JP2003348696A - エレクトレットコンデンサマイクロホン - Google Patents

エレクトレットコンデンサマイクロホン

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JP2003348696A JP2002154822A JP2002154822A JP2003348696A JP 2003348696 A JP2003348696 A JP 2003348696A JP 2002154822 A JP2002154822 A JP 2002154822A JP 2002154822 A JP2002154822 A JP 2002154822A JP 2003348696 A JP2003348696 A JP 2003348696A
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electrode film
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陽久 田辺
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虎星 高山
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来のエレクトレット材フィルムを振動膜と
するエレクトレットコンデンサマイクロホンでは浮遊容
量の発生を防止して検出感度を高めることが困難であっ
た。 【解決手段】 支持枠と該支持枠に固着されたエレクト
レット材フィルムからなる振動膜と該振動膜上に形成さ
れた電極膜とを有する振動膜ユニットと、前記電極膜に
対向する固定電極とを有するエレクトレットコンデンサ
マイクロホンにおいて、前記振動膜ユニットにおける電
極膜の面積が前記振動膜の動作可能面積と略等しい大き
さになるように構成した。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する分野】本発明は電極膜を形成したエレク
トレット材フィルムを振動膜ユニットとして構成したエ
レクトレットコンデンサマイクロホンに関し、特にマイ
クロホン部の浮遊容量を減少させることで、検出感度を
高めることが可能なエレクトレットコンデンサマイクロ
ホンに関する。
【0002】
【従来の技術】従来の電極膜を形成したエレクトレット
材フィルムを振動膜ユニットとして構成したエレクトレ
ットコンデンサマイクロホンは例えば特開昭61−24
7200号に開示されており、以下図3と図4により説
明する。図3は従来例を示すエレクトレットコンデンサ
マイクロホンの断面図、図4は図3における振動膜ユニ
ットの分解斜視図であり、100はエレクトレットコン
デンサマイクロホン、110は金属ケースであり、前面
側に音響孔110a、内面側に固定電極110bを有す
る。
【0003】120は振動膜ユニットであり、電極膜1
30を有するエレクトレット材フィルムからなる振動膜
140を金属製の支持枠150に固着して構成されてい
る。そして前記金属ケース110と前記振動膜ユニット
120とをスペーサ160を介して積層配置することに
より、前記電極膜130と固定電極110bとによって
エレクトレットコンデンサマイクロホン100が構成さ
れる。170は回路基板でありこの回路基板170には
前記エレクトレットコンデンサマイクロホン100の検
出信号を処理するための電子エレメント180a、18
0bが実装されている。190は前記マイクロホンの出
力信号を外部に取り出す出力電極である。
【0004】上記構成を有するエレクトレットコンデン
サマイクロホン100の動作は、表面に電極膜130を
有し、エレクトレット材フィルムからなる振動膜140
と、固定電極110bの機能を有する前記金属ケース1
10の内面側とがスペーサ160を挟んでコンデンサを
形成する。そして前記金属ケース110の音響孔110
aより加えられる空気の振動により前記振動膜140が
変位すると、前記コンデンサがこの変位を電気信号に変
換し、この電気信号が回路基板170に導かれ、電子エ
レメント180a,180bで処理された後に回路基板
170の裏面に導出された出力電極190より出力され
る。
【0005】前記エレクトレットコンデンサマイクロホ
ン100の動作において、振動膜ユニット120は金属
性の支持枠150を介して回路基板170と電気的に接
続され、固定電極110bは金属ケース110を介して
回路基板170と電気的に接続される。図4は図3にお
ける振動膜ユニット120の分解斜視図であり、全面に
電極膜130が形成された振動膜140を、前記電極膜
130を下にして支持枠150に固着することにより、
前記振動膜ユニット120が構成される。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】図3に示す従来例のエ
レクトレットコンデンサマイクロフホン100は、前記
振動膜ユニット120を構成する電極膜130と振動膜
140との面積が略同じサイズであるため、前記固定電
極110bと前記振動膜ユニット120を構成する電極
膜130とによって形成される容量(コンデンサ)が前
記振動膜140の動作可能領域140aによって形成さ
れる有効容量と、振動膜140が支持枠150によって
拘束された非動作領域140bによって形成される浮遊
容量との合成容量となる。
【0007】すなわち、前記エレクトレットコンデンサ
マイクロホン100の感度が固定電極110bと振動膜
140とによって形成される全容量と、前記振動膜14
0の動作可能領域140a(図4に示す支持枠150の
空洞部150bに対応する部分)によって形成される有
効容量との比によって決まることを考慮すると、前記振
動膜140の非動作領域140b(図4に示す支持枠1
50の枠部150aに対応する部分)によって形成され
る浮遊容量が多いほど前記エレクトレットコンデンサマ
イクロホン100としての感度が低下するという問題が
ある。
【0008】本発明は上記事情に鑑みなされたもので、
感度を低下させるこのないエレクトレットコンデンサマ
イクロホンを提供することを目的としている。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明は上記問題を解決
するため、支持枠に固着されたエレクトレット材フィル
ムからなる振動膜、該振動膜上に形成された電極膜を有
する振動膜ユニットと、前記電極膜に対向する対向電極
とを有するエレクトレットコンデンサマイクロホンにお
いて、前記振動膜ユニットにおける電極膜の面積を前記
振動膜の動作可能面積と略等しい大きさとした。
【0010】前記振動膜ユニットにおける電極膜の面積
を前記支持枠の内側の面積と略等しいか、又は支持枠の
内側の面積より小さくした。さらに、前記対向電極を前
記ケースの一部とした。
【0011】
【発明の実施の形態】図1は本発明におけるエレクトレ
ットコンデンサマイクロホンの断面図、図2は図1にお
ける振動膜ユニットの分解斜視図であり、10はエレク
トレットコンデンサマイクロホン、11は金属ケースで
あり、前面側に音響孔11a、内面側に固定電極11b
を有する。
【0012】12は振動膜ユニットであり、電極膜13
を有するエレクトレット材フィルムからなる振動膜14
を絶縁性の支持枠15に固着して構成されている。そし
て前記金属ケース11と前記振動膜ユニット12とをス
ペーサ16を介して積層配置することにより、前記電極
膜13と固定電極11bとによってエレクトレットコン
デンサマイクロホン10が構成される。17は回路基板
でありこの回路基板17には前記エレクトレットコンデ
ンサマイクロホン10の検出信号を処理するための電子
エレメント18a、18bが実装されている。19は前
記マイクロホンの出力信号を外部に取り出す出力電極で
ある。
【0013】図2は図1における振動膜ユニット12の
分解斜視図であり、前記支持枠15は樹脂等の絶縁材料
によって形成され、枠部15aの一部を貫通して導通電
極15cが設けられている。又前記振動膜14には前記
支持枠15の空洞部15bと略等しいか、又は少し小さ
い面積の電極膜13が形成され、さらに前記電極膜13
と電気的に接続された接続電極13aが前記支持枠15
の導通電極15cに対応した位置に形成されている。
【0014】そして、前記振動膜14を、前記電極膜1
3を下にして支持枠15に固着することにより前記振動
膜ユニット12が構成され、前記電極膜13は接続電極
13a、導通電極15cを介して前記回路基板17と電
気的に接続され、そして前記固定電極11bは金属ケー
ス11を介して回路基板17と電気的に接続される。
【0015】エレクトレットコンデンサマイクロホン1
0の基本的動作は前記エレクトレットコンデンサマイク
ロホン100と同じなので、重複する説明は省略する
が、エレクトレットコンデンサマイクロホン10がエレ
クトレットコンデンサマイクロホン100と異なるとこ
ろは、図1に示すごとく、前記振動膜ユニット12を構
成する振動膜14の動作可能領域14a(図2に示す支
持枠15の空洞部15bに対応する部分)にのみ電極膜
13が形成され、振動膜14の非動作領域14b(図2
に示す支持枠15の枠部15aに対応する部分)には電
極膜13が形成されていないことと、支持枠15が絶縁
部材で形成されていることである。
【0016】本発明のエレクトレットコンデンサマイク
ロホン10は上記従来例との構成の違いにより、前記振
動膜ユニット12を構成する振動膜14の非動作領域1
4bには金属部材が存在せず(電極膜13が形成され
ず、また支持枠15が絶縁部材)、この非動作領域14
bの部分に浮遊容量が存在しなくなるため、マイクロホ
ンとしての感度低下を改善することが出来る。
【0017】なお、前記振動膜14に対する電極膜13
と接続電極13aの形成はマスクを用いて同時に行うこ
とが出来るし、又支持枠15における導通電極15cの
形成は空洞部15bの内壁を通して枠部15aの上下面
に導電塗料を印刷する等の方法で行うことが出来る。
【0018】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、振
動膜ユニットを構成する支持枠を絶縁材で形成するとと
もに、エレクトレット材フィルムからなる振動膜に形成
する電極膜の面積を前記振動膜の動作可能面積と略等し
い大きさにすることにより、コンデンサマイクロホンの
感度低下を改善し、音響特性の優れたエレクトレットコ
ンデンサマイクロホンを提供することが可能となった。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のエレクトレットコンデンサマイクロホ
ンの実施の形態の断面図である。
【図2】図1のエレクトレットコンデンサマイクロホン
を構成する振動膜ユニットの分解斜視図である。
【図3】従来のエレクトレットコンデンサマイクロホン
の断面図である。
【図4】図3のエレクトレットコンデンサマイクロホン
を構成する振動膜ユニットの分解斜視図である。
【符号の説明】
10、100 エレクトレットコンデンサマイクロホ
ン 11、110 金属ケース 12、120 振動膜ユニット 13、130 電極膜 14、140 振動膜 14a、140a 振動可能領域 14b、140b 非振動領域 15、150 支持枠 16、160 スペーサ 17、170 回路基板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 高山 虎星 東京都町田市成瀬2206番地 株式会社オー ディオテクニカ内 Fターム(参考) 5D021 CC03 CC07 CC12

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 支持枠と該支持枠に固着されたエレクト
    レット材フィルムからなる振動膜と該振動膜上に形成さ
    れた電極膜とを有する振動膜ユニットと、前記電極膜に
    対向する固定電極とを有するエレクトレットコンデンサ
    マイクロホンにおいて、前記振動膜ユニットにおける電
    極膜の面積が前記振動膜の動作可能面積と略等しい大き
    さであることを特徴とするエレクトレットコンデンサマ
    イクロホン。
  2. 【請求項2】 前記振動膜ユニットにおける電極膜の面
    積が支持枠の内側の面積と略等しいことを特徴とする請
    求項1記載のエレクトレットコンデンサマイクロホン。
  3. 【請求項3】 前記振動膜ユニットにおける電極膜の面
    積が支持枠の内側の面積より小さいことを特徴とする請
    求項1記載のエレクトレットコンデンサマイクロホン。
  4. 【請求項4】 前記固定電極がケースの一部である請求
    項1〜3のいずれか1項記載のエレクトレットコンデン
    サマイクロホン。
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