JP2004004060A - 移動ステージ装置及び走査形プローブ顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】xy移動体19は、台座11側の駆動体12,13,14と、それら駆動体12,13,14に対向する上盤27側の駆動体28,29,30とで挟まれている。スプリング50の一端は、台座11上において、駆動体12,13,14の取付位置を結んで出来る三角形の重心位置に取り付けられ、そのスプリング50の他端は、上盤27上において、駆動体28,29,30の取付位置を結んで出来る三角形の重心位置に取り付けられている。このような駆動体の配置と、スプリング50の取付位置により、xy移動体19は、駆動体28,29,30によって均等な力で押され、駆動体12,13,14に押し付けられている。
【選択図】 図2
Description
【発明の属する技術分野】本発明は、微動が必要な装置に用いて好適な移動ステージ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】走査形トンネル顕微鏡などの走査形プローブ顕微鏡(SPM:Scanning Probe Microscope)は、探針を試料上で走査させて試料像を得る装置であり、非常に高い分解能を得られる装置として注目されている。
【0003】
このSPMにおいては、探針または試料をマイクロオーダー以下の精度で移動させることが必要である。最近のSPMの中には、その移動ステージとして、モータ駆動ステージよりもコンパクトな慣性駆動ステージを備えたものがある。
【0004】
図1は、慣性駆動ステージの基本構造を示したものである。図1において1は台座であり、台座1には、x方向に延びる溝2が形成されている。そして、溝2の表面には、凹状の滑り部材3が取り付けられており、インシュレータ(サファイア,アルミナなど)で形成された滑り部材3の表面は鏡面研磨されている。
【0005】
4はステージであり、ステージ4には、4個の積層型ピエゾ5〜8(積層型ピエゾ7,8は図示されていない)が取り付けられている。各積層型ピエゾの先端には球9が取り付けられており、球9は、滑り部材3に当接して溝2にはまっている。
【0006】
また、10は磁石であり、磁石10は台座1に取り付けられている。一方、前記ステージ4は磁性材料で作られている。このため、ステージ4は、磁石10によって台座1側へ引き付けられて静止している。
【0007】
このような構成において、ステージ4をx方向へ移動させるときには、まず、積層型ピエゾ4〜7に電圧が印加されて、積層型ピエゾ4〜7がx方向に剪断変形される。次に、積層型ピエゾ4〜7への印加電圧がオフされ、積層型ピエゾ4〜7は元の状態に戻される。このとき発生する慣性力により、ステージ4はx方向へ移動する。なお、このとき積層型ピエゾ4〜7に印加される電圧の波形は、鋸波状の波形や非線形な波形など、様々である。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図1に示した慣性駆動ステージにおいては、磁石10の磁場が試料に及んでしまう。このため、試料に所定の外部磁場を印加して観察する場合や、磁場が印加されていない状態の試料を観察したい場合などにおいては、図1の慣性駆動ステージを使用することはできない。
【0009】
そこで、このような問題を回避する慣性駆動ステージとして、前記台座にバネ保持部材を取り付け、そのバネ保持部材と前記ステージ上面との間に1本のバネを配置して、バネによってステージを台座側に押しつける構造のものが提案されている。しかし、この慣性駆動ステージでは、バネがステージ上面を押す位置によっては、ステージが部分的に台座から浮いてしまい、ステージを安定させることができない。
【0010】
また、SPMでは、x,y,zの3軸方向に探針または試料を移動させる必要がある。このため、実際のSPMの慣性駆動ステージは、図1の一軸駆動の慣性駆動ステージを3段積み重ねた構造となっている。このような3段構造の慣性駆動ステージは大型となり、試料室チャンバの大型化、ひいてはSPMの大型化につながってしまう。
【0011】
本発明はこのような点に鑑みて成されたもので、その目的は、小型で、安定したステージ移動を行える移動ステージ装置を提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】この目的を達成する本発明の移動ステージ装置は、台座と、ピエゾスキャナを有し、前記台座に取り付けられた第1の駆動体と、上盤と、ピエゾスキャナを有し、前記上盤に取り付けられた第2の駆動体と、前記台座の駆動体側と前記上盤の駆動体側とが向き合った状態において、上盤を台座の方へ引っ張るために上盤と台座間に張られた弾性体と、前記第1の駆動体と前記第2の駆動体とで挟持された第1の移動体とを備えたことを特徴としている。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、図面を用いて本発明の実施の形態について説明する。
【0014】
(実施例1)図2は、本発明の移動ステージ装置の一例を示した図である。図2(a)は移動ステージ装置を横から見た図、図2(b)は移動ステージ装置を上から見た図である。
【0015】
図2において、11は台座であり、台座11はL字状に形成されている。台座11の上面Aには、3つの駆動体12,13,14が取り付けられている。この3つの駆動体12,13,14で、本発明における第1の駆動体が構成されている。
【0016】
これらの駆動体12,13,14の構造は同じであり、駆動体(12,13,14)は、一端が台座11に取り付けられた円筒型ピエゾスキャナ(P1,P2,P3)と、そのスキャナの他端に取り付けられたルビー球(15,16,17)とで構成されている。ピエゾスキャナP1,P2,P3は、電圧印加によってxy方向に変位するように構成されている。
【0017】
図3(a)は、ピエゾスキャナP1,P2,P3の台座11への取付位置を示した図である。各ピエゾスキャナは、他の2つのピエゾスキャナの取付位置から等距離の位置に取り付けられている。すなわち、ピエゾスキャナP1,P2,P3の台座11への取付位置を結ぶと、正三角形が形成される。そして、台座11には、その三角形の重心位置に貫通孔18が開けられている。
【0018】
図2中、19はxy移動体(第1の移動体)であり、xy移動体19は、前記駆動体12,13,14上に置かれている。このxy移動体19には貫通孔20が開けられており、また、xy移動体19の下面Bには、3つの正方形状のインシュレータ(滑り部材)21,22,23が取り付けられている。さらにxy移動体19の上面Cには、3つの正方形状のインシュレータ24,25,26が取り付けられている。
【0019】
これらのインシュレータ21〜26は、サファイアやアルミナ等で作られており、それらの表面は鏡面研磨されている。前記駆動体12のルビー球15はインシュレータ21に、前記駆動体13のルビー球16はインシュレータ22に、前記駆動体14のルビー球16はインシュレータ23にそれぞれ当接している。
【0020】
また、図2において、27は上盤である。上盤27の下面Dには、3つの駆動体28,29,30が取り付けられている。この3つの駆動体28,29,30で、本発明における第2の駆動体が構成されている。
【0021】
これらの駆動体28,29,30の構造は、前記駆動体12,13,14の構造と同じである。駆動体(28,29,30)は、一端が上盤27に取り付けられた円筒型ピエゾスキャナ(P4,P5,P6)と、そのスキャナの他端に取り付けられたルビー球(31,32,33)とで構成されている。ピエゾスキャナP4,P5,P6は、電圧印加によってxy方向に変位するように構成されている。
【0022】
図3(b)は、ピエゾスキャナP4,P5,P6の上盤27への取付位置を示した図である。各ピエゾスキャナは、他の2つのピエゾスキャナの取付位置から等距離の位置に取り付けられている。すなわち、ピエゾスキャナP4,P5,P6の上盤27への取付位置を結ぶと、正三角形が形成される。そして、上盤27には、その三角形の重心位置に貫通孔34が開けられている。
【0023】
そして、図2に示すように、ピエゾスキャナP4先端に取り付けられたルビー球31は前記インシュレータ24に、ピエゾスキャナP5先端に取り付けられたルビー球32は前記インシュレータ25に、ピエゾスキャナP6先端に取り付けられたルビー球33は前記インシュレータ26にそれぞれ当接している。図2(b)から分かるように、ピエゾスキャナP4を有する駆動体28はxy移動体19を介して前記駆動体12に、ピエゾスキャナP5を有する駆動体29はxy移動体19を介して前記駆動体13に、ピエゾスキャナP6を有する駆動体30はxy移動体19を介して前記駆動体14にそれぞれ対向している。
【0024】
図2中、35は回動部材であり、回動部材35はコの字状に形成されている。回動部材35の一端はビス36によって台座11に、回動部材35の他端はビス37によって台座11に、それぞれ回動自由に取り付けられている。このような取り付けにより、回動部材35は、ビス36,37を結ぶ軸を回転軸として回動可能である。
【0025】
そして、回動部材35の上部両側には、ピン38,39が固定されている。ピン38にはスプリング40の一端が引っ掛けられ、ピン39にはスプリング41の一端が引っ掛けられている。一方、スプリング40の他端は、前記台座11の上部側面に固定されたピン42に引っ掛けられ、スプリング41の他端は、台座11の上部側面に固定されたピン43に引っ掛けられている。
【0026】
これらスプリング40,41の作用により、回動部材35は台座11のピン42,43方向に引っ張られ、それらの間に位置する前記上盤27は、回動部材35によって台座11に押し付けられている。この際、回動部材35の上部に設けられた凸部44が上盤27の側面に当接し、また、上盤27の側面に設けられた凸部45が台座11の溝46にはまって当接している。
【0027】
また、ボルト47が、上盤27の貫通孔34に挿入されており、ボルト47にねじ込まれたナット48が上盤27の上面Eに当接して、ボルト47は止まっている。ボルト47先端に開けられた孔49には、スプリング(弾性体)50の一端が引っ掛けられている。そして、スプリング50の他端は、前記xy移動体19の貫通孔20と、前記台座11の貫通孔18とを通って、台座11の下面F側に配置された平行ピン51に引っ掛けられている。
【0028】
このスプリング50の作用により、上盤27は、台座11の上面Aの方へ引っ張られ、xy移動体19は、駆動体28,29,30によって駆動体12,13,14に押し付けられている。
【0029】
ここまで説明したように、図2の移動ステージ装置においては、xy移動体19は、台座11側の駆動体12,13,14と、それら駆動体12,13,14に対向する上盤27側の駆動体28,29,30とで挟まれている。さらに、前記スプリング50の取付位置にも工夫が施されている。すなわち、スプリング50の一端は、台座11上において、駆動体12,13,14の取付位置を結んで出来る三角形の重心位置に取り付けられ、そのスプリング50の他端は、上盤27上において、駆動体28,29,30の取付位置を結んで出来る三角形の重心位置に取り付けられている。
【0030】
このような駆動体の配置と、スプリング50の取付位置により、xy移動体19は、駆動体28,29,30によって均等な力で押され、駆動体12,13,14に押し付けられている。このため、xy移動体19は、駆動体12,13,14と駆動体28,29,30とでしっかり挟まれて、静止している。
【0031】
また、図2において、52はz移動装置である。z移動装置52は前記xy移動体19に接続されており、その構成は、これまで説明したxy移動装置の構成と似通っている。以下、z移動装置52の構成について説明する。
【0032】
53は台座(第2の台座)であり、xy移動体19に続く台座53は、L字状に形成されている。台座53の表面Gには、3つの駆動体54,55,56が取り付けられている。この3つの駆動体54,55,56で、本発明における第3の駆動体が構成されている。
【0033】
これらの駆動体54,55,56の構造は前記駆動体12,13,14,28,29,30の構造と同じであり、駆動体(54,55,56)は、一端が台座53に取り付けられた円筒型ピエゾスキャナ(P7,P8,P9)と、そのスキャナの他端に取り付けられたルビー球(57,58,59)とで構成されている。ピエゾスキャナP7,P8,P9は、電圧印加によってyz方向に変位するように構成されている。
【0034】
図3(c)は、ピエゾスキャナP7,P8,P9の台座53への取付位置を示した図である。各ピエゾスキャナは、他の2つのピエゾスキャナの取付位置から等距離の位置に取り付けられている。すなわち、ピエゾスキャナP7,P8,P9の台座53への取付位置を結ぶと、正三角形が形成される。そして、台座53には、その三角形の重心位置に貫通孔60が開けられている。
【0035】
図2中、61はz移動体(第2の移動体)であり、z移動体61は、前記駆動体54,55,56上に配置されている。このz移動体61には貫通孔62が開けられている。また、z移動体61の裏面Hには、z方向に延びる平面状のインシュレータ63が取り付けられている。さらにz移動体61の裏面Hには、z方向に延びる三角溝64が形成されており、その三角溝64の表面には、z方向に延びるV字状のインシュレータ65が取り付けられている。
【0036】
一方、z移動体61の表面Iには、z方向に延びる三角溝66が形成されており、その三角溝66の表面には、z方向に延びるV字状のインシュレータ67が取り付けられている。さらにz移動体61の表面Iには、z方向に延びる平面状のインシュレータ68が取り付けられている。
【0037】
これらのインシュレータ63,64,67,68は、サファイアやアルミナ等で作られており、それらの表面は鏡面研磨されている。前記駆動体54のルビー球57はV字状インシュレータ65に、前記駆動体55のルビー球58は同じくV字状インシュレータ65に、前記駆動体56のルビー球59は平面状インシュレータ63にそれぞれ当接している。
【0038】
また、図2において、69は上盤(第2の上盤)である。上盤69の裏面Jには、3つの駆動体70,71,72が取り付けられている。この3つの駆動体70,71,72で、本発明における第4の駆動体が構成されている。
【0039】
これらの駆動体70,71,72の構造は、前記駆動体54,55,56の構造と同じである。駆動体(70,71,72)は、一端が上盤69に取り付けられた円筒型ピエゾスキャナ(P10,P11,P12)と、そのスキャナの他端に取り付けられたルビー球(73,74,75)とで構成されている。ピエゾスキャナP10,P11,P12は、電圧印加によってyz方向に変位するように構成されている。
【0040】
図3(d)は、ピエゾスキャナP10,P11,P12の上盤69への取付位置を示した図である。各ピエゾスキャナは、他の2つのピエゾスキャナの取付位置から等距離の位置に取り付けられている。すなわち、ピエゾスキャナP10,P11,P12の上盤69への取付位置を結ぶと、正三角形が形成される。そして、上盤69には、その三角形の重心位置に貫通孔76が開けられている。
【0041】
そして、図2に示すように、ピエゾスキャナP10先端に取り付けられたルビー球73は前記平面状インシュレータ68に、ピエゾスキャナP11先端に取り付けられたルビー球74は同じく平面状インシュレータ68に、ピエゾスキャナP12先端に取り付けられたルビー球75は前記V字状インシュレータ67にそれぞれ当接している。また、図2から分かるように、ピエゾスキャナP10を有する駆動体70はz移動体61を介して前記駆動体54に、ピエゾスキャナP11を有する駆動体71はz移動体61を介して前記駆動体55に、ピエゾスキャナP12を有する駆動体72はz移動体61を介して前記駆動体56にそれぞれ対向している。
【0042】
図2中、77は回動部材であり、回動部材77はコの字状に形成されている。回動部材77の一端はビス78によって台座53に、回動部材77の他端はビス79によって台座53に、それぞれ回動自由に取り付けられている。このような取り付けにより、回動部材77は、ビス78,79を結ぶ軸を回転軸として回動可能である。
【0043】
そして、回動部材77の前方両側には、ピン80,81が固定されている。ピン80にはスプリング82の一端が引っ掛けられ、ピン81にはスプリング83の一端が引っ掛けられている。一方、スプリング82の他端は、前記台座53の下部側面に固定されたピン84に引っ掛けられ、スプリング83の他端は、台座53の下部側面に固定されたピン85に引っ掛けられている。
【0044】
これらスプリング82,83の作用により、回動部材77は台座53のピン84,85方向に引っ張られ、それらの間に位置する前記上盤69は、回動部材77によって台座53に押し付けられている。この際、回動部材77の上部に設けられた凸部86が上盤69の上部側面に当接し、また、上盤69の下部側面に設けられた凸部87が台座53の溝88にはまって当接している。
【0045】
また、ボルト89が、上盤69の貫通孔76に挿入されており、ボルト89にねじ込まれたナット90が上盤69の表面Kに当接して、ボルト89は止まっている。ボルト89先端に開けられた孔91には、スプリング(弾性体)92の一端が引っ掛けられている。そして、スプリング92の他端は、前記z移動体61の貫通孔62と、前記台座53の貫通孔60とを通って、台座53の裏面側に配置された平行ピン93に引っ掛けられている。
【0046】
このスプリング92の作用により、上盤69は、台座53の表面Gの方へ引っ張られ、z移動体61は、駆動体70,71,72によって駆動体54,55,56に押し付けられている。
【0047】
このように、図2の移動ステージ装置においては、z移動体61は、台座53側の駆動体54,55,56と、それら駆動体54,55,56に対向する上盤69側の駆動体70,71,72とで挟まれている。さらに、前記スプリング92の一端は、台座53上において、駆動体54,55,56の取付位置を結んで出来る三角形の重心位置に取り付けられ、そのスプリング92の他端は、上盤69上において、駆動体70,71,72の取付位置を結んで出来る三角形の重心位置に取り付けられている。
【0048】
このような駆動体の配置と、スプリング92の取付位置により、z移動体61は、駆動体70,71,72によって均等な力で押され、駆動体54,55,56に押し付けられている。このため、z移動体61は、駆動体54,55,56と駆動体70,71,72とでしっかり挟まれて、静止している。
【0049】
ここで、図4を用いて、前記ピエゾスキャナP1〜P12の構造について説明する。図4に示すピエゾスキャナは、円筒状圧電体素子Pの外側に4分割の電極(+X,−X,+Y,−Y)を持ち、内側はグランドの共通電極Gとなっている。図4において、Paはピエゾスキャナの一端を示し、Pbはその他端を示している。
【0050】
このような構造のピエゾスキャナにおいて、たとえば、前記他端Pbを固定端とする。そして、電極+Xと接地電極G間に電圧+Vxを印加して、それら電極+X,G間の圧電体素子をz方向に縮ませる一方、電極−Xと接地電極G間に電圧−Vxを印加して、それら電極−X,G間の圧電体素子をz方向に伸ばすと、ピエゾスキャナの前記一端Paはx方向に変位する。逆に、電極+Xと接地電極G間に電圧−Vxを印加して、それら電極+X,G間の圧電体素子をz方向に伸ばす一方、電極−Xと接地電極G間に電圧+Vxを印加して、それら電極−X,G間の圧電体素子をz方向に縮めると、ピエゾスキャナの一端Paは−x方向に変位する。
【0051】
一方、電極+Yと接地電極G間に電圧+Vyを印加して、それらの電極+Y,G間の圧電体素子をz方向に縮ませる一方、電極−Yと接地電極G間に電圧−Vyを印加して、それら電極−Y,G間の圧電体素子をz方向に伸ばすと、ピエゾスキャナの一端Paはy方向に変位する。逆に、電極+Yと接地電極G間に電圧−Vyを印加して、それら電極+Y,G間の圧電体素子をz方向に伸ばす一方、電極−Yと接地電極G間に電圧+Vyを印加して、それら電極−Y,G間の圧電体素子をz方向に縮めると、ピエゾスキャナの一端Paは−y方向に変位する。
【0052】
そして、このようなピエゾスキャナのx変位とy変位が同時に行われると、ピエゾスキャナの一端Paは、前記印加電圧±Vx,±Vyに応じて、図4中xy方向に変位する。
【0053】
以上、図4を用いて、図2のピエゾスキャナP1〜P12の構造を説明した。なお、図2のピエゾスキャナP1〜P6においては、ピエゾスキャナP1,P2,P3の図4における他端Pb側が前記台座11に、ピエゾスキャナP4,P5,P6の図4における一端Pa側が前記上盤27にそれぞれ取り付けられている。また、図2のピエゾスキャナP1〜P6は全て同じ向きに配置されている。すなわち、ピエゾスキャナP1〜P6の電極+Xは全てx方向を向いており、ピエゾスキャナP1〜P6の電極−Xは全て−x方向を向いている。
【0054】
また、図2のピエゾスキャナP7〜P12においては、ピエゾスキャナP7,P8,P9の図4における他端Pb側が前記台座53に、ピエゾスキャナP10,P11,P12の図4における一端Pa側が前記上盤69にそれぞれ取り付けられている。また、図2のピエゾスキャナP7〜P12は全て同じ向きに配置されている。すなわち、ピエゾスキャナP7〜P12の電極+Xは全てz方向を向いており、電極−Xは全て−z方向を向いている。
【0055】
また、図2において、94は電圧電源装置であり、電圧電源装置94は、前記ピエゾスキャナP1〜P12の各電極間に前記電圧±Vx,±Vyを印加するためのものである。電圧電源装置94の制御は、スキャナ制御手段95によって行われる。
【0056】
以上、図2の装置構成について説明したが、以下、動作説明を行う。
【0057】
まず、前記xy移動体19をx方向に移動させる場合の動作説明を、図5〜図7を用いて行う。
【0058】
図5は、前記ピエゾスキャナP1〜P6を変位させるために、前記スキャナ制御手段95から前記電圧電源装置94に供給される電圧信号を示した図である。図5において、(1)はピエゾスキャナP1を変位させるための電圧信号を、(2)はピエゾスキャナP2を変位させるための電圧信号を、(3)はピエゾスキャナP3を変位させるための電圧信号を、(4)はピエゾスキャナP4を変位させるための電圧信号を、(5)はピエゾスキャナP5を変位させるための電圧信号を、(6)はピエゾスキャナP6を変位させるための電圧信号を、それぞれ示している。
【0059】
また、図5において、(a)は、そのピエゾスキャナにおいて前記電極+Xと前記接地電極G間に電圧+Vxを印加するための電圧信号を、(b)は、そのピエゾスキャナにおいて前記電極−Xと前記接地電極G間に電圧−Vxを印加するための電圧信号を、それぞれ示している。
【0060】
図6は、前記スキャナ制御手段95の前記電圧電源装置94への電圧信号供給による、前記ピエゾスキャナP1〜P6の変位を説明するために示した図である。また、図7は、そのピエゾスキャナP1〜P6の変位による前記xy移動体19の移動を説明するために示した図である。
【0061】
さて、前記xy移動体19をx方向に移動させる場合、まず、前記スキャナ制御手段95は、図5(1)−(a),(2)−(a),(3)−(a),(4)−(a),(5)−(a),(6)−(a)に示すように、時刻T0からT1にかけて徐々にVxまで増加する電圧信号を、前記電圧電源装置94に供給する。同時に、前記スキャナ制御手段95は、図5(1)−(b),(2)−(b),(3)−(b),(4)−(b),(5)−(b),(6)−(b)に示すように、時刻T0からT1にかけて徐々に−Vxまで減少する電圧信号を、前記電圧電源装置94に供給する。
【0062】
このような電圧信号を受けた電圧電源装置94は、ピエゾスキャナP1〜P6の前記電極+Xと前記接地電極G間に、時刻T0からT1にかけて徐々にVx(たとえば150V)まで増加する電圧を印加すると共に、時刻T0からT1にかけて徐々に−Vx(たとえば−150V)まで減少する電圧を印加する。この電圧印加により、ピエゾスキャナP1〜P6のルビー球側先端は一斉にx方向に徐々に変位し、時刻T1においては、ピエゾスキャナP1〜P6のルビー球側先端は、図6(1)に示すように、定位置(電圧印加が行われていないときの位置)からx方向にΔxだけ変位している。
【0063】
この時刻T0からT1におけるピエゾスキャナP1〜P6の変位速度υ1は、一定で遅い。このため、ピエゾスキャナP1〜P6がx方向にΔx変位するとき、ピエゾスキャナP1〜P6先端のルビー球はxy移動体19のインシュレータ上において滑ることはなく、xy移動体19は、図7(a)に示すように、ピエゾスキャナP1〜P6の変位に伴ってx方向にΔxだけ移動する。
【0064】
そして、図7(a)に示した状態は、図5の時刻T1からT2にかけての電圧信号から明らかなように、時刻T2まで維持される。
【0065】
次に、前記スキャナ制御手段95は、時刻T2において、図5(1)−(a)(b)に示すように、ピエゾスキャナP1に関する電圧信号を零にする電圧信号を、前記電圧電源装置94に供給する。すると、電圧電源装置94は、ピエゾスキャナP1への電圧印加を瞬時に停止する。この電圧印加停止により、ピエゾスキャナP1のルビー球側先端は−x方向に瞬時に変位し、時刻T2直後のT20においては、ピエゾスキャナP1のルビー球側先端は、図6(2)に示すように定位置に戻っている。
【0066】
この時刻T2におけるピエゾスキャナP1の変位速度υ2は、かなり速い。また、このピエゾスキャナP1が変位するとき、他のピエゾスキャナP2〜P6は変位せずに前記xy移動体19をしっかりと挟持している。このため、ピエゾスキャナP1が定位置に戻るとき、ピエゾスキャナP1先端のルビー球はxy移動体19のインシュレータ21上において滑る一方、xy移動体19は、図7(b)に示すように、それまでの位置(図7(a)の位置)に止まる。
【0067】
次に、前記スキャナ制御手段95は、時刻T3において、図5(2)−(a)(b)に示すように、ピエゾスキャナP1に続いてピエゾスキャナP2に関する電圧信号を零にする電圧信号を、前記電圧電源装置94に供給する。すると、電圧電源装置94は、ピエゾスキャナP2への電圧印加を瞬時に停止する。この結果、ピエゾスキャナP2のルビー球側先端は、時刻T3直後のT30においては、図6(3)に示すように定位置に戻っている。
【0068】
この時刻T3におけるピエゾスキャナP2の変位速度υ2は速く、また、ピエゾスキャナP2が変位するとき、他のピエゾスキャナP1,P3〜P6は変位せずに前記xy移動体19をしっかりと挟持している。このため、ピエゾスキャナP2が定位置に戻るとき、ピエゾスキャナP2先端のルビー球はxy移動体19のインシュレータ22上において滑る一方、xy移動体19は、図7(c)に示すように、それまでの位置(図7(b)の位置)に止まる。
【0069】
以後、図5の(3)〜(6)の電圧信号から明らかなように、時刻T4においてピエゾスキャナP3が、時刻T5においてピエゾスキャナP4が、時刻T6においてピエゾスキャナP5が、そして時刻T7においてピエゾスキャナP6が、それぞれ定位置に戻される。図6(4)は時刻T4直後のT40におけるスキャナ位置を、図6(5)は時刻T5直後のT50におけるスキャナ位置を、図6(6)は時刻T6直後のT60におけるスキャナ位置を、図6(7)は時刻T7直後のT70におけるスキャナ位置を、それぞれ示している。また、図7(d)は、前記時刻T70におけるxy移動体19の位置を示しており、xy移動体19は、前記時刻T0の時点からx方向にΔxだけ移動している。
【0070】
以後、上述した時刻T0〜T7における動作が所定回繰り返し行われ、xy移動体19はx方向に所定量だけ移動される。
【0071】
以上、xy移動体19をx方向に移動させる場合の動作説明を行ったが、xy移動体19をy方向に移動させる場合には、x方向への移動動作と同様な動作が行われる。すなわち、まず、ピエゾスキャナ(P1〜P6)が一斉にy方向に徐々に変位するようにピエゾスキャナ(P1〜P6)に電圧が印加され、その後、ピエゾスキャナ(P1〜P6)への電圧印加が順に停止される。
【0072】
また、xy移動体19を任意のxy方向に移動させる場合には、まず、ピエゾスキャナ(P1〜P6)が一斉に同じxy方向に徐々に変位するように、ピエゾスキャナ(P1〜P6)の各電極間(電極±Xと接地電極G間、および電極±Yと接地電極G間)に電圧が印加される。その後、ピエゾスキャナ(P1〜P6)への電圧印加が、P1,P2,P3,P4,P5,P6の順に停止される。
【0073】
また、前記z移動体61をz方向に移動させる場合には、前記xy移動体19のx方向への移動動作と同様な動作が行われる。すなわち、まず、ピエゾスキャナ(P7〜P12)が一斉にz方向に徐々に変位するようにピエゾスキャナ(P7〜P12)に電圧が印加され、その後、ピエゾスキャナ(P7〜P12)への電圧印加が、P7,P8,P9,P10,P11,P12の順に停止される。なお、このz移動時においては、上述したz方向に延びる三角溝66,67によって、z移動体61のy方向への横ずれは防止される。
【0074】
以上、図2の移動ステージ装置について説明したが、この移動ステージ装置においては、xy方向に変位可能なピエゾスキャナP1〜P6を利用することで、それらの間に挟まれたxy移動体19をxyの2方向に移動させることができる。このようなxy移動ステージは、図1の一軸駆動の慣性駆動ステージを2段積み重ねた従来のxy移動ステージに比べ、かなり小型である。このため、図2の移動ステージ装置をたとえばSPMに適用すれば、小型のSPMを提供することができる。
【0075】
また、図2の移動ステージ装置においては、移動体固定のための磁石は一切使用されていない。このため、図2の移動ステージ装置をたとえばSPMに適用すれば、所定の外部磁場を試料に正確に印加でき、その磁場印加された試料を良好に観察することができる。
【0076】
また、図2の移動ステージ装置においては、上述したように、ピエゾスキャナP1〜P12の配置とスプリング50,92の取付位置が工夫されているので、xy移動体19とz移動体61を安定して移動させることができる。
【0077】
さらに、図2の移動ステージ装置においては、移動体(19,61)を移動させるときはピエゾスキャナ(P1〜P12)が一斉に徐々に変位され、一方、移動体の位置を固定したままピエゾスキャナ(P1〜P12)を変位させるときは、スキャナが1つづつ順に変位されるので、移動体の移動と固定を確実なものにすることができる。
【0078】
なお、上記例では、ピエゾスキャナが一斉に徐々に変位され、その後、ピエゾスキャナが1つづつ元に戻されたが、その逆が行われるようにしても良い。すなわち、ピエゾスキャナが1つづつ瞬時に変位されて、すべてのピエゾスキャナが変位した後、そのすべてのピエゾスキャナが一斉に徐々に元に戻されるようにしても良い。この場合、ピエゾスキャナが元に戻されるときに、移動体はピエゾスキャナと一緒に移動する。
【0079】
また、電圧を印加する順序も、目的に応じて変化させるようにしても良い。たとえば、上述したP1,P2,P3,…の順ではなく、P1,P4,P2,P5,…の順や、P1とP4に同時に電圧を印加するようにしても良い。
【0080】
また、上記例ではスプリング50,92が用いられたが、そのスプリングに代えて、ゴム(弾性体)を用いるようにしても良い。
【0081】
また、上記例では、z移動体61の表と裏の両面に三角溝が形成されているが、その何れか一方の面に三角溝を形成し、その溝に駆動体をはめるようにしても良い。
【0082】
また、図8は、図2の移動ステージ装置を備えた装置の例を示したものである。図8において、100は、図2の移動ステージ装置を示している。この移動ステージ装置100のz移動体101上には、x,y,z方向に変位可能なチューブピエゾスキャナ102が配置されている。そして、ピエゾスキャナ102の先端には、導電性の探針103が取り付けられている。探針103は電極104を取り付けられる構造をとり、その電極104はSPMユニット105に電気的に接続されている。
【0083】
また、図8において106は試料であり、試料106を載置している試料ステージ107は、試料台108上に置かれている。前記移動ステージ装置100は、この試料台108上に置かれている。そして、走査電子顕微鏡(SEM)109により、試料106を観察可能に構成されている。
【0084】
このような装置において、移動ステージ装置100と、新たに取り付けられたピエゾスキャナ102が移動されて、試料106の任意の場所に探針先端が近付けられる。このときの探針先端の位置決めは、試料上部に取り付けられたSEM109による試料観察を行いながら行われる。
【0085】
また、探針103と試料106間には適当なバイアス電圧が印加されており、探針と試料間に流れるトンネル電流がSPMユニット105においてモニタリングされている。そして、SPMユニット105は、そのモニタ電流に基づき、探針先端が試料表面に接触するようにピエゾスキャナ102のz動を制御する。その後、試料に接触した探針を流れる電流がSPMユニット105で検出され、試料上の微小領域での電流検出測定が行われる。
【0086】
また、ピエゾスキャナ102をxy方向に変位させ、探針で試料表面を走査させることで、SPMとしても利用することが可能である。
【0087】
また、図8において、探針103の代わりに、ナノピンセットをセットするようにしても良い。この場合、SEM109で試料表面が観察され、移動ステージ装置100とピエゾスキャナ102が移動されて、目的とする所までナノピンセットが移動される。そして、目的場所にある試料がナノピンセットで挟まれて、その試料が異なる場所に移動されて置かれる。
【0088】
なお、このナノピンセットの一例として、2本のカーボンナノチューブが平行に配置されたナノピンセットがあり、このナノピンセットにおいては、2本のカーボンナノチューブ間に電圧が印加されると、それらが引き付くようになっている。
【0089】
(実施例2)図9及び図10は、本発明の移動ステージ装置の一例を示した図である。図9(a)は移動ステージ装置を上から見た図である。図9(b)は移動ステージ装置を横から見た図である。図10は移動ステージ装置の主要部品の分解図である。実施例1と同一名称の構成要素には同一番号を付す。図9、10において、11は台座であり、台座11はL字状に形成されており、底辺中央部には四角形の貫通穴が設けられている。台座11の上面Aには、3つの駆動体12,13,14が取り付けられている。この3つの駆動体12,13,14で、本発明における第1の駆動体が構成されている。
【0090】
これらの駆動体12,13,14の構造は同じであり、駆動体12,13,14は、一端が台座11に取り付けられた円筒型ピエゾスキャナP1,P2,P3と、そのスキャナの他端に取り付けられたルビー球15,16,17とで構成されている。ピエゾスキャナP1,P2,P3は、電圧印加によってxy方向に変位するように構成されている。
【0091】
図9、10中、19a及び19bはxy移動体(第1の移動体)であり、xy移動体は第1の挟持体19aと第2の挟持体19bから構成されている。xy移動体は、前記駆動体12,13,14上に置かれている。第1の挟持体19aは水平板と挟持面Lを有する垂直板から構成されている。第1の挟持体19aの水平板下面Bには、1つの正方形状のインシュレータ(滑り部材)21が取り付けられている。さらに第1の挟持体19aの水平板上面Cには、1つの正方形状のインシュレータ24が取り付けられている。第1の挟持体19aの垂直板には、挟持面Lに3つの駆動体54,55,56が取り付けられている。この3つの駆動体54,55,56で、本発明における第3の駆動体が構成されている。これらの駆動体54,55,56の構造は前記駆動体12,13,14,28,29,30の構造と同じであり、駆動体54,55,56は、一端が垂直板の挟持面Lに取り付けられた円筒型ピエゾスキャナP7,P8,P9と、そのスキャナの他端に取り付けられたルビー球57,58,59とで構成されている。ピエゾスキャナP7,P8,P9は、電圧印加によってz方向に変位するように構成されている。
【0092】
また、第2の挟持体19bは2つに分割された水平板と貫通孔のある挟持面Mを有する垂直板から構成されている。第2の挟持体19bの水平板下面には、2つの正方形状のインシュレータ(滑り部材)22、23が取り付けられている。さらに第2の挟持体19bの水平板上面には、1つの正方形状のインシュレータ25、26が取り付けられている。第2の挟持体19bの垂直板の挟持面Mには、3つの駆動体70、71、72が取り付けられている。この3つの駆動体70、71、72で、本発明における第4の駆動体が構成されている。これらの駆動体70,71,72の構造は、前記駆動体54,55,56の構造と同じである。駆動体70,71,72は、一端が垂直板の挟持面Mに取り付けられた円筒型ピエゾスキャナP10,P11,P12と、そのスキャナの他端に取り付けられたルビー球73,74,75とで構成されている。ピエゾスキャナP10,P11,P12は、電圧印加によってz方向に変位するように構成されている。
【0093】
これらのインシュレータ21〜26は、サファイアやアルミナ等で作られており、それらの表面は鏡面研磨されている。前記駆動体12のルビー球15はインシュレータ21に、前記駆動体13のルビー球16はインシュレータ22に、前記駆動体14のルビー球16はインシュレータ23にそれぞれ当接している。
【0094】
第1の挟持体19aと第2の挟持体19bは後述するz移動体(第2移動体)を挟持し、第2の挟持体19bの垂直板の貫通穴には第2移動体の水平板が貫通する。
【0095】
また、図9、10において、27は上盤である。上盤27の下面Dには、3つの駆動体28,29,30が取り付けられている。この3つの駆動体28,29,30で、本発明における第2の駆動体が構成されている。
【0096】
これらの駆動体28,29,30の構造は、前記駆動体12,13,14の構造と同じである。駆動体28,29,30は、一端が上盤27に取り付けられた円筒型ピエゾスキャナP4,P5,P6と、そのスキャナの他端に取り付けられたルビー球31,32,33とで構成されている。ピエゾスキャナP4,P5,P6は、電圧印加によってxy方向に変位するように構成されている。
【0097】
そして、図9、10に示すように、ピエゾスキャナP4先端に取り付けられたルビー球31は前記インシュレータ24に、ピエゾスキャナP5先端に取り付けられたルビー球32は前記インシュレータ25に、ピエゾスキャナP6先端に取り付けられたルビー球33は前記インシュレータ26にそれぞれ当接している。図9(b)から分かるように、ピエゾスキャナP4を有する駆動体28はxy移動体19a、19bを介して前記駆動体12に、ピエゾスキャナP5を有する駆動体29はxy移動体19a、19bを介して前記駆動体13に、ピエゾスキャナP6を有する駆動体30はxy移動体19a、19bを介して前記駆動体14にそれぞれ対向している。
【0098】
そして、上盤27の一端両側には、ピン38,39が固定されている。ピン38にはスプリング40の一端が引っ掛けられ、ピン39にはスプリング41の一端が引っ掛けられている。一方、スプリング40の他端は、前記台座11の上部側面に固定されたピン42に引っ掛けられ、スプリング41の他端は、台座11の上部側面に固定されたピン43に引っ掛けられている。これらスプリング40,41の作用により、上盤27は台座11のピン42,43方向に引っ張られる。
【0099】
スプリング50a、50b、50cの一端はそれぞれ上盤27に平行ピン51で止められ、他端は台座11に平行ピン51で止められている。このスプリング50a、50b、50cの作用により、上盤27は、台座11の上面Aの方へ引っ張られ、xy移動体19a、19bは、駆動体28,29,30によって駆動体12,13,14に押し付けられている。
【0100】
ここまで説明したように、図9、10の移動ステージ装置においては、xy移動体19a、19bは、台座11側の駆動体12,13,14と、それら駆動体12,13,14に対向する上盤27側の駆動体28,29,30とで挟まれている。
【0101】
図9、10中、61はz移動体(第2の移動体)であり、平行板と被挟持面を有する垂直板から構成されている。z移動体61の垂直板は、前記駆動体54,55,56に接して配置されている。このz移動体61の平行板には貫通孔62が開けられており、スプリング50cが貫通する。また、z移動体61の垂直板の裏面Hには、z方向に延びる平面状のインシュレータが取り付けられている。さらにz移動体61の垂直板の裏面Hには、z方向に延びる2本の三角溝が形成されており、その三角溝64の表面には、z方向に延びるV字状のインシュレータ65が取り付けられている。
【0102】
一方、z移動体61の表面Iには、z方向に延びる2本の三角溝66が形成されており、その三角溝66の表面には、z方向に延びるV字状のインシュレータ67が取り付けられている。さらにz移動体61の表面Iには、z方向に延びる平面状のインシュレータ68が取り付けられている。
【0103】
これらのインシュレータは、サファイアやアルミナ等で作られており、それらの表面は鏡面研磨されている。前記駆動体54のルビー球57はV字状インシュレータに、前記駆動体55のルビー球58は同じくV字状インシュレータに、前記駆動体56のルビー球59は平面状インシュレータにそれぞれ当接している。
【0104】
このように、図9、10の移動ステージ装置においては、z移動体61は、第1の挟持体19aの駆動体54,55,56と、それら駆動体54,55,56に対向する第2の挟持体19bの駆動体70,71,72とで挟まれている。さらに、前記スプリング92a、92bの一端は第1の挟持体19aにピンで固定され、前記スプリング92a、92bの他端は第2の挟持体19bにピンで固定されている。
【0105】
このような駆動体の配置により、z移動体61は、駆動体70,71,72によって均等な力で押され、駆動体54,55,56に押し付けられている。このため、z移動体61は、駆動体54,55,56と駆動体70,71,72とでしっかり挟まれて、静止している。
【0106】
図9、10のピエゾスキャナP1〜P6は全て同じ向きに配置されている。すなわち、ピエゾスキャナP1〜P6の電極+Xは全てx方向を向いており、ピエゾスキャナP1〜P6の電極−Xは全て−x方向を向いている。y方向も同様である。図9、10のピエゾスキャナP7〜P12は全て同じ向きに配置されている。すなわち、ピエゾスキャナP7〜P12の電極+Xは全てz方向を向いており、電極−Xは全て−z方向を向いている。
【0107】
また、図9、10において、94は電圧電源装置であり、電圧電源装置94は、前記ピエゾスキャナP1〜P12の各電極間に前記電圧±Vx,±Vyを印加するためのものである。電圧電源装置94の制御は、スキャナ制御手段95によって行われる。
【0108】
図11は、図9におけるピエゾスキャナの、台座または上盤への取り付け位置を示した図である。図11(a)は図9における矢視00である。図11(b)は図9における矢視PPである。図11(c)は図9における矢視QQである。図11(d)は図9における矢視RRである。
【0109】
以上、図9、10の構成について説明してきたが、動作は実施例1と同様である。つまり、図5の様な電気信号を供給することにより、図6の様にxy移動体がx方向に移動する。y方向に移動させる場合には、x方向への移動と同様な動作が行われる。これにより、xy移動体は任意のxy方向に移動することができる。また、z方向においても、同様な動作を行う。この時、xy移動体はz移動体に相当し、P1〜P6はそれぞれP7〜P12に相当する。
【0110】
また、図12において106は試料であり、試料106を載置している試料ステージ107は、試料台108上に置かれている。前記移動ステージ装置100は、この試料台108上に置かれている。そして、走査電子顕微鏡(SEM)109により、試料106を観察可能に構成されている。
【0111】
このような装置において、移動ステージ装置100と、新たに取り付けられたピエゾスキャナ102が移動されて、試料106の任意の場所に探針先端が近付けられる。このときの探針先端の位置決めは、試料上部に取り付けられたSEM109による試料観察を行いながら行われる。
【0112】
また、探針103と試料106間には適当なバイアス電圧が印加されており、探針と試料間に流れるトンネル電流がSPMユニット105においてモニタリングされている。そして、SPMユニット105は、そのモニタ電流に基づき、探針先端が試料表面に接触するようにピエゾスキャナ102のz動を制御する。その後、試料に接触した探針を流れる電流がSPMユニット105で検出され、試料上の微小領域での電流検出測定が行われる。
【0113】
以上、本発明を例を挙げて説明したが、本発明は上記例に限定されるものではない。たとえば、本発明の移動ステージ装置は、SPM以外の微動が必要な装置に適用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】慣性駆動ステージの基本構造を示した図である。
【図2】本発明にかかる移動ステージ装置の一例を示した図である。
【図3】図2におけるピエゾスキャナの、台座または上盤への取り付け位置を示した図である。
【図4】図2におけるピエゾスキャナを示した図である。
【図5】図2におけるピエゾスキャナを変位させるための電圧信号を示した図である。
【図6】図2におけるピエゾスキャナの変位を説明するために示した図である。
【図7】図2におけるxy移動体の移動を説明するために示した図である。
【図8】図2の移動ステージ装置を備えた装置の例を示した図である。
【図9】本発明にかかる移動ステージ装置の一例を示した図である。
【図10】図9の移動ステージの主要部品の分解図である。
【図11】図9におけるピエゾスキャナの、台座または上盤への取り付け位置を示した図である。
【図12】図9の移動ステージ装置を備えた装置の例を示した図である。
【符号の説明】
11…台座、12、13、14…第1の駆動体、19…xy移動体(第1の移動体)、19a…第1の挟持体、19b…第2の挟持体、27…上盤、28、29、30…第2の駆動体、50、50a、50b、50c…スプリング(弾性体)、53…第2の台座、54、55、56…第3の駆動体、61…z移動体(第2の移動体)、69…第2の上盤、70、71、72…第4の駆動体、92、92a、92b…スプリング(第2の弾性体)、P1、P2、P3、P4、P5、P6、P7、P8、P9、P10、P11、P12…ピエゾスキャナ
Claims (14)
- 台座と、
ピエゾスキャナを有し、前記台座に取り付けられた第1の駆動体と、
上盤と、
ピエゾスキャナを有し、前記上盤に取り付けられた第2の駆動体と、
前記台座の駆動体側と前記上盤の駆動体側とが向き合った状態において、上盤を台座の方へ引っ張るために上盤と台座間に張られた弾性体と、
前記第1の駆動体と前記第2の駆動体とで挟持された第1の移動体と、
を備えたことを特徴とする移動ステージ装置。 - 前記第1の移動体が前記第2の駆動体によって前記第1の駆動体の方へ押圧される方向をz方向とするとき、前記第1と第2の駆動体は、ピエゾスキャナへの電圧印加によってxy方向に移動可能に構成されていることを特徴とする請求項1記載の移動ステージ装置。
- 鏡面研磨された滑り部材が前記第1の移動体表面に取り付けられており、前記第1と第2の駆動体は前記滑り部材に当接していることを特徴とする請求項1記載の移動ステージ装置。
- 前記第1の駆動体は3つのピエゾスキャナ(P1,P2,P3)を有し、それらの各ピエゾスキャナは独立して前記台座に取り付けられていると共に、他の2つのピエゾスキャナの取付位置からほぼ等距離の位置に取り付けられており、
前記第2の駆動体は3つのピエゾスキャナ(P4,P5,P6)を有し、それらの各ピエゾスキャナは独立して前記台座に取り付けられていると共に、他の2つのピエゾスキャナの取付位置からほぼ等距離の位置に取り付けられており、
前記弾性体の一端は、前記台座上において、前記3つのピエゾスキャナ(P1,P2,P3)の取付位置を結んで出来る三角形の重心位置に取り付けられており、前記弾性体の他端は、前記上盤上において、前記3つのピエゾスキャナ(P4,P5,P6)の取付位置を結んで出来る三角形の重心位置に取り付けられている
ことを特徴とする請求項1から3の何れかに記載の移動ステージ装置。 - 前記第1の移動体が前記ピエゾスキャナ(P4,P5,P6)によって前記ピエゾスキャナ(P1,P2,P3)の方へ押圧される方向をz方向とするとき、前記ピエゾスキャナ(P1,P2,P3,P4,P5,P6)のxy変位を制御するスキャナ制御手段を備え、前記スキャナ制御手段は、前記第1の移動体をxy方向に移動させるときは、前記ピエゾスキャナ(P1,P2,P3,P4,P5,P6)が一斉にxy変位するようにピエゾスキャナ(P1,P2,P3,P4,P5,P6)に印加される電圧を制御する一方、前記第1の移動体をその位置に止めたまま前記ピエゾスキャナ(P1,P2,P3,P4,P5,P6)をxy変位させるときは、前記ピエゾスキャナ(P1,P2,P3,P4,P5,P6)が順にxy変位するようにピエゾスキャナ(P1,P2,P3,P4,P5,P6)に印加される電圧を制御することを特徴とする請求項4記載の移動ステージ装置。
- 前記スキャナ制御手段は、前記ピエゾスキャナ(P1,P2,P3,P4,P5,P6)の一斉変位に伴って前記第1の移動体がxy移動するようにスキャナ速度υ1を制御すると共に、各ピエゾスキャナ(P1,P2,P3,P4,P5,P6)を順に変位させたときに前記第1の移動体がxy移動しないようにスキャナ速度υ2を制御することを特徴とする請求項5記載の移動ステージ装置。
- z移動装置が前記第1の移動体に接続されており、前記z移動装置は、
第2の台座と、
ピエゾスキャナを有し、前記第2の台座に取り付けられた第3の駆動体と、
第2の上盤と、
ピエゾスキャナを有し、前記第2の上盤に取り付けられた第4の駆動体と、
前記第2の台座の駆動体側と前記第2の上盤の駆動体側とが向き合った状態において、第2の上盤を第2の台座の方へ引っ張るために第2の上盤と第2の台座間に張られた第2の弾性体と、
前記第3の駆動体と前記第4の駆動体とで挟持された第2の移動体とを備え、
前記第1の移動体が前記第2の駆動体によって前記第1の駆動体の方へ押圧される方向をz方向とするとき、前記第2の移動体は、前記z方向と直交する方向から前記第4の駆動体によって前記第3の駆動体の方へ押圧されていて、
前記第3と第4の駆動体は、ピエゾスキャナへの電圧印加によってz方向に移動可能に構成されていることを特徴とする請求項1記載の移動ステージ装置。 - z方向に延びる溝が前記第2の移動体に形成されており、前記第3の駆動体と前記第4の駆動体の両方、または何れか一方が前記溝にはまっていることを特徴とする請求項7記載の移動ステージ装置。
- 台座と、
ピエゾスキャナを有し、前記台座に独立して取り付けられた複数の駆動体と、
前記複数の駆動体上に置かれた移動体と、
前記移動体を前記駆動体の方へ押圧する押圧手段とを備え、
前記移動体が前記押圧手段によって前記駆動体の方へ押圧される方向を押圧方向とするとき、前記各駆動体のピエゾスキャナは、電圧印加によって前記押圧方向と直交する直交方向に変位可能に構成されている移動ステージ装置において、
前記ピエゾスキャナの前記直交方向への変位を制御するスキャナ制御手段を備え、前記スキャナ制御手段は、前記移動体を前記直交方向に移動させるときは、前記複数のピエゾスキャナが一斉に前記直交方向に変位するように各ピエゾスキャナに印加される電圧を制御する一方、前記移動体をその位置に止めたまま前記ピエゾスキャナを前記直交方向に変位させるときは、前記複数のピエゾスキャナが順に前記直交方向に変位するように各ピエゾスキャナに印加される電圧を制御することを特徴とする移動ステージ装置。 - 前記スキャナ制御手段は、前記ピエゾスキャナの一斉変位に伴って前記移動体が前記直交方向に移動するようにスキャナ速度υ1を制御すると共に、各ピエゾスキャナを順に変位させたときに前記移動体が移動しないようにスキャナ速度υ2を制御することを特徴とする請求項9記載の移動ステージ装置。
- 前記第1の移動体がそれぞれ挟持面を有する第1の挟持体と第2の挟持体より構成された請求項1から3の何れかに記載の移動ステージ装置であって、
前記第1の移動体が前記第2の駆動体によって前記第1の駆動体の方へ押圧される方向をz方向とするとき、z方向に移動自在な第2の移動体と、
ピエゾスキャナを有し、前記第1の挟持体の挟持面に取り付けられた第3の駆動体と、
ピエゾスキャナを有し、前記第2の挟持体の挟持面に取り付けられた第4の駆動体と、
を備え、
前記第1の駆動体は3つのピエゾスキャナ(P1,P2,P3)を有し、それらの各ピエゾスキャナは独立して前記台座に取り付けられていると共に、他の2つのピエゾスキャナの取り付位置からほぼ等距離の位置に取り付けられており、
前記第2の駆動体は3つのピエゾスキャナ(P4,P5,P6)を有し、それらの各ピエゾスキャナは独立して前記台座に取り付けられていると共に、他の2つのピエゾスキャナの取り付位置からほぼ等距離の位置に取り付けられており、
前記第2の移動体が前記第3の駆動体を介して前記第1の挟持体の挟持面と前記第4の駆動体を介して前記第2の挟持体の挟持面で挟持されて、前記2つの挟持体と一体としてxy方向に移動自在であることを特徴とする移動ステージ装置。 - 前記第1の移動体が前記ピエゾスキャナ(P4,P5,P6)によって前記ピエゾスキャナ(P1,P2,P3)の方へ押圧される方向をz方向とするとき、前記ピエゾスキャナ(P1,P2,P3,P4,P5,P6)のxy変位を制御するスキャナ制御手段を備え、前記スキャナ制御手段は、前記第1の移動体をxy方向に移動させるときは、前記ピエゾスキャナ(P1,P2,P3,P4,P5,P6)が一斉にxy変位するようにピエゾスキャナ(P1,P2,P3,P4,P5,P6)に印加される電圧を制御する一方、前記第1の移動体をその位置に止めたまま前記ピエゾスキャナ(P1,P2,P3,P4,P5,P6)をxy変位させるときは、前記ピエゾスキャナ(P1,P2,P3,P4,P5,P6)が順にxy変位するようにピエゾスキャナ(P1,P2,P3,P4,P5,P6)に印加される電圧を制御することを特徴とする請求項11記載の移動ステージ装置。
- 前記スキャナ制御手段は、前記ピエゾスキャナ(P1,P2,P3,P4,P5,P6)の一斉変位に伴って前記第1の移動体がxy移動するようにスキャナ速度υ1を制御すると共に、各ピエゾスキャナ(P1,P2,P3,P4,P5,P6)を順に変位させたときに前記第1の移動体がxy移動しないようにスキャナ速度υ2を制御することを特徴とする請求項12記載の移動ステージ装置
- 試料と前記試料に対向した探針を備え、前記探針が請求項1から13の何れかに記載の移動ステージ装置に設置されている走査形プローブ顕微鏡。
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