JP2003282332A - Ceramic electronic component and method of manufacturing the ceramic electronic component - Google Patents

Ceramic electronic component and method of manufacturing the ceramic electronic component

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JP2003282332A
JP2003282332A JP2002082570A JP2002082570A JP2003282332A JP 2003282332 A JP2003282332 A JP 2003282332A JP 2002082570 A JP2002082570 A JP 2002082570A JP 2002082570 A JP2002082570 A JP 2002082570A JP 2003282332 A JP2003282332 A JP 2003282332A
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To increase the fixing force of external conductors to an elemental ceramic body, without compromising the electrical characteristics of the conductors and, in addition, to accurately and quickly discriminate the quality of products. <P>SOLUTION: Borosilicate glass and a ceramic composition containing SiO<SB>2</SB>, BaCO<SB>3</SB>, Al<SB>2</SB>O<SB>3</SB>, etc., are mixed with each other so that the content of the borosilicate glass in the mixture becomes 60-72 wt.% and the elemental ceramic body 1, containing embedded internal electrodes 5, is formed from the mixture. In addition, paste for external electrode, containing the borosilicate glass in the amount of 3-5 wt.% with respect to Ag used as a conductive material, is prepared and external electrodes 2a and 2b are formed on the external surface of the ceramic body 1 by using the paste. The borosilicate glass contained in the paste can contain Cr<SB>2</SB>O<SB>3</SB>in the amount of 0.50-3.00 wt.%. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明はセラミック電子部
品、及びセラミック電子部品の製造方法に関し、より詳
しくはコイル用内部導体やコンデンサ用内部導体などの
内部電極が埋設されたセラミック電子部品、及びその製
造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a ceramic electronic component and a method for manufacturing a ceramic electronic component, and more particularly, to a ceramic electronic component in which internal electrodes such as an internal conductor for a coil and an internal conductor for a capacitor are embedded, and its production. Regarding the method.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、電子機器の小形化に伴い、電子回
路を構成する各電子部品を実装するためにセラミック基
板が使用されているが、最近では、実装密度を高める観
点から多層セラミック基板が広く使用されるようになっ
てきている。
2. Description of the Related Art In recent years, with the miniaturization of electronic equipment, ceramic substrates have been used for mounting electronic components constituting electronic circuits. Recently, multilayer ceramic substrates have been used from the viewpoint of increasing the mounting density. It is becoming widely used.

【0003】この種の多層セラミック基板は、通常、セ
ラミックシートの表面に導体パターンをスクリーン印刷
等で印刷した後、該導体パターンが形成された適数枚の
セラミックシートを導体パターンの形成されていないセ
ラミックシート(外装シート)で挟持、圧着し、この
後、前記セラミックシートと導体パターンとを同時に焼
成し、これにより導体パターン(内部電極)が埋設され
たセラミック素体を製造し、該セラミック素体の外表面
に外部電極を形成している。
In this type of multilayer ceramic substrate, usually, after a conductor pattern is printed on the surface of the ceramic sheet by screen printing or the like, a suitable number of ceramic sheets having the conductor pattern are not formed with the conductor pattern. The ceramic sheet (exterior sheet) is sandwiched and pressure-bonded, and then the ceramic sheet and the conductor pattern are simultaneously fired to manufacture a ceramic element body in which the conductor pattern (internal electrode) is embedded. An external electrode is formed on the outer surface of the.

【0004】そして、セラミック素体の作製に際しては
焼成時に要するエネルギを極力抑制して所望の電気的特
性を得るのが望ましく、そのためには焼成温度をできる
だけ低くする必要がある。
When manufacturing the ceramic body, it is desirable to suppress the energy required for firing as much as possible to obtain desired electrical characteristics. For that purpose, it is necessary to keep the firing temperature as low as possible.

【0005】そこで、従来より、低温焼成可能なセラミ
ック組成物として、SiO:62wt%〜75wt
%、BaCO:4wt%〜22wt%、Al
0.5wt%〜2.5wt%、Cr:0wt%〜
0.8wt%、CaCO:0.2wt%〜0.8wt
%、B:8wt%〜18wt%、KO:0wt
%〜2.5wt%を含有した組成物が提案されている
(特許第3161355号公報;以下、「従来技術」と
いう)。
Therefore, conventionally, as a ceramic composition which can be fired at a low temperature, SiO 2 : 62 wt% to 75 wt
%, BaCO 3 : 4 wt% to 22 wt%, Al 2 O 3 :
0.5wt% ~2.5wt%, Cr 2 O 3: 0wt% ~
0.8 wt%, CaCO 3 : 0.2 wt% to 0.8 wt
%, B 2 O 3 : 8 wt% to 18 wt%, K 2 O: 0 wt%
% -2.5 wt% is proposed (Japanese Patent No. 3161355; hereinafter referred to as "prior art").

【0006】該従来技術では、900℃以下の低温で焼
成処理を行うことができ、しかも、内部導体として低融
点のAgを使用することができるため高温大気中でも酸
化され難く、Cuを内部導体として使用する場合のよう
に焼成雰囲気を還元性雰囲気とする必要もなく所望の焼
成処理を行うことができる。
In the prior art, the firing treatment can be performed at a low temperature of 900 ° C. or lower, and since Ag having a low melting point can be used as the internal conductor, it is difficult to oxidize even in a high temperature atmosphere and Cu is used as the internal conductor. It is possible to perform a desired baking treatment without the need to make the baking atmosphere a reducing atmosphere as in the case of using.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来技術は、前記セラミック素体を低温焼結して得ている
ものの、外部電極に関しては、セラミック素体の外表面
に通常のAgペーストを印刷・焼成して形成しているた
め、外部電極のセラミック素体への固着力を十分に得る
ことができないという問題点があった。
However, although the above-mentioned conventional technique is obtained by sintering the ceramic body at low temperature, as for the external electrodes, a normal Ag paste is printed on the outer surface of the ceramic body. Since it is formed by firing, there is a problem in that it is not possible to obtain a sufficient fixing force of the external electrode to the ceramic body.

【0008】また、前記セラミック素体は、上述したよ
うにセラミックシートを積層・圧着し、その後焼成処理
を行っているため、一連の製造工程中でセラミックシー
トが破損したりワレやクラックの発生する虞があり、こ
のため製品検査において光学顕微鏡等で透視検査を行
い、内部電極がセラミック素体の表面に露出しているか
否かを判別している。
Further, in the ceramic element body, as described above, the ceramic sheets are laminated and pressure-bonded, and then fired, so that the ceramic sheets are damaged or cracked or cracked during a series of manufacturing steps. Therefore, in the product inspection, a fluoroscopic inspection is performed with an optical microscope or the like to determine whether the internal electrodes are exposed on the surface of the ceramic body.

【0009】しかしながら、上記従来技術では、セラミ
ックシートが透けて視えるため、前記透視検査を行なっ
た場合、セラミックシートに破損等が生じて内部電極が
表面露出しているのか、或いは外装を構成するセラミッ
クシートが透けているため、内部電極が表面露出してい
るように視えるのかを判別するのが困難な場合があり、
したがって製品の良否判断を迅速且つ正確に行うことが
できないという問題点があった。
However, in the above-mentioned prior art, since the ceramic sheet can be seen through, the internal electrodes are exposed on the surface due to damage or the like in the ceramic sheet when the fluoroscopic inspection is performed, or the exterior is constituted. Since the ceramic sheet is transparent, it may be difficult to determine whether the internal electrodes appear to be exposed on the surface.
Therefore, there is a problem that the quality of the product cannot be judged quickly and accurately.

【0010】本発明はこのような問題点に鑑みなされた
ものであって、低温焼結性や電気的特性、更には機械的
強度等を損ねることなく、外部電極のセラミック素体へ
の固着力を向上させることができ、しかも製品の良否を
迅速且つ正確に判別することのできるセラミック電子部
品、及びセラミック電子部品の製造方法を提供すること
を目的とする。
The present invention has been made in view of the above problems, and the fixing force of the external electrode to the ceramic body can be obtained without impairing the low temperature sinterability, electrical characteristics, mechanical strength and the like. It is an object of the present invention to provide a ceramic electronic component and a method for manufacturing the ceramic electronic component, which can improve the product quality and can quickly and accurately determine the quality of the product.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明者らは、低温焼結
が可能なガラス成分としてホウケイ酸ガラスを含有した
磁器組成物を使用し、該磁器組成物を使用した場合に電
気的特性や機械的強度を損なうことなく外部電極のセラ
ミック素体への固着力をより強固なものとすべく、鋭意
研究したところ、導電性材料に対し3wt%〜5wt%
のホウケイ酸ガラスを外部電極中に含有させることによ
り、電気的特性やはんだ付け性を損なうことなく前記固
着力を向上させることができるという知見を得た。
The inventors of the present invention have used a porcelain composition containing borosilicate glass as a glass component capable of low-temperature sintering, and when the porcelain composition is used, electrical characteristics and In order to make the adhesion force of the external electrode to the ceramic element body stronger without deteriorating the mechanical strength, a diligent study was conducted, and it was 3 wt% to 5 wt% with respect to the conductive material.
It has been found that the borosilicate glass (1) can be included in the external electrode to improve the fixing force without impairing the electrical characteristics and solderability.

【0012】本発明はこのような知見に基づきなされた
ものであって、本発明に係るセラミック電子部品は、セ
ラミック素体の外表面に外部電極が形成されたセラミッ
ク電子部品において、前記セラミック素体が、ホウケイ
酸ガラスと所定組成成分に調製された磁器組成物との混
合物で形成されると共に、前記外部電極には、前記ホウ
ケイ酸ガラスが導電性材料に対し重量%で3%〜5%含
有されていることを特徴としている。
The present invention has been made on the basis of such findings, and a ceramic electronic component according to the present invention is a ceramic electronic component in which external electrodes are formed on the outer surface of the ceramic body. Is formed of a mixture of borosilicate glass and a porcelain composition prepared to have a predetermined composition, and the external electrode contains the borosilicate glass in an amount of 3% to 5% by weight relative to the conductive material. It is characterized by being.

【0013】上記構成によれば、セラミック素体に含有
されているホウケイ酸ガラスが外部電極中にも含有され
ており、これによりセラミック素体及び外部電極間の固
着力向上を図ることができる。
According to the above structure, the borosilicate glass contained in the ceramic body is also contained in the external electrodes, and thus the adhesion between the ceramic body and the external electrodes can be improved.

【0014】また、本発明は、前記磁器組成物には、少
なくともケイ素酸化物、バリウム酸化物、及びアルミニ
ウム酸化物が含有されていることを特徴としており、こ
れにより、誘電率や絶縁抵抗等の電気的特性や抗折強度
等の機械的強度を損なうことなく、外部電極のセラミッ
ク素体への固着力に優れたセラミック電子部品を容易に
得ることができる。
Further, the present invention is characterized in that the porcelain composition contains at least silicon oxide, barium oxide, and aluminum oxide, whereby the dielectric constant, the insulation resistance and the like are improved. It is possible to easily obtain a ceramic electronic component having excellent adhesion of the external electrode to the ceramic body without impairing mechanical strength such as electrical characteristics and bending strength.

【0015】また、本発明者らは、製品検査段階で製品
の良否を迅速且つ正確に判別可能とすべく、鋭意研究を
進めたところ、ホウケイ酸ガラスに対し重量%で0.5
0%〜3.00%含有した着色剤をセラミック素体中に
添加することにより、セラミックシートの透明度が低下
し、これにより製品良否の認識率を向上させることがで
きるということが判明した。
Further, the inventors of the present invention have conducted earnest researches so that the quality of the product can be quickly and accurately determined at the product inspection stage. As a result, 0.5% by weight of borosilicate glass is obtained.
It has been found that by adding a coloring agent containing 0% to 3.00% to the ceramic body, the transparency of the ceramic sheet is lowered, and thereby the recognition rate of product quality can be improved.

【0016】すなわち、本発明は、前記ホウケイ酸ガラ
スに対し重量%で0.50%〜3.00%含有した着色
剤が、前記セラミック素体に添加されていることを特徴
としている。
That is, the present invention is characterized in that a coloring agent containing 0.50% to 3.00% by weight of the borosilicate glass is added to the ceramic body.

【0017】上記構成によれば、前記ホウケイ酸ガラス
に対し重量%で0.50%〜3.00%含有した着色剤
(例えば、クロム酸化物)がセラミック素体に含有され
ているので、セラミック素体の外表面が着色されて透明
度が低下し、これにより製品を外部から観察した場合に
内部電極の表面露出の有無を容易に判別することができ
る。
According to the above construction, the coloring material (for example, chromium oxide) contained in the borosilicate glass in an amount of 0.50% to 3.00% by weight with respect to the borosilicate glass is contained in the ceramic element body. The outer surface of the element body is colored to reduce the transparency, which makes it possible to easily determine whether or not the surface of the internal electrode is exposed when the product is observed from the outside.

【0018】また、本発明は、前記セラミック素体の表
面所定箇所にマーキング形成部が設けられ、前記ホウケ
イ酸ガラス及び前記磁器組成物を含有したマーキングペ
ーストが前記マーキング形成部に塗布されると共に、前
記マーキングペーストは、前記ホウケイ酸ガラスに対し
重量%で18%〜26%の前記磁器組成物が含有されて
いることを特徴とし、また前記マーキングペーストに
は、銅、クロム、及びマンガンを含む複合化合物が含有
されていることを特徴としている。
According to the present invention, a marking forming portion is provided at a predetermined position on the surface of the ceramic body, and a marking paste containing the borosilicate glass and the porcelain composition is applied to the marking forming portion. The marking paste is characterized by containing 18% to 26% by weight of the porcelain composition with respect to the borosilicate glass, and the marking paste contains copper, chromium, and manganese. It is characterized by containing a compound.

【0019】上記構成によれば、マーキングペーストが
塗布・焼成されたマーキング形成部が、セラミック素体
の表面所定箇所に形成されているので、プリント基板等
の配線基板に対し所望方向に取り付けて実装することが
でき、またコイル回路が内部に埋設されている場合に直
流電流を流しても発生する磁力線の方向を容易に認識す
ることができる。
According to the above structure, since the marking forming portion, on which the marking paste is applied and fired, is formed at a predetermined position on the surface of the ceramic body, the marking forming portion is mounted in a desired direction on a wiring board such as a printed circuit board and mounted. Further, when the coil circuit is embedded inside, the direction of the magnetic force lines generated can be easily recognized even when a direct current is passed.

【0020】また、前記セラミック素体は、所定パター
ンからなる内部電極が埋設されていることを特徴として
おり、これによりセラミック素体内部にコンデンサ回路
やコイル回路を内蔵した多層セラミック基板を容易に得
ることが可能となり、したがって低温焼結性や種々の電
気的特性を損なうことなく、外部電極のセラミック素体
への固着力が良好で且つ製品検査を高精度で行うことが
でき、しかも実装性に優れた多層セラミック基板等の電
子部品を容易に得ることができる。
Further, the ceramic element body is characterized in that the internal electrodes having a predetermined pattern are embedded, so that a multilayer ceramic substrate having a built-in capacitor circuit and coil circuit inside the ceramic element body can be easily obtained. Therefore, the low-temperature sinterability and various electrical characteristics are not impaired, the adhesion of the external electrodes to the ceramic body is good, and product inspection can be performed with high accuracy. It is possible to easily obtain an excellent electronic component such as a multilayer ceramic substrate.

【0021】また、本発明に係るセラミック電子部品の
製造方法は、ホウケイ酸ガラスと所定成分組成に調製さ
れた磁器組成物を混合した後、所定の焼成処理を施して
セラミック素体を作製し、次いで導電性材料に対し前記
ホウケイ酸ガラスを重量%で3%〜5%含有した導電性
ペーストを前記セラミック素体の外表面に塗布・焼成し
て外部電極を形成することを特徴としている。
Further, in the method for producing a ceramic electronic component according to the present invention, a borosilicate glass and a porcelain composition prepared to have a predetermined component composition are mixed and then subjected to a predetermined firing treatment to produce a ceramic body. Then, a conductive paste containing 3% to 5% by weight of the borosilicate glass with respect to a conductive material is applied to the outer surface of the ceramic body and baked to form an external electrode.

【0022】上記製造方法によれば、セラミック素体に
含有されるホウケイ酸ガラスを所要量だけ外部電極中に
も含ませることができ、これによりセラミック素体と外
部電極との固着力が向上したセラミック電子部品を容易
に得ることができる。
According to the above manufacturing method, the required amount of borosilicate glass contained in the ceramic body can be contained in the external electrode as well, whereby the adhesion between the ceramic body and the external electrode is improved. A ceramic electronic component can be easily obtained.

【0023】また、本発明の製造方法は、前記ホウケイ
酸ガラスに対し重量%で0.50%〜3.00%含有し
た着色剤を前記セラミック素体に添加することを特徴と
している。
Further, the manufacturing method of the present invention is characterized in that a coloring agent containing 0.50% to 3.00% by weight with respect to the borosilicate glass is added to the ceramic body.

【0024】上記製造方法によれば、外観が着色された
セラミック素体を容易に得ることができ、内部電極が表
面露出しているか否かを容易に判別することができる。
According to the above manufacturing method, it is possible to easily obtain a ceramic body having a colored appearance, and to easily determine whether or not the internal electrodes are exposed on the surface.

【0025】また、本発明の製造方法は、前記ホウケイ
酸ガラスに対し前記磁器組成物を重量%で18%〜26
%含有したマーキングペーストを、前記セラミック素体
の表面所定箇所に塗布・焼成してマーキングすることを
特徴としている。
In the manufacturing method of the present invention, the porcelain composition is contained in an amount of 18% to 26% by weight based on the borosilicate glass.
%, The marking paste is applied and fired on a predetermined portion of the surface of the ceramic body to mark it.

【0026】上記製造方法によれば、製造された電子部
品の実装すべき方向を容易に認識することができる。
According to the above manufacturing method, it is possible to easily recognize the direction in which the manufactured electronic component should be mounted.

【0027】さらに、本発明の製造方法は、前記セラミ
ック素体は、前記ホウケイ酸ガラスを重量%で60%〜
72%含有していることを特徴とし、また前記ホウケイ
酸ガラスと前記磁器組成物とを含有したセラミックシー
トを作製し、該セラミックシートの表面に所定の導体パ
ターンを形成し、該導体パターンを形成した複数のセラ
ミックシートを前記導体パターンが形成されていないセ
ラミックシートに挟持して焼成し、セラミック素体を形
成することを特徴としており、これにより外部電極のセ
ラミック素体への固着力に優れ、しかも製品検査も容易
で実装性に優れたセラミック電子部品を低温での焼成で
もって容易に製造することができる。
Further, in the manufacturing method of the present invention, the ceramic body is 60% by weight of the borosilicate glass.
72% is contained, and a ceramic sheet containing the borosilicate glass and the porcelain composition is prepared, a predetermined conductor pattern is formed on the surface of the ceramic sheet, and the conductor pattern is formed. The plurality of ceramic sheets are sandwiched between the ceramic sheets on which the conductor pattern is not formed and fired to form a ceramic body, which is excellent in the adhesive force to the ceramic body of the external electrode, Moreover, it is possible to easily manufacture a ceramic electronic component which is easy to inspect the product and has excellent mountability by firing at a low temperature.

【0028】[0028]

【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態を図面
を参照しながら詳説する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Next, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

【0029】図1は本発明に係るセラミック電子部品の
一実施の形態としての積層インダクタンス素子の断面図
であって、該積層インダクタンス素子は、多数のセラミ
ックシート1a〜1lが積層されてセラミック素体1を
形成している。そして、該セラミック素体1の両端部に
は外部電極2a、2bが形成され、さらに該外部電極2
a、2bの表面には第1のめっき皮膜3a、3bが形成
され、該第1のめっき皮膜3a、3bの表面には第2の
めっき皮膜4a、4bが形成されている。
FIG. 1 is a cross-sectional view of a laminated inductance element as an embodiment of a ceramic electronic component according to the present invention. In the laminated inductance element, a large number of ceramic sheets 1a to 1l are laminated to form a ceramic body. 1 is formed. External electrodes 2a and 2b are formed on both ends of the ceramic body 1.
The first plating films 3a and 3b are formed on the surfaces of a and 2b, and the second plating films 4a and 4b are formed on the surfaces of the first plating films 3a and 3b.

【0030】セラミック素体1は、具体的には、所定導
体パターンの内部電極5a〜5gが表面に形成された内
部セラミックシート1d〜1iと、該内部セラミックシ
ート1d〜1iを挟持する前記内部電極の形成されてい
ない外装シート1a〜1c、1k、1lとを備え、内部
電極5aは外部電極2aと電気的に接続され、内部電極
5gは外部電極2bと電気的に接続されている。そし
て、各内部電極5a〜5gはビアホール(図1では不図
示)を介して互いに電気的に直列接続され、コイルを形
成している。
Specifically, the ceramic body 1 has internal ceramic sheets 1d to 1i having internal electrodes 5a to 5g having a predetermined conductor pattern formed on the surface thereof, and the internal electrodes sandwiching the internal ceramic sheets 1d to 1i. The outer sheets 1a to 1c, 1k, and 1l in which the inner electrode 5a is not formed are electrically connected to the outer electrode 2a, and the inner electrode 5g is electrically connected to the outer electrode 2b. The internal electrodes 5a to 5g are electrically connected in series via via holes (not shown in FIG. 1) to form a coil.

【0031】また、セラミック素体1の上面所定箇所に
はマーキング形成部6が設けられている。マーキング形
成部6は、後述するマーキングペーストが塗布、焼成さ
れてなり、内部電極5a〜5gに直流電流を流した際、
発生する磁力線の方向が認識可能とされ、例えば、素子
を直列に接続し、それぞれのコイルが発生する磁力線の
相対方向により、カップリングやデカップリング等の相
互作用が発生した場合の合成インダクタンスの評価及び
制御が可能となるように構成されている。
A marking forming portion 6 is provided at a predetermined position on the upper surface of the ceramic body 1. The marking forming portion 6 is formed by applying and baking a marking paste described below, and when a direct current is applied to the internal electrodes 5a to 5g,
It is possible to recognize the direction of the generated magnetic force lines. For example, when elements are connected in series and the relative direction of the magnetic force lines generated by each coil causes an evaluation of the combined inductance when interactions such as coupling and decoupling occur. And controllable.

【0032】そして、本実施の形態では各セラミックシ
ート1a〜1lは、SiOとBとを主成分とし
たホウケイ酸ガラスと、SiO、BaO及びAl
とを主成分としたBa−Al−Si−O系磁器組成物
(以下、単に「磁器組成物」という)とが含有されてい
る。
In the present embodiment, each of the ceramic sheets 1a to 1l comprises borosilicate glass containing SiO 2 and B 2 O 3 as main components, SiO 2 , BaO and Al 2 O.
And a Ba-Al-Si-O-based porcelain composition containing 3 and 3 (hereinafter, simply referred to as "porcelain composition").

【0033】具体的には、ホウケイ酸ガラスは、B
:17.0wt%〜21.0wt%、KO:1.0
wt%〜3.0wt%、残部:SiOからなり、磁器
組成物はBaCO:35.0wt%〜39.0wt
%、Al:4.0wt%〜5.0wt%、Cr
:0.5wt%〜1.5wt%、CaCO:0.
5wt%〜1.1wt%、B:2.0wt%〜
2.6wt%、残部:SiOからなり、ホウケイ酸ガ
ラスの含有率がホウケイ酸ガラスと磁器組成物との総量
に対し60wt%〜72wt%となるように調製されて
いる。
Specifically, borosilicate glass is B 2 O.
3 : 17.0 wt% to 21.0 wt%, K 2 O: 1.0
wt% to 3.0 wt%, balance: SiO 2 , and the porcelain composition is BaCO 3 : 35.0 wt% to 39.0 wt.
%, Al 2 O 3 : 4.0 wt% to 5.0 wt%, Cr 2
O 3: 0.5wt% ~1.5wt%, CaCO 3: 0.
5wt% ~1.1wt%, B 2 O 3: 2.0wt% ~
It is composed of 2.6 wt% and the balance: SiO 2 , and is prepared so that the content ratio of the borosilicate glass is 60 wt% to 72 wt% with respect to the total amount of the borosilicate glass and the porcelain composition.

【0034】また、上記外部電極2a、2bは、30w
t%の有機ビヒクルを含有したAg粉末を主成分とする
導電性ペーストを塗布・焼成して形成されている。
The external electrodes 2a and 2b are 30 w.
It is formed by applying and firing a conductive paste containing Ag powder containing t% of an organic vehicle as a main component.

【0035】そして、本実施の形態では、前記導電性ペ
ーストにはAg粉末に対して3wt%〜5wt%のホウ
ケイ酸ガラスが添加されており、したがって、外部電極
2a、2bには斯かる所定量のホウケイ酸ガラスが含有
され、これにより外部電極2a、2bのセラミック素体
1への固着力向上を図っている。
In the present embodiment, 3 wt% to 5 wt% of borosilicate glass is added to Ag powder in the conductive paste. Therefore, the external electrodes 2a and 2b have the predetermined amount. Borosilicate glass is included, which improves the adhesion of the external electrodes 2a and 2b to the ceramic body 1.

【0036】また、マーキング形成部6に塗布されるマ
ーキングペーストには、セラミックシート1a〜1lに
含有される組成成分材料(ホウケイ酸ガラス及び磁器組
成物)及び有機ビヒクルにCu、Cr、Mnを含む複合
化合物が添加されている。
The marking paste applied to the marking forming portion 6 contains Cu, Cr, and Mn in the composition component materials (borosilicate glass and porcelain composition) contained in the ceramic sheets 1a to 1l and the organic vehicle. A complex compound has been added.

【0037】具体的には、前記マーキングペーストは、
ホウケイ酸ガラスに対し18wt%〜26wt%の磁器
組成物が添加され、斯かる磁器組成物、ホウケイ酸ガラ
ス、顔料、及び有機ビヒクルを夫々所定量含有したペー
スト状のマーキングペーストがマーキング形成部6に塗
布、焼成されている。
Specifically, the marking paste is
A porcelain composition of 18 wt% to 26 wt% is added to the borosilicate glass, and a paste-like marking paste containing the porcelain composition, the borosilicate glass, the pigment, and the organic vehicle in predetermined amounts is provided in the marking forming portion 6. It is applied and baked.

【0038】尚、導電性ペースト及び着色剤に含有され
る有機質ビヒクルは、特に限定されるものではなく、エ
チルセルロースをα―テルピネオールに溶解したもの
や、ブチラール樹脂、アクリル樹脂などを所定の有機溶
剤に溶解したものを使用することができる。
The organic vehicle contained in the conductive paste and the colorant is not particularly limited, and ethyl cellulose dissolved in α-terpineol, butyral resin, acrylic resin or the like in a predetermined organic solvent. What was melt | dissolved can be used.

【0039】次に、(1)セラミックシートの成分組
成、(2)外部電極2a、2b中のホウケイ酸ガラスの
含有量、及び(3)マーキングペースト中の磁器組成物
の含有量を上述の如く限定した理由について述べる。
Next, the component composition of (1) the ceramic sheet, (2) the content of borosilicate glass in the external electrodes 2a and 2b, and (3) the content of the porcelain composition in the marking paste are as described above. The reasons for limitation will be described.

【0040】(1)セラミックシートの成分組成 本実施の形態では、低温焼結を可能にするためにセラミ
ック素体1中にホウケイ酸ガラスを含有させているが、
ホウケイ酸ガラスの含有量が60wt%未満の場合は所
望の低温焼結作用を発揮することができず、焼成温度が
900℃を超える。一方、ホウケイ酸ガラスの含有量が
72wt%を超えた場合は、抗折強度が7.84×10
Pa(≒800kg/cm)以下となって機械的強
度が低下する。
(1) Component Composition of Ceramic Sheet In the present embodiment, borosilicate glass is contained in the ceramic body 1 to enable low temperature sintering.
When the content of borosilicate glass is less than 60 wt%, the desired low temperature sintering action cannot be exhibited, and the firing temperature exceeds 900 ° C. On the other hand, when the content of borosilicate glass exceeds 72 wt%, the bending strength is 7.84 × 10.
The mechanical strength is reduced to 7 Pa (≈800 kg / cm 2 ) or less.

【0041】そこで、本実施の形態では、セラミック素
体1中のホウケイ酸ガラスの含有量を60wt%〜72
wt%、好ましくは64wt%〜70wt%となるよう
に原料調整した。
Therefore, in the present embodiment, the content of borosilicate glass in the ceramic body 1 is 60 wt% to 72%.
The raw material was adjusted to be wt%, preferably 64 wt% to 70 wt%.

【0042】(2)外部電極2a、2b中のホウケイ酸
ガラスの含有量 セラミック素体1を形成するホウケイ酸ガラスを外部電
極2a、2b中にも含有させると、セラミック素体1と
外部電極2a、2bとの界面にはホウケイ酸ガラスが混
在し、その結果外部電極2a、2bのセラミック素体1
への固着力が向上する。しかし、外部電極2a、2bの
主成分であるAgに対しホウケイ酸ガラスの含有量が3
wt%未満の場合は固着力が20N(ニュートン)(約
2kgf)以下となって所望の固着力を得ることができ
ない。一方、Agに対するホウケイ酸ガラスの含有量が
5wt%を超えた場合は、外部電極2a、2bの表面に
ガラス成分が浮き出し、このため第1のめっき皮膜3
a、3bが均一に形成されず、その結果はんだ付け性が
低下する。
(2) Content of Borosilicate Glass in External Electrodes 2a and 2b When the borosilicate glass forming the ceramic body 1 is also contained in the external electrodes 2a and 2b, the ceramic body 1 and the external electrode 2a are included. Borosilicate glass is mixed at the interface with the ceramic base body 1 of the external electrodes 2a and 2b.
The adhesion force to However, the content of borosilicate glass is 3 with respect to Ag which is the main component of the external electrodes 2a and 2b.
If it is less than wt%, the fixing force becomes 20 N (Newton) (about 2 kgf) or less, and the desired fixing force cannot be obtained. On the other hand, when the content of borosilicate glass with respect to Ag exceeds 5 wt%, the glass component is raised on the surfaces of the external electrodes 2a and 2b, and therefore the first plating film 3 is formed.
a and 3b are not formed uniformly, and as a result, the solderability is deteriorated.

【0043】そこで、本実施の形態では、外部電極2
a、2b中のホウケイ酸ガラスの含有量をAgに対し3
wt%〜5wt%、好ましくは3.5wt%〜4.5w
t%となるようにした。
Therefore, in the present embodiment, the external electrode 2
The content of borosilicate glass in a and 2b is 3 with respect to Ag.
wt% to 5 wt%, preferably 3.5 wt% to 4.5 w
It was made to be t%.

【0044】(3)マーキングペースト中の磁器組成物
の含有量 マーキングペーストには、Cu、Cr、Mnを含む複合
酸化物、磁器組成物、ホウケイ酸ガラスが含有されてい
るが、ホウケイ酸ガラスに対する磁器組成物の含有量が
26wt%を超えるとホウケイ酸ガラスの含有量が少な
くなって低温での焼結が困難となり、焼成温度が900
℃を超える。一方、ホウケイ酸ガラスに対する磁器組成
物の含有量が18wt%未満の場合はホウケイ酸ガラス
の含有量が過剰となり、製造された部品(積層インダク
タンス素子)同士が密着してしまう。
(3) Content of Porcelain Composition in Marking Paste The marking paste contains a complex oxide containing Cu, Cr and Mn, a porcelain composition and borosilicate glass. When the content of the porcelain composition exceeds 26 wt%, the content of borosilicate glass becomes small, making it difficult to sinter at low temperatures, and the firing temperature is 900.
Exceeds ℃. On the other hand, when the content of the porcelain composition with respect to the borosilicate glass is less than 18 wt%, the content of the borosilicate glass becomes excessive, and the manufactured components (multilayer inductance elements) adhere to each other.

【0045】そこで、本実施の形態では、マーキングペ
ースト中の磁器組成物の含有量を、ホウケイ酸ガラスに
対し、18wt%〜26wt%、好ましくは21wt%
〜25wt%に設定した。
Therefore, in the present embodiment, the content of the porcelain composition in the marking paste is 18 wt% to 26 wt%, preferably 21 wt% with respect to the borosilicate glass.
It was set to ˜25 wt%.

【0046】次に、上記積層インダクタンス素子の製造
方法を図2を参照しながら説明する。
Next, a method of manufacturing the laminated inductance element will be described with reference to FIG.

【0047】まず、成分組成がBaCO:35.0w
t%〜39.0wt%、Al:4.0wt%〜
5.0wt%、Cr:0.5wt%〜1.5wt
%、CaCO:0.5wt%〜1.1wt%、B
:2.0wt%〜2.6wt%、残部:SiOとな
るように、組成物原料を混合して湿式粉砕した後、乾燥
・仮焼を行い、平均粒径が0.5μm〜3.5μmの仮
焼粉末を作製する。次いで、該仮焼粉末とB:1
7.0wt%〜21.0wt%、KO:1.0wt%
〜3.0wt%、残部:SiOに調製された平均粒径
が0.5μm〜3.5μmのホウケイ酸ガラスとを混合
し、水や有機溶剤、及び所定のバインダと混錬してスラ
リーを作製し、ドクターブレード法でキャリアフィルム
上に転写し、薄膜状のセラミックスシート1a〜1lを
作製する。
First, the composition of ingredients is BaCO 3 : 35.0 w.
t% to 39.0 wt%, Al 2 O 3 : 4.0 wt%
5.0 wt%, Cr 2 O 3 : 0.5 wt% to 1.5 wt
%, CaCO 3 : 0.5 wt% to 1.1 wt%, B 2 O
3 : 2.0 wt% to 2.6 wt% and the balance: SiO 2 , after mixing the composition raw materials and wet pulverizing, drying and calcination were performed, and the average particle diameter was 0.5 μm to 3. A 5 μm calcined powder is prepared. Then, the calcined powder and B 2 O 3 : 1
7.0 wt% to 21.0 wt%, K 2 O: 1.0 wt%
˜3.0 wt%, balance: borosilicate glass having an average particle size of 0.5 μm to 3.5 μm prepared in SiO 2 and mixed with water, an organic solvent, and a predetermined binder to form a slurry. It is produced and transferred onto a carrier film by a doctor blade method to produce thin ceramic sheets 1a to 1l.

【0048】尚、ホウケイ酸ガラス及び前記仮焼粉末の
粒径を上述のように平均粒径0.5μm〜3.5μmの
範囲としたのは、斯かる範囲とすることにより、焼成さ
れた各セラミックシートにおけるピンホールが減少し、
セラミック素体1での内部電極5a〜5gの短絡等が生
じなくなり、また、焼結密度が向上して焼成後の抗折強
度が上昇するからである。
The particle diameters of the borosilicate glass and the calcined powder are set within the range of the average particle diameter of 0.5 μm to 3.5 μm as described above. Pinholes in the ceramic sheet are reduced,
This is because the internal electrodes 5a to 5g in the ceramic body 1 are not short-circuited, and the sintering density is improved to increase the bending strength after firing.

【0049】そして、AgやAg−Pd等のAg合金に
有機ビヒクルを混合させた所定粘度の導電性ペーストを
作製し、図2に示すように、鉤状或いはコ字状の内部電
極5a〜5gを内部セラミックシート1d〜1jの表面
にスクリーン印刷し、さらに内部電極5a〜5fの所定
箇所にビアホール7を形成する。
Then, a conductive paste having a predetermined viscosity is prepared by mixing an Ag vehicle such as Ag or Ag-Pd with an organic vehicle, and as shown in FIG. 2, hook-shaped or U-shaped internal electrodes 5a-5g. Is screen-printed on the surfaces of the internal ceramic sheets 1d to 1j, and via holes 7 are formed at predetermined locations on the internal electrodes 5a to 5f.

【0050】次いで、ホウケイ酸ガラスと、該ホウケイ
酸ガラスに対し18wt%〜26wt%含有した磁器組
成物、及び所定量の銅、クロム、マンガンの複合化合
物、有機ビヒクルを混合させ、三本ロールミルを使用し
て粉砕・分散させ、マーキングペーストを作製する。
Then, a borosilicate glass, a porcelain composition containing 18 wt% to 26 wt% of the borosilicate glass, a predetermined amount of a composite compound of copper, chromium and manganese, and an organic vehicle are mixed, and a three-roll mill is mixed. Use it to crush and disperse to make a marking paste.

【0051】そして、セラミックシート1aの表面所定
箇所にマーキング形成部6を設け、マーキングペースト
をマーキング形成部6にスクリーン印刷する。
Then, the marking forming portion 6 is provided at a predetermined position on the surface of the ceramic sheet 1a, and the marking paste is screen-printed on the marking forming portion 6.

【0052】尚、内部電極5a〜5fの形成方法及びマ
ーキング方法としては、スクリーン印刷以外にも塗布
法、蒸着法、スパッタリング法等、任意の方法を使用す
ることができる。
As a method of forming and marking the internal electrodes 5a to 5f, any method such as a coating method, a vapor deposition method and a sputtering method can be used other than the screen printing.

【0053】次いで、内部セラミックシート1d〜1j
を外装シート1a〜1c、1k、1lで挟持し、圧着し
て積層体を作製する。尚、該積層体はビアホール7を介
して内部電極5a〜5gが電気的に直列接続され、コイ
ルを形成する。
Next, the internal ceramic sheets 1d to 1j
Is sandwiched between the exterior sheets 1a to 1c, 1k and 1l and pressure-bonded to produce a laminate. In the laminated body, the internal electrodes 5a to 5g are electrically connected in series via the via hole 7 to form a coil.

【0054】そして、積層体を所定寸法に切断し、空気
とNとの混合ガス雰囲気で500℃で脱バインダ処理
を行い、次いで、大気中、850℃〜900℃で所定時
間焼成処理を施し、バレル研磨してバリ取りを行い、セ
ラミック素体1を作製する。
Then, the laminate is cut into a predetermined size, subjected to binder removal treatment at 500 ° C. in a mixed gas atmosphere of air and N 2, and then subjected to firing treatment at 850 ° C. to 900 ° C. for a predetermined time in the atmosphere. Then, barrel polishing and deburring are performed to produce the ceramic body 1.

【0055】次に、平均粒径が0.3μm〜3μmの球
状Ag粉末又は平均粒径が1μm〜9μmの偏平Ag粉
末と、平均粒径が0.5μm〜3.5μmのホウケイ酸
ガラス粉末と、有機ビヒクルとを所定量ずつ混合させ、
三本ロールミルで粉砕・分散させ、所定粘度の外部電極
用導電性ペースト(以下、「外部電極用ペースト」とい
う)を作製する。
Next, spherical Ag powder having an average particle size of 0.3 μm to 3 μm or flat Ag powder having an average particle size of 1 μm to 9 μm and borosilicate glass powder having an average particle size of 0.5 μm to 3.5 μm. , A predetermined amount of organic vehicle and mixed,
It is pulverized and dispersed by a three-roll mill to prepare an external electrode conductive paste having a predetermined viscosity (hereinafter, referred to as "external electrode paste").

【0056】そして、斯かる外部電極用ペーストをセラ
ミック素体1の両端部に塗布し、温度820℃〜890
℃で20分〜100分間、焼付処理を施し、この後、バ
レル研磨を施して表面を平滑化し外部電極2a、2bを
形成する。
Then, such an external electrode paste is applied to both ends of the ceramic body 1, and the temperature is 820 ° C. to 890.
A baking process is performed at 20 ° C. for 20 to 100 minutes, and then barrel polishing is performed to smooth the surface and form the external electrodes 2a and 2b.

【0057】その後、外部電極2a、2bの形成された
セラミック素体1をニッケルめっき液等の第1の所定め
っき液に浸漬し、セラミック素体1をカソードとし、P
tでコーティングされたチタン板等の不溶性金属をアノ
ードとして電解めっき処理を施し、第1のめっき皮膜3
a、3bを形成し、次いでスズめっき液やはんだめっき
液等の第2の所定めっき液に浸漬し、上述と同様の電解
めっき処理を施し、第2のめっき皮膜4a、4bを形成
し、これにより積層インダクタンス素子が製造される。
After that, the ceramic body 1 having the external electrodes 2a and 2b formed thereon is dipped in a first predetermined plating solution such as a nickel plating solution, and the ceramic body 1 is used as a cathode.
An insoluble metal such as a titanium plate coated with t is used as an anode for electrolytic plating treatment to form a first plating film 3
a, 3b are formed and then immersed in a second predetermined plating solution such as a tin plating solution or a solder plating solution and subjected to the same electrolytic plating treatment as described above to form the second plating films 4a and 4b. Thus, the laminated inductance element is manufactured.

【0058】このように本実施の形態では、セラミック
素体1に含有されているホウケイ酸ガラスが外部電極2
a、2b中にも導電性材料に対し3wt%〜5wt%含
有されており、したがってセラミック素体1と外部電極
2a、2bとの界面にもホウケイ酸ガラスが混在してお
り、これにより外部電極2a、2bのセラミック素体1
への固着力の向上を図ることができる。
As described above, in this embodiment, the borosilicate glass contained in the ceramic body 1 is used as the external electrode 2.
3 wt% to 5 wt% of the conductive material is also contained in a and 2b. Therefore, borosilicate glass is mixed at the interface between the ceramic body 1 and the external electrodes 2a and 2b. Ceramic body 1 of 2a and 2b
It is possible to improve the adhesion force to the.

【0059】また、ホウケイ酸ガラスに対し18wt%
〜26wt%の磁器組成物を含有したマーキングペース
トを使用することにより、部品間同士が密着することも
なく低温での焼成処理でマーキングすることができ、こ
れにより、内部電極5a〜5gに直流電流を流した際、
発生する磁力線の方向を容易に認識することができる。
18 wt% relative to borosilicate glass
By using the marking paste containing ˜26 wt% of the porcelain composition, it is possible to perform marking at a low temperature firing process without causing mutual contact between the parts, and thereby direct current to the internal electrodes 5a to 5g. When shed
The direction of the generated magnetic force line can be easily recognized.

【0060】さらに、本発明は上記実施の形態に限定さ
れるものではなく、セラミック素体1中に所定量の着色
剤を含有させるのも好ましい。
Furthermore, the present invention is not limited to the above-mentioned embodiment, and it is also preferable that the ceramic body 1 contains a predetermined amount of a colorant.

【0061】すなわち、積層インダクタンス素子が作製
された後は、図1の矢印A方向から光学顕微鏡等で観察
し、セラミック素体1の破損等により内部電極5a〜5
gがセラミック素体1の表面露出していない否かを検査
し、表面露出した製品を外観不良と判断して不良品とす
る必要がある。
That is, after the laminated inductance element is manufactured, it is observed from the direction of the arrow A in FIG. 1 with an optical microscope or the like, and the internal electrodes 5a to 5a are damaged due to damage of the ceramic body 1.
It is necessary to inspect whether g is not exposed on the surface of the ceramic body 1 and to judge that the product exposed on the surface is defective in appearance and regard it as a defective product.

【0062】しかしながら、セラミック素体1がホウケ
イ酸ガラスと磁器組成物との混合物のみで形成され、し
かも外装シートの積層枚数が少なく薄い場合は、外観検
査してもセラミック素体1が破損等して内部電極が表面
露出しているのか、セラミックシートが透けているため
に内部電極が表面露出しているように視えるのかを判別
するのが困難な場合がある。
However, when the ceramic body 1 is formed of only a mixture of borosilicate glass and a porcelain composition, and the number of laminated outer sheets is small and thin, the ceramic body 1 is damaged even when the appearance is inspected. It may be difficult to determine whether the internal electrodes are exposed on the surface or whether the internal electrodes appear to be exposed due to the transparent ceramic sheet.

【0063】そこで、セラミック素体1に着色剤を含有
させ、製品良否の判別を容易にするのが好ましい。
Therefore, it is preferable that the ceramic body 1 contains a colorant to facilitate the determination of the quality of the product.

【0064】具体的には、セラミックシート1a〜1l
に、ホウケイ酸ガラスに対し0.50wt%〜3wt%
のCrを含有することにより、内部電極5a〜5
gのセラミック素体1への表面露出の有無を容易に判別
可能としている。
Specifically, the ceramic sheets 1a to 1l
In addition, 0.50 wt% to 3 wt% with respect to borosilicate glass
Internal electrodes 5a to 5 by containing Cr 2 O 3 of
Whether or not the surface of g of the ceramic body 1 is exposed can be easily determined.

【0065】ここで、Crを上記範囲に限定した
のは、Crが0.50wt%未満とした場合はセ
ラミック素体1への着色が不十分なため、内部電極5a
〜5gが透けて視え、所望の作用効果を発揮することが
できない。一方Crが3.00wt%を超えた場
合はセラミック素体中のホウケイ酸ガラスが上記実施の
形態の範囲内(60wt%〜72wt%)であっても前
記ホウケイ酸ガラスの含有量を下方側にすると誘電率ε
が4.70を超え、電気的特性の低下を招来し、一方、
前記ホウケイ酸ガラスの含有量を上方側にすると抗折強
度が7.84×10Pa以下となって機械的強度の低
下を招来する。
Here, the Cr 2 O 3 is limited to the above range, because when the Cr 2 O 3 content is less than 0.50 wt%, the coloring of the ceramic body 1 is insufficient, so that the internal electrode 5a.
~ 5g can be seen through, and the desired effect cannot be exhibited. On the other hand, when Cr 2 O 3 exceeds 3.00 wt%, the content of the borosilicate glass in the ceramic body is not limited to the range (60 wt% to 72 wt%) in the above embodiment. The dielectric constant ε
Exceeds 4.70, which causes deterioration of electrical characteristics, while
When the content of the borosilicate glass is set to the upper side, the flexural strength becomes 7.84 × 10 7 Pa or less, and the mechanical strength is lowered.

【0066】そこで、ホウケイ酸ガラスに対するCr
の添加範囲を0.50wt%〜3wt%、好ましく
は2.00wt%〜3.00wt%に設定するのが望ま
しい。
Therefore, Cr 2 for borosilicate glass
It is desirable to set the addition range of O 3 to 0.50 wt% to 3 wt%, preferably 2.00 wt% to 3.00 wt%.

【0067】尚、本発明は上記実施の形態に限定される
ものではなく、図3に示すようにコイル巻軸が外部電極
9a、9bと垂直となるように構成された積層インダク
タンス素子に適用することのできることはいうまでもな
い。
The present invention is not limited to the above embodiment, but is applied to a laminated inductance element having a coil winding axis perpendicular to the external electrodes 9a and 9b as shown in FIG. It goes without saying that you can do it.

【0068】すなわち、図3の積層インダクタンス素子
では、セラミック素体8は、所定導電パターンの内部電
極12a〜12gが表面に形成された内部セラミックシ
ート8d〜8jと、前記内部電極が形成されることなく
前記内部セラミックシート8d〜8jの両側面に配され
た外装シート8a〜8c、8k、8lとを備え、内部電
極12aは外部電極9aと電気的に接続され、内部電極
12gは外部電極9bと電気的に接続されている。そし
て、各内部電極12a〜12gはビアホールを介して互
いに電気的に直列接続され、コイルを形成している。1
0a、10bは第1のめっき皮膜であり、11a、11
bは第2のめっき皮膜であり、また、セラミック素体1
の上面適所にはマーキング形成部13が設けられてい
る。
That is, in the laminated inductance element of FIG. 3, the ceramic element body 8 is formed with the internal ceramic sheets 8d to 8j on the surfaces of which the internal electrodes 12a to 12g having a predetermined conductive pattern are formed, and the internal electrodes. 8a to 8c, 8k, and 8l disposed on both side surfaces of the internal ceramic sheets 8d to 8j, the internal electrode 12a is electrically connected to the external electrode 9a, and the internal electrode 12g is connected to the external electrode 9b. It is electrically connected. And each internal electrode 12a-12g is electrically connected in series via a via hole, and forms the coil. 1
0a and 10b are first plating films, and 11a and 11
b is the second plating film, and the ceramic body 1
A marking forming portion 13 is provided at an appropriate place on the upper surface of the.

【0069】本実施の形態でも製品検査を迅速且つ円滑
に行なうためには、ホウケイ酸ガラスに対し0.50w
t%〜3wt%、好ましくは2.00wt%〜3.00
wt%のCrを添加するのが望ましい。すなわ
ち、本実施の形態では矢印B方向から光学顕微鏡で透視
検査を行なうことになるが、セラミック素体8と内部電
極12a〜12gとの間の距離(サイドギャップ)δが
小さい場合は内部電極12a〜12gが表面露出してい
るか否かを判断するのが困難な場合があり、したがって
上述の範囲でCrを添加し、セラミック素体8を
着色することにより内部電極の表面露出の有無判断を容
易に行なえるようにするのが望ましい。
In this embodiment also, in order to carry out product inspection quickly and smoothly, 0.50 w is added to borosilicate glass.
t% to 3 wt%, preferably 2.00 wt% to 3.00
It is desirable to add wt% Cr 2 O 3 . That is, in the present embodiment, a fluoroscopic inspection is performed from the direction of arrow B with an optical microscope. However, when the distance (side gap) δ between the ceramic body 8 and the internal electrodes 12a to 12g is small, the internal electrode 12a is small. ~12g is sometimes difficult to determine whether or not the exposed surface, thus adding Cr 2 O 3 in the range described above, the presence or absence of surface exposure of the internal electrode by color the ceramic body 8 It is desirable to make decisions easily.

【0070】[0070]

【実施例】次に、本発明の実施例を具体的に説明する。EXAMPLES Next, examples of the present invention will be specifically described.

【0071】〔第1の実施例〕本発明者らは、ホウケイ
酸ガラスと磁器組成物との混合割合が異なるセラミック
素体(試験片)を作製し、誘電率ε、絶縁抵抗(抵抗
率)IR、及び抗折強度を測定した。
[First Example] The present inventors prepared ceramic element bodies (test pieces) having different mixing ratios of borosilicate glass and porcelain composition, and prepared the dielectric constant ε, the insulation resistance (resistivity). IR and bending strength were measured.

【0072】すなわち、まず、磁器組成物の成分組成が
BaCO:35.0wt%〜39.0wt%、Al
:4.0wt%〜5.0wt%、Cr:0.
5wt%〜1.5wt%、CaCO:0.5wt%〜
1.1wt%、B:2.0wt%〜2.6wt
%、残部:SiOとなるようにこれら各構成物質を秤
量、混合し、湿式粉砕してスラリー状とした後、850
℃〜950℃で仮焼し、平均粒径が0.5μm〜3.5
μmの仮焼粉末(磁器組成物粉末)を作製した。
That is, first, the composition of the porcelain composition is BaCO 3 : 35.0 wt% to 39.0 wt%, Al 2
O 3: 4.0wt% ~5.0wt%, Cr 2 O 3: 0.
5 wt% to 1.5 wt%, CaCO 3 : 0.5 wt%
1.1wt%, B 2 O 3: 2.0wt% ~2.6wt
%, Balance: SiO 2 is weighed and mixed so that the constituents become SiO 2, and wet pulverized to form a slurry.
Calcinated at ℃ ~ 950 ℃, average particle size 0.5μm ~ 3.5
A calcined powder (porcelain composition powder) of μm was produced.

【0073】また、ホウケイ酸ガラスについても同様、
成分組成がB:17.0wt%〜21.0wt
%、KO:1.0wt%〜3.0wt%、残部:Si
となるようにこれら各構成物質を秤量、混合し、湿
式粉砕してスラリー状とした後、850℃〜900℃で
仮焼し、平均粒径が0.5μm〜3.5μmの仮焼粉末
(ホウケイ酸ガラス粉末)を作製した。
The same applies to borosilicate glass.
Ingredient composition is B 2 O 3 : 17.0 wt% to 21.0 wt.
%, K 2 O: 1.0 wt% to 3.0 wt%, balance: Si
These constituent substances are weighed and mixed so as to be O 2, and wet-milled to form a slurry, which is then calcined at 850 ° C. to 900 ° C. A powder (borosilicate glass powder) was produced.

【0074】次いで、ホウケイ酸ガラスの含有量が72
wt%〜60wt%(磁器組成物の含有量が28wt%
〜40wt%)となるように、これら仮焼された磁器組
成物粉末とホウケイ酸ガラス粉末とを秤量し、斯かる秤
量物を水、トルエンやエチルアルコール等の有機溶剤、
及びバインダとしてのポリビニルアルコールと混練し、
スラリーを作製し、次いで、斯かるスラリーをドクター
ブレード法でキャリアフィルム上に転写し、厚さ65μ
mのセラミックシートを得た。
Next, the content of borosilicate glass is 72
wt% to 60 wt% (porcelain composition content is 28 wt%
-40% by weight), the calcined porcelain composition powder and the borosilicate glass powder are weighed, and the weighed material is water, an organic solvent such as toluene or ethyl alcohol,
And kneading with polyvinyl alcohol as a binder,
A slurry is prepared, and then the slurry is transferred onto a carrier film by a doctor blade method to give a thickness of 65 μm.
m ceramic sheet was obtained.

【0075】次いで、これらセラミックシートを積層・
圧着し、これにより厚さ1.5mmの積層体を作製し、
該積層体を縦30mm、横30mmの板状に切断した
後、空気とN2の混合ガス雰囲気下、温度500℃で脱
バインダ処理を行い、続いて、大気中で850〜900
℃で90分間焼成し、実施例1〜実施例7の試験片(セ
ラミック素体)を作製した。
Next, these ceramic sheets are laminated and
Pressure bonding, thereby producing a laminated body with a thickness of 1.5 mm,
After cutting the laminated body into a plate shape having a length of 30 mm and a width of 30 mm, a binder removal treatment is performed at a temperature of 500 ° C. in a mixed gas atmosphere of air and N 2 , and then in the air at 850 to 900.
The test pieces (ceramic element bodies) of Examples 1 to 7 were manufactured by firing at 90 ° C. for 90 minutes.

【0076】また、本発明者らは、比較例としてホウケ
イ酸ガラスの含有量が76wt%〜74wt%(磁器組
成物の含有量が24wt%〜26wt%)、及び58w
t%〜56wt%(磁器組成物の含有量が42wt%〜
44wt%)となるように、これら仮焼された磁器組成
物粉末とホウケイ酸ガラス粉末とを秤量し、上述と同様
にして積層体を作製し、脱バインダ処理及び焼成処理を
施し、比較例1〜4の試験片(セラミック素体)を作製
した。
Further, the inventors of the present invention, as comparative examples, have a borosilicate glass content of 76 wt% to 74 wt% (porcelain composition content of 24 wt% to 26 wt%), and 58 w.
t% to 56 wt% (the content of the porcelain composition is 42 wt% to
(44 wt%), the calcined porcelain composition powder and the borosilicate glass powder are weighed, a laminate is prepared in the same manner as described above, and the binder removal treatment and the firing treatment are performed. -4 test pieces (ceramic element bodies) were produced.

【0077】次いで、本発明者らは、誘電率ε、絶縁抵
抗IR、及び抗折強度を測定した。
Next, the present inventors measured the dielectric constant ε, the insulation resistance IR, and the flexural strength.

【0078】誘電率εは、RFインピーダンス/マテリ
アル・アナライザ(ヒューレット・パッカード社製「H
P4291A」)を使用し、周波数100MHz、温度
25℃で測定した。また、絶縁抵抗IRは、超高抵抗/
微小電流計(アドバンテスト社製「R8340A」)を
使用し、温度25℃で50Vの直流電圧を2分間印加
し、測定した。抗折強度は、3点曲げ式抗折強度測定機
(オリエンテック社製RTC1225Aを使用して試験
を行い、JIS R 1601に準拠して算出した。
The dielectric constant ε is the RF impedance / material analyzer (“H” produced by Hewlett-Packard Co.
P4291A ”) was used, and the frequency was 100 MHz and the temperature was 25 ° C. In addition, the insulation resistance IR is
Using a micro ammeter (“R8340A” manufactured by Advantest), a DC voltage of 50 V was applied for 2 minutes at a temperature of 25 ° C., and measurement was performed. The bending strength was calculated according to JIS R 1601 by performing a test using a 3-point bending type bending strength measuring machine (RTC1225A manufactured by Orientec Co., Ltd.).

【0079】表1は各試験片の成分組成とその測定結果
を示している。
Table 1 shows the component composition of each test piece and its measurement result.

【0080】[0080]

【表1】 尚、表1中、焼成温度は、焼成前の試験片が温度上昇す
るに伴い、バインダ等の蒸発や焼結に伴って各試験片が
収縮する際の最大収縮率となる温度を示している。
[Table 1] In Table 1, the firing temperature indicates the temperature at which the maximum shrinkage rate is reached when each test piece shrinks as the test piece before firing rises in temperature as the binder evaporates and sinters. .

【0081】この表1から明らかなように比較例1、2
はホウケイ酸ガラスの含有量が多すぎるため抗折強度が
7.84×10Pa以下となって機械的強度が低下
し、また絶縁抵抗IRも低下する傾向にある。
As is clear from Table 1, Comparative Examples 1 and 2
Since the content of borosilicate glass is too large, the bending strength becomes 7.84 × 10 7 Pa or less, the mechanical strength tends to decrease, and the insulation resistance IR also tends to decrease.

【0082】また、比較例3、4はホウケイ酸ガラスの
含有量が少ないため、焼成温度が900℃を超え、低温
焼結性に欠け、また誘電率εも4.70を超え、したが
って使用周波数が高い場合に電子回路の特性が低下する
ことが確認された。
Further, in Comparative Examples 3 and 4, since the content of borosilicate glass was small, the firing temperature exceeded 900 ° C., the low temperature sinterability was lacking, and the dielectric constant ε also exceeded 4.70. It has been confirmed that the characteristics of the electronic circuit deteriorate when the value is high.

【0083】これに対して実施例1〜7は、ホウケイ酸
ガラスの含有量が72wt%〜60wt%と本発明範囲
内にあり、誘電率εが4.70未満、絶縁抵抗IRが
6.3×10Ω・m以上であり、抗折強度も7.84
×10Pa以上となって良好な電気的特性及び機械的
強度を得ることができ、しかも900℃以下の低温での
焼結が可能なことが確認された。
On the other hand, in Examples 1 to 7, the content of borosilicate glass was 72 wt% to 60 wt%, which was within the range of the present invention, the dielectric constant ε was less than 4.70, and the insulation resistance IR was 6.3. × 10 7 Ω · m or more, and bending strength is 7.84.
It was confirmed that it was possible to obtain good electrical characteristics and mechanical strength of x10 7 Pa or more and to perform sintering at a low temperature of 900 ° C or lower.

【0084】〔第2の実施例〕本発明者らは、上記実施
例5の成分組成となるように第1の実施例と同様にして
セラミックシートを作製し、次いで内部電極を印刷し、
次いでセラミックシートを積層・圧着した後、切断・焼
成し、縦1mm、横0.5mm、厚み0.5mmのセラミッ
ク素体を作製した。
[Second Example] The present inventors produced a ceramic sheet in the same manner as in the first example so that the component composition of Example 5 was obtained, and then printed the internal electrodes.
Next, the ceramic sheets were laminated and pressure-bonded, and then cut and fired to produce a ceramic body having a length of 1 mm, a width of 0.5 mm, and a thickness of 0.5 mm.

【0085】そして、該セラミック素体の両端部にガラ
ス成分を含有した外部電極及びめっき皮膜を形成し、セ
ラミック素体との固着力やはんだ付け性を確認した。
Then, an external electrode containing a glass component and a plating film were formed on both ends of the ceramic body, and the adhesive strength to the ceramic body and solderability were confirmed.

【0086】すなわち、まず、エチルセルロース10重
量%をジエチレングリコールモノブチルエーテルに溶解
し、有機ビヒクルを作製した。
That is, first, 10% by weight of ethyl cellulose was dissolved in diethylene glycol monobutyl ether to prepare an organic vehicle.

【0087】そして、導電性材料として平均粒径が1.
0μmの球状Ag粉末を使用し、Ag粉末に対するホウ
ケイ酸ガラスの含有量が3wt%〜5wt%となるよう
にAg粉末及びホウケイ酸ガラスを秤量して混合し、さ
らに有機ビヒクルの含有量が30wt%となるように配
合し、三本ロールミルを使用して粉砕・分散させ、次い
でジエチレングリコールモノブチルエーテルで粘度が1
8Pa・sとなるまで希釈し、導電性ペーストを調製し
た。
The conductive material has an average particle size of 1.
Using 0 μm spherical Ag powder, the Ag powder and the borosilicate glass were weighed and mixed so that the content of the borosilicate glass with respect to the Ag powder was 3 wt% to 5 wt%, and the content of the organic vehicle was 30 wt%. To be crushed and dispersed using a three-roll mill, and then with diethylene glycol monobutyl ether to a viscosity of 1
The conductive paste was prepared by diluting to 8 Pa · s.

【0088】次いで、前記セラミック素体の両端部に導
電性ペーストを塗布し、大気中、870℃で40分間焼
付け処理を施し、バレル研磨を行って外部電極を形成し
た。
Then, a conductive paste was applied to both ends of the ceramic body, baked at 870 ° C. for 40 minutes in the atmosphere, and barrel-polished to form external electrodes.

【0089】そして、この後、外部電極を形成したセラ
ミック素体をニッケルめっき液に浸漬して電解めっきを
行い、ニッケル皮膜(第1のめっき皮膜)を形成した。
Then, after that, the ceramic body having the external electrodes formed thereon was immersed in a nickel plating solution for electrolytic plating to form a nickel film (first plating film).

【0090】次いで、該ニッケル皮膜の形成されたセラ
ミック素体をスズめっき液に浸漬して電解めっきを行
い、スズ皮膜(第2のめっき皮膜)を形成し、実施例1
1〜13の試験片を30個作製した。
Then, the ceramic body on which the nickel film was formed was immersed in a tin plating solution for electrolytic plating to form a tin film (second plating film).
Thirty test pieces 1 to 13 were produced.

【0091】また、本発明者らは、Ag粉末に対するホ
ウケイ酸ガラスの含有量が2wt%以下、又は6wt%
以上となるようにAg粉末及びホウケイ酸ガラスを秤量
した導電性ペーストを調製し、上述と同様にして外部電
極、ニッケル皮膜及びスズ皮膜を順次形成し、比較例1
1〜14の試験片を30個作製した。
Further, the present inventors have found that the content of borosilicate glass with respect to Ag powder is 2 wt% or less, or 6 wt%.
A conductive paste prepared by weighing Ag powder and borosilicate glass as described above was prepared, and external electrodes, a nickel film and a tin film were sequentially formed in the same manner as described above, and Comparative Example 1
Thirty test pieces 1 to 14 were produced.

【0092】次に、各試験片を縦12mm、横12m
m、厚さ1.6mmのガラスエポキシ基板に実装して側
面に応力を加え、そのときの破壊強度を強度試験機(ア
イコーエンジニアリング社製MODEL−1323N)
で測定し、固着力を測定した。
Next, each test piece is 12 mm long and 12 m wide.
m, 1.6 mm thick, mounted on a glass epoxy board, stress is applied to the side surface, and the breaking strength at that time is a strength tester (MODEL-1323N manufactured by Aiko Engineering Co., Ltd.)
And the sticking force was measured.

【0093】さらに、230℃に加熱したはんだ液(S
n:Pb=6:4)に試験片を2秒間浸漬し、電極への
はんだ付着面積を測定し、はんだ付け性を評価した。
Further, the solder solution (S
The test piece was dipped in (n: Pb = 6: 4) for 2 seconds, and the solder adhesion area to the electrode was measured to evaluate the solderability.

【0094】表2は各試験片における導電性ペースト
(外部電極)の成分組成と、固着力及びはんだ付け性を
示している。
Table 2 shows the composition of the conductive paste (external electrode) in each test piece, as well as the adhesive strength and solderability.

【0095】[0095]

【表2】 尚、表2中、はんだ付け性は各試験片30個の平均値を
示し、95%となったものを良品とした。
[Table 2] In Table 2, the solderability was an average value of 30 test pieces, and the solderability was 95% and was regarded as a good product.

【0096】この表2から明らかなように比較例11、
12は、Agに対するホウケイ酸ガラスの含有量が3w
t%未満と少なく、固着力が20N(ニュートン)未満
となって固着力に劣ることが分かった。
As is clear from Table 2, Comparative Example 11,
No. 12 has a borosilicate glass content of 3w with respect to Ag.
It was found that the adhesion strength was inferior to t% and the adhesion strength was less than 20 N (Newton).

【0097】また、比較例13、14は、Agに対する
ホウケイ酸ガラスの含有量が5wt%を超え、したがっ
てホウケイ酸ガラスの含有量が多すぎるため、外部電極
の表面にガラス成分が浮き出し、その結果メッキ付き性
が悪くなり、このためはんだ付け性が95%未満に低下
することが分かった。
Further, in Comparative Examples 13 and 14, the content of borosilicate glass with respect to Ag exceeded 5 wt%, and therefore the content of borosilicate glass was too large, so that the glass component came out on the surface of the external electrode, and as a result, It was found that the plating property deteriorates, and thus the solderability decreases to less than 95%.

【0098】これに対して実施例11〜13はAgに対
するホウケイ酸ガラスの含有量が3wt%〜5wt%で
あり、外部電極がセラミック素体と同一成分のガラス成
分を適度に含有しているため、はんだ付け性を損なうこ
となく固着力を向上させることのできることが確認され
た。
On the other hand, in Examples 11 to 13, the content of borosilicate glass with respect to Ag was 3 wt% to 5 wt%, and the external electrode appropriately contained the glass component of the same component as the ceramic body. It was confirmed that the fixing force can be improved without impairing the solderability.

【0099】〔第3の実施例〕本発明者らは、上記実施
例5の組成を有するセラミックシートを使用してマーキ
ング形成部にマーキングしたセラミック素体を作製し、
該セラミック素体の両端部に外部電極及びめっき皮膜を
形成し、焼成温度及び試験片同士の密着率(部品間密着
率)を確認した。
[Third Example] The present inventors produced a ceramic body having a marking forming portion marked by using the ceramic sheet having the composition of the above-mentioned Example 5,
External electrodes and a plating film were formed on both ends of the ceramic body, and the firing temperature and the adhesion ratio between test pieces (adhesion ratio between parts) were confirmed.

【0100】すなわち、まず、第1の実施例の実施例5
と同様の組成を有するホウケイ酸ガラス及び磁器組成物
を使用し、ホウケイ酸ガラスに対する磁器組成物の含有
量が18wt%〜26wt%となるように前記ホウケイ
酸ガラス及び磁器組成物を秤量して混合し、さらにマー
キング顔料としてCu、Cr、及びMnを含有した複合
化合物を12wt%を添加し、さらに、第2の実施例と
同様の有機ビヒクルを使用し、該有機ビヒクルの含有量
が45wt%となるように配合し、三本ロールミルを使
用して粉砕・分散させ、次いでジエチレングリコールモ
ノブチルエーテルで粘度が30Pa・sとなるまで希釈
し、マーキングペーストを調製した。
That is, first, the fifth embodiment of the first embodiment is described.
Borosilicate glass and porcelain composition having the same composition as described above are used, and the borosilicate glass and porcelain composition are weighed and mixed so that the content of the porcelain composition with respect to the borosilicate glass is 18 wt% to 26 wt%. Further, 12 wt% of a composite compound containing Cu, Cr, and Mn was added as a marking pigment, and the same organic vehicle as in the second example was used, and the content of the organic vehicle was 45 wt%. The mixture was blended as described above, pulverized and dispersed using a three-roll mill, and then diluted with diethylene glycol monobutyl ether until the viscosity became 30 Pa · s to prepare a marking paste.

【0101】次に、セラミック素体の最上層を形成する
セラミックシートの表面所定箇所にマーキングペースト
をスクリーン印刷し、第2の実施例と同様にして内部電
極が形成された内部セラミックシートを外装シートで挟
持して圧着し、焼成処理を施し、マーキング部が黒色を
呈するセラミック素体を作製した。
Next, a marking paste is screen-printed on a predetermined portion of the surface of the ceramic sheet forming the uppermost layer of the ceramic body, and the internal ceramic sheet on which the internal electrodes are formed is subjected to the exterior sheet in the same manner as in the second embodiment. It was then sandwiched and pressure-bonded and fired to produce a ceramic body with a black marking portion.

【0102】次いで、第2の実施例と同様、セラミック
素体の両端部に導電性ペーストを塗布し、大気中、87
0℃で40分間焼付け処理を施し、次いでバレル研磨を
行って外部電極を形成し、さらに電解めっきを施してニ
ッケル皮膜及びスズ皮膜を形成し、実施例21〜25の
試験片を30個作製した。
Then, similarly to the second embodiment, a conductive paste is applied to both ends of the ceramic body, and the paste is heated to 87 in the air.
Baking treatment was performed at 0 ° C. for 40 minutes, then barrel polishing was performed to form an external electrode, and electrolytic plating was further performed to form a nickel film and a tin film, and 30 test pieces of Examples 21 to 25 were produced. .

【0103】また、本発明者らは、ホウケイ酸ガラスに
対する磁器組成物の含有量が16wt%以下、又は28
wt%以上となるようにホウケイ酸ガラス及び磁器組成
物を秤量したマーキングペーストを調製し、上述と同様
にしてマーキング形成部を有するセラミック素体を作製
した後、外部電極、ニッケル皮膜及びスズ皮膜を順次形
成し、比較例21〜25の試験片を30個作製した。
Further, the present inventors have found that the content of the porcelain composition with respect to the borosilicate glass is 16 wt% or less, or 28%.
After preparing a marking paste in which borosilicate glass and a porcelain composition are weighed so as to be at least wt% and producing a ceramic body having a marking forming portion in the same manner as described above, an external electrode, a nickel film and a tin film are formed. By sequentially forming, 30 test pieces of Comparative Examples 21 to 25 were produced.

【0104】次に、本発明者らは、各試験片について焼
成温度と部品間密着率を確認した。
Next, the present inventors confirmed the firing temperature and the adhesion rate between parts for each test piece.

【0105】表3はマーキングペーストの成分組成と焼
成温度及び部品間密着率とを示している。
Table 3 shows the component composition of the marking paste, the firing temperature and the adhesion rate between parts.

【0106】[0106]

【表3】 この表3から明らかなように比較例21〜23はホウケ
イ酸ガラスに対する磁器組成物の含有量が18wt%未
満であるため、部品間密着率が1.00%を超えること
が分かった。
[Table 3] As is clear from Table 3, in Comparative Examples 21 to 23, since the content of the porcelain composition with respect to the borosilicate glass was less than 18 wt%, it was found that the inter-component adhesion ratio exceeded 1.00%.

【0107】また、比較例24、25は、ホウケイ酸ガ
ラスに対する磁器組成物の含有量が28wt%を超えて
おり、ホウケイ酸ガラスの含有量が相対的に少ないた
め、マーキング形成部を低温で焼結するのが困難であ
り、焼成温度が900℃を超えることが分かった。
Further, in Comparative Examples 24 and 25, the content of the porcelain composition with respect to the borosilicate glass exceeds 28 wt%, and the content of the borosilicate glass is relatively small, so the marking forming portion is burned at a low temperature. It has been found that it is difficult to bond and the firing temperature exceeds 900 ° C.

【0108】これに対して実施例21〜25はホウケイ
酸ガラスに対する磁器組成物の含有量は18wt%〜2
6wt%の範囲内にあり、部品密着率が1.00%未満
であり、900℃以下の低温で焼結が可能であることが
確認された。
On the other hand, in Examples 21 to 25, the content of the porcelain composition with respect to the borosilicate glass was 18 wt% to 2%.
It was confirmed that the content was within the range of 6 wt%, the component adhesion ratio was less than 1.00%, and that sintering was possible at a low temperature of 900 ° C. or lower.

【0109】〔第4の実施例〕本発明者らは、第1の実
施例と同様、磁器組成物粉末及びホウケイ酸ガラス粉末
を作製した。
[Fourth Example] The present inventors produced a porcelain composition powder and a borosilicate glass powder as in the first example.

【0110】次いで、平均粒径が0.2μm〜1.0μ
mのCrをホウケイ酸ガラスに対して0.50w
t%〜3.00wt%となるように前記磁器組成物粉末
及びホウケイ酸ガラス粉末に添加し、外装シートを1枚
として上記第2の実施例と同様、実施例31〜実施例3
8の試験片を作製した。
Next, the average particle size is 0.2 μm to 1.0 μm.
m of Cr 2 O 3 is 0.50 w with respect to borosilicate glass
Example 31 to Example 3 were added to the above porcelain composition powder and borosilicate glass powder so as to be t% to 3.00 wt% and one exterior sheet was used as in the case of the second example.
8 test pieces were prepared.

【0111】また、本発明者らは、比較例として上記C
を含有していない試験片(比較例31、3
2)、及びホウケイ酸ガラスに対して4.00wt%以
上のCr を添加した試験片(比較例31〜比較例
38)を作製した。
The inventors of the present invention also used the above C as a comparative example.
rTwoOThreeTest pieces containing no (Comparative Examples 31, 3
2), and 4.00 wt% or less with respect to borosilicate glass
Cr on TwoOThreeTest piece to which is added (Comparative Example 31 to Comparative Example
38) was produced.

【0112】そして、本発明者らは、第1の実施例と同
様、誘電率ε、絶縁抵抗IR、抗折強度を測定し、さら
に内部電極である導体パターンの不透明度を光学顕微鏡
(ニコン社製SMZ−2B)で観察した。
Then, the present inventors measured the dielectric constant ε, the insulation resistance IR, and the flexural strength as in the first embodiment, and further measured the opacity of the conductor pattern as the internal electrode with an optical microscope (Nikon Corporation). It was observed with SMZ-2B manufactured by SMC.

【0113】表4は各試験片のセラミック素体の組成と
測定結果を示している。
Table 4 shows the composition of the ceramic body of each test piece and the measurement results.

【0114】[0114]

【表4】 この表4から明らかなように比較例31及び比較例32
はCrがホウケイ酸ガラスに対して別途添加され
ていないため、セラミックシートを透過して内部電極が
透けて視え、このためセラミックシートの破損等により
内部電極が表面露出しているのか、内部電極がセラミッ
クシートを介して透けて視えるのかを判別し難くかっ
た。
[Table 4] As is clear from Table 4, Comparative Example 31 and Comparative Example 32
Since Cr 2 O 3 is not separately added to the borosilicate glass, the internal electrodes can be seen through the ceramic sheet, and the internal electrodes may be exposed due to damage to the ceramic sheet. , It was difficult to determine whether the internal electrodes could be seen through the ceramic sheet.

【0115】また、実施例33〜38はCrがホ
ウケイ酸ガラスに対して別途添加されているためセラミ
ックシートが黒色を呈し、したがって内部電極の表面露
出の有無については容易に判別することができるが、ホ
ウケイ酸ガラスの磁器組成物に対する含有量を60wt
〜70wt%と上記第1の実施例の範囲内(本発明範囲
内)に配合した場合であっても、ホウケイ酸ガラスの含
有量を60wt%と下方側に調製した場合は誘電率εが
4.70を超えて電気的特性が悪化し、一方、ホウケイ
酸ガラスの含有量を70wt%と上方側に調製した場合
は抗折強度が7.84×10Pa以下となって機械的
強度の低下を招来する。
Further, in Examples 33 to 38, since Cr 2 O 3 was separately added to the borosilicate glass, the ceramic sheet exhibited a black color. Therefore, it is possible to easily determine whether or not the surface of the internal electrode is exposed. However, the content of borosilicate glass in the porcelain composition is 60 wt.
˜70 wt% in the range of the first embodiment (the range of the present invention), when the borosilicate glass content is adjusted to 60 wt% and the lower side, the dielectric constant ε is 4 Electrical properties deteriorate beyond 70. On the other hand, when the content of borosilicate glass is adjusted to 70 wt% on the upper side, the bending strength becomes 7.84 × 10 6 Pa or less and the mechanical strength Invite decline.

【0116】これに対して実施例31〜34はCr
がホウケイ酸ガラスに対して0.50wt%〜1.0
0wt%含有されているため、内部電極が若干透けて視
えるものの、内部電極の表面露出の有無を容易に判別す
ることができる。
On the other hand, in Examples 31 to 34, Cr 2 O was used.
3 is 0.50 wt% to 1.0 with respect to borosilicate glass
Since the content of 0 wt% is included, the internal electrodes can be seen through a little, but it is possible to easily determine whether the internal electrodes are exposed on the surface.

【0117】また、実施例35〜38はCrがホ
ウケイ酸ガラスに対して2.00wt%〜3.00wt
%含有されているため、内部電極はセラミックシートを
介して透けて視えることはなく、内部電極の表面露出の
有無を正確且つ確実に判別することのできることが確認
された。
In Examples 35 to 38, Cr 2 O 3 is 2.00 wt% to 3.00 wt% with respect to the borosilicate glass.
%, The internal electrode was not seen through the ceramic sheet and it was confirmed that the presence or absence of surface exposure of the internal electrode could be accurately and reliably determined.

【0118】[0118]

【発明の効果】以上詳述したように本発明に係るセラミ
ック電子部品は、セラミック素体の外表面に外部電極が
形成されたセラミック電子部品において、前記セラミッ
ク素体が、ホウケイ酸ガラスと所定組成成分に調製され
た少なくともケイ素酸化物、バリウム酸化物、及びアル
ミニウム酸化物を含有した磁器組成物との混合物で形成
されると共に、前記外部電極には、前記ホウケイ酸ガラ
スが導電性材料に対し重量%で3%〜5%含有されてい
るので、電気的特性を損なうことなく外部電極のセラミ
ック素体への前記固着力を向上させることができる。
As described above in detail, the ceramic electronic component according to the present invention is a ceramic electronic component in which external electrodes are formed on the outer surface of the ceramic body, wherein the ceramic body is borosilicate glass and a predetermined composition. It is formed of a mixture with a porcelain composition containing at least silicon oxide, barium oxide, and aluminum oxide prepared as components, and the borosilicate glass is contained in the external electrode by weight relative to the conductive material. % Of 3% to 5%, it is possible to improve the fixing force of the external electrode to the ceramic body without impairing the electrical characteristics.

【0119】また、本発明は、前記ホウケイ酸ガラスに
対し重量%で0.50%〜3.00%含有した着色剤
(例えば、クロム酸化物)が、前記セラミック素体に添
加されているので、電気的特性や機械的強度を損なうこ
となくセラミック素体の外表面が着色され、したがって
製品を外部から観察した場合に内部電極の表面露出の有
無を容易に判別することができる。
Further, according to the present invention, a coloring agent (for example, chromium oxide) containing 0.50% to 3.00% by weight with respect to the borosilicate glass is added to the ceramic body. The outer surface of the ceramic body is colored without impairing the electrical characteristics or the mechanical strength, and therefore, when the product is observed from the outside, the presence or absence of the surface exposure of the internal electrode can be easily determined.

【0120】さらに、本発明は、前記セラミック素体の
表面所定箇所にマーキング形成部が設けられ、前記ホウ
ケイ酸ガラス、前記磁器組成物、及び銅、クロム、及び
マグネシウムを含む複合化合物を含有したマーキングペ
ーストが前記マーキング形成部に塗布されると共に、前
記マーキングペーストは、前記ホウケイ酸ガラスに対し
重量%で18%〜26%の前記磁器組成物が含有されて
いるので、低温焼結性を確保することができると共に製
造過程で部品間同士が密着するのを極力回避することが
でき、これによりプリント基板等の配線基板に対し容易
に所望方向に取り付けて実装することができ、また、コ
イル回路が内部に埋設されている場合に直流電流を流し
ても発生する磁力線の方向を容易に認識することがで
き、カップリングやデカップリング等の相互作用が発生
しても合成インダクタンスの評価や制御が可能となる。
Further, according to the present invention, a marking forming portion is provided at a predetermined position on the surface of the ceramic body, and the marking contains the borosilicate glass, the porcelain composition, and a complex compound containing copper, chromium, and magnesium. Since the paste is applied to the marking forming portion and the marking paste contains 18% to 26% by weight of the porcelain composition with respect to the borosilicate glass, low temperature sinterability is ensured. In addition, it is possible to prevent the parts from sticking to each other during the manufacturing process as much as possible, which makes it possible to easily attach and mount the wiring circuit board such as a printed circuit board in a desired direction and mount the coil circuit. Even if a direct current is applied when it is embedded inside, the direction of the magnetic field lines generated can be easily recognized, and the coupling and Interaction of such coupling also becomes possible to evaluate and control the total inductance generated.

【0121】また、本発明は、前記セラミック素体は、
所定パターンからなる内部電極が埋設されているので、
低温焼結性や種々の電気的特性や機械的強度を損なうこ
となく、外部導体のセラミック素体への固着力が良好で
且つ製品検査を高精度で行うことができ、しかも実装性
に優れた多層セラミック基板等の電子部品を容易に得る
ことができる。
Further, according to the present invention, the ceramic body is
Since the internal electrode consisting of a predetermined pattern is embedded,
Good adhesion to the ceramic body of the outer conductor without sacrificing low-temperature sinterability, various electrical characteristics and mechanical strength, high-precision product inspection, and excellent mountability. Electronic components such as a multilayer ceramic substrate can be easily obtained.

【0122】また、本発明に係るセラミック電子部品の
製造方法は、ホウケイ酸ガラスと所定成分組成に調製さ
れた磁器組成物とを混合した後、所定の焼成処理を施し
てセラミック素体を作製し、次いで導電性材料に対し前
記ホウケイ酸ガラスを重量%で3%〜5%含有した導電
性ペーストを前記セラミック素体の外表面に塗布・焼成
して外部電極を形成するので、外部電極のセラミック素
体への固着力に優れたセラミック電子部品を容易に製造
することができる。
Further, in the method for manufacturing a ceramic electronic component according to the present invention, the borosilicate glass is mixed with the porcelain composition prepared to have a predetermined composition, and then a predetermined firing process is performed to produce a ceramic body. Then, the conductive paste containing the borosilicate glass in an amount of 3% to 5% by weight with respect to the conductive material is applied to the outer surface of the ceramic body and baked to form an external electrode. It is possible to easily manufacture a ceramic electronic component having excellent adhesion to the element body.

【0123】また、本発明の製造方法は、前記ホウケイ
酸ガラスに対し重量%で0.50%〜3.00%の着色
剤を前記ホウケイ酸ガラス及び前記磁器組成物に添加し
た後、前記所定の焼成処理を施して前記セラミック素体
を作製するので、電気的特性や機械的強度を損なうこと
なく外観が着色されたセラミック電子部品を容易に得る
ことができる。
Further, in the manufacturing method of the present invention, the coloring agent is added to the borosilicate glass and the porcelain composition in an amount of 0.50% to 3.00% by weight based on the borosilicate glass, and then the predetermined amount is added. Since the above-mentioned firing is performed to produce the ceramic body, it is possible to easily obtain a ceramic electronic component whose appearance is colored without impairing electrical characteristics and mechanical strength.

【0124】また、本発明の製造方法は、前記ホウケイ
酸ガラスに対し前記磁器組成物を重量%で18%〜26
%含有したマーキングペーストを、前記セラミック素体
の表面所定箇所に塗布・焼成してマーキングするので、
900℃以下の低温での焼成処理が可能でしかも部品間
同士が密着するのを極力回避するセラミック電子部品を
製造することができる。
Further, in the manufacturing method of the present invention, the porcelain composition is contained in an amount of 18% to 26% by weight based on the borosilicate glass.
% Of the marking paste is applied and fired on a predetermined surface of the ceramic body to mark,
It is possible to manufacture a ceramic electronic component that can be fired at a low temperature of 900 ° C. or less and that avoids contact between components as much as possible.

【0125】また、本発明の製造方法は、前記セラミッ
ク素体は、前記ホウケイ酸ガラスを重量%で60%〜7
2%含有し、また前記ホウケイ酸ガラスと前記磁器組成
物とを含有したセラミックシートを作製し、該セラミッ
クシートの表面に所定の導体パターンを形成し、該導体
パターンを形成した複数のセラミックシートを前記導体
パターンが形成されていないセラミックシートに挟持し
て焼成し、セラミック素体を形成するので、セラミック
素体内部にコンデンサ回路やコイル回路を内蔵した高品
質で信頼性に優れたセラミック電子部品を容易に製造す
ることができる。
Further, in the manufacturing method of the present invention, the ceramic body is 60% to 7% by weight of the borosilicate glass.
A ceramic sheet containing 2% of the borosilicate glass and the porcelain composition was prepared, a predetermined conductor pattern was formed on the surface of the ceramic sheet, and a plurality of ceramic sheets having the conductor pattern were formed. Since the ceramic element body is formed by sandwiching and firing the ceramic sheet on which the conductor pattern is not formed, a high-quality and highly reliable ceramic electronic component having a capacitor circuit and a coil circuit inside the ceramic element body is formed. It can be easily manufactured.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明に係る電子部品としての積層インダクタ
ンス素子の一実施の形態を示す断面図である。
FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment of a laminated inductance element as an electronic component according to the present invention.

【図2】前記積層インダクタンス素子の製造方法を説明
するための図である。
FIG. 2 is a diagram illustrating a method for manufacturing the laminated inductance element.

【図3】積層インダクタンス素子の他の実施の形態を示
す断面図である。
FIG. 3 is a cross-sectional view showing another embodiment of the laminated inductance element.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 セラミック素体 2a、2b 外部電極(電極) 5 内部電極 6 マーキング形成部 1 Ceramic body 2a, 2b External electrode (electrode) 5 internal electrodes 6 Marking formation part

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01G 4/12 361 H01F 15/00 B 13/00 391 H01G 1/04 (72)発明者 前田 智之 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株式 会社村田製作所内 (72)発明者 川端 良兵 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株式 会社村田製作所内 Fターム(参考) 5E001 AB03 AE00 AE02 AF06 5E062 FG01 FG11 5E070 AA01 CB13 EA01 5E082 AB03 BC32 EE04 EE35 FG06 FG26 GG10 GG28 JJ03 JJ23 MM26 PP03 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI theme code (reference) H01G 4/12 361 H01F 15/00 B 13/00 391 H01G 1/04 (72) Inventor Tomoyuki Maeda Kyoto Prefecture 2-26-10 Tenjin, Nagaokakyo, Murata Manufacturing Co., Ltd. (72) Inventor, Ryohei Kawabata 2-26-10 Tenjin, Tenjin, Nagaokakyo, Kyoto F-term (Reference), Murata Manufacturing 5E001 AB03 AE00 AE02 AF06 5E062 FG01 FG11 5E070 AA01 CB13 EA01 5E082 AB03 BC32 EE04 EE35 FG06 FG26 GG10 GG28 JJ03 JJ23 MM26 PP03

Claims (12)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 セラミック素体の外表面に外部電極が形
成されたセラミック電子部品において、 前記セラミック素体が、ホウケイ酸ガラスと所定組成成
分に調製された磁器組成物との混合物で形成されると共
に、 前記外部電極は、前記ホウケイ酸ガラスが導電性材料に
対し重量%で3%〜5%含有されていることを特徴とす
るセラミック電子部品。
1. A ceramic electronic component having external electrodes formed on the outer surface of a ceramic body, wherein the ceramic body is formed of a mixture of borosilicate glass and a porcelain composition prepared to have a predetermined composition. At the same time, the external electrode contains the borosilicate glass in an amount of 3% to 5% by weight with respect to the conductive material.
【請求項2】 前記磁器組成物には、少なくともケイ素
酸化物、バリウム酸化物、及びアルミニウム酸化物が含
有されていることを特徴とする請求項1記載のセラミッ
ク電子部品。
2. The ceramic electronic component according to claim 1, wherein the porcelain composition contains at least silicon oxide, barium oxide, and aluminum oxide.
【請求項3】 前記ホウケイ酸ガラスに対し重量%で
0.50%〜3.00%含有した着色剤が、前記セラミ
ック素体に添加されていることを特徴とする請求項1又
は請求項2記載のセラミック電子部品。
3. The coloring material containing 0.50% to 3.00% by weight of the borosilicate glass is added to the ceramic body. The described ceramic electronic component.
【請求項4】 前記着色剤はクロム酸化物であることを
特徴とする請求項3記載のセラミック電子部品。
4. The ceramic electronic component according to claim 3, wherein the colorant is chromium oxide.
【請求項5】 前記セラミック素体の表面所定箇所にマ
ーキング形成部が設けられ、 前記ホウケイ酸ガラス及び前記磁器組成物を含有したマ
ーキングペーストが、前記マーキング形成部に塗布され
ると共に、 前記マーキングペーストには、前記ホウケイ酸ガラスに
対し重量%で18%〜26%の前記磁器組成物が含有さ
れていることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいず
れかに記載のセラミック電子部品。
5. A marking forming portion is provided at a predetermined position on the surface of the ceramic body, and a marking paste containing the borosilicate glass and the porcelain composition is applied to the marking forming portion, and the marking paste. The ceramic electronic component according to any one of claims 1 to 4, wherein 18% to 26% by weight of the porcelain composition is contained in the porcelain silicate glass.
【請求項6】 前記マーキングペーストには、銅、クロ
ム、及びマンガンを含む複合化合物が含有されているこ
とを特徴とする請求項5記載のセラミック電子部品。
6. The ceramic electronic component according to claim 5, wherein the marking paste contains a composite compound containing copper, chromium, and manganese.
【請求項7】 前記セラミック素体には、所定パターン
からなる内部電極が埋設されていることを特徴とする請
求項1乃至請求項6のいずれかに記載のセラミック電子
部品。
7. The ceramic electronic component according to claim 1, wherein an internal electrode having a predetermined pattern is embedded in the ceramic body.
【請求項8】 ホウケイ酸ガラスと所定成分組成に調製
された磁器組成物とを混合した後、所定の焼成処理を施
してセラミック素体を作製し、次いで導電性材料に対し
前記ホウケイ酸ガラスを重量%で3%〜5%含有した導
電性ペーストを前記セラミック素体の外表面に塗布・焼
成して外部電極を形成することを特徴とするセラミック
電子部品の製造方法。
8. A borosilicate glass and a porcelain composition prepared to have a predetermined component composition are mixed and then subjected to a predetermined firing treatment to produce a ceramic body, and then the borosilicate glass is applied to a conductive material. A method for manufacturing a ceramic electronic component, comprising applying an electrically conductive paste, which is contained in an amount of 3% to 5% by weight, to the outer surface of the ceramic body to form an external electrode.
【請求項9】 前記ホウケイ酸ガラスに対し重量%で
0.50%〜3.00%含有した着色剤を前記セラミッ
ク素体に添加することを特徴とする請求項8記載のセラ
ミック電子部品の製造方法。
9. The production of a ceramic electronic component according to claim 8, wherein a coloring agent containing 0.50% to 3.00% by weight with respect to the borosilicate glass is added to the ceramic body. Method.
【請求項10】 前記ホウケイ酸ガラスに対し前記磁器
組成物を重量%で18%〜26%含有したマーキングペ
ーストを、前記セラミック素体の表面所定箇所に塗布・
焼成してマーキングすることを特徴とする請求項8又は
請求項9記載のセラミック電子部品の製造方法。
10. A marking paste containing 18% to 26% by weight of the porcelain composition with respect to the borosilicate glass is applied to predetermined locations on the surface of the ceramic body.
The method for manufacturing a ceramic electronic component according to claim 8 or 9, wherein the marking is performed by firing.
【請求項11】 前記セラミック素体は、前記ホウケイ
酸ガラスを重量%で60%〜72%含有していることを
特徴とする請求項8乃至請求項10のいずれかに記載の
セラミック電子部品の製造方法。
11. The ceramic electronic component according to claim 8, wherein the ceramic body contains 60% to 72% by weight of the borosilicate glass. Production method.
【請求項12】 前記ホウケイ酸ガラスと前記磁器組成
物とを含有したセラミックシートを作製し、該セラミッ
クシートの表面に所定の導体パターンを形成し、該導体
パターンを形成した複数のセラミックシートを前記導体
パターンが形成されていないセラミックシートに挟持し
て焼成し、セラミック素体を形成することを特徴とする
請求項8乃至請求項11のいずれかに記載のセラミック
電子部品の製造方法。
12. A ceramic sheet containing the borosilicate glass and the porcelain composition is prepared, a predetermined conductor pattern is formed on the surface of the ceramic sheet, and a plurality of ceramic sheets having the conductor pattern are formed. The method for producing a ceramic electronic component according to claim 8, wherein the ceramic element body is formed by sandwiching and firing the ceramic sheet on which no conductor pattern is formed.
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