JP2003280550A - 表示装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 プラスチックを基板に用いた際の、工程中及
び装置完成後に起こる表示装置の表示ムラを防止すると
同時に、従来両面に必要であったバリア層を片面で済ま
せることにより、工数の低減を図り、製造コストを削減
させる。 【解決手段】 プラスチックフィルムシートを水蒸気透
過度が１ｇ／ｍ^２／ｄａｙ以下である支持体に剥離可能
な方法で固定し、表示装置の製造工程中に必要なバリア
性をプラスチックフィルムシートに持たせる表示装置の
製造方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示装置等の
基板、カラーフィルター製造工程、有機エレクトロルミ
ネッセンス表示装置等に用いることができる光学用フィ
ルムシートおよびこれを用いた表示装置の製造方法に関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】表示素子用基板としてはガラス基板が従
来から使用されてきた。しかしながら、近年携帯用の表
示媒体の急速な成長により、軽く、割れないと言った特
徴を活かしたプラスチック基板を用いた表示媒体の研究
開発がなされている。ところが、プラスチックは酸素や
水蒸気等のガス透過性、吸水による寸法変化率があり、
基板にプラスチックを用いた場合は透過ガスにより気泡
を生ずることで表示不良が発生したり、液晶中に水分が
混入することにより液晶の比抵抗が低下して表示不良が
発生したり、更に工程中の吸湿による寸法変化により上
下基板の透明電極回路の位置ずれによる接続不良が起こ
るなどの問題があった。この問題を解決するために、プ
ラスチックフィルムシートの両面にＳｉＯｘ、ポリ塩化
ビニリデン等の光線透過率が高く水蒸気透過度が低い皮
膜をバリア層として形成することが行われている。

【０００３】しかし、これらの皮膜形成は真空プロセ
ス、ラミネート、コーティング等によって行われること
が多く、プラスチックフィルムシートの側面には処理す
ることが困難であり、しかも液晶表示装置の場合には、
１枚の大型基板で複数のセルを一括形成した後に切断
し、ドライバが接続された状態で側面に皮膜を形成する
必要があるため、これはさらに難しく一般に行われてい
ない。この場合、湿度が著しく高い環境においては、特
にネマチック液晶を用いた液晶表示装置や円偏光板を用
いたエレクトロルミネッセンス（ＥＬ）表示装置のよう
に偏光を利用した表示装置の場合、表示部の四隅や周辺
に表示ムラが発生する場合があり問題となっていた。ま
た、両面バリア層を形成することは、片面の２倍の工数
がかかり、製造コストを増大させていた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、プラスチッ
クを基板に用いた際の、工程中及び装置完成後に起こる
表示装置の表示ムラを防止すると同時に、従来両面に必
要であったバリア層を片面で済ませることにより、工数
の低減を図り、製造コストを削減させることを目的とす
るものである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、前記表示
ムラが以下の原因によって起きるものと推定した。即
ち、高湿環境下に両面水蒸気バリア層を有するプラスチ
ックシートが置かれた場合、バリア層を有しない側面か
ら水蒸気がシート内に拡散し、側面近傍と面内部で吸水
による寸法変化が異なる。側面に近い周囲および四隅で
は基板が膨潤して伸びようとし、光弾性の高いプラスチ
ック材料では、ことさらリタデーションの増大が生じ、
これにより表示装置が偏光を利用した装置である場合に
表示ムラが発生するものと考えられる。これを防止する
ため、表示装置とした際に外側となる面には、水蒸気透
過度の低い剥離可能な支持体をバリア層の代わりに固定
し、カラーフィルター等の製造工程中に生じる吸湿によ
るプラスチック基板の寸法変化に対処すると共に、カラ
ーフィルター積層後は、支持体からプラスチックフィル
ムシートを剥離することで、基板の水蒸気透過度を、基
板の中心層となるプラスチックへの水分浸入量の面内分
布に著しい差を生じさせず、かつ表示装置とした際に内
側となる面には水蒸気を十分に遮断できるレベルの水蒸
気透過度であるバリア層を形成することをことで前記課
題を解決できることを突き止め、以下の発明に至った。
また、本発明は表示装置に用いられる全てのプラスチッ
クフィルムシートに応用が可能である。

【０００６】すなわち本発明は、 （１） プラスチックフィルムシートを水蒸気透過度が
１ｇ／ｍ^２／ｄａｙ以下である支持体に剥離可能な方法
で固定し、表示装置の製造工程中に必要なバリア性をプ
ラスチックフィルムシートに持たせる表示装置の製造方
法。 （２） 前記プラスチックフィルムシートの支持体と接
しない面に、水蒸気透過度が１ｇ／ｍ^２／ｄａｙ以下の
単独層または複合層から成るバリア層を有する（１）記
載の表示装置の製造方法。 （３） 支持体とプラスチックフィルムシートとを固定
する方法が粘着材で貼りあわせる方法である（１）また
は（２）記載の表示装置の製造方法。 （４） 前記粘着材が１５０℃２ｈの熱処理後でも支持
体とプラスチックフィルムシートとが剥離しない耐熱性
をもつ（３）記載の表示装置の製造方法。 （５） 前記粘着材がシリコーン系またはアクリル系粘
着材・接着材である（３）または（４）記載の表示装置
の製造方法。 （６） 前記アクリル系粘着材が、アクリロイル基また
はメタクリロイル基含有モノマーと、極性基含有モノマ
ーを共重合してなる平均分子量が10万〜200万の（メ
タ）アクリル系共重合体と平均分子量100〜1万の反応性
オリゴマー、および架橋剤を主成分とする（５）記載の
表示装置の製造方法。 （７） 前記極性基含有モノマーの極性基がカルボキシ
ル基、水酸基、アミノ基より選ばれる極性基である
（６）記載の表示装置の製造方法。 （８） 前記反応性オリゴマーが主鎖にエステル骨格を
有する（６）、（７）記載の表示装置の製造方法。 （９） 反応性オリゴマーがエポキシ基、水酸基、アミ
ノ基、アルコキシ基より選ばれる反応性基を有する
（６）〜（８）記載の表示装置の製造方法。 （１０） 前記粘着材がタック性を有する熱可塑性フィ
ルムシートである（４）記載の表示装置の製造方法。 （１１） 前記粘着材が、室温での粘度が１００ｍＰａ
・ｓ以上の液体である（５）記載の表示装置の製造方
法。 （１２） 支持体とプラスチックフィルムシートとを固
定する方法が周囲を密閉した額縁形状の支持体による方
法である（１）または（２）記載の表示装置の製造方
法。 （１３） 支持体がガラス、金属、セラミック、プラス
チックより選ばれた材料で作られる（１）〜（１２）何
れか一項記載の表示装置の製造方法。 （１４） 支持体の少なくとも一部が透明である（１）
〜（１３）何れか一項記載の表示装置の製造方法。 （１５） 前記プラスチックフィルムシートのリタデー
ションが２０ｎｍ以下である（１）〜（１４）何れか一
項記載の表示装置の製造方法。 （１６） 前記プラスチックフィルムシートの光弾性定
数が１０×１０^−１３ｃｍ^２／ｄｙｎ以上である（１）
〜（１５）何れか一項記載の表示装置の製造方法。 （１７） 前記プラスチックフィルムシートが（１）エ
ステル結合で結合された繰り返し単位を有する高分子、
（２）カーボネート結合で結合された繰り返し単位を有
する高分子または（３）スルホン結合で結合された繰り
返し単位を有する高分子を主成分とする（１）〜（１
６）何れか一項記載の表示装置の製造方法。 （１８） 前記表示装置が液晶表示装置である（１）〜
（１７）記載の表示装置の製造方法。である。

【０００７】

【発明の実施の形態】本発明のプラスチックフィルムシ
ートには、基板の中心となるプラスチックへの水分の浸
入量の面内分布に著しい差が生じないように、またカラ
ーフィルター等の製造工程中の寸法変化にも問題が生じ
ないように、表示装置とした際に外側となる面に水蒸気
透過度の低い剥離可能な支持体をバリア層の代わりに固
定し、かつ内側となる面には水蒸気を十分に遮断できる
レベルの水蒸気透過度であるバリア層を形成したもので
ある。剥離可能な支持体としては、水蒸気透過度が１ｇ
／ｍ^２／ｄａｙ以下であれば特に限定しないが、ガラ
ス、金属、セラミック等をその材料として例示でき、水
蒸気透過度が１ｇ／ｍ^２／ｄａｙ以下となるように、厚
み等をコントロールすればプラスチックも使用できる。

【０００８】また、支持体への固定方法も、フィルムシ
ート面と支持体が密着でき、後に剥離可能であれば良
く、粘着材で貼り合せる方法、周囲を密閉した額縁形状
の支持体による方法など、特に限定はしない。

【０００９】粘着材で貼り合せる方法では、タック性
（粘着性）のある熱可塑性フィルムシートを前記プラス
チックシートと支持体の間に挟んでプレスする方法、シ
リコーン系、アクリル系の粘着剤・接着剤またはホット
メルトタイプの熱可塑性樹脂等の剥離可能な程度に接着
（粘着）する粘着剤・接着剤を塗布する方法、耐熱性の
あるフィルム基材の両面に粘着材を積層したものをラミ
ネートして用いる方法、フィルムと支持体の間に室温で
の粘度が１００ｍＰａ・ｓ以上の液体を介在させて、液
体の表面張力により両者を固定する方法等を例示できる
が特に限定しない。これらの粘着材は製造工程中の温度
環境に耐えうる必要があり、１５０℃２ｈの熱処理後で
も支持体とプラスチックフィルムシートとが剥離しない
耐熱性をもつ事が望ましい。

【００１０】（以下００１７まで、アクリル系粘着剤の
説明）上記アクリル系粘着剤は、例えば、アクリロイル
基またはメタクリロイル基含有モノマーと、極性基含有
モノマーを共重合してなる（メタ）アクリル系共重合体
と反応性オリゴマー、および架橋剤を主成分として用い
ることができる。

【００１１】上記（メタ）アクリル系共重合体は、アク
リロイル基またはメタクリロイル基含有モノマーと極性
基含有モノマーの共重合体である。極性基含有モノマー
が添加されることにより、本発明の粘着剤は、支持体、
特にガラス基板との十分な密着性を得ることが出来る。
アクリロイル基またはメタクリロイル基含有モノマーと
しては、例えば、２−エチルへキシル（メタ）アクリレ
ート、シクロへキシル（メタ）アクリレート等が挙げら
れるが、特にこれらに限定されるものではない。

【００１２】上記極性基含有モノマーとしては、アクリ
ル酸、メタクリル酸、アクリル酸ジメチル、アクリロ二
トリル等に挙げられる、分子中にカルボキシル基、水酸
基、アミノ基等の極性基を有する重合性不飽和モノマー
が好ましく、２−ヒドロキシエチルアクリレート、β―
カルボキシエチルアクリレート、メタクリル酸２−ヒド
ロキシエチル、メタクリル酸２−ヒドロキシプロピル、
アクリロ二トリル、メタクリロ二トリル、Ｎ−ビニル−
２−ピロリドン等が挙げられる。

【００１３】上記（メタ）アクリル系共重合体は、上記
極性基含有モノマーから誘導される繰り返し単位を通常
0.5〜30重量％、好ましくは3〜10重量％の量で有してい
るのが望ましい。

【００１４】上記（メタ）アクリル系共重合体の平均分
子量は10万〜200万であり、好ましくは、50万〜100万で
ある。上記(メタ)アクリル系共重合体の平均分子量が最
小値より小さい場合には、１８０℃、６時間加熱処理後
の保持力が低下するため好ましくない。また、平均分子
量が最大値より大きい場合には、特性上は問題ないが、
（メタ）アクリル系共重合体を量産することが難しく、
好ましくない。

【００１５】上記（メタ）アクリル系共重合体は、ラジ
カル重合、溶液重合、乳化重合、懸濁重合、塊状重合等
のアクリル系共重合体が合成される通常の重合方法によ
って得ることが出来る。

【００１６】本発明で用いられるアクリル系粘着剤に
は、上記（メタ）アクリル系共重合体に、高温での保持
力に優れ、被接着体と支持体とを必要かつ十分な接着強
度で接着するために、100〜1万、好ましくは1000〜1万
の範囲内にある平均分子量を持つ反応性オリゴマーが配
合されている。この平均分子量が下限値未満であると、
仮固定後の剥離が困難となることがあり、また平均分子
量が上限値を超えると、高温条件での耐久性が発現しな
いことがある。

【００１７】上記反応性オリゴマーは、特に限定しない
が、アクリル系オリゴマー、ポリイソブチレン系オリゴ
マー、ポリエステル系オリゴマー及び、ポリエーテル系
オリゴマー、ポリカーボネート系オリゴマー、ポリブタ
ジエン系オリゴマーなどを例示できる。また、主鎖にエ
ステル骨格を有するポリエステル系オリゴマー、アクリ
ル系オリゴマー等が好ましく、反応性基に関しては、エ
ポキシ基、水酸基、ビニル基、アルコキシ基等が望まし
く、中でも特に水酸基が好ましい。これらの反応性オリ
ゴマーは１種または２種以上混合して使用できる。

【００１８】本発明で用いられるアクリル系粘着剤の、
（メタ）アクリル系共重合体、反応性オリゴマーの好ま
しい混合割合は、（メタ）アクリル系共重合体１００重
量部に対して、反応性オリゴマーが0.001〜20重量部で
あり、より好ましくは（メタ）アクリル系共重合体１０
０重量部に対して、反応性オリゴマーが5〜10重量部で
ある。反応性オリゴマーの割合が下限値未満の場合は高
温高湿条件における耐久性が低下し、上限値を超える場
合、仮固定後の剥離が困難となることがある。

【００１９】本発明で用いられるアクリル系粘着剤には
加熱処理による硬化を行わせる為に、ポリイソシアネー
ト化合物、エポキシ化合物等の架橋剤を添加する。これ
らの架橋剤の添加量は、特に限定はしないが、前述の
（メタ）アクリル系共重合体、反応性オリゴマーの混合
物100重量部に対して0.1〜5重量部が好ましく、さらに
好ましくは0.5〜2重量部である。添加量が下限値未満の
場合は硬化を十分に完了させることが難しく、またその
添加量が5.0重量部より多い場合には、高温での保持力
が低下することがある。

【００２０】上記アクリル系粘着剤には、粘着強度を高
めるために、発明の目的を損なわない範囲内で、ロジン
樹脂、テルペン樹脂、クマロン樹脂、フェノール樹脂、
スチレン樹脂、脂肪族系石油樹脂、芳香族系石油樹脂、
脂肪族芳香族共重合系石油樹脂等の粘着付与剤等を添加
しても構わない。

【００２１】本発明において、粘着剤層の厚さは特に限
定されるものではないが、１〜50μｍが好ましい。本発
明の粘着剤層は、粘着剤をそのまま、または適当な有機
溶剤により溶液化した後、支持体に塗工し、例えば８０
〜１００℃、３０秒から１時間程度の加熱処理等により
乾燥させることにより得ることが出来る。

【００２２】製造工程中で支持体に固定された面の裏面
同士を貼り合せる工程がある場合は、支持体を通して貼
り合わせ面に設けられたマーカーを読み取る必要がある
ため、支持体と、粘着材あるいは接着層に透明な材質を
用いるか、マーカーの認識に必要な透明性が低い場合
は、マーカーの部分に支持体に穴をあけるか、粘着ある
いは接着層を設けないように貼り合せて、視認性を確保
することができる。また、反射型の液晶表示素子のよう
に、対向する基板の片方に透明性がない場合は、透明な
基板側からマーカーを認識することができる。一方、表
示装置とした際に内側となる面には、バリア層として、
水蒸気透過度が１ｇ／ｍ^２／ｄａｙ以下である単独層ま
たは複合層を積層することができる。この面のバリア層
の水蒸気透過度が高いと、液晶やＥＬ素子中に水蒸気が
浸入することにより比抵抗が低下して表示不良の原因と
なる。なお、プラスチックフィルムシート自体の水蒸気
透過度が１ｇ／ｍ^２／ｄａｙ以下である場合には、この
バリア層は必要がないこともある。

【００２３】一方、水蒸気透過度が１ｇ／ｍ^２／ｄａｙ
以下である単独層または複合層の成膜は、Ｓｉ、Ｔｉ、
Ｚｒ、Ａｌ、Ｔａ、Ｎｂ、Ｓｎ等の酸化物、窒化物、ハ
ロゲン化物等の無機バリア層を真空蒸着，ＣＶＤ，スパ
ッタリング等で成膜するか、これらと有機膜を重ねて成
膜することで得ることができる。さらに、透明導電材料
であるＩＴＯ（酸化インジウム錫）もガス・水蒸気透過
度を１ｇ／ｍ^２／ｄａｙ以下とすることができるため、
透明電極を全面に成膜するＴＦＴ−ＬＣＤの共通電極側
基板のような場合には、ＩＴＯ電極で兼用できる場合が
ある。

【００２４】本発明の目的の１つである色むらの防止と
いう点からは、本発明のプラスチックフィルムシートは
リタデーションが２０ｎｍ以下であることが望ましい。
位相差フィルムを別として、表示基板等に使用する場合
はリタデーションが２０ｎｍを越えると、吸湿によるリ
タデーションの増大が無くても表示装置の表示ムラとし
て不良となる場合がある。さらに、本発明の光学用フィ
ルムシートは、光弾性定数が１０×１０^−１３ｃｍ^２／
ｄｙｎ以上のプラスチックフィルムシートを用いた際に
特に有効である。光弾性定数が１０×１０^−１３ｃｍ^２
／ｄｙｎ以下のプラスチックフィルムシートでは応力に
よるリタデーションの増大が少ないため両面のバリア層
ともに水蒸気透過度が１ｇ／ｍ^２／ｄａｙ以下であって
も表示装置に表示ムラを発生する問題は起こりにくい
が、光弾性定数が低いプラスチックは一般に脂肪族系高
分子等の耐熱性が低いものが多く、表示装置用基板とし
ては使用が限られるものが多い。本発明の光学用フィル
ムシートに用いるプラスチックとしては特に限定はしな
いが、好ましいものを挙げると、（１）ポリエステルや
ポリアリレート等エステル結合で結合された繰り返し単
位を有する高分子、（２）ポリカーボネート等カーボネ
ート結合で結合された繰り返し単位を有する高分子また
は（３）ポリスルホン等スルホン結合で結合された繰り
返し単位を有する高分子を主成分とするプラスチックで
ある。これらを１種類で用いても２種類以上を混合して
用いてもよい。また、滑剤、耐熱安定剤、耐候安定剤、
顔料、染料、無機質充填剤などを適宜ブレンドしても良
い。表示装置の製造工程では１５０℃程度に加熱される
工程が存在するので、耐熱性に優れるプラスチックが好
ましく、芳香族基を有する芳香族ポリエステル、芳香族
ポリアリレート、芳香族ポリカーボネート、芳香族ポリ
スルホン系の高分子を主成分とするものが好ましい。特
に、耐熱性と以下に記す透明性のバランスからポリエー
テルスルホンが好ましい。

【００２５】

【実施例】以下、実施例に基づき、詳細に説明するが、
本発明は本実施例に限定されるものではない。 ＜実施例１＞溶液キャスト法で製造した幅１ｍ厚さ１８
０μｍ、リタデーション１ｎｍ±１ｎｍのポリカーボネ
ートフィルムの両面に、コーター部、乾燥炉、高圧水銀
灯による紫外線照射装置を有する連続式塗工機を用い、
紫外線硬化性樹脂組成物としてエポキシアクリレート樹
脂２５重量部、ウレタンアクリレート樹脂１０重量部、
光重合開始剤として、イルガキュアー９０７(チバスぺ
シャリティケミカルズ製)１重量部、シランカップリン
グ剤としてγ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン
０．２重量部、酢酸ブチル６５重量部の混合液（以下、
紫外線硬化性樹脂組成物Ａと称す。）を塗布し、１２０
℃で乾燥後に紫外線を３５０ｍＪ／ｃｍ ^２照射し膜厚２
μｍのコート層を設けた。この工程でサンプリングした
フィルムの４０℃９０％ＲＨにおける水蒸気透過度をカ
ップ法にて測定したところ、 ４０ｇ／ｍ²／ｄａｙであ
った。尚、用いたポリカーボネートの光弾性定数は９６
×１０^−１３ｃｍ^２／ｄｙｎであった。

【００２６】続いて、このフィルムの一方の面に、連続
式スパッタ装置を用いて厚さ５０ｎｍの酸化珪素膜を成
膜した。酸化珪素膜は、原料ターゲットに珪素を用い、
スパッタ装置内を１０^−３Ｐａ以下まで減圧した上で放
電ガスとしてアルゴンを分圧で０．０４Ｐａ導入、反応
ガスとして酸素を分圧で０．０４Ｐａ導入して反応性ス
パッタリングを行い成膜した。この酸化珪素層の上に、
再度前記紫外線硬化性樹脂組成物を前記と同様の方法に
より塗工し、コート層を設けた。この工程でサンプリン
グしたフィルムの水蒸気透過度をヤナコ分析工業株式会
社製ガスクロマトグラフィー式ガス・水蒸気透過率測定
機ＧＴＲ−３０（以下、水蒸気透過率測定機と称す。）
を用いて測定したところ、０.００２ｇ／ｍ²／ｄａｙで
あった。さらに、コート層の上に、バルクに対する相対
重量密度９５％以上のＩｎ、Ｓｎ（ＳｎＯ₂１０ｗｔ
％）の合金酸化物ターゲットを用いたプレーナーマグネ
トロンスパッタリングにより厚み３００ÅのＩｎ、Ｓｎ
合金酸化膜を形成した。

【００２７】２−エチルへキシルアクリレート９０重量
部と極性基含有モノマーである２−ヒドロキシルアクリ
レート１０重量部とを共重合して得られた平均分子量６
０００００の共重合体１００重量部に対し、反応性オリ
ゴマーとして分子量が３０００の２官能ポリエステルア
クリレート１０重量部、酢酸エチル５０重量部を２５℃
で十分に攪拌し、次に架橋剤として、ポリイソシアネ−
ト化合物（日本ポリウレタン製：コロネートL）０．５
重量部を添加して十分に攪拌し、アクリル系粘着剤を得
た。

【００２８】上記のようにして得られたアクリル系粘着
剤を、前記の酸化珪素膜を成膜した面と逆の面に、乾燥
後の塗布厚が１０μｍとなるように、中性洗剤で表面を
洗浄した０．７ｍｍ厚のガラス板に塗布し、８０℃で１
０分間乾燥させた。その後、厚さ２００μｍのポリエー
テルサルフォン(ＰＥＳ)フィルムを、サーマルラミネ−
ター（エム・シー・ケイ社製）を用いて、圧力：０．７
０ＭＰａ、温度：２５℃の条件でラミネートし接着させ
た。フィルムとガラスを貼り合せたものを、１５０℃で
２ｈ処理したところ、熱処理後もフィルムとガラス間の
剥離はなかった。

【００２９】この支持体に固定した光学用フィルムを３
６０ｍｍ×４６０ｍｍのシートに切断し、表示素子用基
板とした。カラーフィルター層形成及び表示用透明電極
形成のフォトリソグラフィー工程でフォトレジストの加
熱乾燥及び水溶液による現像・エッチングの繰り返しに
対する寸法変化を評価するため、次のような試験を行っ
た。まず、基板を１５０℃で２時間乾燥させた後、乾燥
容器中で基板の温度が２３℃となるまで放置し、精密寸
法測定装置で外寸の測定を行い、その後２３℃の純水に
５分間浸漬した後に再度外寸の測定を行う。この操作を
再度繰り返し、最初の測定値に対する振れ幅の割合を求
めた。このようにして求めた寸法変化は０．００２％で
あった。また、セル化工程を想定したこれらの負荷に対
しても、フィルムが支持体から剥離することはなかっ
た。

【００３０】次に、この光学用フィルムを支持体から剥
離した。続いて、高温高湿条件下でのリタデーション評
価を行うために、まず、基板を、小型表示装置を想定し
て４０ｍｍ×６０ｍｍの外寸に切断し、四隅から縦・横
ともに３ｍｍ内側の部分のリタデーションを、ベレック
コンペンセイターを装着した偏光顕微鏡で測定した。リ
タデーションは１〜２ｎｍであった。この基板を、６０
℃９０％ＲＨに設定した恒温恒湿槽に投入し、２４時間
ごとに２４０時間まで、その後１００時間ごとに１０４
０時間まで前記と同じ位置のリタデーションの測定を行
ったところ、リタデーションの最大値は４ｎｍであっ
た。

【００３１】＜実施例２＞溶融押出法で製造した幅１ｍ
厚さ２００μｍ、リタデーション４ｎｍ±２ｎｍのポリ
エーテルスルホンフィルムの両面に、実施例１と同様に
して膜厚２μｍの紫外線硬化性樹脂組成物によるコート
層を設けた。この工程でサンプリングしたフィルムの４
０℃９０％ＲＨにおける水蒸気透過度をカップ法にて測
定したところ、 ５０ｇ／ｍ²／ｄａｙであった。また、
用いたポリエーテルスルホンの光弾性定数は１００×１
０^−１３ｃｍ^２／ｄｙｎであった。続いて、このフィル
ムの一方の面に、連続式スパッタ装置を用いて厚さ５０
ｎｍの酸化珪素膜を成膜した。酸化珪素膜は、原料ター
ゲットに珪素を用い、スパッタ装置内を１０^−３Ｐａ以
下まで減圧した上で放電ガスとしてアルゴンを分圧で
０．０８Ｐａ導入、反応ガスとして酸素を分圧で０．０
８Ｐａ導入して反応性スパッタリングを行い成膜した。
この酸化珪素層の上に、再度前記紫外線硬化性樹脂組成
物を実施例１と同様の方法により塗工し、コート層を設
けた。この工程でサンプリングしたフィルムの水蒸気透
過度を前記水蒸気透過率測定機を用いて測定したとこ
ろ、０．０６ｇ／ｍ²／ｄａｙであった。次に、前記の
スパッタ膜上のコート層に、バルクに対する相対重量密
度９５％以上のＩｎ、Ｓｎ（ＳｎＯ2１０ｗｔ％）の合
金酸化物ターゲットを用いたプレーナーマグネトロンス
パッタリングにより厚み３００ÅのＩｎ、Ｓｎ合金酸化
膜を形成した。

【００３２】次に、前記の酸化珪素膜を成膜した面と逆
の面上に、ポリプロピレン８０％とスチレン系熱可塑性
エラストマー（クラレ社製ハイブラー）２０％をブレン
ドした厚み１５μｍのシート、中性洗剤で表面を洗浄し
た０．７ｍｍ厚のガラス板を順次積層して、１８０℃、
３０ｍｉｎ、５ｋｇ／ｃｍ²でプレスして貼りあわせ
た。フィルムとガラスを貼り合せたものを、１５０℃で
２ｈ処理したところ、熱処理後もフィルムとガラス間の
剥離はなかった。

【００３３】得られた光学用フィルムについて実施例１
と同様にして寸法変化を求めたところ、０．００３％で
あった。また、実施例１と同様にして支持体を剥離後、
高温高湿条件下でのリタデーション評価を行ったとこ
ろ、リタデーションの最大値は６ｎｍであった。

【００３４】＜実施例３＞紫外線硬化性樹脂組成物とし
て、ウレタンアクリレート樹脂２０重量部、イソシアヌ
ル酸トリアクリレート７０重量部、光重合開始剤とし
て、イルガキュアー９０７(チバスぺシャリティケミカ
ルズ製)１重量部、メチルセロソルブアセテート５重量
部の混合液を、表面に離型剤を均一に塗布した研磨ガラ
ス上に流延し、９０℃のオーブン中で３０分乾燥した
後、高圧水銀灯により紫外線を基板上下から各２００ｍ
Ｊ／ｃｍ^２照射して紫外線硬化性樹脂組成物を硬化させ
た。硬化物を基板から剥離した後、更に上下から各４０
０ｍＪ／ｃｍ^２の紫外線を照射し、次いで研磨ガラス間
に挟持した状態で１５０℃のオーブン中で２時間処理し
て厚さ０．４ｍｍ、外形３００ｍｍ×３００ｍｍのプラ
スチックシートを得た。このシートの４０℃９０％ＲＨ
における水蒸気透過度をカップ法にて測定したところ、
２０ｇ／ｍ²／ｄａｙであった。また、このプラスチッ
クシートのリタデーションは０〜１ｎｍであり、光弾性
定数は４×１０^−１３ｃｍ^２／ｄｙｎであった。

【００３５】続いて、このシートの一方の面に、枚葉式
スパッタ装置を用いて厚さ５０ｎｍの酸化珪素膜を成膜
した。酸化珪素膜は、原料ターゲットに珪素を用い、ス
パッタ装置内を１０^−３Ｐａ以下まで減圧した上で放電
ガスとしてアルゴンを分圧で０．０４Ｐａ導入、反応ガ
スとして酸素を分圧で０．０４Ｐａ導入して反応性スパ
ッタリングを行い成膜した。この酸化珪素層の上に、再
度前記紫外線硬化性樹脂組成物をスピンコーティング
し、８０℃のホットプレート上で２分間、さらに１２０
℃のホットプレートで２分間乾燥した後、高圧水銀灯に
より紫外線を４００ｍＪ／ｃｍ^２して硬化し、コート層
を設けた。この工程でサンプリングしたフィルムの水蒸
気透過度を前記水蒸気透過率測定機を用いて測定したと
ころ、０.００２ｇ／ｍ²／ｄａｙであった。次に、前記
の酸化珪素膜を成膜した面と逆の面に、枚葉式スパッタ
装置を用いて厚さ２０ｎｍの酸化珪素膜を成膜した。酸
化珪素膜は、原料ターゲットに珪素を用い、スパッタ装
置内を１０^−３Ｐａ以下まで減圧した上で放電ガスとし
てアルゴンを分圧で０．１５Ｐａ導入、反応ガスとして
酸素を分圧で０．１５Ｐａ導入して反応性スパッタリン
グを行い成膜した。この酸化珪素層の上に、再度紫外線
硬化性樹脂組成物を前記と同様の方法により塗工し、コ
ート層を設け、光学用フィルムを得た。尚、２度目に成
膜した酸化珪素膜とコート層による水蒸気透過度を測定
するために、１度目の酸化珪素膜とその上層のコート層
が無いサンプルを作成し、前記水蒸気透過率測定機を用
いて測定したところ、０．８ｇ／ｍ²／ｄａｙであっ
た。

【００３６】次に、前記の酸化珪素膜を成膜した面と逆
の面上に、両面にタック性のある厚み１００μのシリコ
ンゴムシートを貼りあわせ、次にこれを中性洗剤で表面
を洗浄した０．７ｍｍ厚のガラス板に貼り合わせた。フ
ィルムとガラスを貼り合せたものを、１５０℃で２ｈ処
理したところ、熱処理後もフィルムとガラス間の剥離は
なかった。

【００３７】得られたフィルムについて実施例１と同様
にして寸法変化を求めたところ、０．００３％であっ
た。また、実施例１と同様にして支持体を除去後、高温
高湿条件下でのリタデーション評価を行ったところ、リ
タデーションの最大値は１ｎｍであった。

【００３８】＜実施例４＞実施例1において、片面に酸
化珪素膜を形成した面と逆の面上に、紫外線硬化性樹脂
組成物として、エポキシアクリレート樹脂９０重量部、
光重合開始剤として、イルガキュアー９０７(チバスぺ
シャリティケミカルズ製)１重量部、メチルセロソルブ
アセテート５重量部、レベリング材１重量部の混合液
を、中性洗剤で表面を洗浄した０．７ｍｍ厚のガラス板
に塗布し、９０℃のオーブン中で３０分乾燥した。乾燥
後の膜厚は１０μｍであった。紫外線硬化樹脂組成物の
塗布面と、前記のフィルムの酸化珪素膜を成膜した面と
逆の面を貼り合わせた後、ガラス板側から高圧水銀灯に
より紫外線を４００ｍＪ／ｃｍ^２照射して、紫外線硬化
性樹脂組成物を硬化させた。フィルムとガラスを貼り合
せたものを、１５０℃で２ｈ処理したところ、熱処理後
もフィルムとガラス間の剥離はなかった。得られたフィ
ルムについて実施例１と同様にして寸法変化を求めたと
ころ、０．００３％であった。また、実施例１と同様に
して支持体を除去後、高温高湿条件下でのリタデーショ
ン評価を行ったところ、リタデーションの最大値は１ｎ
ｍであった。

【００３９】＜実施例５＞実施例１において、片面に酸
化珪素膜を形成した面と逆の面上に、粘度が４００ｍＰ
ａ・ｓのシリコンオイルを、中性洗剤で表面を洗浄した
０．７ｍｍ厚のガラス板に１０μｍの厚みで塗布し、前
記のフィルムの酸化珪素膜を成膜した面と逆の面を貼り
合わせた。フィルムとガラスを貼り合せたものを、１５
０℃で２ｈ処理したところ、熱処理後もフィルムとガラ
ス間の剥離はなかった。得られたフィルムについて実施
例１と同様にして寸法変化を求めたところ、０．００３
％であった。また、実施例１と同様にして支持体を除去
後、高温高湿条件下でのリタデーション評価を行ったと
ころ、リタデーションの最大値は１ｎｍであった。

【００４０】＜実施例６＞実施例１において、片面に酸
化珪素膜を形成した面と逆の面上に、シリコーン系２液
ＲＴＶゴムとして信越化学製ＫＥ１２０６を、中性洗剤
で表面を洗浄した０．７ｍｍ厚のガラス板に１０μｍの
厚みで塗布し、１００℃で２時間焼成させた後、前記の
フィルムの酸化珪素膜を成膜した面と逆の面を貼り合わ
せた。フィルムとガラスを貼り合せたものを、１５０℃
で２ｈ処理したところ、熱処理後もフィルムとガラス間
の剥離はなかった。得られたフィルムについて実施例１
と同様にして寸法変化を求めたところ、０．００３％で
あった。また、実施例１と同様にして支持体を除去後、
高温高湿条件下でのリタデーション評価を行ったとこ
ろ、リタデーションの最大値は１ｎｍであった。

【００４１】＜実施例７＞実施例２のようにしてガラス
板を貼り合わせたものを用いて、液晶表示装置を作製し
た。第１の工程として、カラーフィルター層を形成し
た。カラーフォルター層は、樹脂ブラックマトリクス
材，Ｒ，Ｇ，Ｂの３種の顔料分散カラーレジストを用
い、フォトリソグラフィーにより水蒸気透過度０．０６
ｇ／ｍ²／ｄａｙのバリア層成膜面側に形成を行った。
Ｒ，Ｇ，Ｂのカラーレジストの寸法は７０μｍ×２００
μｍで、その間には幅１０μｍでブラックマトリクスを
形成した。ブラックマトリクスの外寸は４０ｍｍ×６０
ｍｍで、カラーフィルター形成範囲は３０ｍｍ×５０ｍ
ｍとした。更に、カラーフィルターオーバーコート材を
スピンコーターにより塗布し、１５０℃のオーブン中で
１時間硬化した。

【００４２】第２の工程として、透明電極を形成した。
すなわち、カラーフィルターを形成した基板には、カラ
ーフィルター形成面上に、組み合わせて用いるカラーフ
ィルターを形成していない基板は水蒸気透過度０．０６
ｇ／ｍ²／ｄａｙのバリア層成膜面側に、枚葉式スパッ
タ装置で酸化インジウム錫（ＩＴＯ）を厚さ１００ｎｍ
に成膜し、フォトリソグラフィーにより、ストライプ状
にパターニング後、エッチングにより透明電極とした。
パターニングした透明電極上に配向剤を印刷・成膜し、
２４０度ツイストの配向となるようラビングを行った
後、洗浄して乾燥した。次に、カラーフィルターを形成
していない基板にシール材をスクリーン印刷し、プリベ
ークを行った。その間に、カラーフィルターを形成した
基板側にはスペーサーを散布した。尚、スペーサーは接
着性のコーティングがなされたものを用いた。続いて両
基板の貼り合わせを行い、シール材を完全硬化してセル
とした。

【００４３】両基板の貼りあわせ工程までを経た後で
も、フィルムがガラスから剥離することはなかった。両
基板の貼り合わせ工程の後、支持体のガラスを剥離し
た。この時の剥離はフィルムとガラスの固定に用いた熱
可塑性樹脂と、フィルムとの間で起こり、フィルムへの
熱可ソ樹脂の移行は目視で観察されなかった。また剥離
時の強度は低く、ガラスを剥離する応力でセルが破損す
ることはなかった。

【００４４】続いて、セルに液晶としてメルク社製ＺＬ
Ｉ２２９３にカイラル剤を添加した組成物を注入し、封
口材を用いて封口し、液晶セルを得た。さらに液晶セル
に位相差フィルムと偏光フィルムを貼り液晶表示装置と
した。作製した液晶表示装置に駆動波形発生装置を接続
し表示を行った。全面点灯時も非点灯時も表示ムラは見
られず良好であった。また、液晶表示装置を６０℃９０
％ＲＨの恒温恒湿槽に入れ、処理により表示に変化を生
じないかを処理時間１０００時間まで試験したところ、
表示ムラは発生しなかった。

【００４５】＜実施例８＞本発明は、その一実施例とし
て、転写によりカラーフィルターを基板に形成する方法
にも応用が可能である。 溶融押出法で製造した幅１ｍ
厚さ２５μｍ、リタデーション２ｎｍ±２ｎｍのポリエ
ーテルスルホンフィルムの片面にシリコーン系離型処理
を施した後、実施例１と同様にして膜厚２μｍの紫外線
硬化性樹脂組成物によるコート層を設けた。用いたポリ
エーテルスルホンの光弾性定数は１００×１０^−１３ｃ
ｍ^２／ｄｙｎであった。このフィルムの紫外線硬化樹脂
組成物形成面に、連続式スパッタ装置を用いて厚さ５０
ｎｍの酸化珪素膜を成膜した。酸化珪素膜は、原料ター
ゲットに珪素を用い、スパッタ装置内を１０^−３Ｐａ以
下まで減圧した上で放電ガスとしてアルゴンを分圧で
０．０８Ｐａ導入、反応ガスとして酸素を分圧で０．０
８Ｐａ導入して反応性スパッタリングを行い成膜した。
この工程でサンプリングしたフィルムの水蒸気透過度を
前記水蒸気透過率測定機を用いて測定したところ、０．
1０ｇ／ｍ²／ｄａｙであった。

【００４６】次に、２−エチルへキシルアクリレート７
０重量部、ブチルアクリレート２０重量部と極性基含有
モノマーである２−ヒドロキシルアクリレート１０重量
部とを共重合して得られた平均分子量６０００００の共
重合体１００重量部に対し、反応性オリゴマーとして分
子量が３０００の２官能ポリエステルアクリレート１０
重量部、酢酸エチル５０重量部を２５℃で十分に攪拌
し、次に架橋剤として、ポリイソシアネ−ト化合物（日
本ポリウレタン製：コロネートL）０．５重量部を添加
して十分に攪拌して得たアクリル系粘着剤を、前記の酸
化珪素膜を成膜した面と逆の面に、乾燥後の塗布厚が１
０μｍとなるように、アクリル系の耐熱性粘着剤を塗布
し、０．３ｍｍ厚のアルミ箔にラミネートした。

【００４７】次に、前記の酸化珪素膜を製膜した面に、
カラーフィルター層を形成した。カラーフィルター層
は、樹脂ブラックマトリクス材，Ｒ，Ｇ，Ｂの３種の顔
料分散カラーレジストを用い、フォトリソグラフィーに
より水蒸気透過度０．１０ｇ／ｍ ²／ｄａｙのバリア層
成膜面側に形成を行った。Ｒ，Ｇ，Ｂのカラーレジスト
の寸法は７０μｍ×２００μｍで、その間には幅１０μ
ｍでブラックマトリクスを形成した。ブラックマトリク
スの外寸は４０ｍｍ×６０ｍｍで、カラーフィルター形
成範囲は３０ｍｍ×５０ｍｍとした。工程中、フィルム
とアルミ箔間の剥離は無かった。また、実施例１と同様
にして求めた寸法変化は０．００７％であり、基板の寸
法変化によるパターンずれを生じさせずに、カラーフィ
ルターを形成することができた。アルミ箔を剥離した
後、カラーフィルター形成面に、紫外線硬化性樹脂組成
物としてエポキシアクリレート樹脂２５重量部、ウレタ
ンアクリレート樹脂１０重量部、光重合開始剤として、
イルガキュアー９０７(チバスぺシャリティケミカルズ
製)１重量部、シランカップリング剤としてγ−メルカ
プトプロピルトリメトキシシラン０．２重量部、酢酸ブ
チル６５重量部の混合液を塗布し１２０℃で乾燥後に
（乾燥後の膜厚は２μｍ）、紫外線硬化性呪詛組成物が
未硬化のうちに、溶融押出法で製造した厚さ１５０μ
ｍ、リタデーション４ｎｍ±２ｎｍのポリエーテルスル
ホンフィルムと貼り合わせ、紫外線を３５０ｍＪ／ｃｍ
^２照射し貼り合せた後、ポリエーテルサルフォンの離型
処理面と紫外線硬化樹脂組成物層を剥離して、カラーフ
ィルター層付きポリエーテルサルフォン基板を得た。第
２の工程として、透明電極を形成した。すなわち、カラ
ーフィルターを形成した基板には、離型処理したポリエ
ーテルサルフォンから剥離した紫外線硬化樹脂組成物形
成層の上に、組み合わせて用いるカラーフィルターを形
成していない基板は、実施例２と同様に作成した水蒸気
透過度０．０６ｇ／ｍ²／ｄａｙのバリア層成膜面側
に、基板をアルカリ洗浄した後に枚葉式スパッタ装置で
酸化インジウム錫（ＩＴＯ）を厚さ１００ｎｍに成膜
し、フォトリソグラフィーにより、ストライプ状にパタ
ーニング後、エッチングにより透明電極とした。パター
ニングした透明電極上に配向剤を印刷・成膜し、２４０
度ツイストの配向となるようラビングを行った後、洗浄
して乾燥した。次に、カラーフィルターを形成していな
い基板にシール材をスクリーン印刷し、プリベークを行
った。その間に、カラーフィルターを形成した基板側に
はスペーサーを散布した。尚、スペーサーは接着性のコ
ーティングがなされたものを用いた。続いて両基板の貼
り合わせを行い、シール材を完全硬化してセルとした。

【００４８】＜比較例１＞溶融押出法で製造した幅１ｍ
厚さ２００μｍ、リタデーション４ｎｍ±２ｎｍのポリ
エーテルスルホンフィルムの両面に、実施例１と同様に
して紫外線硬化性樹脂組成物による膜厚２μｍのコート
層を設けた。この工程でサンプリングしたフィルムの４
０℃９０％ＲＨにおける水蒸気透過度をカップ法にて測
定したところ、 ５０ｇ／ｍ²／ｄａｙであった。また、
用いたポリエーテルスルホンの光弾性定数は１００×１
０^−１３ｃｍ^２／ｄｙｎであった。続いて、このフィル
ムの一方の面に、連続式スパッタ装置を用いて厚さ５０
ｎｍの酸化珪素膜を成膜した。酸化珪素膜は、原料ター
ゲットに珪素を用い、スパッタ装置内を１０^−３Ｐａ以
下まで減圧した上で放電ガスとしてアルゴンを分圧で
０．０８Ｐａ導入、反応ガスとして酸素を分圧で０．０
８Ｐａ導入して反応性スパッタリングを行い成膜した。
この酸化珪素層の上に、再度前記紫外線硬化性樹脂組成
物を実施例１と同様の方法により塗工し、コート層を設
けた。この工程でサンプリングしたフィルムの水蒸気透
過度を前記水蒸気透過率測定機を用いて測定したとこ
ろ、０．０６ｇ／ｍ²／ｄａｙであった。

【００４９】得られた光学用フィルムについて支持体を
貼りあわせずに、実施例１と同様にして寸法変化を求め
たところ、０．０９％であった。また、実施例１と同様
にして高温高湿条件下でのリタデーション評価を行った
ところ、リタデーションの最大値は７ｎｍであった。

【００５０】この光学用フィルムを基板として用いて、
液晶表示装置の作製を試みた。実施例７と同様にしてカ
ラーフィルター層の形成を行ったところ、フォトリソグ
ラフィーの繰り返し時に位置ズレが生じ、ブラックマト
リクスとＲ，Ｇ，Ｂのカラーレジストの間に隙間ができ
る、２色のカラーレジストが一部重なるといった不良が
発生した。

【００５１】＜比較例２＞溶融押出法で製造した幅１ｍ
厚さ３００μｍ、リタデーション６ｎｍ±２ｎｍのポリ
エーテルスルホンフィルムの両面に、実施例１と同様に
して紫外線硬化性樹脂組成物による膜厚２μｍのコート
層を設けた。この工程でサンプリングしたフィルムの４
０℃９０％ＲＨにおける水蒸気透過度をカップ法にて測
定したところ、 ５０ｇ／ｍ²／ｄａｙであった。また、
用いたポリエーテルスルホンの光弾性定数は１００×１
０^−１３ｃｍ^２／ｄｙｎであった。続いて、このフィル
ムの一方の面に、連続式スパッタ装置を用いて厚さ５０
ｎｍの酸化珪素膜を成膜した。酸化珪素膜は、原料ター
ゲットに珪素を用い、スパッタ装置内を１０^−３Ｐａ以
下まで減圧した上で放電ガスとしてアルゴンを分圧で
０．０４Ｐａ導入、反応ガスとして酸素を分圧で０．０
４Ｐａ導入して反応性スパッタリングを行い成膜した。
この酸化珪素層の上に、再度前記紫外線硬化性樹脂組成
物を実施例１と同様の方法により塗工し、コート層を設
けた。この工程でサンプリングしたフィルムの水蒸気透
過度を前記水蒸気透過率測定機を用いて測定したとこ
ろ、０.００２ｇ／ｍ²／ｄａｙであった。

【００５２】次に、前記の酸化珪素膜を成膜した面と逆
の面にも、前記と同様にして厚さ５０ｎｍの酸化珪素膜
を成膜し、その上層に前記紫外線硬化性樹脂組成物を実
施例１と同様の方法により塗工してコート層を設けた。
２度目に成膜した酸化珪素膜による水蒸気透過度を測定
するために、１度目の酸化珪素膜とその上層のコート層
が無いサンプルを作成し、前記水蒸気透過率測定機を用
いて測定したところ、０．００２ｇ／ｍ²／ｄａｙであ
った。また、この光学用フィルムの波長５５０ｎｍにお
ける光線透過率を分光光度計により測定したところ、８
９％であった。得られた光学用フィルムについて実施例
１と同様にして寸法変化を求めたところ、０．００２％
であった。また、実施例１と同様にして高温高湿条件下
でのリタデーション評価を行ったところ、リタデーショ
ンの最大値は４１ｎｍであった。

【００５３】この光学用フィルムを基板として用いて、
実施例７と同様にして液晶表示装置を作製した。作製し
た液晶表示装置に駆動波形発生装置を接続し表示を行っ
た。全面点灯時も非点灯時も表示ムラは見られず良好で
あった。この液晶表示装置を６０℃９０％ＲＨの恒温恒
湿槽に入れ、処理により表示に変化を生じないかを試験
したところ、５０時間程度より表示部四隅から表示ムラ
が発生した。

【００５４】実施例１〜６では、セル化工程内で必要と
される寸法変化を充分に保ちつつも、セル組み立て後に
は高温高湿処理によるリタデーションの増大が生じない
ように基板の片面のバリア層を取り除くことで、表示欠
陥のない液晶セルを組み立てることができた。この中で
は最もリタデーションが大きな実施例２の光学用フィル
ムを用いて表示装置を作製した場合でも、良好な表示を
行うことができた（実施例７）。また、本発明は転写に
よりカラーフィルターを基板に形成する方法にも良好に
使用することができた。

【００５５】一方、比較例１では、一方の面に、水蒸気
透過度が１ｇ／ｍ^２／ｄａｙ以下でとなる単独層または
複合層を有するものの、他方の面にバリア膜がなかった
ために寸法変化が大きく、カラーフィルターの形成がう
まくできなかった。また、比較例２では、両面ともに水
蒸気透過度が０．００２ｇ／ｍ^２／ｄａｙ以下と小さか
ったために、高温高湿処理によるリタデーションの増大
が大きく、表示装置とした際には高温高湿条件下で表示
ムラが発生してしまった。

【００５６】

【発明の効果】以上のように、本発明の製造方法によれ
ば、バリア層を片面だけに形成するだけでカラーフィル
ター形成のフォトリソグラフィー工程では、フォトレジ
ストの加熱乾燥及び水溶液による現像・レジスト除去の
繰り返しに対するシートの寸法変化に対処することがで
き、また、基板の中心層となるプラスチックフィルムシ
ートへの水分浸入量の面内分布に著しい差を生じさせな
いため、従来プラスチック基板で発生していた表示部四
隅の表示ムラを防止し、優れた表示性能と安定性に富む
表示装置を提供することができる。また、本発明の製造
方法は、プラスチック基板に限らず、カラーフィルター
製造工程、有機エレクトロルミネッセンス表示装置等、
表示装置に用いられるプラスチックフィルムシート全般
に応用が可能である。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０５Ｂ 33/14 Ｈ０５Ｂ 33/14 Ａ (72)発明者 屋ヶ田 和彦 東京都品川区東品川２丁目５番８号 住友 ベークライト株式会社内 Ｆターム(参考） 2H090 JB02 JB03 JB13 JC19 LA01 LA06 LA09 LA15 LA20 3K007 AB13 AB17 AB18 CA05 CA06 DB03 FA01 4F100 AA20 AB01B AD00B AG00B AH06C AK01A AK01B AK21C AK24C AK25 AK25C AK35C AK41A AK45A AK52C AK55 AL01C AT00B BA02 BA03 BA07 BA10A BA10B CA02C EH20 EH203 EH46 EH462 EH66 EH662 EJ54 EJ542 EJ86 EJ862 GB41 JA06C JA07C JB16C JD02 JD04B JL02 JL08 JL13C JL14A JL14B JN01B YY00B YY00C 5C094 AA03 AA14 AA38 AA43 AA44 AA46 BA27 BA43 EB01 FB01 FB20 GB00

Claims (18)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】プラスチックフィルムシートを水蒸気透過
   度が１ｇ／ｍ^２／ｄａｙ以下である支持体に剥離可能な
   方法で固定し、表示装置の製造工程中に必要なバリア性
   をプラスチックフィルムシートに持たせる表示装置の製
   造方法。
2. 【請求項２】 前記プラスチックフィルムシートの支持
   体と接しない面に、水蒸気透過度が１ｇ／ｍ^２／ｄａｙ
   以下の単独層または複合層から成るバリア層を有する請
   求項１記載の表示装置の製造方法。
3. 【請求項３】 支持体とプラスチックフィルムシートと
   を固定する方法が粘着材で貼りあわせる方法である請求
   項１または２記載の表示装置の製造方法。
4. 【請求項４】 前記粘着材が１５０℃２ｈの熱処理後で
   も支持体とプラスチックフィルムシートとが剥離しない
   耐熱性をもつ請求項３記載の表示装置の製造方法。
5. 【請求項５】 前記粘着材がシリコーン系またはアクリ
   ル系粘着材・接着材である請求項３または４記載の表示
   装置の製造方法。
6. 【請求項６】前記アクリル系粘着剤が、アクリロイル基
   またはメタクリロイル基含有モノマーと、極性基含有モ
   ノマーを共重合してなる平均分子量が10万〜200万の
   （メタ）アクリル系共重合体と平均分子量100〜1万の反
   応性オリゴマー、および架橋剤を主成分とする請求項５
   記載の表示装置の製造方法。
7. 【請求項７】前記極性基含有モノマーの極性基がカルボ
   キシル基、水酸基、アミノ基より選ばれる極性基である
   請求項６記載の表示装置の製造方法。
8. 【請求項８】 前記反応性オリゴマーが主鎖にエステル
   骨格を有する請求項６または７記載の表示装置の製造方
   法。
9. 【請求項９】 前記反応性オリゴマーがエポキシ基、水
   酸基、アミノ基、アルコキシ基より選ばれる反応性基を
   有する請求項６〜８何れか一項記載の表示装置の製造方
   法。
10. 【請求項１０】 前記粘着材がタック性を有する熱可塑
    性フィルムシートである請求項４記載の表示装置の製造
    方法。
11. 【請求項１１】 前記粘着材が、室温での粘度が１００
    ｍＰａ・ｓ以上の液体である請求項５記載の表示装置の
    製造方法。
12. 【請求項１２】 支持体とプラスチックフィルムシート
    とを固定する方法が周囲を密閉した額縁形状の支持体に
    よる方法である請求項１または２記載の表示装置の製造
    方法。
13. 【請求項１３】 支持体がガラス、金属、セラミック、
    プラスチックより選ばれた材料で作られる請求項１〜１
    ２何れか一項記載の表示装置の製造方法。
14. 【請求項１４】 支持体の少なくとも一部が透明である
    請求項１〜１３何れか一項記載の表示装置の製造方法。
15. 【請求項１５】 前記プラスチックフィルムシートのリ
    タデーションが２０ｎｍ以下である請求項１〜１４何れ
    か一項記載の表示装置の製造方法。
16. 【請求項１６】 前記プラスチックフィルムシートの光
    弾性定数が１０×１０^{− １３}ｃｍ^２／ｄｙｎ以上である
    請求項１〜１５何れか一項記載の表示装置の製造方法。
17. 【請求項１７】 前記プラスチックフィルムシートが
    （１）エステル結合で結合された繰り返し単位を有する
    高分子、（２）カーボネート結合で結合された繰り返し
    単位を有する高分子または（３）スルホン結合で結合さ
    れた繰り返し単位を有する高分子を主成分とする請求項
    １〜１６何れか一項記載の表示装置の製造方法。
18. 【請求項１８】 前記表示装置が液晶表示装置である請
    求項１〜１７記載の表示装置の製造方法。