JP2003302167A - 熱処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 占有する配置スペースが少なく熱効率が良く
ワークの積載枚数を多くすることができる加熱板式熱処
理装置を提供する。 【解決手段】 熱処理装置は、前後固定板部21、22、前
後昇降板部31、32、縦移動支持部 4，奇数段及び偶数段
昇降部51、５２、前後昇降部61、62、ワーク搬入装置
７、管戻し装置８、ワーク搬出装置９、下降装置10等を
有する。 【効果】 ワークを搬入して支持管と組み合わせて縦移
動支持部４に載せ、この部分で、一方側への縦移動、一
端側での上昇、他方側への縦移動、他端側での上昇、と
いう動作を繰り返してワークを載せた支持管を進行さ
せ、搬出時にワークと管を分離し、ワークを搬出し支持
管を搬入側に戻すことにより、加熱板があってもワーク
を枚葉処理できるので、装置の占有スペースを小さくし
熱効率を良くし、固定板部でワーク処理枚数を自在に多
くすることができる。

Description

【発明の詳細な説明】 【０００１】 【発明の属する技術分野】本発明は、１枚づつ搬入され
る平板状のワークを多数枚の加熱板で加熱して搬出する
ようにした熱処理装置に関し、フラットパネルディスプ
レイ用ガラス基板等の枚葉式熱処理装置として好都合に
利用される。 【０００２】 【従来の技術】放射加熱板のような発熱する加熱板でフ
ラットパネルディスプレイ用等のガラス基板からなるワ
ークを熱処理する装置としては、トンネル状の熱処理室
内に複数の加熱板を並設し、その下をコロコンベアやシ
ャトルビームによってワークを通過させて熱処理するよ
うにした横型トンネル式の装置が一般的である。しかし
ながら、このような装置では、１段の水平搬送式である
ために広大な床面積が必要になる。 【０００３】又、縦型装置としては、一般的なものとし
て、図２２に示す如く、熱処理室１２内に放射加熱板１
を多段に固定設置し、それぞれの間隔の中でワークＷを
支持管Ｐで支持し、ワークＷを放射加熱板で加熱し、図
において紙面直角方向の両側になるワークの搬出側及び
搬入側にロボットを設け、熱処理の終了した段のワーク
Ｗを搬出し新ワークを搬入するようにした装置が知られ
ている。しかしながら、このような装置では、各段毎に
ワークの搬入及び搬出用の扉が設けられ、これを開閉す
る必要があるため熱ロスが多くなること、ワークの出入
口側にロボットを設けるため、その動作範囲として広い
スペースが必要になること、等の問題がある。 【０００４】なお、熱風循環式のように加熱板を用いな
い装置では、多段の段間でワークを昇降しつつ一ヶ所だ
けからワークを出し入れするようにした装置が一般的で
あるが（例えば特開平１０−６８５９２号、１０−７３
３７９号公報参照）、このような装置は加熱板で加熱す
る形式の装置には適用できない。 【０００５】 【発明が解決しようとする課題】そこで本発明は、従来
技術における上記問題を解決し、占有する配置スペース
が少なく熱効率の良く多数枚のワークを熱処理可能な熱
処理装置を提供することを課題とする。 【０００６】 【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するために、請求項１の発明は、１枚づつ搬入される平
板状のワークを多数枚の加熱板で加熱して搬出するよう
にした熱処理装置において、前記加熱板が上下方向及び
これに直角な縦方向に一定の間隔で一定の位置に多段及
び多列に配設された固定加熱部と、前記加熱板が前記固
定加熱部の前記縦方向の一方側及び他方側に前記固定加
熱部の前記加熱板に対応して配設され前記上下方向に昇
降可能にされた一方側昇降加熱部及び他方側昇降加熱部
と、前記両側の昇降加熱部のうちの何れかのものの位置
から前記固定加熱部の位置まで設けられ前記縦方向に少
なくとも前記多列の一列分の範囲で往復移動可能で前記
ワークをワーク支持部材を介して前記多段に支持可能な
ように形成された縦移動支持部と、前記ワーク支持部材
を支持可能で前記固定加熱部の前記多段の前記加熱板の
奇数段及び偶数段のそれぞれに対応して別個に設けられ
昇降可能にされた奇数段昇降部及び偶数段昇降部と、前
記ワーク支持部材を支持可能で前記一方側及び他方側の
昇降加熱部に昇降可能に設けられた一方側昇降部及び他
方側昇降部と、前記縦方向に直角な横方向に長尺状に形
成されていて前記ワークを支持可能なように１枚のワー
クに対して少なくとも２本設けられる前記ワーク支持部
材と、前記ワーク支持部材を介して前記縦移動支持部で
支持された前記ワークのうち搬出されるワークを前記ワ
ーク支持部材から分離して搬出するワーク搬出手段と、
前記搬出されるワークが分離された単独のワーク支持部
材を前記ワークが搬入される側に戻すワーク支持部材戻
し手段と、前記ワークを搬入して該ワークを前記単独の
ワーク支持部材に載せ該ワーク支持部材を前記縦移動支
持部で支持可能にするワーク搬入手段と、を有すること
を特徴とする。 【０００７】 【発明の実施の形態】図１は本発明を適用した熱処理装
置の概略の全体構成の一例を示し、図２乃至図８は各部
の構造例を示す。又図９は、各部の構造の意義を分かり
やすくするためにワークの流れを概念的に示した図であ
る。主として図１及び図２〜４に基づいて説明し、特に
他の図を参照するときにはその図番を記す。 【０００８】熱処理装置は、１枚づつ搬入される平板状
のワークであるフラットパネルディスプレイ用ガラス基
板等のワークＷを多数枚の加熱板として通常使用される
ものであり電気ヒータを内蔵して赤外線を放射するよう
に構成された放射加熱板等からなる加熱板１で加熱して
搬出するようにした装置であり、固定加熱部として本例
では２列に設けられた前固定板部２１及び後固定板部２
２からなる固定板部２、一方側昇降加熱部及び他方側昇
降加熱部である前昇降板部３１及び後昇降板部３２から
なる昇降板部３、縦移動支持部４、奇数段昇降部５１及
び偶数段昇降部５２からなる昇降部５、一方側昇降部及
び他方側昇降部である前昇降部６１及び後昇降部６２か
らなる前後昇降部６、ワーク支持部材である管Ｐ、ワー
ク搬出手段であるワーク搬出装置７、ワーク支持部材戻
し手段である管戻し装置８、ワーク搬入手段であるワー
ク搬入装置９、等によって構成されている。又本例で
は、ワーク搬出手段の一部分を構成するようにワーク支
持部材下降手段として下降装置１０を設けている。 【０００９】これらの諸装置により、図９に示す如く、
ワークＷ、ワークＷを載せていない単独の管である管Ｐ
₀ 、ワークＷを載せた管であるＰ＆Ｗは、それぞれ二点
鎖線、点線及び実線で矢印で示すように、搬入側におけ
るワークＷの搬入及び管Ｐ₀との結合、熱処理室１２内
で奇数段における右移動、右端での奇数段から偶数段へ
の上昇、偶数段での左移動、左端での偶数段から奇数段
への上昇、本図では最上段である第５段での右端側から
の下降、搬出部におけるワークＷと管Ｐとの分離及びワ
ークＷの搬出、単独管Ｐ₀ の搬入側への戻し、という全
動作を、１枚のワークＷを熱処理する時間である１タク
トの間に実行することができる。 【００１０】このような熱処理装置は、通常の構造部分
として、断熱壁１１、これで囲われた熱処理室１２、装
置の稼働中には常に閉鎖されている断熱扉１３（図
５）、ワークの搬入側及び搬出側にそれぞれ一箇所設け
られている入口１４及び出口１５、熱処理室の下方で本
体構造に結合されている支持フレーム１６、断熱壁の外
側でワークの予熱及び予冷効果を持たせるようにワーク
の入口及び出口部分を囲っているケーシング１７、等を
備えている。 【００１１】固定板部２では、加熱板１が上下Ｚ方向及
びこれに直角な縦Ｙ方向に一定の間隔として上下ピッチ
ｚ及び縦ピッチｙで一定の位置に多段及び多列として本
例では図３に示すように１１段２列に固定して配設され
ている。なお、図１では分かりやすいように仮に５段に
数を減らして示している。それぞれの加熱板１はその下
のワークＷを加熱する。この部分の加熱板１は、図５及
び図７に示す如く、Ｙ方向に直角であるＸ方向の両側に
立設された支柱２ａ及び連結板２ｂに取り付けられてい
る。支柱２ａは支持フレーム１６に固定して取り付けら
れている。従ってこの部分の加熱板は昇降しない。 【００１２】前昇降板部３１及び後昇降板部３２は、加
熱板１が固定板部２の縦方向Ｙの一方側である入口１４
の方向Ｙ₁ 及び他方側である出口１５の方向Ｙ₂ に前固
定板部２１及び後固定板部２２の加熱板１に対応して配
設されていて、上下方向Ｚに昇降可能にされている。 【００１３】即ち、図１の５段の装置で説明すれば、前
昇降板部３１は、図１に示す上昇した上位置では、前固
定板部２１の第３段及び５段の加熱板１₃ 及び１₅ の位
置に加熱板１としてそれぞれ１枚の昇降加熱板３１ａを
備えていて、ワークＷが移動してきたときにそれぞれ第
３段及び第５段のワークＷを加熱する。又、後に説明す
る図１６に示す下降した下位置では、前固定板部２１の
第２段及び４段の加熱板１₂ 及び１₄ の位置で同じそれ
ぞれ１枚の昇降加熱板３１ａが移動してきた第２段及び
第４段のワークＷを加熱するように形成されている。 【００１４】後昇降板部３２も同様に構造になってい
て、図１に示す下降した下位置では、後固定板部２２の
第１段及び３段の加熱板１₁ 及び１₃ の位置に加熱板１
としてそれぞれ１枚の昇降加熱板３２ａを備えていて、
ワークＷが移動してきたときにそれぞれ第１段及び第３
段のワークＷを加熱する。又、図１５に示す如く上昇し
た上位置では、後固定板部２２の第２段及び４段の加熱
板１₂ 及び１₄ の位置で同じそれぞれ１枚の昇降加熱板
３２ａが移動してきた第２段及び第４段のワークＷを加
熱するようにされている。 【００１５】１１段の装置では、昇降加熱板３１ａは、
前固定板部２１の第２段又は第３段から１段置きに第１
０段又は１１段までの位置に５枚、昇降加熱板３２ａ
は、後固定板部２２の第１段又は第２段から１段置きに
第９段又は１０段までの位置に５枚設けられる。図２〜
図４では、前昇降板部３１が下位置で後昇降板部３２が
上位置でそれぞれの昇降加熱板３１ａ及び３２ａが共に
第２段から１段置きに第１０段まで設けられた状態を示
している。なお、前昇降板部３１における前固定板部２
１の第１段加熱板１₁ に対応する位置の昇降加熱板３１
ｂは後述する新入ワーク加熱用で、後昇降板部３２にお
ける後固定板部２２の第１１段加熱板１_{1 1} に対応する
位置の固定加熱板３２ｂは後述する搬出ワーク加熱用で
ある。 【００１６】このような前後昇降板部３１、３２は、図
５〜８にも示す如く、Ｘ方向の両側に立設された支柱３
３、３４に加熱板１を取り付け、これらをそれぞれ昇降
板３５、３６を介して昇降機構３７、３８で支持して昇
降させるように構成されている。 【００１７】昇降機構３７は、本例ではカムリフト機構
になっていて、他の昇降機構と共用されているモータ
Ｍ、これで回転駆動される共用の軸Ｓ、この軸に取り付
けられたカム３７ａ、カムフォロワ３７ｂ、この上下方
向の動きを伝達する昇降伝達アーム部材３７ｃ、その自
由端に連結され上下方向に動くピン３７ｄ、その動きで
ある昇降をＸ方向の両側に伝達する昇降駆動板３７ｅ、
これに連結された昇降軸３７ｆ、その昇降を案内するリ
ニアガイド３７ｇ、昇降軸３７ｆに連結され昇降及び支
持された前記昇降板３５、等によって構成されている。 【００１８】モータＭ、軸Ｓ、リニアガイド３７ｇ等は
前記支持フレーム１６に取り付けられたり支持されたり
している。なお、昇降装置としては、このような機構に
代えて、エアーシリンダ等のシリンダ装置、ボールネジ
機構、クランク機構等の周知の適当な直線移動機構を用
いることができる。 【００１９】縦移動支持部４は、両側の昇降板部３のう
ちの何れかのものの位置から固定板部２の位置まで設け
られていて、縦Ｙ方向に少なくとも多列の一列分である
縦ピッチｙの範囲で往復移動可能で、ワークＷを管Ｐを
介して多段に支持可能なように形成されている。即ち、
本例では、図１６又は図１等に示す如く、前昇降板部３
１の位置から後固定板部２２の位置まで、又は、これか
ら移動したときには前固定板部２１の位置から後昇降板
部３２の位置まで設けられていて、後述するように縦ピ
ッチｙ及び小距離ｙ₁ だけ往復移動可能にされている。 【００２０】このような縦移動支持部４は、ワークＷを
載せた管Ｐを受けて多段に支持する縦移動管受け４１を
Ｘ方向の両側の支柱４２に固定板部２に対向して４１₁
から４１_{1 1} まで１１段に固定板部２及び前後昇降板部
３の何れかの位置まで３列に取り付け、これらを両側と
上の連結板４３、４４で連結すると共に、支柱４２を移
動機構４５で縦方向に移動されるビーム４６に取り付け
た構造に形成されている。なお，図１では４１₁ から４
１₅ まで固定板部２と同じ５段の状態を示している。 【００２１】縦移動支持部４はこのようにＹ方向に移動
するが、図７に示す如く、その支柱４２が固定板部２の
加熱板１を支持する連結板２b の位置よりもＹ方向の外
側で移動するので、これらと干渉することはない。又、
支柱４２は、図６、７及び図１０（ａ）に示す如く、Ｘ
方向において前後昇降部３１、３２の支柱３３、３４の
外側に設けられているので、これらと干渉することもな
い。 【００２２】縦移動支持部４の移動機構４５としては、
本例ではボールネジ機構を使用していて、図１１にも模
式的に分かりやすく示すように、横方向Ｘの両側（図
５、６）で縦方向Ｙの全体に伸びた前記ビーム４６に取
り付けられリニアガイド４５ａと嵌合する連結板４５ｂ
（図７、８）、これに取り付けられたボールナット４５
ｃ、軸受４５ｄ等で回転自在に支持されたボールネジ４
５ｅ、これを回転させるサーボモータ４５ｆ、等によっ
て構成されている。なお、これに代えて、エアーシリン
ダ等の他の機構を採用可能である。 【００２３】奇数段昇降部５１及び偶数段昇降部５２
は、管Ｐを支持可能で固定板部２の加熱板１の奇数段及
び偶数段のそれぞれに対応して別個に設けられ昇降可能
にされている。即ち、１１段２列（図１では５段２列）
の固定板部２に対応して、それぞれ、加熱板１の奇数段
である１₁ 〜１_{1 1} （図１では１₁ 、１₃ 、１₅ ）及び
偶数段１₂ 〜１_{1 0} （図１では１₂ 、１₄ ）の下の位置
に２列に奇数段昇降管受け５１ａ及び偶数段昇降管受け
５２ａを備えていて、これらがそれぞれの段内で昇降可
能にされている。 【００２４】このような奇数段昇降部５１及び偶数段昇
降部５２は、同様の構造であるため奇数段昇降部５１に
ついて説明すれば、ワークＷを載せた管Ｐを受けて支持
する前記奇数段昇降管受け５１ａを支柱５１ｂに取り付
け、支柱５１ｂを昇降機構５３（偶数段昇降部５２では
昇降機構５４）によって昇降させるようにしている。こ
れらの昇降部５は、固定板部２及び縦移動支持部４と同
じ位置に存在するので、図１０（ｂ）の斜視図にも示す
ようにこれらを構成する部材が相互に干渉しないように
配置されている。 【００２５】昇降機構５３、５４は昇降機構３７と同様
の構造のものである。この場合、昇降機構５３と５４と
では、それぞれのカム５３ａ、５４ａが、図１に原理的
に示す如く、奇数段昇降部５１と偶数段昇降部５２とが
互いに反対の昇降動作をするように形成されている。 【００２６】前昇降部６１及び後昇降部６２は、管Ｐを
支持可能で前昇降板部３１及び後昇降板部３２に昇降可
能に設けられている。即ち、それぞれ昇降加熱板３１ａ
及び３２ａの下の位置に前後昇降管受け６１、６２とし
て設けられている。そして本例では、これらはそれぞれ
の前昇降板部３１及び後昇降板部３２の支柱３３、３４
に取り付けられていて、これらと共に昇降する。 【００２７】管Ｐは、図６、図８及び図１０にも示す如
く、横方向Ｘに加熱板１から張り出す張出部Ｐａを持つ
ような長さに長尺状に形成されていて、ワークＷを支持
可能なように１枚のワークに対して少なくとも２本とし
て本例では２本設けられている。なお、ワーク支持部材
としては、加熱板１上に載せられると共に張出部Ｐａを
持つ長尺物であれば、断面が三角形や四角形等の多角形
や楕円形など適当な形状のものでよい。 【００２８】ワーク搬出装置７は、管Ｐを介して縦移動
支持部４で支持されたワークのうちの搬出されるワーク
Ｗをこれが載せられた管Ｐから分離して搬出するが、本
例では、後述する下降装置１０が下降させたワークを搬
出する。即ち、搬出されるワークＷは、熱処理の終了し
たものであり従って後固定板部２２の最上段のワークで
あり、これが後固定板部２２から後昇降板部３２に移動
して来たワークであって図１ではＷ₅ −３（図３ではワ
ークＷ₁₁−３）であるが、本例では下降装置１０を設け
ているので、最上段だけ延長して設けられた追加縦移動
管受け４１ａに移動されたワークＷ₅ −４が下降装置１
０で最下段まで移動されるワークＷ₀ ということにな
る。そして、このワークＷ₀ を、これを載せた管Ｐから
分離するために分離機構７１を備えていて、搬出装置７
はこの分離されたワークＷ₀ をスライダー７２によって
Ｙ₂ 方向に熱処理室１２の外に搬出する。 【００２９】分離機構７１は、本例では、後述する下降
装置１０の昇降部１８の昇降管受け１８２の２段目でも
あり昇降可能で管Ｐ₀ を支持可能な分離用昇降管受け１
８２−２、ワークＷだけが載せられる分離用昇降ワーク
受け７１１、その昇降機構７１２、下降装置１０の縦移
動部１９の縦移動管受け１９２の１段目でもあり縦Ｙ方
向に移動可能で分離用昇降管受け１８２−２の下降動作
によって管Ｐ₀ だけが載せられる分離用縦移動管受け１
９２−１、等によって構成されている。昇降機構７１２
は他の昇降機構と同様の構造になっていて、昇降軸７１
２ｆ等によって昇降ワーク受け７１１を昇降可能にする
機構である。 【００３０】スライダー７２は、本例では縦移動支持部
４を移動させる移動機構４５及びビーム４６を利用する
ように、図８にも示す如く、両側のビーム４６の連結板
４５ｂに結合され、Ｘ方向の中央部分でＹ方向に伸びる
ように配設されている。なお、これに代えて独立の縦移
動装置を用いることも可能である。 【００３１】又本例では、スライダー７２との間でワー
クＷをやり取りし外部のワーク生産ラインに送り出すた
めのワーク昇降搬出機構７３を設けている。この機構で
は、ワークＷはコロコンベアのコロを備えたワーク受け
７３１で支持され搬送される。又、他の昇降機構と同様
の昇降軸７３２ｆ等を備えた昇降機構７３２を備えてい
る。 【００３２】管戻し装置８は、搬出される前記ワークＷ
₀ が分離された前記単独の管Ｐ₀ をワークが搬入される
側として前昇降板部３１の下方の新ワークの搬入位置ま
で入口の方向Ｙ₁ に戻す装置であり、前記分離用縦移動
管受け１９２−１に載せられた単独管Ｐ₀ を戻し用単独
管受け８２に移載するように本例では前記下降装置１０
の一部分として設けられた移載用昇降単独管受け８１、
前記Ｙ方向に往復移動可能に設けられた前記戻し用単独
管受け８２、これと一列に後昇降板部３２の位置及び固
定板部２の位置と固定板部２の位置及び前昇降板部３１
の位置との間でＹ方向に往復移動可能に設けられた中間
戻し用単独管受け８３、これに載せられた単独の管を一
時的に取り上げて支持する中間戻し用単独管昇降受け８
４、等によって構成されている。 【００３３】往復移動可能な中間戻し用単独管受け８３
は，本例では縦移動支持部４の一部分としてその下方に
設けられていて、縦移動支持部４と共にビーム４６で往
復移動されるようになっている。中間戻し用単独管昇降
受け８４は、本例では偶数段昇降部５２の下方に取り付
けられこれと共に昇降するようにされている。 【００３４】ワーク搬入装置９は、図１６のように戻さ
れた単独の管Ｐ₀ にワークである新ワークＷｎを外から
搬入して載せると共に、図１９のようにワークを載せた
管Ｐを縦移動支持部４の第１段の縦移動管受け４１−１
で支持可能にする装置であり、Ｗｎを管Ｐ₀ と結合する
結合機構９１を備えていて、搬出装置９はこの結合され
る新ワークＷｎをスライダー９２によってＹ₂ 方向に外
から熱処理室１２内に搬入する。 【００３５】結合機構９１は、本例では、昇降可能で管
Ｐ₀ が中間戻し用単独管受け８３のＹ₁ 側のものに載せ
られて前昇降板部３１の位置に来たときにこれを支持可
能な結合用昇降管受け９１１、その昇降機構９１２、等
によって構成されている。昇降機構９１２は他の昇降機
構と同様の構造になっていて、昇降軸９１２ｆ等によ
り、管受け９１１をスライダー９２によって搬入されて
きた新ワークＷｎの上の位置まで昇降可能にする機構で
ある。スライダー９２は、スライダー７２と同様に、移
動機構４５で移動されるビーム４６にＸ方向の中央部分
でＹ方向に伸びるように配設されている。 【００３６】又本例では、スライダー９２との間でワー
クＷをやり取りし外部のワーク生産ラインから新ワーク
Ｗｎを取り入れるためのワーク昇降搬入機構９３を設け
ている。この機構では、ワークＷはコロコンベアのコロ
からなるワーク受け９３１で支持され搬送される。又、
他の昇降機構と同様の昇降軸９３２ｆ等を備えた昇降機
構９３２を備えている。 【００３７】下降装置１０は、縦移動支持部４が多段に
支持するワークＷのうちの最上段のものを下降させる。
それにより、搬出されるワークは下降装置が下降させた
ワークということになる。そのため本例では、前記の如
く、図１の５段の装置では後昇降板部３２の位置に来た
ワークＷ₅ −３を更に追加縦移動管受け４１ａまで移動
させてワークＷ₅ −４とし、このワークを最下段まで移
動させて搬出すべきワークＷ₀ にする。又本例では、こ
の下降装置１０を熱処理室１２内に多段として追加縦移
動管受け４１ａ及び分離用縦移動管受け１９２−１を含
めて５段（実際には図４に示すように１１段）に配設
し、５段分（実際には１１段分）の下降時間を設けてワ
ークＷに徐冷効果を与えるようにしている。 【００３８】このような多段の下降装置１０は、図１、
図４等に示す如く昇降部１８と縦移動部１９とで構成さ
れている。昇降部１８は、支柱１８１、昇降管受け１８
２、昇降機構１８３、等によって構成されている。昇降
機構１８３は他の昇降機構と同様の構造になっていて、
昇降軸１８３ｆ等によって昇降管受け１８２を昇降可能
にする機構である。 【００３９】縦移動部１９は、支柱１９１、縦移動管受
け１９２、リニアガイド１９３、等によって構成されて
いる。リニアガイド昇降機構１９３によってＹ方向に往
復移動を案内される支柱１９１は、図示していないが、
ビーム４６によって小距離ｙ ₁ だけＹ方向に往復移動可
能なようにビーム４６に連結されている。このｙ₁ の移
動により、昇降管受け１８２が縦移動管受け１９２の位
置を越えて上下方向に通過可能になる。 【００４０】以上の諸装置によって図９に示すようなワ
ークＷの搬入、進行、搬出までの全動作が可能になる。
図１２乃至図１９は、このような熱処理装置においてワ
ークが熱処理されるまでの移動状態を示す。 【００４１】本例の熱処理装置は、結局のところ、縦移
動だけの機構と昇降だけの機構との組合せで構成されて
いると共に、縦移動では、１台のサーボモータ４５ｆで
ビーム４６を往復移動させ、縦移動機構の全てをこれに
結合し、昇降では、１台のモータＭで駆動する回転伝達
軸Ｓによって全ての昇降用カムを動かし各種昇降機構を
作動させるように構成されている。従って、動作部分は
多いがその構造及び動きが簡素化されていて、作動の信
頼性が高い。 【００４２】このような機構において、モータでは、通
常、回転動作のタイミング及び回転量が自動制御され、
これらに対応してカムを備えた各機構が目的にあったタ
イミングで必要十分なだけの動作量になるように定めら
れる。以下では、このように駆動される各機構の動作に
ついて説明する。 【００４３】図１２は図１と同じ図であり、仮に基準状
態として示している。この状態では、ビーム４６が出口
Ｙ₂ 方向に移動し、それに伴って搬入スライダー９２が
新ワークＷｎを載せて前昇降板部３１に入り、搬出スラ
イダー７２が熱処理及び徐冷期間を終了して搬出される
べき処理済ワークＷ₀ を載せて熱処理室１２内の下降装
置１０の位置から外に出ている。 【００４４】固定板部２においは、ワークＷを搭載した
管Ｐ（以下では、管Ｐのうち、ワークＷを載せたものを
単に「管Ｐ」と称し、単独の管だけのものを「管Ｐ₀ 」
と称す）は、奇数段では、奇数段昇降部５１が下位置に
なりその管受け５１ａが下がっていて、縦移動支持部４
の縦移動管受け４１に載せられている。一方偶数段で
は、偶数段昇降部５２が上位置になっていて、偶数段昇
降管受け５２ａが縦移動管受け４１の管Ｐを取り上げて
その少し上で支持している。 【００４５】この縦移動支持部４は、ビーム４６と共に
Ｙ₂ 方向に固定板部２及び後昇降板部３２の位置に移動
してきた状態になっている。その結果、後に更に説明す
るように、奇数段ではこの図１２の状態になったときに
図において左から右の方向に管Ｐが１ピッチ進行したこ
とになっている。一方偶数段では、管受け４１は、管Ｐ
を昇降受け５２ａに預けて左から右に空で移動したこと
になっている。 【００４６】又、下方の管戻し装置８の部分では、偶数
段昇降部５２が上位置になっているために、単独の管Ｐ
₀ は偶数段昇降部５２に取り付けられた中間管戻し用単
独管昇降受け８４に支持されている。従って、中間戻し
用単独管受け８３は、管Ｐを昇降受け８４に預けて左か
ら右に空で移動したことになっている。 【００４７】後昇降板部３２では、縦移動支持部４がこ
の位置に来ていて、奇数段ではその受け４１に管Ｐが載
せられていて、偶数段の管受け４１及び後昇降部６２は
空になっている。管戻し装置８では同様に昇降受け８４
に管Ｐ₀ が載せられていて、管受け８２は８３と同様に
空で移動してきている。この部分の上の搬出ワーク加熱
用の固定加熱板３２ｂの位置では、熱処理の最終段階に
あって徐冷用の下降装置１０に送られるためのワークＷ
₅ −３を載せた管Ｐが１ピッチ進んで受け４１に支持さ
れている。 【００４８】下降装置１０の部分では、同様に１ピッチ
進んで来た追加縦移動管受け４１ａに徐冷に回されたワ
ークＷ₅ −４が載せられていると共に、縦移動部１９の
縦移動管受け１９２に徐冷中のワークＷが載せられてい
る。又、下段の管受け１９２−２には、徐冷を終了して
次に搬出されるべきワークＷ₀ 及びその支持管Ｐが載せ
られている。更に、この部分の最下段に設けられている
分離用縦移動管受け１９２−１には、ワークＷ₀ がスラ
イダー７２で搬出され既にワークと分離された単独管Ｐ
₀ が載せられている。 【００４９】このように基準状態から、管Ｐ及びＰ₀ を
縦ピッチｙ又は上下ピッチｚだけ１ピッチ進めて１枚毎
にワークの熱処理を完了させる１タクトの工程が以下の
ように進行する。 【００５０】図１３は後昇降板部３２部分の動作を示
す。この部分では、昇降機構３８が作動して昇降板３６
を介して後昇降板部３２が中間位置まで上昇し、それに
伴って後昇降部６２が同じ高さだけ上昇し、縦移動支持
部４の奇数段の管受け４１−１、３に載せられた管Ｐを
取り上げ（ａ）、その後縦移動支持部４が二点鎖線の位
置から実線の位置まで小距離ｙ₁ だけＹ₁ 方向に移動し
て後昇降部６２が受け４１を通過可能なようにし
（ｂ）、後昇降板部３２が更に上昇し、管Ｐを載せた状
態で後昇降部６２が一段上の偶数段の空になっている管
受け４１−２、４の位置を通過し（ｃ）、その後縦移動
支持部４が小距離ｙ₁ だけＹ₂ 方向に移動して復帰する
（ｄ）。そして、次の図１５の動作により、管Ｐが奇数
段から偶数段へ１段即ち上下ピッチｚだけ上昇すること
になる。 【００５１】図１４は下降装置１０部分の動作を示す。
この部分では、昇降部１８が中間位置まで上昇し、その
昇降管受け１８２が追加縦移動管受け４１ａを含めて縦
移動部１９の縦移動管受け１９２に載せられていた管Ｐ
を取り上げ（ａ）、その後縦移動部１９が小距離ｙ₁ だ
けＹ₁ 方向に移動して昇降管受け１８２の通過を可能に
し（ｂ）、昇降管受け１８２が管Ｐを載せた状態で下降
し元の縦移動管受け１９２の位置を通過してその下の元
の位置になり（ｃ）、その後縦移動部１９がＹ₂ 方向に
移動して復帰する（ｄ）。次に図１５の動作により、管
Ｐが縦移動管受け１９２において１段下に１ピッチ下降
することになる。 【００５２】これらの動作において、縦移動管受け１９
２の最下段のものを構成する分離用縦移動管受け１９２
−１に載っていたワークＷのない単独管Ｐ₀ は、昇降管
受け１８２の最下段のものを構成する移載用昇降管受け
８１に取り上げられ（ａ）、同様に下降した位置になる
（ｄ）。 【００５３】図１５は、図１２〜１４の状態から各部の
昇降動作が完了した状態を示す。前昇降板部３１の部分
では、昇降機構３７が作動して昇降板３５を介して前昇
降板部３１が１ピッチ下降し、それに伴って前昇降部６
１が１ピッチ下降し、縦移動支持部４が移動して来たと
きにその偶数段の管Ｐ及びワークを受けて加熱できる状
態になる。その下方では、単独管Ｐ₀ を載せていた結合
用昇降管受け９１１が１ピッチ上昇してスライダー９２
から新ワークＷｎを取り上げ、単独管と新ワークとを結
合する。又、この程度の適当な時期に外のワーク昇降搬
入機構９３のワーク受け９３１に次の新ワークＷｎ−１
が搬送されて来る。 【００５４】固定板部２においては、奇数段では、奇数
段昇降部５１が段間内で１／２ピッチ程度上昇して上位
置になり、その管受け５１ａが同じだけ上昇し、縦移動
支持部４の縦移動管受け４１に載せられていた管Ｐを取
り上げる。一方偶数段では、偶数段昇降部５２が１／２
ピッチ程度下降して下位置になり、偶数段昇降管受け５
２ａが支持していた管Ｐを縦移動管受け４１に移載す
る。これにより、偶数段では、管受け４１において管Ｐ
が図において右から左に１ピッチ進行したことになって
いる。 【００５５】又、この偶数段昇降部５２の下降動作によ
り、固定板部２の下方及び後昇降板部３２の下方の管戻
し装置８の部分では、単独の管Ｐ₀ は中間管戻し用単独
管昇降受け８４から中間戻し用単独管受け８３に移載さ
れる。これにより、管受け８３において管Ｐ₀ がＹ₁ の
戻り方向に１ピッチ進行したことになっている。 【００５６】後昇降板部３２の部分では、図１３（ｄ）
の状態から後昇降板部３２が１／２ピッチ程度下降し、
図１２の位置からは１ピッチ上昇した位置になり、縦移
動管受け４１において管Ｐが奇数段から偶数段へ１ピッ
チ上昇する。これにより、空で移動して来た管受け４１
に管Ｐが載せられ、管受け４１において管Ｐが奇数段か
ら偶数段に下から上に１ピッチ進行したことになってい
る。 【００５７】下降装置１０の部分では、図１４（ｄ）の
状態から分離用昇降管受け１８２−２が１ピッチ下降
し、図１２の状態から管Ｐは１ピッチ下の分離用縦移動
管受け１９２−１に移載される。又、この時期に分離用
昇降ワーク受け７１１が上昇し、管Ｐ上の搬出されるべ
きワークＷ₀ を取り上げ、管Ｐを単独管Ｐ₀ にする。即
ち、管とワークとを分離する。 【００５８】又、既に分離されて管戻し装置８を構成す
る移載用昇降管受け８１に取り上げられていた管Ｐ
₀ は、同様に管戻し装置８を構成する戻し用単独管受け
８２に移載される。これにより、管Ｐ₀ が下に降りて１
ピッチ進行して管戻し系に参入することになる。又、こ
れ位の時期に、ワーク昇降搬出機構７３のワーク受け７
３１上の前熱処理済みのワークＷ₀ が次の生産工程に送
られる。 【００５９】以上の動作により、図１２の状態から、ワ
ーク搬入装置９の部分では新ワークＷｎが内部搬送系に
参入可能な状態になり、固定板部２及び後昇降板部３２
の部分では奇数段と偶数段との支持状態が入れ代わり、
管戻し装置８の部分では下降装置１０の下方を含めて中
間戻し用単独管受け８２及び８３の全てに管Ｐ₀ が載せ
られ、縦移動支持部４の最上段では追加縦移動管受け４
１ａが空になり、下降装置１０では管Ｐが１ピッチ下が
り、１タクトの半分近くの動作が完了する。 【００６０】図１６では、縦移動支持部４が二点鎖線で
示す図１５の状態から縦１ピッチｙだけＹ₁ 方向に移動
している。これにより、縦移動支持部４の偶数段の受け
４１−２、４では、管ＰがＹ₁ 方向に１ピッチ進行した
ことになる。そして、図１２の状態から１タクトの１／
２の動作が完了する。 【００６１】図１７は図１３に対応する図で、図１６の
状態からの前昇降板部３１部分の動作を示す。この部分
では、前昇降板部３１が１ピッチ上昇し、それに伴って
前昇降部６１が同じ高さだけ上昇し、縦移動支持部４の
偶数段の管受け４１−２、４に載せられた管Ｐを取り上
げ（ａ）、その状態で縦移動支持部４が小距離ｙ₁ だけ
Ｙ₂ 方向に移動し、一段上の奇数段の管受け４１−３、
５の位置を前昇降部６１が通過可能なようにし（ｂ）、
前昇降板部３１が更に上昇して管Ｐを載せた状態で前昇
降部６１が一段上の奇数段の空になっている管受け４１
−３、５の位置を通過し（ｃ）、その後縦移動支持部４
が小距離ｙ₁ だけＹ₁ 方向に移動して復帰する（ｄ）。
次に図１９の動作により、管Ｐが偶数段から奇数段へ１
ピッチ上昇することになる。 【００６２】図１８は図１４に対応する図で、下降装置
１０部分の動作を示す。この部分では、図１６の状態か
ら、移動部１９が二点鎖線の位置から実線の位置に小距
離ｙ₁ だけＹ₁ 方向に移動して昇降管受け１８２の通過
を可能にし（ａ）、昇降管受け１８２が空の状態で１ピ
ッチ上昇し（ｂ）、その後縦移動部１９が小距離ｙ₁ だ
けＹ₂ 方向に移動して復帰する（ｃ）。これにより、再
び図１４の動作が可能になる。そして、次のタクトでの
図１４の動作により、再び管Ｐが縦移動管受け１９２に
おいて１段下に１ピッチ下降することになる。 【００６３】この部分の下方のワーク搬出装置７の位置
では、分離用昇降ワーク受け７１１が下降し、搬出され
るべきワークＷ₀ がスライダー７２に移載される。 【００６４】図１９は図１５に対応する図で、図１６〜
図１８の状態から各部が昇降した状態を示す。熱処理装
置の搬入側の外のワークＷ昇降搬入機構９３の位置で
は、ワーク受け９３１が下降し、これに載っていた次の
新ワークＷｎ−１がスライダー９２に移載される。 【００６５】前昇降板部３１の部分では、図１７（ｄ）
の状態から前昇降板部３１及び前昇降部６１が１／２ピ
ッチ下降し、管Ｐを空になっていた縦移動支持部４の奇
数段の縦移動管受け４１−３、５に載せる。これによ
り、偶数段の縦移動管受け４１−２、４に載っていた管
Ｐが１段上昇し、空いていた奇数段の端の受けに載り、
１ピッチ進行したことになる。 【００６６】又その下方では、縦移動支持部４の第１段
の縦移動管受け４１−１にワークと結合した管Ｐが全体
の搬送系に参入した状態になっている。更に、図１７で
下方に下がっていた結合用昇降管受け９１１が中間位置
まで上昇し、移動して来た中間戻し用単独管受け８３上
の管Ｐ₀ を取り上げる。これにより、下降装置１０の下
方で分離された管Ｐ₀ を含む全ての単独管Ｐ₀ が１ピッ
チＹ₁ 側に進むと共に、その先端のものがワークＷｎと
結合され、次に搬送系に参入可能な状態になる。 【００６７】固定板部２においては、奇数段では、段間
内で上昇して上位置になり縦移動管受け４１に載せられ
ていた管Ｐを取り上げていた奇数段昇降部５１の管受け
５１ａが下位置に復帰し、管Ｐを奇数段の受け４１−
１、３、５に移載する。これにより、奇数段の受けにお
いて管Ｐが図１２に示す次の段階で左から右に１ピッチ
進行可能な状態になる。一方偶数段では、下降して下位
置になっていた偶数段昇降部５２が上位置に復帰し、偶
数段昇降管受け５２ａが偶数段の縦移動管受け４１−
２、４から管Ｐを取り上げる。これにより、既に端の前
昇降板部３１の位置の管Ｐが奇数段に上昇しているので
偶数段の管受け４１−２、４は全て空の状態でＹ₂ 方向
に復帰可能になる。 【００６８】又、この偶数段昇降部５２の上昇動作によ
り、固定板部２の下方及び後昇降板部３２の下方の管戻
し装置８の部分では、単独の管Ｐ₀ は戻し用及び中間戻
し用単独管受け８２及び８３から中間戻し用単独管昇降
受け８４に移載される。これで、全ての管受け８２、８
３が空の状態でＹ₂ 方向に復帰可能になる。 【００６９】後昇降板部３２の部分では、図１６の状態
から後昇降板部３２が１ピッチ下降し、次に管Ｐを載せ
て入ってくる縦移動支持部４の奇数段の受け４１−１、
３上の管Ｐ及びワークＷを加熱及び上昇可能な状態にな
る。下降装置１０の部分は図１８（ｃ）と同じ状態であ
る。 【００７０】この図１９の状態から縦移動支持部４がＹ
₂ 方向に１ピッチ縦移動することにより、１タクトの熱
処理工程が終了する。即ち、熱処理装置の搬送系が図１
２の状態に復帰し、搬入スライダー９２によって次に熱
処理されるべきワークＷｎ−１がＷｎとして装置内に入
り、次の熱処理済ワークＷ₀ が搬出スライダー７２によ
って装置外に出され、固定板部２の奇数段では縦移動管
受け４１に載った管ＰがそれぞれＹ₂ 方向に１ピッチ進
行したことになり、下降装置１０の上方では次に下降し
て徐冷されるべきワークＷ₅ −４が来て、その下方の管
戻し装置８の部分では、ワークＷ₀ が搬出されて管Ｐが
次の単独の管Ｐ₀ になって管戻し装置８に移行可能にな
り、管戻し装置８では中央戻し用単独管受け８３と共に
戻し用単独管受け８２が空になって移動してきて、上記
単独管Ｐ₀ の戻し動作が可能になる。 【００７１】図２０は、ワークを載せた管Ｐの動きをよ
り分かりやすくするために、図１２乃至図１９における
固定板部２の第３段の管Ｐの動きを取り出して１タクト
の動作中の動きを総括して示した図である。 【００７２】（ａ）は図１２の状態で、仮の基準状態と
して第３段の前固定板部２１、２２及び後昇降板部３２
位置における第３段の縦移動管受け４１−３上のワーク
を進行順位の前のものから順次実線と点線と二点鎖線と
で示した、、にしている。（ｂ）では、が図１
３（ｄ）から図１５のようにして第４段の受け４１−４
に昇段し、（ｃ）では、及びが図１２から図１５の
ように４１−３から５１ａに移載され、（ｄ）では、図
１７（ａ）のように偶数段から次の順位の細い実線で示
すのワークが上昇過程になり、（ｅ）では、図１７
（ｄ）のように昇段してきたを含めて５１ａで支持さ
れるが第３段のワークが４１−３の上で再び揃い、
（ｆ）では図１９のように５１ａが下降して再び第３段
のワークが４１−３に載せられて揃い、（ｇ）では縦移
動支持部４と共にこれらがＹ₂ 方向に１ピッチ移動して
（ａ）の状態に復帰する。 【００７３】従って、第３段では、１タクトの間に、３
列の受け４１−３の両端のワークが上に上がって去る
と共にが下から上がってきて加わって１ピッチ進行
し、中央のワーク、がそれぞれ縦Ｙ₂ 方向に１ピッ
チ進んだことになる。他の奇数段でも全く同様の動作に
なる。又、偶数段では、ワークはＹ₁ 方向に進み、両端
では、序列の早いワークが奇数段に上がって行くと共に
序列の遅いワークが奇数段から上がって来ることにな
る。そして、ワークＷは、両方の段によって右進行−上
昇−左進行−上昇というようにジグザグ状に進行して行
くことになる。 【００７４】図２１は単独管Ｐ₀ の戻し動作を分かり易
く説明するための図である。戻し順位の早い管Ｐ₀ から
順次、、、、で示す。（ａ）は図１２を含む
図１３（ｄ）の状態で、〜が９１１及び８４で支持
されていて戻し開始状態にあり、が８１で支持されて
いて分離後戻し系に参入する状態になっている。（ｂ）
では、が上昇してワークと結合される状態になって戻
し系から離れ、が８２に移載されて新たに戻し系に参
入し、〜は８３に支持されて戻し過程を続行するこ
とになる。（ｃ）では、ビーム４６と共に８２、８３が
Ｙ₁ 方向に１ピッチ移動し、戻し過程が進行する。
（ｄ）では、進行した〜が再び９１１及び８４に取
り上げられ、８２及び８３が空になる。（ｅ）は（ａ）
と同じ状態であり、空の８２、８３がＹ₂ 方向に移動し
て復帰すると共に、次の戻し用管が降りてくる。 【００７５】以上の如く、８２、８３が、管Ｐ₀ を積ん
で行き、１個を放出して残りを一時預けして空で帰り、
次に１個の新入りと一時預け分を受け取って又行き、又
１個を放出するというシャトル動作をすることにより、
１タクトに１ピッチづつ単独管Ｐ₀ を進行させることに
なる。 【００７６】本発明を適用した以上のような熱処理装置
では、例えば図２等に示す固定板部２が２列１１段の装
置においては、装置内で熱処理されるワークＷは、固定
部に２２枚、前昇降板部３１又は後昇降板部３２で図３
では後昇降板部３２に後固定板部２２の偶数段に対応し
て５枚と搬出前の１１段の位置に１枚、及び前昇降板部
３１に搬入された新ワーク１枚の合計２９枚であり、更
に徐冷中のワークが１１枚あり、熱処理室１２内では徐
冷工程まで含めて４０枚のワークＷを収容することがで
きる。 【００７７】その結果、大サイズのフラットパネルディ
スプレイ用のガラス基板のように熱処理時間が長くかか
るようなワークであっても、１タクト時間を短くして徐
冷まで含めて短い時間で能率良く熱処理することができ
る。そして、本発明の装置では、全ての可動部材が縦移
動又は昇降だけの単純な一次元動作をする部材で構成さ
れているので、迅速且つ確実な動作をさせることがで
き、１タクト時間の短縮、従って生産能率の向上に極め
て対応性が良い。そしてこの場合、工場における配置上
の高さ制限があって積載段数が制限されるとしても、固
定板部２の列数を自在に増加させられるので、本発明の
熱処理装置は熱処理の高能率化に極めて対応性の良い装
置である。 【００７８】又、以上のような熱処理装置によれば、ワ
ークが熱処理装置内で昇降及び移動されるため、ワーク
Ｗを搬入及び搬出する入口及び出口をそれぞれ一定位置
で一か所にすることができる。その結果、出入口側にそ
れぞれロボットを設けてそれによるワークハンドリング
スペースを必要とする従来の熱処理装置よりも、熱処理
設備全体としての占有スペースを大幅に縮小することが
できる。 【００７９】更に、従来の装置で必要であった例えば１
０段の装置の各段ごとに設けられる多数の扉が不要にな
り、扉の開閉機構として特別のものが不要になると共
に、内外気が流通する可能性のある部分が最小になるの
で、装置の熱効率を大幅に改善することができる。 【００８０】 【発明の効果】以上の如く本発明によれば、請求項１の
発明においては、熱処理装置が所定の構成を備えた固定
加熱部と一方側及び他方側昇降加熱部と縦移動支持部と
奇数段及び偶数段昇降部と一方側及び他方側昇降部とワ
ーク支持部材とワーク搬出手段とワーク支持部戻し手段
とワーク搬入手段とを有するので、加熱板式の熱処理装
置においてワークを連続枚葉処理によって熱処理するこ
とができる。 【００８１】固定加熱部では、加熱板が上下方向及びこ
れに直角な縦方向に一定の間隔で一定の位置に多段及び
多列に配設されているので、この部分において段数×列
数に相当する多数枚のワークを加熱することができる。 【００８２】昇降加熱部では、加熱板が固定加熱部の縦
方向の一方側及び他方側に固定加熱部の加熱板に対応し
て配設され上下方向に昇降可能にされているので、例え
ば固定加熱部が１１段でワークが一方側の最下段である
第１段から入って他方側の最上段である第１１段から出
るような構成の装置では、一方側昇降加熱部では、加熱
板を２−３、４−５、６−７、８−９、１０−１１の各
２段に対応する５位置に設け、他方側昇降加熱部では、
加熱板を１−２、３−４、５−６、７−８、９−１０の
各２段に対応する５位置に設け、又例えば１２段の装置
では、上記に対して他方側の昇降加熱部に１１−１２段
に対応するものを加えた６位置に設けることにより、両
側の全段のそれぞれのワークと共に昇降しつつそれぞれ
のワークを加熱状態に維持することができる。 【００８３】縦移動支持部は、両側の昇降加熱部のうち
の何れかのものの位置から固定加熱部の位置まで設けら
れ縦方向に少なくとも多列の一列分の範囲で往復移動可
能でワークをワーク支持部材を介して載置可能なように
形成されているので、例えば移動支持部が一方側昇降加
熱部及び固定加熱部の位置にあってその奇数段のものに
ワークを載置しているときに、これを他方側加熱部の位
置に１列分移動させると、一方側を入口側とすれば、入
口側から他方側の出口側に全ての奇数段のワークを１列
分即ち縦方向に１ピッチ進めることができる。 【００８４】又、縦移動支持部が他方側昇降加熱部及び
固定加熱部の位置にあってその偶数段のものにワークを
載置しているときに、これを一方側加熱部の位置に１列
分移動させると、ワークが奇数段と反対方向に進むの
で、奇数段と偶数段とを接続させれば、ワークを連続し
て進行させることができる。 【００８５】そして、縦移動支持部が常に存在する固定
加熱部に奇数段と偶数段のそれぞれに対応してワーク支
持部材を支持可能で昇降可能にされた奇数段昇降部及び
偶数段昇降部を別個に設けているので、昇降部の昇降に
よってワーク支持部材を昇降部又は縦移動支持部の何れ
かで交互に持ち替えて支持し、これを縦移動と組み合わ
せることにより、奇数段と偶数段とで異なったタイミン
グでそれぞれ反対の方向にワークを支持したワーク支持
部材を進行させることができる。 【００８６】又、一方側及び他方側昇降部は、ワーク支
持部材を支持可能で一方側及び他方側の昇降加熱部に昇
降可能に設けられているので、例えば奇数段の縦移動支
持部に支持されたワーク搭載ワーク支持部材が他方側昇
降加熱部に移動してきたときに、これを偶数段に上昇さ
せることができる。又、偶数段の移動支持部に支持され
たワーク支持部材が一方側昇降加熱部に移動してきたと
きに、これを奇数段に上昇させることができる。 【００８７】その結果、縦移動と昇降とを組み合わせる
ことにより、例えばワーク支持部材を奇数段で右方向へ
移動させ、その右端側で奇数段から偶数段に昇段させ、
偶数段で左方向へ移動させ、その左端側で偶数段から奇
数段へ昇段させるというように、全てのワーク支持部材
を短時間に１ピッチづつ進行させることができる。 【００８８】そしてこの場合、ワークをワーク支持部材
を介して支持しているので、縦移動や昇降において支持
部材の端部の異なった場所を支持することにより、相互
間の動作の干渉を回避することができる。 【００８９】又、ワーク支持部材を介して縦移動支持部
で支持されたワークのうち搬出されるワークをワーク支
持部材から分離して搬出するワーク搬出手段を設けてい
るので、前記のように縦移動支持部で１ピッチづつ進行
して熱処理が終了したワークを載せたワーク支持部材か
らワークだけを分離し、１ピッチに１枚ずつ搬出して連
続的に熱処理済みのワークとして次の工程に供給するこ
とができる。 【００９０】更に、搬出されるワークが分離された単独
のワーク支持部材をワークが搬入される側に戻すので、
ワーク支持部材を循環させて使用することができる。そ
の結果、一定数のワーク支持部材で無制限の数のワーク
を枚葉処理によって熱処理することができる。又、ワー
ク支持部材を循環させるので、これを加熱する余分な熱
エネルギーの消費をなくすことができる。 【００９１】そして、新たなワークを搬入してこれを戻
された単独のワーク支持部材に載せ、この結合されたワ
ーク支持部材を縦移動支持部で支持可能にするワーク搬
入手段を設けているので、新たなワークを搬入して熱処
理用として供給しつつ、これを熱処理のためのワーク搬
送系に参入させることができる。 【００９２】以上により、１タクトに１枚づつワークを
搬入して装置内の全ワークを進行させ、熱処理を完了さ
せて１枚づつ搬出するという連続枚葉処理による完結し
た熱処理装置にすることができる。 【００９３】以上のような熱処理装置によれば、固定板
部の列数を必要に応じて自在に多くすることができるの
で、装置内に収容するワーク数を多くすることができ
る。その結果、例えば大サイズのフラットパネルディス
プレイ用のガラス基板のように熱処理時間が長くかかる
ようなワークであっても、これを多数枚収容することに
より、１タクト時間を短くして処理能率を高くすること
ができる。 【００９４】そしてこの場合、作動する各部を全て縦移
動又は昇降だけの単純な一次元動作をするように形成し
ているので、これらを迅速且つ確実に作動させ、１タク
ト時間を短縮し、上記熱処理の高能率化を可能にするこ
とができる。又、確実な作動により装置の信頼性を良く
することができる。 【００９５】又、以上のような枚葉式熱処理装置によれ
ば、熱処理装置の加熱部分の外には、ワークの搬入と搬
出のために不可避的に必要になるスペース以外のスペー
スが不要である。従って、熱処理装置の搬入及び搬出の
両側に長いハンドの挿抜や回転動作を伴うロボットを配
置する場合に必要となる広い占有スペースをなくし、全
体としての熱処理装置関連設備の占有スペースを減少さ
せることができる。その結果、ワーク生産工場における
設備面積を有効活用することができる。 【００９６】更に、ワークが熱処理装置内で昇降移動さ
れるため、その搬入及び搬出部を一定のそれぞれ一ヶ所
の位置にすることができる。その結果、各段ごとに多数
の扉を設ける必要がなくなり、その開閉機構が簡単にな
ると共に、外気と導通する可能性のある部分が最小にな
るので、装置の熱効率を良くすることができる。

【図面の簡単な説明】 【図１】本発明を適用した熱処理装置の全体構成の一例
を示す説明図である。 【図２】上記装置の構造例を示し、正面状態の前側部分
の説明図である。 【図３】上記装置の構造例を示し、正面状態の中央部分
の説明図である。 【図４】上記装置の構造例を示し、正面状態の後側部分
の説明図である。 【図５】上記装置の構造例を示し、側面状態の説明図で
ある。 【図６】上記装置の構造例を示し、平面状態の前側部分
の説明図である。 【図７】上記装置の構造例を示し、平面状態の中央部分
の説明図である。 【図８】上記装置の構造例を示し、平面状態の後側部分
の説明図である。 【図９】上記装置の動作の概略を模擬的に示す説明図で
ある。 【図10】（ａ）及び（ｂ）は上記装置の部分構造の一例
を示す斜視図である。 【図11】上記装置の移動機構の構成例を示す説明図であ
る。 【図12】上記装置の動作の説明図であり、図１と同じ状
態を示す。 【図13】（ａ）乃至（ｄ）は上記装置の後昇降部におけ
る昇降動作の説明図である。 【図14】（ａ）乃至（ｄ）は上記装置の下降装置におけ
る下降動作の説明図である。 【図15】上記装置の動作の説明図である。 【図16】上記装置の動作の説明図である。 【図17】（ａ）乃至（ｄ）は上記装置の前昇降部におけ
る昇降動作の説明図である。 【図18】（ａ）乃至（ｃ）は上記装置の下降装置におけ
る下降動作の説明図である。 【図19】上記装置の動作の説明図である。 【図20】（ａ）乃至（ｇ）は上記装置の奇数段における
ワーク搭載支持管の進行状態をまとめた説明図である。 【図21】（ａ）乃至（ｅ）は上記装置の奇数段における
単独管の戻りの進行状態をまとめた説明図である。 【図22】従来の加熱板式の熱処理装置図の説明図であ
る。 【符号の説明】 １ 加熱板 ２ 固定板部（固定加熱部） ４ 縦移動支持部 ７ ワーク搬入装置（ワーク搬出手段） ８ 管戻し装置（ワーク支持部材戻し手
段） ９ ワーク搬出装置（ワーク搬入手段） ２１ 前固定板部（固定加熱部） ２２ 後固定板部（固定加熱部） ３１ 前昇降板部（一方側昇降加熱部） ３２ 後昇降板部（他方側昇降加熱部） ５１ 奇数段昇降部 ５２ 偶数段昇降部 ６１ 前昇降部（一方側昇降部） ６２ 後昇降部（他方側昇降部） ７１ 分離機構（ワーク搬出手段） ７２ スライダー（ワーク搬出手段） ９１ 結合機構（ワーク搬入手段） ９２ スライダー（ワーク搬入手段） Ｐ 管（ワーク支持部材） Ｐ₀ 単独管（戻されたワーク支持部材） Ｗ ワーク Ｙ 縦方向 Ｙ₁ 入口の方向（一方側） Ｙ₂ 出口の方向（他方側） ｙ 縦ピッチ（一定の間隔） Ｚ 上下方向 ｚ 上下ピッチ（一定の間隔）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０２Ｆ 1/13 １０１ Ｇ０２Ｆ 1/13 １０１ // Ｇ０２Ｆ 1/1333 ５００ 1/1333 ５００ Ｆターム(参考） 2H088 FA11 FA16 FA17 FA18 FA25 FA28 FA30 MA16 2H090 JC08 JC18 JC19 JD14 JD15 4G015 EA00 4K050 AA02 BA07 CA13 CD06 CG01 CG12

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 【請求項１】 １枚づつ搬入される平板状のワークを多
   数枚の加熱板で加熱して搬出するようにした熱処理装置
   において、 前記加熱板が上下方向及びこれに直角な縦方向に一定の
   間隔で一定の位置に多段及び多列に配設された固定加熱
   部と、 前記加熱板が前記固定加熱部の前記縦方向の一方側及び
   他方側に前記固定加熱部の前記加熱板に対応して配設さ
   れ前記上下方向に昇降可能にされた一方側昇降加熱部及
   び他方側昇降加熱部と、 前記両側の昇降加熱部のうちの何れかのものの位置から
   前記固定加熱部の位置まで設けられ前記縦方向に少なく
   とも前記多列の一列分の範囲で往復移動可能で前記ワー
   クをワーク支持部材を介して前記多段に支持可能なよう
   に形成された縦移動支持部と、 前記ワーク支持部材を支持可能で前記固定加熱部の前記
   多段の前記加熱板の奇数段及び偶数段のそれぞれに対応
   して別個に設けられ昇降可能にされた奇数段昇降部及び
   偶数段昇降部と、 前記ワーク支持部材を支持可能で前記一方側及び他方側
   の昇降加熱部に昇降可能に設けられた一方側昇降部及び
   他方側昇降部と、 前記縦方向に直角な横方向に長尺状に形成されていて前
   記ワークを支持可能なように１枚のワークに対して少な
   くとも２本設けられる前記ワーク支持部材と、 前記ワーク支持部材を介して前記縦移動支持部で支持さ
   れた前記ワークのうち搬出されるワークを前記ワーク支
   持部材から分離して搬出するワーク搬出手段と、 前記搬出されるワークが分離された単独のワーク支持部
   材を前記ワークが搬入される側に戻すワーク支持部材戻
   し手段と、 前記ワークを搬入して該ワークを前記単独のワーク支持
   部材に載せ該ワーク支持部材を前記縦移動支持部で支持
   可能にするワーク搬入手段と、 を有することを特徴とする熱処理装置。