JP2003342082A - セラミック製接合体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 長尺のセラミック製接合体でも容易に製造す
ることができるセラミック製接合体の製造方法を提供す
ること。 【解決手段】 加熱装置１１は高周波加熱装置であり、
セラミック製長尺ダクト１の外周側に配置されたリング
状の発熱体１３と、発熱体１３の外周側に配置された誘
導コイル１５と、誘導コイル１５に高周波を印加する高
周波発生装置とを備えている。そして、高周波発生装置
により、誘導コイル１５に高周波の電圧を印加すること
により、発熱体１３を高温に加熱し、この高温の加熱に
より、ろう材５を溶融させる。その後、ろう材５を冷却
して固化させることにより、第１のセラミック製ダクト
部材３ａの上端面９ａと第２のセラミック製ダクト部材
３ｂの下端面９ｂとをろう付け止して、セラミック製長
尺ダクト１を完成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば粒子加速器
の粒子が通過する通路を構成する部材として用いること
ができる、絶縁型のセラミック製接合体の製造方法に関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より、長尺のセラミック製ダクトを
製造する場合には、図８に示す様に、セラミック製筒状
部材Ｐ１の端面に、セラミック製筒状部材Ｐ１の外径よ
り大きな金属製のフランジＰ２をろう付けし、更に各フ
ランジＰ２同士を溶接することにより、長尺のセラミッ
ク製ダクトＰ３を製造していた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この様
な技術では、セラミック製ダクトＰ３の外径より大きな
フランジＰ２を接合するので、セラミック製ダクトＰ３
の有効径が大きくなり、不都合が生じることがあった。

【０００４】例えば粒子加速器では、セラミック製ダク
トＰ３の外側にマグネットを配置するが、径の大きなフ
ランジＰ２が存在すると、所定の寸法形状のマグネット
を配置することができず、そのため、所望の性能が得ら
れないという問題があった。また、マグネットの近傍
に、大きな金属製のフランジＰ２があると、マグネット
の磁力がフランジＰ２の影響を受けてしまい、その点か
らも、所望の性能が得られないという問題があった。

【０００５】更に、その製造方法においては、セラミッ
ク製ダクトＰ３にフランジＰ２をろう付けしてから、フ
ランジＰ２同士を溶接するので、製造する作業の手間が
多くなり、コストアップになるという問題があった。そ
の上、セラミック製ダクトＰ３のろう付けは、通常加熱
炉内にて行われるが、例えば１ｍを超えるセラミック製
ダクトＰ３を入れることができる加熱炉はあまり無く、
更に、それ以上の数ｍに及ぶ長尺のセラミック製ダクト
Ｐ３を入れる加熱炉自体存在していないのが実状であ
る。

【０００６】本発明は前記課題を解決するためになされ
たものであり、その目的は、（例えば接合して形成され
たセラミック製接合体の有効径が小さい様な）長尺のセ
ラミック製接合体でも容易に製造することができるセラ
ミック製接合体の製造方法を提供することである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】（１）請求項１の発明
は、全長１ｍ以上のセラミック製接合体（例えばダクト
や中実の部材）の製造方法であって、非酸化雰囲気中に
て、２個以上のセラミック製接合部材（例えばダクトや
中実の部材）同士を、互いの端面を向かい合わせ、その
間にろう材を配置した状態で、高周波加熱を行うことに
より、各端面同士をろう付け接合することを特徴とする
セラミック製接合体の製造方法を要旨とする。

【０００８】本発明では、高周波加熱によるろう付けに
より、全長１ｍ以上のセラミック製接合体を製造してい
る。従って、従来の様に、フランジをろう付けしてから
フランジ同士を溶接するのではなく、直接にろう付けに
よりセラミック製接合部材同士を接合するので、製造工
程を簡易化でき、製造コストも低減できる。

【０００９】また、従来の様に、大径の金属製のフラン
ジを使用して接合するのではないので、セラミック接合
体の有効径が、実際のセラミック製接合部材の外径より
大きくなることはない。尚、本発明では、ダクトとは軸
方向に貫通孔を有する筒状部材のことを示している（以
下同様）。

【００１０】（２）請求項２の発明は、前記セラミック
製接合部材は、それぞれ２５ｃｍ以上であることを特徴
とする前記請求項１に記載のセラミック製接合体の製造
方法を要旨とする。本発明は、各セラミック製接合部材
の長さを例示したものであり、この様な長さのもの（更
には５０ｃｍ以上のもの）でも容易に接合することがで
きる。

【００１１】（３）請求項３の発明は、前記向かい合う
各端面の間に金属部材を配置するとともに、該金属部材
と各端面との間に前記ろう材を配置して、前記ろう付け
接合することを特徴とする前記請求項１又は２に記載の
セラミック製接合体の製造方法を要旨とする。

【００１２】本発明では、各セラミック製接合部材同士
を、単にろう材のみで接合するのではなく、金属部材を
挟んでろう付けしているので、接合強度が高いという利
点がある。 （４）請求項４の発明は、接合する一方又は両方のセラ
ミック製接合部材の端面を、セラミック製ダクトの軸中
心の垂直面より傾斜させ、前記各セラミック製接合部材
の端面同士を、前記ろう付け接合することにより、その
接合部分にて曲がった形状を有するセラミック製接合体
を形成することを特徴とする前記請求項１〜３のいずれ
かに記載のセラミック製接合体の製造方法を要旨とす
る。

【００１３】本発明によれば、セラミック製接合体とし
て、いわゆるストレートなものでなく、接合部分で曲が
った形状のものを製造できる。従って、この様に曲がっ
た形状を有するものを順次接合すれば、緩やかにカーブ
したり、環状となったものも製造することができるの
で、使用範囲が広がるという効果がある。

【００１４】（５）請求項５の発明は、第１のセラミッ
ク製接合部材と第２のセラミック製接合部材とを、互い
の端面である接合面にて接合する場合に、前記接合面の
外周端の外側を囲むように発熱体及び誘導コイルを配置
するとともに、少なくとも前記接合面の外周端、発熱
体、及び誘導コイルを含むように、前記各セラミック製
接合部材の外周面の所定範囲を気密性のカバー部材で覆
い、更に、前記カバー部材で覆われた空間を非酸化雰囲
気として、高周波加熱によりろう付け接合を行うことを
特徴とする前記請求項１〜４のいずれかに記載のセラミ
ック製接合体の製造方法を要旨とする。

【００１５】本発明は、セラミック製接合体の製造方法
（特にセラミック製接合体が中実な場合に好適な製造方
法）の構成を例示したものである。本発明では、必要な
箇所のみをカバー部材で覆い、その内部を非酸化雰囲気
とすればよいので、加熱装置の構成を簡易化できる。つ
まり、セラミック製接合体全体を加熱装置（例えば大型
の加熱炉）内に入れる必要はないので、非常に長尺の接
合体でも、容易にしかも低コストで製造することができ
るという顕著な効果を奏する。

【００１６】（６）請求項６の発明は、前記セラミック
製接合部材が中空部を有するダクトである場合に、前記
セラミック製接合部材同士を、その中空部が開口する各
端面にて、ろう付けにより接合して前記セラミック接合
体を形成することを特徴とする前記請求項１〜４のいず
れかに記載のセラミック製接合体の製造方法を要旨とす
る。

【００１７】本発明では、従来の様に大径の金属製のフ
ランジを使用しないので、ダクトの有効径を従来より小
さくできる。そのため、例えば粒子加速器では、セラミ
ック製接合体の外側に径の小さなマグネットを配置でき
るので、高い加速性能が得られるという効果がある。し
かも、径の大きなマグネットを製造する必要がないの
で、低コスト化に寄与するという利点がある。

【００１８】更に、本発明によれば、マグネットの近傍
に大きな金属製のフランジがないので、マグネットの磁
力を十分に発揮でき、その点からも、所望の性能が得ら
れるという効果がある。 （７）請求項７の発明は、第１のセラミック製接合部材
と第２のセラミック製接合部材とを、互いの端面である
接合面にて接合する場合に、前記接合面の外周端の外側
を囲むように発熱体及び誘導コイルを配置するととも
に、少なくとも前記接合面の外周端、発熱体、及び誘導
コイルを含むように、前記各セラミック製接合部材の外
周面の所定範囲を気密性のカバー部材で覆い、且つ、前
記各セラミック製接合部材の接合面と反対側の各端面の
開口部を、気密性の封止部材で覆い、更に、前記各セラ
ミック製接合部材内の中空部と前記カバー部材で覆われ
た空間とを非酸化雰囲気として、高周波加熱によりろう
付け接合を行うことを特徴とする前記請求項６に記載の
セラミック製接合体の製造方法を要旨とする。

【００１９】本発明は、セラミック製接合体の製造方法
の構成を例示したものである。本発明では、必要な箇所
のみをカバー部材や封止部材で覆い、その内部を非酸化
雰囲気とすればよいので、加熱装置の構成を簡易化でき
る。つまり、セラミック製接合体全体を加熱装置（例え
ば大型の加熱炉）内に入れる必要はないので、非常に長
尺のダクトでも、容易にしかも低コストで製造すること
ができるという顕著な効果を奏する。

【００２０】（８）請求項８の発明は、前記セラミック
製接合体の軸方向と垂直の断面の形状が、長方形又は正
方形を含む多角形、円形、及び楕円形のうちのいずれか
であることを特徴とする前記請求項１〜７のいずれかに
記載のセラミック製接合体の製造方法を要旨とする。

【００２１】本発明は、セラミック製接合体（従ってセ
ラミック製接合部材）の断面形状（ダクトでは外形形
状）を例示したものである。尚、多角形の場合には、そ
の角部は、必要に応じて面取りがなされてＲ形状となっ
ている。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下、本発明のセラミック製接合
体の製造方法の実施の形態の例（実施例）を、図面を参
照して説明する。 （実施例１）ここでは、例えば粒子加速器において、粒
子が通過する通路の周囲を構成するために使用されるセ
ラミック製接合体（セラミック製長尺ダクト）の製造方
法を例に挙げる。

【００２３】ａ）まず、セラミック製長尺ダクトの構成
を説明する。図１に示す様に、本実施例のアルミナから
なるセラミック製長尺ダクト１は、長さ１０００ｍｍ×
外径φ２００ｍｍ×厚み５ｍｍの円筒状のダクトであ
り、２体の同様なアルミナの焼成品であるセラミック製
接合部材（セラミック製ダクト部材）３ａ、３ｂ（３と
総称する）をつなぎ合わせたものである。

【００２４】つまり、セラミック製長尺ダクト１は、図
２に分解して示す様に、長さ５００ｍｍ×外径φ２００
ｍｍ×厚さ５ｍｍの円筒形のセラミック製ダクト部材３
同士を、その軸方向長毛方向につなぎ合わせるように、
（例えばＪＩＳ ＢＡｇ−８の銀ろうである）共晶ろう
材５を使用して、貫通孔である中空部７ａ、７ｂ（７と
総称する）が開口するリング状の端面９ａ、９ｂ（９と
総称する）にて、ろう付け接合したものである。

【００２５】ｂ）次に、前記構成のセラミック製長尺ダ
クト１の製造方法を説明する。 装置構成 まず、セラミック製長尺ダクト１の製造方法に用いる加
熱装置について説明する。

【００２６】図３に示す様に、加熱装置１１は、高周波
の交番電圧を印加して加熱を行ういわゆる高周波加熱装
置である。この加熱装置１１は、セラミック製長尺ダク
ト１の外周側にて所定距離だけ離れて配置されたリング
状の（例えばカーボンからなる）発熱体１３と、発熱体
１３を誘導加熱するために、発熱体１３の外周側にて所
定距離だけ離れて、発熱体１３を数回まわる様に配置さ
れた誘導コイル１５と、誘導コイル１５に対して高周波
の電圧を印加する高周波発生装置（図示せず）とを備え
ている。

【００２７】前記発熱体１３と誘導コイル１５とは、略
直方体の箱状の容器１７の中に配置されている。この容
器１７の上面１９と下面２１には、それぞれ貫通孔２
３、２５が形成されており、この貫通孔２３、２５を同
図の上下方向に貫く様に、セラミック製長尺ダクト１
（詳しくは接合前の両セラミック製ダクト部材３）が配
置される。よって、前記発熱体１３は、セラミック製長
尺ダクト１が貫挿される空間より外周側に所定距離だけ
離れる位置に固定されていることになる。

【００２８】尚、容器１３には、後に窒素ガスを充填す
る際に使用するチューブ（図示せず）などを取り付けて
おく。 製造手順 次に、上記加熱装置１１を用いて行われる高周波加熱に
よるろう付けの工程について説明する。

【００２９】前記図３に示す様に、まず、第１のセラミ
ック製ダクト部材３ａの中空部７ａが開口する一方の端
面側（開口部分２６）を、気密性の閉塞部材２７で覆
う。具体的には、アルミホイールなどで端面を塞いだ後
に、その周囲を接着材で固めて封止する。

【００３０】次に、封止した側を下にして、第１のセラ
ミック製ダクト部材３ａを垂直に立て、その上部を前記
容器１７の下面２１の貫通孔２５から入れて、上端面９
ａが容器１７内に位置するようにする。詳しくは、第１
のセラミック製ダクト部材３ａの上端面９ａが、発熱体
１３の内側に位置するようにする。

【００３１】次に、その上端面９ａの全体にわたって、
上述したろう材５を配置する。次に、前記容器１７の上
面１９の貫通孔２３に、第２のセラミック製ダクト部材
３ｂの下部を入れ、第１のセラミック製ダクト部材３ａ
の上に、第２のセラミック製ダクト部材３ｂを立てて、
第１のセラミック製ダクト部材３ａの上端面９ａと第２
のセラミック製ダクト部材３ｂの下端面９ｂとを一致さ
せる。

【００３２】これにより、第１のセラミック製ダクト部
材３ａの上端面９ａと第２のセラミック製ダクト部材３
ｂの下端面９ｂとの間に、ろう材５を挟んだ状態となる
（図２参照）。従って、第１のセラミック製ダクト部材
３ａの上端面９ａと第２のセラミック製ダクト部材３ｂ
の下端面９ｂとろう材５とは、発熱体１３の内側に配置
されることになる。

【００３３】尚、第１のセラミック製ダクト部材３ａの
上に第２のセラミック製ダクト部材３ｂを立てる場合に
は、かなり長尺となるので、倒れたりずれたりしない様
に、適宜支えを設けておく。次に、第２のセラミック製
ダクト部材３ｂの上端側の開口部分３３を、第１のセラ
ミック製ダクト部材３ａの下端側と同様にして、気密性
の閉塞部材３５で覆う。尚、この閉塞部材３５には、後
に窒素ガスを充填する際に使用するチューブ（図示せ
ず）などを取り付けておく。

【００３４】次に、第１のセラミック製ダクト部材３ａ
と容器１７の下面２１との隙間を、気密性を保つために
封止部材（例えばアルミホイールと接着剤）３７で塞ぐ
とともに、第２のセラミック製ダクト部材３ｂと容器１
７の上面１９との隙間を、気密性を保つために封止部材
３９で塞ぐ。

【００３５】次に、前記閉塞部材３５のチューブを利用
して、第１のセラミック製ダクト部材３ａと第２のセラ
ミック製ダクト部材３ｂとの内側の中空部７内に、非酸
化性ガスである窒素ガスを充填し、同様に容器１７のチ
ューブを利用して、容器１７内にも窒素ガスを充填す
る。

【００３６】この状態で、高周波発生装置により、誘導
コイル１５に高周波の電圧を印加することにより、発熱
体１３を高温に加熱し、この高温の加熱により、ろう材
５を溶融させる。その後、高周波加熱を停止し、ろう材
５を冷却して固化させることにより、第１のセラミック
製ダクト部材３ａの上端面９ａと第２のセラミック製ダ
クト部材３ｂの下端面９ｂとをろう付けして、セラミッ
ク製長尺ダクト１を完成する。

【００３７】ｃ）この様に、本実施例では、第１のセラ
ミック製ダクト部材３ａの上端面９ａと第２のセラミッ
ク製ダクト部材３ｂの下端面９ｂとの間にろう材５を配
置し、更に、その周囲に発熱体１３及び誘導コイル１５
を配置するとともに、両ダクト部材３内の中空部７及び
容器１７内に窒素ガスを充填して、高周波加熱によるろ
う付けを行っている。

【００３８】これにより、長さが１ｍ以上のセラミック
製長尺ダクト１であっても、大きな加熱炉を使用するこ
となく、低コストで容易に製造することができる。ま
た、従来の様に、フランジをろう付けしてからフランジ
同士を溶接するのではなく、直接にろう付けによりセラ
ミック製ダクト部材３同士を接合できるので、製造工程
を大きく簡易化することができる。

【００３９】更に、本実施例によれば、セラミック製長
尺ダクト１は、従来の様に大径の金属製のフランジを使
用して接合するのではなく、単にろう材５を使用して各
セラミック製ダクト部材３同士を接合するだけで製造で
きるので、ダクトの有効径が、実際のセラミック製ダク
ト部材３の外径より大きくなることはない。

【００４０】そのため、例えば粒子加速器では、セラミ
ック製長尺ダクト１の外側に径の小さなマグネットを配
置できるので、高い加速性能が得られるという効果があ
る。しかも、径の大きなマグネットを製造する必要がな
いので、低コスト化に寄与するという利点がある。

【００４１】その上、本実施例では、マグネットの近傍
に大きな金属製のフランジがないので、マグネットの磁
力を十分に発揮でき、その点からも、所望の性能が得ら
れるという効果がある。 （実施例２）次に、実施例２について説明するが、前記
実施例１と同様な箇所の説明は省略する。

【００４２】図４に示す様に、本実施例のセラミック製
長尺ダクト４１は、全長３５００ｍｍに及ぶ非常に長い
ストレートなダクトである。このセラミック製長尺ダク
ト４１は、それぞれ長さ５００ｍｍ×外径φ２００ｍｍ
×厚み５ｍｍの円筒形状の７本のセラミック製ダクト部
材４３を、前記実施例１と同様に、軸方向に連接するよ
うに、その開口端面同士をろう付け接合したものであ
る。

【００４３】尚、セラミック製長尺ダクト４１の両端面
には、他のセラミック製長尺ダクト４１との接合のため
に、フランジ４５がろう付けされている。本実施例にお
いても、前記実施例１と同様に、高周波ろう付けを行う
が、ろう付けする位置が、徐々に異なってゆくので、即
ちろう付け位置が順次高くなるので、その高さに合わせ
て、（発熱体、誘導コイル、容器等を備えた）加熱装置
の位置を変更してゆく。

【００４４】本実施例においても前記実施例１と同様な
効果を奏するとともに、特に、数ｍに及ぶ非常に長いダ
クトを製造する場合に好適に対処できる。つまり、従来
は、個々のセラミック製ダクト部材にフランジを取り付
け、それらを順次溶接しなけば、その様な長尺のダクト
を製造することは事実上不可能であったが、本実施例で
は、高周波加熱する位置をずらすだけでよく、大型の加
熱炉を使用しなくとも（実際にはこの様な大きな加熱炉
は存在しない）、どの様な長いダクトであっても容易に
製造できるという顕著な効果を奏する。 （実施例３）次に、実施例３について説明するが、前記
実施例１と同様な箇所の説明は省略する。

【００４５】図５に分解して示す様に、本実施例のセラ
ミック製長尺ダクト５１は、各セラミック製ダクト部材
５３ａ、５３ｂ同士を、金属部材を介してろう付けした
ものである。つまり、セラミック製ダクト部材５３ａ、
５３ｂの間に、その端面５５ａ、５５ｂと同形状の厚み
５ｍｍのリング状の（例えば非磁性体であるチタン製
の）金属部材５７を配置し、この金属部材５７と各端面
５５ａ、５５ｂとの間に、それぞれ、ろう材５９ａ、５
９ｂを配置する。

【００４６】そして、これらを重ね合わせた状態で、前
記実施例１と同様に、高周波ろう付けを行い、各セラミ
ック製ダクト部材５３ａ、５３ｂ同士を接合して、セラ
ミック製長尺ダクト５１を完成する。本実施例によって
も、前記実施例１と同様な効果を奏するととももに、ろ
う付け部分に金属部材５７を挟むので、接合強度が大き
く向上するという利点がある。 （実施例４）次に、実施例４について説明するが、前記
実施例１と同様な箇所の説明は省略する。

【００４７】図６に分解して示す様に、本実施例のセラ
ミック製長尺ダクト６１は、各セラミック製ダクト部材
６３ａ、６３ｂ同士を、所定の傾斜角度α（例えば２
度）を持たせ、ろう材６５を用いて高周波ろう付けした
ものである。つまり、各セラミック製ダクト部材６３
ａ、６３ｂの端面６７ａ、６７ｂは、各セラミック製ダ
クト部材６３ａ、６３ｂの中心軸に対して垂直ではな
く、中心軸に垂直な平面に対して（１／２）α（例えば
１度）だけ傾いているので、接合されたセラミック製長
尺ダクト６１は、αだけ折れ曲がった形状となる。

【００４８】本実施例によっても、前記実施例１と同様
な効果を奏するとともに、ストレートでない折れ曲がっ
た形状であるので、各種の用途（例えば湾曲した部分へ
の適用など）に利用することができる。 （実施例５）次に、実施例５について説明するが、前記
実施例１と同様な箇所の説明は省略する。

【００４９】図７に示す様に、本実施例のセラミック製
長尺ダクト７１は、全長３５００ｍｍに及ぶ非常に長い
緩やかに曲がった形状のダクトである。このセラミック
製長尺ダクト７１は、それぞれ長さ略５００ｍｍ×外径
φ２００ｍｍ×厚み６ｍｍの円筒形状の７本のセラミッ
ク製ダクト部材７３を、前記実施例１と同様に、長手方
向に連接するように、その開口端面７５同士をろう付け
接合したものである。

【００５０】特に、本実施例では、前記実施例４と同様
に、各セラミック製ダクト部材７３の端面７５は、中心
軸に対して垂直ではなく、中心軸に垂直な平面に対して
β（例えば２度）だけ傾斜しているので、全体として、
γ＝７β（例えば１４度）折れ曲がった形状となってい
る。

【００５１】尚、セラミック製長尺ダクト７１の両端面
には、他のセラミック製長尺ダクト７１との接合のため
に、フランジ７５がろう付けされている。本実施例によ
っても、前記実施例１と同様な効果を奏するとともも
に、ストレートでなく緩やかに湾曲した形状であるの
で、例えば粒子を通過する湾曲した通路を形成するのに
好適である。

【００５２】尚、本発明は前記実施例になんら限定され
るものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲におい
て種々の態様で実施しうることはいうまでもない。例え
ば、前記実施例では、中空のダクトに本発明を適用した
が、中実の棒状のセラミック製接合体の製造に本発明を
適用した場合も、同様な効果が得られる。

【００５３】この接合の際には、セラミック製接合部材
の接合部分の周囲を覆う様にカバー部材を配置し、その
内側の空間を非酸化雰囲気として、同様に高周波加熱を
行えばよい。

【図面の簡単な説明】

【図１】 実施例１のセラミック製長尺ダクトを示す斜
視図である。

【図２】 実施例１のセラミック製長尺ダクトの接合部
分を拡大して示す分解斜視図である。

【図３】 実施例１のセラミック製長尺ダクトの製造方
法を示す説明図である。

【図４】 実施例２のセラミック製長尺ダクトを示す平
面図である。

【図５】 実施例３のセラミック製長尺ダクトの一部を
破断して示す断面図である。

【図６】 実施例４のセラミック製長尺ダクトの一部を
破断して示す断面図である。

【図７】 実施例５のセラミック製長尺ダクトを示す平
面図である。

【図８】 従来技術の説明図である。

【符号の説明】

１、４１、５１、６１、７１…セラミック製長尺ダクト ３ａ、３ｂ、３、４３、５３ａ、５３ｂ、６３ａ、６３
ｂ、７３…セラミック製ダクト部材 ５、５５ａ、５５ｂ、６５…ろう材 １３…発熱体 １５…誘導コイル １１…加熱装置 １７…容器 ５７…金属部材

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｂ２３Ｋ 31/02 ３１０ Ｂ２３Ｋ 31/02 ３１０Ｂ

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 全長１ｍ以上のセラミック製接合体の製
   造方法であって、 非酸化雰囲気中にて、２個以上のセラミック製接合部材
   同士を、互いの端面を向かい合わせ、その間にろう材を
   配置した状態で、高周波加熱を行うことにより、各端面
   同士をろう付け接合することを特徴とするセラミック製
   接合体の製造方法。
2. 【請求項２】 前記セラミック製接合部材は、それぞれ
   ２５ｃｍ以上であることを特徴とする前記請求項１に記
   載のセラミック製接合体の製造方法。
3. 【請求項３】 前記向かい合う各端面の間に金属部材を
   配置するとともに、該金属部材と各端面との間に前記ろ
   う材を配置して、前記ろう付け接合することを特徴とす
   る前記請求項１又は２に記載のセラミック製接合体の製
   造方法。
4. 【請求項４】 接合する一方又は両方のセラミック製接
   合部材の端面を、セラミック製接合部材の軸中心の垂直
   面より傾斜させ、前記各セラミック製接合部材の端面同
   士を、前記ろう付け接合することにより、その接合部分
   にて曲がった形状を有するセラミック製接合体を形成す
   ることを特徴とする前記請求項１〜３のいずれかに記載
   のセラミック製接合体の製造方法。
5. 【請求項５】 第１のセラミック製接合部材と第２のセ
   ラミック製接合部材とを、互いの端面である接合面にて
   接合する場合に、 前記接合面の外周端の外側を囲むように発熱体及び誘導
   コイルを配置するとともに、少なくとも前記接合面の外
   周端、発熱体、及び誘導コイルを含むように、前記各セ
   ラミック製接合部材の外周面の所定範囲を気密性のカバ
   ー部材で覆い、 更に、前記カバー部材で覆われた空間を非酸化雰囲気と
   して、高周波加熱によりろう付け接合を行うことを特徴
   とする前記請求項１〜４のいずれかに記載のセラミック
   製接合体の製造方法。
6. 【請求項６】 前記セラミック製接合部材が中空部を有
   するダクトである場合に、 前記セラミック製接合部材同士を、その中空部が開口す
   る各端面にて、ろう付けにより接合して前記セラミック
   接合体を形成することを特徴とする前記請求項１〜５の
   いずれかに記載のセラミック製接合体の製造方法。
7. 【請求項７】 第１のセラミック製接合部材と第２のセ
   ラミック製接合部材とを、互いの端面である接合面にて
   接合する場合に、 前記接合面の外周端の外側を囲むように発熱体及び誘導
   コイルを配置するとともに、少なくとも前記接合面の外
   周端、発熱体、及び誘導コイルを含むように、前記各セ
   ラミック製接合部材の外周面の所定範囲を気密性のカバ
   ー部材で覆い、且つ、前記各セラミック製接合部材の接
   合面と反対側の各端面の開口部を、気密性の封止部材で
   覆い、 更に、前記各セラミック製接合部材内の中空部と前記カ
   バー部材で覆われた空間とを非酸化雰囲気として、高周
   波加熱によりろう付け接合を行うことを特徴とする前記
   請求項６に記載のセラミック製接合体の製造方法。
8. 【請求項８】 前記セラミック製接合体の軸方向と垂直
   の断面の形状が、長方形又は正方形を含む多角形、円
   形、及び楕円形のうちのいずれかであることを特徴とす
   る前記請求項１〜７のいずれかに記載のセラミック製接
   合体の製造方法。