JP2003340332A - 薄膜形成装置 - Google Patents
薄膜形成装置Info
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- JP2003340332A JP2003340332A JP2002149283A JP2002149283A JP2003340332A JP 2003340332 A JP2003340332 A JP 2003340332A JP 2002149283 A JP2002149283 A JP 2002149283A JP 2002149283 A JP2002149283 A JP 2002149283A JP 2003340332 A JP2003340332 A JP 2003340332A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 厚さ１０μｍ以下の薄膜を形成するのに適し
た装置において、塗布方向，幅方向へ均一に薄膜材料を
塗布することができるようにする。 【解決手段】 液状の材料液をターゲット面２８に塗布
しターゲット面２８上に薄膜５４を形成する薄膜形成装
置であって、材料液の顔料粒よりも大きい目開きサイズ
のメッシュ材で形成された表面層と、表面層の内部に形
成され、材料液が充填される中空部２３とを有するメッ
シュロール２２と、中空部２３内に圧力を加える加圧機
構と、ターゲット面２８とメッシュロール２２との間に
設置された中間ロール２４と、メッシュロール２２を回
転させる第１の駆動装置と、中間ロール２４をメッシュ
ロール２２に対向して回転させる第２の駆動装置と、タ
ーゲット面２８を中間ロールの接線方向に中間ロール２
４に対向して移動させる第３の駆動装置とを備えて構成
する。
た装置において、塗布方向，幅方向へ均一に薄膜材料を
塗布することができるようにする。 【解決手段】 液状の材料液をターゲット面２８に塗布
しターゲット面２８上に薄膜５４を形成する薄膜形成装
置であって、材料液の顔料粒よりも大きい目開きサイズ
のメッシュ材で形成された表面層と、表面層の内部に形
成され、材料液が充填される中空部２３とを有するメッ
シュロール２２と、中空部２３内に圧力を加える加圧機
構と、ターゲット面２８とメッシュロール２２との間に
設置された中間ロール２４と、メッシュロール２２を回
転させる第１の駆動装置と、中間ロール２４をメッシュ
ロール２２に対向して回転させる第２の駆動装置と、タ
ーゲット面２８を中間ロールの接線方向に中間ロール２
４に対向して移動させる第３の駆動装置とを備えて構成
する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、薄膜を作成する装
置に関し、特に、厚さ１０μｍ以下の薄膜を形成するの
に適した装置に関する。
置に関し、特に、厚さ１０μｍ以下の薄膜を形成するの
に適した装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、極薄い薄膜を形成する方法として
キャピラリーコータ方式とローラディッピングコータ方
式と液面上薄膜転写方式とが知られている。図５にキャ
ピラリーコータ方式による薄膜形成装置の概略構成図を
示す。図中水平方向に移動可能に設置されたスライド装
置１上に保持台２が設置されており、保持台２上にガラ
ス製の板３が設置されていて、板３の表面に薄膜が形成
される。つまり、板３は保持台２を介してスライド装置
１に固定されており、スライド装置１の移動に伴い板３
も移動するよう構成されている。板３の図中上部にはス
リット４を設けられたノズル５が、板３の表面と接しな
いようにして設置されている。ノズル５内のスリット４
は液移送管６，７とポンプ８とを介して材料液が充填さ
れたタンク９と連通している。
キャピラリーコータ方式とローラディッピングコータ方
式と液面上薄膜転写方式とが知られている。図５にキャ
ピラリーコータ方式による薄膜形成装置の概略構成図を
示す。図中水平方向に移動可能に設置されたスライド装
置１上に保持台２が設置されており、保持台２上にガラ
ス製の板３が設置されていて、板３の表面に薄膜が形成
される。つまり、板３は保持台２を介してスライド装置
１に固定されており、スライド装置１の移動に伴い板３
も移動するよう構成されている。板３の図中上部にはス
リット４を設けられたノズル５が、板３の表面と接しな
いようにして設置されている。ノズル５内のスリット４
は液移送管６，７とポンプ８とを介して材料液が充填さ
れたタンク９と連通している。
【０００３】このような構成により、タンク９からノズ
ル５内のスリット４に材料液が送られると、スリット４
が細く形成されているため材料液は毛細管力により板３
の表面上に吐出される。ここで板３はスライド装置１に
より図中水平方向に移動するので、スリット４から板３
の表面に材料液が均一に塗布され、薄膜１０が形成され
る。（特開平８−２４３４７６：第２６４４４５７号）
ル５内のスリット４に材料液が送られると、スリット４
が細く形成されているため材料液は毛細管力により板３
の表面上に吐出される。ここで板３はスライド装置１に
より図中水平方向に移動するので、スリット４から板３
の表面に材料液が均一に塗布され、薄膜１０が形成され
る。（特開平８−２４３４７６：第２６４４４５７号）
【０００４】次に、図６にローラディッピングコータ方
式による薄膜形成装置の概略構成図を示す。この方式の
装置では、材料液が収容された材料容器１１の図中上方
に、材料液を引き上げるためのファウンテンロール１２
が回転可能に設置されており、材料容器１１内の材料液
の液面１３とファウンテンロール１２の図中下部が接す
るように、材料容器１１の上下位置が調整されている。
さらにファウンテンロール１２の頂部と接するようにし
て、ファウンテンロール１２と平行に、表面がシリコン
製のシリコンロール１４が回転可能に設置されている。
式による薄膜形成装置の概略構成図を示す。この方式の
装置では、材料液が収容された材料容器１１の図中上方
に、材料液を引き上げるためのファウンテンロール１２
が回転可能に設置されており、材料容器１１内の材料液
の液面１３とファウンテンロール１２の図中下部が接す
るように、材料容器１１の上下位置が調整されている。
さらにファウンテンロール１２の頂部と接するようにし
て、ファウンテンロール１２と平行に、表面がシリコン
製のシリコンロール１４が回転可能に設置されている。
【０００５】このような構成によれば、ファウンテンロ
ール１２が回転すると、材料容器１１内の材料液はファ
ウンテンロール１２の回転にともないファウンテンロー
ル１２の表面に引き上げられ、液膜１５が形成される。
引き上げられた液膜１５は重力によって絞られる。絞ら
れた液膜１５がファウンテンロール１２の頂部でシリコ
ンロール１４表面に転写され、シリコンロール１４表面
に薄膜１６が形成される。
ール１２が回転すると、材料容器１１内の材料液はファ
ウンテンロール１２の回転にともないファウンテンロー
ル１２の表面に引き上げられ、液膜１５が形成される。
引き上げられた液膜１５は重力によって絞られる。絞ら
れた液膜１５がファウンテンロール１２の頂部でシリコ
ンロール１４表面に転写され、シリコンロール１４表面
に薄膜１６が形成される。
【０００６】続いて、図７に液面上薄膜転写方式による
薄膜形成装置の概略構成図を示す。この装置では、展開
容器１７に材料液１８に対して不溶性の液体（以下、展
開液という）１９を満たし、展開液１９の液面に材料液
１８を展開する。さらに、材料液１８の表面に接するよ
うにして表面がシリコンで形成されたシリコンロール２
０が移動可能かつ回転可能に設置されている。
薄膜形成装置の概略構成図を示す。この装置では、展開
容器１７に材料液１８に対して不溶性の液体（以下、展
開液という）１９を満たし、展開液１９の液面に材料液
１８を展開する。さらに、材料液１８の表面に接するよ
うにして表面がシリコンで形成されたシリコンロール２
０が移動可能かつ回転可能に設置されている。
【０００７】このような構成によれば、シリコンロール
２０が回転すると展開液１９の液面に展開された薄膜材
料１８はシリコンロール２０表面に転写され、シリコン
ロール２０表面に薄膜２１が形成されることとなる。
２０が回転すると展開液１９の液面に展開された薄膜材
料１８はシリコンロール２０表面に転写され、シリコン
ロール２０表面に薄膜２１が形成されることとなる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の薄膜形成方法では、以下に示すような課題が
ある。すなわち、キャピラリーコータ方式においては、
スリット幅と、ノズル先端からガラス製の板の表面まで
の距離と、スライド装置の速度とを制御することで薄膜
の形成が可能であるものの、スリット幅を幅方向に均一
に加工する技術が難しく、また広幅材への均一塗布が困
難であるという課題がある。
うな従来の薄膜形成方法では、以下に示すような課題が
ある。すなわち、キャピラリーコータ方式においては、
スリット幅と、ノズル先端からガラス製の板の表面まで
の距離と、スライド装置の速度とを制御することで薄膜
の形成が可能であるものの、スリット幅を幅方向に均一
に加工する技術が難しく、また広幅材への均一塗布が困
難であるという課題がある。
【０００９】また、ローラディッピングコータ方式にお
いては、材料液の液面が乱れると膜厚が不均一となりや
すいこと、および幅方向の膜厚不均一が発生しやすいこ
とが課題である。さらに、液面上薄膜転写方式では、展
開液面に展開される材料液の厚さが１μｍ以下の超薄膜
となるため、使用に耐える厚さ（２〜１０μｍ）の薄膜
を形成するためには超薄膜を重ねることが必要となる
が、シリコンロール上で超薄膜を重ねることが困難であ
ること、及び薄膜形成時に薄膜が不均一となりやすいと
いう課題がある。
いては、材料液の液面が乱れると膜厚が不均一となりや
すいこと、および幅方向の膜厚不均一が発生しやすいこ
とが課題である。さらに、液面上薄膜転写方式では、展
開液面に展開される材料液の厚さが１μｍ以下の超薄膜
となるため、使用に耐える厚さ（２〜１０μｍ）の薄膜
を形成するためには超薄膜を重ねることが必要となる
が、シリコンロール上で超薄膜を重ねることが困難であ
ること、及び薄膜形成時に薄膜が不均一となりやすいと
いう課題がある。
【００１０】本発明は、このような課題に鑑み創案され
たもので、塗布方向，幅方向へ均一に薄膜材料を塗布す
る装置の提供、及び薄膜切れや液垂れの発生しない薄膜
塗布装置の提供をすることを目的とする。
たもので、塗布方向，幅方向へ均一に薄膜材料を塗布す
る装置の提供、及び薄膜切れや液垂れの発生しない薄膜
塗布装置の提供をすることを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】このため、請求項１記載
の本発明の薄膜形成装置は、液状の材料液をターゲット
面に塗布し上記ターゲット面上に薄膜を形成する薄膜形
成装置であって、上記材料液の顔料粒よりも大きい目開
きサイズのメッシュ材で形成された表面層と、上記表面
層の内部に形成され、上記材料液を充填される中空部と
を有するメッシュロールと、上記中空部内に圧力を加え
る加圧機構と、上記ターゲット面と上記メッシュロール
との間に設置された中間ロールと、上記メッシュロール
を回転させる第１の駆動装置と、上記中間ロールを上記
メッシュロールに対して回転させる第２の駆動装置と、
上記ターゲット面を上記中間ロールの接線方向に上記中
間ロールに対して移動させる第３の駆動装置とを備え、
上記メッシュロール表面に上記材料液を染み出させて、
上記材料液の均一な供給を行いながら薄膜形成ができる
ことを特徴とする。なお、ここでいうターゲット面と
は、薄膜形成装置において最終的に薄膜を形成する場所
となる面のことをいう。
の本発明の薄膜形成装置は、液状の材料液をターゲット
面に塗布し上記ターゲット面上に薄膜を形成する薄膜形
成装置であって、上記材料液の顔料粒よりも大きい目開
きサイズのメッシュ材で形成された表面層と、上記表面
層の内部に形成され、上記材料液を充填される中空部と
を有するメッシュロールと、上記中空部内に圧力を加え
る加圧機構と、上記ターゲット面と上記メッシュロール
との間に設置された中間ロールと、上記メッシュロール
を回転させる第１の駆動装置と、上記中間ロールを上記
メッシュロールに対して回転させる第２の駆動装置と、
上記ターゲット面を上記中間ロールの接線方向に上記中
間ロールに対して移動させる第３の駆動装置とを備え、
上記メッシュロール表面に上記材料液を染み出させて、
上記材料液の均一な供給を行いながら薄膜形成ができる
ことを特徴とする。なお、ここでいうターゲット面と
は、薄膜形成装置において最終的に薄膜を形成する場所
となる面のことをいう。
【００１２】請求項２記載の本発明の薄膜形成装置は、
請求項１記載の構成において、上記メッシュロールの表
面を覆い、上記メッシュロールが上記中間ロールと対向
する領域に開口部を有するカバーを備えていて、上記開
口部以外の個所で材料液がカバーの外に露出しないよう
構成されていることを特徴としている。請求項３記載の
本発明の薄膜形成装置は、請求項１〜２記載の構成にお
いて、上記中間ロール表面及び上記ターゲット面が、シ
リコンで形成されていて、材料液が剥離しやすいよう構
成されていることを特徴としている。
請求項１記載の構成において、上記メッシュロールの表
面を覆い、上記メッシュロールが上記中間ロールと対向
する領域に開口部を有するカバーを備えていて、上記開
口部以外の個所で材料液がカバーの外に露出しないよう
構成されていることを特徴としている。請求項３記載の
本発明の薄膜形成装置は、請求項１〜２記載の構成にお
いて、上記中間ロール表面及び上記ターゲット面が、シ
リコンで形成されていて、材料液が剥離しやすいよう構
成されていることを特徴としている。
【００１３】請求項４記載の本発明の薄膜形成装置は、
請求項１〜３記載の構成において、上記メッシュロール
及び上記中間ロール及び上記ターゲット面が、それぞれ
位置調整装置に支持されていて、上記メッシュロールと
上記中間ロールとの間の押し付け圧力、及び上記中間ロ
ールと上記ターゲット面との間の押し付け圧力を制御で
きることを特徴としている。
請求項１〜３記載の構成において、上記メッシュロール
及び上記中間ロール及び上記ターゲット面が、それぞれ
位置調整装置に支持されていて、上記メッシュロールと
上記中間ロールとの間の押し付け圧力、及び上記中間ロ
ールと上記ターゲット面との間の押し付け圧力を制御で
きることを特徴としている。
【００１４】請求項５記載の本発明の薄膜形成装置は、
請求項１〜４記載の構成において、上記第１〜第３の駆
動装置が、それぞれ駆動速度調整装置を設置されてい
て、上記メッシュロールと上記中間ロールとの間のスリ
ップ、及び上記中間ロールと上記ターゲット面との間の
スリップを制御できることを特徴としている。請求項６
記載の本発明の薄膜形成装置は、請求項１〜５記載の構
成において、上記ターゲット面が、回転可能に設置され
たロールであることを特徴としている。
請求項１〜４記載の構成において、上記第１〜第３の駆
動装置が、それぞれ駆動速度調整装置を設置されてい
て、上記メッシュロールと上記中間ロールとの間のスリ
ップ、及び上記中間ロールと上記ターゲット面との間の
スリップを制御できることを特徴としている。請求項６
記載の本発明の薄膜形成装置は、請求項１〜５記載の構
成において、上記ターゲット面が、回転可能に設置され
たロールであることを特徴としている。
【００１５】請求項７記載の本発明の薄膜形成装置は、
液状の材料液をターゲット面に塗布し上記ターゲット面
上に薄膜を形成する薄膜形成装置であって、上記材料液
の顔料粒よりも大きい目開きサイズのメッシュ材で形成
された表面層と、該表面層の内部に形成され、上記材料
液を充填できる中空部とを有するメッシュロールと、上
記中空部内に圧力を加える加圧機構と、上記メッシュロ
ールを回転させる第１の駆動装置と、上記ターゲット面
を上記メッシュロールの接線方向に上記メッシュロール
に対して移動させる第２の駆動装置とを備え、上記メッ
シュロール表面に上記材料液を染み出させて、上記材料
液の均一な供給を行いながら薄膜形成ができることを特
徴とする。
液状の材料液をターゲット面に塗布し上記ターゲット面
上に薄膜を形成する薄膜形成装置であって、上記材料液
の顔料粒よりも大きい目開きサイズのメッシュ材で形成
された表面層と、該表面層の内部に形成され、上記材料
液を充填できる中空部とを有するメッシュロールと、上
記中空部内に圧力を加える加圧機構と、上記メッシュロ
ールを回転させる第１の駆動装置と、上記ターゲット面
を上記メッシュロールの接線方向に上記メッシュロール
に対して移動させる第２の駆動装置とを備え、上記メッ
シュロール表面に上記材料液を染み出させて、上記材料
液の均一な供給を行いながら薄膜形成ができることを特
徴とする。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を説明する。図１，２は本発明の第１実施形態
としての薄膜形成装置の概要を示すものである。図１は
本発明の第１実施形態としての薄膜形成装置の概要を模
式的に示した断面図である。
施の形態を説明する。図１，２は本発明の第１実施形態
としての薄膜形成装置の概要を示すものである。図１は
本発明の第１実施形態としての薄膜形成装置の概要を模
式的に示した断面図である。
【００１７】図１に示すように、本発明の第１実施形態
としての薄膜形成装置は、メッシュロール２２、中間ロ
ール２４、ターゲットロール２５から構成されている。
この構成では、メッシュロール２２内部に中空部２３が
設けられ、その中空部２３に薄膜の材料である材料液が
収納される。材料液は、中空部２３に圧力を加えること
でメッシュ材で形成されたメッシュロール２２表面に染
み出す。中空部２３からメッシュロール２２表面にしみ
出た材料液がメッシュロール２２のとなりに設置された
中間ロール２４表面に塗布され、中間ロール２４表面の
材料液が中間ロール２４のとなりに設置されたターゲッ
トロール２５表面に塗布されることで薄膜が形成され
る。以下、図１のＡ面でこの薄膜形成装置を切断した装
置概要図を図２に示し、この装置の構成について説明す
る。
としての薄膜形成装置は、メッシュロール２２、中間ロ
ール２４、ターゲットロール２５から構成されている。
この構成では、メッシュロール２２内部に中空部２３が
設けられ、その中空部２３に薄膜の材料である材料液が
収納される。材料液は、中空部２３に圧力を加えること
でメッシュ材で形成されたメッシュロール２２表面に染
み出す。中空部２３からメッシュロール２２表面にしみ
出た材料液がメッシュロール２２のとなりに設置された
中間ロール２４表面に塗布され、中間ロール２４表面の
材料液が中間ロール２４のとなりに設置されたターゲッ
トロール２５表面に塗布されることで薄膜が形成され
る。以下、図１のＡ面でこの薄膜形成装置を切断した装
置概要図を図２に示し、この装置の構成について説明す
る。
【００１８】メッシュロール２２は、薄膜の材料となる
材料液の顔料粒の２〜３倍の目開きサイズをもつメッシ
ュ材で形成されている。メッシュ材としては、多孔質の
素材であれば良く、例えば、金属メッシュ材や発泡セラ
ミック材、並びに不燃布などが使用できる。メッシュロ
ール２２の内部には中空部２３が形成され、中空部２３
はメッシュロール２２の両端に設置された端板２６，２
７により蓋をされている。メッシュロール２２のとなり
には表面をシリコンで形成された中間ロール２４がメッ
シュロール２２と平行に回転可能に設置され、さらに中
間ロール２４の隣には表面をシリコンで形成されたター
ゲットロール２５が中間ロール２４と平行に回転可能に
設置されていて、このターゲットロール２５の表面がタ
ーゲット面２８を形成している。メッシュロール２２周
面及び側面はカバー２９に覆われている。カバー２９は
位置固定で、メッシュロール２２はカバー２９内で自在
に回転できるようになっている。カバー２９は、メッシ
ュロール２２と中間ロール２４とが対向する領域に開口
部３０を形成されている。メッシュロール２２の軸方向
両端には回転軸３１，３２が設置され、中間ロール２４
の軸方向両端には回転軸３３，３４が設置され、ターゲ
ットロール２５の軸方向両端には回転軸３５，３６が設
置されている。回転軸３１，３２，３３，３４，３５，
３６はそれぞれ図中水平方向に位置調整可能に設置され
た軸受け３７，３８，３９，４０，４１，４２により支
持されているため、メッシュロール２２および中間ロー
ル２４並びにターゲットロール２５はそれぞれ独立して
位置調整可能になされている。また、回転軸３２，３
４，３６はそれぞれ変速モータ４３，４４，４５に繋が
っており、このためメッシュロール２２および中間ロー
ル２４並びにターゲットロール２５はそれぞれ独立して
回転速度を調節しながら回転可能になされている。
材料液の顔料粒の２〜３倍の目開きサイズをもつメッシ
ュ材で形成されている。メッシュ材としては、多孔質の
素材であれば良く、例えば、金属メッシュ材や発泡セラ
ミック材、並びに不燃布などが使用できる。メッシュロ
ール２２の内部には中空部２３が形成され、中空部２３
はメッシュロール２２の両端に設置された端板２６，２
７により蓋をされている。メッシュロール２２のとなり
には表面をシリコンで形成された中間ロール２４がメッ
シュロール２２と平行に回転可能に設置され、さらに中
間ロール２４の隣には表面をシリコンで形成されたター
ゲットロール２５が中間ロール２４と平行に回転可能に
設置されていて、このターゲットロール２５の表面がタ
ーゲット面２８を形成している。メッシュロール２２周
面及び側面はカバー２９に覆われている。カバー２９は
位置固定で、メッシュロール２２はカバー２９内で自在
に回転できるようになっている。カバー２９は、メッシ
ュロール２２と中間ロール２４とが対向する領域に開口
部３０を形成されている。メッシュロール２２の軸方向
両端には回転軸３１，３２が設置され、中間ロール２４
の軸方向両端には回転軸３３，３４が設置され、ターゲ
ットロール２５の軸方向両端には回転軸３５，３６が設
置されている。回転軸３１，３２，３３，３４，３５，
３６はそれぞれ図中水平方向に位置調整可能に設置され
た軸受け３７，３８，３９，４０，４１，４２により支
持されているため、メッシュロール２２および中間ロー
ル２４並びにターゲットロール２５はそれぞれ独立して
位置調整可能になされている。また、回転軸３２，３
４，３６はそれぞれ変速モータ４３，４４，４５に繋が
っており、このためメッシュロール２２および中間ロー
ル２４並びにターゲットロール２５はそれぞれ独立して
回転速度を調節しながら回転可能になされている。
【００１９】端板２６及び回転軸３１の中心には連通穴
４６，４７がそれぞれ貫通しており、連通穴４７は回転
軸３１の端部に設置されたロータリージョイント４８に
よって液移送管４９と繋がっている。液移送管４９は、
圧力調節が可能なポンプ５０と連結されており、ポンプ
５０は液移送管５１を介して材料液が収納されたタンク
５２に連通している。したがって、タンク５２に収納さ
れた材料液はタンク５２→液移送管５１→ポンプ５０→
液移送管４９→ロータリージョイント４８→連通穴４７
→連通穴４６→中空部２３の順路をたどって中空部２３
に供給される。
４６，４７がそれぞれ貫通しており、連通穴４７は回転
軸３１の端部に設置されたロータリージョイント４８に
よって液移送管４９と繋がっている。液移送管４９は、
圧力調節が可能なポンプ５０と連結されており、ポンプ
５０は液移送管５１を介して材料液が収納されたタンク
５２に連通している。したがって、タンク５２に収納さ
れた材料液はタンク５２→液移送管５１→ポンプ５０→
液移送管４９→ロータリージョイント４８→連通穴４７
→連通穴４６→中空部２３の順路をたどって中空部２３
に供給される。
【００２０】本発明の第１実施形態としての薄膜形成装
置は上述のように構成されているので、タンク５２から
中空部２３へ送られた材料液は、ポンプ５０から圧力が
与えられると、メッシュロール２２表面に均一に染み出
す。染み出た材料液は、メッシュロール２２にカバー２
９が設置されているために、開口部３０が設けられたメ
ッシュロール２２と中間ロール２４とが対向する領域以
外ではカバー２９の外に露出することはない。
置は上述のように構成されているので、タンク５２から
中空部２３へ送られた材料液は、ポンプ５０から圧力が
与えられると、メッシュロール２２表面に均一に染み出
す。染み出た材料液は、メッシュロール２２にカバー２
９が設置されているために、開口部３０が設けられたメ
ッシュロール２２と中間ロール２４とが対向する領域以
外ではカバー２９の外に露出することはない。
【００２１】メッシュロール２２と中間ロール２４とを
対向して回転させると、メッシュロール２２と中間ロー
ル２４とが対向する領域でスリップが発生する。メッシ
ュロール２２表面に染み出た材料液はこのスリップによ
り均一化されながらメッシュロール２２表面から中間ロ
ール２４表面に塗布され、中間ロール２４表面に材料液
の膜５３が形成される。
対向して回転させると、メッシュロール２２と中間ロー
ル２４とが対向する領域でスリップが発生する。メッシ
ュロール２２表面に染み出た材料液はこのスリップによ
り均一化されながらメッシュロール２２表面から中間ロ
ール２４表面に塗布され、中間ロール２４表面に材料液
の膜５３が形成される。
【００２２】さらに、中間ロール２４とターゲットロー
ル２５とを対向して回転させると、中間ロール２４とタ
ーゲットロール２５とが対向する領域でもスリップが発
生し、材料液の膜５３はこのスリップでさらに均一化さ
れながら中間ロール２４表面からターゲットロール２５
表面のターゲット面２８に塗布され、ターゲット面２８
で薄膜５４が形成される。
ル２５とを対向して回転させると、中間ロール２４とタ
ーゲットロール２５とが対向する領域でもスリップが発
生し、材料液の膜５３はこのスリップでさらに均一化さ
れながら中間ロール２４表面からターゲットロール２５
表面のターゲット面２８に塗布され、ターゲット面２８
で薄膜５４が形成される。
【００２３】このとき、各ロールの回転速度を調整し
て、メッシュロール２２と中間ロール２４との速度比、
及び／又は中間ロール２４とターゲットロール２５との
速度比をそれぞれ調整することで、メッシュロール２２
と中間ロール２４との間のスリップ比、及び／又は中間
ロール２４とターゲットロール２５と間のスリップ比を
それぞれ制御することができ、このスリップ比の制御に
より薄膜５４の厚さを制御することが可能となる。
て、メッシュロール２２と中間ロール２４との速度比、
及び／又は中間ロール２４とターゲットロール２５との
速度比をそれぞれ調整することで、メッシュロール２２
と中間ロール２４との間のスリップ比、及び／又は中間
ロール２４とターゲットロール２５と間のスリップ比を
それぞれ制御することができ、このスリップ比の制御に
より薄膜５４の厚さを制御することが可能となる。
【００２４】また、各軸受けの図中水平方向の位置を調
整して、メッシュロール２２と中間ロール２４とターゲ
ットロール２５との相対位置を調整することで、メッシ
ュロール２２と中間ロール２４との間の押し付け圧力、
及び／又は中間ロール２４とターゲットロール２５との
間の押し付け圧力を制御することができ、この押し付け
圧力の制御により薄膜５４の厚さを制御することが可能
となる。
整して、メッシュロール２２と中間ロール２４とターゲ
ットロール２５との相対位置を調整することで、メッシ
ュロール２２と中間ロール２４との間の押し付け圧力、
及び／又は中間ロール２４とターゲットロール２５との
間の押し付け圧力を制御することができ、この押し付け
圧力の制御により薄膜５４の厚さを制御することが可能
となる。
【００２５】なお、今回メッシュロール２２に対して中
間ロール２４は対向して回転しており、また、中間ロー
ル２４に対してターゲットロール２５は対向して回転し
ているが、回転方向を同方向としてもよい。ただし、同
方向に回転させた場合には、薄膜にリングパターンと呼
ばれる規則的な筋状のムラが発生しやすくなってしま
う。回転の向きが対向している場合には、このリングパ
ターンは発生しにくい。また、ロールが回転する速度比
を一定にして薄膜を薄くする場合にも回転の向きは対向
していることが望ましい。
間ロール２４は対向して回転しており、また、中間ロー
ル２４に対してターゲットロール２５は対向して回転し
ているが、回転方向を同方向としてもよい。ただし、同
方向に回転させた場合には、薄膜にリングパターンと呼
ばれる規則的な筋状のムラが発生しやすくなってしま
う。回転の向きが対向している場合には、このリングパ
ターンは発生しにくい。また、ロールが回転する速度比
を一定にして薄膜を薄くする場合にも回転の向きは対向
していることが望ましい。
【００２６】図３，４は本発明の第２実施形態としての
薄膜形成装置の概要を示すもので、図１，２と実質同一
部位には同一符号をつけて説明する。図３は本発明の第
２実施形態としての薄膜形成装置の概要を模式的に示し
た断面図である。この構成では、メッシュロール２２内
部に中空部２３が設けられ、その中空部２３に薄膜の材
料である材料液が収納される。材料液は、中空部２３に
圧力を加えることでメッシュロール２２表面に染み出
す。中空部２３からメッシュロール２２表面にしみ出た
材料液がメッシュロール２２のとなりに設置されたター
ゲット板５５の表面に塗布され、薄膜が形成される。以
下、図３のＢ面でこの薄膜形成装置を切断した装置概要
図を図４に示し、この装置の構成について説明する。
薄膜形成装置の概要を示すもので、図１，２と実質同一
部位には同一符号をつけて説明する。図３は本発明の第
２実施形態としての薄膜形成装置の概要を模式的に示し
た断面図である。この構成では、メッシュロール２２内
部に中空部２３が設けられ、その中空部２３に薄膜の材
料である材料液が収納される。材料液は、中空部２３に
圧力を加えることでメッシュロール２２表面に染み出
す。中空部２３からメッシュロール２２表面にしみ出た
材料液がメッシュロール２２のとなりに設置されたター
ゲット板５５の表面に塗布され、薄膜が形成される。以
下、図３のＢ面でこの薄膜形成装置を切断した装置概要
図を図４に示し、この装置の構成について説明する。
【００２７】この構成において、メッシュロール２２、
中空部２３、端板２６，２７、カバー２９、開口部３
０、回転軸３１，３２、軸受け３７，３８、変速モータ
４３、導通穴４６，４７、ロータリージョイント４８、
液移送管４９，５１、ポンプ５０、タンク５２はすべて
本発明の第１実施形態と同じに構成されている。メッシ
ュロール２２のとなりには、表面をシリコンで形成され
たターゲット板５５が設置されていて、このターゲット
板５５の表面がターゲット面５６を形成する。ターゲッ
ト板５５は、変速モータ５７により図中垂直方向に移動
可能に設置された移動テーブル５８に支持されているの
で、ターゲット板５５も図中垂直方向に移動可能になっ
ている。
中空部２３、端板２６，２７、カバー２９、開口部３
０、回転軸３１，３２、軸受け３７，３８、変速モータ
４３、導通穴４６，４７、ロータリージョイント４８、
液移送管４９，５１、ポンプ５０、タンク５２はすべて
本発明の第１実施形態と同じに構成されている。メッシ
ュロール２２のとなりには、表面をシリコンで形成され
たターゲット板５５が設置されていて、このターゲット
板５５の表面がターゲット面５６を形成する。ターゲッ
ト板５５は、変速モータ５７により図中垂直方向に移動
可能に設置された移動テーブル５８に支持されているの
で、ターゲット板５５も図中垂直方向に移動可能になっ
ている。
【００２８】本発明の第２実施形態としての薄膜形成装
置は上述のように形成されているので、中空部２３にポ
ンプ５０から圧力が加えられると、中空部２３に収納さ
れた材料液はメッシュロール２２表面に染み出す。染み
出た材料液は、メッシュロール２２にカバー２９が設置
されているためにメッシュロール２２からはみ出すこと
はない。
置は上述のように形成されているので、中空部２３にポ
ンプ５０から圧力が加えられると、中空部２３に収納さ
れた材料液はメッシュロール２２表面に染み出す。染み
出た材料液は、メッシュロール２２にカバー２９が設置
されているためにメッシュロール２２からはみ出すこと
はない。
【００２９】メッシュロール２２の回転方向とターゲッ
ト板５５の移動方向とが対向する向きに、メッシュロー
ル２２を回転させ、又は／且つターゲット板５５を移動
させると、メッシュロール２２とターゲット板５５との
間でスリップが発生する。メッシュロール２２表面に染
み出た材料液は、このスリップにより均一化されながら
ターゲット板５５表面のターゲット面５６に塗布され、
ターゲット面５６に薄膜５９が形成される。
ト板５５の移動方向とが対向する向きに、メッシュロー
ル２２を回転させ、又は／且つターゲット板５５を移動
させると、メッシュロール２２とターゲット板５５との
間でスリップが発生する。メッシュロール２２表面に染
み出た材料液は、このスリップにより均一化されながら
ターゲット板５５表面のターゲット面５６に塗布され、
ターゲット面５６に薄膜５９が形成される。
【００３０】このとき、メッシュロール２３とターゲッ
ト板５５との相対速度を調整することで、メッシュロー
ル２３とターゲット板５５との間のスリップ比を制御す
ることができ、このスリップ比の制御により薄膜５９の
厚さを制御することが可能となる。また、軸受け３７，
３８の図中水平方向の位置を調整して、ターゲット面５
６とメッシュロール２３表面との相対位置を調整するこ
とで、ターゲット面５６とメッシュロール２３表面との
間の押し付け圧力を制御することができ、この押し付け
圧力の制御により薄膜５９の厚さを制御することが可能
となる。
ト板５５との相対速度を調整することで、メッシュロー
ル２３とターゲット板５５との間のスリップ比を制御す
ることができ、このスリップ比の制御により薄膜５９の
厚さを制御することが可能となる。また、軸受け３７，
３８の図中水平方向の位置を調整して、ターゲット面５
６とメッシュロール２３表面との相対位置を調整するこ
とで、ターゲット面５６とメッシュロール２３表面との
間の押し付け圧力を制御することができ、この押し付け
圧力の制御により薄膜５９の厚さを制御することが可能
となる。
【００３１】本発明の薄膜形成装置は、特に、液晶印刷
関連等の薄膜形成が必要な電子デバイスの成膜に用いて
好適である。以上、本発明の実施形態を説明したが、本
発明はかかる実施形態に限定されるものではなく、本発
明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施すること
ができる。
関連等の薄膜形成が必要な電子デバイスの成膜に用いて
好適である。以上、本発明の実施形態を説明したが、本
発明はかかる実施形態に限定されるものではなく、本発
明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施すること
ができる。
【００３２】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明の薄膜形成
装置によれば、薄膜を形成するための材料液はメッシュ
材で形成されたメッシュロール表面から染み出し供給さ
れるので、液だれを生じることなく均一に上記材料液の
供給を行なうことができ、均一な薄膜形成を行なうこと
ができる。
装置によれば、薄膜を形成するための材料液はメッシュ
材で形成されたメッシュロール表面から染み出し供給さ
れるので、液だれを生じることなく均一に上記材料液の
供給を行なうことができ、均一な薄膜形成を行なうこと
ができる。
【図１】本発明の第１実施形態としての薄膜形成装置の
概要を示す模式断面図である。
概要を示す模式断面図である。
【図２】本発明の第１実施形態としての薄膜形成装置の
概要を、一部を破断して示す装置概要図である。
概要を、一部を破断して示す装置概要図である。
【図３】本発明の第２実施形態としての薄膜形成装置の
概要を示す模式断面図である。
概要を示す模式断面図である。
【図４】本発明の第２実施形態としての薄膜形成装置
を、一部を破断して示す装置概要図である。
を、一部を破断して示す装置概要図である。
【図５】従来例としての薄膜形成装置のひとつを示す模
式概要図である。
式概要図である。
【図６】従来例としての薄膜形成装置のひとつを示す模
式概要図である。
式概要図である。
【図７】従来例としての薄膜形成装置のひとつを示す模
式概要図である。
式概要図である。
１ スライド装置
２ 保持台
３ 板
４ スリット
５ ノズル
６，７，４９，５１ 液移送管
８，５０ ポンプ
９，５２ タンク
１０，１６，２１，５４，５９ 薄膜
１１ 材料容器
１２ ファウンテンロール
１３ 材料液の液面
１４，２０ シリコンロール
１５ 液膜
１７ 展開容器
１８ 材料液
１９ 展開液
２２ メッシュロール
２３ 中空部
２４ 中間ロール
２５ ターゲットロール
２６，２７ 端板
２８，５６ ターゲット面
２９ カバー
３０ 開口部
３１，３２，３３，３４，３５，３６ 回転軸
３７，３８，３９，４０，４１，４２ 軸受け
４３，４４，４５，５７ 変速モータ
４６，４７ 導通穴
４８ ロータリージョイント
５３ 材料液の膜
５５ ターゲット板
５８ 移動テーブル
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 佐藤 寿彦
広島県三原市糸崎町5007番地 三菱重工業
株式会社紙・印刷機械事業部内
Ｆターム(参考） 4F040 AA04 BA14 CB02 CB05 CB11
CB12 CB14 CB28 CB36
Claims (7)
- 【請求項１】 液状の材料液をターゲット面に塗布し該
ターゲット面上に薄膜を形成する薄膜形成装置であっ
て、 該材料液の顔料粒よりも大きい目開きサイズのメッシュ
材で形成された表面層と、該表面層の内部に形成され、
該材料液が充填される中空部とを有するメッシュロール
と、 該中空部内に圧力を加える加圧機構と、 該ターゲット面と該メッシュロールとの間に設置された
中間ロールと、 該メッシュロールを回転させる第１の駆動装置と、 該中間ロールを該メッシュロールに対して回転させる第
２の駆動装置と、 該ターゲット面を該中間ロールの接線方向に該中間ロー
ルに対して移動させる第３の駆動装置とを備えたことを
特徴とする、薄膜形成装置。 - 【請求項２】 該メッシュロールの表面を覆い、該メッ
シュロールが該中間ロールと対向する領域に開口部を有
するカバーを備えたことを特徴とする、請求項１記載の
薄膜形成装置。 - 【請求項３】 該中間ロール表面及び該ターゲット面
が、シリコンで形成されていることを特徴とする、請求
項１〜２記載の薄膜形成装置。 - 【請求項４】 該メッシュロール及び該中間ロール及び
該ターゲット面それぞれの位置を調整する装置が設置さ
れていることを特徴とする、請求項１〜３記載の薄膜形
成装置。 - 【請求項５】 該中間ロールが該メッシュロールに対し
て回転する回転速度比を調整する装置と、該ターゲット
面が該中間ロールの接線方向に該中間ロールに対して移
動する速度比を調整する装置とを備えていることを特徴
とする、請求項１〜４記載の薄膜形成装置。 - 【請求項６】 該ターゲット面が、回転可能に設置され
たロールの表面であることを特徴とする、請求項１〜５
記載の薄膜形成装置。 - 【請求項７】 液状の材料液をターゲット面に塗布し該
ターゲット面上に薄膜を形成する薄膜形成装置であっ
て、 該材料液の顔料粒よりも大きい目開きサイズのメッシュ
材で形成された表面層と、該表面層の内部に形成され、
該材料液を充填される中空部とを有するメッシュロール
と、 該中空部内に圧力を加える加圧機構と、 該メッシュロールを回転させる第１の駆動装置と、 該ターゲット面を該メッシュロールの接線方向に該メッ
シュロールに対して移動させる第２の駆動装置とを備え
たことを特徴とする、薄膜形成装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002149283A JP2003340332A (ja) | 2002-05-23 | 2002-05-23 | 薄膜形成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002149283A JP2003340332A (ja) | 2002-05-23 | 2002-05-23 | 薄膜形成装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003340332A true JP2003340332A (ja) | 2003-12-02 |
Family
ID=29767503
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002149283A Withdrawn JP2003340332A (ja) | 2002-05-23 | 2002-05-23 | 薄膜形成装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003340332A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2017208794A1 (ja) * | 2016-05-31 | 2017-12-07 | エヌ・イーケムキャット株式会社 | 被膜付円柱形ハニカム構造体の製造方法および触媒の製造方法 |
-
2002
- 2002-05-23 JP JP2002149283A patent/JP2003340332A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2017208794A1 (ja) * | 2016-05-31 | 2017-12-07 | エヌ・イーケムキャット株式会社 | 被膜付円柱形ハニカム構造体の製造方法および触媒の製造方法 |
| CN109219590A (zh) * | 2016-05-31 | 2019-01-15 | 恩亿凯嘉股份有限公司 | 带有覆膜的圆柱形蜂窝结构体的制造方法以及催化剂的制造方法 |
| JPWO2017208794A1 (ja) * | 2016-05-31 | 2019-05-16 | エヌ・イーケムキャット株式会社 | 被膜付円柱形ハニカム構造体の製造方法および触媒の製造方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20050802 |