JP2003527238A - ガスタービンの吸入空気の洗浄方法および設備 - Google Patents

ガスタービンの吸入空気の洗浄方法および設備

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JP2003527238A JP2001567920A JP2001567920A JP2003527238A JP 2003527238 A JP2003527238 A JP 2003527238A JP 2001567920 A JP2001567920 A JP 2001567920A JP 2001567920 A JP2001567920 A JP 2001567920A JP 2003527238 A JP2003527238 A JP 2003527238A
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マルカマキ，マティ
レティマキ，マティ
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フォルタム オイジ
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 ガスタービンの吸気通路１、２、４に空気を取り込み、吸入空気に含まれる粒子を捕集電圧が加えられた少なくとも１つのプレートフィルタ３で捕集する、固体粒子および液体粒子を含むガスタービンの吸入空気の浄化方法および設備の改良。 【解決手段】 捕集を強化するために、空気の流れの方向でプレートフィルタ３より前方に離れて配置された少なくとも１つの荷電チャンバ２中に空気を取り込み、この荷電チャンバ内で少なくとも２つの電極５、７の間に捕集電圧を超える電圧を加えて、電極間に電場が形成し、それによって粒子を強く荷電して空気中に含まれた水の少なくとも一部を除去する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の分野】
本発明は、請求の範囲の請求項1の前提部分に記載の、ガスタービンの吸入空
気の固体および液体粒子を浄化する方法に関するものである。 本発明はさらに、上記方法を実施する設備に関するものである。
【０００２】
【従来技術】
ガスタービン圧縮機の吸入空気すなわちタービンの燃焼用空気は、圧縮機に取
り込む前に浄化しなければならない。一般には機械式の繊維フィルタを用いて吸
入空気を浄化する。この濾過の目的は磨耗性および汚損性の粒子が圧縮機および
タービンに入るのを防ぐことによって設備の磨耗を防ぎ、清掃およびメンテナン
スの必要回数を減らすことにある。電力等のエネルギー生産設備で使用される大
型のガスタービンは多量の燃焼用空気を必要とするため、微量含有率の不純物で
も使用中に蓄積する。従って、燃焼用空気をできる限り濾過するのが望ましい。
その一方、吸気通路での圧力損失によって設備の効率が低下するため、支配的条
件に対して濾過効率をバランスさせることが常に求められている。また、吸入空
気と一緒に少量の水滴および湿気が常に圧縮機に運ばれる。この水滴は圧縮機の
表面に衝突し、冷えて凍結し、大きい氷の層を形成する。この氷の層は剥がれる
ときに圧縮機のブレードを損傷する危険があり、最悪の場合には圧縮機全体を破
壊することがある。
【０００３】 現在、圧縮機への吸入空気のフィルタとしては主として機械式のフィルタが使
用されている。これらのフィルタの濾過材は繊維層からなり、その繊維層の迷路
中に不純物が付着する。濾過能は濾過材料と濾過材料の充填密度とに依存する。
濾過材料が同じ場合にはフィルタ厚さを厚くするか、濾過材料に圧力を加えて密
度を高くして充填密度を上げることによって濾過能を高くすることができる。し
かし、いずれの場合もフィルタの圧損が急激に増大するため、機械式フィルタの
濾過能は一定限度までしか上げることができない。現在の実際の繊維フィルタで
完全に分離することができる粒子の粒径は１〜５μｍであるといえる。公知のフ
ィルタでは十分に小さい粒子の分離は不完全である。さらに、機械式フィルタは
空中に浮揚している少量の水滴で濡れ易く、フィルタ上での空気の圧損を受け易
い。すなわち、機械式フィルタは閉塞し易く、低温度では凍結する。凍結を防ぐ
ためは吸入空気を加熱してフィルタを乾燥させる必要がある。それによって吸入
空気の相対湿度および温度を変えて、生成した水および氷を再蒸発させて蒸気相
へ戻し、吸入空気と一緒に圧縮機へ流すことができるようになる。
【０００４】 効率的な濾過システムを使用する必要性はこれまで考えられていなかったが、
最近のタービン設備の効率化の必要性から、タービン設備の効率および耐用年数
には最小粒子も大きな影響を与えることがわかってきた。ガスタービンおよび圧
縮機内の堆積物の大部分はこの最小粒子であるので、除去しなければならない。
この微小粒子が不純物総量中に占める比率はわずかであるが、長期間運転した場
合やガスタービンのように多量の空気を使用する場合にはその総量は相当な量に
なり、年間数十キロにもなる。この堆積によってタービンの運転効率および電気
出力が低下する。この電力低下は多くの因子、例えば粒子による磨耗、堆積物の
全てを除去できないことに起因する洗浄不良、洗浄時の磨耗、濾過材料の疲労お
よびリークの増大等の和である。わずかな出力低下でも耐用年数全体では相当な
損失になる。また、タービンの運転効率は汚損によっても低下するため、圧縮機
およびタービンは定期的に洗浄しなければならない。この洗浄には水と種々の粗
粉末とが使用される。水洗浄は低温で凍結するという問題がある。汚損に起因し
て必要燃料が増大し、効率が低下し、圧縮機の洗浄にコストが必要になる。堆積
程度とその作用は使用環境と吸入空気の不純物含有率とに依存する。洗浄しても
不純物を全て除去することはできず、わずか数年で電力損失の係数は数十％にな
る。低温時には機械式フィルタの濡れに起因する閉塞と水滴による凍結の危険を
最小にするために機械式フィルタへの吸入空気は予熱しなければならない。この
吸入空気の予熱による年間経費は相当なものとなり、運転効率が低下し、運転コ
ストが上昇することになる。
【０００５】 フィルタが汚染して閉塞すると圧損が生じるので、汚染したフィルタは定期的
に交換しなければならない。目が密なフィルターであればある程、フィルタ交換
の必要性が増し、フィルタ交換に起因するフィルタ材料のコストおよび休止時間
のロスが増加する。従来は粗いフィルタ材料と細かいフィルタ材料とを組み合わ
せて濾過効率を良くしてきたが、異なる濾過方法を組み合せることはなかった。 さらに、電気的濾過方法は信頼性に欠けるものと考えられてきており、電気的
フィルタのみを使用するのは危険が大きいと考えられてきた。電気的濾過方法の
問題は湿気とそれに起因する短絡にある。電気的濾過方法で使用される濾過材料
上に不純物が堆積して不純物の層が導電ブリッジを形成され、それによって電流
が流れることがある。問題のある堆積物は種類の異なる繊維で、これらの繊維は
細長い形であるため活性部分が互いに接続して設備内で短絡が起こる。種類の異
なる繊維およびその他の不純物が吸入空気中に生じる頻度はガスタービンの使用
環境条件、例えば交通量、産業施設、植生および土壌のタイプによって大きく影
響される。湿気分離能も気候条件によって大きく変わる。特に、空気湿度が高く
かつ低温の条件下では濾板に氷が形成される。この氷形成に関連する最大の問題
点は電気式フィルタの濾板上に生じた大きな氷の破片が分離して、圧縮機に入り
、重大な損傷を引き起こすことにある。凍結点より高い周囲温度であっても、吸
込み通路中に吸引された時の圧力低下によって空気が冷却され、凍結することが
あるので、凍結の危険はさらに高い。暖かい空気ほど湿気含有率が高いので、こ
の問題は暖かい空気ほど深刻である。また、電気集塵機のプレートに到達する水
も有害である。この水は電気集塵機のプレート上に堆積した堆積物の一部を洗い
流し、それによって堆積物は相当大きな粒径になる。この粒子が圧縮機中および
タービン中へ入るのを阻止することはできない。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、機械式フィルタを使用せず且つ吸入空気を予熱する必要なし
に、ガスタービンへの吸入空気を浄化する方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決する手段】 本発明は、電気集塵機で捕集した吸入空気の粒子を、捕集板から離れて配置さ
れ且つ捕集電圧よりはるかに高い電圧を有する電極を用いて荷電するという概念
に基づいている。
【０００８】
【実施の態様】
本発明の好ましい実施例では、針状放電チップを備えた電極によって吸入空気
を荷電し、それによって電場の方向を選択することができ、従って荷電領域全体
にわたってより均一な電場を得ることができる。 特に、本発明の方法は請求項１に記載の特徴部分によって特徴付けられる。 本発明の設備は請求項８に記載の特徴部分によって特徴付けられる。 本発明によって多大な利益を得ることができる。
【０００９】 本発明では最小の粒子の場合でも少なくとも従来の繊維フィルタと等しい分離
容量が得られ、同時に、メンテナンスの必要性を減らし、吸気の圧力損失を減ら
すことができる。液体粒子状の水は設備内で使用される電気集塵機より前で少な
くとも十分に分離されるので、電気的フィルタの使用を従来制限してきた湿気お
よび凍結に関連する問題はこれで解決される。この設備は液体粒子状の水の分離
容量が十分であるので、効率を高めるために高温の吸入空気を冷却するのに噴射
水を使用することさえ可能である。フィルタシステムの機械的構造および寸法は
種々に変えることができ、従って現在使用しているガスタービン内のフィルタ設
備と交換して容易に取り付けることができる。濾過容量はイオン化および／また
は捕集電圧を変えることによって変えることができ、従って、濾過効率は吸入空
気の不純物含有率に応じて変えることができる。本発明の有利な実施例では、固
体粒子および液体粒子を高効率で荷電することができ、これらを電気集塵機の部
分によって効率的に捕集することもできる。電気集塵機の濾板の捕集面は広く、
濾板に捕集された堆積物の量は濾板間の距離に比べて小さいので、頻繁に洗浄す
る必要がない。当然、洗浄の必要性は空気の不純物含有率とセル内の流量安定性
とに依存する。 以下、添付図面を参照して本発明の実施例を説明する。
【００１０】
【実施例】
本明細書で「粒子」とは空気中に含まれる気体成分以外の全ての成分、例えば
固体粒子、液体粒子および繊維等を意味する。 ［図１］の装置は吸気通路１と、この吸気通路１の入口に取り付けられた荷電
チャンバ２とを有し、吸気通路１に入る全ての空気は荷電チャンバ２中を流れる
。吸気通路１はイオン化された空気の流路を形成する。従来の電気捕集部分また
は電気集塵機３はこの流路の終わりに配置される。浄化すべき空気中の粒子は荷
電チャンバ２で効果的に荷電されるので、電気集塵機内には粒子を荷電するため
にコロナワイヤを使用しない。その代わりに、荷電チャンバ２内で荷電された粒
子をプレート上に直接捕集することができる。浄化された空気は通路４を介して
ガスタービン圧縮機中に取り入れる。
【００１１】 粒子を荷電するために５０ｋＶ〜２５０ｋＶの範囲の荷電電圧が使用可能で、
大きな空気スロットを有する任意の電極構造を使用することができるが、この場
合には荷電チャンバ２内に均一電場をいかにして得るかが問題になる。平面状ま
たは糸状の電極の場合にはコロナ放電は最も流れ易い流路を含む所定の区域のみ
でしか起きない。別の問題はブレークダウンが容易に起きることである。従って
、針状放電先端を備えた電極を使用して空気、正確には空気中の粒子を荷電する
ことで放電が常に電極先端で起こるようにするのが有利である。この目的に良く
適した構造はＰＣＴ特許出願第ＦＩ９９／００３１５号に記載されている。
【００１２】 ［図２］は上記出願に記載の荷電チャンバを示している。この荷電装置２は一
般に［図１］に示すように垂直位置に取り付けられるが、他の位置にすることも
できる。浄化すべきガス流は垂直に配置されたイオン化チャンバ２の下側部分か
ら取り入れられる。電極５は各荷電チャンバ２内にその縦方向に配置され、電極
５にはイオン化針（電極チップ）６が取付けられる。このイオン化針６は例えば
金属ワイヤで作ることができる。電極５には高電圧が加えられ、イオン化針６の
端部にコロナ放電が起き、針から対向電極へ電子が連続的に流れる。イオンビー
ムの形状はイオン化針６の数とイオン化針から対向電極までの距離とに依存する
。最高の荷電効果を確実に得るためには多数のイオン化針を設け、各イオン化針
が形成するビーム場をオーバーラップさせて、粒子が荷電されない中間領域が生
じないようにするのが好ましい。電極５に送られる電流の電圧は一般に５０〜２
５０ｋＶの範囲内であるが、本発明ではこれ以上またはこれ以下の電圧を使用す
ることもできる。荷電チャンバ２の壁７はアースされているので、イオン化針６
と壁７との間の電位差によってイオンビームは壁に向かって延びる。従って、壁
７は他方の電極すなわち対向電極を構成する。この電極にグラウンド電位以外の
電位を加えることもできるが、グラウンドに接続するのが最も簡単な解決策であ
る。浄化すべきガスは流路２中を上方へ流れ、イオン化針６の所に形成されたイ
オンビームに合って機械的および電気的な力を受ける。この力によってガス流中
の気相以外の材料および物質、例えば粒子および水滴はガス流から分離し、荷電
チャンバの壁７に向かって運ばれる。それと同時に、ガス流から分離された水滴
が壁上に堆積した粒子を例えばイオン化チャンバ２の下側に配置されたリザーバ
ー中に洗い落す。浄化されたイオン化ガスは荷電チャンバ２の頂部で電気的プレ
ートフィルタへ導かれ、そこで残りの荷電粒子が捕集される。この設備では電極
間のエアギャップを大きくでき、１００〜１０００ｍｍにすることができる。
【００１３】 本発明は浄化すべきガス流の流動抵抗および圧損をできるだけ小さく維持して
、使用ガス量に対する荷電チャンバ２の断面積を大きくし、チャンバ２内にでで
きるだけ均一で乱れのないガス流が得られるようにするものである。チャンバ２
内のガス流の流速はチャンバで形成される流路の中央が最大で、内壁７の近くが
最低である。従って、チャンバの中央に配置された電極５の内部を通る空気の流
れを防いで、浄化すべきガスの多量の部分が電極５中を流れないようにする。電
極５の設計上の理由から、電極の中央部にイオンビームを形成してイオン化すな
わち浄化をすることはできない。すなわち、浄化すべきガスは荷電チャンバ２内
で環状の流れ断面を有し、ガスは流路の内壁の近くを流れ、チャンバ２の中央部
分の電極５の所は流れない。従って、電極５は荷電チャンバ２の容積に対して例
えば少なくとも一端でガス流が横断できない密閉管または中実棒にすることがで
きる。荷電チャンバ２の形状は流路内側の電極２の位置に影響を与える。例えば
丸い断面を有する流路では電極２は荷電チャンバ２の中心に配置され、電極５と
流路の壁７との間の距離は各点で同じにするのが有利である。 上記の荷電チャンバの詳細な説明はＰＣＴ特許出願第ＦＩ９９／００３１５に
記載されている。
【００１４】 本発明の装置は下記のように運転される。 空気が上記電極を備えた荷電チャンバ２中に流される。電極チップ６から荷電
チャンバの接地した壁７へ向かって電場が形成される。この電場中に空気が流入
すると空気中の粒子が強く荷電され、壁７へ向かって移動し、この壁に付着する
。固体粒子に加えて水滴およびその他の液体粒子も効率的に荷電され、浄化プロ
セスのこの早い段階で空気流中から大幅に除去される。特に、湿気が効率的に除
去される。高電圧、例えば５０〜２５０ｋＶでイオン化するので、形成される電
場は非常に強力で、イオン化効率が優れている。また、イオン化された固体粒子
および液体粒子を効率的に送るのに強力な電場も有効である。その後、空気は荷
電チャンバ３から離れた所に配置された電気集塵機３中へ流れ、強く荷電された
粒子はここで濾過プレート３上に捕集される。既に全ての粒子または大部分の粒
子は荷電チャンバ２において空気流から捕集されているので、濾過プレート３上
に到達する粒子はほとんどない。水を分離する観点から、コロナ放電による強力
な電場によって空気および空気中に含まれる湿気を大量のエネルギーに曝して水
の一部を蒸発させることが重要である。蒸発した水はガスタービンの運転を妨げ
ることがない。従って、蒸発した水の分だけ分離すべき液体粒子状の水の量を減
すことができる。
【００１５】 本発明は電気集塵機を用いて荷電粒子をできるだけ効率的に荷電し、捕集する
ものである。本発明では荷電チャンバは粒子を効率的に荷電する装置であり且つ
大きな粒子、特に繊維および水を分離する装置である。荷電チャンバから出た後
の吸入空気に残留する粒子は強く荷電されており、この荷電粒子はフィルタ部分
で捕集される。このフィルタ部分には捕集電圧のみが加えられ低る。捕集電圧の
大きさは一般に数キロボルト、例えば４〜６ｋＶで、１０ｋＶ以下すなわち荷電
電圧の１０分の１または２０分の１である。一般に、荷電またはコロナ電圧を増
大させると、捕集電圧の増加と同様に、電気集塵機３の分離効率が向上する。す
なわち、これらを調節することによって空気の品質、例えば湿気含有率または異
物量を考慮に入れて、あるいは、空気の使用量の変化に応じて、本発明装置が最
適に運転するように合せることができる。流量が増加すると分離能が損なわれる
ので、その場合には印加電圧を上げるのが好ましい。コロナ放電の極性は電気集
塵機の捕集効率にほとんど影響がないので、荷電チャンバには負または正の放電
を印加できる。
【００１６】 上記の実施例と異なる解決策も本発明の範囲内である。既に述べた通り、流路
の構造、荷電チャンバおよび濾過プレートは自由に選択できる。しかし、重要な
ことは、イオン化を粒子の捕集に使用する空間から離れた空間で行って、濾過プ
レートの機能を妨げずにイオン化用に十分に高い電圧を使用できるようにするこ
とである。すなわち、荷電チャンバは浄化すべき空気の流路内で濾過プレートか
ら離れた所に設けなければならない。その最短距離は荷電チャンバ内の電極と捕
集板との間で電気的ブレークダウンが起こる危険を防ぐに十分な距離のエアギャ
ップでなければならない。電気集塵機および荷電チャンバは大型になり、多量の
空気を扱えるような位置に配置するのが有利であるので、通常は上記の最短距離
は流路の構造的要求物と一致している。集塵機および荷電チャンバの寸法および
数は当然、ガスタービンで要求される空気量によって決まる。荷電チャンバの構
造で重要なのは荷電チャンバ中を流れる全ての空気をイオン化電場に曝さなけれ
ばならないということである。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の濾過システムを示す図。
【図２】 吸入空気中の粒子を荷電するための好ましい装置の図。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｂ０３Ｃ 3/41 Ｂ０３Ｃ 3/66 3/45 Ｆ０２Ｃ 7/052 3/66 Ｂ０３Ｃ 3/14 Ａ Ｆ０２Ｃ 7/052 3/01 Ａ (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＣＹ， ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，Ｉ Ｔ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ ，ＣＦ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＧＷ，ＭＬ， ＭＲ，ＮＥ，ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＧＨ，ＧＭ，Ｋ Ｅ，ＬＳ，ＭＷ，ＳＤ，ＳＬ，ＳＺ，ＴＺ，ＵＧ，ＺＷ )，ＥＡ(ＡＭ，ＡＺ，ＢＹ，ＫＧ，ＫＺ，ＭＤ，ＲＵ， ＴＪ，ＴＭ)，ＡＥ，ＡＬ，ＡＭ，ＡＴ，ＡＵ，ＡＺ， ＢＡ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ，ＣＡ，ＣＨ，ＣＮ，Ｃ Ｒ，ＣＵ，ＣＺ，ＤＥ，ＤＫ，ＤＭ，ＤＺ，ＥＥ，ＥＳ ，ＦＩ，ＧＢ，ＧＤ，ＧＥ，ＧＨ，ＧＭ，ＨＲ，ＨＵ， ＩＤ，ＩＬ，ＩＮ，ＩＳ，ＪＰ，ＫＥ，ＫＧ，ＫＰ，Ｋ Ｒ，ＫＺ，ＬＣ，ＬＫ，ＬＲ，ＬＳ，ＬＴ，ＬＵ，ＬＶ ，ＭＡ，ＭＤ，ＭＧ，ＭＫ，ＭＮ，ＭＷ，ＭＸ，ＮＯ， ＮＺ，ＰＬ，ＰＴ，ＲＯ，ＲＵ，ＳＤ，ＳＥ，ＳＧ，Ｓ Ｉ，ＳＫ，ＳＬ，ＴＪ，ＴＭ，ＴＲ，ＴＴ，ＴＺ，ＵＡ ，ＵＧ，ＵＳ，ＵＺ，ＶＮ，ＹＵ，ＺＡ，ＺＷ

Claims (13)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ガスタービンの吸気通路（１、２、４）中へ空気を供給し、捕集電圧が加えら
    れた少なくとも１つの電気集塵機（３）によってこの空気中に含まれる粒子を捕
    集するガスタービンの吸入空気を浄化する方法において、 空気の流れる方向で電気集塵機（３）より前方に離れて配置された少なくとも
    １つの荷電チャンバ（２）中に空気を取り込み、この荷電チャンバ（２）内で少
    なくとも２つの電極（５、７）の間に上記の捕集電圧を超える電圧を加えること
    によって電極（５、７）間に電場を形成することを特徴とする方法。
  2. 【請求項２】 捕集電圧の最大値を１０ｋＶにし、イオン化電圧の最低値を１
    ００ｋＶに設定する請求項１に記載の方法。
  3. 【請求項３】 捕集電圧の最大値を１０ｋＶにし、イオン化電圧を１００〜２
    ５０ｋＶに設定する請求項２に記載の方法。
  4. 【請求項４】 少なくとも１つの針状電極先端（６）を有する少なくとも１つ
    の電極（５）によって荷電チャンバ内に電場を形成する請求項１〜３のいずれか
    一項に記載の方法。
  5. 【請求項５】 吸気通路（１、２、４）に水を噴霧して吸入空気を冷却する請
    求項１〜４のいずれか一項に記載の方法。
  6. 【請求項６】 吸気通路（１、２、４）内の凍結を防ぐのに十分な量の水を吸
    込みチャンバ（２）内の吸入空気から除去する請求項１〜５のいずれか一項に記
    載の方法。
  7. 【請求項７】 複数の針状電極先端（６）を有する少なくとも１つの電極（５
    ）によって荷電チャンバ（２）内に電場を形成し、少なくとも一部が重なり合う
    少なくとも２つのビーム場を形成する請求項１〜６のいずれか一項に記載の方法
    。
  8. 【請求項８】 空気の吸気通路（１、２、４）と、空気の流れ方向でガスター
    ビン圧縮機より前方の吸気通路（１、２、４）内に配置された少なくとも１つの
    電気集塵機（３）と、この電気集塵機の捕集フィルタ（３）の前方で吸入空気を
    イオン化する手段とを有し、吸入空気は捕集フィルタを通って流れ、空気に含ま
    れる粒子を捕集するための捕集電圧が捕集フィルタに加えられる、ガスタービン
    の吸入空気を浄化する設備において、 吸入空気をイオン化する上記手段が少なくとも１つの荷電チャンバ（２）を有
    し、この荷電チャンバは少なくとも２つの電極（５、７）を有し、空気はこれら
    の電極の間を流れ、これらの電極の間にペレートフィルター（３）の捕集電圧を
    超えるイオン化電圧が加えられていることを特徴とする設備。
  9. 【請求項９】 捕集電圧の最大値が１０ｋＶで、イオン化電圧の最低値が１０
    ０ｋＶである請求項８に記載の設備。
  10. 【請求項１０】 捕集電圧の最大値が１０ｋＶで、イオン化電圧の最低値が１
    ００〜２５０ｋＶである請求項９に記載の設備。
  11. 【請求項１１】 少なくとも１つの荷電チャンバ（２）内に少なくとも１つの
    電極（５）が配置され、この電極が少なくとも１つの針状電極先端（６）を有す
    る請求項８〜１０のいずれか一項に記載の設備。
  12. 【請求項１２】 吸入空気を冷却するために吸気通路（１、２、４）に水を噴
    霧する手段を有する請求項８〜１１のいずれか一項に記載の設備。
  13. 【請求項１３】 少なくとも１つの荷電チャンバ（２）内に少なくとも１つの
    電極（５）が配置され、この電極が少なくとも一部が重なり合うビーム場を形成
    する複数の針状電極チップ（６）を有する請求項８〜１２のいずれか一項に記載
    の設備。
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