JP2003526026A - 複合式支承兼駆動システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 永久励磁される磁気的な支持系と、該磁気的な支持系に結合されたリニアモータとから成り、前記磁気的な支持系が少なくとも１列の位置固定的な磁石列と少なくとも１列の位置可変の磁石列を有し、しかも対を成して対向する位置固定的及び位置可変の磁石列が同名磁極に極性化されており、かつ前記のリニアモータと支持系が共通のケーシング内に収容されている形式の、複合式支承兼駆動システムを、所要空間を節減すると共に機能性を向上しかつ使用材料を節減かつ経費を削減するように改良するために、支持系が対称的に構成されており、全ての位置固定的な磁石列及び全ての位置可変の磁石列が夫々、同一平面内に配置されており、しかも前記支持系が、不安定な平衡を保っており、かつ対称的に配置されたサイド案内子を有している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】 技術分野： 本発明は、請求項１に発明の上位概念として規定した形式の、自動運転ドア用
の複合式支承兼駆動システムに関する。該複合式支承兼駆動システムは、永久励
磁される磁気的な支持系と、該磁気的な支持系に結合されたリニアモータとから
成り、前記磁気的な支持系が少なくとも１列の位置固定的な磁石列と少なくとも
１列の位置可変の磁石列を有し、しかも対を成して対向する位置固定的及び位置
可変の磁石列が同名磁極に極性化されており、かつ前記のリニアモータと支持系
が共通のケーシング内に収容されている。

【０００２】 背景技術： ドイツ連邦共和国特許出願公開第４０１６９４８号明細書の基づいて前記形式
の複合式支承兼駆動システムは公知になっており、その場合、互いに協働する磁
石は、通常負荷の場合、リニアモータによって可動に摺動案内に保持されたドア
翼に磁気浮上式の無接触案内を生ぜしめる。この公知技術における欠点は、永久
磁石をＶ字形に配列している点にある。なぜ欠点かというと、この様な配列によ
っては、リニアモータのロータのために安定したサイド案内路を実現できないか
らである。

【０００３】 更にまた、線走行運動させるべき装置を、機械的な軸受によって案内し、かつ
ケーブル、ベルト、歯付きベルトなどを介して回転モータの形の駆動装置と連結
することが公知になっている。前記モータは制御又は調速運転される。支承装置
と駆動装置との分割によって高い構造費が生じるばかりでなく、支承部位におけ
る機械的な接触に基づいて摩耗現象が惹起される。

【０００４】 発明の開示： そこで本発明の課題は、請求項１に発明の上位概念として規定した形式の支承
兼駆動システムを改良して、所要空間を節減すると共に機能性を向上しかつ使用
材料を節減かつ経費を削減することである。

【０００５】 前記課題は、請求項１の特徴部に記載したように、支持系が対称的に構成され
ており、全ての位置固定的な磁石列及び全ての位置可変の磁石列が夫々、同一平
面内に配置されており、しかも前記支持系が、不安定な平衡を保っており、かつ
対称的に配置されたサイド案内子を有していることによって解決される。請求項
１に記載した複合式支承兼駆動システムの有利な構成手段は、請求項２以降に記
載されている。

【０００６】 請求項１に記載した本発明の支承兼駆動システムは、支持系の磁気回路構成の
最適化に基づいて支承部の案内機能を改善できる一方、所要の支持力を僅かな磁
石体積で得ることができるので、磁石費も削減できるという利点を有している。

【０００７】 永久磁石式支持系とリニアモータとの結合による支承装置と駆動装置の機能的
一体化に基づいて、１つの適当なケーシング内に共にコンパクトに配置すること
が可能になる。支持系としては、同名磁極構造の斥力作用に基づく、線形に永久
励磁される磁気浮上系が使用される。懸着装置、例えば単翼形又は多翼形のシフ
トドア設備のドアは、前記構成に基づいて易動可能になり、かつ完全に騒音無く
開閉運動することができる。無接触式支承によって摩耗は発生せず、かつ潤滑剤
も省くことが可能になる。また支承装置には摩耗が生ぜず、かつ支承兼駆動シス
テムは１つのケーシングの内部に完全に配置されているので、外的な作用による
テクノロジカルなプロセスの機能障害は最低限に抑えられる。構造上のユニット
形成によって、別個の支承装置を設ける必要もなくなる。しかもコンパクトな機
械的に堅牢かつ低廉な駆動装置が得られる。

【０００８】 ケーシングは有利には、例えばアルミニウム成形材のような軽量材料から形成
される。その場合Ｕ形成形材は、特に重量負荷が高い場合、固有安定性に基づい
て、その他の形状の成形材に対比して優先使用することができる。

【０００９】 リニアモータの配置は、使用ケーシングの種類及び具体的な組込み状況に関連
する。リニアモータは例えば、磁気浮上系の垂直方向上位又は下位或いは側方に
ずらして配置することができ、しかも該リニアモータは、懸着装置を基準として
水平方向又は鉛直方向に方位づけることができる。

【００１０】 発生する横方向応力は、本発明の複合式支承兼駆動システムによって補償され
る。前記懸着装置は、リニアモータのロータに、又は支持系の磁気浮上部分に直
接又は間接的に固着することができる。間接的な固着はその場合、例えばＵ形材
又はアームの形の適当な構造体によって行われる。原則として前記装置は独自の
案内に沿って走行せねばならず、かつ該装置と支持系との継手は、発生するずれ
を補償するものでなければならない。多翼形ドア設備で使用する場合ドアの結合
は、ドア翼が逆向きに走行するように行われる。その場合、２つの磁気浮上式支
持系を連結するのが有利である。

【００１１】 永久磁石式軸受は、斥力作用の原理に基づいて作業する。この作用原理は、電
気的な制御装置なしに、安定した磁気浮上状態を可能にする。磁気浮上状態を得
るために補助エネルギの必要はない。このような磁気支承式の線形案内は、機械
的摩擦の除去に基づいて、極度の易動性と無騒音作業態様の点で優れ、摩耗もな
くなりかつ保守作業の必要もなくなる。

【００１２】 永久磁石励磁式の支持系は、対称的な構造に基づいて、不安定な平衡を保って
いる。固定支持桁にも可動支持桁にもそれぞれ磁石列が配置されており、該磁石
列は、実施形態に応じて相互間隔をおいて、又は間隔をとらずに配置されている
。対向する磁石列は、如何なる場合にも、磁気的な斥力作用を得るために、同名
磁極に極性化されている。固定支持桁も可動支持桁も共に扁平に形成されており
、従ってこれに固着すべき磁石列はそれぞれ同一平面内で方位づけられており、
かつサイド案内子によって安定した案内が得られる。支持系が正確に磁石列の中
央に位置している場合には、横方向力は零に等しい。この位置は案内子によって
実現される。僅かなトレランスがあっても高い横方向力が生じ、この横方向力は
、ずれの増大に伴って過度に高まる。充分な案内剛さを得るために、磁気浮上系
はフレームをもって支持形材内に組込まれる。

【００１３】 例えばネオジム−鉄−硼素（NdFeB）から成る高エネルギ磁石の使用によって
、残留誘導がより高くなるため、硬質フェライト製磁石よりも著しく高い力密度
が発生される。従って支持力が規定されている場合には磁石系は高エネルギ磁石
によって幾何形状的に小型化され、従って所要スペースを削減して構成される。
高エネルギ磁石の高い材料費は、比較的僅かな磁石体積によって少なくとも相殺
される。

【００１４】 原理に基づいて支持力は、空隙に伴って、つまり支持系の固定部分と可動部分
との間隔に伴って変化する。空隙が小さくなるに応じて磁石系における支持力は
大きくなる。振れ（変位）と力との関係は一般に線形（一次関数的）ではない。

【００１５】 永久磁石式磁気浮上系は１列又は複数列に構成することができる。磁気回路装
置は、磁化方向、磁石列間隔及び鋼シムプレートによる磁束案内によって最適化
される。

【００１６】 磁石配列に応じて、隣り合った磁石列の間隔は支持力に対して決定的な影響を
及ぼす。支持系の固定部分並びに可動部分の隣り合った磁石列の磁化方向が等し
い場合には、前記間隔はできるだけ大きくなければならない。支持系の固定部分
と可動部分とに同名磁極の磁石列が配列されるが、隣り合った磁石列の磁極が相
異する場合には、磁石間隔が小さくても最大の支持力が発生される。

【００１７】 永久磁石を鋼部分によって包囲して、磁束を空隙領域で集束する場合には、支
持力を更に高めることが可能である。この場合鋼部分は、磁石列の側面並びに、
空隙から離反した方の磁石基面では、磁束帰路形成体として働く。磁石の側面及
び磁石基面における鋼部分の肉厚を最適化することによって支持力の増大化が得
られる。所要空間を節減する観点から、鋼部分内に磁石を面整合するように埋込
むのが特に有利である。

【００１８】 リニアモータのロータは、支持系の磁気浮上する可動部分と結合されており、
その場合、磁石間隔は、高エネルギ磁石の蓄力部の領域では定着されている。高
エネルギ磁石の高い力作用によって、支持系の長さは最小限に減少されるので、
少数の磁石が必要になるにすぎない。

【００１９】 駆動装置としては、同期式又は非同期式の一相又は多相交流リニアモータが使
用される。該リニアモータは、片面又は両面に作用する。該リニアモータの制御
又は調節は電子制御回路装置によって行われる。走行距離はセンサによって検知
され、該センサはドアの終端位置を表示し、かつロック（錠止）機能のために併
用することもできる。走行距離は、磁気的なインクレメンタル計測系によって検
知することもできる。

【００２０】 その場合、両面に作用する二相式同期リニアモータが賞用され、該二相式同期
リニアモータは横力を発生しないので、磁気浮上案内が運動方向に対して直角な
横方向に負荷されることはない。支持系を、中央で案内されるロータと直結する
ことによって、重量分布の点で最適の配置構成が得られる。ロータの案内用の支
承装置は両部分間に設けられている。それというのは案内レールの小さな案内ト
レランスが補償されねばならないからである。

【００２１】 本発明の有利な構成では、コアレス形ロータを有する同期リニアモータが使用
される。電磁能動部分は推力によって条件づけられた長さを有しているにすぎな
いが、永久磁石を支持する単数及び／又は複数の部分は、走行距離の長さ＋電磁
部分の長さを有している。運動は、支持桁に装着された二相巻線から成るショー
トステータによって行われる。被運動質量は小さいのが特に有利である。それと
いうのは二相巻線しか使用されないからである。従って給電するコンバータも二
相でしかなく、低廉に構成されている。

【００２２】 このようなモータの使用によって、組立技術の点から有利な支承兼駆動システ
ムの配置構成が可能になる。駆動装置つまりリニアモータは、磁気的な支持系の
傍に水平に配置される。従って、該支持系には無関係に駆動装置を組付け・組外
しすることが可能になる。このことは、使用時だけでなく、殊にモータ交換に伴
う補修の場合に決定的な意味をもつ。それというのはリニアモータだけを解体す
ればよいからである。支持系の空隙を、永久磁石配列の設計によって可変に構成
できるので、ドア傾斜の場合に支持系の無接触式動作を保証することも可能であ
る。従ってドア下面の案内に関する決定的な遊び空間は、適応例に関連して対策
を講じることができる。

【００２３】 支承装置を備えたドア／ゲート駆動装置で使用する以外に本発明の複合式支承
兼駆動システムは、給送装置、ハンドリング装置又は搬送系でも使用することが
できる。

【００２４】 発明を実施するための最良の形態： 次に図面に基づいて本発明の実施例を詳説する。なお以下の説明において同一
の構成要素又は等作用の構成要素には、同一符号を付した。

【００２５】 図１〜図４には支承兼駆動システム１が概略的に図示されている。この場合、
リニアモータ２と支持系７は互いに作用結合されておりかつ共に１つの共通のケ
ーシング４内に配置されている。リニアモータ２の位置可変のロータ５は継手６
によって支持系７の磁気浮上部分と結合されている。実施形態に応じてリニアモ
ータ２にか又は支持系２に、支承兼駆動システム１に配置された装置８が固着さ
れている。該装置８は例えば自動ドア設備のドア又はゲート（図示せず）に対す
る結合部を形成することができる。複合式支承兼駆動システム１は、支承装置を
有するドア・ゲート駆動装置で使用する以外に、給送装置、ハンドリング装置又
は搬送系でも使用することができる。

【００２６】 支持系７は、ケーシング４に定置に装着された支持桁９から成り、該支持桁に
は、強磁性材料から成る板金の形の磁束帰路形成板１０が配置されている。該磁
束帰路形成板１０は、複数の永久磁石を備えた２列の（固定）磁石列１１，１２
を支持している。可動支持体１３には磁束帰路形成板１４が固着されており、該
磁束帰路形成板には、複数の永久磁石を備えた２列の磁石列１５，１６が同じく
装着されている。可動支持桁１３には、支承及び駆動すべき装置８が固着されて
いる。固定磁石列１１，１２と、対向する可動支持桁１３に装着された（可動）
磁石列１５，１６は、固定磁石列と可動磁石列間に斥力作用が生じるように極性
化されている。可動支持桁１３のサイド案内のために、サイド案内板１８と協働
する複数の案内子１７が働き、前記サイド案内板１８は図１及び図２ではケーシ
ング４によって形成される。

【００２７】 リニアモータ２は、ケーシング４に位置固定的に装着された磁気回路２０と、
該磁気回路に固着された永久磁石式励磁子１９とを有している。中間には、巻線
３と共に位置可変に垂直に配置されたロータ５が位置している。該ロータ５は継
手６を介して可動支持桁１３と機械的に結合されている。

【００２８】 図１と図２に示した複合式支承兼駆動システム１の両実施形態の構成は、主要
構成エレメントの配置の点で相異している。図１では支持系７は、リニアモータ
２の下位に配置されており、しかも装置８は、支持系７とリニアモータ２とを結
合して、両者間に位置している。図２によればリニアモータ２は下位に配置され
ており、かつ継手６を介して、上位に位置する支持系７と結合されている。装置
８は支持系７の上位で、上向きに開いたケーシング４に配置されている。

【００２９】 支承兼駆動システム１における装置８の固着は、更に図３及び図４に基づいて
も可能である。この場合、使用されるケーシング４の形状及び組込み状態が重要
である。装置８をリニアモータ２のロータ５に装着するか、それとも装置８を構
造体２２によって磁気浮上式の可動支持桁１３に固着することが可能である。両
者の場合、装置８に例えば固着されたドアは、独自の案内に沿って走行せねばな
らず、それによってドアと磁気浮上系との継手が、発生するずれを補償する。

【００３０】 図３によれば、アルミニウム成形材から成るケーシング４が下向きに開いて形
成されている。特にＵ形成形材が、その固有安定性に基づいて、このような適用
のために適している。装置８はリニアモータ２のロータ５に装着されている。継
手６に設けた別個の案内子２１は、ロータ５及び該ロータに装着された装置８の
センタリング支承を安定化する。易動性に基づいて案内子１７及び２１は理想的
には玉軸受として構成されている。第２のドア半部との結合は、例えばケーブル
又はベルトのような、図示を省いた機械的な連結子によって行われ、従って両ド
ア半部は逆向きに走行される。磁気浮上式の両可動支持桁１３の固定的な連結が
有利である。

【００３１】 図４によれば、アルミニウム成形材から成るケーシング４が、上向きに開いて
形成されており、この場合、空間閉鎖部に対して間隔が存在している。装置８は
、特別の構造体２２によって可動支持桁１３と結合されている。懸着される両ド
ア半部の結合は、磁気浮上式の可動支持桁１３を固着結合する歯付きベルトによ
って実現される。

【００３２】 駆動装置としてはフラットなリニアモータ２が適し、該リニアモータは、その
コンパクトな構造によりケーシング４内の支持系７の下位に組込まれる。最適な
重量分布を得るためにリニアモータ２は支持系７の下位の中央に固着される。リ
ニアモータ２の作動制御は電子制御装置を介して行われる。供給電圧は６０ボル
トより小であるのが有利であり、かつ定格電流は約３アンペアである。走行距離
はセンサによって検知され、該センサはドアの終端位置を表示し、かつロック機
能のためにも一緒に併用することができる。走行距離は、磁気的にインクレメン
タル又はアナログ測定系によって検出することもできる。

【００３３】 リニアモータ２は支持系７を基準として種々様々に配置することができる。前
記の実施形態は垂直配置式に関する。支持系７の傍に側方にずらしてリニアモー
タ２を配置した有利な実施形態が図５に概略的に図示されている。同期的なリニ
アモータ２はコアレス式ロータ５を有している。電磁能動部分は、推力によって
条件づけられた長さを有しているにすぎないが、永久磁石を支持する単数及び／
又は複数の部分は、走行距離の長さ＋電磁部分の長さを有している。運動は、支
持桁に装着された二相巻線から成るショートステータによって行われる。運動す
べき質量が小さいのが特に有利である。それというのは二相巻線しか使用されな
いからである。従って給電するコンバータも二相でしかなく、低廉に構成されて
いる。

【００３４】 このようなモータの使用によって、組立技術の点から有利な支承兼駆動システ
ム１の配置構成が可能になる。リニアモータ２は、磁気的な支持系７の傍に水平
に配置される。従って、支持系７には無関係にリニアモータ２を組付け・組外し
することが可能になる。このことは、使用時だけでなく、殊にモータ交換に伴う
補修の場合に決定的な意味をもつ。それというのはリニアモータ２だけを解体す
ればよいからである。支持系７の空隙Ｌを、永久磁石配列の設計によって可変に
構成できるので、ドア傾斜の場合に支持系７の無接触式動作を保証することも可
能である。従ってドア下面の案内に関する決定的な遊び空間は、適応例に関連し
て対策を講じることができる。

【００３５】 永久磁石式支持系７は、斥力作用の原理に基づいて作業する。この作用原理は
、電気的な制御装置なしに、安定した磁気浮上状態を可能にする。磁気浮上状態
を得るために補助エネルギの必要はない。例えばネオジム−鉄−硼素（NdFeB）
から成る高エネルギ磁石の使用によって、残留誘導がより高くなるため、硬質フ
ェライト製磁石よりも著しく高い力密度が発生される。従って支持力が規定され
ている場合、磁石系は高エネルギ磁石によって幾何形状的に小型化され、ひいて
は所要空間を削減して構成することができる。

【００３６】 固定支持桁９にも可動支持桁１３にも、それぞれ磁石列１１，１２及び１５，
１６が配置されており、該磁石列は実施形態に応じて相互間隔をとって、又は相
互間隔をとらずに配置されている。相互に向き合う磁石列１１，１５及び１２，
１６は、何れの場合にも、磁力作用を達成するために同名磁極を有している。固
定支持桁９も可動支持桁１３も共に扁平に形成されているので、これに固着すべ
き各磁石列１１，１２，１５，１６は同一平面内に方位づけられており、両側の
案内子１７によって安定した案内が得られる。磁化方向の変化、磁石列の間隔Ａ
及び鋼シムプレート１０，１４による磁束案内によって、磁気回路は最適化され
る。原理に基づいて支持力は空隙Ｌによって、つまり固定支持桁９と可動支持桁
１３との間隔によって変化する。空隙Ｌが小さくなるに応じて、支持系７に発生
する支持力は大きくなる。偏位と力との関係は一般に線形ではない。

【００３７】 磁石配列に応じて、隣り合った磁石列１１，１２；１５，１６の間隔Ａが支持
力に対して決定的な影響を及ぼす。図６では固定支持桁９並びに可動支持桁１３
の隣り合った磁石列１１；１５は等しい磁化方向を有している。更に両支持桁９
，１３では同名の磁極が空隙Ｌの方に向いている。隣接した磁石列１１；１５間
の間隔Ａはその場合できるだけ大きくなければならない。

【００３８】 図７では所要の斥力作用のために同名の磁石列１１，１５；１２，１６が固定
支持桁９及び可動支持桁１３では向き合っているが、一方の磁石列１１，１５で
はＳ極が、また他方の磁石列１２，１６ではＮ極が空隙Ｌの方に向いている。こ
のような配列の場合、磁石列間隔Ａが小さくても大きな支持力が発生される。

【００３９】 磁石列１１，１２；１５，１６を鋼シムプレート１０，１４によって包囲して
、空隙Ｌの領域で磁束を集束する場合には、支持力を更に高めることが可能にな
る。この場合、鋼シムプレート１０，１４は、側面厚Ｓの部位並びに、空隙Ｌか
ら離反した方の磁石列１１，１２，１５，１６の磁石高さＨの部位では、磁束帰
路として形成される。磁石高さＨ及び側面厚Ｓの最適化によって支持力の向上が
得られる。磁束帰路形成板の素材として鉄材使用をできるだけ僅かにするために
、磁石列１１，１２，１５，１６は面整合するように鋼シムプレート１０，１４
内に埋込まれた。支持力に関連した磁石高さＨ及び側面厚Ｓの最適の寸法構成は
それぞれ約２ｍｍである。

【図面の簡単な説明】

【図１】 リニアモータを上位に配置した複合式支承兼駆動システムの概略的な断面図で
ある。

【図２】 リニアモータを下位に配置した複合式支承兼駆動システムの概略的な断面図で
ある。

【図３】 リニアモータを下位に配置した複合式支承兼駆動システムの別の実施例の概略
的な断面図である。

【図４】 リニアモータを下位に配置した複合式支承兼駆動システムの別の実施例の概略
的な断面図である。

【図５】 水平に配置されたリニアモータを備えた複合式支承兼駆動システムの概略構成
図である。

【図６】 等しい磁化方向の隣接磁石列を備えた磁気回路装置の構成図である。

【図７】 異なった磁極の隣接磁石列を備えた磁気回路装置の構成図である。

【符号の説明】

１ 支承兼駆動システム、 ２ リニアモータ、 ３ 巻線、 ４
ケーシング、 ５ ロータ、 ６ 継手、 ７ 支持系、 ８ 装置、
９ 固定支持桁、 １０ 磁束帰路形成板又は鋼シムプレート、 １１，
１２ 磁石列、 １３ 可動支持桁、 １４ 磁束帰路形成板又は鋼シム
プレート、 １５，１６ 磁石列、 １７ サイド案内子、 １８ サイ
ド案内板、 １９ 永久磁石式励磁子、 ２０ 磁気回路、 ２１ 案内
子、 ２２ 構造体、 Ｌ 空隙、 Ａ 磁石列の間隔、 Ｓ 側面厚
、 Ｈ 磁石高さ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ウーヴェ シュッフェンハウアー ドイツ連邦共和国 シュタインプライス アン デア ブラウエライ 33 Ｆターム(参考） 2E052 AA01 AA02 AA05 CA07 DA02 DB02 EA15 EB01 KA14 KA15 KA16 3F307 CB13 CB14 5H641 BB06 BB07 GG03 GG05 GG24 GG26 HH02 JA07 JA09 JA13

Claims (20)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 永久励磁される磁気的な支持系（７）と、該磁気的な支持系
   （７）に結合されたリニアモータ（２）とから成り、前記磁気的な支持系（７）
   が少なくとも１列の位置固定的な磁石列（１１，１２）と少なくとも１列の位置
   可変の磁石列（１５，１６）を有し、しかも対を成して対向する位置固定的及び
   位置可変の磁石列（１１，１５；１２，１６）が同名磁極に極性化されており、
   かつ前記のリニアモータ（２）と支持系（７）が共通のケーシング（４）内に収
   容されている形式の、複合式支承兼駆動システム（１）において、支持系（７）
   が対称的に構成されており、全ての位置固定的な磁石列及び全ての位置可変の磁
   石列が夫々、同一平面内に配置されており、しかも前記支持系（７）が、不安定
   な平衡を保っており、かつ対称的に配置されたサイド案内子（１７）を有してい
   ることを特徴とする、複合式支承兼駆動システム。
2. 【請求項２】 サイド案内子（１７）がローラ状に支承されている、請求項
   １記載の複合式支承兼駆動システム。
3. 【請求項３】 リニアモータ（２）が同期的又は非同期的に構成されている
   、請求項１又は２記載の複合式支承兼駆動システム。
4. 【請求項４】 リニアモータ（２）が一相式又は多相式に構成されている、
   請求項１から３までのいずれか１項記載の複合式支承兼駆動システム。
5. 【請求項５】 リニアモータ（２）が片面又は両面に作用するリニアモータ
   （２）である、請求項１から４までのいずれか１項記載の複合式支承兼駆動シス
   テム。
6. 【請求項６】 両面に作用する二相式同期リニアモータ（２）が使用される
   、請求項１から５までのいずれか１項記載の複合式支承兼駆動システム。
7. 【請求項７】 同一平面の隣り合った磁石列（１１，１２，１５，１６）が
   、間隔をとって又は間隔をとらずに並列配置されている、請求項１から６までの
   いずれか１項記載の複合式支承兼駆動システム。
8. 【請求項８】 同一平面の隣り合った磁石列（１１，１２，１５，１６）が
   、同名磁極又は異名磁極に極性化されている、請求項１から７までのいずれか１
   項記載の複合式支承兼駆動システム。
9. 【請求項９】 磁石列（１１，１２，１５，１６）が鋼シムプレート（１０
   ，１４）によって包囲されている、請求項１から８までのいずれか１項記載の複
   合式支承兼駆動システム。
10. 【請求項１０】 磁石列（１１，１２，１５，１６）が面整合するように鋼
    シムプレート（１０，１４）内に埋込まれている、請求項９記載の複合式支承兼
    駆動システム。
11. 【請求項１１】 支持系（７）が、リニアモータ（２）の上位又は下位に、
    或いは該リニアモータに対して側方にずらして配置されている、請求項１から１
    ０までのいずれか１項記載の複合式支承兼駆動システム。
12. 【請求項１２】 支承兼駆動システム（１）に配置された装置（８）が直接
    又は間接的に支持系（７）又はリニアモータ（２）に固着されている、請求項１
    から１１までのいずれか１項記載の複合式支承兼駆動システム。
13. 【請求項１３】 リニアモータ（２）が装置（８）に対して水平又は鉛直に
    配置されている、請求項１２記載の複合式支承兼駆動システム。
14. 【請求項１４】 ケーシング（４）が、ねじ締結、接着結合又はその他適当
    な形式で結合された鋳造成形材から成っている、請求項１から１３までのいずれ
    か１項記載の複合式支承兼駆動システム。
15. 【請求項１５】 ケーシング（４）がＵ形に形成されている、請求項１から
    １４までのいずれか１項記載の複合式支承兼駆動システム。
16. 【請求項１６】 ケーシング（４）がアルミニウムから成る、請求項１から
    １５までのいずれか１項記載の複合式支承兼駆動システム。
17. 【請求項１７】 支承兼駆動システム（１）が低電圧電子装置によって給電
    される、請求項１から１６までのいずれか１項記載の複合式支承兼駆動システム
    。
18. 【請求項１８】 位置計測装置が設けられている、請求項１から１７までの
    いずれか１項記載の複合式支承兼駆動システム。
19. 【請求項１９】 ロック装置が設けられている、請求項１から１８までのい
    ずれか１項記載の複合式支承兼駆動システム。
20. 【請求項２０】 磁石列（１１，１２，１５，１６）内に高エネルギ磁石が
    使用されている、請求項１から１９までのいずれか１項記載の複合式支承兼駆動
    システム。