JP2004031755A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体チップと、該半導体チップ上に形成され半導体チップの内部素子に電気的に接続された配線パターンと、該配線パターン上に形成された絶縁層と、該絶縁層の該配線パターン上に形成されたスルーホールに充填して形成された金属製ランドと、該金属製ランドを介して前記配線パターンと電気的に接続された外部接続端子とを含む半導体装置において、前記金属製ランドが、無電解ニッケル−リンめっき、若しくは無電解ニッケル−ボロンめっき、若しくは無電解ニッケル−リン−ボロンめっき、又は、下層が無電解ニッケル−リンめっき・上層が無電解ニッケル−ボロンめっきの積層、若しくは下層が無電解ニッケル−リンめっき・上層が金めっきの積層より成る半導体装置。
【選択図】 図2
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体装置に係り、より詳しくは、チップサイズパッケージ(CSP)におけるインターポーザ部の改良された半導体装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体パッケージの小型化、その製造工程の短縮、低コスト化を目指したウェハレベルのチップサイズパッケージが提案されている。
【0003】
例えば、『エレクトロニクス実装技術』(2000臨時増刊号、技術調査会発行、105頁)には、配線パターンとしてめっき多層膜を用い、その上に設けた絶縁層のスルーホール部に直接はんだバンプを形成する方法が紹介されている。
【0004】
この提案に従った従来技術の構造の代表的な1例を図1に示すと、半導体プロセスを経て半導体素子を形成された半導体チップ1にはアルミ配線層2が存在しその上には絶縁層3が形成されている。このような半導体チップ1の上に配線パターンを形成し、はんだバンプ以外の配線パターン上を樹脂封止した後、配線パターンの一部を電極パッドとして利用してはんだバンプ(外部接続端子)8を形成している。ここで、配線パターンとしては、めっき用シード層4を形成した上にめっきで配線パターンの本体を成す再配線金属(Cu)層5を形成した後、はんだとの反応を抑制するためにバリヤ(Ni)層6を形成した多層構造が知られている。また封止樹脂層7はエポキシ樹脂等が使用されるが製品の信頼性を確保する重要な役割を担っている。
【0005】
この構造の半導体装置の場合、次のような問題がある。
【0006】
1)配線パターンが多層(2層)であるので、製造工程が長くなる。
【0007】
2)配線(Cu)と外部接続端子(はんだ)との過剰拡散防止のためにバリヤ(Ni)層を電解めっきで形成する場合、別途にめっき用電極(図示していない)を形成する必要があり、IC回路パターンの制約を受ける。
【0008】
3)配線(Cu)と外部接続端子(はんだ)とのバリヤ(Ni)層を無電解Ni−Pめっきで形成する場合、はんだ濡れ性が劣る。
【0009】
4)バリヤ層6の上面が樹脂絶縁層7の上端面より下方にくる場合、電極パッドとして利用する配線パターンの一部(スルーホール部)、即ち、はんだ(外部接続端子)との接合部の面積が小さくなり、強度低下が懸念される。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、これらの問題を解決した半導体装置を提供することを目的とするものである。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記課題を達成するために下記を提供する。
【0012】
(1)半導体チップと、該半導体チップ上に形成され半導体チップの内部素子に電気的に接続された配線パターンと、該配線パターン上に形成された絶縁層と、該絶縁層の該配線パターン上に形成されたスルーホールに充填して形成された金属製ランドと、該金属製ランドを介して前記配線パターンと電気的に接続された外部接続端子とを含む半導体装置において、前記金属製ランドが、無電解ニッケル−リンめっき、若しくは無電解ニッケル−ボロンめっき、若しくは無電解ニッケル−リン−ボロンめっき、又は、下層が無電解ニッケル−リンめっき・上層が無電解ニッケル−ボロンめっきの積層、若しくは下層が無電解ニッケル−リンめっき・上層が金めっきの積層より成ることを特徴とする半導体装置。
【0013】
(2)前記配線パターンが単一金属層、又はエッチング速度が等しい若しくはエッチング速度差が20%以下の金属の積層構造よりなる上記(1)記載の半導体装置。
【0014】
(3)前記配線パターンが、銅めっき単一金属層からなるか、又は、下層が銅めっき、上層が下層より伸びの大きい電解銅めっき、若しくは伸びの大きい無電解めっきの積層からなる上記(1)記載の半導体装置。
【0015】
(4)前記外部接続端子がはんだより成る上記(1)〜(3)に記載の半導体装置。
【0016】
(5)半導体チップと、該半導体チップ上に形成され半導体チップの内部素子に電気的に接続された配線パターンと、該配線パターン上に形成された絶縁層と、該絶縁層の該配線パターン上に形成されたスルーホールを介して該配線パターンと電気的に接続された外部接続端子とを含む半導体装置において、前記配線パターンの上層としてバリヤ層を有し、前記配線パターンと前記バリヤ層がそのエッチング速度の差が20%以内の材料で構成されていることを特徴とする半導体装置。
【0017】
【発明の実施の形態】
図面を参照して本発明を説明する。
【0018】
図2は本発明の1つの実施形態である。半導体チップ1の上部にアルミ配線と絶縁層3が存在する点は従来と同じである。半導体チップ1の内部には半導体プロセスでIC回路その他の半導体素子が形成されている。
【0019】
この実施形態では、シード層4の上に形成する配線パターン(再配線層)5を単層で構成し、樹脂絶縁層7に設けた配線パターン5上のスルーホールに金属製ランド9を充填して、その上に外部接続端子(はんだバンプ)8を形成している。
【0020】
第1の特徴は、配線パターンからバリヤ層6を削除して、金属製ランド9を設け、金属製ランド9にバリヤ効果を持たせたことである。これによって、配線パターンが2層以上の多層であることに基づく製造工程が短縮される。
【0021】
第2に金属製ランド9を設け、その上に外部接続端子(はんだ等)8を形成したことにより、外部接続端子8と金属製ランド9との間の接合強度を安定して高くとることが可能にされた。金属製ランド9は、必要であれば、図6に示すように樹脂絶縁層7のスルーホール内だけでなく、絶縁層7の上方まではみ出させて外部接続端子8との接合面積13を増大することも可能である。それによって接合強度(耐久寿命)も向上する。
【0022】
第3の特徴として、本発明では、金属製ランド9が、無電解ニッケル−リンめっき、若しくは無電解ニッケル−ボロンめっき、若しくは無電解ニッケル−リン−ボロンめっき、又は、下層が無電解ニッケル−リンめっき・上層が無電解ニッケル−ボロンめっきの積層、若しくは下層が無電解ニッケル−リンめっき・上層が金めっきの積層より成る。これらは、無電解めっきであるから、電解めっきのための余分なメッキ用電極を必要としない特徴とともに、材質的に外部接続端子(はんだ等)8に対する濡れ性に優れるのみならず、バリヤ効果(外部接続端子と配線パターンとの間の異常拡散を防止する)をも有している。従って、これらの材料で金属製ランド9を形成することにより、配線パターン(再配線層)からバリヤ層6を削除することが可能にされるとともに、このランド(バリヤ)形成のためのメッキ用電極を省略することも可能にされる。
【0023】
さらに、金属製ランドをNi−P/Ni−Bの積層構造又はNi−P/Auの積層構造にした場合には、上記の効果とともに、外部接続端子のはんだ濡れ性の改善、脆い合金層(Ni−P−Sn)の生成を抑制する効果がある。図3にこの実施形態を示す。金属製ランドがNi−P層9とNi−B又はAu層19の積層構造からなる以外は図2と同じである。
【0024】
上記のランドの無電解めっき製造方法自体は公知である。例えば、Ni−P(約6%)、Ni−B(約1%)、Ni−P(約2%)−B(約0.2%)などが利用される。
【0025】
また配線パターンの形成方法、無電解めっきあるいは電解めっきのためのシード層4についても知られている。
【0026】
この実施形態において、配線パターン5を単一層とし、バリア層6を省略したことは、配線パターンのエッチングの際の不所望なオーバーエッチングとそれに伴う不都合を無くす効果がある。図4(あ)を参照すると、従来の金属(Cu)配線パターン層5とバリヤ(Ni等)層6の多層配線層の場合には、レジスト10に設けたパターン状凹部に金属(Cu等)配線パターン層5とバリヤ(Ni等)層6をめっきで充填した後、シード層4を酸を用いて溶解除去する際に、バリヤ(Ni)層6に比べて金属(Cu等)配線パターン層5が顕著にエッチングされ易いので、図4(い)に見られるように、金属(Cu等)配線パターン層がオーバーエッチングされ、次いで樹脂絶縁層7を形成した場合にも配線パターンの傘下部にまで樹脂が十分に回り込みできないで、図4(う)に見られるようにバリヤ(Ni等)層6の下にボイド11が発生する問題があった。これに対して、図2及び図3の実施形態では、配線パターン5を単一層としてバリヤ層6をなくしているので、配線パターン5に不所望な形状不安定の問題が解決される。
【0027】
ただし、配線パターンと樹脂絶縁層7との密着性向上などの理由から配線パターンを多層化したい場合には、それらの多層のエッチング速度に差がない材料を用いるか又はエッチング速度の差が小さい材料を用いれば、従来技術のバリヤ層6を積層した場合のような問題(図4)は解決できる。図5にこの実施形態を示す。この実施形態は、基本的に図2と同じであるが、配線パターン5にもう1層の配線パターン15を積層している。ここで、エッチング速度に差がない材料又はエッチング速度の差が小さい材料とは、同一のエッチング条件で、エッチングされる量(寸法)の差が、約20%以下のものをいう。
【0028】
エッチング速度の差が小さい材料の例として、銅めっきを挙げることができる。銅めっきでは、例えば、ピロリン酸銅めっき(銅の伸び率3〜6%)、硫酸銅めっき(銅の伸び率6〜12%)、フルアディティブ用無電解銅めっき(銅伸び率10〜12%)などの銅めっきを挙げることができる。これらの材料のエッチング速度の差は、数%以下である。
【0029】
また、配線パターンが積層構造で、上層15が下層5より伸びを大きくした場合、樹脂絶縁層7との線膨張係数差の吸収に有利であり、樹脂絶縁層との密着力の向上が可能になる。
【0030】
また、このように配線パターンにエッチング速度に差がなか又はエッチング速度の差が小さい材料を用いれば配線パターンの不所望な形状不安定の問題が解決されるので、配線パターン5の上層としてバリヤ層6を用いる従来技術の態様(図1)においても、配線パターン5とバリヤ層の材料をエッチング速度に差がなか又はエッチング速度の差が小さい材料から選択すれば、配線パターンの不所望な形状不安定の問題は解決される。
【0031】
また、エッチング速度の大きい材料を上層15に用いれば、配線断面形状を上部両端部にテーパのついた形状にすることも可能になり、樹脂絶縁層7のステップカバレッジを良好にできる。
【0032】
【発明の効果】
本発明はウェハレベルのチップサイズパッケージへの適用を意図したものであり、上記のような構成を採用することにより、製造工程が簡単化され、信頼性の高いチップサイズパッケージ半導体装置及びその製造方法が提供される。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来技術のチップサイズパッケージ半導体装置を示す。
【図2】実施例のチップサイズパッケージ半導体装置を示す。
【図3】実施例のチップサイズパッケージ半導体装置を示す。
【図4】従来技術のチップサイズパッケージ半導体装置における配線パターンの形状不安定性を説明する図である。
【図5】実施例のチップサイズパッケージ半導体装置を示す。
【図6】実施例のチップサイズパッケージ半導体装置を示す。
【符号の説明】
1…半導体チップ
2…アルミ配線
3…絶縁層
4…シード層
5…配線パターン
6…バリヤ層
7…樹脂絶縁層
8…外部接続端子
9…金属製ランド
10…レジスト
11…ボイド
15…上層配線パターン
19…Ni−B又はAu層
Claims (5)
- 半導体チップと、該半導体チップ上に形成され半導体チップの内部素子に電気的に接続された配線パターンと、該配線パターン上に形成された絶縁層と、該絶縁層の該配線パターン上に形成されたスルーホールに充填して形成された金属製ランドと、該金属製ランドを介して前記配線パターンと電気的に接続された外部接続端子とを含む半導体装置において、前記金属製ランドが、無電解ニッケル−リンめっき、若しくは無電解ニッケル−ボロンめっき、若しくは無電解ニッケル−リン−ボロンめっき、又は、下層が無電解ニッケル−リンめっき・上層が無電解ニッケル−ボロンめっきの積層、若しくは下層が無電解ニッケル−リンめっき・上層が金めっきの積層より成ることを特徴とする半導体装置。
- 前記配線パターンが単一金属層、又はエッチング速度が等しい若しくはエッチング速度差が20%以下の金属の積層構造よりなる請求項1記載の半導体装置。
- 前記配線パターンが、銅めっき単一金属層からなるか、又は、下層が銅めっき、上層が下層より伸びの大きい電解銅めっき、若しくは無電解銅めっきの積層からなる請求項1記載の半導体装置。
- 前記外部接続端子がはんだより成る請求項1〜3のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 半導体チップと、該半導体チップ上に形成され半導体チップの内部素子に電気的に接続された配線パターンと、該配線パターン上に形成された絶縁層と、該絶縁層の該配線パターン上に形成されたスルーホールを介して該配線パターンと電気的に接続された外部接続端子とを含む半導体装置において、前記配線パターンの上層としてバリヤ層を有し、前記配線パターンと前記バリヤ層がそのエッチング速度の差が20%以内の材料で構成されていることを特徴とする半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002187450A JP2004031755A (ja) | 2002-06-27 | 2002-06-27 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002187450A JP2004031755A (ja) | 2002-06-27 | 2002-06-27 | 半導体装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004031755A true JP2004031755A (ja) | 2004-01-29 |
Family
ID=31182489
Family Applications (1)
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---|---|---|---|
JP2002187450A Pending JP2004031755A (ja) | 2002-06-27 | 2002-06-27 | 半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2004031755A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100686986B1 (ko) | 2004-03-15 | 2007-02-26 | 야마하 가부시키가이샤 | 반도체 소자 및 그 웨이퍼 레벨 칩 사이즈 패키지 |
JP2007258438A (ja) * | 2006-03-23 | 2007-10-04 | Fujitsu Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
-
2002
- 2002-06-27 JP JP2002187450A patent/JP2004031755A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR100686986B1 (ko) | 2004-03-15 | 2007-02-26 | 야마하 가부시키가이샤 | 반도체 소자 및 그 웨이퍼 레벨 칩 사이즈 패키지 |
JP2007258438A (ja) * | 2006-03-23 | 2007-10-04 | Fujitsu Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
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