퍼들 상의 활성 디바이스들을 위한 열 분로 | |
US11128099B2 (en) | Light-emitting device | |
JP4823300B2 (ja) | 半導体発光装置 | |
US6917637B2 (en) | Cooling device for laser diodes | |
JP3351103B2 (ja) | 半導体発光素子 | |
WO2011111328A1 (ja) | 半導体レーザ装置 | |
JP2009076730A (ja) | 窒化物半導体レーザ装置 | |
US20110222567A1 (en) | optoelectronic transistor outline (to)-can header assembly having a configuration that improves heat dissipation and reduces thermal resistance | |
US20020018500A1 (en) | Semiconductor laser unit and semiconductor laser module | |
JP2004031763A (ja) | 発光装置 | |
JP4149701B2 (ja) | 半導体レーザモジュール | |
JP2007081029A (ja) | 光ファイバレーザモジュール、光ファイバレーザ発振器、光ファイバレーザ増幅器 | |
JP4186058B2 (ja) | レーザ光源装置 | |
US6901093B2 (en) | Semiconductor laser device | |
KR100396360B1 (ko) | 고출력 반도체 레이저 모듈 | |
US20020031150A1 (en) | Semiconductor laser module | |
JP2010278316A (ja) | 発光装置 | |
JP2009231348A (ja) | 光半導体装置 | |
JPH1027926A (ja) | 光半導体装置 | |
US6341139B1 (en) | Semiconductor-laser-pumped solid state laser | |
JP2021106247A (ja) | パッケージ、発光装置、およびレーザ装置 | |
JP2019075577A (ja) | 発光装置 | |
JPH09275244A (ja) | 半導体レーザモジュール |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060525 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060530 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060731 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060912 |