JP2003284942A - 易重合性物質取扱装置 - Google Patents

易重合性物質取扱装置

Info

Publication number
JP2003284942A
JP2003284942A JP2002092510A JP2002092510A JP2003284942A JP 2003284942 A JP2003284942 A JP 2003284942A JP 2002092510 A JP2002092510 A JP 2002092510A JP 2002092510 A JP2002092510 A JP 2002092510A JP 2003284942 A JP2003284942 A JP 2003284942A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
polymerizable substance
meth
easily polymerizable
coating material
loaded
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2002092510A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2003284942A5 (ja
Inventor
Michiyuki Kono
通幸 河野
Yasuhiro Kamine
靖弘 加峯
Yoshiyuki Taniguchi
芳行 谷口
Takehiro Marumoto
武弘 丸本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Rayon Co Ltd
Original Assignee
Mitsubishi Rayon Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Rayon Co Ltd filed Critical Mitsubishi Rayon Co Ltd
Priority to JP2002092510A priority Critical patent/JP2003284942A/ja
Publication of JP2003284942A publication Critical patent/JP2003284942A/ja
Publication of JP2003284942A5 publication Critical patent/JP2003284942A5/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
  • Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
  • Gas Separation By Absorption (AREA)
  • Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 装置の内部表面への重合物、固形物の付
着、成長が抑えられた易重合性物質取扱装置を提供す
る。 【解決手段】 このような課題は、装置内に装填される
装填部品の表面がコーティング材料によって被覆されて
いる易重合性物質取扱装置によって解決される。また、
コーティング材料は、導電性を有するフッ素系樹脂であ
ることが望ましい。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、(メタ)アクリル
酸、(メタ)アクリル酸エステルおよび(メタ)アクロ
レイン等の易重合性物質、およびこれら易重合性物質を
含む液の製造、取り扱いを行う蒸留塔などの装置に関
し、詳しくは、装置内部における易重合性物質からなる
重合物や固形分の付着、成長が抑えられた易重合性物質
取扱装置に関する。
【0002】
【従来の技術】(メタ)アクリル酸、(メタ)アクリル
酸エステルおよび(メタ)アクロレインなどの易重合性
物質は、非常に重合しやすく、これらの製造および取り
扱いの際には、これらかなる重合物が発生し、場合によ
っては装置や工程の停止を余儀なくされることがよくあ
る。
【0003】その対策として、(メタ)アクリル酸、
(メタ)アクリル酸エステルおよび(メタ)アクロレイ
ンなどの製造の際には、(i)ハイドロキノン、フェノ
チアジン等の重合防止剤を添加すること、さらには(i
i)重合物、析出物等の固形分の装置内部への付着を防
止するために、装置内部に表面研磨処理を施すこと、(i
ii)装置外面からの冷却(場合によっては加温)、(i
v)液滞在や滞留を防止することは公知である。しかし
ながら、重合物、析出物等の固形分の発生や付着を完全
に防止することは未だ達成されていない。
【0004】(メタ)アクリル酸、(メタ)アクリル酸
エステルおよび(メタ)アクロレインなどを合成、精製
する際には、必ずといってよいほど蒸留プロセスが必要
となってくる。この蒸留プロセスの際に問題となってい
るのが、蒸留塔内部での重合物や固形物の塔内部表面へ
の付着、およびこの付着に起因する詰まりによるトラブ
ルの発生である。
【0005】これら重合物や固形物の塔内部表面への付
着に起因する詰まり等のトラブルは、重合物や固形物の
付着が少ない時点ではそれほど問題にはならないが、長
期間に渡り運転を継続していく間に重合物や固形物の付
着が徐々に増加し、それが起因となり運転の維持が困難
となる場合もある。
【0006】また、重合物等が付着し始めると、液の滞
留を促進することとなり、その部分を中心とし、局部的
にしかも急激に重合物が成長し始める。このようなトラ
ブルは、蒸留等などの装置自体にとっては偏流等を引き
起こす原因となり、効率の低下、能力の低下につながる
ことは言うまでもない。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】よって、本発明の目的
は、装置の内部表面への重合物、固形物の付着、成長が
抑えられた易重合性物質取扱装置を提供することにあ
る。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記の問
題を解決するために、様々な検討・評価を行った結果、
装置内部に装填される装填部品の表面にコーティング材
料にて被覆処理を行うことで重合物、固形分の発生や付
着を抑制することができることを見いだし、本発明を完
成させるに至った。
【0009】すなわち、本発明の易重合性物質取扱装置
は、易重合性物質を含む流体を取り扱う装置において、
装置内に装填される装填部品が、その表面がコーティン
グ材料によって被覆されているものであることを特徴と
する。また、前記装填部品の被覆表面は、JIS B
0601に準拠して測定されたRmax が300以下であ
ることが望ましい。
【0010】また、コーティング材料は、フッ素系樹脂
であることが望ましい。また、コーティング材料は、導
電性を有するものであることが望ましい。また、易重合
性物質は、(メタ)アクリル酸、(メタ)アクリル酸エ
ステル、および(メタ)アクロレインからなる群から選
ばれる1種であることが望ましい。
【0011】また、本発明の蒸留塔は、易重合性物質を
含む液の蒸留を行う蒸留塔において、塔内に装填される
トレーおよび締結部材の表面が、導電性を有するフッ素
系樹脂によって被覆されていることを特徴とする。ま
た、本発明の吸収塔は、易重合性物質を含む流体を取り
扱う吸収塔において、塔内に装填されるトレーおよび締
結部材の表面が、導電性を有するフッ素系樹脂によって
被覆されていることを特徴とする。
【0012】
【発明の実施の形態】以下、本発明について詳しく説明
する。本発明における易重合性物質取扱装置とは、易重
合性物質の製造を行う装置や易重合性物質を含む流体を
取り扱う装置のことである。このような易重合性物質取
扱装置としては、例えば、蒸留塔、気体・固体・液体の
各々の相互接触により成分の分離を達成する設備などが
挙げられる。気体・固体・液体の各々の相互接触により
成分の分離を達成する設備とは、具体的には、吸収塔な
どである。
【0013】本発明における装填部品とは、易重合性物
質取扱装置の内部に装填、取り付けられている部品であ
る。易重合性物質取扱装置が蒸留塔の場合、装填部品と
しては、例えば、トレー、トレーを塔本体に取り付けた
りトレー同士を連結するためのボルト、ナット、クラン
プなどの締結部材、トレーを支持する部材などの金属部
品が挙げられる。また、吸収塔の場合、装填部品として
は、例えば、トレー、ボルト、ナット、クランプなどが
挙げられる。
【0014】本発明における易重合性物質としては、重
合し易い物質であれば特に限定はされないが、例えば、
重合性ビニル化合物を挙げることができる。重合性ビニ
ル化合物としては、例えば、(メタ)アクリル酸、(メ
タ)アクリル酸メチル、ヒドロキシエチル(メタ)アク
リレート、ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、
ターシャリーブチル(メタ)アクリレート、ノルマルブ
チル(メタ)アクリレート、イソブチル(メタ)アクリ
レート、エチル(メタ)アクリレート等の(メタ)アク
リレート、エチルアクリレート、またはそれらの混合物
を挙げることができる。また、(メタ)アクロレイン、
その化合物、またはそれらの混合物も挙げることができ
る。ここで、(メタ)アクリル酸とは、アクリル酸また
はメタクリル酸のことを意味し、(メタ)アクロレイン
とは、アクロレインまたはメタクロレインのことを意味
する。
【0015】さらに、分子構造上に官能基として(メ
タ)アクリル酸または(メタ)アクリル酸エステルを1
〜3個付加させた多官能モノマー、2−エチルヘキシル
(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリ
レート、ベンジル(メタ)アクリレート、グリシジル
(メタ)アクリレート等の脂環・芳香環・複素環または
ビニル基含有エステル類;エチレングリコールジ(メ
タ)アクリレート等のジ−またはトリメタクリル酸エス
テル類;ジメチルアミノエチル(メタ)アクリレート等
のジアルキルアミノエチルエステル類;またはそれらの
混合物を挙げることができる。
【0016】本発明における易重合性物質を含む液と
は、上記の易重合性物質と易重合性物質の合成または生
成時の副生物との混合物である。また、第三成分溶媒と
して水、トルエン、ヘキサン等の上記の易重合性物質に
対して非反応性の溶媒が混合した液である場合もある。
【0017】以下、蒸留塔を例にとり、本発明の易重合
性物質取扱装置をさらに詳しく説明する。図1は、蒸留
塔の内部を示す断面図であり、この蒸留塔は、塔本体1
1と、塔本体11の内壁に固定された環状のサポートリ
ング12と、サポートリング12に固定されたトレー1
3とを有して概略構成されるものである。
【0018】ここで、サポートリング12とトレー13
との接続は、図2に示すように、トレー13の裏面周縁
に設けられたクランプ14と、トレー13周縁部とでサ
ポートリング12を挟み込み、これらをさらにボルト1
5およびナット16、ワッシャ17で挟み込むことによ
って行われている。また、トレー13は、図3に示すよ
うに、図中の破線部を境にそれぞれ1つのパーツになっ
ており、これらがボルトやクランプ止めによって連結
し、1枚のトレーを形成しているものである。
【0019】この蒸留塔においては、装填部品である、
トレー13、およびトレー13と塔本体11との固定に
使用されるボルト15、ナット類(ナット16、ワッシ
ャ17)、クランプ14、サポートリング12が、その
表面がコーティング材料によって被覆されている。ま
た、トレー13が2つ以上のパーツからなるものについ
ては、それらを互いに連結するためのボルト、ナット
類、クランプ等が、その表面がコーティング材料によっ
て被覆されている。
【0020】このように、トレー13本体だけではな
く、塔本体11との固定やトレーパーツ同士の連結に使
用される締結部材の表面にもコーティング材料による被
覆処理を施すことによって、易重合性物質が滞留しやす
い隙間が形成されているサポートリング12とトレー1
3との接続部分やトレーパーツの連結部分においても、
重合物や固形分の付着を抑えている。
【0021】コーティング材料としては、装填部品の表
面を被覆できるものであれば、特に限定はされず、例え
ば、フッ素系樹脂;ポリエチレン、ポリプロピレン等の
ポリオレフィン系樹脂などが挙げられる。これらの中で
も、(i)易重合性物質、および蒸留の温度に耐えうる
だけの耐薬品性および耐熱性を有する、(ii)表面が平
滑で、かつ粘着性がなく、重合物や固形分が付着しにく
い、などの利点からフッ素系樹脂がコーティング材料と
して好適に用いられる。
【0022】フッ素系樹脂としては、例えば、PTFE
(ポリテトラフルオロエチレン)、FEP(テトラフル
オロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体)、
PFA(テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキ
ルビニルエーテル共重合体)、ETFE(テトラフルオ
ロエチレン−エチレン共重合体)などが挙げられる。
【0023】なお、通常、フッ素系樹脂などの樹脂材料
は、導電性がなく絶縁体であるため、静電気の発生によ
る易重合性物質の発火や装置への悪影響などが考えられ
る。そこで、フッ素系樹脂をはじめとするコーティング
材料には、導電性が付与されていることが好ましい。ま
た、被覆の帯電を防止することによって、微細な付着物
が表面に付着しにくくなるという効果も発揮される。導
電性を有するフッ素系樹脂としては、カーボンブラッ
ク、チタン等の導電性をもつ物質が混合させているもの
が挙げられ、これらについては、使用場所、コーティン
グ施工の問題、およびコスト等を考慮して適宜選択する
ことが好ましい。フッ素樹脂への導電性をもつ物質への
添加量は、フッ素樹脂100質量部に対して、0.01
〜10質量部の範囲が好ましい。導電性をもつ物質の添
加量が0.01質量部未満では、導電性が不十分となる
おそれがあり、また10質量部を超えると、被膜の形成
が困難になるおそれがある。
【0024】装填部品表面へのコーティング材料の被覆
方法は、特に限定はされないが、コーティング材料の塗
料を装填部品の表面に塗布する方法;例えば焼成により
塗膜を形成させる方法等を用いることができる。具体的
には(1)基材の油脂や汚れの除去、(2)ブラスト処
理や化学処理による下地処理、(3)プライマー塗装、
(4)プライマーの焼付、(5)コーティング材の塗
装、(6)焼成による塗膜の形成という手順で基材の表
面に塗布することができる。また簡便な装填部品では静
電塗装ガンによる吹き付けと焼成によりコーティング材
料を塗布することもできる。また、装填部品表面へのコ
ーティング材料の被覆は、装填部品を蒸留塔内部に装填
する前に、各部品に個別に行ってもよいし、装填部品を
蒸留塔内部に装填した後におこなってもよい。
【0025】装填部品表面へのコーティング材料の被覆
は、装填部品表面の粗さを取り除き、表面を平滑にする
ことによって重合物や固形物の表面への付着を減少させ
ることを目的としている。したがって、装填部品の被覆
表面は、表面の滑らかさを示す尺度、JIS B 06
01に準拠して測定されたRmax が300以下であるこ
とが好ましい。装填部品の被覆表面のRmax が300を
超えると、重合物や固形物の表面への付着が起こりやす
くなる。
【0026】以上説明したような蒸留塔にあっては、装
填部品(トレー13、ボルト15、ナット16、ワッシ
ャ17、クランプ14、サポートリング12)の表面が
コーティング材料によって被覆されているので、装填部
品の表面の粗さを除くことが可能となり、重合物や固形
物等の付着を減少させることができる。そして、これに
より、蒸留塔内部での詰まりトラブルが減少し、蒸留塔
内の分解、洗浄の頻度が減少する。なお、本発明の易重
合性物質取扱装置の一例である蒸留塔は、図示例のもの
に限定はされず、易重合性物質を含む液を取り扱うもの
であれば、どのような形態のものであっても構わない。
【0027】
【実施例】以下に実施例を示して、本発明をさらに説明
するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものでは
ない。
【0028】〔実施例1〕コーティング材料としては、
PFA(デュポン社製のテフロン(登録商標)PMP−
10)100質量部に、カーボンブラックを2質量部を
添加したものを用いた。メタクリル酸とメタクリル酸メ
チルを蒸留分離する蒸留塔において、塔内に装填された
デュアルフロータイプのトレー、ボルト、ナット、クラ
ンプに、導電性を付与したPFAを被覆した。PFAの
被覆は、基材に付着した油脂や汚れを除去し、下地処理
としてブラスト処理および化学処理を行い、プライマー
塗装、焼付を行った後、コーティング材であるPFAを
塗装、焼成して形成した。この蒸留塔を使用して、15
0mmHgの減圧下、塔内温度60〜90℃でメタクリル酸
とメタクリル酸メチルの蒸留分離を行った。その結果、
3年に一度の洗浄で、トレイの詰まり、および内部重合
トラブル等が皆無となった。
【0029】〔比較例1〕装填部品にコーティング材料
を一切被覆しない以外は、実施例1と同じ蒸留塔を用い
て、メタクリル酸とメタクリル酸メチルの蒸留分離を行
った。運転を継続していくにしたがい、徐々にトレーに
重合物、固形物等の付着が発生した。付着の進行に対応
させて、その都度、運転条件を変更した。しかしなが
ら、運転条件の変更による対応にも限度があり、最終的
には工程をシャットダウンし、工程洗浄や分解点検を余
儀なくされた。また、洗浄、分解清掃を行った後、再度
洗浄を実施するまでの期間としては平均すると2ヶ月程
度であり、その都度シャットダウンを必要とした。
【0030】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の易重合性
物質取扱装置は、易重合性物質、特に(メタ)アクリル
酸、(メタ)アクリル酸エステル、および(メタ)アク
ロレインからなる群から選ばれる1種、を含む流体を取
り扱う装置において、装置内に装填される装填部品が、
その表面がコーティング材料によって被覆されているも
のであるので、装置の内部表面への重合物、固形物の付
着、成長を抑えることができる。また、前記装填部品の
被覆表面が、表面の滑らかさを示す尺度、JIS B0
601に準拠して測定されたRmax が300以下であれ
ば、装填部品表面への重合物、固形物の付着、成長をさ
らに抑えることができる。
【0031】また、コーティング材料がフッ素系樹脂で
あれば、装填部品表面の耐薬品性、耐熱性が良好とな
り、かつ装填部品表面への重合物、固形物の付着、成長
をさらに抑えることができる。また、コーティング材料
が導電性を有するものであれば、装填部品表面での静電
気の発生が防止され、かつ微細な付着物の付着を抑える
ことができる。
【0032】また、本発明の蒸留塔は、易重合性物質を
含む液の蒸留を行う蒸留塔において、塔内に装填される
トレーおよび締結部材の表面が、導電性を有するフッ素
系樹脂によって被覆されているものであるので、塔内部
への重合物、固形物の付着、成長を抑えることができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の蒸留塔の一例を示す概略断面図であ
る。
【図2】 塔本体のサポートリングとトレーとの接続部
分を示す要部断面図である。
【図3】 トレーの一例を示す上面図である。
【符号の説明】
11 塔本体(蒸留塔) 12 サポートリング(装填部品) 13 トレー(装填部品) 14 クランプ(装填部品) 15 ボルト(装填部品) 16 ナット(装填部品) 17 ワッシャ(装填部品)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) C07C 51/42 C07C 51/42 57/04 57/04 (72)発明者 谷口 芳行 広島県大竹市御幸町20番1号 三菱レイヨ ン株式会社大竹事業所内 (72)発明者 丸本 武弘 広島県大竹市御幸町20番1号 三菱レイヨ ン株式会社大竹事業所内 Fターム(参考) 4D020 AA08 BA23 CB18 CC15 CC18 4D076 AA16 AA22 BB05 CA19 FA02 FA12 JA02 4G075 AA13 AA52 BB04 BB10 EE13 FA11 FB12 FC11 4H006 AA04 AD40 BD81 BD83

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 易重合性物質を含む流体を取り扱う装置
    において、 装置内に装填される装填部品が、その表面がコーティン
    グ材料によって被覆されているものであることを特徴と
    する易重合性物質取扱装置。
  2. 【請求項2】 前記装填部品の被覆表面が、JIS B
    0601に準拠して測定されたRmax が300以下で
    あることを特徴とする請求項1記載の易重合性物質取扱
    装置。
  3. 【請求項3】 コーティング材料が、フッ素系樹脂であ
    ることを特徴とする請求項1または請求項2記載の易重
    合性物質取扱装置。
  4. 【請求項4】 コーティング材料が、導電性を有するも
    のであることを特徴とする請求項1ないし3いずれか一
    項に記載の易重合性物質取扱装置。
  5. 【請求項5】 易重合性物質が、(メタ)アクリル酸、
    (メタ)アクリル酸エステル、および(メタ)アクロレ
    インからなる群から選ばれる1種であることを特徴とす
    る請求項1ないし6いずれか一項に記載の易重合性物質
    取扱装置。
  6. 【請求項6】 易重合性物質を含む液の蒸留を行う蒸留
    塔において、 塔内に装填されるトレーおよび締結部材の表面が、導電
    性を有するフッ素系樹脂によって被覆されていることを
    特徴とする蒸留塔。
  7. 【請求項7】 易重合性物質を含む流体を取り扱う吸収
    塔において、 塔内に装填されるトレーおよび締結部材の表面が、導電
    性を有するフッ素系樹脂によって被覆されていることを
    特徴とする吸収塔。
JP2002092510A 2002-03-28 2002-03-28 易重合性物質取扱装置 Pending JP2003284942A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002092510A JP2003284942A (ja) 2002-03-28 2002-03-28 易重合性物質取扱装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002092510A JP2003284942A (ja) 2002-03-28 2002-03-28 易重合性物質取扱装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2003284942A true JP2003284942A (ja) 2003-10-07
JP2003284942A5 JP2003284942A5 (ja) 2005-09-08

Family

ID=29237322

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002092510A Pending JP2003284942A (ja) 2002-03-28 2002-03-28 易重合性物質取扱装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2003284942A (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008303259A (ja) * 2007-06-06 2008-12-18 Chiyoda Corp 石油系重質油の熱分解反応槽、およびそれを用いた熱分解処理装置
JP2011528008A (ja) * 2008-07-16 2011-11-10 ワッカー ケミー アクチエンゲゼルシャフト 不飽和有機珪素化合物の重合を阻止する方法
WO2012121300A1 (ja) * 2011-03-09 2012-09-13 三菱化学株式会社 共役ジエンの製造方法
WO2013111353A1 (ja) * 2012-01-25 2013-08-01 旭化成ケミカルズ株式会社 分離方法
KR20190022666A (ko) 2016-06-24 2019-03-06 가부시키가이샤 가네카 플로우식 리액터
WO2023182466A1 (ja) * 2022-03-24 2023-09-28 日本ポリプロ株式会社 オレフィンガスの精製方法およびポリオレフィンの製造方法

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008303259A (ja) * 2007-06-06 2008-12-18 Chiyoda Corp 石油系重質油の熱分解反応槽、およびそれを用いた熱分解処理装置
JP2011528008A (ja) * 2008-07-16 2011-11-10 ワッカー ケミー アクチエンゲゼルシャフト 不飽和有機珪素化合物の重合を阻止する方法
WO2012121300A1 (ja) * 2011-03-09 2012-09-13 三菱化学株式会社 共役ジエンの製造方法
US9340472B2 (en) 2011-03-09 2016-05-17 Mitsubishi Chemical Corporation Method for producing conjugated diene
WO2013111353A1 (ja) * 2012-01-25 2013-08-01 旭化成ケミカルズ株式会社 分離方法
KR101489098B1 (ko) * 2012-01-25 2015-02-02 아사히 가세이 케미칼즈 가부시키가이샤 분리 방법
JP5700595B2 (ja) * 2012-01-25 2015-04-15 旭化成ケミカルズ株式会社 分離方法
US9950273B2 (en) 2012-01-25 2018-04-24 Asahi Kasei Chemicals Corporation Method of separation
KR20190022666A (ko) 2016-06-24 2019-03-06 가부시키가이샤 가네카 플로우식 리액터
US10543474B2 (en) 2016-06-24 2020-01-28 Kaneka Corporation Flow reactor
WO2023182466A1 (ja) * 2022-03-24 2023-09-28 日本ポリプロ株式会社 オレフィンガスの精製方法およびポリオレフィンの製造方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1281699C (zh) 压敏粘合剂组合物以及压敏粘合剂产品
CA1330912C (en) Low adhesion compositions of perfluoropolyethers
JP2003284942A (ja) 易重合性物質取扱装置
CN1235857C (zh) 处理易于聚合的化合物的装置和方法
CN1064291A (zh) 具有浓度梯度的不粘涂层体系
JPH07196726A (ja) ポリアクリレート溶融体から残留揮発分を除去する方法
KR20180100273A (ko) 양면 점착 테이프 또는 시트, 및 피착체의 가공 방법
JP2007002225A (ja) 粘着剤層、その製造方法、粘着シート、クリーニングシート、クリーニング機能付き搬送部材およびクリーニング方法
JP2000344711A (ja) 易重合性化合物の精製方法
JP2005298641A (ja) 表面保護用粘着フィルム
JP2011037944A (ja) 感温性粘着剤および感温性粘着テープ
JP3987720B2 (ja) クリーニングシートおよびこれを用いた基板処理装置のクリーニング方法
CN103571358A (zh) 保护膜
TWI712503B (zh) 透明導電性膜用載膜及積層體
EP2808371A1 (en) Degassing Additive for Pressure sensitive Adhesives
JP2008019315A (ja) 粘着剤層、その製造方法、粘着シート、クリーニングシート、クリーニング機能付き搬送部材およびクリーニング方法
CN1717285A (zh) 清洁片和基板处理装置的清洁方法
JP2013213206A (ja) 透明基板の処理方法及び透明基板処理用粘着剤
JPH0461907B2 (ja)
JP6440407B2 (ja) Tsvウエハの製造方法
CN1381535A (zh) 精密电子元件用粘合片
JPWO2016072324A6 (ja) 表面保護フィルム用粘着剤組成物および表面保護フィルム
JP4119658B2 (ja) 易重合性物質取扱設備における易重合性物質の重合抑制方法
JP2015072903A (ja) 積層体
KR102652136B1 (ko) 감온성 점착제, 감온성 점착 시트 및 감온성 점착 테이프

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20050316

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20050316

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20071017

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20071023

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20071218

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20090310