JP2004022983A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】電力用半導体素子のスイッチング動作時の発熱による性能悪化を低減する半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体装置において、電力用半導体素子11と、その電力用半導体素子11で発生する熱を放熱させるための放熱用ブロック13aとをベース板19上に取りつけ、その際、放熱用ブロック13aを電力用半導体素子11の横側に配置する。
【選択図】 図1
【解決手段】半導体装置において、電力用半導体素子11と、その電力用半導体素子11で発生する熱を放熱させるための放熱用ブロック13aとをベース板19上に取りつけ、その際、放熱用ブロック13aを電力用半導体素子11の横側に配置する。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体素子を搭載した半導体モジュールにおける放熱技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
複数の電力用半導体素子を搭載し、その電力用半導体素子をスイッチング動作させることにより電力変換機能を実現する半導体モジュールがある。その半導体モジュールにおいて電力用半導体素子(以下「チップ」という。)をスイッチングさせ電流を流すと熱エネルギーが発生する。この発生した熱エネルギーによりチップが高温(通常、150℃以上)になると、チップの電気的特性が悪化したり、チップに接続するアルミワイヤの接合部の劣化が加速し、チップのパワーサイクル寿命が短くなるという問題がある。
【0003】
このような発熱による高温化の問題に対応するため、従来においては、図4に示すように、発熱源であるチップ11の下方に放熱用のヒートシンク用ブロック13を配置する方法がある。チップ11とヒートシンク用ブロック13とはハンダ12’により半田付けされている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
チップ11は通常シリコンを材料とし、放熱用のヒートシンク用ブロック13は銅やモリブデン等を材料とする。このため、図4に示すような構成では、チップ11の熱膨張率と、放熱用のヒートシンク用ブロック13の熱膨張率とが異なり、熱膨張率の差からチップ11が割れるという問題がある。また、従来では、ブロック13を融点が高い(例えば400℃)高温ハンダで半田づけするため、その半田付け工程においてチップが高温状態(例えば400℃)におかれ、チップの電気的特性(しきい値等)が変化してしまうという問題があった。
【0005】
本発明は上記課題を解決すべくなされたものであり、その目的とするところは、半導体モジュールであって電力用半導体素子のスイッチング動作時の発熱による性能悪化を低減する半導体装置を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る半導体装置は、電力用半導体素子と、その電力用半導体素子で発生する熱を放熱させるための放熱用ブロックとをベース板上に取りつけた半導体装置において、放熱用ブロックを電力用半導体素子の横側に取り付けた。このように電力用半導体素子の横側に放熱用ブロックを配置することにより熱抵抗を低減できるとともに、放熱用ブロックを介して配置された隣のチップからの熱干渉をも低減できる。また、電力用半導体素子の下側には厚みの薄い電流パターンしかないので、熱膨張率の違いから生じるチップの割れを防止できる。
【0007】
上記半導体装置において、放熱用ブロックの断面形状は三角形にするのが好ましい。このような形状にすることにより放熱用ブロックの重心が安定し、ブロックの半田付けの際にその転倒を防止でき、作業効率を向上できる。
【0008】
または、放熱用ブロックを電力用半導体素子を包囲するような形状にしてもよい。これにより、放熱用ブロックの高さ、幅を小さくすることができ、半導体装置全体として小型化が可能となる。
【0009】
さらに、放熱用ブロックをベース板上の電流パターンに融点が270度以下のハンダで取り付けることが好ましい。放熱用ブロックを融点が270度以下の低温ハンダまたは中温ハンダで電流パターンに半田付けすることにより、電力用半導体素子を高温(例えば400℃)に加熱することがなくなり、電力用半導体素子の電気的特性(しきい値等)の変化を防止できる。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下添付の図面を参照して、本発明に係る半導体装置の実施の形態を詳細に説明する。
【0011】
実施の形態1.
図1に本発明に係る半導体装置の構成を示す。半導体装置はスイッチング機能を有する半導体素子(チップ)11を備え、チップ11はハンダ12を介して導電性の電流パターン15上に取り付けられている。電流パターン15上は絶縁層17を介してベース板19上に設けられている。
【0012】
さらに、半導体装置には放熱用ブロック13aが取り付けられており、この放熱用ブロック13aはチップ11の横側に配置される。チップ11の横側にブロック13aを配置することにより熱抵抗を低減できるとともに、ブロック13aを介して配置された隣のチップからの熱干渉を低減できる。
【0013】
また、チップ11で発生する熱は熱伝導性の高い電流パターン15を介してチップ11横に配置されたブロック13aに伝わるため、チップの放熱性が向上し、発熱による温度向上が低減される。
【0014】
また、チップ11の下側には厚みの薄い電流パターン15しかないので、従来問題であった熱膨張率の違いから生じるチップの割れを防止できる。
【0015】
放熱用ブロック13aはパターン15上にハンダ12により半田付けされて固定されるが、このハンダ12には融点が300度より低い中温または低温ハンダを使用する。例えば、融点が270度程度の中温ハンダや融点が200度程度の低温ハンダを使用するのが好ましい。ブロック13aを低温または中温ハンダで電流パターン15に半田付けすることにより、チップ11を高温(例えば400℃)に加熱することがなくなり、チップの電気的特性(しきい値等)の変化を防止できる。
【0016】
なお、放熱用ブロック13が吸収できる熱容量はブロックの体積に比例するため、ブロックの体積は必要な熱容量を考慮して決定される。
【0017】
実施の形態2.
図2に本発明に係る半導体装置の別の構成例を示す。本実施形態の半導体装置では、放熱用ブロック13bを図2(a)に示すようにその断面が三角形状になるような形状としている。例えば、図2(b)に示すような三角柱形状や、図2(c)に示すような三角錐形状(または四角錘形状)にする。このような形状にすることによりブロック13bの重心が安定し、ブロック13bの半田付けの際にブロック13bの転倒を防止でき、作業効率を向上できる。
【0018】
実施の形態3.
図3に本発明に係る半導体装置のさらに別の構成例を示す。図3(a)は半導体装置を横から見た断面図、図3(b)は上から見た図である。
【0019】
本実施形態の半導体装置では、放熱用ブロック13cを、チップ11の周囲にそれを包囲するような形状にしている。放熱用ブロックが吸収できる熱容量はブロックの体積に比例するため、図3に示すようにチップ11の周囲にブロック13cを配置することにより、同じ熱容量を確保する場合、実施の形態1のものに比してブロック13cの高さ、幅を小さくすることができ、半導体装置全体として小型化が可能となる。
【0020】
【発明の効果】
本発明によれば、電力用半導体素子の横側に放熱用ブロックを配置することにより、熱抵抗を低減できるとともに、放熱用ブロックを介して配置された隣のチップからの熱干渉をも低減できる。また、電力用半導体素子の下側には厚みの薄い電流パターンしかないので、熱膨張率の違いから生じるチップの割れを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態1における半導体装置の構成を示した図(横から見た断面図)。
【図2】本発明の実施の形態2における半導体装置の構成を示した図((a)半導体装置を横から見た断面図、(b)放熱用ブロックの具体例1、(c)放熱用ブロックの具体例2)。
【図3】本発明の実施の形態3における半導体装置の構成を示した図((a)横から見た断面図、(b)上から見た図)。
【図4】従来の半導体装置の構成を示した図。
【符号の説明】
11 電力用半導体素子(チップ)、 12,12’ ハンダ、 13,13a〜13c 放熱用ブロック、 15 電流パターン、 17 絶縁層、 19 ベース板。
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体素子を搭載した半導体モジュールにおける放熱技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
複数の電力用半導体素子を搭載し、その電力用半導体素子をスイッチング動作させることにより電力変換機能を実現する半導体モジュールがある。その半導体モジュールにおいて電力用半導体素子(以下「チップ」という。)をスイッチングさせ電流を流すと熱エネルギーが発生する。この発生した熱エネルギーによりチップが高温(通常、150℃以上)になると、チップの電気的特性が悪化したり、チップに接続するアルミワイヤの接合部の劣化が加速し、チップのパワーサイクル寿命が短くなるという問題がある。
【0003】
このような発熱による高温化の問題に対応するため、従来においては、図4に示すように、発熱源であるチップ11の下方に放熱用のヒートシンク用ブロック13を配置する方法がある。チップ11とヒートシンク用ブロック13とはハンダ12’により半田付けされている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
チップ11は通常シリコンを材料とし、放熱用のヒートシンク用ブロック13は銅やモリブデン等を材料とする。このため、図4に示すような構成では、チップ11の熱膨張率と、放熱用のヒートシンク用ブロック13の熱膨張率とが異なり、熱膨張率の差からチップ11が割れるという問題がある。また、従来では、ブロック13を融点が高い(例えば400℃)高温ハンダで半田づけするため、その半田付け工程においてチップが高温状態(例えば400℃)におかれ、チップの電気的特性(しきい値等)が変化してしまうという問題があった。
【0005】
本発明は上記課題を解決すべくなされたものであり、その目的とするところは、半導体モジュールであって電力用半導体素子のスイッチング動作時の発熱による性能悪化を低減する半導体装置を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る半導体装置は、電力用半導体素子と、その電力用半導体素子で発生する熱を放熱させるための放熱用ブロックとをベース板上に取りつけた半導体装置において、放熱用ブロックを電力用半導体素子の横側に取り付けた。このように電力用半導体素子の横側に放熱用ブロックを配置することにより熱抵抗を低減できるとともに、放熱用ブロックを介して配置された隣のチップからの熱干渉をも低減できる。また、電力用半導体素子の下側には厚みの薄い電流パターンしかないので、熱膨張率の違いから生じるチップの割れを防止できる。
【0007】
上記半導体装置において、放熱用ブロックの断面形状は三角形にするのが好ましい。このような形状にすることにより放熱用ブロックの重心が安定し、ブロックの半田付けの際にその転倒を防止でき、作業効率を向上できる。
【0008】
または、放熱用ブロックを電力用半導体素子を包囲するような形状にしてもよい。これにより、放熱用ブロックの高さ、幅を小さくすることができ、半導体装置全体として小型化が可能となる。
【0009】
さらに、放熱用ブロックをベース板上の電流パターンに融点が270度以下のハンダで取り付けることが好ましい。放熱用ブロックを融点が270度以下の低温ハンダまたは中温ハンダで電流パターンに半田付けすることにより、電力用半導体素子を高温(例えば400℃)に加熱することがなくなり、電力用半導体素子の電気的特性(しきい値等)の変化を防止できる。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下添付の図面を参照して、本発明に係る半導体装置の実施の形態を詳細に説明する。
【0011】
実施の形態1.
図1に本発明に係る半導体装置の構成を示す。半導体装置はスイッチング機能を有する半導体素子(チップ)11を備え、チップ11はハンダ12を介して導電性の電流パターン15上に取り付けられている。電流パターン15上は絶縁層17を介してベース板19上に設けられている。
【0012】
さらに、半導体装置には放熱用ブロック13aが取り付けられており、この放熱用ブロック13aはチップ11の横側に配置される。チップ11の横側にブロック13aを配置することにより熱抵抗を低減できるとともに、ブロック13aを介して配置された隣のチップからの熱干渉を低減できる。
【0013】
また、チップ11で発生する熱は熱伝導性の高い電流パターン15を介してチップ11横に配置されたブロック13aに伝わるため、チップの放熱性が向上し、発熱による温度向上が低減される。
【0014】
また、チップ11の下側には厚みの薄い電流パターン15しかないので、従来問題であった熱膨張率の違いから生じるチップの割れを防止できる。
【0015】
放熱用ブロック13aはパターン15上にハンダ12により半田付けされて固定されるが、このハンダ12には融点が300度より低い中温または低温ハンダを使用する。例えば、融点が270度程度の中温ハンダや融点が200度程度の低温ハンダを使用するのが好ましい。ブロック13aを低温または中温ハンダで電流パターン15に半田付けすることにより、チップ11を高温(例えば400℃)に加熱することがなくなり、チップの電気的特性(しきい値等)の変化を防止できる。
【0016】
なお、放熱用ブロック13が吸収できる熱容量はブロックの体積に比例するため、ブロックの体積は必要な熱容量を考慮して決定される。
【0017】
実施の形態2.
図2に本発明に係る半導体装置の別の構成例を示す。本実施形態の半導体装置では、放熱用ブロック13bを図2(a)に示すようにその断面が三角形状になるような形状としている。例えば、図2(b)に示すような三角柱形状や、図2(c)に示すような三角錐形状(または四角錘形状)にする。このような形状にすることによりブロック13bの重心が安定し、ブロック13bの半田付けの際にブロック13bの転倒を防止でき、作業効率を向上できる。
【0018】
実施の形態3.
図3に本発明に係る半導体装置のさらに別の構成例を示す。図3(a)は半導体装置を横から見た断面図、図3(b)は上から見た図である。
【0019】
本実施形態の半導体装置では、放熱用ブロック13cを、チップ11の周囲にそれを包囲するような形状にしている。放熱用ブロックが吸収できる熱容量はブロックの体積に比例するため、図3に示すようにチップ11の周囲にブロック13cを配置することにより、同じ熱容量を確保する場合、実施の形態1のものに比してブロック13cの高さ、幅を小さくすることができ、半導体装置全体として小型化が可能となる。
【0020】
【発明の効果】
本発明によれば、電力用半導体素子の横側に放熱用ブロックを配置することにより、熱抵抗を低減できるとともに、放熱用ブロックを介して配置された隣のチップからの熱干渉をも低減できる。また、電力用半導体素子の下側には厚みの薄い電流パターンしかないので、熱膨張率の違いから生じるチップの割れを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態1における半導体装置の構成を示した図(横から見た断面図)。
【図2】本発明の実施の形態2における半導体装置の構成を示した図((a)半導体装置を横から見た断面図、(b)放熱用ブロックの具体例1、(c)放熱用ブロックの具体例2)。
【図3】本発明の実施の形態3における半導体装置の構成を示した図((a)横から見た断面図、(b)上から見た図)。
【図4】従来の半導体装置の構成を示した図。
【符号の説明】
11 電力用半導体素子(チップ)、 12,12’ ハンダ、 13,13a〜13c 放熱用ブロック、 15 電流パターン、 17 絶縁層、 19 ベース板。
Claims (4)
- 電力用半導体素子と、その電力用半導体素子で発生する熱を放熱させるための放熱用ブロックとをベース板上に取りつけた半導体装置において、
前記放熱用ブロックを電力用半導体素子の横側に取り付けたことを特徴とする半導体装置。 - 前記放熱用ブロックの断面形状を三角形にしたことを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 前記放熱用ブロックを、前記電力用半導体素子を包囲するような形状にしたことを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 前記放熱用ブロックを前記ベース板上の電流パターンに融点が300度以下のハンダで取り付けたことを特徴とする請求項1、2または3に記載の半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002178823A JP2004022983A (ja) | 2002-06-19 | 2002-06-19 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002178823A JP2004022983A (ja) | 2002-06-19 | 2002-06-19 | 半導体装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004022983A true JP2004022983A (ja) | 2004-01-22 |
Family
ID=31176428
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002178823A Pending JP2004022983A (ja) | 2002-06-19 | 2002-06-19 | 半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004022983A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102011007624A1 (de) | 2010-05-20 | 2011-11-24 | Mitsubishi Electric Corporation | Halbleitervorrichtung |
JP2017123439A (ja) * | 2016-01-08 | 2017-07-13 | 株式会社デンソー | 電子制御ユニット、および、これを用いた電動パワーステアリング装置 |
JP2017123440A (ja) * | 2016-01-08 | 2017-07-13 | 株式会社デンソー | 電子制御ユニット、および、これを用いた電動パワーステアリング装置 |
WO2018190289A1 (ja) * | 2017-04-11 | 2018-10-18 | 株式会社デンソー | 電動パワーステアリング制御装置および電子ユニット |
-
2002
- 2002-06-19 JP JP2002178823A patent/JP2004022983A/ja active Pending
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102011007624A1 (de) | 2010-05-20 | 2011-11-24 | Mitsubishi Electric Corporation | Halbleitervorrichtung |
US8362829B2 (en) | 2010-05-20 | 2013-01-29 | Mitsubishi Electric Corporation | Semiconductor device |
DE102011007624B4 (de) * | 2010-05-20 | 2017-09-14 | Mitsubishi Electric Corporation | Halbleitervorrichtung |
JP2017123440A (ja) * | 2016-01-08 | 2017-07-13 | 株式会社デンソー | 電子制御ユニット、および、これを用いた電動パワーステアリング装置 |
WO2017119263A1 (ja) * | 2016-01-08 | 2017-07-13 | 株式会社デンソー | 電子制御ユニット、および、これを用いた電動パワーステアリング装置 |
WO2017119264A1 (ja) * | 2016-01-08 | 2017-07-13 | 株式会社デンソー | 電子制御ユニット、および、これを用いた電動パワーステアリング装置 |
JP2017123439A (ja) * | 2016-01-08 | 2017-07-13 | 株式会社デンソー | 電子制御ユニット、および、これを用いた電動パワーステアリング装置 |
CN108463883A (zh) * | 2016-01-08 | 2018-08-28 | 株式会社电装 | 电子控制单元及使用该电子控制单元的电动助力转向装置 |
CN108476601A (zh) * | 2016-01-08 | 2018-08-31 | 株式会社电装 | 电子控制单元及使用该电子控制单元的电动助力转向装置 |
CN108476601B (zh) * | 2016-01-08 | 2020-04-07 | 株式会社电装 | 电子控制单元及使用该电子控制单元的电动助力转向装置 |
US10674639B2 (en) | 2016-01-08 | 2020-06-02 | Denso Corporation | Electronic control unit and electric power steering device using the same |
US11084521B2 (en) | 2016-01-08 | 2021-08-10 | Denso Corporation | Electronic control unit and electric power steering device using the same |
WO2018190289A1 (ja) * | 2017-04-11 | 2018-10-18 | 株式会社デンソー | 電動パワーステアリング制御装置および電子ユニット |
JP2018176943A (ja) * | 2017-04-11 | 2018-11-15 | 株式会社デンソー | 電動パワーステアリング制御装置および電子ユニット。 |
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