JP2005010058A - 移動ステージ装置及び走査形プローブ顕微鏡 - Google Patents
移動ステージ装置及び走査形プローブ顕微鏡 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005010058A JP2005010058A JP2003175826A JP2003175826A JP2005010058A JP 2005010058 A JP2005010058 A JP 2005010058A JP 2003175826 A JP2003175826 A JP 2003175826A JP 2003175826 A JP2003175826 A JP 2003175826A JP 2005010058 A JP2005010058 A JP 2005010058A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- moving
- piezo
- driving body
- pedestal
- attached
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
【目的】本発明が解決しようとする課題は、慣性移動ステージ装置に用いられるピエゾ素子にz方向の変位も加えることにより、より正確なxy方向への移動、ステージのz方向への微調整、あおり方向の動きを実現することである。
【構成】台座と、ピエゾスキャナを有し台座に取り付けられた第1の駆動体と、上盤と、ピエゾスキャナを有し上盤に取り付けられた第2の駆動体と、第1の駆動体と第2の駆動体とで挟持された第1の移動体と、台座の駆動体側と上盤の駆動体側が向き合った状態において上盤を台座の方へ力を加える第1の力を加える手段と、を備えた移動ステージ装置において、第1の移動体が第2の駆動体によって第1の駆動体の方へ押圧される方向をz方向とするとき、第1の駆動体及び第2の駆動体のピエゾスキャナへの電圧印加によって第1の移動体がxyz方向に移動自在であることを特徴とする。
【選択図】 図8
【構成】台座と、ピエゾスキャナを有し台座に取り付けられた第1の駆動体と、上盤と、ピエゾスキャナを有し上盤に取り付けられた第2の駆動体と、第1の駆動体と第2の駆動体とで挟持された第1の移動体と、台座の駆動体側と上盤の駆動体側が向き合った状態において上盤を台座の方へ力を加える第1の力を加える手段と、を備えた移動ステージ装置において、第1の移動体が第2の駆動体によって第1の駆動体の方へ押圧される方向をz方向とするとき、第1の駆動体及び第2の駆動体のピエゾスキャナへの電圧印加によって第1の移動体がxyz方向に移動自在であることを特徴とする。
【選択図】 図8
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、微動が必要な装置に用いて好適な移動ステージ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】走査形トンネル顕微鏡などの走査形プローブ顕微鏡(SPM:Scanning Probe Microscope)は、探針を試料上で走査させて原子レベルの試料像を得る装置であり、非常に高い分解能を得られる装置として注目されている。
【0003】
このSPMにおいては、探針または試料をマイクロオーダー以下の精度で移動させることが必要である。最近のSPMの中には、その移動ステージとして、モータ駆動ステージよりもコンパクトな慣性駆動ステージを備えたものがある。
【0004】
図18は、慣性駆動ステージの基本構造を示したものである。図18において1は台座であり、台座1には、x方向に延びる溝2が形成されている。そして、溝2の表面には、凹状の滑り部材3が取り付けられており、インシュレータ(サファイア,アルミナなど)で形成された滑り部材3の表面は鏡面研磨されている。
【0005】
4はステージであり、ステージ4には、4個の積層型ピエゾ5〜8(積層型ピエゾ7,8は図示されていない)が取り付けられている。図17は積層ピエゾの詳細図である。表面に形成された4つの電極のうち、任意の電極に電圧印加を印加することにより、xy方向に変位する。各積層型ピエゾの先端には球9が取り付けられており、球9は、滑り部材3に当接して溝2にはまっている。
【0006】
また、10は磁石であり、磁石10は台座1に取り付けられている。一方、前記ステージ4は磁性材料で作られている。このため、ステージ4は、磁石10によって台座1側へ引き付けられて静止している。
【0007】
このような構成において、ステージ4をx方向へ移動させるときには、まず、積層型ピエゾ5〜8に電圧が印加されて、積層型ピエゾ5〜8がx方向に剪断変形される。次に、積層型ピエゾ5〜8への印加電圧がオフされ、積層型ピエゾ5〜8は元の状態に戻される。このとき発生する慣性力により、ステージ4はx方向へ移動する。なお、このとき積層型ピエゾ5〜8に印加される電圧の波形は、鋸波状の波形や非線形な波形など、様々である。
【0008】
しかし、従来技術の慣性移動ステージ装置に用いられるピエゾ素子はxy方向のみに変位自在のものであるため、ステージ4はxy平面を移動するのみであった。
【0009】
なお、従来技術としては、xy方向に変位自在の円筒型ピエゾ素子を備えた慣性移動ステージ装置がある(例えば、特許文献1)。しかし、図17のようにz方向への変位専用の電極が設置されていないため、良好にz方向の変位を行うことができなかった。
【0010】
【特許文献1】
特願2002−125690
【0011】
【発明が解決しようとする課題】本発明が解決しようとする課題は、慣性移動ステージ装置に用いられるピエゾ素子にz方向の変位も加えることにより、より正確なxy方向への移動、ステージのz方向への微調整、あおり方向の動き及び回転方向への動きを実現することである。
【0012】
【課題を解決するための手段】
第1の発明は、台座と、ピエゾスキャナを有し前記台座に取り付けられた第1の駆動体と、上盤と、ピエゾスキャナを有し前記上盤に取り付けられた第2の駆動体と、前記第1の駆動体と前記第2の駆動体とで挟持された第1の移動体と、前記台座の駆動体側と前記上盤の駆動体側が向き合った状態において上盤を台座の方へ力を加える第1の力を加える手段と、を備えた移動ステージ装置において、前記第1の移動体が前記第2の駆動体によって前記第1の駆動体の方へ押圧される方向をz方向とするとき、前記第1の駆動体及び第2の駆動体の前記ピエゾスキャナへの電圧印加による変形によって前記第1の移動体がxyz方向に移動自在であることを特徴とする。
【0013】
第2の発明は、前記第1の駆動体は3つのピエゾスキャナ(P1,P2,P3)を有し、それらの各ピエゾスキャナは独立して前記台座に取り付けられていると共に、他の2つのピエゾスキャナの取付位置からほぼ等距離の位置に取り付けられており、前記第2の駆動体は3つのピエゾスキャナ(P4,P5,P6)を有し、それらの各ピエゾスキャナは独立して前記台座に取り付けられていると共に、他の2つのピエゾスキャナの取付位置からほぼ等距離の位置に取り付けられていることを特徴とする。
【0014】
第3の発明は、前記第1の移動体が前記第2の駆動体によって前記第1の駆動体の方へ押圧される方向をz方向とするとき、前記ピエゾスキャナ(P1,P2,P3,P4,P5,P6)のxyz変位を制御するスキャナ制御手段を備え、個々の前記ピエゾスキャナ(P1,P2,P3,P4,P5,P6)のxyz変位は独立に制御自在なことを特徴とする。
【0015】
第4の発明は、z移動装置が前記第1の移動体に接続されており、前記z移動装置は、第2の台座と、ピエゾスキャナを有し、前記第2の台座に取り付けられた第3の駆動体と、第2の上盤と、ピエゾスキャナを有し、前記第2の上盤に取り付けられた第4の駆動体と、前記第3の駆動体と前記第4の駆動体とで挟持された第2の移動体と、前記第2の台座の駆動体側と前記第2の上盤の駆動体側とが向き合った状態において、第2の上盤を第2の台座の方へ力を加える第2の力を加える手段とを備え、前記第1の移動体が前記第2の駆動体によって前記第1の駆動体の方へ押圧される方向をz方向とするとき、前記第3の駆動体と第4の駆動体のピエゾスキャナへの電圧印加による変形によって前記第2の移動体はz方向に移動可能であることを特徴とする。
【0016】
第5の発明は、前記第1の移動体がそれぞれ挟持面を有する第1の挟持体と第2の挟持体より構成された移動ステージ装置であって、前記第1の移動体が前記第2の駆動体によって前記第1の駆動体の方へ押圧される方向をz方向とするとき、第2の移動体と、ピエゾスキャナを有し、前記第1の挟持体の挟持面に取り付けられた第3の駆動体と、ピエゾスキャナを有し、前記第2の挟持体の挟持面に取り付けられた第4の駆動体とを備え、前記第2の移動体が前記第3の駆動体を介して前記第1の挟持体の挟持面と前記第4の駆動体を介して前記第2の挟持体の挟持面で挟持されて、前記2つの挟持体と一体としてxyz方向に移動自在であることを特徴とする。
【0017】
第6の発明は、試料と前記試料に対向した探針を備えた、前記探針が当該移動ステージ装置に設置されている走査形プローブ顕微鏡であることを特徴とする。
【0018】
【実施例】以下、図を用いて本発明の実施の形態について説明する。
【0019】
(実施例1)図2は、本発明の移動ステージ装置の簡略図である。図2(c)は移動ステージ装置を横から見た図、図2(a)は移動ステージ装置を下から見た図、図2(b)は移動ステージ装置を上から見た図である。図示のようにxyz方向を定義し、○の中に×印は(y方向)は紙面の表面から裏に向かう矢印とする。
【0020】
図2において、11は台座である。台座11の上面Aには、3つの駆動体12,13,14が取り付けられている。この3つの駆動体12,13,14で、本発明における第1の駆動体が構成されている。
【0021】
これらの駆動体12,13,14の構造は同じであり、一端が台座11に取り付けられた円筒型ピエゾスキャナP1,P2,P3と、そのスキャナの他端に取り付けられたルビー球15,16,17とで構成されている。
【0022】
ここで、図1を用いて、前記ピエゾスキャナP1〜P12の構造について説明する。図1に示すピエゾスキャナは、円筒状圧電体素子Pの外側に4分割の電極(+X,−X,+Y,−Y)及びz電極を持ち、内側はグランドの共通電極Gとなっている。Paはピエゾスキャナの一端を示し、Pbはその他端を示している。
【0023】
このような構造のピエゾスキャナにおいて、たとえば、前記他端Pbを固定端とする。そして、電極+Xと接地電極G間に電圧+Vxを印加して、電極+X,G間の圧電体素子をz方向に縮ませる一方、電極+Xと正負逆の電極−Xと接地電極G間に電圧+Vxを印加して、電極−X,G間の圧電体素子をz方向に伸ばすと、ピエゾスキャナの前記一端Paはx方向に湾曲して変位する。逆に、電極+Xと接地電極G間に電圧−Vxを印加して、それら電極+X,G間の圧電体素子をz方向に伸ばす一方、電極−Xと接地電極G間に電圧−Vxを印加して、それら電極−X,G間の圧電体素子をz方向に縮めると、ピエゾスキャナの一端Paは−x方向に湾曲して変位する。
【0024】
一方、電極+Yと接地電極G間に電圧+Vyを印加して、それらの電極+Y,G間の圧電体素子をz方向に縮ませる一方、電極+Yと正負逆の電極−Yと接地電極G間に電圧+Vyを印加して、それら電極−Y,G間の圧電体素子をz方向に伸ばすと、ピエゾスキャナの一端Paはy方向に湾曲して変位する。逆に、電極+Yと接地電極G間に電圧−Vyを印加して、それら電極+Y,G間の圧電体素子をz方向に伸ばす一方、電極−Yと接地電極G間に電圧−Vyを印加して、それら電極−Y,G間の圧電体素子をz方向に縮めると、ピエゾスキャナの一端Paは−y方向に湾曲して変位する。
【0025】
また、電極Zと接地電極G間に電圧+Vzを印加して、電極Z,G間の圧電体素子をz方向に縮ませると、ピエゾスキャナの一端Paは+Z方向に変位する。逆に、電極Zと接地電極G間に電圧−Vzを印加して、電極+Z,G間の圧電体素子をz方向に伸ばすと、ピエゾスキャナの一端Paは−Z方向に変位する。
【0026】
そして、前記印加電圧±Vx,±Vyに応じてピエゾスキャナのx変位、y変位及びz変位が同時に行われると、ピエゾスキャナの一端Paは、図1中xyz方向に変位する。
【0027】
図2(a)は、台座を下から見た図であり、ピエゾスキャナP1,P2,P3の台座11への取付位置を示した図である。各ピエゾスキャナは、他の2つのピエゾスキャナの取付位置から等距離の位置に取り付けられている。すなわち、ピエゾスキャナP1,P2,P3の台座11への取付位置を結ぶと、正三角形が形成される。
【0028】
図2において、19は慣性移動体(第1の移動体)であり、前記駆動体12,13,14上に置かれている。また、図2において、27は上盤である。上盤27の下面Dには、3つの駆動体28,29,30が取り付けられている。この3つの駆動体28,29,30で、本発明における第2の駆動体が構成されている。これらの駆動体28,29,30の構造は、前記駆動体12,13,14の構造と同じである。第2の駆動体28,29,30は、一端が上盤27に取り付けられた円筒型ピエゾスキャナP4,P5,P6と、そのスキャナの他端に取り付けられたルビー球31,32,33とで構成されている。ピエゾスキャナP4,P5,P6は、電圧印加によってxyz方向に変位する。
【0029】
上盤27は台座11の方向に力が加えられており、慣性体19と駆動体12,13、14、28、29、30が適切な摩擦を有している。力を加える手段は、上盤27と台座11が図示しないバネ、ゴム等の弾性体で互いに引っ張ることでもよく、上盤27が図示しない力を加える装置により押圧されていてもよい。
【0030】
図2(b)は、ピエゾスキャナP4,P5,P6の上盤27への取付位置を示した図である。各ピエゾスキャナは、他の2つのピエゾスキャナの取付位置から等距離の位置に取り付けられている。すなわち、ピエゾスキャナP4,P5,P6の上盤27への取付位置を結ぶと、正三角形が形成される。
【0031】
図2(b)から分かるように、ピエゾスキャナP4を有する駆動体28は慣性移動体19を介して前記駆動体12に、ピエゾスキャナP5を有する駆動体29は慣性移動体19を介して前記駆動体13に、ピエゾスキャナP6を有する駆動体30は慣性移動体19を介して前記駆動体14にそれぞれ対向している。
【0032】
なお、図2のピエゾスキャナP1〜P6においては、ピエゾスキャナP1,P2,P3の図2における他端Pb側が前記台座11に、ピエゾスキャナP4,P5,P6の図2における一端Pa側が前記上盤27にそれぞれ取り付けられている。
【0033】
また、ピエゾスキャナP1〜P6の各電極への電圧印加は、電圧電源装置94、スキャナ制御手段95によって行われる。
【0034】
以上、図2の装置構成について説明したが、以下、動作説明を行う。本発明による慣性移動体19は、▲1▼xy方向への移動、▲2▼上下微調整、▲3▼あおり方向に動作する。
【0035】
▲1▼xy方向への移動: まず、前記慣性移動体19をx方向に移動させる場合の動作説明を、図3〜図6、図9を用いて行う。
【0036】
図9は、前記ピエゾスキャナP1〜P6を変位させるために、前記スキャナ制御手段95から前記電圧電源装置94に供給される電圧信号を示した図である。図9において、(1)はピエゾスキャナP1を変位させるための電圧信号を、(2)はピエゾスキャナP2を変位させるための電圧信号を、(3)はピエゾスキャナP3を変位させるための電圧信号を、(4)はピエゾスキャナP4を変位させるための電圧信号を、(5)はピエゾスキャナP5を変位させるための電圧信号を、(6)はピエゾスキャナP6を変位させるための電圧信号を、それぞれ示している。
【0037】
また、図9(1)において、(a)は、そのピエゾスキャナにおいて前記電極+Xと前記接地電極G間に電圧+Vxを印加するための電圧信号を、(b)は、そのピエゾスキャナにおいて前記電極−Xと前記接地電極G間に電圧+Vxを印加するための電圧信号を、(c)は、そのピエゾスキャナにおいて前記電極zと前記接地電極G間に電圧+Vzを印加するための電圧信号を、それぞれ示している。
【0038】
図3〜6は、前記スキャナ制御手段95の前記電圧電源装置94への電圧信号供給による、前記ピエゾスキャナP1〜P6の変位及び前記慣性移動体19の移動を説明するために示した図である。
【0039】
さて、前記慣性移動体19をx方向に移動させる場合、まず、前記スキャナ制御手段95は、図9(1)−(a),(2)−(a),(3)−(a),(4)−(a),(5)−(a),(6)−(a)に示すように、時刻T0からT1にかけて徐々に+Vxまで増加する電圧信号を、前記電圧電源装置94に供給する。
【0040】
このような電圧信号を受けた電圧電源装置94は、ピエゾスキャナP1〜P6の前記電極+Xと前記接地電極G間に、時刻T0からT1にかけて徐々に+Vx(たとえば150V)まで増加する電圧を印加する。この電圧印加により、ピエゾスキャナP1〜P6のルビー球側先端は一斉にx方向に徐々に変位し、時刻T1においては、ピエゾスキャナP1〜P6のルビー球側先端は、図3に示すように、定位置(電圧印加が行われていないときの位置)からx方向にΔxだけ変位している。
【0041】
この時刻T0からT1におけるピエゾスキャナP1〜P6の変位速度υ1は、一定で遅い。このため、ピエゾスキャナP1〜P6がx方向にΔx変位するとき、ピエゾスキャナP1〜P6先端のルビー球は慣性移動体19上で滑ることはなく、図3に示すようにピエゾスキャナP1〜P6の変位に伴って、慣性移動体19はx方向にΔxだけ移動する。
【0042】
次に、前記スキャナ制御手段95は、時刻T2において、図9(1)−(c)に示すように、ピエゾスキャナP1の前記電極zと前記接地電極G間に電圧+Vz(たとえば150V)の電圧信号を、前記電圧電源装置94に供給する。この電圧印加により、ピエゾスキャナP1は、図4のように縮小する。
【0043】
さらに、前記スキャナ制御手段95は、時刻T3において、図9(1)−(a)に示すように、ピエゾスキャナP1のx電極に関する電圧信号を零にする電圧信号を、前記電圧信号に供給する。すると、ピエゾスキャナP1は、図5のように、z方向に縮小したまま、ルビー球先端部が定位置に戻る。
【0044】
次に、前記スキャナ制御手段95は、時刻T4において、図9(1)−(c)に示すように、ピエゾスキャナP1の前記電極zと前記接地電極G間の電圧を零にする電圧信号を、前記電圧信号電源94に供給する。これにより、図6のように、ピエゾスキャナP1は、z方向に伸長して定位置に戻る。
【0045】
同様に、図9の(2)〜(6)の電圧信号から明らかなように、時刻T5においてピエゾスキャナP2が、時刻T6においてピエゾスキャナP3が、時刻T7においてピエゾスキャナP4が、時刻T8においてピエゾスキャナP5が、そして時刻T9においてピエゾスキャナP6が、それぞれ定位置に戻される。よって、時刻T9において、慣性移動体19は、前記時刻T0の時点からx方向にΔxだけ移動している。以後、上述した時刻T0〜T9における動作が所定回繰り返し行われ、慣性移動体19はx方向に所定量だけ移動される。
【0046】
以上、慣性移動体19をx方向に移動させる場合の動作説明を行ったが、慣性移動体19をy方向に移動させる場合も同様である。
【0047】
また同様に、慣性移動体19を任意のxy方向に移動させる場合には、まず、ピエゾスキャナ(P1〜P6)が一斉に同じxy方向に徐々に変位するように、ピエゾスキャナ(P1〜P6)の各xy電極間(電極±Xと接地電極G間、および電極±Yと接地電極G間)に電圧が印加される。その後、ピエゾスキャナ(P1〜P6)が、P1,P2,P3,P4,P5,P6の順に定位置に戻される。
【0048】
以上の様に、ピエゾスキャナがz方向に変位することにより、慣性移動体をより正確に移動させることができる。つまり、ピエゾスキャナを元の位置に戻すときは縮小させて慣性移動体の移動に影響を及ばさないようにする。
【0049】
なお、上記例では、ピエゾスキャナが一斉に徐々に変位され、その後、ピエゾスキャナが1つづつ元に戻されたが、その逆が行われるようにしても良い。すなわち、ピエゾスキャナが1つづつ瞬時に変位されて、すべてのピエゾスキャナが変位した後、そのすべてのピエゾスキャナが一斉に徐々に元に戻されるようにしても良い。この場合、ピエゾスキャナが元に戻されるときに、移動体はピエゾスキャナと一緒に移動する。
【0050】
また、電圧を印加する順序も、目的に応じて変化させるようにしても良い。たとえば、上述したP1,P2,P3,…の順ではなく、P1,P4,P2,P5,…の順や、P1とP4に同時に電圧を印加するようにしても良い。
【0051】
▲2▼上下微調整: 図10はピエゾスキャナへの電圧印加グラフである。図10(1)−(c)、図10(2)−(c)、図10(3)−(c)に示すように、時刻T0より台座に設置されたピエゾスキャナP1〜P3の前記z電極と前記接地電極G間に徐々に電圧を印加し始め、時刻T1において−VZを印可すると、ピエゾスキャナはz方向に伸長する。xy電極に電圧は印加しない。
【0052】
また同時に、図10(4)−(c)、図10(5)−(c)、図10(6)−(c)に示すように、時刻T0から上盤に設置されたピエゾスキャナP4〜P6の前記z電極と前記接地電極G間に、徐々に電圧を印加し始め、時刻T1においてVZを印可すると、ピエゾスキャナはz方向に縮小する。xy電極に電圧は印加しない。
【0053】
このため、図7に示すようにピエゾスキャナP1〜P3及び及びピエゾスキャナP4〜P6で挟持された慣性移動体がz方向に移動する。図7において、点線で示す図は移動前(時刻T0)であり、実線で示す図は移動後(時刻T1)である。
【0054】
この場合、ピエゾスキャナは電圧印加により正確に変位する。また、がたつきやすべり等が起こらず、正確に指定した位置に移動する。さらに、ピエゾスキャナに印可する電圧の変位量を調整することにより、慣性移動体の移動スピードを調整することができる。上下のピエゾスキャナにそれぞれ逆の電圧を印可すると−z方向に移動する。
【0055】
▲3▼あおり方向の移動: 図11はピエゾスキャナへの電圧印加グラフである。図11(1)−(c)に示すように、時刻T0より台座に設置されたピエゾスキャナP1の前記z電極と前記接地電極G間に徐々に電圧を印加し始め、時刻T1において−VZを印可すると、ピエゾスキャナはz方向に伸長する。同時に、図11(2)−(c)、図11(3)−(c)に示すように、台座に設置されたピエゾスキャナP2、P3のz電極と前記接地電極G間に、時刻T0より徐々に電圧を印加し始め、時刻T1においてVZを印可すると、ピエゾスキャナP2、P3はz方向に縮小する。xy電極に電圧は印加しない。
【0056】
また、図11(4)−(c)に示すように、上盤に設置されたピエゾスキャナP4のz電極と前記接地電極G間に、時刻T0から徐々に電圧を印加し始め、時刻T1においてVZを印可すると、ピエゾスキャナはz方向に縮小する。同時に、図11(5)−(c)、図11(6)−(c)に示すように、上盤に設置されたピエゾスキャナP5、P6のz電極と前記接地電極G間に、時刻T0から徐々に電圧を印加し始め、時刻T1において−VZを印可すると、ピエゾスキャナP5、P6はz方向に伸長する。xy電極に電圧は印加しない。
【0057】
このため、図8に示すようにピエゾスキャナP1〜P3及び及びピエゾスキャナP4〜P6で挟持された慣性移動体がz方向の片側がz方向に移動し、他方が−z方向に移動し、あおり移動を行う。図8において、点線で示す図は移動前(時刻T0)であり、実線で示す図は移動後(時刻T1)である。
【0058】
この場合も、ピエゾスキャナは電圧印加により正確に変位する。また、がたつきやすべり等が起こらず、正確に指定した位置に移動する。ピエゾスキャナに印可する電圧の変位量を調整することにより、慣性移動体の移動スピードを調整することができる。上下のピエゾスキャナにそれぞれ逆の電圧を印可すると逆方向にあおり移動を行う。
【0059】
この場合、電圧の増加割合を変えることで慣性移動体の移動スピードを、電圧の大きさを変えることで移動量を変えることができる。
【0060】
また他の応用動作として、図19がある。図19において、ピエゾスキャナの1つを絶えず固定した状態で、他の2つのピエゾスキャナをxy方向に変位させることで、慣性移動体がある程度の範囲で回転方向に移動することが可能である。
【0061】
(実施例2)図12は、本発明の移動ステージ装置の一例を示した図である。図12(a)は移動ステージ装置を横から見た図、図12(b)は移動ステージ装置を上から見た図である。実施例1と同一名称の構成要素には同一番号を付す。図中のカッコ付きの番号は、陰で見えない構成要素を示す。
【0062】
図12において、11は台座であり、台座11はL字状に形成されている。台座11の上面Aには、3つの駆動体12,13,14が取り付けられている。この3つの駆動体12,13,14で、本発明における第1の駆動体が構成されている。
【0063】
これらの駆動体12,13,14の構造は同じであり、駆動体12,13,14は、一端が台座11に取り付けられた円筒型ピエゾスキャナP1,P2,P3と、そのスキャナの他端に取り付けられたルビー球15,16,17とで構成されている。ピエゾスキャナP1,P2,P3は、電圧印加によってxyz方向に変位するように構成されている。各ピエゾスキャナは、他の2つのピエゾスキャナの取付位置から等距離の位置に取り付けられている。すなわち、ピエゾスキャナP1,P2,P3の台座11への取付位置を結ぶと、正三角形が形成される。そして、台座11には、その三角形の重心位置に貫通孔18が開けられている。
【0064】
図12において、19は慣性移動体(第1の移動体)であり、慣性移動体19は、前記駆動体12,13,14上に置かれている。この慣性移動体19には貫通孔20が開けられており、また、慣性移動体19の下面Bには、3つの正方形状のインシュレータ(滑り部材)21,22,23が取り付けられている。さらに慣性移動体19の上面Cには、3つの正方形状のインシュレータ24,25,26が取り付けられている。
【0065】
これらのインシュレータ21〜26は、サファイアやアルミナ等で作られており、それらの表面は鏡面研磨されている。前記駆動体12のルビー球15はインシュレータ21に、前記駆動体13のルビー球16はインシュレータ22に、前記駆動体14のルビー球17はインシュレータ23にそれぞれ当接している。
【0066】
また、図12において、27は上盤である。上盤27の下面Dには、3つの駆動体28,29,30が取り付けられている。この3つの駆動体28,29,30で、本発明における第2の駆動体が構成されている。
【0067】
これらの駆動体28,29,30の構造は、前記駆動体12,13,14の構造と同じである。駆動体28,29,30は、一端が上盤27に取り付けられた円筒型ピエゾスキャナP4,P5,P6と、そのスキャナの他端に取り付けられたルビー球31,32,33とで構成されている。ピエゾスキャナP4,P5,P6は、電圧印加によってxyz方向に変位するように構成されている。
【0068】
各ピエゾスキャナは、他の2つのピエゾスキャナの取付位置から等距離の位置に取り付けられている。すなわち、ピエゾスキャナP4,P5,P6の上盤27への取付位置を結ぶと、正三角形が形成される。そして、上盤27には、その三角形の重心位置に貫通孔34が開けられている。
【0069】
そして、図12に示すように、ピエゾスキャナP4先端に取り付けられたルビー球31は前記インシュレータ24に、ピエゾスキャナP5先端に取り付けられたルビー球32は前記インシュレータ25に、ピエゾスキャナP6先端に取り付けられたルビー球33は前記インシュレータ26にそれぞれ当接している。図12(b)から分かるように、ピエゾスキャナP4を有する駆動体28は慣性移動体19を介して前記駆動体12に、ピエゾスキャナP5を有する駆動体29は慣性移動体19を介して前記駆動体13に、ピエゾスキャナP6を有する駆動体30は慣性移動体19を介して前記駆動体14にそれぞれ対向している。
【0070】
図12において、35は回動部材である。回動部材35の一端はビス36によって台座11に、回動部材35の他端はビス37によって台座11に、それぞれ回動自由に取り付けられている。このような取り付けにより、回動部材35は、ビス36,37を結ぶ軸を回転軸として回動可能である。
【0071】
そして、回動部材35の上部両側には、ピン38,39が固定されている。ピン38にはスプリング40の一端が引っ掛けられ、ピン39にはスプリング41の一端が引っ掛けられている。一方、スプリング40の他端は、前記台座11の上部側面に固定されたピン42に引っ掛けられ、スプリング41の他端は、台座11の上部側面に固定されたピン43に引っ掛けられている。
【0072】
これらスプリング40,41の作用により、回動部材35は台座11のピン42,43方向に引っ張られ、それらの間に位置する前記上盤27は、回動部材35によって台座11に押し付けられている。この際、回動部材35の上部に設けられた凸部44が上盤27の側面に当接し、また、上盤27の側面に設けられた凸部45が台座11の溝46にはまって当接している。
【0073】
また、ボルト47が、上盤27の貫通孔34に挿入されており、ボルト47にねじ込まれたナット48が上盤27の上面Eに当接して、ボルト47は止まっている。ボルト47先端に開けられた孔49には、スプリング50の一端が引っ掛けられている。そして、スプリング50の他端は、前記慣性移動体19の貫通孔20と、前記台座11の貫通孔18とを通って、台座11の下面F側に配置された平行ピン51に引っ掛けられている。
【0074】
このスプリング50の作用により、上盤27は、台座11の上面Aの方へ引っ張られ、慣性移動体19は、駆動体28,29,30によって駆動体12,13,14に押し付けられている。
【0075】
ここまで説明したように、図12の移動ステージ装置においては、慣性移動体19は、台座11側の駆動体12,13,14と、それら駆動体12,13,14に対向する上盤27側の駆動体28,29,30とで挟まれている。さらに、前記スプリング50の取付位置にも工夫が施されている。すなわち、スプリング50の一端は、台座11上において、駆動体12,13,14の取付位置を結んで出来る三角形の重心位置に取り付けられ、そのスプリング50の他端は、上盤27上において、駆動体28,29,30の取付位置を結んで出来る三角形の重心位置に取り付けられている。
【0076】
このような駆動体の配置と、スプリング50の取付位置により、慣性移動体19は、駆動体28,29,30によって均等な力で押され、駆動体12,13,14に押し付けられている。このため、慣性移動体19は、駆動体12,13,14と駆動体28,29,30とでしっかり挟まれて、静止している。
【0077】
また、図2において、52はz移動装置である。z移動装置52は前記慣性移動体19に接続されており、その構成は、これまで説明した慣性移動体19の移動装置の構成と似通っている。以下、z移動装置52の構成について説明する。
【0078】
53は台座(第2の台座)であり、慣性移動体19に続く台座53は、L字状に形成されている。台座53の表面Gには、3つの駆動体54,55,56が取り付けられている。
【0079】
これらの駆動体54,55,56の構造は前記駆動体12,13,14,28,29,30の構造と同じであり、駆動体54,55,56は、一端が台座53に取り付けられた円筒型ピエゾスキャナP7,P8,P9と、そのスキャナの他端に取り付けられたルビー球57,58,59とで構成されている。ピエゾスキャナP7,P8,P9は、電圧印加によってz方向に変位する。
【0080】
各ピエゾスキャナは、他の2つのピエゾスキャナの取付位置から等距離の位置に取り付けられている。すなわち、ピエゾスキャナP7,P8,P9の台座53への取付位置を結ぶと、正三角形が形成される。そして、台座53には、その三角形の重心位置に貫通孔60が開けられている。
【0081】
図12において、61はz移動体(第2の移動体)であり、z移動体61は、前記駆動体54,55,56上に配置されている。このz移動体61には貫通孔62が開けられている。また、z移動体61の裏面Hには、z方向に延びる平面状のインシュレータ63が取り付けられている。さらにz移動体61の裏面Hには、z方向に延びる三角溝64が形成されており、その三角溝64の表面には、z方向に延びるV字状のインシュレータ65が取り付けられている。
【0082】
一方、z移動体61の表面Iには、z方向に延びる三角溝66が形成されており、その三角溝66の表面には、z方向に延びるV字状のインシュレータ67が取り付けられている。さらにz移動体61の表面Iには、z方向に延びる平面状のインシュレータ68が取り付けられている。
【0083】
これらのインシュレータ63,64,67,68は、サファイアやアルミナ等で作られており、それらの表面は鏡面研磨されている。前記駆動体54のルビー球57はV字状インシュレータ65に、前記駆動体55のルビー球58は同じくV字状インシュレータ65に、前記駆動体56のルビー球59は平面状インシュレータ63にそれぞれ当接している。
【0084】
また、図12において、69は上盤である。上盤69の裏面Jには、3つの駆動体70,71,72が取り付けられている。
【0085】
これらの駆動体70,71,72の構造は、前記駆動体54,55,56の構造と同じである。駆動体70,71,72は、一端が上盤69に取り付けられた円筒型ピエゾスキャナP10,P11,P12と、そのスキャナの他端に取り付けられたルビー球73,74,75とで構成されている。ピエゾスキャナP10,P11,P12は、電圧印加によってz方向に変位するように構成されている。
【0086】
各ピエゾスキャナP10,P11,P12は、他の2つのピエゾスキャナの取付位置から等距離の位置に取り付けられている。すなわち、ピエゾスキャナP10,P11,P12の上盤69への取付位置を結ぶと、正三角形が形成される。そして、上盤69には、その三角形の重心位置に貫通孔76が開けられている。
【0087】
そして、図12に示すように、ピエゾスキャナP10先端に取り付けられたルビー球73は前記平面状インシュレータ68に、ピエゾスキャナP11先端に取り付けられたルビー球74は同じく平面状インシュレータ68に、ピエゾスキャナP12先端に取り付けられたルビー球75は前記V字状インシュレータ67にそれぞれ当接している。また、図12から分かるように、ピエゾスキャナP10を有する駆動体70はz移動体61を介して前記駆動体54に、ピエゾスキャナP11を有する駆動体71はz移動体61を介して前記駆動体55に、ピエゾスキャナP12を有する駆動体72はz移動体61を介して前記駆動体56にそれぞれ対向している。
【0088】
図12中、77は回動部材である。回動部材77の一端はビス78によって台座53に、回動部材77の他端はビス79によって台座53に、それぞれ回動自由に取り付けられている。このような取り付けにより、回動部材77は、ビス78,79を結ぶ軸を回転軸として回動可能である。
【0089】
そして、回動部材77の前方両側には、ピン80,81が固定されている。ピン80にはスプリング82の一端が引っ掛けられ、ピン81にはスプリング83の一端が引っ掛けられている。一方、スプリング82の他端は、前記台座53の下部側面に固定されたピン84に引っ掛けられ、スプリング83の他端は、台座53の下部側面に固定されたピン85に引っ掛けられている。
【0090】
これらスプリング82,83の作用により、回動部材77は台座53のピン84,85方向に引っ張られ、それらの間に位置する前記上盤69は、回動部材77によって台座53に押し付けられている。この際、回動部材77の上部に設けられた凸部86が上盤69の上部側面に当接し、また、上盤69の下部側面に設けられた凸部87が台座53の溝88にはまって当接している。
【0091】
また、ボルト89が、上盤69の貫通孔76に挿入されており、ボルト89にねじ込まれたナット90が上盤69の表面Kに当接して、ボルト89は止まっている。ボルト89先端に開けられた孔91には、スプリング92の一端が引っ掛けられている。そして、スプリング92の他端は、前記z移動体61の貫通孔62と、前記台座53の貫通孔60とを通って、台座53の裏面側に配置された平行ピン93に引っ掛けられている。
【0092】
このスプリング92の作用により、上盤69は、台座53の表面Gの方へ引っ張られ、z移動体61は、駆動体70,71,72によって駆動体54,55,56に押し付けられている。
【0093】
このように、図12の移動ステージ装置においては、z移動体61は、台座53側の駆動体54,55,56と、それら駆動体54,55,56に対向する上盤69側の駆動体70,71,72とで挟まれている。さらに、前記スプリング92の一端は、台座53上において、駆動体54,55,56の取付位置を結んで出来る三角形の重心位置に取り付けられ、そのスプリング92の他端は、上盤69上において、駆動体70,71,72の取付位置を結んで出来る三角形の重心位置に取り付けられている。
【0094】
このような駆動体の配置と、スプリング92の取付位置により、z移動体61は、駆動体70,71,72によって均等な力で押され、駆動体54,55,56に押し付けられている。このため、z移動体61は、駆動体54,55,56と駆動体70,71,72とでしっかり挟まれて、静止している。
【0095】
以上、図12の装置構成について説明したが、基本的な動作は実施例1と同様である。つまり、慣性移動体が、▲1▼xy方向、▲2▼上下微調整及び▲3▼おあり方向への移動を行う。
▲1▼xy方向への移動: 実施例1におけるxy方向への移動と同様である。つまり、図9の様な電気信号を供給することにより、図3〜6の様に、慣性移動体がx方向に移動する。y方向に移動させる場合も同様である。これにより、慣性移動体は任意のxy方向に移動することができる。
▲2▼上下微調整: 実施例1における上下微調整と同様である。つまり、図10の様な電気信号を供給することにより、図7の様に、慣性移動体がz方向に移動する。
▲3▼あおり方向への移動: 実施例1におけるあおり方向への移動と同様である。つまり、図11の様な電気信号を供給することにより、図8の様に、慣性移動体があおり移動を行う。
【0096】
(実施例3)図13及び図14は、本発明の移動ステージ装置の他の一例を示した図である。図13(a)は移動ステージ装置を上から見た図である。図13(b)は移動ステージ装置を横から見た図である。図14は移動ステージ装置の主要部品の分解図である。実施例1と同一名称の構成要素には同一番号を付す。図13、14において、11は台座であり、台座11はL字状に形成されており、底辺中央部には四角形の貫通穴が設けられている。台座11の上面Aには、3つの駆動体12,13,14が取り付けられている。この3つの駆動体12,13,14で、本発明における第1の駆動体が構成されている。
【0097】
これらの駆動体12,13,14の構造は同じであり、駆動体12,13,14は、一端が台座11に取り付けられた円筒型ピエゾスキャナP1,P2,P3と、そのスキャナの他端に取り付けられたルビー球15,16,17とで構成されている。ピエゾスキャナP1,P2,P3は、電圧印加によってxyz方向に変位するように構成されている。
【0098】
図13、14中、19a及び19bは慣性移動体(第1の移動体)であり、慣性移動体は第1の挟持体19aと第2の挟持体19bから構成されている。慣性移動体19a、19bは、前記駆動体12,13,14上に置かれている。第1の挟持体19aは水平面b、cを有する水平板と挟持面Lを有する垂直板から構成されている。第1の挟持体19aの水平板下面Bには、1つの正方形状のインシュレータ(滑り部材)21が取り付けられている。さらに第1の挟持体19aの水平板上面Cには、1つの正方形状のインシュレータ24が取り付けられている。第1の挟持体19aの垂直板には、挟持面Lに3つの駆動体54,55,56が取り付けられている。この3つの駆動体54,55,56で、本発明における第3の駆動体が構成されている。これらの駆動体54,55,56の構造は前記駆動体12,13,14,28,29,30の構造と同じであり、駆動体54,55,56は、一端が垂直板の挟持面Lに取り付けられた円筒型ピエゾスキャナP7,P8,P9と、そのスキャナの他端に取り付けられたルビー球57,58,59とで構成されている。ピエゾスキャナP7,P8,P9は、電圧印加によってz方向に変位するように構成されている。
【0099】
また、第2の挟持体19bは2つに分割された水平板と貫通孔のある挟持面Mを有する垂直板から構成されている。第2の挟持体19bの水平板下面には、2つの正方形状のインシュレータ(滑り部材)22、23が取り付けられている。さらに第2の挟持体19bの水平板上面には、正方形状のインシュレータ25、26が取り付けられている。第2の挟持体19bの垂直板の挟持面Mには、3つの駆動体70、71、72が取り付けられている。この3つの駆動体70、71、72で、本発明における第4の駆動体が構成されている。これらの駆動体70,71,72の構造は、前記駆動体54,55,56の構造と同じである。駆動体70,71,72は、一端が垂直板の挟持面Mに取り付けられた円筒型ピエゾスキャナP10,P11,P12と、そのスキャナの他端に取り付けられたルビー球73,74,75とで構成されている。ピエゾスキャナP10,P11,P12は、電圧印加によってz方向に変位するように構成されている。
【0100】
これらのインシュレータ21〜26は、サファイアやアルミナ等で作られており、それらの表面は鏡面研磨されている。前記駆動体12のルビー球15はインシュレータ21に、前記駆動体13のルビー球16はインシュレータ22に、前記駆動体14のルビー球16はインシュレータ23にそれぞれ当接している。第1の挟持体19aと第2の挟持体19bは後述するz移動体(第2移動体)を挟持し、第2の挟持体19bの垂直板の貫通穴には第2移動体の水平板が貫通する。
【0101】
また、図13、14において、27は上盤である。上盤27の下面Dには、3つの駆動体28,29,30が取り付けられている。この3つの駆動体28,29,30で、本発明における第2の駆動体が構成されている。
【0102】
これらの駆動体28,29,30の構造は、前記駆動体12,13,14の構造と同じである。駆動体28,29,30は、一端が上盤27に取り付けられた円筒型ピエゾスキャナP4,P5,P6と、そのスキャナの他端に取り付けられたルビー球31,32,33とで構成されている。ピエゾスキャナP4,P5,P6は、電圧印加によってxyz方向に変位する。
【0103】
そして、図13、14に示すように、ピエゾスキャナP4先端に取り付けられたルビー球31は前記インシュレータ24に、ピエゾスキャナP5先端に取り付けられたルビー球32は前記インシュレータ25に、ピエゾスキャナP6先端に取り付けられたルビー球33は前記インシュレータ26にそれぞれ当接している。図13(b)から分かるように、ピエゾスキャナP4を有する駆動体28は慣性移動体19aを介して前記駆動体12に、ピエゾスキャナP5を有する駆動体29は慣性移動体19bを介して前記駆動体13に、ピエゾスキャナP6を有する駆動体30は慣性移動体19bを介して前記駆動体14にそれぞれ対向している。
【0104】
そして、上盤27の一端両側には、ピン38,39が固定されている。ピン38にはスプリング40の一端が引っ掛けられ、ピン39にはスプリング41の一端が引っ掛けられている。一方、スプリング40の他端は、前記台座11の上部側面に固定されたピン42に引っ掛けられ、スプリング41の他端は、台座11の上部側面に固定されたピン43に引っ掛けられている。これらスプリング40,41の作用により、上盤27は台座11のピン42,43方向に引っ張られる。
【0105】
スプリング50a、50b、50cの一端はそれぞれ上盤27に平行ピン51で止められ、他端は台座11に平行ピン51で止められている。このスプリング50a、50b、50cの作用により、上盤27は、台座11の上面Aの方へ引っ張られ、慣性移動体19a、19bは、駆動体28,29,30によって駆動体12,13,14に押し付けられている。
【0106】
ここまで説明したように、図13、14の移動ステージ装置においては、慣性移動体19a、19bは、台座11側の駆動体12,13,14と、それら駆動体12,13,14に対向する上盤27側の駆動体28,29,30とで挟まれている。
【0107】
図13、14中、61はz移動体(第2の移動体)であり、平行板と被挟持面H、Iを有する垂直板から構成されている。z移動体61の垂直板は、前記駆動体54,55,56に接して配置されている。このz移動体61の平行板には貫通孔62が開けられており、スプリング50cが貫通する。また、z移動体61の垂直板の裏面Hには、z方向に延びる平面状のインシュレータが取り付けられている。さらにz移動体61の垂直板の裏面Hには、z方向に延びる2本の三角溝が形成されており、その三角溝64の表面には、z方向に延びるV字状のインシュレータ65が取り付けられている。
【0108】
一方、z移動体61の表面Iには、z方向に延びる2本の三角溝66が形成されており、その三角溝66の表面には、z方向に延びるV字状のインシュレータ67が取り付けられている。さらにz移動体61の表面Iには、z方向に延びる平面状のインシュレータ68が取り付けられている。
【0109】
これらのインシュレータは、サファイアやアルミナ等で作られており、それらの表面は鏡面研磨されている。前記駆動体54のルビー球57はV字状インシュレータに、前記駆動体55のルビー球58は同じくV字状インシュレータに、前記駆動体56のルビー球59は平面状インシュレータにそれぞれ当接している。
【0110】
このように、図13、14の移動ステージ装置においては、z移動体61は、第1の挟持体19aの駆動体54,55,56と、それら駆動体54,55,56に対向する第2の挟持体19bの駆動体70,71,72とで挟まれている。さらに、前記スプリング92a、92bの一端は第1の挟持体19aにピンで固定され、前記スプリング92a、92bの他端は第2の挟持体19bにピンで固定されている。
【0111】
このような駆動体の配置により、z移動体61は、駆動体70,71,72によって均等な力で押され、駆動体54,55,56に押し付けられている。このため、z移動体61は、駆動体54,55,56と駆動体70,71,72とでしっかり挟まれて、静止している。
【0112】
図13、14のピエゾスキャナP1〜P6は全て同じ向きに配置されている。すなわち、ピエゾスキャナP1〜P6の電極+Xは全てx方向を向いており、ピエゾスキャナP1〜P6の電極−Xは全て−x方向を向いている。y方向も同様である。図3、4のピエゾスキャナP7〜P12は全て同じ向きに配置されている。すなわち、ピエゾスキャナP7〜P12の電極+Xは全てz方向を向いており、電極−Xは全て−z方向を向いている。
【0113】
また、図13、14において、94は電圧電源装置であり、電圧電源装置94は、前記ピエゾスキャナP1〜P12の各電極間に前記電圧±Vx、±Vy、±Vzを印加するためのものである。電圧電源装置94の制御は、スキャナ制御手段95によって行われる。
【0114】
図15は、図13におけるピエゾスキャナの、台座または上盤への取り付け位置を示した図である。図15(a)は図3における矢視00である。図15(b)は図13における矢視PPである。図15(c)は図3における矢視QQである。図15(d)は図13における矢視RRである。
【0115】
以上、図13、14の装置構成について説明したが、基本的な動作は実施例1と同様である。つまり、慣性移動体が、▲1▼xy方向、▲2▼z方向及び▲3▼おあり方向への移動を行う。
▲1▼xy方向への移動: 実施例1におけるxy方向への移動と同様である。つまり、図9の様な電気信号を供給することにより、図3〜6の様に、図13における慣性移動体19a、bがx方向に移動する。y方向に移動させる場合も同様である。これにより、慣性移動体は任意のxy方向に移動する。
▲2▼上下微調整: 実施例1における上下微調整と同様である。つまり、図10の様な電気信号を供給することにより、図7の様に、図13における慣性移動体19a、bがz方向に移動する。
▲3▼あおり方向への移動: 実施例1におけるあおり方向への移動と同様である。つまり、図11の様な電気信号を供給することにより、図8の様に、図13における慣性移動体19a、bがあおり方向に移動する。
【0116】
(実施例4)図16は、図13の移動ステージ装置を備えた走査形トンネル顕微鏡の例を示したものである。図16において、100は図13の移動ステージ装置を示している。この移動ステージ装置100のz移動体101上には、x,y,z方向に変位自在なチューブピエゾスキャナ102が配置されている。そして、ピエゾスキャナ102の先端には、導電性の探針103が取り付けられている。探針103は電極104を取り付けられる構造をとり、その電極104はSPMユニット105に電気的に接続されている。また図16において、106は試料であり、試料106を載置している試料ステージ107は、試料台108上に置かれている。前記移動ステージ装置100は、この試料台108上に置かれている。そして、走査電子顕微鏡(SEM)109により、試料106を観察可能に構成されている。
【0117】
このような装置において、移動ステージ装置100と、新たに取り付けられたピエゾスキャナ102が移動されて、試料106の任意の場所に探針先端が近付けられる。このときの探針先端の位置決めは、試料上部に取り付けられたSEM109による試料観察を行いながら行われる。
【0118】
また、探針103と試料106間には適切なバイアス電圧が印加されており、探針と試料間に流れるトンネル電流がSPMユニット105においてモニタリングされている。そして、SPMユニット105は、そのモニタ電流に基づき、探針先端が試料表面に接触するようにピエゾスキャナ102のz動を制御する。その後、探針を流れるトンネル電流がSPMユニット105で検出され、試料上の微小領域での電流検出測定が行われる。ピエゾスキャナ102は、試料ステージ107に設置されていても良い。また、z移動体101には、走査形トンネル顕微鏡の探針の替わりに原子間力顕微鏡の探針ユニットが設置されていてもよい。
【0119】
以上、本発明を例を挙げて説明したが、本発明は上記例に限定されるものではない。たとえば、本発明の移動ステージ装置は、SPM以外の微動が必要な装置に適用することが可能である。
【0120】
【発明の効果】
以上説明したように、慣性移動ステージ装置に用いられるピエゾスキャナにz方向の変位も加えることにより、変位後のピエゾスキャナを元の位置に戻すときにはピエゾスキャナを縮めてステージ移動に影響を及ぼさないようにし、より正確なxy方向への移動が実現できる。また、ステージのz方向への微調整、あおり方向の動き及び回転方向への動きを実現することもできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る移動ステージ装置に用いるピエゾスキャナを示した図である。
【図2】本発明に係る移動ステージ装置の一例を示した図である。
【図3】図2におけるピエゾスキャナの変位を説明するために示した図である。
【図4】図2におけるピエゾスキャナの変位を説明するために示した図である。
【図5】図2におけるピエゾスキャナの変位を説明するために示した図である。
【図6】図2におけるピエゾスキャナの変位を説明するために示した図である。
【図7】図2における慣性移動体の上下微調整を説明するために示した図である。
【図8】図2における慣性移動体のおあり方向への移動を説明するために示した図である。
【図9】慣性移動体をxy方向に変位させるための電圧信号を示した図である。
【図10】慣性移動体をz方向に変位させるための電圧信号を示した図である。
【図11】慣性移動体をあおり方向に変位させるための電圧信号を示した図である。
【図12】本発明に係る移動ステージ装置の一例を示した図である。
【図13】本発明に係る移動ステージ装置の一例を示した図である。
【図14】図13における移動ステージの主要部品の分解図である。
【図15】図13におけるピエゾスキャナの、台座または上盤への取り付け位置を示した図である。
【図16】図13の移動ステージ装置を備えた走査形プローブ顕微鏡の例を示した図である。
【図17】従来技術の移動ステージ装置に用いるピエゾスキャナを示した図である。
【図18】従来技術の移動ステージ装置を示す図である。
【図19】図2における慣性移動体の回転方向への移動を説明するために示した図である。
【符号の説明】
11…台座、12、13、14…第1の駆動体、19…慣性移動体(第1の移動体)、19a…第1の挟持体、19b…第2の挟持体、27…上盤、28、29、30…第2の駆動体、50、50a、50b、50c…スプリング、53…第2の台座、54、55、56…第3の駆動体、61…z移動体(第2の移動体)、69…第2の上盤、70、71、72…第4の駆動体、92、92a、92b…スプリング、P1、P2、P3、P4、P5、P6、P7、P8、P9、P10、P1 1、P12…ピエゾスキャナ
【発明の属する技術分野】本発明は、微動が必要な装置に用いて好適な移動ステージ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】走査形トンネル顕微鏡などの走査形プローブ顕微鏡(SPM:Scanning Probe Microscope)は、探針を試料上で走査させて原子レベルの試料像を得る装置であり、非常に高い分解能を得られる装置として注目されている。
【0003】
このSPMにおいては、探針または試料をマイクロオーダー以下の精度で移動させることが必要である。最近のSPMの中には、その移動ステージとして、モータ駆動ステージよりもコンパクトな慣性駆動ステージを備えたものがある。
【0004】
図18は、慣性駆動ステージの基本構造を示したものである。図18において1は台座であり、台座1には、x方向に延びる溝2が形成されている。そして、溝2の表面には、凹状の滑り部材3が取り付けられており、インシュレータ(サファイア,アルミナなど)で形成された滑り部材3の表面は鏡面研磨されている。
【0005】
4はステージであり、ステージ4には、4個の積層型ピエゾ5〜8(積層型ピエゾ7,8は図示されていない)が取り付けられている。図17は積層ピエゾの詳細図である。表面に形成された4つの電極のうち、任意の電極に電圧印加を印加することにより、xy方向に変位する。各積層型ピエゾの先端には球9が取り付けられており、球9は、滑り部材3に当接して溝2にはまっている。
【0006】
また、10は磁石であり、磁石10は台座1に取り付けられている。一方、前記ステージ4は磁性材料で作られている。このため、ステージ4は、磁石10によって台座1側へ引き付けられて静止している。
【0007】
このような構成において、ステージ4をx方向へ移動させるときには、まず、積層型ピエゾ5〜8に電圧が印加されて、積層型ピエゾ5〜8がx方向に剪断変形される。次に、積層型ピエゾ5〜8への印加電圧がオフされ、積層型ピエゾ5〜8は元の状態に戻される。このとき発生する慣性力により、ステージ4はx方向へ移動する。なお、このとき積層型ピエゾ5〜8に印加される電圧の波形は、鋸波状の波形や非線形な波形など、様々である。
【0008】
しかし、従来技術の慣性移動ステージ装置に用いられるピエゾ素子はxy方向のみに変位自在のものであるため、ステージ4はxy平面を移動するのみであった。
【0009】
なお、従来技術としては、xy方向に変位自在の円筒型ピエゾ素子を備えた慣性移動ステージ装置がある(例えば、特許文献1)。しかし、図17のようにz方向への変位専用の電極が設置されていないため、良好にz方向の変位を行うことができなかった。
【0010】
【特許文献1】
特願2002−125690
【0011】
【発明が解決しようとする課題】本発明が解決しようとする課題は、慣性移動ステージ装置に用いられるピエゾ素子にz方向の変位も加えることにより、より正確なxy方向への移動、ステージのz方向への微調整、あおり方向の動き及び回転方向への動きを実現することである。
【0012】
【課題を解決するための手段】
第1の発明は、台座と、ピエゾスキャナを有し前記台座に取り付けられた第1の駆動体と、上盤と、ピエゾスキャナを有し前記上盤に取り付けられた第2の駆動体と、前記第1の駆動体と前記第2の駆動体とで挟持された第1の移動体と、前記台座の駆動体側と前記上盤の駆動体側が向き合った状態において上盤を台座の方へ力を加える第1の力を加える手段と、を備えた移動ステージ装置において、前記第1の移動体が前記第2の駆動体によって前記第1の駆動体の方へ押圧される方向をz方向とするとき、前記第1の駆動体及び第2の駆動体の前記ピエゾスキャナへの電圧印加による変形によって前記第1の移動体がxyz方向に移動自在であることを特徴とする。
【0013】
第2の発明は、前記第1の駆動体は3つのピエゾスキャナ(P1,P2,P3)を有し、それらの各ピエゾスキャナは独立して前記台座に取り付けられていると共に、他の2つのピエゾスキャナの取付位置からほぼ等距離の位置に取り付けられており、前記第2の駆動体は3つのピエゾスキャナ(P4,P5,P6)を有し、それらの各ピエゾスキャナは独立して前記台座に取り付けられていると共に、他の2つのピエゾスキャナの取付位置からほぼ等距離の位置に取り付けられていることを特徴とする。
【0014】
第3の発明は、前記第1の移動体が前記第2の駆動体によって前記第1の駆動体の方へ押圧される方向をz方向とするとき、前記ピエゾスキャナ(P1,P2,P3,P4,P5,P6)のxyz変位を制御するスキャナ制御手段を備え、個々の前記ピエゾスキャナ(P1,P2,P3,P4,P5,P6)のxyz変位は独立に制御自在なことを特徴とする。
【0015】
第4の発明は、z移動装置が前記第1の移動体に接続されており、前記z移動装置は、第2の台座と、ピエゾスキャナを有し、前記第2の台座に取り付けられた第3の駆動体と、第2の上盤と、ピエゾスキャナを有し、前記第2の上盤に取り付けられた第4の駆動体と、前記第3の駆動体と前記第4の駆動体とで挟持された第2の移動体と、前記第2の台座の駆動体側と前記第2の上盤の駆動体側とが向き合った状態において、第2の上盤を第2の台座の方へ力を加える第2の力を加える手段とを備え、前記第1の移動体が前記第2の駆動体によって前記第1の駆動体の方へ押圧される方向をz方向とするとき、前記第3の駆動体と第4の駆動体のピエゾスキャナへの電圧印加による変形によって前記第2の移動体はz方向に移動可能であることを特徴とする。
【0016】
第5の発明は、前記第1の移動体がそれぞれ挟持面を有する第1の挟持体と第2の挟持体より構成された移動ステージ装置であって、前記第1の移動体が前記第2の駆動体によって前記第1の駆動体の方へ押圧される方向をz方向とするとき、第2の移動体と、ピエゾスキャナを有し、前記第1の挟持体の挟持面に取り付けられた第3の駆動体と、ピエゾスキャナを有し、前記第2の挟持体の挟持面に取り付けられた第4の駆動体とを備え、前記第2の移動体が前記第3の駆動体を介して前記第1の挟持体の挟持面と前記第4の駆動体を介して前記第2の挟持体の挟持面で挟持されて、前記2つの挟持体と一体としてxyz方向に移動自在であることを特徴とする。
【0017】
第6の発明は、試料と前記試料に対向した探針を備えた、前記探針が当該移動ステージ装置に設置されている走査形プローブ顕微鏡であることを特徴とする。
【0018】
【実施例】以下、図を用いて本発明の実施の形態について説明する。
【0019】
(実施例1)図2は、本発明の移動ステージ装置の簡略図である。図2(c)は移動ステージ装置を横から見た図、図2(a)は移動ステージ装置を下から見た図、図2(b)は移動ステージ装置を上から見た図である。図示のようにxyz方向を定義し、○の中に×印は(y方向)は紙面の表面から裏に向かう矢印とする。
【0020】
図2において、11は台座である。台座11の上面Aには、3つの駆動体12,13,14が取り付けられている。この3つの駆動体12,13,14で、本発明における第1の駆動体が構成されている。
【0021】
これらの駆動体12,13,14の構造は同じであり、一端が台座11に取り付けられた円筒型ピエゾスキャナP1,P2,P3と、そのスキャナの他端に取り付けられたルビー球15,16,17とで構成されている。
【0022】
ここで、図1を用いて、前記ピエゾスキャナP1〜P12の構造について説明する。図1に示すピエゾスキャナは、円筒状圧電体素子Pの外側に4分割の電極(+X,−X,+Y,−Y)及びz電極を持ち、内側はグランドの共通電極Gとなっている。Paはピエゾスキャナの一端を示し、Pbはその他端を示している。
【0023】
このような構造のピエゾスキャナにおいて、たとえば、前記他端Pbを固定端とする。そして、電極+Xと接地電極G間に電圧+Vxを印加して、電極+X,G間の圧電体素子をz方向に縮ませる一方、電極+Xと正負逆の電極−Xと接地電極G間に電圧+Vxを印加して、電極−X,G間の圧電体素子をz方向に伸ばすと、ピエゾスキャナの前記一端Paはx方向に湾曲して変位する。逆に、電極+Xと接地電極G間に電圧−Vxを印加して、それら電極+X,G間の圧電体素子をz方向に伸ばす一方、電極−Xと接地電極G間に電圧−Vxを印加して、それら電極−X,G間の圧電体素子をz方向に縮めると、ピエゾスキャナの一端Paは−x方向に湾曲して変位する。
【0024】
一方、電極+Yと接地電極G間に電圧+Vyを印加して、それらの電極+Y,G間の圧電体素子をz方向に縮ませる一方、電極+Yと正負逆の電極−Yと接地電極G間に電圧+Vyを印加して、それら電極−Y,G間の圧電体素子をz方向に伸ばすと、ピエゾスキャナの一端Paはy方向に湾曲して変位する。逆に、電極+Yと接地電極G間に電圧−Vyを印加して、それら電極+Y,G間の圧電体素子をz方向に伸ばす一方、電極−Yと接地電極G間に電圧−Vyを印加して、それら電極−Y,G間の圧電体素子をz方向に縮めると、ピエゾスキャナの一端Paは−y方向に湾曲して変位する。
【0025】
また、電極Zと接地電極G間に電圧+Vzを印加して、電極Z,G間の圧電体素子をz方向に縮ませると、ピエゾスキャナの一端Paは+Z方向に変位する。逆に、電極Zと接地電極G間に電圧−Vzを印加して、電極+Z,G間の圧電体素子をz方向に伸ばすと、ピエゾスキャナの一端Paは−Z方向に変位する。
【0026】
そして、前記印加電圧±Vx,±Vyに応じてピエゾスキャナのx変位、y変位及びz変位が同時に行われると、ピエゾスキャナの一端Paは、図1中xyz方向に変位する。
【0027】
図2(a)は、台座を下から見た図であり、ピエゾスキャナP1,P2,P3の台座11への取付位置を示した図である。各ピエゾスキャナは、他の2つのピエゾスキャナの取付位置から等距離の位置に取り付けられている。すなわち、ピエゾスキャナP1,P2,P3の台座11への取付位置を結ぶと、正三角形が形成される。
【0028】
図2において、19は慣性移動体(第1の移動体)であり、前記駆動体12,13,14上に置かれている。また、図2において、27は上盤である。上盤27の下面Dには、3つの駆動体28,29,30が取り付けられている。この3つの駆動体28,29,30で、本発明における第2の駆動体が構成されている。これらの駆動体28,29,30の構造は、前記駆動体12,13,14の構造と同じである。第2の駆動体28,29,30は、一端が上盤27に取り付けられた円筒型ピエゾスキャナP4,P5,P6と、そのスキャナの他端に取り付けられたルビー球31,32,33とで構成されている。ピエゾスキャナP4,P5,P6は、電圧印加によってxyz方向に変位する。
【0029】
上盤27は台座11の方向に力が加えられており、慣性体19と駆動体12,13、14、28、29、30が適切な摩擦を有している。力を加える手段は、上盤27と台座11が図示しないバネ、ゴム等の弾性体で互いに引っ張ることでもよく、上盤27が図示しない力を加える装置により押圧されていてもよい。
【0030】
図2(b)は、ピエゾスキャナP4,P5,P6の上盤27への取付位置を示した図である。各ピエゾスキャナは、他の2つのピエゾスキャナの取付位置から等距離の位置に取り付けられている。すなわち、ピエゾスキャナP4,P5,P6の上盤27への取付位置を結ぶと、正三角形が形成される。
【0031】
図2(b)から分かるように、ピエゾスキャナP4を有する駆動体28は慣性移動体19を介して前記駆動体12に、ピエゾスキャナP5を有する駆動体29は慣性移動体19を介して前記駆動体13に、ピエゾスキャナP6を有する駆動体30は慣性移動体19を介して前記駆動体14にそれぞれ対向している。
【0032】
なお、図2のピエゾスキャナP1〜P6においては、ピエゾスキャナP1,P2,P3の図2における他端Pb側が前記台座11に、ピエゾスキャナP4,P5,P6の図2における一端Pa側が前記上盤27にそれぞれ取り付けられている。
【0033】
また、ピエゾスキャナP1〜P6の各電極への電圧印加は、電圧電源装置94、スキャナ制御手段95によって行われる。
【0034】
以上、図2の装置構成について説明したが、以下、動作説明を行う。本発明による慣性移動体19は、▲1▼xy方向への移動、▲2▼上下微調整、▲3▼あおり方向に動作する。
【0035】
▲1▼xy方向への移動: まず、前記慣性移動体19をx方向に移動させる場合の動作説明を、図3〜図6、図9を用いて行う。
【0036】
図9は、前記ピエゾスキャナP1〜P6を変位させるために、前記スキャナ制御手段95から前記電圧電源装置94に供給される電圧信号を示した図である。図9において、(1)はピエゾスキャナP1を変位させるための電圧信号を、(2)はピエゾスキャナP2を変位させるための電圧信号を、(3)はピエゾスキャナP3を変位させるための電圧信号を、(4)はピエゾスキャナP4を変位させるための電圧信号を、(5)はピエゾスキャナP5を変位させるための電圧信号を、(6)はピエゾスキャナP6を変位させるための電圧信号を、それぞれ示している。
【0037】
また、図9(1)において、(a)は、そのピエゾスキャナにおいて前記電極+Xと前記接地電極G間に電圧+Vxを印加するための電圧信号を、(b)は、そのピエゾスキャナにおいて前記電極−Xと前記接地電極G間に電圧+Vxを印加するための電圧信号を、(c)は、そのピエゾスキャナにおいて前記電極zと前記接地電極G間に電圧+Vzを印加するための電圧信号を、それぞれ示している。
【0038】
図3〜6は、前記スキャナ制御手段95の前記電圧電源装置94への電圧信号供給による、前記ピエゾスキャナP1〜P6の変位及び前記慣性移動体19の移動を説明するために示した図である。
【0039】
さて、前記慣性移動体19をx方向に移動させる場合、まず、前記スキャナ制御手段95は、図9(1)−(a),(2)−(a),(3)−(a),(4)−(a),(5)−(a),(6)−(a)に示すように、時刻T0からT1にかけて徐々に+Vxまで増加する電圧信号を、前記電圧電源装置94に供給する。
【0040】
このような電圧信号を受けた電圧電源装置94は、ピエゾスキャナP1〜P6の前記電極+Xと前記接地電極G間に、時刻T0からT1にかけて徐々に+Vx(たとえば150V)まで増加する電圧を印加する。この電圧印加により、ピエゾスキャナP1〜P6のルビー球側先端は一斉にx方向に徐々に変位し、時刻T1においては、ピエゾスキャナP1〜P6のルビー球側先端は、図3に示すように、定位置(電圧印加が行われていないときの位置)からx方向にΔxだけ変位している。
【0041】
この時刻T0からT1におけるピエゾスキャナP1〜P6の変位速度υ1は、一定で遅い。このため、ピエゾスキャナP1〜P6がx方向にΔx変位するとき、ピエゾスキャナP1〜P6先端のルビー球は慣性移動体19上で滑ることはなく、図3に示すようにピエゾスキャナP1〜P6の変位に伴って、慣性移動体19はx方向にΔxだけ移動する。
【0042】
次に、前記スキャナ制御手段95は、時刻T2において、図9(1)−(c)に示すように、ピエゾスキャナP1の前記電極zと前記接地電極G間に電圧+Vz(たとえば150V)の電圧信号を、前記電圧電源装置94に供給する。この電圧印加により、ピエゾスキャナP1は、図4のように縮小する。
【0043】
さらに、前記スキャナ制御手段95は、時刻T3において、図9(1)−(a)に示すように、ピエゾスキャナP1のx電極に関する電圧信号を零にする電圧信号を、前記電圧信号に供給する。すると、ピエゾスキャナP1は、図5のように、z方向に縮小したまま、ルビー球先端部が定位置に戻る。
【0044】
次に、前記スキャナ制御手段95は、時刻T4において、図9(1)−(c)に示すように、ピエゾスキャナP1の前記電極zと前記接地電極G間の電圧を零にする電圧信号を、前記電圧信号電源94に供給する。これにより、図6のように、ピエゾスキャナP1は、z方向に伸長して定位置に戻る。
【0045】
同様に、図9の(2)〜(6)の電圧信号から明らかなように、時刻T5においてピエゾスキャナP2が、時刻T6においてピエゾスキャナP3が、時刻T7においてピエゾスキャナP4が、時刻T8においてピエゾスキャナP5が、そして時刻T9においてピエゾスキャナP6が、それぞれ定位置に戻される。よって、時刻T9において、慣性移動体19は、前記時刻T0の時点からx方向にΔxだけ移動している。以後、上述した時刻T0〜T9における動作が所定回繰り返し行われ、慣性移動体19はx方向に所定量だけ移動される。
【0046】
以上、慣性移動体19をx方向に移動させる場合の動作説明を行ったが、慣性移動体19をy方向に移動させる場合も同様である。
【0047】
また同様に、慣性移動体19を任意のxy方向に移動させる場合には、まず、ピエゾスキャナ(P1〜P6)が一斉に同じxy方向に徐々に変位するように、ピエゾスキャナ(P1〜P6)の各xy電極間(電極±Xと接地電極G間、および電極±Yと接地電極G間)に電圧が印加される。その後、ピエゾスキャナ(P1〜P6)が、P1,P2,P3,P4,P5,P6の順に定位置に戻される。
【0048】
以上の様に、ピエゾスキャナがz方向に変位することにより、慣性移動体をより正確に移動させることができる。つまり、ピエゾスキャナを元の位置に戻すときは縮小させて慣性移動体の移動に影響を及ばさないようにする。
【0049】
なお、上記例では、ピエゾスキャナが一斉に徐々に変位され、その後、ピエゾスキャナが1つづつ元に戻されたが、その逆が行われるようにしても良い。すなわち、ピエゾスキャナが1つづつ瞬時に変位されて、すべてのピエゾスキャナが変位した後、そのすべてのピエゾスキャナが一斉に徐々に元に戻されるようにしても良い。この場合、ピエゾスキャナが元に戻されるときに、移動体はピエゾスキャナと一緒に移動する。
【0050】
また、電圧を印加する順序も、目的に応じて変化させるようにしても良い。たとえば、上述したP1,P2,P3,…の順ではなく、P1,P4,P2,P5,…の順や、P1とP4に同時に電圧を印加するようにしても良い。
【0051】
▲2▼上下微調整: 図10はピエゾスキャナへの電圧印加グラフである。図10(1)−(c)、図10(2)−(c)、図10(3)−(c)に示すように、時刻T0より台座に設置されたピエゾスキャナP1〜P3の前記z電極と前記接地電極G間に徐々に電圧を印加し始め、時刻T1において−VZを印可すると、ピエゾスキャナはz方向に伸長する。xy電極に電圧は印加しない。
【0052】
また同時に、図10(4)−(c)、図10(5)−(c)、図10(6)−(c)に示すように、時刻T0から上盤に設置されたピエゾスキャナP4〜P6の前記z電極と前記接地電極G間に、徐々に電圧を印加し始め、時刻T1においてVZを印可すると、ピエゾスキャナはz方向に縮小する。xy電極に電圧は印加しない。
【0053】
このため、図7に示すようにピエゾスキャナP1〜P3及び及びピエゾスキャナP4〜P6で挟持された慣性移動体がz方向に移動する。図7において、点線で示す図は移動前(時刻T0)であり、実線で示す図は移動後(時刻T1)である。
【0054】
この場合、ピエゾスキャナは電圧印加により正確に変位する。また、がたつきやすべり等が起こらず、正確に指定した位置に移動する。さらに、ピエゾスキャナに印可する電圧の変位量を調整することにより、慣性移動体の移動スピードを調整することができる。上下のピエゾスキャナにそれぞれ逆の電圧を印可すると−z方向に移動する。
【0055】
▲3▼あおり方向の移動: 図11はピエゾスキャナへの電圧印加グラフである。図11(1)−(c)に示すように、時刻T0より台座に設置されたピエゾスキャナP1の前記z電極と前記接地電極G間に徐々に電圧を印加し始め、時刻T1において−VZを印可すると、ピエゾスキャナはz方向に伸長する。同時に、図11(2)−(c)、図11(3)−(c)に示すように、台座に設置されたピエゾスキャナP2、P3のz電極と前記接地電極G間に、時刻T0より徐々に電圧を印加し始め、時刻T1においてVZを印可すると、ピエゾスキャナP2、P3はz方向に縮小する。xy電極に電圧は印加しない。
【0056】
また、図11(4)−(c)に示すように、上盤に設置されたピエゾスキャナP4のz電極と前記接地電極G間に、時刻T0から徐々に電圧を印加し始め、時刻T1においてVZを印可すると、ピエゾスキャナはz方向に縮小する。同時に、図11(5)−(c)、図11(6)−(c)に示すように、上盤に設置されたピエゾスキャナP5、P6のz電極と前記接地電極G間に、時刻T0から徐々に電圧を印加し始め、時刻T1において−VZを印可すると、ピエゾスキャナP5、P6はz方向に伸長する。xy電極に電圧は印加しない。
【0057】
このため、図8に示すようにピエゾスキャナP1〜P3及び及びピエゾスキャナP4〜P6で挟持された慣性移動体がz方向の片側がz方向に移動し、他方が−z方向に移動し、あおり移動を行う。図8において、点線で示す図は移動前(時刻T0)であり、実線で示す図は移動後(時刻T1)である。
【0058】
この場合も、ピエゾスキャナは電圧印加により正確に変位する。また、がたつきやすべり等が起こらず、正確に指定した位置に移動する。ピエゾスキャナに印可する電圧の変位量を調整することにより、慣性移動体の移動スピードを調整することができる。上下のピエゾスキャナにそれぞれ逆の電圧を印可すると逆方向にあおり移動を行う。
【0059】
この場合、電圧の増加割合を変えることで慣性移動体の移動スピードを、電圧の大きさを変えることで移動量を変えることができる。
【0060】
また他の応用動作として、図19がある。図19において、ピエゾスキャナの1つを絶えず固定した状態で、他の2つのピエゾスキャナをxy方向に変位させることで、慣性移動体がある程度の範囲で回転方向に移動することが可能である。
【0061】
(実施例2)図12は、本発明の移動ステージ装置の一例を示した図である。図12(a)は移動ステージ装置を横から見た図、図12(b)は移動ステージ装置を上から見た図である。実施例1と同一名称の構成要素には同一番号を付す。図中のカッコ付きの番号は、陰で見えない構成要素を示す。
【0062】
図12において、11は台座であり、台座11はL字状に形成されている。台座11の上面Aには、3つの駆動体12,13,14が取り付けられている。この3つの駆動体12,13,14で、本発明における第1の駆動体が構成されている。
【0063】
これらの駆動体12,13,14の構造は同じであり、駆動体12,13,14は、一端が台座11に取り付けられた円筒型ピエゾスキャナP1,P2,P3と、そのスキャナの他端に取り付けられたルビー球15,16,17とで構成されている。ピエゾスキャナP1,P2,P3は、電圧印加によってxyz方向に変位するように構成されている。各ピエゾスキャナは、他の2つのピエゾスキャナの取付位置から等距離の位置に取り付けられている。すなわち、ピエゾスキャナP1,P2,P3の台座11への取付位置を結ぶと、正三角形が形成される。そして、台座11には、その三角形の重心位置に貫通孔18が開けられている。
【0064】
図12において、19は慣性移動体(第1の移動体)であり、慣性移動体19は、前記駆動体12,13,14上に置かれている。この慣性移動体19には貫通孔20が開けられており、また、慣性移動体19の下面Bには、3つの正方形状のインシュレータ(滑り部材)21,22,23が取り付けられている。さらに慣性移動体19の上面Cには、3つの正方形状のインシュレータ24,25,26が取り付けられている。
【0065】
これらのインシュレータ21〜26は、サファイアやアルミナ等で作られており、それらの表面は鏡面研磨されている。前記駆動体12のルビー球15はインシュレータ21に、前記駆動体13のルビー球16はインシュレータ22に、前記駆動体14のルビー球17はインシュレータ23にそれぞれ当接している。
【0066】
また、図12において、27は上盤である。上盤27の下面Dには、3つの駆動体28,29,30が取り付けられている。この3つの駆動体28,29,30で、本発明における第2の駆動体が構成されている。
【0067】
これらの駆動体28,29,30の構造は、前記駆動体12,13,14の構造と同じである。駆動体28,29,30は、一端が上盤27に取り付けられた円筒型ピエゾスキャナP4,P5,P6と、そのスキャナの他端に取り付けられたルビー球31,32,33とで構成されている。ピエゾスキャナP4,P5,P6は、電圧印加によってxyz方向に変位するように構成されている。
【0068】
各ピエゾスキャナは、他の2つのピエゾスキャナの取付位置から等距離の位置に取り付けられている。すなわち、ピエゾスキャナP4,P5,P6の上盤27への取付位置を結ぶと、正三角形が形成される。そして、上盤27には、その三角形の重心位置に貫通孔34が開けられている。
【0069】
そして、図12に示すように、ピエゾスキャナP4先端に取り付けられたルビー球31は前記インシュレータ24に、ピエゾスキャナP5先端に取り付けられたルビー球32は前記インシュレータ25に、ピエゾスキャナP6先端に取り付けられたルビー球33は前記インシュレータ26にそれぞれ当接している。図12(b)から分かるように、ピエゾスキャナP4を有する駆動体28は慣性移動体19を介して前記駆動体12に、ピエゾスキャナP5を有する駆動体29は慣性移動体19を介して前記駆動体13に、ピエゾスキャナP6を有する駆動体30は慣性移動体19を介して前記駆動体14にそれぞれ対向している。
【0070】
図12において、35は回動部材である。回動部材35の一端はビス36によって台座11に、回動部材35の他端はビス37によって台座11に、それぞれ回動自由に取り付けられている。このような取り付けにより、回動部材35は、ビス36,37を結ぶ軸を回転軸として回動可能である。
【0071】
そして、回動部材35の上部両側には、ピン38,39が固定されている。ピン38にはスプリング40の一端が引っ掛けられ、ピン39にはスプリング41の一端が引っ掛けられている。一方、スプリング40の他端は、前記台座11の上部側面に固定されたピン42に引っ掛けられ、スプリング41の他端は、台座11の上部側面に固定されたピン43に引っ掛けられている。
【0072】
これらスプリング40,41の作用により、回動部材35は台座11のピン42,43方向に引っ張られ、それらの間に位置する前記上盤27は、回動部材35によって台座11に押し付けられている。この際、回動部材35の上部に設けられた凸部44が上盤27の側面に当接し、また、上盤27の側面に設けられた凸部45が台座11の溝46にはまって当接している。
【0073】
また、ボルト47が、上盤27の貫通孔34に挿入されており、ボルト47にねじ込まれたナット48が上盤27の上面Eに当接して、ボルト47は止まっている。ボルト47先端に開けられた孔49には、スプリング50の一端が引っ掛けられている。そして、スプリング50の他端は、前記慣性移動体19の貫通孔20と、前記台座11の貫通孔18とを通って、台座11の下面F側に配置された平行ピン51に引っ掛けられている。
【0074】
このスプリング50の作用により、上盤27は、台座11の上面Aの方へ引っ張られ、慣性移動体19は、駆動体28,29,30によって駆動体12,13,14に押し付けられている。
【0075】
ここまで説明したように、図12の移動ステージ装置においては、慣性移動体19は、台座11側の駆動体12,13,14と、それら駆動体12,13,14に対向する上盤27側の駆動体28,29,30とで挟まれている。さらに、前記スプリング50の取付位置にも工夫が施されている。すなわち、スプリング50の一端は、台座11上において、駆動体12,13,14の取付位置を結んで出来る三角形の重心位置に取り付けられ、そのスプリング50の他端は、上盤27上において、駆動体28,29,30の取付位置を結んで出来る三角形の重心位置に取り付けられている。
【0076】
このような駆動体の配置と、スプリング50の取付位置により、慣性移動体19は、駆動体28,29,30によって均等な力で押され、駆動体12,13,14に押し付けられている。このため、慣性移動体19は、駆動体12,13,14と駆動体28,29,30とでしっかり挟まれて、静止している。
【0077】
また、図2において、52はz移動装置である。z移動装置52は前記慣性移動体19に接続されており、その構成は、これまで説明した慣性移動体19の移動装置の構成と似通っている。以下、z移動装置52の構成について説明する。
【0078】
53は台座(第2の台座)であり、慣性移動体19に続く台座53は、L字状に形成されている。台座53の表面Gには、3つの駆動体54,55,56が取り付けられている。
【0079】
これらの駆動体54,55,56の構造は前記駆動体12,13,14,28,29,30の構造と同じであり、駆動体54,55,56は、一端が台座53に取り付けられた円筒型ピエゾスキャナP7,P8,P9と、そのスキャナの他端に取り付けられたルビー球57,58,59とで構成されている。ピエゾスキャナP7,P8,P9は、電圧印加によってz方向に変位する。
【0080】
各ピエゾスキャナは、他の2つのピエゾスキャナの取付位置から等距離の位置に取り付けられている。すなわち、ピエゾスキャナP7,P8,P9の台座53への取付位置を結ぶと、正三角形が形成される。そして、台座53には、その三角形の重心位置に貫通孔60が開けられている。
【0081】
図12において、61はz移動体(第2の移動体)であり、z移動体61は、前記駆動体54,55,56上に配置されている。このz移動体61には貫通孔62が開けられている。また、z移動体61の裏面Hには、z方向に延びる平面状のインシュレータ63が取り付けられている。さらにz移動体61の裏面Hには、z方向に延びる三角溝64が形成されており、その三角溝64の表面には、z方向に延びるV字状のインシュレータ65が取り付けられている。
【0082】
一方、z移動体61の表面Iには、z方向に延びる三角溝66が形成されており、その三角溝66の表面には、z方向に延びるV字状のインシュレータ67が取り付けられている。さらにz移動体61の表面Iには、z方向に延びる平面状のインシュレータ68が取り付けられている。
【0083】
これらのインシュレータ63,64,67,68は、サファイアやアルミナ等で作られており、それらの表面は鏡面研磨されている。前記駆動体54のルビー球57はV字状インシュレータ65に、前記駆動体55のルビー球58は同じくV字状インシュレータ65に、前記駆動体56のルビー球59は平面状インシュレータ63にそれぞれ当接している。
【0084】
また、図12において、69は上盤である。上盤69の裏面Jには、3つの駆動体70,71,72が取り付けられている。
【0085】
これらの駆動体70,71,72の構造は、前記駆動体54,55,56の構造と同じである。駆動体70,71,72は、一端が上盤69に取り付けられた円筒型ピエゾスキャナP10,P11,P12と、そのスキャナの他端に取り付けられたルビー球73,74,75とで構成されている。ピエゾスキャナP10,P11,P12は、電圧印加によってz方向に変位するように構成されている。
【0086】
各ピエゾスキャナP10,P11,P12は、他の2つのピエゾスキャナの取付位置から等距離の位置に取り付けられている。すなわち、ピエゾスキャナP10,P11,P12の上盤69への取付位置を結ぶと、正三角形が形成される。そして、上盤69には、その三角形の重心位置に貫通孔76が開けられている。
【0087】
そして、図12に示すように、ピエゾスキャナP10先端に取り付けられたルビー球73は前記平面状インシュレータ68に、ピエゾスキャナP11先端に取り付けられたルビー球74は同じく平面状インシュレータ68に、ピエゾスキャナP12先端に取り付けられたルビー球75は前記V字状インシュレータ67にそれぞれ当接している。また、図12から分かるように、ピエゾスキャナP10を有する駆動体70はz移動体61を介して前記駆動体54に、ピエゾスキャナP11を有する駆動体71はz移動体61を介して前記駆動体55に、ピエゾスキャナP12を有する駆動体72はz移動体61を介して前記駆動体56にそれぞれ対向している。
【0088】
図12中、77は回動部材である。回動部材77の一端はビス78によって台座53に、回動部材77の他端はビス79によって台座53に、それぞれ回動自由に取り付けられている。このような取り付けにより、回動部材77は、ビス78,79を結ぶ軸を回転軸として回動可能である。
【0089】
そして、回動部材77の前方両側には、ピン80,81が固定されている。ピン80にはスプリング82の一端が引っ掛けられ、ピン81にはスプリング83の一端が引っ掛けられている。一方、スプリング82の他端は、前記台座53の下部側面に固定されたピン84に引っ掛けられ、スプリング83の他端は、台座53の下部側面に固定されたピン85に引っ掛けられている。
【0090】
これらスプリング82,83の作用により、回動部材77は台座53のピン84,85方向に引っ張られ、それらの間に位置する前記上盤69は、回動部材77によって台座53に押し付けられている。この際、回動部材77の上部に設けられた凸部86が上盤69の上部側面に当接し、また、上盤69の下部側面に設けられた凸部87が台座53の溝88にはまって当接している。
【0091】
また、ボルト89が、上盤69の貫通孔76に挿入されており、ボルト89にねじ込まれたナット90が上盤69の表面Kに当接して、ボルト89は止まっている。ボルト89先端に開けられた孔91には、スプリング92の一端が引っ掛けられている。そして、スプリング92の他端は、前記z移動体61の貫通孔62と、前記台座53の貫通孔60とを通って、台座53の裏面側に配置された平行ピン93に引っ掛けられている。
【0092】
このスプリング92の作用により、上盤69は、台座53の表面Gの方へ引っ張られ、z移動体61は、駆動体70,71,72によって駆動体54,55,56に押し付けられている。
【0093】
このように、図12の移動ステージ装置においては、z移動体61は、台座53側の駆動体54,55,56と、それら駆動体54,55,56に対向する上盤69側の駆動体70,71,72とで挟まれている。さらに、前記スプリング92の一端は、台座53上において、駆動体54,55,56の取付位置を結んで出来る三角形の重心位置に取り付けられ、そのスプリング92の他端は、上盤69上において、駆動体70,71,72の取付位置を結んで出来る三角形の重心位置に取り付けられている。
【0094】
このような駆動体の配置と、スプリング92の取付位置により、z移動体61は、駆動体70,71,72によって均等な力で押され、駆動体54,55,56に押し付けられている。このため、z移動体61は、駆動体54,55,56と駆動体70,71,72とでしっかり挟まれて、静止している。
【0095】
以上、図12の装置構成について説明したが、基本的な動作は実施例1と同様である。つまり、慣性移動体が、▲1▼xy方向、▲2▼上下微調整及び▲3▼おあり方向への移動を行う。
▲1▼xy方向への移動: 実施例1におけるxy方向への移動と同様である。つまり、図9の様な電気信号を供給することにより、図3〜6の様に、慣性移動体がx方向に移動する。y方向に移動させる場合も同様である。これにより、慣性移動体は任意のxy方向に移動することができる。
▲2▼上下微調整: 実施例1における上下微調整と同様である。つまり、図10の様な電気信号を供給することにより、図7の様に、慣性移動体がz方向に移動する。
▲3▼あおり方向への移動: 実施例1におけるあおり方向への移動と同様である。つまり、図11の様な電気信号を供給することにより、図8の様に、慣性移動体があおり移動を行う。
【0096】
(実施例3)図13及び図14は、本発明の移動ステージ装置の他の一例を示した図である。図13(a)は移動ステージ装置を上から見た図である。図13(b)は移動ステージ装置を横から見た図である。図14は移動ステージ装置の主要部品の分解図である。実施例1と同一名称の構成要素には同一番号を付す。図13、14において、11は台座であり、台座11はL字状に形成されており、底辺中央部には四角形の貫通穴が設けられている。台座11の上面Aには、3つの駆動体12,13,14が取り付けられている。この3つの駆動体12,13,14で、本発明における第1の駆動体が構成されている。
【0097】
これらの駆動体12,13,14の構造は同じであり、駆動体12,13,14は、一端が台座11に取り付けられた円筒型ピエゾスキャナP1,P2,P3と、そのスキャナの他端に取り付けられたルビー球15,16,17とで構成されている。ピエゾスキャナP1,P2,P3は、電圧印加によってxyz方向に変位するように構成されている。
【0098】
図13、14中、19a及び19bは慣性移動体(第1の移動体)であり、慣性移動体は第1の挟持体19aと第2の挟持体19bから構成されている。慣性移動体19a、19bは、前記駆動体12,13,14上に置かれている。第1の挟持体19aは水平面b、cを有する水平板と挟持面Lを有する垂直板から構成されている。第1の挟持体19aの水平板下面Bには、1つの正方形状のインシュレータ(滑り部材)21が取り付けられている。さらに第1の挟持体19aの水平板上面Cには、1つの正方形状のインシュレータ24が取り付けられている。第1の挟持体19aの垂直板には、挟持面Lに3つの駆動体54,55,56が取り付けられている。この3つの駆動体54,55,56で、本発明における第3の駆動体が構成されている。これらの駆動体54,55,56の構造は前記駆動体12,13,14,28,29,30の構造と同じであり、駆動体54,55,56は、一端が垂直板の挟持面Lに取り付けられた円筒型ピエゾスキャナP7,P8,P9と、そのスキャナの他端に取り付けられたルビー球57,58,59とで構成されている。ピエゾスキャナP7,P8,P9は、電圧印加によってz方向に変位するように構成されている。
【0099】
また、第2の挟持体19bは2つに分割された水平板と貫通孔のある挟持面Mを有する垂直板から構成されている。第2の挟持体19bの水平板下面には、2つの正方形状のインシュレータ(滑り部材)22、23が取り付けられている。さらに第2の挟持体19bの水平板上面には、正方形状のインシュレータ25、26が取り付けられている。第2の挟持体19bの垂直板の挟持面Mには、3つの駆動体70、71、72が取り付けられている。この3つの駆動体70、71、72で、本発明における第4の駆動体が構成されている。これらの駆動体70,71,72の構造は、前記駆動体54,55,56の構造と同じである。駆動体70,71,72は、一端が垂直板の挟持面Mに取り付けられた円筒型ピエゾスキャナP10,P11,P12と、そのスキャナの他端に取り付けられたルビー球73,74,75とで構成されている。ピエゾスキャナP10,P11,P12は、電圧印加によってz方向に変位するように構成されている。
【0100】
これらのインシュレータ21〜26は、サファイアやアルミナ等で作られており、それらの表面は鏡面研磨されている。前記駆動体12のルビー球15はインシュレータ21に、前記駆動体13のルビー球16はインシュレータ22に、前記駆動体14のルビー球16はインシュレータ23にそれぞれ当接している。第1の挟持体19aと第2の挟持体19bは後述するz移動体(第2移動体)を挟持し、第2の挟持体19bの垂直板の貫通穴には第2移動体の水平板が貫通する。
【0101】
また、図13、14において、27は上盤である。上盤27の下面Dには、3つの駆動体28,29,30が取り付けられている。この3つの駆動体28,29,30で、本発明における第2の駆動体が構成されている。
【0102】
これらの駆動体28,29,30の構造は、前記駆動体12,13,14の構造と同じである。駆動体28,29,30は、一端が上盤27に取り付けられた円筒型ピエゾスキャナP4,P5,P6と、そのスキャナの他端に取り付けられたルビー球31,32,33とで構成されている。ピエゾスキャナP4,P5,P6は、電圧印加によってxyz方向に変位する。
【0103】
そして、図13、14に示すように、ピエゾスキャナP4先端に取り付けられたルビー球31は前記インシュレータ24に、ピエゾスキャナP5先端に取り付けられたルビー球32は前記インシュレータ25に、ピエゾスキャナP6先端に取り付けられたルビー球33は前記インシュレータ26にそれぞれ当接している。図13(b)から分かるように、ピエゾスキャナP4を有する駆動体28は慣性移動体19aを介して前記駆動体12に、ピエゾスキャナP5を有する駆動体29は慣性移動体19bを介して前記駆動体13に、ピエゾスキャナP6を有する駆動体30は慣性移動体19bを介して前記駆動体14にそれぞれ対向している。
【0104】
そして、上盤27の一端両側には、ピン38,39が固定されている。ピン38にはスプリング40の一端が引っ掛けられ、ピン39にはスプリング41の一端が引っ掛けられている。一方、スプリング40の他端は、前記台座11の上部側面に固定されたピン42に引っ掛けられ、スプリング41の他端は、台座11の上部側面に固定されたピン43に引っ掛けられている。これらスプリング40,41の作用により、上盤27は台座11のピン42,43方向に引っ張られる。
【0105】
スプリング50a、50b、50cの一端はそれぞれ上盤27に平行ピン51で止められ、他端は台座11に平行ピン51で止められている。このスプリング50a、50b、50cの作用により、上盤27は、台座11の上面Aの方へ引っ張られ、慣性移動体19a、19bは、駆動体28,29,30によって駆動体12,13,14に押し付けられている。
【0106】
ここまで説明したように、図13、14の移動ステージ装置においては、慣性移動体19a、19bは、台座11側の駆動体12,13,14と、それら駆動体12,13,14に対向する上盤27側の駆動体28,29,30とで挟まれている。
【0107】
図13、14中、61はz移動体(第2の移動体)であり、平行板と被挟持面H、Iを有する垂直板から構成されている。z移動体61の垂直板は、前記駆動体54,55,56に接して配置されている。このz移動体61の平行板には貫通孔62が開けられており、スプリング50cが貫通する。また、z移動体61の垂直板の裏面Hには、z方向に延びる平面状のインシュレータが取り付けられている。さらにz移動体61の垂直板の裏面Hには、z方向に延びる2本の三角溝が形成されており、その三角溝64の表面には、z方向に延びるV字状のインシュレータ65が取り付けられている。
【0108】
一方、z移動体61の表面Iには、z方向に延びる2本の三角溝66が形成されており、その三角溝66の表面には、z方向に延びるV字状のインシュレータ67が取り付けられている。さらにz移動体61の表面Iには、z方向に延びる平面状のインシュレータ68が取り付けられている。
【0109】
これらのインシュレータは、サファイアやアルミナ等で作られており、それらの表面は鏡面研磨されている。前記駆動体54のルビー球57はV字状インシュレータに、前記駆動体55のルビー球58は同じくV字状インシュレータに、前記駆動体56のルビー球59は平面状インシュレータにそれぞれ当接している。
【0110】
このように、図13、14の移動ステージ装置においては、z移動体61は、第1の挟持体19aの駆動体54,55,56と、それら駆動体54,55,56に対向する第2の挟持体19bの駆動体70,71,72とで挟まれている。さらに、前記スプリング92a、92bの一端は第1の挟持体19aにピンで固定され、前記スプリング92a、92bの他端は第2の挟持体19bにピンで固定されている。
【0111】
このような駆動体の配置により、z移動体61は、駆動体70,71,72によって均等な力で押され、駆動体54,55,56に押し付けられている。このため、z移動体61は、駆動体54,55,56と駆動体70,71,72とでしっかり挟まれて、静止している。
【0112】
図13、14のピエゾスキャナP1〜P6は全て同じ向きに配置されている。すなわち、ピエゾスキャナP1〜P6の電極+Xは全てx方向を向いており、ピエゾスキャナP1〜P6の電極−Xは全て−x方向を向いている。y方向も同様である。図3、4のピエゾスキャナP7〜P12は全て同じ向きに配置されている。すなわち、ピエゾスキャナP7〜P12の電極+Xは全てz方向を向いており、電極−Xは全て−z方向を向いている。
【0113】
また、図13、14において、94は電圧電源装置であり、電圧電源装置94は、前記ピエゾスキャナP1〜P12の各電極間に前記電圧±Vx、±Vy、±Vzを印加するためのものである。電圧電源装置94の制御は、スキャナ制御手段95によって行われる。
【0114】
図15は、図13におけるピエゾスキャナの、台座または上盤への取り付け位置を示した図である。図15(a)は図3における矢視00である。図15(b)は図13における矢視PPである。図15(c)は図3における矢視QQである。図15(d)は図13における矢視RRである。
【0115】
以上、図13、14の装置構成について説明したが、基本的な動作は実施例1と同様である。つまり、慣性移動体が、▲1▼xy方向、▲2▼z方向及び▲3▼おあり方向への移動を行う。
▲1▼xy方向への移動: 実施例1におけるxy方向への移動と同様である。つまり、図9の様な電気信号を供給することにより、図3〜6の様に、図13における慣性移動体19a、bがx方向に移動する。y方向に移動させる場合も同様である。これにより、慣性移動体は任意のxy方向に移動する。
▲2▼上下微調整: 実施例1における上下微調整と同様である。つまり、図10の様な電気信号を供給することにより、図7の様に、図13における慣性移動体19a、bがz方向に移動する。
▲3▼あおり方向への移動: 実施例1におけるあおり方向への移動と同様である。つまり、図11の様な電気信号を供給することにより、図8の様に、図13における慣性移動体19a、bがあおり方向に移動する。
【0116】
(実施例4)図16は、図13の移動ステージ装置を備えた走査形トンネル顕微鏡の例を示したものである。図16において、100は図13の移動ステージ装置を示している。この移動ステージ装置100のz移動体101上には、x,y,z方向に変位自在なチューブピエゾスキャナ102が配置されている。そして、ピエゾスキャナ102の先端には、導電性の探針103が取り付けられている。探針103は電極104を取り付けられる構造をとり、その電極104はSPMユニット105に電気的に接続されている。また図16において、106は試料であり、試料106を載置している試料ステージ107は、試料台108上に置かれている。前記移動ステージ装置100は、この試料台108上に置かれている。そして、走査電子顕微鏡(SEM)109により、試料106を観察可能に構成されている。
【0117】
このような装置において、移動ステージ装置100と、新たに取り付けられたピエゾスキャナ102が移動されて、試料106の任意の場所に探針先端が近付けられる。このときの探針先端の位置決めは、試料上部に取り付けられたSEM109による試料観察を行いながら行われる。
【0118】
また、探針103と試料106間には適切なバイアス電圧が印加されており、探針と試料間に流れるトンネル電流がSPMユニット105においてモニタリングされている。そして、SPMユニット105は、そのモニタ電流に基づき、探針先端が試料表面に接触するようにピエゾスキャナ102のz動を制御する。その後、探針を流れるトンネル電流がSPMユニット105で検出され、試料上の微小領域での電流検出測定が行われる。ピエゾスキャナ102は、試料ステージ107に設置されていても良い。また、z移動体101には、走査形トンネル顕微鏡の探針の替わりに原子間力顕微鏡の探針ユニットが設置されていてもよい。
【0119】
以上、本発明を例を挙げて説明したが、本発明は上記例に限定されるものではない。たとえば、本発明の移動ステージ装置は、SPM以外の微動が必要な装置に適用することが可能である。
【0120】
【発明の効果】
以上説明したように、慣性移動ステージ装置に用いられるピエゾスキャナにz方向の変位も加えることにより、変位後のピエゾスキャナを元の位置に戻すときにはピエゾスキャナを縮めてステージ移動に影響を及ぼさないようにし、より正確なxy方向への移動が実現できる。また、ステージのz方向への微調整、あおり方向の動き及び回転方向への動きを実現することもできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る移動ステージ装置に用いるピエゾスキャナを示した図である。
【図2】本発明に係る移動ステージ装置の一例を示した図である。
【図3】図2におけるピエゾスキャナの変位を説明するために示した図である。
【図4】図2におけるピエゾスキャナの変位を説明するために示した図である。
【図5】図2におけるピエゾスキャナの変位を説明するために示した図である。
【図6】図2におけるピエゾスキャナの変位を説明するために示した図である。
【図7】図2における慣性移動体の上下微調整を説明するために示した図である。
【図8】図2における慣性移動体のおあり方向への移動を説明するために示した図である。
【図9】慣性移動体をxy方向に変位させるための電圧信号を示した図である。
【図10】慣性移動体をz方向に変位させるための電圧信号を示した図である。
【図11】慣性移動体をあおり方向に変位させるための電圧信号を示した図である。
【図12】本発明に係る移動ステージ装置の一例を示した図である。
【図13】本発明に係る移動ステージ装置の一例を示した図である。
【図14】図13における移動ステージの主要部品の分解図である。
【図15】図13におけるピエゾスキャナの、台座または上盤への取り付け位置を示した図である。
【図16】図13の移動ステージ装置を備えた走査形プローブ顕微鏡の例を示した図である。
【図17】従来技術の移動ステージ装置に用いるピエゾスキャナを示した図である。
【図18】従来技術の移動ステージ装置を示す図である。
【図19】図2における慣性移動体の回転方向への移動を説明するために示した図である。
【符号の説明】
11…台座、12、13、14…第1の駆動体、19…慣性移動体(第1の移動体)、19a…第1の挟持体、19b…第2の挟持体、27…上盤、28、29、30…第2の駆動体、50、50a、50b、50c…スプリング、53…第2の台座、54、55、56…第3の駆動体、61…z移動体(第2の移動体)、69…第2の上盤、70、71、72…第4の駆動体、92、92a、92b…スプリング、P1、P2、P3、P4、P5、P6、P7、P8、P9、P10、P1 1、P12…ピエゾスキャナ
Claims (6)
- 台座と、
ピエゾスキャナを有し前記台座に取り付けられた第1の駆動体と、
上盤と、
ピエゾスキャナを有し前記上盤に取り付けられた第2の駆動体と、
前記第1の駆動体と前記第2の駆動体とで挟持された第1の移動体と、
前記台座の駆動体側と前記上盤の駆動体側が向き合った状態において上盤を台座の方へ力を加える第1の力を加える手段と、
を備えた移動ステージ装置において、
前記第1の移動体が前記第2の駆動体によって前記第1の駆動体の方へ押圧される方向をz方向とするとき、
前記第1の駆動体及び第2の駆動体の前記ピエゾスキャナへの電圧印加による変形によって前記第1の移動体がxyz方向に移動自在であることを特徴とする移動ステージ装置。 - 前記第1の駆動体は3つのピエゾスキャナ(P1,P2,P3)を有し、それらの各ピエゾスキャナは独立して前記台座に取り付けられていると共に、他の2つのピエゾスキャナの取付位置からほぼ等距離の位置に取り付けられており、
前記第2の駆動体は3つのピエゾスキャナ(P4,P5,P6)を有し、それらの各ピエゾスキャナは独立して前記台座に取り付けられていると共に、他の2つのピエゾスキャナの取付位置からほぼ等距離の位置に取り付けられていることを特徴とする請求項1に記載の移動ステージ装置。 - 前記第1の移動体が前記第2の駆動体によって前記第1の駆動体の方へ押圧される方向をz方向とするとき、前記ピエゾスキャナ(P1,P2,P3,P4,P5,P6)のxyz変位を制御するスキャナ制御手段を備え、
個々の前記ピエゾスキャナ(P1,P2,P3,P4,P5,P6)のxyz変位は独立に制御自在な請求項1又は2に記載の移動ステージ。 - z移動装置が前記第1の移動体に接続されており、前記z移動装置は、
第2の台座と、
ピエゾスキャナを有し、前記第2の台座に取り付けられた第3の駆動体と、
第2の上盤と、
ピエゾスキャナを有し、前記第2の上盤に取り付けられた第4の駆動体と、
前記第3の駆動体と前記第4の駆動体とで挟持された第2の移動体と、
前記第2の台座の駆動体側と前記第2の上盤の駆動体側とが向き合った状態において、第2の上盤を第2の台座の方へ力を加える第2の力を加える手段とを備え、
前記第1の移動体が前記第2の駆動体によって前記第1の駆動体の方へ押圧される方向をz方向とするとき、
前記第3の駆動体と第4の駆動体のピエゾスキャナへの電圧印加による変形によって前記第2の移動体はz方向に移動可能であることを特徴とする請求項1乃至3の何れかに記載の移動ステージ装置。 - 前記第1の移動体がそれぞれ挟持面を有する第1の挟持体と第2の挟持体より構成された請求項1乃至3の何れかに記載された移動ステージ装置であって、
前記第1の移動体が前記第2の駆動体によって前記第1の駆動体の方へ押圧される方向をz方向とするとき、
第2の移動体と、
ピエゾスキャナを有し、前記第1の挟持体の挟持面に取り付けられた第3の駆動体と、
ピエゾスキャナを有し、前記第2の挟持体の挟持面に取り付けられた第4の駆動体とを備え、
前記第2の移動体が前記第3の駆動体を介して前記第1の挟持体の挟持面と前記第4の駆動体を介して前記第2の挟持体の挟持面で挟持されて、前記2つの挟持体と一体としてxyz方向に移動自在であることを特徴とする移動ステージ装置。 - 試料と前記試料に対向した探針を備え、前記探針が請求項1乃至5の何れかに記載の移動ステージ装置に設置されている走査形プローブ顕微鏡。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003175826A JP2005010058A (ja) | 2003-06-20 | 2003-06-20 | 移動ステージ装置及び走査形プローブ顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003175826A JP2005010058A (ja) | 2003-06-20 | 2003-06-20 | 移動ステージ装置及び走査形プローブ顕微鏡 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005010058A true JP2005010058A (ja) | 2005-01-13 |
Family
ID=34098858
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003175826A Withdrawn JP2005010058A (ja) | 2003-06-20 | 2003-06-20 | 移動ステージ装置及び走査形プローブ顕微鏡 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005010058A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008261675A (ja) * | 2007-04-11 | 2008-10-30 | National Institute For Materials Science | ナノアクチュエータ |
CN108811296A (zh) * | 2018-07-04 | 2018-11-13 | 中国原子能科学研究院 | 一种强流回旋加速器束流调试装置及束流调试方法 |
-
2003
- 2003-06-20 JP JP2003175826A patent/JP2005010058A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008261675A (ja) * | 2007-04-11 | 2008-10-30 | National Institute For Materials Science | ナノアクチュエータ |
CN108811296A (zh) * | 2018-07-04 | 2018-11-13 | 中国原子能科学研究院 | 一种强流回旋加速器束流调试装置及束流调试方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5107114A (en) | Fine scanning mechanism for atomic force microscope | |
JP2667166B2 (ja) | 対象物の微小移動のための装置 | |
JP2005321377A (ja) | 微視的移動のための位置決め装置 | |
EP0441311B1 (en) | Surface microscope apparatus | |
US7307370B2 (en) | Long-stroke, high-resolution nanopositioning mechanism | |
JPS62130302A (ja) | サンプルの表面を検査する方法及び装置 | |
US4866271A (en) | Relative displacement control apparatus | |
JP2013530387A (ja) | 平面物体のレベリングのためのボールスペーサ方法 | |
US4814622A (en) | High speed scanning tunneling microscope | |
US4837445A (en) | Coarse adjusting device of scanning tunneling microscope | |
JP2005010058A (ja) | 移動ステージ装置及び走査形プローブ顕微鏡 | |
JP4074218B2 (ja) | 移動ステージ装置及び走査形プローブ顕微鏡 | |
US7057746B2 (en) | Scanner for precise movement and low power consumption | |
JP2002184339A (ja) | 制動機構および電子顕微鏡用試料ステージ | |
JP3123956B2 (ja) | 静電吸着装置及びそれを用いた電子線描画装置 | |
JPH079363B2 (ja) | 表面機械特性測定装置 | |
JP2004257844A (ja) | 高精度微小移動装置 | |
JPH0894780A (ja) | x−y−θ微動ステージ | |
JPH06241780A (ja) | 走査型トンネル顕微鏡、原子間力顕微鏡及びそれらを 用いた加工装置 | |
Jayadevaiah et al. | Design of a compact scanning tunnelling microscope with a feedback to coarse approach controller for low scan ranges | |
JPH01224603A (ja) | 広範囲走査型トンネル顕微鏡 | |
JPH03146801A (ja) | ピエゾ駆動型探針ユニット粗動機構 | |
JP3825591B2 (ja) | 微小領域走査装置 | |
JPH02284006A (ja) | 探針固定機構 | |
JPH1194850A (ja) | 調整機構 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20060905 |