JP2004022703A - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】半導体チップに形成された突起電極とフィルム基板にあるリードの接合時に、フィルム基板が高温にさらされて膨張することによって生ずるリードのピッチの変動を防止する。すなわち、リードのピッチの変動によって生ずるリードと突起電極の合わせずれを防止し、オープン不良やショート不良を防止する。
【解決手段】複数のリード5の一端が周囲を取り囲むフィルム基板3の半導体チップ搭載領域7A内にフィルム基板3の熱膨張率より小さい熱膨張率の金属パターン6を形成する。
【選択図】 図2
【解決手段】複数のリード5の一端が周囲を取り囲むフィルム基板3の半導体チップ搭載領域7A内にフィルム基板3の熱膨張率より小さい熱膨張率の金属パターン6を形成する。
【選択図】 図2
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置およびその製造技術に関し、特に、突起電極を形成した半導体チップをフィルム基板にフェイスダウン実装する半導体装置に適用して有効な技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
突起電極を形成した半導体チップをフィルム基板にフェイスダウン実装する技術としてCOF(Chip On Film)がある。
【0003】
上記COFを使用した半導体装置として液晶ドライバがある。液晶ドライバは、絶縁フィルムの表面にCuからなるリードを形成したフィルム基板と液晶駆動回路が形成された半導体チップより構成されている。半導体チップには突起電極が形成されており、この突起電極を介して配線基板のリードと接続される構造をしている。
【0004】
上記液晶ドライバに用いられるフィルム基板は、一般に、ポリイミド樹脂からなる絶縁フィルムの表面にCuからなる複数のリードを形成したものである。このため、熱処理による熱や雰囲気中の湿気などに起因して絶縁フィルムが膨張し、リードのピッチに誤差を生じることが知られている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
半導体チップをフィルム基板に搭載する工程では、まず、ボンディング装置のステージ上に固定された半導体チップの突起電極とフィルム基板の対応するリードとを位置合わせをする。その後、加熱したボンディングツールと半導体チップを載せたステージとによって、上下両方向から、半導体チップとフィルム基板とを挟み込み、所定の荷重をかけることにより、半導体チップに形成されたすべての突起電極とフィルムに形成されたリードとを一括接続する。
【0006】
上記した半導体チップをフィルム基板に搭載する工程では、突起電極とリードの接合時にリードの近傍にある絶縁フィルムが高温にさらされて、膨張する。このため、リードのピッチが変動するためにリードと突起電極が非接触となるオープン不良や、隣り合った突起電極が1本のリードを介して接触するショート不良が発生するという問題点がある。
【0007】
特に、液晶ドライバは、入出力端子の数が極めて多く、リードのピッチが極めて狭くなっている。このため、リードのピッチの変動に起因するリードと突起電極との接続不良が発生しやすい問題点がある。
【0008】
本発明の目的は、半導体チップの突起電極とフィルム基板のリードとを高精度に接続することができる技術を提供することにある。
【0009】
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、以下のとおりである。
【0011】
本発明は、(a)複数の突起電極を形成した半導体チップと、(b)前記複数の突起電極を介して前記半導体チップを搭載する配線基板とを備え、前記配線基板は、(b1)有機樹脂を含む絶縁体からなる薄膜ベースと、(b2)前記薄膜ベース上に形成され、前記複数の突起電極のそれぞれに対応する複数のリードと、(b3)前記薄膜ベースの半導体チップ搭載領域内に形成され、前記薄膜ベースの膨張率よりも小さい膨張率の膨張抑制パターンとを有するものである。
【0012】
また、本発明は、(a)複数の突起電極を形成した半導体チップを用意する工程と、(b)有機樹脂を含む絶縁体からなる薄膜ベースに、前記複数の突起電極のそれぞれに対応する複数のリードを形成するとともに前記薄膜ベースの半導体チップ搭載領域に前記薄膜ベースの膨張を抑制するための膨張抑制パターンを形成して配線基板を形成する工程と、(c)前記半導体チップに形成された前記複数の突起電極のそれぞれを、前記配線基板に形成された前記複数のリードのそれぞれに接合する工程とを備えることを特徴とするものである。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。また、実施の形態を説明するための全図において同一機能を有するものは同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。
【0014】
本実施の形態の半導体装置は、中継基板(インターポーザ)となるフィルム基板とこのフィルム基板に搭載された半導体チップとにより構成されたチップオンフィルム(Chip On Film;COF)構造の液晶ドライバであり、例えばパソコンや移動体通信端末の液晶基板に実装して使用されるものである。
【0015】
図1は、本実施の形態の液晶ドライバに搭載される半導体チップ1を示した平面図である。
【0016】
この半導体チップ1は、単結晶シリコン基板からなり、主面には、図示しない液晶駆動回路が形成されている。また、半導体チップ1の主面の周辺部には、突起電極2が長辺方向および短辺方向に沿って一列に形成されている。
【0017】
半導体チップ1は、半導体ウェハの主面にある多数のチップ領域に周知の半導体製造技術を使用して液晶駆動回路や入出力端子(ボンディングパッド)を形成した後、入出力端子上に突起電極を形成し、次に半導体ウェハをダイシングしてチップ領域を個片化することによって製造されたものである。
【0018】
半導体チップ1上の突起電極2は、半導体チップ1上に形成された入出力端子上に電解めっき、無電解めっき、蒸着またはスパッタリング法を使用して形成されたものである。
【0019】
図2は、半導体チップ1を搭載するフィルム基板3を示す斜視図、図3は、このフィルム基板3の一部を拡大した平面図である。
【0020】
図2に示すように、フィルム基板3(配線基板)は、絶縁フィルム4とこの絶縁フィルム4(薄膜ベース)上に形成された複数のリード5および金属パターン6(膨張抑制パターン)より構成されている。絶縁フィルム4は、絶縁体より形成されており、例えばポリイミド樹脂より形成されている。絶縁フィルム4の周辺部には、フィルム送り用の穴が所定の間隔で形成されている。
【0021】
複数のリード5は、フィルム基板3に半導体チップ1を搭載した際に、半導体チップ1上に形成された突起電極2と接合するように構成されている。この複数のリード5は、絶縁フィルム4の一表面に銅膜を蒸着させ、この蒸着した銅膜をエッチングによりパターニングすることで形成される。これら複数のリード5は、絶縁フィルム4の表面に接着材を介さず固着されている。
【0022】
図3に示すように、フィルム基板3に形成された複数のリード5は、リードの一端が半導体チップ搭載領域7Aを取り囲むように配置されており、半導体チップ搭載領域7Aの内部には、金属パターン6が形成されている。
【0023】
金属パターン6は、フィルム基板3の半導体チップ搭載領域7Aの内部に形成され、長方形の形状をしている。この金属パターン6は、熱膨張率が絶縁フィルム4を構成するポリイミド樹脂よりも低い材料から形成されており、例えば上記複数のリードを形成する銅より形成されている。ポリイミド樹脂などの有機樹脂の熱膨張率は、70〜200×10−6(1/k)であるのに対し、銅の熱膨張率は、10〜20×10−6(1/k)である。
【0024】
このようにフィルム基板3の半導体チップ搭載領域7Aの内部に金属パターン6を設けることにより、半導体チップ1とフィルム基板3とをボンディングする際の加えられる熱によって生ずるフィルム基板3の膨張を抑制することができる。つまり、半導体搭載領域7Aの内部に形成された金属パターン6の熱膨張率がフィルム基板3を構成するポリイミド樹脂の熱膨張率より小さいため、金属パターンより応力が働き、フィルム基板3の膨張が抑制される。このため、フィルム基板3の膨張によって生ずるリード5間のピッチの変動を抑制することができる。したがって、半導体チップ1をフィルム基板3に実装する際に生ずる合わせずれを抑制することができ、歩留まり向上および製造コスト低減を図ることができる。
【0025】
また、フィルム基板3の膨張によって生ずるリード5間のピッチの変動を抑制することができるため、フィルム基板3の表面に形成されたリードの微細化が可能となり、液晶ドライバの小型化も可能となる。
【0026】
また、ポリイミド樹脂は、雰囲気中の湿気によっても膨張するが、金属パターンは、雰囲気中の湿気による膨張はしない利点もある。
【0027】
この金属パターンは、複数のリード5を形成するときと同様に、絶縁フィルム4の一表面に銅膜を蒸着させ、この蒸着した銅膜をエッチングすることにより形成される。したがって、複数のリード5を形成する際に金属パターン6を同時に形成することができる。
【0028】
金属パターン6は、リード5のピッチの変動を抑制する観点から、できるだけ複数のリード5に近づけるように配置されており、金属パターン6と複数のリード5との距離が複数のリード5のピッチより小さくなるように配置されている。
【0029】
また、金属パターン6は、リード5のピッチの変動を抑制する観点から、フィルム基板3の半導体チップ搭載領域7Aの内部に大きく形成されることが望ましい。
【0030】
本実施の形態における液晶ドライバは、上記のように構成されており、以下に本実施の形態における液晶ドライバを製造する工程について図面を参照しながら説明する。
【0031】
図4は、本実施の形態における液晶ドライバの製造工程を示すフローチャートである。
【0032】
まず、半導体ウェハの複数のチップ領域上に周知の半導体製造技術を使用して液晶駆動回路と入出力端子を形成する(S101)。次に、電解めっき法、無電解めっき法、蒸着またはスパッタリング法を使用して、入出力端子上に突起電極2を形成する(S102)。そして、半導体ウェハをダイシングすることにより、チップ領域を個片化し個々の半導体チップ1を製造する(S103)。
【0033】
一方、フィルム基板3は以下のようにして製造される。まず、絶縁フィルム4の一表面上に銅膜を蒸着させる(S104)。次に、フォトリソグラフィ技術およびエッチング技術を使用して、パターニングされたリード5を形成するとともにフィルム基板3の半導体チップ搭載領域7Aの内部に、絶縁フィルム4の熱膨張を抑制する金属パターン6を形成し(S105)、フィルム基板3を形成する(S106)。
【0034】
液晶ドライバを製造するには、前述したようにして形成された半導体チップ1とフィルム基板3とを用意し、COFボンダを使用して半導体チップ1をフィルム基板3の半導体チップ搭載領域7Aに搭載する(S107)。
【0035】
以下に、半導体チップ1をフィルム基板3に搭載する工程について説明する。
【0036】
図5は、COFボンダ100の要部を示す概略図である。このCOFボンダ100は、ヒータ101を内蔵したステージ102、位置認識カメラ103、ヒータ104を内蔵したボンディングツール105、クランパ106、ガイド107を有している。
【0037】
ステージ102上には、真空吸着などによって半導体チップ1が保持されている。半導体チップ1は、突起電極2を形成した面を上にして保持され、ステージ102に内蔵されたヒータ101によって加熱される。
【0038】
COFボンダ100に装着されたフィルム基板3は、図5の左側方向から右側方向に送られ、半導体チップ搭載領域7Aがステージ102の真上に来たときにクランパ106とガイド107によって上下から保持、固定される。
【0039】
次に、位置認識カメラ103により、半導体チップ1の突起電極2とフィルム基板3に形成されたリード5との位置認識が行われ、この認識結果に基づいて突起電極2とリード5の位置補正が行われる。
【0040】
そして、図6に示すようにボンディングツール105をフィルム基板3の上面に押し付け、加熱されたボンディングツール105と加熱されたステージ102とによって上下方向から半導体チップ1とフィルム基板3とを挟み込む。その後、所定の荷重を加えることによって、半導体チップ1に形成されたすべての突起電極2とフィルム基板3の対応するリード5とを同時に一括して接続する。この際、フィルム基板3のチップ搭載領域7Aには、加熱されたボンディングツール105が接触するため、フィルム基板3に熱が伝導し、熱膨張し易い。しかし、フィルム基板3の半導体チップ搭載領域7Aの内部には、金属パターン6が形成されている。この金属パターン6の熱膨張率は、フィルム基板3を構成するポリイミド樹脂の熱膨張率より小さいため、金属パターンより応力が働き、フィルム基板3の熱膨張が抑制される。したがって、フィルム基板3の膨張によって生ずるリード5間のピッチの変動を抑制することができる。このため、突起電極2とリード5とが非接触となるオープン不良や、隣り合った突起電極2が1本のリード5を介して接触するショート不良を防止することができる。
【0041】
このようにして、フィルム基板3の半導体チップ搭載領域7Aに半導体チップ1を実装することができる。次に、図4に示すように半導体チップ1とフィルム基板3との接続を補強するために、半導体チップ1とフィルム基板3との隙間にアンダーフィル樹脂を充填する(S108)。その後、マーキング(S109)、テスティング(S110)を行うことにより、液晶ドライバが完成し、梱包、出荷される(S111)。
【0042】
以上、本発明者によってなされた発明を前記実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
【0043】
前記実施の形態では、液晶ドライバについて説明したが液晶ドライバに限定されるものでなく、一般に、突起電極を設けた半導体チップを実装する半導体装置に適用することができる。
【0044】
前記実施の形態では、絶縁フィルムに形成する金属パターンを複数のリードとともに形成される場合を説明したがこれに限られず、複数のリードを形成する前や後に、形成してもよい。
【0045】
前記実施の形態では、膨張抑制パターンの一例として金属よりなる場合について説明したが、これに限られず、フィルム基板より熱膨張率の小さい材料、例えばセラミックなどを使用して膨張抑制パターンを形成してもよい。
【0046】
前記実施の形態では、膨張抑制パターンの一例である金属パターンを、絶縁フィルムのリード形成面と同じ面に形成する場合を説明したが、金属パターンをリード形成面と反対側の面に形成してもよいし、両面に形成してもよい。
【0047】
前記実施の形態では、図3に示すような膨張抑制パターンを形成した例について説明したが、これに限られず図7や図8に示す膨張抑制パターンを形成してもよい。
【0048】
【発明の効果】
本願によって開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、以下の通りである。
【0049】
フィルム基板の半導体チップ搭載領域内にフィルム基板の膨張率より小さい膨張率の膨張抑制パターンを形成することにより、フィルム基板の膨張を抑制することができる。したがって、フィルム基板上に形成された複数のリード間のピッチの変動を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態である液晶ドライバに搭載する半導体チップを示す平面図である。
【図2】本発明の一実施の形態である液晶ドライバのフィルム基板を示す斜視図である。
【図3】本発明の一実施の形態である液晶ドライバのフィルム基板の一部を示す平面図である。
【図4】本発明の一実施の形態である液晶ドライバの製造工程を示すフローチャートである。
【図5】本発明の一実施の形態である液晶ドライバの製造に用いるCOFボンダの要部を示す概略図である。
【図6】本発明の一実施の形態である液晶ドライバの製造に用いるCOFボンダの要部を示す概略図である。
【図7】本発明の他の実施の形態である液晶ドライバのフィルム基板の一部を示す平面図である。
【図8】本発明の他の実施の形態である液晶ドライバのフィルム基板の一部を示す平面図である。
【符号の説明】
1 半導体チップ
2 突起電極
3 フィルム基板(配線基板)
4 絶縁フィルム(薄膜ベース)
5 リード
6 金属パターン(膨張抑制パターン)
7A 半導体チップ搭載領域
100 COFボンダ
101 ヒータ
102 ステージ
103 位置認識カメラ
104 ヒータ
105 ボンディングツール
106 クランパ
107 ガイド
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置およびその製造技術に関し、特に、突起電極を形成した半導体チップをフィルム基板にフェイスダウン実装する半導体装置に適用して有効な技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
突起電極を形成した半導体チップをフィルム基板にフェイスダウン実装する技術としてCOF(Chip On Film)がある。
【0003】
上記COFを使用した半導体装置として液晶ドライバがある。液晶ドライバは、絶縁フィルムの表面にCuからなるリードを形成したフィルム基板と液晶駆動回路が形成された半導体チップより構成されている。半導体チップには突起電極が形成されており、この突起電極を介して配線基板のリードと接続される構造をしている。
【0004】
上記液晶ドライバに用いられるフィルム基板は、一般に、ポリイミド樹脂からなる絶縁フィルムの表面にCuからなる複数のリードを形成したものである。このため、熱処理による熱や雰囲気中の湿気などに起因して絶縁フィルムが膨張し、リードのピッチに誤差を生じることが知られている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
半導体チップをフィルム基板に搭載する工程では、まず、ボンディング装置のステージ上に固定された半導体チップの突起電極とフィルム基板の対応するリードとを位置合わせをする。その後、加熱したボンディングツールと半導体チップを載せたステージとによって、上下両方向から、半導体チップとフィルム基板とを挟み込み、所定の荷重をかけることにより、半導体チップに形成されたすべての突起電極とフィルムに形成されたリードとを一括接続する。
【0006】
上記した半導体チップをフィルム基板に搭載する工程では、突起電極とリードの接合時にリードの近傍にある絶縁フィルムが高温にさらされて、膨張する。このため、リードのピッチが変動するためにリードと突起電極が非接触となるオープン不良や、隣り合った突起電極が1本のリードを介して接触するショート不良が発生するという問題点がある。
【0007】
特に、液晶ドライバは、入出力端子の数が極めて多く、リードのピッチが極めて狭くなっている。このため、リードのピッチの変動に起因するリードと突起電極との接続不良が発生しやすい問題点がある。
【0008】
本発明の目的は、半導体チップの突起電極とフィルム基板のリードとを高精度に接続することができる技術を提供することにある。
【0009】
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、以下のとおりである。
【0011】
本発明は、(a)複数の突起電極を形成した半導体チップと、(b)前記複数の突起電極を介して前記半導体チップを搭載する配線基板とを備え、前記配線基板は、(b1)有機樹脂を含む絶縁体からなる薄膜ベースと、(b2)前記薄膜ベース上に形成され、前記複数の突起電極のそれぞれに対応する複数のリードと、(b3)前記薄膜ベースの半導体チップ搭載領域内に形成され、前記薄膜ベースの膨張率よりも小さい膨張率の膨張抑制パターンとを有するものである。
【0012】
また、本発明は、(a)複数の突起電極を形成した半導体チップを用意する工程と、(b)有機樹脂を含む絶縁体からなる薄膜ベースに、前記複数の突起電極のそれぞれに対応する複数のリードを形成するとともに前記薄膜ベースの半導体チップ搭載領域に前記薄膜ベースの膨張を抑制するための膨張抑制パターンを形成して配線基板を形成する工程と、(c)前記半導体チップに形成された前記複数の突起電極のそれぞれを、前記配線基板に形成された前記複数のリードのそれぞれに接合する工程とを備えることを特徴とするものである。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。また、実施の形態を説明するための全図において同一機能を有するものは同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。
【0014】
本実施の形態の半導体装置は、中継基板(インターポーザ)となるフィルム基板とこのフィルム基板に搭載された半導体チップとにより構成されたチップオンフィルム(Chip On Film;COF)構造の液晶ドライバであり、例えばパソコンや移動体通信端末の液晶基板に実装して使用されるものである。
【0015】
図1は、本実施の形態の液晶ドライバに搭載される半導体チップ1を示した平面図である。
【0016】
この半導体チップ1は、単結晶シリコン基板からなり、主面には、図示しない液晶駆動回路が形成されている。また、半導体チップ1の主面の周辺部には、突起電極2が長辺方向および短辺方向に沿って一列に形成されている。
【0017】
半導体チップ1は、半導体ウェハの主面にある多数のチップ領域に周知の半導体製造技術を使用して液晶駆動回路や入出力端子(ボンディングパッド)を形成した後、入出力端子上に突起電極を形成し、次に半導体ウェハをダイシングしてチップ領域を個片化することによって製造されたものである。
【0018】
半導体チップ1上の突起電極2は、半導体チップ1上に形成された入出力端子上に電解めっき、無電解めっき、蒸着またはスパッタリング法を使用して形成されたものである。
【0019】
図2は、半導体チップ1を搭載するフィルム基板3を示す斜視図、図3は、このフィルム基板3の一部を拡大した平面図である。
【0020】
図2に示すように、フィルム基板3(配線基板)は、絶縁フィルム4とこの絶縁フィルム4(薄膜ベース)上に形成された複数のリード5および金属パターン6(膨張抑制パターン)より構成されている。絶縁フィルム4は、絶縁体より形成されており、例えばポリイミド樹脂より形成されている。絶縁フィルム4の周辺部には、フィルム送り用の穴が所定の間隔で形成されている。
【0021】
複数のリード5は、フィルム基板3に半導体チップ1を搭載した際に、半導体チップ1上に形成された突起電極2と接合するように構成されている。この複数のリード5は、絶縁フィルム4の一表面に銅膜を蒸着させ、この蒸着した銅膜をエッチングによりパターニングすることで形成される。これら複数のリード5は、絶縁フィルム4の表面に接着材を介さず固着されている。
【0022】
図3に示すように、フィルム基板3に形成された複数のリード5は、リードの一端が半導体チップ搭載領域7Aを取り囲むように配置されており、半導体チップ搭載領域7Aの内部には、金属パターン6が形成されている。
【0023】
金属パターン6は、フィルム基板3の半導体チップ搭載領域7Aの内部に形成され、長方形の形状をしている。この金属パターン6は、熱膨張率が絶縁フィルム4を構成するポリイミド樹脂よりも低い材料から形成されており、例えば上記複数のリードを形成する銅より形成されている。ポリイミド樹脂などの有機樹脂の熱膨張率は、70〜200×10−6(1/k)であるのに対し、銅の熱膨張率は、10〜20×10−6(1/k)である。
【0024】
このようにフィルム基板3の半導体チップ搭載領域7Aの内部に金属パターン6を設けることにより、半導体チップ1とフィルム基板3とをボンディングする際の加えられる熱によって生ずるフィルム基板3の膨張を抑制することができる。つまり、半導体搭載領域7Aの内部に形成された金属パターン6の熱膨張率がフィルム基板3を構成するポリイミド樹脂の熱膨張率より小さいため、金属パターンより応力が働き、フィルム基板3の膨張が抑制される。このため、フィルム基板3の膨張によって生ずるリード5間のピッチの変動を抑制することができる。したがって、半導体チップ1をフィルム基板3に実装する際に生ずる合わせずれを抑制することができ、歩留まり向上および製造コスト低減を図ることができる。
【0025】
また、フィルム基板3の膨張によって生ずるリード5間のピッチの変動を抑制することができるため、フィルム基板3の表面に形成されたリードの微細化が可能となり、液晶ドライバの小型化も可能となる。
【0026】
また、ポリイミド樹脂は、雰囲気中の湿気によっても膨張するが、金属パターンは、雰囲気中の湿気による膨張はしない利点もある。
【0027】
この金属パターンは、複数のリード5を形成するときと同様に、絶縁フィルム4の一表面に銅膜を蒸着させ、この蒸着した銅膜をエッチングすることにより形成される。したがって、複数のリード5を形成する際に金属パターン6を同時に形成することができる。
【0028】
金属パターン6は、リード5のピッチの変動を抑制する観点から、できるだけ複数のリード5に近づけるように配置されており、金属パターン6と複数のリード5との距離が複数のリード5のピッチより小さくなるように配置されている。
【0029】
また、金属パターン6は、リード5のピッチの変動を抑制する観点から、フィルム基板3の半導体チップ搭載領域7Aの内部に大きく形成されることが望ましい。
【0030】
本実施の形態における液晶ドライバは、上記のように構成されており、以下に本実施の形態における液晶ドライバを製造する工程について図面を参照しながら説明する。
【0031】
図4は、本実施の形態における液晶ドライバの製造工程を示すフローチャートである。
【0032】
まず、半導体ウェハの複数のチップ領域上に周知の半導体製造技術を使用して液晶駆動回路と入出力端子を形成する(S101)。次に、電解めっき法、無電解めっき法、蒸着またはスパッタリング法を使用して、入出力端子上に突起電極2を形成する(S102)。そして、半導体ウェハをダイシングすることにより、チップ領域を個片化し個々の半導体チップ1を製造する(S103)。
【0033】
一方、フィルム基板3は以下のようにして製造される。まず、絶縁フィルム4の一表面上に銅膜を蒸着させる(S104)。次に、フォトリソグラフィ技術およびエッチング技術を使用して、パターニングされたリード5を形成するとともにフィルム基板3の半導体チップ搭載領域7Aの内部に、絶縁フィルム4の熱膨張を抑制する金属パターン6を形成し(S105)、フィルム基板3を形成する(S106)。
【0034】
液晶ドライバを製造するには、前述したようにして形成された半導体チップ1とフィルム基板3とを用意し、COFボンダを使用して半導体チップ1をフィルム基板3の半導体チップ搭載領域7Aに搭載する(S107)。
【0035】
以下に、半導体チップ1をフィルム基板3に搭載する工程について説明する。
【0036】
図5は、COFボンダ100の要部を示す概略図である。このCOFボンダ100は、ヒータ101を内蔵したステージ102、位置認識カメラ103、ヒータ104を内蔵したボンディングツール105、クランパ106、ガイド107を有している。
【0037】
ステージ102上には、真空吸着などによって半導体チップ1が保持されている。半導体チップ1は、突起電極2を形成した面を上にして保持され、ステージ102に内蔵されたヒータ101によって加熱される。
【0038】
COFボンダ100に装着されたフィルム基板3は、図5の左側方向から右側方向に送られ、半導体チップ搭載領域7Aがステージ102の真上に来たときにクランパ106とガイド107によって上下から保持、固定される。
【0039】
次に、位置認識カメラ103により、半導体チップ1の突起電極2とフィルム基板3に形成されたリード5との位置認識が行われ、この認識結果に基づいて突起電極2とリード5の位置補正が行われる。
【0040】
そして、図6に示すようにボンディングツール105をフィルム基板3の上面に押し付け、加熱されたボンディングツール105と加熱されたステージ102とによって上下方向から半導体チップ1とフィルム基板3とを挟み込む。その後、所定の荷重を加えることによって、半導体チップ1に形成されたすべての突起電極2とフィルム基板3の対応するリード5とを同時に一括して接続する。この際、フィルム基板3のチップ搭載領域7Aには、加熱されたボンディングツール105が接触するため、フィルム基板3に熱が伝導し、熱膨張し易い。しかし、フィルム基板3の半導体チップ搭載領域7Aの内部には、金属パターン6が形成されている。この金属パターン6の熱膨張率は、フィルム基板3を構成するポリイミド樹脂の熱膨張率より小さいため、金属パターンより応力が働き、フィルム基板3の熱膨張が抑制される。したがって、フィルム基板3の膨張によって生ずるリード5間のピッチの変動を抑制することができる。このため、突起電極2とリード5とが非接触となるオープン不良や、隣り合った突起電極2が1本のリード5を介して接触するショート不良を防止することができる。
【0041】
このようにして、フィルム基板3の半導体チップ搭載領域7Aに半導体チップ1を実装することができる。次に、図4に示すように半導体チップ1とフィルム基板3との接続を補強するために、半導体チップ1とフィルム基板3との隙間にアンダーフィル樹脂を充填する(S108)。その後、マーキング(S109)、テスティング(S110)を行うことにより、液晶ドライバが完成し、梱包、出荷される(S111)。
【0042】
以上、本発明者によってなされた発明を前記実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
【0043】
前記実施の形態では、液晶ドライバについて説明したが液晶ドライバに限定されるものでなく、一般に、突起電極を設けた半導体チップを実装する半導体装置に適用することができる。
【0044】
前記実施の形態では、絶縁フィルムに形成する金属パターンを複数のリードとともに形成される場合を説明したがこれに限られず、複数のリードを形成する前や後に、形成してもよい。
【0045】
前記実施の形態では、膨張抑制パターンの一例として金属よりなる場合について説明したが、これに限られず、フィルム基板より熱膨張率の小さい材料、例えばセラミックなどを使用して膨張抑制パターンを形成してもよい。
【0046】
前記実施の形態では、膨張抑制パターンの一例である金属パターンを、絶縁フィルムのリード形成面と同じ面に形成する場合を説明したが、金属パターンをリード形成面と反対側の面に形成してもよいし、両面に形成してもよい。
【0047】
前記実施の形態では、図3に示すような膨張抑制パターンを形成した例について説明したが、これに限られず図7や図8に示す膨張抑制パターンを形成してもよい。
【0048】
【発明の効果】
本願によって開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、以下の通りである。
【0049】
フィルム基板の半導体チップ搭載領域内にフィルム基板の膨張率より小さい膨張率の膨張抑制パターンを形成することにより、フィルム基板の膨張を抑制することができる。したがって、フィルム基板上に形成された複数のリード間のピッチの変動を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態である液晶ドライバに搭載する半導体チップを示す平面図である。
【図2】本発明の一実施の形態である液晶ドライバのフィルム基板を示す斜視図である。
【図3】本発明の一実施の形態である液晶ドライバのフィルム基板の一部を示す平面図である。
【図4】本発明の一実施の形態である液晶ドライバの製造工程を示すフローチャートである。
【図5】本発明の一実施の形態である液晶ドライバの製造に用いるCOFボンダの要部を示す概略図である。
【図6】本発明の一実施の形態である液晶ドライバの製造に用いるCOFボンダの要部を示す概略図である。
【図7】本発明の他の実施の形態である液晶ドライバのフィルム基板の一部を示す平面図である。
【図8】本発明の他の実施の形態である液晶ドライバのフィルム基板の一部を示す平面図である。
【符号の説明】
1 半導体チップ
2 突起電極
3 フィルム基板(配線基板)
4 絶縁フィルム(薄膜ベース)
5 リード
6 金属パターン(膨張抑制パターン)
7A 半導体チップ搭載領域
100 COFボンダ
101 ヒータ
102 ステージ
103 位置認識カメラ
104 ヒータ
105 ボンディングツール
106 クランパ
107 ガイド
Claims (5)
- (a)複数の突起電極を形成した半導体チップと、
(b)前記複数の突起電極を介して前記半導体チップを搭載する配線基板とを備え、
前記配線基板は、
(b1)有機樹脂を含む絶縁体からなる薄膜ベースと、
(b2)前記薄膜ベース上に形成され、前記複数の突起電極のそれぞれに対応する複数のリードと、
(b3)前記薄膜ベースの半導体チップ搭載領域内に形成され、前記薄膜ベースの膨張率よりも小さい膨張率の膨張抑制パターンとを有することを特徴とする半導体装置。 - (a)複数の突起電極を形成した半導体チップと、
(b)前記複数の突起電極を介して前記半導体チップを搭載する配線基板とを備え、
前記配線基板は、
(b1)有機樹脂を含む絶縁体からなる薄膜ベースと、
(b2)前記薄膜ベース上に形成され、前記複数の突起電極のそれぞれに対応する複数のリードと、
(b3)前記薄膜ベースの半導体チップ搭載領域内に形成され、前記薄膜ベースの膨張率よりも小さい膨張率の金属パターンとを有し、
前記金属パターンと前記複数のリードとの距離は、前記複数のリードのピッチより小さいことを特徴とする半導体装置。 - (a)複数の突起電極を形成した半導体チップを用意する工程と、
(b)有機樹脂を含む絶縁体からなる薄膜ベースに、前記複数の突起電極のそれぞれに対応する複数のリードを形成するとともに前記薄膜ベースの半導体チップ搭載領域内に前記薄膜ベースの膨張率よりも小さい膨張率の膨張抑制パターンを形成して配線基板を形成する工程と、
(c)前記半導体チップに形成された前記複数の突起電極のそれぞれを、前記配線基板に形成された前記複数のリードのそれぞれに接合する工程とを備えることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - (a)複数の突起電極を形成した半導体チップを用意する工程と、
(b)有機樹脂を含む絶縁体からなる薄膜ベースに、前記複数の突起電極のそれぞれに対応する複数のリードを形成し配線基板を形成する工程と、
(c)前記配線基板の半導体チップ搭載領域内に前記配線基板の膨張率より小さい膨張率の膨張抑制パターンを形成する工程と、
(d)前記半導体チップに形成された前記複数の突起電極のそれぞれを、前記配線基板に形成された前記複数のリードのそれぞれに接合する工程とを備えることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - (a)複数の突起電極を形成した半導体チップを用意する工程と、
(b)有機樹脂を含む絶縁体からなる薄膜ベースに、前記複数の突起電極のそれぞれに対応する複数のリードを形成して配線基板を形成する工程と、
(c)前記配線基板の前記複数のリードを形成した面と反対側の面に前記配線基板の膨張率より小さい膨張率の膨張抑制パターンを形成する工程と、
(d)前記半導体チップに形成された前記複数の突起電極のそれぞれを、前記配線基板に形成された前記複数のリードのそれぞれに接合する工程とを備えることを特徴とする半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
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JP2002173778A JP2004022703A (ja) | 2002-06-14 | 2002-06-14 | 半導体装置およびその製造方法 |
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JP2008177351A (ja) * | 2007-01-18 | 2008-07-31 | Fujitsu Ltd | 電子装置および電子装置の製造方法 |
-
2002
- 2002-06-14 JP JP2002173778A patent/JP2004022703A/ja active Pending
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