JP2004029094A - 光走査装置用の光入出力制御装置及びこれを用いた光走査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光走査装置用の光入出力制御装置であって、光走査部1の2次元走査のX,Y方向の位置信号を入力し、所定領域の全体をX,Y方向に分割した各格子状ブロックに対応するX,Y座標に変換する座標変換回路22と、該変換されたX,Y座標をアドレスに変換したX,Yアドレスに対応する光入出力の目標位置に対する光入出力の実行の未済、済のフラグを読出し又は書込むフラグテーブル24と、上記各格子状ブロック内の中央部に形成された光入出力有効領域のX,Y座標を入力してその内部か否かを判断する領域内/外判定回路25と、上記フラグテーブル24及び領域内/外判定回路25からの出力信号のアンドをとって光入出力のタイミング信号を出力するAND回路26とを備えたものである。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、リサジュー図形に従った軌跡に沿って2次元走査を行うリサジュー走査によって光を出力し、又は走査対象からの光を入力するタイミングを制御する光走査装置用の光入出力制御装置に関し、詳しくは、2次元走査の全面にわたって等間隔に近い光出力又は光入力を可能とする光走査装置用の光入出力制御装置及びこれを用いた光走査装置に係るものである。
【0002】
【従来の技術】
従来の光走査装置における2次元の光走査には、ラスター走査とリサジュー走査とがある。一般的には、ラスター走査が用いられるが、X方向の周波数とY方向の周波数との比が大きく取れず、ラスター走査が困難な場合は、リサジュー走査が用いられる。
そして、リサジュー走査によってX,Y方向の2次元の光出力又は光入力を行うには、図12に示すようなリサジュー図形に従った軌跡に沿って2次元走査を行い、その走査軌跡の上で例えば一定の時間間隔毎に順次光出力又は光入力の点を決めて行き、X,Y方向の光出力又は光入力を行っている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、このようなリサジュー走査による2次元の光出力又は光入力では、ラスター走査に比べて走査線が縦横に入り組んでいるので、光出力又は光入力の方法が複雑になる。また、図12に示すように、リサジュー図形に従ったX,Y方向の走査軌跡の間隔が中心部では粗く、周辺部に行くに従って密になっているため、一定の時間間隔毎に順次光出力又は光入力の点を決めて行くと、周辺部では光出力又は光入力の点が重なることが多くなり、中心部ではX,Y方向の必要な点に光出力又は光入力が行われないことがある。したがって、2次元走査の全面にわたって等間隔に近い光出力又は光入力ができないことがあった。
【0004】
さらに、図13及び図14に示すように、リサジュー走査において、X軸方向の周波数Fx及びY軸方向の周波数Fy並びにリサジュー周波数Flが同一でも、光出力又は光入力を行う時間間隔tを少し変化しただけで、光出力又は光入力の点が大きく変わることがある。例えば、図13に示すt=1/12kHzの時間間隔に対して、図14に示すt=1/12.34kHzのように時間間隔をわずかに変えただけで、光出力又は光入力の点が大きく変わる。これは、図13に示すt=1/12kHzのように整数分の一の時間間隔とすると、最大公約数を共通に持った状態となり、複数の点が重なって結果として光出力又は光入力の点がまばらになってしまうからである。したがって、特に図13に示す場合は、2次元走査の全面にわたって等間隔に近い光出力又は光入力ができないことがあった。
【0005】
これらの状態に対して、リサジュー走査の走査軌跡に対して、X,Y方向の正しいマス目の光出力又は光入力の点になるように予め光出力又は光入力のタイミングを求めておく方法もあるが、この場合は、膨大なシミュレーション計算を必要とするものであり、実施が困難となる。さらに、図13及び図14に示すような光出力又は光入力点の偏在に対して、例えば専用の光学レンズで補正する方法もあるが、そのような補正レンズの開発には、莫大な費用がかかり、コスト高となる。
【0006】
そこで、本発明は、このような問題点に対処し、2次元走査の全面にわたって等間隔に近い光出力又は光入力を可能とする光走査装置用の光入出力制御装置及びこれを用いた光走査装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、第1の発明による光走査装置用の光入出力制御装置は、反射面が形成された可動板を直交する二軸方向に揺動し、上記反射面に入射される光の進行方向を振って所定領域内を2次元走査する光走査部に対し、光源から光を出力し、又は走査対象からの光を入力するタイミングを制御する光走査装置用の光入出力制御装置であって、上記所定領域の全体をX,Y方向に連続する格子状に分割し、この分割された各格子状ブロックを光出力又は光入力の目標位置とし、上記2次元走査による走査軌跡が上記目標位置に入ったことを検出して、その目標位置にて光出力又は光入力のタイミングを制御するものである。
【0008】
このような構成により、光走査部で2次元走査する所定領域の全体をX,Y方向に連続する格子状に分割し、この分割された各格子状ブロックを光出力又は光入力の目標位置とし、上記2次元走査による走査軌跡が上記目標位置に入ったことを検出して、その目標位置にて光出力又は光入力のタイミングを制御する。これにより、リサジュー走査においても、上記分割された各格子状ブロックを目標位置とし、この目標位置にて光出力又は光入力を行うことで2次元走査の全面にわたって等間隔に近い光出力又は光入力を可能とする。
【0009】
また、第2の発明による光走査装置用の光入出力制御装置は、反射面に入射される光の進行方向を振って所定領域内を2次元走査する光走査部の2次元走査のX,Y方向の位置信号を入力し、所定領域の全体をX,Y方向に連続する格子状に分割して各格子状ブロックに対応するX,Y座標に変換する座標変換手段と、該変換されたX,Y座標をアドレスに変換したX,Yアドレスを入力してそのアドレスに対応する光出力又は光入力の目標位置に対する光出力又は光入力の実行の「未済」、「済」のフラグを読み出し又は書き込むフラグ記憶手段と、上記座標変換手段から出力され、各格子状ブロック内の中央部に形成された光出力又は光入力の有効点であると判断するための光入出力有効領域のX,Y座標を入力し、該光入出力有効領域の内部か否かを判断する領域内外判定手段と、上記フラグ記憶手段及び領域内外判定手段からの出力信号のアンドをとって光出力又は光入力のタイミング信号を出力する光入出力信号出力手段と、を備えたものである。
【0010】
このような構成により、反射面に入射される光の進行方向を振って所定領域内を2次元走査する光走査部の2次元走査のX,Y方向の位置信号を入力し、座標変換手段で所定領域の全体をX,Y方向に連続する格子状に分割して各格子状ブロックに対応するX,Y座標に変換し、該変換されたX,Y座標をアドレスに変換したX,Yアドレスを入力して、フラグ記憶手段によりそのアドレスに対応する光出力又は光入力の目標位置に対する光出力又は光入力の実行の「未済」、「済」のフラグを読み出し又は書き込み、上記座標変換手段から出力され、各格子状ブロック内の中央部に形成された光出力又は光入力の有効点であると判断するための光入出力有効領域のX,Y座標を入力して、領域内外判定手段で上記光入出力有効領域の内部か否かを判断し、光入出力信号出力手段により上記フラグ記憶手段及び領域内外判定手段からの出力信号のアンドをとって光出力又は光入力のタイミング信号を出力する。これにより、リサジュー走査においても、上記分割された各格子状ブロックを目標位置とし、この目標位置にて光出力又は光入力を行うことで2次元走査の全面にわたって等間隔に近い光出力又は光入力を可能とする。
【0011】
そして、上記光入出力信号出力手段からのタイミング信号を入力して、前回の光出力又は光入力の実行のタイミングから所定時間が経過した後に次の光出力又は光入力の実行許可を行うタイマ手段を備えたものである。このタイマ手段により、前回の光出力又は光入力の実行のタイミングから所定時間が経過した後に次の光出力又は光入力の実行許可を行うことで、例えばレーザダイオード等の光源を用いて目標位置に光出力を行う場合に、上記光源の点灯に必要な時間間隔が取れる。
【0012】
さらに、上記光入出力信号出力手段からのタイミング信号を入力して、各格子状ブロック毎に立てた光出力又は光入力の実行のフラグの更新を順次カウントして行き、全格子状ブロックのフラグが「済」に更新された時に光出力又は光入力を終了する終了信号を出力するカウンタ手段を備えたものである。このカウンタ手段により、各格子状ブロック毎に立てた光出力又は光入力の実行のフラグの更新を順次カウントして行き、全格子状ブロックのフラグが「済」に更新された時に光出力又は光入力を終了する終了信号を出力することで、所定領域の全体をX,Y方向に連続する格子状に分割した総ての格子状ブロックについて光出力又は光入力を洩れなく行うことができる。
【0013】
また、第3の発明による光走査装置は、反射面が形成された可動板を直交する二軸方向に揺動し、上記反射面に入射される光の進行方向を振って所定領域内を2次元走査する光走査部と、この光走査部に駆動信号を供給して可動板を直交する二軸方向に揺動させる駆動回路と、上記光走査部の可動板の反射面に対して光を射出する光源と、この光源から上記可動板の反射面に対して光を出力するタイミングを制御する光入出力制御装置と、を備えて成る光走査装置において、上記光入出力制御装置として、前述の各手段のいずれかの光入出力制御装置を用いたものである。
【0014】
このような構成により、駆動回路で光走査部に駆動信号を供給して可動板を直交する二軸方向に揺動させ、光源から上記光走査部の可動板の反射面に対して光を射出し、光走査部で可動板を直交する二軸方向に揺動して反射面に入射される光の進行方向を振って所定領域内を2次元走査し、光入出力制御装置により、X,Y方向に連続する格子状に分割された各格子状ブロックを光出力の目標位置とし、2次元走査による走査軌跡が上記目標位置に入ったことを検出して、その目標位置にて光出力のタイミングを制御する。これにより、リサジュー走査においても、上記分割された各格子状ブロックを目標位置とし、この目標位置にて光出力を行うことで2次元走査の全面にわたって等間隔に近い光出力を可能とする描画装置が得られる。
【0015】
さらに、第4の発明による光走査装置は、反射面が形成された可動板を直交する二軸方向に揺動し、上記反射面に入射される光の進行方向を振って所定領域内を2次元走査する光走査部と、この光走査部に駆動信号を供給して可動板を直交する二軸方向に揺動させる駆動回路と、上記光走査部の可動板の反射面からの光を入力して受光信号を出力する受光部と、この受光部から出力される受光信号を入力するタイミングを制御する光入出力制御装置と、を備えて成る光走査装置において、上記光入出力制御装置として、前述の各手段のいずれかの光入出力制御装置を用いたものである。
【0016】
このような構成により、駆動回路で光走査部に駆動信号を供給して可動板を直交する二軸方向に揺動させ、光走査部により可動板を直交する二軸方向に揺動して反射面に入射される光の進行方向を振って所定領域内を2次元走査し、受光部で上記光走査部の可動板の反射面からの光を入力して受光信号を出力し、光入出力制御装置により、X,Y方向に連続する格子状に分割された各格子状ブロックを光入力の目標位置とし、2次元走査による走査軌跡が上記目標位置に入ったことを検出して、その目標位置にて光入力のタイミングを制御する。これにより、リサジュー走査においても、上記分割された各格子状ブロックを目標位置とし、この目標位置にて光入力を行うことで2次元走査の全面にわたって等間隔に近い光入力を可能とする撮像装置が得られる。
【0017】
なお、上記光走査部は、基板に対し直交する二軸方向に揺動可能に軸支された可動板に反射面を有し、該可動板を揺動して反射面に照射される光の進行方向を2次元方向に走査し得る2次元半導体ガルバノミラーから成るものとしてもよい。これにより、光走査部を一つの2次元半導体ガルバノミラーで構成できる。
【0018】
また、上記光走査部は、基板に対し一軸方向に揺動可能に軸支された可動板に反射面を有し、該可動板を揺動して反射面に照射される光の進行方向を1次元方向に走査し得る1次元半導体ガルバノミラーを、それぞれの可動板を直交する二軸方向に揺動可能に複数個組み合わせて構成したものとしてもよい。これにより、光走査部を二つの1次元半導体ガルバノミラーで構成できる。
【0019】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。
図1は本発明による光走査装置用の光入出力制御装置及びこれを用いた光走査装置の実施の形態を示すブロック図である。この光走査装置は、レーザ光等の光ビームの進行方向を2次元に振って所定領域をリサジュー走査により走査するもので、例えば対象面に画像を形成する描画装置として構成した例を示しており、電磁駆動型の光走査部1と、駆動回路2と、光源3と、走査変位検出センサ4と、光入出力制御装置5とを備えて成る。なお、図1において、符号6は、外部装置と各種の情報を送受する入出力インターフェイスを示している。
【0020】
上記光走査部1は、レーザ光等の光ビームの進行方向を2次元に振って所定領域をリサジュー走査により走査する2次元スキャナとなるもので、反射面が形成された可動板を直交する二軸方向に揺動し、上記反射面に入射される光の進行方向を振って所定領域内を2次元走査するように構成されている。この光走査部1としては、本出願人により提案されて特許され、特許第2722314号公報に掲載された半導体製造技術を用いて製造される2次元の半導体ガルバノミラーを用いるのが好適である。
【0021】
ここで、上記半導体ガルバノミラーの基本的な構成について簡単に説明する。半導体ガルバノミラーは、例えば図2に示すように、半導体基板10に、枠状の外側可動板11及びその内側に配置され中央部にミラー12を有する矩形状の内側可動板13からなる可動部14と、上記外側可動板11を揺動可能に軸支するY軸トーションバー15a,15bと、該Y軸トーションバー15a,15bに対して軸方向が直交し上記内側可動板13を揺動可能に軸支するX軸トーションバー16a,16bとを一体形成し、上記外側可動板11及び内側可動板13の各周縁部にそれぞれY軸駆動コイル17及びX軸駆動コイル18を形成し、これら各駆動コイル17,18に磁界を作用させる一対のX軸側永久磁石19a,19b及び一対のY軸側永久磁石20a,20bが上記半導体基板10を挟んで対向配置されている。なお、符号21は、X軸駆動コイル18に電流を供給する電極端子を示し、符号22は、Y軸駆動コイル17に電流を供給する電極端子を示している。
【0022】
このような半導体ガルバノミラーは、上記外側可動板11及び内側可動板13の各周縁部に設けられたY軸駆動コイル17及びX軸駆動コイル18に流す駆動電流と、上記X軸側永久磁石19a,19b及びY軸側永久磁石20a,20bの磁界により上記可動部14にローレンツ力が働いて、該可動部14の内側可動板13が2次元方向(X,Yの二軸方向)に揺動する。そして、上記内側可動板13に設けられたミラー12にレーザ光等の光ビームを入射することにより、レーザ光が2次元的に走査され、例えば2次元レーザレーダ等として応用できる。なお、上記ミラー12は、内側可動板13の表面又は裏面或いは両面に設けてもよい。
【0023】
駆動回路2は、上記光走査部1に駆動信号を供給して可動部14の外側可動板11及び内側可動板13を直交する二軸方向に揺動させるもので、入出力インターフェイス6から出力される開始信号を入力して、Y軸駆動コイル17及びX軸駆動コイル18に所定のタイミングで上記可動部14を駆動するための交流電流を供給するようになっている。
【0024】
光源3は、上記光走査部1の内側可動板13のミラー12に対して光を射出するもので、例えば所定の波長のレーザ光を発振するレーザダイオード等から成り、後述の光入出力制御装置5からの出力信号で動作する光源ドライバ7からの駆動信号により点灯するようになっている。そして、上記光源3から射出された光ビームは、上記光走査部1のミラー12で2次元に走査されて投影面に照射され、画像を形成する。
【0025】
走査変位検出センサ4は、上記光走査部1の外側可動板11及び内側可動板13の走査状態を検知して、該外側可動板11及び内側可動板13による光走査が正弦的に変化する振れ角に同期する走査同期信号を検出するものである。
【0026】
そして、光入出力制御装置5は、上記光源3から上記内側可動板13のミラー12に対して光を出力するタイミングを制御するもので、2次元走査する所定領域の全体をX,Y方向に連続する格子状に分割し、この分割された各格子状ブロックを光出力又は光入力の目標位置とし、上記2次元走査による走査軌跡が上記目標位置に入ったことを検出して、その目標位置にて光出力又は光入力のタイミングを制御する手段を備えて成る。すなわち、図1に示すように、位置信号発生回路21と、座標変換回路22と、アドレス変換回路23と、フラグテーブル24と、領域内/外判定回路25と、AND回路26と、インターバルタイマ27と、カウンタ28とを備えて成る。なお、図3は、図1に示す光入出力制御装置5の具体的な構成例を示したものである。
【0027】
上記位置信号発生回路21は、前記走査変位検出センサ4で検知して出力された外側可動板11及び内側可動板13の正弦的に変化する振れ角に同期する走査同期信号を入力し、該走査同期信号を基にしてミラー12の反射による光の投影面上で光点が等間隔になるように補正されたX,Y方向の位置信号を発生するものである。
【0028】
座標変換回路22は、上記位置信号発生回路21から出力される光走査部1の2次元走査のX,Y方向の位置信号を入力し、後述の図4に示す所定領域Aの全体をX,Y方向に連続するN×N個の格子状に分割して各格子状ブロックBに対応するX,Y座標に変換する座標変換手段となるもので、図3に示すように、Xカウンタ29と、Yカウンタ30と、Xカウンタ29に接続された第1のエクスクルーシブOR回路31と、Yカウンタ30に接続された第2のエクスクルーシブOR回路32とから成る。なお、上記位置信号発生回路21から出力される光走査部1の2次元走査のX,Y方向の位置信号は、上記Xカウンタ29及びYカウンタ30にそれぞれ入力する。また、そのXカウンタ29及びYカウンタ30には、2次元走査のためのX走査方向信号とY走査方向信号とがそれぞれ入力するようになっている。
【0029】
そして、上記Xカウンタ29及びYカウンタ30により、図4に示す所定領域Aの全体がX方向にN個に分割され、Y方向にN個に分割された格子状のブロックBに分割されて、この各格子状ブロックBに対応するX,Y座標に変換される。このとき、上記Xカウンタ29及びYカウンタ30の下位2ビットを用いて、図4(a)に示すように、各格子状ブロックBの内部が例えば4×4の小ブロックに更に分割され、その中央部の2×2のブロック領域に光出力又は光入力の有効点であると判断するための光入出力有効領域Dが形成されて、その座標信号が第1のエクスクルーシブOR回路31及び第2のエクスクルーシブOR回路32から出力されるようになっている。
【0030】
アドレス変換回路23は、上記座標変換回路22で変換されたX,Y座標を入力してX,Yアドレスに変換するもので、図3に示すように、その内部でアドレスバスを切り替えてXアドレス、Yアドレスを出力するようになっている。
【0031】
フラグテーブル24は、上記アドレス変換回路23で変換されたX,Yアドレスを入力してそのアドレスに対応する光出力又は光入力の目標位置に対する光出力又は光入力の実行の「未済」、「済」のフラグを読み出し又は書き込むフラグ記憶手段となるもので、図3に示すように、例えばスタティックRAMから成る。なお、後述のAND回路26から光出力又は光入力の実行のタイミング信号S1が出力されたら、そのタイミング信号S1が図3に示すフラグ書換用ロジック33を介して上記フラグテーブル24に送られ、いま光出力又は光入力が実行された目標位置に対応するフラグを、“0”から「済」を表す“1”に書き換えるように制御する。
【0032】
領域内/外判定回路25は、上記座標変換回路22から出力され、上記分割された各格子状ブロックBの内部の中央部に形成された光出力又は光入力の有効点であると判断するための光入出力有効領域DのX,Y座標を入力し、該光入出力有効領域Dの内部か否かを判断する領域内外判定手段となるもので、図3に示すように、前記第1のエクスクルーシブOR回路31及び第2のエクスクルーシブOR回路32からの出力を入力してその論理積をとるAND回路から成る。
【0033】
AND回路26は、上記フラグテーブル24及び領域内/外判定回路25からの信号を入力しそのアンドをとって光出力又は光入力の信号を出力する光入出力信号出力手段となるもので、領域内/外判定回路25から図4に示す光入出力有効領域Dの内部にリサジュー走査による走査軌跡Cが入っているとの判定信号と、フラグテーブル24から図4に示す光出力又は光入力の実行の「未済」のフラグを表す“0”を読み出した信号のアンドをとって、図3に示すように、光出力又は光入力(この場合は光出力のみ)のタイミング信号S1を出力するようになっている。
【0034】
また、インターバルタイマ27は、上記AND回路26からのタイミング信号S1を入力して、前回の光出力又は光入力の実行のタイミングから所定時間が経過した後に次の光出力又は光入力の実行許可を行うタイマ手段となるもので、目標位置に光出力又は光入力を行う場合に、例えば光源3としてのレーザダイオード等が点灯するのに必要な時間間隔t(例えば1/15kHz=66.67μs程度)を置いてから、次の光出力又は光入力の実行のための点灯許可を行うようになっている。これにより、確実に光源3を点灯して光出力又は光入力を行うことができる。
【0035】
この場合は、インターバルタイマ27は、上記AND回路26から出力されたタイミング信号S1を入力してタイマをリセットし、このタイミングから所定時間が経過したところで点灯の許可信号をAND回路26に送る。そして、上記AND回路26は、領域内/外判定回路25からの判定信号と、フラグテーブル24からの「未済」のフラグを表す“0”の読出し信号と、上記点灯の許可信号とのアンドをとって次回の光出力又は光入力のタイミング信号S1を出力するようになっている。
【0036】
さらに、カウンタ28は、上記AND回路26からのタイミング信号S1を入力して、図4に示す各格子状ブロックB毎に立てた光出力又は光入力の実行のフラグの更新を順次カウントして行き、全格子状ブロックBのフラグが「済」に更新された時に光出力又は光入力を終了する終了信号を出力するカウンタ手段となるもので、図4に示すN×N個の格子状ブロックBの数に対応させて“N×N”の数字をセットしておき、目標位置に光出力又は光入力を実行する度にフラグテーブル24の対応するアドレスのフラグを“1”に書き換えるのを検出して、そのカウント値を1ずつ減算して行き、上記カウンタ28の数字が0になったら光出力又は光入力の終了信号を出力するようになっている。
【0037】
なお、図1に示す光走査装置は描画装置の例を示しているので、この場合は、入出力インターフェイス6から、投影面に画像を形成するための描画像データをフラグテーブル24に送って書き込む必要がある。すなわち、図4(b)に示すフラグテーブル24に対し、描画像データに応じて画像形成のために光出力の目標位置となるところ(画像領域)には「未済」を表す“0”のフラグを書き込み、光出力の目標位置とならないところ(画像領域外)には「済」を表す“1”のフラグを書き込んでおく。このとき、上記フラグテーブル24に“0”のフラグを書き込む度に、カウンタ28にその書込み信号を送ってカウント値を1ずつ増やしてカウントアップしておき、描画像データ分のカウント値としておく。
【0038】
なお、図1に示す光源ドライバ7は、上記AND回路26から出力された光出力又は光入力のタイミング信号S1を入力して、レーザダイオード等の光源3に駆動信号を送出するものである。また、図3に示すCPU34は、フラグテーブル24の「未済」、「済」のフラグを書き換えるためにフラグ書換用ロジック33に制御信号を送ったり、クリアするときにアドレス変換回路23からのアドレスデータを上記フラグ書換用ロジック33に送ったり、カウンタ28からの終了信号を入力して他の制御系をコントロールするものである。
【0039】
次に、このように構成された光走査装置の全体的な動作について、図4及び図5を参照して説明する。図4において、画像を形成する所定領域Aの全体がX,Y方向に連続する格子状のブロックBに分割されている。例えば、X,Y方向にそれぞれN個に分割し、全体でN×N個に分割されている。そして、この分割された各格子状ブロックBを光出力又は光入力の目標位置とし、リサジュー走査による走査軌跡Cが上記目標位置としての何れかの格子状ブロックBに入ったことを検出して、当該目標位置に光出力又は光入力を行う。
【0040】
このとき、図4(a)に示すように、各格子状ブロックBの内部が例えば4×4の小ブロックに更に分割され、その中央部の2×2のブロック領域に光出力又は光入力の有効点であると判断するための光入出力有効領域Dが形成されており、この光入出力有効領域Dの内部に走査軌跡Cが入ったのを検出して、該走査軌跡Cが目標位置に入ったことを検出する。図4では、光入出力有効領域D1に走査軌跡Cが入ったのを検出して、目標位置に入ったことを検出する。なお、格子状ブロックBの内部を走査軌跡Cが通ったとしても、その周辺部にて上記光入出力有効領域Dの外部を通る走査軌跡Cは無視する。これは、各格子状ブロックB内の周辺部を走査軌跡Cが通った場合は光出力又は光入力の目標位置に入ったとはしないで、リサジュー走査の互いに接近した走査軌跡Cによっては座標を配置しないようにするためである。
【0041】
次に、上記走査軌跡Cが上記目標位置に入ったことを検出して、その目標位置に光出力又は光入力を行うには、図4(b)に示すフラグテーブル24に、N×N個の各格子状ブロックB毎に光出力又は光入力の実行の「未済」、「済」のフラグを立て、このフラグを参照して光出力又は光入力を実行すると共に、そのフラグを順次「済」に更新する。上記フラグテーブル24は、各格子状ブロックB内の各光入出力有効領域D毎にフラグが立てられ、光出力又は光入力の実行が「未済」の場合は“0”が、「済」の場合は“1”が書き込まれている。これは、同一の格子状ブロックB内に重複して光出力又は光入力が行われないようにするためである。
【0042】
図4の例では、同図(a)に示す光入出力有効領域D1に走査軌跡Cが入ったのを検出して目標位置に入ったことを検出し、同図(b)に示すフラグテーブル24の上記光入出力有効領域D1に対応するアドレスのフラグを参照すると“0”であるので、光出力又は光入力の実行が「未済」であると判断して、この目標位置に光出力又は光入力を実行する。これにより、上記光入出力有効領域D1が含まれた格子状ブロックBに光出力又は光入力の実行が済んだので、フラグテーブル24の対応するアドレスのフラグを“0”から“1”に書き換える。
【0043】
また、上記目標位置に光出力又は光入力を行うには、前回の光出力又は光入力の実行のタイミングから所定時間が経過した後に行う。図4の例では、同図(a)に示す光入出力有効領域D1で示される目標位置に光出力又は光入力を行う際は、それより前に光出力又は光入力を実行したタイミングから所定時間、例えば光源3としてのレーザダイオード等が点灯するのに必要な時間間隔(例えば1/15kHz=66.67μs程度)を置いてから、次の光出力又は光入力の実行を行うようにする。なお、今回の光出力又は光入力の実行からその次の光出力又は光入力の実行までの間も所定の時間間隔を置く。これにより、目標位置に光入出力を行う場合に、確実に光源を点灯して光出力を行うことができる。
【0044】
一方、図5の例では、リサジュー走査による或る回の走査軌跡Cが上述の光入出力有効領域D1を通って他の光入出力有効領域D2に向かって進んだときの処理を示している。この場合は、同図(a)に示す光入出力有効領域D1に走査軌跡Cが入ったのを検出して目標位置に入ったことを検出し、同図(b)に示すフラグテーブル24の上記光入出力有効領域D1に対応するアドレスのフラグを参照すると“1”であるので、光出力又は光入力の実行が「済」であると判断し、スキップして光出力又は光入力の実行をしない。
【0045】
その後、上記走査軌跡Cは光入出力有効領域D2に入る。このとき、図5(b)に示すフラグテーブル24の上記光入出力有効領域D2に対応するアドレスのフラグを参照すると“0”であるので、光出力又は光入力の実行が「未済」であると判断して、この目標位置に光出力又は光入力を実行する。これにより、上記光入出力有効領域D2が含まれた格子状ブロックBに光出力又は光入力の実行が済んだので、フラグテーブル24の対応するアドレスのフラグを“0”から“1”に書き換える。
【0046】
このようにして、X,Y方向の所定領域Aの全体について、リサジュー走査を行って総ての目標位置に光出力又は光入力を行う。このとき、各格子状ブロックB毎に立てた光出力又は光入力の実行のフラグの更新を順次カウントして行き、全格子状ブロックBのフラグが「済」に更新された時に光出力又は光入力を終了する。例えば、図1に示すカウンタ28にN×N個の格子状ブロックBの数に対応させて“N×N”の数字をセットしておき、目標位置に光出力又は光入力を実行する度にフラグテーブル24の対応するアドレスのフラグを“1”に書き換えるのを検出して、そのカウント値を1ずつ減算して行き、上記カウンタ28の数字が0になったら光出力又は光入力の終了信号を出力すればよい。
【0047】
これにより、図4及び図5に示すように、画像形成の所定領域Aの全体についてX,Y方向に連続する各格子状ブロックB毎にその中央部に光出力又は光入力を行うと共に、同じ格子状ブロックB内には重ねて光出力又は光入力を実行することなく、X,Y方向の2次元の光出力又は光入力を行うことができる。このことから、2次元走査の全面にわたって等間隔に近い光出力又は光入力が実行される。
【0048】
次に、図1及び図3に示す光入出力制御装置5の具体的な動作について、図6及び図7のフローチャートを参照して説明する。まず、図6において、図4に示す所定領域Aの1面について光出力又は光入力を開始する。初めに、フラグテーブル24をリセットすると共に、カウンタ28をリセットする(ステップS1)。次に、インターバルタイマ27で計測するタイマ値が、例えば光源3としてのレーザダイオード等が点灯するのに必要な時間間隔として予め設定された値tよりも小さいか否かを判断する(ステップS2)。
【0049】
インターバルタイマ27で計測するタイマ値が時間間隔tよりも小さいときは、ステップS2での監視を繰り返す。そして、計測するタイマ値が時間間隔t以上となったときは、レーザダイオード等が点灯するのに必要な時間間隔を経過したので、点灯の許可信号を出力してステップS3に進む。
【0050】
ステップS3では、領域内/外判定回路25で、図4(a)に示すリサジュー走査による走査軌跡Cが目標位置としての何れかの格子状ブロックB内の光入出力有効領域Dの内部に入ったか否かを判断する。上記走査軌跡Cが何れの光入出力有効領域Dの内部にも入っていないときは、“NO”側に進んで監視を繰り返す。そして、図4に示す光入出力有効領域D1内に走査軌跡Cが入ったときは、“YES”側に進んでステップS4に入る。
【0051】
ステップS4では、図4(b)又は図5(b)に示すように、フラグテーブル24を参照する。そして、当該格子状ブロックB内の光入出力有効領域Dについて立てられたフラグが“0”又は“1”であるかを判断する(ステップS5)。図5(b)に示すように、フラグが“1”であるときは、当該格子状ブロックB内の光入出力有効領域D1には既に光出力又は光入力の実行が「済」となっているので、光出力又は光入力をスキップしてステップS3に戻る。
【0052】
一方、図4(b)に示すように、フラグが“0”であるときは、当該格子状ブロックB内の光入出力有効領域D1には光出力又は光入力の実行が「未済」であるので、結合子「1」を介して図7に示すステップS6に入る。
【0053】
このステップS6では、AND回路26が、領域内/外判定回路25からの光入出力有効領域D1内に走査軌跡Cが入ったとの判定信号と、フラグテーブル24からの「未済」のフラグを表す“0”の読出し信号と、前記インターバルタイマ27から出力された点灯の許可信号とのアンドをとって、光出力又は光入力の実行のタイミング信号S1を出力する。このAND回路26から出力された光出力又は光入力のタイミング信号S1は、光源ドライバ7に送られ、光源3を駆動して光出力を行う。これにより、図4(a)に示すように、当該格子状ブロックB内の光入出力有効領域D1に光出力又は光入力が実行される。
【0054】
上記AND回路26から出力された光出力又は光入力のタイミング信号S1は、前記インターバルタイマ27へ送られ、そのタイマ値をリセットする(ステップS7)。これにより、次回の光出力又は光入力の実行許可の時間計測が再スタートする。
【0055】
また、上記AND回路26から出力された光出力又は光入力のタイミング信号S1は、フラグ書換用ロジック33を介してフラグテーブル24へ送られ、図4(b)に示すように、当該格子状ブロックBの光入出力有効領域D1に対応して立てられたフラグを“1”に書き換える(ステップS8)。これにより、上記格子状ブロックBの光入出力有効領域D1には、重ねて光出力又は光入力がされないこととなる。
【0056】
さらに、上記AND回路26から出力された光出力又は光入力のタイミング信号S1は、カウンタ28へ送られ、そのカウント値を減算する(ステップS9)。即ち、図4に示すN×N個の格子状ブロックBの数に対応させてセットされた“N×N”の数字を1ずつ減算して行く。
【0057】
そして、カウンタ28のカウント値が“0”か否かを判断する(ステップS10)。カウント値が“0”より大きい場合は、まだ処理は終わっていないので、結合子「2」を介して図6のステップS1に戻り、上記の処理を繰り返す。カウント値が“0”になった場合は、図4に示すN×N個の格子状ブロックBの全体について光出力又は光入力が終了したので、画像形成の1面の終了信号を出力する(ステップS11)。
【0058】
これにより、図8に示すように、図4に示す所定領域Aの全体についてX,Y方向に連続する各格子状ブロックB毎にその中央部に光出力を行うと共に、同じ格子状ブロックB内には重ねて光出力を実行することなく、X,Y方向の2次元走査の全面にわたって等間隔に近い光出力を実行することができる。
【0059】
このようにして、図4に示す画像形成の所定領域Aの1面について光出力又は光入力が終了するので、結合子「3」を介して図6の開始のステップに戻り、次の画像形成の所定領域Aの1面について光出力又は光入力の処理を開始すればよい。
【0060】
なお、図4に示す各格子状ブロックB内の中央部に形成される光入出力有効領域D1の形状は、正方形に限られず、図9に示すように、菱形の光入出力有効領域Daでもよいし、円形の光入出力有効領域Dbでもよいし、或いは十字形の光入出力有効領域Dcでもよい。これらの光入出力有効領域Da,Db,Dcの場合は、正方形の光入出力有効領域に比べて四方の隅部が削られた形をしているので、光出力又は光入力の目標位置を限定することができ、各格子状ブロックB内の中央部に光出力又は光入力をする精度を高くすることができる。このことから、2次元走査の全面にわたってより等間隔に近い光出力又は光入力を実行することができる。
【0061】
図10は、本発明による光走査装置の他の実施形態を示すブロック図である。この実施形態は、例えば走査対象についてその画像を撮影する撮像装置として構成した例を示しており、図1に示す光源3及び光源ドライバ7の代わりに、光センサ35を備えたものである。この光センサ35は、光走査部1の内側可動板13のミラー12で走査対象を走査した光を入力して受光信号を出力する受光部となるもので、例えばフォトダイオード等から成る。
【0062】
そして、図10において、画像メモリ36は、上記光センサ35から出力される受光信号を所定の記憶領域に画像データとして記録するものである。また、インターフェイス37は、上記画像メモリ36から読み出した画像データを外部装置に送出する接続手段である。それ以外の構成は、基本的に図1に示す光走査装置と同様である。
【0063】
次に、図10のように構成された光走査装置の動作について簡単に説明する。まず、光走査部1及び光入出力制御装置5の動作は、図1に示す光走査装置と基本的に同じである。ここで、座標変換回路22から出力される所定領域A(図4参照)に関するX,Yの座標情報が直接画像メモリ36へ送られ、上記光センサ35から出力される受光信号を書き込むべき場所を示している。この状態で、AND回路26からは、光出力又は光入力(この場合は光入力のみ)のタイミング信号S2が出力される。このタイミング信号S2は、上記画像メモリ36へ光センサ35からの受光信号を取り込むサンプリングクロックとなるもので、このサンプリングクロックにより画像メモリ36へ光センサ35からの受光信号を書き込むタイミングを制御する。
【0064】
このような動作により、光走査部1の内側可動板13のミラー12で走査対象を走査した光を入力した光センサ35の受光信号を、光入出力制御装置5から出力されるタイミング信号S2のタイミングで画像メモリ36へ書き込むことにより、図8に示すように、図4に示す所定領域Aの全体についてX,Y方向に連続する各格子状ブロックB毎にその中央部に光入力を行うと共に、同じ格子状ブロックB内には重ねて光入力を実行することなく、X,Y方向の2次元走査の全面にわたって等間隔に近い光入力を実行することができる。
なお、上記光センサ35の受光側にシャッタを設け、このシャッタを上記光入出力制御装置5から出力されるタイミング信号S2により開閉して、光センサ35の受光信号を画像メモリ36へ書き込むようにしてもよい。
【0065】
図11は、光走査部1の他の実施形態を示す説明図であり、具体例としての1次元の半導体ガルバノミラーの基本的な構成を示す分解斜視図である。この半導体ガルバノミラー40は、シリコン基板41の内側に、トーションバー42と該トーションバー42により支持された可動板43とをシリコン基板41に一体に設け、可動板43の上面には、その周辺に平面コイル44を設け、該平面コイル44で囲まれた略中央にミラー45を設け、シリコン基板41を枠状の絶縁基板46上に載置してある。そして、上記シリコン基板41の対向する側面に、N極、S極を対向させて永久磁石47が配置されている。なお、符号48は、平面コイル44と電気的に接続する電極端子を示している。
【0066】
この半導体ガルバノミラー40は、上記電極端子48から平面コイル44に交流電流を流すと、可動板43の両端にフレミングの左手の法則に従って電磁力が働き、該可動板43はトーションバー42を中心に周期的に図中の矢印A,B方向に揺動する。そして、このような1次元の半導体ガルバノミラー40を、それぞれの可動板43を直交するX,Yの二軸方向に揺動可能に2個組み合わせて、光走査部1を構成してもよい。この場合は、二つの可動板43のX軸揺動と、Y軸揺動とが別個に行われるので、それぞれの駆動コイルに発生する逆起電力が相互に作用したり混合することなく、悪影響を与えることがない。
【0067】
【発明の効果】
本発明は以上のように構成されたので、請求項1に係る光走査装置用の光入出力制御装置によれば、光走査部で2次元走査する所定領域の全体をX,Y方向に連続する格子状に分割し、この分割された各格子状ブロックを光出力又は光入力の目標位置とし、上記2次元走査による走査軌跡が上記目標位置に入ったことを検出して、その目標位置にて光出力又は光入力のタイミングを制御することができる。これにより、リサジュー走査においても、上記分割された各格子状ブロックを目標位置とし、この目標位置にて光出力又は光入力を行うことで2次元走査の全面にわたって等間隔に近い光出力又は光入力を可能とする。
【0068】
また、請求項2に係る光走査装置用の光入出力制御装置によれば、反射面に入射される光の進行方向を振って所定領域内を2次元走査する光走査部の2次元走査のX,Y方向の位置信号を入力し、座標変換手段で所定領域の全体をX,Y方向に連続する格子状に分割して各格子状ブロックに対応するX,Y座標に変換し、該変換されたX,Y座標をアドレスに変換したX,Yアドレスを入力して、フラグ記憶手段によりそのアドレスに対応する光出力又は光入力の目標位置に対する光出力又は光入力の実行の「未済」、「済」のフラグを読み出し又は書き込み、上記座標変換手段から出力され、各格子状ブロック内の中央部に形成された光出力又は光入力の有効点であると判断するための光入出力有効領域のX,Y座標を入力して、領域内外判定手段で上記光入出力有効領域の内部か否かを判断し、光入出力信号出力手段により上記フラグ記憶手段及び領域内外判定手段からの出力信号のアンドをとって光出力又は光入力のタイミング信号を出力することができる。これにより、リサジュー走査においても、上記分割された各格子状ブロックを目標位置とし、この目標位置にて光出力又は光入力を行うことで2次元走査の全面にわたって等間隔に近い光出力又は光入力を可能とする。
【0069】
また、請求項3に係る発明によれば、上記光入出力信号出力手段からのタイミング信号を入力して、前回の光出力又は光入力の実行のタイミングから所定時間が経過した後に次の光出力又は光入力の実行許可を行うタイマ手段を備えたことにより、前回の光出力又は光入力の実行のタイミングから所定時間が経過した後に次の光出力又は光入力の実行許可を行うことで、例えばレーザダイオード等の光源を用いて目標位置に光出力を行う場合に、上記光源の点灯に必要な時間間隔が取って確実に光源を点灯することができる。
【0070】
さらに、請求項4に係る発明によれば、上記光入出力信号出力手段からのタイミング信号を入力して、各格子状ブロック毎に立てた光出力又は光入力の実行のフラグの更新を順次カウントして行き、全格子状ブロックのフラグが「済」に更新された時に光出力又は光入力を終了する終了信号を出力するカウンタ手段を備えたことにより、各格子状ブロック毎に立てた光出力又は光入力の実行のフラグの更新を順次カウントして行き、全格子状ブロックのフラグが「済」に更新された時に光出力又は光入力を終了する終了信号を出力することで、所定領域の全体をX,Y方向に連続する格子状に分割した総ての格子状ブロックについて光出力又は光入力を洩れなく行うことができる。
【0071】
また、請求項5に係る光走査装置によれば、駆動回路で光走査部に駆動信号を供給して可動板を直交する二軸方向に揺動させ、光源から上記光走査部の可動板の反射面に対して光を射出し、光走査部で可動板を直交する二軸方向に揺動して反射面に入射される光の進行方向を振って所定領域内を2次元走査し、光入出力制御装置により、X,Y方向に連続する格子状に分割された各格子状ブロックを光出力の目標位置とし、2次元走査による走査軌跡が上記目標位置に入ったことを検出して、その目標位置にて光出力のタイミングを制御することができる。これにより、リサジュー走査においても、上記分割された各格子状ブロックを目標位置とし、この目標位置にて光出力を行うことで2次元走査の全面にわたって等間隔に近い光出力を可能とする描画装置が得られる。
【0072】
そして、請求項6に係る光走査装置によれば、駆動回路で光走査部に駆動信号を供給して可動板を直交する二軸方向に揺動させ、光走査部により可動板を直交する二軸方向に揺動して反射面に入射される光の進行方向を振って所定領域内を2次元走査し、受光部で上記光走査部の可動板の反射面からの光を入力して受光信号を出力し、光入出力制御装置により、X,Y方向に連続する格子状に分割された各格子状ブロックを光入力の目標位置とし、2次元走査による走査軌跡が上記目標位置に入ったことを検出して、その目標位置にて光入力のタイミングを制御することができる。これにより、リサジュー走査においても、上記分割された各格子状ブロックを目標位置とし、この目標位置にて光入力を行うことで2次元走査の全面にわたって等間隔に近い光入力を可能とする撮像装置が得られる。
【0073】
なお、請求項7に係る発明によれば、上記光走査部は、基板に対し直交する二軸方向に揺動可能に軸支された可動板に反射面を有し、該可動板を揺動して反射面に照射される光の進行方向を2次元方向に走査し得る2次元半導体ガルバノミラーから成るものとしたことにより、光走査部を一つの2次元半導体ガルバノミラーで構成できる。したがって、光走査部の構成を簡単とすることができる。
【0074】
また、請求項8に係る発明によれば、上記光走査部は、基板に対し一軸方向に揺動可能に軸支された可動板に反射面を有し、該可動板を揺動して反射面に照射される光の進行方向を1次元方向に走査し得る1次元半導体ガルバノミラーを、それぞれの可動板を直交する二軸方向に揺動可能に複数個組み合わせて構成したことにより、光走査部を二つの1次元半導体ガルバノミラーで構成できる。この場合は、二つの可動板のX軸揺動と、Y軸揺動とが別個に行われるので、それぞれの駆動コイルに発生する逆起電力が相互に作用したり混合することなく、悪影響を与えることがない。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による光走査装置用の光入出力制御装置及びこれを用いた光走査装置の実施の形態を示すブロック図であり、例えば対象面に画像を形成する描画装置として構成した例を示している。
【図2】上記光走査装置における光走査部の具体例としての2次元の半導体ガルバノミラーの基本的な構成を示す平面図である。
【図3】図1に示す光入出力制御装置の具体的な構成例を示したブロック図である。
【図4】本発明に係る光入出力制御装置における或るタイミングの動作説明図である。
【図5】上記光入出力制御装置における他のタイミングの動作説明図である。
【図6】上記光入出力制御装置の動作を説明するフローチャートである。
【図7】同じく上記光入出力制御装置の動作を説明するフローチャートである。
【図8】本発明に係る光入出力制御装置の動作により光出力又は光入力された光点の配置例を示す説明図である。
【図9】図4に示す各格子状ブロック内の中央部に形成される光入出力有効領域の形状の他の例を示す説明図である。
【図10】本発明による光走査装置の他の実施形態を示すブロック図であり、例えば走査対象についてその画像を撮影する撮像装置として構成した例を示している。
【図11】光走査部の他の実施形態を示す説明図であり、具体例としての1次元の半導体ガルバノミラーの基本的な構成を示す分解斜視図である。
【図12】リサジュー図形に従った軌跡に沿って2次元走査を行うリサジュー走査を示す説明図である。
【図13】従来のリサジュー走査において、X軸方向の周波数及びY軸方向の周波数並びにリサジュー周波数が同一でも、光出力又は光入力を行う時間間隔を少し変化しただけで、光入出力の点が大きく変わることを示す説明図である。
【図14】同じく従来のリサジュー走査において、X軸方向の周波数及びY軸方向の周波数並びにリサジュー周波数が同一でも、光出力又は光入力を行う時間間隔を少し変化しただけで、光入出力の点が大きく変わることを示す説明図である。
【符号の説明】
1…光走査部
2…駆動回路
3…光源
4…走査変位検出センサ
5…光入出力制御装置
7…光源ドライバ
12,45…ミラー
14…可動部
43…可動板
21…位置信号発生回路
22…座標変換回路
23…アドレス変換回路
24…フラグテーブル
25…領域内/外判定回路
26…AND回路
27…インターバルタイマ
28…カウンタ
33…フラグ書換用ロジック
35…光センサ
36…画像メモリ
A…所定領域
B…格子状ブロック
C…リサジュー走査の走査軌跡
D,D1,D2,Da,Db,Dc…光入出力有効領域
Claims (8)
- 反射面が形成された可動板を直交する二軸方向に揺動し、上記反射面に入射される光の進行方向を振って所定領域内を2次元走査する光走査部に対し、光源から光を出力し、又は走査対象からの光を入力するタイミングを制御する光走査装置用の光入出力制御装置であって、
上記所定領域の全体をX,Y方向に連続する格子状に分割し、この分割された各格子状ブロックを光出力又は光入力の目標位置とし、上記2次元走査による走査軌跡が上記目標位置に入ったことを検出して、その目標位置にて光出力又は光入力のタイミングを制御することを特徴とする光走査装置用の光入出力制御装置。 - 反射面が形成された可動板を直交する二軸方向に揺動し、上記反射面に入射される光の進行方向を振って所定領域内を2次元走査する光走査部に対し、光源から光を出力し、又は走査対象からの光を入力するタイミングを制御する光走査装置用の光入出力制御装置であって、
上記光走査部の2次元走査のX,Y方向の位置信号を入力し、所定領域の全体をX,Y方向に連続する格子状に分割して各格子状ブロックに対応するX,Y座標に変換する座標変換手段と、
該変換されたX,Y座標をアドレスに変換したX,Yアドレスを入力してそのアドレスに対応する光出力又は光入力の目標位置に対する光出力又は光入力の実行の「未済」、「済」のフラグを読み出し又は書き込むフラグ記憶手段と、
上記座標変換手段から出力され、各格子状ブロック内の中央部に形成された光出力又は光入力の有効点であると判断するための光入出力有効領域のX,Y座標を入力し、該光入出力有効領域の内部か否かを判断する領域内外判定手段と、
上記フラグ記憶手段及び領域内外判定手段からの出力信号のアンドをとって光出力又は光入力のタイミング信号を出力する光入出力信号出力手段と、
を備えたことを特徴とする光走査装置用の光入出力制御装置。 - 上記光入出力信号出力手段からのタイミング信号を入力して、前回の光出力又は光入力の実行のタイミングから所定時間が経過した後に次の光出力又は光入力の実行許可を行うタイマ手段を備えたことを特徴とする請求項2記載の光走査装置用の光入出力制御装置。
- 上記光入出力信号出力手段からのタイミング信号を入力して、各格子状ブロック毎に立てた光出力又は光入力の実行のフラグの更新を順次カウントして行き、全格子状ブロックのフラグが「済」に更新された時に光出力又は光入力を終了する終了信号を出力するカウンタ手段を備えたことを特徴とする請求項2又は3記載の光走査装置用の光入出力制御装置。
- 反射面が形成された可動板を直交する二軸方向に揺動し、上記反射面に入射される光の進行方向を振って所定領域内を2次元走査する光走査部と、
この光走査部に駆動信号を供給して可動板を直交する二軸方向に揺動させる駆動回路と、
上記光走査部の可動板の反射面に対して光を射出する光源と、
この光源から上記可動板の反射面に対して光を出力するタイミングを制御する光入出力制御装置と、
を備えて成る光走査装置において、
上記光入出力制御装置として、請求項1〜4のいずれか1項に記載の光入出力制御装置を用いたことを特徴とする光走査装置。 - 反射面が形成された可動板を直交する二軸方向に揺動し、上記反射面に入射される光の進行方向を振って所定領域内を2次元走査する光走査部と、
この光走査部に駆動信号を供給して可動板を直交する二軸方向に揺動させる駆動回路と、
上記光走査部の可動板の反射面からの光を入力して受光信号を出力する受光部と、
この受光部から出力される受光信号を入力するタイミングを制御する光入出力制御装置と、
を備えて成る光走査装置において、
上記光入出力制御装置として、請求項1〜4のいずれか1項に記載の光入出力制御装置を用いたことを特徴とする光走査装置。 - 上記光走査部は、基板に対し直交する二軸方向に揺動可能に軸支された可動板に反射面を有し、該可動板を揺動して反射面に照射される光の進行方向を2次元方向に走査し得る2次元半導体ガルバノミラーから成ることを特徴とする請求項5又は6記載の光走査装置。
- 上記光走査部は、基板に対し一軸方向に揺動可能に軸支された可動板に反射面を有し、該可動板を揺動して反射面に照射される光の進行方向を1次元方向に走査し得る1次元半導体ガルバノミラーを、それぞれの可動板を直交する二軸方向に揺動可能に複数個組み合わせて構成したことを特徴とする請求項5又は6記載の光走査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002181184A JP4214364B2 (ja) | 2002-06-21 | 2002-06-21 | 光走査装置用の光入出力制御装置及びこれを用いた光走査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002181184A JP4214364B2 (ja) | 2002-06-21 | 2002-06-21 | 光走査装置用の光入出力制御装置及びこれを用いた光走査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004029094A true JP2004029094A (ja) | 2004-01-29 |
JP4214364B2 JP4214364B2 (ja) | 2009-01-28 |
Family
ID=31178080
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002181184A Expired - Lifetime JP4214364B2 (ja) | 2002-06-21 | 2002-06-21 | 光走査装置用の光入出力制御装置及びこれを用いた光走査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4214364B2 (ja) |
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