JP2003320520A - 切断装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 略円柱状の細長いロッド、殊にポリシリコン
ロッド（４４）を所要とおりに高効率で切断することを
可能にする切断装置を提供する。 【解決手段】 切断装置は、中心軸線（２６）を中心と
して回転自在に装着され、中心軸線に沿って延在せしめ
られるロッド（４４）の一端部を把持する把持手段
（２）と、把持手段を回転せしめるための回転駆動手段
（５０）と、一端部が把持手段に把持されたロッドの切
断部の振動を抑制するための抑制手段（６）と、中心軸
線に対して実質上垂直な方向にロッドを切断するための
切断手段（４）とを具備する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、略円柱状の細長い
ロッド、殊にポリシリコンロッドを切断するのに適した
切断装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】周知の如く、シリコンウエーハの製造に
おいては、析出反応によってポリシリコンを製造し、か
かるポリシリコンを原料として引上げ法等の方式によっ
て単結晶シリコンインゴットを製造し、そしてシリコン
インゴットに切削及び研削等の機械加工を加えてシリコ
ンウエーハにせしめている。析出反応によって製造され
るポリシリコンは通常略円柱状の細長いロッド形態であ
るが、かかるポリシリコンを引上げ法等の方式によって
単結晶シリコンインゴットを製造するための原料として
使用するためには、適宜の長さに切断することが必要な
場合がある。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】而して、（イ）ポリシ
リコンは通常の金属材料と比べて著しく脆い、（ロ）ポ
リシリコンは略円柱状のロッド形態であるが、真直では
なくて幾分かの湾曲を有し、また外径も充分に均一では
なく相当な変動がある、等から割れの発生を回避し、そ
してまた金属不純物による汚染を回避してポリシリコン
を所要とおりに高効率で切断することはこれまで不可能
であった。

【０００４】本発明は上記事実に鑑みてなされたもので
あり、略円柱状の細長いポリシリコンロッドを所要とお
りに高効率で切断することを可能にする新規且つ改良さ
れた切断装置を提供することである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明者等は、鋭意研究
の結果、ポリシリコンロッドの一端部を把持手段によっ
て把持し、把持手段を回転駆動してポリシリコンロッド
を回転せしめると共に、ポリシリコンロッドの切断部の
振動を適宜の抑制手段で抑制しながら、回転駆動せしめ
られる切断ブレードの如き切断手段をポリシリコンロッ
ドに作用せしめれば、ポリシリコンロッドを所要とおり
に高効率で切断することができることを見出した。

【０００６】即ち、本発明によれば、それに限定される
ものではないが殊にポリシリコンロッドの切断に好都合
に使用することができ、ポリシリコンロッドを所要とお
りに高効率で切断することを可能にする切断装置とし
て、略円柱状の細長いロッドを切断するための切断装置
にして、中心軸線を中心として回転自在に装着され、該
中心軸線に沿って延在せしめられるロッドの一端部を把
持する把持手段と、該把持手段を回転せしめるための回
転駆動手段と、一端部が該把持手段に把持されたロッド
の切断部の振動を抑制するための抑制手段と、該中心軸
線に対して実質上垂直な方向にロッドを切断するための
切断手段と、を具備することを特徴とする切断装置が提
供される。

【０００７】好ましくは、該把持手段は、ロッドの周方
向に間隔をおいて、ロッドの周表面に向かう方向及びロ
ッドの周表面から離隔する方向に移動自在に配設された
３個以上の把持片を含み、該把持片の各々をロッドの周
表面に向けて偏倚するための把持片偏倚手段が配設され
ており、該把持片偏倚手段によって偏倚せしめられるこ
とによって該把持片の各々がロッドの周表面に実質上点
接触乃至線接触せしめられる。該把持手段は回転自在に
支持された軸部材と、該軸部材の先端に固定された円形
底壁及び該円形底壁から延出する円筒壁部を有する支持
部材とを含み、該把持片は該支持部材の該円筒壁部に装
着されており、ロッドの一端部は該支持部材の該円筒壁
部内に挿入されるのが好適である。該把持片偏倚手段は
ロッドの周方向に間隔をおいて配設された複数個の流体
圧シリンダ機構と該流体圧シリンダ機構の各々の出力ピ
ストンが接続されたリング部材とを含み該複数個の流体
圧シリンダ機構が該リング部材を介して該把持片の各々
をロッドの周表面に向けて偏倚するのが好都合である。
好ましくは、該抑制手段は、ロッドの周方向に間隔をお
いて回転自在に配設され且つロッドの周表面に当接せし
められる少なくとも２個のローラを含む。該抑制手段
は、該ローラの少なくとも１個をロッドの周表面に向け
て偏倚するローラ偏倚手段を含むのが好ましい。好適形
態においては、該抑制手段は、ロッドの周方向に間隔を
おいて配設された少なくとも３個の保持部材を含み、該
保持部材の各々にはロッドの周方向に間隔をおいて少な
くとも２個の該ローラが装着されており、そして該保持
部材の少なくとも２個は、該中心軸線に平行に延びる旋
回軸線を中心として旋回自在に、該ローラ偏倚手段を構
成する流体圧シリンダ機構の出力ピストンに装着されて
いる。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下、本発明に従って構成された
切断装置の好適実施形態を図示している添付図面を参照
して、更に詳細に説明する。

【０００９】図１及び図２を参照して説明すると、図示
の切断装置は、図１及び図２において左端部に位置せし
められている把持手段２、図１及び図２において右端部
に配設されている切断手段４、及び切断手段４に隣接し
て配設された抑制手段６を具備している。

【００１０】図示の実施形態においては、図１及び図２
において左右方向に実質上水平に延びる案内レール８が
床面１０上に固定されており、この案内レール８には可
動支持枠１２が案内レール８に沿って移動自在に装着さ
れている。案内レール８の片側には案内レール８に沿っ
て延在するラック１４が固定されている。可動支持枠１
２には電動モータでよい回転駆動源１５が装着されてお
り、この回転駆動源１５の出力軸には上記ラック１４に
係合せしめられているピニオン１６が固定されている。
従って、回転駆動源１５が正転せしめられると、ラック
１４に係合せしめられているピニオン１６が正転せしめ
られ、可動支持枠体１２が図１及び２において右方に移
動せしめられ、回転駆動源１５が逆転せしめられると、
ラック１４に係合せしめられているピニオン１６が逆転
せしめられ、可動支持枠１２が図１及び図２において左
方に移動せしめられる。

【００１１】可動支持枠１２上には、４本の入れ子式支
柱１８（図１に２本の支柱１８を図示している）を介し
て昇降台２０が昇降自在に装着されている。可動支持枠
１２には実質上鉛直に延びるねじ軸２２が回転自在に装
着されており、昇降台２０にはねじ軸２２が螺合せしめ
られている貫通雌ねじ孔（図示していない）が形成され
ている。可動支持枠１２には電動モータでよい回転駆動
源２４が配設されており、かかる回転駆動源２４の出力
軸は適宜の伝動手段（図示していない）を介してねじ軸
２２に連結されている。従って、回転駆動源２４が正転
せしめられると、昇降台２０が上昇せしめられ、回転駆
動源２４が逆転せしめられると昇降台２０が下降せしめ
られる。

【００１２】上記把持手段２は昇降台２０上に実質上水
平に延びる中心軸線２６を中心として回転自在に装着さ
れている。更に詳述すると、図示の実施形態における把
持手段２は実質上水平に延びる軸部材２８とこの軸部材
２８に固定された支持部材３０とを含んでおり、軸部材
２８が一対の軸受部材３１を介して昇降台２０上に回転
自在に装着されている。支持部材３０は軸部材２８の先
端に固定された円形底壁３２とこの底壁３２から実質上
水平に延出する円筒壁部３４とを有する。支持部材３０
の円筒壁部３４には２組の把持片３６及び３８が装着さ
れている。

【００１３】第一の組の把持片３６は円筒壁部３４の周
方向（従って、後述するポリシリコンロッドの周方向）
に等間隔をおいて３個配設されている。円筒壁部３４に
は周方向に等間隔をおいて３個の開口が形成されてお
り、３個の把持片３６の各々は円筒壁部３４の半径方向
に対して実質上垂直に延びる短軸３９に旋回自在に装着
されている。把持片３６の各々は円筒壁部３４内に突出
する把持部３６ａと円筒壁部３４から外方に延出する被
動部３６ｂとを有する。把持片３６に関連せしめて昇降
台２０には支持部材３０の周方向に間隔をおいて例えば
３個の流体圧シリンダ機構４０（図１には２個の流体圧
シリンダ機構４０を図示している）が固定されている。
空気圧シリンダ機構でよい流体圧シリンダ機構４０の各
々の出力ピストンは支持部材３０の円筒壁部３４の周囲
を延びるリング部材４２に接続されている。図２におい
ては、図面の複雑化を避けるために流体圧シリンダ機構
４０及びリング部材４２の図示を省略している。後に更
に言及する如く、支持部材３０の円筒壁部３４内には切
断すべきポリシリコンロッド４４の一端部が挿入され、
流体圧シリンダ機構４０が所定圧力で伸張せしめられる
ことによって、リング部材４２を介して把持片３６がそ
れらの把持部３６ａがポリシリコンロッド４４の周表面
に向かう方向に偏倚されポリシリコンロッド４４の周表
面に押圧せしめられる。ポリシリコンロッド４４の周表
面に押圧せしめられる把持部３６ａの片側面は中心軸線
２６の方向及び／又は周方向に湾曲せしめられていて、
ポリシリコンロッド４４の周表面に対して実質上点又は
線接触せしめられるのが好適である。また、金属不純物
によってポリシリコンロッド４４が汚染されるのを回避
するために、把持片３６がステンレス鋼の如き金属で形
成されている場合には、把持部３６ａの少なくとも上記
片側面にはナイロン、ポリエーテルイミド、ポリアセタ
ール、フッ素樹脂、ポリエーテルエーテルケトン、高分
子ポリエチレンの如き耐摩耗性に優れた合成樹脂をコー
ティングするのが好ましい。また、必要に応じて、リン
グ部材４２に対して摺擦せしめられる被動部３６ｂの片
側面（図１において左側面）にも耐摩耗性に優れた合成
樹脂をコーティングすることができる。所望ならば、把
持片３６が回転自在に装着される短軸３９の全体を耐磨
耗性に優れた合成樹脂から形成し、或いは短軸３９の周
表面と共に短軸３９に被嵌される把持片３６の装着孔の
内周面を耐磨耗性に優れた合成樹脂でコーティングする
こともできる。更に、上述したリング部材４２もその全
体を耐磨耗性に優れた合成樹脂から形成し或いはその片
側面（把持片３６の被動３６ｂに接触せしめられる面）
を耐磨耗性に優れた合成樹脂でコーティングすることも
できる。換言すれば、ポリシリコンロッド４４に近接し
て位置する種々の機械要素の摺動乃至回動部位には、耐
摩耗性に優れた合成樹脂をコーティングし、或いはかか
る機械要素の全体を耐摩耗性に優れた合成樹脂から成形
し、かくして金属粉によってポリシリコンロッドが汚染
されることを充分に抑制乃至回避することが好都合であ
る。

【００１４】所望ならば、リング部材４２と把持片３６
の被動部３６ｂとの摺動を回避するために、リング部材
４２を支持部材３０の円筒壁部３４に対して中心軸線２
６の方向に摺動自在であるが相対的回転不可能に装着し
（従ってリング部材４２は支持部材３０と共に回転せし
められる）、そして流体圧シリンダ機構４０の各々の出
力ロッドの先端に回転自在な球又はローラを装着し、か
かる球又はローラをリング部材４２に当接せしめること
もできる。

【００１５】第二の組の把持片３８も円筒壁部３４の周
方向（従って、後述するシリコンロッドの周方向）に等
間隔をおいて３個配設されている。そして、これらの把
持片３８に関連せしめて、昇降台２０には支持部材３０
の周方向に間隔をおいて３個の流体圧シリンダ機構４６
（図１には２個の流体圧シリンダ機構４６を図示してい
る）が固定されており、流体圧シリンダ機構４６の各々
の出力ピストンは支持部材３０の円筒壁部３４の周囲を
延びるリング部材４８に接続されている。図２において
は、図面の複雑化を避けるために流体圧シリンダ機構４
６及びリング部材４８の図示を省略している。把持片３
８並びに流体圧シリンダ機構４６及びリング部材４８
は、上記把持片３６並びに流体圧シリンダ機構４０及び
リング部材４２に対して線対称形態に配置されており、
それらの構成自体は上記把持片３６並びに流体圧シリン
ダ機構４０及びリング部材４２と実質上同一である。

【００１６】図示の実施形態の如く、第一の組の把持片
３６と共に中心軸線２６の方向に間隔をおいて第二の組
の把持片３８を配設する場合、一方の組の把持片３６又
は３８は比較的大きな力によってポリシリコンロッド４
４の周表面に押圧せしめてポリシリコンロッド４４を充
分堅固に把持するようになすが、他方の組の把持片３８
又は３６は比較的小さな偏倚力によってポリシリコンロ
ッド４４の表面に当接せしめて真直ではなくて幾分湾曲
しているポリシリコンロッド４４の横方向移動を抑制す
るようにせしめるのが好適である。所望ならば、把持片
３６並びに流体圧シリンダ機構４０及びリング部材４２
と把持片３８並びに流体圧シリンダ機構４６及びリング
部材４８とのいずれか一方を省略することもできる。ま
た、周方向に間隔をおいて４個以上の把持片３６又は３
８を支持部材３０に配設することもできる。

【００１７】昇降台２０には電動モータでよい回転駆動
源５０が配設されており、この回転駆動源５０の出力軸
はチェーン５２を含む伝動要素を介して把持手段２の軸
部材２８に接続されている。従って、回転駆動源５０が
付勢されると、把持手段２（即ち、軸部材２８、支持部
材３０並びに把持片３６及び３８）が所定方向に回転駆
動せしめられる。

【００１８】上記把持手段２に関しては次の事実も注目
されるべきである。即ち、一対の軸受部材３１によって
把持手段２の軸部材２８を回転自在に支持しているが、
軸部材２８及び一対の軸受部材３１は支持部材３０の円
形底壁３２によって支持部材３０の円筒壁部３４の内側
から隔離されている。従って、軸部材２８と一対の軸受
部材３１との相対的回転に起因して金属微粉が生成され
たとしても、円筒壁部３４内に存在するポリシリコンロ
ッド４４の片端部が金属微粉によって汚染されることは
効果的に防止されている。

【００１９】次に、図１及び図２と共に図３を参照して
切断手段４について説明すると、図１及び図２において
右端部には静止機台５３が配設されている。図２及び図
３から明確に理解される如く、機台５３は上記把持手段
２の中心軸線２６に対して図２において上方に変位せし
められている。機台５３上には中心軸線２６に対して実
質上垂直に延びる一対の案内レール５４が固定されてお
り、かかる一対の案内レール５４には可動支持枠５６が
一対の案内レール５４に沿って移動自在に装着されてい
る。機台５３上には一対の案内レール５４に沿って延び
るねじ軸５８も回転自在に装着されている。可動支持枠
５６にはねじ軸５８が螺合せしめられている貫通雌ねじ
孔（図示していない）が形成されている。機台５２上に
は電動モータでよい回転駆動源６０が配設されており、
かかる回転駆動源６０の出力軸はチェーン６１（図３）
を含む伝動手段を介してねじ軸５８に連結されている。
回転駆動源６０が正転せしめられると、可動支持枠５６
が図２において下方、図３において左方に移動せしめら
れ、回転駆動源６０が逆転せしめられると、可動支持枠
５６が図２において上方、図３において右方に移動せし
められる。

【００２０】可動支持枠５６には、上記把持手段２の中
心軸線２６と実質上平行に延びる中心軸線６２を中心と
して回転自在に回転軸６４が装着されている。そして、
この回転軸６４の先端部（図２において左端部）には円
板状の切断刃６６が固定されている。切断刃６６は適宜
の結合材によってダイヤモンド粒子を結合せしめて形成
された形態のものでよい。可動支持枠５６上には電動モ
ータでよい回転駆動源６８も配設されており、かかる回
転駆動源６８の出力軸はベルト７０を介して回転軸６４
に連結されている。従って、回転駆動源６８が付勢され
ると、回転軸６４及びこれに固定された切断刃６６が所
定方向に回転駆動せしめられる。

【００２１】切断手段４に隣接して配設されている抑制
手段６について説明すると、図示の実施形態における抑
制手段６は静止支持枠７２（図３）を具備しており、こ
の支持枠７２は横方向（図３において左右方向）に延び
る底壁部７４とこの底壁部７４の両側縁から上方に延び
る直立両側壁部７６とを有する。図１及び図２において
は図面が徒に複雑化するのを回避するために、支持枠７
２の図示を省略している。底壁部７４には上方に指向せ
しめられた流体圧シリンダ機構７８が装着されており、
両側壁部７６の各々には内側に向かって下方に傾斜せし
めて指向された流体圧シリンダ機構８０が装着されてい
る。図３を参照することによって明確に理解される如
く、上記把持手段２の中心軸線２６に関して（従って切
断すべきポリシリコンロッド４４の周方向に見て）、流
体圧シリンダ機構７８に対して流体圧シリンダ機構８０
は１２０度の角度間隔をおいて配設されている。流体圧
シリンダ機構７８並びに流体圧シリンダ機構８０は空気
圧シリンダ機構でよい。流体圧シリンダ機構７８の出力
ピストンは実質上鉛直に上方に延び、その先端には実質
上水平に延びる支持板８２が固定されている。そして、
支持板８２には横方向（ポリシリコンロッド４４の周方
向）に間隔をおいて一対のローラ８４が回転自在に装着
されている。一方、流体圧シリンダ機構８０の各々の出
力ピストンは水平に対して３０度の角度をなして幅方向
中央に向かって下方に傾斜して延び、その先端には上記
中心軸線２６に対して平行に（従って図３において紙面
に垂直に）延びる旋回軸線を中心として旋回自在に支持
板８６が装着されている。そして、支持板８６には横方
向に（ポリシリコンロッド４４の周方向）に間隔をおい
て一対のローラ８８が回転自在に装着されている。後に
更に言及する如く、ローラ８４及び８８はポリシリコン
ロッド４４を切断する際にポリシリコンロッド４４の周
表面に押圧せしめられる。従って、ポリシリコンロッド
４４の汚染を回避するために、ローラ８４及び８８はそ
れらの全体を適宜の合成樹脂から成形する或いはそれら
の表面を適宜の合成樹脂でコーティングすることが望ま
しい。流体圧シリンダ機構７８及び８０が伸長せしめら
れると、ローラ８４及び８８は中心軸線２６に向かって
前進（従ってポリシリコンロッド４４の周表面に接近す
る方向に前進）せしめられ、流体圧シリンダ機構７８及
び８０が収縮せしめられると、ローラ８４及び８８は中
心軸線から後退（従ってポリシリコンロッド４４の周表
面から離隔する方向に後退）せしめられる。

【００２２】図示の実施形態においては、３個の流体圧
シリンダ機構７８及び８０の各々に関して２個のローラ
８４及び８８を配設しているが、所望ならば３個の流体
圧リシンダ機構７８及び８０の各々に夫々１個のローラ
８４及び８８を配設することもできる。また、図示の実
施形態においては、流体圧シリンダ機構７８に配設され
た支持板８２は出力ピストンに固定されているが、所望
ならば支持板８２も中心軸線２６に平行に延びる旋回軸
線を中心として旋回自在に出力ピストンに装着すること
もできる。

【００２３】図１及び図２と共に図４を参照して説明を
続けると、図示の実施形態においては、把持手段２と抑
制手段６との間に、適宜の間隔をおいて４個の装填手段
９０が配設されている。主として図４を参照して説明す
ると、装填手段９０の各々は静止支持枠９２を含んでい
る。かかる支持枠９２は、把持手段２の中心軸線２６に
対して図４において右方に変位して配置されている。支
持枠９２上には実質上水平に且つ中心軸線２６に対して
実質上垂直に延びる一対の案内レール９４が固定されて
おり、かかる案内レール９４には可動支持部材９６が案
内レール９４に沿って移動自在に装着されている。支持
枠９２上には空気圧リシンダ機構でよい流体圧シリンダ
機構９８も装着されており、かかる流体圧シリンダ機構
９８の出力ピストンは支持部材９６に連結されている。
従って、流体圧シリンダ機構９８の出力ピストンが伸長
せしめられると、支持部材９６が図４において左方に移
動せしめられ、流体圧シリンダ機構９８の出力ピストン
が収縮せしめられると、支持部材９６が図４において右
方に移動せしめられる。支持部材９６上には空気圧シリ
ンダ機構でよい流体圧シリンダ機構１００が配設されて
おり、実質上鉛直に上方に延びる流体圧シリンダ機構１
００の出力ピストンには実質上水平に延在する支持板１
０２が固定されている。支持板１０２上には幅方向（図
４において左右方向）に間隔おいて一対のローラ１０４
が回転自在に装着されている。一対のローラ１０４の中
心軸線１０６は幅方向中心に向かって下方に３０度程度
でよい傾斜角度をなして傾斜せしめられている。流体圧
シリンダ機構１００が伸長せしめられると、支持板１０
２及びかかる支持板１０２に装着されているローラ１０
４が上昇せしめられ、流体圧シリンダ機構１００が収縮
せしめられると、支持板１０２及びかかる支持板１０２
に装着されているローラ１０４が下降せしめられる。

【００２４】上述したとおりの切断装置によって略円柱
状の細長いポリシリコンロッド４４を切断する際には、
装填手段９０の各々の支持板１０２及びかかる支持板１
０２に装着されているローラ１０４を、図２及び図４に
図示する位置（即ち中心軸線２６の下方）に位置せしめ
る。そして、把持手段２が配設されている可動支持枠体
１２を図１及び図２に図示する位置よりも左方に移動せ
しめる。かかる状態において、装填手段９０の各々のロ
ーラ１０４上に切断すべきポリシリコンロッド４４を載
置する。図１乃至図４においては便宜上、ポリシリコン
ロッド４４を実質上真直な円柱形として図示している
が、実際は真直ではなくて相当湾曲せしめられており、
その外径も均一ではなく相当変動している。装填手段９
０上に載置されているポリシリコンロッド４４は把持手
段２と抑制手段６との間に位置する、換言すればポリシ
リコンロッド４４の一端は、図１及び図２において把持
手段２よりも右方に位置し、他端は抑制手段６よりも左
方に位置する。この際に、必要ならば把持手段２を上昇
又は下降或いは装填手段９０のローラ１０４を上昇又は
下降せしめる。しかる後に、把持手段２が装着されてい
る可動支持枠体１２を図１及び図２において右方に移動
せしめ、ポリシリコンロッド４４の一端部を把持手段２
の支持部材３０における円筒壁部３４内に進入せしめ
る。そして、流体圧シリンダ機構４０及び４６を伸長せ
しめて、リング部材４２及び４８を介して把持片３６及
び３８を所定方向に旋回せしめ、把持片３６及び３８に
よってポリシリコンロッド４４の一端部を把持する。

【００２５】次いで、可動支持枠体１２を更に図１及び
図２において右方に図１及び図２に図示する位置まで前
進せしめ、ポリシリコンロッド４４の他端部を、抑制手
段６のローラ８４及び８８間に進入せしめる。そして、
抑制手段６における流体圧シリンダ機構７８及び８０を
伸長せしめてローラ８４及び８８をポリシリコンロッド
４４の他端部の周表面に押圧せしめる。しかる後に、装
填手段９０の流体圧シリンダ機構１００を収縮せしめて
ローラ１０４をポリシリコンロッド４４から下方に離隔
せしめ、次いで流体圧シリンダ機構９８を収縮せしめて
ローラ１０４を図２において上方、図４において右方に
変位せしめる。かくして、ポリシリコンロッド４４を切
断するための準備が完了すると、回転駆動源５０を付勢
して把持手段２を、従って把持手段２に把持されている
ポリシリコンロッド４４を所定方向（例えば図３におい
て時計方向）に回転せしめると共に、回転駆動源６８を
付勢して切断手段４の切断刃６６を所定方向（例えば図
３において反時計方向）に回転せしめる。そして、切断
手段４における可動支持枠５６を図２において下方、図
３において左方に移動せしめ、切断刃６６をポリシリコ
ンロッド４４に作用せしめて切断する。ポリシリコンロ
ッド４４のかような切断は、ポリシリコンロッド４４の
一端部を把持してポリシリコンロッド４４を所定方向に
回転せしめながら、そしてまたポリシリコンロッド４４
の切断部近傍の振動を抑制手段６によって抑制しながら
遂行される故に、割れ等を発生せしめることなく高効率
で遂行することができる。

【００２６】ポリシリコンロッド４４をその長手方向に
おける複数部位にて切断することが必要な場合には、上
記切断工程の終了後、切断手段４における可動支持枠５
６を図２において上方、図３において右方に後退せし
め、次いで装填手段９０を再び図２及び図４に図示する
位置に位置せしめて装填手段９０によってポリシリコン
ロッド４４を支持する。しかる後に、抑制手段６におけ
る流体圧シリンダ機構７８及び８０を収縮せしめてロー
ラ８４及び８８をポリシリコンロッド４４の他端部の周
表面から離隔せしめる。しかる後に、可動支持枠体１２
を図１及び図２において右方に所要長さ移動せしめて、
ポリシリコンロッド４４を抑制手段６のローラ８４及び
８８間に所要長さ進入せしめ、次いで流体圧シリンダ機
構７８及び８０を伸張せしめてローラ８４及び８８をポ
リシリコンロッド４４の周表面に押圧せしめ、そして上
述した切断工程と同様にして再びポリシリコンロッド４
４の切断を遂行すればよい。

【００２７】而して、図示の実施形態においては、把持
手段２を可動支持枠１２上に装着し、可動支持枠１２を
移動せしめることによって把持手段２を中心軸線２６の
方向に移動せしめているが、所望ならば、これに代えて
或いはこれに加えて切断手段４が装備されている機台５
３を中心軸線２６方向に移動自在に構成し、機台５３を
移動せしめることによって切断手段４を中心軸線２６の
方向に移動せしめることもできる。

【００２８】

【発明の効果】本発明の切断装置によれば、略円柱状の
細長いロッド、殊にポリシリコンロッドを所要とおりに
高効率で切断することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に従って構成された切断装置の好適実施
形態を、一部を断面で示す簡略正面図。

【図２】図１の切断装置を、一部を断面で示す簡略平面
図。

【図３】図１の切断装置における切断手段及び抑制手段
を示す簡略側面図。

【図４】図１の切断装置における装填手段を示す簡略側
面図。

【符号の説明】 ２：把持手段 ４：切断手段 ６：抑制手段 ２８：軸部材 ３０：支持部材 ３２：支持部材の底壁 ３４：支持部材の円筒壁部 ３６：把持片 ３８：把持片 ４０：流体圧シリンダ機構 ４２：リング部材 ４４：ポリシリコンロッド ４６：流体圧シリンダ機構 ４８：リング部材 ５０：回転駆動源 ６６：切断刃 ７８：流体圧シリンダ機構 ８０：流体圧シリンダ機構 ８２：支持板 ８４：ローラ ８６：支持板 ８８：ローラ ９０：装填手段

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 久保田 純一 山口県徳山市御影町１番１号 株式会社ト クヤマ内 Ｆターム(参考） 3C069 AA01 BA04 CA03 EA02

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 略円柱状の細長いロッドを切断するため
   の切断装置にして、 中心軸線を中心として回転自在に装着され、該中心軸線
   に沿って延在せしめられるロッドの一端部を把持する把
   持手段と、 該把持手段を回転せしめるための回転駆動手段と、 一端部が該把持手段に把持されたロッドの切断部の振動
   を抑制するための抑制手段と、 該中心軸線に対して実質上垂直な方向にロッドを切断す
   るための切断手段と、 を具備することを特徴とする切断装置。
2. 【請求項２】 該把持手段は、ロッドの周方向に間隔を
   おいて、ロッドの周表面に向かう方向及びロッドの周表
   面から離隔する方向に移動自在に配設された３個以上の
   把持片を含み、該把持片の各々をロッドの周表面に向け
   て偏倚するための把持片偏倚手段が配設されており、該
   把持片偏倚手段によって偏倚せしめられることによって
   該把持片の各々がロッドの周表面に実質上点接触乃至線
   接触せしめられる、請求項１記載の切断装置。
3. 【請求項３】 該把持手段は回転自在に支持された軸部
   材と、該軸部材の先端に固定された円形底壁及び該円形
   底壁から延出する円筒壁部を有する支持部材とを含み、
   該把持片は該支持部材の該円筒壁部に装着されており、
   ロッドの一端部は該支持部材の該円筒壁部内に挿入され
   る、請求項２記載の切断装置。
4. 【請求項４】 該把持片偏倚手段はロッドの周方向に間
   隔をおいて配設された複数個の流体圧シリンダ機構と該
   流体圧シリンダ機構の各々の出力ピストンが接続された
   リング部材とを含み該複数個の流体圧シリンダ機構が該
   リング部材を介して該把持片の各々をロッドの周表面に
   向けて偏倚する、請求項２又は３記載の切断装置。
5. 【請求項５】 該抑制手段は、ロッドの周方向に間隔を
   おいて回転自在に配設され且つロッドの周表面に当接せ
   しめられる少なくとも２個のローラを含む、請求項１か
   ら４までのいずれかに記載の切断装置。
6. 【請求項６】 該抑制手段は、該ローラの少なくとも１
   個をロッドの周表面に向けて偏倚するローラ偏倚手段を
   含む、請求項５記載の切断機。
7. 【請求項７】 該抑制手段は、ロッドの周方向に間隔を
   おいて配設された少なくとも３個の保持部材を含み、該
   保持部材の各々にはロッドの周方向に間隔をおいて少な
   くとも２個の該ローラが装着されており、そして該保持
   部材の少なくとも２個は、該中心軸線に平行に延びる旋
   回軸線を中心として旋回自在に、該ローラ偏倚手段を構
   成する流体圧シリンダ機構の出力ピストンに装着されて
   いる、請求項６記載の切断装置。