JP2004020983A - ビーム走査方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】ビーム走査を高速で行なう。
【解決手段】直進ビーム12を、まず音響光学変調器30により第1の方向に走査し、次いで、ガルバノミラー26により第2の方向に走査する。
【選択図】 図2
【解決手段】直進ビーム12を、まず音響光学変調器30により第1の方向に走査し、次いで、ガルバノミラー26により第2の方向に走査する。
【選択図】 図2
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ビームを複数方向に走査するためのビーム走査方法及び装置に係り、特に、レーザビームを照射してプリント配線基板等に穴を開けるレーザ穴開け機に用いるのに好適な、高速のビーム走査が可能なビーム走査方法及び装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
レーザにより加工を行なう場合、回転するガルバノミラーによってビームを反射して走査するガルバノスキャナ(ビームスキャナとも称する)によって照射位置を移動させる方法を採ると、高速な加工が可能になる。
【0003】
図1は、一般的なレーザ加工装置の要部構成例である。本構成例は、図示しないレーザ発振器から照射される、例えばパルス状のレーザビーム12を、所定の第1の方向(例えば図1の紙面に垂直なX方向)に走査するための回転ミラー(ガルバノミラー)22を含む第1ガルバノスキャナ20と、該第1ガルバノスキャナ20によってX方向に走査されたレーザビーム14を、該第1ガルバノスキャナ20による走査方向と垂直な第2の方向(例えば図1の紙面と平行なY方向)に走査するための回転ミラー(ガルバノミラー)26を含む第2ガルバノスキャナ24と、前記第1及び第2ガルバノスキャナ20、24によりXY2方向に走査されたレーザビーム16を、XYステージ8上に固定された、基板等の加工対象物10の表面に対して垂直な方向に偏光して照射するためのfθレンズ28とを備えている。
【0004】
このように、第1、第2ガルバノスキャナ20、24を、例えばX、Yの2軸に用いることにより、レーザビーム12を、スキャナ先端の回転ミラー22、26に反射させ、進行方向を任意の方向に変えることができる。前記ガルバノスキャナ20、24によって偏光したレーザビーム16は、fθレンズ28を通過して、加工対象物10に集光する。従って、2つのガルバノスキャナ20、24を制御することにより、加工対象物10上の目標箇所をレーザ加工することが可能である。
【0005】
基板の穴開け等では高いスループットが要求されるため、Xyステージ8等で加工対象物10を移動させて位置決めする方法に比べて、高速な加工を行なうことが可能なガルバノスキャナを利用することが多い。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながらガルバノスキャナの応答性は1kHz程度であり、更なる高速化を図る上で障害となっていた。これは、ガルバノミラーの回転軸の剛性と慣性モーメント、発生トルクと発熱等にトレードオフが存在するためで、寸法を最適化するだけで達成できる性能には限界があるからである。
【0007】
本発明は、前記従来の問題点を解決するべくなされたもので、ガルバノスキャナより高速にビーム走査を可能とすることを課題とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明は、ビームを複数方向に走査するためのビーム走査方法において、直進ビームを、まず音響光学変調素子により第1の方向に走査し、次いでガルバノミラーにより第2の方向に走査するようにして、前記課題を解決したものである。
【0009】
又、ビームを複数方向に走査するためのビーム走査装置において、直進ビームを第1の方向に走査するための音響光学変調手段と、該音響光学変調手段により走査されたビームを、第2の方向に走査するためのガルバノミラーとを備えることにより、前記課題を解決したものである。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、本発明の実施形態を詳細に説明する。
【0011】
本実施形態は、図2に示す如く、直進ビーム12を、加工対象物10の走査エリア11内でX方向とY方向に走査するためのビーム走査装置において、直進ビーム12をX方向に走査するための音響光学変調器(AOD)30と、該AOD30によりX方向に走査されたビーム14をY方向に走査するための、従来と同様のガルバノミラー26とを備えたものである。
【0012】
他の点については従来例と同様であるので説明は省略する。
【0013】
前記AOD30は、図3に詳細に示す如く、直進ビーム12が入射される音響光学媒体32と、該音響光学媒体32の一端(図では上端)に超音波を入射するための電歪素子(トランスデューサ)34と、前記音響光学媒体32の他端(図では下端)に設けられた超音波吸収体36と、高周波発振器38と、該高周波発振器38の出力に振幅変調信号を混合するための信号混合器(ミキサ)40と、該信号混合器40の出力を増幅して前記電歪素子34に印加するための信号増幅器42とを含んで構成されている。
【0014】
このAOD30は、印加する高周波の周波数f1〜f2に比例して屈折率が変化し、1次回折光の偏光角θがθ1〜θ2に変化する。その応答性は1MHz程度まで上げることができる。
【0015】
従って、図2に示したように、従来の第1のガルバノスキャナに代えてAOD30を用いて、第2のガルバノスキャナ24への入射光を走査することによって、X方向への走査を高速で行なうことが可能となる。
【0016】
ガルバノスキャナを用いた従来例では、一般に1回の走査エリアが一辺30〜50mmの正方形であるが、本発明のように第1のガルバノスキャナに代えてAOD30を用いた場合には、AODの動作回数を増やして、高速化の利点を引き出すことができる。なお、一般にAOD30による振れ角はガルバノミラーによる振れ角より小さいので、図4に示す如く、走査エリア11のAOD30による走査方向(ここではX方向)の幅を10mm、ガルバノミラー26による走査方向(ここではY方向)の幅を50mm程度とすることが好ましい。
【0017】
なお、図5に示す第2実施形態のように、AOD30とガルバノミラー26の間に凹レンズ50やプリズムを挿入して、AOD30による走査角を広げることも可能である。
【0018】
本発明により走査するビームの種類は、CO2レーザ、UVレーザ等、種類を問わず、レーザにも限定されない。走査方向も、直交する2方向に限定されず、fθレンズを省略することも可能である。加工対象も、プリント基板の穴開けに限定されず、切断等、他の加工用途にも適用できる。
【0019】
【発明の効果】
本発明によれば、ビーム走査を高速化でき、ビーム走査時間を大幅に短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】一般的なレーザ加工装置の要部構成を示す正面図
【図2】本発明に係るビーム走査装置の第1実施形態の構成を示す斜視図
【図3】前記実施形態で用いられている音響光学変調器の構成を示すブロック図
【図4】前記実施形態における走査エリアを示す平面図
【図5】本発明に係るビーム走査装置の第2実施形態の要部を示す平面図
【符号の説明】
10…加工対象物
12…直進ビーム
14、16…走査ビーム
24…ガルバノスキャナ
26…ガルバノミラー
30…音響光学変調器(AOD)
32…音響光学媒体
34…電歪素子(トランスデューサ)
36…超音波吸収体
50…凹レンズ
【発明の属する技術分野】
本発明は、ビームを複数方向に走査するためのビーム走査方法及び装置に係り、特に、レーザビームを照射してプリント配線基板等に穴を開けるレーザ穴開け機に用いるのに好適な、高速のビーム走査が可能なビーム走査方法及び装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
レーザにより加工を行なう場合、回転するガルバノミラーによってビームを反射して走査するガルバノスキャナ(ビームスキャナとも称する)によって照射位置を移動させる方法を採ると、高速な加工が可能になる。
【0003】
図1は、一般的なレーザ加工装置の要部構成例である。本構成例は、図示しないレーザ発振器から照射される、例えばパルス状のレーザビーム12を、所定の第1の方向(例えば図1の紙面に垂直なX方向)に走査するための回転ミラー(ガルバノミラー)22を含む第1ガルバノスキャナ20と、該第1ガルバノスキャナ20によってX方向に走査されたレーザビーム14を、該第1ガルバノスキャナ20による走査方向と垂直な第2の方向(例えば図1の紙面と平行なY方向)に走査するための回転ミラー(ガルバノミラー)26を含む第2ガルバノスキャナ24と、前記第1及び第2ガルバノスキャナ20、24によりXY2方向に走査されたレーザビーム16を、XYステージ8上に固定された、基板等の加工対象物10の表面に対して垂直な方向に偏光して照射するためのfθレンズ28とを備えている。
【0004】
このように、第1、第2ガルバノスキャナ20、24を、例えばX、Yの2軸に用いることにより、レーザビーム12を、スキャナ先端の回転ミラー22、26に反射させ、進行方向を任意の方向に変えることができる。前記ガルバノスキャナ20、24によって偏光したレーザビーム16は、fθレンズ28を通過して、加工対象物10に集光する。従って、2つのガルバノスキャナ20、24を制御することにより、加工対象物10上の目標箇所をレーザ加工することが可能である。
【0005】
基板の穴開け等では高いスループットが要求されるため、Xyステージ8等で加工対象物10を移動させて位置決めする方法に比べて、高速な加工を行なうことが可能なガルバノスキャナを利用することが多い。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながらガルバノスキャナの応答性は1kHz程度であり、更なる高速化を図る上で障害となっていた。これは、ガルバノミラーの回転軸の剛性と慣性モーメント、発生トルクと発熱等にトレードオフが存在するためで、寸法を最適化するだけで達成できる性能には限界があるからである。
【0007】
本発明は、前記従来の問題点を解決するべくなされたもので、ガルバノスキャナより高速にビーム走査を可能とすることを課題とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明は、ビームを複数方向に走査するためのビーム走査方法において、直進ビームを、まず音響光学変調素子により第1の方向に走査し、次いでガルバノミラーにより第2の方向に走査するようにして、前記課題を解決したものである。
【0009】
又、ビームを複数方向に走査するためのビーム走査装置において、直進ビームを第1の方向に走査するための音響光学変調手段と、該音響光学変調手段により走査されたビームを、第2の方向に走査するためのガルバノミラーとを備えることにより、前記課題を解決したものである。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、本発明の実施形態を詳細に説明する。
【0011】
本実施形態は、図2に示す如く、直進ビーム12を、加工対象物10の走査エリア11内でX方向とY方向に走査するためのビーム走査装置において、直進ビーム12をX方向に走査するための音響光学変調器(AOD)30と、該AOD30によりX方向に走査されたビーム14をY方向に走査するための、従来と同様のガルバノミラー26とを備えたものである。
【0012】
他の点については従来例と同様であるので説明は省略する。
【0013】
前記AOD30は、図3に詳細に示す如く、直進ビーム12が入射される音響光学媒体32と、該音響光学媒体32の一端(図では上端)に超音波を入射するための電歪素子(トランスデューサ)34と、前記音響光学媒体32の他端(図では下端)に設けられた超音波吸収体36と、高周波発振器38と、該高周波発振器38の出力に振幅変調信号を混合するための信号混合器(ミキサ)40と、該信号混合器40の出力を増幅して前記電歪素子34に印加するための信号増幅器42とを含んで構成されている。
【0014】
このAOD30は、印加する高周波の周波数f1〜f2に比例して屈折率が変化し、1次回折光の偏光角θがθ1〜θ2に変化する。その応答性は1MHz程度まで上げることができる。
【0015】
従って、図2に示したように、従来の第1のガルバノスキャナに代えてAOD30を用いて、第2のガルバノスキャナ24への入射光を走査することによって、X方向への走査を高速で行なうことが可能となる。
【0016】
ガルバノスキャナを用いた従来例では、一般に1回の走査エリアが一辺30〜50mmの正方形であるが、本発明のように第1のガルバノスキャナに代えてAOD30を用いた場合には、AODの動作回数を増やして、高速化の利点を引き出すことができる。なお、一般にAOD30による振れ角はガルバノミラーによる振れ角より小さいので、図4に示す如く、走査エリア11のAOD30による走査方向(ここではX方向)の幅を10mm、ガルバノミラー26による走査方向(ここではY方向)の幅を50mm程度とすることが好ましい。
【0017】
なお、図5に示す第2実施形態のように、AOD30とガルバノミラー26の間に凹レンズ50やプリズムを挿入して、AOD30による走査角を広げることも可能である。
【0018】
本発明により走査するビームの種類は、CO2レーザ、UVレーザ等、種類を問わず、レーザにも限定されない。走査方向も、直交する2方向に限定されず、fθレンズを省略することも可能である。加工対象も、プリント基板の穴開けに限定されず、切断等、他の加工用途にも適用できる。
【0019】
【発明の効果】
本発明によれば、ビーム走査を高速化でき、ビーム走査時間を大幅に短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】一般的なレーザ加工装置の要部構成を示す正面図
【図2】本発明に係るビーム走査装置の第1実施形態の構成を示す斜視図
【図3】前記実施形態で用いられている音響光学変調器の構成を示すブロック図
【図4】前記実施形態における走査エリアを示す平面図
【図5】本発明に係るビーム走査装置の第2実施形態の要部を示す平面図
【符号の説明】
10…加工対象物
12…直進ビーム
14、16…走査ビーム
24…ガルバノスキャナ
26…ガルバノミラー
30…音響光学変調器(AOD)
32…音響光学媒体
34…電歪素子(トランスデューサ)
36…超音波吸収体
50…凹レンズ
Claims (2)
- ビームを複数方向に走査するためのビーム走査方法において、
直進ビームを、まず音響光学変調素子により第1の方向に走査し、
次いでガルバノミラーにより第2の方向に走査することを特徴とするビーム操作方法。 - ビームを複数方向に走査するためのビーム走査装置において、
直進ビームを第1の方向に走査するための音響光学変調手段と、
該音響光学変調手段により走査されたビームを、第2の方向に走査するためのガルバノミラーと、
を備えたことを特徴とするビーム走査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002176685A JP2004020983A (ja) | 2002-06-18 | 2002-06-18 | ビーム走査方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002176685A JP2004020983A (ja) | 2002-06-18 | 2002-06-18 | ビーム走査方法及び装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004020983A true JP2004020983A (ja) | 2004-01-22 |
Family
ID=31174921
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002176685A Pending JP2004020983A (ja) | 2002-06-18 | 2002-06-18 | ビーム走査方法及び装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004020983A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006047804A (ja) * | 2004-08-06 | 2006-02-16 | Seiko Epson Corp | 光走査装置及び画像表示装置 |
JP2011186371A (ja) * | 2010-03-11 | 2011-09-22 | Ricoh Co Ltd | 静電潜像の測定方法と測定装置、および画像形成装置 |
WO2012093471A1 (ja) * | 2011-01-05 | 2012-07-12 | Kondo Kiyoyuki | ビーム加工装置 |
JP2018513534A (ja) * | 2015-04-16 | 2018-05-24 | ツェットカーヴェー グループ ゲーエムベーハー | 自動車用の照明装置 |
JP2018171631A (ja) * | 2017-03-31 | 2018-11-08 | 株式会社東京精密 | レーザ加工装置及びレーザ加工方法 |
US10133144B2 (en) | 2017-02-09 | 2018-11-20 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Optical scanning device including waveguide array |
-
2002
- 2002-06-18 JP JP2002176685A patent/JP2004020983A/ja active Pending
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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WO2012093471A1 (ja) * | 2011-01-05 | 2012-07-12 | Kondo Kiyoyuki | ビーム加工装置 |
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JP5727518B2 (ja) * | 2011-01-05 | 2015-06-03 | 清之 近藤 | ビーム加工装置 |
JP2018513534A (ja) * | 2015-04-16 | 2018-05-24 | ツェットカーヴェー グループ ゲーエムベーハー | 自動車用の照明装置 |
CN108076652A (zh) * | 2015-04-16 | 2018-05-25 | Zkw集团有限责任公司 | 用于机动车辆的照明设备 |
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JP2018171631A (ja) * | 2017-03-31 | 2018-11-08 | 株式会社東京精密 | レーザ加工装置及びレーザ加工方法 |
JP2021119017A (ja) * | 2017-03-31 | 2021-08-12 | 株式会社東京精密 | レーザ加工装置及びレーザ加工方法 |
JP7190643B2 (ja) | 2017-03-31 | 2022-12-16 | 株式会社東京精密 | レーザ加工装置及びレーザ加工方法 |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040720 |
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A02 | Decision of refusal |
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