JP2003282403A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2003282403A5 JP2003282403A5 JP2002080132A JP2002080132A JP2003282403A5 JP 2003282403 A5 JP2003282403 A5 JP 2003282403A5 JP 2002080132 A JP2002080132 A JP 2002080132A JP 2002080132 A JP2002080132 A JP 2002080132A JP 2003282403 A5 JP2003282403 A5 JP 2003282403A5
- Authority
- JP
- Japan
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002080132A JP2003282403A (ja) | 2002-03-22 | 2002-03-22 | 半導体製造装置用保持体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002080132A JP2003282403A (ja) | 2002-03-22 | 2002-03-22 | 半導体製造装置用保持体 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2006303543A Division JP4788575B2 (ja) | 2006-11-09 | 2006-11-09 | 半導体製造装置用保持体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003282403A JP2003282403A (ja) | 2003-10-03 |
| JP2003282403A5 true JP2003282403A5 (ja) | 2005-06-16 |
Family
ID=29229293
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002080132A Pending JP2003282403A (ja) | 2002-03-22 | 2002-03-22 | 半導体製造装置用保持体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003282403A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009049061A (ja) * | 2007-08-14 | 2009-03-05 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体ウエハ処理装置及び半導体ウエハ処理方法 |
| JP5230165B2 (ja) * | 2007-10-18 | 2013-07-10 | 日本フェンオール株式会社 | 半導体処理ユニット及び半導体製造装置 |
| NL2006913A (en) * | 2010-07-16 | 2012-01-17 | Asml Netherlands Bv | Lithographic apparatus and method. |
Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4330717B2 (ja) * | 1999-08-09 | 2009-09-16 | 東京エレクトロン株式会社 | ホットプレートユニット及びホットプレートユニットの使用方法 |
| JPH07135235A (ja) * | 1993-06-29 | 1995-05-23 | Hitachi Ltd | 加熱装置 |
| JP3493398B2 (ja) * | 1994-10-04 | 2004-02-03 | 株式会社ルネサステクノロジ | ベーキング方法および半導体装置の製造方法 |
| JPH10294275A (ja) * | 1997-04-17 | 1998-11-04 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 熱処理装置および熱処理方法 |
| JP2000011451A (ja) * | 1998-06-19 | 2000-01-14 | Victor Co Of Japan Ltd | 光学情報記録媒体 |
| JP2000021733A (ja) * | 1998-07-03 | 2000-01-21 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板加熱装置 |
| JP3874960B2 (ja) * | 1999-04-02 | 2007-01-31 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置 |
| JP3585215B2 (ja) * | 1999-05-24 | 2004-11-04 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置 |
| JP3605550B2 (ja) * | 1999-07-19 | 2004-12-22 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板加熱処理装置および温度制御方法 |
| JP4021139B2 (ja) * | 1999-09-30 | 2007-12-12 | 東京エレクトロン株式会社 | 加熱処理装置及び加熱処理方法 |
| JP3935303B2 (ja) * | 2000-03-17 | 2007-06-20 | 東京エレクトロン株式会社 | 加熱処理装置 |
| JP2002075600A (ja) * | 2000-08-31 | 2002-03-15 | Kyocera Corp | ウエハ加熱装置 |
-
2002
- 2002-03-22 JP JP2002080132A patent/JP2003282403A/ja active Pending