JP2003347739A - 多層回路板及びその製造方法 - Google Patents

多層回路板及びその製造方法

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Abstract

(57)【要約】 【課題】信頼性を有する抵抗体内蔵の多層回路板及びそ
の製造方法を提供することを目的とする。 【解決手段】絶縁基材11上の所定の第1配線層21a
間及び第1配線層21b間の各々の配線電極上に抵抗体
41aを形成し、第1配線層21a及び第1配線層21
bと第2配線層81a及び第2配線層81b間にガラス
クロスに絶縁樹脂を含浸させたプリプレグを積層して絶
縁層51を形成した抵抗体内蔵の4層の多層回路板10
0で、絶縁層51にガラスクロス及び絶縁樹脂を用いる
ことにより、多層回路板の製造工程及び実装時の熱工程
により発生する多層回路板の伸縮、反り等を軽減させて
いる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、抵抗体を内蔵した
多層回路板及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、パーソナルコンピューター等に代
表されるように、電子機器の小型化、薄型化が求められ
ている。そのため、そのような電子機器等に用いられる
プリント配線板も、小型化、薄型化のために、高密度、
高精度の配線が求められ、最近では抵抗体等の回路部品
を内蔵した多層回路板の開発も行われている。高密度の
配線を行うために、配線層の線幅も小さくなり、配線層
間の接続に用いられるフィルドビアはより小さい穴径と
することが求められている。そして、ビア用孔の孔加工
も、位置ずれを極力小さくするように高い精度の加工が
求められている。そのような、高密度、高精度の配線層
を有する多層回路板では、絶縁基材及び絶縁層が薄型化
する傾向にあり、多層回路板の製造工程及び実装時の熱
工程により、多層回路板に伸縮、反り等が発生し易いと
いう問題を有しており、抵抗体等の回路部品を内蔵した
多層回路板では、信頼性を損なうという問題が発生する
ことがある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記問題点
に鑑み考案されたもので、信頼性を有する抵抗体内蔵の
多層回路板及びその製造方法を提供することを目的とす
る。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明に於いて上記問題
を解決するために、まず請求項1においては、絶縁基材
上に絶縁層を介して少なくとも2層以上の配線層が形成
された抵抗体内蔵の多層プリント配線板であって、前記
絶縁層がガラスクロス及び絶縁樹脂とで構成されている
ことを特徴とする多層回路板としたものである。
【0005】また、請求項2においては、前記絶縁層に
フィラーが混入されていることを特徴とする請求項1記
載の多層回路板としたものである。
【0006】また、請求項3においては、以下の工程を
少なくとも備えることを特徴とする請求項1に記載の多
層回路板の製造方法としたものである。 (a)絶縁基材11の両面に第1配線層21a及び第1
配線層21bを形成する工程。 (b)絶縁基材11上の所定の第1配線層21a及び第
1配線層21b間の配線電極上に抵抗体41aを形成す
る工程。 (c)抵抗体41a及び絶縁層31上にガラスクロス及
び絶縁樹脂からなる絶縁層51を形成する工程。 (d)絶縁層51上に第2配線層81a及び第2配線層
81bを形成する工程。 (e)(b)〜(d)の工程を必要回数繰り返して所望
の多層回路板を作製する工程。
【0007】さらにまた、請求項4においては、以下の
工程を少なくとも備えることを特徴とする請求項2に記
載の多層回路板の製造方法としたものである。 (a)絶縁基材11の両面に第1配線層及び第1配線層
21bを形成する工程。 (b)絶縁基材11上の所定の第1配線層21a及び第
1配線層21b間の配線電極上に抵抗体41aを形成す
る工程。 (c)抵抗体41a及び絶縁層31上にガラスクロス、
フィラー及び絶縁樹脂からなる絶縁層61を形成する工
程。 (d)絶縁層61上に第2配線層81a及び第2配線層
81bを形成する工程。 (e)(b)〜(d)の工程を必要回数繰り返して所望
の多層回路板を作製する工程。
【0008】
【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態につき説
明する。図1(a)は、請求項1に係る本発明の多層回
路板の一実施例を示す。図1(b)は、請求項2に係る
本発明の多層回路板の一実施例を示す。請求項1に係る
本発明の多層回路板は、図1(a)に示すように、第1
配線層21a及び第1配線層21b間に抵抗体41aを
形成し、第1配線層21a及び第1配線層21bと第2
配線層81a及び第2配線層81b間にガラスクロスに
絶縁樹脂を含浸させたプリプレグを積層して絶縁層51
を形成した抵抗体内蔵の4層の多層回路板100で、絶
縁層51にガラスクロス及び絶縁樹脂を用いることによ
り、多層回路板の製造工程及び実装時の熱工程により発
生する多層回路板の伸縮、反り等を軽減させている。
【0009】請求項2に係る本発明の多層回路板は、図
1(b)に示すように、第1配線層21a及び第1配線
層21b間に抵抗体41aを形成し、第1配線層21a
及び第1配線層21bと第2配線層81a及び第2配線
層81b間にガラスクロスにフィラー及び絶縁樹脂を含
浸させたプリプレグを積層して絶縁層61を形成した抵
抗体内蔵の4層の多層回路板200で、絶縁層61にガ
ラスクロス、フィラー及び絶縁樹脂を用いることによ
り、絶縁層61にビア用孔をレーザー加工等により形成
する際の加工適性を上げると同時に、多層回路板の製造
工程及び実装時の熱工程により発生する多層回路板の伸
縮、反り等を軽減させている。
【0010】以下請求項3及び4に係る本発明の多層回
路板の製造方法について説明する。請求項3に係る本発
明の多層回路板の製造方法の一実施例を図2(a)〜
(e)及び図3(f)〜(i)に示す。まず、ガラスク
ロスにエポキシ樹脂、もしくはビスマレイドトリアジン
樹脂、もしくはポリイミド樹脂等を含浸させた絶縁基材
11の両面に第1配線層21a及び第1配線層21bを
形成する(図2(a)参照)。ここで、第1配線層21
a及び第1配線層21bの形成方法は、サブトラクティ
ブ法、セミアディティブ法、フルアディティブ法のいず
れでも良い。
【0011】次に、第1配線層21a及び第1配線層2
1bが形成された絶縁基材11の両面にプリプレグ絶縁
フィルムを貼付し、加圧、加熱して、所定厚の絶縁層3
1を形成する。さらに、絶縁層31の所定位置をレーザ
ー加工等により穴明け加工して開口部32を形成し、第
1配線層21a及び第1配線層21b間の配線電極を露
出させる(図2(b)参照)。
【0012】次に、開口部32にカーボン、グラファイ
ト等を樹脂に混入した抵抗ペーストをスクリーン印刷、
ディスペンサー等で埋め込み、乾燥硬化して第1配線層
21a及び第1配線層21b間の配線電極上に抵抗体4
1を形成する(図2(c)参照)。
【0013】次に、抵抗体41の表面を研磨処理して、
表面が平坦化された抵抗体41aを形成する(図2
(d)参照)。ここで、抵抗体の形成にあたっては、絶
縁層に開口部を形成し、抵抗ペーストを埋め込む方法で
説明したが、これは、バラツキの少ない抵抗体が得られ
る方法の一例である。第1配線層21a及び第1配線層
21b間の配線電極上に直接抵抗ペーストをスクリーン
印刷等でパターン化して形成する方法でも良い。
【0014】次に、ガラスクロスにエポキシ等の絶縁樹
脂を含浸させたプリプレグフィルムを絶縁層31及び抵
抗体41上に積層し、加圧・加熱して絶縁層51を形成
する(図2(e)参照)。
【0015】次に、絶縁層51及び絶縁層31の所定位
置をCO2レーザーにて穴明け加工して、ビア用孔52
を形成する(図3(f)参照)。
【0016】次に、絶縁層51及びビア用孔52内に無
電解銅めっきにて薄膜導体層(特に図示せず)を形成
し、薄膜導体層上に感光層を形成し、露光、現像等の一
連のパターニング処理を行ってレジストパターン71を
形成する(図3(g)参照)。
【0017】次に、薄膜導体層をカソードにして電解銅
めっきを行い、絶縁層51上に所定厚の導体層81及び
ビア用孔52にフィルドビア82を形成する(図3
(h)参照)。
【0018】次に、レジストパターン71を専用の剥離
液で剥離し、レジストパターン下部にあった薄膜導体層
を過硫酸アンモニウム水溶液でソフトエッチングして、
第2配線層81a及び第2配線層81bを形成して、絶
縁基材上11に第1配線層、抵抗体、絶縁層及び第2配
線層が形成された4層の抵抗体内蔵の多層回路板100
を得る(図3(i)参照)。ここで、第2配線層81a
及び第2配線層81bはセミアディティブ方式で作製し
たがこれに限定されるものではない。さらに、必要に応
じて、抵抗体、絶縁層及び配線層の作製工程を繰り返し
て所望の多層回路板を得ることができる。
【0019】請求項4に係る本発明の多層回路板の製造
方法の一実施例を図4(a)〜(e)及び図5(f)〜
(i)に示す。まず、ガラスクロスにエポキシ樹脂、も
しくはビスマレイドトリアジン樹脂、もしくはポリイミ
ド樹脂等を含浸させた絶縁基材11の両面に第1配線層
21a及び第1配線層21bを形成する(図4(a)参
照)。ここで、第1配線層21a及び第1配線層21b
の形成方法は、サブトラクティブ法、セミアディティブ
法、フルアディティブ法のいずれでも良い。
【0020】次に、第1配線層21a及び第1配線層2
1bが形成された絶縁基材11の両面にプリプレグ絶縁
フィルムを積層し、加圧、加熱して、所定厚の絶縁層3
1を形成する。さらに、絶縁層31の所定位置をレーザ
ー加工等により穴明け加工して開口部32を形成し、第
1配線層21a及び第1配線層21b間の配線電極を露
出させる(図4(b)参照)。
【0021】次に、開口部32にカーボン、グラファイ
ト等を樹脂に混入した抵抗ペーストをスクリーン印刷、
ディスペンサー等で埋め込み、乾燥硬化して第1配線層
21a及び第1配線層21b間の配線電極上に抵抗体4
1を形成する(図4(c)参照)。
【0022】次に、抵抗体41の表面を研磨処理して、
表面が平坦化された抵抗体41aを形成する(図4
(d)参照)。ここで、抵抗体の形成にあたっては、絶
縁層に開口部を形成し、抵抗ペーストを埋め込む方法で
説明したが、これは、バラツキの少ない抵抗体が得られ
る方法の一例である。第1配線層21a及び第1配線層
21b間の配線電極上に直接抵抗ペーストをスクリーン
印刷等でパターン化して形成する方法でも良い。
【0023】次に、ガラスクロスにエポキシ等の絶縁樹
脂及び水酸化アルミニウム、二酸化珪素等からなるフィ
ラーを含浸させたプリプレグフィルムを絶縁層31及び
抵抗体31上に積層し、加圧・加熱して絶縁層61を形
成する(図4(e)参照)。
【0024】次に、絶縁層61及び絶縁層31の所定位
置をCO2レーザーにて穴明け加工して、ビア用孔62
を形成する(図5(f)参照)。
【0025】次に、絶縁層61及びビア用孔62内に無
電解銅めっきにて薄膜導体層(特に図示せず)を形成
し、薄膜導体層上に感光層を形成し、露光、現像等の一
連のパターニング処理を行ってレジストパターン71を
形成する(図5(g)参照)。
【0026】次に、薄膜導体層をカソードにして電解銅
めっきを行い、絶縁層61上に所定厚の導体層81及び
ビア用孔62にフィルドビア82を形成する(図5
(h)参照)。
【0027】次に、レジストパターン71を専用の剥離
液で剥離し、レジストパターン下部にあった薄膜導体層
を過硫酸アンモニウム水溶液でソフトエッチングして、
第2配線層81a及び第2配線層81bを形成して、絶
縁基材上11に第1配線層、抵抗体、絶縁層及び第2配
線層が形成された4層の抵抗体内蔵の多層回路板200
を得る(図5(i)参照)。ここで、第2配線層81a
及び第2配線層81bはセミアディティブ方式で作製し
たがこれに限定されるものではない。さらに、必要に応
じて、抵抗体、絶縁層及び配線層の作製工程を繰り返し
て所望の多層回路板を得ることができる。
【0028】
【発明の効果】本発明の抵抗体内蔵の多層回路板は絶縁
層がガラスクロス及び絶縁樹脂、もしくはガラスクロ
ス、フィラー及び絶縁樹脂とで構成されているため、多
層回路板の製造工程及び実装時の熱工程により発生する
多層回路板の伸縮、反り等を軽減でき、信頼性のある多
層回路板を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)は、請求項1に係る本発明の多層回路板
の一実施例を示す模式平面図である。(b)は、請求項
2に係る本発明の多層回路板の一実施例を示す模式平面
図である。
【図2】(a)〜(e)は、請求項1に係る本発明の多
層回路板の製造方法における工程の一部を示す模式平面
図である。
【図3】(f)〜(i)は、請求項1に係る本発明の多
層回路板の製造方法における工程の一部を示す模式平面
図である。
【図4】(a)〜(e)は、請求項2に係る本発明の多
層回路板の製造方法における工程の一部を示す模式平面
図である。
【図5】(f)〜(i)は、請求項2に係る本発明の多
層回路板の製造方法における工程の一部を示す模式部分
構成断面図である。
【符号の説明】
11……絶縁基材 21a、21b……第1配線層 31……絶縁層 32……開口部 41……抵抗体 41a……平坦化された抵抗体 51……ガラスクロス及び絶縁樹脂とで構成されている
絶縁層 52……ビア用孔 61……ガラスクロス、フィラー及び絶縁樹脂とで構成
されている絶縁層 71……レジストパターン 81……導体層 82……フィルドビア 100、200……多層回路板

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】絶縁基材上に絶縁層を介して少なくとも2
    層以上の配線層が形成された抵抗体内蔵の多層プリント
    配線板であって、前記絶縁層がガラスクロス及び絶縁樹
    脂とで構成されていることを特徴とする多層回路板。
  2. 【請求項2】前記絶縁層にフィラーが混入されているこ
    とを特徴とする請求項1記載の多層回路板。
  3. 【請求項3】以下の工程を少なくとも備えることを特徴
    とする請求項1に記載の多層回路板の製造方法。 (a)絶縁基材(11)の両面に第1配線層(21a、
    21b)を形成する工程。 (b)絶縁基材(11)上の所定の第1配線層(21
    a、21b)間の配線電極上に抵抗体(41a)を形成
    する工程。 (c)抵抗体(41a)及び絶縁層(31)上にガラス
    クロス及び絶縁樹脂からなる絶縁層(51)を形成する
    工程。 (d)絶縁層(51)上に第2配線層(81a、81
    b)を形成する工程。 (e)(b)〜(d)の工程を必要回数繰り返して所望
    の多層回路板を作製する工程。
  4. 【請求項4】以下の工程を少なくとも備えることを特徴
    とする請求項2に記載の多層回路板の製造方法。 (a)絶縁基材(11)の両面に第1配線層(21a、
    21b)を形成する工程。 (b)絶縁基材(11)上の所定の第1配線層(21
    a、21b)間の配線電極上に抵抗体(41a)を形成
    する工程。 (c)抵抗体(41a)及び絶縁層(31)上にガラス
    クロス、フィラー及び絶縁樹脂からなる絶縁層(61)
    を形成する工程。 (d)絶縁層(61)上に第2配線層(81a、81
    b)を形成する工程。 (e)(b)〜(d)の工程を必要回数繰り返して所望
    の多層回路板を作製する工程。
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