JP2003324043A - レシピ配布管理データベースを備えた半導体ウェハ製造実行システム - Google Patents
レシピ配布管理データベースを備えた半導体ウェハ製造実行システムInfo
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- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 プロセス装置内でプロセスを自動的に実行さ
せるために、ＭＥＳデータベースに対して記録を手動に
より削除後再登録するという操作を省略する。 【解決手段】 本発明に係る製造実行システム（ＭＥ
Ｓ）は、複数の基本記録を記憶した基本データベース３
４と複数のＲＤＭ記録を記憶したレシピ配布管理（ＲＤ
Ｍ）データベース３６とを格納した記憶モジュール３２
と、製造装置から受信した操作データをＲＤＭ記録と基
本記録の各々と一致するかを判定する比較モジュール２
２と、比較の結果，ＲＤＭ記録と一致する場合には、出
力モジュールは製造装置に対して制限信号を出力し，そ
の操作データに対応するプロセスの実行を禁止し，操作
データがＲＤＭ記録および基本記録のいずれとも一致し
ない場合には、第１のアラーム信号を製造装置に，第２
のアラーム信号をユーザインターフェースに対して出力
する出力モジュール３０とを備えている。
せるために、ＭＥＳデータベースに対して記録を手動に
より削除後再登録するという操作を省略する。 【解決手段】 本発明に係る製造実行システム（ＭＥ
Ｓ）は、複数の基本記録を記憶した基本データベース３
４と複数のＲＤＭ記録を記憶したレシピ配布管理（ＲＤ
Ｍ）データベース３６とを格納した記憶モジュール３２
と、製造装置から受信した操作データをＲＤＭ記録と基
本記録の各々と一致するかを判定する比較モジュール２
２と、比較の結果，ＲＤＭ記録と一致する場合には、出
力モジュールは製造装置に対して制限信号を出力し，そ
の操作データに対応するプロセスの実行を禁止し，操作
データがＲＤＭ記録および基本記録のいずれとも一致し
ない場合には、第１のアラーム信号を製造装置に，第２
のアラーム信号をユーザインターフェースに対して出力
する出力モジュール３０とを備えている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、一般的には半導体
製造システムに関しており、より詳しくは、製造実行シ
ステムを備えた半導体ウェハ製造システムに関する。 （関連出願の相互参照）本願は、 年 月 日に出願の
による「専門技術者要求データベースを備えた半導
体ウェハ製造実行システム」に関する同時係属出願第
号（特許事務所参照番号第Ｐ９１００４８号）に関連
しており、その技術内容は参照により本明細書に包含さ
れる。
製造システムに関しており、より詳しくは、製造実行シ
ステムを備えた半導体ウェハ製造システムに関する。 （関連出願の相互参照）本願は、 年 月 日に出願の
による「専門技術者要求データベースを備えた半導
体ウェハ製造実行システム」に関する同時係属出願第
号（特許事務所参照番号第Ｐ９１００４８号）に関連
しており、その技術内容は参照により本明細書に包含さ
れる。
【０００２】
【従来の技術】集積回路は、通常、複数の半導体ウェハ
をグループすなわち「ロット」として一連のウェハ製造
プロセス装置（以下、プロセス装置）で処理することに
より製造する。各プロセス装置では半導体ウェハに対し
て単一のウェハ製造操作のみを行うことが多い。このよ
うな方式で製造した集積回路同士は実質的に同一であ
る。ウェハ製造に次いで、通常、集積回路の機能試験を
行い、その後、分離して「チップ」または「ダイ」と呼
ぶ個別の集積回路に形成する。完全に機能するダイは、
通常、個別のユニットとしてパッケージして販売する。
をグループすなわち「ロット」として一連のウェハ製造
プロセス装置（以下、プロセス装置）で処理することに
より製造する。各プロセス装置では半導体ウェハに対し
て単一のウェハ製造操作のみを行うことが多い。このよ
うな方式で製造した集積回路同士は実質的に同一であ
る。ウェハ製造に次いで、通常、集積回路の機能試験を
行い、その後、分離して「チップ」または「ダイ」と呼
ぶ個別の集積回路に形成する。完全に機能するダイは、
通常、個別のユニットとしてパッケージして販売する。
【０００３】競争の激化に伴って、半導体製造工場では
プロセス装置を経済効率的にスケジュールして利用する
ことが必要となっている。設備の生産性を向上させるた
めに、最新の半導体ウェハ製造システムでは集中制御の
製造実行システム（ＭＥＳ：ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎ
ｇ ｅｘｅｃｕｔｉｏｎ ｓｙｓｔｅｍ）を備えている
ことが多い。典型的なＭＥＳが行う機能としては、処理
途中品（ＷＩＰ：ｗｏｒｋ ｉｎ ｐｒｏｃｅｓｓ）の
追跡や、資源の配分とその状況監視や、処理のスケジュ
ーリングや、品質データの収集や、プロセスの制御など
が挙げられる。ＭＥＳが、データの収集や配布のための
集中記憶装置として機能しても良い。たとえばＭＥＳ
は、原材料、完成品、半完成品、装置、時間、コスト、
等のデータをリアルタイムで動的に収集し、結合し、表
示することができる。さらに、各製造プロセスを追跡し
て制御することができる。
プロセス装置を経済効率的にスケジュールして利用する
ことが必要となっている。設備の生産性を向上させるた
めに、最新の半導体ウェハ製造システムでは集中制御の
製造実行システム（ＭＥＳ：ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎ
ｇ ｅｘｅｃｕｔｉｏｎ ｓｙｓｔｅｍ）を備えている
ことが多い。典型的なＭＥＳが行う機能としては、処理
途中品（ＷＩＰ：ｗｏｒｋ ｉｎ ｐｒｏｃｅｓｓ）の
追跡や、資源の配分とその状況監視や、処理のスケジュ
ーリングや、品質データの収集や、プロセスの制御など
が挙げられる。ＭＥＳが、データの収集や配布のための
集中記憶装置として機能しても良い。たとえばＭＥＳ
は、原材料、完成品、半完成品、装置、時間、コスト、
等のデータをリアルタイムで動的に収集し、結合し、表
示することができる。さらに、各製造プロセスを追跡し
て制御することができる。
【０００４】典型的なＭＥＳでは、プロセス装置を自動
的に監視して制御する際に用いる情報を記録するための
単一のデータベースを備えている。たとえば、ＭＥＳを
備えた半導体ウェハ製造システムでは、ＭＥＳの単一の
データベースが、「基本」記録を含む「基本」データベ
ースであっても良い。なお、この「基本」記録にはプロ
セス装置がプロセスを自動的に実行する際に用いる情報
が含まれている。このＭＥＳは、プロセス装置から受信
した操作データを基本記録の各々と比較して、操作デー
タが基本記録と一致する場合にのみプロセスを実行すべ
く構成しても良い。
的に監視して制御する際に用いる情報を記録するための
単一のデータベースを備えている。たとえば、ＭＥＳを
備えた半導体ウェハ製造システムでは、ＭＥＳの単一の
データベースが、「基本」記録を含む「基本」データベ
ースであっても良い。なお、この「基本」記録にはプロ
セス装置がプロセスを自動的に実行する際に用いる情報
が含まれている。このＭＥＳは、プロセス装置から受信
した操作データを基本記録の各々と比較して、操作デー
タが基本記録と一致する場合にのみプロセスを実行すべ
く構成しても良い。
【０００５】しかし、上述の半導体ウェハ製造システム
では、操作データが基本データベースの基本記録と一致
するにもかかわらず、ある条件の下ではＭＥＳがプロセ
スの実行を禁止することが起こり得るという問題があ
る。ＭＥＳは、装置性能が低下した場合やウェハプロセ
スに欠陥を生じた場合などにはプロセスの実行を禁止す
ることがある。装置性能が低下したためにこのような状
況となった場合には、通常、操作データと一致していた
基本記録を削除することにより問題を解決し、その後
に、その基本記録を再登録して基本データベースを元の
状態に復帰させる。しかし、この基本記録を削除し再登
録するためには相当の時間を必要とする。
では、操作データが基本データベースの基本記録と一致
するにもかかわらず、ある条件の下ではＭＥＳがプロセ
スの実行を禁止することが起こり得るという問題があ
る。ＭＥＳは、装置性能が低下した場合やウェハプロセ
スに欠陥を生じた場合などにはプロセスの実行を禁止す
ることがある。装置性能が低下したためにこのような状
況となった場合には、通常、操作データと一致していた
基本記録を削除することにより問題を解決し、その後
に、その基本記録を再登録して基本データベースを元の
状態に復帰させる。しかし、この基本記録を削除し再登
録するためには相当の時間を必要とする。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】したがって、プロセス
装置内でプロセスを自動的に実行させるためには、ＭＥ
Ｓデータベースに対して記録を手動により削除しその後
に再登録するという上述の従来技術における操作を不要
としなければならない。
装置内でプロセスを自動的に実行させるためには、ＭＥ
Ｓデータベースに対して記録を手動により削除しその後
に再登録するという上述の従来技術における操作を不要
としなければならない。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上述の問題を解決するた
めに、本発明は、記憶モジュールと、比較モジュール
と、出力モジュールと、を備えた半導体ＭＥＳを提供す
る。記憶モジュールは基本データベースとレシピ配布管
理（ＲＤＭ：ｒｅｃｉｐｅ ｄｉｓｔｒｉｂｕｔｉｏｎ
ｍａｎａｇｅｍｅｎｔ）データベースとを格納してい
る。基本データベースは複数の基本記録を記憶してお
り、ＲＤＭデータベースは複数のＲＤＭ記録を記憶して
いる。
めに、本発明は、記憶モジュールと、比較モジュール
と、出力モジュールと、を備えた半導体ＭＥＳを提供す
る。記憶モジュールは基本データベースとレシピ配布管
理（ＲＤＭ：ｒｅｃｉｐｅ ｄｉｓｔｒｉｂｕｔｉｏｎ
ｍａｎａｇｅｍｅｎｔ）データベースとを格納してい
る。基本データベースは複数の基本記録を記憶してお
り、ＲＤＭデータベースは複数のＲＤＭ記録を記憶して
いる。
【０００８】比較モジュールは、製造装置から受信した
操作データを基本記録の各々と比較し、次いでＲＤＭ記
録の各々と比較することにより、操作データが基本記録
およびＲＤＭ記録の少なくとも１つと一致するかを判定
する。操作データがＲＤＭ記録の少なくとも１つと一致
する場合には、出力モジュールは製造装置に対して制限
信号を出力する。この制限信号により、その製造装置で
のその操作データに対応するプロセスの実行が禁止され
る。
操作データを基本記録の各々と比較し、次いでＲＤＭ記
録の各々と比較することにより、操作データが基本記録
およびＲＤＭ記録の少なくとも１つと一致するかを判定
する。操作データがＲＤＭ記録の少なくとも１つと一致
する場合には、出力モジュールは製造装置に対して制限
信号を出力する。この制限信号により、その製造装置で
のその操作データに対応するプロセスの実行が禁止され
る。
【０００９】操作データがＲＤＭ記録および基本記録の
いずれとも一致しない場合には、出力モジュールは更
に、第１のアラーム信号を製造装置に対して出力すると
共に第２のアラーム信号をユーザインターフェースに対
して出力しても良い。
いずれとも一致しない場合には、出力モジュールは更
に、第１のアラーム信号を製造装置に対して出力すると
共に第２のアラーム信号をユーザインターフェースに対
して出力しても良い。
【００１０】この半導体ＭＥＳは、ＲＤＭデータベース
に対する新たなＲＤＭ記録の追加や、ＲＤＭデータベー
ス中のＲＤＭ記録の編集や、ＲＤＭデータベースからの
ＲＤＭ記録の削除を行う方法を更に備えていても良い。
に対する新たなＲＤＭ記録の追加や、ＲＤＭデータベー
ス中のＲＤＭ記録の編集や、ＲＤＭデータベースからの
ＲＤＭ記録の削除を行う方法を更に備えていても良い。
【００１１】本明細書に記載した特徴およびその組合せ
は、そのような組合せが文脈や本明細書や当業者の有す
る知識に照らして矛盾しない限り、本発明の範囲に包含
される。本発明の更なる利点や観点は、以下の詳細な説
明および請求の範囲で明らかにする。
は、そのような組合せが文脈や本明細書や当業者の有す
る知識に照らして矛盾しない限り、本発明の範囲に包含
される。本発明の更なる利点や観点は、以下の詳細な説
明および請求の範囲で明らかにする。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下では、現時点で好適な本発明
の実施例の詳細を説明する。実施例を添付図面に示して
ある。図面および説明では、可能な限り、同一ないし類
似の部分を示すためには同一ないし類似の参照符号を用
いる。図面は簡略化してあり、縮尺が正確とは限らな
い。
の実施例の詳細を説明する。実施例を添付図面に示して
ある。図面および説明では、可能な限り、同一ないし類
似の部分を示すためには同一ないし類似の参照符号を用
いる。図面は簡略化してあり、縮尺が正確とは限らな
い。
【００１３】本明細書ではいくつかの典型的実施例につ
いて説明する。これらの実施例は例示であって、制約を
意図するものではない。以下の詳細な説明では典型的実
施例を説明するが、添付の請求範囲に規定した本発明の
観点および範囲の内に含まれ得る限りの本実施例の変
更、改変、同等物を全て包含するものとする。たとえ
ば、当業者には明らかであるように、実行が禁止され得
るプロセスを特定する手段を備えた製造実行システム
（ＭＥＳ）では、記録を作成、編集、削除することが容
易な第２のデータベースを備えることが有利である。こ
の第２のデータベースは、実行が禁止され得るプロセス
を特定する標準の手段に優先しても良い。
いて説明する。これらの実施例は例示であって、制約を
意図するものではない。以下の詳細な説明では典型的実
施例を説明するが、添付の請求範囲に規定した本発明の
観点および範囲の内に含まれ得る限りの本実施例の変
更、改変、同等物を全て包含するものとする。たとえ
ば、当業者には明らかであるように、実行が禁止され得
るプロセスを特定する手段を備えた製造実行システム
（ＭＥＳ）では、記録を作成、編集、削除することが容
易な第２のデータベースを備えることが有利である。こ
の第２のデータベースは、実行が禁止され得るプロセス
を特定する標準の手段に優先しても良い。
【００１４】本明細書で説明するプロセスステップおよ
び構造は、本明細書で説明するＭＥＳ用のプロセスフロ
ーを網羅したものではない。本発明は、従来技術に係る
様々な半導体製造技術と共に実施して良い。本明細書で
は、本発明を説明するに必要な範囲でこの従来技術に係
るプロセスステップを例として用いたに過ぎない。
び構造は、本明細書で説明するＭＥＳ用のプロセスフロ
ーを網羅したものではない。本発明は、従来技術に係る
様々な半導体製造技術と共に実施して良い。本明細書で
は、本発明を説明するに必要な範囲でこの従来技術に係
るプロセスステップを例として用いたに過ぎない。
【００１５】図１には、受信モジュール２０と、記憶モ
ジュール３２と、比較モジュール２２と、入力モジュー
ル２４と、編集モジュール２６と、削除モジュール２８
と、出力モジュール３０とを備えた半導体ＭＥＳ１０の
一実施例を示す。ＭＥＳ１０は、製造装置１２と、セル
コントローラ１４と、ユーザインターフェース１６とに
接続している。
ジュール３２と、比較モジュール２２と、入力モジュー
ル２４と、編集モジュール２６と、削除モジュール２８
と、出力モジュール３０とを備えた半導体ＭＥＳ１０の
一実施例を示す。ＭＥＳ１０は、製造装置１２と、セル
コントローラ１４と、ユーザインターフェース１６とに
接続している。
【００１６】これらのモジュール２０，２２，２４，２
６，２８，３０，３２をコンピュータで実施しても良
い。このコンピュータは従来技術に係るコンピュータで
あって良く、これは、記憶装置、インターフェース、入
力装置、および中央処理装置（ＣＰＵ）を備えていても
良い。記憶装置は、ハードディスク装置（ＨＤＤ）、Ｃ
Ｄ−ＲＯＭ、ＤＲＡＭ、またはＥＥＰＲＯＭのような、
コンピュータが読取り可能なテータ格納装置であって良
い。インターフェースは、セルコントローラ１４とユー
ザインターフェース１６との間の信号通信を行う。イン
ターフェースはＬＡＮであることが好ましいが、インタ
ーフェースとしてその他の通信方法を用いても良く、そ
れらの方法が本発明の範囲に含まれることは当業者には
明らかである。
６，２８，３０，３２をコンピュータで実施しても良
い。このコンピュータは従来技術に係るコンピュータで
あって良く、これは、記憶装置、インターフェース、入
力装置、および中央処理装置（ＣＰＵ）を備えていても
良い。記憶装置は、ハードディスク装置（ＨＤＤ）、Ｃ
Ｄ−ＲＯＭ、ＤＲＡＭ、またはＥＥＰＲＯＭのような、
コンピュータが読取り可能なテータ格納装置であって良
い。インターフェースは、セルコントローラ１４とユー
ザインターフェース１６との間の信号通信を行う。イン
ターフェースはＬＡＮであることが好ましいが、インタ
ーフェースとしてその他の通信方法を用いても良く、そ
れらの方法が本発明の範囲に含まれることは当業者には
明らかである。
【００１７】セルコントローラ１４は、ＳＥＭＩ（Ｓｅ
ｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ ａｎｄ
Ｍａｔｅｒｉａｌｓ Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ：
半導体装置および材料に関する国際団体、カリフォルニ
ア州サンノゼ市）Ｅ５に規定されたメッセージ転送プロ
トコルを用いて製造装置１２との信号通信を行い、ＳＥ
ＣＳ ＩＩ（ＳＥＭＩ ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ ｃｏｍｍ
ｕｎｉｃａｔｉｏｎｓｔａｎｄａｒｄ ＩＩ：ＳＥＭＩ
機器間通信規格ＩＩ）を用いて製造装置１２と通信を行
うことが好ましい。このＳＥＣＳでは、半導体製造装置
の制御に関するメッセージ群や、これらのメッセージの
構文および意味が規定されている。その他の通信規格も
存在しており、それらを用いた半導体ＭＥＳが本発明の
範囲に含まれることは当業者には明らかである。
ｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ ａｎｄ
Ｍａｔｅｒｉａｌｓ Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ：
半導体装置および材料に関する国際団体、カリフォルニ
ア州サンノゼ市）Ｅ５に規定されたメッセージ転送プロ
トコルを用いて製造装置１２との信号通信を行い、ＳＥ
ＣＳ ＩＩ（ＳＥＭＩ ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ ｃｏｍｍ
ｕｎｉｃａｔｉｏｎｓｔａｎｄａｒｄ ＩＩ：ＳＥＭＩ
機器間通信規格ＩＩ）を用いて製造装置１２と通信を行
うことが好ましい。このＳＥＣＳでは、半導体製造装置
の制御に関するメッセージ群や、これらのメッセージの
構文および意味が規定されている。その他の通信規格も
存在しており、それらを用いた半導体ＭＥＳが本発明の
範囲に含まれることは当業者には明らかである。
【００１８】入力装置はマウスやキーボードであって良
く、ユーザ１１はこれらを用いてメッセージを入力し、
上述の各モジュールを制御する。ＣＰＵは、様々なデー
タ処理や演算を実行してコンピュータの各種装置の動作
を制御するＡＬＵ、レジスタ、コントローラ等の従来技
術に係る中央装置であって良い。
く、ユーザ１１はこれらを用いてメッセージを入力し、
上述の各モジュールを制御する。ＣＰＵは、様々なデー
タ処理や演算を実行してコンピュータの各種装置の動作
を制御するＡＬＵ、レジスタ、コントローラ等の従来技
術に係る中央装置であって良い。
【００１９】一実施例では、モジュール２０，２２，２
４，２６，２８，３０，３２は記憶装置に記憶されたソ
フトウエアモジュールである。モジュール２０，２２，
２４，２６，２８，３０，３２をロードした後には、Ｃ
ＰＵはコンピュータの各種装置によってモジュール２
０，２２，２４，２６，２８，３０，３２の機能を実施
する。しかし、当業者には明らかであるように、本明細
書に開示するソフトウエアモジュールを特定用途集積回
路（ＡＳＩＣ：ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ−ｓｐｅｃｉｆ
ｉｃ ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ ｃｉｒｃｕｉｔ）等のハ
ードウエアで実施しても良い。これも本発明の観点およ
び範囲の内に含まれる。
４，２６，２８，３０，３２は記憶装置に記憶されたソ
フトウエアモジュールである。モジュール２０，２２，
２４，２６，２８，３０，３２をロードした後には、Ｃ
ＰＵはコンピュータの各種装置によってモジュール２
０，２２，２４，２６，２８，３０，３２の機能を実施
する。しかし、当業者には明らかであるように、本明細
書に開示するソフトウエアモジュールを特定用途集積回
路（ＡＳＩＣ：ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ−ｓｐｅｃｉｆ
ｉｃ ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ ｃｉｒｃｕｉｔ）等のハ
ードウエアで実施しても良い。これも本発明の観点およ
び範囲の内に含まれる。
【００２０】記憶モジュール３２は、基本データベース
３４とレシピ配布管理（ＲＤＭ：ｒｅｃｉｐｅ ｄｉｓ
ｔｒｉｂｕｔｉｏｎ ｍａｎａｇｅｍｅｎｔ）データベ
ース３６とを備えている。一実施例では、基本データベ
ース３４は、図２に示したように複数の基本記録３７を
格納しており、ＲＤＭデータベース３６は、図３に示し
たように複数のＲＤＭ記録３８を格納している。本実施
例では、基本記録３７の各々は、ロットＩＤ、レシピＩ
Ｄ、チャンバＩＤを含んでおり、製造装置１２（図１）
での自動実行に使用して良い。本例では、ＲＤＭ記録３
８は、「製品ＩＤ」、「経路名」、「操作番号」、「装
置ＩＤ」、「レシピＩＤ」を含んでいる。本例では、Ｒ
ＤＭ記録３８は、いくつかの装置で制限されるプロセス
名を指定している。つまり、或る装置で実行できるプロ
セスを指定している基本記録３７の場合とは逆に、ＲＤ
Ｍ記録３８は、その装置で実行できないプロセスを指定
している。ＲＤＭ記録３８の各々は、製造装置１２から
受信した操作データと比較しても良いコード（たとえ
ば、レシピＩＤ）を含んでいる。
３４とレシピ配布管理（ＲＤＭ：ｒｅｃｉｐｅ ｄｉｓ
ｔｒｉｂｕｔｉｏｎ ｍａｎａｇｅｍｅｎｔ）データベ
ース３６とを備えている。一実施例では、基本データベ
ース３４は、図２に示したように複数の基本記録３７を
格納しており、ＲＤＭデータベース３６は、図３に示し
たように複数のＲＤＭ記録３８を格納している。本実施
例では、基本記録３７の各々は、ロットＩＤ、レシピＩ
Ｄ、チャンバＩＤを含んでおり、製造装置１２（図１）
での自動実行に使用して良い。本例では、ＲＤＭ記録３
８は、「製品ＩＤ」、「経路名」、「操作番号」、「装
置ＩＤ」、「レシピＩＤ」を含んでいる。本例では、Ｒ
ＤＭ記録３８は、いくつかの装置で制限されるプロセス
名を指定している。つまり、或る装置で実行できるプロ
セスを指定している基本記録３７の場合とは逆に、ＲＤ
Ｍ記録３８は、その装置で実行できないプロセスを指定
している。ＲＤＭ記録３８の各々は、製造装置１２から
受信した操作データと比較しても良いコード（たとえ
ば、レシピＩＤ）を含んでいる。
【００２１】比較モジュール２２は、ＲＤＭ記録３８に
基づいて、操作データが制限されるべきか否かを判定す
る。或る停止中の装置からロットリストを選択すると、
本例のＭＥＳがＭＥＳロットリスト（基本記録３７）を
準備し、このＭＥＳロットリストを比較モジュール２２
に送信する。比較モジュール２２は、製品名、経路Ｉ
Ｄ、操作ＩＤ、装置ＩＤ、レシピ名から成るＲＤＭ記録
をＭＥＳロットリストと比較する（これが比較モジュー
ル２２の機能である）。データが一致した場合には、比
較モジュール２２はこのデータにマークを付して（また
は、拾い出して）出力モジュール３０に送信する。操作
データが制限されていない場合には、比較モジュール２
２は操作データを更に基本記録３７と比較して、アラー
ム等を生成すべきかを判定する。
基づいて、操作データが制限されるべきか否かを判定す
る。或る停止中の装置からロットリストを選択すると、
本例のＭＥＳがＭＥＳロットリスト（基本記録３７）を
準備し、このＭＥＳロットリストを比較モジュール２２
に送信する。比較モジュール２２は、製品名、経路Ｉ
Ｄ、操作ＩＤ、装置ＩＤ、レシピ名から成るＲＤＭ記録
をＭＥＳロットリストと比較する（これが比較モジュー
ル２２の機能である）。データが一致した場合には、比
較モジュール２２はこのデータにマークを付して（また
は、拾い出して）出力モジュール３０に送信する。操作
データが制限されていない場合には、比較モジュール２
２は操作データを更に基本記録３７と比較して、アラー
ム等を生成すべきかを判定する。
【００２２】受信モジュール２０はインターフェースを
介してデータを受信し、出力モジュール３０はインター
フェースを介してデータを出力する。したがって、受信
モジュール２０はセルコントローラ１４を介して製造装
置１２から操作データを受信できる。また、操作データ
が制限されている場合には、出力モジュール３０はセル
コントローラ１４を介して製造装置１２に制限信号を出
力できる。後述のように、制限信号によって、製造装置
１２がこの操作データに対応したプロセスを実行するの
が禁止される。
介してデータを受信し、出力モジュール３０はインター
フェースを介してデータを出力する。したがって、受信
モジュール２０はセルコントローラ１４を介して製造装
置１２から操作データを受信できる。また、操作データ
が制限されている場合には、出力モジュール３０はセル
コントローラ１４を介して製造装置１２に制限信号を出
力できる。後述のように、制限信号によって、製造装置
１２がこの操作データに対応したプロセスを実行するの
が禁止される。
【００２３】操作データが基本記録のいずれとも一致し
ない場合には、出力モジュール３０はセルコントローラ
１４を介して製造装置１２にアラーム信号を更に出力で
きる。また、出力モジュール３０はユーザインターフェ
ース１６に制限信号またはアラーム信号を出力してユー
ザ１１に警告できる。
ない場合には、出力モジュール３０はセルコントローラ
１４を介して製造装置１２にアラーム信号を更に出力で
きる。また、出力モジュール３０はユーザインターフェ
ース１６に制限信号またはアラーム信号を出力してユー
ザ１１に警告できる。
【００２４】ユーザ１１は、入力モジュール２４を用い
てＲＤＭデータベース３６に新たなＲＤＭ記録３８を追
加することができ、編集モジュール２６を用いて既存の
ＲＤＭ記録３８を編集することができ、削除モジュール
２８を用いて既存のＲＤＭ記録３８を削除することがで
きる。本例では、ユーザ１１は入力装置１６を用いて入
力、編集、削除を行う。
てＲＤＭデータベース３６に新たなＲＤＭ記録３８を追
加することができ、編集モジュール２６を用いて既存の
ＲＤＭ記録３８を編集することができ、削除モジュール
２８を用いて既存のＲＤＭ記録３８を削除することがで
きる。本例では、ユーザ１１は入力装置１６を用いて入
力、編集、削除を行う。
【００２５】図４に示した一実施例では、半導体製造実
行方法が、以下に説明する幾つかのステップを備えてい
る。ステップ４２では、セルコントローラ１４（図１）
を介して製造装置１２（図１）から操作データを受信す
る。製造装置１２は操作データをセルコントローラ１４
に出力する。セルコントローラ１４は操作データを受信
して半導体ＭＥＳ１０（図１）に転送する。製造装置１
２とセルコントローラ１４とは、ＳＥＣＳ（ＳＥＭＩ
ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ ｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎ ｓ
ｔａｎｄａｒｄ：ＳＥＭＩ機器間通信規格）を用いて相
互に通信を行うことが好ましい。また、セルコントロー
ラ１４とＭＥＳ１０とは、ネットワークを用いて相互に
通信を行うことが好ましい。しかし、ＭＥＳ１０内でそ
の他の通信規格を用いても良く、それらが本発明の範囲
に含まれることは当業者には明らかである。
行方法が、以下に説明する幾つかのステップを備えてい
る。ステップ４２では、セルコントローラ１４（図１）
を介して製造装置１２（図１）から操作データを受信す
る。製造装置１２は操作データをセルコントローラ１４
に出力する。セルコントローラ１４は操作データを受信
して半導体ＭＥＳ１０（図１）に転送する。製造装置１
２とセルコントローラ１４とは、ＳＥＣＳ（ＳＥＭＩ
ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ ｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎ ｓ
ｔａｎｄａｒｄ：ＳＥＭＩ機器間通信規格）を用いて相
互に通信を行うことが好ましい。また、セルコントロー
ラ１４とＭＥＳ１０とは、ネットワークを用いて相互に
通信を行うことが好ましい。しかし、ＭＥＳ１０内でそ
の他の通信規格を用いても良く、それらが本発明の範囲
に含まれることは当業者には明らかである。
【００２６】ステップ４４では、比較モジュール２２は
操作データをＲＤＭ記録３８と比較する。操作データが
ＲＤＭ記録３８の少なくとも１つと一致した場合（すな
わち、操作データが制限されている場合）には、ステッ
プ４６を実行する。操作データがＲＤＭ記録３８のいず
れとも一致しない場合（すなわち、操作データが制限さ
れていない場合）には、ステップ４８を実行する。たと
えば、ＲＤＭ記録３８が制限条件としてレシピＩＤ「０
０１」を含んでおり、操作データがレシピＩＤ「００
１」を含んでいる場合には、一致するので、ステップ４
６を実行する。
操作データをＲＤＭ記録３８と比較する。操作データが
ＲＤＭ記録３８の少なくとも１つと一致した場合（すな
わち、操作データが制限されている場合）には、ステッ
プ４６を実行する。操作データがＲＤＭ記録３８のいず
れとも一致しない場合（すなわち、操作データが制限さ
れていない場合）には、ステップ４８を実行する。たと
えば、ＲＤＭ記録３８が制限条件としてレシピＩＤ「０
０１」を含んでおり、操作データがレシピＩＤ「００
１」を含んでいる場合には、一致するので、ステップ４
６を実行する。
【００２７】ステップ４６では、出力モジュール３０は
製造装置１２に第１の制限信号を出力して、この操作デ
ータに対応するプロセスの実行を禁止する。出力モジュ
ール３０はネットワークを介してユーザインターフェー
ス１６に第２の制限信号を更に出力して、ユーザ１１が
誤りを訂正できるようにする。一変更例では、第１およ
び第２の制限信号が同一であっても良い。出力モジュー
ル３０はこの第２の制限信号を、各製造装置にあらかじ
め割当てたユーザインターフェース１６に対して出力し
て、ユーザ１１がアラームメッセージをそのユーザイン
ターフェース１６上で見られるようにする。
製造装置１２に第１の制限信号を出力して、この操作デ
ータに対応するプロセスの実行を禁止する。出力モジュ
ール３０はネットワークを介してユーザインターフェー
ス１６に第２の制限信号を更に出力して、ユーザ１１が
誤りを訂正できるようにする。一変更例では、第１およ
び第２の制限信号が同一であっても良い。出力モジュー
ル３０はこの第２の制限信号を、各製造装置にあらかじ
め割当てたユーザインターフェース１６に対して出力し
て、ユーザ１１がアラームメッセージをそのユーザイン
ターフェース１６上で見られるようにする。
【００２８】ステップ４８では、比較モジュール２２は
操作データが基本記録３７と一致するかを判定する。操
作データが基本記録３７の１つと一致した場合には、終
了５２を実行して、プロセスが正常に実行できる状態に
なる。操作データが基本記録３７のいずれとも一致しな
い場合には、ステップ５０を実行する。
操作データが基本記録３７と一致するかを判定する。操
作データが基本記録３７の１つと一致した場合には、終
了５２を実行して、プロセスが正常に実行できる状態に
なる。操作データが基本記録３７のいずれとも一致しな
い場合には、ステップ５０を実行する。
【００２９】ステップ５０では、出力モジュール３０は
製造装置１２に第１の制限信号を出力すると共に、ユー
ザインターフェース１６に第２の制限信号を出力する。
このアラーム信号は、製造装置１２に対してはセルコン
トローラ１４を介して送信しても良く、ユーザインター
フェース１６に対してはネットワークを介して送信して
も良い。これにより、ユーザ１１は誤りを訂正するため
の情報を受取る。たとえば、製造装置１２の操作を停止
させるか制限しても良い。一変更例では、第１および第
２の制限信号が同一である。
製造装置１２に第１の制限信号を出力すると共に、ユー
ザインターフェース１６に第２の制限信号を出力する。
このアラーム信号は、製造装置１２に対してはセルコン
トローラ１４を介して送信しても良く、ユーザインター
フェース１６に対してはネットワークを介して送信して
も良い。これにより、ユーザ１１は誤りを訂正するため
の情報を受取る。たとえば、製造装置１２の操作を停止
させるか制限しても良い。一変更例では、第１および第
２の制限信号が同一である。
【００３０】図５〜図７は、ＲＤＭデータベース３６
（図１および図３）においてＲＤＭ記録３８（図３）を
追加、編集、削除する方法を説明するための図である。
図５には、ＲＤＭデータベース３６に新たなＲＤＭ記録
３８を追加する方法を示してある。ステップ５４では、
ユーザ１１が、ユーザインターフェース１６（図１）や
入力モジュール２４（図１）等を介して新たなＲＤＭ記
録３８を入力する。ステップ５６では、この新たなＲＤ
Ｍ記録３８がＲＤＭデータベース３６に追加される。
（図１および図３）においてＲＤＭ記録３８（図３）を
追加、編集、削除する方法を説明するための図である。
図５には、ＲＤＭデータベース３６に新たなＲＤＭ記録
３８を追加する方法を示してある。ステップ５４では、
ユーザ１１が、ユーザインターフェース１６（図１）や
入力モジュール２４（図１）等を介して新たなＲＤＭ記
録３８を入力する。ステップ５６では、この新たなＲＤ
Ｍ記録３８がＲＤＭデータベース３６に追加される。
【００３１】図６には、ＲＤＭデータベース３６にある
ＲＤＭ記録３８を編集する方法を示してある。ステップ
６０では、ユーザ１１が、ユーザインターフェース１６
（図１）や入力モジュール２４（図１）等を介してコー
ド（たとえば、レシピコードすなわちレシピＩＤ）を入
力する。ステップ６２では、比較モジュール２２（図
１）はこのレシピコードがＲＤＭデータベース３６中の
１つのＲＤＭ記録３８のレシピコードと一致するかを判
定する。このレシピコードがＲＤＭ記録３８の１つのレ
シピコードと一致する場合には、ステップ６４を実行す
る。ステップ６４では、ユーザ１１がＲＤＭ記録３８を
編集する。その際、現時点で好適な実施例では、ＲＤＭ
記録３８は同一のレシピコードを有するものとする。ユ
ーザ１１は、ユーザインターフェース１６（図１）や編
集モジュール２６（図１）等を介してＲＤＭ記録３８を
編集する。ステップ６６では、編集したＲＤＭ記録３８
がＲＤＭデータベース３６内で更新される。
ＲＤＭ記録３８を編集する方法を示してある。ステップ
６０では、ユーザ１１が、ユーザインターフェース１６
（図１）や入力モジュール２４（図１）等を介してコー
ド（たとえば、レシピコードすなわちレシピＩＤ）を入
力する。ステップ６２では、比較モジュール２２（図
１）はこのレシピコードがＲＤＭデータベース３６中の
１つのＲＤＭ記録３８のレシピコードと一致するかを判
定する。このレシピコードがＲＤＭ記録３８の１つのレ
シピコードと一致する場合には、ステップ６４を実行す
る。ステップ６４では、ユーザ１１がＲＤＭ記録３８を
編集する。その際、現時点で好適な実施例では、ＲＤＭ
記録３８は同一のレシピコードを有するものとする。ユ
ーザ１１は、ユーザインターフェース１６（図１）や編
集モジュール２６（図１）等を介してＲＤＭ記録３８を
編集する。ステップ６６では、編集したＲＤＭ記録３８
がＲＤＭデータベース３６内で更新される。
【００３２】図７には、ＲＤＭデータベース３６からＲ
ＤＭ記録３８を削除する方法を示してある。ステップ６
０では、ユーザ１１が、ユーザインターフェース１６
（図１）や入力モジュール２４（図１）等を介してコー
ド（たとえば、レシピコードすなわちレシピＩＤ）を入
力する。ステップ６２では、比較モジュール２２はこの
レシピコードがＲＤＭデータベース３６中の１つのＲＤ
Ｍ記録３８のレシピコードと一致するかを判定する。こ
のレシピコードがＲＤＭ記録３８の１つのレシピコード
と一致する場合には、ステップ７０を実行する。ステッ
プ７０では、同一のレシピコードを有するＲＤＭ記録３
８がＲＤＭデータベース３６から削除される。
ＤＭ記録３８を削除する方法を示してある。ステップ６
０では、ユーザ１１が、ユーザインターフェース１６
（図１）や入力モジュール２４（図１）等を介してコー
ド（たとえば、レシピコードすなわちレシピＩＤ）を入
力する。ステップ６２では、比較モジュール２２はこの
レシピコードがＲＤＭデータベース３６中の１つのＲＤ
Ｍ記録３８のレシピコードと一致するかを判定する。こ
のレシピコードがＲＤＭ記録３８の１つのレシピコード
と一致する場合には、ステップ７０を実行する。ステッ
プ７０では、同一のレシピコードを有するＲＤＭ記録３
８がＲＤＭデータベース３６から削除される。
【００３３】上述のように、本発明に係る半導体ＭＥＳ
では、製造装置での実行を禁止されたプロセスを取扱う
簡単な方法が提供される。つまり、基本データベースか
ら基本記録を削除してその後に再登録するという必要が
ない。本実施例で説明した方法を様々な態様で変更する
ことができて同様の効果が得られることは当業者には明
らかである。上述の問題を解決するための別個のデータ
ベースを備えている半導体ＭＥＳは、いずれも本発明の
範囲に包含される。上述の実施例は例示であって、これ
らの実施例によって本発明を制約するものではない。当
業者ならば、上述の説明から、本発明から乖離すること
なくここに開示した実施例に対する多数の様々な変更を
行い得る。たとえば、本発明の別の実施例では、操作デ
ータをＲＤＭデータベース３６のＲＤＭ記録３８と比較
する前に、またはこれと同時に、基本データベース３４
の基本記録３７と比較しても良い。このような変更や修
正は、添付した請求範囲に規定した本発明の範囲に含ま
れる。
では、製造装置での実行を禁止されたプロセスを取扱う
簡単な方法が提供される。つまり、基本データベースか
ら基本記録を削除してその後に再登録するという必要が
ない。本実施例で説明した方法を様々な態様で変更する
ことができて同様の効果が得られることは当業者には明
らかである。上述の問題を解決するための別個のデータ
ベースを備えている半導体ＭＥＳは、いずれも本発明の
範囲に包含される。上述の実施例は例示であって、これ
らの実施例によって本発明を制約するものではない。当
業者ならば、上述の説明から、本発明から乖離すること
なくここに開示した実施例に対する多数の様々な変更を
行い得る。たとえば、本発明の別の実施例では、操作デ
ータをＲＤＭデータベース３６のＲＤＭ記録３８と比較
する前に、またはこれと同時に、基本データベース３４
の基本記録３７と比較しても良い。このような変更や修
正は、添付した請求範囲に規定した本発明の範囲に含ま
れる。
【図１】 半導体製造実行システム（ＭＥＳ：ｍａｎｕ
ｆａｃｔｕｒｉｎｇｅｘｅｃｕｔｉｏｎ ｓｙｓｔｅ
ｍ）を備えた半導体ウェハ製造システムの一実施例を示
す図である。このＭＥＳは基本データベースとレシピ配
布管理（ＲＤＭ：ｒｅｃｉｐｅ ｄｉｓｔｒｉｂｕｔｉ
ｏｎ ｍａｎａｇｅｍｅｎｔ）データベースとを備えて
いる。
ｆａｃｔｕｒｉｎｇｅｘｅｃｕｔｉｏｎ ｓｙｓｔｅ
ｍ）を備えた半導体ウェハ製造システムの一実施例を示
す図である。このＭＥＳは基本データベースとレシピ配
布管理（ＲＤＭ：ｒｅｃｉｐｅ ｄｉｓｔｒｉｂｕｔｉ
ｏｎ ｍａｎａｇｅｍｅｎｔ）データベースとを備えて
いる。
【図２】 図１の基本データベースの一実施例を示す図
である。
である。
【図３】 図１のＲＤＭデータベースの一実施例を示す
図である。
図である。
【図４】 図１のＭＥＳ内で実施しても良い製造実行シ
ステム方法の一実施例を示すフローチャートである。
ステム方法の一実施例を示すフローチャートである。
【図５】 図１のＲＤＭデータベースに新たなＲＤＭ記
録を追加する方法の一実施例を示すフローチャートであ
る。
録を追加する方法の一実施例を示すフローチャートであ
る。
【図６】 図１のＲＤＭデータベース中のＲＤＭ記録を
編集する方法の一実施例を示すフローチャートである。
編集する方法の一実施例を示すフローチャートである。
【図７】 図１のＲＤＭデータベースからＲＤＭ記録を
削除する方法の一実施例を示すフローチャートである。
削除する方法の一実施例を示すフローチャートである。
１０ 半導体製造実行システム
１１ ユーザ
２０ 受信モジュール
２２ 比較モジュール
２４ 入力モジュール
２６ 編集モジュール
２８ 削除モジュール
３０ 出力モジュール
３２ 記憶モジュール
３４ 基本データベース
３６ ＲＤＭデータベース
フロントページの続き
(72)発明者 林 誌煌
台湾新竹市科學工業園區力行路16號 旺宏
電子股▲ふん▼有限公司内
(72)発明者 尤 竹山
台湾新竹市科學工業園區力行路16號 旺宏
電子股▲ふん▼有限公司内
Claims (23)
- 【請求項１】 基本データベースとレシピ配布管理（Ｒ
ＤＭ：ｒｅｃｉｐｅｄｉｓｔｒｉｂｕｔｉｏｎ ｍａｎ
ａｇｅｍｅｎｔ）データベースとを格納する記憶モジュ
ールであって、前記基本データベースは複数の基本記録
を記憶しており、前記ＲＤＭデータベースは複数のＲＤ
Ｍ記録を記憶している前記記憶モジュールと、 製造装置から受信した操作データを前記ＲＤＭ記録およ
び前記基本記録と比較して、前記操作データが前記ＲＤ
Ｍ記録および前記基本記録の少なくとも１つと一致する
かを判定する比較モジュールと、 前記操作データが前記ＲＤＭ記録の少なくとも１つと一
致する場合には第１の制限信号を出力する出力モジュー
ルと、 を備えていることを特徴とする半導体製造実行システム
（ＭＥＳ：ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ ｅｘｅｃｕｔ
ｉｏｎ ｓｙｓｔｅｍ）。 - 【請求項２】 前記比較モジュールは、前記操作データ
を前記ＲＤＭ記録と比較して前記操作データが制限され
ているかを判定し、前記操作データが制限されていない
場合には前記操作データを前記基本記録と比較すること
を特徴とする請求項１に記載の半導体製造実行システ
ム。 - 【請求項３】 前記出力モジュールは、前記操作データ
が前記ＲＤＭ記録の少なくとも１つと一致する場合には
第１の制限信号を前記製造装置に対して出力すると共に
第２の制限信号をユーザインターフェースに対して出力
するのであり、 前記出力モジュールは、前記操作データが前記基本記録
および前記ＲＤＭ記録のいずれとも一致しない場合には
アラーム信号を出力することを特徴とする請求項１に記
載の半導体製造実行システム。 - 【請求項４】 前記半導体製造実行システムは、前記製
造装置からの前記操作データを受信するための受信モジ
ュールを更に備えており、 前記出力モジュールは、前記操作データが前記基本記録
および前記ＲＤＭ記録のいずれとも一致しない場合に
は、第１のアラーム信号を前記製造装置に対して出力す
ることと、ユーザインターフェースに対して第２のアラ
ーム信号を出力することの少なくとも一方を実行するこ
とを特徴とする請求項１に記載の半導体製造実行システ
ム。 - 【請求項５】 前記製造実行システムはセルコントロー
ラと接続しており、 前記受信モジュールは、前記セルコントローラを介して
前記製造装置から前記操作データを受信するのであり、 前記出力モジュールは、前記セルコントローラを介して
前記第１の制限信号を前記製造装置に対して出力するこ
とを特徴とする請求項４に記載の半導体製造実行システ
ム。 - 【請求項６】 前記製造実行システムはユーザインター
フェースと接続しており、 前記出力モジュールは、前記操作データが前記ＲＤＭ記
録のいずれとも一致しない場合には第２の制限信号を更
に出力し、前記操作データが前記基本記録および前記Ｒ
ＤＭ記録のいずれとも一致しない場合には第２のアラー
ム信号を前記ユーザインターフェースに対して更に出力
することを特徴とする請求項１に記載の半導体製造実行
システム。 - 【請求項７】 ユーザが前記ＲＤＭデータベースに新た
なＲＤＭ記録を入力するための入力モジュールを更に備
えていることを特徴とする請求項１に記載の半導体製造
実行システム。 - 【請求項８】 ユーザが前記ＲＤＭ記録の１つを編集す
るための編集モジュールを更に備えていることを特徴と
する請求項１に記載の半導体製造実行システム。 - 【請求項９】 ユーザが前記ＲＤＭ記録の１つを削除す
るための削除モジュールを更に備えていることを特徴と
する請求項１に記載の半導体製造実行システム。 - 【請求項１０】 製造装置から操作データを受信するス
テップと、 前記操作データを複数のＲＤＭ記録と比較して、前記操
作データが前記ＲＤＭ記録のいずれかと一致するかを判
定するステップと、 前記操作データが前記ＲＤＭ記録のいずれとも一致しな
い場合には前記操作データを複数の基本記録と比較し
て、前記操作データが前記基本記録のいずれかと一致す
るかを判定するステップと、 前記ＲＤＭ記録および前記基本記録に対する前記操作デ
ータの比較に基づいて信号を出力するステップとを備え
ていることを特徴とする半導体製造実行方法。 - 【請求項１１】 前記出力するステップは、 前記操作データが前記ＲＤＭ記録のいずれかと一致する
場合には第１の制限信号を前記製造装置に対して出力す
ることと、 前記操作データが前記ＲＤＭ記録および前記基本記録の
いずれとも一致しない場合には第１のアラーム信号を前
記製造装置に対して出力することとを備えていることを
特徴とする請求項１０に記載の方法。 - 【請求項１２】 前記操作データが前記ＲＤＭ記録のい
ずれかと一致する場合には第２の制限信号をユーザイン
ターフェースに対して出力することと、 前記操作データが前記ＲＤＭ記録および前記基本記録の
いずれとも一致しない場合には第２のアラーム信号をユ
ーザインターフェースに対して出力することとを更に備
えていることを特徴とする請求項１１に記載の方法。 - 【請求項１３】 前記受信するステップは、セルコント
ローラを介して前記製造装置から前記操作データを受信
することを備えており、 前記第１の制限信号を出力する前記ステップは、前記セ
ルコントローラを介して前記第１の制限信号を前記製造
装置に対して出力することを備えており、 前記第１のアラーム信号を出力する前記ステップは、前
記セルコントローラを介して前記第１のアラーム信号を
前記製造装置に対して出力することを備えていることを
特徴とする請求項１１に記載の方法。 - 【請求項１４】 製品ＩＤと、経路名と、操作番号と、
装置ＩＤと、レシピＩＤとを含んだ新たなＲＤＭ（レシ
ピ配布管理）記録を受信するステップと、 前記新たなＲＤＭ記録をＲＤＭデータベースに追加する
ステップとを備えている方法。 - 【請求項１５】 記録コードを受信するステップと、 対応する記録コードを格納したＲＤＭ（レシピ配布管
理）データベースのＲＤＭ記録を編集するステップであ
って、前記ＲＤＭ記録は、製品ＩＤと、経路名と、操作
番号と、装置ＩＤと、レシピＩＤとを含んでいる前記編
集するステップと、 前記編集したＲＤＭ記録を前記ＲＤＭデータベースにお
いて更新するステップとを備えている方法。 - 【請求項１６】 記録コードを受信するステップと、 対応する記録コードを格納したＲＤＭ（レシピ配布管
理）データベースのＲＤＭ記録を削除するステップであ
って、前記ＲＤＭ記録は、製品ＩＤと、経路名と、操作
番号と、装置ＩＤと、レシピＩＤとを含んでいる前記削
除するステップとを備えている方法。 - 【請求項１７】 製造装置と、 比較モジュールと、第１の記録を格納した基本データベ
ースと、第２の記録を格納した第２のデータベースとを
備えているＭＥＳ（製造実行システム）であって、前記
第２のデータベースは容易に変更できるよう構成してあ
る前記ＭＥＳと、 前記製造装置と前記ＭＥＳとの間を接続した第１のイン
ターフェースであって、前記ＭＥＳは、前記第１のイン
ターフェースを介して前記製造装置から操作データを受
信すると共に、前記第１のインターフェースを介して第
１の信号を前記製造装置に対して送信すべく構成してあ
る前記第１のインターフェースと、 前記ＭＥＳに接続した第２のインターフェースであっ
て、前記ＭＥＳは、前記第２のインターフェースを介し
て第２の信号をユーザに対して送信すべく構成してある
前記第２のインターフェースとを備えている製造システ
ムであって、 前記比較モジュールは前記操作データを前記第２の記録
と比較すべく構成してあり、前記ＭＥＳは、前記操作デ
ータが前記第２の記録の少なくとも１つと一致する場合
には少なくとも１つの制限信号を生成すべく構成してあ
ることを特徴とする前記製造システム。 - 【請求項１８】 前記少なくとも１つの制限信号は第１
の制限信号および第２の制限信号から成っており、前記
第１の信号は前記第１の制限信号を備えており、前記第
２の信号は前記第２の制限信号を備えていることを特徴
とする請求項１７に記載の製造システム。 - 【請求項１９】 前記第１の記録は基本記録であり、前
記比較モジュールは前記操作データを前記基本記録と比
較すべく更に構成してあり、前記操作データが前記第２
の記録のいずれとも一致しないと共に前記操作データが
前記基本記録のいずれとも一致しない場合には前記ＭＥ
Ｓは少なくとも１つのアラーム信号を生成すべく構成し
てあることを特徴とする請求項１７に記載の製造システ
ム。 - 【請求項２０】 前記少なくとも１つのアラーム信号は
第１のアラーム信号および第２のアラーム信号から成っ
ており、前記第１の信号は前記第１のアラーム信号を更
に備えており、前記第２の信号は前記第２のアラーム信
号を更に備えていることを特徴とする請求項１９に記載
の製造システム。 - 【請求項２１】 前記ＭＥＳは、ユーザが前記第２のデ
ータベースに新たな第２の記録を入力するための入力モ
ジュールを更に備えていることを特徴とする請求項１７
に記載の製造システム。 - 【請求項２２】 前記ＭＥＳは、ユーザが前記第２の記
録の１つを編集するための編集モジュールを更に備えて
いることを特徴とする請求項１７に記載の製造システ
ム。 - 【請求項２３】 前記ＭＥＳは、ユーザが前記第２の記
録の１つを削除するための削除モジュールを更に備えて
いることを特徴とする請求項１７に記載の製造システ
ム。
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