JP2003520002A - 圧電フィルム音波エミッタ - Google Patents

圧電フィルム音波エミッタ

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ノリス,ジョセフ・オー
クロフト,ジェイムス・ジェイ・ザ・サード
セルフリッジ,アラン・ロバート
クーリ−ヤクブ,ピエーリ
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アメリカン・テクノロジー・コーポレーション
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Abstract

(57)【要約】 亜音波、音波又は超音波圧縮波を放出するためのスピーカー装置はほぼ中空のドラムと、ドラム(100)に取り付けられた剛直なエミッタ板(108)と、板内に形成され、エミッタ板(108)を横切って位置する薄い圧電フィルムにより覆われた複数の開口(112)とを有する。圧力源はドラム(100)に結合されて、圧電フィルムでの加えられる電気的な入力の変化に応答して収縮及び膨張できる湾曲状のエミッタ形状へとフィルム(104)を膨張させて、周囲の環境内に圧縮波を発生させるように、開口(112)で薄いフィルム(104)に関して偏倚圧力を発生させる。パラメトリック超音波周波数は圧電フィルム(104)に供給され、所望の亜音波、音波又は超音波周波数範囲に対応する異なる成分を有する多数の超音波周波数を伝播する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の背景】
【0002】
【発明の分野】
本発明は圧縮波発生に関する。特に、本発明は、音波及び超音波圧縮波を直接
的に発生させるための、及び、値の違いが所望の新たな音波又は超音波圧縮波の
周波数に相当する周波数を有する2つの超音波圧縮波の相互作用により新たな音
波又は超音波圧縮波を間接的に発生させるための装置及び方法に関する。
【0003】
【技術の状態】
純粋な形で音を再生させるために多くの試みがなされてきた。関連する特許出
願番号08/684,311号明細書においては、放射素子を有する普通のスピ
ーカーを使用するスピーカー工学についての従来技術の詳細な背景が吟味され、
これを参照としてここに組み込む。このような従来のスピーカーの欠点は運動す
るダイアフラム又は他の放射素子の質量に由来する歪みである。関連する問題は
低範囲、中間範囲及び高範囲の周波数のスペクトルを横切る放射素子の不適当な
組み合わせにより現れる歪みから生じる。問題はウーファー、中間音スピーカー
及びツイーターの組み合わせを使用することにより部分的に解決される。
【0004】 超音波トランスデューサにより可聴の音を再生する試みは、パラメトリックス
ピーカー、音響ヘテロダイン、ビート周波数干渉、及び新たな周波数を発生させ
るための複数の周波数の変調の他の形として具体化される技術を含む。理論的に
は、音は、値の差が可聴周波範囲内にある2つの超音波周波数の(非線形媒体と
しての)空気における相互作用により現れる。理想的には、結果として生じる圧
縮波は非線形媒体としての空気内で伝えられ、純粋な音として聞こえる。この方
法を使用するにも拘わらず、実践的な応用のための音の一般的な生成は100年
にもわたって産業を避けてきた。特に、普通のスピーカー装置のような方法で一
般的な用途に適用できる基本的なパラメトリック又はヘテロダインスピーカーは
開発されなかった。
【0005】 理論的なパラメトリックスピーカー列の発展の短い歴史は青木、鎌寺及び熊本
著による電子工学及び通信、第3部、第74巻、No.9(1991年3月)の
「パラメトリック拡声器;音響場の特徴及びキャリヤ超音波の適切な変調」に記
載されている。技術的な要素及び2つの干渉する超音波周波数間の異なる信号か
らの音の発生の原理が述べられているが、商業用の音響装置の実践的な実現は明
らかに不成功であった。42cmのスピーカー直径を生じさせる1410個もの
圧電トランスデューサからなるパラメトリックスピーカー列の装置にも拘わらず
、従来技術におけるこの弱点が存在することに留意すべきである。実質的には、
パラメトリック音響の分野におけるすべての従来の研究は、典型的にはバイモル
フ特性の普通の超音波トランスデューサの使用を基礎としてきた。
【0006】 1994年10月に発行された米国特許第5,357,578号明細書は運転
できるパラメトリックスピーカー装置の開発におけるジレンマに対する別の解決
策を紹介している。そこでは、提案された装置は所望の可聴周波差信号を発生さ
せるために二重の超音波周波数を放射するトランスデューサを有する。しかし、
ここでは、二重周波数超音波信号はトランスデューサの面上のゲル媒体から伝播
される。この媒体20は「周波数f1、f2間の差に相当する周波数を有する差
トーン23を生じさせる実質的な音響源として作用する。」(第4欄、54−6
0行)。換言すれば、この1994年の文献はトランスデューサの面からの空気
での差可聴周波信号の直接的な発生を捨て、音を生成するためにゲル媒体の非線
形性に頼っている。トランスデューサと空気との接面からゲル媒体の提案された
使用へのこの急激なシフトは、少なくとも実践的なスピーカーの応用に対して、
従来技術の開示の明白な不作動性の認識を強める。
【0007】
【発明の目的及び概要】
本発明の目的は、超音波周波数源のような従来のトランスデューサを使用する
ことなく空気の領域から許容できるボリュームレベルで新たな可聴音響波を間接
的に発生させる方法及び装置を提供することである。
【0008】 別の目的は、少なくとも1つの新たな音波又は亜音波の波に等しい異なる周波
数を有する少なくとも2つの超音波信号間の干渉を提供する薄いフィルムエミッ
タを使用することにより、商業的に許容できるボリュームレベルを有する少なく
とも1つの新たな音波又は亜音波の波を間接的に発生させることである。
【0009】 更に別の目的は、広い超音波エミッタ表面を横切る均一な波面(wave front)を
発展させることのできる薄いフィルムのスピーカーダイアフラムを提供すること
である。本発明の更に別の目的は、電気的刺激に応答して圧縮波を発生させるこ
とができるが、剛直なダイアフラム構造体を必要としない改善されたスピーカー
ダイアフラムを提供することである。
【0010】 これらの目的は、複数の開口を有する共通のエミッタ面の上方に位置する薄い
圧電膜を含むスピーカーにより実現される。開口は、平行な軸線に沿って膜から
圧縮波を放出させて、均一な波面を発展させるように、整合する。膜は湾曲形状
に延伸され、エミッタ膜の背後のドラム空洞内で発生する近真空により開口を横
切って張力状態に維持される。圧電膜は加えられた電圧に応答して直線的に膨張
又は収縮し、開口にわたって膜の湾曲度を修正し、普通のスピーカーダイアフラ
ムのものと一層よく似た圧縮波を生じさせる。この形状は圧縮波の発生を可能に
するのみならず、与えられた真空のため好ましくない逆波即ち戻り波の形成を排
除する。
【0011】 本発明の別の態様においては、エミッタは共通のエミッタ面において複数の開
口の上方に位置する単一のエミッタ膜からなるドラムを有する。しかし、この実
施の形態においては、膜はドラム空洞から加えられる正の圧力により開口内で湾
曲状に膨張する。膜の同様の音波動作は加えられる電圧に応答して生じるが、こ
の場合、戻り波の発生を考慮しなければならない。
【0012】 本発明の別の態様はフィルムのシール及びガス漏洩の回避を補助するために圧
電フィルムの上方に位置するポリマーフィルムである。 本発明の更に別の態様においては、エミッタは、圧電フィルムの個別の領域を
制御し、フィルム内でのビーム操縦及び複数のチャンネルを可能にするために、
複数の電極を有する。
【0013】 当業者にとっては、本発明の他の目的、特徴、利点及び別の態様は添付図面と
組み合わせた以下の詳細な説明の考察から明らかとなろう。
【0014】
【発明の実施の形態】
スピーカー部材としてのパラメトリック列となった圧電トランスデューサの伝
統的な使用は、可聴周波及び超音波音発生産業内でのトランスデューサの多くの
実践的な用途を思いとどまらせると思われている多数の制限を具現化する。この
ような制限は個々のトランスデューサの大きな列を横切る位相及び周波数応答の
均一性の欠如を含む。しばしば、トランスデューサの共鳴周波数の小さな変化、
及び幅広い周波数スペクトル内での異なる周波数に対する可変応答のため、歪み
、減少出力及び不本意なビーム操縦が生じる。これらの制限の多くは、典型的な
スピーカー列が共通の信号源にそれぞれ結線された多くの個々の不均一なトラン
スデューサから形成されるために、生じる。各トランスデューサは幾分ユニーク
であり、並列又は直列形状で他のトランスデューサに関して自主的に作動する。
【0015】 本発明は、エミッタの全面を横切って、加えられた信号に対する応答に関し予
測できる圧電材料の単一のフィルムを提供することにより、列を横切って一致性
及び均一性を発展させる。好ましい実施の形態においては、これは、大いに、エ
ミッタが実際共通の寸法の複数の開口を横切って支持された同じ組成の単一のフ
ィルムであるために、結果として生じる。更に、材料がエミッタ板即ちディスク
を横切って単に配置され、単一の組の電気接点により作動されるため、エミッタ
の全面は物理的に一体化される。それ故、エミッタ板内のそれぞれの開口により
代表される個々の放出位置の列は、1つの材料からなり、同じ電気的な入力によ
り作動される単一のフィルムとして実際に作動する。湾曲状の膨張は各開口にお
いて均一である。その理由は、ドラム空洞内からの(正又は負の)共通の圧力に
より同じ材料が同じ寸法を横切って張力状態に偏倚されているからである。それ
故、倍音及び相の歪みは最小となり、作動できる帯域幅を横切る均一な波面を容
易にする。
【0016】 図1、2、3a及び3bは斜視図及び部分破断図として示された本発明の好ま
しい実施の形態を示す。エミッタドラムトランスデューサ100は中空で、ほぼ
円筒状の物体である。エミッタドラムトランスデューサ100の側壁106は金
属又は金属合金である。エミッタ面102はエミッタドラムトランスデューサ1
00の頂表面から圧縮波を発生させ、少なくとも2つの素子、すなわち、エミッ
タフィルム104及びエミッタ板即ちディスク108からなる。
【0017】 エミッタ面102の外表面は薄い圧電フィルム104により形成される。この
フィルム104は小さな湾曲状のエミッタ素子へのフィルムの膨張を可能にする
ための複数の開口を含む剛直なエミッタ板108により支持される。上述のよう
に、これらのエミッタ素子はすべての点、すなわちち、寸法、湾曲度及び組成に
おいて均一である。この共通性が、あたかも単一のエミッタ素子であるかのよう
なエミッタフィルムの面を横切る共通の出力を生じさせる。
【0018】 圧電フィルム104は適当な接点120を介して加えられる電気信号により刺
激を受け、それによって、圧縮波を発生させるように所望の周波数で振動させら
れる。これは、ドラムヘッドと同様の方法でエミッタ板即ちディスク108を横
切って薄いフィルムを張力状態に拘束する導電性リング114により容易化され
る。それ故、導電性リングは圧電フィルム104の上方で位置決めされ、エミッ
タ面102の周辺のまわりに配置され、クランプ及び圧電材料のための電気信号
源の双方として作動する。典型的には、この導電性リング114は真鍮で作られ
るが、他の電気的に導電性の材料を利用することができる。圧力シール129は
導電性リング114の下に設定され、圧電フィルム104とドラムの側壁106
との間のジョイントをシールするのに役立つ。更に、圧力シール129は導電性
リング114無しに圧電フィルムの縁部のまわりで電気接点として使用すること
ができる。本質的には、圧力シール129は導電性又は部分的に導電性のリング
となる。
【0019】 エミッタドラムトランスデューサ100はほぼ中空の内部を有し、バックカバ
ー110により底表面で閉じられる。この構造体は実質上気密の囲い即ちドラム
空洞を可能にするようにシールされる。近真空(以下、真空と呼ぶ)又は加圧状
態が後に説明する理由のためにエミッタドラムトランスデューサ100内で存在
することができる。近真空はミリTorrでの測定を必要とするのに十分な小さ
さの圧力として定義される。
【0020】 エミッタドラムトランスデューサ100の構造を良好に理解するため、図2は
圧電フィルム104(図1)の下方に通常配置される隔離されたエミッタディス
ク108の外側に向いた面126の頂面図を提供する。好ましい実施の形態にお
いては、ディスク108は金属であり、ほぼ均一の寸法の複数の開口112によ
り穿孔されている。開口112は内方に向いた側128(図3参照)から外方に
向いた側126までディスク108の厚さを完全に貫通する。性能における予測
可能性及び最大効率を提供するため、開口112は円筒状の形に形成される。
【0021】 円筒状の開口112の上方で湾曲状の張力状態として懸架された場合の圧電フ
ィルム104の変化についての予測可能性は、円形板の対称的な曲げに関して開
発されたかなりの量の知識の結果である。これは、他の開口形状を使用できない
ことを意味するものと解釈すべきではない。それにも拘わらず、好ましい実施の
形態は予測可能な形状として円筒状の開口112を採用した。
【0022】 図2のディスク108上に示す開口112のパターンは、この場合、これが最
大数の開口112を一定の領域内に位置させることを可能にするため、選択され
る。このパターンは典型的には「ハニカム」パターンとして述べる。ハニカムパ
ターンは、これが音響ヘテロダインの特徴故に平行な軸線を備えた多数の開口1
12を有するのに望ましいため、選択される。
【0023】 特に超音波周波数を発生させる場合は、基本周波数とインテリジェンスを搬送
する周波数との間にヘテロダイン干渉を生じさせて、インテリジェンスからなる
新たな音波又は亜音波の周波数を発生させるのが望ましい。その結果、互いに相
互作用させられる一層多数の基本及びインテリジェンス搬送波面は、一般に単一
の対の基本及びインテリジェンス搬送周波数に比べて、一層大きなボリュームの
新たな音波又は亜音波周波数を発生させる効果を有する。換言すれば、本発明は
、共通の組成、統合性及び振動応答の利益を損なうことなく、干渉周波数を搬送
するための多数のエミッタ素子を開発する重要な利点を提供する。明らかに、こ
れは商業的に実行可能になるのに十分大きいボリュームを発生させる重要な因子
である。周波数放出の軸線の平行な方位が更に許容できるボリュームレベルの発
展を向上させる。
【0024】 図3aはエミッタドラムトランスデューサ100への電気的接続に関する更な
る詳細を含む本発明の好ましい実施の形態の補助的な輪郭及び破断斜視図を提供
する。エミッタドラムトランスデューサ100の側壁106は貫通する複数の開
口112を備えたディスク108のための囲いを提供する。圧電フィルム104
はディスク108と接触した状態で示されている。圧電フィルム104が接触す
るディスク108の全体の露出表面に圧電フィルム104を接着しない方が好ま
しいことを決定するために実験を行った。圧電フィルム104と開口112との
間の種々の寸法のにかわ(接着剤)フィレットは、均一な開口112によってさ
え均一でない共鳴周波数を発生させてしまう。それ故、好ましい実施の形態はデ
ィスク108に対して圧電フィルム104の外縁のみを接着することを教示する
【0025】 バックカバー110はエミッタドラムトランスデューサ100内で真空を許容
するために設けられる。この真空は、開口112を横切ってほぼ均一な方法で、
圧電フィルム104をディスク108に対して引き付ける。開口112の上方で
懸架された圧電フィルム104の張力の均一性は各エミッタ素子において圧電フ
ィルム104により発生される共鳴周波数の均一性を保証するために重要である
。実際、圧電フィルム104及び開口112の各組み合わせは小型のエミッタ素
子即ちセル124を形成する。ディスク108を横切る圧電フィルム104の張
力を制御することにより、セル124はほぼ均一に有利に応答する。
【0026】 真空の付加的な利点は望ましくない「戻り波」歪みのいかなる可能性をも排除
することである。本発明における戻り波の排除はシールされたドラム空洞内での
真空の存在に由来する。定義によれば、圧縮波は、これがその中を進行できる圧
縮可能な媒体の存在を必要とする。圧電フィルム104がエミッタドラムトラン
スデューサ100から矢印130で示す方向において「外方に」超音波圧縮波を
発生させることができる場合は、矢印132で示す方向にエミッタドラムトラン
スデューサ100内へ戻るように反対方向に進行する超音波圧縮波もまた発生す
ることが唯一論理的である。
【0027】 真空状態が存在しない場合は、これらの戻り方向に進行する波即ち戻り波歪み
波は所望の周波数を発生させる圧電フィルム104の能力と抵触することがある
。この抵触は、戻り波が開口112を通って再び前進し、圧電フィルム104で
反射してその振動を変更するまで戻り波がエミッタドラムトランスデューサ10
0内の表面で反射するときに生じる。それ故、エミッタドラムトランスデューサ
100内での圧縮波(空気)の進行のための媒体を排除することにより、圧電フ
ィルム104の反射性振動が排除される。
【0028】 図3aはまた、圧電フィルム104に電気的に結合され、エミッタドラムトラ
ンスデューサ100の各セル124から伝達されるべき周波数の電気的な表示を
搬送する電気リード線120が存在することを示す。従って、これらの電気リー
ド線120は必然的に図示のようにある信号源122に電気的に結合される。
【0029】 加圧されたときのドラム100からの又はドラム内への圧力漏洩の可能性のた
め、圧力漏洩を回避する工程をとることが重要である。圧力漏洩を減少させる1
つの方法はドラム100を加圧するために希ガスを使用することである。例えば
、漏洩を減少させるために窒素、ネオン又はアルゴンの如き重希ガスを使用する
ことができる。希ガスは軽いガスよりも一層大きな分子を有し、従って、ドラム
100からの又は圧電フィルム104を通る漏洩を減少させる。
【0030】 本発明の別の実施の形態においては、圧電フィルムを被覆するために薄いポリ
マー層が使用される。図3bは分極工程後に圧電フィルム104上に被覆された
ポリマー層140を示す。分極工程中、圧電フィルムは引き伸ばされかつチャー
ジを受け、圧電フィルムのガス保持特性が弱化する。ポリマー層のコーティング
は、ドラムが近真空になったときに大気ガスがドラム100内へ漏洩できないよ
うに、圧電フィルムをシールする。このコーティングはまたドラム100を加圧
するために使用されるガスの逃避を阻止するように圧電フィルムをシールする。
ポリマーは圧電フィルムの性能に影響を及ぼさないのに十分なほど薄くなければ
ならないことに留意することは重要である。プラスチックコーティングのこの余
分の層を使用すると、極めて薄い圧電フィルムを使用した場合でさえ、ドラム1
00内の圧力を一層信頼あるものにできる。プラスチックコーティングは圧力漏
洩を減少させるためにドラムの側壁106及びバックカバー110上でも使用で
きることを了解すべきである。圧電フィルム又はドラム100に対するシールは
エミッタの使用寿命を延ばす助けとなる。この実施の形態に示されたエミッタの
圧力範囲は平方インチ当りほぼ0ポンド(近真空)ないし平方インチ当りほぼ2
0ポンドである。
【0031】 図3cはエミッタドラム及びエミッタ面の破断輪郭図を示す。この形状におい
ては、圧電フィルムはエミッタ面の内側にある。室142は図4bに示すように
圧電フィルム104を湾曲形状へと押し込むように加圧される。ポリマーコーテ
ィング層140は上述のように圧電フィルムのシールを補助するために使用され
る。この図面に示すエミッタ面128は比較的大きなセル深さを有する実施の形
態である。図3dは、エミッタ板128の厚さが図3cにおけるエミッタ板12
8の深さよりも実質上浅い点を除いて、図3cと同様の実施の形態を示す。室1
42はまた、図4bに示すように圧電フィルム104を湾曲形状へと押し込むよ
うに加圧される。
【0032】 図3eはエミッタ面128及び第2のクランプ143を備えたエミッタドラム
100の破断側面図を示す。圧電フィルム104はエミッタ面128とエミッタ
面128の開口形状に合致する第2のクランプ143との間でクランプされる。
圧電フィルム104は波発生を強化するためにドラムのバック板110からの波
長の1/4(1/4波長)である。ドラム100が加圧されたとき、湾曲状のエ
ミッタ素子を生じさせる。更に、小さな開口を備えたセル124に接続する細長
い室142を設ける。セル124はまたバック板110に取り付けることができ
、次いで、セル124内の他の地点での開口は各セル内の圧力を等しくするよう
に配置されることを了解すべきである。第2のクランプ143は必要ではないが
、このクランプは圧電フィルム104に対する安定性を付加する。
【0033】 図4Aは好ましい実施の形態の(2つの開口112の上方の圧電フィルム10
4からなる)セル124の2つを示す拡大輪郭図である。圧電フィルム104は
図示のみの目的で示した誇張振動においてエミッタドラムトランスデューサ10
0の内部の方へ内方に膨張された状態で示す。図4Bとの比較から、圧電フィル
ム104の内方への膨張に続き、加えられる信号の解除により、エミッタドラム
トランスデューサ100の内部から遠ざかるような外方への膨張が生じる。圧電
フィルム104の膨張の量は図示のみの目的で誇張して再度示される。膨張の実
際の量は後に説明する。
【0034】 図5は、(加えられる電圧RMSの関数として)圧電フィルム104の変位と
比較した、好ましい実施の形態の原理に従って製造されたエミッタドラムトラン
スデューサ100の周波数応答を示すグラフである。図5のグラフを提供したエ
ミッタドラムトランスデューサ100は、エミッタドラムトランスデューサ10
0の内部での近真空による生じた典型的な結果の例示である。
【0035】 この実施の形態に使用される膜(圧電フィルム104)は厚さが約28μmの
2フッ化ポリビニリジエン(PVDF)フィルムである。実験から、この特定の
エミッタドラムトランスデューサ100の共鳴周波数はほぼ11.66%の帯域
幅で73.6Vppの駆動電圧を使用した場合にほぼ37.23kHzとなるも
のとして示されており、この場合、上方及び下方の6dBの周波数はそれぞれ3
5.55kHz及び39.89kHzである。圧電フィルム104の変位の最大
振幅はまたピークからピークまで1μmをほぼちょうど越えることが分かった。
この変位は125.4dBの音圧力レベル(以下SPLと呼ぶ)に相当する。
【0036】 驚いたことには、この大きなSPLは理論的には1680Vppの又は加えら
れたものよりも22.8倍大きい駆動電圧に耐えると思われるPVDFを使用す
るエミッタドラムトランスデューサ100から発生した。このため、エミッタド
ラムトランスデューサ100に使用されるこれらの特定の材料の理論的な限界が
152.6の驚くべき大きなSPLをもたらす。
【0037】 ここに示す好ましい実施の形態の共鳴周波数がエミッタドラムトランスデュー
サ100の種々の特性の関数であることを覚えておくことは重要である。これら
の特性は、数ある中で、エミッタ面102を横切って引き伸ばされる圧電フィル
ム104の厚さ、及び、エミッタディスク108内の開口112の直径を含む。
例えば、一層薄い圧電フィルム104を使用すると、一定の加えられた電圧に対
して圧電フィルム104の一層急激な振動が生じる。その結果、エミッタドラム
トランスデューサ100の共鳴周波数は一層高くなる。
【0038】 一層高い共鳴周波数の利点は、帯域幅の百分率がほぼ10%に留まるか又は実
験結果として示すように増大する場合に、所望の範囲の周波数を容易に発生させ
ることができることである。換言すれば、人間が聞こえる範囲はほぼ20ないし
20,000Hzである。それ故、帯域幅が少なくとも20,000Hzを包含
するのに十分なほど広い場合、人間が聞こえる全体の範囲を、音響ヘテロダイン
の結果としての新たな音波波として容易に発生させることができる。このため、
その上で変調された音波インテリジェンスを備え、適当なキャリヤ波と干渉する
信号は、人間が聞こえる全体の可聴スペクトルにわたる可聴音を発生させること
のできる新たな音波信号を生じさせる。
【0039】 共鳴周波数を増大させるための一層薄い圧電フィルムの使用に加え、周波数範
囲を延ばす他の方法がある。例えば、別の実施の形態においては、本発明は一層
小さな直径の開口112を有するセル124を使用する。一層小さな開口はまた
、加えられた駆動電圧に対して一層高い共鳴周波数を生じさせる。
【0040】 結果のいくつかを説明したが、本発明の力学を表すことのできるいくつかの等
式を調べることも有用である。フィルム張力及び共鳴周波数の理論的な分析につ
いては、公開文献である振動装置及びその等価回路(Vibration Systems and the
ir Equivalent Circuits) (ゼニーケ・スクバー(Zdenek Skvor)著;1991年
エルサーバ社(Elservier) )、機械エンジニアのためのマーク標準ハンドブック (Marks Standard Handbook for Mechanical Engineers)(アイゲン・エー・アバ
ロン(Eugene A. Avallone)及びセオドール・ボイメイスター三世(Theodore Baum
eister III) 著による第9版)(以下、「マーク文献」という)、及び、板及び シェルの理論 (Theory of Plates and Shells) (ステファン・チモシェンコ(Ste
phen Timoshenko)著;第2版)を参照されたい。マーク文献は膜の張力を共鳴周
波数に関連づける極めて有用な等式(5.4.34)を与える。共鳴周波数は開
口の形状、開口の寸法、逆圧力、フィルムのコンプライアンス及びフィルムの密
度の関数である。これらの値間の関係は複雑であり、この文献の範囲を越えてい
る。
【0041】 図6は本発明の別の実施の形態を示すが、この実施の形態はまたエミッタドラ
ムトランスデューサ116から周波数を発生させ、好ましい実施の形態と殆ど同
一に構成される。本質的な差異は、エミッタドラムトランスデューサ116の内
部に真空を発生させる代わりに、この場合内部が加圧されることである。圧電フ
ィルム104はエミッタ面の内側にあり、ドラム内の圧力により部分的に適所に
保持される。
【0042】 エミッタドラムトランスデューサ116内に導入される圧力は共鳴周波数を変
更するために変化させることができる。しかし、圧電フィルム104の厚さは、
どのような大きさの圧力を加えることができるかを決定する際の主要因子となる
。これは、好ましい実施の形態に使用される二方向に引き伸ばされるPVDFの
代わりに、かなりの異方性を有するある共重合体から作られた圧電フィルムに部
分的に帰することができる。異方性の圧電フィルムの望ましくない側効果は、す
べての方向におけるフィルムの振動を実際に阻止し、そこから発生する信号の望
ましくない歪みを生じさせる非対称性を生むことがあることである。このため、
PVDFは圧電フィルムにとって好ましい材料である。その理由は、これが共重
合体よりもかなり大きな降伏強さを有するからであり、しかも、これが著しく低
い異方性を有するからである。
【0043】 加圧式のエミッタドラムトランスデューサ116の別の実施の形態の1つの態
様は周波数共鳴即ち刺激の発生とすることができる。これは、エミッタドラムト
ランスデューサ116内のガス内での波発生に由来するエミッタドラムトランス
デューサ116内での戻り波の発生のためである。しかし、戻り波を吸収するた
めの材料をエミッタドラムトランスデューサ116内に配置することにより、戻
り波を除去できることが分かった。例えば、エミッタドラムトランスデューサ1
16内に挿入された一片の発泡ゴム134又は他の音吸収剤又は緩和材料はすべ
ての周波数刺激を実質上除去できる。代わりに、圧電フィルムに対して問題の特
定の範囲内での波の発生を実質上排除するのに十分な近さでバック板を配置する
ことができる。
【0044】 加圧式のエミッタドラムトランスデューサ116を使用する実験結果は、典型
的な選択された圧力及び駆動電圧で、エミッタドラムトランスデューサ116が
実質上直線的な領域内で作動したことを示した。例えば、エミッタドラムトラン
スデューサ116の内部の平方インチ当り10ポンド(psi)の圧力で28μ
mの厚さのPVDFを使用するエミッタドラムトランスデューサ116は5ps
iの内圧を有するエミッタドラムトランスデューサ116よりもほぼ43%大き
い共鳴周波数を発生させることが分かった。代わりに、駆動振幅が2倍ならPV
DFの変位もほぼ2倍になると分かった場合は、ほぼ直線的な作動領域が発見さ
れることが確認された。
【0045】 また、実験から、加圧式のエミッタドラムトランスデューサ116がほぼ20
%の帯域幅を実質上得ることができることが分かった。それ故、たった100k
Hzの共鳴周波数を有するエミッタドラムトランスデューサ116を構成すれば
、人間が聞こえる全体の範囲を発生させるのに十分なものよりも大きいほぼ20
kHzの帯域幅が得られる。戻り波即ち内部の後方への波共鳴の導入を阻止する
ためにエミッタドラムトランスデューサ116の内部を音響的に緩和することに
より、加圧式の実施の形態はまた、本発明の好ましい実施の形態の商業的に実行
可能なボリュームレベルの目を見張る結果を達成することができる。
【0046】 ここで、圧電フィルムの好ましい厚さ、開口の寸法及びドラムの圧力について
述べる。圧力が増大したとき、圧力はスピーカーの共鳴周波数を増大させる。共
鳴周波数はまた、開口の寸法を減少させるか又は圧電フィルムの厚さを増大させ
ることにより、増大させることができる。次の表は35kHzの共鳴周波数を提
供するための好ましいフィルム厚さ、開口寸法及び圧力を示す。これらの特定な
パラメータは本発明のための最大出力を提供する。これらの範囲内又は範囲近傍
の多数の組み合わせを使用できることは明らかである。
【0047】
【表1】
【0048】 表1は選択された開口寸法を列挙するが、好ましい開口寸法は0.050イン
チないし0.600インチ(約1.27ないし15.24mm)の範囲にある。
表1で列挙されたパラメータは超音波トランシデューサに主として焦点を合わせ
てある。フィルムの実際の性能は、フィルムが二方向性であるか、一方向性であ
るか又は被覆されているか等の如き異なる因子に依存する。例えば、5PSIで
使用される9μmのフィルムは0.160インチ(約4.07mm)の開口で3
5kHzの共鳴周波数を発生させる。これに対し、PVDCのコーティングで被
覆された別の9μmのフィルムは同じ35kHzの共鳴周波数を生じさせるため
に5PSIで0.600インチ(約15.24mm)の開口を有しなければなら
ない。開口寸法の先の例は本発明の超音波についての実施の形態に関するが、有
用な音波周波数を直接的に生じさせるために一層大きな穴を使用することができ
る。
【0049】 開口の中心間の間隔は最大出力にとっての目標である周波数波長の1/4ない
し1/2(1/4ないし1/2wL)の間とするのが好ましい。開口の中心間の
好ましい間隔は最大出力が望まれる周波数波長の1/3である。
【0050】 本発明の更に好ましい態様は特定の応用に対する音波エミッタの形状の適合性
である。例えば、圧電フィルムがディスク面を横切る均一の張力に維持できる場
合は、任意の形のドラムを形状づけることができる。このデザインの特徴は室又
は他の調度品にユニークな装飾を提供するデザイナー形状としてスピーカー形状
を形成することを可能にする。公称の空間要求のため、高度に原物そっくりの支
持設備等の壁ユニットの一部として柱間で隅部にぴったり合う周辺形状を使用し
て、厚さ1インチ(約25.4mm)以下のスピーカーを製造することができる
。等方的な方法で平面内でフィルムを引き伸ばし、次いでディスク面の周辺でフ
ィルムを接着することにより、不規則な形状を横切るエミッタフィルムの張力の
均一性を達成することができる。次に、余分なフィルム材料を切断するか又は折
り畳み、次いで前後壁及び中間ドラム壁を一体のパッケージとして縛るために周
辺バンドで包むことができる。このようなスピーカーは重量が少なく、信号を受
け取るために圧電材料で結合されたワイヤ接点及びフィルムを湾曲状に膨張させ
るための真空又は正圧を加えるための圧力ラインのみを必要とする。
【0051】 本発明の好ましい実施の形態の一層特定の実施に戻ると、エミッタドラムトラ
ンスデューサ100は図7に示す装置に含ませることができる。この応用はこの
薄いフィルム構造体にとって特に適するパラメトリック又はヘテロダイン技術を
利用する。薄い圧電フィルムはパラメトリックスピーカー理論に従って高超音波
周波数での作動にとって十分に適する。
【0052】 基本的な装置は基本波即ちキャリヤ波21を提供するための発振器即ちデジタ
ル超音波波源20を有する。この波21は一般に第1の超音波波又は主波と呼ば
れる。振幅変調素子22は超音波発生器20の出力に結合され、音波又は亜音波
入力信号23と混合されるようになった基本周波数21を受け取る。音波又は亜
音波信号はアナログ又はデジタル形のいずれかで加えることができ、任意の普通
の信号源24からの音楽又は他の音の形となることができる。入力信号23が上
方及び下方の側帯域を含む場合は、選択された帯域幅のための変調されたキャリ
ヤ周波数上に単一の側帯域出力を生じさせるように、フィルタ素子を変調器内に
含ませることができる。
【0053】 エミッタドラムトランスデューサは、薄いフィルムトランスデューサ25aの
面で伝播される新たな波形として超音波周波数f1、f2を放出するようにさせ
られる品目25として示されている。この新たな波形は空気の非線形媒体内で相
互作用を行い、新たな音波又は亜細音波の波として異なる周波数26を発生させ
る。エミッタディスク内に形成される多量のエミッタ素子を有する能力は、品質
可聴周波出力及び有意義なボリュームを伝播することのできる均一な波面の発生
にとって特に十分に適する。
【0054】 本発明は上述のように機能することができる。その理由は、f1、f2に対応
する圧縮波が音響ヘテロダインの原理に従って空気内で相互作用を行うからであ
る。音響ヘテロダインは非線形回路内で生じる電気的なヘテロダイン効果に対す
る機械的な対応部に相当するようなところがある。例えば、電気回路における振
幅変調はヘテロダイン処理である。ヘテロダイン処理自体は2つの新たな波の単
なる生成である。新たな波は2つの基本波の合計及び差である。
【0055】 音響ヘテロダインにおいては、少なくとも2つの超音波圧縮波が空気内で相互
作用即ち干渉するときに、基本波の合計及び差に等しい新たな波の発生が観察さ
れる。本発明の好ましい伝達媒体は空気である。その理由は、空気が異なる条件
の下で非線形的に応答する高度に圧縮可能な媒体だからである。空気のこの非線
形性はヘテロダイン処理の発生を可能にし、差信号を超音波出力から切り離す。
しかし、必要なら、任意の圧縮可能な流体が伝達媒体として機能できることを覚
えておくべきである。
【0056】 従来技術におけるパラメトリック差波の首尾よい発生は名目的なボリュームの
みを有するように思えるが、本発明の形状は全量音を発生させる。AM変調基本
周波数を搬送する単一のトランスデューサはかなりの距離及び目を見張るボリュ
ームレベルで音を発射することができたが、複数の共線形信号の組み合わせがボ
リュームを大幅に増大させた。壁又は他の反射性表面に向けられたとき、壁が音
発生のまさに源であるかの如くに反射されるように、ボリュームが実質的で方向
性のものとなった。
【0057】 本発明の重要な特徴は、基本周波数及び単一又は二重の側帯域が同じトランス
デューサ面から伝播されることである。それ故、成分波は好ましくはコリメート
される。更に、位相整合は最大となり、2つの異なる超音波周波数間で可能な最
大レベルの干渉を提供する。これらの波間で最大の干渉が保証されるので、空気
分子への最大のエネルギ伝達を達成し、これが有効に、パラメトリックスピーカ
ーにおける「スピーカー」放射素子となる。従って、本発明者らは、本発明にお
いて提供されるような薄いフィルム式の超音波エミッタ列内でのこれらのファク
ターの向上が可聴周波出力信号についてボリュームを著しく増大させたものと信
じる。 パラメトリックスピーカーにおける全ボリューム能力の発展は従来のス
ピーカー装置に比べて著しい利点を提供する。最も重要なのは、音が比較的質量
の小さい放射素子から再生されるという事実である。特に、可聴周波範囲内で作
動する放射素子は無い。その理由は、圧電フィルムが超音波周波数で振動してい
るからである。音響ヘテロダインによる音発生のこの特徴は、その大半が普通の
スピーカーの放射素子により生じるような従来の歪み効果を実質的に排除するこ
とができる。例えば、拡声器の円錐体上の逆倍音及び定在波、円錐体のオーバー
シュート、並びに、円錐体のアンダーシュートは実質的に除去される。その理由
は、低質量の薄いフィルムが数μmの距離を横断するからである。
【0058】 本発明の更に別の実施の形態を図8に示す。好ましい実施の形態において本発
明がエミッタとしていかに作動するかを理解した後なら、本発明をレシーバ又は
センサとして同様に使用できることは明らかである。これは、圧電フィルムが電
気エネルギを機械エネルギに変換できるのみならず、逆に機械エネルギを電気エ
ネルギに同様に変換できるという結果である。それ故、好ましい実施の形態の装
置は、信号源122がエミッタドラムトランスデューサ100に結合される代わ
りに、感知ドラムがオッシロスコープの如き感知器具に接続されるように、修正
されるだけである。次いで、トランスデューサ118は、感知ドラムトランスデ
ューサ118の圧電フィルム104上に衝突する圧縮波を、フィルム104を有
効なマイクロフォンとして実質的に作用させる電気信号に変換する。
【0059】 図9は剛直なエミッタ板152の背後に戻り波補強構造体を備えたスピーカー
装置を示す。戻り波補強体は図9に1/4wL(波長)として示す圧電フィルム
からの選択された波長の距離の1/4に位置するのが好ましい。この補強構造体
は生成される実際の音波又は超音波の波の発生を補助する。その理由は、戻り波
補強体が位相ずれ戻り波を反射して、周囲に生成された主波と位相の合った波に
するからである。戻り波補強体がバックカバー110でない場合は、補強体はま
た圧力の均等化を許容するために小さな開口154を含む。図10は、戻り波補
強構造体がバックカバー110であるようなこの実施の形態の別の構成を示す。
圧電フィルムからの波長の1/4の距離は強化すべき所望の周波数波長に依存す
る。強化される最も普通の波長はキャリヤ周波数即ち共鳴周波数である。補強が
圧電フィルムからの波長の1/4で生じる場合、エミッタの最終出力は3dBま
で増大することができる。強化したい周波数の波長に応じて、圧電フィルムから
の異なる距離に戻り波補強構造体を配置できることを付け加えておくことは重要
である。2つの他の望ましい補強体距離は圧電フィルムから1/2波長及び1波
長である。
【0060】 本発明の別の実施の形態は丸くない開口の装置を使用する。丸い開口の装置は
その対称的な形状のため有効であるが、他の対称的な形状を使用することができ
る。図11は矩形形状の開口158を使用する剛直なエミッタ板156を示す。
図12は楕円612形状の開口を有する剛直なエミッタ板160を示す。矩形及
び楕円形状は異方性又は一軸フィルムにとって特に有効である。その理由は、圧
電フィルムが矩形又は楕円の長手軸線に垂直に収縮又は膨張するときに有効な波
を発生させることができるからである。
【0061】 図13は凸状のエミッタ板を備えたスピーカーの実施の形態を示す。エミッタ
の凸形状は、平坦な面の実施の形態よりも一層広い領域にわたって発生音を分散
させることができる。エミッタ面の湾曲度が増大すると、分散度も増大する。こ
れとは逆し、図14はスピーカーの方向性に焦点をおいた凹状のエミッタ板を示
す。
【0062】 図15はエミッタセル182により発生された音を分散させるための湾曲エミ
ッタ板180を示す。圧電フィルム184はエミッタ板180の下方に位置し、
室186は湾曲状の素子を形成するように加圧される。交流可聴周波信号は室の
壁192とエミッタ板180との間で下方に延びる電気接点190に接続された
ワイヤ188を介して供給される。室のバックカバー194はまた湾曲しており
、圧電フィルムからの選択された周波数の1/4の距離にセットされる。選択さ
れた周波数は戻り波により強化される周波数である。図16は凹状の圧電フィル
ム204の形状を生じさせるために平坦な面及び湾曲底部分を備えたエミッタ板
200を示す。バックカバー206は平坦であり、ドラムにより形成される室2
08は先に述べたような湾曲状のエミッタ区分を形成するように加圧される。こ
の開示に基づき、必要なら、バックカバー206又はエミッタ板200の面はま
た凸状又は凹状に湾曲できることは明らかであろう。
【0063】 本発明の更に別の実施の形態においては、エミッタ板上の電極は完全なリング
ではない。図17は半円形の2つの電気接点を備えたエミッタ面170を示す。
第1の電気接点171及び第2の電気接点172はこれらに加えられる別個の信
号を有することができる。これは、圧電フィルムの区域(複数)を独立に制御す
ることを可能にする。異なる電気接点に加えられる信号は位相シフトでき、位相
シフトされた対応する波を空気内に生じさせる。これらの隣接する位相シフトし
た波が超音波レベルで相互作用したとき、波の方向経路を変更する。適正な位相
関係を提供することにより、スピーカーを物理的に移動させることなく、音ビー
ムを「操縦」できる。これは、使用者に対して運動の効果を提供する。更に、別
個の電気接点174、176を介して複数のチャンネルをも適用できる。
【0064】 図18は4つの電気接点182、184、186、188を備えたエミッタ面
170を示す。4つの接点のみを示すが、接点の数は制御したい区域の数によっ
てのみ制限される。エミッタ面上に製造される電気接点が多いほど、別個の圧電
区域の制御が一層多くなる。各別個のセルでさえそれ自身の電気接点を有するこ
とができる。また、普通の電極スパッタリング又はフローイング技術に基づき、
ほぼ制限されない数の接点配列が可能であることを了解すべきである。
【0065】 圧電フィルム上で空間的に配置された電気接点を使用する2つの他の重要な実
施の形態を図19、20に示す。図19は2つの同心の電気接点リング212、
214を備えた圧電フィルム210を示す。好ましい実施においては、中央のリ
ング214は全円形領域のほぼ1/2を含み、第2の電気接点は全体の円214
を囲む。2つの電気リングは各々ワイヤ218、216からの別個の電気信号を
受け取ることができる。信号はビーム操縦及び空間的な音方位づけを生じさせる
ために位相シフトできる。更に、各電極に対して別個のチャンネルを使用するこ
とができる。例えば、声チャンネルの如き1つのチャンネルは中央のリングへ送
ることができ、そして、周囲の背景音の如き第2のチャンネルは第2のリングへ
送ることができる。本質的には、この例における声チャンネル及び背景チャンネ
ルは圧電フィルム上で空間的に混合される。図20は3つの電気接点220、2
22、224を備えた電気接点の実施の形態の別の構成を示す。付加的な接点は
圧電フィルム上で用いることのできる制御を増大させる。
【0066】 圧電フィルムを製造する従来の方法は全体のフィルムを金属コーティングでス
パッタリングすることである。圧電フィルムの全表面上に金属コーティングを使
用する欠点は、電圧を加えたときに、フィルムのある領域が駆動されて、動けな
くなるか又は容易に動かすことができなくなることである。例えば、フィルムの
ある部分はクランプ止め状態、ボルト止め状態又は他の方法でエミッタ面に取り
付けられた状態となることがある。領域が駆動されて動けなくなったとき、望ま
しくない熱が発生する。本発明は、必要な領域にのみ金属コーティングをスパッ
タリング又は適用することにより、この問題を解決する。駆動すべきではなく、
適所に締結又はクランプすべき領域は、金属被覆されない。ここで図28を参照
すると、この図は、圧電フィルムがエミッタ面の開口250と調和するように選
択的にスパッタリング252され、フィルムを動かすべきでない領域を回避する
ことを示す。もちろん、各金属被覆された領域は他の金属被覆された領域に電気
的に接続しなければならず、これは、必要な場所に金属化されたブリッジ接点2
54を使用することにより行われる。
【0067】 別の問題は、ボルトの下又は接点領域に近い金属領域がアークを起こすことが
あることである。いかなる電気的に導電性のハウジング素子によるアークを回避
するようなパターンで、選択的なスパッタリングをフィルムの周辺に施すことが
できる。活動領域のみの金属化はまた、増幅器を駆動するのに必要なキャパシタ
ンスを減少させる。周知のマスク技術を使用して、選択的なスパッタリングを有
効に施すことができる。
【0068】 図21はエミッタ板に取り付けられた圧電フィルムの多角形部片を示す。フィ
ルムの多角形部片はフィルムの大きな円形部片よりも製造及び冷却が一層容易で
ある。一層小さな幾何学形状を使用することにより得られる別の利点は、1つの
大きなエミッタダイアフラムを作る際に生じる問題(即ち張力付与問題)を減少
させるために多くのこれらの形状を一緒に組み合わせることができることである
。図22は1つの長いエミッタ面を形成するために一緒に結合されたフィルムの
3つの多角形部片を示す。任意の一層小さな規則的な幾何学形状を選択すること
ができ、次いで1つの一層大きなエミッタ表面を形成するように切りばめ細工す
ることができることは明らかであろう。
【0069】 図23はエミッタを形成するために六角形リングとして一緒に結合された圧電
フィルムの6個の多角形部片を示す。リング240の中心はエミッタの活動領域
ではなく、空空間又はある他の非圧電材料とすることができる。図23に示す形
状の驚くべき結果は、中心の活動領域を有する六角形スピーカーの出力の80%
ないし90%もの出力を生じさせることができることである。図23に示す形状
は、中心の活動領域を備えた六角形に比べて、ほんの50%の圧電フィルム領域
しか有しないが、出力の減少はたった10%ないし20%である。
【0070】 図24、25は一層大きなエミッタ形状を形成するために一層小さな矩形の圧
電フィルム区分を使用する本発明の2つの実施の形態を示す。図24は開いた中
心を備えた正方形形状として一緒に組み合わされた4つの矩形区分を示す。この
形状は六角形リングについて述べたものと同じ利点を有する。図24は柱として
組み合わされた4つの矩形区分を示す。一層多くの又は一層少ない圧電フィルム
区分を使用すること及び一層大きな出力を生じさせる幾何学配列としてこれらを
一緒に組み合わせることも望ましい。
【0071】 図26は多数の圧電フィルムセル234から遠く離れた小さな圧力室232を
備えた圧電フィルムエミッタ230を示す。圧力室232は単一のプレナム室と
等価であり、細い圧力チューブにより圧電フィルムセル234に接続される。加
圧チューブ236は各セル234上の圧電フィルムを湾曲状のエミッタ形状に形
成するために圧力室232から圧力を移送させる。各圧電フィルムセルは圧電フ
ィルムをその湾曲形状に形成するのに十分な圧力を有しなければならない。チュ
ーブ236を備えた圧力室232を使用する利点は、細いチューブに沿った圧力
勾配損失が回避されることである。チューブの総面積が比較的小さいため、チュ
ーブの使用は圧力を減少させず、圧力をそれぞれのエミッタセル234の各々に
分配する。更に、圧力室232の寸法ははまた比較的小さい。その理由は、チュ
ーブ内の小さな体積のみが小さな圧力室源を必要とするからである。代わりに、
圧力室又は特殊な源無しに、相互接続チューブを直接的に加圧することができる
。更に、圧電フィルムセル234及びチューブ236の数及び配列は実践的な拘
束によってのみ制限される。ここで、図3c、3dに示すようなシーラントコー
ティングの一層詳細な説明を行い、圧電フィルムをシールする方法をも述べる。
ここで図27を参照すると、シールされた圧電フィルムの構造が示されている。
中央の層は圧電フィルム240である。フィルムは典型的にはPVDFフィルム
又は同様の圧電共重合体である。シール材料246はPVDFに施される。シー
ル材料は高ガスバリヤ特性を有するPVDC(塩化ポリビニリデン)である。P
VDCはブラッシング、エアブラッシング又はPVDCの槽内へのPVDFの浸
漬により圧電フィルムに施すことができる。更に、フィルムが電気的にチャージ
される前又は後に、PVDCを圧電フィルムに施すことができる。PVDCは圧
電フィルムの構造体に接着し、ガスがフィルム240を通過するのを阻止する有
効なバリヤを提供する。PVDCが圧電フィルムに施された後、電極242、2
44がフィルム240上にスパッタリング又は蒸着される。シール材料(PVD
C)はまた、電極がフィルムに施された後に、施すこともできる。
【0072】 上述の説明から、好ましい実施の形態及び代わりの実施の形態が、先に述べた
音響ヘテロダイン処理の頼りを必要とせずに、音波周波数を直接放出できること
は明らかであろう。しかし、本発明が中間範囲の周波数及び上方周波数において
最も有効なので、可聴スペクトル内の周波数の範囲はほぼ一層高い周波数に必然
的に限定される。それ故、上述のような音響ヘテロダインを使用して全範囲の可
聴周波数を間接的に発生させるために本発明を使用したときに、本発明の最大の
利点が実現される。
【0073】 上述の実施の形態は本発明の原理の応用の単なる例示であることを理解すべき
である。当業者なら、本発明の精神及び範囲から逸脱することなく、多くの修正
及び代替えの構成を工夫できる。特許請求の範囲はこのような修正およぼ構成を
カバーするものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の原理に従って作られたエミッタドラムトランスデューサの斜視図であ
る。
【図2】 本発明の原理に従って作られたエミッタドラムトランスデューサのエミッタ面
内の複数の開口を示す頂面図である。
【図3】 図3aはエミッタ面内の開口の上方に位置する膜を示す、エミッタドラムトラ
ンスデューサ及びエミッタ面の破断輪郭図であり、図3bは圧電フィルム上に接
着されたポリマーフィルムを示す、エミッタドラムトランスデューサ及びエミッ
タ面の破断輪郭図であり、図3cはエミッタ板の内側の圧電フィルムを示す、エ
ミッタドラム及びエミッタ板の破断輪郭図であり、図3dはエミッタ板の内側の
圧電フィルムを示す、エミッタドラム及び薄いエミッタ板の破断輪郭図であり、
図3eはエミッタドラム及び薄いエミッタ板及び圧電フィルムの反対側の第2の
クランプの破断輪郭図である。
【図4】 図4a及び4bはエミッタ面内の複数の開口にわたって伸ばされた状態で振動
する膜の拡大輪郭図である。
【図5】 好ましい実施の形態における膜(圧電フィルム)の変位対周波数の例を示すグ
ラフである。このグラフは共鳴周波数及びそこから発生する典型的な帯域幅を示
す。
【図6】 エミッタドラムトランスデューサが加圧されるような別の実施の形態のエミッ
タドラムトランスデューサの破断輪郭図である。
【図7】 新たな音波又は亜音波周波数を発生させるために音響的にヘテロダインする超
音波インテリジェンス搬送周波数及び超音波基本周波数を伝達する本発明の一層
特定な実施を示す図である。
【図8】 センサ面内の開口の上方に位置する感知膜を示す、センサドラムトランスデュ
ーサ及びセンサ面の破断輪郭図を示す別の実施の形態の図である。
【図9】 エミッタ面からの波長の1/4での戻り波補強構造体を示すエミッタの破断輪
郭図である。
【図10】 エミッタ面からの波長の1/4での戻り波補強構造体としてのバックカバーを
示すエミッタの破断輪郭図である。
【図11】 矩形のセル開口を備えたエミッタ面の頂面図である。
【図12】 楕円形のセル開口を備えたエミッタ面の頂面図である。
【図13】 凸状のエミッタ面を備えたエミッタの破断輪郭図である。
【図14】 凹状のエミッタ面を備えたエミッタの破断輪郭図である。
【図15】 凸状のエミッタ面、エミッタ面の内側の圧電フィルム及び凸状のバックプレー
トを備えたエミッタの破断輪郭図である。
【図16】 エミッタ板の内側の凸状の圧電フィルムを備えたエミッタの破断輪郭図である
【図17】 2つの半円形電気接点を備えたエミッタ面の頂面図である。
【図18】 4つの電気接点を備えたエミッタ面の頂面図である。
【図19】 2つの同心の電気接点リングを備えたエミッタ面の頂面図である。
【図20】 3つの同心の電気接点リングを備えたエミッタ面の頂面図である。
【図21】 フィルムの下方の多角形のエミッタ面を備えた圧電フィルムのための多角形区
分を示す図である。
【図22】 フィルムの下方の対応するエミッタ面を備えた圧電フィルムの3つの多角形区
分を示す図である。
【図23】 リング形状を形成する六角形状としての圧電フィルムの6つの多角形区分を示
す図である。
【図24】 箱形状としての圧電フィルムの4つの矩形区分を示す図である。
【図25】 柱としての圧電フィルムの4つの矩形区分を示す図である。
【図26】 多数の圧電フィルムエミッタセルに接続された加圧室を示す図である。
【図27】 PVDCでシールされた圧電フィルムを示す図である。
【図28】 金属メッキされたブリッジ接点により接続された面板開口上の選択的なスパッ
タリングを示す図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 EP(AT,BE,CH,CY, DE,DK,ES,FI,FR,GB,GR,IE,I T,LU,MC,NL,PT,SE),OA(BF,BJ ,CF,CG,CI,CM,GA,GN,GW,ML, MR,NE,SN,TD,TG),AP(GH,GM,K E,LS,MW,SD,SL,SZ,TZ,UG,ZW ),EA(AM,AZ,BY,KG,KZ,MD,RU, TJ,TM),AE,AL,AM,AT,AU,AZ, BA,BB,BG,BR,BY,CA,CH,CN,C R,CU,CZ,DE,DK,DM,EE,ES,FI ,GB,GD,GE,GH,GM,HR,HU,ID, IL,IN,IS,JP,KE,KG,KP,KR,K Z,LC,LK,LR,LS,LT,LU,LV,MA ,MD,MG,MK,MN,MW,MX,NO,NZ, PL,PT,RO,RU,SD,SE,SG,SI,S K,SL,TJ,TM,TR,TT,TZ,UA,UG ,UZ,VN,YU,ZA,ZW (72)発明者 クロフト,ジェイムス・ジェイ・ザ・サー ド アメリカ合衆国カリフォルニア州92064, ポーウェイ,クワイエット・ヒルズ・ドラ イブ 13633 (72)発明者 セルフリッジ,アラン・ロバート アメリカ合衆国カリフォルニア州95030, ロス・ガトス,オーシャン・ビュー・ロー ド 50 (72)発明者 クーリ−ヤクブ,ピエーリ アメリカ合衆国カリフォルニア州94306− 3823,パロ・アルト,ドナルド・ドライブ 4151 Fターム(参考) 5D004 AA00 CD01 CD07 CD10 DD01 5D019 AA00 5D020 AC11

Claims (68)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 亜音波、音波又は超音波の圧縮波を放出するためのスピーカ
    ー装置において、 外方に指向した外面及び内面を有し、上記外面と上記内面との間を延びる複数
    の開口を有する剛直なエミッタ板と; 上記エミッタ板の上記開口を横切って位置する薄い圧電フィルムと; 加えられる電気的な入力を提供するように上記圧電フィルムに結合される電気
    接点手段と; 上記圧電フィルムでの上記加えられる電気的な入力の変化に応答して収縮及び
    膨張できる湾曲状のエミッタ形状へと上記フィルムを膨張させて、周囲の環境内
    に圧縮波を発生させるように、上記開口において上記薄いフィルムに関して偏倚
    圧力を発生させるために上記エミッタ板に結合される圧力手段と; を有することを特徴とするスピーカー装置。
  2. 【請求項2】 上記圧電フィルム上の薄いポリマーコーティングを更に有し
    、上記薄いポリマーコーティングが当該圧電フィルムをシールし、圧力漏洩を阻
    止することを特徴とする請求項1に記載のスピーカー装置。
  3. 【請求項3】 上記薄いポリマーコーティングが塩化ポリビニリデレンであ
    ることを特徴とする請求項2に記載のスピーカー装置。
  4. 【請求項4】 上記圧力手段内の重不活性ガスを更に含み、上記重不活性ガ
    スが上記圧電フィルムを通してのガス漏洩を減少させることを特徴とする請求項
    1に記載のスピーカー装置。
  5. 【請求項5】 上記重不活性ガスが窒素であることを特徴とする請求項4に
    記載のスピーカー装置。
  6. 【請求項6】 上記開口が中心を有し、当該開口が、開口中心から開口中心
    まで、選択された周波数の波長の1/4ないし1/2だけ離間していることを特
    徴とする請求項1に記載のスピーカー装置。
  7. 【請求項7】 上記剛直なエミッタ板が波出力を分散させるために凸状とな
    っていることを特徴とする請求項1に記載のスピーカー装置。
  8. 【請求項8】 上記剛直なエミッタ板が波出力を合焦させるために凹状とな
    っていることを特徴とする請求項1に記載のスピーカー装置。
  9. 【請求項9】 上記開口が0.050及び0.600インチ(約1.27及
    び約15.24mm)の間の直径を有することを特徴とする請求項1に記載のス
    ピーカー装置。
  10. 【請求項10】 上記圧力手段内の上記偏倚圧力が平方インチ当りほぼ0及
    び20ポンドの間であることを特徴とする請求項1に記載のスピーカー装置。
  11. 【請求項11】 上記圧電フィルムの周辺のまわりの圧力シールを更に有し
    、上記圧力シールが当該圧電フィルムを駆動するための上記電気接点手段として
    使用されることを特徴とする請求項1に記載のスピーカー装置。
  12. 【請求項12】 上記圧電フィルムの厚さがほぼ9ミクロンであり、上記開
    口の直径がほぼ0.160インチ(約4.06mm)であり、上記偏倚圧力が平
    方インチ当りほぼ5ポンドであり、ほぼ35kHzの共鳴周波数が生じることを
    特徴とする請求項1に記載のスピーカー装置。
  13. 【請求項13】 上記圧電フィルムの厚さがほぼ12ミクロンであり、上記
    開口の直径がほぼ0.168インチ(約4.27mm)であり、上記偏倚圧力が
    平方インチ当りほぼ6ポンドであり、ほぼ35kHzの共鳴周波数が生じること
    を特徴とする請求項1に記載のスピーカー装置。
  14. 【請求項14】 上記圧電フィルムの厚さが25ミクロンよりも小さく、上
    記開口の直径が0.200インチ(約5.08mm)よりも小さく、上記偏倚圧
    力が平方インチ当り12ポンドよりも小さく、ほぼ35kHzないし60kHz
    の共鳴周波数が生じることを特徴とする請求項1に記載のスピーカー装置。
  15. 【請求項15】 上記圧電フィルムを上記剛直なエミッタ板にクランプする
    ためのクランプ部材を更に有し、上記クランプ部材が上記エミッタ面内の上記複
    数の開口に対応する複数のクランプ開口を有することを特徴とする請求項1に記
    載のスピーカー装置。
  16. 【請求項16】 側壁と第1及び第2の対向手段とを有するほぼ中空のドラ
    ムを更に有し、上記剛直なエミッタ板が上記ドラムの第1の端部に取り付けられ
    、上記内面が当該ドラムの内部空洞に向いて位置することを特徴とする請求項1
    に記載のスピーカー装置。
  17. 【請求項17】 上記圧力手段が上記開口で上記薄いフィルムに関して正の
    偏倚圧力を発生させるために上記ドラムに結合されることを特徴とする請求項1
    6に記載のスピーカー装置。
  18. 【請求項18】 上記圧電フィルムに超音波信号を供給するための超音波周
    波数発生手段と; 上記超音波信号上で変調されるべき音波信号を供給するための音波周波数発生
    手段と; 変調された音波波を伴った超音波キャリヤ波を発生させるように上記超音波周
    波数発生手段及び上記音波周波数発生手段に結合される変調手段と; 上記エミッタ板での対応する圧縮波の刺激発生のために上記キャリヤ波及び上
    記変調された音波波を上記圧電フィルムへ供給するように上記変調手段に結合さ
    れる伝達手段と; を更に有することを特徴とする請求項1に記載のスピーカー装置。
  19. 【請求項19】 亜音波、音波又は超音波の圧縮波を放出するためのスピー
    カー装置において、 側壁と、第1及び第2の対向端部とを有するほぼ中空のドラム; 上記ドラムの上記第1の端部に取り付けられ、当該ドラムから離れるように指
    向した外面と、該ドラムの内部空洞に向いて位置する内面とを有し、上記外面と
    上記内面との間を延びる複数の開口を有する剛直なエミッタ板; 上記エミッタ板の上記開口を横切って位置する薄い圧電フィルム; 加えられる電気的な入力を提供するように上記圧電フィルムに結合される電気
    接点手段; 上記圧電フィルムでの上記加えられる電気的な入力の変化に応答して収縮及び
    膨張できる湾曲状のエミッタ形状へと上記フィルムを膨張させて、周囲の環境内
    に圧縮波を発生させるように、上記開口において上記薄いフィルムに関して偏倚
    圧力を発達させるために上記ドラムに結合される圧力手段;及び 上記ドラムの上記内部空洞の内側に位置し、選択された周波数を高めるように
    上記圧電フィルムからある距離だけ離れた波補強構造体; を有することを特徴とするスピーカー装置。
  20. 【請求項20】 上記波補強構造体が上記ドラムの上記第2の対向端部に位
    置することを特徴とする請求項19に記載のスピーカー装置。
  21. 【請求項21】 上記波補強構造体が上記圧電フィルムから上記選択された
    周波数の1/4、1/2及び1波長からなる距離のグループから選択された、当
    該圧電フィルムからの距離に位置することを特徴とする請求項19に記載のスピ
    ーカー装置。
  22. 【請求項22】 上記波補強構造体が上記圧電フィルムからキャリヤ周波数
    の1/4、1/2及び1波長からなる距離のグループから選択された、当該圧電
    フィルムからの距離に位置することを特徴とする請求項19に記載のスピーカー
    装置。
  23. 【請求項23】 上記波補強構造体が上記圧電フィルムから共鳴周波数の1
    /4、1/2及び1波長からなる距離のグループから選択された、当該圧電フィ
    ルムからの距離に位置することを特徴とする請求項19に記載のスピーカー装置
  24. 【請求項24】 上記波補強構造体が湾曲していることを特徴とする請求項
    19に記載のスピーカー装置。
  25. 【請求項25】 上記圧電フィルムに超音波信号を供給するための超音波周
    波数発生手段と; 上記超音波信号上で変調されるべき音波信号を供給するための音波周波数発生
    手段と; 変調された音波波を伴った超音波キャリヤ波を発生させるように上記超音波周
    波数発生手段及び上記音波周波数発生手段に結合される変調手段と; 上記エミッタ板での対応する圧縮波の刺激発生のために上記キャリヤ波及び上
    記変調された音波波を上記圧電フィルムへ供給するように上記変調手段に結合さ
    れる伝達手段と; を更に有することを特徴とする請求項19に記載のスピーカー装置。
  26. 【請求項26】 亜音波、音波又は超音波の圧縮波を放出するためのスピー
    カー装置において、 外方に指向した外面及び内面を有し、上記外面と上記内面との間を延び、形状
    を有する複数の開口を有する剛直なエミッタ板を備え; 上記開口の形状が矩形及び楕円形からなり、長手軸線を有するグループから選
    択され; 機械的な応力の軸線が上記開口の形状の長手軸線に垂直となるように、上記エ
    ミッタ板の上記開口を横切って位置する薄い等方性の圧電フィルムと; 加えられる電気的な入力を提供するように上記圧電フィルムに結合される電気
    接点手段と; 上記圧電フィルムでの上記加えられる電気的な入力の変化に応答して収縮及び
    膨張できる湾曲状のエミッタ形状へと上記フィルムを膨張させて、周囲の環境内
    に圧縮波を発生させるように、上記開口において上記薄いフィルムに関して偏倚
    圧力を発生させるために上記エミッタ板に結合される圧力手段と; を更に有することを特徴とするスピーカー装置。
  27. 【請求項27】 亜音波、音波又は超音波の圧縮波を放出するためのスピー
    カー装置において、 外方に指向した外面及び内面を有し、上記外面と上記内面との間を延びる複数
    の開口を有する剛直なエミッタ板と; 上記エミッタ板の上記開口を横切って位置する薄い圧電フィルムと; 加えられる電気的な入力を提供するように上記圧電フィルムに結合される少な
    くとも2つの電極と; 上記圧電フィルムでの上記加えられる電気的な入力の変化に応答して収縮及び
    膨張できる湾曲状のエミッタ形状へと上記フィルムを膨張させて、周囲の環境内
    に圧縮波を発生させるように、上記開口において上記薄いフィルムに関して偏倚
    圧力を発生させるために上記エミッタ板に結合される圧力手段と; を有することを特徴とするスピーカー装置。
  28. 【請求項28】 上記少なくとも2つの電極が上記圧電フィルムの別個の縁
    部上に位置し、当該電極が当該圧電フィルムの別個の区域を独立的に制御するた
    めに使用できることを特徴とする請求項27に記載のスピーカー装置。
  29. 【請求項29】 上記少なくとも2つの電極が少なくとも2つの同心のリン
    グであることを特徴とする請求項27に記載のスピーカー装置。
  30. 【請求項30】 側壁と、第1及び第2の対向端部とを備えたほぼ中空のド
    ラムを更に有し、上記剛直なエミッタ板が上記ドラムの上記第1の端部に取り付
    けられ、上記内面が当該ドラムの内部空洞に向いて位置することを特徴とする請
    求項27に記載のスピーカー装置。
  31. 【請求項31】 上記圧力手段が上記開口で上記薄いフィルムに関して正の
    偏倚圧力を発生させるように上記ドラムに結合されることを特徴とする請求項2
    7に記載のスピーカー装置。
  32. 【請求項32】 上記圧電フィルムに超音波信号を供給するための超音波周
    波数発生手段と; 上記超音波信号上で変調されるべき音波信号を供給するための音波周波数発生
    手段と; 変調された音波波を伴った超音波キャリヤ波を発生させるように上記超音波周
    波数発生手段及び上記音波周波数発生手段に結合される変調手段と; 上記エミッタ板での対応する圧縮波の刺激発生のために上記キャリヤ波及び上
    記変調された音波波を上記圧電フィルムへ供給するように上記変調手段に結合さ
    れる伝達手段と; を更に有することを特徴とする請求項27に記載のスピーカー装置。
  33. 【請求項33】 亜音波、音波又は超音波の圧縮波を放出するためのスピー
    カー装置において、 剛直なエミッタ板であって、外面及び上記エミッタ板内に形成された複数のエ
    ミッタセルを有し、各上記エミッタセルが別個の圧力空洞と、上記外面を通る開
    口とを有する剛直なエミッタ板と; 上記エミッタ板の上記開口を横切って位置する薄い圧電フィルムと; 上記エミッタセルを相互接続する複数のチューブと; 加えられる電気的な入力を提供するように上記圧電フィルムに結合される電気
    接点手段と; 上記圧電フィルムでの上記加えられる電気的な入力の変化に応答して収縮及び
    膨張できる湾曲状のエミッタ形状へと上記フィルムを膨張させて、周囲の環境内
    に圧縮波を発生させるように、上記開口において上記薄い圧電フィルムに関して
    偏倚圧力を発生させるために上記複数のチューブに結合される圧力室手段と; を有することを特徴とするスピーカー装置。
  34. 【請求項34】 圧電フィルムを通してのガス移送を回避するために圧電フ
    ィルムをシールする方法において、 (a) 圧電フィルムを提供する工程と; (b) 上記圧電フィルムをシールし、ガスが当該フィルムを通過するのを阻止
    するために、該圧電フィルムの少なくとも1側上に薄いポリマーコーティングを
    接着する工程と; を有することを特徴とする方法。
  35. 【請求項35】 上記薄いポリマーコーティング及び上記圧電フィルム上に
    電極を施す工程を更に有することを特徴とする請求項34に記載の方法。
  36. 【請求項36】 上記薄いポリマーコーティングを接着する前に、上記圧電
    フィルム上に電極を施す工程を更に有することを特徴とする請求項34に記載の
    方法。
  37. 【請求項37】 上記薄いポリマーが塩化ポリビニリデン(PVDC)層で
    あることを特徴とする請求項34に記載の方法。
  38. 【請求項38】 上記圧電フィルムが2フッ化ポリビニリジエン(PVDF
    )であることを特徴とする請求項34に記載の方法。
  39. 【請求項39】 塩化ポリビニリデン(PVDC)を施す工程が更に、ブラ
    ッシング、エアブラッシング及び浸漬からなるグループから選択される工程を使
    用する工程を有することを特徴とする請求項37に記載の方法。
  40. 【請求項40】 工程(c)が更に、電気的に駆動すべきでない領域を避け
    るようにPVDC層及び上記圧電フィルム上に電極を施す工程を有することを特
    徴とする請求項34に記載の方法。
  41. 【請求項41】 亜音波、音波又は超音波の圧縮波を放出するためのスピー
    カー装置において、 外方に指向した外面及び内面を有し、上記外面と上記内面との間を延びる複数
    の開口を有する剛直なエミッタ板と; 上記エミッタ板の上記開口を横切って位置する薄い圧電フィルムと; 加えられる電気的な入力を提供するように上記圧電フィルムに結合される電気
    接点手段と; 上記圧電フィルムでの上記加えられる電気的な入力の変化に応答して収縮及び
    膨張できる湾曲状のエミッタ形状へと上記フィルムを膨張させて、周囲の環境内
    に圧縮波を発生させるように、上記開口において上記薄いフィルムに関して正の
    偏倚圧力を発生させるために上記剛直なエミッタ板に結合される圧力手段と; を有することを特徴とするスピーカー装置。
  42. 【請求項42】 上記薄い圧電フィルムが上記エミッタ板の上記開口の下で
    上記内面上に位置することを特徴とする請求項41に記載のスピーカー装置。
  43. 【請求項43】 上記圧電フィルム上の薄いポリマーコーティングを更に有
    し、上記薄いポリマーコーティングが当該圧電フィルムをシールし、圧力漏洩を
    阻止することを特徴とする請求項41に記載のスピーカー装置。
  44. 【請求項44】 上記薄いポリマーコーティングが塩化ポリビニリデレン(
    PVDC)であることを特徴とする請求項43に記載のスピーカー装置。
  45. 【請求項45】 上記圧力手段内の重不活性ガスを更に含み、上記重不活性
    ガスが上記圧電フィルムを通してのガス漏洩を減少させることを特徴とする請求
    項41に記載のスピーカー装置。
  46. 【請求項46】 上記重不活性ガスが窒素であることを特徴とする請求項4
    5に記載のスピーカー装置。
  47. 【請求項47】 上記開口が中心を有し、当該開口が、開口中心から開口中
    心まで、選択された周波数の波長の1/4ないし1/2だけ離間していることを
    特徴とする請求項41に記載のスピーカー装置。
  48. 【請求項48】 上記剛直なエミッタ板が波出力を分散させるために凸状と
    なっていることを特徴とする請求項41に記載のスピーカー装置。
  49. 【請求項49】 上記剛直なエミッタ板が波出力を合焦させるために凹状と
    なっていることを特徴とする請求項41に記載のスピーカー装置。
  50. 【請求項50】 上記開口が0.050及び0.600インチ(約1.27
    及び約15.24mm)の間の直径を有することを特徴とする請求項41に記載
    のスピーカー装置。
  51. 【請求項51】 上記圧力手段内の上記正の偏倚圧力が平方インチ当りほぼ
    0及び20ポンドの間であることを特徴とする請求項41に記載のスピーカー装
    置。
  52. 【請求項52】 上記圧電フィルムの厚さがほぼ9ミクロンであり、上記開
    口の直径がほぼ0.160インチ(約4.06mm)であり、上記正の偏倚圧力
    が平方インチ当りほぼ5ポンドであり、ほぼ35kHzの共鳴周波数が生じるこ
    とを特徴とする請求項41に記載のスピーカー装置。
  53. 【請求項53】 上記圧電フィルムの厚さがほぼ12ミクロンであり、上記
    開口の直径がほぼ0.168インチ(約4.27mm)であり、上記正の偏倚圧
    力が平方インチ当りほぼ6ポンドであり、ほぼ35kHzの共鳴周波数が生じる
    ことを特徴とする請求項41に記載のスピーカー装置。
  54. 【請求項54】 上記圧電フィルムの厚さが25ミクロンよりも小さく、上
    記開口の直径が0.600インチ(約15.24mm)よりも小さく、上記偏倚
    圧力が平方インチ当り12ポンドよりも小さく、ほぼ35kHzないし60kH
    zの共鳴周波数が生じることを特徴とする請求項41に記載のスピーカー装置。
  55. 【請求項55】 上記圧電フィルムを上記剛直なエミッタ板にクランプする
    ためのクランプ部材を更に有し、上記クランプ部材が上記エミッタ面内の上記複
    数の開口に対応する複数のクランプ開口を有することを特徴とする請求項41に
    記載のスピーカー装置。
  56. 【請求項56】 上記ドラムの内部空洞内に位置し、選択された周波数を向
    上させるために上記圧電フィルムからある距離だけ離れた波補強構造体を更に有
    することを特徴とする請求項41に記載のスピーカー装置。
  57. 【請求項57】 上記波補強構造体が上記ドラムの上記第2の対向端部に位
    置することを特徴とする請求項56に記載のスピーカー装置。
  58. 【請求項58】 上記波補強構造体が上記圧電フィルムから上記選択された
    周波数の1/4、1/2及び1波長からなる距離のグループから選択された、当
    該圧電フィルムからの距離に位置することを特徴とする請求項56に記載のスピ
    ーカー装置。
  59. 【請求項59】 上記波補強構造体が上記圧電フィルムからキャリヤ周波数
    の1/4、1/2及び1波長からなる距離のグループから選択された、当該圧電
    フィルムからの距離に位置することを特徴とする請求項56に記載のスピーカー
    装置。
  60. 【請求項60】 上記波補強構造体が上記圧電フィルムからキャリヤ周波数
    の波長の1/4に位置することを特徴とする請求項56に記載のスピーカー装置
  61. 【請求項61】 上記波補強構造体が上記圧電フィルムから共鳴周波数の1
    /4、1/2及び1波長からなる距離のグループから選択された、当該圧電フィ
    ルムからの距離に位置することを特徴とする請求項56に記載のスピーカー装置
  62. 【請求項62】 上記波補強構造体が上記圧電フィルムから共鳴周波数の波
    長の1/4に位置することを特徴とする請求項56に記載のスピーカー装置。
  63. 【請求項63】 上記波補強構造体が湾曲していることを特徴とする請求項
    56に記載のスピーカー装置。
  64. 【請求項64】 上記圧電フィルムに超音波信号を供給するための超音波周
    波数発生手段と; 上記超音波信号上で変調されるべき音波信号を供給するための音波周波数発生
    手段と; 変調された音波波を伴った超音波キャリヤ波を発生させるように上記超音波周
    波数発生手段及び上記音波周波数発生手段に結合される変調手段と; 上記エミッタ板での対応する圧縮波の刺激発生のために上記キャリヤ波及び上
    記変調された音波波を上記圧電フィルムへ供給するように上記変調手段に結合さ
    れる伝達手段と; を更に有することを特徴とする請求項41に記載のスピーカー装置。
  65. 【請求項65】 亜音波、音波又は超音波の圧縮波を放出するためのスピー
    カー装置において、 側壁と、第1及び第2の対向端部とを有するほぼ中空のドラム; 上記ドラムの上記第1の端部に取り付けられ、当該ドラムから離れるように指
    向した外面と、該ドラムの内部空洞に向いて位置する内面とを有し、上記外面と
    上記内面との間を延びる複数の開口を有する剛直なエミッタ板; 上記エミッタ板の上記開口を横切って位置する薄い圧電フィルム; 加えられる電気的な入力を提供するように上記圧電フィルムに結合される電気
    接点手段;及び 上記圧電フィルムでの上記加えられる電気的な入力の変化に応答して収縮及び
    膨張できる湾曲状のエミッタ形状へと上記フィルムを膨張させて、周囲の環境内
    に圧縮波を発生させるように、上記開口において上記薄いフィルムに関して負の
    偏倚圧力を発達させるために上記ドラムに結合される圧力手段; を有することを特徴とするスピーカー装置。
  66. 【請求項66】 上記薄い圧電フィルムが上記エミッタ板の上記開口の上方
    で上記外面上に位置することを特徴とする請求項65に記載のスピーカー装置。
  67. 【請求項67】 異なる値の少なくとも2つの超音波周波数から少なくとも
    1つの新たな音波又は亜音波周波数を間接的に発生させる装置において、 外方に指向した外面及び内面を有し、上記外面と上記内面との間を延びる複数
    の開口を有する剛直なエミッタ板と; 上記エミッタ板の上記開口を横切って位置する薄い圧電フィルムと; 上記圧電フィルムでの加えられる電気的な入力の変化に応答して収縮及び膨張
    できる湾曲状のエミッタ形状へと上記フィルムを膨張させて、周囲の環境内に圧
    縮波を発生させるように、上記開口において上記薄いフィルムに関して偏倚圧力
    を発生させるために上記エミッタ板に結合される圧力手段と; 上記複数の開口及び関連する湾曲状のエミッタ素子において振動応答を発生さ
    せるように上記圧電フィルムに結合される電気接点手段と; を有し、上記振動が、(i)第1の超音波周波数、及び、(ii)音波帯域幅内で
    差周波数を伝播するように上記第1の超音波周波数と相互作用を行う第2の超音
    波周波数を同時に伝播するための超音波周波数エミッタとして作動することを特
    徴とする装置。
  68. 【請求項68】 上記電気接点手段が入力超音波周波数及び音波周波数の変
    調された出力として上記第1及び第2の超音波周波数を発生させるための電気信
    号を供給するように膜に結合される変調手段を有し、当該第1及び第2の超音波
    周波数が上記少なくとも1つの新たな音波又は亜音波周波数に等しい値の差を有
    することを特徴とする請求項67に記載の装置。
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