JP2003510616A - センサ及び評価ユニットを有するx線検出器 - Google Patents
センサ及び評価ユニットを有するx線検出器Info
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- JP2003510616A JP2003510616A JP2001527241A JP2001527241A JP2003510616A JP 2003510616 A JP2003510616 A JP 2003510616A JP 2001527241 A JP2001527241 A JP 2001527241A JP 2001527241 A JP2001527241 A JP 2001527241A JP 2003510616 A JP2003510616 A JP 2003510616A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01T—MEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
- G01T1/00—Measuring X-radiation, gamma radiation, corpuscular radiation, or cosmic radiation
- G01T1/16—Measuring radiation intensity
- G01T1/17—Circuit arrangements not adapted to a particular type of detector
Abstract
(57)【要約】
本発明は、入射X線を電荷パルスに変換する変換素子をそれぞれ有する複数のX線感応センサより成るアレイと、前記変換素子に電気接続され、前記電荷パルスを受けて評価する評価ユニットとを具えるX線検出器に関する。大きなダイナミックレンジに亙る直線性を高めるとともに、最大計数速度を高め、しかもX線量子の多重計数により計算画像に誤りを導入するのを回避しうるX線検出器を形成するために、評価ユニットに電流/周波数変換器(2)と、この電流/周波数変換器に電気接続された電子カウンタ(3)とを設け、前記電荷パルスが前記変換素子から電流/周波数変換器の入力端(4)に供給され、この電流/周波数変換器の出力パルスが前記電子カウンタに供給されるようにする。
Description
【0001】
本発明は、入射X線を電荷パルスに変換する変換素子をそれぞれ有する複数の
X線感応センサより成るアレイと、前記変換素子に電気接続され、前記電荷パル
スを受けて評価する評価ユニットとを具えるX線検出器に関するものである。
X線感応センサより成るアレイと、前記変換素子に電気接続され、前記電荷パル
スを受けて評価する評価ユニットとを具えるX線検出器に関するものである。
【0002】
X線感応センサのアレイが設けられたX線検出器は、特に医療診断の分野に用
いられている。通常のコンピュータトモグラフィー(CT)装置では、X線管と
一列のセンサとを有する回転装置により、患者の体の軸線に対し直角に延在する
平面内で種々の方向から患者に照射が行なわれる。各投射に対し一組のデータが
得られ、最終的に全ての投射のこれらデータ組から二次元の断面画像が計算され
る。センサが行及び列に配置されたいわゆるセンサマトリックスが設けられた、
より高機能のコンピュータトモグラフィー装置も既知である。この種類のX線検
出器は、工業分野や、セキュリティー分野、例えば、手荷物検査に用いることが
できる。
いられている。通常のコンピュータトモグラフィー(CT)装置では、X線管と
一列のセンサとを有する回転装置により、患者の体の軸線に対し直角に延在する
平面内で種々の方向から患者に照射が行なわれる。各投射に対し一組のデータが
得られ、最終的に全ての投射のこれらデータ組から二次元の断面画像が計算され
る。センサが行及び列に配置されたいわゆるセンサマトリックスが設けられた、
より高機能のコンピュータトモグラフィー装置も既知である。この種類のX線検
出器は、工業分野や、セキュリティー分野、例えば、手荷物検査に用いることが
できる。
【0003】
入射X線を電荷パルスに変換するには、直接変換式の変換素子又はホトダイオ
ードと関連するシンチレーターより成る変換素子が適している。直接変換式のセ
ンサは、構造が簡単で、同時に空間解像度が高いという特徴を有している。これ
らのセンサは、例えば、CdZnTe又はPbOのような重く吸光性に適した半導体材料
を以て構成されている。ホトダイオードと関連するシンチレーターを用いる場合
には、シンチレーターの発光特性を用いて、X線をまず最初に低エネルギーで、
特に可視の放射に変換し、その後この放射がホトダイオード中に電荷パルスを生
ぜしめるようにする。
ードと関連するシンチレーターより成る変換素子が適している。直接変換式のセ
ンサは、構造が簡単で、同時に空間解像度が高いという特徴を有している。これ
らのセンサは、例えば、CdZnTe又はPbOのような重く吸光性に適した半導体材料
を以て構成されている。ホトダイオードと関連するシンチレーターを用いる場合
には、シンチレーターの発光特性を用いて、X線をまず最初に低エネルギーで、
特に可視の放射に変換し、その後この放射がホトダイオード中に電荷パルスを生
ぜしめるようにする。
【0004】
このようなX線検出器に対しては、いわゆる積分センサか或いはいわゆる計数
センサの何れかが用いられている。積分センサの評価ユニットは、変換素子から
の電荷パルスを規定の積分時間(フレーム時間)に亙って積分する。積分時間の
終了時に積分された電荷量が、X線量子により変換素子中に堆積されるエネルギ
ーの目安を構成する。計数センサは、各量子中に含まれるX線のエネルギーにか
かわらず、各変換素子中に吸収される各X線量子を個々に計数する。この目的の
ために、規則的な時間間隔で、変換素子により発生される各電荷パルスを、信号
形成増幅器及び比較器によりデジタルパルスに変換し、このデジタルパルスを電
子カウンタにより計数する。計数期間(フレーム時間)の終了時における計数値
が、計数期間中に変換素子内に吸収されるX線量子数の目安を構成する。
センサの何れかが用いられている。積分センサの評価ユニットは、変換素子から
の電荷パルスを規定の積分時間(フレーム時間)に亙って積分する。積分時間の
終了時に積分された電荷量が、X線量子により変換素子中に堆積されるエネルギ
ーの目安を構成する。計数センサは、各量子中に含まれるX線のエネルギーにか
かわらず、各変換素子中に吸収される各X線量子を個々に計数する。この目的の
ために、規則的な時間間隔で、変換素子により発生される各電荷パルスを、信号
形成増幅器及び比較器によりデジタルパルスに変換し、このデジタルパルスを電
子カウンタにより計数する。計数期間(フレーム時間)の終了時における計数値
が、計数期間中に変換素子内に吸収されるX線量子数の目安を構成する。
【0005】
例えば、ドイツ国特許公開第19703428号明細書には、列又はマトリックスに配
置され、入射X線量子を個々に、従って、デジタル的に検出しうるセンサを有す
るX線検出器が開示されている。各センサは、個別に読取りを行ないうる変換素
子を有する。この目的のために、変換素子が前置増幅器に容量結合され、この前
置増幅器が評価ユニットに接続されている。この評価ユニットは、少なくとも1
つの積分器と1つのカウンタとを有し、このカウンタが積分器の出力端から生ぜ
しめられる電荷パルスを計数する。評価ユニットは、計数した電荷パルス数を各
検出器素子(変換素子)に対し記憶するデジタル記憶装置をも有している。
置され、入射X線量子を個々に、従って、デジタル的に検出しうるセンサを有す
るX線検出器が開示されている。各センサは、個別に読取りを行ないうる変換素
子を有する。この目的のために、変換素子が前置増幅器に容量結合され、この前
置増幅器が評価ユニットに接続されている。この評価ユニットは、少なくとも1
つの積分器と1つのカウンタとを有し、このカウンタが積分器の出力端から生ぜ
しめられる電荷パルスを計数する。評価ユニットは、計数した電荷パルス数を各
検出器素子(変換素子)に対し記憶するデジタル記憶装置をも有している。
【0006】
計数センサを有する既知のX線検出器には、前置増幅器、評価ユニットの他の
部分(例えば、比較器)又は変換素子のむだ(不感)時間効果により計数速度が
制限されるという欠点がある。従って、各変換素子に対して期待すべきX線量子
流を、関連のセンサが依然として個別にX線量子を検出しうる最大計数速度より
も少なくなるようにする必要がある。この目的のためには、ドイツ国特許公開第
19703428号明細書によれば、個々の検出器素子の表面積を、量子流が最大計数速
度よりも少なくなる程度に小さく選択する必要がある。更に、既知のX線検出器
では、隣り合う変換素子間にクロストークが生じる。従って、X線量子が数個の
センサで計数される為、結果が誤ったものとなるおそれがある。計数センサが設
けられたX線検出器には、ダイナミックレンジが大きくなるとともに、全ダイナ
ミックレンジに亙る評価ユニットの直線性が優れたものとなるという利点が得ら
れることに注意すべきである。
部分(例えば、比較器)又は変換素子のむだ(不感)時間効果により計数速度が
制限されるという欠点がある。従って、各変換素子に対して期待すべきX線量子
流を、関連のセンサが依然として個別にX線量子を検出しうる最大計数速度より
も少なくなるようにする必要がある。この目的のためには、ドイツ国特許公開第
19703428号明細書によれば、個々の検出器素子の表面積を、量子流が最大計数速
度よりも少なくなる程度に小さく選択する必要がある。更に、既知のX線検出器
では、隣り合う変換素子間にクロストークが生じる。従って、X線量子が数個の
センサで計数される為、結果が誤ったものとなるおそれがある。計数センサが設
けられたX線検出器には、ダイナミックレンジが大きくなるとともに、全ダイナ
ミックレンジに亙る評価ユニットの直線性が優れたものとなるという利点が得ら
れることに注意すべきである。
【0007】
上述した従来技術に基づき、本発明の目的は、最大計数速度が大きくなるとと
もに直線性が、大きなダイナミックレンジに亙って高くなり、X線量子の多重計
数により計算画像が誤ったものとなるのを回避した、前述した種類のX線検出器
を提供せんとするにある。
もに直線性が、大きなダイナミックレンジに亙って高くなり、X線量子の多重計
数により計算画像が誤ったものとなるのを回避した、前述した種類のX線検出器
を提供せんとするにある。
【0008】
この目的は、電荷パルスに含まれる電荷量の合計Qを固定電荷量Q1 の単位で
計数するという着想、すなわち、変換素子における個々のX線量子により発生さ
れる各電荷パルスを計数せずに、その電荷量にかかわらず、各固定電荷量Q1 に
対し正確に1つの出力パルスを発生させるという着想を基に達成する。
計数するという着想、すなわち、変換素子における個々のX線量子により発生さ
れる各電荷パルスを計数せずに、その電荷量にかかわらず、各固定電荷量Q1 に
対し正確に1つの出力パルスを発生させるという着想を基に達成する。
【0009】
より一層明瞭に言えば、本発明の目的は、前記評価ユニットが、電流/周波数
変換器と、この電流/周波数変換器に電気接続された電子カウンタとを有し、前
記電荷パルスが前記変換素子から電流/周波数変換器の入力端に供給され、この
電流/周波数変換器の出力パルスが前記電子カウンタに供給されるようにするこ
とにより達成する。アナログ測定量を周波数変調信号に変換することは、信号伝
送技術、特に、物理的な測定技術から既知であり、信号の伝送中の妨害に対する
イミュニティを高めたい場合に適用されている。この場合、アナログ測定量、こ
の場合電荷パルスを周波数変調信号に変換するのは、第1に、本発明とは完全に
異なる目的で、すなわち、計数センサが設けられている既知のX線検出器の欠点
を排除する目的で行なわれている。
変換器と、この電流/周波数変換器に電気接続された電子カウンタとを有し、前
記電荷パルスが前記変換素子から電流/周波数変換器の入力端に供給され、この
電流/周波数変換器の出力パルスが前記電子カウンタに供給されるようにするこ
とにより達成する。アナログ測定量を周波数変調信号に変換することは、信号伝
送技術、特に、物理的な測定技術から既知であり、信号の伝送中の妨害に対する
イミュニティを高めたい場合に適用されている。この場合、アナログ測定量、こ
の場合電荷パルスを周波数変調信号に変換するのは、第1に、本発明とは完全に
異なる目的で、すなわち、計数センサが設けられている既知のX線検出器の欠点
を排除する目的で行なわれている。
【0010】
本発明による装置では、個々の電荷パルスをもはや計数しない為、単一のパル
ス評価の場合に前置増幅器及びパルス整形増幅器の双方又はいずれか一方の為に
通常生じるむだ時間がもはや存在しない。本発明によれば、ダイナミックレンジ
の直線性又は大きさを制限することなく、X線検出器の動作を高い計数速度にし
うる。
ス評価の場合に前置増幅器及びパルス整形増幅器の双方又はいずれか一方の為に
通常生じるむだ時間がもはや存在しない。本発明によれば、ダイナミックレンジ
の直線性又は大きさを制限することなく、X線検出器の動作を高い計数速度にし
うる。
【0011】
更に、本発明による装置では、X線量子の多重計数が回避される。確かに、X
線量子が前述したように隣接の変換素子において依然として電荷パルスを発生す
るおそれがある。しかし、これらの電荷パルスはもはや計数期間の終了時におけ
る計数に誤った影響を及ぼさない。その理由は、変換素子からの各電荷量Qは、
この電荷量Qが固定電荷量Q1 となった場合のみデジタルパルスを発生する為で
ある。従って、X線量子により発生される電荷パルスが隣接の変換素子間にまた
がる場合、隣接のセンサの電流/周波数変換器は少量の電荷しか受けず、各セン
サにおいて計数パルスを発生させるのに必要とする電荷量Q1 には後にしか到達
しない。
線量子が前述したように隣接の変換素子において依然として電荷パルスを発生す
るおそれがある。しかし、これらの電荷パルスはもはや計数期間の終了時におけ
る計数に誤った影響を及ぼさない。その理由は、変換素子からの各電荷量Qは、
この電荷量Qが固定電荷量Q1 となった場合のみデジタルパルスを発生する為で
ある。従って、X線量子により発生される電荷パルスが隣接の変換素子間にまた
がる場合、隣接のセンサの電流/周波数変換器は少量の電荷しか受けず、各セン
サにおいて計数パルスを発生させるのに必要とする電荷量Q1 には後にしか到達
しない。
【0012】
例えば、CdTe、CdZnTe、GaAs、HgI2 、PbI、PbO、TlBr、InSb、Si、Ge又は
Seより成る直接変換用の変換素子は、これらの構造がコンパクトで簡単である為
に、本発明の実施例に用いて有利である。これらの材料のあるものは、時間的に
比較的広い電荷パルスを生じる。従って、これらの材料を含む変換素子では、X
線照射が強い場合に、順次の電荷パルスがしばしば重なり合ってしまう。このよ
うな重なり合いによると、通常の計数センサにおいては、計数結果が失われてし
まうが、本発明による装置では、全ての電荷パルス及びこれらの関連の電荷量Q
は正しく検出される。
Seより成る直接変換用の変換素子は、これらの構造がコンパクトで簡単である為
に、本発明の実施例に用いて有利である。これらの材料のあるものは、時間的に
比較的広い電荷パルスを生じる。従って、これらの材料を含む変換素子では、X
線照射が強い場合に、順次の電荷パルスがしばしば重なり合ってしまう。このよ
うな重なり合いによると、通常の計数センサにおいては、計数結果が失われてし
まうが、本発明による装置では、全ての電荷パルス及びこれらの関連の電荷量Q
は正しく検出される。
【0013】
本発明の他の例では、前記電流/周波数変換器と前記電子カウンタとの双方又
はいずれか一方にリセット入力端を設ける。電流/周波数変換器のリセット入力
端は、前の計数期間からの残留電荷がこれに続く計数期間中の測定に影響を及ぼ
さないようにするものである。
はいずれか一方にリセット入力端を設ける。電流/周波数変換器のリセット入力
端は、前の計数期間からの残留電荷がこれに続く計数期間中の測定に影響を及ぼ
さないようにするものである。
【0014】
カウンタを帰還型シフトレジスタとして構成すると、その構造がコンパクトで
あるために、集積化密度を高くすることができ、このように集積化密度を高くす
るのは、特に、センサをマトリックス配置したX線検出器の場合に必要である。
帰還型シフトレジスタに対しては、「Nucl. Instr. and Meth.」A405(1998)の第
53〜59頁の論文“A counting pixel readout chip for imaging applications”
(P. Fischer等著)を参照しうる。
あるために、集積化密度を高くすることができ、このように集積化密度を高くす
るのは、特に、センサをマトリックス配置したX線検出器の場合に必要である。
帰還型シフトレジスタに対しては、「Nucl. Instr. and Meth.」A405(1998)の第
53〜59頁の論文“A counting pixel readout chip for imaging applications”
(P. Fischer等著)を参照しうる。
【0015】
変換素子は互いに個別の構造にしうるも、少なくともセンサの関連の評価ユニ
ットを有する集積回路の一部として構成するのが好ましい。センサより成る1つ
のマトリックスはこのような集積回路の1つ以上を以て構成しうる。(例えば、
Si‐PINダイオードはシリコン集積回路内に集積化し、GaAs変換素子はGaAs集
積回路内に集積化し、CdZnTe変換素子はシリコン集積回路内に集積化した。)
ットを有する集積回路の一部として構成するのが好ましい。センサより成る1つ
のマトリックスはこのような集積回路の1つ以上を以て構成しうる。(例えば、
Si‐PINダイオードはシリコン集積回路内に集積化し、GaAs変換素子はGaAs集
積回路内に集積化し、CdZnTe変換素子はシリコン集積回路内に集積化した。)
【0016】
本発明の有利な例では、X線検出器の暗電流を補償するために、各電流/周波
数変換器の入力端に追加の可調整電流源を接続する。
数変換器の入力端に追加の可調整電流源を接続する。
【0017】
次に、図面を参照して本発明を詳細に説明する。
図1は本発明によるX線検出器の評価ユニットを示すブロック線図であり、こ
の評価ユニット1は、電流/周波数変換器2と、カウンタ3とを有する。電流/
周波数変換器2の入力端4には変換素子(図1に図示せず)から電荷パルスが供
給され、この電流/周波数変換器は、規定の電荷Qi が入力端4を経て供給され
るとデジタルパルスを生じる。電流/周波数変換器2のデジタルパルス列はその
出力端5から導電ライン6を経てカウンタ3に伝達される。このカウンタ3の内
容は、例えば、直列又は並列デジタルインターフェイスを介して下流の回路に供
給することができる。電流/周波数変換器2及びカウンタ3には、リセットの目
的のためのリセット入力端7及び8が設けられている。
の評価ユニット1は、電流/周波数変換器2と、カウンタ3とを有する。電流/
周波数変換器2の入力端4には変換素子(図1に図示せず)から電荷パルスが供
給され、この電流/周波数変換器は、規定の電荷Qi が入力端4を経て供給され
るとデジタルパルスを生じる。電流/周波数変換器2のデジタルパルス列はその
出力端5から導電ライン6を経てカウンタ3に伝達される。このカウンタ3の内
容は、例えば、直列又は並列デジタルインターフェイスを介して下流の回路に供
給することができる。電流/周波数変換器2及びカウンタ3には、リセットの目
的のためのリセット入力端7及び8が設けられている。
【0018】
図2に示す可能な電流/周波数変換器2の一般的な回路線図では、機能を説明
するために、演算増幅器、抵抗、キャパシタ及びスイッチの記号を用いている。
しかし実際には、これらの構成素子は、例えば、CMOS技術で集積化されてい
る。符号2で全体を示している電流/周波数変換器は、演算増幅器OA1より成
る第1段を有している。この第1段は、組込み放電抵抗RA を有する積分器を表
わす。
するために、演算増幅器、抵抗、キャパシタ及びスイッチの記号を用いている。
しかし実際には、これらの構成素子は、例えば、CMOS技術で集積化されてい
る。符号2で全体を示している電流/周波数変換器は、演算増幅器OA1より成
る第1段を有している。この第1段は、組込み放電抵抗RA を有する積分器を表
わす。
【0019】
電流/周波数変換器の第2段は、図2に示すような回路線図の演算増幅器OA
2、OA3及びOA4より成っており、これを以下に詳細に説明する。キャパシ
タCB を有する積分用演算増幅器OA2の積分方向は、演算増幅器OA3と抵抗
RD 及びRE とより成るシュミットトリガ回路により制御される。演算増幅器O
A3の出力電圧が正である間、スイッチSが閉じる為、演算増幅器OA2の積分
方向は、電圧インバータとして接続され2つの抵抗RC を有する演算増幅器OA
4を介して、スイッチSが開放している場合の積分方向に比べて反転される。電
圧/周波数変換器(第2段)に対する同様な回路配置は従来から既知である(例
えば、1989年にCambridge University Pressにより発行されたP.Horowitz及びW.
Hill氏著“The art of electronics”参照)。
2、OA3及びOA4より成っており、これを以下に詳細に説明する。キャパシ
タCB を有する積分用演算増幅器OA2の積分方向は、演算増幅器OA3と抵抗
RD 及びRE とより成るシュミットトリガ回路により制御される。演算増幅器O
A3の出力電圧が正である間、スイッチSが閉じる為、演算増幅器OA2の積分
方向は、電圧インバータとして接続され2つの抵抗RC を有する演算増幅器OA
4を介して、スイッチSが開放している場合の積分方向に比べて反転される。電
圧/周波数変換器(第2段)に対する同様な回路配置は従来から既知である(例
えば、1989年にCambridge University Pressにより発行されたP.Horowitz及びW.
Hill氏著“The art of electronics”参照)。
【0020】
評価ユニットの入力端4に瞬時t=0で瞬時的な電荷パルスQm が現れると、
演算増幅器OA1の出力端における出力電圧は、 Uaus =(Qm /CA )e−t/τ となる。ここに、特性時定数τは、 τ=RA CA である。
演算増幅器OA1の出力端における出力電圧は、 Uaus =(Qm /CA )e−t/τ となる。ここに、特性時定数τは、 τ=RA CA である。
【0021】
更に概して言えば、任意の形状で電荷量Qを有する各電荷パルスが演算増幅器
OA1で電圧変化に変換される。この電圧変化に亙る積分は電荷パルスの電荷量
Qに比例する。抵抗RA 及びキャパシタCA により規定される時定数τは計数期
間(フレーム時間)よりもかなり短く選択することが重要である。さもないと、
1計数期間の電荷パルスが次の計数期間の計数に誤りを導入するおそれがある為
である。
OA1で電圧変化に変換される。この電圧変化に亙る積分は電荷パルスの電荷量
Qに比例する。抵抗RA 及びキャパシタCA により規定される時定数τは計数期
間(フレーム時間)よりもかなり短く選択することが重要である。さもないと、
1計数期間の電荷パルスが次の計数期間の計数に誤りを導入するおそれがある為
である。
【0022】
本発明によれば、入力端4に存在する電荷パルスの電荷量Qが、電流/周波数
変換器2の出力端におけるデジタルパルスに正確に一致する、前に規定された電
荷値Q1 となる場合のみ、この電流/周波数変換器2がデジタルパルスを発生す
る。
変換器2の出力端におけるデジタルパルスに正確に一致する、前に規定された電
荷値Q1 となる場合のみ、この電流/周波数変換器2がデジタルパルスを発生す
る。
【0023】
図2に示す回路配置の場合、この電荷量Q1 は以下の式に応じて計算される。
Q1 =8UT CB RB /RA
ここに、UT =Umax RE /(RD +RE )はシュミットトリガ回路のスイッチ
ングしきい値を表わす。この計算に対しては、演算増幅器OA3に対し+/−U max の対称的な出力電圧を仮定した。
ングしきい値を表わす。この計算に対しては、演算増幅器OA3に対し+/−U max の対称的な出力電圧を仮定した。
【図1】 本発明によるX線検出器の評価ユニットを示すブロック線図である。
【図2】 図1に示す評価ユニットの電流/周波数変換器の可能な回路配置を示
す。
す。
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フロントページの続き
(72)発明者 ヨセフ ローター
オランダ国 5656 アーアー アインドー
フェン プロフ ホルストラーン 6
(72)発明者 ヴァルター リュッテン
オランダ国 5656 アーアー アインドー
フェン プロフ ホルストラーン 6
Fターム(参考) 2G088 EE02 FF02 GG19 JJ05 KK11
Claims (8)
- 【請求項1】 入射X線を電荷パルスに変換する変換素子をそれぞれ有する複数
のX線感応センサより成るアレイと、前記変換素子に電気接続され、前記電荷パ
ルスを受けて評価する評価ユニットとを具えるX線検出器において、 前記評価ユニットが、電流/周波数変換器と、この電流/周波数変換器に電気
接続された電子カウンタとを有し、前記電荷パルスが前記変換素子から電流/周
波数変換器の入力端に供給され、この電流/周波数変換器の出力パルスが前記電
子カウンタに供給されるようになっていることを特徴とするX線検出器。 - 【請求項2】 請求項1に記載のX線検出器において、このX線検出器が直接変
換式の変換素子を有していることを特徴とするX線検出器。 - 【請求項3】 請求項1に記載のX線検出器において、このX線検出器が、ホト
ダイオードと関連するシンチレーターより成る変換素子を有していることを特徴
とするX線検出器。 - 【請求項4】 請求項1〜3のいずれか一項に記載のX線検出器において、前記
電流/周波数変換器と前記電子カウンタとの双方又はいずれか一方にリセット入
力端が設けられていることを特徴とするX線検出器。 - 【請求項5】 請求項1〜4のいずれか一項に記載のX線検出器において、前記
電子カウンタが、帰還型シフトレジスタとして構成されていることを特徴とする
X線検出器。 - 【請求項6】 請求項1〜5のいずれか一項に記載のX線検出器において、複数
の変換素子の各々がこれと関連する評価ユニットと相俟って少なくとも1つの集
積回路の一部を構成していることを特徴とするX線検出器。 - 【請求項7】 請求項1〜6のいずれか一項に記載のX線検出器において、各電
流/周波数変換器の入力端に、追加の可調整電流源が接続されていることを特徴
とするX線検出器。 - 【請求項8】 請求項1〜7のいずれか一項に記載のX線検出器を、特にコンピ
ュータトモグラフィー装置とするのが好ましいX線診断装置に用いるX線検出器
の使用方法。
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