JP2004026524A - 硬質脆性板のスクライブ方法及び装置 - Google Patents
硬質脆性板のスクライブ方法及び装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004026524A JP2004026524A JP2002181833A JP2002181833A JP2004026524A JP 2004026524 A JP2004026524 A JP 2004026524A JP 2002181833 A JP2002181833 A JP 2002181833A JP 2002181833 A JP2002181833 A JP 2002181833A JP 2004026524 A JP2004026524 A JP 2004026524A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hard brittle
- plate
- brittle plate
- scribe line
- scribe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B33/00—Severing cooled glass
- C03B33/09—Severing cooled glass by thermal shock
Abstract
【解決手段】定盤(テーブル)2を冷却又は加熱してその上に定置される硬質脆性板(代表的にはガラス板)1が冷却又は加熱されるようにし、この冷却又は加熱された硬質脆性板1の表面にスクライブカッタ5によりスクライブ線を刻設し、更にこのスクライブ線の刻設と同時又はその直後に当該スクライブ線に沿って硬質脆性板1の表面に噴出ノズル11でスポット状に絞った熱風又は冷風を吹付けて移動させることにより、硬質脆性板に局部的な熱応力を加えて、スクライブ線の溝底に生じた垂直クラックを成長させて分断するものである。定盤2と硬質脆性板1に噴射する流体とで硬質脆性板の下面と上面に大きな温度差を与えて割断に必要な大きな熱応力を生じさせる。
【選択図】 図3
Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、液晶ディスプレイパネル用のガラス基板その他の硬質脆性板を所望の切断線に沿って割断(割って分断)する方法及び装置に関するもので、機械的手段によるスクライブ線の刻設と熱応力とにより、硬質脆性板を割断する方法及び装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
ダイヤモンドの尖針などでガラス板にスクライブ線を刻設し、その後機械的な衝撃力や曲げ応力を加えてガラス板を当該スクライブ線に沿って割断する方法は、ガラス板を分断する方法として古くから用いられている。この方法は、液晶ディスプレイパネルの基板となるガラス板の分断にも広く利用されており、真空吸引によって定盤上に定置したガラス板の表面に鋭い周縁を有する回転カッタを押し付けて走行させることによりスクライブ線を刻設し、次に当該スクライブ線の刻設部分に衝撃力や曲げ応力を加えてガラス板を分断している。
【0003】
一方、ガラス板に局部的な熱応力を加えて割断しようという試みが、古くからなされている。基本的な原理は、硬質脆性板の表面に照射したレーザ光その他の加熱ビームを切断線に沿って走行させることにより、加熱ビームを照射した部分に生ずる局部的な熱応力による割れを切断線に沿って進行させて行くというものである。この局部加熱ビームによる硬質脆性板の割断方法においても、割断速度の向上や割断面の精度向上を目的として、改良された種々の方法が提案されている。
【0004】
例えば特開昭59−97545号公報には、ガラス板の切断線に沿って予め超硬チップなどでスクライブ線を刻設し、その線上にレーザ光を照射してサーマルショックでブレークする方法が提案されており、また特開平5−32428号公報には、ガラス体に対して高い吸収率を有する紫外線領域のレーザ光を被加工ガラス体の表面に照射してその照射点を目的の切断線に沿って移動させることにより、被加工ガラス体の表面にスクライブ線を刻設する工程と、刻設したスクライブ線に沿って赤外線領域のレーザ光を照射して、当該部位に割断に結びつく熱歪みを与える工程とを含むガラス加工方法が提案されている。
【0005】
更に特開2002−20134号公報には、硬質脆性板の表面にスクライブ線を刻設した後、照射点が溶融温度に達する程度に加熱ビームを収束し、当該収束した加熱ビームの照射点をスクライブ線に沿う方向及び/又はスクライブ線と交差する方向にスキャニングさせながらスクライブ線に沿って移動させてブレークする方法が提案されている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
硬質脆性板にスクライブ線を刻設した後、衝撃や曲げなどの機械的応力を加えて割断する方法は、スクライブ線を刻設するためのスクライブ装置と、機械的応力を加えるためのブレーク装置との2台の装置を必要とし、両装置の間でガラス板を搬送する搬送装置も必要となるので、装置全体が高価になり、設置面積も大きくなる。一方、レーザービームを用いる分断方法は、高価なレーザー発振装置を必要とし、従って機械が高価になる問題がある。
【0007】
この発明は、安価な装置で硬質脆性板を分断する新たな技術手段を得ることを課題としており、同一機械上で連続的にスクライブ線の刻設と当該スクライブ線に沿うガラス板の分断とを可能にする安価な装置を提供することを課題としている。
【0008】
【課題を解決するための手段】
この発明の硬質脆性板の割断方法は、冷却(又は加熱)した定盤上に硬質脆性板を載置し、当該硬質脆性板上の所望の割断線に沿ってスクライブカッタを走行させてスクライブ線を刻設し、刻設されたスクライブ線に沿って加熱空気定盤を加熱したときは冷却空気)の噴射スポットを走行させるというものである。後述するように、定盤を冷却し加熱空気を用いる方法がより好ましい。
【0009】
上記方法の実施に使用するこの発明の硬質脆性板の割断装置は、割断しようとする硬質脆性板を負圧空気で吸引固定する定盤2と、この定盤の上方で定盤面と平行に走行する走行台4と、この走行台に搭載されて前記硬質脆性板に押圧される回転カッタ5とを備えた硬質脆性板の割断装置において、定盤2は少なくとも前記回転カッタの走行領域に対応する領域に冷却又は加熱媒体を通過させる流体通路9を備え、前記回転カッタの走行方向後方に当該回転カッタに追従して同方向に走行する加熱又は冷却流体の噴出ノズル11とを備えている。
【0010】
この発明は、定盤(テーブル)2を冷却又は加熱してその上に定置される硬質脆性板(代表的にはガラス板)1が冷却又は加熱されるようにし、この冷却又は加熱された硬質脆性板1の表面にスクライブカッタ5によりスクライブ線を刻設し、更にこのスクライブ線の刻設と同時又はその直後に当該スクライブ線に沿って硬質脆性板1の表面に噴出ノズル11でスポット状に絞った熱風又は冷風を吹付けて移動させることにより、硬質脆性板に局部的な熱応力を加えて、スクライブ線の溝底に生じた垂直クラックを成長させて分断するものである。
【0011】
この発明の方法では、硬質脆性板を定置する定盤2と硬質脆性板1に噴射する流体とのいずれか一方を加熱し他方を冷却することによって、硬質脆性板の下面と上面に作用する温度差を大きくして硬質脆性板内部に大きな熱応力を生じさせるようにしている。定盤上に定置された硬質脆性板は、通常は非常に薄いため、ほぼ定盤の温度に近い温度になる。従って、定盤を冷却し加熱空気を噴射する方法が熱歪みを上方から下方へと、すなわち垂直クラックの進行方向に加えることができるため、一般的には定盤を冷却し噴流を加熱する方法が好ましい。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照してこの発明の方法及び装置を更に説明する。図1において、1は割断しようとするガラス板、2はガラス板1を定置する定盤、3は定盤の上方に図示しない両側の支持脚によって装架された走行桁、4は走行桁3に沿って走行する走行台、5は図示しない付勢装置を介して走行台4に装着された回転カッタである。走行台4の走行装置や回転カッタ5の付勢装置は、従来種々のものが提案されているので、そのような公知手段を適宜用いてやればよい。
【0013】
定盤2は、図2に示したように、上板6と下板7との2枚合せの構造になっており、上板6の下面に溝を加工した後、下板7を貼着することによって、真空吸引用の通孔(以下「真空孔」という)8と冷却空気用の通孔(以下「冷却孔」という)9とが形成されている。真空孔8には、定盤上面に開口する枝孔10が所定間隔で多数貫通している。真空孔8は、図示しない真空源に連通され、冷却孔9は、図示しない冷却空気源に連通されている。
【0014】
定盤2や走行桁3を移動してガラス板の割断位置を設定するものでは、冷却孔9を定盤2の略全体に亘って設ける必要があるが、定位置に設けた定盤上でガラス板1を移動させて割断位置に送るものでは、冷却孔9は回転カッタ5の走行線に対向する帯状の領域に設けておけば十分である。
【0015】
走行台4には、空気ノズル11が装着されている。この空気ノズル11は、下端から噴出される噴流がスクライブ線を刻設する際の回転カッタ5の直後の位置でガラス板1の表面に吹き付けられるように設けられている。ノズルからの空気の噴射方向は、反回転カッタ側に向く斜め方向にし、ガラス板に衝突した後の空気が前方に流れてガラス板が予熱されるのを避けるようにするのが好ましい。それにより、空気の吹き付け位置に大きな熱勾配を加えることができるからである。空気ノズル11は、フレキシブルホースによって図示しない加熱空気源に連通されている。
【0016】
上記装置において、冷却孔9に冷却空気を供給して定盤2を予め冷却する。この冷却した定盤上に割断しようとするガラス板1を載置し、真空孔8に真空を作用してガラス板を定盤2上に密着させる。この状態でガラス板1の切断線の位置決めを行う。この間にガラス板1の熱が定盤2に奪われて、ガラス板1は冷却される。ガラス板1が位置決めされたら、空気ノズル11に熱風を供給し、回転カッタ5を下方に付勢しながら走行台4を走行桁3に沿って走行させる。この走行に伴い、ガラス板表面に回転カッタ5によってスクライブ線12が刻設され(図3(a))、その直後に空気ノズル11から噴射される熱風によって局部的に加熱されて(図3(b))、スクライブ線12の底部から垂直クラックが下方に向けて成長し、ガラス板1は走行台4の移動に伴って連続的に分断されてゆく(図3(c))。
【0017】
【発明の効果】
以上説明したこの発明の方法及び装置によれば、硬質脆性板に対するスクライブ線の刻設と、このスクライブ線に沿う硬質脆性板の分断とを同一機台上で連続的に行ってゆくことができ、従って1台の装置で硬質脆性板の割断を行うことができる。また、高価なレーザー発振器を必要としないので、装置を安価に提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の割断装置の一実施例を模式的に示す斜視図
【図2】図1の装置の定盤の部分拡大断面図
【図3】ガラス板の割断プロセスを示す模式的な説明図
【符号の説明】
2 定盤
4 走行台
5 回転カッタ
9 冷却孔
11 空気ノズル
Claims (3)
- 冷却した定盤上に硬質脆性板を載置し、当該硬質脆性板上の所望の割断線に沿ってスクライブカッタを走行させてスクライブ線を刻設し、刻設されたスクライブ線に沿って加熱空気の噴射スポットを走行させることを特徴とする、硬質脆性板の割断方法。
- 加熱した定盤上に硬質脆性板を載置し、当該硬質脆性板上の所望の割断線に沿ってスクライブカッタを走行させてスクライブ線を刻設し、刻設されたスクライブ線に沿って冷却空気の噴射スポットを走行させることを特徴とする、硬質脆性板の割断方法。
- 割断しようとする硬質脆性板を負圧空気で吸引固定する定盤(2)と、この定盤の上方で定盤面と平行に走行する走行台(4)と、この走行台に搭載されて前記硬質脆性板に押圧される回転カッタ(5)とを備えた硬質脆性板の割断装置において、
定盤(2)は少なくとも前記回転カッタの走行領域に対応する領域に冷却又は加熱媒体を通過させる流体通路(9)を備え、前記回転カッタの走行方向後方に当該回転カッタに追従して同方向に走行する加熱又は冷却流体の噴出ノズル(11)とを備えている、硬質脆性板の割断装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002181833A JP4149746B2 (ja) | 2002-06-21 | 2002-06-21 | 硬質脆性板のスクライブ方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002181833A JP4149746B2 (ja) | 2002-06-21 | 2002-06-21 | 硬質脆性板のスクライブ方法及び装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004026524A true JP2004026524A (ja) | 2004-01-29 |
JP4149746B2 JP4149746B2 (ja) | 2008-09-17 |
Family
ID=31178568
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002181833A Expired - Fee Related JP4149746B2 (ja) | 2002-06-21 | 2002-06-21 | 硬質脆性板のスクライブ方法及び装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4149746B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2004067243A1 (ja) * | 2003-01-29 | 2004-08-12 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co., Ltd. | 基板分断装置および基板分断方法 |
KR100745148B1 (ko) | 2006-07-21 | 2007-08-01 | 한국과학기술원 | 정전하를 이용한 유리 절단 방법 및 그의 유리 절단 장치 |
KR100762736B1 (ko) * | 2006-04-05 | 2007-10-04 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 기판 절단 장치 |
JP2009098565A (ja) * | 2007-10-19 | 2009-05-07 | Toshiba Matsushita Display Technology Co Ltd | 液晶表示装置の製造方法、及びガラス基板切断装置 |
JP2011178575A (ja) * | 2010-02-26 | 2011-09-15 | Hightech Engineering Kk | 板ガラスをミラー形状に切断する方法 |
TWI601700B (zh) * | 2013-11-04 | 2017-10-11 | 康寧精密素材股份有限公司 | 用於切割強化玻璃的方法及設備 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20190000792A (ko) * | 2017-06-23 | 2019-01-03 | 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤 | 커터 휠 및 다층기판의 절단 방법 |
-
2002
- 2002-06-21 JP JP2002181833A patent/JP4149746B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2004067243A1 (ja) * | 2003-01-29 | 2004-08-12 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co., Ltd. | 基板分断装置および基板分断方法 |
EP1600270A4 (en) * | 2003-01-29 | 2006-09-20 | Mitsuboshi Diamond Ind Co Ltd | DEVICE AND METHOD FOR SUBSTRATE SEPARATION |
KR100762736B1 (ko) * | 2006-04-05 | 2007-10-04 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 기판 절단 장치 |
KR100745148B1 (ko) | 2006-07-21 | 2007-08-01 | 한국과학기술원 | 정전하를 이용한 유리 절단 방법 및 그의 유리 절단 장치 |
JP2009098565A (ja) * | 2007-10-19 | 2009-05-07 | Toshiba Matsushita Display Technology Co Ltd | 液晶表示装置の製造方法、及びガラス基板切断装置 |
JP2011178575A (ja) * | 2010-02-26 | 2011-09-15 | Hightech Engineering Kk | 板ガラスをミラー形状に切断する方法 |
TWI601700B (zh) * | 2013-11-04 | 2017-10-11 | 康寧精密素材股份有限公司 | 用於切割強化玻璃的方法及設備 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4149746B2 (ja) | 2008-09-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI488823B (zh) | 刻劃玻璃表面及在玻璃表面形成初始裂紋之方法及裝置 | |
JP5108886B2 (ja) | 脆性材料基板の加工方法およびこれに用いるクラック形成装置 | |
TWI380963B (zh) | Method for processing brittle material substrates | |
JP5249979B2 (ja) | 脆性材料基板の加工方法およびこれに用いるレーザ加工装置 | |
JP6255595B2 (ja) | 割断装置 | |
JP5011048B2 (ja) | 脆性材料基板の加工方法 | |
TW201036925A (en) | Method for scoring a sheet of brittle material | |
KR101165982B1 (ko) | 취성 재료 기판의 가공 방법 | |
JP2004182530A (ja) | 切断方法及び切断装置 | |
JP4080484B2 (ja) | 脆性材料基板のスクライブ方法およびスクライブ装置 | |
KR101200789B1 (ko) | 취성 재료 기판의 할단 방법 | |
JP2012045830A (ja) | レーザ割断装置 | |
JP2011230940A (ja) | 脆性材料基板の割断方法 | |
JPH08175837A (ja) | ガラス板の割断方法およびそのための装置 | |
JP2004042423A (ja) | スクライブ装置 | |
JP4149746B2 (ja) | 硬質脆性板のスクライブ方法及び装置 | |
JP5590642B2 (ja) | スクライブ加工装置及びスクライブ加工方法 | |
JPH08231239A (ja) | ガラスリボンの割断方法およびそのための装置 | |
JP2009067618A (ja) | 脆性材料基板分断装置および脆性材料基板分断方法 | |
JP6269830B2 (ja) | 脆性材料基板の割断方法及び脆性材料基板の割断装置 | |
KR100648499B1 (ko) | 유리판 절단장치 | |
JP2010253752A (ja) | 脆性材料の割断装置および脆性材料の割断方法 | |
KR102022102B1 (ko) | 레이저 빔을 이용한 절단 장치 | |
JP5993684B2 (ja) | 脆性材料基板の分断方法及びスクライブ装置 | |
JP2008055715A (ja) | 割断装置および割断方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050607 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20071121 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080122 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080303 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080603 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080626 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110704 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4149746 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140704 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |