JP2006184841A - Photosensitive resin composition, spacer for display panel and display panel - Google Patents

Photosensitive resin composition, spacer for display panel and display panel Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photosensitive resin composition solution for spacer formation giving an even film uniform in thickness and suitable for a slit die coater method in which a reduced-pressure drying step is carried out in a short time. <P>SOLUTION: The photosensitive resin composition comprises (A) a copolymer of at least one selected from the group consisting of ethylenically unsaturated carboxylic acids and ethylenically unsaturated carboxylic acid anhydrides, an epoxy group-containing ethylenically unsaturated compound, and another ethylenically unsaturated compound different from those, (B) a polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond, and (C) a photopolymerization initiator, wherein a solid concentration X (wt.%) and a viscosity Y (mPa s) at 25°C satisfy relationships of LogY≤0.04X-0.08 (1), LogY≥0.04X-0.50 (2), LogY≥0.30 (3) and LogY≤1.08 (4). <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、感光性樹脂組成物、表示パネル用スペーサーおよび表示パネルに関する。さらに詳しくは、液晶表示パネルやタッチパネルなどの表示パネルに用いられるスペーサーを形成するための材料として好適な感光性樹脂組成物、当該組成物から形成された表示パネル用スペーサーおよび当該スペーサーを具備してなる表示パネルに関する。   The present invention relates to a photosensitive resin composition, a display panel spacer, and a display panel. More specifically, a photosensitive resin composition suitable as a material for forming a spacer used in a display panel such as a liquid crystal display panel or a touch panel, a display panel spacer formed from the composition, and the spacer. It relates to a display panel.

液晶表示パネルには、従来から、2枚の基板間の間隔(セルギャップ)を一定に保つため、所定の粒径を有するガラスビーズ、プラスチックビーズ等のスペーサー粒子が使用されているが、これらスペーサー粒子は、ガラス基板などの透明基板上にランダムに散布されるため、画素形成領域にスペーサー粒子が存在すると、スペーサー粒子の写り込み現象を生じ、また入射光が散乱を受け、液晶パネルのコントラストが低下するという問題があった。
そこで、これらの問題を解決するために、スペーサーをフォトリソグラフィーにより形成する方法が採用されるようになってきた。この方法は、感光性樹脂組成物を基板上に塗布し、所定のマスクを介して紫外線を露光したのち現像して、ドット状やストライプ状のスペーサーを形成するものであり、画素形成領域以外の所定の場所にのみスペーサーを形成することができるため、前述したような問題は基本的には解決される。また、この方法によれば、感光性樹脂組成物の塗布膜厚を制御することで、セルギャップ幅の制御が容易であるという利点もある。
Conventionally, liquid crystal display panels use spacer particles such as glass beads and plastic beads having a predetermined particle size in order to keep the distance (cell gap) between two substrates constant. Since the particles are randomly distributed on a transparent substrate such as a glass substrate, the presence of spacer particles in the pixel formation region causes a reflection phenomenon of the spacer particles, the incident light is scattered, and the contrast of the liquid crystal panel is reduced. There was a problem of lowering.
In order to solve these problems, a method of forming a spacer by photolithography has been adopted. In this method, a photosensitive resin composition is applied onto a substrate, exposed to ultraviolet rays through a predetermined mask, and then developed to form dot-like or stripe-like spacers. Since the spacer can be formed only at a predetermined place, the above-described problem is basically solved. Further, according to this method, there is an advantage that the cell gap width can be easily controlled by controlling the coating film thickness of the photosensitive resin composition.

ところで、液晶表示パネルの製造において、生産性向上、大型画面への対応との観点から、基板サイズの大型化が進行している。基板サイズは、300mm×400mmの第一世代、370mm×470mmの第二世代、620mm×750mmの第三世代、960mm×1100mmの第四世代を経て、1100mm×1300mmの第五世代が現在主流となっている。さらに、1500mm×1850mmの第六世代、1850mm×2100mmの第七世代と基板サイズは今後さらに大型化する。   By the way, in the manufacture of a liquid crystal display panel, the substrate size has been increased from the viewpoint of improving productivity and adapting to a large screen. The first generation of 300 mm x 400 mm, the second generation of 370 mm x 470 mm, the third generation of 620 mm x 750 mm, the fourth generation of 960 mm x 1100 mm, and the fifth generation of 1100 mm x 1300 mm are now mainstream. ing. Further, the sixth generation of 1500 mm × 1850 mm and the seventh generation of 1850 mm × 2100 mm and the substrate size will be further increased in the future.

基板サイズが小型、例えば370mm×470mm以下の場合、感光性樹脂組成物を基板上に中央滴下し、スピン塗布法により塗布される。この方法では、塗布に多量の感光性樹脂組成物溶液を必要とし、さらに大型基板には対応できないという欠点がある。
基板サイズが960mm×1100mm以下の場合は、感光性樹脂組成物溶液の省液を目的として、スリット&スピン法で塗布が行われている。この方法はスリットノズルから感光性樹脂組成物溶液を基板面に塗布し、その後基板を回転することにより、均一な塗膜を形成する。この方法の場合、省液には効果があるが、第五世代以降の基板サイズへの対応は難しい。
When the substrate size is small, for example, 370 mm × 470 mm or less, the photosensitive resin composition is dropped onto the substrate in the center and applied by a spin coating method. This method has a drawback that a large amount of the photosensitive resin composition solution is required for coating, and it cannot be applied to a large substrate.
When the substrate size is 960 mm × 1100 mm or less, the coating is performed by the slit & spin method for the purpose of saving the photosensitive resin composition solution. In this method, a photosensitive resin composition solution is applied to a substrate surface from a slit nozzle, and then the substrate is rotated to form a uniform coating film. This method is effective for saving liquid, but it is difficult to cope with the substrate size from the fifth generation onward.

このような背景から、基板サイズの大型化に伴い、スリットダイコーターによる塗布が行われるようになってきている。しかし、スリットダイコーターの場合、良好な塗布膜を得るために感光性樹脂組成物溶液の粘度、固形分濃度(TSC)の制御が重要となる。粘度、TSCが高すぎるとスリットノズルからの液切れを生じ、筋状のムラを発生する。また粘度が低すぎると基板端部の膜厚の不均一化が発生する。TSCが低いと、感光性樹脂組成物溶液中の液体濃度が高まることから、塗布工程後の減圧乾燥工程で必要時間が長くなる。減圧乾燥工程時間が増大することは、生産性向上の観点から望ましくない。
このような理由から、スリットダイコーター法において、膜厚が均一でムラがなく、しかも減圧乾燥工程時間の短いスペーサー形成用感光性樹脂組成物溶液が強く望まれていた。
From such a background, as the substrate size increases, coating by a slit die coater has been performed. However, in the case of a slit die coater, it is important to control the viscosity and solid content concentration (TSC) of the photosensitive resin composition solution in order to obtain a good coating film. If the viscosity and TSC are too high, liquid leakage from the slit nozzle occurs and streaky unevenness occurs. On the other hand, if the viscosity is too low, the film thickness at the edge of the substrate becomes non-uniform. If the TSC is low, the liquid concentration in the photosensitive resin composition solution increases, so that the required time becomes longer in the reduced-pressure drying step after the coating step. An increase in the vacuum drying process time is undesirable from the viewpoint of improving productivity.
For these reasons, in the slit die coater method, a photosensitive resin composition solution for forming a spacer that has a uniform film thickness, no unevenness, and a short time for a drying process under reduced pressure has been strongly desired.

そこで、本発明の課題は、膜厚が均一でムラがなく、しかも減圧乾燥工程時間の短いスリットダイコーター法に好適なスペーサー形成用感光性樹脂組成物溶液を提供することにある。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a photosensitive resin composition solution for forming a spacer suitable for a slit die coater method having a uniform film thickness, no unevenness, and a short vacuum drying process time.

本発明によると、前記課題は、第一に、
〔A〕(a1)エチレン性不飽和カルボン酸およびエチレン性不飽和カルボン酸無水物よりなる群から選ばれる少なくとも1種と、(a2)エポキシ基含有エチレン性不飽和化合物と(a3)(a1)および(a2)とは異なる他のエチレン性不飽和化合物との共重合体、
〔B〕エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物および
〔C〕光重合開始剤を含有してなり、そして
固形分濃度と25℃における粘度が下記式(1)〜(4):
LogY≦0.04X−0.08 ・・・(1)
LogY≧0.04X−0.50 ・・・(2)
LogY≧0.30 ・・・(3)
LogY≦1.08 ・・・(4)
ここで、Xは固形分濃度(重量%)でありそしてYは25℃における粘度(mPa・s)である、
の関係を満たす、
ことを特徴とする感光性樹脂組成物(以下、「感光性樹脂組成物(イ)」いう。)によって達成される。
According to the present invention, the problem is firstly
[A] (a1) at least one selected from the group consisting of ethylenically unsaturated carboxylic acids and ethylenically unsaturated carboxylic acid anhydrides, (a2) an epoxy group-containing ethylenically unsaturated compound, and (a3) (a1) And a copolymer with another ethylenically unsaturated compound different from (a2),
[B] A polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond and [C] a photopolymerization initiator, and having a solid content concentration and a viscosity at 25 ° C. of the following formulas (1) to (4):
LogY ≦ 0.04X−0.08 (1)
LogY ≧ 0.04X−0.50 (2)
LogY ≧ 0.30 (3)
LogY ≦ 1.08 (4)
Where X is the solids concentration (wt%) and Y is the viscosity (mPa · s) at 25 ° C.
Satisfy the relationship
This is achieved by a photosensitive resin composition (hereinafter referred to as “photosensitive resin composition (A)”).

本発明によると、前記課題は、第二に、感光性樹脂組成物(イ)から形成された表示パネル用スペーサー、によって達成される。   According to the present invention, secondly, the above object is achieved by a display panel spacer formed from the photosensitive resin composition (a).

本発明によると、前記課題は、第三に、前記表示パネル用スペーサーを具備してなる表示パネル、によって達成される。   According to the present invention, thirdly, the object is achieved by a display panel comprising the display panel spacer.

本発明の感光性樹脂組成物(イ)は、生体に対する安全性に問題がなく、しかも大型基板に対しても良好な塗布性を有し、高感度でマスクパターンの設計サイズを忠実に再現でき、かつ基板との密着性に優れ、また強度、耐熱性等にも優れた表示パネル用スペーサーを形成しうる感光性樹脂組成物を提供する。   The photosensitive resin composition (A) of the present invention has no problem with respect to safety to living organisms, has good coating properties even on a large substrate, and can faithfully reproduce the design size of a mask pattern with high sensitivity. The present invention also provides a photosensitive resin composition that can form a display panel spacer that is excellent in adhesion to a substrate and that is excellent in strength, heat resistance, and the like.

以下、本発明について詳細に説明する。
感光性樹脂組成物(イ)
−共重合体〔A〕−
感光性樹脂組成物(イ)における〔A〕成分は、(a1)エチレン性不飽和カルボン酸および/またはエチレン性不飽和カルボン酸無水物と(a2)エポキシ基含有エチレン性不飽和化合物と(a3)(a1)成分および(a2)成分と異なる他のエチレン性不飽和化合物との共重合体(以下、「共重合体〔A〕」という。)からなる。
共重合体〔A〕を構成する各成分のうち、(a1)エチレン性不飽和カルボン酸および/またはエチレン性不飽和カルボン酸無水物(以下、これらをまとめて「不飽和カルボン酸系単量体(a1)」という。)としては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、2−メタクリロイロキシエチルコハク酸、2−メタクリロイロキシエチルヘキサヒドロフタル酸の如きモノカルボン酸;マレイン酸、フマル酸、シトラコン酸、メサコン酸、イタコン酸の如きジカルボン酸;前記ジカルボン酸の無水物等を挙げることができる。
これらの不飽和カルボン酸系単量体(a1)のうち、共重合反応性、得られる共重合体のアルカリ水溶液に対する溶解性および入手が容易である点から、アクリル酸、メタクリル酸、無水マレイン酸等が好ましい。
感光性樹脂組成物(イ)において、不飽和カルボン酸系単量体(a1)は、単独でまたは2種以上混合して使用することができる。
Hereinafter, the present invention will be described in detail.
Photosensitive resin composition (I)
-Copolymer [A]-
The component [A] in the photosensitive resin composition (A) includes (a1) an ethylenically unsaturated carboxylic acid and / or an ethylenically unsaturated carboxylic acid anhydride, (a2) an epoxy group-containing ethylenically unsaturated compound, and (a3 And (a1) component and (a2) component and a copolymer with another ethylenically unsaturated compound (hereinafter referred to as “copolymer [A]”).
Among the components constituting the copolymer [A], (a1) an ethylenically unsaturated carboxylic acid and / or an ethylenically unsaturated carboxylic acid anhydride (hereinafter referred to as “unsaturated carboxylic acid monomer”) Examples of (a1) ”include monocarboxylic acids such as acrylic acid, methacrylic acid, crotonic acid, 2-methacryloyloxyethyl succinic acid, 2-methacryloyloxyethyl hexahydrophthalic acid; maleic acid, fumaric acid Examples thereof include dicarboxylic acids such as acid, citraconic acid, mesaconic acid, and itaconic acid; anhydrides of the dicarboxylic acid.
Among these unsaturated carboxylic acid monomers (a1), acrylic acid, methacrylic acid, maleic anhydride are available from the viewpoints of copolymerization reactivity, solubility of the resulting copolymer in an alkaline aqueous solution and easy availability. Etc. are preferred.
In the photosensitive resin composition (a), the unsaturated carboxylic acid monomer (a1) can be used alone or in combination of two or more.

共重合体〔A〕において、不飽和カルボン酸系単量体(a1)に由来する繰返し単位の含有率は、好ましくは5〜50重量%、さらに好ましくは10〜40重量%、特に好ましくは15〜30重量%である。この場合、不飽和カルボン酸系単量体(a1)に由来する繰返し単位の含有率が5重量%未満であると、アルカリ水溶液に対する溶解性が低下する傾向があり、一方40重量%を超えると、アルカリ水溶液に対する溶解性が大きくなりすぎるおそれがある。   In the copolymer [A], the content of the repeating unit derived from the unsaturated carboxylic acid monomer (a1) is preferably 5 to 50% by weight, more preferably 10 to 40% by weight, and particularly preferably 15%. ~ 30% by weight. In this case, when the content of the repeating unit derived from the unsaturated carboxylic acid monomer (a1) is less than 5% by weight, the solubility in an alkaline aqueous solution tends to decrease, whereas when it exceeds 40% by weight. There is a possibility that the solubility in an aqueous alkali solution becomes too large.

また、(a2)エポキシ基含有エチレン性不飽和化合物(以下、「エポキシ基含有単量体(a2)」という。)としては、例えば、アクリル酸グリシジル、アクリル酸2−メチルグリシジル、アクリル酸3,4−エポキシブチル、アクリル酸6,7−エポキシヘプチル、アクリル酸3,4−エポキシシクロヘキシルの如きアクリル酸エポキシアルキルエステル;メタクリル酸グリシジル、メタクリル酸2−メチルグリシジル、メタクリル酸3,4−エポキシブチル、メタクリル酸6,7−エポキシヘプチル、メタクリル酸3,4−エポキシシクロヘキシルの如きメタクリル酸エポキシアルキルエステル;α−エチルアクリル酸グリシジル、α−n−プロピルアクリル酸グリシジル、α−n−ブチルアクリル酸グリシジル、α−エチルアクリル酸6,7−エポキシヘプチルの如きα−アルキルアクリル酸エポキシアルキルエステル;o−ビニルベンジルグリシジルエーテル、m−ビニルベンジルグリシジルエーテル、p−ビニルベンジルグリシジルエーテルの如きグリシジルエーテル類を挙げることができる。
これらのエポキシ基含有単量体(a2)のうち、共重合反応性およびスペーサーの強度の点から、メタクリル酸グリシジル、メタクリル酸2−メチルグリシジル、メタクリル酸6,7−エポキシヘプチル、o−ビニルベンジルグリシジルエーテル、m−ビニルベンジルグリシジルエーテル、p−ビニルベンジルグリシジルエーテル等が好ましい。
感光性樹脂組成物(イ)において、エポキシ基含有単量体(a2)は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
Examples of the (a2) epoxy group-containing ethylenically unsaturated compound (hereinafter referred to as “epoxy group-containing monomer (a2)”) include, for example, glycidyl acrylate, 2-methylglycidyl acrylate, 3, 4-epoxybutyl, acrylic acid epoxy alkyl ester such as 6,7-epoxyheptyl acrylate, 3,4-epoxycyclohexyl acrylate; glycidyl methacrylate, 2-methylglycidyl methacrylate, 3,4-epoxybutyl methacrylate, Methacrylic acid epoxy alkyl esters such as 6,7-epoxyheptyl methacrylate, 3,4-epoxycyclohexyl methacrylate; glycidyl α-ethyl acrylate, glycidyl α-n-propyl acrylate, glycidyl α-n-butyl acrylate, α-ethylacrylic acid , 7-epoxy heptyl, such as α- alkyl acrylate epoxy alkyl ester; can be exemplified o- vinylbenzyl glycidyl ether, m- vinylbenzyl glycidyl ether, such as glycidyl ethers of p- vinylbenzyl glycidyl ether.
Among these epoxy group-containing monomers (a2), from the viewpoint of copolymerization reactivity and spacer strength, glycidyl methacrylate, 2-methylglycidyl methacrylate, 6,7-epoxyheptyl methacrylate, o-vinylbenzyl Glycidyl ether, m-vinylbenzyl glycidyl ether, p-vinylbenzyl glycidyl ether and the like are preferable.
In the photosensitive resin composition (I), the epoxy group-containing monomer (a2) can be used alone or in admixture of two or more.

共重合体〔A〕において、エポキシ基含有単量体(a2)に由来する繰返し単位の含有率は、好ましくは10〜70重量%、さらに好ましくは20〜60重量%、特に好ましくは30〜50重量%である。この場合、エポキシ基含有単量体(a2)に由来する繰返し単位の含有率が10重量%未満であると、得られるスペーサーの強度が低下する傾向があり、一方70重量%を超えると、得られる共重合体の保存安定性が低下する傾向がある。   In the copolymer [A], the content of the repeating unit derived from the epoxy group-containing monomer (a2) is preferably 10 to 70% by weight, more preferably 20 to 60% by weight, and particularly preferably 30 to 50%. % By weight. In this case, when the content of the repeating unit derived from the epoxy group-containing monomer (a2) is less than 10% by weight, the strength of the obtained spacer tends to be reduced, while when it exceeds 70% by weight, There is a tendency for the storage stability of the copolymer to be reduced.

さらに、(a3)他のエチレン性不飽和化合物(以下、単に「他の単量体(a3)」という。)としては、例えば、アクリル酸メチル、アクリル酸i−プロピルの如きアクリル酸アルキルエステル;メタクリル酸メチル、メタクリル酸エチル、メタクリル酸n−ブチル、メタクリル酸sec−ブチル、メタクリル酸t−ブチルの如きメタクリル酸アルキルエステル;アクリル酸シクロヘキシル、アクリル酸2−メチルシクロヘキシル、アクリル酸トリシクロ[ 5.2.1.02,6] デカン−8−イル、アクリル酸2−(トリシクロ[ 5.2.1.02,6] デカン−8−イルオキシ)エチル、アクリル酸イソボロニルの如きアクリル酸脂環式エステル;メタクリル酸シクロヘキシル、メタクリル酸2−メチルシクロヘキシル、メタクリル酸トリシクロ[ 5.2.1.02,6] デカン−8−イル、メタクリル酸2−(トリシクロ[ 5.2.1.02,6] デカン−8−イルオキシ)エチル、メタクリル酸イソボロニルの如きメタクリル酸脂環式エステル;アクリル酸フェニル、アクリル酸ベンジルの如きアクリル酸のアリールエステルあるいはアラルキルエステル;メタクリル酸フェニル、メタクリル酸ベンジルの如きメタクリル酸のアリールエステルあるいはアラルキルエステル;マレイン酸ジエチル、フマル酸ジエチル、イタコン酸ジエチルの如きジカルボン酸ジアルキルエステル;メタクリル酸2−ヒドロキシエチル、メタクリル酸2−ヒドロキシプロピルの如きメタクリル酸ヒドロキシアルキルエステル;メタクリル酸テトラヒドロフルフリル、メタクリル酸テトラヒドロフリル、メタクリル酸テトラヒドロフピラン−2−メチルの如き酸素一原子を含む不飽和複素五及び六員環メタクリル酸エステル;スチレン、α−メチルスチレン、m−メチルスチレン、p−メチルスチレン、p−メトキシスチレンの如きビニル芳香族化合物;1,3−ブタジエン、イソプレン、2,3−ジメチル−1,3−ブタジエンの如き共役ジエン系化合物のほか、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、アクリルアミド、メタクリルアミド、塩化ビニル、塩化ビニリデン、酢酸ビニル等を挙げることができる。 Furthermore, (a3) other ethylenically unsaturated compounds (hereinafter simply referred to as “other monomers (a3)”) include, for example, alkyl acrylates such as methyl acrylate and i-propyl acrylate; Methacrylic acid alkyl esters such as methyl methacrylate, ethyl methacrylate, n-butyl methacrylate, sec-butyl methacrylate, t-butyl methacrylate; cyclohexyl acrylate, 2-methylcyclohexyl acrylate, tricycloacrylate [5.2 .1.0 2,6 ] decan-8-yl, acrylic acid alicyclic such as 2- (tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decan-8-yloxy) ethyl, isobornyl acrylate. Esters: cyclohexyl methacrylate, 2-methylcyclohexyl methacrylate, methacrylic acid Rishikuro [5.2.1.0 2,6] decan-8-yl methacrylate, 2 (tricyclo [5.2.1.0 2,6] decan-8-yloxy) ethyl, such as methacrylic acid isobornyl Methacrylic acid alicyclic ester; aryl ester or aralkyl ester of acrylic acid such as phenyl acrylate and benzyl acrylate; aryl ester or aralkyl ester of methacrylic acid such as phenyl methacrylate and benzyl methacrylate; diethyl maleate, diethyl fumarate Dicarboxylic acid dialkyl esters such as diethyl itaconate; 2-hydroxyethyl methacrylate, methacrylic acid hydroxyalkyl esters such as 2-hydroxypropyl methacrylate; tetrahydrofurfuryl methacrylate, tetrahydride methacrylate Unsaturated hetero 5- and 6-membered methacrylic acid esters containing one atom of oxygen such as furyl, tetrahydrofupyran-2-methyl methacrylate; styrene, α-methyl styrene, m-methyl styrene, p-methyl styrene, p-methoxy Vinyl aromatic compounds such as styrene; conjugated diene compounds such as 1,3-butadiene, isoprene, 2,3-dimethyl-1,3-butadiene, acrylonitrile, methacrylonitrile, acrylamide, methacrylamide, vinyl chloride, Examples include vinylidene chloride and vinyl acetate.

これらの他の単量体(a3)のうち、共重合反応性および得られる共重合体のアルカリ水溶液に対する溶解性の点から、アクリル酸2−メチルシクロヘキシル、メタクリル酸t−ブチル、メタクリル酸トリシクロ[ 5.2.1.02,6] デカン−8−イル、スチレン、p−メトキシスチレン、メタクリル酸テトラヒドロフルフリル、1,3−ブタジエン等が好ましい。特に、1,3−ブタジエンを用いた場合には、より現像性の優れたものが得られ、さらに好ましい。 Among these other monomers (a3), from the viewpoint of copolymerization reactivity and solubility of the resulting copolymer in an alkaline aqueous solution, 2-methylcyclohexyl acrylate, t-butyl methacrylate, tricyclomethacrylate [ 5.2.1.0 2,6 ] Decan-8-yl, styrene, p-methoxystyrene, tetrahydrofurfuryl methacrylate, 1,3-butadiene and the like are preferable. In particular, when 1,3-butadiene is used, a more excellent developability is obtained, which is more preferable.

感光性樹脂組成物(イ)において、他の単量体(a3)は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。   In the photosensitive resin composition (A), the other monomer (a3) can be used alone or in admixture of two or more.

共重合体〔A〕において、他の単量体(a3)に由来する繰返し単位の含有率は、好ましくは10〜70重量%、さらに好ましくは20〜50重量%、特に好ましくは30〜50重量%である。この場合、他の単量体(a3)に由来する繰返し単位の含有率が10重量%未満であると、得られる共重合体の保存安定性が低下する傾向にあり、一方70重量%を超えると、得られる共重合体のアルカリ水溶液に対する溶解性が低下する傾向がある。   In the copolymer [A], the content of the repeating unit derived from the other monomer (a3) is preferably 10 to 70% by weight, more preferably 20 to 50% by weight, particularly preferably 30 to 50% by weight. %. In this case, if the content of the repeating unit derived from the other monomer (a3) is less than 10% by weight, the storage stability of the resulting copolymer tends to be lowered, whereas it exceeds 70% by weight. And there exists a tendency for the solubility with respect to the aqueous alkali solution of the copolymer obtained to fall.

共重合体〔A〕は、カルボキシル基および/またはカルボン酸無水物基とエポキシ基とを有しており、アルカリ水溶液に対して適度の溶解性を有するとともに、特別な硬化剤を併用しなくとも加熱により容易に硬化させることができる。そのため、当該共重合体を含有する感光性樹脂組成物(イ)は、現像する際に現像残りおよび膜減りを生じることなく、所定パターンのスペーサーを容易に形成することができる。   The copolymer [A] has a carboxyl group and / or a carboxylic anhydride group and an epoxy group, has an appropriate solubility in an alkaline aqueous solution, and does not require the use of a special curing agent. It can be easily cured by heating. Therefore, the photosensitive resin composition (a) containing the copolymer can easily form a spacer having a predetermined pattern without developing residue and film loss during development.

共重合体〔A〕は、例えば、不飽和カルボン酸系単量体(a1)、エポキシ基含有単量体(a2)および他の単量体(a3)を、適当な溶媒中、ラジカル重合開始剤の存在下で重合することにより製造することができる。
共重合体[A]の製造に用いられる溶媒としては、例えば、アルコール、エーテル、グリコールエーテル、エチレングリコールアルキルエーテルアセテート、ジエチレングリコール、ジプロピレングリコール、プロピレングリコールモノアルキルエーテル、プロピレングリコールアルキルエーテルアセテート、プロピレングリコールアルキルエーテルプロピオネート、芳香族炭化水素、ケトン、エステルなどを挙げることができる。
For example, the copolymer [A] is obtained by starting radical polymerization of an unsaturated carboxylic acid monomer (a1), an epoxy group-containing monomer (a2), and another monomer (a3) in an appropriate solvent. It can manufacture by superposing | polymerizing in presence of an agent.
Examples of the solvent used for the production of the copolymer [A] include alcohol, ether, glycol ether, ethylene glycol alkyl ether acetate, diethylene glycol, dipropylene glycol, propylene glycol monoalkyl ether, propylene glycol alkyl ether acetate, and propylene glycol. Examples include alkyl ether propionates, aromatic hydrocarbons, ketones and esters.

これらの具体例としては、アルコールとして、例えばメタノール、エタノール、ベンジルアルコール、2−フェニルエチルアルコール、3−フェニル−1−プロパノールなど;
エーテル類として、例えばテトラヒドロフランなど;
グリコールエーテルとして、例えばエチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテルなど;
エチレングリコールアルキルエーテルアセテートとして、例えばメチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテートなど;
ジエチレングリコールとして、例えばジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテルなど;
ジプロピレングリコールとして、例えばジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテル、ジプロピレングリコールエチルメチルエーテルなど;
プロピレングリコールモノアルキルエーテルとして、例えばプロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテルなど;
プロピレングリコールアルキルエーテルプロピオネートとして、例えばプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールプロピルエーテルアセテート、プロピレングリコールブチルエーテルアセテートなど;
プロピレングリコールアルキルエーテルアセテートとして、例えばプロピレングリコールメチルエーテルプロピオネート、プロピレングリコールエチルエーテルプロピオネート、プロピレングリコールプロピルエーテルプロピオネート、プロピレングリコールブチルエーテルプロピオネートなど;
芳香族炭化水素として、例えばトルエン、キシレンなど;
ケトンとして、例えばメチルエチルケトン、シクロヘキサノン、4−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンタノンなど;
Specific examples thereof include alcohols such as methanol, ethanol, benzyl alcohol, 2-phenylethyl alcohol, and 3-phenyl-1-propanol;
Ethers such as tetrahydrofuran;
Examples of glycol ethers include ethylene glycol monomethyl ether and ethylene glycol monoethyl ether;
Examples of ethylene glycol alkyl ether acetate include methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, ethylene glycol monobutyl ether acetate, and ethylene glycol monoethyl ether acetate;
Examples of diethylene glycol include diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, and diethylene glycol ethyl methyl ether.
Examples of dipropylene glycol include dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monoethyl ether, dipropylene glycol dimethyl ether, dipropylene glycol diethyl ether, and dipropylene glycol ethyl methyl ether;
Examples of propylene glycol monoalkyl ethers include propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monopropyl ether, propylene glycol monobutyl ether;
As propylene glycol alkyl ether propionate, for example, propylene glycol methyl ether acetate, propylene glycol ethyl ether acetate, propylene glycol propyl ether acetate, propylene glycol butyl ether acetate and the like;
As propylene glycol alkyl ether acetate, for example, propylene glycol methyl ether propionate, propylene glycol ethyl ether propionate, propylene glycol propyl ether propionate, propylene glycol butyl ether propionate, etc .;
Aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene, etc .;
Examples of ketones include methyl ethyl ketone, cyclohexanone, 4-hydroxy-4-methyl-2-pentanone, etc .;

エステルとして、例えば酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸プロピル、酢酸ブチル、2−ヒドロキシプロピオン酸エチル、2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、ヒドロキシ酢酸メチル、ヒドロキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸ブチル、乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸プロピル、乳酸ブチル、3−ヒドロキシプロピオン酸メチル、3−ヒドロキシプロピオン酸エチル、3−ヒドロキシプロピオン酸プロピル、3−ヒドロキシプロピオン酸ブチル、2−ヒドロキシ−3−メチルブタン酸メチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸プロピル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、エトキシ酢酸プロピル、エトキシ酢酸ブチル、プロポキシ酢酸メチル、プロポキシ酢酸エチル、プロポキシ酢酸プロピル、プロポキシ酢酸ブチル、ブトキシ酢酸メチル、ブトキシ酢酸エチル、ブトキシ酢酸プロピル、ブトキシ酢酸ブチル、2−メトキシプロピオン酸メチル、2−メトキシプロピオン酸エチル、2−メトキシプロピオン酸プロピル、2−メトキシプロピオン酸ブチル、2−エトキシプロピオン酸メチル、2−エトキシプロピオン酸エチル、2−エトキシプロピオン酸プロピル、2−エトキシプロピオン酸ブチル、2−ブトキシプロピオン酸メチル、2−ブトキシプロピオン酸エチル、2−ブトキシプロピオン酸プロピル、2−ブトキシプロピオン酸ブチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸プロピル、3−メトキシプロピオン酸ブチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸プロピル、3−エトキシプロピオン酸ブチル、3−プロポキシプロピオン酸メチル、3−プロポキシプロピオン酸エチル、3−プロポキシプロピオン酸プロピル、3−プロポキシプロピオン酸ブチル、3−ブトキシプロピオン酸メチル、3−ブトキシプロピオン酸エチル、3−ブトキシプロピオン酸プロピル、3−ブトキシプロピオン酸ブチルなどのエステルをそれぞれ挙げることができる。 Examples of esters include methyl acetate, ethyl acetate, propyl acetate, butyl acetate, ethyl 2-hydroxypropionate, methyl 2-hydroxy-2-methylpropionate, ethyl 2-hydroxy-2-methylpropionate, methyl hydroxyacetate, hydroxy Ethyl acetate, hydroxybutyl acetate, methyl lactate, ethyl lactate, propyl lactate, butyl lactate, methyl 3-hydroxypropionate, ethyl 3-hydroxypropionate, propyl 3-hydroxypropionate, butyl 3-hydroxypropionate, 2-hydroxy -3-methylbutanoate, methyl methoxyacetate, ethyl methoxyacetate, propyl methoxyacetate, butyl methoxyacetate, methyl ethoxyacetate, ethyl ethoxyacetate, propyl ethoxyacetate, butyl ethoxyacetate, propoxy Methyl acetate, ethyl propoxyacetate, propyl propoxyacetate, butyl propoxyacetate, methyl butoxyacetate, ethyl butoxyacetate, propyl butoxyacetate, butylbutoxyacetate, methyl 2-methoxypropionate, ethyl 2-methoxypropionate, 2-methoxypropionic acid Propyl, butyl 2-methoxypropionate, methyl 2-ethoxypropionate, ethyl 2-ethoxypropionate, propyl 2-ethoxypropionate, butyl 2-ethoxypropionate, methyl 2-butoxypropionate, ethyl 2-butoxypropionate Propyl 2-butoxypropionate, butyl 2-butoxypropionate, methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, propyl 3-methoxypropionate, 3-methoxypropyl Butyl pionate, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, propyl 3-ethoxypropionate, butyl 3-ethoxypropionate, methyl 3-propoxypropionate, ethyl 3-propoxypropionate, 3-propoxypropionate Examples thereof include esters such as propyl acid, butyl 3-propoxypropionate, methyl 3-butoxypropionate, ethyl 3-butoxypropionate, propyl 3-butoxypropionate, and butyl 3-butoxypropionate.

これらのうち、エチレングリコールアルキルエーテルアセテート、ジエチレングリコール、ジプロピレングリコール、プロピレングリコールモノアルキルエーテル、プロピレングリコールアルキルエーテルアセテートが好ましく、就中、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、ジプロピレングリコールエチルメチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテルアセテートが特に好ましい。
前記溶媒は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
Of these, ethylene glycol alkyl ether acetate, diethylene glycol, dipropylene glycol, propylene glycol monoalkyl ether, and propylene glycol alkyl ether acetate are preferable. Among them, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol ethyl methyl ether, dipropylene glycol dimethyl ether, dipropylene glycol ethyl Particularly preferred are methyl ether, propylene glycol methyl ether, and propylene glycol methyl ether acetate.
The said solvent can be used individually or in mixture of 2 or more types.

また、前記重合に用いられるラジカル重合開始剤としては、特に限定されるものではなく、例えば、2,2’−アゾビスイソブチロニトリル、2,2’−アゾビス−(2,4−ジメチルバレロニトリル)、2,2’−アゾビス−(4−メトキシ−2,4−ジメチルバレロニトリル)、4,4’−アゾビス(4―シアノバレリアン酸)、ジメチル2,2’−アゾビス(2−メチルプロピオネート)、2,2’−アゾビス(4−メトキシ−2,4−ジメチルバレロニトリル)の如きアゾ化合物;ベンゾイルペルオキシド、ラウロイルペルオキシド、t−ブチルペルオキシピバレート、1,1−ビス(t−ブチルペルオキシ)シクロヘキサンの如き有機過酸化物;過酸化水素等を挙げることができる。また、ラジカル重合開始剤として過酸化物を用いる場合には、それと還元剤とを併用して、レドックス型開始剤としてもよい。
これらのラジカル重合開始剤は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
このようにして得られた共重合体〔A〕は、溶液のまま感放射線性樹脂組成物の調製に供しても、また溶液から分離して感放射線性樹脂組成物の調製に供してもよい。
The radical polymerization initiator used for the polymerization is not particularly limited, and for example, 2,2′-azobisisobutyronitrile, 2,2′-azobis- (2,4-dimethylvalero). Nitrile), 2,2′-azobis- (4-methoxy-2,4-dimethylvaleronitrile), 4,4′-azobis (4-cyanovaleric acid), dimethyl 2,2′-azobis (2-methylpro) Azo compounds such as 2,7'-azobis (4-methoxy-2,4-dimethylvaleronitrile); benzoyl peroxide, lauroyl peroxide, t-butylperoxypivalate, 1,1-bis (t-butyl) Organic peroxides such as peroxy) cyclohexane; hydrogen peroxide and the like. Moreover, when using a peroxide as a radical polymerization initiator, it is good also as a redox type initiator combining it and a reducing agent.
These radical polymerization initiators can be used alone or in admixture of two or more.
The copolymer [A] thus obtained may be used for the preparation of the radiation-sensitive resin composition in the form of a solution, or may be separated from the solution and used for the preparation of the radiation-sensitive resin composition. .

共重合体〔A〕のゲルパーミエーションクロマトグラフィ(GPC)によるポリスチレン換算重量平均分子量(以下、「Mw」という。)は、好ましくは2,000〜100,000、より好ましくは5,000〜50,000であり、特に好ましくは1,000〜10,000である。この場合、Mwが2,000未満であると、得られる被膜の現像性、残膜率等が低下したり、またパターン形状、耐熱性等が損なわれるおそれがあり、一方100,000を超えると塗布性が悪化したり、現像性が損なわれるおそれがある。   The polystyrene-converted weight average molecular weight (hereinafter referred to as “Mw”) of the copolymer [A] by gel permeation chromatography (GPC) is preferably 2,000 to 100,000, more preferably 5,000 to 50, 000, particularly preferably 1,000 to 10,000. In this case, if the Mw is less than 2,000, the developability and the remaining film rate of the resulting film may be reduced, and the pattern shape, heat resistance, and the like may be impaired. There exists a possibility that applicability | paintability may deteriorate or developability may be impaired.

−重合性化合物〔B〕−
感光性樹脂組成物(イ)における〔B〕成分は、エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物(以下、「重合性化合物〔B〕」という。)である。
重合性化合物〔B〕としては、特に限定されるものではないが、単官能、2官能または3官能以上の(メタ)アクリル酸エステルが、重合性が良好でありまた得られるスペーサーの強度が向上する点から好ましい。
-Polymerizable compound [B]-
The component [B] in the photosensitive resin composition (A) is a polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond (hereinafter referred to as “polymerizable compound [B]”).
Although it does not specifically limit as polymeric compound [B], Monofunctional, bifunctional, or trifunctional or more (meth) acrylic acid ester has good polymerizability, and the strength of the spacer obtained is improved. This is preferable.

前記単官能(メタ)アクリル酸エステルとしては、例えば、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアクリレート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルメタクリレート、イソボロニルアクリレート、イソボロニルメタクリレート、3−メトキシブチルアクリレート、3−メトキシブチルメタクリレート、2−アクリロイルオキシエチル−2−ヒドロキシプロピルフタレート、2−メタクリロイルオキシエチル−2−ヒドロキシプロピルフタレート等を挙げることができる。また市販品として、例えば、アロニックスM−101、同M−111、同M−114(東亜合成(株)製);KAYARAD TC−110S、同TC−120S(日本化薬(株)製);ビスコート158、同2311(大阪有機化学工業(株)製)等を挙げることができる。   Examples of the monofunctional (meth) acrylic acid ester include 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate, diethylene glycol monoethyl ether acrylate, diethylene glycol monoethyl ether methacrylate, isobornyl acrylate, isobornyl methacrylate, 3- Examples include methoxybutyl acrylate, 3-methoxybutyl methacrylate, 2-acryloyloxyethyl-2-hydroxypropyl phthalate, and 2-methacryloyloxyethyl-2-hydroxypropyl phthalate. As commercial products, for example, Aronix M-101, M-111, M-114 (manufactured by Toa Gosei Co., Ltd.); KAYARAD TC-110S, TC-120S (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.); 158, 2311 (manufactured by Osaka Organic Chemical Industry Co., Ltd.).

また、前記2官能(メタ)アクリル酸エステルとしては、例えば、エチレングリコールジアクリレート、エチレングリコールジメタクリレート、ジエチレングリコールジアクリレート、ジエチレングリコールジメタクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、テトラエチレングリコールジメタクリレート、1,6−ヘキサンジオールジアクリレート、1,6−ヘキサンジオールジメタクリレート、1,9−ノナンジオールジアクリレート、1,9−ノナンジオールジメタクリレート、ビスフェノキシエタノールフルオレンジアクリレート、ビスフェノキシエタノールフルオレンジメタクリレート等を挙げることができる。また市販品として、例えば、アロニックスM−210、同M−240、同M−6200(東亜合成(株)製)、KAYARAD HDDA、同HX−220、同R−604(日本化薬(株)製)、ビスコート260、同312、同335HP(大阪有機化学工業(株)製)等を挙げることができる。   Examples of the bifunctional (meth) acrylic acid ester include ethylene glycol diacrylate, ethylene glycol dimethacrylate, diethylene glycol diacrylate, diethylene glycol dimethacrylate, tetraethylene glycol diacrylate, tetraethylene glycol dimethacrylate, 1,6- Examples include hexanediol diacrylate, 1,6-hexanediol dimethacrylate, 1,9-nonanediol diacrylate, 1,9-nonanediol dimethacrylate, bisphenoxyethanol full orange acrylate, and bisphenoxyethanol full orange methacrylate. As commercially available products, for example, Aronix M-210, M-240, M-6200 (manufactured by Toa Gosei Co., Ltd.), KAYARAD HDDA, HX-220, R-604 (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) ), Biscoat 260, 312 and 335HP (produced by Osaka Organic Chemical Industry Co., Ltd.).

さらに、前記3官能以上の(メタ)アクリル酸エステルとしては、例えば、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート、トリ(2−アクリロイルオキシエチル)フォスフェート、トリ(2−メタクリロイルオキシエチル)フォスフェート等を挙げることができる。
特に9官能以上の(メタ)アクリレートとしては、アルキレン直鎖および脂環構造を有し且つ2個以上のイソシアネート基を含む化合物と、分子内に1個以上の水酸基を含有する3官能、4官能および5官能の(メタ)アクリレート化合物を反応させて得られるウレタンアクリレート化合物が挙げられる。
上記市販品として、例えば、アロニックスM−309、同M−400、同M−405、同M−450、同M−7100、同M−8030、同M−8060、同TO−1450(東亜合成(株)製)、KAYARAD TMPTA、同DPHA、同DPCA−20、同DPCA−30、同DPCA−60、同DPCA−120(日本化薬(株)製)、ビスコート295、同300、同360、同GPT、同3PA、同400(大阪有機化学工業(株)製)等を挙げることができる。9官能以上の多官能ウレタンアクリレートの市販品は、例として、ニューフロンティア R−1150(以上、第一工業製薬(株)製)、KAYARAD DPHA−40H(以上、日本化薬(株)製)等が挙げられる。
Furthermore, as the trifunctional or higher functional (meth) acrylic acid ester, for example, trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, pentaerythritol tetramethacrylate, Dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol pentamethacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, dipentaerythritol hexamethacrylate, tri (2-acryloyloxyethyl) phosphate, tri (2-methacryloyloxyethyl) phosphate, etc. it can.
In particular, the (meth) acrylate having 9 or more functional groups includes a compound having an alkylene linear and alicyclic structure and containing two or more isocyanate groups, and a trifunctional or tetrafunctional containing one or more hydroxyl groups in the molecule. And urethane acrylate compounds obtained by reacting pentafunctional (meth) acrylate compounds.
As said commercial item, for example, Aronix M-309, M-400, M-405, M-450, M-7100, M-8030, M-8060, M-8060, TO-1450 (Toa Gosei ( KAYARAD TMPTA, DPHA, DPCA-20, DPCA-30, DPCA-60, DPCA-60, DPCA-120 (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), Biscote 295, 300, 360, GPT, 3PA, 400 (produced by Osaka Organic Chemical Industry Co., Ltd.) and the like. Examples of commercially available products of polyfunctional urethane acrylates having 9 or more functional groups include New Frontier R-1150 (manufactured by Daiichi Kogyo Seiyaku Co., Ltd.), KAYARAD DPHA-40H (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) Is mentioned.

これらの単官能、2官能または3官能以上の(メタ)アクリル酸エステルのうち、3官能以上の(メタ)アクリル酸エステルがさらに好ましく、特に、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレートおよびジペンタエリスリトールヘキサアクリレートが好ましい。
前記単官能、2官能または3官能以上の(メタ)アクリル酸エステルは、単独であるいは2種以上を組み合わせて使用することができる。
Among these monofunctional, bifunctional, or trifunctional or higher (meth) acrylic acid esters, trifunctional or higher functional (meth) acrylic acid esters are more preferable, and in particular, trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol. Tetraacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate and dipentaerythritol hexaacrylate are preferred.
The monofunctional, bifunctional, or trifunctional or higher (meth) acrylic acid ester can be used alone or in combination of two or more.

感光性樹脂組成物(イ)において、重合性化合物〔B〕の使用量は、共重合体〔A〕100重量部に対して、好ましくは50〜250重量部、さらに好ましくは100〜200重量部である。この場合、重合性化合物〔B〕の使用量が50重量部未満では、現像時に現像残りが発生するおそれがあり、一方200重量部を超えると、得られるスペーサーの密着性が低下する傾向がある。   In the photosensitive resin composition (A), the amount of the polymerizable compound [B] used is preferably 50 to 250 parts by weight, more preferably 100 to 200 parts by weight, relative to 100 parts by weight of the copolymer [A]. It is. In this case, if the amount of the polymerizable compound [B] used is less than 50 parts by weight, there is a possibility that a development residue may occur during development. On the other hand, if it exceeds 200 parts by weight, the adhesion of the resulting spacer tends to decrease. .

−光重合開始剤〔C〕−
本発明でいう光重合開始剤とは、可視光線、紫外線、遠紫外線、荷電粒子線、X線等により露光されることにより、重合性化合物〔B〕の重合を開始しうる活性種を発生する成分を意味する。
感光性樹脂組成物(イ)における光重合開始剤〔C〕の使用量は、重合性化合物〔B〕100重量部に対して、好ましくは5〜30重量部、さらに好ましくは5〜20重量部である。この場合、光重合開始剤〔C〕の使用量が5重量部未満では、現像時の残膜率が低下する傾向があり、一方30重量部を超えると、現像時に未露光部のアルカリ性現像液に対する溶解性が低下する傾向がある。
また、感光性樹脂組成物(イ)においては、光重合開始剤〔C〕と共に、他の光重合開始剤を少なくとも1種併用することができる。
-Photopolymerization initiator [C]-
The photopolymerization initiator referred to in the present invention generates an active species capable of initiating polymerization of the polymerizable compound [B] when exposed to visible light, ultraviolet light, far ultraviolet light, charged particle beam, X-ray or the like. Means ingredients.
The amount of the photopolymerization initiator [C] used in the photosensitive resin composition (a) is preferably 5 to 30 parts by weight, more preferably 5 to 20 parts by weight, based on 100 parts by weight of the polymerizable compound [B]. It is. In this case, if the amount of the photopolymerization initiator [C] used is less than 5 parts by weight, the residual film ratio during development tends to decrease. On the other hand, if it exceeds 30 parts by weight, an alkaline developer in an unexposed part during development. There is a tendency for the solubility to be reduced.
In the photosensitive resin composition (A), at least one other photopolymerization initiator can be used in combination with the photopolymerization initiator [C].

光重合開始剤〔C〕として、例えば、O−アシルオキシムエステル系化合物、ビイミダゾール系化合物、ベンゾイン系化合物、アセトフェノン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、α−ジケトン系化合物、多核キノン系化合物、キサントン系化合物、ホスフィン系化合物、トリアジン系化合物等を挙げることができる。   Examples of the photopolymerization initiator [C] include O-acyl oxime ester compounds, biimidazole compounds, benzoin compounds, acetophenone compounds, benzophenone compounds, α-diketone compounds, polynuclear quinone compounds, xanthone compounds. , Phosphine compounds, triazine compounds, and the like.

O−アシルオキシムエステル系化合物の具体例としては、1−[9−エチル−6−ベンゾイル−9.H.−カルバゾール−3−イル]−ノナン−1,2−ノナン−2−オキシム−O−ベンゾアート、1−[9−エチル−6−ベンゾイル−9.H.−カルバゾール−3−イル]−ノナン−1,2−ノナン−2−オキシム−O−アセタート、1−[9−エチル−6−ベンゾイル−9.H.−カルバゾール−3−イル]−ペンタン−1,2−ペンタン−2−オキシム−O−アセタート、1−[9−エチル−6−ベンゾイル−9.H.−カルバゾール−3−イル]−オクタン−1−オンオキシム−O−アセタート、1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−エタン−1−オンオキシム−O−ベンゾアート、1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−エタン−1−オンオキシム−O−アセタート、1−[9−エチル−6−(1,3,5−トリメチルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−エタン−1−オンオキシム−O−ベンゾアート、1−[9−ブチル−6−(2−エチルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−エタン−1−オンオキシム−O−ベンゾアート等を挙げることができる。また、1,2−オクタジオン−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−2−(O−ベンゾイルオキシム)、1,2−ブタンジオン−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−2−(O−ベンゾイルオキシム)、1,2−ブタンジオン−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−2−(O−アセチルオキシム)、1,2−オクタジオン−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−(O−ベンゾイルオキシム)、1,2−オクタジオン−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−2−(O−(4―メチルベンゾイルオキシム))等を挙げることができる。   Specific examples of O-acyloxime ester compounds include 1- [9-ethyl-6-benzoyl-9.H.-carbazol-3-yl] -nonane-1,2-nonane-2-oxime-O—. Benzoate, 1- [9-ethyl-6-benzoyl-9.H.-carbazol-3-yl] -nonane-1,2-nonane-2-oxime-O-acetate, 1- [9-ethyl-6 -Benzoyl-9.H.-carbazol-3-yl] -pentane-1,2-pentane-2-oxime-O-acetate, 1- [9-ethyl-6-benzoyl-9.H.-carbazole-3 -Yl] -octane-1-one oxime-O-acetate, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9.H.-carbazol-3-yl] -ethane-1-one oxime-O- Benzoate, 1- [9-ethyl-6- ( 2-Methylbenzoyl) -9.H.-carbazol-3-yl] -ethane-1-one oxime-O-acetate, 1- [9-ethyl-6- (1,3,5-trimethylbenzoyl) -9. H.-Carbazol-3-yl] -ethane-1-one oxime-O-benzoate, 1- [9-butyl-6- (2-ethylbenzoyl) -9.H.-carbazol-3-yl] -ethane Examples include -1-one oxime-O-benzoate. In addition, 1,2-octadion-1- [4- (phenylthio) phenyl] -2- (O-benzoyloxime), 1,2-butanedione-1- [4- (phenylthio) phenyl] -2- (O— Benzoyloxime), 1,2-butanedione-1- [4- (phenylthio) phenyl] -2- (O-acetyloxime), 1,2-octadion-1- [4- (methylthio) phenyl] -2- ( O-benzoyloxime), 1,2-octadion-1- [4- (phenylthio) phenyl] -2- (O- (4-methylbenzoyloxime)) and the like.

これらのうち、特に1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−エタン−1−オンオキシム−O−アセタート、1,2−オクタジオン−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−2−(O−ベンゾイルオキシム)が好ましい。これら光重合開始剤は同時に2種以上を使用してもよい。
これらの光重合開始剤を用いることにより、良好な感度、密着性を有したスペーサーを得ることを可能にする。
Of these, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9.H.-carbazol-3-yl] -ethane-1-one oxime-O-acetate, 1,2-octadione-1 -[4- (Phenylthio) phenyl] -2- (O-benzoyloxime) is preferred. Two or more of these photopolymerization initiators may be used at the same time.
By using these photopolymerization initiators, it is possible to obtain a spacer having good sensitivity and adhesion.

前記アセトフェノン系化合物としては、例えば、α−ヒドロキシケトン系化合物、α−アミノケトン系化合物、これら以外の化合物を挙げることができる。   Examples of the acetophenone compounds include α-hydroxy ketone compounds, α-amino ketone compounds, and other compounds.

前記α−ヒドロキシケトン系化合物の具体例としては、1−フェニル−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、1−(4−i−プロピルフェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル−(2−ヒドロキシ−2−プロピル)ケトン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン等を挙げることができ、前記α−アミノケトン系化合物の具体例としては、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルホリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタノン−1、2−(4−メチルベンジル)−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタノン−1等を挙げることができ、これら以外の化合物の具体例としては、2,2−ジメトキシアセトフェノン、2,2−ジエトキシアセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン等を挙げることができる。
これらのアセトフェノン系化合物は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
これらのアセトフェノン系化合物を用いることにより、感度、スペーサー形状及び圧縮強度をさらに良好にすることが可能である。
Specific examples of the α-hydroxyketone compound include 1-phenyl-2-hydroxy-2-methylpropan-1-one, 1- (4-i-propylphenyl) -2-hydroxy-2-methylpropane- 1-one, 4- (2-hydroxyethoxy) phenyl- (2-hydroxy-2-propyl) ketone, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone and the like can be mentioned, and specific examples of the α-aminoketone compound include: 2-Methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1, 2- (4 -Methylbenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1 and the like, and other compounds Specific examples of the product include 2,2-dimethoxyacetophenone, 2,2-diethoxyacetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, and the like.
These acetophenone compounds can be used alone or in admixture of two or more.
By using these acetophenone compounds, it is possible to further improve sensitivity, spacer shape and compressive strength.

前記ビイミダゾール系化合物の具体例としては、
2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2−ブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2,4,6−トリクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2−ブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2,4−ジブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2,4,6−トリブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール
等を挙げることができる。
As a specific example of the biimidazole compound,
2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl) -1,2′-biimidazole,
2,2′-bis (2-bromophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl) -1,2′-biimidazole,
2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole,
2,2′-bis (2,4-dichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole,
2,2′-bis (2,4,6-trichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole,
2,2′-bis (2-bromophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole,
2,2′-bis (2,4-dibromophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole,
Examples include 2,2′-bis (2,4,6-tribromophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole.

前記ビイミダゾール系化合物のうち、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール等が好ましく、特に好ましくは、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾールである。
前記ビイミダゾール系化合物は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
これらのビイミダゾール系化合物を用いることにより、感度、解像度、及び密着性をさらに良好にすることが可能である。
Among the biimidazole compounds, 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole, 2,2′-bis (2, 4-dichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole, 2,2′-bis (2,4,6-trichlorophenyl) -4,4 ′, 5 5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole and the like are preferable, and 2,2′-bis (2,4-dichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1, is particularly preferable. 2'-biimidazole.
The biimidazole compounds can be used alone or in admixture of two or more.
By using these biimidazole compounds, sensitivity, resolution, and adhesion can be further improved.

また、ビイミダゾール化合物を増感するため、ジアルキルアミノ基を有する脂肪族または芳香族系化合物を用いることができる。
前記増感剤の具体例としては、例えば、N−メチルジエタノールアミン、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、p−ジメチルアミノ安息香酸エチル、p−ジメチルアミノ安息香酸i−アミル等を挙げることができる。これらの増感剤のうち、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンが好ましい。
これら増感剤は、同時に2種以上を使用してもよい。
増感剤の使用量は、[A]100重量部に対して、好ましくは0.1〜50重量部、より好ましくは1〜20重量部の割合で含有している。
増感剤の量が、0.1重量部未満の場合は得られるスペーサーの膜べりやパターン形状不良が生じる傾向にあり、また、50重量部を超えると、同様にパターン形状不良が生じる傾向にある。
Moreover, in order to sensitize a biimidazole compound, the aliphatic or aromatic compound which has a dialkylamino group can be used.
Specific examples of the sensitizer include, for example, N-methyldiethanolamine, 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone, 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, ethyl p-dimethylaminobenzoate, p- Examples thereof include i-amyl dimethylaminobenzoate. Of these sensitizers, 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone is preferred.
Two or more of these sensitizers may be used at the same time.
The amount of the sensitizer used is preferably 0.1 to 50 parts by weight, more preferably 1 to 20 parts by weight with respect to 100 parts by weight of [A].
If the amount of the sensitizer is less than 0.1 parts by weight, the resulting spacer tends to cause film slippage or poor pattern shape, and if it exceeds 50 parts by weight, it also tends to cause pattern shape defects. is there.

ビイミダゾール化合物を用いる場合は、さらに、水素供与化合物としてチオール系化合物を用いることができる。ビイミダゾール化合物はジアルキルアミノ基を有するベンゾフェノン系化合物によって増感され、ビイミダゾール化合物が開裂し、イミダゾールラジカルを発生する。この場合、高いラジカル重合開始能は発現されず、逆テーパ形状のような好ましくない形状となる場合が多い。この問題は、ビイミダゾール化合物とジアルキルアミノ基を有するベンゾフェノン系化合物が共存する系にチオール系化合物[C−5]を添加することで緩和される。イミダゾールラジカルにチオール化合物から水素ラジカルが供与されることで、中性なイミダゾールと重合開始能の高い硫黄ラジカルを有した化合物が発生する。これにより逆テーパ形状からより好ましい順テーパ形状になる。
上記チオール系化合物の使用割合は、化合物[A]100重量部に対して、好ましくは0.1〜50重量部、より好ましくは1〜20重量部の割合で含有している。チオール系化合物の量が、0.1重量部未満の場合は得られるスペーサーの膜べりやパターン形状不良が生じる傾向にあり、また、50重量部を超えると、同様にパターン形状不良が生じる傾向にある。
その具体例として、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾール、2−メルカプトベンゾイミダゾール、2−メルカプト−5−メトキシベンゾチアゾール、2−メルカプト−5−メトキシベンゾイミダゾールなどの芳香族系チオール、3−メルカプトプロピオン酸、3−メルカプトプロピオン酸メチル、3−メルカプトプロピオン酸エチル、3−メルカプトプロピオン酸オクチルなどの脂肪族系モノチオールが挙げられる。2官能以上の脂肪族チオールとして、3,6−ジオキサ−1,8−オクタンジチオール、ペンタエリストールテトラ(メルカプトアセテート)、ペンタエリストールテトラ(3−メルカプトプロピオネート)などが挙げられる。
When a biimidazole compound is used, a thiol compound can be used as the hydrogen donor compound. The biimidazole compound is sensitized by a benzophenone compound having a dialkylamino group, and the biimidazole compound is cleaved to generate an imidazole radical. In this case, a high radical polymerization initiating ability is not expressed, and an unfavorable shape such as a reverse taper shape is often obtained. This problem is alleviated by adding the thiol compound [C-5] to a system in which a biimidazole compound and a benzophenone compound having a dialkylamino group coexist. A hydrogen radical is donated from the thiol compound to the imidazole radical, thereby generating a compound having a neutral imidazole and a sulfur radical having a high polymerization initiating ability. Thereby, it becomes a more preferable forward taper shape from a reverse taper shape.
The use ratio of the thiol compound is preferably 0.1 to 50 parts by weight, more preferably 1 to 20 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the compound [A]. When the amount of the thiol compound is less than 0.1 part by weight, the resulting spacer tends to cause film slippage or poor pattern shape. When the amount exceeds 50 parts by weight, the pattern shape defect tends to occur similarly. is there.
Specific examples thereof include aromatic thiols such as 2-mercaptobenzothiazole, 2-mercaptobenzoxazole, 2-mercaptobenzimidazole, 2-mercapto-5-methoxybenzothiazole, 2-mercapto-5-methoxybenzimidazole, 3 -Aliphatic monothiols such as mercaptopropionic acid, methyl 3-mercaptopropionate, ethyl 3-mercaptopropionate and octyl 3-mercaptopropionate. Examples of the bifunctional or higher aliphatic thiol include 3,6-dioxa-1,8-octanedithiol, pentaerythritol tetra (mercaptoacetate), pentaerythritol tetra (3-mercaptopropionate), and the like.

−添加剤−
感光性樹脂組成物(イ)には、本発明の所期の効果を損なわない範囲内で、必要に応じて、前記成分以外の添加剤を配合することもできる。
例えば、塗布性を向上するために、界面活性剤を配合することができる。その界面活性剤は、フッ素系界面活性剤およびシリコーン系界面活性剤を好適に用いることができる。
-Additives-
In the photosensitive resin composition (A), additives other than the above components can be blended as necessary within the range not impairing the intended effect of the present invention.
For example, in order to improve applicability, a surfactant can be blended. As the surfactant, a fluorine-based surfactant and a silicone-based surfactant can be suitably used.

フッ素系界面活性剤としては、末端、主鎖および側鎖の少なくともいずれかの部位にフルオロアルキルまたはフルオロアルキレン基を有する化合物を好適に用いることができ、その具体例としては、1,1,2,2−テトラフロロオクチル(1,1,2,2−テトラフロロプロピル)エーテル、1,1,2,2−テトラフロロオクチルヘキシルエーテル、オクタエチレングリコールジ(1,1,2,2−テトラフロロブチル)エーテル、ヘキサエチレングリコール(1,1,2,2,3,3−ヘキサフロロペンチル)エーテル、オクタプロピレングリコールジ(1,1,2,2−テトラフロロブチル)エーテル、ヘキサプロピレングリコールジ(1,1,2,2,3,3−ヘキサフロロペンチル)エーテル、パーフロロドデシルスルホン酸ナトリウム、1,1,2,2,8,8,9,9,10,10−デカフロロドデカン、1,1,2,2,3,3−ヘキサフロロデカン、フルオロアルキルベンゼンスルホン酸ナトリウム、フルオロアルキルホスホン酸ナトリウム、フルオロアルキルカルボン酸ナトリウム、フルオロアルキルポリオキシエチレンエーテル、ジグリセリンテトラキス(フルオロアルキルポリオキシエチレンエーテル)、フルオロアルキルアンモニウムヨージド、フルオロアルキルベタイン、フルオロアルキルポリオキシエチレンエーテル、パーフルオロアルキルポリオキシエタノール、パーフルオロアルキルアルコキシレート、フッ素系アルキルエステル等を挙げることができる。   As the fluorosurfactant, a compound having a fluoroalkyl or fluoroalkylene group in at least one of the terminal, main chain and side chain can be suitably used. Specific examples thereof include 1,1,2 , 2-tetrafluorooctyl (1,1,2,2-tetrafluoropropyl) ether, 1,1,2,2-tetrafluorooctyl hexyl ether, octaethylene glycol di (1,1,2,2-tetrafluoro) Butyl) ether, hexaethylene glycol (1,1,2,2,3,3-hexafluoropentyl) ether, octapropylene glycol di (1,1,2,2-tetrafluorobutyl) ether, hexapropylene glycol di ( 1,1,2,2,3,3-hexafluoropentyl) ether, sodium perfluorododecyl sulfonate, 1,1,2,2,8,8,9,9,1 , 10-decafluorododecane, 1,1,2,2,3,3-hexafluorodecane, sodium fluoroalkylbenzenesulfonate, sodium fluoroalkylphosphonate, sodium fluoroalkylcarboxylate, fluoroalkylpolyoxyethylene ether, diglycerin Examples thereof include tetrakis (fluoroalkyl polyoxyethylene ether), fluoroalkyl ammonium iodide, fluoroalkyl betaine, fluoroalkyl polyoxyethylene ether, perfluoroalkyl polyoxyethanol, perfluoroalkyl alkoxylate, and fluorine-based alkyl ester. .

また、これらの市販品としては、例えばBM−1000、BM−1100(以上、BM CHEMIE社製)、メガファックF142D、同F172、同F173、同F183、同F178、同F191、同F471、同F476(以上、大日本インキ化学工業(株)製)、フロラードFC 170C、FC−171、FC−430、FC−431(以上、住友スリーエム(株)製)、サーフロンS−112、同S−113、同S−131、同S−141、同S−145、同S−382、同SC−101、同SC−102、同SC−103、同SC−104、同SC−105、同SC−106(以上、旭硝子(株)製)、エフトップEF301、同303、同352(以上、新秋田化成(株)製)、フタージェントFT−100、同FT−110、同FT−140A、同FT−150、同FT−250、同FT−251、同FTX−251、同FTX−218、同FT−300、同FT−310、同FT−400S(以上、(株)ネオス製)等を挙げることができる。
また、シリコーン系界面活性剤としては、例えばトーレシリコーンDC3PA、同DC7PA、同SH11PA、同SH21PA、同SH28PA、同SH29PA、同SH30PA、同SH−190、同SH−193、同SZ−6032、同SF−8428、同DC−57、同DC−190(以上、東レ・ダウコーニング・シリコーン(株)製)、TSF−4440、TSF−4300、TSF−4445、TSF−4446、TSF−4460、TSF−4452(以上、GE東芝シリコーン(株)製)等の商品名で市販されているものを挙げることができる。
Examples of these commercially available products include BM-1000, BM-1100 (manufactured by BM CHEMIE), MegaFuck F142D, F172, F173, F183, F178, F191, F191, F471, and F476. (Above, manufactured by Dainippon Ink & Chemicals, Inc.), Florard FC 170C, FC-171, FC-430, FC-431 (above, manufactured by Sumitomo 3M), Surflon S-112, S-113, S-131, S-141, S-145, S-382, SC-101, SC-102, SC-103, SC-104, SC-105, SC-106 ( Asahi Glass Co., Ltd.), Ftop EF301, 303, 352 (above, Shin-Akita Kasei Co., Ltd.), Footent FT-100, FT-11 FT-140A, FT-150, FT-250, FT-251, FTX-251, FTX-218, FT-300, FT-310, FT-400S ) Manufactured by Neos).
Examples of the silicone-based surfactant include Torre Silicone DC3PA, DC7PA, SH11PA, SH21PA, SH28PA, SH29PA, SH30PA, SH-190, SH-193, SZ-6032, SF -8428, DC-57, DC-190 (above, manufactured by Toray Dow Corning Silicone Co., Ltd.), TSF-4440, TSF-4300, TSF-4445, TSF-4446, TSF-4460, TSF-4442 (The above-mentioned, GE Toshiba Silicone Co., Ltd. product) etc. can be mentioned what is marketed.

また、前記以外の界面活性剤としては、例えば、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルエーテル類;ポリオキシエチレンn−オクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンn−ノニルフェニルエーテル等のポリオキシエチレンアリールエーテル類;ポリオキシエチレンジラウレート、ポリオキシエチレンジステアレート等のポリオキシエチレンジアルキルエステル類等のノニオン系界面活性剤や、市販品として、KP341(信越化学工業(株)製)、ポリフローNo.57、95(共栄社油脂化学工業(株)製)等を挙げることができる。
これらの界面活性剤は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
Examples of surfactants other than the above include polyoxyethylene alkyl ethers such as polyoxyethylene lauryl ether, polyoxyethylene stearyl ether, polyoxyethylene oleyl ether; polyoxyethylene n-octylphenyl ether, polyoxy Polyoxyethylene aryl ethers such as ethylene n-nonylphenyl ether; nonionic surfactants such as polyoxyethylene dialkyl esters such as polyoxyethylene dilaurate and polyoxyethylene distearate, and commercially available products such as KP341 (Shin-Etsu) Chemical Industry Co., Ltd.), Polyflow No. 57, 95 (manufactured by Kyoeisha Yushi Chemical Co., Ltd.) and the like.
These surfactants can be used alone or in admixture of two or more.

界面活性剤の配合量は、共重合体〔A〕100重量部に対して、好ましくは5重量部以下、さらに好ましくは2重量部以下である。この場合、界面活性剤の配合量が5重量部を超えると、塗布時に膜荒れを生じやすくなる傾向がある。
また、基体との密着性をさらに向上させるために、接着助剤を配合することができる。
The blending amount of the surfactant is preferably 5 parts by weight or less, and more preferably 2 parts by weight or less with respect to 100 parts by weight of the copolymer [A]. In this case, when the compounding amount of the surfactant exceeds 5 parts by weight, there is a tendency that film roughening is likely to occur during coating.
Moreover, in order to further improve the adhesion to the substrate, an adhesion assistant can be blended.

前記接着助剤としては、官能性シランカップリング剤が好ましく、その例としては、カルボキシル基、メタクリロイル基、イソシアネート基、エポキシ基等の反応性官能基を有するシランカップリング剤を挙げることができ、より具体的には、トリメトキシシリル安息香酸、γ−メタクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン、ビニルトリアセトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、γ−イソシアナートプロピルトリエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン等を挙げることができる。
これらの接着助剤は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
As the adhesion aid, a functional silane coupling agent is preferable, and examples thereof include a silane coupling agent having a reactive functional group such as a carboxyl group, a methacryloyl group, an isocyanate group, and an epoxy group. More specifically, trimethoxysilylbenzoic acid, γ-methacryloyloxypropyltrimethoxysilane, vinyltriacetoxysilane, vinyltrimethoxysilane, γ-isocyanatopropyltriethoxysilane, γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane and the like can be mentioned.
These adhesion assistants can be used alone or in admixture of two or more.

接着助剤の配合量は、共重合体〔A〕100重量部に対して、好ましくは20重量部以下、さらに好ましくは10重量部以下である。この場合、接着助剤の配合量が20重量部を超えると、現像残りが生じやすくなる傾向がある。   The compounding amount of the adhesion assistant is preferably 20 parts by weight or less, more preferably 10 parts by weight or less with respect to 100 parts by weight of the copolymer [A]. In this case, when the blending amount of the adhesion assistant exceeds 20 parts by weight, there is a tendency that a development residue is likely to occur.

その他添加剤を加えることができる。保存安定性の向上などを目的として添加される。具体的には、硫黄、キノン類、ヒドロキノン類、ポリオキシ化合物、アミン、ニトロニトロソ化合物が挙げられる。その例として、4−メトキシフェノール、N−ニトロソ−N−フェニルヒドロキシルアミンアルミニウムなどが挙げられる。これらは、共重合体[A]100重量部に対して、好ましくは3.0重量部以下、より好ましくは0.001〜0.5重量部で用いられる。3.0重量部を超える場合は、十分な感度が得られず、パターン形状が悪化する。   Other additives can be added. It is added for the purpose of improving storage stability. Specific examples include sulfur, quinones, hydroquinones, polyoxy compounds, amines, and nitronitroso compounds. Examples thereof include 4-methoxyphenol and N-nitroso-N-phenylhydroxylamine aluminum. These are preferably used in an amount of 3.0 parts by weight or less, more preferably 0.001 to 0.5 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the copolymer [A]. When the amount exceeds 3.0 parts by weight, sufficient sensitivity cannot be obtained, and the pattern shape deteriorates.

また、耐熱性向上のため、N−(アルコキシメチル)グリコールウリル化合物、N−(アルコキシメチル)メラミン化合物および2官能以上のエポキシ基を1分子中に有する化合物を添加することができる。前記N−(アルコキシメチル)グリコールウリル化合物の具体例としては、N,N,N,N−テトラ(メトキシメチル)グリコールウリル、N,N,N,N−テトラ(エトキシメチル)グリコールウリル、N,N,N,N−テトラ(n−プロポキシメチル)グリコールウリル、N,N,N,N−テトラ(i−プロポキシメチル)グリコールウリル、N,N,N,N−テトラ(n−ブトキシメチル)グリコールウリル、N,N,N,N−テトラ(t−ブトキシメチル)グリコールウリル等を挙げることができる。これらのうち特に、N,N,N,N−テトラ(メトキシメチル)グリコールウリルが好ましい。前記N−(アルコキシメチル)メラミン化合物の具体例としては、N,N,N,N,N,N−ヘキサ(メトキシメチル)メラミン、N,N,N,N,N,N−ヘキサ(エトキシメチル)メラミン、N,N,N,N,N,N−ヘキサ(n−プロポキシメチル)メラミン、N,N,N,N,N,N−ヘキサ(i−プロポキシメチル)メラミン、N,N,N,N,N,N−ヘキサ(n−ブトキシメチル)メラミン、N,N,N,N,N,N−ヘキサ(t−ブトキシメチル)メラミン等を挙げることができる。これらのうち特に、N,N,N,N,N,N−ヘキサ(メトキシメチル)メラミンが好ましい。これらの市販品としては、ニカラックN−2702、MW−30M(以上 三和ケミカル(株)製)等が挙げられる。
2官能以上のエポキシ基を1分子中に有する化合物としては、エチレングリコールジグリシジルエーテル、ジエチレングリコールジグリシジルエーテル、ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル、プロピレングリコールジグリシジルエーテル、トリプロピレングリコールジグリシジルエーテル、ポリプロピレングリコールジグリシジルエーテル、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、1,6−ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、グリセリンジグリシジルエーテル、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、水添ビスフェノールAジグリシジルエーテル、ビスフェノールAジグリシジルエーテル等が挙げられる。これら市販品の具体例としては、エポライト40E,エポライト100E,エポライト200E,エポライト70P,エポライト200P,エポライト400P,エポライト40E,エポライト1500NP,エポライト1600,エポライト80MF,エポライト100MF,エポライト4000、エポライト3002(以上 共栄社化学(株)製)等が挙げられる。これらは単独もしくは2種以上の組み合わせで使用できる。
In order to improve heat resistance, an N- (alkoxymethyl) glycoluril compound, an N- (alkoxymethyl) melamine compound, and a compound having a bifunctional or higher functional epoxy group in one molecule can be added. Specific examples of the N- (alkoxymethyl) glycoluril compound include N, N, N, N-tetra (methoxymethyl) glycoluril, N, N, N, N-tetra (ethoxymethyl) glycoluril, N, N, N, N-tetra (n-propoxymethyl) glycoluril, N, N, N, N-tetra (i-propoxymethyl) glycoluril, N, N, N, N-tetra (n-butoxymethyl) glycol Examples include uril, N, N, N, N-tetra (t-butoxymethyl) glycoluril and the like. Of these, N, N, N, N-tetra (methoxymethyl) glycoluril is particularly preferable. Specific examples of the N- (alkoxymethyl) melamine compound include N, N, N, N, N, N-hexa (methoxymethyl) melamine, N, N, N, N, N, N-hexa (ethoxymethyl). ) Melamine, N, N, N, N, N, N-hexa (n-propoxymethyl) melamine, N, N, N, N, N, N-hexa (i-propoxymethyl) melamine, N, N, N , N, N, N-hexa (n-butoxymethyl) melamine, N, N, N, N, N, N-hexa (t-butoxymethyl) melamine and the like. Of these, N, N, N, N, N, N-hexa (methoxymethyl) melamine is particularly preferable. Examples of these commercially available products include Nicalac N-2702, MW-30M (manufactured by Sanwa Chemical Co., Ltd.) and the like.
Examples of the compound having a bifunctional or higher functional epoxy group in one molecule include ethylene glycol diglycidyl ether, diethylene glycol diglycidyl ether, polyethylene glycol diglycidyl ether, propylene glycol diglycidyl ether, tripropylene glycol diglycidyl ether, and polypropylene glycol diglycidyl. Examples include ether, neopentyl glycol diglycidyl ether, 1,6-hexanediol diglycidyl ether, glycerin diglycidyl ether, trimethylolpropane triglycidyl ether, hydrogenated bisphenol A diglycidyl ether, and bisphenol A diglycidyl ether. Specific examples of these commercially available products include Epolite 40E, Epolite 100E, Epolite 200E, Epolite 70P, Epolite 200P, Epolite 400P, Epolite 40E, Epolite 1500NP, Epolite 1600, Epolite 80MF, Epolite 100MF, Epolite 4000, Epolite 3002 (and more) Chemical Co., Ltd.). These can be used alone or in combination of two or more.

組成物溶液
感光性樹脂組成物(イ)は、その使用に際して、通常、共重合体〔A〕、重合性化合物〔B〕、光重合開始剤〔C〕等の構成成分を適当な溶剤を溶解して、組成物溶液として調製される。
前記組成物溶液の調製に使用される溶剤としては、感光性樹脂組成物(イ)を構成する各成分を均一に溶解し、かつ各成分と反応しないものが用いられる。
このような溶媒としては、上述した共重合体[A]を製造するために使用できる溶媒として例示したものと同様のものを挙げることができる。
Composition solution The photosensitive resin composition (A) is usually dissolved in a suitable solvent with constituent components such as a copolymer [A], a polymerizable compound [B], and a photopolymerization initiator [C]. Then, it is prepared as a composition solution.
As a solvent used for the preparation of the composition solution, a solvent that uniformly dissolves each component constituting the photosensitive resin composition (A) and does not react with each component is used.
As such a solvent, the thing similar to what was illustrated as a solvent which can be used in order to manufacture copolymer [A] mentioned above can be mentioned.

このような溶媒のうち、各成分の溶解性、各成分との反応性、塗膜形成のし易さ等の点から、例えばアルコール、グリコールエーテル、エチレングリコールアルキルエーテルアセテート、エステルおよびジエチレングリコールが好ましく用いられる。これらのうち、例えばベンジルアルコール、2−フェニルエチルアルコール、3−フェニル−1−プロパノール、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、メトキシプロピオン酸メチル、エトキシプロピオン酸エチルが特に好ましく使用できる。   Of these solvents, alcohols, glycol ethers, ethylene glycol alkyl ether acetates, esters and diethylene glycol are preferably used from the viewpoints of solubility of each component, reactivity with each component, ease of film formation, and the like. It is done. Among these, for example, benzyl alcohol, 2-phenylethyl alcohol, 3-phenyl-1-propanol, ethylene glycol monobutyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol ethyl methyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, propylene glycol monomethyl ether Propylene glycol monomethyl ether acetate, methyl methoxypropionate, and ethyl ethoxypropionate can be particularly preferably used.

さらに前記溶媒とともに膜厚の面内均一性を高めるため、高沸点溶媒を併用することもできる。併用できる高沸点溶媒としては、例えばN−メチルホルムアミド、N,N−ジメチルホルムアミド、N−メチルホルムアニリド、N−メチルアセトアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリドン、ジメチルスルホキシド、ベンジルエチルエーテル、ジヘキシルエーテル、アセトニルアセトン、イソホロン、カプロン酸、カプリル酸、1−オクタノール、1−ノナノール、酢酸ベンジル、安息香酸エチル、シュウ酸ジエチル、マレイン酸ジエチル、γ−ブチロラクトン、炭酸エチレン、炭酸プロピレン、フェニルセロソルブアセテートなどが挙げられる。これらのうち、N−メチルピロリドン、γ−ブチロラクトン、N,N−ジメチルアセトアミドが好ましい。   Furthermore, in order to improve the in-plane uniformity of the film thickness together with the solvent, a high boiling point solvent can be used in combination. Examples of the high boiling point solvent that can be used in combination include N-methylformamide, N, N-dimethylformamide, N-methylformanilide, N-methylacetamide, N, N-dimethylacetamide, N-methylpyrrolidone, dimethylsulfoxide, and benzylethyl ether. , Dihexyl ether, acetonyl acetone, isophorone, caproic acid, caprylic acid, 1-octanol, 1-nonanol, benzyl acetate, ethyl benzoate, diethyl oxalate, diethyl maleate, γ-butyrolactone, ethylene carbonate, propylene carbonate, phenyl Examples include cellosolve acetate. Of these, N-methylpyrrolidone, γ-butyrolactone, and N, N-dimethylacetamide are preferable.

このように調製された組成物溶液は、必要に応じて、孔径が例えば0.2〜0.5μm程度のミリポアフィルタ等によりろ過して、使用に供することもできる。   The composition solution prepared in this way can be used for use after filtration through a Millipore filter having a pore size of, for example, about 0.2 to 0.5 μm, if necessary.

本発明の感光性樹脂組成物(イ)は、固形分濃度と25℃における粘度が下記式(1)〜(4)の関係を満たす必要がある。
LogY≦0.04X−0.08 ・・・(1)
LogY≧0.04X−0.50 ・・・(2)
LogY≧0.30 ・・・(3)
LogY≦1.08 ・・・(4)
ここで、Xは固形分濃度(重量%)でありそしてYはこの組成物の25℃における粘度(mPa・s)である。
In the photosensitive resin composition (A) of the present invention, the solid content concentration and the viscosity at 25 ° C. need to satisfy the relationships of the following formulas (1) to (4).
LogY ≦ 0.04X−0.08 (1)
LogY ≧ 0.04X−0.50 (2)
LogY ≧ 0.30 (3)
LogY ≦ 1.08 (4)
Where X is the solids concentration (% by weight) and Y is the viscosity of this composition at 25 ° C. (mPa · s).

LogYが0.30より小さい粘度ではスリットダイコーターで塗布した際に基板端部において塗布膜の膜厚が不均一となり、またLogYが1.08より大きい粘度ではスリットノズルからの液切れが生じ易い。液切れの発生は筋上ムラを生じるので好ましくない。
また、LogY>0.04X−0.08の場合には、固形分濃度が十分でなく、塗膜の乾燥に長時間を要し、生産性が低下するので好ましくない。LogY<0.04X−0.50の場合には、パターン形状が逆テーパーになり易くなるため好ましくない。
When the LogY viscosity is less than 0.30, the coating film thickness is uneven at the edge of the substrate when coated with a slit die coater, and when the LogY viscosity is greater than 1.08, liquid breakage from the slit nozzle tends to occur. . The occurrence of liquid breakage is not preferable because it causes unevenness on the muscles.
Further, LogY> 0.04X-0.08 is not preferable because the solid concentration is not sufficient, and it takes a long time to dry the coating film, resulting in a decrease in productivity. When LogY <0.04X−0.50, the pattern shape tends to be reversely tapered, which is not preferable.

感光性樹脂組成物(イ)は、特に、液晶パネルやタッチパネルなどの表示パネル用スペーサーを形成するための材料として好適である。
表示パネル用スペーサー
感光性樹脂組成物(イ)を用いて表示パネル用スペーサーを形成する際には、組成物溶液を基板の表面に塗布したのち、プレベークして溶剤を除去することにより、塗膜を形成する。
The photosensitive resin composition (A) is particularly suitable as a material for forming spacers for display panels such as liquid crystal panels and touch panels.
When forming a display panel spacer using the display panel spacer photosensitive resin composition (a), after applying the composition solution to the surface of the substrate, pre-baking to remove the solvent, the coating film Form.

組成物溶液の塗布方法としては、例えば、スプレー法、ロールコート法、回転塗布法(スピンコート法)、スリットダイ塗布法、バー塗布法、インクジェット塗布法等の適宜の方法を採用することができ、特にスピンコート法、スリットダイ塗布法が好ましい。
また、プレベークの条件は、各構成成分の種類、配合割合などによっても異なるが、通常、70〜90℃で1〜15分間程度である。
As a coating method of the composition solution, for example, an appropriate method such as a spray method, a roll coating method, a spin coating method (spin coating method), a slit die coating method, a bar coating method, or an ink jet coating method can be employed. In particular, a spin coating method and a slit die coating method are preferable.
Moreover, although the conditions of prebaking differ also with the kind of each structural component, a mixture ratio, etc., it is normally about 1 to 15 minutes at 70-90 degreeC.

次いで、プレベークされた塗膜に、所定パターンのマスクを介し露光して重合させたのち、現像液により現像し、不要な部分を除去して、パターンを形成する。
露光に使用される放射線としては、可視光線、紫外線、遠紫外線、荷電粒子線、X線等を適宜に選択できるが、波長が190〜450nmの範囲にある放射線が好ましい。
現像方法としては、例えば、液盛り法、浸漬法、シャワー法等の何れでもよく、現像時間は、通常、30〜180秒間である。
Next, the pre-baked coating film is exposed and polymerized through a mask having a predetermined pattern, and then developed with a developing solution, and unnecessary portions are removed to form a pattern.
As radiation used for exposure, visible light, ultraviolet light, far ultraviolet light, charged particle beam, X-ray and the like can be appropriately selected, but radiation having a wavelength in the range of 190 to 450 nm is preferable.
As the developing method, for example, any of a liquid filling method, a dipping method, a shower method and the like may be used, and the developing time is usually 30 to 180 seconds.

前記現像液としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、メタケイ酸ナトリウム、アンモニア等の無機アルカリ類;エチルアミン、n−プロピルアミン等の1級アミン類;ジエチルアミン、ジ−n−プロピルアミン等の2級アミン類;トリメチルアミン、メチルジエチルアミン、エチルジメチルアミン、トリエチルアミン等の3級アミン類;ジメチルエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリエタノールアミン等の3級アルカノールアミン類;ピロール、ピペリジン、N−メチルピペリジン、N−メチルピロリジン、1,8−ジアザビシクロ[5.4.0]−7−ウンデセン、1,5−ジアザビシクロ[4.3.0]−5−ノネン等の脂環族3級アミン類;ピリジン、コリジン、ルチジン、キノリン等の芳香族3級アミン類;テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド等の4級アンモニウム塩等のアルカリ性化合物の水溶液を使用することができる。
また、前記アルカリ性化合物の水溶液には、メタノール、エタノール等の水溶性有機溶媒および/または界面活性剤を適当量添加することもできる。
Examples of the developer include inorganic alkalis such as sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, sodium silicate, sodium metasilicate, and ammonia; primary amines such as ethylamine and n-propylamine; Secondary amines such as n-propylamine; tertiary amines such as trimethylamine, methyldiethylamine, ethyldimethylamine and triethylamine; tertiary alkanolamines such as dimethylethanolamine, methyldiethanolamine and triethanolamine; pyrrole and piperidine , N-methylpiperidine, N-methylpyrrolidine, 1,8-diazabicyclo [5.4.0] -7-undecene, 1,5-diazabicyclo [4.3.0] -5-nonene 3 Secondary amines: pyridine, collidine, ru Jin, aromatic tertiary amines such as quinoline; tetramethylammonium hydroxide, the aqueous solution of an alkaline compound such as quaternary ammonium salts such as tetraethyl ammonium hydroxide may be used.
In addition, an appropriate amount of a water-soluble organic solvent such as methanol or ethanol and / or a surfactant can be added to the aqueous solution of the alkaline compound.

現像後、例えば流水洗浄等により、例えば30〜90秒間洗浄して、不要な部分を除去したのち、圧縮空気や圧縮窒素を吹きつけて乾燥させることにより、所定のパターンが形成される。
その後、このパターンを、ホットプレート、オーブン等の加熱装置により、所定温度、例えば150〜250℃で、所定時間、ホットプレート上では例えば5〜30分間、オーブン中では例えば30〜90分間、加熱処理することにより、目的とするスペーサーを得ることができる。
After development, for example, by washing with running water, for example, for 30 to 90 seconds, unnecessary portions are removed, and then compressed air or compressed nitrogen is blown to dry to form a predetermined pattern.
Thereafter, the pattern is heated by a heating device such as a hot plate or an oven at a predetermined temperature, for example, 150 to 250 ° C., for a predetermined time, for example, for 5 to 30 minutes on the hot plate, or for 30 to 90 minutes in the oven. By doing so, the target spacer can be obtained.

以下に、実施例および比較例を示して、本発明をさらに具体的に説明するが、本発明は、これらの実施例に限定されるものではない。
合成例1
冷却管、撹拌機を備えたフラスコに、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)5重量部、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル224重量部を仕込み、引き続いてメタクリル酸15重量部、メタクリル酸グリシジル30重量部、スチレン8重量部、メタクリル酸トリシクロ[ 5.2.1.02,6]デカン−8−イル44重量部を仕込んで、窒素置換したのち、さらに1,3−ブタジエン5重量部を仕込み、緩やかに攪拌しつつ、溶液の温度を70℃に上昇させ、この温度を4時間保持して重合させて、共重合体〔A−1〕の溶液を得た。
この溶液の固形分濃度は29.1重量%であり、共重合体〔A−1〕のMwは10,000であった。
EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples and comparative examples. However, the present invention is not limited to these examples.
Synthesis example 1
A flask equipped with a condenser and a stirrer was charged with 5 parts by weight of 2,2′-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) and 224 parts by weight of diethylene glycol methyl ethyl ether, followed by 15 parts by weight of methacrylic acid and methacrylic acid. After charging 30 parts by weight of glycidyl, 8 parts by weight of styrene, and 44 parts by weight of tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decan-8-yl methacrylate, and substituting with nitrogen, 5 weights of 1,3-butadiene is further added. The temperature of the solution was raised to 70 ° C. while gently stirring, and the temperature was maintained for 4 hours for polymerization to obtain a solution of copolymer [A-1].
The solid content concentration of this solution was 29.1% by weight, and the Mw of the copolymer [A-1] was 10,000.

合成例2
冷却管、撹拌機を備えたフラスコに、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)7重量部、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル255重量部を仕込み、引き続いてメタクリル酸15重量部、メタクリル酸グリシジル30重量部、スチレン8重量部、メタクリル酸トリシクロ[ 5.2.1.02,6]デカン−8−イル47重量部を仕込んで、窒素置換したのち、さらに1,3−ブタジエン5重量部を仕込み、緩やかに攪拌しつつ、溶液の温度を70℃に上昇させ、この温度を4時間保持して重合させて、共重合体〔A−2〕の溶液を得た。
この溶液の固形分濃度は29.0重量%であり、共重合体〔A−2〕のMwは5,000であった。
Synthesis example 2
A flask equipped with a condenser and a stirrer was charged with 7 parts by weight of 2,2′-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) and 255 parts by weight of diethylene glycol methyl ethyl ether, followed by 15 parts by weight of methacrylic acid and methacrylic acid. After charging 30 parts by weight of glycidyl, 8 parts by weight of styrene, 47 parts by weight of tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decan-8-yl methacrylate, and substituting with nitrogen, 5 weights of 1,3-butadiene is further added. The temperature of the solution was raised to 70 ° C. while stirring gently, and this temperature was maintained for 4 hours for polymerization to obtain a solution of copolymer [A-2].
The solid content concentration of this solution was 29.0% by weight, and the Mw of the copolymer [A-2] was 5,000.

合成例3
冷却管、撹拌機を備えたフラスコに、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)2重量部、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル150重量部を仕込み、引き続いてメタクリル酸15重量部、メタクリル酸グリシジル30重量部、スチレン8重量部、メタクリル酸トリシクロ[ 5.2.1.02,6]デカン−8−イル44重量部を仕込んで、窒素置換したのち、緩やかに攪拌しつつ、溶液の温度を70℃に上昇させ、この温度を7時間保持して重合させて、共重合体〔A−3〕の溶液を得た。
この溶液の固形分濃度は37.8重量%であり、共重合体〔A−3〕のMwは50,000であった。
Synthesis example 3
A flask equipped with a condenser and a stirrer was charged with 2 parts by weight of 2,2′-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) and 150 parts by weight of diethylene glycol methyl ethyl ether, followed by 15 parts by weight of methacrylic acid and methacrylic acid. After charging 30 parts by weight of glycidyl, 8 parts by weight of styrene, and 44 parts by weight of tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decan-8-yl methacrylate, and purging with nitrogen, The temperature was raised to 70 ° C., and this temperature was maintained for 7 hours for polymerization to obtain a solution of copolymer [A-3].
The solid content concentration of this solution was 37.8% by weight, and the Mw of the copolymer [A-3] was 50,000.

合成例4
冷却管、撹拌機を備えたフラスコに、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)3.5重量部、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル180重量部を仕込み、引き続いてメタクリル酸15重量部、メタクリル酸グリシジル30重量部、スチレン8重量部、メタクリル酸トリシクロ[ 5.2.1.02,6]デカン−8−イル44重量部を仕込んで、窒素置換したのち、緩やかに攪拌しつつ、溶液の温度を70℃に上昇させ、この温度を5時間保持して重合させて、共重合体〔A−4〕の溶液を得た。
この溶液の固形分濃度は34.0重量%であり、共重合体〔A−4〕のMwは30,000であった。
Synthesis example 4
A flask equipped with a condenser and a stirrer was charged with 3.5 parts by weight of 2,2′-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) and 180 parts by weight of diethylene glycol methyl ethyl ether, followed by 15 parts by weight of methacrylic acid, While charging 30 parts by weight of glycidyl methacrylate, 8 parts by weight of styrene, and 44 parts by weight of tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decan-8-yl methacrylate, and substituting with nitrogen, The temperature of the solution was raised to 70 ° C., and this temperature was maintained for 5 hours for polymerization to obtain a solution of copolymer [A-4].
The solid content concentration of this solution was 34.0% by weight, and the Mw of the copolymer [A-4] was 30,000.

合成例5
冷却管、撹拌機を備えたフラスコに、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)5重量部、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル224重量部を仕込み、引き続いてメタクリル酸15重量部、メタクリル酸グリシジル30重量部、スチレン8重量部、メタクリル酸トリシクロ[ 5.2.1.02,6]デカン−8−イル44重量部を仕込んで、窒素置換したのち、緩やかに攪拌しつつ、溶液の温度を70℃に上昇させ、この温度を4時間保持して重合させて、共重合体〔A−5〕の溶液を得た。
この溶液の固形分濃度は29.7重量%であり、共重合体〔A−5〕のMwは10,000であった。
Synthesis example 5
A flask equipped with a condenser and a stirrer was charged with 5 parts by weight of 2,2′-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) and 224 parts by weight of diethylene glycol methyl ethyl ether, followed by 15 parts by weight of methacrylic acid and methacrylic acid. After charging 30 parts by weight of glycidyl, 8 parts by weight of styrene, and 44 parts by weight of tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decan-8-yl methacrylate, and purging with nitrogen, The temperature was raised to 70 ° C., and this temperature was maintained for 4 hours for polymerization to obtain a solution of copolymer [A-5].
The solid content concentration of this solution was 29.7% by weight, and the Mw of the copolymer [A-5] was 10,000.

実施例1
組成物溶液の調製
共重合体〔A〕として合成例1で得た共重合体〔A−1〕の溶液100重量部(固形分)、重合性化合物〔B〕としてKAYARAD DPHA(日本化薬(株)製)100重量部、光重合開始剤〔C〕として2−ベンジル−2−N,N−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−1−ブタノン(商品名「IRGACURE 369」、チバ・スペシャリティー・ケミカルズ社製)15重量部を混合し、固形分濃度が25.5重量%になるように溶剤としてジエチレングリコールメチルエチルエーテルに溶解したのち、孔径0.2μmのPTFEフィルタでろ過して、組成物溶液(S−1)を調製した。
(I)減圧乾燥(VCD)時間の評価
550×650mmのクロム成膜ガラス上に、調製した組成物溶液を、スリットダイコーター(TR632105−CL、東京応化工業(株)製)を用いて硬化後の膜厚が4μm、及び1.5μmになるような条件で塗布した。その後、減圧度が常圧から0.5Torrに到達するまでの時間を測定した。VCD時間は短い方が有利である。
(II)塗布性(基板持ち上げピン跡)の評価
550×650mmのクロム成膜ガラス上に、調製した組成物溶液を、スリットダイコーターを用いて塗布した。0.5Torrまで減圧乾燥した後、ホットプレート上で100℃にて2分間プレベークして塗膜を形成し、さらに2000J/mの露光量で露光することにより、クロム成膜ガラスの上面からの膜厚が4μm、及び1.5μmの膜を形成した。
Example 1
Preparation of Composition Solution 100 parts by weight (solid content) of the copolymer [A-1] obtained in Synthesis Example 1 as a copolymer [A], and KAYARAD DPHA (Nippon Kayaku) as a polymerizable compound [B] Co., Ltd.) 100 parts by weight, 2-benzyl-2-N, N-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -1-butanone (trade name “IRGACURE 369”, Ciba as photopolymerization initiator [C] (Specialty Chemicals) 15 parts by weight is mixed, dissolved in diethylene glycol methyl ethyl ether as a solvent so that the solid content concentration is 25.5% by weight, and then filtered through a PTFE filter with a pore size of 0.2 μm. A composition solution (S-1) was prepared.
(I) Evaluation of vacuum drying (VCD) time After curing the prepared composition solution on a 550 × 650 mm chromium-deposited glass using a slit die coater (TR632105-CL, manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.) The film thickness was 4 μm and 1.5 μm. Thereafter, the time until the degree of reduced pressure reached 0.5 Torr from normal pressure was measured. A shorter VCD time is advantageous.
(II) Evaluation of applicability (substrate lift pin mark) The prepared composition solution was applied onto a 550 × 650 mm chromium-deposited glass using a slit die coater. After drying under reduced pressure to 0.5 Torr, pre-baking on a hot plate at 100 ° C. for 2 minutes to form a coating film, and further exposing at an exposure amount of 2000 J / m 2 , Films with film thicknesses of 4 μm and 1.5 μm were formed.

膜表面をナトリウムランプにて照らし、目視にて塗布膜面を確認した。基板持ち上げピン跡がはっきりと確認できた場合は×、僅かに確認できた場合は△、殆ど確認できなかった場合は○、一切の基板持ち上げピン跡を確認できなかった場合は◎とした。
(III)塗布性(ユニフォミティ)の評価
上述のようにして作製したクロム成膜ガラス上の塗膜の膜厚を、針接触式測定機(KLA Tencor社製 AS200)を用いて測定した。
ユニフォミティとして、9つの測定点における膜厚から計算した。9つの測定点とは基板の短軸方向をX、長軸方向をYとすると、(X[mm]、Y[mm])が、(275、20)、(275、30)、(275、60)、(275、100)、(275、325)、(275、550)、(275、590)、(275、620)、(275、630)である。
ユニフォミティの計算式としては、下記数式(3)で表される。下記数式(3)のFT(X、Y)maxは9つの測定点における膜厚中の最大値、FT(X、Y)minは9つの測定点における膜厚中の最小値、FT(X、Y)avgは9つの測定点における膜厚中の平均値である。ユニフォミティが2%未満の場合は◎、2〜3%の場合は○、3〜5%の場合は△、5%以上の場合は×とした。
ユニフォミティ(%)={FT(X、Y)max − FT(X、Y)min}×100/{2×FT(X、Y)avg} (3)
The surface of the film was illuminated with a sodium lamp, and the coated film surface was visually confirmed. When the substrate lifting pin trace was clearly confirmed, it was evaluated as “X”, when it was confirmed slightly, “△” when almost not confirmed, and “◎” when no substrate lifting pin trace was confirmed.
(III) Evaluation of applicability (uniformity) The film thickness of the coating film on the chromium film-forming glass produced as described above was measured using a needle contact type measuring instrument (AS200 manufactured by KLA Tencor).
The uniformity was calculated from the film thickness at nine measurement points. The nine measurement points are X (mm) and Y (mm) when the short axis direction of the substrate is X and the long axis direction is Y (275, 20), (275, 30), (275, 60), (275, 100), (275, 325), (275, 550), (275, 590), (275, 620), (275, 630).
The uniformity calculation formula is expressed by the following formula (3). In the following formula (3), FT (X, Y) max is the maximum value in the film thickness at nine measurement points, FT (X, Y) min is the minimum value in the film thickness at nine measurement points, and FT (X, Y Y) avg is an average value in the film thickness at nine measurement points. When the uniformity is less than 2%, ◎, when 2-3%, ◯, when 3-5%, △, when 5% or more, ×.
Uniformity (%) = {FT (X, Y) max−FT (X, Y) min} × 100 / {2 × FT (X, Y) avg} (3)

(IV)パターン形状の評価
無アルカリガラス基板上にスピンナーを用いて、前記組成物溶液を塗布した後、90℃で3分間ホットプレート上でプレベークして、膜厚1.5μmの塗膜を形成した。
次いで得られた被膜に10μm角の残しパターンのマスクを介して、365nmでの強度が200W/m2で、紫外線を10秒間照射した。その後、水酸化カリウム0.05重量%水溶液で25℃、60秒間現像した後、純水で1分間リンスした。さらに、オーブン中、150℃で120分間加熱しスペーサーを形成した。
得られたスペーサーパターンの断面形状を走査型電子顕微鏡にて観察した結果を、図1に示したA〜Cのどの形状に当たるかで表1に示した。AあるいはBのようにパターンエッジが順テーパーあるいは垂直状に形成された場合には、パターン形状は良好といえる。Cに示した如く、逆テーパ(断面形状において膜表面の辺が、基板側の辺よりも長いもの、逆三角形状)となる形状は後のラビング工程時にパターンが剥がれる可能性が非常に高くなることから、このような形状を不良とした。
(IV) Evaluation of pattern shape After applying the composition solution on a non-alkali glass substrate using a spinner, pre-baking on a hot plate at 90 ° C. for 3 minutes to form a coating film having a thickness of 1.5 μm did.
Subsequently, the obtained film was irradiated with ultraviolet rays for 10 seconds at an intensity of 365 W / m 2 at 365 nm through a mask having a 10 μm square pattern. Thereafter, development was performed with a 0.05 wt% potassium hydroxide aqueous solution at 25 ° C. for 60 seconds, and then rinsed with pure water for 1 minute. Furthermore, it heated at 150 degreeC for 120 minute (s) in oven, and the spacer was formed.
The results of observing the cross-sectional shape of the obtained spacer pattern with a scanning electron microscope are shown in Table 1 depending on which shape of A to C shown in FIG. When the pattern edge is formed in a forward taper or vertical shape as in A or B, the pattern shape can be said to be good. As shown in C, the shape that becomes a reverse taper (in which the side of the film surface in the cross-sectional shape is longer than the side on the substrate side, an inverted triangular shape) is very likely to peel off the pattern during the subsequent rubbing process. Therefore, such a shape was regarded as defective.

(V)粘度の測定
E型粘度計(東機産業(株)製 VISCONIC ELD.R)で25℃で測定した。
(VI)固形分濃度の測定
組成物溶液約0.3gをアルミ皿に精坪し、ジエチレングリコールジメチルエーテル約1gを加えたのち、175℃で60分間ホットプレート上で乾燥させて、乾燥前後の重量から固形分濃度を求めた。
(V) Viscosity measurement It measured at 25 degreeC with the E-type viscosity meter (Toki Sangyo Co., Ltd. VISCONIC ELD.R).
(VI) Measurement of Solid Concentration About 0.3 g of the composition solution is prepared on an aluminum dish, about 1 g of diethylene glycol dimethyl ether is added, and then dried on a hot plate at 175 ° C. for 60 minutes. The solid content concentration was determined.

実施例2〜11、比較例1〜5
実施例1において、〔A〕成分〜〔C〕成分として、表1に記載の通りの種類、量を使用した他は、実施例1と同様にして、組成物溶液を調製し、塗膜を形成して、評価した。[B]〜[C]の添加量は、共重合体[A]100重量部に対しての重量比である。
Examples 2-11, Comparative Examples 1-5
In Example 1, a composition solution was prepared in the same manner as in Example 1 except that the types and amounts described in Table 1 were used as [A] component to [C] component. Formed and evaluated. The addition amount of [B]-[C] is a weight ratio with respect to 100 parts by weight of the copolymer [A].

表1中、成分の略称は次の化合物を示す。
(B−1):ジペンタエリストールヘキサアクリレート
(KAYARAD DPHA(日本化薬(株)製)
(B−2):KAYARAD DPHA−40H(日本化薬(株)製)
(日本化薬(株)製)
(C−1):2−ベンジル−2−N,N−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−1−ブタノン
(チバ・スペシャルティー・ケミカルズ社製 IRGACURE 369)
(C−2):2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルホリノプロパン−1−オン
(チバ・スペシャルティー・ケミカルズ社製 IRGACURE 907)
(C−3):2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール
(C−4):4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン
(C−5):2−メルカプトベンゾチアゾール
表1中、−印は、該成分が添加されていないことを示す。
In Table 1, the abbreviations of the components indicate the following compounds.
(B-1): Dipentaerystol hexaacrylate (KAYARAD DPHA (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
(B-2): KAYARAD DPHA-40H (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
(Nippon Kayaku Co., Ltd.)
(C-1): 2-benzyl-2-N, N-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -1-butanone (IRGACURE 369, manufactured by Ciba Specialty Chemicals)
(C-2): 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one (IRGACURE 907 manufactured by Ciba Specialty Chemicals)
(C-3): 2,2′-bis (2,4-dichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole (C-4): 4,4 ′ -Bis (diethylamino) benzophenone (C-5): 2-mercaptobenzothiazole In Table 1,-mark shows that this component is not added.

Figure 2006184841
Figure 2006184841

スペーサーパターンの模式的断面形状Schematic cross-sectional shape of spacer pattern

符号の説明Explanation of symbols

A・・・パターンエッジが順テーパー状の形状
B・・・パターンエッジが垂直状の形状
C・・・パターンエッジが逆テーパー状の形状
A: Pattern edge has a forward tapered shape B ... Pattern edge has a vertical shape C ... Pattern edge has a reverse tapered shape

Claims (3)

〔A〕(a1)エチレン性不飽和カルボン酸およびエチレン性不飽和カルボン酸無水物よりなる群から選ばれる少なくとも1種と、(a2)エポキシ基含有エチレン性不飽和化合物と(a3)(a1)および(a2)とは異なる他のエチレン性不飽和化合物との共重合体、
〔B〕エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物および
〔C〕光重合開始剤を含有してなり、そして
固形分濃度と25℃における粘度が下記式(1)〜(4):
LogY≦0.04X−0.08 ・・・(1)
LogY≧0.04X−0.50 ・・・(2)
LogY≧0.30 ・・・(3)
LogY≦1.08 ・・・(4)
ここで、Xは固形分濃度(重量%)でありそしてYは25℃における粘度(mPa・s)である、
の関係を満たす、
ことを特徴とする感光性樹脂組成物。
[A] (a1) at least one selected from the group consisting of ethylenically unsaturated carboxylic acids and ethylenically unsaturated carboxylic acid anhydrides, (a2) an epoxy group-containing ethylenically unsaturated compound, and (a3) (a1) And a copolymer with another ethylenically unsaturated compound different from (a2),
[B] A polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond and [C] a photopolymerization initiator, and having a solid content concentration and a viscosity at 25 ° C. of the following formulas (1) to (4):
LogY ≦ 0.04X−0.08 (1)
LogY ≧ 0.04X−0.50 (2)
LogY ≧ 0.30 (3)
LogY ≦ 1.08 (4)
Where X is the solids concentration (wt%) and Y is the viscosity (mPa · s) at 25 ° C.
Satisfy the relationship
The photosensitive resin composition characterized by the above-mentioned.
請求項1に記載の感光性樹脂組成物から形成された表示パネル用スペーサー。 A display panel spacer formed from the photosensitive resin composition according to claim 1. 請求項2に記載の表示パネル用スペーサーを具備してなる表示パネル。 A display panel comprising the display panel spacer according to claim 2.
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