JP2004017284A - 液体吐出機構 - Google Patents
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Abstract
【課題】水及び導電性液体が電極を劣化させることなく印字させることができる液体吐出機構及びその製造方法を提供する。
【解決手段】アクチュエータ隔壁の両側面に配置されたの第1の電極と前記隔壁の内部に配置された第2の電極を設け、前記第1の電極をGND、前記第2の電極を信号電極としてあることを特徴とする。
【選択図】 図1
【解決手段】アクチュエータ隔壁の両側面に配置されたの第1の電極と前記隔壁の内部に配置された第2の電極を設け、前記第1の電極をGND、前記第2の電極を信号電極としてあることを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧電セラミックスの隔壁により隔てられた互いに並行する複数のチャンネルを有し、前記チャンネルの隔壁に形成された信号電極への電圧印加の有無に応じて、前記隔壁を変形せしめ、その変形にともなって前記チャンネル内に充填されているインクをそのチャンネルに連通したノズルより選択的に突出せしめる液体吐出機構に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、液体吐出機構として、例えば特開昭63−252750号公報に開示のようにインク吐出原理として圧電素子のせん断モード変形を利用したインクジェット記録装置が考えられている。この構成は図10に示すように、大きく圧電セラミックスのアクチュエータ部材1とカバープレート3とノズルプレート2とプリント配線板7とから構成されている。そのアクチュエータ部材1には、ダイヤモンドプレード等により切削加工された複数のチャンネル10が形成されている。また、そのチャンネル10間の隔壁12は溝深さ方向に分極処理を施されている。
【0003】
それらのチャンネル10は同じ深さであり、かつ平行で、チャンネル10の深さは、図11に示すようにアクチュエータ部材1の後端面13に近づくにつれて次第に浅くなっており、後端面13付近にはチャンネル浅溝14が形成されている。そして、各チャンネル10の両側面の上側半分には信号電極4が蒸着等によって形成されている。また、チャンネル浅溝14においても同様に側面及び底面に信号電極4が蒸着等によって形成されている。これによりチャンネル10の両側面に形成された信号電極4はチャンネル浅溝14の底面に形成された信号電極4によって電気的に接続されている。
【0004】
次に、カバープレート3は、セラミックス材料または樹脂材料等から形成されている。また、カバープレート3には、研削または切削加工等によって、インク供給口9及びマニホールド8が形成されている。そして、アクチュエータ部材1のチャンネル10の加工側面とカバープレート3のマニホールド8の加工側面とをエポキシ系接着剤15によって接着されている(図11)。このようにして、インクジェットヘッドにはチャンネル10の上面が覆われて横方向に同じ間隔を有する複数のインク流路としてのチャンネル10が構成される。
【0005】
図10に示すように、アクチュエータ部材1及びカバープレート3の端面に、各チャンネル10の位置に対応した位置にノズル5が位置するようにノズルプレート2が接着されている。このノズルプレート2はポリイミド等のプラスチックによって形成されている。そして、アクチュエータ部材1のチャンネル10と反対側の面には、プリント配線板7がエポキシ系接着剤等によって接着されている。そのプリント配線板7には各チャンネルの位置に対応した位置に導電性パターン11が形成されている。その導電性パターン11とチャンネル浅溝14の底面の信号電極4はボンディングワイヤ6で接続される。
【0006】
次に、図12を用いて隔壁12の動作を説明する。図12に2つの隔壁12に挟まれたチャンネル10cを示す。ここでは、隔壁12a、12bには下向きの分極16a、16bが設けられている。隣接チャンネル10a,10bの電極4aと4bをOFF電圧となるGNDに、吐出チャンネル10cの電極4cにON電圧となるVを印加すると、電極4a,4bと電極4cとの間に挟まれた圧電セラミックス部分に電界17a、17bが発生し、せん断力により吐出チャンネル10cの容積を収縮する方向へ隔壁12a、12bが変形する。このようにして、吐出チャンネル10cの内部に充填されているインクに正の圧力が加えられてノズルからインク吐出がおこなわれる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、以上のような従来の構成では、吐出チャンネルの電極に電圧を印加したとき、非吐出チャンネルの電極との間に電位差が発生しインクに電気が流れるため、水性インクなどの導電性インクを使用すると電気・化学的な反応により電極が劣化されて、前記隔壁の変形が十分に行われなくなり、印字品質が悪くなるという問題があった。
【0008】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、水及び導電性インクが電極を劣化させることなく印字させることができる液体吐出機構を提供するものである。
【0009】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために、本発明の液体吐出機構は、前記隔壁の両側面に第1の電極に配置し、隔壁内部に第2の電極を配置して、前記第1の電極をGNDとし、前記第2の電極をインク吐出用の信号電極として用いることを特徴とする。
【0010】
【発明の実施の形態】
本発明の請求項1に記載の液体吐出機構は、圧電セラミックスの隔壁により隔てられたチャンネルあるいは前記チャンネルが平行に複数配置されており、前記チャンネルの隔壁に形成された信号電極への電圧印加の有無に応じて、前記隔壁を変形せしめ、その変形にともなって前記チャンネル内に充填されている液体をそのチャンネルに連通したノズルにより選択的に吐出せしめ、前記隔壁の内部に電極が配置してあることを特徴とする液体吐出機構であり、隔壁内部に電極を配置することで水及び導電性液体で電極を劣化させることなく良好な印字を実現しうるものである。
【0011】
次に、本発明の請求項2に記載の液体吐出機構は、前記隔壁の両側面に配置された第1の電極と、前記隔壁の内部に配置された第2の電極とを設け、前記隔壁の圧電セラミックスの分極方向が前記第1の電極の一方から前記第1の電極の他方に向かう方向に配置されることを特徴とする請求項1に記載の液体吐出機構であり、前記隔壁内部の電極を用いて効率の良いバイモルフ変形を実現しうるものである。
【0012】
次に、本発明の請求項3に記載の液体吐出機構は、前記第1の電極を共通電極とし、前記第2の電極を各チャンネルの信号電極として構成したことを特徴とする請求項第2に記載の液体吐出機構であり、インクに接する第1の電極を全て同電位にすることでチャンネルの電極同士で電位が発生しなくなるため、水及び導電性インクにおいても電極の劣化が防止される。
【0013】
次に、本発明の請求項4に記載の液体吐出機構は、前記チャンネルを構成している圧電セラミック領域全面に前記第1の電極が形成してあることを特徴とする請求項第2に記載の液体吐出機構であり、圧電セラミック成分の鉛などの金属イオンが水及び導電性液体に溶出しインク物性に悪影響を与えることを防ぐものである。
【0014】
次に、本発明の請求項5に記載の液体吐出機構は、前記隔壁を構成する圧電セラミックス部材が積層セラミックスであることを特徴とする請求項第2に記載の液体吐出機構であり、内部電極を有する前記隔壁の形成を実現しうるものである。
【0015】
次に、本発明の請求項6に記載の液体吐出機構は、前記第2の電極の長さが隔壁の高さより短いことを特徴とした請求項第2に記載の液体吐出機構であり、前記隔壁を効率よく変形せしめるものである。
【0016】
(実施の形態1)
以下図1〜9を参照して本発明の実施例を説明する。なお、図10〜12で示した従来例と実質的に同一な構成部品には同一符号を付している。
【0017】
まず、図1を用いて請求項1、2、3、5及び本発明の液体吐出機構の構造と駆動原理を説明する。図1に2つの隔壁12a、12bに挟まれたチャンネル10cを示す。各隔壁12a、12bの分極16a、16bは、第1の電極18aから18cの方向に設けてある。隔壁12a,12bの表面には、吐出チャンネル10c側の第1の電極18cと隣接チャンネル10a,10b側の第1の電極18a,18bが設けられており、各々共通電極となってGNDに接地してある。一方、隔壁12a,12bの内部に信号電極として第2の電極19a,19bが設けられている。
【0018】
以上の構成で、第2の電極19a,19bに正の電圧Vが印加されると隔壁12a,12bの圧電セラミックスに電界17a、17b、17c、17dが発生する。第1の電極18a、18bと第2の電極19a,19bとの間の圧電セラミックスには分極16a,16bと電界17a、17dが各々対向するので、縦方向に収縮する。一方、第1の電極18cと第2の電極19a,19bとの間の圧電セラミックスには分極16a,16bと電界17b、17cが同方向となるので縦方向に伸びる。従って、隔壁12a,12bはバイモルフ型アクチュエータとなって、吐出チャンネル10cの容積を収縮する方向へ両隔壁12a,12bが変形する。このようにして、吐出チャンネル10cの内部に充填されているインクに正の圧力が加えられてノズルからインク吐出が行われる。
【0019】
上記構成によれば、信号電極はインクと接触しない隔壁内部に配置され、インクと接する隔壁表面の電極は、全てGNDの共通電極となっており、インクへの電位差が発生しないので、インクとの電気・化学的反応による電極劣化が発生しない。また、隔壁の分極を第1の電極の一方から第1の電極の他方に向かう方向にすることで第2の電極に電圧が印加された時に隔壁の半分は収縮動作をもう一方の半分は膨張動作が行われバイモルフ効果による変形を発生させることができる。
【0020】
なお、第2の電極19は、隔壁の長さより短くしてある。これは、隔壁の中心付近がバイモルフ効果によって変形するとき、その根元付近では中心付近と反対方向の変形になるためで変形効率を上げる効果がある。
つぎに、図2〜図9を用いて、請求項4、5及び本発明のインクジェットヘッドの製造方法を説明する。
【0021】
まず、図2に示す様に、圧電セラミック粉とバインダーを混練した材料から焼成後厚さ約160μmのグリーンシートからなるアクチュエータ部材1を形成する。
【0022】
次に、図3に示す様にNi等の導電性ペーストを印刷して長さ約190μmの第2の電極19を形成する。
【0023】
次に図4に示す様に各アクチュエータ部材1の導電性ペースト同士を精度良く位置合わせして加圧焼成処理し、第2の電極19a,19bを内臓する積層圧電セラミックを形成する。
【0024】
次に図5に示す様に第2の電極19の間の圧電セラミックスに幅約80μmで長さ約500μmのチャンネル10a,10b,10cを切削加工にて形成する。この様に積層圧電セラミックスを用いることで、容易に第2の電極19a,19bを内臓する隔壁12a,12bを製作できる。
【0025】
次に、第6図に示す様にチャンネル10a,10b,10c内部全面に無電解法などによりAu電極鍍金を施し第1の電極18a,18b,18cを形成する。電極をチャンネルの圧電セラミックス露出部分に被覆することによって、圧電材料に含まれる不安定なPbOからPbイオンが、水などの導電性インクに溶出することを防ぎ電極及びインクの劣化を防止する。
【0026】
次に図7に示す様にアクチュエータ部材1のチャンネル上端面にカバープレート3を、チャンネルの前面にノズルプレート2をノズル5がチャンネル10cの中心に位置するよう調整して接着する。
【0027】
次に図8に示す様に第1の電極18a、18b、18cを分極電源20に接続して約2kV/mmの分極電圧を印加し、隔壁12a,12bの分極処理を行う。第1の電極18a、18bを正の電圧にした場合、第1の電極18a,18bから第1の電極18cの方向に向かって分極17a17bが形成される。
【0028】
次に、図9に示す様に第1の電極18a、18b、18cをGNDへ、第2の電極19a,19bを信号電極電源21に接続する。
【0029】
以上の製造方法によれば、インクに接するチャンネルの電極同士で電位差を生ずることなく、隔壁内部の信号電極により隔壁を変形せしめ、電極の劣化なく導電性インクでの印字が実現できる。
【0030】
本実施例において、積層圧電セラミックスはグリーンシートによる焼成工法で形成したが、HIP処理して形成したバルクをスライス、研磨して圧電セラミックスの薄板を形成し、電極を印刷した後、接着剤による接合工法にて形成しても良い。
【0031】
【発明の効果】
以上のように本願発明によれば、信号電極を吐出する液体と接触しない隔壁内部に配置しており、前記液体と接する隔壁表面の電極は全て共通電極として接地しているため、前記液体への電位差が発生しない。従って、吐出する液体との電気・化学的反応による信号電極を劣化させることなく長期間に渡り安定した高品質の印字が可能となる。また、隔壁の分極を第1の電極の一方から第1の電極の他方に向かう方向にすることで第2の電極に電圧が印加された時に隔壁の半分は収縮動作をもう一方の半分は膨張動作が行われバイモルフ効果による変形を行うことにより、電圧効率の高い液体吐出機構を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の液体吐出機構の構造と動作説明図
【図2】本発明の液体吐出機構の製造方法におけるアクチュエータ部材製作工程を示す図
【図3】本発明の液体吐出機構の製造方法における導電性パターン形成工程を示す図
【図4】本発明の液体吐出機構の製造方法におけるアクチュエータ部材の接合工程を示す図
【図5】本発明の液体吐出機構の製造方法におけるチャンネルの形成工程を示す図
【図6】本発明の液体吐出機構の製造方法におけるチャンネルへの電極形成工程を示す図
【図7】本発明の液体吐出機構の製造方法におけるカバーとノズル板の接着工程を示す図
【図8】本発明の液体吐出機構の製造方法における分極処理工程を示す図
【図9】本発明の液体吐出機構の製造方法における電極接続工程を示す図
【図10】従来のせん断モード型インクジェットヘッドの分解斜視図
【図11】従来のせん断モード型インクジェットヘッドの側断面図
【図12】従来のせん断モード型インクジェットヘッドの構造と動作説明図
【符号の説明】
1 アクチュエータ部材
2 ノズルプレート
3 カバープレート
4 信号電極
5 ノズル
6 ボンディングワイヤ
7 プリント配線板
8 マニホールド
9 インク供給口
10 チャンネル
11 導電性パターン
12 隔壁
13 アクチュエータ部材後端面
14 チャンネル浅溝
15 エポキシ系接着剤
16 分極
17 電界
18 第1の電極
19 第2の電極
20 分極用電源
21 信号電極電源
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧電セラミックスの隔壁により隔てられた互いに並行する複数のチャンネルを有し、前記チャンネルの隔壁に形成された信号電極への電圧印加の有無に応じて、前記隔壁を変形せしめ、その変形にともなって前記チャンネル内に充填されているインクをそのチャンネルに連通したノズルより選択的に突出せしめる液体吐出機構に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、液体吐出機構として、例えば特開昭63−252750号公報に開示のようにインク吐出原理として圧電素子のせん断モード変形を利用したインクジェット記録装置が考えられている。この構成は図10に示すように、大きく圧電セラミックスのアクチュエータ部材1とカバープレート3とノズルプレート2とプリント配線板7とから構成されている。そのアクチュエータ部材1には、ダイヤモンドプレード等により切削加工された複数のチャンネル10が形成されている。また、そのチャンネル10間の隔壁12は溝深さ方向に分極処理を施されている。
【0003】
それらのチャンネル10は同じ深さであり、かつ平行で、チャンネル10の深さは、図11に示すようにアクチュエータ部材1の後端面13に近づくにつれて次第に浅くなっており、後端面13付近にはチャンネル浅溝14が形成されている。そして、各チャンネル10の両側面の上側半分には信号電極4が蒸着等によって形成されている。また、チャンネル浅溝14においても同様に側面及び底面に信号電極4が蒸着等によって形成されている。これによりチャンネル10の両側面に形成された信号電極4はチャンネル浅溝14の底面に形成された信号電極4によって電気的に接続されている。
【0004】
次に、カバープレート3は、セラミックス材料または樹脂材料等から形成されている。また、カバープレート3には、研削または切削加工等によって、インク供給口9及びマニホールド8が形成されている。そして、アクチュエータ部材1のチャンネル10の加工側面とカバープレート3のマニホールド8の加工側面とをエポキシ系接着剤15によって接着されている(図11)。このようにして、インクジェットヘッドにはチャンネル10の上面が覆われて横方向に同じ間隔を有する複数のインク流路としてのチャンネル10が構成される。
【0005】
図10に示すように、アクチュエータ部材1及びカバープレート3の端面に、各チャンネル10の位置に対応した位置にノズル5が位置するようにノズルプレート2が接着されている。このノズルプレート2はポリイミド等のプラスチックによって形成されている。そして、アクチュエータ部材1のチャンネル10と反対側の面には、プリント配線板7がエポキシ系接着剤等によって接着されている。そのプリント配線板7には各チャンネルの位置に対応した位置に導電性パターン11が形成されている。その導電性パターン11とチャンネル浅溝14の底面の信号電極4はボンディングワイヤ6で接続される。
【0006】
次に、図12を用いて隔壁12の動作を説明する。図12に2つの隔壁12に挟まれたチャンネル10cを示す。ここでは、隔壁12a、12bには下向きの分極16a、16bが設けられている。隣接チャンネル10a,10bの電極4aと4bをOFF電圧となるGNDに、吐出チャンネル10cの電極4cにON電圧となるVを印加すると、電極4a,4bと電極4cとの間に挟まれた圧電セラミックス部分に電界17a、17bが発生し、せん断力により吐出チャンネル10cの容積を収縮する方向へ隔壁12a、12bが変形する。このようにして、吐出チャンネル10cの内部に充填されているインクに正の圧力が加えられてノズルからインク吐出がおこなわれる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、以上のような従来の構成では、吐出チャンネルの電極に電圧を印加したとき、非吐出チャンネルの電極との間に電位差が発生しインクに電気が流れるため、水性インクなどの導電性インクを使用すると電気・化学的な反応により電極が劣化されて、前記隔壁の変形が十分に行われなくなり、印字品質が悪くなるという問題があった。
【0008】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、水及び導電性インクが電極を劣化させることなく印字させることができる液体吐出機構を提供するものである。
【0009】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために、本発明の液体吐出機構は、前記隔壁の両側面に第1の電極に配置し、隔壁内部に第2の電極を配置して、前記第1の電極をGNDとし、前記第2の電極をインク吐出用の信号電極として用いることを特徴とする。
【0010】
【発明の実施の形態】
本発明の請求項1に記載の液体吐出機構は、圧電セラミックスの隔壁により隔てられたチャンネルあるいは前記チャンネルが平行に複数配置されており、前記チャンネルの隔壁に形成された信号電極への電圧印加の有無に応じて、前記隔壁を変形せしめ、その変形にともなって前記チャンネル内に充填されている液体をそのチャンネルに連通したノズルにより選択的に吐出せしめ、前記隔壁の内部に電極が配置してあることを特徴とする液体吐出機構であり、隔壁内部に電極を配置することで水及び導電性液体で電極を劣化させることなく良好な印字を実現しうるものである。
【0011】
次に、本発明の請求項2に記載の液体吐出機構は、前記隔壁の両側面に配置された第1の電極と、前記隔壁の内部に配置された第2の電極とを設け、前記隔壁の圧電セラミックスの分極方向が前記第1の電極の一方から前記第1の電極の他方に向かう方向に配置されることを特徴とする請求項1に記載の液体吐出機構であり、前記隔壁内部の電極を用いて効率の良いバイモルフ変形を実現しうるものである。
【0012】
次に、本発明の請求項3に記載の液体吐出機構は、前記第1の電極を共通電極とし、前記第2の電極を各チャンネルの信号電極として構成したことを特徴とする請求項第2に記載の液体吐出機構であり、インクに接する第1の電極を全て同電位にすることでチャンネルの電極同士で電位が発生しなくなるため、水及び導電性インクにおいても電極の劣化が防止される。
【0013】
次に、本発明の請求項4に記載の液体吐出機構は、前記チャンネルを構成している圧電セラミック領域全面に前記第1の電極が形成してあることを特徴とする請求項第2に記載の液体吐出機構であり、圧電セラミック成分の鉛などの金属イオンが水及び導電性液体に溶出しインク物性に悪影響を与えることを防ぐものである。
【0014】
次に、本発明の請求項5に記載の液体吐出機構は、前記隔壁を構成する圧電セラミックス部材が積層セラミックスであることを特徴とする請求項第2に記載の液体吐出機構であり、内部電極を有する前記隔壁の形成を実現しうるものである。
【0015】
次に、本発明の請求項6に記載の液体吐出機構は、前記第2の電極の長さが隔壁の高さより短いことを特徴とした請求項第2に記載の液体吐出機構であり、前記隔壁を効率よく変形せしめるものである。
【0016】
(実施の形態1)
以下図1〜9を参照して本発明の実施例を説明する。なお、図10〜12で示した従来例と実質的に同一な構成部品には同一符号を付している。
【0017】
まず、図1を用いて請求項1、2、3、5及び本発明の液体吐出機構の構造と駆動原理を説明する。図1に2つの隔壁12a、12bに挟まれたチャンネル10cを示す。各隔壁12a、12bの分極16a、16bは、第1の電極18aから18cの方向に設けてある。隔壁12a,12bの表面には、吐出チャンネル10c側の第1の電極18cと隣接チャンネル10a,10b側の第1の電極18a,18bが設けられており、各々共通電極となってGNDに接地してある。一方、隔壁12a,12bの内部に信号電極として第2の電極19a,19bが設けられている。
【0018】
以上の構成で、第2の電極19a,19bに正の電圧Vが印加されると隔壁12a,12bの圧電セラミックスに電界17a、17b、17c、17dが発生する。第1の電極18a、18bと第2の電極19a,19bとの間の圧電セラミックスには分極16a,16bと電界17a、17dが各々対向するので、縦方向に収縮する。一方、第1の電極18cと第2の電極19a,19bとの間の圧電セラミックスには分極16a,16bと電界17b、17cが同方向となるので縦方向に伸びる。従って、隔壁12a,12bはバイモルフ型アクチュエータとなって、吐出チャンネル10cの容積を収縮する方向へ両隔壁12a,12bが変形する。このようにして、吐出チャンネル10cの内部に充填されているインクに正の圧力が加えられてノズルからインク吐出が行われる。
【0019】
上記構成によれば、信号電極はインクと接触しない隔壁内部に配置され、インクと接する隔壁表面の電極は、全てGNDの共通電極となっており、インクへの電位差が発生しないので、インクとの電気・化学的反応による電極劣化が発生しない。また、隔壁の分極を第1の電極の一方から第1の電極の他方に向かう方向にすることで第2の電極に電圧が印加された時に隔壁の半分は収縮動作をもう一方の半分は膨張動作が行われバイモルフ効果による変形を発生させることができる。
【0020】
なお、第2の電極19は、隔壁の長さより短くしてある。これは、隔壁の中心付近がバイモルフ効果によって変形するとき、その根元付近では中心付近と反対方向の変形になるためで変形効率を上げる効果がある。
つぎに、図2〜図9を用いて、請求項4、5及び本発明のインクジェットヘッドの製造方法を説明する。
【0021】
まず、図2に示す様に、圧電セラミック粉とバインダーを混練した材料から焼成後厚さ約160μmのグリーンシートからなるアクチュエータ部材1を形成する。
【0022】
次に、図3に示す様にNi等の導電性ペーストを印刷して長さ約190μmの第2の電極19を形成する。
【0023】
次に図4に示す様に各アクチュエータ部材1の導電性ペースト同士を精度良く位置合わせして加圧焼成処理し、第2の電極19a,19bを内臓する積層圧電セラミックを形成する。
【0024】
次に図5に示す様に第2の電極19の間の圧電セラミックスに幅約80μmで長さ約500μmのチャンネル10a,10b,10cを切削加工にて形成する。この様に積層圧電セラミックスを用いることで、容易に第2の電極19a,19bを内臓する隔壁12a,12bを製作できる。
【0025】
次に、第6図に示す様にチャンネル10a,10b,10c内部全面に無電解法などによりAu電極鍍金を施し第1の電極18a,18b,18cを形成する。電極をチャンネルの圧電セラミックス露出部分に被覆することによって、圧電材料に含まれる不安定なPbOからPbイオンが、水などの導電性インクに溶出することを防ぎ電極及びインクの劣化を防止する。
【0026】
次に図7に示す様にアクチュエータ部材1のチャンネル上端面にカバープレート3を、チャンネルの前面にノズルプレート2をノズル5がチャンネル10cの中心に位置するよう調整して接着する。
【0027】
次に図8に示す様に第1の電極18a、18b、18cを分極電源20に接続して約2kV/mmの分極電圧を印加し、隔壁12a,12bの分極処理を行う。第1の電極18a、18bを正の電圧にした場合、第1の電極18a,18bから第1の電極18cの方向に向かって分極17a17bが形成される。
【0028】
次に、図9に示す様に第1の電極18a、18b、18cをGNDへ、第2の電極19a,19bを信号電極電源21に接続する。
【0029】
以上の製造方法によれば、インクに接するチャンネルの電極同士で電位差を生ずることなく、隔壁内部の信号電極により隔壁を変形せしめ、電極の劣化なく導電性インクでの印字が実現できる。
【0030】
本実施例において、積層圧電セラミックスはグリーンシートによる焼成工法で形成したが、HIP処理して形成したバルクをスライス、研磨して圧電セラミックスの薄板を形成し、電極を印刷した後、接着剤による接合工法にて形成しても良い。
【0031】
【発明の効果】
以上のように本願発明によれば、信号電極を吐出する液体と接触しない隔壁内部に配置しており、前記液体と接する隔壁表面の電極は全て共通電極として接地しているため、前記液体への電位差が発生しない。従って、吐出する液体との電気・化学的反応による信号電極を劣化させることなく長期間に渡り安定した高品質の印字が可能となる。また、隔壁の分極を第1の電極の一方から第1の電極の他方に向かう方向にすることで第2の電極に電圧が印加された時に隔壁の半分は収縮動作をもう一方の半分は膨張動作が行われバイモルフ効果による変形を行うことにより、電圧効率の高い液体吐出機構を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の液体吐出機構の構造と動作説明図
【図2】本発明の液体吐出機構の製造方法におけるアクチュエータ部材製作工程を示す図
【図3】本発明の液体吐出機構の製造方法における導電性パターン形成工程を示す図
【図4】本発明の液体吐出機構の製造方法におけるアクチュエータ部材の接合工程を示す図
【図5】本発明の液体吐出機構の製造方法におけるチャンネルの形成工程を示す図
【図6】本発明の液体吐出機構の製造方法におけるチャンネルへの電極形成工程を示す図
【図7】本発明の液体吐出機構の製造方法におけるカバーとノズル板の接着工程を示す図
【図8】本発明の液体吐出機構の製造方法における分極処理工程を示す図
【図9】本発明の液体吐出機構の製造方法における電極接続工程を示す図
【図10】従来のせん断モード型インクジェットヘッドの分解斜視図
【図11】従来のせん断モード型インクジェットヘッドの側断面図
【図12】従来のせん断モード型インクジェットヘッドの構造と動作説明図
【符号の説明】
1 アクチュエータ部材
2 ノズルプレート
3 カバープレート
4 信号電極
5 ノズル
6 ボンディングワイヤ
7 プリント配線板
8 マニホールド
9 インク供給口
10 チャンネル
11 導電性パターン
12 隔壁
13 アクチュエータ部材後端面
14 チャンネル浅溝
15 エポキシ系接着剤
16 分極
17 電界
18 第1の電極
19 第2の電極
20 分極用電源
21 信号電極電源
Claims (6)
- 圧電セラミックスの隔壁により隔てられたチャンネルあるいは前記チャンネルが平行に複数配置されており、前記チャンネルの隔壁に形成された信号電極への電圧印加の有無に応じて、前記隔壁を変形せしめ、その変形にともなって前記チャンネル内に充填されている液体をそのチャンネルに連通したノズルにより選択的に吐出せしめ、前記隔壁の内部に電極が配置してあることを特徴とする液体吐出機構。
- 前記隔壁の両側面に配置された第1の電極と、前記隔壁の内部に配置された第2の電極とを設け、前記隔壁の圧電セラミックスの分極方向が前記第1の電極の一方から前記第1の電極の他方に向かう方向に配置されることを特徴とする請求項1に記載の液体吐出機構。
- 前記第1の電極を共通電極とし、前記第2の電極を各チャンネルの信号電極として構成したことを特徴とする請求項第2に記載の液体吐出機構。
- 前記チャンネルを構成している圧電セラミック領域全面に前記第1の電極が形成してあることを特徴とする請求項第2に記載の液体吐出機構。
- 前記隔壁を構成する圧電セラミックス部材が積層セラミックスであることを特徴とする請求項第2に記載の液体吐出機構。
- 前記第2の電極の長さが隔壁の高さより短いことを特徴とした請求項第2に記載の液体吐出機構。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002170888A JP2004017284A (ja) | 2002-06-12 | 2002-06-12 | 液体吐出機構 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US10315418B2 (en) | 2015-03-20 | 2019-06-11 | Archipelago Technology Group, LTD | Method, system, and device for supplying electrical energy through electrical conductors adjacent to electrolyte solution environments |
JP2020082492A (ja) * | 2018-11-22 | 2020-06-04 | 東芝テック株式会社 | インクジェットヘッド及びインクジェット装置 |
-
2002
- 2002-06-12 JP JP2002170888A patent/JP2004017284A/ja active Pending
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