JP2003302642A - Radiation sensitive resin composition to be used for formation of spacer by ink jet method, spacer and liquid crystal display element - Google Patents

Radiation sensitive resin composition to be used for formation of spacer by ink jet method, spacer and liquid crystal display element

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JP2003302642A
JP2003302642A JP2002107808A JP2002107808A JP2003302642A JP 2003302642 A JP2003302642 A JP 2003302642A JP 2002107808 A JP2002107808 A JP 2002107808A JP 2002107808 A JP2002107808 A JP 2002107808A JP 2003302642 A JP2003302642 A JP 2003302642A
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JP
Japan
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spacer
ether
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methyl
ethyl
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Application number
JP2002107808A
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Japanese (ja)
Inventor
Hisahiro Nishio
壽浩 西尾
Kazuaki Niwa
一明 丹羽
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JSR Corp
Original Assignee
JSR Corp
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Publication date
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a spacer composition optimized for the manufacture of a spacer by a low-cost ink jet method and to provide a spacer formed from the composition and a liquid crystal display element equipped with the spacer. <P>SOLUTION: The composition comprises: [A] a copolymer of (a1) an unsaturated carboxylic acid and/or unsaturated carboxylic acid anhydride, (a2) an epoxy group-containing unsaturated compound and (a3) an olefin unsaturated compound except for compounds of (a1) and (a2); [B] a polymerizable compound having an ethylenic unsaturated bond; [C] a radiation sensitive polymerization initiator; and [D] a solvent having ≥180°C boiling point at normal pressure. The spacer is formed from the above composition, and the liquid crystal display element has the above spacer. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェット方
式によるスペーサー形成に用いる感放射線性樹脂組成
物、それから形成されたスペーサー、およびそのスペー
サーを有する液晶表示素子に関する。さらに詳しくは、
液晶表示素子用のスペーサーをインクジェット方式によ
りガラスまたは樹脂等の基板上に形成するのに好適な感
放射線性樹脂組成物、それから形成されたスペーサー、
およびそのスペーサーを有する液晶表示素子に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a radiation-sensitive resin composition used for forming a spacer by an inkjet method, a spacer formed from the same, and a liquid crystal display device having the spacer. For more details,
Radiation-sensitive resin composition suitable for forming a spacer for a liquid crystal display element on a substrate such as glass or resin by an inkjet method, a spacer formed from the resin composition,
And a liquid crystal display device having the spacer thereof.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、液晶パネルには2枚の基板の間隔
を一定に保つために所定の粒径を有するガラスビーズ、
プラスチックビーズ等のスペーサー粒子が使用されてい
る。これらスペーサー粒子は、ガラス基板上にランダム
に散布されるため、有効画素部内に上記スペーサーが存
在すると、スペーサーの写り込みがあったり、入射光が
散乱を受け液晶パネルのコントラストが低下するという
問題があった。これらの問題を解決するためにスペーサ
ーをフォトリソグラフィーにより形成する方法が使用さ
れるようになってきた。この方法によれば、感放射線性
樹脂組成物を基板に塗布し所定のマスクを介し紫外線等
の放射線を照射した後、現像してドット状やストライプ
状のスペーサーを形成することができる。これによると
有効画素部以外の場所にスペーサーを形成することがで
き、上記問題を解決できることがわかっている。
2. Description of the Related Art Conventionally, a liquid crystal panel has glass beads having a predetermined particle diameter in order to keep a distance between two substrates constant,
Spacer particles such as plastic beads have been used. Since these spacer particles are randomly dispersed on the glass substrate, if the spacer is present in the effective pixel portion, there is a problem that the spacer is reflected or incident light is scattered and the contrast of the liquid crystal panel is lowered. there were. In order to solve these problems, a method of forming a spacer by photolithography has been used. According to this method, the radiation-sensitive resin composition can be applied to a substrate, irradiated with radiation such as ultraviolet rays through a predetermined mask, and then developed to form dot-shaped or stripe-shaped spacers. According to this, it is known that the spacer can be formed in a place other than the effective pixel portion, and the above problem can be solved.

【0003】このようなスペーサーの形成方法として
は、従来、カラーフィルタ等の基板表面上に、感放射線
性樹脂組成物をスプレー法、ロールコート法、回転塗布
法、バー塗布法などの方法で塗布し、プレベークにより
溶媒を除去して塗膜とした後、加熱処理をすることによ
り均一な途膜を得、フォトリソグラフィーによって目的
とするスペーサーを形成することが知られている。しか
し、これらの方法では、スペーサー形成に必要な樹脂組
成物量以上に、安定的な塗布のために多量の樹脂組成物
が使用される。従って樹脂組成物の無駄が多く、そのた
めコストが高くなる等の問題があった。一方、特開昭5
9−75205号公報、特開昭61−245106号公
報、特開昭63−235901号公報等には、インクジ
ェットヘッドを用いてカラーフィルタの着色層を形成す
る工程を備えた、インクジェット方式のカラーフィルタ
の製造方法が開示されており、この方法では、カラーフ
ィルタ用樹脂組成物の液滴を吐出する位置の制御が容易
で、樹脂組成物の無駄も少なくなるため、製造コストを
低減できるという利点がある。しかしながら、これらの
公報では、スペーサー用組成物について、インクジェッ
ト方式に適した組成について十分な考察がなされていな
い。
As a method for forming such a spacer, conventionally, a radiation-sensitive resin composition is applied onto the surface of a substrate such as a color filter by a spray method, a roll coating method, a spin coating method, a bar coating method or the like. Then, it is known that a solvent is removed by prebaking to form a coating film, and then a heat treatment is performed to obtain a uniform film, and a desired spacer is formed by photolithography. However, in these methods, a large amount of the resin composition is used for stable coating, which is more than the amount of the resin composition required for forming the spacer. Therefore, there has been a problem that the resin composition is wasted a lot, resulting in high cost. On the other hand, JP-A-5
No. 9-75205, JP-A No. 61-245106, JP-A No. 63-235901, etc., an inkjet color filter having a step of forming a colored layer of a color filter using an inkjet head. Is disclosed, and in this method, it is easy to control the position at which the droplets of the resin composition for a color filter are ejected, and the waste of the resin composition is reduced, so that the manufacturing cost can be reduced. is there. However, these publications do not give sufficient consideration to the composition for spacers, which is suitable for the inkjet system.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、前記事情を
勘案してなされたものであり、その課題は、低コストの
インクジェット方式によるスペーサーの製造に最適化さ
れたスペーサー用組成物、およびそれから形成されたス
ペーサーを提供することにある。また、本発明の他の課
題は、前記のようなスペーサーを具備する液晶表示素子
を提供することにある。
DISCLOSURE OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances, and its object is to provide a spacer composition optimized for the production of a spacer by a low-cost inkjet method, and Providing a formed spacer. Another object of the present invention is to provide a liquid crystal display device including the spacer as described above.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明によれば、上記課
題は、[A](a1)不飽和カルボン酸および/または
不飽和カルボン酸無水物、(a2)エポキシ基含有不飽
和化合物、ならびに(a3)前記(a1)および(a
2)以外のオレフィン系不飽和化合物、の共重合体(以
下、「共重合体[A]」ということがある。)、[B]
エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物、[C]感
放射線重合開始剤、ならびに[D]常圧における沸点が
180℃以上の溶媒を含有することを特徴とするインク
ジェット方式によるスペーサー形成に用いる感放射線性
樹脂組成物によって達成される。
According to the present invention, the above-mentioned problems are [A] (a1) unsaturated carboxylic acid and / or unsaturated carboxylic acid anhydride, (a2) epoxy group-containing unsaturated compound, and (A3) The above (a1) and (a
Copolymers of olefinic unsaturated compounds other than 2) (hereinafter sometimes referred to as "copolymer [A]"), [B].
A photosensitive composition used for forming a spacer by an inkjet method, which comprises a polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond, [C] a radiation-sensitive polymerization initiator, and [D] a solvent having a boiling point of 180 ° C. or higher at normal pressure. This is achieved by the radiation-sensitive resin composition.

【0006】さらに本発明によれば、上記課題は第2に
上記の感放射線性樹脂組成物から形成されたスペーサー
により達成され、第3に該スペーサーを有する液晶表示
素子によって達成される。以下、本発明のスペーサー用
感放射線性樹脂組成物の各成分について詳述する。な
お、本発明で「放射線」という語は、紫外線、遠紫外
線、X線、電子線、分子線、γ線、シンクロトロン放射
線、プロトンビーム線等を含む概念で用いられる。
Further, according to the present invention, the above problems are secondly achieved by a spacer formed from the radiation sensitive resin composition, and thirdly achieved by a liquid crystal display device having the spacer. Hereinafter, each component of the radiation-sensitive resin composition for a spacer of the present invention will be described in detail. In the present invention, the term "radiation" is used as a concept including ultraviolet rays, far ultraviolet rays, X-rays, electron beams, molecular beams, γ rays, synchrotron radiation, proton beam rays and the like.

【0007】共重合体[A] 共重合体[A]は、(a1)不飽和カルボン酸および/
または不飽和カルボン酸無水物(以下、「化合物(a
1)」ということがある。)、(a2)エポキシ基含有
不飽和化合物(以下、「化合物(a2)」ということが
ある。)、ならびに(a3)前記(a1)および(a
2)以外のオレフィン系不飽和化合物(以下、「化合物
(a3)」ということがある。)を溶媒中で、重合開始
剤の存在下にラジカル重合することによって製造するこ
とができる。本発明で用いられる共重合体[A]は、化
合物(a1)から誘導される構成単位を、好ましくは5
〜50重量%、特に好ましくは10〜40重量%含有し
ている。この構成単位が5重量%未満である場合、得ら
れるスペーサーの圧縮強度、耐熱性、耐薬品性が低下す
る傾向にある。一方50重量%を超えると、感放射線性
樹脂組成物の保存安定性が低下することがある。
Copolymer [A] The copolymer [A] comprises (a1) an unsaturated carboxylic acid and /
Or unsaturated carboxylic acid anhydride (hereinafter referred to as "compound (a
1) ”. ), (A2) an epoxy group-containing unsaturated compound (hereinafter sometimes referred to as “compound (a2)”), and (a3) the above (a1) and (a).
It can be produced by radical polymerization of an olefinic unsaturated compound other than 2) (hereinafter sometimes referred to as "compound (a3)") in a solvent in the presence of a polymerization initiator. The copolymer [A] used in the present invention comprises a structural unit derived from the compound (a1), preferably 5 units.
˜50% by weight, particularly preferably 10 to 40% by weight. When this structural unit is less than 5% by weight, the compressive strength, heat resistance and chemical resistance of the obtained spacer tend to be lowered. On the other hand, if it exceeds 50% by weight, the storage stability of the radiation-sensitive resin composition may decrease.

【0008】化合物(a1)としては、例えばアクリル
酸、メタクリル酸、クロトン酸などのモノカルボン酸;
マレイン酸、フマル酸、シトラコン酸、メサコン酸、イ
タコン酸などのジカルボン酸;およびこれらジカルボン
酸の無水物が挙げられる。これらのうち、アクリル酸、
メタクリル酸、無水マレイン酸などが共重合反応性、お
よび入手が容易である点から好ましく用いられる。これ
らは、単独であるいは組み合わせて用いられる。
Examples of the compound (a1) include monocarboxylic acids such as acrylic acid, methacrylic acid and crotonic acid;
And dicarboxylic acids such as maleic acid, fumaric acid, citraconic acid, mesaconic acid and itaconic acid; and anhydrides of these dicarboxylic acids. Of these, acrylic acid,
Methacrylic acid, maleic anhydride and the like are preferably used from the viewpoint of copolymerization reactivity and easy availability. These may be used alone or in combination.

【0009】本発明で用いられる共重合体[A]は、化
合物(a2)から誘導される構成単位を、好ましくは1
0〜70重量%、特に好ましくは20〜60重量%含有
している。この構成単位が10重量%未満の場合は得ら
れるスペーサーの圧縮強度、耐熱性、耐薬品性が低下す
る傾向にあり、一方70重量%を超える場合は感放射線
性樹脂組成物の保存安定性が低下する傾向にある。
The copolymer [A] used in the present invention comprises a structural unit derived from the compound (a2), preferably 1
0 to 70% by weight, particularly preferably 20 to 60% by weight. When the content of this structural unit is less than 10% by weight, the compressive strength, heat resistance and chemical resistance of the resulting spacer tend to be lowered, while when it exceeds 70% by weight, the storage stability of the radiation-sensitive resin composition tends to be low. It tends to decrease.

【0010】化合物(a2)としては、例えばアクリル
酸グリシジル、メタクリル酸グリシジル、α−エチルア
クリル酸グリシジル、α−n−プロピルアクリル酸グリ
シジル、α−n−ブチルアクリル酸グリシジル、アクリ
ル酸−3,4−エポキシブチル、メタクリル酸−3,4−
エポキシブチル、アクリル酸−6,7−エポキシヘプチ
ル、メタクリル酸−6,7−エポキシヘプチル、α−エ
チルアクリル酸−6,7−エポキシヘプチル、メタクリ
ル酸−β−メチルグリシジル、メタクリル酸−β−エチ
ルグリシジル、メタクリル酸−β−プロピルグリシジ
ル、o−ビニルベンジルグリシジルエーテル、m−ビニ
ルベンジルグリシジルエーテル、p−ビニルベンジルグ
リシジルエーテルなどが挙げられる。これらのうち、メ
タクリル酸グリシジル、メタクリル酸−6,7−エポキ
シヘプチル、o−ビニルベンジルグリシジルエーテル、
m−ビニルベンジルグリシジルエーテル、p−ビニルベ
ンジルグリシジルエーテル、メタクリル酸−β−メチル
グリシジルなどが共重合反応性および得られるスペーサ
ーの強度を高める点から好ましく用いられる。これら
は、単独であるいは組み合わせて用いられる。
Examples of the compound (a2) include glycidyl acrylate, glycidyl methacrylate, glycidyl α-ethyl acrylate, glycidyl α-n-propyl acrylate, glycidyl α-n-butyl acrylate, and acrylic acid-3,4. -Epoxybutyl, methacrylic acid-3,4-
Epoxy butyl, 6,7-epoxy heptyl acrylate, 6,7-epoxy heptyl methacrylate, α-ethyl 6,7-epoxy heptyl acrylate, β-methyl glycidyl methacrylate, β-ethyl methacrylate Examples thereof include glycidyl, β-propylglycidyl methacrylate, o-vinylbenzyl glycidyl ether, m-vinylbenzyl glycidyl ether, p-vinylbenzyl glycidyl ether and the like. Of these, glycidyl methacrylate, 6,7-epoxyheptyl methacrylate, o-vinylbenzyl glycidyl ether,
m-Vinylbenzyl glycidyl ether, p-vinyl benzyl glycidyl ether, methacrylic acid-β-methyl glycidyl ether and the like are preferably used from the viewpoint of increasing the copolymerization reactivity and the strength of the resulting spacer. These may be used alone or in combination.

【0011】共重合体[A]は、化合物(a3)から誘
導される構成単位を、好ましくは10〜80重量%、特
に好ましくは20〜60重量%含有している。この構成
単位が10重量%未満である場合、保存安定性が低下す
る場合があり、一方80重量%を超えると、共重合体
[A]がアルカリ水溶液に溶解しにくくなる。化合物
(a3)としては、例えばメチルメタクリレート、エチ
ルメタクリレート、n−ブチルメタクリレート、sec
−ブチルメタクリレート、t−ブチルメタクリレートな
どのメタクリル酸アルキルエステル;メチルアクリレー
ト、イソプロピルアクリレートなどのアクリル酸アルキ
ルエステル;シクロヘキシルメタクリレート、2−メチ
ルシクロヘキシルメタクリレート、トリシクロ[5.2.
1.02,6]デカン−8−イル メタクリレート(当該技
術分野で慣用名としてジシクロペンタニルメタクリレー
トといわれている)、ジシクロペンタニルオキシエチル
メタクリレート、イソボロニルメタクリレートなどのメ
タクリル酸環状アルキルエステル;シクロヘキシルアク
リレート、2−メチルシクロヘキシルアクリレート、ト
リシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル アクリ
レート(当該技術分野で慣用名としてジシクロペンタニ
ルアクリレートといわれている)、ジシクロペンタニル
オキシエチルアクリレート、イソボロニルアクリレート
などのアクリル酸環状アルキルエステル;フェニルメタ
クリレート、ベンジルメタクリレートなどのメタクリル
酸アリールエステル;フェニルアクリレート、ベンジル
アクリレートなどのアクリル酸アリールエステル;マレ
イン酸ジエチル、フマル酸ジエチル、イタコン酸ジエチ
ルなどのジカルボン酸ジエステル;2−ヒドロキシエチ
ルメタクリレート、2−ヒドロキシプロピルメタクリレ
ートなどのヒドロキシアルキルエステル;およびスチレ
ン、α−メチルスチレン、m−メチルスチレン、p−メ
チルスチレン、ビニルトルエン、p−メトキシスチレ
ン、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、塩化ビニ
ル、塩化ビニリデン、アクリルアミド、メタクリルアミ
ド、酢酸ビニル、1,3−ブタジエン、イソプレン、2,
3−ジメチル−1,3−ブタジエン、フェニルマレイミ
ド、シクロヘキシルマレイミド、ベンジルマレイミド、
N−スクシンイミジル−3−マレイミドベンゾエート、
N−スクシンイミジル−4−マレイミドブチレート、N
−スクシンイミジル−6−マレイミドカプロエート、N
−スクシンイミジル−3−マレイミドプロピオネート、
N−(9−アクリジニル)マレイミドなどが挙げられ
る。
The copolymer [A] contains the structural unit derived from the compound (a3) in an amount of preferably 10 to 80% by weight, particularly preferably 20 to 60% by weight. If this structural unit is less than 10% by weight, the storage stability may decrease, while if it exceeds 80% by weight, the copolymer [A] becomes difficult to dissolve in an aqueous alkaline solution. Examples of the compound (a3) include methyl methacrylate, ethyl methacrylate, n-butyl methacrylate, sec
-Methacrylic acid alkyl esters such as butyl methacrylate and t-butyl methacrylate; acrylic acid alkyl esters such as methyl acrylate and isopropyl acrylate; cyclohexyl methacrylate, 2-methylcyclohexyl methacrylate, tricyclo [5.2.
Cyclic alkyl methacrylates such as 1.0 2,6 ] decan-8-yl methacrylate (commonly known in the art as dicyclopentanyl methacrylate), dicyclopentanyloxyethyl methacrylate, and isobornyl methacrylate. Ester; cyclohexyl acrylate, 2-methylcyclohexyl acrylate, tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decan-8-yl acrylate (commonly known in the art as dicyclopentanyl acrylate), diester Acrylic acid cyclic alkyl esters such as cyclopentanyloxyethyl acrylate and isobornyl acrylate; Methacrylic acid aryl esters such as phenyl methacrylate and benzyl methacrylate; Phenyl acrylate and benzyl acrylate Acrylic acid aryl ester; Dicarboxylic acid diester such as diethyl maleate, diethyl fumarate, diethyl itaconic acid; Hydroxyalkyl ester such as 2-hydroxyethyl methacrylate, 2-hydroxypropyl methacrylate; and styrene, α-methylstyrene, m-methyl Styrene, p-methylstyrene, vinyltoluene, p-methoxystyrene, acrylonitrile, methacrylonitrile, vinyl chloride, vinylidene chloride, acrylamide, methacrylamide, vinyl acetate, 1,3-butadiene, isoprene, 2,
3-dimethyl-1,3-butadiene, phenylmaleimide, cyclohexylmaleimide, benzylmaleimide,
N-succinimidyl-3-maleimidobenzoate,
N-succinimidyl-4-maleimidobutyrate, N
-Succinimidyl-6-maleimidocaproate, N
-Succinimidyl-3-maleimidopropionate,
Examples thereof include N- (9-acridinyl) maleimide.

【0012】これらのうち、スチレン、t−ブチルメタ
クリレート、ジシクロペンタニルメタクリレート、p−
メトキシスチレン、2−メチルシクロヘキシルアクリレ
ート、1,3−ブタジエンなどが共重合反応性の点から
好ましい。これらは、単独であるいは組み合わせて用い
られる。
Of these, styrene, t-butyl methacrylate, dicyclopentanyl methacrylate, p-
Methoxystyrene, 2-methylcyclohexyl acrylate, 1,3-butadiene and the like are preferable from the viewpoint of copolymerization reactivity. These may be used alone or in combination.

【0013】共重合体[A]の好ましい具体例として
は、例えば、アクリル酸/アクリル酸グリシジル/スチ
レン共重合体、アクリル酸/メタクリル酸グリシジル/
スチレン共重合体、メタクリル酸/アクリル酸グリシジ
ル/スチレン共重合体、メタクリル酸/メタクリル酸グ
リシジル/スチレン共重合体、アクリル酸/アクリル酸
グリシジル/スチレン/トリシクロ[5.2.1.02,6
デカン−8−イル メタクリレート共重合体、アクリル
酸/メタクリル酸グリシジル/スチレン/トリシクロ
[5.2.1.02,6]デカン−8−イル メタクリレート
共重合体、メタクリル酸/アクリル酸グリシジル/スチ
レン/トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル
メタクリレート共重合体、メタクリル酸/メタクリル
酸グリシジル/スチレン/トリシクロ[5.2.1.
2 ,6]デカン−8−イル メタクリレート共重合体、
アクリル酸/アクリル酸グリシジル/スチレン/トリシ
クロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル メタクリレ
ート/1,3−ブタジエン共重合体、アクリル酸/メタ
クリル酸グリシジル/スチレン/トリシクロ[5.2.
1.02,6]デカン−8−イル メタクリレート/1,3
−ブタジエン共重合体、メタクリル酸/アクリル酸グリ
シジル/スチレン/トリシクロ[5.2.1.02,6]デカ
ン−8−イル メタクリレート/1,3−ブタジエン共
重合体、メタクリル酸/メタクリル酸グリシジル/スチ
レン/トリシクロ[5.2.1.02 ,6]デカン−8−イル
メタクリレート/1,3−ブタジエン共重合体、アク
リル酸/アクリル酸グリシジル/トリシクロ[5.2.
1.02,6]デカン−8−イル メタクリレート/1,3
−ブタジエン共重合体、アクリル酸/メタクリル酸グリ
シジル/トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イ
ル メタクリレート/1,3−ブタジエン共重合体、メ
タクリル酸/アクリル酸グリシジル/トリシクロ[5.
2.1.02,6]デカン−8−イル メタクリレート/
1,3−ブタジエン共重合体、メタクリル酸/メタクリ
ル酸グリシジル/トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン
−8−イル メタクリレート/1,3−ブタジエン共重
合体、アクリル酸/アクリル酸グリシジル/t−ブチル
メタクリレート/1,3−ブタジエン共重合体、アクリ
ル酸/メタクリル酸グリシジル/t−ブチルメタクリレ
ート/1,3−ブタジエン共重合体、メタクリル酸/ア
クリル酸グリシジル/t−ブチルメタクリレート/1,
3−ブタジエン共重合体、メタクリル酸/メタクリル酸
グリシジル/t−ブチルメタクリレート/1,3−ブタ
ジエン共重合体等を挙げることができる。
Preferred specific examples of the copolymer [A] include, for example, acrylic acid / glycidyl acrylate / styrene copolymer, acrylic acid / glycidyl methacrylate /
Styrene copolymer, methacrylic acid / glycidyl acrylate / styrene copolymer, methacrylic acid / glycidyl methacrylate / styrene copolymer, acrylic acid / glycidyl acrylate / styrene / tricyclo [5.2.1.0 2,6 ]
Decan-8-yl methacrylate copolymer, acrylic acid / glycidyl methacrylate / styrene / tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decan-8-yl methacrylate copolymer, methacrylic acid / glycidyl acrylate / styrene /Tricyclo[5.2.1.0 2,6 ] decan-8-yl methacrylate copolymer, methacrylic acid / glycidyl methacrylate / styrene / tricyclo [5.2.1.1.
0 2, 6] decan-8-yl methacrylate copolymer,
Acrylic acid / glycidyl acrylate / styrene / tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decane-8-yl methacrylate / 1,3-butadiene copolymer, acrylic acid / glycidyl methacrylate / styrene / tricyclo [5 .2.
1.0 2,6 ] Decan-8-yl methacrylate / 1,3
-Butadiene copolymer, methacrylic acid / glycidyl acrylate / styrene / tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decane-8-yl methacrylate / 1,3-butadiene copolymer, methacrylic acid / glycidyl methacrylate / styrene / tricyclo [5.2.1.0 2, 6] decan-8-yl methacrylate / 1,3-butadiene copolymers, acrylic acid / glycidyl acrylate / tricyclo [5.2.
1.0 2,6 ] Decan-8-yl methacrylate / 1,3
-Butadiene copolymer, acrylic acid / glycidyl methacrylate / tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decane-8-yl methacrylate / 1,3-butadiene copolymer, methacrylic acid / glycidyl acrylate / tricyclo [5.
2.1.0 2,6 ] Decan-8-yl methacrylate /
1,3-butadiene copolymer, methacrylic acid / glycidyl methacrylate / tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decane-8-yl methacrylate / 1,3-butadiene copolymer, acrylic acid / acrylic acid Glycidyl / t-butyl methacrylate / 1,3-butadiene copolymer, acrylic acid / glycidyl methacrylate / t-butyl methacrylate / 1,3-butadiene copolymer, methacrylic acid / glycidyl acrylate / t-butyl methacrylate / 1 ,
Examples thereof include 3-butadiene copolymer and methacrylic acid / glycidyl methacrylate / t-butyl methacrylate / 1,3-butadiene copolymer.

【0014】共重合体[A]の製造に用いられる溶媒と
しては、具体的には、例えばメタノール、エタノールな
どのアルコール類;テトラヒドロフランなどのエーテル
類;エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレン
グリコールモノエチルエーテルなどのグリコールエーテ
ル類;メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブ
アセテートなどのエチレングリコールアルキルエーテル
アセテート類;ジエチレングリコールモノメチルエーテ
ル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチ
レングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコー
ルジエチルエーテル、ジエチレングリコールエチルメチ
ルエーテルなどのジエチレングリコール類;プロピレン
グリコールメチルエーテル、プロピレングリコールエチ
ルエーテル、プロピレングリコールプロピルエーテル、
プロピレングリコールブチルエーテルなどのプロピレン
グリコールモノアルキルエーテル類;プロピレングリコ
ールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコール
エチルエーテルアセテート、プロピレングリコールプロ
ピルエーテルアセテート、プロピレングリコールブチル
エーテルアセテートなどのプロピレングリコールアルキ
ルエーテルアセテート類;プロピレングリコールメチル
エーテルプロピオネート、プロピレングリコールエチル
エーテルプロピオネート、プロピレングリコールプロピ
ルエーテルプロピオネート、プロピレングリコールブチ
ルエーテルプロピオネートなどのプロピレングリコール
アルキルエーテルアセテート類;トルエン、キシレンな
どの芳香族炭化水素類;
Specific examples of the solvent used for producing the copolymer [A] include alcohols such as methanol and ethanol; ethers such as tetrahydrofuran; ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether and the like. Glycol ethers; ethylene glycol alkyl ether acetates such as methyl cellosolve acetate and ethyl cellosolve acetate; diethylene glycols such as diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol ethyl methyl ether; propylene glycol methyl ether, Propylene glycol ethyl ether, pro Glycol propyl ether,
Propylene glycol monoalkyl ethers such as propylene glycol butyl ether; propylene glycol alkyl ether acetates such as propylene glycol methyl ether acetate, propylene glycol ethyl ether acetate, propylene glycol propyl ether acetate, propylene glycol butyl ether acetate; propylene glycol methyl ether propionate , Propylene glycol ethyl ether propionate, propylene glycol propyl ether propionate, propylene glycol butyl ether propionate and other propylene glycol alkyl ether acetates; aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene;

【0015】メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、
4−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンタノンなどのケ
トン類;および酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸プロピ
ル、酢酸ブチル、2−ヒドロキシプロピオン酸エチル、
2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−
ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、ヒドロキ
シ酢酸メチル、ヒドロキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸
ブチル、乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸プロピル、乳酸
ブチル、3−ヒドロキシプロピオン酸メチル、3−ヒド
ロキシプロピオン酸エチル、3−ヒドロキシプロピオン
酸プロピル、3−ヒドロキシプロピオン酸ブチル、2−
ヒドロキシ−3−メチルブタン酸メチル、メトキシ酢酸
メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸プロピル、
メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢
酸エチル、エトキシ酢酸プロピル、エトキシ酢酸ブチ
ル、プロポキシ酢酸メチル、プロポキシ酢酸エチル、プ
ロポキシ酢酸プロピル、プロポキシ酢酸ブチル、ブトキ
シ酢酸メチル、ブトキシ酢酸エチル、ブトキシ酢酸プロ
ピル、ブトキシ酢酸ブチル、2−メトキシプロピオン酸
メチル、2−メトキシプロピオン酸エチル、2−メトキ
シプロピオン酸プロピル、2−メトキシプロピオン酸ブ
チル、2−エトキシプロピオン酸メチル、2−エトキシ
プロピオン酸エチル、2−エトキシプロピオン酸プロピ
ル、2−エトキシプロピオン酸ブチル、2−ブトキシプ
ロピオン酸メチル、2−ブトキシプロピオン酸エチル、
2−ブトキシプロピオン酸プロピル、2−ブトキシプロ
ピオン酸ブチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3
−メトキシプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオ
ン酸プロピル、3−メトキシプロピオン酸ブチル、3−
エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン
酸エチル、3−エトキシプロピオン酸プロピル、3−エ
トキシプロピオン酸ブチル、3−プロポキシプロピオン
酸メチル、3−プロポキシプロピオン酸エチル、3−プ
ロポキシプロピオン酸プロピル、3−プロポキシプロピ
オン酸ブチル、3−ブトキシプロピオン酸メチル、3−
ブトキシプロピオン酸エチル、3−ブトキシプロピオン
酸プロピル、3−ブトキシプロピオン酸ブチルなどのエ
ステル類等が挙げられる。
Methyl ethyl ketone, cyclohexanone,
Ketones such as 4-hydroxy-4-methyl-2-pentanone; and methyl acetate, ethyl acetate, propyl acetate, butyl acetate, ethyl 2-hydroxypropionate,
Methyl 2-hydroxy-2-methylpropionate, 2-
Ethyl hydroxy-2-methylpropionate, methyl hydroxyacetate, ethyl hydroxyacetate, butyl hydroxyacetate, methyl lactate, ethyl lactate, propyl lactate, butyl lactate, methyl 3-hydroxypropionate, ethyl 3-hydroxypropionate, 3-hydroxy Propyl propionate, butyl 3-hydroxypropionate, 2-
Methyl hydroxy-3-methylbutanoate, methyl methoxyacetate, ethyl methoxyacetate, propyl methoxyacetate,
Butyl methoxyacetate, methyl ethoxyacetate, ethyl ethoxyacetate, propyl ethoxyacetate, butyl ethoxyacetate, methyl propoxyacetate, ethyl propoxyacetate, propyl propoxyacetate, butyl propoxyacetate, methyl butoxyacetate, ethyl butoxyacetate, propyl butoxyacetate, butoxyacetate Butyl, methyl 2-methoxypropionate, ethyl 2-methoxypropionate, propyl 2-methoxypropionate, butyl 2-methoxypropionate, methyl 2-ethoxypropionate, ethyl 2-ethoxypropionate, propyl 2-ethoxypropionate , Butyl 2-ethoxypropionate, methyl 2-butoxypropionate, ethyl 2-butoxypropionate,
Propyl 2-butoxypropionate, Butyl 2-butoxypropionate, Methyl 3-methoxypropionate, 3
-Ethyl methoxypropionate, propyl 3-methoxypropionate, butyl 3-methoxypropionate, 3-
Methyl ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, propyl 3-ethoxypropionate, butyl 3-ethoxypropionate, methyl 3-propoxypropionate, ethyl 3-propoxypropionate, propyl 3-propoxypropionate, 3-propoxy Butyl propionate, methyl 3-butoxypropionate, 3-
Examples thereof include esters such as ethyl butoxypropionate, propyl 3-butoxypropionate, and butyl 3-butoxypropionate.

【0016】共重合体[A]の製造に用いられる重合開
始剤としては、一般的にラジカル重合開始剤として知ら
れているものが使用でき、例えば2,2’−アゾビスイ
ソブチロニトリル、2,2’−アゾビス−(2,4−ジメ
チルバレロニトリル)、2,2’−アゾビス−(4−メ
トキシ−2,4−ジメチルバレロニトリル)などのアゾ
化合物;ベンゾイルペルオキシド、ラウロイルペルオキ
シド、t−ブチルペルオキシピバレート、1,1’−ビ
ス−(t−ブチルペルオキシ)シクロヘキサンなどの有
機過酸化物;および過酸化水素が挙げられる。ラジカル
重合開始剤として過酸化物を用いる場合には、過酸化物
を還元剤とともに用いてレドックス型開始剤としてもよ
い。
As the polymerization initiator used for producing the copolymer [A], those generally known as radical polymerization initiators can be used, for example, 2,2'-azobisisobutyronitrile, Azo compounds such as 2,2'-azobis- (2,4-dimethylvaleronitrile) and 2,2'-azobis- (4-methoxy-2,4-dimethylvaleronitrile); benzoyl peroxide, lauroyl peroxide, t- Butyl peroxypivalate, organic peroxides such as 1,1′-bis- (t-butylperoxy) cyclohexane; and hydrogen peroxide. When a peroxide is used as the radical polymerization initiator, the peroxide may be used together with a reducing agent to form a redox type initiator.

【0017】本発明で用いられる共重合体[A]は、ポ
リスチレン換算重量平均分子量(以下、「Mw」とい
う)が、通常、2×103〜5×105、好ましくは5×
103〜1×105であることが望ましい。Mwが2×1
3未満であると、得られるスペーサーは、圧縮強度、
耐熱性が低下する傾向にある。一方5×105を超える
と、スペーサ形成工程において現像性が低下する傾向に
ある。
The copolymer [A] used in the present invention has a polystyrene-reduced weight average molecular weight (hereinafter referred to as “Mw”) of usually 2 × 10 3 to 5 × 10 5 , preferably 5 ×.
It is desirable that it is 10 3 to 1 × 10 5 . Mw is 2 × 1
When it is less than 0 3 , the resulting spacer has compressive strength,
The heat resistance tends to decrease. On the other hand, when it exceeds 5 × 10 5 , the developability tends to decrease in the spacer forming step.

【0018】[B]エチレン性不飽和結合を有する重合
性化合物 本発明で用いられる[B]エチレン性不飽和結合を有す
る重合性化合物(以下、「重合性化合物[B]」という
ことがある。)としては、2官能または3官能以上の
(メタ)アクリレートが好ましく用いられる。上記2官
能(メタ)アクリレートとしては、例えばエチレングリ
コール(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオー
ルジ(メタ)アクリレート、1,9−ノナンジオールジ
(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールジ
(メタ)アクリレート、テトラエチレングリコールジ
(メタ)アクリレート、ビスフェノキシエタノールフル
オレンジアクリレートなどが挙げられる。その市販品と
しては、例えばアロニックスM−210、同M−24
0、同M−6200(以上、東亞合成(株)製)、KA
YARAD HDDA、同HX−220、同R−604
(以上、日本化薬(株)製)、ビスコート260、同3
12、同335HP(以上、大阪有機化学工業(株)
製)などが挙げられる。
[B] Polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond [B] A polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond (hereinafter, may be referred to as "polymerizable compound [B]"). As (), a bifunctional or trifunctional or higher functional (meth) acrylate is preferably used. Examples of the bifunctional (meth) acrylate include ethylene glycol (meth) acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, 1,9-nonanediol di (meth) acrylate, polypropylene glycol di (meth) acrylate, Examples thereof include tetraethylene glycol di (meth) acrylate and bisphenoxyethanol full orange acrylate. Examples of the commercially available products include Aronix M-210 and M-24.
0, the same M-6200 (above, manufactured by Toagosei Co., Ltd.), KA
YARAD HDDA, HX-220, R-604
(Nippon Kayaku Co., Ltd.), Viscoat 260, 3
12, 335 HP (Osaka Organic Chemical Industry Co., Ltd.)
Manufactured) and the like.

【0019】上記3官能以上の(メタ)アクリレートと
しては、例えばトリメチロールプロパントリ(メタ)ア
クリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリ
レート、トリ((メタ)アクリロイロキシエチル)フォ
スフェート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アク
リレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アク
リレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アク
リレートなどが挙げられる。その市販品としては、例え
ばアロニックスM−309、同M−400、同M−40
2、同M−405、同M−450、同M−7100、同
M−8030、同M−8060、同M−1310、同T
O−1450,同M−1600、同M−1960、同M
−8100、同M−8530、同M−8560、同M−
9050(以上、東亞合成(株)製)、KAYARAD
TMPTA、同DPHA、同DPCA−20、同DP
CA−30、同DPCA−60、同DPCA−120、
同MAX−3510(以上、日本化薬(株)製)、ビス
コート295、同300、同360、同GPT、同3P
A、同400(以上、大阪有機化学工業(株)製)など
が挙げられる。これらの2官能または3官能以上の(メ
タ)アクリレートは、単独であるいは組み合わせて用い
られる。本発明の感放射線性樹脂組成物は、共重合体
[A]100重量部に対して、重合性化合物[B]を、
好ましくは30〜200重量部、より好ましくは50〜
150重量部含有する。重合性化合物[B]が30重量
部未満の場合は得られるスペーサーの膜減りや強度の低
下を生じやすく、200重量部を超える場合は得られる
スペーサーの密着性が不足する場合がある。
Examples of the trifunctional or higher functional (meth) acrylates include trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, tri ((meth) acryloyloxyethyl) phosphate, and pentaerythritol tetra (meth) acrylate. Examples thereof include (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, and dipentaerythritol hexa (meth) acrylate. Examples of commercially available products include Aronix M-309, M-400, and M-40.
2, same M-405, same M-450, same M-7100, same M-8030, same M-8060, same M-1310, same T
O-1450, M-1600, M-1960, M
-8100, M-8530, M-8560, M-
9050 (all manufactured by Toagosei Co., Ltd.), KAYARAD
TMPTA, DPHA, DPCA-20, DP
CA-30, DPCA-60, DPCA-120,
MAX-3510 (above, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), Viscoat 295, 300, 360, GPT, 3P.
A, 400 (above, manufactured by Osaka Organic Chemical Industry Co., Ltd.) and the like. These bifunctional or trifunctional or higher functional (meth) acrylates may be used alone or in combination. The radiation-sensitive resin composition of the present invention contains the polymerizable compound [B] based on 100 parts by weight of the copolymer [A].
Preferably 30 to 200 parts by weight, more preferably 50 to
Contains 150 parts by weight. When the amount of the polymerizable compound [B] is less than 30 parts by weight, the resulting spacer tends to be reduced in film thickness and strength, and when it exceeds 200 parts by weight, the adhesiveness of the obtained spacer may be insufficient.

【0020】[C]感放射線重合開始剤 本発明で用いられる[C]感放射線重合開始剤(以下、
「重合開始剤[C]」ということがある。)としては、
例えば感放射線性ラジカル重合開始剤を挙げることがで
きる。このような感放射線ラジカル重合開始剤として
は、例えばベンジル、ジアセチルなどのα−ジケトン
類;ベンゾインなどのアシロイン類;ベンゾインメチル
エーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソ
プロピルエーテルなどのアシロインエーテル類;チオキ
サントン、2,4−ジエチルチオキサントン、チオキサ
ントン−4−スルホン酸、ベンゾフェノン、4,4’−
ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビ
ス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンなどのベンゾフェ
ノン類;アセトフェノン、p−ジメチルアミノアセトフ
ェノン、α,α’−ジメトキシアセトキシベンゾフェノ
ン、2,2’−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノ
ン、p−メトキシアセトフェノン、2−メチル[4−
(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノ−1−プ
ロパノン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−
(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1−オンなど
のアセトフェノン類;アントラキノン、1,4−ナフト
キノンなどのキノン類;フェナシルクロライド、トリブ
ロモメチルフェニルスルホン、トリス(トリクロロメチ
ル)−s−トリアジンなどのハロゲン化合物;2,4,6
−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイ
ド、ビス(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4
−トリメチル−ペンチルホスフィンオキサイド、ビス
(2,4,6−トリメチルベンゾイル)フェニルホスフィ
ンオキサイドなどのアシルホスフィンオキサイド;およ
びジ−t−ブチルパーオキサイドなどの過酸化物が挙げ
られる。
[C] Radiation-sensitive polymerization initiator [C] Radiation-sensitive polymerization initiator used in the present invention (hereinafter,
It may be referred to as "polymerization initiator [C]". )as,
For example, a radiation sensitive radical polymerization initiator can be mentioned. Examples of such radiation-sensitive radical polymerization initiators include α-diketones such as benzyl and diacetyl; acyloins such as benzoin; acyloin ethers such as benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether and benzoin isopropyl ether; thioxanthone, 2 , 4-Diethylthioxanthone, thioxanthone-4-sulfonic acid, benzophenone, 4,4'-
Benzophenones such as bis (dimethylamino) benzophenone, 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone; acetophenone, p-dimethylaminoacetophenone, α, α′-dimethoxyacetoxybenzophenone, 2,2′-dimethoxy-2-phenylacetophenone , P-methoxyacetophenone, 2-methyl [4-
(Methylthio) phenyl] -2-morpholino-1-propanone, 2-benzyl-2-dimethylamino-1-
Acetophenones such as (4-morpholinophenyl) -butan-1-one; quinones such as anthraquinone and 1,4-naphthoquinone; phenacyl chloride, tribromomethylphenyl sulfone, tris (trichloromethyl) -s-triazine, etc. Halogen compounds; 2,4,6
-Trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, bis (2,6-dimethoxybenzoyl) -2,4,4
-Arylphosphine oxides such as trimethyl-pentylphosphine oxide, bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) phenylphosphine oxide; and peroxides such as di-t-butyl peroxide.

【0021】これら重合開始剤の市販品としては、たと
えばIRGACURE−184、同369、同500、
同651、同907、同1700、同819、同12
4、同1000、同2959、同149、同1800、
同1850、Darocur−1173、同1116、
同2959、同1664、同4043(以上、チバ・ス
ペシャルティ・ケミカルズ社製)、KAYACURE−
DETX 、同 MBP、同 DMBI 、同 EP
A、同 OA(以上、日本化薬(株)製)、LUCIR
IN TPO(BASF Co.LTD 製)、VIC
URE−10、同55(以上、STAUFFER C
o.LTD 製)、TRIGONALP1(AKZO
Co.LTD 製)、SANDORAY 1000(S
ANDOZ Co.LTD 製)、DEAP(APJO
HN Co.LTD 製)、QUANTACURE−P
DO、同 ITX、同 EPD(以上、WARD BL
EKINSOP Co.LTD 製)等が挙げられる。
Commercially available products of these polymerization initiators include, for example, IRGACURE-184, 369, 500,
651, 907, 1700, 819, 12
4, same 1000, same 2959, same 149, same 1800,
1850, Darocur-1173, 1116,
2959, 1664, 4043 (all manufactured by Ciba Specialty Chemicals), KAYACURE-
DETX, MBP, DMBI, EP
A, the same OA (above, Nippon Kayaku Co., Ltd.), LUCIR
INTPO (manufactured by BASF Co. LTD), VIC
URE-10, 55 (above, STAUFER C
o.LTD), TRIGONAL P1 (AKZO
Co. LTD), SANDORAY 1000 (S
ANDOZ Co. LTD), DEAP (APJO
HN Co. LTD), QUANTACURE-P
DO, ITX, EPD (above, WARD BL
EKINSOP Co. LTD) and the like.

【0022】このような感放射線性ラジカル重合開始剤
の好ましいものとしては、ベンゾフェノン類およびアセ
トフェノン類を挙げることができ、それらのうちでも特
に2,4−ジエチルチオキサントン、2−メチル[4−
(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノ−1−プ
ロパノン、および2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−
1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1−オン
が好ましい。
Preferred examples of such a radiation-sensitive radical polymerization initiator include benzophenones and acetophenones, of which 2,4-diethylthioxanthone and 2-methyl [4-
(Methylthio) phenyl] -2-morpholino-1-propanone, and 2-benzyl-2-dimethylamino-
1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one is preferred.

【0023】本発明の感放射線性樹脂組成物は、共重合
体[A]100重量部に対して、重合開始剤[C]を、
好ましくは1〜50重量部、より好ましくは5〜35重
量部の割合で含有している。重合開始剤[C]の量が1
重量部未満の場合は得られるスペーサーの膜べりや強度
の低下を生じやすく、50重量部を超える場合は液晶中
への溶出物が影響し電圧保持率が低下しやすい傾向があ
る。これら重合開始剤[C]と感放射線増感剤とを併用
することによって酸素による失活の少ない、高感度の感
放射線性樹脂組成物を得ることも可能である。
In the radiation-sensitive resin composition of the present invention, the polymerization initiator [C] is added to 100 parts by weight of the copolymer [A].
The content is preferably 1 to 50 parts by weight, more preferably 5 to 35 parts by weight. The amount of the polymerization initiator [C] is 1
If the amount is less than 50 parts by weight, the resulting film of the spacer tends to be reduced in film thickness and strength, and if the amount exceeds 50 parts by weight, the eluate in the liquid crystal tends to affect the voltage holding ratio. It is also possible to obtain a highly sensitive radiation-sensitive resin composition with little deactivation by oxygen by using these polymerization initiators [C] and a radiation-sensitizer together.

【0024】[D]常圧における沸点が180℃以上の
溶媒 本発明における溶媒は、常圧(1気圧)における沸点
(以下、単に「沸点」という。)が180℃以上の溶媒
(以下、「高沸点溶媒」[D]という。)からなる。高沸
点溶媒の沸点は、好ましくは200℃以上である。ま
た、高沸点溶媒の沸点の上限は、本発明におけるインク
ジェット方式用感放射線性樹脂組成物からインクジェッ
ト方式によりスペーサーを製造することができる限り、
特に制約されるものではないが、樹脂組成物の調製工程
およびスペーサーの製造工程における操作性の観点から
みると、沸点が290℃以下、好ましくは280℃以下
の、常温(20℃)で比較的低粘度の液体である高沸点
溶媒が望ましい。したがって、本発明における高沸点溶
媒の好ましい沸点範囲は、具体的には、180〜290
℃であり、さらに好ましくは200〜280℃である。
[D] Solvent having a boiling point of 180 ° C. or higher at normal pressure The solvent in the present invention is a solvent having a boiling point of 180 ° C. or higher (hereinafter, simply referred to as “boiling point”) at normal pressure (1 atm). High boiling point solvent "[D]). The boiling point of the high boiling point solvent is preferably 200 ° C. or higher. Further, the upper limit of the boiling point of the high boiling point solvent, as long as the spacer can be manufactured by an inkjet method from the radiation sensitive resin composition for inkjet method of the present invention,
Although not particularly limited, from the viewpoint of operability in the resin composition preparation step and the spacer manufacturing step, the boiling point is 290 ° C. or lower, preferably 280 ° C. or lower, and is relatively room temperature (20 ° C.). A high boiling solvent that is a low viscosity liquid is desirable. Therefore, the preferable boiling range of the high boiling point solvent in the present invention is specifically 180 to 290.
C., more preferably 200 to 280.degree.

【0025】高沸点溶媒としては、例えば、式 R1-O(CH
2CH2O)2-R2(但し、R1およびR2は相互に独立に炭素数2
〜10のアルキル基を示す。)で表されるジエチレング
リコールジアルキルエーテル系溶媒;式 R3-O(CH2CH2O)
3-R4(但し、R3およびR4は相互に独立に炭素数1〜10
のアルキル基を示す。)で表されるトリエチレングリコ
ールジアルキルエーテル系溶媒;式 R5-O(CH2CH2O)i-R6
(但し、R5およびR6は相互に独立に炭素数1〜10の
アルキル基を示し、iは2〜30の整数である。)で表
されるポリエチレングリコールジアルキルエーテル系溶
媒;式 R7-OCH(CH3)CH2O-R8 (但し、R7およびR8は相互
に独立に炭素数2〜10のアルキル基を示す。)で表さ
れるプロピレングリコールジアルキルエーテル系溶媒;
As the high boiling point solvent, for example, a compound of the formula R 1 -O (CH
2 CH 2 O) 2 -R 2 (provided that R 1 and R 2 independently have 2 carbon atoms
10 represents an alkyl group. ) A diethylene glycol dialkyl ether solvent represented by the formula; Formula R 3 -O (CH 2 CH 2 O)
3 -R 4 (provided that R 3 and R 4 independently of each other have 1 to 10 carbon atoms).
Is an alkyl group. ) A triethylene glycol dialkyl ether solvent represented by the formula: R 5 -O (CH 2 CH 2 O) i -R 6
(However, R 5 and R 6 each independently represent an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, and i is an integer of 2 to 30.) A polyethylene glycol dialkyl ether solvent represented by the formula R 7 — A propylene glycol dialkyl ether solvent represented by OCH (CH 3 ) CH 2 OR 8 (wherein R 7 and R 8 independently represent an alkyl group having 2 to 10 carbon atoms);

【0026】エチレングリコールモノイソアミルエーテ
ル、エチレングリコールモノヘキシルエーテル、エチレ
ングリコールモノフェニルエーテル、等のエチレングリ
コールモノアルキルエーテル類;エチレングリコールモ
ノブチルエーテルアセテート、等のエチレングリコール
モノアルキルエーテルアセテート類;ジエチレングリコ
ールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエ
チルエーテル、ジエチレングリコールモノ−n−プロピ
ルエーテル、ジエチレングリコールモノ−n−ブチルエ
ーテル等のジエチレングリコールモノアルキルエーテル
類;ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテー
ト、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテー
ト、ジエチレングリコールモノ−n−プロピルエーテル
アセテート、ジエチレングリコールモノ−n−ブチルエ
ーテルアセテート等のジエチレングリコールモノアルキ
ルエーテルアセテート類;プロピレングリコールブチル
エーテルアセテート等のプロピレングリコールアルキル
エーテルアセテート類;エチレングリコールモノフェニ
ルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジエチル
エーテル、ベンジルエチルエーテル、ジヘキシルエーテ
ル等の他のエーテル類;
Ethylene glycol monoisoamyl ether, ethylene glycol monohexyl ether, ethylene glycol monophenyl ether, etc. ethylene glycol monoalkyl ethers; ethylene glycol monobutyl ether acetate, etc. ethylene glycol monoalkyl ether acetates; diethylene glycol monomethyl ether, Diethylene glycol monoalkyl ethers such as diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol mono-n-propyl ether, diethylene glycol mono-n-butyl ether; diethylene glycol monomethyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol mono-n-propyl ether acetate, die Diethylene glycol monoalkyl ether acetates such as len glycol mono-n-butyl ether acetate; Propylene glycol alkyl ether acetates such as propylene glycol butyl ether acetate; Others such as ethylene glycol monophenyl ether acetate, diethylene glycol diethyl ether, benzyl ethyl ether, dihexyl ether Ethers of

【0027】1−オクタノール、1−ノナノール、ベン
ジルアルコール等のアルコール類;アセトニルアセト
ン、イソホロン等のケトン類;カプロン酸、カプリル酸
等のカルボン酸類;乳酸ブチル、安息香酸エチル、安息
香酸n−ブチル、しゅう酸ジエチル、マレイン酸ジエチ
ル、マレイン酸ジ−n−ブチル、グリセリントリアセテ
ート、フマル酸ジ−n−ブチル、フタル酸ジメチル、フ
タル酸ジエチル、フタル酸ジ−n−プロピル、フタル酸
ジ−i−プロピル、フタル酸ジ−n−ブチル、サリチル
酸i−アミル、γ−ブチロラクトン、炭酸エチレン、炭
酸プロピレン等のエステル系溶媒等を挙げることができ
る。
Alcohols such as 1-octanol, 1-nonanol and benzyl alcohol; ketones such as acetonylacetone and isophorone; carboxylic acids such as caproic acid and caprylic acid; butyl lactate, ethyl benzoate, n-butyl benzoate. , Diethyl oxalate, diethyl maleate, di-n-butyl maleate, glycerin triacetate, di-n-butyl fumarate, dimethyl phthalate, diethyl phthalate, di-n-propyl phthalate, di-i-phthalate Examples thereof include ester solvents such as propyl, di-n-butyl phthalate, i-amyl salicylate, γ-butyrolactone, ethylene carbonate and propylene carbonate.

【0028】本発明における好ましい高沸点溶媒の具体
例としては、エチレングリコールモノブチルエーテルア
セテート、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジ
エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジ
エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジ
プロピレングリコール、プロピレングリコールブチルエ
ーテルアセテート、ジエチレングリコールジ−n−ブチ
ルエーテル、テトラエチレングリコールジメチルエーテ
ル、ペンタエチレングリコールジメチルエーテル、ヘキ
サエチレングリコールジメチルエーテル、プロピレング
リコールジ−n−ブチルエーテル、乳酸ブチル等が好ま
しい。前記高沸点溶媒は、単独でまたは2種以上を混合
して使用することができる。
Specific examples of preferred high boiling point solvents in the present invention include ethylene glycol monobutyl ether acetate, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monobutyl ether acetate, dipropylene glycol, propylene glycol butyl ether acetate, diethylene glycol di-n. -Butyl ether, tetraethylene glycol dimethyl ether, pentaethylene glycol dimethyl ether, hexaethylene glycol dimethyl ether, propylene glycol di-n-butyl ether, butyl lactate and the like are preferable. The high boiling point solvents may be used alone or in admixture of two or more.

【0029】高沸点溶媒の使用量は、共重合体[A]1
00重量部に対して、通常、10〜10,000重量
部、好ましくは50〜5,000重量部、さらに好まし
くは100〜2,000重量部である。この範囲の使用
量において、吐出された樹脂組成物の乾固速度の制御性
が良好で、塗布特性に優れる組成物を得ることができ
る。
The amount of the high boiling point solvent used is such that the copolymer [A] 1
It is usually 10 to 10,000 parts by weight, preferably 50 to 5,000 parts by weight, and more preferably 100 to 2,000 parts by weight with respect to 00 parts by weight. When the amount used is in this range, it is possible to obtain a composition having excellent controllability of the drying speed of the discharged resin composition and excellent coating properties.

【0030】本発明においては、高沸点溶媒を使用する
ことにより、下記するような効果を奏することができ
る。即ち、 インクジェット方式によりスペーサーを形成する際
には、スペーサー用組成物を吐出させ溶媒を除去した
後、加熱して、スペーサー用途膜を形成するが、このと
きの高沸点溶媒の蒸発速度が低く、吐出された該樹脂組
成物が溶媒除去時や加熱時に急激に変化することがない
ため、スペーサーを形成する際の作業マージンが向上す
る。 インクジェット方式によりスペーサーを形成する際
には、溶媒の蒸発によりスペーサー用組成物が次第に粘
稠になるが、溶媒の沸点が低いと粘度変化を制御するこ
とが困難となり、スペーサーの形成過程の初期と終期で
の、基板上に吐出された該樹脂組成物の変化の度合いが
大きくなり、スペーサーの形成に支障をきたすのに対し
て、高沸点溶媒を採用することにより、この粘度変化を
適当な範囲に制御することが可能となり、所望のスペー
サーの形成が容易となる。 スペーサー用組成物を吐出させるインクジェットヘ
ッド部における組成物の乾固による目詰まりを防止で
き、またそのことにより、組成物吐出時の飛行曲がりも
防止でき、良好な直進性を確保できるため、スペーサー
用組成物の利用効率および製造装置の洗浄効率が向上す
る。
In the present invention, the following effects can be obtained by using the high boiling point solvent. That is, when the spacer is formed by the inkjet method, the composition for spacer is discharged to remove the solvent, and then heated to form the spacer application film, but the evaporation rate of the high boiling point solvent at this time is low, Since the discharged resin composition does not change abruptly during solvent removal or heating, the work margin at the time of forming the spacer is improved. When the spacer is formed by the inkjet method, the composition for the spacer gradually becomes viscous due to the evaporation of the solvent, but when the boiling point of the solvent is low, it becomes difficult to control the viscosity change, and it is difficult to control the initial spacer formation process. At the end of the period, the degree of change of the resin composition discharged onto the substrate increases, which hinders the formation of spacers. Can be controlled to a desired value, and a desired spacer can be easily formed. Since it is possible to prevent clogging of the ink jet head portion that ejects the composition for spacers due to dryness of the composition, and also to prevent flight bending when ejecting the composition, and to ensure good straightness, it is possible to use spacers The utilization efficiency of the composition and the cleaning efficiency of the manufacturing apparatus are improved.

【0031】また、本発明においては、沸点が180℃
未満の溶媒(以下、「低沸点溶媒」という。)を高沸点
溶媒と併用することもできる。このような低沸点溶媒と
しては、例えば、エチレングリコールモノメチルエーテ
ル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレン
グリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコール
モノブチルエーテル等のエチレングリコールモノアルキ
ルエーテル類;メチルセロソルブアセテート、エチルセ
ロソルブアセテート等のエチレングリコールアルキルエ
ーテルアセテート類;エチレングリコールモノメチルエ
ーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエー
テルアセテート、エチレングリコールモノプロピルエー
テルアセテート等のエチレングリコールモノアルキルエ
ーテルアセテート類;プロピレングリコールモノメチル
エーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチル
エーテルアセテート等のプロピレングリコールモノアル
キルエーテルアセテート類;ジエチレングリコールジメ
チルエーテル、テトラヒドロフラン等の他のエーテル
類;
In the present invention, the boiling point is 180 ° C.
A solvent of less than (hereinafter, referred to as “low-boiling point solvent”) can be used in combination with the high-boiling point solvent. Examples of such a low boiling point solvent include ethylene glycol monoalkyl ethers such as ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monopropyl ether and ethylene glycol monobutyl ether; methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate and the like. Ethylene glycol alkyl ether acetates; ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, ethylene glycol monopropyl ether acetate, etc. ethylene glycol monoalkyl ether acetates; propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, etc. Propylene glycol Alkyl ether acetates; diethylene glycol dimethyl ether, other ethers such as tetrahydrofuran;

【0032】プロピレングリコールメチルエーテル、プ
ロピレングリコールエチルエーテル、プロピレングリコ
ールプロピルエーテル、プロピレングリコールブチルエ
ーテル等のプロピレングリコールモノアルキルエーテル
類;プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、
プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、プロ
ピレングリコールプロピルエーテルアセテート等のプロ
ピレングリコールアルキルエーテルアセテート類;
Propylene glycol monoalkyl ethers such as propylene glycol methyl ether, propylene glycol ethyl ether, propylene glycol propyl ether, propylene glycol butyl ether; propylene glycol methyl ether acetate,
Propylene glycol alkyl ether acetates such as propylene glycol ethyl ether acetate and propylene glycol propyl ether acetate;

【0033】メタノール、エタノール等のアルコール
類;トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類、メチル
エチルケトン、シクロヘキサノン、4−ヒドロキシ−4
−メチル−2−ペンタノン、2−ヘプタノン、3−ヘプ
タノン、メチルイソアミルケトンなどのケトン類;およ
び酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸プロピル、酢酸ブチ
ル、酢酸イソブチル、蟻酸n−アミル、酢酸イソアミ
ル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、2−ヒドロ
キシプロピオン酸メチル、2−ヒドロキシプロピオン酸
エチル、2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸メチ
ル、2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、
ヒドロキシ酢酸メチル、ヒドロキシ酢酸エチル、ヒドロ
キシ酢酸ブチル、乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸プロピ
ル、3−ヒドロキシプロピオン酸メチル、3−ヒドロキ
シプロピオン酸エチル、3−ヒドロキシプロピオン酸プ
ロピル、2−ヒドロキシ−3−メチルブタン酸メチル、
メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢
酸プロピル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチ
ル、エトキシ酢酸エチル、エトキシ酢酸プロピル、プロ
ポキシ酢酸メチル、プロポキシ酢酸エチル、ブトキシ酢
酸メチル、ブトキシ酢酸エチル、2−メトキシプロピオ
ン酸メチル、2−メトキシプロピオン酸エチル、2−エ
トキシプロピオン酸メチル、2−エトキシプロピオン酸
エチル、2−ブトキシプロピオン酸メチル、2−ブトキ
シプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸メチ
ル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプ
ロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、
3−プロポキシプロピオン酸メチル、3−プロポキシプ
ロピオン酸エチル、3−ブトキシプロピオン酸メチル、
3−ブトキシプロピオン酸エチルなどのエステル類が挙
げられる。
Alcohols such as methanol and ethanol; aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene, methyl ethyl ketone, cyclohexanone, 4-hydroxy-4
-Methyl-2-pentanone, 2-heptanone, 3-heptanone, methyl isoamyl ketone and other ketones; and methyl acetate, ethyl acetate, propyl acetate, butyl acetate, isobutyl acetate, n-amyl formate, isoamyl acetate, methyl acetoacetate , Ethyl acetoacetate, methyl 2-hydroxypropionate, ethyl 2-hydroxypropionate, methyl 2-hydroxy-2-methylpropionate, ethyl 2-hydroxy-2-methylpropionate,
Methyl hydroxyacetate, ethyl hydroxyacetate, butyl hydroxyacetate, methyl lactate, ethyl lactate, propyl lactate, methyl 3-hydroxypropionate, ethyl 3-hydroxypropionate, propyl 3-hydroxypropionate, 2-hydroxy-3-methylbutanoic acid Methyl,
Methyl methoxyacetate, ethyl methoxyacetate, propyl methoxyacetate, butyl methoxyacetate, methyl ethoxyacetate, ethyl ethoxyacetate, propyl ethoxyacetate, methyl propoxyacetate, ethyl propoxyacetate, methyl butoxyacetate, ethyl butoxyacetate, methyl 2-methoxypropionate , Ethyl 2-methoxypropionate, methyl 2-ethoxypropionate, ethyl 2-ethoxypropionate, methyl 2-butoxypropionate, ethyl 2-butoxypropionate, methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, Methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate,
Methyl 3-propoxypropionate, ethyl 3-propoxypropionate, methyl 3-butoxypropionate,
Esters such as ethyl 3-butoxypropionate may be mentioned.

【0034】これらのうち、ジエチレングリコール類、
プロピレングリコールモノアルキルエーテル類、プロピ
レングリコールアルキルアセテート類、エステル類が好
ましく、特に、ジエチレングリコールジメチルエーテ
ル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、プロ
ピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコー
ルメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエ
チルエーテルアセテート、3−メトキシプロピオン酸メ
チル、3−エトキシプロピオン酸エチル、乳酸メチル、
乳酸エチルが好ましい。
Of these, diethylene glycols,
Propylene glycol monoalkyl ethers, propylene glycol alkyl acetates, and esters are preferable, and particularly diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol ethyl methyl ether, propylene glycol methyl ether, propylene glycol methyl ether acetate, propylene glycol ethyl ether acetate, 3-methoxypropionic acid. Methyl, ethyl 3-ethoxypropionate, methyl lactate,
Ethyl lactate is preferred.

【0035】これらの低沸点溶媒は、単独でまたは2種
以上を混合して使用することができる。低沸点溶媒の使
用割合は、高沸点溶媒と低沸点溶媒との合計に対して、
通常、50重量%以下、好ましくは30重量%以下であ
る。この場合、低沸点溶媒の使用割合が50重量%を超
えると、高沸点溶媒を使用することによる所期の効果が
損なわれるおそれがある。
These low boiling point solvents may be used alone or in admixture of two or more. The use ratio of the low boiling point solvent is based on the total of the high boiling point solvent and the low boiling point solvent,
Usually, it is 50% by weight or less, preferably 30% by weight or less. In this case, if the proportion of the low boiling point solvent used exceeds 50% by weight, the intended effect of using the high boiling point solvent may be impaired.

【0036】感放射線性樹脂組成物 本発明の感放射線性樹脂組成物は、上記した各成分を均
一に混合することによって調製される。通常、本発明の
感放射線性樹脂組成物は、適当な溶媒に溶解されて溶液
状態で用いられる。本発明の感放射線性樹脂組成物は、
本発明の目的を損なわない範囲で、必要に応じて上記以
外に他の任意添加成分を含有していてもよい。このよう
な他の任意添加成分としては、[E]接着助剤、[F]
界面活性剤、[G]熱によりラジカルを発生する化合
物、および[H]下記一般式(1)または(2)で表さ
れる化合物を挙げることができる。
Radiation-sensitive resin composition The radiation-sensitive resin composition of the present invention is prepared by uniformly mixing the above components. Usually, the radiation-sensitive resin composition of the present invention is dissolved in an appropriate solvent and used in a solution state. The radiation-sensitive resin composition of the present invention,
Other optional additives other than the above may be contained as necessary within the range not impairing the object of the present invention. Examples of such other optional additives include [E] adhesion aid, [F]
Examples thereof include a surfactant, [G] a compound that generates a radical by heat, and [H] a compound represented by the following general formula (1) or (2).

【0037】上記[E]接着助剤は、形成されたスペー
サーと基体との接着性を向上させるために使用すること
ができる。このような接着助剤としては、官能性シラン
カップリング剤が好ましく使用され、例えばカルボキシ
ル基、メタクリロイル基、イソシアネート基、エポキシ
基などの反応性置換基を有するシランカップリング剤が
挙げられる。具体的にはトリメトキシシリル安息香酸、
γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、ビニ
ルトリアセトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、
γ−イソシアナートプロピルトリエトキシシラン、γ−
グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、β−(3,
4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラ
ンなどが挙げられる。
The above-mentioned [E] adhesion aid can be used to improve the adhesion between the formed spacer and the substrate. As such an adhesion aid, a functional silane coupling agent is preferably used, and examples thereof include a silane coupling agent having a reactive substituent such as a carboxyl group, a methacryloyl group, an isocyanate group or an epoxy group. Specifically, trimethoxysilylbenzoic acid,
γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane, vinyltriacetoxysilane, vinyltrimethoxysilane,
γ-isocyanatopropyltriethoxysilane, γ-
Glycidoxypropyltrimethoxysilane, β- (3,
4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane and the like.

【0038】このような接着助剤は、共重合体[A]1
00重量部に対して、好ましくは20重量部以下、より
好ましくは0.5〜10重量部の量で用いられる。接着
助剤の量が20重量部を超える場合は、現像残りが生じ
やすくなる。
Such an adhesion aid is a copolymer [A] 1.
It is preferably used in an amount of 20 parts by weight or less, more preferably 0.5 to 10 parts by weight, based on 00 parts by weight. When the amount of the adhesion aid exceeds 20 parts by weight, the undeveloped portion is likely to occur.

【0039】上記[F]界面活性剤は、組成物の塗布性
を向上するために添加することができる。このような
[F]界面活性剤としては、フッ素系界面活性剤および
シリコーン系界面活性剤を好適に用いることができる。
フッ素系界面活性剤としては、末端、主鎖および側鎖の
少なくともいずれかの部位にフルオロアルキルまたはフ
ルオロアルキレン基を有する化合物を好適に用いること
ができ、その具体例としては、1,1,2,2−テトラフ
ロロオクチル(1,1,2,2−テトラフロロプロピル)
エーテル、1,1,2,2−テトラフロロオクチルヘキシ
ルエーテル、オクタエチレングリコールジ(1,1,2,
2−テトラフロロブチル)エーテル、ヘキサエチレング
リコール(1,1,2,2,3,3−ヘキサフロロペンチ
ル)エーテル、オクタプロピレングリコールジ(1,1,
2,2−テトラフロロブチル)エーテル、ヘキサプロピ
レングリコールジ(1,1,2,2,3,3−ヘキサフロロ
ペンチル)エーテル、パーフロロドデシルスルホン酸ナ
トリウム、1,1,2,2,8,8,9,9,10,10−デカ
フロロドデカン、1,1,2,2,3,3−ヘキサフロロデ
カン、フルオロアルキルベンゼンスルホン酸ナトリウ
ム、フルオロアルキルホスホン酸ナトリウム、フルオロ
アルキルカルボン酸ナトリウム、フルオロアルキルポリ
オキシエチレンエーテル、ジグリセリンテトラキス(フ
ルオロアルキルポリオキシエチレンエーテル)、フルオ
ロアルキルアンモニウムヨージド、フルオロアルキルベ
タイン、フルオロアルキルポリオキシエチレンエーテ
ル、パーフルオロアルキルポリオキシエタノール、パー
フルオロアルキルアルコキシレート、フッ素系アルキル
エステル等を挙げることができる。
The above-mentioned [F] surfactant can be added to improve the coating property of the composition. As such a [F] surfactant, a fluorine-based surfactant and a silicone-based surfactant can be preferably used.
As the fluorine-based surfactant, a compound having a fluoroalkyl or fluoroalkylene group at at least one of the terminal, main chain and side chain can be preferably used, and specific examples thereof include 1,1,2 , 2-Tetrafluorooctyl (1,1,2,2-tetrafluoropropyl)
Ether, 1,1,2,2-tetrafluorooctylhexyl ether, octaethylene glycol di (1,1,2,
2-tetrafluorobutyl) ether, hexaethylene glycol (1,1,2,2,3,3-hexafluoropentyl) ether, octapropylene glycol di (1,1,
2,2-tetrafluorobutyl) ether, hexapropylene glycol di (1,1,2,2,3,3-hexafluoropentyl) ether, sodium perfluorododecyl sulfonate, 1,1,2,2,8, 8,9,9,10,10-decafluorododecane, 1,1,2,2,3,3-hexafluorodecane, sodium fluoroalkylbenzenesulfonate, sodium fluoroalkylphosphonate, sodium fluoroalkylcarboxylate, fluoroalkyl Polyoxyethylene ether, diglycerin tetrakis (fluoroalkyl polyoxyethylene ether), fluoroalkyl ammonium iodide, fluoroalkyl betaine, fluoroalkyl polyoxyethylene ether, perfluoroalkyl polyoxyethanol, perfluoroalkyl alkoxylate , It may be mentioned fluorine-based alkyl esters.

【0040】これらの市販品としては、例えばBM−1
000、BM−1100(以上、BM CHEMIE社
製)、メガファックF142D、同F172、同F17
3、同F183、同F178、同F191、同F47
1、同F476(以上、大日本インキ化学工業(株)
製)、フロラードFC 170C、FC−171、FC
−430、FC−431(以上、住友スリーエム(株)
製)、サーフロンS−112、同S−113、同S−1
31、同S−141、同S−145、同S−382、同
SC−101、同SC−102、同SC−103、同S
C−104、同SC−105、同SC−106(以上、
旭硝子(株)製)、エフトップEF301、同303、
同352(以上、新秋田化成(株)製)、フタージェン
トFT−100、同FT−110、同FT−140A、
同FT−150、同FT−250、同FT−251、同
FTX−251、同FTX−218、同FT−300、
同FT−310、同FT−400S(以上、(株)ネオ
ス製)等を挙げることができる。また、シリコーン系界
面活性剤としては、例えばトーレシリコーンDC3P
A、同DC7PA、同SH11PA、同SH21PA、
同SH28PA、同SH29PA、同SH30PA、同
SH−190、同SH−193、同SZ−6032、同
SF−8428、同DC−57、同DC−190(以
上、東レ・ダウコーニング・シリコーン(株)製)、T
SF−4440、TSF−4300、TSF−444
5、TSF−4446、TSF−4460、TSF−4
452(以上、東芝シリコーン(株)製)等の商品名で
市販されているものを挙げることができる。
Examples of commercially available products thereof include BM-1
000, BM-1100 (above, manufactured by BM CHEMIE), MegaFac F142D, the same F172, the same F17.
3, Same F183, Same F178, Same F191, Same F47
1, the same F476 (above, Dainippon Ink and Chemicals, Inc.)
Manufactured), Florard FC 170C, FC-171, FC
-430, FC-431 (above, Sumitomo 3M Ltd.)
Manufactured), Surflon S-112, S-113, S-1
31, same S-141, same S-145, same S-382, same SC-101, same SC-102, same SC-103, same S
C-104, SC-105, SC-106 (above,
Asahi Glass Co., Ltd., F-top EF301, 303,
352 (above, manufactured by Shin-Akita Kasei Co., Ltd.), Futergent FT-100, FT-110, FT-140A,
FT-150, FT-250, FT-251, FTX-251, FTX-218, FT-300,
The same FT-310, the same FT-400S (above, Neos Co., Ltd. make) etc. can be mentioned. As the silicone-based surfactant, for example, Toray Silicone DC3P
A, same DC7PA, same SH11PA, same SH21PA,
SH28PA, SH29PA, SH30PA, SH-190, SH-193, SZ-6032, SF-8428, DC-57, DC-190 (above, Toray Dow Corning Silicone Co., Ltd.) Made), T
SF-4440, TSF-4300, TSF-444
5, TSF-4446, TSF-4460, TSF-4
452 (above, manufactured by Toshiba Silicone Co., Ltd.) and the like are commercially available.

【0041】その他にも、ポリオキシエチレンラウリル
エーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポ
リオキシエチレンオレイルエーテルなどのポリオキシエ
チレンアルキルエーテル類;ポリオキシエチレンオクチ
ルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニ
ルエーテルなどのポリオキシエチレンアリールエーテル
類;ポリオキシエチレンジラウレート、ポリオキシエチ
レンジステアレートなどのポリオキシエチレンジアルキ
ルエステル類などのノニオン系界面活性剤;オルガノシ
ロキサンポリマーKP341(信越化学工業(株)
製)、(メタ)アクリル酸系共重合体ポリフローNo.
57、95(共栄社油脂化学工業(株)製)などが挙げ
られる。
In addition, polyoxyethylene alkyl ethers such as polyoxyethylene lauryl ether, polyoxyethylene stearyl ether and polyoxyethylene oleyl ether; polyoxyethylene such as polyoxyethylene octyl phenyl ether and polyoxyethylene nonyl phenyl ether. Ethylene aryl ethers; nonionic surfactants such as polyoxyethylene dialkyl esters such as polyoxyethylene dilaurate and polyoxyethylene distearate; organosiloxane polymer KP341 (Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.)
Manufactured), (meth) acrylic acid type copolymer polyflow No.
57, 95 (manufactured by Kyoeisha Yushi Kagaku Kogyo Co., Ltd.) and the like.

【0042】これらの[F]界面活性剤は、共重合体
[A]100重量部に対して、好ましくは1.0重量部
以下、より好ましくは0.001〜0.5重量部で用い
られる。界面活性剤の量が1.0重量部を超える場合
は、膜ムラが生じやすくなる。
These [F] surfactants are used in an amount of preferably 1.0 part by weight or less, more preferably 0.001 to 0.5 part by weight, based on 100 parts by weight of the copolymer [A]. . When the amount of the surfactant exceeds 1.0 part by weight, unevenness of the film is likely to occur.

【0043】上記[G]熱によりラジカルを発生する化
合物(以下、「熱ラジカル重合開始剤[G]」というこ
とがある。)は、樹脂基板上にスペーサーを形成する場
合など、低温で焼成する必要がある場合に、低温硬化性
を向上させるために添加することがある。このような熱
ラジカル重合開始剤[G]としては、例えば2,2’−
アゾビスイソブチロニトリル、2,2’−アゾビス−2
−メチルブチロニトリル、2,2’−アゾビス(2,4−
ジメチルバレロニトリル)、2,2’−アゾビス(4−
メトキシ−2,4−ジメチルバレロニトリル)、1,1’
−アゾビス−1−シクロヘキシルニトリル、ジメチル−
2,2’−アゾビスイソブチレート、4,4’−アゾビス
−4−シアノバレル酸、1,1’−アゾビス(1−アセ
トキシ−1−フェニルエタン)等のアゾ化合物;ベンゾ
イルパーオキサイド、ラウロイルパーオキサイド、te
rt−ブチルパーオキサイド、1,1’−ビス(ter
t−ブチルパーオキシ)シクロヘキサン等の有機過酸化
物を挙げることができる。これらのうち、好ましいもの
としては、アゾ化合物を挙げることができ、それらのう
ちでも特に2,2’−アゾビスイソブチロニトリル、お
よび1,1’−アゾビス−1−シクロヘキシルニトリル
が好ましい。
The compound [G] that generates a radical by heat (hereinafter, may be referred to as "thermal radical polymerization initiator [G]") is fired at a low temperature when a spacer is formed on a resin substrate. If necessary, it may be added to improve the low temperature curability. Examples of such thermal radical polymerization initiator [G] include 2,2′-
Azobisisobutyronitrile, 2,2'-azobis-2
-Methylbutyronitrile, 2,2'-azobis (2,4-
Dimethylvaleronitrile), 2,2'-azobis (4-
Methoxy-2,4-dimethylvaleronitrile), 1,1 '
-Azobis-1-cyclohexylnitrile, dimethyl-
Azo compounds such as 2,2′-azobisisobutyrate, 4,4′-azobis-4-cyanovaleric acid and 1,1′-azobis (1-acetoxy-1-phenylethane); benzoyl peroxide, lauroyl per Oxide, te
rt-Butyl peroxide, 1,1′-bis (ter
Organic peroxides such as t-butylperoxy) cyclohexane can be mentioned. Among these, preferred are azo compounds, and of these, 2,2'-azobisisobutyronitrile and 1,1'-azobis-1-cyclohexylnitrile are particularly preferred.

【0044】これらの熱ラジカル重合開始剤[G]を使
用する場合、その添加量は、共重合体[A]100重量
部に対して、20重量部以下、好ましくは0.5〜20
重量部、より好ましくは2〜10重量部の割合である。
この範囲の使用量において、得られるスペーサーの圧縮
強度、耐熱性と塗膜の表面平滑性のバランスに優れる組
成物を得ることができる。
When these thermal radical polymerization initiators [G] are used, the addition amount thereof is 20 parts by weight or less, preferably 0.5 to 20 parts, relative to 100 parts by weight of the copolymer [A].
It is a part by weight, more preferably 2 to 10 parts by weight.
When the amount used is in this range, it is possible to obtain a composition having an excellent balance between the compressive strength and heat resistance of the resulting spacer and the surface smoothness of the coating film.

【0045】上記[H]成分は、下記一般式(1)また
は(2)で表される化合物である。
The component [H] is a compound represented by the following general formula (1) or (2).

【0046】[0046]

【化1】 [Chemical 1]

【0047】(式中、R〜R14は同一でも異なって
いてもよく、それぞれ水素原子または基−CH2ORを
示し、Rは水素原子または炭素数1〜6のアルキル基を
示す。)
(In the formula, R 9 to R 14 may be the same or different and each represents a hydrogen atom or a group —CH 2 OR, and R represents a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms.)

【0048】[0048]

【化2】 [Chemical 2]

【0049】(式中、R15〜R18は同一でも異なっ
ていてもよく、それぞれ水素原子または基−CH2
R’を示し、R’は水素原子または炭素数1〜6のアル
キル基を示す。) このような化合物としては、例えばヘキサメチロールメ
ラミン、ヘキサブチロールメラミン、部分メチロール化
メラミン及びそのアルキル化体、テトラメチロールベン
ゾグアナミン、部分メチロール化ベンゾグアナミン及び
そのアルキル化体等を挙げることができる。このような
化合物の市販品としては、例えば、サイメル300、3
01、303、370、325、327、701、26
6、267、238、1141、272、202、11
56、1158、1123、1170、1174、UF
R65、300(以上、三井サイアナミッド(株)
製)、ニカラックMx−750、−032、−706、
−708、−40、−31、ニカラックMs−11、ニ
カラックMw−30(以上、(株)三和ケミカル社製)
などを好ましく使用することができる。これらの[H]
成分の添加量は、共重合体[A]100重量部に対し
て、好ましくは50重量部以下、より好ましくは1〜5
0重量部、特に好ましくは5〜30重量部である。この
範囲の使用量において、得られるスペーサーの圧縮強
度、耐熱性と、スペーサー形成工程における現像性のバ
ランスに優れる組成物を得ることができる。上記のよう
に調製された組成物溶液は、孔径0.5μm程度のミリ
ポアフィルタなどを用いて濾過した後、使用に供するこ
ともできる。
(In the formula, R 15 to R 18 may be the same or different and each is a hydrogen atom or a group —CH 2 O.
R'indicates a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms. ) Examples of such compounds include hexamethylolmelamine, hexabutyrolmelamine, partially methylolated melamine and its alkylated products, tetramethylolbenzoguanamine, partially methylolated benzoguanamine and its alkylated products, and the like. Commercially available products of such compounds include, for example, Cymel 300, 3
01, 303, 370, 325, 327, 701, 26
6, 267, 238, 1141, 272, 202, 11
56, 1158, 1123, 1170, 1174, UF
R65, 300 (above, Mitsui Cyanamide Co., Ltd.
Manufactured by Nikarac Mx-750, -032, -706,
-708, -40, -31, Nikarac Ms-11, Nikarac Mw-30 (above, Sanwa Chemical Co., Ltd. product)
And the like can be preferably used. These [H]
The amount of the component added is preferably 50 parts by weight or less, more preferably 1 to 5 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the copolymer [A].
0 parts by weight, particularly preferably 5 to 30 parts by weight. When the amount used is in this range, a composition having an excellent balance between the compressive strength and heat resistance of the resulting spacer and the developability in the spacer forming step can be obtained. The composition solution prepared as described above can be used after being filtered using a Millipore filter having a pore size of about 0.5 μm.

【0050】スペーサーの形成 次に、本発明の感放射線性樹脂組成物を用いて本発明の
スペーサーを形成する方法について述べる。本発明の感
放射線性樹脂組成物を基板表面にインクジェット装置に
より塗布し、次いで、塗布面を加熱(プレベーク)する
ことにより塗膜を形成する。上記基板として使用できる
ものとしては、例えばガラス、石英、シリコン、樹脂等
の基板がある。樹脂基板としては、ポリエチレンテレフ
タレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテル
スルホン、ポリカーボネート、ポリイミドなどのプラス
チックからなる透明基板を用いることができる。酸化ス
ズ(SnO2)からなるNESA膜(米国PPG社登録
商標)、酸化インジウム−酸化スズ(In23−SnO
2)からなるITO膜などを基板の一面に透明導電膜と
して設けた基板上に形成しても良い。プレベークの条件
は、各成分の種類、配合割合などによっても異なるが、
通常70〜120℃で1〜15分間程度である。
Formation of Spacer Next, a method for forming the spacer of the present invention by using the radiation-sensitive resin composition of the present invention will be described. The radiation-sensitive resin composition of the present invention is applied to the surface of a substrate by an inkjet device, and then the applied surface is heated (prebaked) to form a coating film. As the substrate that can be used, there are substrates made of glass, quartz, silicon, resin or the like. As the resin substrate, a transparent substrate made of plastic such as polyethylene terephthalate, polybutylene terephthalate, polyether sulfone, polycarbonate and polyimide can be used. A NESA film made of tin oxide (SnO 2 ) (registered trademark of PPG Company, USA), indium oxide-tin oxide (In 2 O 3 —SnO)
The ITO film made of 2 ) or the like may be formed on a substrate provided as a transparent conductive film on one surface of the substrate. The pre-baking conditions vary depending on the type of each component, the mixing ratio, etc.,
It is usually at 70 to 120 ° C. for about 1 to 15 minutes.

【0051】次に、上記の如くして形成された塗膜に所
定パターンマスクを介して放射線を照射し、さらに現像
し、不要な部分を除去して所定パターンを形成する。使
用される放射線としては、可視光線、紫外線、遠紫外
線、電子線、X線等を使用できるが、波長が190〜4
50nmの範囲にある放射線が好ましく、特に360n
mの放射線(紫外線)が好ましい。露光量は、通常100
〜10,000J/mであり、好ましくは1,500
〜3,000J/mである。上記現像工程に使用され
る現像液としては、アルカリ水溶液、例えば水酸化ナト
リウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、ケイ酸ナト
リウム、メタケイ酸ナトリウム、アンモニアなどの無機
アルカリ類;エチルアミン、n−プロピルアミンなどの
1級アミン類;ジエチルアミン、ジ−n−プロピルアミ
ンなどの2級アミン類;トリメチルアミン、メチルジエ
チルアミン、ジメチルエチルアミン、トリエチルアミン
などの3級アミン類;ジメチルエタノールアミン、メチ
ルジエタノールアミン、トリエタノールアミンなどの3
級アミン類;ピロール、ピペリジン、N−メチルピペリ
ジン、N−メチルピロリジン、1,8−ジアザビシクロ
[5.4.0]−7−ウンデセン、1,5−ジアザビシク
ロ[4.3.0]−5−ノネンなどの環状3級アミン類;
ピリジン、コリジン、ルチジン、キノリンなどの芳香族
3級アミン類;テトラメチルアンモニウムヒドロキシ
ド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシドなどの4級
アンモニウム塩の水溶液を使用することができる。また
上記アルカリ水溶液に、メタノール、エタノールなどの
水溶性有機溶媒および/または界面活性剤を適当量添加
した水溶液を現像液として使用することもできる。現像
方法としては、液盛り法、ディッピング法、シャワー法
などのいずれでもよく、現像時間は通常10〜180秒
間である。
Next, the coating film formed as described above is irradiated with radiation through a predetermined pattern mask and further developed to remove unnecessary portions to form a predetermined pattern. As the radiation used, visible rays, ultraviolet rays, far ultraviolet rays, electron beams, X-rays and the like can be used, but the wavelength is 190 to 4
Radiation in the range of 50 nm is preferred, especially 360 n
m radiation (ultraviolet light) is preferred. The exposure dose is usually 100
To 10,000 J / m 2 , preferably 1,500
˜3,000 J / m 2 . The developer used in the developing step is an aqueous alkaline solution, for example, inorganic alkalis such as sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, sodium silicate, sodium metasilicate, and ammonia; ethylamine, n-propylamine, and the like. Primary amines; secondary amines such as diethylamine and di-n-propylamine; tertiary amines such as trimethylamine, methyldiethylamine, dimethylethylamine, triethylamine; dimethylethanolamine, methyldiethanolamine, triethanolamine and the like 3
Primary amines; pyrrole, piperidine, N-methylpiperidine, N-methylpyrrolidine, 1,8-diazabicyclo [5.4.0] -7-undecene, 1,5-diazabicyclo [4.3.0] -5- Cyclic tertiary amines such as nonene;
Aromatic tertiary amines such as pyridine, collidine, lutidine, and quinoline; aqueous solutions of quaternary ammonium salts such as tetramethylammonium hydroxide and tetraethylammonium hydroxide can be used. Further, an aqueous solution prepared by adding an appropriate amount of a water-soluble organic solvent such as methanol and ethanol and / or a surfactant to the above alkaline aqueous solution can be used as a developing solution. The developing method may be any of a puddle method, a dipping method, a shower method and the like, and the developing time is usually 10 to 180 seconds.

【0052】現像後、流水洗浄を30〜90秒間行い、
さらに圧縮空気や圧縮窒素で風乾させることによって、
所望のパターンが形成される。形成されたパターンの加
熱処理は、ホットプレート、オーブンなどの加熱装置に
より実施することができる。処理温度としては、通常1
50〜250℃程度が好ましく、例えばホットプレート
上なら5〜30分間、オーブン中では30〜180分間
加熱処理(ポストベーク)をすることにより目的のスペ
ーサーを得ることができる。特に熱ラジカル重合開始剤
[G]、または[H]成分を添加した場合、100〜1
50℃程度の低温でも強度、ラビング耐性、基板との密
着性等の諸性能に優れるスペーサーを得ることができ
る。
After development, washing with running water is carried out for 30 to 90 seconds,
Furthermore, by air drying with compressed air or compressed nitrogen,
The desired pattern is formed. The heat treatment of the formed pattern can be performed by a heating device such as a hot plate or an oven. The processing temperature is usually 1
The temperature is preferably about 50 to 250 ° C. For example, a desired spacer can be obtained by performing a heat treatment (post-baking) on a hot plate for 5 to 30 minutes and in an oven for 30 to 180 minutes. In particular, when a thermal radical polymerization initiator [G] or [H] component is added, 100 to 1
It is possible to obtain a spacer excellent in various properties such as strength, rubbing resistance, and adhesion to a substrate even at a low temperature of about 50 ° C.

【0053】液晶表示素子 次に本発明の液晶表示素子について説明する。本発明の
液晶表示素子は、上記の如くして形成されたスペーサー
を有する。液晶素子の構造としては適宜の構造が可能で
あるが、例えば、図1に示した如く、ガラス基板上にカ
ラーフィルター層と本発明のスペーサーを形成し、配向
膜、液晶層を介して対向する配向膜、対向する透明電極
と対向ガラス基板を有する構造が挙げられる。また、必
要に応じて、偏光板や、カラーフィルター層上に保護膜
を形成しても良い。また図2の如く、ガラス基板上にカ
ラーフィルター層とスペーサーを形成し、配向膜、液晶
層を介してTFTアレイ基板と対向させることによっ
て、TN−TFT型の液晶表示素子とすることもでき
る。ここで必要に応じて偏光板や、カラーフィルター上
に保護膜を形成しても良い。
Liquid Crystal Display Element Next, the liquid crystal display element of the present invention will be described. The liquid crystal display element of the present invention has the spacer formed as described above. The liquid crystal element may have any suitable structure. For example, as shown in FIG. 1, the color filter layer and the spacer of the present invention are formed on a glass substrate, and they are opposed to each other with an alignment film and a liquid crystal layer interposed therebetween. The structure may include an alignment film, a transparent electrode facing the alignment film, and a glass substrate facing the alignment film. Further, if necessary, a protective film may be formed on the polarizing plate or the color filter layer. Further, as shown in FIG. 2, a color filter layer and a spacer are formed on a glass substrate and faced with a TFT array substrate via an alignment film and a liquid crystal layer, whereby a TN-TFT type liquid crystal display element can be obtained. Here, if necessary, a protective film may be formed on the polarizing plate or the color filter.

【0054】[0054]

【実施例】合成例1 冷却管、撹拌機を備えたフラスコに、2,2’−アゾビ
ス(2,4−ジメチルバレロニトリル)5重量部および
ジエチレングリコールメチルエチルエーテル250重量
部を仕込んだ。引き続きスチレン20重量部、メタクリ
ル酸17重量部、トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン
−8−イル メタクリレート18重量部、メタクリル酸
グリシジル45重量部を仕込み窒素置換した後、ゆるや
かに攪拌を始めた。溶液の温度を70℃に上昇させ、こ
の温度を4時間保持し共重合体[A−1]を含む重合体
溶液を得た。得られた重合体溶液の固形分濃度は28.
4重量%であり、重合体の重量平均分子量は、16,0
00であった(重量平均分子量はGPC(ゲルパーミエ
イションクロマトグラフィー) HLC−8020(東
ソー(株)製)を用いて測定したポリスチレン換算分子
量である)。
EXAMPLES Synthesis Example 1 A flask equipped with a condenser and a stirrer was charged with 5 parts by weight of 2,2′-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) and 250 parts by weight of diethylene glycol methyl ethyl ether. Subsequently, 20 parts by weight of styrene, 17 parts by weight of methacrylic acid, 18 parts by weight of tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decane-8-yl methacrylate, and 45 parts by weight of glycidyl methacrylate were charged, and the atmosphere was replaced with nitrogen. The stirring was started. The temperature of the solution was raised to 70 ° C., and this temperature was maintained for 4 hours to obtain a polymer solution containing the copolymer [A-1]. The solid content concentration of the obtained polymer solution was 28.
4% by weight, and the weight average molecular weight of the polymer is 16,0.
It was 00 (the weight average molecular weight is a polystyrene-equivalent molecular weight measured using GPC (gel permeation chromatography) HLC-8020 (manufactured by Tosoh Corporation)).

【0055】合成例2 冷却管、撹拌機を備えたフラスコに、2,2’−アゾビ
ス(2,4−ジメチルバレロニトリル)4重量部および
ジエチレングリコールメチルエチルエーテル250重量
部を仕込んだ。引き続きスチレン5重量部、メタクリル
酸16重量部、トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−
8−イル メタクリレート34重量部およびメタクリル
酸グリシジル40重量部を仕込み窒素置換した後、さら
に1,3−ブタジエンを5重量部仕込みゆるやかに攪拌
を始めた。溶液の温度を70℃に上昇させ、この温度を
4時間保持し共重合体[A−2]を含む重合体溶液を得
た。得られた重合体溶液の固形分濃度は28.6重量%
であり、重合体の重量平均分子量は、15,000であ
った。
Synthesis Example 2 A flask equipped with a cooling tube and a stirrer was charged with 4 parts by weight of 2,2'-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) and 250 parts by weight of diethylene glycol methyl ethyl ether. Subsequently, 5 parts by weight of styrene, 16 parts by weight of methacrylic acid, tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decane-
After 34 parts by weight of 8-yl methacrylate and 40 parts by weight of glycidyl methacrylate were charged and the atmosphere was replaced with nitrogen, 5 parts by weight of 1,3-butadiene was further charged and stirring was gently started. The temperature of the solution was raised to 70 ° C., and this temperature was maintained for 4 hours to obtain a polymer solution containing the copolymer [A-2]. The solid content concentration of the obtained polymer solution is 28.6% by weight.
And the weight average molecular weight of the polymer was 15,000.

【0056】実施例1 感放射線性樹脂組成物の調製 合成例1で得られた共重合体[A−1]を含む溶液(共
重合体[A−1]100重量部(固形分)に相当)と重
合性化合物[B−1]としてKAYARADDPHA
(日本化薬(株)製)100重量部と、重合開始剤[C
−1]として2−メチル−1[4−(メチルチオ)フェ
ニル]−2−モルフォリノプロパン−1−オン(商品名
「イルガキュア907」チバ・スペシャルティー・ケミ
カルズ社製)25重量部、高沸点溶剤[D−1]として
ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテートを
700重量部、[E]接着助剤としてγ−グリシドキシ
プロピルトリメトキシシラン5重量部、および[F]界
面活性剤としてSH−28PA(東レシリコーン(株)
製)0.05重量部とを混合し、固形分濃度が20重量
%になるようにジエチレングリコールジメチルエーテル
で希釈・溶解させた後、孔径0.5μmのミリポアフィ
ルタで濾過して感放射線性樹脂組成物の溶液(1)を調
製した。
Example 1 Preparation of Radiation-Sensitive Resin Composition Solution containing the copolymer [A-1] obtained in Synthesis Example 1 (corresponding to 100 parts by weight (solid content) of the copolymer [A-1]) ) And KAYARADPDPHA as the polymerizable compound [B-1]
(Manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) and 100 parts by weight of a polymerization initiator [C
-1] as 2-methyl-1 [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one (trade name "IRGACURE 907" manufactured by Ciba Specialty Chemicals) 25 parts by weight, high boiling solvent 700 parts by weight of diethylene glycol monobutyl ether acetate as [D-1], 5 parts by weight of γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane as [E] adhesion aid, and SH-28PA (Toray Silicone (Toray Silicone ( stock)
0.05 parts by weight, and the mixture is diluted and dissolved with diethylene glycol dimethyl ether so that the solid content concentration becomes 20% by weight, and then filtered through a Millipore filter having a pore size of 0.5 μm to obtain a radiation-sensitive resin composition. A solution (1) of was prepared.

【0057】スペーサーの形成 インクジェット装置を用いて、ガラス基板上に上記組成
物溶液を塗布した後、90℃で3分間ホットプレート上
でプレベークして膜厚5.0μmの塗膜を形成した。上
記で得られた塗膜に10μm角の残しパターンのマスク
を介して、365nmでの強度が250W/m2である
紫外線を10秒間照射した。次いで炭酸ナトリウム0.
5重量%水溶液で25℃、60秒間現像した後、純水で
1分間リンスした。さらに、オーブン中、220℃で6
0分間加熱しスペーサーを形成した。
Formation of Spacer The above composition solution was applied onto a glass substrate using an inkjet device, and then prebaked at 90 ° C. for 3 minutes on a hot plate to form a coating film having a thickness of 5.0 μm. The coating film obtained above was irradiated with ultraviolet rays having an intensity at 365 nm of 250 W / m 2 for 10 seconds through a mask having a remaining pattern of 10 μm square. Then sodium carbonate 0.
After developing with a 5% by weight aqueous solution at 25 ° C. for 60 seconds, it was rinsed with pure water for 1 minute. Further, in an oven at 220 ° C for 6
The spacer was formed by heating for 0 minutes.

【0058】解像度の評価 上記で得られたパターンにおいて残しパターンが解像
できている場合を良好、解像できていない場合を不良と
した。結果を表1に示す。 パターン断面形状の評価 パターンの断面形状を走査型電子顕微鏡にて観察した結
果、図3に示したA〜Cのどの形状に当たるかを表1に
示した。AあるいはBのように、パターンエッジが順テ
ーパー状あるいは垂直に形成された場合には、パターン
形状は良好といえる。Cのように逆テーパーを示した場
合は、密着性等が問題になるため不良と評価される。
Evaluation of Resolution In the pattern obtained above, the case where the remaining pattern could be resolved was defined as good, and the case where it could not be resolved was defined as poor. The results are shown in Table 1. Evaluation of Pattern Cross-sectional Shape As a result of observing the cross-sectional shape of the pattern with a scanning electron microscope, Table 1 shows which of the shapes A to C shown in FIG. When the pattern edge is formed in a forward tapered shape or a vertical shape as in A or B, the pattern shape can be said to be good. If the taper has an inverse taper like C, the adhesiveness and the like become a problem, so that it is evaluated as defective.

【0059】圧縮強度の評価 上記で得られたスペーサーの圧縮強度を微小圧縮試験
機(MCTM−200、(株)島津製作所製)を用いて
評価した。直径50μmの平面圧子により、10mNの
荷重を加えたときの変形量を測定した(測定温度:23
℃)。この値が0.5μm以下のとき、圧縮強度は良好
である。結果を表1に示す。 ラビング耐性の評価 上記で得られた基板に、液晶配向剤としてAL304
6(ジェイ・エス・アール(株)製)を液晶配向膜塗布
用印刷機により塗布し、180℃で1時間加熱して溶媒
を除去し、乾燥膜厚0.05μmの配向剤の塗膜を形成
した。この塗膜に、ナイロン製の布を巻き付けたロール
を有するラビングマシーンにより、ロールの回転数50
0rpm、ステージの移動速度1cm/秒でラビング処
理を行った。この時のスペーサーパターンの削れや剥が
れの有無を表1に示す。
Evaluation of compressive strength The compressive strength of the spacers obtained above was evaluated using a micro compression tester (MCTM-200, manufactured by Shimadzu Corporation). The amount of deformation when a load of 10 mN was applied was measured with a plane indenter having a diameter of 50 μm (measurement temperature: 23
C). When this value is 0.5 μm or less, the compressive strength is good. The results are shown in Table 1. Evaluation of rubbing resistance The substrate obtained above was treated with AL304 as a liquid crystal aligning agent.
6 (manufactured by JSR Co., Ltd.) was applied with a printing machine for coating liquid crystal alignment film, heated at 180 ° C. for 1 hour to remove the solvent, and a coating film of the alignment agent having a dry film thickness of 0.05 μm was formed. Formed. The number of rotations of the roll was 50 by a rubbing machine having a roll in which a nylon cloth was wound around this coating film.
The rubbing treatment was performed at 0 rpm and a stage moving speed of 1 cm / sec. Table 1 shows whether the spacer pattern was scraped or peeled at this time.

【0060】密着性の評価 パターンマスクを使用しなかった以外は上記と同様に
実施して、密着性評価用の硬化膜を形成し、密着性試験
を行った。試験法はJIS K−5400(1900)
8.5の付着性試験のうち、8.5・2の碁盤目テープ
法に従った。その際、残った碁盤目の数を表1に示す。
Evaluation of Adhesiveness A cured film for adhesiveness evaluation was formed in the same manner as above except that a pattern mask was not used, and an adhesiveness test was conducted. The test method is JIS K-5400 (1900)
Of the 8.5 adhesion tests, the cross-cut tape method of 8.5 · 2 was followed. At that time, Table 1 shows the number of grids remaining.

【0061】インクジェット塗布性の評価 上記と同様に、インクジェット装置を用いて上記組成
物を、ガラス基板上に5.0μmの膜厚になるように塗
布した後、ホットプレート上で90℃、3分間プレベー
クして塗膜を形成した。パターンマスクを使用せずに、
365nmでの強度が250W/m2である紫外線を1
0秒間照射し評価用の基板を作成した。この塗膜の表面
の凹凸を、接触式膜厚測定装置α-ステップ(テンコー
ルジャパン(株)製)を用いて、測定長2,000μ
m、測定範囲2,000μm×2,000μm角、測定
点数n=5で測定した。各測定の最高部と最低部の高低
差の平均値(nm)を表1に示す。この値が500nm
以下のとき、インクジェット塗布性は良好といえる。
Evaluation of Inkjet Coating Property In the same manner as described above, the above composition was coated on a glass substrate so as to have a film thickness of 5.0 μm, and then on a hot plate at 90 ° C. for 3 minutes. It was prebaked to form a coating film. Without using a pattern mask,
1 UV ray with an intensity of 250 W / m 2 at 365 nm
It was irradiated for 0 seconds to prepare a substrate for evaluation. The unevenness of the surface of this coating film was measured with a contact-type film thickness measuring device α-step (manufactured by Tencor Japan Co., Ltd.) to measure a length of 2,000 μ.
m, measurement range 2,000 μm × 2,000 μm square, and number of measurement points n = 5. Table 1 shows the average value (nm) of the height difference between the highest part and the lowest part of each measurement. This value is 500 nm
In the following cases, it can be said that the inkjet coatability is good.

【0062】乾固特性の評価 固定針型マイクロシリンジ(ハミルトンマイクロシリン
ジ、型番701、針内径0.13mm)に上記組成物を
吸引し、針を下に向けてマイクロシリンジを垂直に保持
し、針先から上記組成物を1μl押し出した状態で25
℃の室内にて24時間放置した後の組成物の状態を観察
した。結果を表1に示す。表1において、針先にて組成
物が乾固していなければ「良好」、乾固して針穴が詰ま
っていれば「不良」と記した。
Evaluation of Dry-Solid Property The above composition was sucked into a fixed needle type microsyringe (Hamilton microsyringe, model number 701, needle inner diameter 0.13 mm), and the microsyringe was held vertically with the needle facing downward. With 1 μl of the above composition extruded from the beginning, 25
The state of the composition after observing for 24 hours in a room at 0 ° C. was observed. The results are shown in Table 1. In Table 1, when the composition was not dried and solidified at the needle tip, it was described as “good”, and when the composition was dried and solidified and the needle hole was clogged, it was described as “poor”.

【0063】実施例2、3、4、5 実施例1において、[A]成分、[B]成分、[C]成
分、および[D]成分の種類と添加量、ならびにその他
の溶媒の種類を表1の通りとした他は、実施例1と同様
に組成物溶液(2〜5)を調製し評価した。結果は表1
に示す。なお、表1において、各成分の添加量は重量部
であり、表中の「−」は、該当する成分を添加していな
いことを表す。また、[B]成分、[C]成分、[D]
成分、ならびにその他の溶媒の略称は、それぞれ以下の
ものを表す。
Examples 2, 3, 4, 5 In Example 1, the types and addition amounts of the components [A], [B], [C], and [D], and the types of other solvents were changed. Composition solutions (2 to 5) were prepared and evaluated in the same manner as in Example 1 except that the results were as shown in Table 1. The results are shown in Table 1.
Shown in. In Table 1, the addition amount of each component is parts by weight, and "-" in the table means that the corresponding component is not added. In addition, [B] component, [C] component, [D] component
Abbreviations for components and other solvents are as follows.

【0064】[B−2]成分:アロニックスM−400
(東亞合成(株)製) [C−2]成分:2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−
1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1−オン
(イルガキュア369;チバ・スペシャルティー・ケミ
カルズ社製) [D−2]成分:ジエチレングリコールモノエチルエー
テルアセテート S−1:ジエチレングリコールジメチルエーテル S−2:ジエチレングリコールエチルメチルエーテル
Component [B-2]: Aronix M-400
(Manufactured by Toagosei Co., Ltd.) [C-2] component: 2-benzyl-2-dimethylamino-
1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one (Irgacure 369; manufactured by Ciba Specialty Chemicals) [D-2] component: diethylene glycol monoethyl ether acetate S-1: diethylene glycol dimethyl ether S-2: Diethylene glycol ethyl methyl ether

【0065】比較例1、2 実施例1および3において、それぞれ[D]成分を加え
ず、かわりにS−1、またはS−2を溶剤とした他は、
実施例1または3と同様に組成物溶液を調製し評価し
た。結果は表1に示す。
Comparative Examples 1 and 2 In Examples 1 and 3, except that the component [D] was not added and instead S-1 or S-2 was used as the solvent,
A composition solution was prepared and evaluated in the same manner as in Example 1 or 3. The results are shown in Table 1.

【0066】[0066]

【表1】 [Table 1]

【0067】[0067]

【発明の効果】本発明によれば、液晶表示素子用のスペ
ーサーをインクジェット方式により形成するための材料
として好適であり、かつ密着性、圧縮強度、ラビング耐
性等の諸性能に優れたスペーサーを容易に形成すること
のできる組成物が提供される。また、上記の組成物から
形成されたスペーサー、およびそのスペーサーを有する
信頼性に優れる液晶表示素子が提供される。
According to the present invention, a spacer which is suitable as a material for forming a spacer for a liquid crystal display device by an ink jet method and has excellent various properties such as adhesion, compressive strength and rubbing resistance can be easily prepared. There is provided a composition that can be formed into: Further, a spacer formed from the above composition, and a liquid crystal display device having the spacer and having excellent reliability are provided.

【0068】[0068]

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】液晶表示素子の構造を示す模式図である。FIG. 1 is a schematic view showing a structure of a liquid crystal display element.

【図2】液晶表示素子の構造を示す模式図である。FIG. 2 is a schematic view showing a structure of a liquid crystal display element.

【図3】スペーサーの断面形状を示す模式図である。FIG. 3 is a schematic view showing a cross-sectional shape of a spacer.

フロントページの続き Fターム(参考) 2C056 EA24 FB01 2H025 AB13 AC01 AD01 BC13 BC42 CA00 CB13 CB14 CB16 CB41 CC03 EA04 FA17 2H089 LA09 LA16 MA07X NA07 PA05 PA06 QA12 QA14 QA16 4J011 PA65 PA66 PA68 PA69 PA70 PB40 PC08 QA02 QA03 QA07 QA09 UA01 4J026 AA16 AA43 AA45 AA48 AA53 AA55 AA56 AA57 AA68 AA69 AC23 AC24 BA28 DA02 DB02 DB09 DB36 FA05 FA09 GA07Continued front page    F-term (reference) 2C056 EA24 FB01                 2H025 AB13 AC01 AD01 BC13 BC42                       CA00 CB13 CB14 CB16 CB41                       CC03 EA04 FA17                 2H089 LA09 LA16 MA07X NA07                       PA05 PA06 QA12 QA14 QA16                 4J011 PA65 PA66 PA68 PA69 PA70                       PB40 PC08 QA02 QA03 QA07                       QA09 UA01                 4J026 AA16 AA43 AA45 AA48 AA53                       AA55 AA56 AA57 AA68 AA69                       AC23 AC24 BA28 DA02 DB02                       DB09 DB36 FA05 FA09 GA07

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】[A](a1)不飽和カルボン酸および/
または不飽和カルボン酸無水物、(a2)エポキシ基含
有不飽和化合物、ならびに(a3)前記(a1)および
(a2)以外のオレフィン系不飽和化合物、の共重合
体、[B]エチレン性不飽和結合を有する重合性化合
物、[C]感放射線重合開始剤、ならびに[D]常圧に
おける沸点が180℃以上の溶媒を含有することを特徴
とする、インクジェット方式によるスペーサー形成に用
いる感放射線性樹脂組成物。
1. An [A] (a1) unsaturated carboxylic acid and / or
Or a copolymer of an unsaturated carboxylic acid anhydride, (a2) an epoxy group-containing unsaturated compound, and (a3) an olefinic unsaturated compound other than the above (a1) and (a2), [B] ethylenically unsaturated A radiation-sensitive resin used for forming a spacer by an inkjet method, which comprises a polymerizable compound having a bond, [C] a radiation-sensitive polymerization initiator, and [D] a solvent having a boiling point of 180 ° C. or higher at normal pressure. Composition.
【請求項2】 請求項1に記載の感放射線性樹脂組成物
から形成されたスペーサー。
2. A spacer formed from the radiation-sensitive resin composition according to claim 1.
【請求項3】 請求項2に記載のスペーサーを有する液
晶表示素子。
3. A liquid crystal display device having the spacer according to claim 2.
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