【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、ガラス基板等の薄板をその表面処理等に際して搬送するための薄板の移載搬送装置、それに用いられるカセット及び薄板の移載搬送方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来のこの種の薄板の移載搬送装置としては、例えば特開平１０−２７０５２８号公報に開示されるような構成のものが知られている。この従来装置においては、図１３に示すように、一対の四角枠状のカセット８１が並設され、それらの一側面には薄板８２を出し入れするための開口部８１ａが形成されている。カセット８１の開口部８１ａ及び奥部の上部内面にはラック歯状の上位置決め部８３が形成されるとともに、下部内面には鋸歯状の下位置決め部８４が形成されている。そして、この上下位置決め部８３，８４により、複数の薄板８２がカセット８１内に所定間隔おきの立設状態で、側面の開口部８１ａから出し入れ可能に収納支持されるようになっている。
【０００３】
前記カセット８１の開口部８１ａ側の側部には、ロボット本体８５がカセット８１の並設方向へ移動可能に装設されている。このロボット本体８５にはハンド部８６が上下動可能、旋回可能に、及びカセット８１内に開口部８１ａから進退移動可能に配設され、その側面には複数の吸着孔８７が設けられている。そして、このハンド部８６により、薄板８２が１枚ずつ吸着されて、一方のカセット８１から他方のカセット８１に移載搬送されるようになっている。
【０００４】
すなわち、ハンド部８６が一方のカセット８１内に開口部８１ａから進入移動されて、１枚の薄板８２の側面に近接配置され、この状態で吸着孔８７からの吸引空気により、薄板８２がハンド部８６に吸着保持される。続いて、ハンド部８６が若干上昇されるとともに、カセット８１の開口部８１ａから退出移動されることにより、１枚の薄板８２がカセット８１内から取り出される。その後、ロボット本体８５全体がカセット８１の並設方向に移動されて、ハンド部８６が他方のカセット８１に対向配置され、この状態でハンド部８６がカセット８１内に進入及び退出移動されて、薄板８２がカセット８１内に受け渡される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、この従来の薄板の移載搬送装置においては、前述のように、立設状態の薄板８２がハンド部８６により側面から吸着保持されて、カセット８１間で１枚ずつ移載搬送されるようになっている。このため、複数の薄板８２を移載搬送に時間がかかって、作業能率が悪いとともに、吸着異常等の発生により、薄板を移載搬送の途中で落下破損するおそれがあるという問題があった。
【０００６】
また、カセット８１内に収容支持される薄板８２間に、ハンド部８６の進退移動を許容するための広い間隔を確保する必要があるため、カセット８１全体が大型になるという問題もあった。さらに、カセット８１の側面の開口部８１ａから薄板８２を出し入れするために、ハンド部８６の進退移動距離を大きく確保する必要があって、移載搬送装置が大型化するという問題もあった。
【０００７】
この発明は、このような従来の技術に存在する問題点に着目してなされたものである。その主たる目的は、複数の薄板をカセットに対して短時間に能率良く移載搬送することができるとともに、その移載搬送の途中で薄板が落下破損するおそれを防止することができる薄板の移載搬送装置、それに用いられるカセット及び薄板の移載搬送方法を提供することにある。
【０００８】
また、この発明のその他の目的は、カセット内に収容支持される薄板間に広い間隔を確保する必要がなく、カセット全体を小型にすることができる薄板の移載搬送装置、それに用いられるカセット及び薄板の移載搬送方法を提供することにある。さらに、この発明のその他の目的は、薄板を搬送方向と直交する方向へ大きく移動させることなく、カセット内に出し入れすることができて、小型化することができる薄板の移載搬送装置、それに用いられるカセット及び薄板の移載搬送方法を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、請求項１に記載の薄板の移載搬送装置に係る発明は、上面及び下面に開口部を有し、上面側の開口部と連通する複数のスリットをほぼ等間隔に有するとともに、各スリットの下部と対応する支持溝を有し、各支持溝に複数の薄板を立設状態で収容支持する少なくとも一対のカセットと、各カセットの下方に昇降可能にそれぞれ配設され、各カセットの下面開口部からそれらのカセット内に上昇進入して、複数の薄板を同時にまたは１枚の薄板を選択的に各カセット内の収容位置から搬送位置に持ち上げ支持するコンベアと、互いのスリットを対向させるように配置された各カセットの上方において薄板の延長方向へ移動可能に配設され、搬送位置に持ち上げ支持された薄板の上部両端を把持する把持部材を有して複数の薄板を同時にまたは１枚の薄板を選択的に把持するとともに、その薄板を各カセット間でコンベア上に案内支持しながら互いに対向するスリットを通して出し入れするローダとを備えたことを特徴とするを特徴とするものである。
【００１０】
従って、この請求項１に記載の発明によれば、複数の薄板をスリットを介してカセットに対して同時に移載搬送することができて、その移し換え作業を短時間に能率良く行うことができる。また、薄板をコンベアにより下方から支持した状態で移載搬送することができて、薄板が移載搬送の途中で落下破損するおそれを防止することができる。さらに、カセット内に収容支持される薄板間に、ハンド部等を進退移動させるための広い間隔を確保する必要がなく、複数の薄板を接近状態で立設支持することができて、カセット全体を小型にすることができる。しかも、薄板を搬送方向と直交する方向へ大きく移動させることなく、カセット内に出し入れすることができて、移載搬送装置として小型のものを使用することができる。また、請求項１に記載の発明によれば、ローダにより複数の薄板を複数個のカセット間において、容易かつ能率的に移載搬送することができる。
【００１１】
請求項２に記載のカセットに係る発明は、上面及び下面に開口部を有する四角枠状に形成し、両側壁の下部内面には複数の薄板を下部両端にて立設状態で支持するための複数の支持溝を有する支持部を突設し、両側壁の上部には薄板を両側縁にて外側方から出し入れ可能に支持するための複数のスリットを、各支持溝に対応して形成したことを特徴とするものである。
【００１２】
従って、この請求項２に記載の発明によれば、カセットの構造が簡単であるとともに、そのカセット内に複数の薄板を容易に出し入れすることができて、薄板の移載搬送装置に適用して有効である。
【００１３】
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の発明において、少なくともいずれか一方の側壁に形成されたスリットの下端部には、支持溝間に支持される薄板の位置を規制するための規制部を設けたことを特徴とするものである。
【００１４】
従って、この請求項３に記載の発明によれば、カセット内の所定位置に複数の薄板を正確に位置規制して収容支持することができる。
請求項４に記載の薄板の移載搬送方法に係る発明は、上面及び下面に開口部を有するとともに両側面の上部に複数のスリットを有する少なくとも一対のカセットの内部に複数の薄板を立設状態で収容支持し、カセットの下面開口部からカセット内にコンベアを上昇進入させて、複数の薄板または選択された１枚の薄板をカセット内の収容位置から搬送位置に持ち上げ支持し、この状態でローダにより複数の薄板または選択された１枚の薄板を上部両端にて把持するとともに、カセット間でコンベア上に支持しながら互いの対向するスリットを通してカセット内に出し入れすることを特徴とするものである。
【００１５】
従って、この請求項４に記載の発明によれば、請求項１に記載の作用と同様の作用を得ることができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
（第１実施形態）
以下に、この発明の第１実施形態を、図１〜図１１に基づいて説明する。
【００１７】
図１には薄板の処理システムが平面図により示されている。この処理システムにおいては、搬入側の移載搬送装置２１及び搬出側の移載搬送装置２２が所定間隔をおいて、かつ平行をなすように配設され、これらの移載搬送装置２１，２２には搬入出用カセット２３Ａ、処理用カセット２３Ｂ及びダミー用カセット２３Ｃが搬送方向に沿って並設されるようになっている。搬入側の移載搬送装置２１の側部には搬入用コンベア２４が連結配置され、この搬入用コンベア２４により、複数のガラス基板等の薄板２５を立設状態で収納支持した搬入出用カセット２３Ａが搬入側の移載搬送装置２１に搬入されるようになっている。
【００１８】
そして、搬入側の移載搬送装置２１により、複数の薄板２５が搬入出用カセット２３Ａから処理用カセット２３Ｂへ同時に移載搬送される。また、この複数の薄板２５の移し換え終了状態で、一部の薄板２５が欠損していて、処理用カセット２３Ｂ内に歯抜け箇所が存在する場合には、その歯抜け箇所にダミー用カセット２３Ｃからダミー薄板２６が補充されるようになっている。なお、搬入側の移載搬送装置２１上のダミー用カセット２３Ｃには、薄板２５と同一の大きさ，厚さ及び材質の複数のダミー薄板２６が予め立設状態で収容支持されている。このダミー薄板２６は、後述の説明から明らかなように、繰り返し使用されるようになっている。
【００１９】
前記両移載搬送装置２１，２２間において、処理用カセット２３Ｂと対応する位置には、表面処理装置２７が延長配置されている。そして、搬入側の移載搬送装置２１において、処理用カセット２３Ｂ内に移載された複数の薄板２５が、その処理用カセット２３Ｂとともに表面処理装置２７内を搬出側の移載搬送装置２２上まで移動されることにより、各薄板２５に対して所定の表面処理が施されるようになっている。
【００２０】
前記両移載搬送装置２１，２２間において搬入出用カセット２３Ａと対応する位置には、空カセット用コンベア２８が延長配置されている。そして、搬入側の移載搬送装置２１において、複数の薄板２５の移載を終了して空になった搬入出用カセット２３Ａが、この空カセット用コンベア２８を介して搬出側の移載搬送装置２２上まで移送されるようになっている。
【００２１】
また、前記表面処理装置２７により薄板２５の表面処理が終了した後、処理用カセット２３Ｂ内にダミー薄板２６が存在する場合には、搬出側の移載搬送装置２２により、そのダミー薄板２６が処理用カセット２３Ｂからダミー用カセット２３Ｃに移載搬送される。さらに、搬出側の移載搬送装置２２により、表面処理済の複数の薄板２５が処理用カセット２３Ｂから待機している搬入出用カセット２３Ａへ同時に移載搬送されるようになっている。
【００２２】
前記搬出側の移載搬送装置２２の側部には搬出用コンベア２９が連結配置され、この搬出用コンベア２９により、表面処理済の複数の薄板２５を収納支持した搬入出用カセット２３Ａが搬出側の移載搬送装置２２上から搬出されるようになっている。また、搬出側の移載搬送装置２２において、複数の薄板２５及びダミー薄板２６の移し換えを終了して空になった処理用カセット２３Ｂは、空カセット用コンベア２８と対応する位置まで移動され、そこから空カセット用コンベア２８を介して搬入側の移載搬送装置２１上まで移送される。そして、その処理用カセット２３Ｂは表面処理装置２７と対応する位置に移動される。さらに、搬入側の移載搬送装置２１上のダミー用カセット２３Ｃが空になったときには、作業者の手動移送によって、搬出側の移載搬送装置２２上でダミー薄板２６を収容支持しているダミー用カセット２３Ｃと交換されるようになっている。
【００２３】
次に、前記搬入出用カセット２３Ａ、処理用カセット２３Ｂ及びダミー用カセット２３Ｃについて説明する。なお、これらのカセット２３Ａ〜２３Ｃはほぼ同一構造で同一寸法となるように形成され、一部のみが異なった構造となっているため、まず搬入出用カセット２３Ａについて説明して、他のカセット２３Ｂ，２３Ｃについては異なった部分のみを追加説明する。
【００２４】
図６〜図８に示すように、搬入出用カセット２３Ａは上面及び下面に開口部３１，３２を有する四角枠状に形成されている。カセット２３Ａの両側壁２３ａの下部内面には支持部３３が突設され、両支持部３３の上面には複数の支持溝３４が所定の等間隔おきに形成されている。カセット２３Ａの上面開口部３１と連通するように、両側壁２３ａの上部には複数のスリット３５がその下端部において各支持溝３４に対応して形成され、各スリット３５の外側開口縁にはテーパ状のガイド面３５ａが形成されている。そして、複数の薄板２５が所定間隔おきの立設状態で、下部両端にて両支持部３３の各支持溝３４間に挿入支持されるとともに、両側縁にてスリット３５に外側方から出し入れ可能に挿入支持されるようになっている。
【００２５】
前記搬入出用カセット２３Ａの左側壁２３ａに配列されている各スリット３５の下端部には、それらの外面を塞ぐように所定高さの規制部３６が一体に形成されている。そして、薄板２５が両支持部３３の各支持溝３４間で支持される際に、この規制部３６との係合によって、薄板２５の長手方向の収容位置が規制されるようになっている。
【００２６】
図９に示すように、前記処理用カセット２３Ｂにおいては、搬入出用カセット２３Ａと異なって、前記規制部３６がカセット２３Ｂの左右両側壁２３ａに配列された各スリット３５の下端部にそれぞれ形成されている。また、図１０に示すように、ダミー用カセット２３Ｃにおいては、搬入出用カセット２３Ａと異なって、この規制部３６がカセット２３Ｃの右側壁２３ａに配列された各スリット３５の下端部に形成されている。
【００２７】
次に、前記搬入及び搬出側の移載搬送装置２１，２２について詳細に説明する。なお、これらの移載搬送装置２１，２２は同一構成となっているため、ここでは搬入側の移載搬送装置２１について説明して、搬出側の移載搬送装置２２については説明を省略する。
【００２８】
図２及び図３に示すように、移載搬送装置２２のフレーム３８の右側上面には、搬入出用カセット２３Ａを所定位置に支持するための第１支持枠３９が配置されている。フレーム３８の中央には、処理用カセット２３Ｂを所定位置に支持するための第２支持枠４０が移動台４１上に取り付けられた状態で、一対のレール４２を介してカセット２３Ａ〜２３Ｃの並設方向と直交する方向へ移動可能に配置されている。そして、移動用モータ４３によりボールネジ４４を介して第２支持枠４０が移動されたとき、その第２支持枠４０上に支持された処理用カセット２３Ｂが薄板２５の配列方向に移動されるようになっている。
【００２９】
前記フレーム３８の左側上面には、ダミー用カセット２３Ｃを所定位置に支持するための第３支持枠４５が一対のレール４６を介して、カセット２３Ａ〜２３Ｃの並設方向と直交する方向へ移動可能に配置されている。そして、移動用モータ４７によりボールネジ４８を介して第３支持枠４５が移動されたとき、その第３支持枠４５上に支持されたダミー用カセット２３Ｃがダミー薄板２６の配列方向に移動されるようになっている。
【００３０】
前記搬入出用カセット２３Ａの下方、及び搬入出用カセット２３Ａと処理用カセット２３Ｂとの間の下方に位置するように、フレーム３８には第１ローラコンベア４９が昇降用シリンダ５０により昇降可能に配設されている。この第１ローラコンベア４９には、第１支持枠３９上の搬入出用カセット２３Ａ内に収容支持された複数の薄板２５と各別に対応するように、複数列のローラ群４９ａが設けられている。そして、昇降用シリンダ５０により第１ローラコンベア４９が上昇されたとき、図３に鎖線で示すように、そのローラコンベア４９の一部が搬入出用カセット２３Ａの下面開口部３２からカセット２３Ａ内に進入する。これにより、搬入出用カセット２３Ａ内の複数の薄板２５が同図に実線で示す下方の収容位置Ｐ１から、カセット２３Ａ内の規制部３６を越えて上昇され、鎖線で示す上方の搬送位置Ｐ２に持ち上げ支持されるようになっている。
【００３１】
前記処理用カセット２３Ｂの下方に位置するように、移動台４１には第２ローラコンベア５１が昇降用シリンダ５２により昇降可能に配設されている。この第２ローラコンベア５１には、処理用カセット２３Ｂ内に収容支持される複数の薄板２５と各別に対応するように、複数列のローラ群５１ａが設けられている。そして、前記第１ローラコンベア４９の上昇に同期して、昇降用シリンダ５２により第２ローラコンベア５１が上昇され、処理用カセット２３Ｂの下面開口部３２からカセット２３Ｂ内に進入配置されるようになっている。
【００３２】
前記ダミー用カセット２３Ｃの下方において、フレーム３８には移動板５３が一対のレール５４を介して、カセット２３Ａ〜２３Ｃの並設方向と直交する方向へ移動可能に配置されている。ダミー用カセット２３Ｃの下方、及びダミー用カセット２３Ｃと処理用カセット２３Ｂとの間の下方に位置するように、移動板５３には第３ローラコンベア５５が昇降用シリンダ５６により昇降可能に支持されている。この第３ローラコンベア５５には、ダミー用カセット２３Ｃ内に収容支持された複数のダミー薄板２６の内のいずれか１枚のダミー薄板２６と対応するように、１列のローラ群５５ａが設けられている。
【００３３】
そして、ダミー用カセット２３Ｃから処理用カセット２３Ｂにダミー薄板２６が補充される際に、移動用モータ５７によりボールネジ５８を介して移動板５３が移動され、第３ローラコンベア５５が所定位置に移動される。この状態で、昇降用シリンダ５６により第３ローラコンベア５５が上昇され、図３に鎖線で示すように、そのローラコンベア５５の一部がダミー用カセット２３Ｃの下面開口部３２からカセット２３Ｃ内に進入する。これにより、ダミー用カセット２３Ｃ内の１枚のダミー薄板２６が同図に実線で示す下方の収容位置Ｐ１から、カセット２３Ｃ内の規制部３６を越えて上昇され、鎖線で示す上方の搬送位置Ｐ２に持ち上げ支持されるようになっている。
【００３４】
なお、図１１に示すように、前記各ローラコンベア４９，５１，５５のローラ群４９ａ，５１ａ，５５ａの各ローラ４９ｂ，５１ｂ，５５ｂは環状溝３７を有し、この環状溝３７に薄板２５及びダミー薄板２６が支持される。
【００３５】
図２及び図３に示すように、前記フレーム３８の上面にはコラム６０が立設され、そのコラム６０の前面にはローダ６１がカセット２３Ａ〜２３Ｃの並設方向へ移動可能に配設されている。そして、図３に鎖線で示すように、このローダ６１により、搬入出用カセット２３Ａ内の複数の薄板２５が、搬送位置Ｐ２に持ち上げ支持された状態で上部両端にて把持される。その後、ローダ６１の移動に伴って、複数の薄板２５が第１及び第２ローラコンベア４９，５１に下方より案内支持されながら、搬入出用カセット２３Ａから処理用カセット２３Ｂに、それらのスリット３５を通して移載搬送されるようになっている。
【００３６】
また、処理用カセット２３Ｂ内に薄板２５の欠損した歯抜け箇所が存在する場合には、前記の場合とほぼ同様にローダ６１により、ダミー用カセット２３Ｃ内の１枚のダミー薄板２６が、搬送位置Ｐ２に持ち上げ支持された状態で上部両端にて把持される。その後、ローダ６１の移動に伴って、ダミー薄板２６が第３及び第２ローラコンベア５５，５１に下方より案内支持されながら、ダミー用カセット２３Ｃから処理用カセット２３Ｂに、それらのスリット３５を通して移載搬送されるようになっている。
【００３７】
そこで、このローダ６１の構成について詳細に説明する。前記コラム６０の前面には移動体６２が一対のガイドレール６３を介して移動可能に支持され、移動用モータ６４によりボールネジ６５を介して、各カセット２３Ａ〜２３Ｃの上方対応位置に移動されるようになっている。移動体６２にはローダ本体６６が図示しないガイドレール等を介して昇降可能に支持され、昇降用モータ６７によりボールネジ６８を介して、各カセット２３Ａ〜２３Ｃから離間した上方位置と接近した下方位置とに昇降されるようになっている。
【００３８】
図２〜図５に示すように、前記ローダ本体６６の後部両側には一対の薄板把持部材６９が支軸７０を介して回動可能に支持され、それらの対向面には複数の薄板２５を同時に把持するための複数の把持溝６９ａが形成されている。この把持溝６９ａは、前記各カセット２３Ａ〜２３Ｃのスリット３５の配列ピッチと同一ピッチで配置されている。ローダ本体６６には一対の把持用シリンダ７１が配設され、これらのシリンダ７１により、薄板把持部材６９が図５に鎖線で示す側方の退避位置と、同図に実線で示す下方の把持位置とに回動されるようになっている。
【００３９】
そして、この薄板把持部材６９の把持位置において、ローダ本体６６が上方位置から下方位置まで下降されるとともに、第１ローラコンベア４９により、搬入出用カセット２３Ａ内の複数の薄板２５が収容位置Ｐ１から搬送位置Ｐ２まで上昇される。これにより、複数の薄板２５の上部両端が両薄板把持部材６９の把持溝６９ａ間にて把持される。この状態で、ローダ本体６６が移動されることにより、複数の薄板２５が搬入出用カセット２３Ａから処理用カセット２３Ｂに同時に移載搬送される。その後、ローダ本体６６が下方位置から上方位置に上昇されるとともに、薄板把持部材６９が把持位置から退避位置に回動される。それとともに、第２ローラコンベア５１により、複数の薄板２５が搬送位置Ｐ２から収容位置Ｐ１まで下降されて、処理用カセット２３Ｂ内に収容支持されるようになっている。
【００４０】
図５に示すように、前記ローダ本体６６内には複数のセンサ７２が薄板把持部材６９の各把持溝６９ａに対応して配設されている。そして、処理用カセット２３Ｂへの複数の薄板２５の移載搬送が終了した時点で、これらのセンサ７２により、処理用カセット２３Ｂ内で薄板２５が欠損して歯抜け箇所が存在しているか否かが検出されるようになっている。
【００４１】
図２及び図４に示すように、前記ローダ本体６６の前部両側には一対のダミー把持部材７３が回動可能に支持され、それらの対向面には１枚のダミー薄板２６を把持するための１つの把持溝７３ａが形成されている。また、このダミー把持部材７３においても、前記薄板把持部材６９と同様に、図示しない一対の把持用シリンダにより退避位置と把持位置とに回動されるようになっている。
【００４２】
そして、前記センサ７２により薄板２５の欠損する歯抜け箇所が検出された場合には、移動用モータ４３，４７により、処理用カセット２３Ｂ及びダミー用カセット２３Ｃが移動されて、歯抜け箇所がダミー把持部材７３と対応配置される。また、移動用モータ５７により、第３ローラコンベア５５が移動されて、歯抜け箇所と対応配置される。さらに、ローダ本体６６がダミー用カセット２３Ｃと対応する位置まで移動され、この状態でダミー把持部材７３が把持位置に回動されるとともに、ローダ本体６６が下方位置まで下降される。それとともに、第３ローラコンベア５５により、ダミー用カセット２３Ｃ内の１枚のダミー薄板２６が搬送位置Ｐ２まで上昇されて、そのダミー薄板２６の上部両端が両ダミー把持部材７３の把持溝７３ａ間にて把持される。
【００４３】
その後、ローダ本体６６が移動されることにより、ダミー薄板２６がダミー用カセット２３Ｃから処理用カセット２３Ｂに移載搬送される。さらに、ローダ本体６６が上方位置に上昇されるとともに、ダミー把持部材７３が退避位置に回動される。それとともに、第２ローラコンベア５１により、ダミー薄板２６が収容位置Ｐ１まで下降されて、処理用カセット２３Ｂ内の歯抜け箇所に収容支持されるようになっている。
【００４４】
以上のように構成されたシステムにおいて、所定枚数の薄板２５は、搬入出用カセット２３Ａに収容された状態で搬入用コンベア２４を介して搬入側移載搬送装置２１内に搬入され、空カセット用コンベア２８と対応する第１支持枠３９上にセットされる。この状態で、第１支持枠３９の上方に位置するローダ６１が下降し、その後、昇降用シリンダ５０及び昇降用シリンダ５２により、第１ローラコンベア４９及び第２ローラコンベア５１が上昇され、搬入出用カセット２３Ａ内の薄板２５が収容位置Ｐ１から搬送位置Ｐ２に上昇される。このため、搬入出用カセット２３Ａ内の薄板２５は、その下端が同カセット２３Ａの規制部３６及び処理用カセット２３Ｂの規制部３６よりも高いところに位置する。この状態で、ローダ６１の薄板把持部材６９により、薄板２５がそれらの上部両端において、いわば両肩において一斉に把持される。
【００４５】
そして、ローダ６１がボールネジ６５の回転により処理用カセット２３Ｂを支持している第２支持枠４０側に移動する。このとき、移動台４１は移載のための所定位置にあり、第２の支持枠４０上の処理用カセット２３Ｂは、そのスリット３５と搬入出用カセット２３Ａのスリット３５とが互いに対向するように位置合わせされた状態にある。このため、薄板２５が第１ローラコンベア４９のローラ群４９ａ及び第２ローラコンベア５１のローラ群５１ａにより、移動案内されて、搬入出カセット２３Ａから処理用カセット２３Ｂ内に両方のスリット３５を通して位置移動される。この状態で、ローダ６１の薄板把持部材６９が薄板２５の把持を解放してそのローダ６１が上方へ退避するとともに、第１ローラコンベア４９及び第２ローラコンベア５１が下降する。このため、各薄板２５が処理用カセット２３Ｂの支持溝３４内に立設状態で着座され、搬入出用カセット２３Ａから処理用カセット２３Ｂへの薄板２５の移し替えが終了する。移し替えが終了して、空になった搬入出用カセット２３Ａは、空カセット用コンベア２８を介して搬出側移載搬送装置２２に移送され、そこで待機状態となる。
【００４６】
ローダ６１による前記の搬送時には、ローダ６１上のセンサ７２により、薄板２５の歯抜けの有無が判別される。そして、歯抜けが生じている場合には、前記移し替え終了後において、処理用カセット２３Ｂの歯抜け位置がローダ６１のダミー把持部材７３の位置と対応するように、移動用モータ４３により同処理用カセット２３Ｂがレール４２に沿って移動される。また、これと同時に、ダミー用カセット２３Ｃ内の適当なダミー薄板２６が前記ローダ６１のダミー把持部材７３の位置と対応するように、移動用モータ５７により同ダミー用カセット２３Ｃが移動される。このようにすると、このダミー薄板２６がダミー把持部材７３と対応して配置された第３ローラコンベア５５の上方に位置する。そして、ローダ６１が下降し、昇降用シリンダ５６により第３ローラコンベア５５が上昇して、ダミー薄板２６がダミー用カセット２３Ｃの規制部３６を越える位置まで上昇し、ローダ６１のダミー把持部材７３により上昇されたダミー薄板２６の上部両端が把持される。
【００４７】
そして、薄板２５の前記移し替えと同様にして、このダミー薄板２６が処理用カセット２３Ｂの歯抜け位置に保持される。このようにダミー薄板２６を用いることで、処理用カセット２３Ｂ内の薄板２５の両側における隙間等を常に同一間隔にして、薄板２５を同一環境下に置くことができる。そして、この状態で、処理用カセット２３Ｂを表面処理装置２７内に通して、薄板２５に対する表面処理加工を行えば、各薄板２５が同一環境下に置かれているために、各薄板２５に対して均一な表面処理加工が施される。
【００４８】
このようにして、表面処理装置２７内を通過した処理用カセット２３Ｂは、搬出側移載搬送装置２２内に移動される。そして、そこで、ローダ６１等により処理用カセット２３Ｂ内のダミー薄板２６は、搬入側移載搬送装置２１内の場合と逆順で処理用カセット２３Ｂから搬出側移載搬送装置２２内のダミー用カセット２３Ｃ内に移し替えられる。その後、前記搬入側移載搬送装置２１における薄板２５の移し替えとは、逆順の動作により、薄板２５が処理用カセット２３Ｂから待機状態の搬入出用カセット２３Ａに移し替えられる。
【００４９】
薄板２５を収容した搬入出用カセット２３Ａは、搬出側移載搬送装置２２から搬出用コンベア２９を介して次工程に送られる。また、空になった処理用カセット２３Ｂは、搬入出用カセット２３Ａと干渉しないタイミングを見計らって、空カセット用コンベア２８を介して搬入側移載搬送装置２１の第２支持枠４０上に送られ、表面処理装置２７と対応する。さらに、搬出側移載搬送装置２２におけるダミー用カセット２３Ｃ内のダミー薄板２６の枚数が一定量以上になった場合、あるいは搬入側移載搬送装置２１におけるダミー用カセット２３Ｃ内のダミー薄板２６の枚数が一定量以下になった場合は、それらのダミー用カセット２３Ｃが相互に入れ替えられる。
【００５０】
従って、この実施形態によれば、以下のような効果を得ることができる。
（１） この移載搬送装置２１，２２においては、上面及び下面に開口部３１，３２を有するとともに両側面の上部に複数のスリット３５を有するカセット２３Ａ〜２３Ｃの内部に、複数の薄板２５またはダミー薄板２６が立設状態で収容支持される。カセット２３Ａ〜２３Ｃの下面開口部３２からカセット２３Ａ〜２３Ｃ内にローラコンベア４９，５１，５５が上昇進入されて、複数の薄板２５またはダミー薄板２６がカセット２３Ａ〜２３Ｃ内の収容位置Ｐ１から搬送位置Ｐ２に持ち上げ支持される。この状態で、ローダ６１により複数の薄板２５またはダミー薄板２６が上部両端にて把持されるとともに、下方よりローラコンベア４９等に案内支持されながらカセット２３Ａ〜２３Ｃのスリット３５を通してカセット２３Ａ〜２３Ｃ内に出し入れされるようになっている。
【００５１】
このため、複数の薄板２５やダミー薄板２６をスリット３５を介してカセット２３Ａ〜２３Ｃに対して同時に移載搬送することができて、その移し換え作業を短時間に能率良く行うことができる。また、薄板２５やダミー薄板２６をローラコンベア４９及び５１により下方から支持した状態で移載搬送することができて、それらが移載搬送の途中で落下破損するおそれを防止することができる。さらに、カセット２３Ａ〜２３Ｃ内に収容支持される薄板２５またはダミー薄板２６間に、ハンド部等を進退移動させるための広い間隔を確保する必要がなく、複数の薄板２５またはダミー薄板２６を接近状態で立設支持することができて、カセット２３Ａ〜２３Ｃ全体を小型にすることができる。しかも、薄板２５またはダミー薄板２６を搬送方向と直交する方向へ大きく移動させることなく、カセット２３Ａ〜２３Ｃ内に出し入れすることができて、移載搬送装置２１，２２として小型のものを使用することができる。
【００５２】
（２） この移載搬送装置２１，２２においては、搬入出用カセット２３Ａ、処理用カセット２３Ｂ及びダミー用カセット２３Ｃが並設されるとともに、ローラコンベア４９，５１，５５が各カセット２３Ａ〜２３Ｃに対応して配設されている。また、ローダ６１がカセット２３Ａ〜２３Ｃの並設方向に沿って、各カセット２３Ａ〜２３Ｃと対応する位置に移動されるようになっている。このため、ローダ６１を用いて、複数の薄板２５あるいはダミー薄板２６をカセット２３Ａ〜２３Ｃ間において、容易かつ能率的に移載搬送することができる。
【００５３】
（３） この移載搬送装置２１，２２においては、搬入出用カセット２３Ａから処理用カセット２３Ｂに複数の薄板２５が移載搬送された状態で、一部の薄板２５が欠損して歯抜け箇所が存在する場合には、その歯抜け箇所にダミー用カセット２３Ｃからダミー薄板２６が補充されるようになっている。このため、複数の薄板２５を処理用カセット２３Ｂに収容支持した状態で、それらの薄板２５に表面処理等を施す場合に、薄板２５の配列密度等の処理条件を一定に保つことができて、処理精度を向上させることができる。
【００５４】
（４） この移載搬送装置２１，２２に用いられるカセット２３Ａ〜２３Ｃにおいては、上面及び下面に開口部３１，３２を有する四角枠状に形成されている。両側壁２３ａの下部内面には支持部３３が突設され、それらの上面には複数の薄板２５またはダミー薄板２６を下部両端にて立設状態で支持するための複数の支持溝３４が形成されている。また、両側壁２３ａの上部には薄板２５またはダミー薄板２６を両側縁にて外側方から出し入れ可能に支持するための複数のスリット３５が、各支持溝３４に対応して形成されている。このため、カセット２３Ａ〜２３Ｃの構造が簡単であるとともに、そのカセット２３Ａ〜２３Ｃ内に複数の薄板２５またはダミー薄板２６を容易に出し入れすることができて、移載搬送装置２１，２２に用いるカセット２３Ａ〜２３Ｃとして有効である。
【００５５】
（５） このカセット２３Ａ〜２３Ｃにおいては、少なくともいずれか一方の側壁２３ａに形成されたスリット３５の下端部に、支持溝３４間で支持される薄板２５またはダミー薄板２６の位置を規制するための規制部３６が設けられている。このため、カセット２３Ａ〜２３Ｃ内の所定位置に複数の薄板２５またはダミー薄板２６を正確に位置規制して収容支持することができる。
【００５６】
（第２実施形態）
次に、この発明の第２実施形態を、前記第１実施形態と異なる部分を中心に説明する。
【００５７】
さて、この第２実施形態においては、図１２に示すように、ローダ本体６６の両側の薄板把持部材６９がそれぞれひとつの把持溝６９ａを有するように分割形成されている。そして、各薄板把持部材６９ごとに、図５に示す把持用シリンダ７１等の駆動機構が設けられ、各薄板把持部材６９はそれぞれ単独で回動できるようになっている。また、この実施形態では、前記第１実施形態におけるダミー把持部材７３が省略されている。
【００５８】
さらに、この実施形態では、前記第１実施形態における処理用カセット２３Ｂ及びダミー用カセット２３Ｃの移動用モータ４３等の移動構成が省略され、それらのカセット２３Ｂ，２３Ｃを支持する第２及び第３支持枠４０，４５がフレーム３８上に固定配置されている。同様にして、第２及び３ローラコンベア５１，５５の移動用モータ５７等の移動構成も省略され、それらの昇降用シリンダ５２，５６がフレーム３８内に固定配置されている。
【００５９】
そして、搬入出用カセット２３Ａから処理用カセット２３Ｂに複数の薄板２５を移載搬送する場合には、複数対の薄板把持部材６９が把持位置に同時に回動されて、各薄板２５の上部両端が把持される。これに対して、ダミー用カセット２３Ｃから処理用カセット２３Ｂにダミー薄板２６を移載搬送する場合には、処理用カセット２３Ｂ内の歯抜け箇所に対応する薄板把持部材６９のみが把持位置に回動されて、ダミー薄板２６の上部両端が把持されるようになっている。
【００６０】
従って、この第２実施形態によれば、前記第１実施形態における（１）〜（５）に記載の効果に加えて、次のような効果を得ることができる。
（６） この移載搬送装置２１，２２においては、処理用カセット２３Ｂ、ダミー用カセット２３Ｃ、第２ローラコンベア５１及び第３ローラコンベア５５の移動構成を省略することができて、装置の構成を簡略化することができる。また、処理用カセット２３Ｂ内に複数の歯抜け箇所が存在する場合、それらの歯抜け箇所に複数のダミー薄板２６を同時に移載搬送することができて、作業時間を一層短縮することができる。
【００６１】
（変更例）
なお、この実施形態は、次のように変更して具体化することも可能である。
・ 前記第１実施形態において、ローダ本体６６にダミー把持部材７３と対応して１つのセンサ７２を設け、処理用カセット２３Ｂを薄板２５の配列方向に１ピッチずつ移動させながら、このセンサ７２により歯抜け箇所を検出するように構成すること。このように構成した場合には、センサ７２のを１個設ければよく、構成が簡単になる。
【００６２】
・ 前記第１実施形態において、ダミー用カセット２３Ｃとして、他のカセット２３Ａ，２３Ｂにおける薄板２５の収容枚数とは異なったダミー薄板２６の収容枚数を有するカセットを使用すること。
【００６３】
・ 前記各実施形態において、図１に示すように、搬入側の移載搬送装置２１と搬出側の移載搬送装置２２との間で、ダミー用カセット２３Ｃと対応する位置にダミー交換用コンベア７４を延長配置すること。このように構成すれば、搬入側の移載搬送装置２１上で空になったダミー用カセット２３Ｃと、搬出側の移載搬送装置２２上でダミー薄板２６を収容支持しているダミー用カセット２３Ｃとを、ダミー交換用コンベア７４にて容易に交換することができる。
【００６４】
【発明の効果】
以上、詳述したように、この発明においては、複数の薄板をカセットに対して短時間に能率良く移載搬送することができるとともに、その移載搬送の途中で薄板が落下破損するおそれを防止することができる効果がある。また、この発明においては、カセット内に収容支持される薄板間に広い間隔を確保する必要がなく、カセット全体を小型にすることができる効果がある。さらに、この発明においては、薄板の移載搬送装置を小型化できる効果も発揮する。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１実施形態の薄板の移載搬送装置を装備した処理システムを示す平面図。
【図２】図１の薄板の移載搬送装置を拡大して示す斜視図。
【図３】図２の移載搬送装置の要部正断面図。
【図４】図２の移載搬送装置の要部拡大側面図。
【図５】図２の移載搬送装置のローダを拡大して示す部分正断面図。
【図６】図２の移載搬送装置における搬入出用カセットの拡大斜視図。
【図７】図６の搬入出用カセットの平面図。
【図８】図７の８−８線における部分断面図。
【図９】図２の移載搬送装置における処理用カセットの部分断面図。
【図１０】図２の移載搬送装置におけるダミー用カセットの部分断面図。
【図１１】ローラコンベアの一部を示す正面図。
【図１２】第２実施形態の薄板の移載搬送装置を示す斜視図。
【図１３】従来の薄板の移載搬送装置を示す斜視図。
【符号の説明】
２１…搬入側の移載搬送装置、２２…搬出側の移載搬送装置、２３Ａ…搬入出用カセット、２３Ｂ…処理用カセット、２３Ｃ…ダミー用カセット、２３ａ…側壁、２５…薄板、２６…ダミー、２７…表面処理装置、３１…上面開口部、３２…下面開口部、３３…支持部、３４…支持溝、３５…スリット、３６…規制部、３８…フレーム、４９…第１ローラコンベア、５０…昇降用モータ、５１…第２ローラコンベア、５２…昇降用モータ、５５…第３ローラコンベア、５６…昇降用モータ、６１…ローダ、６６…ローダ本体、６９…薄板把持部材、７２…センサ、７３…ダミー把持部材。[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a thin plate transfer / transport apparatus for transferring a thin plate such as a glass substrate when performing surface treatment or the like, a cassette used in the thin plate transfer / transfer method, and a thin plate transfer / transport method.
[0002]
[Prior art]
2. Description of the Related Art As a conventional thin plate transfer / conveyance apparatus of this type, for example, one having a configuration disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-270528 is known. In this conventional apparatus, as shown in FIG. 13, a pair of square frame-shaped cassettes 81 are juxtaposed, and an opening 81a for inserting and removing a thin plate 82 is formed on one side thereof. A rack-shaped upper positioning part 83 is formed on the upper inner surface of the opening 81a and the inner part of the cassette 81, and a serrated lower positioning part 84 is formed on the lower inner surface. The upper and lower positioning portions 83 and 84 allow the plurality of thin plates 82 to be stored and supported in the cassette 81 in a standing state at predetermined intervals so as to be able to be taken in and out of the side opening 81a.
[0003]
On the side of the cassette 81 on the opening 81a side, a robot main body 85 is mounted so as to be movable in the direction in which the cassettes 81 are arranged. In the robot body 85, a hand unit 86 is provided so as to be able to move up and down, to be able to turn, and to be able to advance and retreat from the opening 81a in the cassette 81, and a plurality of suction holes 87 are provided on the side surface thereof. Then, the thin plates 82 are sucked one by one by the hand unit 86, and are transferred and conveyed from one cassette 81 to the other cassette 81.
[0004]
That is, the hand portion 86 is moved into the one cassette 81 through the opening portion 81a and is disposed close to the side surface of one thin plate 82. In this state, the thin plate 82 is moved by the suction air from the suction hole 87. 86 holds by suction. Subsequently, the hand portion 86 is slightly raised, and is withdrawn from the opening portion 81a of the cassette 81, so that one thin plate 82 is taken out of the cassette 81. Thereafter, the entire robot body 85 is moved in the direction in which the cassettes 81 are juxtaposed, and the hand unit 86 is arranged to face the other cassette 81. In this state, the hand unit 86 is moved in and out of the cassette 81, 82 is delivered to the cassette 81.
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
However, in this conventional thin plate transfer and transfer apparatus, as described above, the thin plate 82 in the standing state is suction-held by the hand unit 86 from the side and transferred and transferred one by one between the cassettes 81. It has become. For this reason, there is a problem that it takes time to transfer and transport the plurality of thin plates 82, the work efficiency is poor, and there is a possibility that the thin plates may be dropped and damaged in the middle of the transfer and transport due to occurrence of abnormal suction or the like.
[0006]
Further, it is necessary to secure a wide space between the thin plates 82 accommodated and supported in the cassette 81 to allow the hand unit 86 to move forward and backward, so that there is a problem that the entire cassette 81 becomes large. Furthermore, in order to put the thin plate 82 in and out of the opening 81a on the side surface of the cassette 81, it is necessary to secure a large moving distance of the hand unit 86, and there is a problem that the transfer / transporting device becomes large.
[0007]
The present invention has been made by paying attention to the problems existing in such a conventional technique. Its main purpose is to transfer thin sheets efficiently to a cassette in a short time, and to prevent the thin sheets from being dropped and damaged during the transfer and transfer. An object of the present invention is to provide a transfer device, a cassette used for the transfer device, and a method of transferring and transferring a thin plate.
[0008]
Another object of the present invention is to provide a thin plate transfer / transport device which does not require a wide space between thin plates accommodated and supported in the cassette and can reduce the size of the entire cassette, It is an object of the present invention to provide a method of transferring a thin plate. Further, another object of the present invention is to provide a thin plate transfer / transport apparatus which can be put in and taken out of a cassette without greatly moving the thin plate in a direction perpendicular to the transport direction, and which can be downsized. It is an object of the present invention to provide a method for transferring and transferring a cassette and a thin plate.
[0009]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, an invention according to a thin plate transfer / transport apparatus according to claim 1 has openings on the upper surface and the lower surface, and a plurality of slits communicating with the openings on the upper surface are substantially equal. At least one pair of cassettes having a gap and having a support groove corresponding to the lower part of each slit, and accommodating and supporting a plurality of thin plates in an upright state in each support groove, and respectively disposed to be able to move up and down below each cassette And a conveyor which rises into the cassettes from the lower opening of each cassette and simultaneously lifts a plurality of thin plates or selectively lifts one thin plate from the accommodation position in each cassette to the transfer position, and A gripping member that is disposed movably in the direction of extension of the thin plate above each of the cassettes arranged so that the slits face each other, and that grips upper ends of the thin plate lifted and supported at the transport position. A loader for simultaneously gripping a plurality of thin plates or selectively holding one thin plate, and guiding the thin plates on a conveyor between cassettes to put in and out through slits facing each other. It is a feature.
[0010]
Therefore, according to the first aspect of the present invention, a plurality of thin plates can be simultaneously transferred and conveyed to the cassette through the slit, and the transfer operation can be efficiently performed in a short time. . Further, the thin plate can be transferred and conveyed while being supported from below by the conveyor, so that the thin plate can be prevented from being dropped and damaged during the transfer and conveyance. Further, there is no need to secure a wide space between the thin plates accommodated and supported in the cassette for moving the hand unit and the like forward and backward, and a plurality of thin plates can be erected and supported in a close state, and the entire cassette can be supported. It can be small. Moreover, the thin plate can be put in and taken out of the cassette without greatly moving the thin plate in a direction orthogonal to the transfer direction, and a small transfer transfer device can be used. According to the first aspect of the present invention, a plurality of thin plates can be easily and efficiently transferred and conveyed between a plurality of cassettes by a loader.
[0011]
According to a second aspect of the present invention, the cassette is formed in a rectangular frame shape having openings on the upper surface and the lower surface, and a plurality of thin plates are supported on the lower inner surface of both side walls at both lower ends in an upright state. A plurality of slits for projecting a support portion having a plurality of support grooves and forming a plurality of slits at the upper portions of both side walls for supporting the thin plate so that the thin plate can be taken in and out from the outside at both side edges, corresponding to each support groove. It is characterized by the following.
[0012]
Therefore, according to the second aspect of the present invention, the structure of the cassette is simple, and a plurality of thin plates can be easily taken in and out of the cassette. It is valid.
[0013]
According to a third aspect of the present invention, in the second aspect of the present invention, the lower end of the slit formed on at least one of the side walls is provided for regulating the position of the thin plate supported between the support grooves. It is characterized in that a regulating section is provided.
[0014]
Therefore, according to the third aspect of the present invention, a plurality of thin plates can be accurately stored at a predetermined position in the cassette and stored and supported.
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a thin plate transfer / conveying method, wherein a plurality of thin plates are erected inside at least a pair of cassettes having openings on the upper surface and the lower surface and having a plurality of slits on upper portions on both sides. The conveyor is lifted into the cassette from the lower opening of the cassette, and a plurality of thin plates or one selected thin plate is lifted from the storage position in the cassette to the transfer position and supported. Thus, a plurality of thin plates or one selected thin plate is gripped at both upper ends, and the cassettes are taken in and out of the cassette through slits facing each other while being supported on a conveyor between the cassettes.
[0015]
Therefore, according to the invention described in claim 4, the same operation as the operation described in claim 1 can be obtained.
[0016]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
(1st Embodiment)
Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
[0017]
FIG. 1 shows a plan view of a sheet processing system. In this processing system, the transfer-side transfer device 21 on the loading side and the transfer-side transfer device 22 on the discharge side are arranged at predetermined intervals and in parallel with each other. The cassette 23A for loading and unloading, the cassette 23B for processing, and the cassette 23C for dummy are arranged side by side along the transport direction. A loading conveyor 24 is connected and arranged on the side of the loading-side transfer / transportation device 21. The loading / unloading cassette 23A stores and supports a plurality of thin plates 25 such as glass substrates in an upright state by the loading conveyor 24. Is carried into the transfer / conveyance device 21 on the carry-in side.
[0018]
Then, the plurality of thin plates 25 are simultaneously transferred and transferred from the transfer cassette 23A to the processing cassette 23B by the transfer transfer device 21 on the transfer side. In the state where the transfer of the plurality of thin plates 25 has been completed, if some of the thin plates 25 are missing and there is a missing portion in the processing cassette 23B, the dummy cassette 23C is located in the missing portion. , The dummy thin plate 26 is replenished. A plurality of dummy thin plates 26 of the same size, thickness and material as the thin plate 25 are stored and supported in advance in the dummy cassette 23C on the transfer / transfer device 21 on the loading side. This dummy thin plate 26 is repeatedly used, as will be apparent from the following description.
[0019]
A surface treatment device 27 is extended between the two transfer / transport devices 21 and 22 at a position corresponding to the processing cassette 23B. The plurality of thin plates 25 transferred in the processing cassette 23B in the transfer-side transfer device 21 on the loading side are moved together with the processing cassette 23B in the surface treatment device 27 to the transfer-side transfer device 22 on the discharge side. By being moved, each thin plate 25 is subjected to a predetermined surface treatment.
[0020]
An empty cassette conveyor 28 is extended between the two transfer / transport devices 21 and 22 at a position corresponding to the loading / unloading cassette 23A. Then, in the transfer-side transfer device 21 on the transfer-in side, the transfer-in / load-out transfer device 23A on the transfer-out side via the empty cassette conveyor 28 becomes empty after the transfer of the plurality of thin plates 25 has been completed. 22.
[0021]
If the dummy thin plate 26 is present in the processing cassette 23B after the surface treatment of the thin plate 25 by the surface treatment device 27, the dummy thin plate 26 is processed by the transfer / conveyance device 22 on the unloading side. From the cassette 23B to the dummy cassette 23C. Further, the plurality of thin plates 25 having been subjected to the surface treatment are simultaneously transferred and transferred from the processing cassette 23B to the transfer-in / load-out cassette 23A by the transfer-side transfer device 22 on the transfer-out side.
[0022]
An unloading conveyor 29 is connected and arranged on the side of the unloading-side transfer and transfer device 22, and the unloading conveyor 29 causes the unloading / unloading cassette 23A that stores and supports the plurality of surface-treated thin plates 25 to be unloaded. Is carried out from above the transfer / transportation device 22. Further, in the transfer / conveyance device 22 on the unloading side, the processing cassette 23B that has been emptied after the transfer of the plurality of thin plates 25 and the dummy thin plates 26 has been completed is moved to a position corresponding to the empty cassette conveyor 28, From there, it is transferred to the transfer / transfer device 21 on the loading side via the empty cassette conveyor 28. Then, the processing cassette 23B is moved to a position corresponding to the surface processing device 27. Further, when the dummy cassette 23C on the transfer side transfer apparatus 21 on the loading side is empty, the dummy thin plate 26 which accommodates and supports the dummy thin plate 26 on the transfer side transfer apparatus 22 on the discharge side by manual transfer of the operator. The cassette 23C is replaced with a cassette 23C.
[0023]
Next, the loading / unloading cassette 23A, the processing cassette 23B, and the dummy cassette 23C will be described. Note that these cassettes 23A to 23C are formed to have substantially the same structure and the same dimensions, and have only partially different structures. First, the loading / unloading cassette 23A will be described, and the other cassettes 23B will be described. , 23C, only different portions will be additionally described.
[0024]
As shown in FIGS. 6 to 8, the loading / unloading cassette 23 </ b> A is formed in a square frame shape having openings 31 and 32 on the upper and lower surfaces. Support portions 33 project from lower inner surfaces of both side walls 23a of the cassette 23A, and a plurality of support grooves 34 are formed on the upper surfaces of both support portions 33 at predetermined regular intervals. A plurality of slits 35 are formed at upper ends of both side walls 23a corresponding to the respective support grooves 34 at lower ends thereof so as to communicate with the upper surface opening 31 of the cassette 23A. A guide surface 35a is formed. Then, the plurality of thin plates 25 are inserted and supported between the support grooves 34 of the both support portions 33 at both lower ends in a standing state at predetermined intervals, and can be put in and out of the slit 35 from both sides at both side edges. It is designed to be inserted and supported.
[0025]
At the lower end of each slit 35 arranged on the left side wall 23a of the loading / unloading cassette 23A, a regulating portion 36 of a predetermined height is integrally formed so as to cover the outer surface thereof. When the thin plate 25 is supported between the support grooves 34 of the two support portions 33, the longitudinally accommodated position of the thin plate 25 is regulated by engagement with the restricting portion 36.
[0026]
As shown in FIG. 9, in the processing cassette 23B, unlike the loading / unloading cassette 23A, the regulating portions 36 are formed at the lower ends of the slits 35 arranged on the left and right side walls 23a of the cassette 23B. ing. As shown in FIG. 10, in the dummy cassette 23C, unlike the loading / unloading cassette 23A, the restricting portion 36 is formed at the lower end of each slit 35 arranged on the right side wall 23a of the cassette 23C. I have.
[0027]
Next, the transfer / conveyance devices 21 and 22 on the carry-in and carry-out sides will be described in detail. Since the transfer / transport devices 21 and 22 have the same configuration, the transfer / transport device 21 on the loading side will be described here, and the description of the transfer / transport device 22 on the output side will be omitted.
[0028]
As shown in FIGS. 2 and 3, a first support frame 39 for supporting the loading / unloading cassette 23 </ b> A at a predetermined position is disposed on the right upper surface of the frame 38 of the transfer / transport device 22. At the center of the frame 38, the cassettes 23A to 23C are juxtaposed via a pair of rails 42 in a state in which a second support frame 40 for supporting the processing cassette 23B at a predetermined position is mounted on the moving table 41. It is arranged so as to be movable in a direction perpendicular to the direction. Then, when the second support frame 40 is moved by the movement motor 43 via the ball screw 44, the processing cassette 23B supported on the second support frame 40 is moved in the direction in which the thin plates 25 are arranged. Has become.
[0029]
On the upper surface on the left side of the frame 38, a third support frame 45 for supporting the dummy cassette 23C at a predetermined position is movable via a pair of rails 46 in a direction orthogonal to the direction in which the cassettes 23A to 23C are arranged. Are located in Then, when the third support frame 45 is moved by the movement motor 47 via the ball screw 48, the dummy cassette 23C supported on the third support frame 45 is moved in the arrangement direction of the dummy thin plates 26. It has become.
[0030]
A first roller conveyor 49 is arranged on the frame 38 so as to be able to move up and down by a lifting cylinder 50 so as to be located below the loading / unloading cassette 23A and between the loading / unloading cassette 23A and the processing cassette 23B. Has been established. The first roller conveyor 49 is provided with a plurality of rows of roller groups 49a so as to correspond to the plurality of thin plates 25 accommodated and supported in the loading / unloading cassette 23A on the first support frame 39, respectively. . When the first roller conveyor 49 is lifted by the elevating cylinder 50, a part of the roller conveyor 49 is moved from the lower opening 32 of the loading / unloading cassette 23A into the cassette 23A as shown by a chain line in FIG. enter in. As a result, the plurality of thin plates 25 in the loading / unloading cassette 23A are raised from the lower storage position P1 shown by the solid line in the same figure, beyond the restricting portion 36 in the cassette 23A, and moved to the upper transfer position P2 shown by the chain line. It is designed to be lifted and supported.
[0031]
A second roller conveyor 51 is provided on the movable table 41 so as to be able to move up and down by a lifting cylinder 52 so as to be located below the processing cassette 23B. The second roller conveyor 51 is provided with a plurality of rows of roller groups 51a so as to correspond to the plurality of thin plates 25 accommodated and supported in the processing cassette 23B, respectively. The second roller conveyor 51 is raised by the lifting cylinder 52 in synchronization with the raising of the first roller conveyor 49, and is inserted into the cassette 23B from the lower opening 32 of the processing cassette 23B. ing.
[0032]
Below the dummy cassette 23C, a moving plate 53 is disposed on the frame 38 via a pair of rails 54 so as to be movable in a direction orthogonal to the direction in which the cassettes 23A to 23C are arranged. A third roller conveyor 55 is supported on the moving plate 53 by a lifting cylinder 56 so as to be able to move up and down so as to be located below the dummy cassette 23C and between the dummy cassette 23C and the processing cassette 23B. I have. The third roller conveyor 55 is provided with a row of roller groups 55a so as to correspond to any one of the plurality of dummy thin plates 26 accommodated and supported in the dummy cassette 23C. ing.
[0033]
When the dummy thin plate 26 is replenished from the dummy cassette 23C to the processing cassette 23B, the moving plate 53 is moved by the moving motor 57 via the ball screw 58, and the third roller conveyor 55 is moved to a predetermined position. You. In this state, the third roller conveyor 55 is lifted by the lifting cylinder 56, and a part of the roller conveyor 55 enters the cassette 23C from the lower opening 32 of the dummy cassette 23C as shown by a chain line in FIG. I do. Thereby, one dummy thin plate 26 in the dummy cassette 23C is lifted from the lower accommodation position P1 shown by the solid line in the same figure, beyond the restricting portion 36 in the cassette 23C, and the upper transport position P2 shown by the chain line. It is designed to be lifted and supported.
[0034]
As shown in FIG. 11, each of the rollers 49a, 51a, and 55a of the roller conveyors 49, 51, and 55a has an annular groove 37, and each of the rollers 49b, 51b, and 55b has an annular groove 37. The dummy thin plate 26 is supported.
[0035]
As shown in FIGS. 2 and 3, a column 60 is provided upright on the upper surface of the frame 38, and a loader 61 is provided on the front surface of the column 60 so as to be movable in the direction in which the cassettes 23A to 23C are arranged. I have. Then, as shown by the chain line in FIG. 3, the loaders 61 hold the thin plates 25 in the carry-in / carry-out cassette 23A at both upper ends while being lifted and supported at the transfer position P2. Thereafter, with the movement of the loader 61, the plurality of thin plates 25 are guided and supported from below by the first and second roller conveyors 49 and 51, and pass through the slits 35 from the loading / unloading cassette 23A to the processing cassette 23B. It is designed to be transferred and transported.
[0036]
Further, when there is a missing portion of the thin plate 25 missing in the processing cassette 23B, the loader 61 moves one dummy thin plate 26 in the dummy cassette 23C to the transport position in substantially the same manner as described above. While being lifted and supported by P2, it is gripped at both upper ends. Thereafter, with the movement of the loader 61, the dummy thin plate 26 is transferred from the dummy cassette 23C to the processing cassette 23B through the slits 35 while being guided and supported by the third and second roller conveyors 55 and 51 from below. It is designed to be transported.
[0037]
Therefore, the configuration of the loader 61 will be described in detail. A moving body 62 is movably supported on a front surface of the column 60 via a pair of guide rails 63, and is moved to a corresponding position above each of the cassettes 23A to 23C by a moving motor 64 via a ball screw 65. It has become. A loader main body 66 is supported on the movable body 62 via a guide rail or the like (not shown) so as to be able to move up and down, and is moved upward and downward from the cassettes 23A to 23C via a ball screw 68 by an elevating motor 67. It is designed to be raised and lowered.
[0038]
As shown in FIGS. 2 to 5, a pair of thin plate gripping members 69 are rotatably supported on both sides of the rear portion of the loader main body 66 via a support shaft 70, and a plurality of thin plates 25 are provided on their opposing surfaces. A plurality of holding grooves 69a for holding at the same time are formed. The holding grooves 69a are arranged at the same pitch as the arrangement pitch of the slits 35 of the cassettes 23A to 23C. The loader body 66 is provided with a pair of gripping cylinders 71, which allow the thin plate gripping member 69 to move to the side retracted position shown by the chain line in FIG. 5 and the lower gripping position shown by the solid line in FIG. And it is designed to be rotated.
[0039]
Then, at the holding position of the thin plate holding member 69, the loader main body 66 is lowered from the upper position to the lower position, and the first roller conveyor 49 moves the plurality of thin plates 25 in the loading / unloading cassette 23A from the storage position P1. It is raised to the transport position P2. Thereby, both upper ends of the plurality of thin plates 25 are gripped between the holding grooves 69 a of both thin plate holding members 69. In this state, by moving the loader main body 66, the plurality of thin plates 25 are simultaneously transferred and conveyed from the loading / unloading cassette 23A to the processing cassette 23B. Thereafter, the loader body 66 is raised from the lower position to the upper position, and the thin plate holding member 69 is rotated from the holding position to the retracted position. At the same time, the plurality of thin plates 25 are lowered from the transport position P2 to the storage position P1 by the second roller conveyor 51, and are stored and supported in the processing cassette 23B.
[0040]
As shown in FIG. 5, a plurality of sensors 72 are provided in the loader main body 66 so as to correspond to the respective holding grooves 69a of the thin plate holding member 69. When the transfer of the plurality of thin plates 25 to the processing cassette 23B is completed, the sensors 72 determine whether the thin plate 25 is missing in the processing cassette 23B and a missing portion exists. Is detected.
[0041]
As shown in FIGS. 2 and 4, a pair of dummy gripping members 73 are rotatably supported on both front sides of the loader main body 66, and a pair of dummy thin plates 26 are gripped on their opposing surfaces. Is formed. Also, in the same manner as the thin plate gripping member 69, the dummy gripping member 73 is configured to be rotated between a retracted position and a gripping position by a pair of gripping cylinders (not shown).
[0042]
When the missing portion of the thin plate 25 is detected by the sensor 72, the processing cassette 23B and the dummy cassette 23C are moved by the moving motors 43 and 47, and the missing portion is held by the dummy. It is arranged corresponding to the member 73. Further, the third roller conveyor 55 is moved by the movement motor 57 and is arranged corresponding to the tooth missing portion. Further, the loader main body 66 is moved to a position corresponding to the dummy cassette 23C. In this state, the dummy gripping member 73 is rotated to the gripping position, and the loader main body 66 is lowered to the lower position. At the same time, one dummy thin plate 26 in the dummy cassette 23C is raised to the transport position P2 by the third roller conveyor 55, and both upper ends of the dummy thin plate 26 are located between the holding grooves 73a of the two dummy holding members 73. Is held.
[0043]
Thereafter, by moving the loader main body 66, the dummy thin plate 26 is transferred and transported from the dummy cassette 23C to the processing cassette 23B. Further, the loader body 66 is raised to the upper position, and the dummy gripping member 73 is rotated to the retracted position. At the same time, the dummy thin plate 26 is lowered by the second roller conveyor 51 to the accommodation position P1, and is accommodated and supported at the toothless portion in the processing cassette 23B.
[0044]
In the system configured as described above, the predetermined number of thin plates 25 are loaded into the loading-side transfer transport device 21 via the loading conveyor 24 while being accommodated in the loading / unloading cassette 23A, and are loaded into the empty cassette. It is set on a first support frame 39 corresponding to the conveyor 28. In this state, the loader 61 located above the first support frame 39 is lowered, and thereafter, the first roller conveyor 49 and the second roller conveyor 51 are raised by the lifting cylinder 50 and the lifting cylinder 52 to carry in and out. The thin plate 25 in the cassette 23A is moved up from the accommodation position P1 to the transport position P2. Therefore, the lower end of the thin plate 25 in the loading / unloading cassette 23A is located higher than the regulating portion 36 of the cassette 23A and the regulating portion 36 of the processing cassette 23B. In this state, the thin plates 25 are simultaneously gripped by the thin plate holding members 69 of the loader 61 at both upper ends thereof, that is, on both shoulders.
[0045]
Then, the loader 61 moves to the second support frame 40 supporting the processing cassette 23B by the rotation of the ball screw 65. At this time, the moving table 41 is at a predetermined position for transfer, and the processing cassette 23B on the second support frame 40 is positioned such that its slit 35 and the slit 35 of the loading / unloading cassette 23A face each other. It is in the aligned state. Therefore, the thin plate 25 is guided by the roller group 49a of the first roller conveyor 49 and the roller group 51a of the second roller conveyor 51, and moves from the loading / unloading cassette 23A into the processing cassette 23B through both slits 35. Is done. In this state, the thin plate holding member 69 of the loader 61 releases the holding of the thin plate 25, the loader 61 retreats upward, and the first roller conveyor 49 and the second roller conveyor 51 descend. Therefore, each thin plate 25 is seated in the support groove 34 of the processing cassette 23B in an upright state, and the transfer of the thin plate 25 from the loading / unloading cassette 23A to the processing cassette 23B is completed. After the transfer is completed, the empty loading / unloading cassette 23A is transferred to the unloading-side transfer / transport device 22 via the empty cassette conveyor 28, where it enters a standby state.
[0046]
At the time of the above-described conveyance by the loader 61, the presence or absence of missing teeth of the thin plate 25 is determined by the sensor 72 on the loader 61. If the missing tooth has occurred, after the transfer is completed, the same process is performed by the moving motor 43 so that the missing tooth position of the processing cassette 23B corresponds to the position of the dummy gripping member 73 of the loader 61. Cassette 23B is moved along the rail 42. At the same time, the dummy cassette 23C is moved by the movement motor 57 so that the appropriate dummy thin plate 26 in the dummy cassette 23C corresponds to the position of the dummy gripping member 73 of the loader 61. In this way, the dummy thin plate 26 is located above the third roller conveyor 55 arranged corresponding to the dummy gripping member 73. Then, the loader 61 is lowered, the third roller conveyor 55 is raised by the lifting / lowering cylinder 56, and the dummy thin plate 26 is raised to a position beyond the regulating portion 36 of the dummy cassette 23C. Both ends of the upper portion of the raised dummy thin plate 26 are gripped.
[0047]
Then, in the same manner as the transfer of the thin plate 25, the dummy thin plate 26 is held at the toothless position of the processing cassette 23B. By using the dummy thin plate 26 in this way, the thin plate 25 can be placed in the same environment with the gaps and the like on both sides of the thin plate 25 in the processing cassette 23B always kept at the same interval. Then, in this state, if the processing cassette 23B is passed through the surface processing device 27 to perform the surface processing on the thin plates 25, the thin plates 25 are placed under the same environment. And uniform surface treatment.
[0048]
In this way, the processing cassette 23B that has passed through the inside of the surface treatment device 27 is moved into the unloading-side transfer / conveyance device 22. Then, the dummy thin plate 26 in the processing cassette 23B is removed from the processing cassette 23B by the loader 61 or the like in the reverse order of the case in the loading-side transfer / transportation device 21 and the dummy cassette 23C in the unloading-side transfer / transportation device 22. Will be transferred to Thereafter, the thin plate 25 is transferred from the processing cassette 23B to the standby loading / unloading cassette 23A by a reverse operation of the transfer of the thin plate 25 in the loading-side transfer / transport device 21.
[0049]
The carry-in / carry-out cassette 23A containing the thin plate 25 is sent from the carry-out side transfer / conveying device 22 to the next step via the carry-out conveyor 29. The empty processing cassette 23B is sent to the second support frame 40 of the loading-side transfer / transportation device 21 via the empty cassette conveyor 28 at a timing that does not interfere with the loading / unloading cassette 23A. , Surface treatment device 27. Further, when the number of the dummy thin plates 26 in the dummy cassette 23C in the unloading side transfer / conveyance device 22 becomes a certain amount or more, or the number of the dummy thin plates 26 in the dummy cassette 23C in the carry-in side transfer / conveyance device 21 Is smaller than a predetermined amount, the dummy cassettes 23C are replaced with each other.
[0050]
Therefore, according to this embodiment, the following effects can be obtained.
(1) In the transfer / transport devices 21 and 22, a plurality of thin plates 25 or 23 are provided inside cassettes 23 </ b> A to 23 </ b> C having openings 31 and 32 on the upper and lower surfaces and having a plurality of slits 35 on both sides. The dummy thin plate 26 is accommodated and supported in an upright state. Roller conveyors 49, 51, and 55 rise into the cassettes 23A to 23C from the lower openings 32 of the cassettes 23A to 23C, and the plurality of thin plates 25 or dummy thin plates 26 are moved from the accommodation position P1 in the cassettes 23A to 23C to the transfer position. It is lifted and supported by P2. In this state, the plurality of thin plates 25 or dummy thin plates 26 are gripped at both upper ends by the loader 61, and guided into the cassettes 23A to 23C through the slits 35 of the cassettes 23A to 23C while being guided and supported by the roller conveyor 49 and the like from below. It is designed to be put in and out.
[0051]
Therefore, a plurality of thin plates 25 and dummy thin plates 26 can be simultaneously transferred and transferred to the cassettes 23A to 23C via the slits 35, and the transfer operation can be performed efficiently in a short time. Further, the thin plate 25 and the dummy thin plate 26 can be transferred and conveyed while being supported from below by the roller conveyors 49 and 51, and it is possible to prevent them from being dropped and damaged during the transfer and conveyance. Furthermore, there is no need to secure a wide space between the thin plates 25 or the dummy thin plates 26 accommodated and supported in the cassettes 23A to 23C for moving the hand unit or the like forward and backward. And the entire cassettes 23A to 23C can be reduced in size. In addition, the thin plate 25 or the dummy thin plate 26 can be taken in and out of the cassettes 23A to 23C without largely moving in the direction orthogonal to the transfer direction, and small transfer and transfer devices 21 and 22 can be used. Can be.
[0052]
(2) In the transfer / conveyance devices 21 and 22, the loading / unloading cassette 23A, the processing cassette 23B and the dummy cassette 23C are arranged side by side, and the roller conveyors 49, 51 and 55 are attached to the respective cassettes 23A to 23C. It is arranged correspondingly. Further, the loader 61 is moved to a position corresponding to each of the cassettes 23A to 23C along the direction in which the cassettes 23A to 23C are arranged. Therefore, a plurality of thin plates 25 or dummy thin plates 26 can be easily and efficiently transferred and conveyed between the cassettes 23A to 23C by using the loader 61.
[0053]
(3) In the transfer / conveyance devices 21 and 22, when a plurality of thin plates 25 are transferred / conveyed from the carry-in / carry-out cassette 23A to the processing cassette 23B, some of the thin plates 25 are lost and the missing portions are lost. Exists, the dummy thin plate 26 is replenished from the dummy cassette 23C to the missing portion. Therefore, when a plurality of thin plates 25 are accommodated and supported in the processing cassette 23B and the thin plates 25 are subjected to surface treatment or the like, processing conditions such as the array density of the thin plates 25 can be kept constant. Processing accuracy can be improved.
[0054]
(4) The cassettes 23A to 23C used for the transfer / transport devices 21 and 22 are formed in a square frame shape having openings 31 and 32 on the upper and lower surfaces. Supporting portions 33 project from lower inner surfaces of the side walls 23a, and a plurality of supporting grooves 34 for supporting the plurality of thin plates 25 or the dummy thin plates 26 at both lower ends thereof are formed on the upper surfaces thereof. ing. A plurality of slits 35 for supporting the thin plate 25 or the dummy thin plate 26 at both side edges so that the thin plate 25 or the dummy thin plate 26 can be taken in and out from the outside are formed in the upper portion of the both side walls 23a so as to correspond to the respective support grooves 34. For this reason, the cassettes 23A to 23C have a simple structure, and a plurality of thin plates 25 or dummy thin plates 26 can be easily taken in and out of the cassettes 23A to 23C. Effective as 23A to 23C.
[0055]
(5) In the cassettes 23A to 23C, the lower end of the slit 35 formed in at least one of the side walls 23a is used to regulate the position of the thin plate 25 or the dummy thin plate 26 supported between the support grooves 34. A regulating section 36 is provided. For this reason, the plurality of thin plates 25 or dummy thin plates 26 can be accurately positioned and accommodated and supported at predetermined positions in the cassettes 23A to 23C.
[0056]
(2nd Embodiment)
Next, a second embodiment of the present invention will be described focusing on parts different from the first embodiment.
[0057]
In the second embodiment, as shown in FIG. 12, the thin plate gripping members 69 on both sides of the loader main body 66 are formed so as to have one gripping groove 69a. Then, a driving mechanism such as a gripping cylinder 71 shown in FIG. 5 is provided for each thin plate gripping member 69, and each thin plate gripping member 69 can rotate independently. In this embodiment, the dummy gripping member 73 in the first embodiment is omitted.
[0058]
Furthermore, in this embodiment, the moving configuration of the moving motor 43 and the like for the processing cassette 23B and the dummy cassette 23C in the first embodiment is omitted, and the second and third supports for supporting those cassettes 23B and 23C are omitted. Frames 40 and 45 are fixedly arranged on the frame 38. Similarly, the moving configuration of the moving motors 57 and the like of the second and third roller conveyors 51 and 55 is also omitted, and the lifting cylinders 52 and 56 are fixedly arranged in the frame 38.
[0059]
When transferring a plurality of thin plates 25 from the loading / unloading cassette 23A to the processing cassette 23B, a plurality of pairs of thin plate gripping members 69 are simultaneously rotated to the gripping positions, and both upper ends of each thin plate 25 are moved. Be gripped. On the other hand, when the dummy thin plate 26 is transferred and transported from the dummy cassette 23C to the processing cassette 23B, only the thin plate gripping member 69 corresponding to the toothless portion in the processing cassette 23B rotates to the gripping position. Then, both upper ends of the dummy thin plate 26 are gripped.
[0060]
Therefore, according to the second embodiment, the following effects can be obtained in addition to the effects (1) to (5) of the first embodiment.
(6) In the transfer / conveyance devices 21 and 22, the moving configuration of the processing cassette 23B, the dummy cassette 23C, the second roller conveyor 51, and the third roller conveyor 55 can be omitted, and the configuration of the device is reduced. It can be simplified. Further, when there are a plurality of missing portions in the processing cassette 23B, a plurality of dummy thin plates 26 can be simultaneously transferred and conveyed to the missing portions, so that the operation time can be further reduced.
[0061]
(Example of change)
This embodiment can be embodied with the following changes.
In the first embodiment, the loader main body 66 is provided with one sensor 72 corresponding to the dummy gripping member 73, and the processing cassette 23B is moved by one pitch in the direction in which the thin plates 25 are arranged. Configure to detect missing parts. In the case of such a configuration, one sensor 72 may be provided, and the configuration is simplified.
[0062]
In the first embodiment, as the dummy cassette 23C, a cassette having a different number of thin sheets 26 than the number of thin sheets 25 in the other cassettes 23A and 23B is used.
[0063]
In each of the above embodiments, as shown in FIG. 1, the dummy replacement conveyor 74 is located between the transfer-side transfer device 21 on the loading side and the transfer-side transfer device 22 on the discharge side at a position corresponding to the dummy cassette 23C. To be extended. With this configuration, the dummy cassette 23C emptied on the transfer-side transfer device 21 on the loading side and the dummy cassette 23C holding and supporting the dummy thin plate 26 on the transfer-side transfer device 22 on the discharge side. Can be easily exchanged by the dummy exchange conveyor 74.
[0064]
【The invention's effect】
As described above in detail, according to the present invention, a plurality of thin plates can be efficiently transferred and transferred to the cassette in a short time, and the thin plates can be prevented from being dropped and damaged during the transfer and transfer. There is an effect that can be done. Further, according to the present invention, there is no need to secure a wide interval between the thin plates housed and supported in the cassette, and there is an effect that the entire cassette can be reduced in size. Further, in the present invention, the effect of reducing the size of the thin plate transfer / transport device is also exerted.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a plan view showing a processing system equipped with a thin plate transfer / transport device according to a first embodiment.
FIG. 2 is an enlarged perspective view showing the thin plate transfer / conveyance device of FIG. 1;
FIG. 3 is a front sectional view of a main part of the transfer / transport apparatus of FIG. 2;
FIG. 4 is an enlarged side view of a main part of the transfer / transport device of FIG. 2;
FIG. 5 is an enlarged partial front view showing a loader of the transfer / transport device of FIG. 2;
FIG. 6 is an enlarged perspective view of a loading / unloading cassette in the transfer / transport apparatus of FIG. 2;
FIG. 7 is a plan view of the loading / unloading cassette of FIG. 6;
FIG. 8 is a partial sectional view taken along line 8-8 in FIG. 7;
FIG. 9 is a partial cross-sectional view of a processing cassette in the transfer / transport apparatus of FIG. 2;
FIG. 10 is a partial cross-sectional view of a dummy cassette in the transfer / transport device of FIG. 2;
FIG. 11 is a front view showing a part of the roller conveyor.
FIG. 12 is a perspective view showing a thin plate transfer / conveyance device according to a second embodiment.
FIG. 13 is a perspective view showing a conventional thin plate transfer / transport apparatus.
[Explanation of symbols]
Reference numeral 21 denotes a loading / transporting device on the loading side, 22: a transporting / transporting device on the loading side, 23A: cassette for loading / unloading, 23B: cassette for processing, 23C: cassette for dummy, 23a: side wall, 25: thin plate, 26: dummy Reference numeral 27 27 Surface treatment device 31 Upper surface opening 32 Lower surface opening 33 Support part 34 Support groove 35 Slit 36 Control part 38 Frame 49 First roller conveyor 50 ... Lifting motor, 51 ... Second roller conveyor, 52 ... Lifting motor, 55 ... Third roller conveyor, 56 ... Lifting motor, 61 ... Loader, 66 ... Loader body, 69 ... Thin plate gripping member, 72 ... Sensor, 73 ... Dummy gripping member.
