JP2004023380A - 固体撮像装置 - Google Patents
固体撮像装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004023380A JP2004023380A JP2002174436A JP2002174436A JP2004023380A JP 2004023380 A JP2004023380 A JP 2004023380A JP 2002174436 A JP2002174436 A JP 2002174436A JP 2002174436 A JP2002174436 A JP 2002174436A JP 2004023380 A JP2004023380 A JP 2004023380A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- capacitance
- state imaging
- imaging device
- negative feedback
- amplifier
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
Abstract
【解決手段】電荷転送回路10は、転送トランジスタ5a、反転型増幅器5b、反転型ラインアンプ12a、負帰還容量Cfおよび容量リセットスイッチ12bにより構成される。反転型ラインアンプ12aの開ループゲイン−Goを大きく設定し、負帰還容量Cfをフォトダイオード1aの等価容量Cvに比べて十分小さくする。負帰還容量Cfは、ポリシリコン電極間に絶縁膜を挿入した構成とする。反転型ラインアンプ12aの動作入力電圧を反転型増幅器5bの動作入力電圧よりも高くする。
【選択図】 図4
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、固体撮像装置に関し、一層詳細には、固体撮像装置の信号読み出し回路の構成に関する。
【0002】
【従来の技術】
固体撮像装置は、信号電荷の読み出し方式の違いにより、CCD型とCMOS型に大別できる。
【0003】
後者のCMOS型固体撮像装置は、前者のCCD型固体撮像装置に比べて消費電力量が小さい点に優位性がある。近年、CMOS型固体撮像装置が数多く提案されている。
【0004】
CMOS型固体撮像装置は、APS(Active Pixel Sensor)と呼ばれる、画素内で信号を増幅するタイプのものが大半を占める。この場合、1画素は複数個のトランジスタで構成されているため、高精細な画像を得るために画素サイズを小さくすると、開口率が低くなって1画素の受光量が低下する。
【0005】
一方、MOS型と呼ばれる、画素をトランジスタ1個で構成するPPS(Passive Pixel Sensor)タイプの固体撮像装置があり、この場合は、上記したAPSタイプのもののような不具合がない。ところが、このPPSタイプのものは、信号電荷を垂直信号線に読み出す方式を採用しており、この場合、垂直信号線には大きな寄生容量が接続しているため、信号電圧が非常に小さくなり、信号対雑音比が悪くなる。
【0006】
上記MOS型固体撮像装置の欠点を補う信号読み出し方法として、固体HARP用高S/N信号読み出し回路の検討結果が報告されている(映像情報メディア学会技術報告:ITE Technical Report Vol.25,No.54,P.P.81〜86,IPU2001−63)。
【0007】
上記の回路の全体構成を図1に示し、そのうちの1列分の画素の信号電荷が出力に至るまでの、1垂直信号線分の回路構成を図2に示す。なお、図2では、1列に配列される複数の画素のうち1つの画素のみを示し、他の画素は省略している。
【0008】
図1に示すように、回路は、画素1が2次元アレイ状に配列され、垂直走査器(垂直走査回路)2および水平走査器(水平走査回路)3からのクロック信号によって駆動、制御される。なお、垂直走査器2および水平走査器3には、コントローラ4より所定の制御信号が送られる。
【0009】
画素1は、光を受光して電荷を生成するフォトダイオード1a、フォトダイオード1aをリセットするための画素リセットスイッチ1b、フォトダイオード1aに蓄積された電荷の垂直信号線への取り出しを制御するための垂直選択スイッチ1cとで構成され、垂直選択スイッチ1cは垂直信号線6に接続されている。なお、参照符号7は各行ごとにそれぞれ1個配列される電圧制御回路を示す。垂直選択スイッチ1cをオンするためにゲート(ゲート電極)に印加するクロックは、垂直走査器2の出力を電圧制御回路7を通すことで生成される。
【0010】
電荷転送回路5は、垂直信号線6へ取り出した電荷の転送を制御するための転送トランジスタ5aと、転送トランジスタ5aに負帰還をかける反転型増幅器5bと、転送トランジスタ5aを飽和領域で動作させる電圧に設定するための容量リセットスイッチ5cとで構成される。転送トランジスタ5aは、垂直信号線6上に設けられている。反転型増幅器5bは、入力に転送トランジスタ5aのソースが接続され、出力が転送トランジスタ5aのゲートに接続されている。容量リセットスイッチ5cは、転送トランジスタ5aのドレインに接続されている。
【0011】
さらに、転送トランジスタ5aの後段にはバッファ回路8aが設けられている。
【0012】
ここで、図2中、記号Cvは、垂直選択スイッチの拡散容量の1列の画素数分と垂直信号線6の配線容量の和である垂直信号線の浮遊容量を示し、記号Cpはバッファ回路8aの入力部寄生容量を示す。
【0013】
さらに、バッファ回路8aの後段には雑音低減化回路8bが設けられている。なお、参照符号3aは、水平走査器(水平走査回路)3で駆動される水平選択スイッチを示し、参照符号3bは、電荷を読み出す水平信号線を示す。
【0014】
上記のように構成された1垂直信号線分の回路の電荷読み出し動作について、さらに図3に示す電位分布図を参照して、以下説明する。
【0015】
図3(a)は、フォトダイオード1aに蓄積した信号電荷が垂直選択スイッチ1cをオンすることで垂直信号線6に読み出される様子を示す。
【0016】
信号電荷をフォトダイオード1aに蓄積するに先立ち、画素リセットスイッチ1bにより、フォトダイオード1aは、リセット電圧(電位)Vr1に設定されている。これにより、前フレーム分の信号電荷が仮に残留していてもリセットされるため、画面の残像の生成が抑制されている。
【0017】
フォトダイオード1aに信号電荷が蓄積した状態で、電圧制御回路7を通して、垂直選択スイッチ1cのゲートにフォトダイオード1aのリセット電圧Vr1よりも閾値分高く設定した振幅のクロックを印加し垂直選択スイッチ1cをオンすることで、信号電荷のみを読み出すことができる。
【0018】
ここで、信号電荷を電荷転送回路5に読み出すためには、信号電荷転送前の垂直信号線6の電圧(電位)がフォトダイオード1aのリセット電圧Vr1よりも高くなければならない。この垂直信号線6の電圧は、反転型増幅器5bの動作入力電圧(電位)がリセット電圧Vr1よりも高くなるように設定されることで実現される。
【0019】
図3(b)は、垂直信号線6上を信号電荷が転送され、さらに、転送トランジスタ5aにより入力部寄生容量Cpに読み出される様子を示す。
【0020】
ここで、信号電荷を垂直信号線6から入力部寄生容量Cpに読み出すためには、バッファ回路8aの入力のリセット電圧(電位)Vr2が信号電荷転送直前の垂直信号線6の電圧よりも高くなければならない。そのためには、反転型増幅器5bの動作入力電圧をリセット電圧Vr2よりも低くなるように設定する必要がある。
【0021】
信号電荷が読み出されることにより反転型増幅器5bの動作入力電圧が低下すると、その電圧変化分が増幅されて反転型増幅器5bから出力され、しかもその出力電圧(電位)が上昇するため、転送トランジスタ5aのゲート電圧が大きくなる。したがって、転送トランジスタ5aには大きな電流が流れ、垂直信号線6上の信号電荷の転送が高速で行われる。電荷転送過程が、このように高速で行われる動的過程であるため、実際には、垂直信号線6の電圧は殆ど変化しない。
【0022】
図3(c)は、入力部寄生容量Cpに信号電荷が全て転送された状態を示す。
【0023】
図3(b)の状態で信号電荷が転送される過程において、信号電荷が転送されるに従い垂直信号線6の電圧が徐々に上昇すると、今度は転送トランジスタ5aのゲート電圧が小さくなる。そして、図3(c)に示すように、入力部寄生容量Cpに信号電荷が全て転送されると、図3(a)の状態に戻る。
【0024】
このようにして、垂直信号線6の浮遊容量Cvの影響を受けずにフォトダイオード1aからバッファ回路8aの入力部寄生容量Cpへ信号電荷が転送される。
【0025】
入力部寄生容量Cpはフォトダイオード1aの等価容量Cvに比べて十分小さくすることが可能なため、図3(c)に示すように信号電圧を増幅することができる。
【0026】
バッファ回路8aの出力電圧とフォトダイオード1aの信号電圧との関係、すなわち電圧増幅率は、上記の電荷転送過程より、下記式(1)で表される。
【0027】
Vo/Vsig=α×(Cv/Cp) (1)
上記式(1)中、Voはバッファ回路8aの出力電圧を、Vsigはフォトダイオード1aの信号電圧を、αはバッファ回路8aの増倍率を、それぞれ示す。
【0028】
上記式(1)より、前記したAPSタイプのものと同様に、信号レベルを大きくすることで高い信号対雑音比(以下、S/Nと表記する。)を得ることができる。
【0029】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記の信号読み出し方法は、以下の不具合がある。
【0030】
転送先の入力部寄生容量Cpは、具体的には、転送トランジスタ5aのドレイン容量と容量リセットスイッチ5cのソース容量またはドレイン容量の総和からなる拡散容量であるが、この拡散容量は電圧依存性をもつため、転送される電荷量により値が異なる。すなわち、フォトダイオード1aに入射する光量により上記式(1)で示される電圧増幅率(Vo/Vsig)が異なることになり、信号の入出力関係が非線形になってしまう。
【0031】
また、信号電圧の増幅率は、各列に設けられたバッファ回路8aの増幅率αにも依存するため、バッファ回路8aの特性ばらつきが画面上に固定パターン雑音として現われてしまう。
【0032】
本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであり、信号の入出力関係が線形であり、また、固定パターン雑音が低減された固体撮像装置を提供することを目的とする。
【0033】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る固体撮像装置は、入射した光を電荷に変換するフォトダイオードと、該フォトダイオードで発生した該電荷を読み出す垂直選択スイッチと、該フォトダイオードをリセットする画素リセットスイッチとを備え、画素が2次元アレイ状に配列され、各列の画素の電荷が垂直信号線を通して並列に読み出され、各列に配列された電荷転送回路およびバッファ回路を通して出力として取り出される固体撮像装置において、該電荷転送回路が、▲1▼転送トランジスタと、▲2▼該転送トランジスタのゲート−ソース間に挿入された反転型増幅器と、▲3▼入出力間に負帰還容量および該負帰還容量をリセットする容量リセットスイッチを挿入した反転型ラインアンプを備え、該各列の画素の電荷が、該負帰還容量に転送されることを特徴とする。
【0034】
ここで、画素リセットスイッチは、各画素に設けられるものと各垂直信号線に1個設けられるものの双方を含む。
【0035】
この場合、反転型ラインアンプの開ループゲインを−Go、入力部寄生容量をCp、負帰還容量をCfとすると、下記式(2)を満たすとき、電荷の転送先の容量は反転型ラインアンプの負帰還容量をCfとなる。
【0036】
Cf≫Cp/(Go+1) (2)
上記式(2)は、Goを十分大きくとれば、容易に満足される。
【0037】
このとき、前記式(1)は下記式(3)となる。
【0038】
Vo/Vsig=Cv/Cf (3)
したがって、負帰還容量Cfをフォトダイオードの等価容量Cvに比べて十分小さくすれば、信号レベルを大きくすることで、高いS/Nを得ることができる。
【0039】
この場合、負帰還容量Cfは、例えば、ポリシリコン電極間に絶縁膜を挿入した構成にすれば、その容量値は絶縁膜厚と電極面積のみで決定されるため、電極に印加される電圧によらず常に所定値(一定値)をとリ、信号の入出力関係は線形となる。
【0040】
また、上記式(3)には開ループゲイン−Goは含まれていないので、反転型ラインアンプの特性ばらつきは出力に影響を与えず、固定パターン雑音を抑えることができる。
【0041】
また、電荷の転送先の容量、すなわち負帰還容量Cfのリセット電圧(従来例における電圧Vr2に相当)は、容量リセットスイッチをオンしたとき、すなわち反転型ラインアンプの入力と出力を接続したときの入力電圧となる。このため、反転型ラインアンプの動作入力電圧を反転型増幅器の動作入力電圧よりも高くなるように設定することで、フォトダイオードから電荷転送回路へ電荷を転送することができる。
【0042】
【発明の実施の形態】
本発明に係る固体撮像装置の好適な実施の形態(以下、本実施の形態例という。)について、図を参照して、以下に説明する。なお、本実施の形態例において、図1、2で示した従来例と同一の構成要素については同一の参照符号を付すとともに重複する説明を省略する。
【0043】
本実施の形態例に係る固体撮像装置の1列分の画素の信号電荷が出力に至るまでの、1垂直信号線分の回路構成を図4に示す。なお、図4では、1列に配列される複数の画素のうち1つの画素のみを示し、他の画素は省略している。
【0044】
本実施の形態例に係る固体撮像装置の信号読み出し回路は、電荷転送回路が、前記した従来例と相違する。
【0045】
すなわち各画素1の垂直選択スイッチ1cが接続した垂直信号線6に、ゲート−ソース間に反転型増幅器5bが挿入された転送トランジスタ5aのソースが接続され、転送トランジスタ5aのドレインは反転型ラインアンプ12aの入力端子に接続される。反転型ラインアンプ12aの入出力間には、負帰還容量Cfと、負帰還容量Cfをリセットする容量リセットスイッチ12bが挿入されている。転送トランジスタ5a、反転型増幅器5b、反転型ラインアンプ12a、負帰還容量Cfおよび容量リセットスイッチ12bにより電荷転送回路10が構成されている。
【0046】
反転型ラインアンプ12aの開ループゲイン−Goを大きく設定し、反転型ラインアンプ12aの入力部寄生容量Cpと負帰還容量Cfとの関係が前記式(2)を満たすようにすると、転送トランジスタ5aを介して転送される信号電荷は、負帰還容量Cfに転送されることになる。したがって、負帰還容量Cfをフォトダイオード1aの等価容量Cvに比べて十分小さくすることにより、信号レベルが増幅され、高いS/Nを得ることができる。
【0047】
このとき、負帰還容量Cfは、例えば、ポリシリコン電極間に絶縁膜を挿入した構成にすれば、その容量値は絶縁膜厚と電極面積のみで決定されるため、電極に印加される電圧によらず常に所定値(一定値)をとリ、信号の入出力関係は線形となる。
【0048】
また、反転型ラインアンプ12aの特性ばらつきは出力に影響を与えず、固定パターン雑音を抑えることができる。
【0049】
また、フォトダイオード1aから電荷転送回路10へ電荷転送を行うためには、信号電荷が転送される前の反転型ラインアンプ12aの動作入力電圧を反転型増幅器5bの動作入力電圧よりも高くなければならない。信号電荷が転送される前の反転型ラインアンプ12aの動作入力電圧(電位)は、容量リセットスイッチ12bをオンして反転型ラインアンプ12aの入力と出力を接続することで決定され、また、垂直信号線6の電圧(電位)は反転型増幅器5bによって決定される。したがって、反転型ラインアンプ12aの動作入力電圧を反転型増幅器5bの動作入力電圧よりも高くなるように設定する。
【0050】
つぎに、上記電荷転送回路10を本実施の形態例に係る固体撮像装置とは異なる画素構成をもつ固体撮像装置に適用した変形例について、図5を参照して説明する。なお、図5は、1列分の画素の信号電荷が出力に至るまでの、1垂直信号線分の回路構成を示し、さらに、1列に配列される複数の画素のうち1つの画素のみを示し、他の画素は省略している。
【0051】
変形例の固体撮像装置は、画素リセットスイッチ14が、画素1の外に出され、垂直信号線6に1個接続された形態となっている点が本実施の形態例に係る固体撮像装置と相違する。なお、画素リセットスイッチ14を除く他の構成要素については本実施の形態例に係る固体撮像装置と同一であるため、同一の参照符号を付すとともに重複する説明を省略する。
【0052】
変形例の固体撮像装置においても、本実施の形態例に係る固体撮像装置と同様の作用効果を得ることができる。
【0053】
また、変形例の固体撮像装置は、画素リセットスイッチ14を各垂直信号線6にそれぞれ1個のみ接続しているため、開口率を大きくとることができる。
【0054】
また、変形例の固体撮像装置は、フォトダイオード1aのリセット電位が画素リセットスイッチ14で設定される電位とは関係がなくなるため、画素リセットスイッチ14を1画素ごとに設けた場合に起こり得る画素リセットスイッチ14の特性バラツキの影響を受けることがないため、固定パターン雑音を軽減することができる。
【0055】
【発明の効果】
本発明に係る固体撮像装置によれば、入射した光を電荷に変換するフォトダイオードと、フォトダイオードで発生した電荷を読み出す垂直選択スイッチと、フォトダイオードをリセットする画素リセットスイッチとを備え、画素が2次元アレイ状に配列され、各列の画素の電荷が垂直信号線を通して並列に読み出され、各列に配列された電荷転送回路およびバッファ回路を通して出力として取り出される固体撮像装置において、電荷転送回路が、転送トランジスタと、転送トランジスタのゲート−ソース間に挿入された反転型増幅器と、入出力間に負帰還容量および負帰還容量をリセットする容量リセットスイッチを挿入した反転型ラインアンプを備え、各列の画素の電荷が、負帰還容量に転送され、反転型ラインアンプは、各垂直信号線に1個配置され、負帰還容量は、フォトダイオードの等価容量よりも小さく、反転型ラインアンプは、転送トランジスタのドレインから見た入力容量が開ループゲインと負帰還容量の積にほぼ等しくなるように、開ループゲインが大きく設定され、反転型ラインアンプは、動作入力電圧が反転型増幅器の動作入力電圧よりも高くなるように設定され、負帰還容量は、印加される電圧値によらず所定の容量値を保つように構成されているため、高いS/Nを得ることができ、また、信号の入出力関係は線形であり、また、固定パターン雑音が抑制される。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来のMOS型固体撮像装置の信号読み出し回路の構成を示す図である。
【図2】図1のMOS型固体撮像装置の1垂直信号線分の回路構成を示す図である。
【図3】図1のMOS型固体撮像装置の信号電荷読み出し方法を説明するための電位分布図である。
【図4】本実施の形態例に係る固体撮像装置の1垂直信号線分の回路構成を示す図である。
【図5】変形例の固体撮像装置の1垂直信号線分の回路構成を示す図である。
【符号の説明】
1 画素
1a フォトダイオード
1b、14 画素リセットスイッチ
1c 垂直選択スイッチ
2 垂直走査器
3 水平走査器
3a 水平選択スイッチ
3b 水平信号線
4 コントローラ
5、10 電荷転送回路
5a 転送トランジスタ
5b 反転型増幅器
6 垂直信号線
8a バッファ回路
8b 雑音低減化回路
12a 反転型ラインアンプ
12b 容量リセットスイッチ
Cf 負帰還容量
Cp バッファ回路の入力部寄生容量
Cv 垂直信号線の浮遊容量
Claims (5)
- 入射した光を電荷に変換するフォトダイオードと、該フォトダイオードで発生した該電荷を読み出す垂直選択スイッチと、該フォトダイオードをリセットする画素リセットスイッチとを備え、画素が2次元アレイ状に配列され、各列の画素の電荷が垂直信号線を通して並列に読み出され、各列に配列された電荷転送回路およびバッファ回路を通して出力として取り出される固体撮像装置において、
該電荷転送回路が、転送トランジスタと、該転送トランジスタのゲート−ソース間に挿入された反転型増幅器と、入出力間に負帰還容量および該負帰還容量をリセットする容量リセットスイッチを挿入した反転型ラインアンプを備え、
該各列の画素の電荷が、該負帰還容量に転送されることを特徴とする固体撮像装置。 - 前記反転型ラインアンプは、各垂直信号線に1個配置され、前記負帰還容量は、前記フォトダイオードの等価容量よりも小さいことを特徴とする請求項1記載の固体撮像装置。
- 前記反転型ラインアンプは、前記転送トランジスタのドレインから見た入力容量が開ループゲインと前記負帰還容量の積にほぼ等しくなるように、該開ループゲインが大きく設定されることを特徴とする請求項1記載の固体撮像装置。
- 前記反転型ラインアンプは、動作入力電圧が前記反転型増幅器の動作入力電圧よりも高くなるように設定されることを特徴とする請求項1記載の固体撮像装置。
- 前記負帰還容量は、印加される電圧値によらず所定の容量値を保つように構成されていることを特徴とする請求項1記載の固体撮像装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002174436A JP4025586B2 (ja) | 2002-06-14 | 2002-06-14 | 固体撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002174436A JP4025586B2 (ja) | 2002-06-14 | 2002-06-14 | 固体撮像装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004023380A true JP2004023380A (ja) | 2004-01-22 |
JP4025586B2 JP4025586B2 (ja) | 2007-12-19 |
Family
ID=31173402
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002174436A Expired - Fee Related JP4025586B2 (ja) | 2002-06-14 | 2002-06-14 | 固体撮像装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4025586B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006074663A (ja) * | 2004-09-06 | 2006-03-16 | Renesas Technology Corp | 固体撮像装置 |
JP2007523535A (ja) * | 2004-01-23 | 2007-08-16 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 画像センサ |
CN100394777C (zh) * | 2004-06-02 | 2008-06-11 | 佳能株式会社 | 固体摄像装置和照相机 |
US7586531B2 (en) | 2004-07-29 | 2009-09-08 | Sharp Kabushiki Kaisha | Amplification type solid-state image pickup device |
US7839441B2 (en) | 2004-07-29 | 2010-11-23 | Sharp Kabushiki Kaisha | Amplification type solid-state image pickup device |
WO2013018293A1 (ja) * | 2011-08-04 | 2013-02-07 | パナソニック株式会社 | 固体撮像装置及びスイッチング回路 |
-
2002
- 2002-06-14 JP JP2002174436A patent/JP4025586B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007523535A (ja) * | 2004-01-23 | 2007-08-16 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 画像センサ |
CN100394777C (zh) * | 2004-06-02 | 2008-06-11 | 佳能株式会社 | 固体摄像装置和照相机 |
US7586531B2 (en) | 2004-07-29 | 2009-09-08 | Sharp Kabushiki Kaisha | Amplification type solid-state image pickup device |
US7839441B2 (en) | 2004-07-29 | 2010-11-23 | Sharp Kabushiki Kaisha | Amplification type solid-state image pickup device |
JP2006074663A (ja) * | 2004-09-06 | 2006-03-16 | Renesas Technology Corp | 固体撮像装置 |
JP4529027B2 (ja) * | 2004-09-06 | 2010-08-25 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 固体撮像装置 |
WO2013018293A1 (ja) * | 2011-08-04 | 2013-02-07 | パナソニック株式会社 | 固体撮像装置及びスイッチング回路 |
JPWO2013018293A1 (ja) * | 2011-08-04 | 2015-03-05 | パナソニック株式会社 | 固体撮像装置及びスイッチング回路 |
US9570486B2 (en) | 2011-08-04 | 2017-02-14 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Solid-state imaging device and switching circuit |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4025586B2 (ja) | 2007-12-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11228726B2 (en) | Solid-state imaging device, control method thereof, and electronic apparatus | |
JP4194633B2 (ja) | 撮像装置及び撮像システム | |
JP3734717B2 (ja) | イメージセンサ | |
US9948877B2 (en) | Solid-state imaging apparatus and imaging system having first and second metal members arranged in different directions | |
KR101424033B1 (ko) | 고체 촬상 장치, 고체 촬상 장치의 구동 방법 및 촬상 장치 | |
JP4315133B2 (ja) | 固体撮像装置 | |
US7345269B2 (en) | Method and apparatus providing configurable current source device for image sensors with a selective current at an output node | |
KR20010034765A (ko) | 전역 리셋을 갖는 이미징 어레이용 저-노이즈 액티브 픽셀센서 | |
JP2006157009A (ja) | Cmosイメージセンサ | |
JP2012114838A (ja) | 固体撮像装置およびカメラシステム | |
JP2001268443A (ja) | Cmosイメージセンサーのアクティブピクセル回路 | |
US6734907B1 (en) | Solid-state image pickup device with integration and amplification | |
JP2007166600A (ja) | 固体撮像装置 | |
JP2008186894A (ja) | 固体撮像素子 | |
JP2005217158A (ja) | 光電変換装置及び同光電変換装置を用いた撮像システム | |
JP4590458B2 (ja) | 光電変換装置、撮像装置及び撮像システム | |
JP4025586B2 (ja) | 固体撮像装置 | |
JP2007129473A (ja) | 固体撮像装置及び撮像システム | |
JP4336508B2 (ja) | 撮像装置 | |
JP2000106652A (ja) | 固体撮像装置 | |
JP3697164B2 (ja) | 走査回路とそれを用いた撮像装置 | |
JP4054624B2 (ja) | 固体撮像装置およびその信号読み出し方法 | |
JP2004104116A (ja) | 撮像装置 | |
JP4234959B2 (ja) | 固体撮像装置 | |
JP4309639B2 (ja) | 固体撮像装置およびその画素信号の読み出し方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050127 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070710 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070907 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20071002 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20071005 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101012 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111012 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121012 Year of fee payment: 5 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |