JP2003347615A - 圧電素子、及び、電歪アクチュエータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 多層構造の圧電素子における変形効率を向上
させる。 【解決手段】 圧電素子１７は、互いに積層された上層
圧電体３４及び下層圧電体３５からなる圧電体層３１
と、この圧電体層３１に付与される電場を発生する電極
層３３，３６，３７とを備える。下層圧電体３５と振動
板１４との間に共通下電極３７を、下層圧電体３５と上
層圧電体３４との間に駆動電極３３をそれぞれ形成する
と共に、下層圧電体３５とは反対側の上層圧電体３４の
表面に共通上電極３６を形成する。そして、上層圧電体
３４の厚さｔｐ１を下層圧電体３５の厚さｔｐ２よりも
薄く構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、駆動信号の供給に
よって変形する圧電素子、及び、この圧電素子を駆動源
として用いた電歪アクチュエータに関する。

【０００２】

【従来の技術】圧電素子は、電気エネルギーの供給によ
って変形するものであり、例えば、液体噴射ヘッド、マ
イクロポンプ、発音体（スピーカ等）用の駆動素子とし
て広く用いられている。ここで、液体噴射ヘッドは、圧
力室内の液体に圧力変動を生じさせることでノズル開口
から液滴を吐出させるものであり、例えば、プリンタ等
の画像記録装置に用いられる記録ヘッド、液晶ディスプ
レーの製造に用いられる液晶噴射ヘッド、カラーフィル
タの製造に用いられる色材噴射ヘッド等がある。また、
マイクロポンプは、極く微量の液体を扱うことができる
超小型のポンプであり、例えば、極く少量の薬液を送出
する際に用いられる。

【０００３】このような液体噴射ヘッドやマイクロポン
プに用いられる重要な部品の一つに、振動板の表面に圧
電素子を設けた電歪アクチュエータがある。この電歪ア
クチュエータは圧力室となる空部を有する圧力室形成基
板に取り付けられ、圧力室の一部を振動板で区画する。
そして、液滴を吐出したり、液体を送出したりする際に
は、圧電素子に駆動パルスを供給してこの圧電素子及び
振動板（即ち、圧力室の変形部分）を変形させ、圧力室
の容積を変化させる。

【０００４】これらの液体噴射ヘッドやマイクロポンプ
においては、圧電素子の高周波駆動に対する強い要請が
ある。これは、液滴の高周波吐出を実現したり、送液能
力を高めたりするためである。そして、圧電素子の高周
波駆動を実現するためには、上記変形部分のコンプライ
アンスを従来よりも小さくし、且つ、圧電素子の変形量
を従来よりも大きくする必要がある。これは、変形部分
のコンプライアンスを小さくすると応答性が向上するた
め、従来よりも高い周波数での駆動が可能となること、
及び、圧電素子の変形量を大きくすると圧力室の容積変
化量が大きくなるため、吐出される液滴の量や送出され
る液体の量を増やすことができることによる。

【０００５】そして、変形部分のコンプライアンスと圧
電素子の変形量の相反する特性を充足するものとして、
多層構造の圧電素子が提案されている。例えば、特開平
２−２８９３５２号公報には、圧電体層を上層圧電体と
下層圧電体の２層構造とし、上層圧電体と下層圧電体の
境界に駆動電極（個別電極）を形成すると共に、上層圧
電体の外表面と下層圧電体の外表面とにそれぞれ共通電
極を形成した構造の圧電素子が開示されている。同様
に、特開平１０−３４９２４号公報にも多層構造の圧電
素子が開示されている。

【０００６】上記多層構造の圧電素子では、上層圧電体
と下層圧電体の境界に駆動電極が設けられているので、
各層の圧電体には、駆動電極から各共通電極までの間隔
（即ち、各層圧電体の厚さ）と、駆動電極と各共通電極
の電位差とによって定まる強さの電場が付与される。こ
のため、共通電極と駆動電極とで単層の圧電体を挟んだ
単層構造の圧電素子と比べた場合、圧電素子全体の厚さ
を多少厚くして変形部分のコンプライアンスを小さくし
ても、従来と同じ駆動電圧で大きく変形させることがで
きる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記多
層構造の圧電素子を単に用いただけでは、近年の高い要
請に応え得る程度の特性は得られなかった。このため、
実際の製品としては、単層の圧電体を共通電極と駆動電
極とで挟んだ単層構造の圧電素子を用いることを余儀な
くされている。これには種々の要因が考えられるが、圧
電素子の変形効率が十分でなかったことも一因と考えら
れる。

【０００８】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
であり、その目的は、多層構造の圧電素子における変形
効率を向上させることにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために提案されたものであり、請求項１に記載の
ものは、電場に応じて変形する圧電体層と該圧電体層に
付与される電場を発生する電極層とを備えた圧電素子に
おいて、前記圧電体層は、互いに積層された上層圧電体
と下層圧電体とを有し、前記電極層は、上層圧電体と下
層圧電体との間に形成され、駆動信号の供給源に導通さ
れる駆動電極と、駆動電極とは反対側となる下層圧電体
の下部に形成された共通下電極と、駆動電極とは反対側
となる上層圧電体の上部に形成され、前記共通下電極に
導通される共通上電極とを有し、前記上層圧電体の厚さ
を下層圧電体の厚さよりも薄くしたことを特徴とする。

【００１０】ここで、「上、下」とあるのは、圧電素子
が設けられる振動板等の支持部材を基準とした位置関係
を示している。換言すれば、支持部材に接合される作用
面（変形により生じる力を出力する面）を基準とした位
置関係を示している。即ち、支持部材から近い側を
「下」とし、支持部材から遠い側を「上」として示して
いる。

【００１１】請求項２に記載のものは、駆動源としての
圧電素子を振動板の表面に形成してなる電歪アクチュエ
ータにおいて、前記圧電素子は、電場に応じて変形する
圧電体層と該圧電体層に付与される電場を発生する電極
層とを備え、前記圧電体層を、互いに積層された上層圧
電体と下層圧電体とから構成すると共に、前記電極層
を、互いに導通された共通上電極及び共通下電極と、駆
動信号の供給源に導通される駆動電極とから構成し、下
層圧電体と上層圧電体との間に駆動電極を形成すると共
に、下層圧電体と振動板との間に共通下電極を、下層圧
電体とは反対側の上層圧電体の表面に共通上電極をそれ
ぞれ形成し、前記上層圧電体の厚さを下層圧電体の厚さ
よりも薄くしたことを特徴とする。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。ここでは、プリンタやプロッタ等
の画像記録装置に搭載される記録ヘッド（液体噴射ヘッ
ドの一種）を例に挙げて説明する。この記録ヘッドは、
例えば図５に示すように、複数個のヘッド本体１…を備
えており、これらのヘッド本体１…を取付ベース６１に
取り付けることで構成されている。本実施形態では、取
付ベース６１に４つのヘッド本体１…を取り付けてい
る。そして、１つのヘッド本体１は、２列のノズル列１
１，１１を有するので、記録ヘッドは合計８列のノズル
列１１…を備える。

【００１３】次に、図１及び図２に基づき、ヘッド本体
１の基本的な構造を説明する。このヘッド本体１は、流
路ユニット２とアクチュエータユニット３とから概略構
成されている。

【００１４】流路ユニット２は、インク供給口（オリフ
ィス）４及びノズル連通口５の一部となる通孔を開設し
た供給口形成基板６と、共通インク室７となる通孔及び
ノズル連通口５の一部となる通孔を開設したインク室形
成基板８と、ノズル開口９…を副走査方向に沿って開設
したノズルプレート１０から構成されている。これらの
供給口形成基板６、インク室形成基板８、及び、ノズル
プレート１０は、例えば、ステンレス製の板材をプレス
加工することで作製されている。そして、流路ユニット
２は、インク室形成基板８の一方の表面（図中下側）に
ノズルプレート１０を、他方の表面（同上側）に供給口
形成基板６をそれぞれ配置し、これらの供給口形成基板
６、インク室形成基板８、及び、ノズルプレート１０を
接合することで作製される。例えば、シート状の接着剤
によって各部材６，８，１０を接着することで作製され
る。

【００１５】上記のノズル開口９は、図２に示すよう
に、所定ピッチで複数個列状に開設される。そして、列
設された複数のノズル開口９…によってノズル列１１が
構成される。例えば、９２個のノズル開口９…で１つの
ノズル列１１が構成され、このノズル列１１が横並びに
２列形成される。

【００１６】アクチュエータユニット３は、ヘッドチッ
プとも呼ばれる部品である。このアクチュエータユニッ
ト３は、例えば、圧力室１２となる通孔を開設した圧力
室形成基板１３と、圧力室１２の一部を区画する振動板
１４と、供給側連通口１５となる通孔及びノズル連通口
５の一部となる通孔を開設した蓋部材１６と、圧電素子
１７とによって構成される。これら各部材１３，１４，
１６の板厚に関し、圧力室形成基板１３、及び、蓋部材
１６は、好ましくは５０μｍ以上、より好ましくは１０
０μｍ以上である。また、振動板１４は、好ましくは５
０μｍ以下、より好ましくは３〜１２μｍ程度である。

【００１７】なお、このアクチュエータユニット３にお
いて、振動板１４と圧電素子１７が本発明の電歪アクチ
ュエータを構成する。また、振動板１４は、圧電素子１
７が設けられる支持部材の一種である。

【００１８】このアクチュエータユニット３は、圧力室
形成基板１３の一方の表面に蓋部材１６を、他方の表面
に振動板１４をそれぞれ配置して各部材を接合し、その
後、振動板１４の表面に圧電素子１７を形成することで
作製される。これらの中で圧力室形成基板１３、振動板
１４、及び、蓋部材１６は、アルミナや酸化ジルコニウ
ム等のセラミックスで作製されており、焼成によって接
合される。

【００１９】これらの圧力室形成基板１３，振動板１
４，蓋部材１６の接合は、例えば、次の手順で行われ
る。まず、セラミックス原料、バインダー及び液媒等に
よってセラミックスのスラリーを調整する。次に、ドク
ターブレード装置やリバースロールコーター装置等の一
般的な装置を用いて、スラリーをグリーンシート（未焼
成のシート材）に成形する。その後、このグリーンシー
トに対して切削や打ち抜き等の加工を施して必要な通孔
等を形成し、圧力室形成基板１３、振動板１４、及び、
蓋部材１６の各シート状前駆体を形成する。そして、各
シート状前駆体を積層及び焼成することにより、各シー
ト状前駆体を一体化して１枚のシート状部材を得る。こ
の場合、各シート状前駆体は一体焼成されるので、特別
な接着処理が不要である。また、各シート状前駆体の接
合面において高いシール性を得ることもできる。

【００２０】また、１枚のシート状部材には、複数ユニ
ット分の圧力室１２…やノズル連通口５…等が形成され
ている。換言すれば、１枚のシート状部材から複数のア
クチュエータユニット（ヘッドチップ）３…を作製す
る。例えば、１つのアクチュエータユニット３となるチ
ップ領域を１枚のシート状部材内にマトリクス状に複数
設定し、圧電素子１７等の必要な部材を各チップ領域毎
に形成する。そして、必要な部材が形成されたシート状
部材（セラミックスシート）をチップ領域毎に切断する
ことで、複数のアクチュエータユニット３…を得る。

【００２１】上記の圧力室１２は、ノズル列１１とは直
交する方向に細長い空部であり、ノズル開口９に対応す
る複数形成されている。即ち、図２に示すように、ノズ
ル列方向に列設されている。そして、各圧力室１２…の
一端は、ノズル連通口５を通じて対応するノズル開口９
に連通する。また、ノズル連通口５とは反対側の圧力室
１２の他端は、供給側連通口１５及びインク供給口４を
通じて共通インク室７に連通している。さらに、この圧
力室１２の一部は、振動板１４によって区画されてい
る。

【００２２】上記の圧電素子１７は、所謂撓み振動モー
ドの圧電素子であり、圧力室１２とは反対側の振動板表
面に圧力室１２毎に形成されている。この圧電素子１７
の幅は圧力室１２の幅と略等しく、長さは圧力室１２の
長さよりも多少長い。そして、各圧電素子１７…は、長
手方向の両端部が圧力室１２の端を越えた状態で形成さ
れている。即ち、圧力室１２の長手方向を覆うように形
成されている。この圧電素子１７は、例えば、図３に示
すように、圧電体層３１と共通電極３２と駆動電極３３
等によって構成される多層構造であり、駆動電極３３と
共通電極３２とによって圧電体層３１を挟んでいる。な
お、この圧電素子１７の詳細な構造については後述す
る。

【００２３】上記の駆動電極３３には駆動信号の供給源
（図示せず）が導通され、共通電極３２は例えば接地電
位に調整される。この駆動電極３３に駆動信号が供給さ
れると、駆動電極３３と共通電極３２との間には電位差
に応じた強さの電場が発生される。この電場は圧電体層
３１に付与されるので、圧電体層３１は付与された電場
の強さに応じて変形する。即ち、駆動電極３３の電位を
高くする程、圧電体層３１は電場と直交する方向に収縮
し、圧力室１２の容積を少なくするように振動板１４を
変形させる。一方、駆動電極３３の電位を低くする程、
圧電体層３１は電界と直交する方向に伸長し、圧力室１
２の容積を増やすように振動板１４を変形させる。

【００２４】そして、このアクチュエータユニット３と
上記の流路ユニット２とは、互いに接合される。例え
ば、供給口形成基板６と蓋部材１６との間にシート状接
着剤を介在させ、この状態でアクチュエータユニット３
を流路ユニット２側に加圧することで接着される。

【００２５】このように構成されたヘッド本体１には、
共通インク室７からインク供給口４、供給側連通口１
５、圧力室１２、及び、ノズル連通口５を通じてノズル
開口９に至る一連のインク流路がノズル開口９毎に形成
されている。使用時においてこのインク流路内はインク
（液体の一種）で満たされている。そして、圧電素子１
７を変形させると、対応する圧力室１２が収縮或いは膨
張し、圧力室１２内のインクに圧力変動が生じる。この
インク圧力を制御することで、ノズル開口９からインク
滴を吐出させることができる。例えば、定常容積の圧力
室１２を一旦膨張させた後に急激に収縮させると、圧力
室１２の膨張に伴ってインクが充填され、その後の急激
な収縮によって圧力室１２内のインクが加圧されてイン
ク滴が吐出される。

【００２６】ここで、高速記録のためには、より多くの
インク滴を短時間で吐出させる必要がある。この要求に
応えるためには、圧力室１２を区画している部分の振動
板１４及び圧電素子１７（即ち、圧力室１２における変
形部分）のコンプライアンスと、圧電素子１７の変形量
とを考慮する必要がある。即ち、上記変形部分のコンプ
ライアンスが大きくなる程、変形に対する応答性が悪く
なり、高い周波数での駆動が困難になるからである。ま
た、変形部分のコンプライアンスが小さくなるほどに変
形し難くなり、圧力室１２の収縮量が少なくなって１滴
のインク量が減ってしまうからである。

【００２７】このような観点から、既に実用化されてい
る撓み振動モードの圧電素子を用いた記録ヘッドでは、
圧電素子は単層の圧電体を共通電極と駆動電極とで挟ん
だ単層構造のものが用いられており、最大応答周波数は
２５ｋＨｚ程度、最大インク滴量は１３ｐＬ（ピコリッ
トル）程度であった。

【００２８】そして、本実施形態では、多層構造の圧電
素子１７を用いて振動板１４のコンプライアンスを小さ
くし、さらに、この圧電素子１７の構造を改良すること
により、必要量のインク滴を効率よく吐出できるように
した。以下、この点について説明する。

【００２９】まず、圧電素子１７の構造について詳細に
説明する。図３に示すように、圧電体層３１は、互いに
積層された上層圧電体（外側圧電体）３４及び下層圧電
体（内側圧電体）３５から構成される。また、共通電極
３２は、共通上電極（共通外電極）３６及び共通下電極
（共通内電極）３７から構成される。そして、この共通
電極３２と駆動電極（個別電極）３３とが電極層を構成
する。

【００３０】なお、ここでいう「上（外）」或いは「下
（内）」とは、支持部材としての振動板１４を基準とし
た位置関係を示している。換言すれば、圧電素子１７に
おける振動板１４との接合面（圧電素子１７の変形を出
力するための作用面とも表現できる。）を基準とした位
置関係を示している。そして、「上（外）」とあるのは
振動板１４から遠い側を示し、「下（内）」とあるのは
振動板１４に近い側を示している。

【００３１】上記の駆動電極３３は、上層圧電体３４と
下層圧電体３５の境界に形成され、共通下電極３７は下
層圧電体３５と振動板１４との間に形成される。また、
共通上電極３６は下層圧電体３５とは反対側の上層圧電
体３４の表面に形成される。即ち、この圧電素子１７
は、振動板側から、共通下電極３７、下層圧電体３５、
駆動電極３３、上層圧電体３４、共通上電極３６の順で
積層された多層構造である。そして、圧電体層３１の厚
さは上層圧電体３４と下層圧電体３５の２層を合計して
約１７μｍであり、共通電極３２を含めた圧電素子１７
の全体の厚さは約２０μｍである。なお、従来の単層構
造の圧電素子１７にあっては、素子全体の厚さが約１５
μｍである。従って、圧電素子１７の厚さが増したこと
から、その分だけ振動板１４のコンプライアンスが小さ
くなっている。

【００３２】上記の共通上電極３６と共通下電極３７
は、駆動信号に拘わらず一定の電位に調整される。本実
施形態において、これらの共通上電極３６と共通下電極
３７は互いに導通され、接地電位に調整される。上記の
駆動電極３３は、駆動信号の供給源に導通され、供給さ
れた駆動信号に応じて電位を変化させる。従って、駆動
信号の供給によって、駆動電極３３と共通上電極３６と
の間、及び、駆動電極３３と共通下電極３７との間に
は、それぞれ向きが反対の電場が生じる。

【００３３】そして、これらの各電極３３，３６，３７
を構成する材料としては、例えば、金属単体、合金、電
気絶縁性セラミックスと金属との混合物等の各種導体が
選択されるが、焼成温度において変質等の不具合が生じ
ないことが要求される。本実施形態では、共通上電極３
６に金を用い、共通下電極３７及び駆動電極３３に白金
を用いている。

【００３４】上記の上層圧電体３４と下層圧電体３５は
共に、ジルコン酸チタン酸鉛（ＰＺＴ）を主成分とする
圧電材料によって作製されている。そして、上層圧電体
３４と下層圧電体３５とは分極方向が反対である。この
ため、駆動信号印加時の伸縮方向が上層圧電体３４と下
層圧電体３５とで揃い、支障なく変形することができ
る。即ち、上層圧電体３４及び下層圧電体３５は、駆動
電極３３の電位を高くする程に圧力室１２の容積を少な
くするように振動板１４を変形させ、駆動電極３３の電
位を低くする程に圧力室１２の容積を増やすように振動
板１４を変形させる。

【００３５】そして、この多層構造の圧電素子１７を効
率よく変形させるべく、本実施形態では、図４に示すよ
うに、上層圧電体３４を下層圧電体３５よりも薄く構成
している。具体的には、上層圧電体３４の厚さｔｐ１を
８μｍとし、下層圧電体３５の厚さｔｐ２を９μｍと
し、上記したように全体の厚さ（ｔｐ１＋ｔｐ２）を１
７μｍとしている。

【００３６】このように、上層圧電体３４を下層圧電体
３５よりも薄く構成すると、上層圧電体３４と下層圧電
体３５の厚さの差に応じ、駆動電極３３から共通下電極
３７までの間隔よりも駆動電極３３から共通上電極３６
の間隔の方が狭くなる。従って、駆動電極３３と共通上
電極３６との間で発生される電場が、駆動電極３３と共
通下電極３７との間で発生される電場よりも強くなり、
上層圧電体３４の方が下層圧電体３５よりも大きく撓
む。そして、上層圧電体３４が下層圧電体３５よりも相
対的に大きく撓むと、上層圧電体３４の方が振動板１４
から離隔しているため、その変形量が増幅されて振動板
１４に作用し、振動板１４の変形量を大きくすることが
できる。

【００３７】例えば、上層圧電体３４と下層圧電体３５
の積層高さ（要するに圧電素子１７の高さ）、幅、長さ
が同じであって、上層圧電体３４の方が下層圧電体３５
よりも厚い構造の圧電素子と比較すると、本実施形態の
圧電素子１７は、相対的に変形量が大きい上層圧電体３
４が振動板１４から離れて位置しているのに対し、比較
例の圧電素子では相対的に変形量が大きい下層圧電体３
５が振動板１４の間近に位置する。そして、変形量が大
きい圧電体層が振動板１４から離れている方が振動板１
４を大きく変形できるので、本実施形態の圧電素子１７
の方がより振動板１４を大きく変形させることができ
る。なお、圧電素子１７の高さ、幅、長さが同じである
ことから、静電容量については、本実施形態の圧電素子
１７と比較例の圧電素子１７で同じである。

【００３８】そして、振動板１４を大きく変形できるこ
とから、収縮時における圧力室１２の容積をより小さく
できる。従って、単に多層構造の圧電素子１７を用いた
場合よりも、圧力室１２の膨張時と収縮時の容積差を広
げることができ、インク滴の吐出量を増やすことができ
る。これにより、インク滴の吐出効率を向上させるとが
できる。

【００３９】なお、以上は、記録ヘッドに用いられる圧
電素子及び電歪アクチュエータに本発明を適用した例を
説明したが、これに限定されるものではない。本発明
は、例えば、液晶噴射ヘッドや色材噴射ヘッド等といっ
た他の液体噴射ヘッド用の圧電素子及び電歪アクチュエ
ータにも適用できる。また、マイクロポンプ用の圧電素
子及び電歪アクチュエータにも適用できる。

【００４０】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば以
下の効果を奏する。即ち、上層圧電体を下層圧電体より
も薄く構成したので、駆動信号の供給に伴う上層圧電体
の変形度合いを、下層圧電体の変形度合いよりも大きく
することができる。そして、上層圧電体の方が下層圧電
体よりも支持部材から遠いので、この支持部材の変形量
を大きくすることができる。その結果、圧電素子の変形
効率を高めることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】ヘッド本体の基本構造を説明する断面図であ
る。

【図２】ヘッド本体をノズルプレート側から見た図であ
る。

【図３】アクチュエータユニットの構造を説明する図で
あり、圧力室長手方向で切断した断面図である。

【図４】アクチュエータユニットの構造を説明する図で
あり、圧力室幅方向で切断した断面図である。

【図５】複数のヘッド本体を備えた記録ヘッドを説明す
る図である。

【符号の説明】

１ ヘッド本体 ２ 流路ユニット ３ アクチュエータユニット ４ インク供給口 ５ ノズル連通口 ６ 供給口形成基板 ７ 共通インク室 ８ インク室形成基板 ９ ノズル開口 １０ ノズルプレート １１ ノズル列 １２ 圧力室 １３ 圧力室形成基板 １４ 振動板 １５ 供給側連通口 １６ 蓋部材 １７ 圧電素子 ３１ 圧電体層 ３２ 共通電極 ３３ 駆動電極 ３４ 上層圧電体 ３５ 下層圧電体 ３６ 共通上電極 ３７ 共通下電極 ６１ 取付ベース

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 電場に応じて変形する圧電体層と該圧電
   体層に付与される電場を発生する電極層とを備えた圧電
   素子において、 前記圧電体層は、互いに積層された上層圧電体と下層圧
   電体とを有し、 前記電極層は、上層圧電体と下層圧電体との間に形成さ
   れ、駆動信号の供給源に導通される駆動電極と、駆動電
   極とは反対側となる下層圧電体の下部に形成された共通
   下電極と、駆動電極とは反対側となる上層圧電体の上部
   に形成され、前記共通下電極に導通される共通上電極と
   を有し、 前記上層圧電体の厚さを下層圧電体の厚さよりも薄くし
   たことを特徴とする圧電素子。
2. 【請求項２】 駆動源としての圧電素子を振動板の表面
   に形成してなる電歪アクチュエータにおいて、 前記圧電素子は、電場に応じて変形する圧電体層と該圧
   電体層に付与される電場を発生する電極層とを備え、 前記圧電体層を、互いに積層された上層圧電体と下層圧
   電体とから構成すると共に、前記電極層を、互いに導通
   された共通上電極及び共通下電極と、駆動信号の供給源
   に導通される駆動電極とから構成し、 下層圧電体と上層圧電体との間に駆動電極を形成すると
   共に、下層圧電体と振動板との間に共通下電極を、下層
   圧電体とは反対側の上層圧電体の表面に共通上電極をそ
   れぞれ形成し、 前記上層圧電体の厚さを下層圧電体の厚さよりも薄くし
   たことを特徴とする電歪アクチュエータ。