JP2003323996A - コロナ放電型イオナイザ - Google Patents
コロナ放電型イオナイザInfo
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- JP2003323996A JP2003323996A JP2002130707A JP2002130707A JP2003323996A JP 2003323996 A JP2003323996 A JP 2003323996A JP 2002130707 A JP2002130707 A JP 2002130707A JP 2002130707 A JP2002130707 A JP 2002130707A JP 2003323996 A JP2003323996 A JP 2003323996A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 オフセット電圧を調整する等の方法によらず
にイオンバランスを保つことができるコロナ放電型イオ
ナイザを提供する。 【解決手段】 複数のエミッタを備えたコロナ放電型イ
オナイザにおいて、交流電圧が印加されるＡＣ用エミッ
タ１０Ａと、直流電圧が印加されるＤＣ用エミッタ１０
Ｄとを混在させる。具体的には、エミッタ群の中央部か
ら端部に向かうに従って、ＤＣ用エミッタ１０Ｄの密度
をＡＣ用エミッタ１０Ａの密度より高くし、ＤＣ用エミ
ッタ１０Ｄには正の電圧を印加する。また、ＤＣ用エミ
ッタ１０Ｄの先端部近傍に、可動式の接地電極としての
制御リング６１〜６３を配置する。更に、ＤＣ用エミッ
タ１０Ｄの下方にイオン濃度測定用のセンサ４１，４２
をそれぞれ配置し、イオン濃度測定値に応じてＤＣ用エ
ミッタに印加する直流電圧を可変直流電源５１，５２に
より制御する。
にイオンバランスを保つことができるコロナ放電型イオ
ナイザを提供する。 【解決手段】 複数のエミッタを備えたコロナ放電型イ
オナイザにおいて、交流電圧が印加されるＡＣ用エミッ
タ１０Ａと、直流電圧が印加されるＤＣ用エミッタ１０
Ｄとを混在させる。具体的には、エミッタ群の中央部か
ら端部に向かうに従って、ＤＣ用エミッタ１０Ｄの密度
をＡＣ用エミッタ１０Ａの密度より高くし、ＤＣ用エミ
ッタ１０Ｄには正の電圧を印加する。また、ＤＣ用エミ
ッタ１０Ｄの先端部近傍に、可動式の接地電極としての
制御リング６１〜６３を配置する。更に、ＤＣ用エミッ
タ１０Ｄの下方にイオン濃度測定用のセンサ４１，４２
をそれぞれ配置し、イオン濃度測定値に応じてＤＣ用エ
ミッタに印加する直流電圧を可変直流電源５１，５２に
より制御する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、エミッタ（放電針）に
高電圧を印加することによりコロナ放電を起こさせてイ
オンを発生させ、このイオンを半導体デバイス等の被除
電物に送って被除電物を除電するコロナ放電型イオナイ
ザに関するものである。
高電圧を印加することによりコロナ放電を起こさせてイ
オンを発生させ、このイオンを半導体デバイス等の被除
電物に送って被除電物を除電するコロナ放電型イオナイ
ザに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、交流式イオナイザのエミッタに正
弦波状の交流高電圧を印加した場合、正負イオンの移動
度の差（負イオンの移動度＞正イオンの移動度）などに
起因して、エミッタを中心とした同心円の外側では負イ
オン濃度が大きくなり、同心円の内側では正イオン濃度
が大きくなることが知られている。また、エミッタに正
負対称の電圧を印加した場合において、エミッタから外
部の基準位置（電位をゼロとする）までの空間を考える
と、上述した正負イオンの移動度の差により、負電圧印
加時の負イオンの空間密度は正イオンの空間密度よりも
小さくなる。このため、上記空間における負イオンによ
る電界は正イオンによる電界よりも小さくなり、相対的
に、エミッタ付近における負電圧印加時の電界は正電圧
印加時よりも大きくなるので、エミッタ付近から発生す
る負イオンの量は正イオンの量よりも多くなる。
弦波状の交流高電圧を印加した場合、正負イオンの移動
度の差（負イオンの移動度＞正イオンの移動度）などに
起因して、エミッタを中心とした同心円の外側では負イ
オン濃度が大きくなり、同心円の内側では正イオン濃度
が大きくなることが知られている。また、エミッタに正
負対称の電圧を印加した場合において、エミッタから外
部の基準位置（電位をゼロとする）までの空間を考える
と、上述した正負イオンの移動度の差により、負電圧印
加時の負イオンの空間密度は正イオンの空間密度よりも
小さくなる。このため、上記空間における負イオンによ
る電界は正イオンによる電界よりも小さくなり、相対的
に、エミッタ付近における負電圧印加時の電界は正電圧
印加時よりも大きくなるので、エミッタ付近から発生す
る負イオンの量は正イオンの量よりも多くなる。
【０００３】上記のような現象により、交流式イオナイ
ザでは、正負対称の正弦波電圧をエミッタに印加すると
正負イオンのバランスが保てず負イオンの量が多くなる
ため、正弦波電圧にオフセット電圧を加える等の方法に
よってエミッタへの印加電圧を正負アンバランスにし、
これによって結果的にイオンバランスを保つように調整
していた。
ザでは、正負対称の正弦波電圧をエミッタに印加すると
正負イオンのバランスが保てず負イオンの量が多くなる
ため、正弦波電圧にオフセット電圧を加える等の方法に
よってエミッタへの印加電圧を正負アンバランスにし、
これによって結果的にイオンバランスを保つように調整
していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、例えば
多数のエミッタが所定間隔で直線状に配置されたイオナ
イザバーにおいて、エミッタ群の中央部付近の下方のイ
オンバランスを保つように印加電圧のオフセット電圧を
調整しても、前述したように中央部の周辺、すなわちイ
オナイザバーの端部付近では負イオンの量が多くなり、
逆に、端部付近の下方のイオンバランスを保つようにオ
フセット電圧を調整したとしても、中央部付近の正イオ
ンの量が多くなる。従って、何れの方法を採ってもイオ
ナイザバーの全域にわたって良好なイオンバランスを実
現することが困難であった。
多数のエミッタが所定間隔で直線状に配置されたイオナ
イザバーにおいて、エミッタ群の中央部付近の下方のイ
オンバランスを保つように印加電圧のオフセット電圧を
調整しても、前述したように中央部の周辺、すなわちイ
オナイザバーの端部付近では負イオンの量が多くなり、
逆に、端部付近の下方のイオンバランスを保つようにオ
フセット電圧を調整したとしても、中央部付近の正イオ
ンの量が多くなる。従って、何れの方法を採ってもイオ
ナイザバーの全域にわたって良好なイオンバランスを実
現することが困難であった。
【０００５】そこで本発明は、オフセット電圧を調整す
る等の方法によらずにイオンバランスを保つことができ
るコロナ放電型イオナイザを提供しようとするものであ
る。
る等の方法によらずにイオンバランスを保つことができ
るコロナ放電型イオナイザを提供しようとするものであ
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、請求項１記載の発明は、複数のエミッタを備え、こ
れらのエミッタに電圧を印加してコロナ放電により発生
させたイオンを被除電物方向に送って被除電物を除電す
るコロナ放電型イオナイザにおいて、交流電圧が印加さ
れるＡＣ用エミッタと、直流電圧が印加されるＤＣ用エ
ミッタとを混在させたものである。
め、請求項１記載の発明は、複数のエミッタを備え、こ
れらのエミッタに電圧を印加してコロナ放電により発生
させたイオンを被除電物方向に送って被除電物を除電す
るコロナ放電型イオナイザにおいて、交流電圧が印加さ
れるＡＣ用エミッタと、直流電圧が印加されるＤＣ用エ
ミッタとを混在させたものである。
【０００７】より具体的には、請求項２に記載するよう
に、直線状または平面状に配置された複数のエミッタか
らなるエミッタ群の中央部から端部に向かうに従って、
ＤＣ用エミッタの密度をＡＣ用エミッタの密度より高く
するものであり、また、請求項３に記載する如く、前記
ＤＣ用エミッタには正の電圧を印加するものである。
に、直線状または平面状に配置された複数のエミッタか
らなるエミッタ群の中央部から端部に向かうに従って、
ＤＣ用エミッタの密度をＡＣ用エミッタの密度より高く
するものであり、また、請求項３に記載する如く、前記
ＤＣ用エミッタには正の電圧を印加するものである。
【０００８】更に、請求項４に記載するように、ＤＣ用
エミッタの先端部近傍に、このエミッタとの間の距離を
可変とした接地電極を配置すれば、被除電物に到達する
イオンの量、言い換えれば被除電物表面のイオンバラン
スを粗調整することができる。また、請求項５に記載す
るごとく、エミッタ群の少なくとも中央部及び端部に位
置するＤＣ用エミッタの下方に、イオン濃度測定用のセ
ンサをそれぞれ配置し、これらのセンサにより測定した
イオン濃度に応じてＤＣ用エミッタに印加する直流電圧
を制御するようにすれば、イオンバランスの一層の微調
整が可能になる。
エミッタの先端部近傍に、このエミッタとの間の距離を
可変とした接地電極を配置すれば、被除電物に到達する
イオンの量、言い換えれば被除電物表面のイオンバラン
スを粗調整することができる。また、請求項５に記載す
るごとく、エミッタ群の少なくとも中央部及び端部に位
置するＤＣ用エミッタの下方に、イオン濃度測定用のセ
ンサをそれぞれ配置し、これらのセンサにより測定した
イオン濃度に応じてＤＣ用エミッタに印加する直流電圧
を制御するようにすれば、イオンバランスの一層の微調
整が可能になる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、図に沿って本発明の実施形
態を説明する。まず、図１、図２は本発明の基本原理を
示す図であり、図１は複数のエミッタを直線状に配置し
た場合、図２は平面状に配置した例である。
態を説明する。まず、図１、図２は本発明の基本原理を
示す図であり、図１は複数のエミッタを直線状に配置し
た場合、図２は平面状に配置した例である。
【００１０】図１において、本発明では、例えば形状及
び材質が等しい複数のエミッタ１０を直線状に配置して
イオナイザバー２０を構成する場合、エミッタ群を交流
電圧が印加されるエミッタ（以下、ＡＣ用エミッタとい
う）と直流電圧が印加されるエミッタ（以下、ＤＣ用エ
ミッタという）とに分け、中央部から両端部に向かうに
従ってＤＣ用エミッタの密度をＡＣ用エミッタの密度よ
りも高くする。例えば、図１の例では、エミッタ群のう
ちイオナイザバー２０の両端部のエミッタ１０ＥをＤＣ
用エミッタとし、それ以外のエミッタ１０をＡＣ用エミ
ッタとする。そして、ＤＣ用エミッタには正の直流電圧
を印加するものとする。
び材質が等しい複数のエミッタ１０を直線状に配置して
イオナイザバー２０を構成する場合、エミッタ群を交流
電圧が印加されるエミッタ（以下、ＡＣ用エミッタとい
う）と直流電圧が印加されるエミッタ（以下、ＤＣ用エ
ミッタという）とに分け、中央部から両端部に向かうに
従ってＤＣ用エミッタの密度をＡＣ用エミッタの密度よ
りも高くする。例えば、図１の例では、エミッタ群のう
ちイオナイザバー２０の両端部のエミッタ１０ＥをＤＣ
用エミッタとし、それ以外のエミッタ１０をＡＣ用エミ
ッタとする。そして、ＤＣ用エミッタには正の直流電圧
を印加するものとする。
【００１１】前述したように、ＡＣ用エミッタのそれぞ
れに着目すると、個々のエミッタを中心とした同心円の
外側に負イオンが多く発生するため、図１のエミッタ群
のすべてがＡＣ用エミッタである場合には、イオナイザ
バー２０の両端部付近で負イオンの量が多くなる。従っ
て、本発明では、両端部に向かうほどＤＣ用エミッタの
密度を高くし、このＤＣ用エミッタに正電圧を印加して
正イオンを発生させることにより、負イオンを相殺して
イオンバランスを保つようにした。
れに着目すると、個々のエミッタを中心とした同心円の
外側に負イオンが多く発生するため、図１のエミッタ群
のすべてがＡＣ用エミッタである場合には、イオナイザ
バー２０の両端部付近で負イオンの量が多くなる。従っ
て、本発明では、両端部に向かうほどＤＣ用エミッタの
密度を高くし、このＤＣ用エミッタに正電圧を印加して
正イオンを発生させることにより、負イオンを相殺して
イオンバランスを保つようにした。
【００１２】また、図２に示すように多数のエミッタ１
０が平面状に配置されてエミッタ群を構成している場
合、例えば複数のイオナイザバーが並設されているよう
な場合には、縦横両方向について、中央部から両端部に
向かうに従いＤＣ用エミッタの密度を高くする。更に、
必要に応じて対角線方向についても、中央部から両端部
に向かうに従いＤＣ用エミッタの密度を高くする。そし
て、ＤＣ用エミッタには正の直流電圧を印加する。これ
により、図１の場合と同様に、端部に多く発生する負イ
オンがＤＣ用エミッタからの正イオンによって相殺さ
れ、イオンバランスが保たれるようになる。
０が平面状に配置されてエミッタ群を構成している場
合、例えば複数のイオナイザバーが並設されているよう
な場合には、縦横両方向について、中央部から両端部に
向かうに従いＤＣ用エミッタの密度を高くする。更に、
必要に応じて対角線方向についても、中央部から両端部
に向かうに従いＤＣ用エミッタの密度を高くする。そし
て、ＤＣ用エミッタには正の直流電圧を印加する。これ
により、図１の場合と同様に、端部に多く発生する負イ
オンがＤＣ用エミッタからの正イオンによって相殺さ
れ、イオンバランスが保たれるようになる。
【００１３】次に、図３は本発明の一実施形態を示す主
要部の説明図であり、図１で説明した原理を具体化した
ものである。図３において、イオナイザバー２０には複
数のエミッタが配置され、その長手方向の中央部及び両
端部のエミッタ１０ＤをＤＣ用エミッタ、その他のエミ
ッタをＡＣ用エミッタ１０Ａとしてある。また、これら
のエミッタ１０Ａ，１０Ｄの下方には被除電物３０が配
置されている。ここで、エミッタ群を構成するＡＣ用エ
ミッタ１０Ａ、ＤＣ用エミッタ１０Ｄの本数や位置は図
示例に何ら限定されるものではないが、要は、直線状に
配置されたエミッタ群のうち、端部に向かうに従ってＤ
Ｃ用エミッタ１０Ｄの密度がＡＣ用エミッタ１０Ａの密
度より大きければ良い。
要部の説明図であり、図１で説明した原理を具体化した
ものである。図３において、イオナイザバー２０には複
数のエミッタが配置され、その長手方向の中央部及び両
端部のエミッタ１０ＤをＤＣ用エミッタ、その他のエミ
ッタをＡＣ用エミッタ１０Ａとしてある。また、これら
のエミッタ１０Ａ，１０Ｄの下方には被除電物３０が配
置されている。ここで、エミッタ群を構成するＡＣ用エ
ミッタ１０Ａ、ＤＣ用エミッタ１０Ｄの本数や位置は図
示例に何ら限定されるものではないが、要は、直線状に
配置されたエミッタ群のうち、端部に向かうに従ってＤ
Ｃ用エミッタ１０Ｄの密度がＡＣ用エミッタ１０Ａの密
度より大きければ良い。
【００１４】ＤＣ用エミッタ１０Ｄの先端部近傍には、
接地電極としての制御リング６１〜６３が同軸上に配置
されている。これらの制御リング６１〜６３は軸方向に
沿って移動可能であり、その移動によってＤＣ用エミッ
タ１０Ｄとの間の距離が変化する。イオナイザバー２０
の一端部及び中央部のＤＣ用エミッタ１０Ｄの下方に
は、イオン濃度センサ４１，４２が配置されており、こ
れらのセンサ４１，４２の出力信号は可変直流電源５
１，５２に入力されている。可変直流電源５１の出力端
子は、イオナイザバー２０の両端部のＤＣ用エミッタ１
０Ｄに接続され、可変直流電源５２の出力端子は、イオ
ナイザバー２０の中央部のＤＣ用エミッタ１０Ｄに接続
されている。
接地電極としての制御リング６１〜６３が同軸上に配置
されている。これらの制御リング６１〜６３は軸方向に
沿って移動可能であり、その移動によってＤＣ用エミッ
タ１０Ｄとの間の距離が変化する。イオナイザバー２０
の一端部及び中央部のＤＣ用エミッタ１０Ｄの下方に
は、イオン濃度センサ４１，４２が配置されており、こ
れらのセンサ４１，４２の出力信号は可変直流電源５
１，５２に入力されている。可変直流電源５１の出力端
子は、イオナイザバー２０の両端部のＤＣ用エミッタ１
０Ｄに接続され、可変直流電源５２の出力端子は、イオ
ナイザバー２０の中央部のＤＣ用エミッタ１０Ｄに接続
されている。
【００１５】なお、この実施形態において、ＡＣ用エミ
ッタ１０Ａは交流電源に接続されていると共に、エミッ
タ周辺に発生したイオンを被除電物３０方向へ送るため
の送風源が設けられているが、便宜上、交流電源や送風
源の図示は省略してある。
ッタ１０Ａは交流電源に接続されていると共に、エミッ
タ周辺に発生したイオンを被除電物３０方向へ送るため
の送風源が設けられているが、便宜上、交流電源や送風
源の図示は省略してある。
【００１６】上記構成において、ＡＣ用エミッタ１０Ａ
には交流の高電圧が印加され、正負のイオンが繰り返し
発生するが、イオナイザバー２０の両端部付近において
負イオン濃度が高くなるのを防止するために、可変直流
電源５１により両端部のＤＣ用エミッタ１０Ｄに正電圧
を印加し、正イオンを発生させて過剰な負イオンを打ち
消すように動作させる。また、イオナイザバー２０の中
央部においては、両側のＡＣ用エミッタ１０Ａにより負
イオン量が増加するので、可変直流電源５２により中央
部のＤＣ用エミッタ１０Ｄに正電圧を印加して正イオン
を発生させ、過剰な負イオンを打ち消すものである。
には交流の高電圧が印加され、正負のイオンが繰り返し
発生するが、イオナイザバー２０の両端部付近において
負イオン濃度が高くなるのを防止するために、可変直流
電源５１により両端部のＤＣ用エミッタ１０Ｄに正電圧
を印加し、正イオンを発生させて過剰な負イオンを打ち
消すように動作させる。また、イオナイザバー２０の中
央部においては、両側のＡＣ用エミッタ１０Ａにより負
イオン量が増加するので、可変直流電源５２により中央
部のＤＣ用エミッタ１０Ｄに正電圧を印加して正イオン
を発生させ、過剰な負イオンを打ち消すものである。
【００１７】ここで、図４はＤＣ用エミッタ１０Ｄのイ
オン化電圧と電流との関係を示している。ＤＣ用エミッ
タ１０Ｄに正の直流電圧Ｖを印加してイオンを発生させ
る場合、イオン化電圧Ｖ０を越えた時点で電流が急激に
増加して正イオンの発生量が増加する。このため、単に
ＤＣ用エミッタ１０Ｄに印加する直流電圧を調節するだ
けでは正イオンの発生量を適切に制御することが困難で
あり、却って正イオンが過剰になる場合も生じ得る。
オン化電圧と電流との関係を示している。ＤＣ用エミッ
タ１０Ｄに正の直流電圧Ｖを印加してイオンを発生させ
る場合、イオン化電圧Ｖ０を越えた時点で電流が急激に
増加して正イオンの発生量が増加する。このため、単に
ＤＣ用エミッタ１０Ｄに印加する直流電圧を調節するだ
けでは正イオンの発生量を適切に制御することが困難で
あり、却って正イオンが過剰になる場合も生じ得る。
【００１８】そこで、ＤＣ用エミッタ１０Ｄの先端部近
傍に接地電極としての制御リング６１〜６３を設けるこ
とにより、ＤＣ用エミッタ１０Ｄから発生させた正イオ
ンの一部を吸収させ、過剰な正イオンを除去して被除電
物３０に到達しないようにしている。更に、これらの制
御リング６１〜６３を軸方向に移動させてＤＣ用エミッ
タ１０Ｄとの間の距離を調節することにより、制御リン
グ６１〜６３による正イオンの吸収量を調節できるよう
にした。
傍に接地電極としての制御リング６１〜６３を設けるこ
とにより、ＤＣ用エミッタ１０Ｄから発生させた正イオ
ンの一部を吸収させ、過剰な正イオンを除去して被除電
物３０に到達しないようにしている。更に、これらの制
御リング６１〜６３を軸方向に移動させてＤＣ用エミッ
タ１０Ｄとの間の距離を調節することにより、制御リン
グ６１〜６３による正イオンの吸収量を調節できるよう
にした。
【００１９】また、最終的には被除電物３０の表面近傍
における正負のイオンバランスを保つことが目的である
ため、中央部及び一端部のＤＣ用エミッタ１０Ｄの下方
であって被除電物３０の表面近傍にイオン濃度センサ４
１，４２を配置し、これらのセンサ４１，４２により測
定したイオン濃度を可変直流電源５１，５２にフィード
バックしてＤＣ用エミッタ１０Ｄへ印加する直流電圧を
調節し、イオンバランスの微調整を行っている。
における正負のイオンバランスを保つことが目的である
ため、中央部及び一端部のＤＣ用エミッタ１０Ｄの下方
であって被除電物３０の表面近傍にイオン濃度センサ４
１，４２を配置し、これらのセンサ４１，４２により測
定したイオン濃度を可変直流電源５１，５２にフィード
バックしてＤＣ用エミッタ１０Ｄへ印加する直流電圧を
調節し、イオンバランスの微調整を行っている。
【００２０】このように、制御リング６１〜６３によっ
て被除電物３０に到達する正イオンを粗調整し、かつ、
イオン濃度センサ４１，４２による可変直流電源５１，
５２へのフィードバック制御によって微調整を行うこと
により、被除電物３０の表面における正負のイオンバラ
ンスを正確に保つことが可能である。なお、ＤＣ用エミ
ッタ１０Ｄに印加する直流電圧の大きさを調節してイオ
ンバランス制御を行うことが困難な場合には、ＤＣ用エ
ミッタ１０Ｄにパルス状の電圧を印加し、そのパルス幅
を制御するようにしても良い。また、図３の例では両端
部のＤＣ用エミッタ１０Ｄに共通の可変直流電源５１か
ら直流電圧を印加しているが、各エミッタ１０Ｄに個別
の可変直流電源から直流電圧を印加しても良い。
て被除電物３０に到達する正イオンを粗調整し、かつ、
イオン濃度センサ４１，４２による可変直流電源５１，
５２へのフィードバック制御によって微調整を行うこと
により、被除電物３０の表面における正負のイオンバラ
ンスを正確に保つことが可能である。なお、ＤＣ用エミ
ッタ１０Ｄに印加する直流電圧の大きさを調節してイオ
ンバランス制御を行うことが困難な場合には、ＤＣ用エ
ミッタ１０Ｄにパルス状の電圧を印加し、そのパルス幅
を制御するようにしても良い。また、図３の例では両端
部のＤＣ用エミッタ１０Ｄに共通の可変直流電源５１か
ら直流電圧を印加しているが、各エミッタ１０Ｄに個別
の可変直流電源から直流電圧を印加しても良い。
【００２１】図５は、本発明の実施形態が適用されるイ
オナイザバーの構成図であり、その両端部に向かうに従
ってＤＣ用エミッタ１０Ｄの間に配置されるＡＣ用エミ
ッタ１０Ａの本数を少なくすることによってＤＣ用エミ
ッタ１０Ｄの密度を高くした例である。ここで、図３と
同様に、ＡＣ用エミッタ１０Ａ、ＤＣ用エミッタ１０Ｄ
の本数や位置は何ら限定的なものではない。
オナイザバーの構成図であり、その両端部に向かうに従
ってＤＣ用エミッタ１０Ｄの間に配置されるＡＣ用エミ
ッタ１０Ａの本数を少なくすることによってＤＣ用エミ
ッタ１０Ｄの密度を高くした例である。ここで、図３と
同様に、ＡＣ用エミッタ１０Ａ、ＤＣ用エミッタ１０Ｄ
の本数や位置は何ら限定的なものではない。
【００２２】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、複数
のエミッタに印加する交流電圧にオフセット電圧を加え
る等の方法によらず、一部のエミッタに直流電圧を加え
ることによってエミッタ群に対する全体的なイオンバラ
ンスを保つことができる。特に、オフセット電圧を加え
る場合にはエミッタ群の中央部または端部におけるイオ
ンバランスが崩れるおそれがあるが、本発明ではＡＣ用
エミッタとＤＣ用エミッタとを混在させること部分的、
個別的な正負イオン濃度の是正が可能になり、良好なイ
オンバランス制御を達成することができる。
のエミッタに印加する交流電圧にオフセット電圧を加え
る等の方法によらず、一部のエミッタに直流電圧を加え
ることによってエミッタ群に対する全体的なイオンバラ
ンスを保つことができる。特に、オフセット電圧を加え
る場合にはエミッタ群の中央部または端部におけるイオ
ンバランスが崩れるおそれがあるが、本発明ではＡＣ用
エミッタとＤＣ用エミッタとを混在させること部分的、
個別的な正負イオン濃度の是正が可能になり、良好なイ
オンバランス制御を達成することができる。
【図１】本発明の原理を説明する図である。
【図２】本発明の原理を説明する図である。
【図３】本発明の実施形態を示す構成図である。
【図４】ＤＣ用エミッタのイオン化電圧と電流との関係
を示す図である。
を示す図である。
【図５】本発明の実施形態が適用されるイオナイザバー
の構成図である。
の構成図である。
１０，１０Ｅ エミッタ
１０Ａ ＡＣ用エミッタ
１０Ｄ ＤＣ用エミッタ
２０ イオナイザバー
３０ 被除電物
４１，４２ イオン濃度センサ
５１，５２ 可変直流電源
６１，６２，６３ 制御リング
Claims (5)
- 【請求項１】 複数のエミッタを備え、これらのエミッ
タに電圧を印加してコロナ放電により発生させたイオン
を被除電物方向に送って被除電物を除電するコロナ放電
型イオナイザにおいて、 交流電圧が印加されるＡＣ用エミッタと直流電圧が印加
されるＤＣ用エミッタとを混在させたことを特徴とする
コロナ放電型イオナイザ。 - 【請求項２】 請求項１記載のコロナ放電型イオナイザ
において、 直線状または平面状に配置された複数のエミッタからな
るエミッタ群の中央部から端部に向かうに従ってＤＣ用
エミッタの密度をＡＣ用エミッタの密度より高くしたこ
とを特徴とするコロナ放電型イオナイザ。 - 【請求項３】 請求項１または２記載のコロナ放電型イ
オナイザにおいて、ＤＣ用エミッタに正の電圧を印加す
ることを特徴とするコロナ放電型イオナイザ。 - 【請求項４】 請求項１，２または３記載のコロナ放電
型イオナイザにおいて、 ＤＣ用エミッタの先端部近傍に、このエミッタとの間の
距離を可変とした接地電極を配置したことを特徴とする
コロナ放電型イオナイザ。 - 【請求項５】 請求項１，２，３または４記載のコロナ
放電型イオナイザにおいて、 直線状または平面状に配置された複数のエミッタからな
るエミッタ群の少なくとも中央部及び端部に位置するＤ
Ｃ用エミッタの下方に、イオン濃度測定用のセンサをそ
れぞれ配置し、これらのセンサにより測定したイオン濃
度に応じてＤＣ用エミッタに印加する直流電圧を制御す
る手段を備えたことを特徴とするコロナ放電型イオナイ
ザ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002130707A JP4112270B2 (ja) | 2002-05-02 | 2002-05-02 | コロナ放電型イオナイザ |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002130707A JP4112270B2 (ja) | 2002-05-02 | 2002-05-02 | コロナ放電型イオナイザ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003323996A true JP2003323996A (ja) | 2003-11-14 |
| JP4112270B2 JP4112270B2 (ja) | 2008-07-02 |
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP2002130707A Expired - Fee Related JP4112270B2 (ja) | 2002-05-02 | 2002-05-02 | コロナ放電型イオナイザ |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4112270B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006067753A2 (en) * | 2004-12-22 | 2006-06-29 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Steam ironing device, ironing board and ironing system |
-
2002
- 2002-05-02 JP JP2002130707A patent/JP4112270B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006067753A2 (en) * | 2004-12-22 | 2006-06-29 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Steam ironing device, ironing board and ironing system |
| WO2006067753A3 (en) * | 2004-12-22 | 2006-11-23 | Koninkl Philips Electronics Nv | Steam ironing device, ironing board and ironing system |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4112270B2 (ja) | 2008-07-02 |
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