JP2003294608A - 粒子付着力測定装置 - Google Patents
粒子付着力測定装置Info
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- JP2003294608A JP2003294608A JP2002099754A JP2002099754A JP2003294608A JP 2003294608 A JP2003294608 A JP 2003294608A JP 2002099754 A JP2002099754 A JP 2002099754A JP 2002099754 A JP2002099754 A JP 2002099754A JP 2003294608 A JP2003294608 A JP 2003294608A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 高温状態の粒子間の付着力を高精度に測定す
ることのできる粒子付着力測定装置を提供する。 【解決手段】 粒子から成る第1試料W1が固着される
とともに基台2に一端を固定して立設される石英或いは
セラミックから成る板バネ6と、粒子から成る第2試料
W2が第1試料W1に対向した先端に固着される接触子
8と、板バネ6に垂直な方向に接触子8を進退して第
1、第2試料W1、W2を接触及び離間させる駆動手段
9と、第1、第2試料W1、W2を加熱する加熱手段2
1と、板バネ6の先端の変位を測定する測定手段13と
を備えた。
ることのできる粒子付着力測定装置を提供する。 【解決手段】 粒子から成る第1試料W1が固着される
とともに基台2に一端を固定して立設される石英或いは
セラミックから成る板バネ6と、粒子から成る第2試料
W2が第1試料W1に対向した先端に固着される接触子
8と、板バネ6に垂直な方向に接触子8を進退して第
1、第2試料W1、W2を接触及び離間させる駆動手段
9と、第1、第2試料W1、W2を加熱する加熱手段2
1と、板バネ6の先端の変位を測定する測定手段13と
を備えた。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、粒子間に働く微小
な付着力を測定する粒子付着力測定装置に関する。
な付着力を測定する粒子付着力測定装置に関する。
【0002】
【従来の技術】灰やセラミック粒子等の微小粒子は接近
するとファンデルワールス力が働いて互いに引き付け合
う。これにより、粉体を用いる機器等において粒子が互
いに付着して成長し、性能劣化の要因となる。このた
め、粒子間の付着を抑制すべく付着力の基礎的解析のた
めに粒子付着力測定装置が用いられる。
するとファンデルワールス力が働いて互いに引き付け合
う。これにより、粉体を用いる機器等において粒子が互
いに付着して成長し、性能劣化の要因となる。このた
め、粒子間の付着を抑制すべく付着力の基礎的解析のた
めに粒子付着力測定装置が用いられる。
【0003】従来の粒子付着力測定装置は、特開200
1−183289号公報に開示されている。同公報によ
ると、試料を付着させるサンプル下地を移動可能に設
け、サンプル下地に対向して先端が尖鋭な接触針が設け
られる。接触針は横設され、板バネによって2箇所を弾
性支持されており、弾性による変位をレーザ変位計等の
測定装置により測定可能になっている。
1−183289号公報に開示されている。同公報によ
ると、試料を付着させるサンプル下地を移動可能に設
け、サンプル下地に対向して先端が尖鋭な接触針が設け
られる。接触針は横設され、板バネによって2箇所を弾
性支持されており、弾性による変位をレーザ変位計等の
測定装置により測定可能になっている。
【0004】上記の付着力測定装置において、粒子から
成る試料を付着したサンプル下地を前進させ、接触針に
より一粒子を刺して該粒子を接触針に固着する。サンプ
ル下地を後退させて接触針から遠ざけると、該粒子はサ
ンプル下地に付着する他の粒子との間の付着力によって
サンプル下地の方向に引張られ、接触針がサンプル下地
の方向に移動する。更にサンプル下地を後退させると付
着力よりも板バネの弾性力の方が大きくなるため、接触
針がサンプル下地から離れる。この時の接触針の最大振
幅を測定装置により測定して、粒子間の付着力を求める
ことができるようになっている。
成る試料を付着したサンプル下地を前進させ、接触針に
より一粒子を刺して該粒子を接触針に固着する。サンプ
ル下地を後退させて接触針から遠ざけると、該粒子はサ
ンプル下地に付着する他の粒子との間の付着力によって
サンプル下地の方向に引張られ、接触針がサンプル下地
の方向に移動する。更にサンプル下地を後退させると付
着力よりも板バネの弾性力の方が大きくなるため、接触
針がサンプル下地から離れる。この時の接触針の最大振
幅を測定装置により測定して、粒子間の付着力を求める
ことができるようになっている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
付着力測定装置によると、粒子間の付着力は温度によっ
て変化するため高温状態での付着力は常温での付着力の
測定値から経験則に基づいて推定して求められる。この
ため、実際の高温状態の付着力との誤差が大きく、高温
燃焼システムにおける灰による炉の詰まりや、高温集塵
システムにおけるセラミックスフィルターの目詰まり等
を正確に解析できない問題があった。
付着力測定装置によると、粒子間の付着力は温度によっ
て変化するため高温状態での付着力は常温での付着力の
測定値から経験則に基づいて推定して求められる。この
ため、実際の高温状態の付着力との誤差が大きく、高温
燃焼システムにおける灰による炉の詰まりや、高温集塵
システムにおけるセラミックスフィルターの目詰まり等
を正確に解析できない問題があった。
【0006】本発明は、高温状態の粒子間の付着力を高
精度に測定することのできる粒子付着力測定装置を提供
することを目的とする。
精度に測定することのできる粒子付着力測定装置を提供
することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、粒子から成る第1試料が固着されるととも
に基台に一端を固定して立設される石英或いはセラミッ
クから成る板バネと、粒子から成る第2試料が第1試料
に対向した先端に固着される接触子と、前記板バネに垂
直な方向に前記接触子を進退して第1、第2試料を接触
及び離間させる駆動手段と、第1、第2試料を加熱する
加熱手段と、前記板バネの先端の変位を測定する測定手
段とを備えたことを特徴としている。
に本発明は、粒子から成る第1試料が固着されるととも
に基台に一端を固定して立設される石英或いはセラミッ
クから成る板バネと、粒子から成る第2試料が第1試料
に対向した先端に固着される接触子と、前記板バネに垂
直な方向に前記接触子を進退して第1、第2試料を接触
及び離間させる駆動手段と、第1、第2試料を加熱する
加熱手段と、前記板バネの先端の変位を測定する測定手
段とを備えたことを特徴としている。
【0008】この構成によると、石英或いはセラミック
から成る板バネと接触子とにそれぞれ固着された第1、
第2試料が加熱手段により加熱され、接触子が駆動手段
により前進して第1、第2試料が接触する。その後、接
触子を後退させると板バネが変位し、第1、第2試料が
離れた時の板バネの先端の最大振幅により粒子間の付着
力が求められる。
から成る板バネと接触子とにそれぞれ固着された第1、
第2試料が加熱手段により加熱され、接触子が駆動手段
により前進して第1、第2試料が接触する。その後、接
触子を後退させると板バネが変位し、第1、第2試料が
離れた時の板バネの先端の最大振幅により粒子間の付着
力が求められる。
【0009】また本発明は、上記構成の粒子付着力測定
装置において、前記接触子が石英或いはセラミックから
成ることを特徴としている。
装置において、前記接触子が石英或いはセラミックから
成ることを特徴としている。
【0010】また本発明は、上記構成の粒子付着力測定
装置において、第1試料を前記板バネの中央よりも固定
端側に固着したことを特徴としている。
装置において、第1試料を前記板バネの中央よりも固定
端側に固着したことを特徴としている。
【0011】また本発明は、上記構成の粒子付着力測定
装置において、前記加熱手段はロッドレンズにより赤外
線を集光することを特徴としている。
装置において、前記加熱手段はロッドレンズにより赤外
線を集光することを特徴としている。
【0012】また本発明は、上記構成の粒子付着力測定
装置において、第1、第2試料を白金から成るカバーで
覆い、赤外線を前記カバーに照射したことを特徴として
いる。
装置において、第1、第2試料を白金から成るカバーで
覆い、赤外線を前記カバーに照射したことを特徴として
いる。
【0013】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施形態を図面を
参照して説明する。図1は一実施形態の粒子付着力測定
装置を示す概略構成図である。粒子付着力測定装置1は
基台2上の一端にアングル4により支持されるチャンバ
ー3が設けられる。チャンバー3には、チャンバー3内
に充填するガスを取り入れる吸気口3aと、ガスを排気
する排気口3bとが設けられる。
参照して説明する。図1は一実施形態の粒子付着力測定
装置を示す概略構成図である。粒子付着力測定装置1は
基台2上の一端にアングル4により支持されるチャンバ
ー3が設けられる。チャンバー3には、チャンバー3内
に充填するガスを取り入れる吸気口3aと、ガスを排気
する排気口3bとが設けられる。
【0014】チャンバー3の図中、上下及び右方にはス
リット(不図示)が形成されている。チャンバー3には
上下のスリットを介して板バネ6が挿通されている。板
バネ6は石英から成り、下端が支持台5により支持され
ている。チャンバー3の右方のスリットには石英から成
るロッド(接触子)8が挿通されている。ロッド8は1
軸のナノステージ9に連結され、図中、左右方向に移動
可能になっている。ナノステージ9はリニアモータ或い
はピエゾ素子により駆動され、±0.5nm以下の精度
で位置決め可能になっている。
リット(不図示)が形成されている。チャンバー3には
上下のスリットを介して板バネ6が挿通されている。板
バネ6は石英から成り、下端が支持台5により支持され
ている。チャンバー3の右方のスリットには石英から成
るロッド(接触子)8が挿通されている。ロッド8は1
軸のナノステージ9に連結され、図中、左右方向に移動
可能になっている。ナノステージ9はリニアモータ或い
はピエゾ素子により駆動され、±0.5nm以下の精度
で位置決め可能になっている。
【0015】ナノステージ9はリニアモータ10と連結
されている。リニアモータ10は図中、左右方向にナノ
ステージ9を移動させることができ、基台2に固定され
るアングル12に支持された3軸ステージ11に連結さ
れている。3軸ステージ11によって手動によりナノス
テージ9及びリニアモータ10を直交する3方向に移動
可能になっている。これにより、ロッド8を所定の測定
位置に配置することができる。
されている。リニアモータ10は図中、左右方向にナノ
ステージ9を移動させることができ、基台2に固定され
るアングル12に支持された3軸ステージ11に連結さ
れている。3軸ステージ11によって手動によりナノス
テージ9及びリニアモータ10を直交する3方向に移動
可能になっている。これにより、ロッド8を所定の測定
位置に配置することができる。
【0016】板バネ6の長手方向の中間部には試料部6
eが設けられる。試料部6eの近傍の詳細図を図2に示
す。試料部6eには粒子から成る第1試料W1が耐熱性
接着剤により固着される。ロッド8は端面が試料部6e
に対面して配置され、先端には同様に粒子から成る第2
試料W2が耐熱性接着剤により固着されている。
eが設けられる。試料部6eの近傍の詳細図を図2に示
す。試料部6eには粒子から成る第1試料W1が耐熱性
接着剤により固着される。ロッド8は端面が試料部6e
に対面して配置され、先端には同様に粒子から成る第2
試料W2が耐熱性接着剤により固着されている。
【0017】第1、第2試料W1、W2は、チャンバー
3内に支持された白金製のカバー7によって、周囲の直
径約1cm×高さ約1cmの範囲が覆われている。カバ
ー7の外側に配されるロッドレンズ20は、チャンバー
3の外側に配された赤外線発生部22に連結されてい
る。
3内に支持された白金製のカバー7によって、周囲の直
径約1cm×高さ約1cmの範囲が覆われている。カバ
ー7の外側に配されるロッドレンズ20は、チャンバー
3の外側に配された赤外線発生部22に連結されてい
る。
【0018】ロッドレンズ20は赤外線発生部22によ
り発生した赤外線を集光し、カバー7を加熱する。従っ
て、赤外線発生部22及びロッドレンズ20により赤外
線集光型の加熱手段が構成され、カバー7内を昇温して
第1、第2試料W1、W2が高温状態に保持される。
り発生した赤外線を集光し、カバー7を加熱する。従っ
て、赤外線発生部22及びロッドレンズ20により赤外
線集光型の加熱手段が構成され、カバー7内を昇温して
第1、第2試料W1、W2が高温状態に保持される。
【0019】また、カバー7には熱電対等の温度検知手
段(不図示)が設けられ、温度検知手段の検知結果に基
づいて赤外線発生部22による加熱が制御される。第
1、第2試料W1、W2に直接赤外線を照射せずカバー
7に照射することにより、第1、第2試料W1、W2と
温度検知手段の検知温度との温度差を防止して所望の温
度の付着力を正確に測定できるようになっている。
段(不図示)が設けられ、温度検知手段の検知結果に基
づいて赤外線発生部22による加熱が制御される。第
1、第2試料W1、W2に直接赤外線を照射せずカバー
7に照射することにより、第1、第2試料W1、W2と
温度検知手段の検知温度との温度差を防止して所望の温
度の付着力を正確に測定できるようになっている。
【0020】図3は第1、第2試料W1、W2間の付着
力を計測する計測システム19の構成を示すブロック図
である。計測システム19は制御部14を有し、変位計
13、表示部15、入力部16及び記憶部18を制御す
る。変位計13はレーザー反射式や渦電流式等の非接触
型になっており、板バネ6の先端に対面して配されて
(図1参照)、板バネ6の先端の変位を検出する。
力を計測する計測システム19の構成を示すブロック図
である。計測システム19は制御部14を有し、変位計
13、表示部15、入力部16及び記憶部18を制御す
る。変位計13はレーザー反射式や渦電流式等の非接触
型になっており、板バネ6の先端に対面して配されて
(図1参照)、板バネ6の先端の変位を検出する。
【0021】レーザー反射式や渦電流式の変位計13は
1〜10nmの分解能を有しており、板バネ6先端の数
nm〜数10nmの微小変位を計測可能になっている。
本実施形態では、ナノステージ9を5nm/secの速
度で移動させ、変位計13のサンプリング周波数が1k
Hzになっている。これにより、0.005nm間隔で
板バネ6の先端の変位を検知することができるようにな
っている。
1〜10nmの分解能を有しており、板バネ6先端の数
nm〜数10nmの微小変位を計測可能になっている。
本実施形態では、ナノステージ9を5nm/secの速
度で移動させ、変位計13のサンプリング周波数が1k
Hzになっている。これにより、0.005nm間隔で
板バネ6の先端の変位を検知することができるようにな
っている。
【0022】入力部16は粒子間の付着力の演算のため
に必要なデータ入力を行い、例えば板バネ6のヤング率
や断面二次モーメント等が入力される。記憶部18は付
着力演算のためのプログラムや入力部16により入力さ
れたデータを記憶するとともに、演算の一時記憶を行
う。表示部15は制御部14の演算結果等を表示する。
尚、制御部14の制御によってナノステージ9(図1参
照)の駆動が計測システム19と連動するようになって
いる。
に必要なデータ入力を行い、例えば板バネ6のヤング率
や断面二次モーメント等が入力される。記憶部18は付
着力演算のためのプログラムや入力部16により入力さ
れたデータを記憶するとともに、演算の一時記憶を行
う。表示部15は制御部14の演算結果等を表示する。
尚、制御部14の制御によってナノステージ9(図1参
照)の駆動が計測システム19と連動するようになって
いる。
【0023】上記構成の粒子付着力測定装置1により付
着力を測定する場合には、まず、試料部6e及びロッド
8の先端に第1、第2試料W1、W2が東亞合成(株)
製のアロンセラミック(R)等の耐熱性接着剤により固
着される。3軸ステージ11及びリニアモータ10によ
り第2試料W2の位置合せが行われる。第2試料W2
は、ナノステージ9によるロッド8の移動方向に対して
平行で、かつ第1試料W1を通る直線上に配置される。
この時、着脱可能な顕微鏡等により観察しながら第2試
料W2の位置合せが行われる。
着力を測定する場合には、まず、試料部6e及びロッド
8の先端に第1、第2試料W1、W2が東亞合成(株)
製のアロンセラミック(R)等の耐熱性接着剤により固
着される。3軸ステージ11及びリニアモータ10によ
り第2試料W2の位置合せが行われる。第2試料W2
は、ナノステージ9によるロッド8の移動方向に対して
平行で、かつ第1試料W1を通る直線上に配置される。
この時、着脱可能な顕微鏡等により観察しながら第2試
料W2の位置合せが行われる。
【0024】第2試料W2が所定の位置に配されると、
上記顕微鏡等が取り外され、チャンバー3内にカバー7
を設置して第1、第2試料W1、W2が覆われる。その
後、吸気口3aを介してチャンバー3内には窒素ガス等
が充填される。赤外線発生部22が駆動されると、ロッ
ドレンズ20によってカバー7が加熱され、第1、第2
試料W1、W2が所定の温度に昇温される。
上記顕微鏡等が取り外され、チャンバー3内にカバー7
を設置して第1、第2試料W1、W2が覆われる。その
後、吸気口3aを介してチャンバー3内には窒素ガス等
が充填される。赤外線発生部22が駆動されると、ロッ
ドレンズ20によってカバー7が加熱され、第1、第2
試料W1、W2が所定の温度に昇温される。
【0025】この状態でリニアモータ9を駆動してロッ
ド8を板バネ6の方向に前進させると、第1、第2試料
W1、W2が接触する。この時、図4に示すように、ロ
ッド8の押圧力によって板バネ6の先端は接触前の位置
6aから位置6bに変位する。計測システム19は板バ
ネ6の先端を監視し、この変位を検知するとリニアモー
タ9の移動方向を反転してロッド8を後退させる。
ド8を板バネ6の方向に前進させると、第1、第2試料
W1、W2が接触する。この時、図4に示すように、ロ
ッド8の押圧力によって板バネ6の先端は接触前の位置
6aから位置6bに変位する。計測システム19は板バ
ネ6の先端を監視し、この変位を検知するとリニアモー
タ9の移動方向を反転してロッド8を後退させる。
【0026】第1、第2試料W1、W2には付着力が働
いており、ロッド8が後退して板バネ6の先端が元の位
置6aを過ぎても付着状態を維持する。そして、板バネ
6の弾性力が付着力よりも大きくなったときに第1、第
2試料W1、W2が離れる。この時の板バネ6の先端の
位置6cを計測システム19により捉えて最大振幅(変
位δ)を検知することができる。
いており、ロッド8が後退して板バネ6の先端が元の位
置6aを過ぎても付着状態を維持する。そして、板バネ
6の弾性力が付着力よりも大きくなったときに第1、第
2試料W1、W2が離れる。この時の板バネ6の先端の
位置6cを計測システム19により捉えて最大振幅(変
位δ)を検知することができる。
【0027】板バネ6の先端の変位δは、下記の式
(1)により表わされる。ここで、Pは付着力、Eは板
バネのヤング率、Iは板バネの断面二次モーメント、L
1は板バネ6の固定端と試料部6eとの距離、L2は板バ
ネ6の先端と試料部6eとの距離である。これを変形す
ると式(2)に示すように付着力Pを求めることができ
る。
(1)により表わされる。ここで、Pは付着力、Eは板
バネのヤング率、Iは板バネの断面二次モーメント、L
1は板バネ6の固定端と試料部6eとの距離、L2は板バ
ネ6の先端と試料部6eとの距離である。これを変形す
ると式(2)に示すように付着力Pを求めることができ
る。
【0028】
δ=PL1 2(2L1+3L2)/6EI ・・・(1)
P=6EIδ/L1 2(2L1+3L2) ・・・(2)
【0029】付着力Pの測定結果の一例を示すと、石英
から成る板バネ6のヤング率Eは75GPaである。板
バネ6の厚みtを0.3mm、幅wを1mmに加工する
と、断面二次モーメントIはI=wt3/12より2.
25×10-3mm4となる。距離L1、L2をそれぞれ3
cm、17cmとすると10μmの微粒子のファンデル
ワールス力に相当する850nN程度の付着力Pの時に
変位δが430nmとなる。従って、分解能が数nmを
補償できる非接触型の変位計を用いれば微小な付着力P
を充分検知することができる。
から成る板バネ6のヤング率Eは75GPaである。板
バネ6の厚みtを0.3mm、幅wを1mmに加工する
と、断面二次モーメントIはI=wt3/12より2.
25×10-3mm4となる。距離L1、L2をそれぞれ3
cm、17cmとすると10μmの微粒子のファンデル
ワールス力に相当する850nN程度の付着力Pの時に
変位δが430nmとなる。従って、分解能が数nmを
補償できる非接触型の変位計を用いれば微小な付着力P
を充分検知することができる。
【0030】本実施形態によると、加熱手段を有して板
バネ6が石英から成るので最高温度1100℃まで試料
W1、W2を昇温することができ、高温状態の粒子間の
付着力を測定することが可能となる。板バネ6は耐熱性
を有していれば他の材料でもよく、例えば、耐熱温度が
1400℃のムライト、コージエライト等のセラミック
を用いることができる。しかしながら、石英を用いると
板バネ状に加工するのが容易であるためより望ましい。
バネ6が石英から成るので最高温度1100℃まで試料
W1、W2を昇温することができ、高温状態の粒子間の
付着力を測定することが可能となる。板バネ6は耐熱性
を有していれば他の材料でもよく、例えば、耐熱温度が
1400℃のムライト、コージエライト等のセラミック
を用いることができる。しかしながら、石英を用いると
板バネ状に加工するのが容易であるためより望ましい。
【0031】また、測定部となる板バネ6の先端と試料
部6eとを所定の距離L2だけ離し、板バネ6の中央よ
りも固定端側に試料部6eを設けている。このため、加
熱手段によるカバー6内の温度変動があっても放熱によ
って板バネ6の先端での温度変動が小さくなる。これに
より、より高精度に板バネ6の先端の変位δを測定する
ことができる。
部6eとを所定の距離L2だけ離し、板バネ6の中央よ
りも固定端側に試料部6eを設けている。このため、加
熱手段によるカバー6内の温度変動があっても放熱によ
って板バネ6の先端での温度変動が小さくなる。これに
より、より高精度に板バネ6の先端の変位δを測定する
ことができる。
【0032】加えて、従来例のように横設される接触針
や、重量の大きいリニアモータ10、ナノステージ9等
を板バネにより支持すると板バネが大型になりヤング率
Eが大きくなる。これに対し、本実施形態は板バネ6に
は第1試料W1が固着されるだけであるので板バネ6を
薄くすることができ、ヤング率Eを小さくして微小な付
着力Pを容易に測定することができる。
や、重量の大きいリニアモータ10、ナノステージ9等
を板バネにより支持すると板バネが大型になりヤング率
Eが大きくなる。これに対し、本実施形態は板バネ6に
は第1試料W1が固着されるだけであるので板バネ6を
薄くすることができ、ヤング率Eを小さくして微小な付
着力Pを容易に測定することができる。
【0033】
【発明の効果】本発明によると、石英或いはセラミック
から成る板バネに第1試料を固着して基台上に立設する
ので、高温状態の粒子間の付着力を正確に測定でき、高
温燃焼システムにおける灰による炉の詰まりや、高温集
塵システムにおけるセラミックスフィルターの目詰まり
等を正確に解析することができる。また、接触子側を駆
動して板バネには第1試料が固着されるだけであるので
板バネのヤング率を小さくできる。従って、ファンデル
ワールス力等の粒子間の微小な付着力を容易に測定する
ことができる。
から成る板バネに第1試料を固着して基台上に立設する
ので、高温状態の粒子間の付着力を正確に測定でき、高
温燃焼システムにおける灰による炉の詰まりや、高温集
塵システムにおけるセラミックスフィルターの目詰まり
等を正確に解析することができる。また、接触子側を駆
動して板バネには第1試料が固着されるだけであるので
板バネのヤング率を小さくできる。従って、ファンデル
ワールス力等の粒子間の微小な付着力を容易に測定する
ことができる。
【0034】また本発明によると、第1試料を前記板バ
ネの中央よりも固定端側に固着するので、加熱手段の温
度変動による誤差を放熱によって縮小できる。これによ
り、より高精度に付着力を測定することができる。
ネの中央よりも固定端側に固着するので、加熱手段の温
度変動による誤差を放熱によって縮小できる。これによ
り、より高精度に付着力を測定することができる。
【0035】また本発明によると、加熱手段はロッドレ
ンズにより赤外線を集光するので、容易に第1、第2試
料の近傍を局部的に高温に保持することができる。
ンズにより赤外線を集光するので、容易に第1、第2試
料の近傍を局部的に高温に保持することができる。
【0036】また本発明によると、第1、第2試料を白
金から成るカバーで覆い、赤外線をカバーに照射するの
で、第1、第2試料と温度検知手段との温度差を低減し
て高精度に温度制御することができる。
金から成るカバーで覆い、赤外線をカバーに照射するの
で、第1、第2試料と温度検知手段との温度差を低減し
て高精度に温度制御することができる。
【図1】 本発明の実施形態の粒子付着力測定装置を
示す構成図である。
示す構成図である。
【図2】 本発明の実施形態の粒子付着力測定装置の
試料部近傍を示す斜視図である。
試料部近傍を示す斜視図である。
【図3】 本発明の実施形態の粒子付着力測定装置の
計測システムを示すブロック図である。
計測システムを示すブロック図である。
【図4】 本発明の実施形態の粒子付着力測定装置に
よる測定方法を説明する図である。
よる測定方法を説明する図である。
1 粒子付着力測定装置
2 基台
3 チャンバー
6 板バネ
7 カバー
8 ロッド
9 ナノステージ
10 リニアモータ
11 3軸ステージ
13 変位計
14 制御部
15 表示部
16 入力部
19 計測システム
20 ロッドレンズ
22 赤外線発生部
W1 第1試料
W2 第2試料
Claims (5)
- 【請求項1】 粒子から成る第1試料が固着されるとと
もに基台に一端を固定して立設される石英或いはセラミ
ックから成る板バネと、粒子から成る第2試料が第1試
料に対向した先端に固着される接触子と、前記板バネに
垂直な方向に前記接触子を進退して第1、第2試料を接
触及び離間させる駆動手段と、第1、第2試料を加熱す
る加熱手段と、前記板バネの先端の変位を測定する測定
手段とを備えたことを特徴とする粒子付着力測定装置。 - 【請求項2】 前記接触子が石英或いはセラミックから
成ることを特徴とする請求項1に記載の粒子付着力測定
装置。 - 【請求項3】 第1試料を前記板バネの中央よりも固定
端側に固着したことを特徴とする請求項1または請求項
2に記載の粒子付着力測定装置。 - 【請求項4】 前記加熱手段はロッドレンズにより赤外
線を集光することを特徴とする請求項1〜請求項3のい
ずれかに記載の粒子付着力測定装置。 - 【請求項5】 第1、第2試料を白金から成るカバーで
覆い、赤外線を前記カバーに照射したことを特徴とする
請求項4に記載の粒子付着力測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002099754A JP2003294608A (ja) | 2002-04-02 | 2002-04-02 | 粒子付着力測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002099754A JP2003294608A (ja) | 2002-04-02 | 2002-04-02 | 粒子付着力測定装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003294608A true JP2003294608A (ja) | 2003-10-15 |
Family
ID=29241044
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002099754A Pending JP2003294608A (ja) | 2002-04-02 | 2002-04-02 | 粒子付着力測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2003294608A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007212367A (ja) * | 2006-02-10 | 2007-08-23 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 毛細管力による微小力センサー、その評価法と評価装置 |
JP2011047869A (ja) * | 2009-08-28 | 2011-03-10 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 微細構造体の接着力推定方法および接着力推定装置 |
KR101757165B1 (ko) | 2016-03-09 | 2017-07-27 | 명지대학교 산학협력단 | 터널 배수시스템 스케일 부착력 측정장치 및 방법 |
-
2002
- 2002-04-02 JP JP2002099754A patent/JP2003294608A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007212367A (ja) * | 2006-02-10 | 2007-08-23 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 毛細管力による微小力センサー、その評価法と評価装置 |
JP4649564B2 (ja) * | 2006-02-10 | 2011-03-09 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 毛細管力による微小力センサー、その評価法と評価装置 |
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KR101757165B1 (ko) | 2016-03-09 | 2017-07-27 | 명지대학교 산학협력단 | 터널 배수시스템 스케일 부착력 측정장치 및 방법 |
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A02 | Decision of refusal |
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