JP2003530660A - 有機エレクトロルミネッセント装置及びその製造方法 - Google Patents

有機エレクトロルミネッセント装置及びその製造方法

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JP2003530660A JP2001540841A JP2001540841A JP2003530660A JP 2003530660 A JP2003530660 A JP 2003530660A JP 2001540841 A JP2001540841 A JP 2001540841A JP 2001540841 A JP2001540841 A JP 2001540841A JP 2003530660 A JP2003530660 A JP 2003530660A
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Abstract

(57)【要約】 有機エレクトロルミネッセント装置(41)は、複数の独立にアドレス可能なエレクトロルミネッセント素子(51A,B,C,D,E,F)を有し、複数の第1電極(43A,B,C)を具えるパターン化第1電極層及び第2電極層(26A,B,C,D)と、前記第1及び第2電極層の間に堆積された任意にパターン化された有機エレクトロルミネッセント層(25)と、前記第1電極層及び有機エレクトロルミネッセント層(25)の間に堆積された電荷輸送領域(24A,B,C,D,E,F)を有する有機電荷輸送層と、隣接する第1電極間及びこれらに沿って延在するレリーフパターン(27)とを具える。前記レリーフパターンは、前記電荷輸送領域を前記隣接する第1電極に沿って分離し、これは、隣接する第1電極間の前記電荷輸送層によるどのような電流経路も遮断する効果を有する。このようにして、前記EL装置は、小さい漏れ電流を有し、容易に製造することができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】 本発明は、複数の独立にアドレス可能なエレクトロルミネッセント素子を有す
る有機エレクトロルミネッセント装置とその製造方法に関する。
【0002】 一般的に、有機エレクトロルミネッセント(EL)装置は、少なくとも1つの
正孔注入(アノード)電極と、1つの電子注入(カソード)電極と、これらの間
に挟まれた有機EL材料から成るEL層とを具える。適切な電圧が前記電極に印
可されると、正孔及び電子が前記電子から注入される。前記有機EL層内の正孔
及び電子の再結合は、光子すなわち光の発生を導く。異なった有機EL材料を使
用することにより、発生する光の色を変化させることができる。
【0003】 有機EL装置を、光源、特に大表面積を有する光源として使用することができ
る。複数の独立にアドレス可能なエレクトロルミネッセント素子(以後、画素と
も呼ぶ)を具える有機EL装置は、モノクローム又は多色表示装置か、バックラ
イトか、静止画ディスプレイか、分割表示装置か、パッシブ又はアクティブタイ
プのマトリックスディスプレイのような表示目的に特に好適である。
【0004】 国際特許出願WO99/21936において、正孔注入電極とCa電子注入電
極との間に配置された重合EL層を具える有機EL装置が開示されている。正孔
注入及び正孔輸送を促進するために、インジウムスズ酸化物(ITO)正孔注入
電極に、スピンコーティングによって堆積されたポリ3,4エチレン2酸化チオ
フェン(PEDOT)の正孔注入/輸送層を設ける。代わりに、ポリアニリン(
PANI)を使用してもよい。本発明の文脈において、ここで電荷は正孔及び/
又は電子を示す用語”電荷注入層”、”電荷輸送層”及び”電荷注入/輸送層”
を、交換可能に使用する。
【0005】 既知のEL装置を、パターン化電極層を設けることによって、複数の独立にア
ドレス可能なEL素子を具えるEL装置を得るように変更する試みは、満足な結
果を与えない。定電流において駆動しているとき、特定のEL画素の輝度は、多
数のEL画素をアドレスすることによって表示すべき画像に依存することがわか
っている。特に、特定のアドレスされた画素によって発生される光の輝度は、ア
ドレスされている隣接するELの数に反比例すると思われる。
【0006】 本発明の目的は、上述した欠点を持たない複数の独立にアドレス可能なエレク
トロルミネッセント素子を具えるエレクトロルミネッセント装置を提供すること
である。特に、本発明は、各EL画素を、その発光輝度が、隣接する画素がアド
レスされているか否かに依存することなく、独立にアドレスすることができるE
L装置を提供することを目的とする。これは、特に、前記EL装置を、少なくと
も1つの電荷輸送層をスピンコーティングのような湿式コーティング方法を使用
して溶液から加工する方法を使用して製造する場合である。さらに、前記EL装
置は、簡単で費用効果的な製造方法を使用して製造することができるような構造
を有するものである。
【0007】 本発明によれば、これら及び他の目的は、複数の独立してアドレス可能なエレ
クトロルミネッセント素子を具える有機エレクトロルミネッセント装置において
、 複数の第1電極を具えるパターン化第1電極層と、 第2電極層と、 前記第1電極層及び第2電極層間に挟まれた任意にパターン化された有機エレ
クトロルミネッセント層と、 前記エレクトロルミネッセント層及び第1電極層の間に配置された相互に分離
した電荷輸送領域を有する有機電荷輸送層と、 前記電荷輸送領域を隣接する第1電極に沿って分離するレリーフパターンとを
具える有機エレクトロルミネッセント装置によって達成される。
【0008】 本発明によるEL装置において、各EL画素を独立にアドレスし、定電流にお
いて駆動された場合、該画素が発生する輝度が、このアドレスされた画素に隣接
する画素のいくらかが同様にアドレスされているか否かに実際的に依存しないよ
うにすることができる。これは、特に、前記有機電荷輸送層を溶液からスピンコ
ーティングのような湿式コーティング方法を使用して設けた場合である。本発明
の本質的な特徴は、前記レリーフパターンである。前記電荷輸送層を、簡単で費
用効果的な方法における(非選択的)湿式コーティング方法を使用してパターン
化することを可能にする。
【0009】 ある点において、本発明は、パターン化電極層を含むように変更された既知の
装置において、前記電荷輸送層を連続層として設けるという見識に基づく。前記
第1電極層に直接隣接して配置された前記連続層は、異なった画素の第1電極に
接触する。特定の画素をアドレスすると、漏れ電流が、前記アドレスされた画素
に隣接するいくらかのアドレスされていない画素に、前記連続電荷輸送層を経て
流れる。これと相違して、このような漏れ電流は、隣接するアドレスされた画素
間で、これらの第1電極が同電位であるため、流れない。フローティング電極配
置の場合において、前記漏れ電流は、前記アドレスされた画素に隣接するアドレ
スされていないEL素子が、光を不注意に同様に発生することを引き起こす。前
記漏れ電流を実際的に抑制するために、前記EL及び第1電極層間に配置された
前記電荷輸送領域を、隣接する第1電極に沿って互いに分離する。互いに分離す
ることによって、電流はこれらの領域間で流れない。
【0010】 加えて、本発明は、このような輸送領域を具える電荷輸送を簡単で費用効果的
な方法において設け、したがって、このような層を具えるEL装置を提供するこ
とができるようにするために、前記EL装置に、隣接する第1電極間およびこれ
らに沿って延在するレリーフパターンを設けるべきであるという発見に基づく。
驚くほど、前記レリーフパターンは、前記パターン化電荷輸送層を、スピンコー
ティングのような湿式コーティング方法を使用して得ることを可能にする。非選
択的コーティング方法の場合において、前記レリーフパターンの適切な高さ及び
幅において、基板表面全体を最初に満たされた前記電荷輸送層材料又はその前駆
材料を含む湿式フィルムは、前記レリーフパターンに沿って及びこれらの間に延
在する互いに分離した流体領域において、電荷輸送材料が前記レリーフパターン
の上部に残らないように分離することが認められている。次に前記流体領域を、
隣接する第1電極に沿って分離された電荷輸送領域に変換する。さらに、隣接す
る第1電極に沿って分離することによって、前記電荷輸送領域を、共通第2電極
を共有する第1電極がフローティング電極配置において重要な異なった電荷輸送
領域によって覆われるようにレイアウトする。
【0011】 欧州特許出願公開明細書第0880303号において、電荷輸送層とバンクの
形態におけるレリーフパターンとを有する複数の独立にアドレス可能な素子を具
えるEL装置が開示されている。前記バンクの目的は、望ましくない領域にイン
クジェット印刷によって与えられる発光層材料を含む溶液の広がりを防ぐことで
ある。したがって、その目的は、隣接する第1電極に沿って分離された電荷輸送
領域を設けることにおいて援助することである本発明におけるレリーフパターン
の目的と異なる。さらに、欧州特許出願公開明細書第0880303号の電荷輸
送層は、するとしても、異なった方法においてパターン化される。欧州特許出願
公開明細書第0880303号は、前記エレクトロルミネッセント層及び第1電
極層の間に配置され、隣接する第1電極に沿って分離された、互いに分離した電
荷輸送領域を有する有機電荷輸送層を開示していない。また、本発明は、前記電
荷輸送層を、欧州特許出願公開明細書第0880303号において開示されてい
る電荷輸送層より実際的に薄く(代表的にレリーフパターンの高さの10%より
薄い厚さ)に形成することを可能にし、電荷輸送材料を節約するだけでなく、P
ANI及びPEDOTのような光吸収電荷輸送材料の使用を可能にする。
【0012】 本発明による有機エレクトロルミネッセント装置は、複数エレクトロルミネッ
セントの独立にアドレス可能な素子(画素)を具える。各EL素子は、発光可能
な領域を有する。この発光領域は、EL層の一部である。画素の発光領域を、第
1電極、第2電極、電荷輸送領域及び有機EL層の重なった領域によって規定す
る。前記EL装置を、パッシブ又はアクティブタイプのセグメント化又はマトリ
ックス表示装置としてもよい。前記複数の第1電極を、第1の、必要ならパター
ン化された電極層の形態において設ける。同様に、前記第2電極を、第2の、任
意にパターン化された電極層の形態において設ける。
【0013】 前記第2電極層は、1つ以上の共通電極を具えてもよい。共通電極は、1つ以
上のEL素子の第2電極として働くものである。
【0014】 (多色)セグメント化表示装置において、一般的に前記第2電極層は共通電極
を具え、前記第1電極層は共通電極を具えてもよい。
【0015】 アクティブタイプのマトリックスディスプレイにおいて、EL素子を、例えば
、薄膜トランジスタによって駆動する。一般的に、アクティブマトリックス装置
は共通第2電極を具え、前記第1電極は独立にアドレス可能である。
【0016】 パッシブタイプのマトリックス表示装置において、前記EL素子の第1及び第
2電極は、各々互いに直角に交差する複数の行及び列電極を形成し、各行及び列
を共通電極とする。行及び列電極が交差する場所すべてに、EL画素を形成する
【0017】 前記第1電極層は電子注入し、前記第2電極層は正孔注入してもよい。代わり
に、第1電極層は正孔注入し、前記第2電極層は電子注入してもよい。
【0018】 電子注入電極を、好適には、Yb、Ca、Mg:Ag、Li:Al、Baのよ
うな低仕事関数を有する金属(合金)で形成するか、Ba/Al又はBa/Ag
電極のような異なった層の薄層とする。
【0019】 正孔注入電極を、好適には、Au、Pt、Agのような高仕事関数を有する金
属(合金)で形成する。好適には、インジウムスズ酸化物(ITO)のようなよ
り透明な正孔注入電極材料を使用する。ポリアニリン(PANI)及びポリ3,
4エチレン二酸化シロフェン(PEDOT)のような導電性ポリマも、好適な透
明正孔注入電極材料である。好適には、PANI層は、50ないし200nmの
厚さを有し、PEDOT層は、100ないし300nmの厚さを有する。ITO
正孔注入電極を使用した場合、前記第1電極を、好適には、正孔注入電極とする
【0020】 前記EL層を、実際的に有機エレクトロルミネッセント材料で形成する。本発
明の文脈において、EL材料の選択は決定的でなく、当該技術分野において既知
のEL材料を使用することができる。好適なこのような材料は、低又は高分子重
量の有機フォト又はエレクトロルミネッセント、蛍光及び燐光混合物を含む。好
適な低分子重量は、当該技術分野において既知であり、トリス8アルミニウムキ
ノリノル複合体及びクマリンを含む。これらのような混合物を、真空堆積法を使
用して付けることができる。
【0021】 好適なELポリマは、ポリビニルカルバゾールのようなエレクトロルミネッセ
ント蛍光サイドグループを設けた飽和メインチェーンを有する。好適な高分子重
量材料は、ポリチオフェン、ポリフェニレン、ポリチオフェンビニレン、又はよ
り特には、ポリpフェニレンビニレンのような、実際的に共役バックボーン(メ
インチェーン)を有するELポリマを含む。特に好適なのは、(青色発光)ポリ
(アルキル)蛍光と、赤色光、黄色光又は緑色光を発光するポリpフェニレンビ
ニレンであり、2又は2,5置換ポリpフェニレンビニレン、特に、C−C 、好適にはC−C10のような2及び/又は2,5位置において可溶性改善
サイドグループを有するこれらである。好適なサイドグループは、メチルメソク
シ3,7ジメチルオクチロキシ及び2メチルプロポキシである。より特に好適な
のは、2フェニル1,4フェニレンビニレン繰り返し単位を含むポリマであり、
フェニルグループを、上述した形式のアルキル及び/又はアルコキシグループ、
特に、メチル、メトキシ3,7ジメチルオクチロキシによって置換してもよく、
又は、よりよくは2メチルプロポキシのままにする。前記有機材料は、1つ以上
のこれらのような混合物を含んでもよい。これらのようなELポリマを、好適に
は湿式堆積技術によって付ける。前記湿式堆積技術を、選択的又は非選択的とす
る。非選択的コーティング方法は、スピンコーティング、ウェブコーティング、
ドクターブレード、スプレーコーティング、ローラコーティング又はキャスティ
ングを含む。選択的堆積技術は、インクジェット印刷、ディスペンシング(連続
ジェットの)、スクリーン印刷、オフセット印刷、リソグラフィ及びタンポン印
刷を含む。
【0022】 本発明の文脈において、有機という用語は、ポリマという用語及びその接頭辞
がホモポリマ、コポリマ、ターポリマ及びより高い同族体をオリゴマーと共に含
むが、重合体を含む。
【0023】 任意に、前記有機EL材料は、分子スケールにおいて均質に分布してもよく、
又は、粒子分布の形態において存在してもよい、他の現存する有機又は無機物質
を含む。特に、電荷注入及び/又は電子及び/又は正孔の電荷輸送を改善する混
合物と、発生される光の強度又は色を改善及び/又は変更する混合物等が存在し
てもよい。
【0024】 前記有機EL層は、好適には、50nmないし200nm、特に、60nmな
いし150nm、又は好適には70nmないし100nmの平均厚さを有する。
【0025】 前記EL装置は、前記EL層及び第1電極層の間に位置する電荷輸送層を具え
る。前記第1電極層が電子注入の場合、前記電荷輸送層は電子輸送層であり、前
記第1電極層が正孔注入層の場合、前記電荷輸送層は正孔輸送層である。
【0026】 前記正孔注入及び/又は正孔輸送層(HTL)に好適な材料は、芳香族第3ア
ミン、特にジアミン又はより高い同族体、ポリビニルカーバゾール、クイナクリ
ドネ、ポーフィリン、プサロキアニン、ポリアニリン及びポリ3,4エチレンジ
オキシチオフェンを含む。
【0027】 前記電子注入及び/又は電子輸送層(ETL)に好適な材料は、オキサジアゾ
ールベース混合物およびアルミニウムキノリン混合物である。
【0028】 ITOをアノードとして使用した場合、前記EL装置は、好適には、50ない
し300nm厚の正孔注入/輸送層材料ポリ3,4エチレンジオキシチオフェン
の層か、50ないし200nm厚のポリアニリンの層を具える。
【0029】 任意に、前記EL装置は、前記電極間に配置された追加の層を具える。これら
のような追加の層を、正孔注入及び/又は輸送(HTL)層と、電子注入及び輸
送(ETL)層としてもよい。例は、アノード/HTL層/EL層/カソード、
アノード/EL層/ETL層/カソード、又は、アノード/HTL層/EL層/
ETL層/カソードの薄層を具える。
【0030】 一般的に、前記EL層は、基板を具える。好適には、前記基板を、発生すべき
光に対して透明とする。好適な基板材料は、可撓性でもそうでなくてもよい透明
合成樹脂、水晶、セラミック及びガラスを含む。
【0031】 前記EL装置は、隣接する第1電極に沿ってとこれらの間に延在するレリーフ
パターンを具える。前記レリーフパターンの目的は、前記電荷輸送領域を、好適
には非選択的湿式コーティング方法を使用して得られるようにすることである。
漏れ電流又は短絡を防ぐために、前記レリーフパターンを、電気的に絶縁する材
料で形成する。
【0032】 前記レリーフパターンの高さ、幅及び形状を、前記電荷輸送層を得る流体層が
、相互に分離した流体領域において分離し、前記レリーフパターンの頂点が電荷
輸送材料を除去するように選択する。
【0033】 状況の所定の組においてどの幅及び高さが上述した分離効果を与えるかは、多
くの要因に依存し、特に、堆積すべき前記流体の流動学的特性と、前記レリーフ
パターンによって輪郭が描かれる空間の大きさとに依存する。一般的なガイドラ
インを与えるのは困難であるが、好適な幅及び高さを、前記レリーフパターンの
高さ及び幅を変化させる経験を行うことによって、容易に経験的に決定される。
【0034】 どのような理論によって制限されることも望まないとしても、2つの駆動力が
、前記流体層の分離と、前記レリーフパターンの上部の脱水とにおいて働くと考
えられる。第1に、前記レリーフパターンの湾曲による正の圧力変化率が、前記
流体を前記レリーフパターンの上部から遠くに追いやる。第2に、前記溶媒の除
去中に発展する、前記レリーフパターンの上部及びこれらの間に存在する流体間
の濃度における差によって生じるマランゴニストレスが、結果として前記レリー
フパターンから離れる流体の輸送を生じる。前記流体層がきわめて薄くなる場合
、前記脱水を促進するファンデルワールス力が働きだす。前記レリーフパターン
の脱水は、前記溶媒の蒸発による前記流体層の粘度における増加により、遅くな
る。前記レリーフパターンの幅が増加する場合、より多くの流体を、前記レリー
フパターンの上部から遠くに輸送しなければならない。電荷輸送材料のレリーフ
パターンを除去するために、すべての流体を、ゲル点に達する前に排出しなけれ
ばならない。
【0035】 好適な幅は、1ないし200μm、より良好には2ないし50μm、好適には
10ないし20μmの範囲においてあってもよく、適切な高さは、1ないし30
μm、好適な高さは、2ないし6μmにおいてあってもよい。前記レリーフパタ
ーンの横輪郭は、決定的ではない。好適には矩形であり、負の傾斜がついていて
いても、すなわち、張り出した部分を有していてもよいが、レリーフパターン又
はその基礎の部分に正の傾斜をつけるのが好適であり、それはこのような配置が
前記レリーフパターンから前記レリーフパターンによって規定される空間への流
体の移動を促進するようにするためである。最も好適には、前記レリーフパター
ンの横断面を、徐々に変化を有するように丸め、実際的に三日月形状にする。明
らかに、前記レリーフパターンのレイアウトは、EL装置の形式(セグメント化
、パッシブマトリックス、アクティブマトリックス等)に依存する。
【0036】 どのようなパターン化技術を使用して前記レリーフパターンを設けられるとし
ても、前記レリーフパターンを、好適には、慣例的なフォトレジストをフォトリ
ソグラフィ式にパターン化することによって得る。
【0037】 本発明によるエレクトロルミネッセント装置の好適実施形態において、前記レ
リーフパターンは、正の傾斜を付けられた部分を有する。
【0038】 本発明の文脈において、角度を前記レリーフパターンを通過するとして測定し
、横断面における面における接線がすべて前記レリーフパターンを支持する表面
と90°より小さい角度を成す場合、前記レリーフパターン部分は正の傾斜をつ
けられているとする。正の傾斜を付けた部分の逆を張り出し部分とし、張り出し
は前記支持表面と平行方向において延在する。
【0039】 正の傾斜を付けることにより、前記レリーフパターンを少なくとも部分的に覆
うどのような第2電極層も、前記正の傾斜を付けた部分の輪郭に従うことができ
、それによって中断されない。特に、前記第2電極層は、真空堆積された第2電
極層の場合において前記レリーフパターンによって中断されない。前記レリーフ
パターンの直角又は張り出し部分は、前記第2電極層を、ひょっとすると望まし
くない場所において中断させる。このような望ましくない中断を防ぐために、前
記基板を、前記第2電極層の堆積の前に平面化しなければならない。本発明によ
るEL装置において、平坦化する必要はないため、前記レリーフパターンの高さ
より小さい厚さを有する電荷輸送層を使用することができる。
【0040】 正の傾斜を付けられた部分を有するレリーフパターンの使用は、前記行電極が
前記レリーフパターンと中断されないように交差しなければならないため、パッ
シブマトリックスディスプレイの場合において特に適切である。したがって、本
発明によるエレクトロルミネッセント装置の好適実施形態は、該エレクトロルミ
ネッセント装置を、前記複数の第1電極が複数の行電極であるパッシブマトリッ
クス形式の表示装置とし、 前記第2電極層が、前記行電極及びレリーフパターンと交差する独立にアドレ
ス可能な複数の列電極を具えることを特徴とする。
【0041】 前記レリーフパターンを、前記第2電極をパターン化するのに使用しても使用
しなくてもよい。前記レリーフパターンが直角又は正の傾斜を付けた横輪郭を有
する場合、前記第2電極は、真空によって空の空間に堆積された場合、前記レリ
ーフパターン及びEL層の双方を覆う単一の連続導電層を形成する。前記レリー
フパターンに正の傾斜を付けた場合、前記第2電極を外部の影を使用してパター
ン化することができる。前記レリーフパターンの上部に最初に堆積されたどのよ
うな流体も残るのを防ぐために、ルーフ状又は溝状構造のような排水構造を用い
てもよい。
【0042】 本発明によるEL装置の他の実施形態は、前記レリーフパターンが、前記レリ
ーフパターンを前記第2電極をパターン化するのに好適にする張り出し部分を有
することを特徴とする。
【0043】 一般的な場合である前記第2電極を真空堆積によって堆積した場合、前記張り
出しは、第2電極材料の堆積用シャドウマスクとして働く。そこから前記第2電
極を空の空間に堆積する材料流に露出した場合、前記張り出し部分は、前記張り
出し部分によって与えられた影領域における場所における電極材料の堆積を防ぎ
、したがって、パターン化第2電極を得る。張り出し部分を有するレリーフパタ
ーンの例は、T状、マッシュルーム状、逆台形状、又は、三角形状横輪郭である
。張り出し部分を有するレリーフパターンの他の例及び製造方法は、米国特許明
細書5701055号において開示されている。前記張り出し部分の幅は、決定
的ではない。1ないし2μmの張り出し部分において、2つの隣接する第2電極
が故意でなく電気的に接続される危険性は許容されない。前記張り出し部分の好
適な幅は、2ないし10μmである。好適なレリーフパターンは、5ないし10
μmの基部と15ないし30μmの上部とを有する逆台形の横輪郭を有する。前
記基板が前記第2電極の堆積処理中に回転しない場合、前記張り出し部分をより
小さくしてもよい。
【0044】 前記EL装置の特に好適な実施形態は、前記レリーフパターンを、前記電荷輸
送層の流体層を含む第1レリーフパターンと、前記第2電極をパターン化するの
に好適な第2レリーフパターンを与える張り出し部分を有する第2レリーフパタ
ーンの複合レリーフパターンとしたことを特徴とする。
【0045】 前記第2レリーフパターンを、前記第1電極の前記第2電極に面する側におい
て配置する。このような複合レリーフパターンを、前記第1レリーフパターンで
開始する連続する2つのフォトリソグラフィックパターン化ステップを行うこと
によって得ることができる。前記第1レリーフパターンを、前記第2パターンを
与えるのに必要な処理に耐えることができるように堅く焼く。代わりに、前記第
1レリーフパターンを、前記第2レリーフパターンのフォトレジストを処理する
のに使用する溶媒に溶けないポリイミド、ポリアミド又は他の光パターン化可能
材料で形成してもよい。
【0046】 前記EL装置は、表示目的に好適な輝度を与えるのにわずかな電圧しか必要と
しない及び/又は少量の電力しか消費しないため、前記EL装置は、(ビデオ)
画像の表示を必要とするインターネットアクセス又は他のサービスを任意に与え
た、ラップトップコンピュータ、パームトップコンピュータ、パーソナルオーガ
ナイザ、携帯電話のようなバッテリ動作及び/又は小型、特に、携帯電子装置に
特に好適である。
【0047】 他の態様において、本発明は、したがって、本発明によるEL表示装置を設け
た、携帯電話のようなバッテリ動作及び/又は携帯型電子装置に関する。
【0048】 他の態様において、本発明は、複数の独立にアドレス可能なエレクトロルミネ
ッセント素子を具える有機エレクトロルミネッセント装置を製造する方法におい
て、 複数の第1電極を具えるパターン化第1電極層を設けるステップと、 隣接する第1電極の間およびこれらに沿って延在するレリーフパターンを設け
るステップと、 有機電荷輸送材料又はその前駆材料を含む流体層を堆積するステップと、 前記流体層を、エレクトロルミネッセント層及び第1電極層の間に位置すると
共に隣接する第1電極に沿って互いに分離した互いに分離した電荷輸送領域を有
する有機電荷輸送層に変換するステップと、 少なくとも1つの任意にパターン化されたエレクトロルミネッセント層を設け
るステップと、 任意にパターン化された第2電極層を設けるステップとを含む方法に関する。
【0049】 前記電荷輸送層を、連続層の代わりに隣接する第1電極に沿って互いに分離し
た電荷輸送領域を具えるパターン化層として設けたため、本発明による方法は、
前記第1電極間の抵抗が実質的に低下し、前記第1電極間の漏れ電流が実質的に
減少し、10の因数による減少を容易に実現するEL装置を提供する。本発明に
よる方法の本質的な特徴は、前記電荷輸送層を湿式コーティング方法を使用して
パターン化することを可能にするレリーフパターンである。湿式コーティング方
法の使用は、このような湿式コーティング方法は簡単であるため、本発明による
方法を簡単かつ費用効果的にし、高いスループットを可能にし、大面積をコーテ
ィングするのに好適である。
【0050】 驚くべきことに、前記レリーフパターンの補助により、前記電荷輸送層を、本
発明による方法をさらに魅力的にする非選択的湿式コーティングを使用してパタ
ーン化することができる。
【0051】 したがって本発明による方法は、前記流体層を堆積及び変換するステップが、 前記複数の第1電極及びレリーフパターンの双方を満たすのに十分な量におい
て非選択的に前記流体層を堆積するステップと、 前記流体層を前記有機電荷輸送層に変換するステップとを含み、前記変換中、
前記流体層が、前記レリーフパターンの間及びこれに沿って延在する互いに分離
した流体領域に分離し、前記流体領域を次に互いに分離した電荷輸送領域に変換
するのが好適である。
【0052】 既に上述したように、前記レリーフパターンの適切な高さ及び幅において、前
記基板全体に最初に流れる非選択的湿式コーティング方法によって堆積された前
記流体層は、前記レリーフパターン間の空間を満たすと共に流体の前記レリーフ
パターンを除去する分離した流体領域に分離する。前記流体層変換中、流体は前
記レリーフパターンの上部から排出される。前記流体領域が対応する電荷輸送領
域に変換されるとき、前記電荷輸送層は、前記電荷輸送領域が相互に分離した第
1電極を接続しないようにパターン化される。また、前記第2電極層は1つ以上
の共通電極を具え、前記レリーフパターンのレイアウトを、共通第2電極を共有
する前記第1電極が異なった電荷輸送領域によって覆われるように選択する。
【0053】 選択的形式及び非選択的形式の双方の好適な湿式コーティング方法と、第1及
び第2電極層と、有機EL層と、有機エレクトロルミネッセント材料と、電荷輸
送層と、レリーフパターンとは、既に上記において開示した。
【0054】 本発明の文脈において、流体は、圧力の下で流れることができるどのような変
形可能な量をも意味すると理解され、懸濁液、溶液、乳液、分散液、ペースト、
インク、ラッカー等を含む。
【0055】 そこから前記有機電荷輸送層を得る前記流体層は、前記電荷輸送材料又はその
前駆材料を含む。前記流体層を堆積した後、これを前記電荷輸送層に変換する。
この変換は、必要なら不活性雰囲気において前記流体層を、上昇した又は低下し
た温度に、増加した又は減少した圧力に、及び/又は、放射線に暴露することを
含む。好適には、前記変換を、上昇する温度において行う。
【0056】 前記電荷輸送材料が前記流体層においてそういうものとして存在する場合、溶
媒及び/又は他の揮発性成分を蒸発するのに十分であるかもしれない。前記流体
層が前記電荷輸送材料の前駆材料を含む場合、変換は化学反応も含む。化学の技
術における当業者に既知の豊富な化学反応を、適切な前駆材料を得るのに利用す
ることができる。
【0057】 前記流体層は、他の物質を含んでもよい。例えば、粘度、(粘)弾性、接触角
、及び/又は、ぬれ性のようなその流動特性を変化する物質である。湿潤剤、レ
ベリング剤、界面活性剤、濃厚剤、希釈剤等を加えてもよい。代わりに、前記レ
リーフパターンの表面特性を、反湿潤処理を行うことによって変化させることが
できる。水を基礎とする流体の場合において、これを、前記レリーフパターンに
CF又はCHFプラズマ処理を行うことによって行うことができる。
【0058】 非選択コーティング方法の形式は、決定的ではなく、例えば、ディップコーテ
ィング、スプレーコーティング、カーテンコーティング、ドクターコーティング
、ウェブコーティング、スピンコーティング及びLangmuir-Blodgettでもよい。
それにもかかわらず、まったく意外なことには、前記パターン化電荷輸送層を、
スピンコーティングを使用して大面積に渡って一様に堆積させることができる。
結局、一般的には、スピンコーティング法が、平面基板をコーティングする、す
なわち、レリーフパターン化基板上に平面化層を設けるのに好適な方法である。
これと相違して、当業者は同意するであろうように、設けるべき層の厚さが前記
レリーフパターンの高さより大幅に薄い場合、層をレリーフパターン上に容易に
スピンコートできることは期待できない。本発明の文脈において、前記電荷輸送
層の厚さは代表的に100nmであり、前記レリーフパターンの高さは代表的に
3ないし5μmである。
【0059】 本発明のこれら及び他の態様は、以下に記載の実施形態の参照によって明らか
になるであろう。
【0060】実施形態1(本発明によらない) 図1は、本発明によらない有機ELパッシブマトリックス表示装置1の一部を
部分的に開いた斜視図を示す。
【0061】 EL装置1は、行電極3A及び3Bの形態における第1電極を具える第1電極
層と、相互に分離した電荷輸送領域4A、4B、4C及び4Dを具える電荷輸送
層と、パターン化EL層5R、5G、5Bと、列電極6A、6B、6Cを具える
第2電極層とが重なった領域によって形成される複数の独立してアドレス可能な
EL素子(EL画素)10A、10B、10C、10D、10E、10Fを設け
た(発光すべき光に関して透明な)基板2を有する。前記EL層の分離領域5R
、5G、5Bは、各々、赤色、緑色及び青色のような異なった色の光を発光して
もよい。行電極3A及び3Bは、各々、共通電極である。例えば、行電極3Aは
、EL素子10D、10E及び10F用の電極を与える。列電極6A、6B、6
Cの各々は、多数のEL素子用の電極を与える共通第2電極である。
【0062】 EL装置1は、前記電荷輸送層を相互に分離した電荷輸送領域4A、4B、4
C及び4Dに分離するレリーフパターン7をさらに具える。しかしながら、本発
明と相違して、これらの領域は、レリーフパターン7が隣接する第1電極間及び
これに沿って延在しないため、隣接する第1電極に沿って分離しない。電荷輸送
領域4Aは、第1電極3A及び3Bを接続し、これらの一方のみが適切な電圧を
印加することによってアドレスされ、他方が0Vの電位に保持されている場合、
漏れ電流が、電極3A及び3Bの間の領域4Aを経て流れるおそれがある。代わ
りに、電極3A及び3Bをフローティング電極配置において設けた場合、EL画
素10Bを独立にアドレスすることが、EL画素10Eを同様に発光させる。
【0063】実施形態1(本発明による) a)装置構造 図2は、本発明による有機ELパッシブマトリックス装置21の一部を斜視図
において図式的に示す。
【0064】 図4は、本発明によるEL装置21を設けた携帯電話機101を図式的に示す
【0065】 EL装置21は、行電極23A、23B及び23Cの形態における第1電極の
パターン化第1電極層と、電荷輸送領域24A、24B、24C、24D、24
E、24Fを具える電荷輸送層と、パターン化EL層25と、列電極26A、2
6B、26C及び26Dを具える第2電極層とが重なった領域によって形成され
る複数の独立してアドレス可能なEL素子(EL画素)31A、31B、31C
、31D、31E、31F、31Gを設けた(透明)基板22を有する。EL層
25を、多色装置を得るために赤色光、緑色光及び青色光を各々発光することが
できるEL層に分割してもよい。
【0066】 EL装置21は、さらに、第1及び第2レリーフパターン28及び29を各々
具える複合レリーフパターン27を具える。
【0067】 レリーフパターン28は、隣接する行電極23A、23B及び23Cに沿って
、及びこれらの間に延在する。レリーフパターン28は、電荷輸送領域24A、
24B、24C、24D、24E、24Fを、隣接する第1電極23A、23B
及び23Cに沿って分離する。前記レリーフパターンは、また、本発明に関して
必須ではないが、前記領域を、列電極26A、26B、26C及び26Dに沿っ
て分離する。レリーフパターン28に正の傾斜を付け、この正の傾斜は、列電極
26A、26B、26Cを、第1レリーフパターン28の輪郭に従うと共に前記
列電極がレリーフパターン28と交差する場合はいつも第1レリーフパターン2
8によって中断されない連続導電性ストリップとして設けることを可能にする。
【0068】 複合レリーフパターン27は、さらに、前記複合レリーフパターンを、列電極
26A、26B、26Cを相互に独立してアドレス可能な列導体にパターン化す
るのに好適にする張り出し部分29aを有する第2レリーフパターン29を具え
る。レリーフパターン29は本発明に関して必須ではない。第2レリーフパター
ン29を、第1レリーフパターン28の頂上において、すなわち、行電極23か
ら離れた方を向いた前記第1レリーフパターンの表面上に設ける。例えば、列電
極26A、26B、26Cを金属蒸気の真空堆積によって堆積した場合、張り出
し部分29aは、前記基板に対して直角を向いた蒸気流に関する影領域を形成し
、この領域において、材料は堆積せず、これに反して、正の傾斜を付けた第1レ
リーフパターン28はこのような影領域を与え与えない。このようにして、相互
に電気的に分離された列導体を形成する。
【0069】 レリーフパターン29を内蔵シャドウマスクとして使用した場合、非機能的材
料30が前記レリーフパターンの上部において存在する。
【0070】 前記電荷輸送層は、EL層25と第1電極23A、23B及び23Cとの間に
位置し、少なくとも隣接する第1電極に沿って分離した電荷輸送領域24A、2
4B、24C、24D、24E、24Fを有する。
【0071】 結果として、第1電極はどのような電荷輸送領域を経ても接続されず、漏れ電
流は隣接する電極間の前記領域のいずれを経ても流れることができない。代わり
に、フローティング電極配置において、前記電荷輸送領域の隣接する電極に沿っ
た分離は、同じ行電極を共有する列電極が異なった電荷輸送領域によって覆われ
ることを確実にする。
【0072】 b)製造の例 EL層21を、以下のように製造することができる。15Ω/平方 150n
m厚ITO層(Balzers)をコーティングした1.1mm厚ソーダ石灰ガ
ラスの基板22を設け、前記ITO層を280μmは場ライン及び30μm幅空
間パターンにおいて慣例的な方法においてパターン化し、EL素子31A−Gの
アノードとして働く行電極23A、23B及び23Cの携帯における第1電極を
具える前記第1電極層を得る。
【0073】 複合パターン27の第1レリーフパターンを設けるために、前記基板を慣例的
なフォトレジストでスピンコーティングし、前記フォトレジストをマスクを使用
して露光し、現像する。レリーフパターン28は、40/270μmライン/空
間パターンであり、隣接する第1電極23A−Cの間及びこれらに沿って延在す
る。レリーフパターン28の高さは4μmである。レリーフパターン28を、次
に、レリーフパターン29を設けるプロセスに抵抗させるように堅く焼く。
【0074】 前記基板に、次に、イメージリバーサルフォトレジストAZ5218−e(A
Z Hoechst)でスピンコーティング(1000rpm)する。前記フォ
トレジストを、近い(40μmギャップ)行電極3A、3Bに対して直角におい
て20/290μmライン/空間パターンを有するマスクを使用してパターン幅
に32mJ/cmのドーズに対して露出し、110℃において10分間堅く焼
き、400mJ/cmのドーズに多量に露出し、1:1のAZ−現像液:DI
−水現像液を使用して45°の負の傾斜を得るのに十分な時間現像し、100℃
において15分間後焼きする。これは結果として、張り出し部分29aを有する
30/280μmライン/空間のレリーフパターン29を生じる。各ラインは、
高さにおいて30μm、前記基部において20μmになる逆台形形状を有する。
レリーフパターン27の合計高さを6.0μmとする。
【0075】 図5は、本発明によるEL装置において使用する代わりの複合レリーフパター
ン27Aの横輪郭を示す。この複合レリーフパターンは、丸められた三日月状レ
リーフパターン28Aを含む。この丸められた形状を、高い温度において長い期
間の間レリーフパターン28を堅く焼くことによって得ることができる。
【0076】 3%固体含有量の水を基礎とするポリ3,4エチレンジオキシチオフェン(P
EDOT)溶液(サプライヤBayer)を、次に、レリーフパターン27に20
00rpmにおいてスピンコーティングし、結果として、レリーフパターン27
及び前記第1電極層を満たす平均厚さ8.3μmの流体層を生じる。前記流体層
を2000rpm及び130℃において3分間回転することによって変換する間
、レリーフパターン28は、前記流体層を、レリーフパターン28に沿い、した
がって第1電極23A、23B及び23Cに沿って互いに分離した流体領域に分
離させる。電荷輸送材料はレリーフパターン28及び29の上部に残らない。第
2電極26A、26B、26Cに沿っても分離するが、これは本発明に関して本
質的でない。さらなる乾燥に応じて、前記流体領域は固まり、電荷輸送領域24
A、24B、24C、24D、24E、24Fに変換される。前記領域は250
nm厚であり、100MΩ/平方の平方抵抗を有する。
【0077】 その後、−OC10が3,7ジメチルオクチロキシを示し、r及び1−rが0
.5に等しく、各々r及び1−rをトルエンにおける接尾辞(以後NRS−PP
Vとも呼ぶ)として付けた括弧において示す構造を有する単位の比を示す式(1
)のポリマの0.6%重量%溶液を、1250rpmにおいてスピンコーティン
グし、これは結果として平均厚さ11.6μmの流体層が結果として生じる。
【数1】 前記コポリマを、WO99/21936におけるのと同様の方法に従って合成す
る。前記ウェット層を乾燥した後、パターン化有機EL層25を得る。
【0078】 レリーフパターン29を内蔵シャドウマスクとして使用する限り、3nm厚B
a層及び200nm厚Al層を、前記EL層の上部に連続的に堆積する。このよ
うにして得られたパターン化Ba/Al層は、複数の列電極(カソード)26A
、26B、26C及び26Dを具える第2電極層を構成する。
【0079】c)装置特徴 EL装置21のEL素子31Bに、2.7Vの電圧を、電極23Bを電圧源の
陽極に接続し、電極26Cを陽極に接続することによって印可する。電極23B
に隣接する電極を0Vに保つ。アドレスされた素子31Bのみが発光し、その強
度は、どのくらい多くの隣接するEL素子もアドレスされているかいないかの事
実によって影響されない。
【0080】実施形態3(本発明による) 実施形態2を、第1レリーフパターン28の異なった高さ、すなわち、3.0
、8.0、10.0及び15.0μmを使用してくり返す。すべての場合の前記
レリーフパターンにおいて、前記レリーフパターンの上部を電荷輸送材料から排
出し、前記レリーフパターンによって中断された電荷輸送層を形成する。しかし
ながら、前記高さを例えば1.5μmと小さくし過ぎると、すべての流体が前記
上部から流出する前に前記流体層のゲル点に達するため、電荷輸送材料は、前記
レリーフパターンの上部に残る。同様に、前記レリーフパターンの幅を5μmの
高さにおいて140μmに増加すると、前記竜体層は分離せず、連続電荷輸送層
が結果として生じる。
【0081】実施形態4(本発明によるa)装置構造 図3は、本発明による他の有機ELマトリックス表示装置41の一部を斜視図
において図式的に示す。
【0082】 EL装置41は、行電極43A、43B及び43Cの形態における第1電極の
パターン化第1電極層45と、電荷輸送領域44A、44B、44Cを具える電
荷輸送層と、パターン化EL層45と、列電極46A、46B、46Cの第2電
極層とが重なった領域によって形成された複数の独立にアドレス可能なEL素子
(EL画素)51A、51B、51C、51D、51E、51Fを設けた(透明
)基板42を有する。EL層45を、多色装置を得るために、赤色光、緑色光及
び青色光を各々発生することができるEL層に分割してもよい。
【0083】 EL装置41は、さらに、行電極43A、43B及び43Cに沿って及びこれ
らの間に延在するレリーフパターン47を具える。レリーフパターン47は、電
荷輸送領域44A、44B、44Cを隣接する電極43A、43B及び43Cに
沿って分離する。レリーフパターン47は、列電極46A、46B、46Cを前
記レリーフパターン47の横輪郭に従うと共に前記列導体がレリーフパターン4
7と交差するどの場所でも前記レリーフパターン47によって中断されない連続
導電ストリップとして設けることができるようにする正の傾斜を付けた部分を有
する。
【0084】 前記電荷輸送層をレリーフパターン47によって、隣接する第1電極に沿って
分離した電荷輸送領域44A、44B、44Cに分割する。結果として、共通第
2電極、すなわち同じ行電極を共有する列電極を共有する第1電極を、異なった
電荷輸送層によって覆う。また、電極43A、43B、43Cを前記電荷輸送層
によって接続せず、これらの電極間でのどのような漏れ電流の流れも阻止する。
【0085】b)製造の例 EL装置41を、レリーフパターン47を慣例的なフォトレジストを使用する
単独のフォトリソグラフィックステップによって設け、列電極46A、46B、
46Cを外部シャドウマスクを使用して真空堆積する他は、実施形態2のb)に
おける方法を使用して製造することができる。
【0086】 c)装置特徴 電極間で観測される漏れ電流に関して、EL装置41は、EL装置21と同様
に成し遂げる。また、EL画素の輝度は、その隣接する画素のどれがアドレスさ
れていようが影響を受けない。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明によらない有機ELパッシブマトリックス表示装置の一部を部
分的に開いた斜視図によって図式的に示す。
【図2】 本発明による有機ELマトリックス表示装置の一部を斜視図において
図式的に示す。
【図3】 本発明による他の有機ELマトリックス表示装置の一部を斜視図にお
いて図式的に示す。
【図4】 本発明によるEL装置を設けた携帯電話機を図式的に示す。
【図5】 本発明によるEL装置において使用するレリーフパターンの横輪郭を
示す。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 EP(AT,BE,CH,CY, DE,DK,ES,FI,FR,GB,GR,IE,I T,LU,MC,NL,PT,SE,TR),CN,J P,KR,US (72)発明者 クン テー ハー エフ リーデンバウム オランダ国 5656 アーアー アインドー フェン プロフ ホルストラーン 6 (72)発明者 ヨヘム ペー エム デ コニング オランダ国 5656 アーアー アインドー フェン プロフ ホルストラーン 6 (72)発明者 コーネリス デー ルーランセ オランダ国 5656 アーアー アインドー フェン プロフ ホルストラーン 6 (72)発明者 マリア ハー ウェー アー ファン デ ルゼン オランダ国 5656 アーアー アインドー フェン プロフ ホルストラーン 6 Fターム(参考) 3K007 AB18 BA06 CB04 DB03 FA01

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数の独立にアドレス可能なエレクトロルミネッセント素子を有
    する有機エレクトロルミネッセント装置において、 複数の第1電極を具えるパターン化第1電極層と、 第2電極層と、 前記第1電極層及び第2電極層間に挟まれた任意にパターン化された有機エレ
    クトロルミネッセント層と、 前記エレクトロルミネッセント層及び第1電極層の間に配置された相互に分離
    した電荷輸送領域を有する有機電荷輸送層と、 前記電荷輸送領域を隣接する第1電極に沿って分離するレリーフパターンとを
    具えることを特徴とする有機エレクトロルミネッセント装置。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載の有機エレクトロルミネッセント装置において、
    前記レリーフパターンが正の傾斜を付けた部分を有することを特徴とする有機エ
    レクトロルミネッセント装置。
  3. 【請求項3】 請求項1又は2に記載の有機エレクトロルミネッセント装置にお
    いて、前記複数の第1電極が複数の行電極であるパッシブマトリックス形式の表
    示装置とし、 前記第2電極層が、前記行電極及びレリーフパターンと交差する独立にアドレ
    ス可能な複数の列電極を具えることを特徴とする有機エレクトロルミネッセント
    装置。
  4. 【請求項4】 請求項1、2又は3に記載の有機エレクトロルミネッセント装置
    を設けた携帯電話機のようなバッテリ動作及び/又は小型電子装置。
  5. 【請求項5】 複数の独立にアドレス可能なエレクトロルミネッセント素子を具
    える有機エレクトロルミネッセント装置を製造する方法において、 複数の第1電極を具えるパターン化第1電極層を設けるステップと、 隣接する第1電極の間およびこれらに沿って延在するレリーフパターンを設け
    るステップと、 有機電荷輸送材料又はその前駆材料を含む流体層を堆積するステップと、 前記流体層を、エレクトロルミネッセント層及び第1電極層の間に位置すると
    共に隣接する第1電極に沿って互いに分離した互いに分離した電荷輸送領域を有
    する有機電荷輸送層に変換するステップと、 少なくとも1つの任意にパターン化されたエレクトロルミネッセント層を設け
    るステップと、 任意にパターン化された第2電極層を設けるステップとを含むことを特徴とす
    る有機エレクトロルミネッセント装置を製造する方法。
  6. 【請求項6】 請求項5に記載の有機エレクトロルミネッセント装置を製造する
    方法において、前記流体層を堆積及び変換するステップが、 前記複数の第1電極及びレリーフパターンの双方を満たすのに十分な量におい
    て非選択的に前記流体層を堆積するステップと、 前記流体層を前記有機電荷輸送層に変換するステップとを含み、前記変換中、
    前記流体層が、前記レリーフパターンの間及びこれに沿って延在する互いに分離
    した流体領域に分離し、前記流体領域を次に互いに分離した電荷輸送領域に変換
    することを特徴とする有機エレクトロルミネッセント装置を製造する方法。
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