JP2003277612A - ポリマー組成物およびパターン形成方法 - Google Patents

ポリマー組成物およびパターン形成方法

Info

Publication number
JP2003277612A
JP2003277612A JP2002079378A JP2002079378A JP2003277612A JP 2003277612 A JP2003277612 A JP 2003277612A JP 2002079378 A JP2002079378 A JP 2002079378A JP 2002079378 A JP2002079378 A JP 2002079378A JP 2003277612 A JP2003277612 A JP 2003277612A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
group
polysilane
pattern
laser light
polymer composition
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2002079378A
Other languages
English (en)
Inventor
Kazuyuki Hirao
一之 平尾
Kenei Kyu
建栄 邱
Shinichi Kawasaki
真一 川崎
Takeshi Fujiki
剛 藤木
Hiroaki Murase
裕明 村瀬
Mitsuaki Yamada
光昭 山田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Osaka Gas Co Ltd
Original Assignee
Osaka Gas Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Osaka Gas Co Ltd filed Critical Osaka Gas Co Ltd
Priority to JP2002079378A priority Critical patent/JP2003277612A/ja
Publication of JP2003277612A publication Critical patent/JP2003277612A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Thermal Transfer Or Thermal Recording In General (AREA)
  • Materials For Photolithography (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)
  • Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 レーザ光の照射によりパターンが形成可能な
ポリマー組成物と、このパターン形成方法を提供する。 【解決手段】 ポリシランで構成されたポリマー組成物
(又は成形体)に、レーザ光を照射し、表面又は内部に
光学的特性(色彩、透明性、屈折率、反射率、誘電率な
ど)の変化を生じさせ、パターンを形成する。ポリマー
組成物は、さらに樹脂を含んでいてもよい。前記前記ポ
リシランは、下記式(1)で表される構造単位のうち少
なくとも1つの単位を有する。 【化1】 (式中、R1〜R3は、水素原子、アルキル基、アリール
基、シリル基などを示し、m,n,pは正の整数を示
す)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ポリシランで構成
され、かつレーザ光によりパターン形成可能なポリマー
組成物、このポリマー組成物で形成され、かつレーザ光
によりマーキングが施された成形体およびパターン形成
方法(又はマーキング方法)に関する。
【0002】
【従来の技術】光通信において重要な光部品として、光
分岐結合器(光カプラ)、光合分波器、光導波路などが
知られている。これらの光部品は、通常、ガラスなどで
製造されているが、ガラスの加工には1000℃以上の
高温が必要となり、加工性が劣る。特開平9−1667
98号公報、特開平9−311237号公報には、レー
ザ光の集光照射により、ガラス材の内部に屈折率の変化
部位が連続して形成された光学素子が開示されている。
しかし、ガラスに導波路を形成するため、フレキシビリ
ティーがなく割れやすい。
【0003】そこで、ポリマー材料を用いて光導波路を
形成するための検討が数多くなされている。例えば、ア
クリル樹脂や含フッ素ポリイミド樹脂を用いた光導波路
が知られている。しかし、導波路パターンの形成におい
て、レジストを用いてパターンを形成した後、エッチン
グし、その後レジストを剥離する必要があり、工程数が
多く加工効率を向上させることが困難である。
【0004】また、高機能なカーボン材料として、フラ
ーレンやナノチューブをはじめとする微細に構造が制御
された材料が電子材料として検討されている。しかし、
素子として用いる場合に、基材に対する接合などの加工
が必要であり、より簡便な方法での素子形成が要望され
ている。
【0005】さらに、レーザ光を利用して成形体の表面
に文字記号絵柄などのマーキングを施すことも提案され
ている。例えば、特開平3−24161号公報には、熱
可塑性樹脂に酸化チタンなどを含有させ、レーザ光を照
射することにより黒色にマーキングすることが開示され
ている。特開平9−20855号公報には、ABS樹脂
に複数の金属酸化物を含有させ、レーザ光を照射するこ
とにより黒色にマーキングすることが開示されている。
しかし、これらの方法では、酸化チタンや金属酸化物を
樹脂に添加するため、樹脂組成物やその成形体の透明性
が損なわれる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】従って、本発明の目的
は、レーザ光の照射により光学的特性が変化した領域を
効率よく形成できるポリマー組成物、このポリマー組成
物を用いたパターン形成方法(又はマーキング方法)、
並びにパターン又はマーキングが施された成形体を提供
することにある。
【0007】本発明の他の目的は、成形体の内部であっ
ても光学的特性が変化した部位(マーキング部位)を効
率よく形成できるポリマー組成物、このポリマー組成物
を用いたパターン形成方法(又はマーキング方法)、並
びに成形体を提供することにある。
【0008】本発明のさらに他の目的は、組成物の透明
性を損なうことなく、マーキング部位を形成できるポリ
マー組成物、このポリマー組成物を用いたパターン形成
方法(又はマーキング方法)、並びに成形体を提供する
ことにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、前記課題
を解決するため鋭意検討の結果、ポリシランを含有する
樹脂組成物にレーザ光を照射すると、樹脂組成物の内部
であっても黒色マーキングでき、照射部位と非照射部位
との間に光学的特性の変化を生じさせ、パターンを形成
可能であることを見いだし、本発明を完成した。
【0010】すなわち、本発明のポリマー組成物は、ポ
リシランで構成されており、かつレーザ光の照射により
光学的特性の変化を生成可能である。前記光学的特性
は、例えば、色彩、透明性、屈折率、反射率、誘電率な
どであってもよく、光学的特性は、単一の特性に限らず
複数の特性が変化していてもよい。前記ポリシラン含有
組成物は、レーザ光の照射により照射部位でパターン形
成可能である。前記ポリシランは、下記式(1)〜
(3)で表される構造単位のうち少なくとも1つの単位
を有していてもよい。
【0011】
【化2】
【0012】(式中、R1〜R3は、同一又は相異なっ
て、水素原子、ヒドロキシル基、アルキル基、アルコキ
シ基、アルケニル基、シクロアルキル基、シクロアルキ
ルオキシ基、シクロアルケニル基、アリール基、アリー
ルオキシ基、アラルキル基、アラルキルオキシ基、又は
シリル基を示し、m,n,pは正の整数を示す) ポリシラン含有組成物は、さらに樹脂を含んでいてもよ
い。本発明の組成物において、ポリシランの割合は、ポ
リマー成分全体に対して1〜100重量%程度であって
もよい。
【0013】本発明は、ポリシランで構成されたポリマ
ー組成物の成形体に、レーザ光を照射し、照射部位の光
学的特性を選択的に変化させるパターン形成方法(又は
マーキング方法)も包含する。この方法では、パルス幅
が1ピコ秒以下のレーザ光を使用してもよい。また、レ
ーザ光の周波数は0.1kHz以上であってもよい。こ
のような方法では、成形体の表面に限らず、成形体の適
所にパターン域(又はマーキング域)を形成できる。例
えば、内部にパルスレーザ光を集光して照射することに
より、成形体の内部にパターン域を形成することもでき
る。パターン形成において、成形体とレーザ光とは、相
対的に連続的に移動させてパターンを形成してもよい。
【0014】本発明は、さらに、前記ポリマー組成物で
形成され、かつレーザ光の照射により光学的特性の変化
が生じた成形体も包含する。この成形体では、内部にパ
ターン域(又はマーキング部)を形成してもよい。さら
に、成形体は光学用部材(又は光学用素子)であっても
よい。
【0015】
【発明の実施の形態】本発明のポリマー組成物(又は樹
脂組成物)は、ポリシランで構成されており、このポリ
シランは樹脂と組み合わせてもよい。
【0016】前記ポリシランとしては、Si−Si結合
を有する直鎖状、環状、分岐状、網目状(ネットワーク
状)の化合物であれば特に限定されず種々のポリシラン
が使用でき、例えば、前記式(1)〜(3)で表される
構造単位のうち少なくとも1つの単位を有するポリシラ
ンが例示できる。具体的には、(i)前記式(1)で表さ
れる直鎖状又は環状ポリシラン、(ii)前記式(2)で表
される分岐鎖状ポリシラン(ポリシリン)又は前記式
(3)で表される分岐鎖状ポリシラン、(iii)前記式
(1)〜(3)で表される構造単位の組み合わせ(例え
ば、前記式(1)と式(2)との組合せ、前記式(1)
と式(3)との組合せ、前記式(1)と式(2)と式
(3)との組合せなど)で構成されたポリシランなどが
挙げられる。ポリシランは単独で又は2種以上組み合わ
せて用いてもよい。
【0017】前記式(1)〜(3)において、R1、R2
及びR3で表される置換基としては、水素原子、ヒドロ
キシル基、アルキル基、アルコキシ基、アルケニル基、
シクロアルキル基、シクロアルキルオキシ基、シクロア
ルケニル基、アリール基、アリールオキシ基、アラルキ
ル基、アラルキルオキシ基、シリル基などが例示でき
る。
【0018】アルキル基としては、メチル、エチル、プ
ロピル、イソプロピル、ブチル、t−ブチル、ペンチル
基などのC1-14アルキル基(好ましくはC1-10アルキル
基、さらに好ましくはC1-6アルキル基)が挙げられ
る。アルコキシ基としては、メトキシ、エトキシ、プロ
ポキシ、イソプロポキシ、ブトキシ、t−ブトキシ、ペ
ンチルオキシ基などのC1-14アルコキシ基(好ましくは
1-10アルコキシ基、さらに好ましくはC1-6アルコキ
シ基)が挙げられる。アルケニル基としては、ビニル、
アリル、ブテニル、ペンテニル基などのC2-14アルケニ
ル基(好ましくはC2-10アルケニル基、さらに好ましく
はC2-6アルケニル基)が挙げられる。シクロアルキル
基としては、シクロペンチル、シクロヘキシル基などの
5-14シクロアルキル基(好ましくはC5-10シクロアル
キル基、さらに好ましくはC5-8シクロアルキル基)が
挙げられる。シクロアルキルオキシ基としては、シクロ
ペンチルオキシ、シクロヘキシルオキシ基などのC5-14
シクロアルキルオキシ基(好ましくはC5-10シクロアル
キルオキシ基、さらに好ましくはC5-8シクロアルキル
オキシ基)が挙げられる。シクロアルケニル基として
は、シクロペンテニル基、シクロヘキセニル基などのC
5-14シクロアルケニル基(好ましくはC5-10シクロアル
ケニル基、さらに好ましくはC5-8シクロアルケニル
基)が挙げられる。アリール基としては、フェニル、ナ
フチル基などのC6-20アリール基(好ましくはC6-15
リール基、さらに好ましくはC6-12アリール基)が挙げ
られる。アリールオキシ基としては、フェノキシ、ナフ
チルオキシ基などのC6-20アリールオキシ基(好ましく
はC6-15アリールオキシ基、さらに好ましくはC6-12
リールオキシ基)が挙げられる。アラルキル基として
は、ベンジル、フェネチル、フェニルプロピル基などの
6-20アリール−C1-4アルキル基(好ましくはC6-10
アリール−C1-2アルキル基)が挙げられる。アラルキ
ルオキシ基としては、ベンジルオキシ、フェネチルオキ
シ、フェニルプロピルオキシ基などのC6-20アリール−
1-4アルキルオキシ基(好ましくはC6-10アリール−
1-2アルキルオキシ基)が挙げられる。シリル基とし
ては、シリル基、ジシラニル基、トリシラニル基などの
Si1-10シリル基(好ましくはSi1-6シリル基)が例
示できる。
【0019】なお、これらの置換基は、さらに置換基
[例えば、ハロゲン原子(塩素原子、フッ素原子な
ど)、アルキル基(例えば、メチル基などのC1-4アル
キル基など)、アルコキシ基(例えば、メトキシ基など
のC1-4アルコキシ基など)、アリール基(フェニル
基、ナフチル基など)など]を有していてもよい。
【0020】前記式(1)において、R1とR2との組み
合わせは、例えば、(a)C1-4アルキル基(特にメチ
ル基などのC1-2アルキル基)同士、(b)C6-10アリ
ール基(特にフェニル基)同士、(c)C1-4アルキル
基(特にメチル基などのC1-2アルキル基)とアリール
基(特にフェニル基)との組み合わせなどが例示でき
る。また、好ましいR3はC1-4アルキル基(特にメチル
基などのC1-2アルキル基)又はアリール基(特にフェ
ニル基)である。なお、R1、R2及びR3の種類は、構
造単位の繰り返し数(m,n,pの数)によって異なっ
ていてもよい。
【0021】前記構造単位を有するポリシランにおい
て、m,n,pの値は、それぞれ、例えば、2〜100
00、好ましくは3〜1000、さらに好ましくは3〜
500程度である。特に、前記式(1)で表される直鎖
状ポリシランでは、mの値が30以下(例えば、2〜3
0、好ましくは3〜25、さらに好ましくは4〜20程
度)程度であり、前記式(1)で表される環状ポリシラ
ンでは、mの値が12以下(例えば、3〜12、好まし
くは4〜12、さらに好ましくは5〜10程度)程度で
ある。また、前記式(2)又は(3)で表される構造単
位を有するポリシランでは、n又はpはそれぞれ重合操
作などを損なわない限り、前記範囲(特に2〜100,
好ましくは2〜50程度)から適当に選択できる。さら
に、前記複数の構成単位を有する態様(iii)において、
m+n+pの値は、例えば、2〜10000、好ましく
は3〜1000、さらに好ましくは3〜500程度であ
る。また、前記ポリシランは共重合体であってもよい。
【0022】前記式(1)〜(3)で表される構造単位
の末端基は、前記置換基R1、R2又はR3で構成してよ
く、ハロゲン原子(塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子な
ど)や、前記置換基R1、R2又はR3などで置換された
シリル基などで構成してもよい。好ましい末端基として
は、アルキル基(メチル基、エチル基、t−ブチル基な
どのC1-4アルキル基など)、アリール基(フェニル基
など)、置換基を有するシリル基(トリメチルシリル
基、t−ブチルジメチルシリル基などのトリC1- 4アル
キルシリル基;トリフェニルシリル基などのトリC6-10
アリールシリル基など)などの不活性基が例示できる。
【0023】好ましいポリシランは、前記式(1)にお
いて、置換基R1、R2のうち少なくとも一方がアリール
基(フェニル基など)である直鎖状又は環状ポリシラン
(例えば、メチルフェニルポリシランやジフェニルポリ
シラン)である。このようなポリシランの末端基は前記
不活性基(トリメチルシリル基、トリフェニルシリル基
など)で構成できる。
【0024】前記ポリシランの数平均分子量は、例え
ば、300〜40000、好ましくは400〜2000
0、さらに好ましくは500〜10000程度である。
【0025】前記ポリシランは、種々の方法を用いて調
製できる。例えば、アルカリ金属の存在下、ハロシラン
類の脱ハロゲン反応を行う方法(例えば、「キッピング
法」J.Am.Chem.Soc.,110,124(1988)、Macromolecules,2
3,3423(1990)など)、ビフェニルなどで架橋されたジシ
レンのアニオン重合を行う方法(例えば、Macromolecul
es,23,4494(1990)など)、電極還元によりハロシラン類
の脱ハロゲン反応を行う方法(例えば、J.Chem.Soc.,Ch
em.Commun.,1161(1990)、J.Chem.Soc.,Chem.Commun.,89
7(1992)など)、マグネシウムの存在下、ハロシラン類
の脱ハロゲン反応を行う方法(例えば、WO98/29
476号公報など)、金属触媒の存在下、ヒドロシラン
類の脱水素反応を行う方法(例えば、特開平4−334
551号公報など)、環状シラン類の開環重合などの方
法が挙げられる。これらの調製方法のうち、ポリシラン
の純度、分子量分布、樹脂との相溶性、副生物(ナトリ
ウムイオン、塩化物イオンなどを含む塩など)の含有量
などの観点から、また、製造コスト、製造の安全性、工
業的製造法などの観点から「マグネシウムの存在下、ハ
ロシラン類の脱ハロゲン反応を行う方法」が好ましい。
【0026】なお、前記式(1)で表されるポリシラン
のうち、環状ポリシランは、例えば、直鎖状ポリシラン
の合成過程で一部を環化させることにより得てもよい。
例えば、数平均分子量が1000以下程度の環状ポリシ
ランは、アルコールなどの溶媒に可溶であり、容易に直
鎖状ポリシランと分離できる。また、環状ポリシラン
は、前記ポリシランの分子内環化反応、例えば、ポリシ
ランの末端同士が自己縮合する分子内縮合反応による方
法などにより得てもよい。前記分子内縮合反応として
は、例えば、分子内脱水素反応、分子内脱ハロゲン反
応、分子内脱ハロゲン化水素反応、分子内脱水反応など
が挙げられる。
【0027】本発明のポリマー組成物は、さらに成膜性
又は成形性成分(例えば、樹脂、無機材料など)と組み
合わせることにより複合体又は複合ポリマー組成物とし
て利用してもよい。上記複合体は、前記ポリシランと前
記成形性成分とが混練及び成形などにより全体に亘り一
体化した複合体に限らず、樹脂や無機材料などの成形性
成分で形成された成形体又は基材(以下、単に成形体と
総称する場合がある)の表面が、前記ポリシランを含有
組成物(又はさらに樹脂を含むポリマー組成物)で被覆
された複合体であってもよい。前記樹脂の種類は特に制
限されず、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂や光硬化性樹脂
などが利用できる。
【0028】熱可塑性樹脂としては、例えば、ポリオレ
フィン系樹脂(ポリエチレン系樹脂、ポリプロピレン系
樹脂、エチレン−プロピレン共重合体、ポリ(メチルペ
ンテン−1)、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレ
ン−(メタ)アクリル酸共重合体、アイオノマー樹脂、
エチレン−(メタ)アクリル酸エステル共重合体な
ど)、酢酸ビニル系樹脂(酢酸ビニル−塩化ビニル共重
合体、酢酸ビニル−(メタ)アクリル酸エステル共重合
体など)、(メタ)アクリル系樹脂(ポリメタクリル酸
メチル、メタクリル酸メチル−(メタ)アクリル酸エス
テル共重合体、メタクリル酸メチル−スチレン共重合
体、メタクリル酸メチル−スチレン−(メタ)アクリル
酸エステル共重合体、ポリ(メタ)アクリルアミドな
ど)、ポリスチレン系樹脂(ポリスチレン、スチレン−
(メタ)アクリル酸エステル共重合体、スチレン−(メ
タ)アクリル酸共重合体、スチレン−アクリロニトリル
共重合体(AS樹脂)、スチレン−無水マレイン酸共重
合体など)、ハロゲン含有樹脂(塩化ビニル系樹脂、フ
ッ素樹脂など)、ポリエステル系樹脂(ポリエチレンテ
レフタレートPET、ポリブチレンテレフタレートPB
T、1,4−シクロへキシルジメチレンテレフタレート
PCT、ポリエチレンナフタレートPENなどのポリア
ルキレンアリレート系樹脂、アルキレンアリレート単位
を主成分として含むコポリエステル、ポリアリレート系
樹脂、液晶性ポリエステルなど)、ポリアミド系樹脂
(ポリアミド6,ポリアミド66,ポリアミド6/1
2、芳香族ポリアミド樹脂MXD−6など)、ビスフェ
ノール型ポリカーボネート系樹脂、ポリウレタン系樹
脂、ポリビニルアルコール系樹脂、ポリビニルアセター
ル系樹脂(ポリビニルブチラール系樹脂など)、エンジ
ニアリングプラスチックの範疇に属する樹脂(例えば、
PET、PBT、PEN、ポリアミド6、ポリアミド6
6、MXD−6、ビスフェノール型ポリカーボネート系
樹脂、ポリスルホン系樹脂(ポリスルホン、ポリエーテ
ルスルホンなど)、ポリフェニレンオキシド系樹脂、ポ
リフェニレンスルフィド系樹脂、ポリエーテルエーテル
ケトン系樹脂、ポリアセタール系樹脂など)、ポリイミ
ン、ポリシラザン、複素環式化合物の重合体(ポリベン
ゾオキサゾール、ポリオキサジアゾール、ポリベンゾチ
アゾール、ポリベンズイミダゾール、ポリビニルカルバ
ゾールなど)、ポリシロキサン、ポリノルボルネン、セ
ルロース誘導体などが例示できる。熱可塑性樹脂には、
ABS樹脂などのゴム成分に対して少なくとも芳香族ビ
ニル単量体がグラフト重合したゴム−グラフト共重合体
も含まれる。
【0029】熱可塑性樹脂の分子量は、用途に応じて選
択でき特に制限されないが、通常、数平均分子量0.5
×104〜100×104、好ましくは1×104〜10
0×104程度の範囲から選択できる。
【0030】熱硬化性樹脂としては、例えば、フェノー
ル系樹脂、アミノ樹脂(尿素樹脂、メラミン樹脂な
ど)、エポキシ系樹脂(ビスフェノール型エポキシ樹
脂、ノボラック型フェノール樹脂など)、ビニルエステ
ル系樹脂、不飽和ポリエステル系樹脂、ポリイミド系樹
脂(ポリマレイミド系樹脂など)、シリコーン系樹脂、
シラザン系樹脂などが例示できる。さらに、光硬化性樹
脂としては、例えば、エポキシ(メタ)アクリレート、
ポリエステル(メタ)アクリレート、ポリウレタン(メ
タ)アクリレートなどが例示できる。さらに、熱硬化性
樹脂は樹脂の種類に応じて硬化剤や硬化促進剤などを含
有していてもよく、光硬化性樹脂は、光硬化剤や光硬化
促進剤などを含有していてもよい。
【0031】さらに、熱硬化性樹脂や光硬化性樹脂に
は、反応性希釈剤(例えば、スチレン、メタクリル酸メ
チル、ビニルピロリドンなどの重合性単量体、エチレン
グリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプ
ロパントリ(メタ)アクリレートなどの多価アルコール
(メタ)アクリレートなど)を併用してもよい。
【0032】これらの樹脂は単独で又は二種以上組み合
わせて使用できる。また、複数の樹脂によりポリマーア
ロイを形成してもよい。
【0033】無機材料としては、成膜性や成形性を有す
る種々の無機物質、例えば、ガラス、セラミックス(例
えば、透明セラミックス)、金属(アルミニウム、金、
銅など)などが例示でき、無機材料はゾルゲル材料であ
ってもよい。前記セラミックスの種類は特に制限され
ず、例えば、シリカ、アルミナ、ジルコニア、マグネシ
アなどの酸化物系セラミックス、炭化ケイ素、窒化ケイ
素、窒化ホウ素、窒化アルミニウム、ムライト、チタン
酸アルミニウムなどの非酸化物系セラミックス、チタン
酸カリウム繊維、アルミナ繊維などの繊維状セラミック
ス、チタン酸バリウムなどの誘電性セラミックス、PZ
Tなどの圧電性セラミックス、イオン導電性セラミック
ス、アパタイトなどの生体適合性セラミックスなどが例
示できる。なお、成形体又は基材は、前記樹脂と無機材
料とが複合化した有機/無機複合体であってもよい。
【0034】前記組成物において、ポリシランの割合
は、レーザ光でのパターン形成に有効量であればよく、
例えば、ポリマー成分全体に対して1〜100重量%、
好ましくは10〜100重量%、さらに好ましくは25
〜100重量%程度である。
【0035】ポリシランを含むポリマー組成物は、種々
の添加剤、例えば、可塑剤、安定剤(酸化防止剤、紫外
線吸収剤、熱安定剤など)、補強材(粉粒状補強材、繊
維状補強材など)、充填剤(炭酸カルシウム、タルクな
ど)、着色剤(酸化チタン、カーボンブラックなどの無
彩色着色剤、有彩色着色剤)、帯電防止剤、難燃剤など
を含んでいてもよい。
【0036】前記ポリマー組成物は、コーティング剤
(塗料などを含む)として使用してもよく、コーティン
グ剤して使用する場合、ポリマー組成物は溶媒を含んで
いてもよい。溶媒としては、例えば、炭化水素類(ヘキ
サンなどの脂肪族炭化水素類、シクロヘキサンなどの脂
環族炭化水素類、トルエン、キシレンなどの芳香族炭化
水素類など)、アルコール類(エタノール、プロパノー
ルなど)、エーテル類(ジエチルエーテル、テトラヒド
ロフランなど)、ケトン類(アセトン、エチルメチルケ
トンなど)、エステル類(酢酸エチルなど)、セロソル
ブ類(メチルセロソルブ、エチルセロソルブなど)、カ
ルビトール類(カルビトールなど)などが挙げられる。
これらの溶媒は単独で又は二種以上組み合わせて用いて
もよい。
【0037】成形体又は基材の表面にポリマー組成物の
被膜を形成する場合、被膜の厚みは特に制限されず、例
えば、0.1〜1000μm、好ましくは1〜500μ
m程度であってもよい。
【0038】本発明の組成物は、レーザ光の照射により
光学的特性の変化をもたらし、照射部位でパターンを選
択的に形成可能である。例えば、ポリシランで構成され
たポリマー組成物の成形体又は基材に、レーザ光を照射
すると、照射部位で光学的特性を選択的に変化又は改質
させ、鮮明又は明瞭なパターン(又は改質領域)を形成
可能である。さらに、レーザ光の集光部(集光点)に対
応させて、成形体又は基材の表面のみならず成形体の内
部にパターン域(又は改質領域)を形成できる。なお、
光学的特性の変化は、分子構造の変化に起因してもよ
く、レーザ光の照射により集光点及び集光点近傍だけが
改質された領域を形成できる。レーザ光の照射により形
成されたパターンは、視覚的に識別可能なパターン(例
えば、明度、彩度などの変化を伴う色彩パターン、透明
性の変化を伴うパターン、反射率の変化に伴うパター
ン、屈折率の変化に伴うパターンなど)であってもよ
く、視覚的に識別不能なパターン(例えば、屈折率の変
化に伴うパターン、誘電率の変化に伴うパターンなど)
であってもよい。また、光学的特性の変化は、単一の光
学的特性の変化に限らず、複数の特性の変化により生じ
てもよい。
【0039】成形体又は基材の形状は、特に制限され
ず、線状構造(繊維やファイバーなどの線状成形体)で
あってもよく、二次元的構造(フィルム、シート、板状
体など)又は三次元的構造体(電子又は電気機器のケー
シングやハウジング、キーボードやキーなど)であって
もよい。また、成形体や基材は、レーザ光の照射部位に
前記ポリマー組成物が存在すればよく、前記ポリマー組
成物を成形材料(押出成形、射出成形材料など)として
用いた成形体に限らず、表面が前記ポリマー組成物で被
覆した成形体であってもよい。さらに、パターン又はマ
ーキングの種類は特に制限されず、例えば、文字、記
号、スポット的パターンなどの他、絵柄(又は図形)な
どであってもよい。
【0040】前記レーザ光としては、種々のレーザが利
用でき、例えば、YAGレーザ、Ti−Al23レー
ザ、アルゴンレーザ、クリプトンレーザ、ヘリウム−ネ
オンレーザ、エキシマレーザなどが例示できる。レーザ
光としては、通常、パルスレーザが利用される。
【0041】レーザ光のピークパワー強度は、通常、集
光点(焦点)において、104W/cm2以上(例えば、
5×105〜100×105W/cm2、好ましくは10
×105〜100×105W/cm2、さらに好ましくは
25×105〜100×105W/cm2程度)である。
レーザ光の出力は、例えば、平均出力10〜1000m
W、好ましくは20〜800mW程度であってもよい。
なお、レーザ光(パルスレーザ光)の波長は、ポリシラ
ンの吸収波長を含め、成形体又は基材の固有吸収波長と
重ならないのが好ましい。しかし、照射エネルギーのう
ち50%以上のエネルギーが集光点で得られると、通
常、集光点でパターン形成又はマーキング可能である。
レーザ光(パルスレーザ光)の波長は、例えば、400
〜1700nm、好ましくは600〜1600nm程度
である。
【0042】レーザ光(パルスレーザ光)のパルス幅
は、1ピコ秒以下(例えば、10〜500フェムト秒、
好ましくは30〜300フェムト秒、さらに好ましくは
50〜200フェムト秒程度)である。また、レーザ光
(パルスレーザ光)の周波数は、例えば、0.1kHz
以上(例えば、0.5〜1000kHz、好ましくは
0.5〜800kHz、さらに好ましくは0.5〜50
0kHz程度)である。
【0043】パターン(又はマーキング)は、レーザ光
の集光位置(焦点深度)を集光レンズで絞ることにより
調整できる。すなわち、成形体又は基材に対するレーザ
光の集光位置(焦点深度)を調整することにより、成形
体の適所(表面や裏面、内部など)に光学的特性の変化
(パターン)が生じた成形体を形成できる。成形体の内
部にパターン域を形成する場合、レーザ光を成形体の内
部で集光させて照射することにより、成形体の表面では
なく、成形体の内部にパターン(又はマーキング部位)
が形成された成形体を得ることができる。このような成
形体は、内部にパターン域が形成されているため、外部
からパターンを有効に保護でき、パターンの耐久性を著
しく向上できる。特に、成形体が、撥水性、耐湿性、耐
熱性などの特性の高いポリシランを含むので、内部のパ
ターンをより有効に保護できる。さらに、ポリシランは
透明性が高いだけでなく、樹脂などの成形性成分と組み
合わせても、相溶性又は親和性が高く、成形体の透明性
を損なうことがない。そのため、レーザ光の照射により
鮮明にマーキングできる。
【0044】なお、集光点におけるレーザ光の電場強度
がポリシランなどの分子構造乃至光学的特性の変化に対
する閾値を越えると、集光点又は集光域及びその近傍に
存在するポリシランの分子構造乃至光学的変化が生じ
る。そのため、レーザ光を照射することにより、成形体
の集光域でポリシランを選択的かつ効率よく改質してパ
ターン又はマークを形成できる。
【0045】パターン形成又はマーキングは、通常、成
形体とレーザ光とは互いに相対的に移動させることによ
り行われ、両者は相対的に連続的に移動させてもよい。
例えば、光学系を操作して、成形体に対して、レーザ光
の集光点をX−Y軸方向に相対的に移動させることによ
り二次元的パターン(又は二次元的改質領域)を形成で
き、レーザ光の集光点をX−Y−Z軸方向に相対的に移
動させることにより三次元的パターン(又は三次元的改
質領域)を形成できる。
【0046】このような方法は、成形体とレーザ光との
相対的な移動という簡便な加工により照射部位と非照射
部位とで光学的特性の異なるパターン(改質領域と非改
質領域によるパターン)を形成できる。また、屈折率、
光の吸収や反射、誘電率などの光学的特性(電気光学的
特性を含む)が微細な領域で変化したパターンを形成で
きるため、パターンが形成された成形体は、光学用部材
又は光学用素子、例えば、各種の光導波路、非線形光学
素子、光メモリ、光スイッチ、光回折素子、発光素子、
増幅素子などとして利用できる。そのため、光学素子材
料や電子材料として有用である。さらに、本発明は、マ
ーキングが施された部材、例えば、電子機器(パーソナ
ルコンピュータなどを含む)、電話機、ファクシミリ、
複写機などのハウジングやケーシング、キーボードなど
の操作部の部材、装飾品などにも適用できる。
【0047】
【発明の効果】本発明では、ポリマー組成物がポリシラ
ンを含むので、レーザ光の照射により光学的特性を変化
させ、効率よくパターンを形成できる。また、成形体の
内部にもパターン域又はマーキング部位を効率よく形成
できる。さらに、ポリシランを用いるので、成形体の透
明性を損なうことなくマーキングできる。
【0048】
【実施例】以下に、実施例に基づいて本発明をより詳細
に説明するが、本発明はこれらの実施例によって限定さ
れるものではない。
【0049】実施例1 ネットワークポリシラン(重量平均分子量Mw180
0)をテトラヒドロフラン(THF)に濃度10重量%
で溶解し、この溶液をガラス基板上にキャストし、50
℃で15分間、80℃で30分間、さらに真空下、12
0℃で1時間加熱することにより厚さ100μmのポリ
シランフィルムを得た。
【0050】ポリシランフィルムにパルスレーザ光をレ
ンズで集光して照射した。パルスレーザ光としては、ア
ルゴンレーザ励起のTi:Al23レーザから発振され
たパルス幅150フェムト秒、繰返し周波数200kH
z、波長800nm、平均出力300mWのレーザを使
用した。パルスレーザ光をレンズ20倍(NA=0.4
6)で集光し、ポリシランフィルムの内部に集光点が生
じるように照射させると、集光点の屈折率が変化した。
また、ポリシランフィルム又は集光部を連続的に移動さ
せることにより、ポリシランフィルムの内部に直線状の
屈折率が変化した領域が形成された。
【0051】実施例2 ネットワークポリシラン(重量平均分子量Mw180
0)5重量部とクレゾールノボラック型エポキシ樹脂5
重量部とを10重量%の濃度でTHFに溶解し、得られ
た溶液をガラス基板上にキャストし、50℃で15分
間、80℃で30分間、さらに真空下、120℃で1時
間加熱することにより厚さ100μmの透明なフィルム
を得た。
【0052】得られたフィルムに、実施例1と同様にし
て、パルスレーザ光をレンズで集光して照射したとこ
ろ、フィルムの内部に集光点の屈折率が変化した。ま
た、フィルム又は集光部を連続的に移動させることによ
り、フィルムの内部に直線状の屈折率が変化した領域が
形成された。
【0053】実施例3 ネットワークポリシラン5重量部およびクレゾールノボ
ラック型エポキシ樹脂5重量部に代えて、ネットワーク
ポリシラン(重量平均分子量Mw1800)7重量部お
よびポリシラザン(関東化学(株)製)3重量部を用い
る以外、実施例2と同様にしてパルスレーザ光をレンズ
で集光してフィルムに照射したところ、実施例2と同様
に、フィルムの内部に屈折率の変化した領域が形成され
た。
【0054】実施例4 ネットワークポリシラン5重量部およびクレゾールノボ
ラック型エポキシ樹脂5重量部に代えて、ネットワーク
ポリシラン(重量平均分子量Mw1800)7重量部お
よびポリシラザン(関東化学(株)製)3重量部を用い
るとともに、120℃で1時間の加熱に代えて200℃
で1時間の加熱とする以外、実施例2と同様にしてパル
スレーザ光をレンズで集光してフィルムに照射したとこ
ろ、実施例2と同様に、フィルムの内部に屈折率の変化
した領域が形成された。
【0055】実施例5 パルスレーザ光として、パルス幅150フェムト秒、繰
返し周波数1kHz、波長800nm、平均出力50m
Wのレーザを用い、レンズによる集光倍率10倍(NA
=0.30)とする以外、実施例2と同様にしてパルス
レーザ光を照射したところ、実施例2と同様に、フィル
ムの内部に屈折率の変化した領域が形成された。
【0056】実施例6 パルスレーザ光として、波長1550nmのレーザを用
いる以外、実施例3と同様にしてパルスレーザ光を照射
したところ、実施例5と同様に、フィルムの内部に屈折
率の変化した領域が形成された。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) // B23K 26/00 B41M 5/26 S (72)発明者 川崎 真一 大阪市中央区平野町四丁目1番2号 大阪 瓦斯株式会社内 (72)発明者 藤木 剛 大阪市中央区平野町四丁目1番2号 大阪 瓦斯株式会社内 (72)発明者 村瀬 裕明 大阪市中央区平野町四丁目1番2号 大阪 瓦斯株式会社内 (72)発明者 山田 光昭 大阪市中央区平野町四丁目1番2号 大阪 瓦斯株式会社内 Fターム(参考) 2H025 AA00 AB14 AC08 AD01 BH05 CB32 2H111 HA01 HA07 HA14 HA23 HA34 HA35 4E068 AB01 CA03 CA04 DB10 4J002 AB01X BB00X BB02X BB06X BB07X BB08X BB11X BB15X BB17X BB23X BC02X BC03X BC06X BC07X BD00X BD03X BD12X BE02X BF01X BF02X BG01X BG05X BG06X BG13X BH02X BK00X CB00X CF00X CF05X CF06X CF07X CF08X CF16X CG01X CH07X CH09X CK02X CL00X CL01X CL03X CM02X CM05X CN01X CP01W CP03X GP00

Claims (14)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ポリシランで構成されており、かつレー
    ザ光の照射により光学的特性の変化を生成可能なポリマ
    ー組成物。
  2. 【請求項2】 光学的特性が、色彩、透明性、屈折率、
    反射率、誘電率から選択された少なくとも1種である請
    求項1記載の組成物。
  3. 【請求項3】 レーザ光の照射によりパターンを形成可
    能である請求項1記載の組成物。
  4. 【請求項4】 ポリシランが、下記式(1)〜(3)で
    表される構造単位のうち少なくとも1つの単位を有する
    請求項1記載のポリシラン材料。 【化1】 (式中、R1〜R3は、同一又は相異なって、水素原子、
    ヒドロキシル基、アルキル基、アルコキシ基、アルケニ
    ル基、シクロアルキル基、シクロアルキルオキシ基、シ
    クロアルケニル基、アリール基、アリールオキシ基、ア
    ラルキル基、アラルキルオキシ基、又はシリル基を示
    し、m,n,pは正の整数を示す)
  5. 【請求項5】 さらに樹脂を含む請求項1記載のポリマ
    ー組成物。
  6. 【請求項6】 ポリシランの割合が、ポリマー成分全体
    に対して1〜100重量%である請求項1記載の組成
    物。
  7. 【請求項7】 ポリシランで構成されたポリマー組成物
    の成形体に、レーザ光を照射し、照射部位の光学的特性
    を選択的に変化させるパターン形成方法。
  8. 【請求項8】 レーザ光のパルス幅が、1ピコ秒以下で
    ある請求項7記載の方法。
  9. 【請求項9】 レーザ光の周波数が0.1kHz以上で
    ある請求項7記載の方法。
  10. 【請求項10】 成形体の内部にパルスレーザ光を集光
    して照射し、成形体の内部にパターン域を形成する請求
    項7記載の方法。
  11. 【請求項11】 成形体とレーザ光とを相対的に連続的
    に移動させてパターン域を形成する請求項7記載の方
    法。
  12. 【請求項12】 請求項1記載のポリマー組成物で形成
    され、かつレーザ光の照射により光学的特性の変化が生
    じている成形体。
  13. 【請求項13】 内部にパターン域が形成されている請
    求項12記載の成形体。
  14. 【請求項14】 光学用部材である請求項12記載の成
    形体。
JP2002079378A 2002-03-20 2002-03-20 ポリマー組成物およびパターン形成方法 Pending JP2003277612A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002079378A JP2003277612A (ja) 2002-03-20 2002-03-20 ポリマー組成物およびパターン形成方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002079378A JP2003277612A (ja) 2002-03-20 2002-03-20 ポリマー組成物およびパターン形成方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2003277612A true JP2003277612A (ja) 2003-10-02

Family

ID=29228872

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002079378A Pending JP2003277612A (ja) 2002-03-20 2002-03-20 ポリマー組成物およびパターン形成方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2003277612A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007262171A (ja) * 2006-03-28 2007-10-11 Osaka Gas Co Ltd 熱硬化性樹脂用硬化剤およびその組成物
WO2015107938A1 (ja) * 2014-01-16 2015-07-23 デクセリアルズ株式会社 微細構造体及びその製造方法、並びに微細構造体製造用組成物
WO2023199659A1 (ja) * 2022-04-15 2023-10-19 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 レジスト材料、レジストパターンの製造方法、及び、レジストパターン

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007262171A (ja) * 2006-03-28 2007-10-11 Osaka Gas Co Ltd 熱硬化性樹脂用硬化剤およびその組成物
WO2015107938A1 (ja) * 2014-01-16 2015-07-23 デクセリアルズ株式会社 微細構造体及びその製造方法、並びに微細構造体製造用組成物
JP2015134360A (ja) * 2014-01-16 2015-07-27 デクセリアルズ株式会社 微細構造体及びその製造方法、並びに微細構造体製造用組成物
WO2023199659A1 (ja) * 2022-04-15 2023-10-19 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 レジスト材料、レジストパターンの製造方法、及び、レジストパターン

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR0170466B1 (ko) 유리 복합 재료 및 그 전구체, 질소 함유 복합 재료, 및 광학 디바이스
Štaffová et al. 3D printing and post-curing optimization of photopolymerized structures: Basic concepts and effective tools for improved thermomechanical properties
CN111417672A (zh) 可光致固化组合物及将其用于进行3d打印的方法
JP4205368B2 (ja) 光学材料用硬化性組成物
CN112823172A (zh) 树脂组合物
CN101124520A (zh) 单光子和多光子可聚合的陶瓷前体聚合组合物
WO2009119253A1 (ja) シラノール基含有硬化性籠型シルセスキオキサン化合物、籠型構造含有硬化性シリコーン共重合体、及びこれらの製造方法、並びに硬化性樹脂組成物
KR20070067723A (ko) 고 이완성, 고 내화학성 및 기계적 안정성을 갖는미세패턴화 층을 위한 복합 조성물
WO2006071907A1 (en) Multi-photon polymerizable pre-ceramic polymeric compositions
JP6150178B2 (ja) 光導波路および光導波路作製用のドライフィルム
WO2009029570A2 (en) Laser patterning of a carbon nanotube layer
CN1922227A (zh) 光波导用固化性树脂组合物、光波导用固化性干膜
US4972005A (en) Ultraviolet-curable composition
JP2003277612A (ja) ポリマー組成物およびパターン形成方法
JPWO2012132465A1 (ja) 光導波路用樹脂組成物、並びにそれを用いたドライフィルム、光導波路及び光電気複合配線板
JP4205374B2 (ja) 光学素子用組成物及び光学素子
JP2003277616A (ja) 成形性組成物およびパターン形成方法
JP2013182040A (ja) ホログラム記録用フォトポリマー組成物及びホログラム記録媒体
Woods et al. Epoxy silicone based matrix materials for two-photon patterning of optical waveguides
JPH08295537A (ja) ガラス複合材料、ガラス複合材料の前駆体、含窒素複合材料、発光素子、電子写真感光体、非線形光学素子およびレーザー素子
Hanemann et al. Polymer/Phenanthrene‐Derivative Host‐Guest Systems: Rheological, Optical and Thermal Properties
KR100729953B1 (ko) 플라즈마 공정을 이용한 플라스틱 기판의 제조 방법 및그에 의해 제조된 플라스틱 기판
JP2003321616A (ja) マーキング用樹脂組成物、マーキング方法及び装置
JP4336853B2 (ja) 屈折率パターンの形成方法
JP3537781B2 (ja) 光学材料の屈折率制御法