JP2004027905A - 流体供給システム - Google Patents
流体供給システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004027905A JP2004027905A JP2002183049A JP2002183049A JP2004027905A JP 2004027905 A JP2004027905 A JP 2004027905A JP 2002183049 A JP2002183049 A JP 2002183049A JP 2002183049 A JP2002183049 A JP 2002183049A JP 2004027905 A JP2004027905 A JP 2004027905A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- metering pump
- fluid
- suspension
- circulation path
- fluid supply
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Details Of Reciprocating Pumps (AREA)
- Reciprocating Pumps (AREA)
Abstract
【解決手段】本発明は、循環経路11を有する流体供給源10から流体を搬送供給すべく構成された流体供給システムであって、前記循環経路11に接続された供給配管部21と、前記供給配管部21に設けられた定量ポンプ22と、前記供給配管部21における前記定量ポンプ22の上流側に設けられたレギュレータ23とを備えたことを特徴としている。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、循環経路を有する流体供給源から流体を搬送供給すべく構成された流体供給システムに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来から、定量ポンプの一種として、可動部たるピストンにダイヤフラムを用いた往復動ポンプが知られている。通常、このような往復動ポンプを構成するダイヤフラムは、耐摩耗性、耐食性に優れた材料を用いて形成されている。また、かかる構成の往復動ポンプにおいては、往復動部分における液の漏洩が構造上皆無であり、ポンプ室には吸込側、吐出側ともに、逆止弁としてのボール弁が設けられている。
【0003】
ダイヤフラムを用いて構成された往復動ポンプは、上述したように、漏洩等が皆無であり、耐摩耗性等に優れたダイヤフラム等を用いて構成されているので、清水だけではなく、固体(粒状物等)を含んだ液体(いわゆる「懸濁液」)をも搬送可能である。
【0004】
そこで、従来技術においては、懸濁液を搬送する際には、ダイヤフラム等を用いて構成された往復動ポンプ(以下、単に「往復動ポンプ」という。)が採用される場合がある。
【0005】
懸濁液とは、上述したように、粒状物等を含んだ液体である。したがって、液体中に粒状物等を適当に分散させた状態で、この懸濁液の搬送供給を行うためには、いくつかの問題を解決する必要がある。その一つは、懸濁液供給源において、粒状物等が液体内下部に沈降するという問題である。
【0006】
従来技術においては、かかる問題を解決するために、懸濁液を循環させ、その循環状態の中から、懸濁液を取り出して搬送供給する場合がある。このような構成であれば、懸濁液を循環させているため、粒状物等の液体内下部への沈降を低減しつつ、懸濁液の搬送供給を行うことができる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来技術は、次のような問題を有していた。
【0008】
従来技術においては、循環状態の懸濁液を定量的に取り出して搬送供給する際に定量ポンプを用いるが、定量ポンプ側で搬送供給流量を設定しても、適切に定量搬送することができない場合があるという問題があった。
これは、定量ポンプの一次側圧力(上流側圧力)が、懸濁液を循環させる際の循環圧力に支配されることに起因する。つまり、従来技術にかかる定量ポンプにおいては、定量ポンプにて流量の設定を行っていても、循環圧力が変動すれば、その影響により(一次側圧力の変動により)、定量的に搬送供給を行うことができなかった。
【0009】
また、上記問題は、循環状態の懸濁液を複数の配管を介して供給する場合には、より顕著であった。つまり、複数の配管が接続されていることによって、複数箇所から懸濁液の搬送供給が行われることになるため、懸濁液の循環圧力の変動が大きくなり、各箇所において適切に懸濁液の定量搬送を行うことができないという問題があった。
【0010】
そこで、本発明は、上記従来技術の問題を解決するためになされたものであって、比較的容易な構成に基づいて、循環状態の懸濁液を定量的に取り出すことが可能な流体供給システムを提供することを課題とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記従来技術を解決するためになされたもので、循環経路を有する流体供給源から流体を搬送供給すべく構成された流体供給システムであって、前記循環経路に接続された供給配管部と、前記供給配管部に設けられた定量ポンプと、前記供給配管部における前記定量ポンプの上流側に設けられたレギュレータとを備えたことを特徴としている。
【0012】
このような構成にかかる流体供給システムによれば、流体供給源が循環経路を有するため、流体が懸濁液等である場合には、懸濁液中の粒状物等を適切に分散させることができる。また、このように構成された流体供給源に対して接続された供給配管部にレギュレータと定量ポンプとが設けられ、レギュレータの上流側(一次側)と下流側(二次側)とが適切に「縁切り」されているため、流体供給源における圧力変動に影響されずに、設定値に応じた流量の搬送供給を行うべく定量ポンプを駆動させることができる。
【0013】
また、本発明は、循環経路を有する流体供給源から流体を搬送供給すべく構成された流体供給システムであって、前記循環経路に接続された複数の供給配管部と、各供給配管部に設けられた定量ポンプと、各供給配管部における前記定量ポンプの上流側に設けられたレギュレータとを備えたことを特徴としている。
【0014】
このような構成にかかる流体供給システムによれば、各供給配管部において、上述した効果を有すべく、定量ポンプを駆動させることができる。
【0015】
また、本発明にかかる流体供給システムにおいては、前記定量ポンプが往復動ポンプであって、その可動部が、ダイヤフラム、プランジャ、およびベローズの少なくとも一つを用いて構成されていることが好ましい。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、図面に基づいて、本発明の実施の形態を説明する。
【0017】
図1は、本発明の実施形態にかかる流体供給システムの概略図を示したものである。本実施形態にかかる流体供給システムは、図1に示すように、循環経路11を有する流体供給源10に接続された供給配管部21と、この供給配管部21に設けられた定量ポンプ22と、供給配管部21におけるこの定量ポンプ22の上流側に設けられたレギュレータ23等とを用いて構成されている。
【0018】
本実施形態にかかる流体供給システムは、流体供給源10にて循環されている流体を、供給配管部21等を介して、流体使用箇所Qに供給するためのシステムであって、搬送供給される流体としては、例えば、半導体CMP(Chemical Mechanical Polishing)工程におけるCMP用スラリー等の懸濁液(固体(粒状物等)を含んだ液体)があげられる。ここでいう半導体CMP工程のCMP用スラリーとは、スラリー濃度が5〜50wt%、最大集合粒径が10μm以下のものである。また、スラリーのコンポーネントとしては、シリカ系、酸化セリウム系、アルミナ系、ジルコニア系、二酸化マンガン系の単成分もしくは混合物が用いられている。さらに、このような懸濁液(CMP用スラリー)の使用箇所Qとしては、例えば、CMPを行う際における研磨定盤上の研磨布(図示省略)等があげられる。
【0019】
流体供給源10は、循環経路11と、この循環経路11中に設けられた、循環用の定量ポンプ12、循環経路圧力計(PI:Pressure Indicator)31、循環経路バルブ14、および貯留攪拌部15等とを用いて構成されている。また、貯留攪拌部15は、懸濁液を貯留等する貯留槽151と、貯留槽151内の懸濁液の攪拌を行う攪拌翼152とを用いて構成されている。
【0020】
すなわち、本実施形態かかる流体供給源10においては、貯留槽151内の懸濁液が、定量ポンプ12を駆動させることによって循環経路11中を循環させられ、貯留槽151内では必要に応じて攪拌翼152を用いて攪拌される。したがって、本実施形態においては、懸濁液が循環経路11中を循環されるのみではなく、適宜攪拌処理も施されるため、流体供給源10における懸濁液中にて粒状物等の沈降を適切に防止することができる。
【0021】
また、図1に示すように、本実施形態にかかる流体供給システムは、搬送供給用の定量ポンプ22を駆動させることによって、流体供給源10にて循環されている懸濁液を、供給配管部21およびレギュレータ23を介して、定量ポンプ22下流側の流体使用箇所Qに搬送供給すべく構成されており、レギュレータ23と定量ポンプ22と間の供給配管部21上に(定量ポンプ22の上流側に)定量ポンプ一次側圧力計32が設けられ、定量ポンプ22の下流側に定量ポンプ二次側圧力計33が設けられている。さらに、供給配管部21におけるレギュレータ23の上流側には、供給配管部バルブ24が設けられている。
【0022】
図2は、本実施形態にかかる流体供給システムを構成するレギュレータの一例を示す概略断面図である。
この図2に示すように、本実施形態にかかるレギュレータ23は、ベース230上にニードルストッパ232が設けられ、このニードルストッパ232とニードル231とが第一スプリング233を介して接続されている。また、本実施形態においては、このニードル231に対応した弁座239が設けられており、このニードル231と弁座239との間隔に応じて、流体の供給量等が定められる。さらに、ニードル231の先端部にはダイヤフラム234が固定されており、このダイヤフラム234にはスプリングベース235が取り付けられている。また、このスプリングベース235には、第二スプリング237を介してプランジャ236が取り付けられており、かかるプランジャ236は調整摘み部238を用いて上下動可能に構成されている。
【0023】
本実施形態においては、第一スプリング233がニードル231を上方向に付勢し、第二スプリング237がダイヤフラム234を下方向に付勢している。したがって、これらのスプリング233,237の付勢力のバランスによって、弁座239に対するニードル231の押圧力が設定される。なお、この押圧力の調整は、本実施形態においては、プランジャ236に接している調整摘み部238の押し込み量によって設定される。
【0024】
この図2に示すように構成されたレギュレータ23においては、ニードル231が下方向に押し下げられることによって、懸濁液が、流入部23a、第一滞留部23b、第二滞留部23c、および流出部23dを介して、流体使用箇所Q側に搬送供給される。
具体的には、定量ポンプ22を駆動させることによって(例えば、ダイヤフラム等を流体搬送方向(往動方向)に可動させて使用箇所Q方向に懸濁液を押し出すことによって)、定量ポンプ22の一次側の流出部23dおよび第二滞留部23cは負圧状態となり、ダイヤフラム234が下方向に押し下げられる。このようにダイヤフラム234が移動することによって、ニードル231と弁座239との間に隙間が生じ、第二滞留部23cと第一滞留部23bとが連通状態となり、レギュレータ23の一次側から二次側に懸濁液が流通することとなる。一方、定量ポンプ22のダイヤフラム等を往動方向と反する復動方向に可動させると、定量ポンプ22の一次側の流出部23dおよび第二滞留部23cは正圧状態となり、ダイヤフラム234が上方向に押し上げられる。そうすると、ニードル231が弁座239に接して、第一滞留部23bと第二滞留部23cとの連通状態が遮断される。
【0025】
本実施形態にかかるレギュレータ23は、以上のように構成されているため、その一次側の圧力(本実施形態においては、循環経路11の圧力計31にて測定される循環圧力P1)の変動に影響されることなく、二次側の圧力(本実施形態においては、供給配管部21の圧力計32にて測定される定量ポンプ一次側圧力P2)を一定に保持しつつ、懸濁液の供給を行うことができる。すなわち、このレギュレータ23によって、その下流側(二次側)における他の装置および流体使用箇所等との相互干渉等による流量変動を減少させることができる。
【0026】
以上説明したように、本実施形態にかかる流体供給システムは図1等に示すべく構成されているため、次のような効果を得ることができる。
【0027】
すなわち、本実施形態においては、供給配管部21に設けられているレギュレータ23が、その一次側と二次側との「縁切り」を行うべく機能しているため、例えば、循環経路11に設けられた貯留攪拌部15にて攪拌処理が行われて、循環経路11中の圧力に変動が生じたとしても、その圧力変動がレギュレータ23の二次側に直接的に影響を与えることはない。
【0028】
したがって、本実施形態によれば、供給配管部21中の定量ポンプ22を駆動させて、流体供給源10を成す循環経路11中から懸濁液を取り出して搬送供給する場合、定量ポンプ22の設定値に応じた一定量の懸濁液の供給を行うことができる。つまり、循環処理あるいは攪拌処理等が行われてレギュレータ23上流側の圧力(循環経路圧力計31における測定圧力)が変動しても、レギュレータ23下流側の圧力(定量ポンプ一次側圧力計32における測定圧力)が変動しないため、循環経路11中の圧力変動の影響を全く受けず、定量ポンプ22は、予め定められた設定値に応じて一定流量の搬送供給を実現可能である。
【0029】
また、定量ポンプ22の上流側にレギュレータ23を設けたことによって、レギュレータ23の圧損分だけ、定量ポンプ22の設定流量が減少する場合があるが、かかる場合には予めその圧損分を考慮して、定量ポンプ22における設定流量を定めればよい。また、必要に応じて、定量ポンプ22の下流側に、流量計(例えば、超音波流量計)と制御部等とを設けて、定量ポンプ22の設定値と、流量の実測値(流量計での値)との間にずれが生じている場合には、かかるずれと制御部等とを用いて、定量ポンプ22をフィードバック制御すべく構成してもよい。このようなフィードバック制御を行えば、定量ポンプ22において必要な値を設定することによって(つまり、圧損等を考慮しなくても)、所望の流量の懸濁液を搬送供給することができる。
【0030】
また、本実施形態にかかる流体供給システムによれば、循環経路11中の懸濁液を取り出して搬送供給するため、懸濁液中の粒状物等が適切に分散した状態で、一定量の懸濁液を定量ポンプ22下流側に搬送供給することができる。
【0031】
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて、上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。
【0032】
例えば、上記実施形態においては、循環経路11を有する流体供給源10に対して、一つの供給配管部21が接続されている場合について説明したが、本発明はこの構成に限定されるものではない。したがって、例えば、循環経路11に対して複数の供給配管部が接続される構成であってもよい。つまり、循環経路11に接続された各供給配管部のそれぞれについて、図1に示すような配置関係のレギュレータおよび定量ポンプ等を設ければ、各供給配管部において、上述した実施形態と同様の効果を得ることができる。
【0033】
また、上記実施形態においては、定量ポンプ22の構成については特に説明しなかったが、その可動部が往復動することによって流体を搬送可能であれば(往復動ポンプであれば)、本発明にかかる定量ポンプ22は何らかの構成に限定されない。したがって、例えば、ダイヤフラム、プランジャ、バケット、あるいはベローズ等を可動部として構成された往復動ポンプであれば、いずれであっても本発明にかかる流体供給システムを構成可能である。
【0034】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明は、循環経路を有する流体供給源から流体を搬送供給すべく構成された流体供給システムであって、循環経路に接続された供給配管部と、供給配管部に設けられた定量ポンプと、供給配管部における前記定量ポンプの上流側に設けられたレギュレータとを備えている。
したがって、本発明によれば、比較的容易な構成に基づいて、循環状態の懸濁液(粒状物等が適切に分散した懸濁液)を定量的に取り出すことが可能な流体供給システムを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態にかかる流体供給システムの概略図を示したものである。
【図2】本実施形態にかかる流体供給システムを構成するレギュレータの一例を示す概略断面図である。
【符号の説明】
10…流体供給源、11…循環経路、12…定量ポンプ、14…循環経路バルブ、15…貯留攪拌部、21…供給配管部、22…定量ポンプ、23…レギュレータ、24…供給配管部バルブ、31…循環経路圧力計、32…定量ポンプ一次側圧力計、33…定量ポンプ二次側圧力計
151…貯留槽、152…攪拌翼、230…ベース、231…ニードル、232…ニードルストッパ、233…第一スプリング、234…ダイヤフラム、235…スプリングベース、236…プランジャ、237…第二スプリング、238…調整摘み部、239…弁座
Claims (3)
- 循環経路を有する流体供給源から流体を搬送供給すべく構成された流体供給システムであって、
前記循環経路に接続された供給配管部と、
前記供給配管部に設けられた定量ポンプと、
前記供給配管部における前記定量ポンプの上流側に設けられたレギュレータとを備えたことを特徴とする流体供給システム。 - 循環経路を有する流体供給源から流体を搬送供給すべく構成された流体供給システムであって、
前記循環経路に接続された複数の供給配管部と、
各供給配管部に設けられた定量ポンプと、
各供給配管部における前記定量ポンプの上流側に設けられたレギュレータと
を備えたことを特徴とする流体供給システム。 - 前記定量ポンプが往復動ポンプであって、その可動部が、ダイヤフラム、プランジャ、およびベローズの少なくとも一つを用いて構成されている請求項1または2に記載の流体供給システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002183049A JP4148313B2 (ja) | 2002-06-24 | 2002-06-24 | 流体供給システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002183049A JP4148313B2 (ja) | 2002-06-24 | 2002-06-24 | 流体供給システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004027905A true JP2004027905A (ja) | 2004-01-29 |
JP4148313B2 JP4148313B2 (ja) | 2008-09-10 |
Family
ID=31179374
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002183049A Expired - Fee Related JP4148313B2 (ja) | 2002-06-24 | 2002-06-24 | 流体供給システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4148313B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007085200A (ja) * | 2005-09-20 | 2007-04-05 | Tacmina Corp | 往復動ポンプユニット、及び往復動ポンプ接続用配管構造体 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62140609A (ja) * | 1985-12-16 | 1987-06-24 | Keinosuke Isono | 濾過分離装置 |
JPH1047234A (ja) * | 1996-08-05 | 1998-02-17 | Koganei Corp | 定量吐出ポンプ |
-
2002
- 2002-06-24 JP JP2002183049A patent/JP4148313B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62140609A (ja) * | 1985-12-16 | 1987-06-24 | Keinosuke Isono | 濾過分離装置 |
JPH1047234A (ja) * | 1996-08-05 | 1998-02-17 | Koganei Corp | 定量吐出ポンプ |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007085200A (ja) * | 2005-09-20 | 2007-04-05 | Tacmina Corp | 往復動ポンプユニット、及び往復動ポンプ接続用配管構造体 |
JP4585415B2 (ja) * | 2005-09-20 | 2010-11-24 | 株式会社タクミナ | 往復動ポンプユニット、及び往復動ポンプ接続用配管構造体 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4148313B2 (ja) | 2008-09-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4372010B2 (ja) | 流れ調整システム | |
US6561381B1 (en) | Closed loop control over delivery of liquid material to semiconductor processing tool | |
US20060196541A1 (en) | Control of fluid conditions in bulk fluid distribution systems | |
US6338671B1 (en) | Apparatus for supplying polishing liquid | |
CN1446117A (zh) | 用来混合加工材料的方法和装置 | |
JP2001150347A (ja) | 砥液供給装置 | |
US6767124B2 (en) | Slurry mixing feeder and slurry mixing and feeding method | |
JP2003282499A (ja) | 化学的機械的研磨設備のスラリ供給装置及び方法 | |
KR102297029B1 (ko) | 연마액 공급장치 | |
JP2003071720A (ja) | スラリー混合供給装置及びスラリー混合供給方法 | |
JP2004027905A (ja) | 流体供給システム | |
JP4527956B2 (ja) | Cmp装置用スラリー調製供給装置および方法 | |
JP2014171963A (ja) | 微粒子混合流体の定量供給装置 | |
CN1713967B (zh) | 药液供给装置 | |
US11617993B2 (en) | Material mixing and supplying system | |
JP6538953B1 (ja) | 研磨液供給装置 | |
TW578229B (en) | Monitor system with bubble-free device | |
JP2014012255A (ja) | 気泡混入液生成供給装置、気泡混入液供給システム、気泡混入液供給方法、及びそのプログラム | |
JP2008137092A (ja) | 流体研磨装置 | |
JPS58202025A (ja) | 比例注入混合装置 | |
US11878370B2 (en) | Method of and apparatus for supplying cooling water to laser processing head and method of producing cooling water | |
JP2004098286A (ja) | スラリー供給装置 | |
US11090587B2 (en) | Fluid synthesis monitoring system | |
JP2020093326A (ja) | 研磨液供給装置 | |
JPS6021386A (ja) | ポリシング用研摩剤供給装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20040623 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050525 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080117 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080125 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080325 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080613 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20080618 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080617 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110704 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4148313 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120704 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120704 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130704 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |